特開 2023-41111 テープ貼り付け装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023041111

(43)【公開日】2023-03-24

(54)【発明の名称】テープ貼り付け装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/301 20060101AFI20230316BHJP

【ＦＩ】

H01L21/78 M

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021148286

(22)【出願日】2021-09-13

(71)【出願人】

【識別番号】000151494

【氏名又は名称】株式会社東京精密

(74)【代理人】

【識別番号】100169960

【弁理士】

【氏名又は名称】清水 貴光

(72)【発明者】

【氏名】赤堀 創

【テーマコード（参考）】

5F063

【Ｆターム（参考）】

5F063AA21

5F063AA35

5F063DF12

5F063FF00

(57)【要約】      （修正有）

【課題】テープ貼り付け時に、マウントテーブルの外周部分からテープへの熱伝達を抑制し、マウントテーブルの外周部分のテープの貼り付きを抑制するとともに、ウエハ外周部分周辺に生じるテープ皺を低減する。
【解決手段】テープ貼り付け装置は、ウエハＷを保持し、加熱するウエハ保持面２１ａ有したマウントテーブル２１と、マウントテーブルの外周を囲って配置され、マウントフレーム２７を保持するフレームテーブル２２と、ウエハ保持面に保持されているウエハ上に供給されるテープＴをウエハに押し付けて、マウントテーブル上をウエハの一端から他端まで移動し、ウエハ保持面により加熱されたウエハの熱でテープをウエハに貼り付けるテープ貼り付け部と、ウエハ保持面上に保持されているウエハよりも外側のマウントテーブルの外周面２１ｂとマウントフレームとの間に露出しているテープの露出部分Ｔｂに向かう熱を抑制する冷却リング部材２３と、を備える。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

テープをウエハに貼り付けるテープ貼り付け装置であって、
前記ウエハを保持し、かつ、加熱するウエハ保持面を有したマウントテーブルと、
前記マウントテーブルの外周を囲って配置され、マウントフレームを保持するフレームテーブルと、
前記ウエハ保持面に保持されている前記ウエハ上に供給される前記テープを前記ウエハに押し付けて、前記マウントテーブル上を前記ウエハの一端側から他端側まで移動し、前記ウエハ保持面により加熱された前記ウエハの熱で前記テープを前記ウエハに貼り付けるテープ貼り付け手段と、
前記ウエハ保持面上に保持されている前記ウエハよりも外側の前記マウントテーブルの外周部分と前記マウントフレームとの間に露出している前記テープの露出部分に向かう熱を抑制する熱伝達抑制手段と、
を備える、ことを特徴とするテープ貼り付け装置。

【請求項2】

前記熱伝達抑制手段は、前記マウントテーブルと前記フレームテーブルとの間に配置され、内部の空間部に冷却用媒体を流して外表面を冷却する冷却リング部材を備える、ことを特徴とする請求項１に記載のテープ貼り付け装置。

【請求項3】

前記熱伝達抑制手段は、前記マウントテーブルの外周面と対向する前記フレームテーブルの内周面に設けられ、内部に冷却用媒体を流して外表面を冷却する冷却リング部材を備える、ことを特徴とする請求項１に記載のテープ貼り付け装置。

【請求項4】

前記熱伝達抑制手段は、前記ウエハ保持面上に保持されている前記ウエハよりも外側の前記マウントテーブルの前記外周部分を覆って、前記マウントテーブルと前記テープとの間に配置される環状の鍔片を有する、ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のテープ貼り付け装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、テープ貼り付け装置に関し、特に例えばダイシングテープを半導体ウエハの表面に貼り付ける際、又は、表面保護テープをウエハの裏面に貼り付ける際に使用されるテープ貼り付け装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という）は、その表面に多数の素子の回路パターン、例えばバンプや微細回路がウエハ表面に形成されている。そこで、表面研削時及び搬送時に当該回路面の汚染及び損傷を防止するために、保護テープが貼り付けられている。

【0003】

半導体製造分野においては、ウエハが年々大型化する傾向にあり、実装密度を高めるためにウエハの薄葉化も進んでいる。また、ウエハを薄葉化するのに、ウエハの裏面を研削するバックグラインドが行われており、研削を行う際にはウエハ表面に形成された回路面を保護するために、表面保護テープをウエハ表面に貼り付けている。

