特開 2023-48802 シート剥離装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023048802

(43)【公開日】2023-04-07

(54)【発明の名称】シート剥離装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20230331BHJP

   B65H 41/00 20060101ALI20230331BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

B65H41/00 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021158329

(22)【出願日】2021-09-28

(71)【出願人】

【識別番号】000151494

【氏名又は名称】株式会社東京精密

(74)【代理人】

【識別番号】100169960

【弁理士】

【氏名又は名称】清水 貴光

(72)【発明者】

【氏名】青木 仁

(72)【発明者】

【氏名】木▲崎▼ 清貴

(72)【発明者】

【氏名】森田 由希

(72)【発明者】

【氏名】住谷 亮輔

【テーマコード（参考）】

3F108

5F131

【Ｆターム（参考）】

3F108JA05

5F131AA02

5F131BA53

5F131CA09

5F131CA53

5F131DA33

5F131DA42

5F131EA07

5F131EA22

5F131EB01

5F131EB73

5F131EB81

5F131EC37

5F131EC62

5F131EC63

5F131EC64

5F131EC69

5F131EC72

5F131EC76

5F131EC77

(57)【要約】

【課題】被着体にダメージを与えることなく且つ保護シートを被着体から安定して剥離させるシート剥離装置を提供する。
【解決手段】シート剥離装置１は、被着体Ｗを保持して所定の移動方向に移動可能な搬送テーブル２と、剥離テープＴを保護シートＳに接着させるヒートスタンプ４１と、を備え、ヒートスタンプ４１は、剥離テープＴにそれぞれ接触して剥離テープＴを保護シートＳに向けて押圧する複数のスタンプヘッド４３、４４、４５を備えている。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被着体に貼付された保護シートに剥離テープを介して剥離力を付与して、前記保護シートを剥離するシート剥離装置であって、
前記被着体を保持して所定の移動方向に移動可能な搬送手段と、
前記剥離テープを前記保護シートに接着させる接着手段と、
を備え、
前記接着手段は、前記剥離テープにそれぞれ接触して前記剥離テープを前記保護シートに向けて押圧する複数のスタンプヘッドを備えていることを特徴とするシート剥離装置。

【請求項2】

前記複数のスタンプヘッドは、前記移動方向において互いに離間して設けられていることを特徴とする請求項１に記載のシート剥離装置。

【請求項3】

前記複数のスタンプヘッドは、前記移動方向に対して垂直な幅方向において互いに離間して設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載のシート剥離装置。

【請求項4】

前記複数のスタンプヘッドは、前記保護シートの周縁に沿って配置されていることを特徴とする請求項３に記載のシート剥離装置。

【請求項5】

各スタンプヘッドの前記剥離テープに接触する接触面は、略同一面積に設定されていることを特徴とする請求項４に記載のシート剥離装置。

【請求項6】

前記複数のスタンプヘッドのうち前記移動方向の前端に配置されたスタンプヘッドの前記剥離テープに接触する接触面は、前記移動方向の前方から後方に向かって漸次拡幅して形成されていることを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載のシート剥離装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、被着体に貼付された保護シートを剥離するシート剥離装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

半導体製造分野では、シリコンウェハ等の半導体基板（以下、「被着体」という）の裏面を研削して薄くする工程があり、その工程では被着体の表面に粘着フィルム等から成る保護シートを貼り付けて、被着体の表面に形成されたデバイスを保護している。

【0003】

被着体に貼付された保護シートを剥離するシート剥離装置として、被着体に貼付された保護シートの端部に剥離テープを接着し、被着体を剥離テープに対して相対的に移動させることにより、剥離テープに剥離力を作用させて保護シートを被着体から剥離させる装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開平１１－１６８６２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、特許文献１記載の装置では、剥離テープが大面積で保護シートと接着している場合、剥離テープと保護シートとの間の粘着力が過度に大きくなることがあり、剥離テープが保護シートを上方に引っ張って被着体から剥離させると、被着体が保護シートに追従するように大きく跳ね上がることがあり、被着体に割れ等のダメージを与える虞がある。

