特開2023-45202フィルムクリーニング装置及びフィルムクリーニングシステム
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023045202
(43)【公開日】2023-04-03
(54)【発明の名称】フィルムクリーニング装置及びフィルムクリーニングシステム
(51)【国際特許分類】
B08B 5/00 20060101AFI20230327BHJP
B65H 20/00 20060101ALI20230327BHJP
【ＦＩ】
B08B5/00 A
B65H20/00 Z
【審査請求】未請求
【請求項の数】10
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021153471
(22)【出願日】2021-09-21
(71)【出願人】
【識別番号】000229117
【氏名又は名称】日本ゼオン株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110002147
【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】平野 祐哉
【テーマコード（参考）】
3B116
3F103
【Ｆターム（参考）】
3B116AA08
3B116AB13
3B116BB22
3B116BB62
3B116BB72
3B116BB83
3B116BB88
3F103AA03
3F103EA15
(57)【要約】 （修正有）
【課題】搬送されるフィルムが接触しにくい、フィルムクリーニング装置を提供する。
【解決手段】搬送されるフィルムをクリーニングするためのフィルムクリーニング装置１００であって、前記フィルムに対向させるフィルム対向部１０１を有し、気体排出室１１０ａ、１１０ｂと、前記気体排出室内１１０ａ、１１０ｂに設けられる超音波発生器１１２ａ、１１２ｂと、前記フィルム対向部１０１に設けられ、圧気装置１０２０に接続されて気体を前記フィルムに向かって噴出させる多孔質部材と、吸気室１２０と、を含み、前記気体排出室１１０ａ、１１０ｂは、前記フィルム対向部１０１に開口し前記フィルムの搬送方向と直交する方向に延びる噴気口１１１ａ、１１１ｂを含み、前記吸気室１２０は、前記フィルム対向部１０１に開口し前記フィルムの搬送方向と直交する方向に延びる吸気口１２１を含む、フィルムクリーニング装置。
【選択図】図１
【解決手段】搬送されるフィルムをクリーニングするためのフィルムクリーニング装置１００であって、前記フィルムに対向させるフィルム対向部１０１を有し、気体排出室１１０ａ、１１０ｂと、前記気体排出室内１１０ａ、１１０ｂに設けられる超音波発生器１１２ａ、１１２ｂと、前記フィルム対向部１０１に設けられ、圧気装置１０２０に接続されて気体を前記フィルムに向かって噴出させる多孔質部材と、吸気室１２０と、を含み、前記気体排出室１１０ａ、１１０ｂは、前記フィルム対向部１０１に開口し前記フィルムの搬送方向と直交する方向に延びる噴気口１１１ａ、１１１ｂを含み、前記吸気室１２０は、前記フィルム対向部１０１に開口し前記フィルムの搬送方向と直交する方向に延びる吸気口１２１を含む、フィルムクリーニング装置。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
搬送されるフィルムをクリーニングするためのフィルムクリーニング装置であって、
前記フィルムクリーニング装置は、前記フィルムに対向させるフィルム対向部を有し、
前記フィルムクリーニング装置は、気体排出室と、前記気体排出室内に設けられる超音波発生器と、前記フィルム対向部に設けられ、圧気装置に接続されて気体を前記フィルムに向かって噴出させる多孔質部材と、吸気室と、を含み、
前記気体排出室は、前記フィルム対向部に開口し前記フィルムの搬送方向と直交する方向に延びる噴気口を含み、
前記吸気室は、前記フィルム対向部に開口し前記フィルムの搬送方向と直交する方向に延びる吸気口を含む、
フィルムクリーニング装置。
前記フィルムクリーニング装置は、前記フィルムに対向させるフィルム対向部を有し、
前記フィルムクリーニング装置は、気体排出室と、前記気体排出室内に設けられる超音波発生器と、前記フィルム対向部に設けられ、圧気装置に接続されて気体を前記フィルムに向かって噴出させる多孔質部材と、吸気室と、を含み、
前記気体排出室は、前記フィルム対向部に開口し前記フィルムの搬送方向と直交する方向に延びる噴気口を含み、
前記吸気室は、前記フィルム対向部に開口し前記フィルムの搬送方向と直交する方向に延びる吸気口を含む、
フィルムクリーニング装置。
【請求項2】
前記多孔質部材が、前記フィルム対向部の、前記フィルムの搬送方向と直交する方向における中間部に設けられ、前記多孔質部材の長手方向が、前記噴気口の長手方向と平行でありかつ前記吸気口の長手方向と平行である、請求項１に記載のフィルムクリーニング装置。
【請求項3】
前記多孔質部材を少なくとも２本含み、少なくとも２本の前記多孔質部材の長手方向が、前記噴気口の長手方向と平行でありかつ前記吸気口の長手方向と平行であり、少なくとも２本のうちの２本の前記多孔質部材の間に、前記噴気口及び前記吸気口が設けられている、請求項１又は２に記載のフィルムクリーニング装置。
【請求項4】
前記多孔質部材を複数含み、複数の前記多孔質部材のそれぞれが、前記噴気口と前記吸気口との間に、互いに離間して前記吸気口の長手方向に沿って一列に設けられ、複数の前記多孔質部材のそれぞれの長手方向が、前記吸気口の長手方向と平行でありかつ前記噴気口の長手方向と平行である、請求項１～３のいずれか一項に記載のフィルムクリーニング装置。
【請求項5】
前記フィルムの搬送方向と直交する方向における、多孔質部材の総長さＬｐが、前記吸気口の長さＬｓの５０％以上である、請求項１～４のいずれか一項に記載のフィルムクリーニング装置。
【請求項6】
前記気体排出室が、２本の前記噴気口を備え、前記吸気室が、１本の前記吸気口を備え、２本の前記噴気口の間に、１本の前記吸気口が設けられている、請求項１～５のいずれか一項に記載のフィルムクリーニング装置。
【請求項7】
前記気体排出室が、１本の前記噴気口を備え、前記吸気室が、２本の前記吸気口を備え、２本の前記吸気口の間に、１本の前記噴気口が設けられている、請求項１～５のいずれか一項に記載のフィルムクリーニング装置。
【請求項8】
請求項１～７のいずれか一項に記載のフィルムクリーニング装置と、フィルムを支持し搬送するフィルム支持搬送装置とを含む、フィルムクリーニングシステム。
【請求項9】
前記フィルム支持搬送装置が、有孔材で形成されたフィルム支持面を有するフィルム支持部材と、前記フィルム支持部材に接続される圧気装置とを含む、請求項８に記載のフィルムクリーニングシステム。
【請求項10】
前記フィルム支持部材の前記フィルム支持面が、多孔質材料で形成されている、請求項９に記載のフィルムクリーニングシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、フィルムクリーニング装置及びフィルムクリーニングシステムに関する。
【背景技術】
【0002】
樹脂フィルムなどのフィルムを製造する工程において、フィルムに付着した異物を除去するためのフィルムクリーニング装置を用いる場合がある。フィルムクリーニング装置としては、フィルムに回転するブラシを接触させて、異物を除去する接触式のフィルムクリーニング装置（特許文献１参照）が知られている。
また、パネル体に付着した異物を除去するため、パネル体に気体を吹き付けて、異物を除去する非接触式のクリーニング装置（特許文献２参照）も知られている。
また、パネル体に付着した異物を除去するため、パネル体に気体を吹き付けて、異物を除去する非接触式のクリーニング装置（特許文献２参照）も知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】実開平１－１６７３８３号公報
【特許文献2】実開平５－０８０５７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
接触式のフィルムクリーニング装置では、フィルム表面にブラシなどの異物除去手段を接触させる際に、フィルム表面に傷が生じたり、異物除去手段に付着した異物がフィルム表面に再付着したりするなどの不都合が生じることがある。特に、フィルム上に機能層を塗布法により設けた場合には、これらの不都合により、機能層の質が低下する場合がある。そのため、フィルムクリーニング装置としては、非接触式が好ましい。
しかし、フィルムクリーニング装置と共に使用されるフィルム支持搬送装置の種類によっては、搬送されるフィルムがフィルムクリーニング装置に接触しやすい場合があった。
特に、フィルム支持搬送装置が、フィルムを支持するフィルム支持面とフィルムとの間に間隙を設けて搬送する装置である場合に、フィルムがフィルムクリーニング装置に接触しやすい場合があった。その理由は、フィルムが薄膜軽量であり、搬送張力が低い場合に、フィルム支持搬送装置からフィルムが浮き上がるなどして、フィルムが所望の搬送位置を保持できないため等である。
しかし、フィルムクリーニング装置と共に使用されるフィルム支持搬送装置の種類によっては、搬送されるフィルムがフィルムクリーニング装置に接触しやすい場合があった。