【0004】

そして、表面に回路パターンが形成されたウエハは、最終的にはダイシングにより賽の目状に切断される。ダイシングの際には、ウエハは、ウエハの裏面に貼り付けされたダイシングテープによってフレームと一体にされる。次いで、ダイシング装置のダイシングブレードによってウエハの中間まで切り込むハーフカットを行うか、又はウエハを完全に切断するもののダイシングテープを途中まで切断するフルカットを行うようにしている。

【0005】

なお、ダイシングテープをウエハの裏面に貼り付ける前に、ウエハの裏面にダイアタッチフィルムテープ（一般に、これを「ＤＡＦテープ」と言う）を貼り付けることもある。ＤＡＦテープは、ダイシング後のダイボンディング時にダイの底面における接着剤の役目を果たす。また、ウエハと略等しい形状のダイアタッチフィルム(ＤＡＦ)が予め設けられたダイシングテープ（一般に、これを「ＤＣテープ」と言う）を使用してもよい。以下、単にテープ又はダイシングテープと呼ぶ場合は、特に断りのない限り、ダイシングテープ又はダイアタッチフィルムテープも含んでいるものとする。また、これらテープは、例えば熱可塑性樹脂（ポリイミド系樹脂、アクリル系樹脂等）と熱硬化性樹脂（エポキシ系樹脂、フェノール系樹脂等）を成分とするポリマーアロイ型接着剤を用いたテープであって、通常は粘着性がなく、これを加熱（例えば１００～１６０℃）することによって粘着性を示すように形成されている。

【0006】

ところで、一般的に、ウエハの裏面にダイシングテープを貼り付けるには、ウエハの外径よりも大きい幅を有するダイシングテープを用い、このダイシングテープをリールから所定量引き出し、これを加熱したウエハの裏面に貼り付けた後、ウエハの外周面に沿ってダイシングテープをくり抜くように切断することにより、ダイシングテープをウエハに貼り付けるようにしている（例えば、特許文献１参照）。

【0007】

図６は、従来のウエハＷの裏面（以下、「テープ貼り付け面Ｗａ」と言う）に、テープＴを貼り付けるテープ貼り付け装置の一例を示す。図６に示すように、テープ貼り付け装置は、ウエハＷを水平に吸着保持して加熱するマウントテーブル１０１と、このマウントテーブル１０１の外周を囲って配置されたフレームテーブル１０２と、マウントテーブル１０１に吸着保持されたウエハＷの上面に沿って、ウエハＷの一端側から他端側までフレームテーブル１０２とマウントテーブル１０１上を移動する貼り付けローラ１０３ａを有するテープ貼り付け手段１０３と、を備えている。

【0008】

更に詳述すると、テープＴは、図示しないテープ供給部から同じく図示しないテープ巻取部に移行する途中が、フレームテーブル１０２とマウントテーブル１０１の直上を通過するように配置される。そして、テープＴの移行途中、すなわちフレームテーブル１０２とマウントテーブル１０１の直上で、貼り付けローラ１０３ａをテープＴの入側と出側の間で往復移動させてテープＴをウエハＷ上に圧着させ、テープＴの粘着面Ｔａの粘着剤の一部をウエハＷ側の熱で溶かすと、テープＴの粘着面ＴａがウエハＷのテープ貼り付け面Ｗａに貼り付き、ウエハＷとテープＴとが一体化される。

【0009】

また、ウエハＷとテープＴが一体化された後は、図示しないカッタでウエハＷの外周面に沿ってテープＴをくり抜くように切断される。これにより、ウエハＷに対するテープＴの貼り付け工程が終了し、マウントテーブル１０１上からウエハＷを取り出せばよい。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0010】

【特許文献1】特開２００６－５０８０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0011】

ところで、上記した従来のテープ貼り付け装置は、マウントテーブル１０１の熱が、マウントテーブル１０１の外周部分からテープＴに直接伝わり、テープＴが例えば図７に示すようにウエハＷの外側でマウントテーブル１０１の外周部分に付着したりする問題点があった。また、マウントテーブル１０１からの熱がウエハＷ上に均等に加えられず、ウエハＷ上の外周側の部分の熱が高くなり、高い熱を受けたウエハＷの外周部分と当接する部分におけるテープＴの伸び縮みが大きくなり、その伸び縮みによりテープしわが発生するという問題点があった。