【0006】

一方、剥離テープが小面積で保護シートと接触している場合、剥離テープが保護シートに作用させる張力が剥離テープと保護シートとの粘着力に比べて大きく、剥離テープが保護シートから外れてしまう虞があった。

【0007】

そこで、被着体にダメージを与えることなく且つ保護シートを被着体から安定して剥離させるために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記目的を達成するために、本発明に係るシート剥離装置は、被着体に貼付された保護シートに剥離テープを介して剥離力を付与して、前記保護シートを剥離するシート剥離装置であって、前記被着体を保持して所定の移動方向に移動可能な搬送手段と、前記剥離テープを前記保護シートに接着させる接着手段と、を備え、前記接着手段は、前記剥離テープにそれぞれ接触して前記剥離テープを前記保護シートに向けて押圧する複数のスタンプヘッドを備えている。

【0009】

この構成によれば、接着手段の下面全面に亘って剥離テープと保護シートとを接着して剥離テープと保護シートとの接着力が過度に大きくなる場合と比べて、複数のスタンプヘッドが互いに離間した位置で剥離テープを保護シートにそれぞれ接着することにより、剥離テープと保護シートとの粘着力が低減されて、剥離テープを保護シートから剥離させる際に、被着体が保護シートに追従するように大きく跳ね上がることを抑制できる。

【0010】

さらに、複数のスタンプヘッドが互いに離間した位置で剥離テープを保護シートにそれぞれ接着することにより、剥離テープが保護シートに作用させる張力が剥離テープと保護シートとの接着力を上回り、剥離テープの一部が保護シートから外れた場合であっても、剥離テープの他の部分において剥離テープが保護シートに強固に接着された状態が維持されるため、剥離テープ全体が保護シートから剥離することを抑制できる。

【発明の効果】

【0011】

本発明は、被着体にダメージを与えることなく、保護シートを被着体から安定して剥離させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明の一実施形態に係るシート剥離装置を示す斜視図。

【図2】シート剥離装置の側面図。

【図3】（ａ）は最縮状態のシリンダを備えている貼付手段を示す斜視図であり、（ｂ）最伸状態のシリンダを備えている貼付手段を示す斜視図である。

【図4】（ａ）はヒートスタンプを示す斜視図であり、（ｂ）はヒートスタンプを示す底面図である。

【図5】保護シートを剥離する手順を示す模式図。

【図6】本発明の第１の変形例に係るシート剥離装置のヒートスタンプを示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は底面図である。

【図7】本発明の第２の変形例に係るシート剥離装置のヒートスタンプを示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は底面図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

本発明の実施形態について図面に基づいて説明する。なお、以下では、構成要素の数、数値、量、範囲等に言及する場合、特に明示した場合及び原理的に明らかに特定の数に限定される場合を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも構わない。

【0014】

また、構成要素等の形状、位置関係に言及するときは、特に明示した場合及び原理的に明らかにそうでないと考えられる場合等を除き、実質的にその形状等に近似又は類似するもの等を含む。

【0015】

また、図面は、特徴を分かり易くするために特徴的な部分を拡大する等して誇張する場合があり、構成要素の寸法比率等が実際と同じであるとは限らない。

【0016】

図１は、シート剥離装置１の斜視図である。図２は、シート剥離装置１の側面図である。シート剥離装置１は、被着体Ｗの裏面研削を行うにあたって被着体Ｗの表面を保護するために粘着された保護シートＳ（ＢＧテープ）を剥離するものである。被着体Ｗは、例えば、シリコンウェハ等の半導体基板であるが、これに限定されるものではない。

【0017】

被着体Ｗは、保護シートＳを上面側にした状態でダイシングテープＤＴを介してリングフレームＲＦにマウントされたものである。ダイシングテープＤＴは、紫外線硬化テープ等である。