特に、フィルム支持搬送装置が、フィルムを支持するフィルム支持面とフィルムとの間に間隙を設けて搬送する装置である場合に、フィルムがフィルムクリーニング装置に接触しやすい場合があった。その理由は、フィルムが薄膜軽量であり、搬送張力が低い場合に、フィルム支持搬送装置からフィルムが浮き上がるなどして、フィルムが所望の搬送位置を保持できないため等である。
【0005】
したがって、搬送されるフィルムが接触しにくい、フィルムクリーニング装置；フィルムクリーニング装置を含み、搬送されるフィルムが前記フィルムクリーニング装置に接触しにくいフィルムクリーニングシステム；が求められる。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明者は、前記課題を解決するべく、鋭意検討した結果、フィルムクリーニング装置のフィルム対向部に、所定の多孔質部材を設けることにより前記課題が解決されることを見出し、本発明を完成させた。
すなわち、本発明は、以下を提供する。
すなわち、本発明は、以下を提供する。
【0007】
［１］ 搬送されるフィルムをクリーニングするためのフィルムクリーニング装置であって、
前記フィルムクリーニング装置は、前記フィルムに対向させるフィルム対向部を有し、
前記フィルムクリーニング装置は、気体排出室と、前記気体排出室内に設けられる超音波発生器と、前記フィルム対向部に設けられ、圧気装置に接続されて気体を前記フィルムに向かって噴出させる多孔質部材と、吸気室と、を含み、
前記気体排出室は、前記フィルム対向部に開口し前記フィルムの搬送方向と直交する方向に延びる噴気口を含み、
前記吸気室は、前記フィルム対向部に開口し前記フィルムの搬送方向と直交する方向に延びる吸気口を含む、
フィルムクリーニング装置。
［２］ 前記多孔質部材が、前記フィルム対向部の、前記フィルムの搬送方向と直交する方向における中間部に設けられ、前記多孔質部材の長手方向が、前記噴気口の長手方向と平行でありかつ前記吸気口の長手方向と平行である、［１］に記載のフィルムクリーニング装置。
［３］ 前記多孔質部材を少なくとも２本含み、少なくとも２本の前記多孔質部材の長手方向が、前記噴気口の長手方向と平行でありかつ前記吸気口の長手方向と平行であり、少なくとも２本のうちの２本の前記多孔質部材の間に、前記噴気口及び前記吸気口が設けられている、［１］又は［２］に記載のフィルムクリーニング装置。
［４］ 前記多孔質部材を複数含み、複数の前記多孔質部材のそれぞれが、前記噴気口と前記吸気口との間に、互いに離間して前記吸気口の長手方向に沿って一列に設けられ、複数の前記多孔質部材のそれぞれの長手方向が、前記吸気口の長手方向と平行でありかつ前記噴気口の長手方向と平行である、［１］～［３］のいずれか一項に記載のフィルムクリーニング装置。
［５］ 前記フィルムの搬送方向と直交する方向における、多孔質部材の総長さＬｐが、前記吸気口の長さＬｓの５０％以上である、［１］～［４］のいずれか一項に記載のフィルムクリーニング装置。
［６］ 前記気体排出室が、２本の前記噴気口を備え、前記吸気室が、１本の前記吸気口を備え、２本の前記噴気口の間に、１本の前記吸気口が設けられている、［１］～［５］のいずれか一項に記載のフィルムクリーニング装置。
［７］ 前記気体排出室が、１本の前記噴気口を備え、前記吸気室が、２本の前記吸気口を備え、２本の前記吸気口の間に、１本の前記噴気口が設けられている、［１］～［５］のいずれか一項に記載のフィルムクリーニング装置。
［８］ ［１］～［７］のいずれか一項に記載のフィルムクリーニング装置と、フィルムを支持し搬送するフィルム支持搬送装置とを含む、フィルムクリーニングシステム。
［９］ 前記フィルム支持搬送装置が、有孔材で形成されたフィルム支持面を有するフィルム支持部材と、前記フィルム支持部材に接続される圧気装置とを含む、［８］に記載のフィルムクリーニングシステム。
［１０］ 前記フィルム支持部材の前記フィルム支持面が、多孔質材料で形成されている、［９］に記載のフィルムクリーニングシステム。
前記フィルムクリーニング装置は、前記フィルムに対向させるフィルム対向部を有し、
前記フィルムクリーニング装置は、気体排出室と、前記気体排出室内に設けられる超音波発生器と、前記フィルム対向部に設けられ、圧気装置に接続されて気体を前記フィルムに向かって噴出させる多孔質部材と、吸気室と、を含み、
前記気体排出室は、前記フィルム対向部に開口し前記フィルムの搬送方向と直交する方向に延びる噴気口を含み、
前記吸気室は、前記フィルム対向部に開口し前記フィルムの搬送方向と直交する方向に延びる吸気口を含む、
フィルムクリーニング装置。
［２］ 前記多孔質部材が、前記フィルム対向部の、前記フィルムの搬送方向と直交する方向における中間部に設けられ、前記多孔質部材の長手方向が、前記噴気口の長手方向と平行でありかつ前記吸気口の長手方向と平行である、［１］に記載のフィルムクリーニング装置。
［３］ 前記多孔質部材を少なくとも２本含み、少なくとも２本の前記多孔質部材の長手方向が、前記噴気口の長手方向と平行でありかつ前記吸気口の長手方向と平行であり、少なくとも２本のうちの２本の前記多孔質部材の間に、前記噴気口及び前記吸気口が設けられている、［１］又は［２］に記載のフィルムクリーニング装置。
［４］ 前記多孔質部材を複数含み、複数の前記多孔質部材のそれぞれが、前記噴気口と前記吸気口との間に、互いに離間して前記吸気口の長手方向に沿って一列に設けられ、複数の前記多孔質部材のそれぞれの長手方向が、前記吸気口の長手方向と平行でありかつ前記噴気口の長手方向と平行である、［１］～［３］のいずれか一項に記載のフィルムクリーニング装置。
［５］ 前記フィルムの搬送方向と直交する方向における、多孔質部材の総長さＬｐが、前記吸気口の長さＬｓの５０％以上である、［１］～［４］のいずれか一項に記載のフィルムクリーニング装置。
［６］ 前記気体排出室が、２本の前記噴気口を備え、前記吸気室が、１本の前記吸気口を備え、２本の前記噴気口の間に、１本の前記吸気口が設けられている、［１］～［５］のいずれか一項に記載のフィルムクリーニング装置。
［７］ 前記気体排出室が、１本の前記噴気口を備え、前記吸気室が、２本の前記吸気口を備え、２本の前記吸気口の間に、１本の前記噴気口が設けられている、［１］～［５］のいずれか一項に記載のフィルムクリーニング装置。
［８］ ［１］～［７］のいずれか一項に記載のフィルムクリーニング装置と、フィルムを支持し搬送するフィルム支持搬送装置とを含む、フィルムクリーニングシステム。
［９］ 前記フィルム支持搬送装置が、有孔材で形成されたフィルム支持面を有するフィルム支持部材と、前記フィルム支持部材に接続される圧気装置とを含む、［８］に記載のフィルムクリーニングシステム。
［１０］ 前記フィルム支持部材の前記フィルム支持面が、多孔質材料で形成されている、［９］に記載のフィルムクリーニングシステム。
【発明の効果】
【0008】
本発明によれば、搬送されるフィルムが接触しにくい、フィルムクリーニング装置；フィルムクリーニング装置を含み、搬送されるフィルムが前記フィルムクリーニング装置に接触しにくいフィルムクリーニングシステム；を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、本発明について実施形態及び例示物を示して詳細に説明する。ただし、本発明は以下に示す実施形態及び例示物に限定されるものではなく、本発明の特許請求の範囲及びその均等の範囲を逸脱しない範囲において任意に変更して実施しうる。以下に示す実施形態の構成要素は、適宜組み合わせうる。また、図において、同一の構成要素には同一の符号を付し、その説明を省略する場合がある。
【0011】
以下の説明において、「長尺」のフィルムとは、幅に対して、５倍以上の長さを有するフィルムをいい、好ましくは１０倍若しくはそれ以上の長さを有し、具体的にはロール状に巻き取られて保管又は運搬される程度の長さを有するフィルムをいう。フィルムの長さの上限は、特に制限は無く、例えば、幅に対して１０万倍以下としうる。
【0012】
以下の説明において、要素の方向が「平行」、「垂直」及び「直交」とは、別に断らない限り、本発明の効果を損ねない範囲内、例えば±３°、±２°又は±１°の範囲内での誤差を含んでいてもよい。
【0013】
［１．フィルムクリーニングシステムの概要］
本開示に係るフィルムクリーニングシステムは、フィルムクリーニング装置と、フィルムを支持し搬送するフィルム支持搬送装置とを含む。
本開示に係るフィルムクリーニングシステムは、フィルムクリーニング装置と、フィルムを支持し搬送するフィルム支持搬送装置とを含む。
【0014】
［２．フィルムクリーニング装置の概要］
本開示に係るフィルムクリーニング装置は、搬送されるフィルムをクリーニングするための装置である。
フィルムクリーニング装置は、フィルムに対向させるフィルム対向部を有する。
フィルムクリーニング装置は、気体排出室と、前記気体排出室内に設けられる超音波発生器と、前記フィルム対向部に設けられ、圧気装置に接続されて気体を前記フィルムに向かって噴出させる多孔質部材と、吸気室と、を含む。
前記気体排出室は、前記フィルム対向部に開口し前記フィルムの搬送方向と直交する方向に延びる噴気口を含む。
前記吸気室は、前記フィルム対向部に開口し前記フィルムの搬送方向と直交する方向に延びる吸気口を含む。