【0012】

そこで、テープ貼り付け時に、マウントテーブルの外周部分からの熱がテープに伝わるのをなくし、マウントテーブルの外周部分等に貼り付くテープを抑制するとともに、ウエハ外周部分周辺に生じるテープしわを低減できるテープ貼り付け装置を提供するために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0013】

本発明は上記目的を達成するために提案されたものであり、請求項１に記載の発明は、テープをウエハに貼り付けるテープ貼り付け装置であって、前記ウエハを保持し、かつ、加熱するウエハ保持面を有したマウントテーブルと、前記マウントテーブルの外周を囲って配置され、マウントフレームを保持するフレームテーブルと、前記ウエハ保持面に保持されている前記ウエハ上に供給される前記テープを前記ウエハに押し付けて、前記マウントテーブル上を前記ウエハの一端側から他端側まで移動し、前記ウエハ保持面により加熱された前記ウエハの熱で前記テープを前記ウエハに貼り付けるテープ貼り付け手段と、前記ウエハ保持面上に保持されている前記ウエハよりも外側の前記マウントテーブルの外周部分と前記マウントフレームとの間に露出している前記テープの露出部分に向かう熱を抑制する熱伝達抑制手段と、を備える、テープ貼り付け装置を提供する。

【0014】

この構成によれば、熱伝達抑制手段により、マウントテーブル上に保持されたウエハよりも外側におけるマウントテーブルの外周部分からテープ側に向かう熱を抑制し、テープ側には主としてウエハを介したマウントテーブル側の熱だけが供給され、ウエハのテープ貼り付け面には熱がほぼ均等に付与される。これにより、ウエハに貼り付けられたテープ全体の伸び縮みが均等化し、テープしわの発生が抑制される。また、熱伝達抑制手段により、マウントテーブル上に保持されたウエハよりも外側におけるマウントテーブルの外周部分から、ウエハとマウントフレームとの間に露出しているテープの露出部分に向かう熱を抑制するので、マウントテーブルの外周部分等に貼り付くテープをなくすことができる。

【0015】

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の構成において、前記熱伝達抑制手段は、前記マウントテーブルと前記フレームテーブルとの間に配置され、内部の空間部に冷却用媒体を流して外表面を冷却する冷却リング部材を備える、テープ貼り付け装置を提供する。

【0016】

この構成によれば、熱伝達抑制手段により、マウントテーブル上に保持されたウエハよりも外側におけるマウントテーブルの外周部分から、ウエハとマウントフレームとの間に露出しているテープの露出部分に向かう熱を抑制でき、そして、テープには、ウエハを介してマウントテーブル上の熱だけをほぼ均等に付与させることができる。これにより、マウントテーブル上のテープ全体の伸び縮みが均等化して部分的な伸び縮みがなくなり、テープしわの発生を抑制できる。また、熱伝達抑制手段は、内部の空間部に冷却用媒体を流して外表面を冷却する冷却リング部材として作られ、これをマウントテーブルとフレームテーブルとの間に配置するので、構造の簡略化並びに組み立ての簡略化が図れる。

【0017】

請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の構成において、前記熱伝達抑制手段は、前記マウントテーブルの外周面と対向する前記フレームテーブルの内周面に設けられ、内部に冷却用媒体を流して外表面を冷却する冷却リング部材を備える、テープ貼り付け装置を提供する。

【0018】

この構成によれば、熱伝達抑制手段により、マウントテーブル上に保持されたウエハよりも外側におけるマウントテーブルの外周部分から、ウエハとマウントフレームとの間に露出しているテープの露出部分に向かう熱を抑制でき、そして、テープには、ウエハを介してマウントテーブル上の熱だけをほぼ均等に付与させることができる。これにより、マウントテーブル上のテープ全体の伸び縮みが均等化して部分的な伸び縮みがなくなり、テープしわの発生を抑制できる。また、熱伝達抑制手段は、内部に冷却用媒体を流して外表面を冷却する冷却リング部材として、フレームテーブルの内周部に一体に設けているので、構造の簡略化並びに組み立ての簡略化が図れる。

【0019】

請求項４に記載の発明は、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の構成において、前記熱伝達抑制手段は、前記マウントテーブル上に保持された前記ウエハよりも外側における前記マウントテーブルの前記外周部分を覆って、前記テープとの間に配置される環状の鍔片を有する、テープ貼り付け装置を提供する。

