特開 2023-54948 基板処理装置、及び基板処理方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023054948

(43)【公開日】2023-04-17

(54)【発明の名称】基板処理装置、及び基板処理方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/027 20060101AFI20230410BHJP

   F27D 17/00 20060101ALI20230410BHJP

【ＦＩ】

H01L21/30 565

F27D17/00 104G

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021163983

(22)【出願日】2021-10-05

(71)【出願人】

【識別番号】000219967

【氏名又は名称】東京エレクトロン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100122507

【弁理士】

【氏名又は名称】柏岡 潤二

(74)【代理人】

【識別番号】100171099

【弁理士】

【氏名又は名称】松尾 茂樹

(74)【代理人】

【識別番号】100212026

【弁理士】

【氏名又は名称】中村 真生

(72)【発明者】

【氏名】小林 真二

【テーマコード（参考）】

4K056

5F146

【Ｆターム（参考）】

4K056AA09

4K056CA18

4K056DB04

4K056FA08

5F146KA04

5F146KA10

(57)【要約】

【課題】昇華物に起因した流路の詰まりを抑制する。
【解決手段】本開示の一側面に係る基板処理装置は、加熱部と、排気部と、吸着面と、除去部材と、動力生成部と、を備える。加熱部は、処理液の膜が表面に形成された状態の基板を所定の処理空間内において加熱する。排気部は、処理空間に接続された排気管を介して、基板の加熱により上記膜から発生する昇華物を処理空間から排出する。吸着面は、処理空間から排出されて排気管内を流れる排ガスに含まれる昇華物が付着するように設けられている。除去部材は、吸着面に接触するように設けられている。動力生成部は、排ガスの流れによって動力を生成し、動力によって吸着面に沿って除去部材を移動させる。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

処理液の膜が表面に形成された状態の基板を所定の処理空間内において加熱する加熱部と、
前記処理空間に接続された排気管を介して、前記基板の加熱により前記膜から発生する昇華物を前記処理空間から排出する排気部と、
前記処理空間から排出されて前記排気管内を流れる排ガスに含まれる昇華物が付着するように設けられた吸着面と、
前記吸着面に接触するように設けられた除去部材と、
前記排ガスの流れによって動力を生成し、前記動力によって前記吸着面に沿って前記除去部材を移動させる動力生成部と、を備える基板処理装置。

【請求項2】

前記吸着面は、前記排気管のうちの前記排ガスに含まれる昇華物が固化する程度まで温度が低下した低温部分に設けられている、請求項１に記載の基板処理装置。

【請求項3】

前記吸着面は、前記排気管内において前記排ガスが流れる方向に交差した状態で、前記排ガスが当たるように設けられており、
前記基板処理装置は、
前記吸着面が形成された固着部材と、
前記低温部分を形成するように、前記固着部材に対して冷却ガスを供給する冷却ガス供給部と、を更に備える、請求項２に記載の基板処理装置。

【請求項4】

前記排気管内の前記排ガスと前記冷却ガスとが流れる箇所において、前記排気管内の流路の一部を塞ぐ閉塞部材を更に備え、
前記閉塞部材は、前記排気管の内面に沿って全周に設けられている、請求項３に記載の基板処理装置。

【請求項5】

前記排気管内において前記排ガスが流れる方向に交差した状態で、前記固着部材を通過した前記排ガスが当たるように設けられた第２吸着面と、
前記第２吸着面が形成された第２固着部材と、
前記第２吸着面に接触するように設けられた第２除去部材と、
前記排ガスの流れによって第２動力を生成し、前記第２動力によって前記第２吸着面に沿って前記第２除去部材を移動させる第２動力生成部と、を更に備え、
前記吸着面は、前記排気管内の流路の中央領域に位置しており、
前記第２吸着面は、前記排気管内の流路の外周領域に位置しており、
前記冷却ガス供給部による前記冷却ガスの吐出口と前記固着部材とは、前記第２固着部材を間に挟むように配置されている、請求項３又は４に記載の基板処理装置。

【請求項6】

前記動力生成部は、前記排気管内において前記排ガスが流れる方向に沿った軸線まわりの第１回転方向に前記除去部材を回転させるように構成されており、
前記第２動力生成部は、前記排気管内において前記排ガスが流れる方向に沿った軸線まわりの前記第１回転方向とは反対の第２回転方向に前記第２除去部材を回転させるように構成されている、請求項５に記載の基板処理装置。