本開示に係るフィルムクリーニング装置は、搬送されるフィルムをクリーニングするための装置である。
フィルムクリーニング装置は、フィルムに対向させるフィルム対向部を有する。
フィルムクリーニング装置は、気体排出室と、前記気体排出室内に設けられる超音波発生器と、前記フィルム対向部に設けられ、圧気装置に接続されて気体を前記フィルムに向かって噴出させる多孔質部材と、吸気室と、を含む。
前記気体排出室は、前記フィルム対向部に開口し前記フィルムの搬送方向と直交する方向に延びる噴気口を含む。
前記吸気室は、前記フィルム対向部に開口し前記フィルムの搬送方向と直交する方向に延びる吸気口を含む。
【0015】
本開示のフィルムクリーニング装置は、圧気装置に接続されて気体を前記フィルムに向かって噴出させる多孔質部材がフィルム対向部に設けられているので、搬送されるフィルムが、フィルムを支持して搬送するフィルム支持部材に向かって気体により押圧される。これにより、搬送されるフィルムが、吸気口に吸引されてフィルム対向部に接触することを抑制する。
【0016】
本開示のフィルムクリーニング装置は、気体排出室を一つのみ有していてもよく、複数（例えば、２つ、３つ）有していてもよい。フィルムクリーニング装置は、吸気室を一つのみ有していてもよく、複数（例えば、２つ、３つ）有していてもよい。
気体排出室及び吸気室の配置は、任意であり、以下に述べる第１実施形態～第２実施形態における配置に限定されない。例えば、気体排出室及び吸気室は、フィルムの搬送方向において、下記の順に配置されていてよい。
（１）気体排出室、吸気室、及び気体排出室
（２）吸気室、気体排出室、及び吸気室
（３）気体排出室、及び吸気室
（４）吸気室、及び気体排出室
（５）気体排出室、気体排出室、及び吸気室
（６）吸気室、気体排出室、及び気体排出室
（７）吸気室、吸気室、及び気体排出室
（８）気体排出室、吸気室、及び吸気室
気体排出室及び吸気室の配置は、任意であり、以下に述べる第１実施形態～第２実施形態における配置に限定されない。例えば、気体排出室及び吸気室は、フィルムの搬送方向において、下記の順に配置されていてよい。
（１）気体排出室、吸気室、及び気体排出室
（２）吸気室、気体排出室、及び吸気室
（３）気体排出室、及び吸気室
（４）吸気室、及び気体排出室
（５）気体排出室、気体排出室、及び吸気室
（６）吸気室、気体排出室、及び気体排出室
（７）吸気室、吸気室、及び気体排出室
（８）気体排出室、吸気室、及び吸気室
【0017】
［３．第１実施形態］
以下、本発明の第１実施形態に係るフィルムクリーニングシステムを、図１及び図２を用いて説明する。
図１は、第１実施形態に係るフィルムクリーニングシステムの、フィルム搬送方向に平行な方向の断面を、模式的に示す断面図である。
図２は、第１実施形態に係るフィルムクリーニング装置を、フィルム対向部側から見た模式的な下面図である。
以下、本発明の第１実施形態に係るフィルムクリーニングシステムを、図１及び図２を用いて説明する。
図１は、第１実施形態に係るフィルムクリーニングシステムの、フィルム搬送方向に平行な方向の断面を、模式的に示す断面図である。
図２は、第１実施形態に係るフィルムクリーニング装置を、フィルム対向部側から見た模式的な下面図である。
【0018】
フィルムクリーニングシステム１５００は、フィルムクリーニング装置１００とフィルム支持搬送装置１０００とを備える。
フィルムクリーニング装置１００は、搬送される長尺のフィルム１０の表面１０Ｕをクリーニングする装置である。
フィルムクリーニング装置１００は、搬送される長尺のフィルム１０の表面１０Ｕをクリーニングする装置である。
【0019】
フィルムクリーニング装置１００は、フィルム１０に対向させるフィルム対向部１０１を有する。フィルムクリーニング装置１００は、図１に示すように、その内部が気体排出室１１０ａ，１１０ｂと、吸気室１２０とに区画されている。気体排出室１１０ａ，１１０ｂ及び吸気室１２０は、フィルム１０の搬送方向において、気体排出室１１０ａ、吸気室１２０、及び気体排出室１１０ｂの順となるように、配置されている。
【0020】
気体排出室１１０ａの、フィルム対向部１０１の側には、フィルム対向部１０１に開口する噴気口１１１ａが設けられている。気体排出室１１０ｂの、フィルム対向部１０１の側にも、フィルム対向部１０１に開口する噴気口１１１ｂが設けられている。
図２に示すように、噴気口１１１ａ，１１１ｂは、フィルム１０の搬送方向Ｄと直交する方向に延びており、噴気口１１１ａ，１１１ｂは、それぞれ一本の連続するスリット形状を有している。
図２に示すように、噴気口１１１ａ，１１１ｂは、フィルム１０の搬送方向Ｄと直交する方向に延びており、噴気口１１１ａ，１１１ｂは、それぞれ一本の連続するスリット形状を有している。
【0021】
気体排出室１１０ａの内部であって、噴気口１１１ａの近傍には、超音波発生器１１２ａが設けられている。また、気体排出室１１０ｂの内部であって、噴気口１１１ｂの近傍には、超音波発生器１１２ｂが設けられている。超音波発生器１１２ａ，１１２ｂはそれぞれ、噴気口１１１ａ，１１１ｂの近傍で超音波を発生することにより、噴気口１１１ａ，１１１ｂから噴出される気体に超音波振動を与える。噴気口１１１ａ，１１１ｂから噴出される、超音波振動を付与された気体は、フィルム１０に吹き付けられて、効果的にフィルム１０の表面１０Ｕに付着した異物をフィルム１０から取り除きうる。
【0022】
吸気室１２０の、フィルム対向部１０１の側には、フィルム対向部１０１に開口する吸気口１２１が設けられている。吸気口１２１は、フィルム１０の搬送方向Ｄと直交する方向に延びており、一本の連続するスリット形状を有している。
【0023】
気体排出室１１０ａ，１１０ｂには、図示されない圧気装置が、直接又はバルブなどの流量調節手段を介して接続される。吸気室１２０には、図示されない吸気装置が、直接又はバルブなどの流量調節手段を介して接続される。
これにより、噴気口１１１ａ，１１１ｂから、気体が噴出して、異物が付着したフィルム１０に吹き付けられ、異物を含んだ気体が、吸気口１２１から吸い込まれて異物がフィルム１０から取り除かれる。
これにより、噴気口１１１ａ，１１１ｂから、気体が噴出して、異物が付着したフィルム１０に吹き付けられ、異物を含んだ気体が、吸気口１２１から吸い込まれて異物がフィルム１０から取り除かれる。
【0024】
フィルム対向部１０１には、図示されない圧気装置に接続されて気体をフィルム１０に向かって噴出させる多孔質部材１３０ａ，１３０ｂが設けられている。
多孔質部材１３０ａ，１３０ｂは、多孔質材料から形成された部材である。多孔質部材１３０ａ，１３０ｂを形成するための多孔質材料としては、ポーラスカーボン、ポーラスアルミナ、ポーラスセラミック、多孔質を有する金属焼結材等が挙げられる。多孔質部材１３０ａ，１３０ｂは、多孔質材料で形成されているので、圧気装置を接続して気体を圧送すると、多孔質部材１３０ａ，１３０ｂの表面の孔から多孔質部材１３０ａ，１３０ｂの外部へ気体が噴出する。多孔質部材１３０ａ，１３０ｂは、フィルム対向部１０１に設けられ、フィルム１０と対向するように配置されている。したがって、多孔質部材１３０ａ，１３０ｂの表面の孔から噴出された気体は、フィルム１０に向かって吹き付けられる。
多孔質部材１３０ａ，１３０ｂは、多孔質材料から形成された部材である。多孔質部材１３０ａ，１３０ｂを形成するための多孔質材料としては、ポーラスカーボン、ポーラスアルミナ、ポーラスセラミック、多孔質を有する金属焼結材等が挙げられる。多孔質部材１３０ａ，１３０ｂは、多孔質材料で形成されているので、圧気装置を接続して気体を圧送すると、多孔質部材１３０ａ，１３０ｂの表面の孔から多孔質部材１３０ａ，１３０ｂの外部へ気体が噴出する。多孔質部材１３０ａ，１３０ｂは、フィルム対向部１０１に設けられ、フィルム１０と対向するように配置されている。したがって、多孔質部材１３０ａ，１３０ｂの表面の孔から噴出された気体は、フィルム１０に向かって吹き付けられる。
【0025】
多孔質部材１３０ａ，１３０ｂが多孔質材料で形成されていることにより、以下の利点を有する。
スリットノズルのような開口の大きい部材に気体を圧送して、フィルム１０とフィルム対向部との接触を抑制しようとすると、大量の気体が必要となる。また、吸気口への気体の流れを阻むため、吸気口からの異物の回収が不良となる場合がある。
多孔質材料で形成された多孔質部材１３０ａ，１３０ｂから噴出する気体は、脈動が少なく流速が小さいので、吸気口からの異物の回収を阻害せず、かつ安定的にフィルム１０がフィルム対向部１０１に接触することを抑制しうる。また、多孔質部材１３０ａ，１３０ｂへ圧送する気体の量が少なくてすむ。
スリットノズルのような開口の大きい部材に気体を圧送して、フィルム１０とフィルム対向部との接触を抑制しようとすると、大量の気体が必要となる。また、吸気口への気体の流れを阻むため、吸気口からの異物の回収が不良となる場合がある。
多孔質材料で形成された多孔質部材１３０ａ，１３０ｂから噴出する気体は、脈動が少なく流速が小さいので、吸気口からの異物の回収を阻害せず、かつ安定的にフィルム１０がフィルム対向部１０１に接触することを抑制しうる。また、多孔質部材１３０ａ，１３０ｂへ圧送する気体の量が少なくてすむ。
【0026】