【0020】

この構成によれば、環状の鍔片が、マウントテーブル上に保持されたウエハよりも外側におけるマウントテーブルの外周部分を覆うようにして、熱伝達抑制手段がマウントテーブルとテープとの間に配置されるので、マウントテーブル上に保持されたウエハよりも外側におけるマウントテーブルの外周部分からテープ側に向かう熱を確実に抑制し、そして、テープにはウエハを介してマウントテーブル上の熱だけをほぼ均等に付与させることができる。これにより、マウントテーブル上のテープ全体の伸び縮みを更に均等化して部分的な伸び縮みをなくし、テープしわの発生を抑制することができる。

【発明の効果】

【0021】

本発明によれば、熱伝達抑制手段により、マウントテーブル上に保持されたウエハよりも外側におけるマウントテーブルの外周部分からテープ側に向かう熱を抑制し、テープには主としてマウントテーブル上の熱だけが、ウエハを介してほぼ均等に付与されるので、マウントテーブル上のテープ全体の伸び縮みが均等化して部分的な伸び縮みがなくなり、テープしわの発生を抑制できる。また、熱伝達抑制手段により、マウントテーブルの外周面からテープに向かう熱を遮断するので、マウントテーブルの外周部分等に貼り付くテープをなくすことができる。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】本発明の実施の形態に係る実施例として示すテープ貼り付け装置の概略構成断面図である。

【図2】同上テープ貼り付け装置におけるテープ貼り付け部の部分拡大斜視図である。

【図3】同上テープ貼り付け部における冷却リング部材を取り外した状態で示すテープ貼り付け部の部分拡大斜視図である。

【図4】図２のＡ－Ａ線に沿う概略拡大断面図である。

【図5】同上テープ貼り付け装置におけるテープ貼り付け部の一変形例を説明する図２のＡ―Ａ線に相当する部分の概略拡大断面図である。

【図6】従来のテープ貼り付け装置の一例を説明する概略構成断面図である。

【図7】従来のテープ貼り付け装置の問題点を説明する断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0023】

本発明は、テープ貼り付け時に、マウントテーブルの外周部分からの熱がテープに伝わるのをなくし、マウントテーブルの外周部分等に貼り付くテープを抑制するとともに、ウエハ外周部分周辺に生じるテープしわを低減できるテープ貼り付け装置を提供するという目的を達成するために、テープをウエハに貼り付けるテープ貼り付け装置であって、前記ウエハを保持し、かつ、加熱するウエハ保持面を有したマウントテーブルと、前記マウントテーブルの外周を囲って配置され、マウントフレームを保持するフレームテーブルと、前記ウエハ保持面に保持されている前記ウエハ上に供給される前記テープを前記ウエハに押し付けて、前記マウントテーブル上を前記ウエハの一端側から他端側まで移動し、前記ウエハ保持面により加熱された前記ウエハの熱で前記テープを前記ウエハに貼り付けるテープ貼り付け手段と、前記ウエハ保持面上に保持されている前記ウエハよりも外側の前記マウントテーブルの外周部分と前記マウントフレームとの間に露出している前記テープの露出部分に向かう熱を抑制する熱伝達抑制手段と、を備える、構成としたことにより実現した。

【実施例0024】

以下、本発明の実施形態に係る一実施例を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施例において、構成要素の数、数値、量、範囲等に言及する場合、特に明示した場合及び原理的に明らかに特定の数に限定される場合を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも構わない。

【0025】

また、構成要素等の形状、位置関係に言及するときは、特に明示した場合及び原理的に明らかにそうでないと考えられる場合等を除き、実質的にその形状等に近似又は類似するもの等を含む。

【0026】

また、図面は、特徴を分かり易くするために特徴的な部分を拡大する等して誇張する場合があり、構成要素の寸法比率等が実際と同じであるとは限らない。また、断面図では、構成要素の断面構造を分かり易くするために、一部の構成要素のハッチングを省略することがある。

【0027】

また、以下の説明において、上下や左右等の方向を示す表現は、絶対的なものではなく、本発明のテープ貼り付け装置の各部が描かれている姿勢である場合に適切であるが、その姿勢が変化した場合には姿勢の変化に応じて変更して解釈されるべきものである。また、実施例の説明の全体を通じて同じ要素には同じ符号を付している。