【請求項7】

前記吸着面は、前記排気管内において前記排ガスが流れる方向に交差した状態で、前記排ガスが当たるように設けられており、
前記基板処理装置は、
前記吸着面が形成された固着部材と、
前記低温部分を形成するように、前記排気管の内面において開口した吐出口から、前記排気管内に冷却ガスを供給する冷却ガス供給部と、
前記排気管の内面における前記吐出口の周囲に設けられた第２吸着面と、
前記第２吸着面に接触するように設けられた第２除去部材と、を更に備え、
前記動力生成部は、前記動力によって前記第２吸着面に沿って前記第２除去部材を更に移動させるように構成されている、請求項２に記載の基板処理装置。

【請求項8】

前記吸着面は、前記排気管の内面における一部の領域に設けられており、
前記動力生成部は、前記動力によって、前記排気管内において前記排ガスが流れる方向に沿って前記除去部材を往復移動させるように構成されている、請求項１又は２に記載の基板処理装置。

【請求項9】

前記動力生成部により生成された前記動力に応じて電気信号を生成する検知部を更に備える、請求項１～８のいずれか一項に記載の基板処理装置。

【請求項10】

処理液の膜が表面に形成された状態の基板を所定の処理空間内において加熱することと、
前記処理空間に接続された排気管を介して、前記基板の加熱により前記膜から発生する昇華物を前記処理空間から排出することと、
前記処理空間から排出されて前記排気管内を流れる排ガスの流れによって動力を生成することと、
前記排ガスに含まれる昇華物が付着するように設けられた吸着面に接触した除去部材を、前記動力によって前記吸着面に沿って移動させることと、を含む基板処理方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、基板処理装置、及び基板処理方法に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、熱処理炉の排気ガス処理装置が開示されている。この排気ガス処理装置は、炉内から昇華物を含む排気ガスを導入する排気ダクトと、排気ガスを冷却して昇華物を析出させる冷却手段と、析出させた昇華物を捕集するフィルタとを備える。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００９－２９９９５８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本開示は、昇華物に起因した流路の詰まりの抑制に有用な基板処理装置、及び基板処理方法を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本開示の一側面に係る基板処理装置は、加熱部と、排気部と、吸着面と、除去部材と、動力生成部と、を備える。加熱部は、処理液の膜が表面に形成された状態の基板を所定の処理空間内において加熱する。排気部は、処理空間に接続された排気管を介して、基板の加熱により上記膜から発生する昇華物を処理空間から排出する。吸着面は、処理空間から排出されて排気管内を流れる排ガスに含まれる昇華物が付着するように設けられている。除去部材は、吸着面に接触するように設けられている。動力生成部は、排ガスの流れによって動力を生成し、動力によって吸着面に沿って除去部材を移動させる。

【発明の効果】

【0006】

本開示によれば、昇華物に起因した流路の詰まりの抑制に有用な基板処理装置、及び基板処理方法が提供される。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】図１は、基板処理システムの一例を示す模式的な斜視図である。

【図2】図２は、塗布現像装置の一例を示す模式的な側面図である。

【図3】図３は、熱処理ユニットの一例及び排気装置の一例を示す模式図である。

【図4】図４（ａ）及び図４（ｂ）は、固化除去ユニットの一例を示す模式図である。

【図5】図５（ａ）及び図５（ｂ）は、固化除去ユニットの一例を示す模式図である。

【図6】図６は、固化除去ユニットの一例を示す模式図である。

【図7】図７は、固化除去ユニットの一例を示す模式図である。

【図8】図８（ａ）及び図８（ｂ）は、固化除去ユニットの一例を示す模式図である。

【図9】図９は、検知部材の一例を示す模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

以下、図面を参照して一実施形態について説明する。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。

【0009】

図１に示される基板処理システム１は、ワークＷに対し、感光性被膜の形成、当該感光性被膜の露光、及び当該感光性被膜の現像を施すシステムである。処理対象のワークＷは、例えば基板、あるいは所定の処理が施されることで膜又は回路等が形成された状態の基板である。当該基板は、一例として、シリコンウェハである。ワークＷ（基板）は、円形であってもよい。ワークＷは、ガラス基板、マスク基板、又はＦＰＤ（Flat Panel Display）などであってもよい。感光性被膜は、例えばレジスト膜である。