多孔質部材の平均孔径は好ましくは０．１μｍ以上、より好ましくは０．５μｍ以上であり、好ましくは３０μｍ以下、より好ましくは３．０μｍ以下である。孔径が大きすぎる場合、一部の孔がふさがれて、他の孔から気体の漏れが生じることがあるが、孔径を上限値以下とすると、多孔質材料内の圧力損失が大きいので、一部の孔がふさがれたとしても、気体の漏れを防止することができる。
【0027】
図２に示すように、多孔質部材１３０ａ，１３０ｂは、フィルム１０の搬送方向Ｄと直交する方向に延びており、多孔質部材１３０ａ，１３０ｂの長手方向はそれぞれ、噴気口１１１ａ，１１１ｂのそれぞれの長手方向と平行であり、また吸気口１２１の長手方向と平行である。また、多孔質部材１３０ａ，１３０ｂは、フィルム対向部１０１の、フィルム１０の搬送方向Ｄと直交する方向における中間部１０１Ｍに設けられている。ここで、中間部１０１Ｍは、フィルム対向部１０１の、フィルム１０の搬送方向Ｄと直交する方向における端部１０１Ｅ，１０１Ｅの間にあって、フィルム１０の搬送方向Ｄと直交する方向における中央１０１Ｃを含む部分である。
多孔質部材１３０ａ，１３０ｂが、フィルム対向部１０１の中間部１０１Ｍに設けられていることにより、後述するフィルム支持搬送装置１０００が、フィルム支持部材１０１０とフィルム１０とを離隔状態としてフィルム１０を搬送する装置である場合に、効果的にフィルム１０がフィルムクリーニング装置１００のフィルム対向部１０１に接触することを抑制しうる。
フィルム支持部材１０１０とフィルム１０とに間隙を有する状態（離隔状態）としてフィルム１０を搬送すると、フィルム１０の幅方向中央部付近は、フィルム１０とフィルム支持部材１０１０のフィルム支持面１０１１との距離が、フィルム１０の端部付近における距離よりも大きくなることがある。すなわち、フィルム１０は、幅方向中央部がフィルム対向部１０１に向かって膨らんだ形状となってフィルム支持部材１０１０から離れることがある。多孔質部材１３０ａ，１３０ｂを、中間部１０１Ｍに設けることによって、フィルム１０の幅方向中央部に向かって多孔質部材１３０ａ，１３０ｂから気体を噴出させ、フィルム１０の特に幅方向中央部をフィルム支持面１０１１の方向へ押し戻すようにする。これにより、フィルム１０がフィルム対向部１０１に接触することを効果的に抑制しうる。
多孔質部材１３０ａ，１３０ｂが、フィルム対向部１０１の中間部１０１Ｍに設けられていることにより、後述するフィルム支持搬送装置１０００が、フィルム支持部材１０１０とフィルム１０とを離隔状態としてフィルム１０を搬送する装置である場合に、効果的にフィルム１０がフィルムクリーニング装置１００のフィルム対向部１０１に接触することを抑制しうる。
フィルム支持部材１０１０とフィルム１０とに間隙を有する状態（離隔状態）としてフィルム１０を搬送すると、フィルム１０の幅方向中央部付近は、フィルム１０とフィルム支持部材１０１０のフィルム支持面１０１１との距離が、フィルム１０の端部付近における距離よりも大きくなることがある。すなわち、フィルム１０は、幅方向中央部がフィルム対向部１０１に向かって膨らんだ形状となってフィルム支持部材１０１０から離れることがある。多孔質部材１３０ａ，１３０ｂを、中間部１０１Ｍに設けることによって、フィルム１０の幅方向中央部に向かって多孔質部材１３０ａ，１３０ｂから気体を噴出させ、フィルム１０の特に幅方向中央部をフィルム支持面１０１１の方向へ押し戻すようにする。これにより、フィルム１０がフィルム対向部１０１に接触することを効果的に抑制しうる。
【0028】
フィルム１０の搬送方向Ｄと直交する方向において同一の列にある多孔質部材の総長さＬｐ、すなわち、フィルム１０の搬送方向Ｄと直交する方向における、多孔質部材１３０ａの長さＬ１３０ａ及び多孔質部材１３０ｂの長さＬ１３０ｂはそれぞれ、吸気口１２１の長さＬｓの５０％以上である。別の実施形態においては長さＬ１３０ａ、Ｌ１３０ｂはそれぞれ、長さＬｓの、６０％以上、７０％以上、８０％以上、又は９０％以上であり、１００％以下である。
これにより、多孔質部材１３０ａ，１３０ｂは、フィルム１０の幅全体にわたって、フィルム１０をフィルム支持面１０１１の方向へ押し戻しうるので、フィルム１０がフィルム対向部１０１に接触することを効果的に抑制しうる。
これにより、多孔質部材１３０ａ，１３０ｂは、フィルム１０の幅全体にわたって、フィルム１０をフィルム支持面１０１１の方向へ押し戻しうるので、フィルム１０がフィルム対向部１０１に接触することを効果的に抑制しうる。
【0029】
本実施形態では、２本の多孔質部材１３０ａ，１３０ｂの間に、噴気口１１１ａ，１１１ｂ及び吸気口１２１が設けられており、フィルム対向部１０１から見て、フィルム１０の搬送方向Ｄにおいて、多孔質部材１３０ａ、噴気口１１１ａ、吸気口１２１、噴気口１１１ｂ、多孔質部材１３０ｂの順となるように配置されている。このような配置により、多孔質部材１３０ａ，１３０ｂから噴出される気体の流れが、噴気口１１１ａ，１１１ｂから噴出される気体によってフィルム１０の表面１０Ｕから吹き飛ばされた異物がフィルムクリーニング装置１００外部に飛散することを、妨げる。その結果、異物が吸気口１２１に吸引され回収される割合を高くしうる。
【0030】
フィルム支持搬送装置１０００は、フィルム１０を支持し搬送する装置である。フィルム支持搬送装置１０００は、有孔材で形成されたフィルム支持面１０１１を有するフィルム支持部材１０１０と、フィルム支持部材１０１０に接続される圧気装置１０２０とを備える。
【0031】
フィルム支持面１０１１を形成する材料としては、パンチングメタル、多孔質材料などの、フィルム支持面１０１１に開口する材料が挙げられる。パンチングメタルとしては、円状の穴を有するもの、正方形状の穴を有するもの、長方形状の穴を有するもの、六角形状の穴を有するものなど、任意の形状を有する穴のあけられた金属板状体を用いうる。多孔質材料の例としては、多孔質部材１３０ａ，１３０ｂを形成する材料として例示した材料が挙げられる。
【0032】
フィルム支持面１０１１が、多孔質材料で形成されていることにより、以下の利点を有する。
多孔質材料から噴出される気体は、スリットノズルなどから噴出される気体よりも脈動が低減され流速が小さいので、フィルム支持面１０１１とフィルム１０との間に、一定厚みの気体層を容易に形成しうる。そのため、フィルム支持面１０１１とフィルム１１とが接触することを効果的に抑制しうる。
多孔質材料から噴出される気体は、スリットノズルなどから噴出される気体よりも脈動が低減され流速が小さいので、フィルム支持面１０１１とフィルム１０との間に、一定厚みの気体層を容易に形成しうる。そのため、フィルム支持面１０１１とフィルム１１とが接触することを効果的に抑制しうる。
【0033】
フィルム支持面１０１１は、フィルムクリーニング装置１００のフィルム対向部１０１と、搬送されるフィルム１０を挟んで対向している。フィルム支持面１０１１は、曲面であり、フィルム１０の搬送方向の断面形状が円弧状である。
円弧状である断面形状の半径Ｒは、搬送されるフィルム１０の方向転換を容易にする観点から、好ましくは２０ｍｍ以上であり、搬送されるフィルム１０とフィルム支持面１０１１との間隙を大きくすることができ、搬送されるフィルム１０とフィルム支持面１０１１との接触を抑制する観点から、好ましくは２００ｍｍ以下である。フィルム支持面１０１１を、曲面とし、フィルム１０の搬送方向における断面形状を円弧状とすることにより、搬送されるフィルム１０は、断面形状が円弧状の曲面を有する形状となる。フィルム１０を断面形状が円弧状の曲面に保つことで、フィルム支持面１０１１の上におけるフィルム１０は、幅方向の断面二次モーメントを上げることができ、その結果搬送されるフィルム１０は歪みが抑制され搬送後におけるフィルム１０の平面性を向上させることが容易となる。
円弧状である断面形状の半径Ｒは、搬送されるフィルム１０の方向転換を容易にする観点から、好ましくは２０ｍｍ以上であり、搬送されるフィルム１０とフィルム支持面１０１１との間隙を大きくすることができ、搬送されるフィルム１０とフィルム支持面１０１１との接触を抑制する観点から、好ましくは２００ｍｍ以下である。フィルム支持面１０１１を、曲面とし、フィルム１０の搬送方向における断面形状を円弧状とすることにより、搬送されるフィルム１０は、断面形状が円弧状の曲面を有する形状となる。フィルム１０を断面形状が円弧状の曲面に保つことで、フィルム支持面１０１１の上におけるフィルム１０は、幅方向の断面二次モーメントを上げることができ、その結果搬送されるフィルム１０は歪みが抑制され搬送後におけるフィルム１０の平面性を向上させることが容易となる。
【0034】
圧気装置１０２０は、気体を圧送する装置であり、具体例としては、ポンプ、ファン、ブロワー、コンプレッサーが挙げられる。圧気装置１０２０は、フィルム支持部材１０１０に直接又はバルブなどの流量調節手段を介して間接的に接続されて、フィルム支持部材１０１０に気体を圧送する。これにより、フィルム支持部材１０１０のフィルム支持面１０１１から気体が吹き出されて、フィルム１０がフィルム支持面１０１１から離れる。そして、フィルム支持部材１０１０のフィルム支持面１０１１により、気体の層を介してフィルム１０が支持される。
【0035】