【0018】

シート剥離装置１は、被着体Ｗを載置する搬送テーブル２を備えている。搬送テーブル２の上面側には、吸着面２１が設けられている。

【0019】

吸着面２１は、図示しない真空源又は圧縮空気源に接続されている。真空源が起動すると、吸着面２１に載置された被着体Ｗが吸着面２１に吸着保持される。また、圧縮空気源が起動すると、被着体Ｗと吸着面２１との吸着が解除される。

【0020】

搬送テーブル２は、図示しない移動手段を介して移動方向Ｄ１に移動可能に設けられている。なお、搬送テーブル２の移動速度は任意に変更可能であり、例えば、被着体Ｗを損傷することなく、保護シートＳの剥離に要する時間を短縮するために、保護シートＳの剥離初期では低速にし、保護シートＳの剥離がある程度進行した後には高速にしても構わない。

【0021】

シート剥離装置１は、帯状の剥離テープＴを繰り出し可能な繰出手段３を備えている。繰出手段３は、送りローラー３１と、巻取ローラー３２と、第１～第４のガイドローラー３３～３６と、ナイフエッジ３７と、を備えている。

【0022】

送りローラー３１は、帯状の剥離テープＴを繰り出し可能に支持している。巻取ローラー３２は、剥離テープＴに繰出力を付与して巻き取る。第１～第４のガイドローラー３３～３６及びナイフエッジ３７は、剥離テープＴに張力を作用させるとともに剥離テープＴの軌道を規制するように適当な位置に配置されている。

【0023】

シート剥離装置１は、剥離テープＴを保護シートＳに貼着する貼付手段４を備えている。貼付手段４は、図３（ａ）、（ｂ）に示すように、アクチュエータ４１と、接着手段としてのヒートスタンプ４２と、を備えている。

【0024】

アクチュエータ４１は、例えば圧縮空気で駆動するエアシリンダである。アクチュエータ４１は、フレーム４１ａと、ヒートスタンプ４２が下端に設けられてフレーム４１ａに対して進退移動可能なロッド４１ｂと、を備えている。

【0025】

図４（ａ）、（ｂ）に示すように、ヒートスタンプ４２の下面には、スタンプヘッド４３、４４、４５が形成されている。スタンプヘッド４３、４４、４５は、所定温度に昇温された状態で剥離テープＴに押し付けられることにより、剥離テープＴと保護シートＳとを溶着させる。すなわち、ヒートスタンプ４２は、剥離テープＴへの投影面積全体で剥離テープＴに接触するのではなく、スタンプヘッド４３、４４、４５の各下面（接触面４３ａ、４４ａ、４５ａ）でのみ剥離テープＴに接触する。

【0026】

スタンプヘッド４３、４４、４５は、移動方向Ｄ１の前方から後方に向かってこの順に僅かに隙間を空けて設けられている。また、接触面４３ａ、４４ａ、４５ａは、下面から視て短辺が移動方向Ｄ１と平行で、かつ長辺が移動方向Ｄ１に直交する幅方向Ｄ２に沿った略長方形状にそれぞれ形成されている。スタンプヘッド４３、４４、４５の幅は、略同一に設定されている。また、スタンプヘッド４３、４４、４５の長さは、この順で長く設定されている。すなわち、接触面４３ａ、４４ａ、４５ａは、この順で面積が広くなっている。

【0027】

なお、スタンプヘッド４３、４４、４５は、単一のヒートスタンプ４２に設けられたものに限定されず、複数のヒートスタンプにそれぞれ設けられても構わない。また、剥離テープＴと保護シートＳとを溶着させるスタンプヘッドの数は、２個であっても、４個以上であっても構わない。また、接触面４３ａ、４４ａ、４５ａの形状は、上述したものに限定されないことは言うまでもない。また、スタンプヘッド４３、４４、４５は、幅方向Ｄ２において連続したものに限らず、幅方向Ｄ２において互いに離間して配置されても構わない。