【0028】

図１は本発明に基づくテープ貼り付け装置１０の概略構成断面図である。図１に示されるテープ貼り付け装置１０は、例えばウエハＷに貼り付けされるダイシングテープ又は表面保護テープ等のテープＴを供給するテープ供給部１１と、テープ供給部１１からのテープＴを巻き取るテープ巻取部１２と、を有している。

【0029】

更に詳述すると、テープ供給部１１の下流には、テープＴに所定の張力を掛けるガイドロール１３が設けられており、さらにガイドロール１３の下流には一対の剥離ロール１４が設けられている。剥離ロール１４はテープＴのリリース１５を剥離する役目を果たしており、リリース１５はリリース巻取部１６によって巻き取られる。一方、剥離ロール１４の下流には、テープＴをテープ貼り付け部２０に案内するガイドロール１７ａ、ガイドロール１７ｂと、テープ巻取部１２で巻き取るテープＴに所定の張力を掛けるダンサロール１８が設けられている。

【0030】

図１に示されるように、テープ貼り付け装置１０のベース１９には、テープ貼り付け部２０が設置されている。図２はテープ貼り付け部２０の一部を拡大して示す部分拡大斜視図、図３はテープ貼り付け部２０における冷却リング部材２３を取り外した状態で示す部分拡大斜視図、図４は図２のＡ－Ａ線に沿う概略拡大断面図である。テープ貼り付け部２０は、テープＴがダイシングテープである場合を一例としており、ここでは、マウントテーブル２１と、フレームテーブル２２と、熱伝達抑制手段としての冷却リング部材２３と、貼り付けロール２８と、を有している。

【0031】

図１乃至図４に示すマウントテーブル２１は、上下方向に移動可能で、また上部には平面視円形をしたウエハ保持面２１ａを有して、ウエハ保持面２１ａ上に吸引作用等によりウエハＷを支持できる。さらに、マウントテーブル２１の内部には、図４に示すようにウエハ保持面２１ａ上に保持したウエハＷのテープ貼り付け面Ｗａを約１００～１６０℃まで加熱できる加熱手段２４が設けられている。また、ウエハ保持面２１ａ上には、ウエハ保持面２１ａ上に配置されたウエハＷの水平方向への移動を規制する凹所２９ａを形成する、環状の位置決め壁２９が設けられている。この位置決め壁２９は、ウエハＷの厚みと略同じ高さで形成されている。この位置決め壁２９は、ウエハＷの水平方向への移動及び回転方向への規制などが行えるものであれば、これ以外の部材で代用することも可能である。

【0032】

フレームテーブル２２は、図１乃至図４に示されるように、マウントテーブル２１との間に環状の隙間２５を設けて、マウントテーブル２１のウエハ保持面２１ａの外周を囲むようにして配設された固定のテーブルであり、上面にはマウントフレーム２７を配置する凹部２２ｂが設けられている。マウントフレーム２７は、ダイシング時にウエハＷが賽の目状に切断されるときに、ウエハＷの各部分を保持する役目をする。

【0033】

冷却リング部材２３は、マウントテーブル２１とフレームテーブル２２との間の隙間２５内に、マウントテーブル２１の外周面２１ｂとフレームテーブル２２の内周面２２ａと相対向して隣接配置される環状をした部材である。また、上部内周部には、マウントテーブル２１の外周部分２１ｃ上を覆う鍔部２３ａが、マウントテーブル２１の位置決め壁２９に向かって略水平に設けられている。冷却リング部材２３の内部には、環状をした空間部２６が有し、また外部には空間部２６の内部に通じる冷媒供給部２６ａと冷媒排出部２６ｂが、それぞれ複数個ずつ設けられている。そして、冷却リング部材２３における空間部２６の内部には、冷媒供給部２６ａから、冷媒として、例えば冷却された気体または液体を供給し冷媒排出部２６ｂから排出するようにして、冷媒を流すことにより、冷却リング部材２３の全体を常に冷却できるようになっている。