【0010】

図１及び図２に示されるように、基板処理システム１は、塗布現像装置２（基板処理装置）と、露光装置３と、制御装置１００とを備える。塗布現像装置２は、露光装置３による露光処理前に、ワークＷの表面にレジスト（薬液）を塗布してレジスト膜を形成する処理を行い、露光処理後にレジスト膜の現像処理を行う。露光装置３は、ワークＷ（基板）に形成されたレジスト膜（感光性被膜）を露光する装置である。具体的には、露光装置３は、液浸露光等の方法によりレジスト膜の露光対象部分にエネルギー線を照射する。塗布現像装置２は、キャリアブロック４と、処理ブロック５と、インタフェースブロック６と、を備える。

【0011】

キャリアブロック４は、塗布現像装置２内へのワークＷの導入及び塗布現像装置２内からのワークＷの導出を行う。例えばキャリアブロック４は、ワークＷ用の複数のキャリアＣを支持可能であり、受け渡しアームを含む搬送装置Ａ１を内蔵している。キャリアＣは、例えば円形の複数枚のワークＷを収容する。搬送装置Ａ１は、キャリアＣからワークＷを取り出して処理ブロック５に渡し、処理ブロック５からワークＷを受け取ってキャリアＣ内に戻す。処理ブロック５は、処理モジュール１１，１２，１３，１４を有する。

【0012】

処理モジュール１１は、液処理ユニットＵ１と、熱処理ユニットＵ２と、これらのユニットにワークＷを搬送する搬送装置Ａ３とを内蔵している。処理モジュール１１は、液処理ユニットＵ１及び熱処理ユニットＵ２によりワークＷの表面上に下層膜を形成する。液処理ユニットＵ１は、下層膜形成用の処理液をワークＷ上に塗布する。熱処理ユニットＵ２は、下層膜の形成に伴う各種熱処理を行う。

【0013】

処理モジュール１２は、液処理ユニットＵ１と、熱処理ユニットＵ２と、これらのユニットにワークＷを搬送する搬送装置Ａ３とを内蔵している。処理モジュール１２は、液処理ユニットＵ１及び熱処理ユニットＵ２により下層膜上にレジスト膜を形成する。液処理ユニットＵ１は、レジスト膜形成用の処理液を下層膜上に塗布する。熱処理ユニットＵ２は、レジスト膜の形成に伴う各種熱処理を行う。

【0014】

処理モジュール１３は、液処理ユニットＵ１と、熱処理ユニットＵ２と、これらのユニットにワークＷを搬送する搬送装置Ａ３とを内蔵している。処理モジュール１３は、液処理ユニットＵ１及び熱処理ユニットＵ２によりレジスト膜上に上層膜を形成する。液処理ユニットＵ１は、上層膜形成用の処理液をレジスト膜上に塗布する。熱処理ユニットＵ２は、上層膜の形成に伴う各種熱処理を行う。

【0015】

処理モジュール１４は、液処理ユニットＵ１と、熱処理ユニットＵ２と、これらのユニットにワークＷを搬送する搬送装置Ａ３とを内蔵している。処理モジュール１４は、液処理ユニットＵ１及び熱処理ユニットＵ２により、露光処理が施されたレジスト膜の現像処理及び現像処理に伴う熱処理を行う。液処理ユニットＵ１は、露光済みのワークＷの表面上に現像液を塗布した後、これをリンス液により洗い流すことで、レジスト膜の現像処理を行う。熱処理ユニットＵ２は、現像処理に伴う各種熱処理を行う。熱処理の具体例としては、現像前の加熱処理（ＰＥＢ：Post Exposure Bake）、及び現像後の加熱処理（ＰＢ：Post Bake）等が挙げられる。

【0016】

処理ブロック５内におけるキャリアブロック４側には棚ユニットＵ１０が設けられている。棚ユニットＵ１０は、上下方向に並ぶ複数のセルに区画されている。棚ユニットＵ１０の近傍には昇降アームを含む搬送装置Ａ７が設けられている。搬送装置Ａ７は、棚ユニットＵ１０のセル同士の間でワークＷを昇降させる。