【0028】

シート剥離装置１は、規制手段としての規制ローラー５を備えている。規制ローラー５の長さは、被着体Ｗの直径より大きく設定される。規制ローラー５は、保護シートＳが剥離し始める位置（剥離開始位置）の略上方に約２～３ｍｍ程度離間して配置されている。規制ローラー５は、剥離テープＴの繰出をスムーズに行えるように、図示しない略水平に取り付けられた支持軸回りに回転自在に設けられている。

【0029】

規制ローラー５の表面（ガイド面５１）には、剥離テープＴが不用意に付着しないよう、例えば、ガイド面５１をフッ素樹脂でコーティングしたり、ガイド面５１にローレット加工を施すのが好ましい。これにより、剥離テープＴの繰出をスムーズに行うことができる。

【0030】

なお、規制手段は、上述した形態に限定されるものではなく、例えば、滑りの良い円弧状のガイド面を備えた扇形柱を用いて、剥離テープＴの撓みを押えこむように撓み方向を規制するものであっても構わない。

【0031】

また、ガイド面５１の滑りが良く、剥離テープＴの繰出をスムーズに行えるのであれば、支持軸回りに回転不能に構成し、剥離テープＴをガイド面５１上で摺動させるように構成されても構わない。

【0032】

次に、シート剥離装置１の動作について、図面に基づいて説明する。図５は、保護シートＳを剥離する手順を示す図である。

【0033】

まず、厚み約２０μｍ、直径約４００ｍｍの被着体Ｗを搬送テーブル２に吸着させた後に、図５（ａ）に示すように、ヒートスタンプ４２の下方に被着体Ｗの外周部が配置されるように、搬送テーブル２を移動させる。

【0034】

次に、図５（ｂ）に示すように、ロッド４１ｂが全伸してヒートスタンプ４２を降下させ、スタンプヘッド４３、４４、４５が剥離テープＴに接触して１８０℃のスタンプ温度で加熱・押圧することにより、剥離テープＴと保護シートＳとが、接触面４３ａ、４４ａ、４５ａでそれぞれ溶着される。剥離テープＴと保護シートＳとの溶着範囲は、接触面４３ａ、４４ａ、４５ａの形状に応じて設定される。すなわち、スタンプヘッド４３による溶着範囲は、スタンプヘッド４４による溶着範囲より小さく、スタンプヘッド４４による溶着範囲は、スタンプヘッド４５による溶着範囲より小さい。

【0035】

次に、図５（ｃ）に示すように、ロッド４１ｂが全縮してヒートスタンプ４２を上昇させた後に、図５（ｄ）に示すように、剥離開始位置を規制ローラー５に接近させるように（図５（ｄ）の紙面左側に向けて）、搬送テーブル２を移動させる。剥離テープＴは、剥離開始位置より搬送テーブル２の進行方向の前方側に膨らむような側面から視て横向きの略Ｕ字状に撓む。

【0036】

次に、図５（ｅ）に示すように、搬送テーブル２をさらに移動させると、規制ローラー５が剥離テープＴに接触して、規制ローラー５が剥離テープＴの撓みを略垂直方向に、換言すれば、剥離テープＴと保護シートＳとで成す角度が小さくなるように、規制ローラー５が、剥離テープＴの撓みを押え込む。

【0037】

次に、図５（ｆ）に示すように、搬送テーブル２をさらに移動させると、剥離テープＴに作用する張力によって、剥離テープＴの撓みが略垂直方向に押し込まれたまま、保護シートＳを被着体Ｗから剥離する剥離力が保護シートＳに作用する。なお、保護シートＳが剥離し始める際の搬送テーブル２の移動速度は、例えば１ｍｍ／ｓに設定される。