【0034】

図１に示されるように、テープ貼り付け部２０には、水平方向に往復移動する貼り付けロール２８がマウントテーブル２１の上方に配置されている。貼り付けロール２８の長さは、ウエハＷ及びマウントフレーム２７の最大幅よりも大きい。また、図面には示さないものの、貼り付けロール２８は例えば二つのプーリに掛けられたエンドレスチェーンに連結されており、プーリは図示しないモータに接続されている。そして、モータを順方向及び逆方向に回転させることによって、貼り付けロール２８をプーリ間で水平方向に往復運動させられる。当然のことながら、貼り付けロール２８を他の駆動機構によって水平方向に往復運動できるようにしてもよい。また、図１から分かるように、貼り付けロール２８がテープＴを介してマウントテーブル２１のウエハ保持面２１ａ上を、ウエハＷの一端側からウエハＷの直径を通ってウエハＷの他端側まで水平方向に移動することにより、テープＴをウエハＷに貼り付けることができる。

【0035】

なお、図示しないが、テープ貼り付け部２０の上方には、カッタユニットが設けられる。カッタユニットは鉛直方向に往復運動できて、回転可能なカッタが設けられている。テープ貼付後にカッタユニットをウエハＷまで移動させ、次いでカッタをウエハＷの周縁に沿って回転させことにより、ウエハＷに貼り付けられたテープＴを切断できるようになっている。

【0036】

このように構成されたテープ貼り付け装置１０のテープ貼り付け動作を次に説明する。テープＴの貼り付けに先立ち、マウントテーブル２１のウエハ保持面２１ａ上にはウエハＷが載置され、フレームテーブル２２上にはマウントフレーム２７が配置される。マウントテーブル２１上に載置されたウエハＷは、マウントテーブル２１側からの吸引力でウエハ保持面２１ａ上の凹所２９ａ内に固定して保持される。また、ウエハ保持面２１ａ上に固定載置されたウエハＷは、マウントテーブル２１に設けた加熱手段２４により１００℃から１６０℃の温度に加熱される。一方、マウントテーブル２１とフレームテーブル２２との間の隙間２５には、空間部２６の内部に冷媒が流されて冷却された冷却リング部材２３が、その隙間２５を略埋め、かつ、マウントテーブル２１の外周部分２１ｃを覆った状態で配置されている。これにより、冷却リング部材２３がマウントテーブル２１の外周面２１ｂと外周部分２１ｃ、及び、位置決め壁２９をそれぞれ冷やす。また、フレームテーブル２２も、冷却リング部材２３を介してマウントテーブル２１から切り離しているので、フレームテーブル２２がマウントテーブル２１の熱で加熱されることがない。

【0037】

次いで、マウントテーブル２１上にウエハＷが固定保持されると、図１に示すように、テープＴがテープ貼り付け部２０の上方に待機される。そして、テープ供給部１１からテープＴが所定量だけ引き出され、引き出されたテープＴは、ガイドロール１３、剥離ロール１４、ガイドロール１７ａ、１７ｂ、貼り付けロール２８、ガイドロール１７ｂ、１７ａ、ダンサロール１８を順次通過してテープ巻取部１２に移行する。また、剥離ロール１４から引き出されてテープ貼り付け部２０上に移行された水平部分が、図１に示すようにマウントテーブル２１及びフレームテーブル２２の直上に位置している。

【0038】

次いで、貼り付けロール２８が、テープＴの水平部分をテープ貼り付け部２０に押圧しながら、フレームテーブル２２の一端側からフレームテーブル２２の他端側の間を往復移動される。テープＴが、貼り付けロール２８によりマウントテーブル２１上のウエハＷに押圧されると、ウエハＷはマウントテーブル２１で１００℃から１６０℃の温度に加熱されているので、テープＴのウエハＷに重なる部分における粘着面Ｔａの接着剤が溶融し、テープＴがウエハＷのテープ貼り付け面Ｗａに接着する。その後、ウエハＷのテープ貼り付け面Ｗａが冷却すると、テープＴをテープ貼り付け面Ｗａに貼り付けたままにできる。これによりウエハＷへのテープＴの貼り付けが完了する。その後、図示しないが、テープ貼り付け部２０の上方に配置されているカッタユニットにより、ウエハＷに貼り付けられたテープＴがウエハＷの周縁又はマウントテーブル２１の周縁に沿って切断される。