フィルム支持搬送装置１０００が、有孔材で形成されたフィルム支持面１０１１を有するフィルム支持部材１０１０を含むことにより、フィルム１０とフィルム支持部材１０１０とを離隔状態で搬送しうる。フィルム支持搬送装置１０００の代わりとして、搬送ローラをフィルム支持搬送装置として用いる場合、フィルム１０に張力を加える張力付与手段が必要となる場合があり、また、搬送ローラにフィルム１０を密着させる密着手段（サクションローラなど）が必要となる場合がある。フィルム１０とフィルム支持部材１０１０とを離隔状態で搬送しうることにより、張力付与手段及び密着手段を設ける必要がなくなり、これら手段によるフィルム１０の欠陥発生を防ぐことができる。
【0036】
フィルム１０を離隔状態で搬送する場合、フィルム１０がフィルムクリーニング装置１００の吸気口１２１に吸引されることにより、フィルム１０のフィルム支持面１０１１からの離隔量が変動する可能性がある。しかし、フィルムクリーニング装置１００が、多孔質部材１３０ａ，１３０ｂを備えることにより、離隔量が変動しても、フィルム１０がフィルムクリーニング装置１００のフィルム対向部１０１に接触することを抑制しうる。
【0037】
フィルム支持部材１０１０から吹き出される気体の流量を、フィルム支持部材１０１０の幅方向にわたって一定としてもよく、フィルム支持部材１０１０の幅方向において、分布を有するようにしてもよい。例えば、フィルム支持部材１０１０の、長手方向における中央部から吹き出される気体の流量と、長手方向における端部から吹き出される気体の流量とを、異なるように調整してもよい。フィルム支持部材１０１０から吹き出される気体の流量の調整は、例えば、（１）フィルム支持部材１０１０を中央部と端部とに区画して、中央部に供給される気体の流量と端部に供給される気体の流量とを調整する方法、（２）フィルム支持部材１０１０のフィルム支持面１０１１を、多孔質材料で形成し、多孔質材料の平均孔径を、中央部と端部とで異なるようにする方法、などが挙げられる。例えば、フィルム支持部材１０１０の中央部から吹き出される気体の流量を、フィルム支持部材１０１０の端部から吹き出される気体の流量よりも小さくするように気体の流量が調整される。
【0038】
離隔状態で搬送されたフィルム１０は、噴気口１１１ａ，１１１ｂから噴出される、超音波振動を付与された気体を吹き付けられて振動する。この際の振動は、フィルム支持面１０１１に接触しながら搬送されるフィルム１０の振動よりも大きい。よって、フィルム支持搬送装置１０００が、有孔材で形成されたフィルム支持面１０１１を有するフィルム支持部材１０１０を含むことにより、効果的にフィルム１０から異物を振るい落としうる。
【0039】
フィルム支持搬送装置として、種々のフィルム支持搬送装置を用いうる。
フィルム支持搬送装置としては、フィルム１０に非接触の状態で搬送する装置を用いうる。
別の実施形態では、フィルム支持搬送装置１０００の代わりとして、気体を噴出させるスリットノズルを備えるフィルム支持装置を用いうる。
また別の実施形態では、フィルム支持搬送装置１０００の代わりとして、磁力又は電磁力によりフィルム１０とフィルム支持面とを離隔状態で搬送する装置を用いうる。
また別の実施形態では、フィルム支持搬送装置１０００の代わりとして、フィルム支持面に超音波振動を与えてフィルム１０とフィルム支持面とを離隔状態で搬送する装置（超音波浮上装置）を用いうる。
フィルム支持搬送装置としては、フィルム１０に非接触の状態で搬送する装置を用いうる。
別の実施形態では、フィルム支持搬送装置１０００の代わりとして、気体を噴出させるスリットノズルを備えるフィルム支持装置を用いうる。
また別の実施形態では、フィルム支持搬送装置１０００の代わりとして、磁力又は電磁力によりフィルム１０とフィルム支持面とを離隔状態で搬送する装置を用いうる。
また別の実施形態では、フィルム支持搬送装置１０００の代わりとして、フィルム支持面に超音波振動を与えてフィルム１０とフィルム支持面とを離隔状態で搬送する装置（超音波浮上装置）を用いうる。
【0040】
フィルム支持搬送装置としては、フィルム１０に接触状態で搬送する装置も用いうる。
別の実施形態では、フィルム支持搬送装置１０００の代わりとして、搬送ローラを用いうる。搬送ローラの表面を形成する材料の例としては、ゴム、及びステンレス鋼などの金属が挙げられる。搬送ローラを用いてフィルム１０を搬送する場合には、フィルム支持搬送装置１０００と比較して、フィルム１０がフィルムクリーニング装置１００のフィルム対向部１０１に接触することは低減される傾向にある。しかし、フィルム支持搬送装置１０００の代わりとして搬送ローラを用いた場合にも、フィルムクリーニング装置１００が多孔質部材１３０ａ，１３０ｂを備えることにより、フィルム１０がフィルムクリーニング装置１００のフィルム対向部１０１に接触することを抑制しうる。さらに、多孔質部材１３０ａ，１３０ｂから噴出する気体の流れが、フィルム１０を搬送ローラに押し付けるので、フィルム１０を搬送する際の搬送ローラのグリップ力が高まり、安定的にフィルム１０を搬送しうる。
別の実施形態では、フィルム支持搬送装置１０００の代わりとして、搬送ローラを用いうる。搬送ローラの表面を形成する材料の例としては、ゴム、及びステンレス鋼などの金属が挙げられる。搬送ローラを用いてフィルム１０を搬送する場合には、フィルム支持搬送装置１０００と比較して、フィルム１０がフィルムクリーニング装置１００のフィルム対向部１０１に接触することは低減される傾向にある。しかし、フィルム支持搬送装置１０００の代わりとして搬送ローラを用いた場合にも、フィルムクリーニング装置１００が多孔質部材１３０ａ，１３０ｂを備えることにより、フィルム１０がフィルムクリーニング装置１００のフィルム対向部１０１に接触することを抑制しうる。さらに、多孔質部材１３０ａ，１３０ｂから噴出する気体の流れが、フィルム１０を搬送ローラに押し付けるので、フィルム１０を搬送する際の搬送ローラのグリップ力が高まり、安定的にフィルム１０を搬送しうる。
【0041】
フィルムクリーニングシステム１５００は、フィルムの中でも、長尺の樹脂フィルムをクリーニングするために好適である。
樹脂フィルムの例としては、熱可塑性樹脂からなるフィルムが挙げられる。熱可塑性樹脂は、重合体を含む。当該重合体としては、脂環式構造含有重合体、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、アクリル重合体、メタクリル重合体、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリスチレン、トリアセチルセルロース、ポリ塩化ビニル、ポリイミド、ポリフェニレンサルファイド、ポリテトラフルオロエチレン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルスルホン、アラミド、及びこれらの組み合わせが挙げられる。これらのうち、透明性、低吸湿性、寸法安定性及び軽量性に優れるという観点から、脂環式構造含有重合体が好ましい。脂環式構造含有重合体としては、ノルボルネン系重合体がより好ましい。
樹脂フィルムの例としては、熱可塑性樹脂からなるフィルムが挙げられる。熱可塑性樹脂は、重合体を含む。当該重合体としては、脂環式構造含有重合体、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、アクリル重合体、メタクリル重合体、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリスチレン、トリアセチルセルロース、ポリ塩化ビニル、ポリイミド、ポリフェニレンサルファイド、ポリテトラフルオロエチレン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルスルホン、アラミド、及びこれらの組み合わせが挙げられる。これらのうち、透明性、低吸湿性、寸法安定性及び軽量性に優れるという観点から、脂環式構造含有重合体が好ましい。脂環式構造含有重合体としては、ノルボルネン系重合体がより好ましい。
【0042】
フィルムは、単層構造を有していてもよく、多層構造を有していてもよい。例えば樹脂フィルムは、熱可塑性樹脂からなる基材フィルムに機能層が設けられている複層フィルムでありうる。機能層の例としては、重合性を有する液晶性化合物、重合開始剤、架橋剤、モノマー、酸化防止剤、界面活性剤などの機能性材料を含む層が挙げられる。
【0043】
［４．第２実施形態］
以下、本発明の第２実施形態に係るフィルムクリーニングシステムを、図３及び図４を用いて説明する。
図３は、第２実施形態に係るフィルムクリーニングシステムの、フィルム搬送方向に平行な方向の断面を、模式的に示す断面図である。
図４は、第２実施形態に係るフィルムクリーニング装置を、フィルム対向部側から見た模式的な下面図である。
以下、本発明の第２実施形態に係るフィルムクリーニングシステムを、図３及び図４を用いて説明する。
図３は、第２実施形態に係るフィルムクリーニングシステムの、フィルム搬送方向に平行な方向の断面を、模式的に示す断面図である。
図４は、第２実施形態に係るフィルムクリーニング装置を、フィルム対向部側から見た模式的な下面図である。
【0044】
フィルムクリーニングシステム２５００は、フィルムクリーニング装置２００とフィルム支持搬送装置１０００とを備える。フィルム支持搬送装置１０００は、第１実施形態のフィルム支持搬送装置１０００と同様であるので、これについての説明を省略する。後述するフィルムクリーニングシステム３５００，４５００の説明においても、フィルム支持搬送装置１０００の説明を省略する。