【0038】

搬送テーブル２がさらに移動すると、保護シートＳが被着体Ｗから剥離し始める。具体的には、まず、保護シートＳの外周部が被着体Ｗから剥離する直前では、剥離テープＴが規制ローラー５に接触することで下方に押え込まれるため、剥離テープＴと保護シートＳとで成す角度が小さい状態で撓んでいる。

【0039】

その後、搬送テーブル２が移動すると、保護シートＳが被着体Ｗから剥離される。保護シートＳの剥離は、保護シートＳのうちスタンプヘッド４３によって剥離テープＴが溶着された位置から開始する。その後、搬送テーブル２の移動に伴って、保護シートＳが被着体Ｗから徐々に剥離される。

【0040】

ところで、剥離テープＴが保護シートＳに作用させる張力が、剥離テープＴと保護シートＳとの粘着力を上回ると、剥離テープＴが保護シートＳから外れてしまうことがある。

【0041】

例えば、スタンプヘッド４３によって小面積で溶着された領域では、剥離テープＴと保護シートＳとの粘着力が相対的に小さく、剥離テープＴが保護シートＳに作用させる単位面積当たりの張力が大きくなりがちで、剥離テープＴが保護シートＳから外れてしまう虞がある。

【0042】

しかしながら、スタンプヘッド４３の移動方向Ｄ１の後方に位置するスタンプヘッド４４、４５がより広面積で剥離テープＴと保護シートＳとを溶着することにより、剥離テープＴが保護シートＳに作用させる単位面積当たりの張力が小さくなるため、スタンプヘッド４４、４５によって溶着された領域では剥離テープＴと保護シートＳとが溶着された状態を維持することができる。

【0043】

さらに、剥離テープＴと保護シートＳとが溶着される範囲は、ヒートスタンプ４２の剥離テープＴへの投影面積のうち接触面４３ａ、４４ａ、４５ａに限定されるため、剥離テープＴが過度に広範囲で圧着硬化することに起因して薄い被着体Ｗが跳ね上がるように割れることを抑制できる。

【0044】

そして、図５（ｆ）に示すように、被着体Ｗの外周部の保護シートＳが完全に剥離した後には、搬送テーブル２をさらに移動させて、保護シートＳ全面を被着体Ｗから剥離させる。

【0045】

このようにして、本実施形態に係るシート剥離装置１は、被着体Ｗに貼付された保護シートＳに剥離テープＴを介して剥離力を付与して、保護シートＳを剥離するシート剥離装置１であって、被着体Ｗを保持して所定の移動方向Ｄ１に移動可能な搬送テーブル２と、剥離テープＴを保護シートＳに溶着させるヒートスタンプ４２と、を備え、ヒートスタンプ４２は、剥離テープＴにそれぞれ接触して剥離テープＴを保護シートＳに向けて押圧する複数のスタンプヘッド４３、４４、４５を備えているという構成とした。

【0046】

この構成によれば、ヒートスタンプ４２の下面全面に亘って剥離テープＴと保護シートＳとを溶着して剥離テープＴと保護シートＳとの粘着力が過度に大きくなる場合と比べて、複数のスタンプヘッド４３、４４、４５が互いに離間した位置で剥離テープＴを保護シートＳにそれぞれ溶着することにより、剥離テープＴと保護シートＳとの粘着力が低減されて、剥離テープＴを保護シートＳから剥離させる際に、被着体Ｗが保護シートＳに追従するように大きく跳ね上がることを抑制できる。

【0047】

さらに、複数のスタンプヘッド４３、４４、４５が互いに離間した位置で剥離テープＴを保護シートＳにそれぞれ溶着することにより、剥離テープＴが保護シートＳに作用させる張力が剥離テープＴと保護シートＳとの粘着力を上回り、剥離テープＴの一部が保護シートＳから外れた場合であっても、剥離テープＴの他の部分において剥離テープＴが保護シートＳに強固に溶着された状態が維持されるため、剥離テープＴ全体が保護シートＳから剥離することを抑制できる。