【0039】

なお、本実施例のテープ貼り付け装置１０では、マウントテーブル２１とフレームテーブル２２との間の隙間２５に、熱伝達抑制手段である冷却リング部材２３が設けられ、冷却リング部材２３がマウントテーブル２１の外周面２１ｂ及び外周部分２１ｃを冷却している共に、冷却リング部材２３がフレームテーブル２２をマウントテーブル２１から熱伝達的に切り離しているので、ウエハＷとマウントフレーム２７との間に露出している、テープＴの露出部分Ｔｂがマウントテーブル２１の熱で直接加熱されることがない。すなわち、冷却リング部材２３が、マウントテーブル２１の外周面２１ｂ及び外周部分２１ｃからテープＴの露出部分Ｔｂに直接向かう熱をそれぞれ遮断し、主としてマウントテーブル２１のウエハ保持面２１ａ上の熱だけが、ウエハＷを介してテープＴにほぼ均等に付与される。これにより、マウントテーブル２１(ウエハＷのテープ貼り付け面Ｗａ)上のテープＴ全体の伸び縮みが均等化して、テープＴの部分的な伸び縮みがなくなり、テープＴのしわの発生が抑制される。また、熱伝達抑制手段である冷却リング部材２３により、マウントテーブル２１の外周面２１ｂ及び外周部分２１ｃからテープＴの露出部分Ｔｂに向かう熱を遮断するので、マウントテーブル２１の外周面２１ｂ及び外周部分２１ｃに貼り付くテープＴをなくすことがでる。したがって、どのウエハＷでもテープＴを一定の状態で貼り付けることができるので、製品の品質の向上を図ることができる。

【0040】

なお、上記実施例では、熱伝達抑制手段として、マウントテーブル２１の外周面２１ｂと相対向して隣接しているフレームテーブル２２の内周面２２ａに、マウントテーブル２１との隙間２５を埋めてフレームテーブル２２と別体に形成した、空間部２６の内部に気体又は液体でなる冷却用媒体を流し、外表面が冷却される冷却リング部材２３を設けた構造を開示した。しかし、この構造に限らず、例えば図５に示すように、熱伝達抑制手段として、マウントテーブル２１の外周面２１ｂと相対向して隣接しているフレームテーブル２２の内周部に、マウントテーブル２１との隙間２５を埋めて冷却リング部材２３をフレームテーブル２２と一体に形成した構造にしてもよい。図５中では、同図中に仮想線３０で示す境界箇所の内側（中心側）が冷却リング部材２３に相当する。

【0041】

また、図５に示すテープ貼り付け部２０は、図２のＡ―Ａ線に相当する部分の概略拡大断面図であって、図４に示すテープ貼り付け部２０と同じ符号を付して示している部材は、図４に示しているテープ貼り付け部２０に対応している部材であり、その働きも同じである。そして、図５に示すテープ貼り付け部２０における熱伝達抑制手段としての冷却リング部材２３は、フレームテーブル２２の内周部にフレームテーブル２２と一体に設けられるので、構造の簡略化並びに組み立ての簡略化が図れる。

【0042】

また、本発明は、上記以外にも、本発明の精神を逸脱しない限り種々の改変を成すことができ、そして、本発明が該改変されたものに及ぶことは当然である。

【符号の説明】

【0043】

１０ ：テープ貼り付け装置
１１ ：テープ供給部（テープ供給手段）
１２ ：テープ巻取部
１３ ：ガイドロール
１４ ：剥離ロール
１５ ：リリース
１６ ：リリース巻取部
１７ａ：ガイドロール
１７ｂ：ガイドロール
１８ ：ダンサロール
１９ ：ベース
２０ ：テープ貼り付け部（テープ貼り付け手段）
２１ ：マウントテーブル
２１ａ：ウエハ保持面
２１ｂ：外周面
２１ｃ：外周部分
２２ ：フレームテーブル
２２ａ：内周面
２２ｂ：凹部
２３ ：冷却リング部材（熱伝達抑制手段）
２３ａ：鍔部
２４ ：加熱手段
２５ ：隙間
２６ ：空間部
２６ａ：冷媒供給部
２６ｂ：冷媒排出部
２７ ：マウントフレーム
２８ ：貼り付けロール
２９ ：位置決め壁
２９ａ：凹所
３０ ：仮想線
Ｔ ：テープ
Ｔａ ：粘着面
Ｔｂ ：露出部分
Ｗ ：ウエハ
Ｗａ ：テープ貼り付け面

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】