特開2023-46883基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム

発明の名称　基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム

出願人　株式会社ＫＯＫＵＳＡＩ　ＥＬＥＣＴＲＩＣ　（識別番号 318009126）

　　　　特許公開件数ランキング 413 位（67件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 427 位（55件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-46883

公報発行日　2023年4月5

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-46883

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特開-2023-46883「基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録