【0048】

また、本実施形態に係るシート剥離装置１は、スタンプヘッド４３、４４、４５が、移動方向Ｄ１において互いに離間して設けられているという構成とした。

【0049】

この構成によれば、剥離テープＴのうち移動方向Ｄ１の前方に位置する部分において剥離テープＴが保護シートＳから外れた場合であっても、剥離テープＴのうち移動方向Ｄ１の後方に位置する部分では剥離テープＴが保護シートＳに強固に溶着された状態が維持されるため、搬送テーブル２の移動に伴って保護シートＳを被着体Ｗから確実に剥離させることができる。

【0050】

なお、接着手段は、ヒートスタンプ４２に限定されるものではなく、剥離テープＴを保護シートＳに接着可能なものであれば如何なるものであっても構わない。また、ヒートスタンプ４２は、上述した下方から視て略長方形状のスタンプヘッド４３、４４、４５を備えている構成に限定されるものではない。

【0051】

例えば、図６（ａ）、（ｂ）に示すように、下面に複数のスタンプヘッド４６が設けられたヒートスタンプ４２であっても構わない。スタンプヘッド４６は、所定温度に昇温された状態で剥離テープＴに押し付けられることにより、剥離テープＴと保護シートＳとを溶着させる。

【0052】

複数のスタンプヘッド４６は、移動方向Ｄ１及び幅方向Ｄ２において互いに離間して配置されている。スタンプヘッド４６の下面（接触面４６ａ）は、下面から視て略円形状に形成されている。したがって、接触面４６ａは、移動方向Ｄ１において前方端から後方に向かって漸次拡幅して形成されている。

【0053】

また、スタンプヘッド４６のうち最外周に配置されたスタンプヘッド４６は、被着体Ｗの周縁に対向するように配置されている。なお、図６（ｂ）では、接触面４６ａが略同一面積に設定されているが、例えば、移動方向Ｄ１の前方から後方に向かって、接触面４６ａが徐々に拡大するように形成されても構わない。

【0054】

このようにして、本発明の第１の変形例に係るシート剥離装置１は、被着体Ｗに貼付された保護シートＳに剥離テープＴを介して剥離力を付与して、保護シートＳを剥離するシート剥離装置１であって、被着体Ｗを保持して所定の移動方向Ｄ１に移動可能な搬送テーブル２と、剥離テープＴを保護シートＳに溶着させるヒートスタンプ４２と、を備え、ヒートスタンプ４２は、剥離テープＴにそれぞれ接触して剥離テープＴを保護シートＳに向けて押圧する複数のスタンプヘッド４６を備えているという構成とした。

【0055】

この構成によれば、ヒートスタンプ４２の下面全面に亘って剥離テープＴと保護シートＳとを溶着して剥離テープＴと保護シートＳとの粘着力が過度に大きくなる場合と比べて、複数のスタンプヘッド４６が互いに離間した位置で剥離テープＴを保護シートＳにそれぞれ溶着することにより、剥離テープＴと保護シートＳとの粘着力が低減されて、剥離テープＴを保護シートＳから剥離させる際に、被着体Ｗが保護シートＳに追従するように大きく跳ね上がることを抑制できる。

【0056】

さらに、複数のスタンプヘッド４６が互いに離間した位置で剥離テープＴを保護シートＳにそれぞれ溶着することにより、剥離テープＴが保護シートＳに作用させる張力が剥離テープＴと保護シートＳとの粘着力を上回り、剥離テープＴの一部が保護シートＳから外れた場合であっても、剥離テープＴの他の部分において剥離テープＴが保護シートＳに強固に溶着された状態が維持されるため、剥離テープＴ全体が保護シートＳから剥離することを抑制できる。