【0045】
フィルムクリーニング装置２００は、第１実施形態に係るフィルムクリーニング装置１００の多孔質部材１３０ａ，１３０ｂの代わりに、複数の多孔質部材２３０ａ、複数の多孔質部材２３０ｂ、複数の多孔質部材２３０ｃ、及び複数の多孔質部材２３０ｄがフィルム対向部２０１に設けられた装置である。多孔質部材２３０ａ，２３０ｂ，２３０ｃ，２３０ｄはそれぞれ、多孔質部材１３０ａ，１３０ｂと同様に、多孔質材料から形成された部材であり、多孔質部材１３０ａ，１３０ｂを形成する多孔質材料と同様の材料で形成しうる。
【0046】
本実施形態では吸気口１２１からフィルム対向部２０１とフィルム１０との間の気体が吸引される。そのため、吸気口１２１と対向するフィルム１０の位置において、フィルム１０はフィルム対向部２０１に接触しやすい。
吸気口１２１に沿って、複数の多孔質部材２３０ｂ及び複数の多孔質部材２３０ｃを配置することにより、フィルム１０がフィルム対向部２０１に接触することを効果的に抑制しうる。
吸気口１２１に沿って、複数の多孔質部材２３０ｂ及び複数の多孔質部材２３０ｃを配置することにより、フィルム１０がフィルム対向部２０１に接触することを効果的に抑制しうる。
【0047】
図４にしめすように、複数の多孔質部材２３０ａ、複数の多孔質部材２３０ｂ、複数の多孔質部材２３０ｃ、及び複数の多孔質部材２３０ｄはそれぞれ、長手方向が吸気口１２１の長手方向と平行でありかつ噴気口１１１ａ，１１１ｂの長手方向と平行である。複数の多孔質部材２３０ｂは、互いに離間して吸気口１２１の長手方向に沿って、噴気口１１１ａと吸気口１２１との間に一列に、設けられている。複数の多孔質部材２３０ｃは、互いに離間して吸気口１２１の長手方向に沿って、吸気口１２１と噴気口１１１ｂとの間に一列に、設けられている。
【0048】
複数の多孔質部材２３０ａは、互いに離間して噴気口１１１ａの長手方向に沿って一列に設けられている。複数の多孔質部材２３０ｄは、互いに離間して、噴気口１１１ｂの長手方向に沿って一列に設けられている。
【0049】
フィルム１０の搬送方向Ｄと直交する方向、すなわち吸気口１２１の長手方向と平行な方向において、同一の列にある、複数の多孔質部材２３０ａの総長さＬｐ（２３０ａ）は、吸気口１２１の長さＬｓの５０％以上である。同様に、フィルム１０の搬送方向Ｄと直交する方向において同一の列にある、複数の多孔質部材２３０ｂの総長さＬｐ（２３０ｂ）、複数の多孔質部材２３０ｃの総長さＬｐ（２３０ｃ）、及び複数の多孔質部材２３０ｄの総長さＬｐ（２３０ｄ）もそれぞれ、吸気口１２１の長さＬｓの５０％以上である。複数の多孔質部材２３０ａの総長さＬｐ（２３０ａ）、複数の多孔質部材２３０ｂの総長さＬｐ（２３０ｂ）、複数の多孔質部材２３０ｃの総長さＬｐ（２３０ｃ）、及び複数の多孔質部材２３０ｄの総長さＬｐ（２３０ｄ）はそれぞれ、吸気口１２１の長さＬｓの、好ましくは８０％以下であり、それぞれより好ましくは６５％以下である。
【0050】
複数の多孔質部材２３０ｂが互いに離間して設けられていることにより、噴気口１１１ａから吸気口１２１への気流を、多孔質部材２３０ｂから噴出する気体が妨げる程度が小さくなり、吸気口１２１から異物を効率的に取り込むことができる。同様に、複数の多孔質部材２３０ｃが互いに離間して設けられていることにより、噴気口１１１ｂから吸気口１２１への気流を、多孔質部材２３０ｃから噴出する気体が妨げる程度が小さくなり、吸気口１２１から異物を効率的に取り込むことができる。
【0051】
複数の多孔質部材２３０ｂと複数の多孔質部材２３０ｃとは、吸気口１２１の短手方向両側に交互に振り分けられるように配置されている。フィルム対向部２０１から見て、複数の多孔質部材２３０ｂと複数の多孔質部材２３０ｃとは、吸気口１２１の長手方向を軸とした線対称の位置関係ではなく、吸気口１２１の長手方向における中心の点を中心点とした点対称の位置関係を有するように、配置されている。前記のとおり、複数の多孔質部材２３０ｂが互いに離間して設けられ、複数の多孔質部材２３０ｃが互いに離間して設けられていることにより、吸気口１２１から異物を効率的に取り込むことができる。一方、多孔質部材２３０ｂ、２３０ｃが設けられていない、離間した多孔質部材の間の部分は、多孔質部材が設けられた部分と比較して、対向するフィルム１０がフィルム対向部１０１に接触しやすい。複数の多孔質部材２３０ｂと複数の多孔質部材２３０ｃとが、吸気口１２１の両側に交互に振り分けられるように配置されていることにより、フィルム１０がフィルム対向部２０１に接触することを、フィルム１０の幅方向の全体にわたって効果的に抑制しうる。
【0052】
複数の多孔質部材２３０ａと複数の多孔質部材２３０ｄとは、噴気口１１１ａの短手方向両側に交互に振り分けられるように配置されている。また、複数の多孔質部材２３０ａと複数の多孔質部材２３０ｂとは、噴気口１１１ａの短手方向両側に交互に振り分けられるように配置されている。さらに、複数の多孔質部材２３０ｃと複数の多孔質部材２３０ｄとは、噴気口１１１ｂの短手方向両側に交互に振り分けられるように配置されている。
【0053】
したがって、フィルム１０の搬送方向Ｄにおいて、複数の多孔質部材２３０ａ，２３０ｂ，２３０ｃ，２３０ｄ、吸気口１２１、及び噴気口１１１ａ，１１１ｂは以下の（１）又は（２）の順で配置される。
（１）多孔質部材２３０ａ、噴気口１１１ａ、吸気口１２１、多孔質部材２３０ｃ、及び噴気口１１１ｂ
（２）噴気口１１１ａ、多孔質部材２３０ｂ、吸気口１２１、噴気口１１１ｂ、及び多孔質部材２３０ｄ
（１）多孔質部材２３０ａ、噴気口１１１ａ、吸気口１２１、多孔質部材２３０ｃ、及び噴気口１１１ｂ
（２）噴気口１１１ａ、多孔質部材２３０ｂ、吸気口１２１、噴気口１１１ｂ、及び多孔質部材２３０ｄ
【0054】
複数の多孔質部材２３０ａ，２３０ｂ，２３０ｃ，２３０ｄを以上のように噴気口１１１ａ，１１１ｂ又は吸気口１２１の短手方向両側に交互に振り分けて配置することで、以下の利点を有する。
噴気口１１１ａから噴出される気体の一部は、フィルム１０に吹き付けられ、次いで、多孔質部材２３０ｂから噴出される気体の流れに阻まれずに、吸気口１２１により吸引される。噴気口１１１ａから噴出される気体の一部は、フィルム１０に吹き付けられ、吸気口１２１から離れる方向へ流れるが、多孔質部材２３０ａから噴出される気体の流れに阻まれる。そのため、気体に含まれる異物が吸気口１２１に吸引され回収される割合をより高くしうる。
噴気口１１１ｂから噴出される気体の一部は、フィルム１０に吹き付けられ、次いで、多孔質部材２３０ｃに阻まれずに、吸気口１２１により吸引される。噴気口１１１ｂから噴出される気体の一部は、フィルム１０に吹き付けられ、吸気口１２１から離れる方向へ流れるが、多孔質部材２３０ｄから噴出される気体の流れに阻まれる。そのため、気体に含まれる異物が吸気口１２１に吸引され回収される割合をより高くしうる。
噴気口１１１ａから噴出される気体の一部は、フィルム１０に吹き付けられ、次いで、多孔質部材２３０ｂから噴出される気体の流れに阻まれずに、吸気口１２１により吸引される。噴気口１１１ａから噴出される気体の一部は、フィルム１０に吹き付けられ、吸気口１２１から離れる方向へ流れるが、多孔質部材２３０ａから噴出される気体の流れに阻まれる。そのため、気体に含まれる異物が吸気口１２１に吸引され回収される割合をより高くしうる。
噴気口１１１ｂから噴出される気体の一部は、フィルム１０に吹き付けられ、次いで、多孔質部材２３０ｃに阻まれずに、吸気口１２１により吸引される。噴気口１１１ｂから噴出される気体の一部は、フィルム１０に吹き付けられ、吸気口１２１から離れる方向へ流れるが、多孔質部材２３０ｄから噴出される気体の流れに阻まれる。そのため、気体に含まれる異物が吸気口１２１に吸引され回収される割合をより高くしうる。
【0055】
［５．第３実施形態］
以下、本発明の第３実施形態に係るフィルムクリーニングシステムを、図５及び図６を用いて説明する。
図５は、第３実施形態に係るフィルムクリーニングシステムの、フィルム搬送方向に平行な方向の断面を、模式的に示す断面図である。
図６は、第３実施形態に係るフィルムクリーニング装置を、フィルム対向部側から見た模式的な下面図である。
以下、本発明の第３実施形態に係るフィルムクリーニングシステムを、図５及び図６を用いて説明する。
図５は、第３実施形態に係るフィルムクリーニングシステムの、フィルム搬送方向に平行な方向の断面を、模式的に示す断面図である。
図６は、第３実施形態に係るフィルムクリーニング装置を、フィルム対向部側から見た模式的な下面図である。
【0056】
第１実施形態に係るフィルムクリーニング装置１００及び第２実施形態に係るフィルムクリーニング装置２００は、フィルム１０の搬送方向において、第一の気体排出室、吸気室、及び第二の気体排出室の順となるように設けられていたが、第３実施形態に係るフィルムクリーニング装置３００は、フィルム１０の搬送方向において、第一の吸気室、気体排出室、及び第二の吸気室の順となるように設けられている。後述する第４実施形態に係るフィルムクリーニング装置４００も同様である。
【0057】