【0017】

処理ブロック５内におけるインタフェースブロック６側には棚ユニットＵ１１が設けられている。棚ユニットＵ１１は、上下方向に並ぶ複数のセルに区画されている。

【0018】

インタフェースブロック６は、露光装置３との間でワークＷの受け渡しを行う。例えばインタフェースブロック６は、受け渡しアームを含む搬送装置Ａ８を内蔵しており、露光装置３に接続される。搬送装置Ａ８は、棚ユニットＵ１１に配置されたワークＷを露光装置３に渡す。搬送装置Ａ８は、露光装置３からワークＷを受け取って棚ユニットＵ１１に戻す。

【0019】

制御装置１００は、例えば以下の手順で塗布現像処理を実行するように塗布現像装置２を制御する。まず制御装置１００は、キャリアＣ内のワークＷを棚ユニットＵ１０に搬送するように搬送装置Ａ１を制御し、このワークＷを処理モジュール１１用のセルに配置するように搬送装置Ａ７を制御する。

【0020】

次に制御装置１００は、棚ユニットＵ１０のワークＷを処理モジュール１１内の液処理ユニットＵ１に搬送するように搬送装置Ａ３を制御する。制御装置１００は、このワークＷの表面上に下層膜形成用の処理液の膜を形成するように液処理ユニットＵ１を制御する。制御装置１００は、下層膜形成用の処理液の膜が形成された状態のワークＷを加熱して下層膜を形成するように熱処理ユニットＵ２を制御する。その後制御装置１００は、下層膜が形成されたワークＷを棚ユニットＵ１０に戻すように搬送装置Ａ３を制御し、このワークＷを処理モジュール１２用のセルに配置するように搬送装置Ａ７を制御する。

【0021】

次に制御装置１００は、棚ユニットＵ１０のワークＷを処理モジュール１２内の液処理ユニットＵ１に搬送するように搬送装置Ａ３を制御する。制御装置１００は、このワークＷの表面に対してレジスト膜形成用の処理液の膜を形成するように液処理ユニットＵ１を制御する。制御装置１００は、レジスト膜形成用の処理液の膜が形成された状態のワークＷを加熱してレジスト膜を形成するように熱処理ユニットＵ２を制御する。その後制御装置１００は、ワークＷを棚ユニットＵ１０に戻すように搬送装置Ａ３を制御し、このワークＷを処理モジュール１３用のセルに配置するように搬送装置Ａ７を制御する。

【0022】

次に制御装置１００は、棚ユニットＵ１０のワークＷを処理モジュール１３内の液処理ユニットＵ１に搬送するように搬送装置Ａ３を制御する。また、制御装置１００は、このワークＷのレジスト膜上に上層膜形成用の処理液の膜を形成するように液処理ユニットＵ１を制御する。制御装置１００は、上層膜形成用の処理液の膜が形成された状態のワークＷを加熱して上層膜を形成するように熱処理ユニットＵ２を制御する。その後制御装置１００は、ワークＷを棚ユニットＵ１１に搬送するように搬送装置Ａ３を制御する。

【0023】

次に制御装置１００は、棚ユニットＵ１１のワークＷを露光装置３に送り出すように搬送装置Ａ８を制御する。その後制御装置１００は、露光処理が施されたワークＷを露光装置３から受け入れて、棚ユニットＵ１１における処理モジュール１４用のセルに配置するように搬送装置Ａ８を制御する。

【0024】

次に制御装置１００は、棚ユニットＵ１１のワークＷを処理モジュール１４内の各ユニットに搬送するように搬送装置Ａ３を制御し、このワークＷのレジスト膜の現像処理を行うように液処理ユニットＵ１及び熱処理ユニットＵ２を制御する。その後制御装置１００は、ワークＷを棚ユニットＵ１０に戻すように搬送装置Ａ３を制御し、このワークＷをキャリアＣ内に戻すように搬送装置Ａ７及び搬送装置Ａ１を制御する。以上で１枚のワークＷについての塗布現像処理が完了する。制御装置１００は、後続の複数のワークＷのそれぞれについても、上述と同様に塗布現像処理を塗布現像装置２に実行させる。

【0025】

基板処理装置の具体的な構成は、以上に例示した塗布現像装置２の構成に限られない。基板処理装置は、ワークＷの加熱を含む熱処理を実行するユニットを備えていればどのようなものであってもよい。