【0057】

また、本実施形態に係るシート剥離装置１は、スタンプヘッド４６が、移動方向Ｄ１において互いに離間して設けられているという構成とした。

【0058】

この構成によれば、剥離テープＴのうち移動方向Ｄ１の前方に位置する部分において剥離テープＴが保護シートＳから外れた場合であっても、剥離テープＴのうち移動方向Ｄ１の後方に位置する部分では剥離テープＴが保護シートＳに強固に溶着された状態が維持されるため、搬送テーブル２の移動に伴って保護シートＳを被着体Ｗから確実に剥離させることができる。

【0059】

また、本実施形態に係るシート剥離装置１は、スタンプヘッド４６が、幅方向Ｄ２において互いに離間して設けられているという構成とした。

【0060】

この構成によれば、ヒートスタンプ４２の下面全面に亘って剥離テープＴと保護シートＳとを溶着して剥離テープＴと保護シートＳとの粘着力が過度に大きくなる場合と比べて、複数のスタンプヘッド４６が幅方向Ｄ２に互いに離間した位置で剥離テープＴを保護シートＳにそれぞれ溶着することにより、剥離テープＴと保護シートＳとの粘着力が低減されて、剥離テープＴを保護シートＳから剥離させる際に、被着体Ｗが保護シートＳに追従するように大きく跳ね上がることを抑制できる。

【0061】

また、本実施形態に係るシート剥離装置１は、複数のスタンプヘッド４６のうち最外周に配置されたスタンプヘッド４６が、保護シートＳの周縁に沿って配置されているという構成とした。

【0062】

この構成によれば、保護シートＳの周縁に沿って配置されたスタンプヘッド４６の接触面４６ａにおいて保護シートＳが被着体Ｗからそれぞれ剥離し始めることにより、剥離テープＴを保護シートＳから偏りなく剥離し始めることができる。

【0063】

また、本実施形態に係るシート剥離装置１は、複数のスタンプヘッド４６の各接触面４６ａが、略同一面積に設定されているという構成とした。

【0064】

この構成によれば、各スタンプヘッド４６が略同一面積で剥離テープＴを保護シートＳにそれぞれ溶着することにより、剥離テープＴ全体を保護シートＳから偏りなく剥離することができる。

【0065】

また、本実施形態に係るシート剥離装置１は、複数のスタンプヘッド４６のうち移動方向Ｄ１の前端に配置されたスタンプヘッド４６の接触面４６ａが、移動方向Ｄ１の前方から後方に向かって漸次拡幅して形成されているという構成とした。

【0066】

この構成によれば、接触面４６ａのうち移動方向Ｄ１の前端において剥離力が集中して保護シートＳが被着体Ｗから剥離し始め、その後、接触面４６ａのうち移動方向Ｄ１の後方に向かって広範囲に亘って保護シートＳが被着体Ｗから剥離するため、剥離テープＴ全体を保護シートＳから確実に剥離することができる。

【0067】

また、例えば、図７（ａ）、（ｂ）に示すように、下面にスタンプヘッド４７、４８が設けられたヒートスタンプ４２であっても構わない。スタンプヘッド４７、４８は、所定温度に昇温された状態で剥離テープＴに押し付けられることにより、剥離テープＴと保護シートＳとを溶着させる。

【0068】

スタンプヘッド４７、４８は、移動方向Ｄ１において互いに離間して配置されている。スタンプヘッド４７の下面（接触面４７ａ）は、下面から視て略三角形状に形成されている。また、接触面４７ａは、移動方向Ｄ１において前方端から後方に向かって漸次拡幅して形成されている。

【0069】

スタンプヘッド４８の下面（接触面４８ａ）は、下面から視て短辺が移動方向Ｄ１と平行かつ長辺が移動方向Ｄ１に直交する幅方向Ｄ２に沿った略長方形状に形成されている。接触面４８ａは、接触面４７ａより広く形成されている。なお、接触面４７ａ、４８ａの形状は、上述したものに限定されるものではない。また、スタンプヘッド４７、４８は、幅方向Ｄ２において連続したものに限らず、幅方向Ｄ２において互いに離間して配置されても構わない。