フィルムクリーニングシステム３５００は、フィルムクリーニング装置３００と、フィルム支持搬送装置１０００とを備える。フィルムクリーニング装置３００は、フィルム１０に対向させるフィルム対向部３０１を有する。フィルムクリーニング装置３００は、図５に示すように、その内部が気体排出室３１０と、吸気室３２０ａ，３２０ｂとに区画されている。気体排出室３１０及び吸気室３２０ａ，３２０ｂは、フィルム１０の搬送方向において、吸気室３２０ａ、気体排出室３１０、及び吸気室３２０ｂの順となるように、配置されている。
【0058】
吸気室３２０ａの、フィルム対向部３０１の側には、フィルム対向部３０１に開口する吸気口３２１ａが設けられている。吸気口３２０ｂの、フィルム対向部３０１の側にも、フィルム対向部３０１に開口する吸気口３２１ｂが設けられている。図６に示すように、吸気口３２１ａ，３２１ｂは、それぞれフィルム１０の搬送方向Ｄと直交する方向に延びており、それぞれ一本の連続するスリット形状を有している。
【0059】
気体排出室３１０の、フィルム対向部３０１の側には、フィルム対向部３０１に開口する噴気口３１１が設けられている。噴気口３１１は、それぞれフィルム１０の搬送方向Ｄと直交する方向に延びており、一本の連続するスリット形状を有している。
気体排出室３１０の内部であって、噴気口３１１の近傍には、超音波発生器３１２ａ，３１２ｂが設けられている。超音波発生器３１２ａ，３１２ｂは、超音波発生器１１２ａ，１１２ｂと同様の機能を有する。
気体排出室３１０の内部であって、噴気口３１１の近傍には、超音波発生器３１２ａ，３１２ｂが設けられている。超音波発生器３１２ａ，３１２ｂは、超音波発生器１１２ａ，１１２ｂと同様の機能を有する。
【0060】
気体排出室３１０には、図示されない圧気装置が、直接又はバルブなどの流量調節手段を介して接続される。吸気室３２０ａ，３２０ｂには、図示されない吸気装置が、直接又はバルブなどの流量調節手段を介して接続される。
これにより、噴気口３１１から気体が噴出して、異物が付着したフィルム１０に吹き付けられ、異物を含んだ気体が、吸気口３２１ａ，３２１ｂから吸い込まれて異物がフィルム１０から取り除かれる。
これにより、噴気口３１１から気体が噴出して、異物が付着したフィルム１０に吹き付けられ、異物を含んだ気体が、吸気口３２１ａ，３２１ｂから吸い込まれて異物がフィルム１０から取り除かれる。
【0061】
フィルム対向部３０１には、図示されない圧気装置に接続されて気体をフィルム１０に向かって噴出させる多孔質部材３３０ａ，３３０ｂが設けられている。
多孔質部材３３０ａ，３３０ｂは、多孔質部材１３０ａ，１３０ｂと同様に、多孔質材料から形成された部材であり、多孔質部材１３０ａ，１３０ｂを形成する多孔質材料と同様の材料で形成しうる。
多孔質部材３３０ａ，３３０ｂは、多孔質部材１３０ａ，１３０ｂと同様に、多孔質材料から形成された部材であり、多孔質部材１３０ａ，１３０ｂを形成する多孔質材料と同様の材料で形成しうる。
【0062】
図６に示すように、多孔質部材３３０ａ，３３０ｂは、フィルム１０の搬送方向Ｄと直交する方向に延びており、多孔質部材３３０ａ，３３０ｂの長手方向はそれぞれ、噴気口３１１の長手方向と平行であり、また吸気口３２１ａ，３２１ｂの長手方向と平行である。また、多孔質部材３３０ａ，３３０ｂは、フィルム対向部３０１の、フィルム１０の搬送方向Ｄと直交する方向における中間部３０１Ｍに設けられている。ここで、中間部３０１Ｍは、フィルム対向部３０１の、フィルム１０の搬送方向Ｄと直交する方向における端部３０１Ｅ，３０１Ｅの間にあって、フィルム１０の搬送方向Ｄと直交する方向における中央３０１Ｃを含む部分である。
【0063】
多孔質部材３３０ａ，３３０ｂを、中間部３０１Ｍに設けることによって、フィルム１０の幅方向中央部に向かって多孔質部材３３０ａ，３３０ｂから気体を噴出させ、フィルム１０の特に幅方向中央部をフィルム支持面１０１１の方向へ押し戻すようにする。これにより、フィルム１０がフィルム対向部３０１に接触することを効果的に抑制しうる。
【0064】
フィルム１０の搬送方向Ｄと直交する方向において同一の列にある多孔質部材の総長さＬｐ、すなわち、フィルム１０の搬送方向Ｄと直交する方向における、多孔質部材３３０ａの長さＬ３３０ａ及び多孔質部材３３０ｂの長さＬ３３０ｂはそれぞれ、吸気口３２１ａ，３２１ｂの長さＬｓの５０％以上である。ここで、吸気口３２１ａの長さと吸気口３２１ｂの長さとは等しくなるように形成されている。別の実施形態においては長さＬ３３０ａ、Ｌ３３０ｂはそれぞれ、長さＬｓの、６０％以上、７０％以上、８０％以上、又は９０％以上であり、１００％以下である。
これにより、多孔質部材３３０ａ，３３０ｂは、フィルム１０の幅全体にわたって、フィルム１０をフィルム支持面１０１１の方向へ押し戻しうるので、フィルム１０がフィルム対向部３０１に接触することを効果的に抑制しうる。
これにより、多孔質部材３３０ａ，３３０ｂは、フィルム１０の幅全体にわたって、フィルム１０をフィルム支持面１０１１の方向へ押し戻しうるので、フィルム１０がフィルム対向部３０１に接触することを効果的に抑制しうる。
【0065】
本実施形態では、２本の多孔質部材３３０ａ，３３０ｂの間に、噴気口３１１及び吸気口３２１ａ，３２１ｂが設けられており、フィルム対向部３０１から見て、フィルム１０の搬送方向Ｄにおいて、多孔質部材３３０ａ、吸気口３２１ａ、噴気口３１１、吸気口３２１ｂ、多孔質部材３３０ｂの順となるように配置されている。このような配置により、多孔質部材３３０ａ，３３０ｂから噴出される気体の流れが、噴気口３１１から噴出される気体によってフィルム１０の表面１０Ｕから吹き飛ばされ多孔質部材３３０ａ，３３０ｂ付近まで運ばれた異物を、吸気口３２１ａ，３２１ｂへ押し戻し、異物がフィルムクリーニング装置３００外部に飛散することを妨げる。その結果、異物が吸気口３２１ａ，３２１ｂに吸引され回収される割合を高くしうる。
【0066】
［６．第４実施形態］
以下、本発明の第４実施形態に係るフィルムクリーニングシステムを、図７及び図８を用いて説明する。
図７は、第４実施形態に係るフィルムクリーニングシステムの、フィルム搬送方向に平行な方向の断面を、模式的に示す断面図である。
図８は、第４実施形態に係るフィルムクリーニング装置を、フィルム対向部側から見た模式的な下面図である。
以下、本発明の第４実施形態に係るフィルムクリーニングシステムを、図７及び図８を用いて説明する。
図７は、第４実施形態に係るフィルムクリーニングシステムの、フィルム搬送方向に平行な方向の断面を、模式的に示す断面図である。
図８は、第４実施形態に係るフィルムクリーニング装置を、フィルム対向部側から見た模式的な下面図である。
【0067】
フィルムクリーニングシステム４５００は、フィルムクリーニング装置４００とフィルム支持搬送装置１０００とを備える。
【0068】
フィルムクリーニング装置４００は、第３実施形態に係るフィルムクリーニング装置３００の多孔質部材３３０ａ，３３０ｂの代わりに、複数の多孔質部材４３０ａ、複数の多孔質部材４３０ｂ、複数の多孔質部材４３０ｃ、及び複数の多孔質部材４３０ｄがフィルム対向部４０１に設けられた装置である。多孔質部材４３０ａ，４３０ｂ，４３０ｃ，４３０ｄはそれぞれ、多孔質部材１３０ａ，１３０ｂと同様に、多孔質材料から形成された部材であり、多孔質部材１３０ａ，１３０ｂを形成する多孔質材料と同様の材料で形成しうる。
【0069】
本実施形態では吸気口３２１ａ，３２１ｂからフィルム対向部４０１とフィルム１０との間の気体が吸引される。そのため、吸気口３２１ａ，３２１ｂと対向するフィルム１０の位置において、フィルム１０はフィルム対向部４０１に接触しやすい。
吸気口３２１ａに沿って、複数の多孔質部材４３０ｂを配置し、吸気口３２１ｂに沿って、複数の多孔質部材４３０ｃを配置することにより、フィルム１０がフィルム対向部４０１に接触することを効果的に抑制しうる。
吸気口３２１ａに沿って、複数の多孔質部材４３０ｂを配置し、吸気口３２１ｂに沿って、複数の多孔質部材４３０ｃを配置することにより、フィルム１０がフィルム対向部４０１に接触することを効果的に抑制しうる。
【0070】
図８に示すように、複数の多孔質部材４３０ａ、複数の多孔質部材４３０ｂ、複数の多孔質部材４３０ｃ、及び複数の多孔質部材４３０ｄはそれぞれ、長手方向が吸気口３２１ａ，３２１ｂの長手方向と平行でありかつ噴気口３１１の長手方向と平行である。複数の多孔質部材４３０ｂは、互いに離間して吸気口３２１ａの長手方向に沿って、吸気口３２１ａと噴気口３１１との間に一列に、設けられている。複数の多孔質部材４３０ｃは、互いに離間して吸気口３２１ｂの長手方向に沿って、噴気口３１１と吸気口３２１ｂとの間に一列に、設けられている。
【0071】
複数の多孔質部材４３０ａは、互いに離間して吸気口３２１ａの長手方向に沿って一列に設けられている。複数の多孔質部材４３０ｄは、互いに離間して、吸気口３２１ｂの長手方向に沿って一列に設けられている。
複数の多孔質部材４３０ａ又は複数の多孔質部材４３０ｄを、互いに離間するように設けることにより以下の利点を有する。
複数の多孔質部材４３０ａ又は複数の多孔質部材４３０ｄから噴出する気体により、フィルム１０をフィルム支持面１０１１へ向かって幅方向全体にわたって略均等に押し戻すことができるので、フィルム１０がフィルム対向部４０１に接触することをフィルム１０の幅方向全体にわたって効果的に抑制しうる。さらに、多孔質部材一本のみを、吸気口３２１ａ又は吸気口３２１ｂの長手方向にわたって連続的に設ける場合と比較して、使用する圧縮空気量を減らすことができる。