【0026】

（熱処理ユニット）
熱処理ユニットＵ２は、図３に示されるように、加熱ユニット３０（加熱部）を有する。加熱ユニット３０は、処理液の膜Ｆが表面Ｗａに形成された状態のワークＷを加熱する。加熱ユニット３０は、ワークＷの処理液の膜Ｆが形成された表面Ｗａとは反対側の裏面を支持した状態で、そのワークＷを加熱する。加熱ユニット３０は、例えば、筐体３２と、熱板３４と、昇降部３８とを有する。筐体３２（チャンバ）は、ワークＷを加熱するための処理空間Ｓを形成する。筐体３２は、例えば、支持台３２ａと、蓋体３２ｂとを含む。支持台３２ａは、中央部分に窪みが形成された円筒形状を有する。支持台３２ａは、熱板３４を支持する。蓋体３２ｂは、支持台３２ａに支持されている熱板３４を囲むように構成されている。蓋体３２ｂは、支持台３２ａと上下方向に対向するように配置されている。

【0027】

熱板３４は円板状に形成されている。熱板３４の上面にワークＷが載置されることで、熱板３４はワークＷを支持する。熱板３４は、載置されたワークＷを加熱する。熱板３４には、ヒータ３５が内蔵されていてもよい。ヒータ３５は、例えば、抵抗発熱体から構成されている。ヒータ３５に電流が流れることにより、ヒータ３５が発熱する。ヒータ３５からの熱によって、熱板３４の温度が上昇する。筐体３２が処理空間Ｓを形成した状態で熱板３４の温度が上昇することで、処理空間Ｓ内においてワークＷが加熱される。

【0028】

昇降部３８は、熱板３４の上方においてワークＷを昇降させる。昇降部３８は、例えば、熱板３４の上面にワークＷが載置される加熱位置と、熱板３４から離れた上方においてワークＷの受け渡しを行う受渡位置との間でワークＷを昇降させる。昇降部３８は、複数の昇降ピン３８ａと、昇降駆動部３８ｂとを含んでもよい。複数の昇降ピン３８ａそれぞれは、ワークＷを下方から支持するピンである。昇降ピン３８ａは、例えば、熱板３４を貫通し、熱板３４の上面に垂直な方向に延びるように形成されている。昇降駆動部３８ｂは、電動モータ又はシリンダ等の動力源を含み、複数の昇降ピン３８ａを昇降させる。

【0029】

加熱ユニット３０において、処理液（例えば、レジスト）の膜Ｆが形成された状態のワークＷが加熱されることで、膜Ｆを形成する処理液に含まれる一部の成分が昇華（気化）する。そのため、筐体３２によって形成される処理空間Ｓには、処理液の膜Ｆの中からワークＷの加熱により昇華物（以下、「昇華物Ｓｕ」という。）が発生する。加熱ユニット３０は、蓋体３２ｂの天板において、昇華物Ｓｕを含むガスを処理空間Ｓから排出するための排気口３３を含んでもよい。

【0030】

（排気装置）
塗布現像装置２は、排気装置４０（排気部）を備える。排気装置４０は、ワークＷの加熱により処理液の膜Ｆから発生する昇華物Ｓｕを含むガスを処理空間Ｓから排出する装置である。排気装置４０は、塗布現像装置２が備える複数の熱処理ユニットＵ２において形成される複数の処理空間Ｓから、昇華物Ｓｕを含むガスを排出してもよい。排気装置４０は、例えば、１つの排気管４２と、複数の排気管４４とを有する。排気管４２の一方の端部は、塗布現像装置２が設置される工場の排気システム２００に接続されていてもよい。

【0031】

１つの排気管４２は複数の排気管４４に分岐され、複数の排気管４４それぞれは、対応する熱処理ユニットＵ２の加熱ユニット３０が形成する処理空間Ｓに接続される。複数の熱処理ユニットＵ２ではガスの排出が同様に行われるので、以下では１つの熱処理ユニットＵ２における排気について説明する。また、処理空間Ｓから排出されて排気管４４内の流路４５を流れるガスを「排ガスＧｅ」と称する。そして、排ガスＧｅの流れを基準にして、「上流」及び「下流」の用語を使用する。排ガスＧｅは上流から下流に向かって流れ、排気口３３（処理空間Ｓ）が最上流に位置し、排気システム２００が最下流に位置する。