【0070】

このようにして、本発明の第２の変形例に係るシート剥離装置１は、被着体Ｗに貼付された保護シートＳに剥離テープＴを介して剥離力を付与して、保護シートＳを剥離するシート剥離装置１であって、被着体Ｗを保持して所定の移動方向Ｄ１に移動可能な搬送テーブル２と、剥離テープＴを保護シートＳに溶着させるヒートスタンプ４２と、を備え、ヒートスタンプ４２は、剥離テープＴにそれぞれ接触して剥離テープＴを保護シートＳに向けて押圧する複数のスタンプヘッド４７、４８を備えているという構成とした。

【0071】

この構成によれば、ヒートスタンプ４２の下面全面に亘って剥離テープＴと保護シートＳとを溶着して剥離テープＴと保護シートＳとの粘着力が過度に大きくなる場合と比べて、複数のスタンプヘッド４７、４８が互いに離間した位置で剥離テープＴを保護シートＳにそれぞれ溶着することにより、剥離テープＴと保護シートＳとの粘着力が低減されて、剥離テープＴを保護シートＳから剥離させる際に、被着体Ｗが保護シートＳに追従するように大きく跳ね上がることを抑制できる。

【0072】

さらに、複数のスタンプヘッド４７、４８が互いに離間した位置で剥離テープＴを保護シートＳにそれぞれ溶着することにより、剥離テープＴが保護シートＳに作用させる張力が剥離テープＴと保護シートＳとの粘着力を上回り、剥離テープＴの一部が保護シートＳから外れた場合であっても、剥離テープＴの他の部分において剥離テープＴが保護シートＳに強固に溶着された状態が維持されるため、剥離テープＴ全体が保護シートＳから剥離することを抑制できる。

【0073】

また、本実施形態に係るシート剥離装置１は、スタンプヘッド４７、４８が、移動方向Ｄ１において互いに離間して設けられているという構成とした。

【0074】

この構成によれば、剥離テープＴのうち移動方向Ｄ１の前方に位置する部分において剥離テープＴが保護シートＳから外れた場合であっても、剥離テープＴのうち移動方向Ｄ１の後方に位置する部分では剥離テープＴが保護シートＳに強固に溶着された状態が維持されるため、搬送テーブル２の移動に伴って保護シートＳを被着体Ｗから確実に剥離させることができる。

【0075】

また、本実施形態に係るシート剥離装置１は、移動方向Ｄ１の前端に配置されたスタンプヘッド４７の接触面４７ａが、移動方向Ｄ１の前方から後方に向かって漸次拡幅して形成されているという構成とした。

【0076】

この構成によれば、接触面４７ａのうち移動方向Ｄ１の前端において剥離力が集中して保護シートＳが被着体Ｗから剥離し始め、その後、接触面４７ａのうち移動方向Ｄ１の後方に向かって広範囲に亘って保護シートＳが被着体Ｗから剥離するため、剥離テープＴ全体を保護シートＳから確実に剥離することができる。

【0077】

また、本発明は、本発明の精神を逸脱しない限り、上記以外にも種々の改変を為すことができ、そして、本発明が該改変されたものに及ぶことは当然である。また、上述した実施形態及び各変形例は、互いに組み合わせても構わない。

【符号の説明】

【0078】

１ ・・・シート剥離装置
２ ・・・搬送テーブル（搬送手段）
２１・・・吸着面
３ ・・・繰出手段
３１・・・送りローラー
３２・・・巻取ローラー
３７・・・ナイフエッジ
４ ・・・貼付手段
４１・・・アクチュエータ
４２・・・ヒートスタンプ（接着手段）
４３～４８・・・スタンプヘッド
５ ・・・規制ローラー
５１・・・ガイド面
ＤＴ・・・ダイシングテープ
ＲＦ・・・リングフレーム
Ｓ ・・・保護シート
Ｔ ・・・剥離テープ
Ｗ ・・・被着体

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】