複数の多孔質部材４３０ａ又は複数の多孔質部材４３０ｄを、互いに離間するように設けることにより以下の利点を有する。
複数の多孔質部材４３０ａ又は複数の多孔質部材４３０ｄから噴出する気体により、フィルム１０をフィルム支持面１０１１へ向かって幅方向全体にわたって略均等に押し戻すことができるので、フィルム１０がフィルム対向部４０１に接触することをフィルム１０の幅方向全体にわたって効果的に抑制しうる。さらに、多孔質部材一本のみを、吸気口３２１ａ又は吸気口３２１ｂの長手方向にわたって連続的に設ける場合と比較して、使用する圧縮空気量を減らすことができる。
【0072】
フィルム１０の搬送方向Ｄと直交する方向、すなわち吸気口３２１ａ，３２１ｂの長手方向と平行な方向において、同一の列にある、複数の多孔質部材４３０ａの総長さＬｐ（４３０ａ）は、吸気口３２１ａ，３２１ｂの長さＬｓの５０％以上である。同様に、フィルム１０の搬送方向Ｄと直交する方向において同一の列にある、複数の多孔質部材４３０ｂの総長さＬｐ（４３０ｂ）、複数の多孔質部材４３０ｃの総長さＬｐ（４３０ｃ）、及び複数の多孔質部材４３０ｄの総長さＬｐ（４３０ｄ）もそれぞれ、吸気口３２１ａ，３２１ｂの長さＬｓの５０％以上である。複数の多孔質部材４３０ａの総長さＬｐ（４３０ａ）、複数の多孔質部材４３０ｂの総長さＬｐ（４３０ｂ）、複数の多孔質部材４３０ｃの総長さＬｐ（４３０ｃ）、及び複数の多孔質部材４３０ｄの総長さＬｐ（４３０ｄ）はそれぞれ、吸気口３２１ａ，３２１ｂの長さＬｓの、好ましくは８０％以下であり、それぞれより好ましくは６５％以下である。
【0073】
複数の多孔質部材４３０ｂが互いに離間して設けられていることにより、噴気口３１１から吸気口３２１ａへの気流を、多孔質部材４３０ｂから噴出する気体が妨げる程度が小さくなり、吸気口３２１ａから異物を効率的に取り込むことができる。同様に、複数の多孔質部材４３０ｃが互いに離間して設けられていることにより、噴気口３１１から吸気口３２１ｂへの気流を、多孔質部材４３０ｃから噴出する気体が妨げる程度が小さくなり、吸気口３２１ｂから異物を効率的に取り込むことができる。
【0074】
複数の多孔質部材４３０ｂと複数の多孔質部材４３０ｃとは、噴気口３１１の短手方向両側に交互に振り分けられるように配置されている。フィルム対向部４０１から見て、複数の多孔質部材４３０ｂと複数の多孔質部材４３０ｃとは、噴気口３１１の長手方向を軸とした線対称の位置関係ではなく、噴気口３１１の長手方向における中心の点を中心点とした点対称の位置関係を有するように、配置されている。前記のとおり、複数の多孔質部材４３０ｂが互いに離間して設けられ、複数の多孔質部材４３０ｃが互いに離間して設けられていることにより、吸気口３２１ａ，３２１ｂから異物を効率的に取り込むことができる。一方、多孔質部材４３０ｂ、４３０ｃが設けられていない、離間した多孔質部材の間の部分は、多孔質部材が設けられた部分と比較して、対向するフィルム１０がフィルム対向部４０１に接触しやすい。複数の多孔質部材４３０ｂと複数の多孔質部材４３０ｃとが、噴気口３１１の両側に交互に振り分けられるように配置されていることにより、フィルム１０がフィルム対向部４０１に接触することを、フィルム１０の幅方向の全体にわたって効果的に抑制しうる。
【0075】
複数の多孔質部材４３０ａと複数の多孔質部材４３０ｄとは、噴気口３１１の短手方向両側に交互に振り分けられるように配置されている。また、複数の多孔質部材４３０ａと複数の多孔質部材４３０ｂとは、吸気口３２１ａの短手方向両側に交互に振り分けられるように配置されている。さらに、複数の多孔質部材４３０ｃと複数の多孔質部材４３０ｄとは、吸気口３２１ｂの短手方向両側に交互に振り分けられるように配置されている。
【0076】
したがって、フィルム１０の搬送方向Ｄにおいて、複数の多孔質部材４３０ａ，４３０ｂ，４３０ｃ，４３０ｄ、吸気口３２１ａ，３２１ｂ、及び噴気口３１１は、以下の（１）又は（２）の順で配置される。
（１）多孔質部材４３０ａ、吸気口３２１ａ、噴気口３１１、多孔質部材４３０ｃ、及び吸気口３２１ｂ
（２）吸気口３２１ａ、多孔質部材４３０ｂ、噴気口３１１、吸気口３２１ｂ、及び多孔質部材４３０ｄ
（１）多孔質部材４３０ａ、吸気口３２１ａ、噴気口３１１、多孔質部材４３０ｃ、及び吸気口３２１ｂ
（２）吸気口３２１ａ、多孔質部材４３０ｂ、噴気口３１１、吸気口３２１ｂ、及び多孔質部材４３０ｄ
【0077】
複数の多孔質部材４３０ａ，４３０ｂ，４３０ｃ，４３０ｄを以上のように噴気口３１１又は吸気口３２１ａ，３２１ｂの短手方向両側に交互に振り分けて配置することで、以下の利点を有する。
噴気口３１１から噴出される気体の一部は、フィルム１０に吹き付けられ、次いで多孔質部材４３０ｂから噴出される気体の流れに阻まれずに、吸気口３２１ａに吸引される。噴気口３１１から噴出される気体の一部は、フィルム１０に吹き付けられ、次いで多孔質部材４３０ｃから噴出される気体の流れに阻まれずに、吸気口３２１ｂに吸引される。そのため、異物が吸気口３２１ａ，３２１ｂに吸引され回収される割合をより高くしうる。
噴気口３１１から噴出される気体の一部は、フィルム１０に吹き付けられ、次いで多孔質部材４３０ｂから噴出される気体の流れに阻まれずに、吸気口３２１ａに吸引される。噴気口３１１から噴出される気体の一部は、フィルム１０に吹き付けられ、次いで多孔質部材４３０ｃから噴出される気体の流れに阻まれずに、吸気口３２１ｂに吸引される。そのため、異物が吸気口３２１ａ，３２１ｂに吸引され回収される割合をより高くしうる。
【0078】
［７．第４実施形態の変形例］
第４実施形態では、多孔質部材４３０ａ，４３０ｄは、それぞれ吸気口３２１ａ，３２１ｂに沿って複数本設けられているが、変形例では、複数の多孔質部材４３０ａの代わりに、第３実施形態の多孔質部材３３０ａを設けてもよく、複数の多孔質部材４３０ｄの代わりに、第３実施形態の多孔質部材３３０ｂを設けてもよい。
これにより、多孔質部材３３０ａ，３３０ｂから噴出される気体の流れが、３３０ａ，３３０ｂ付近まで運ばれた異物を吸気口３２１ａ，３２１ｂへ押し戻し、異物がフィルムクリーニング装置の外部に飛散することを妨げる。その結果、異物が吸気口３２１ａ，３２１ｂに吸引され回収される割合を高くしうる。
第４実施形態では、多孔質部材４３０ａ，４３０ｄは、それぞれ吸気口３２１ａ，３２１ｂに沿って複数本設けられているが、変形例では、複数の多孔質部材４３０ａの代わりに、第３実施形態の多孔質部材３３０ａを設けてもよく、複数の多孔質部材４３０ｄの代わりに、第３実施形態の多孔質部材３３０ｂを設けてもよい。
これにより、多孔質部材３３０ａ，３３０ｂから噴出される気体の流れが、３３０ａ，３３０ｂ付近まで運ばれた異物を吸気口３２１ａ，３２１ｂへ押し戻し、異物がフィルムクリーニング装置の外部に飛散することを妨げる。その結果、異物が吸気口３２１ａ，３２１ｂに吸引され回収される割合を高くしうる。
【符号の説明】
【0079】
１０ フィルム
１０Ｕ 表面
１００ フィルムクリーニング装置
１０１ フィルム対向部
１０１Ｍ 中間部
１０１Ｅ 端部
１０１Ｃ 中央
１１０ａ，１１０ｂ 気体排出室
１１１ａ，１１１ｂ 噴気口
１１２ａ，１１２ｂ 超音波発生器
１２０ 吸気室
１２１ 吸気口
１３０ａ，１３０ｂ 多孔質部材
２００ フィルムクリーニング装置
２０１ フィルム対向部
２３０ａ，２３０ｂ，２３０ｃ，２３０ｄ 多孔質部材
３００ フィルムクリーニング装置
３０１ フィルム対向部
３０１Ｍ 中間部
３０１Ｅ 端部
３０１Ｃ 中央
３１０ 気体排出室
３１１ 噴気口
３１２ａ，３１２ｂ 超音波発生器
３２０ａ，３２０ｂ 吸気室
３２１ａ，３２１ｂ 吸気口
３３０ａ，３３０ｂ 多孔質部材
４００ フィルムクリーニング装置
４０１ フィルム対向部
４３０ａ，４３０ｂ，４３０ｃ，４３０ｄ 多孔質部材
１０００ フィルム支持搬送装置
１０１０ フィルム支持部材
１０１１ フィルム支持面
１０２０ 圧気装置
１５００，２５００，３５００，４５００ フィルムクリーニングシステム
１０Ｕ 表面
１００ フィルムクリーニング装置
１０１ フィルム対向部
１０１Ｍ 中間部
１０１Ｅ 端部
１０１Ｃ 中央
１１０ａ，１１０ｂ 気体排出室
１１１ａ，１１１ｂ 噴気口
１１２ａ，１１２ｂ 超音波発生器
１２０ 吸気室
１２１ 吸気口
１３０ａ，１３０ｂ 多孔質部材
２００ フィルムクリーニング装置
２０１ フィルム対向部
２３０ａ，２３０ｂ，２３０ｃ，２３０ｄ 多孔質部材
３００ フィルムクリーニング装置
３０１ フィルム対向部
３０１Ｍ 中間部
３０１Ｅ 端部
３０１Ｃ 中央
３１０ 気体排出室
３１１ 噴気口
３１２ａ，３１２ｂ 超音波発生器
３２０ａ，３２０ｂ 吸気室
３２１ａ，３２１ｂ 吸気口
３３０ａ，３３０ｂ 多孔質部材
４００ フィルムクリーニング装置
４０１ フィルム対向部
４３０ａ，４３０ｂ，４３０ｃ，４３０ｄ 多孔質部材
１０００ フィルム支持搬送装置
１０１０ フィルム支持部材
１０１１ フィルム支持面
１０２０ 圧気装置
１５００，２５００，３５００，４５００ フィルムクリーニングシステム
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】