【0032】

排ガスＧｅは、ワークＷの表面Ｗａに形成されている処理液の膜Ｆから発生した昇華物Ｓｕを含む。排気管４４（排気管４４内の流路４５）は、処理空間Ｓに接続されている。排気管４４の一方の端部が、排気口３３に接続されている。排気装置４０は、排気管４４を介して、処理空間Ｓ内のガスを排ガスＧｅとして処理空間Ｓの外に排出する。排気管４４のうちの上流に位置する一部は、熱処理ユニットＵ２内に設けられている。排気管４４の断面形状（より詳細には、排気管４４が延在する方向に垂直な断面における形状）は、環状であってもよい。

【0033】

（固化除去ユニット）
塗布現像装置２は、固化除去ユニット５０を備える。固化除去ユニット５０は、排ガスＧｅに含まれる昇華物Ｓｕを所定の面上に固化して付着させたうえで、その面から固化された状態の昇華物Ｓｕを除去するユニットである。本開示では、気化した状態の昇華物Ｓｕが、固化（昇華）することで生成される固形物についても「昇華物Ｓｕ」と称する。固化除去ユニット５０は、排気管４４内に形成されるガスの流路４５に設けられている。固化除去ユニット５０は、例えば、排気管４４のうちの熱処理ユニットＵ２内に位置する部分に配置されている。以下、固化除去ユニットのいくつかの例について説明する。

【0034】

図４（ａ）及び図４（ｂ）に示されるように、固化除去ユニット５０は、流路調整部６０と、冷却ガス供給部９０と、流路調整部７０と、を有してもよい。排ガスＧｅが流れる方向に沿って、流路調整部６０、冷却ガス供給部９０の一部、及び流路調整部７０が、上流からこの順に配置されている。以下、排気管４４内の流路４５において排ガスＧｅが流れる方向（向き）を「方向Ｄ１」と定義し、流路４５において排ガスＧｅが流れる方向とは反対の方向（向き）を「方向Ｄ２」と定義する。

【0035】

流路調整部６０は、排ガスＧｅに含まれる昇華物Ｓｕが付着する吸着面を形成し、その吸着面に付着した昇華物Ｓｕを除去することで、排ガスＧｅ内に固化した状態の昇華物Ｓｕを分散させる。ガス化した状態の昇華物Ｓｕが吸着面に付着するには、排ガスＧｅの温度が低下して、昇華物Ｓｕが固化する必要がある。上記吸着面は、排気管４４のうちの昇華物Ｓｕが固化する程度まで温度が低下した部分（以下、「低温部分」という。）に設けられている。流路調整部６０は、固着部材６２と、動力生成部６４と、除去部材６８とを有する。

【0036】

固着部材６２は、昇華物Ｓｕが固化して付着する吸着面６２ａを形成する部材である。固着部材６２は、方向Ｄ１（又は方向Ｄ２）に対して垂直に延びるように板状に形成されていてもよい。固着部材６２は、円板状に形成されていてもよい。固着部材６２は、例えば、固定部材６３，６３を介して排気管４４の内面４４ａに固定されており、排気管４４の流路４５の中央領域に配置されている。吸着面６２ａは、固着部材６２のうちの上流を向く面である。吸着面６２ａは、流路４５の中央領域に位置する。

【0037】

吸着面６２ａは、排気管４４内において排ガスＧｅが流れる方向に交差するように設けられる。吸着面６２ａは、方向Ｄ１に対して垂直となるように設けられてもよい。上流から下流を見て、図４（ｂ）に示されるように、吸着面６２ａは円形であってもよい。図４（ｂ）に示される例とは異なり、吸着面６２ａの形状が、楕円形であってもよく、多角形であってもよい。

【0038】

吸着面６２ａが円形である場合、吸着面６２ａの直径は、排気管４４の内径よりも小さい。吸着面６２ａの直径は、排気管４４の内径の０．３倍～０．９倍であってもよく、０．４倍～０．８倍であってもよく、０．５倍～０．７倍であってもよい。固着部材６２まで到達した排ガスＧｅの一部が吸着面６２ａに当たり、固着部材６２まで到達した排ガスＧｅの残りの一部が、吸着面６２ａに当たらずに、吸着面６２ａの周縁（固着部材６２の周縁）と内面４４ａとの間の空間を通過する。

【0039】

動力生成部６４は、排ガスＧｅの流れによって、除去部材６８を移動させるための動力を生成する部材である。動力生成部６４は、排ガスＧｅの流れの運動エネルギーを、除去部材６８を移動させるための動力に変換する。動力生成部６４は、排ガスＧｅを受けて回転する風車であってもよい。動力生成部６４は、固着部材６２よりも上流に配置されている。動力生成部６４は、例えば、回転軸６５と、複数の羽根６６とを有する。

【0040】

回転軸６５は、方向Ｄ１に沿った軸線まわりに回転可能に設けられている。回転軸６５の一端は、例えば、吸着面６２ａの略中央に接続されている。複数の羽根６６は、回転軸６５まわりの周方向において互いに間隔を空けた状態で、回転軸６５に接続されている。複数の羽根６６（例えば、４枚の羽根６６）は、排ガスＧｅが流れることによって、回転軸６５まわりに回転する。

【0041】

除去部材６８は、吸着面６２ａに接触するように設けられている。除去部材６８の一部が吸着面６２ａに接触していてもよい。除去部材６８は、ブラシであってもよく、ブラシの先端部分が吸着面６２ａに接触していてもよい。除去部材６８（ブラシの先端部分）は、吸着面６２ａを擦ることが可能な程度に吸着面６２ａに接触している。なお、図４（ａ）では、除去部材６８と吸着面６２ａとの間に隙間があるように各部材が描かれているが、除去部材６８の下流の位置する端部は、吸着面６２ａと接触している。

【0042】

除去部材６８は、羽根６６の裏側（下流を向く面）に取り付けられている。複数の羽根６６それぞれに、除去部材６８が取り付けられていてもよい。複数の羽根６６が回転すると、吸着面６２ａに接触した状態を維持しつつ、除去部材６８が吸着面６２ａに沿って移動する。言い換えると、複数の羽根６６の回転によって、除去部材６８が吸着面６２ａ上を摺動する。

【0043】

以上のように、動力生成部６４は、複数の羽根６６が排ガスＧｅを受けて生成（変換）した動力によって、吸着面６２ａに沿って除去部材６８を移動させる。除去部材６８が吸着面６２ａに沿って移動することで、吸着面６２ａにおいて固化して付着した昇華物Ｓｕが、吸着面６２ａから除去される。吸着面６２ａから除去された昇華物Ｓｕは、固化した状態のまま、排ガスＧｅと共に下流に向かって流れる。

【0044】

冷却ガス供給部９０は、上記低温部分を形成するように、固着部材６２に対して冷却用のガスを供給する。冷却ガス供給部９０によって供給される冷却用のガス（以下、「冷却ガスＧｃ」という。）の温度は、排ガスＧｅ内の昇華物Ｓｕの少なくとも一部が固化する程度に設定されている。冷却ガスＧｃは、例えば、常温の空気である。冷却ガスＧｃの温度は常温よりも低くてもよく、空気以外の種類のガスであってもよい。冷却ガス供給部９０は、固着部材６２のうちの吸着面６２ａとは反対側の裏面６２ｂに向けて、冷却ガスＧｃを吐出してもよい。固着部材６２に含まれる裏面６２ｂは、下流を向くように形成されている。

【0045】

冷却ガス供給部９０は、例えば、供給管９２と、供給源９４とを含む。供給管９２の一端には、冷却ガスＧｃを吐出する吐出口９２ａが形成されている。吐出口９２ａは、排気管４４の内部（流路４５）に位置していてもよい。吐出口９２ａは、固着部材６２の下流に配置されており、吐出口９２ａから冷却ガスＧｃが吐出する方向（向き）の少なくとも一部の成分は、方向Ｄ２と一致していてもよい。吐出口９２ａは、固着部材６２の裏面６２ｂと離れた状態で、裏面６２ｂに対向するように配置されていてもよい。供給源９４は、冷却ガスＧｃの供給源である。

【0046】

冷却ガスＧｃが裏面６２ｂに当たることによって、冷却ガスＧｃが供給されない場合に比べて固着部材６２の温度が低下する。固着部材６２の温度の低下に伴って、吸着面６２ａに当たる排ガスＧｅに含まれる昇華物Ｓｕの少なくとも一部が、吸着面６２ａ上において固化して付着する。固着部材６２を通過した排ガスＧｅは、流路調整部６０（固着部材６２）の下流において、冷却ガスＧｃと混合され得る。固着部材６２を通過した排ガスＧｅにも、ガス状態の昇華物Ｓｕが含まれており、固着部材６２を通過した排ガスＧｅと冷却ガスＧｃとの混合により、昇華物Ｓｕの少なくとも一部が固化する。

【0047】

流路調整部７０は、排気管４４内の（流路４５のうちの）排ガスＧｅと冷却ガスＧｃとが流れる箇所において、その箇所の流路４５の面積を小さくする。流路調整部７０は、流路調整部６０及び供給管９２の吐出口９２ａよりも下流に配置されている。流路調整部７０は、閉塞部材７２を有する。閉塞部材７２は、排ガスＧｅと冷却ガスＧｃとが流れる箇所において、流路４５の一部を塞ぐ部材である。

【0048】

閉塞部材７２は、排気管４４の内面４４ａに沿って全周に設けられてもよい。閉塞部材７２は、内面４４ａの全周に沿って環状に形成されていてもよい。上流から下流を見て、閉塞部材７２の一部（内周縁の近傍の部分）が吸着面６２ａに重なっていてもよく、閉塞部材７２が吸着面６２ａに重なっていなくてもよい。閉塞部材７２が設けられることで、閉塞部材７２が設けられない場合に比べて、ガスの流れが乱れる。

【0049】

（変形例１）
塗布現像装置２は、固化除去ユニット５０に代えて、固化除去ユニット５０Ａを備えてもよい。固化除去ユニット５０Ａは、流路調整部６０と冷却ガスＧｃの吐出口９２ａとの間に、別の流路調整部を有する点で固化除去ユニット５０と相違する。固化除去ユニット５０Ａは、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示されるように、流路調整部６０と、流路調整部８０と、冷却ガス供給部９０とを備える。流路調整部６０、流路調整部８０、及び吐出口９２ａは、上流からこの順で配置されている。

【0050】

流路調整部８０は、流路調整部６０（固着部材６２）を通過した排ガスＧｅに含まれる昇華物Ｓｕが付着する別の吸着面を形成し、その別の吸着面に付着した昇華物Ｓｕを除去することで、固化した状態の昇華物Ｓｕを排ガスＧｅ内に更に分散させる。流路調整部８０は、固着部材８２と、動力生成部８４と、除去部材８８とを有する。

【0051】

固着部材８２（第２固着部材）は、昇華物Ｓｕが固化して付着する吸着面８２ａ（第２吸着面）を形成する部材である。固着部材８２は、方向Ｄ１（又は方向Ｄ２）に対して垂直に延びるように板状に形成されていてもよい。固着部材８２は、排気管４４の流路４５の外周領域に配置されている。固着部材８２は、排気管４４の内面４４ａの全周に沿って設けられてもよく、固着部材８２の外周縁は内面４４ａに接続されている。吸着面８２ａは、固着部材８２のうちの上流を向く面である。吸着面８２ａは、流路４５の外周領域に位置する。

【0052】

吸着面８２ａは、排気管４４内において排ガスＧｅが流れる方向に交差するように設けられる。吸着面８２ａは、方向Ｄ１に対して垂直となるように設けられてもよい。上流から下流を見て、図５（ｂ）に示されるように、吸着面８２ａは、環状であってもよい。上流から下流を見たときに、吸着面８２ａの一部は、流路調整部６０の円形の吸着面６２ａの一部に重なっていてもよい。吸着面８２ａの内周縁で形成される円の直径（吸着面８２ａの内径）は、吸着面６２ａの直径よりも小さくてもよい。

【0053】

吸着面８２ａの内径は、排気管４４の内径の０．３倍～０．９倍であってもよく、０．４倍～０．８倍であってもよく、０．５倍～０．７倍であってもよい。図５（ａ）に示される例とは異なり、上流から下流を見て、吸着面８２ａが吸着面６２ａに重なっていなくてもよい。固着部材６２を通過して固着部材８２まで到達した排ガスＧｅの一部が吸着面８２ａに当たり、固着部材８２まで到達した排ガスＧｅの残りの一部が、吸着面８２ａに当たらずに、吸着面８２ａの内周縁の内側の空間を通過する。

【0054】

動力生成部８４（第２動力生成部）は、排ガスＧｅの流れによって、除去部材８８を移動させるための動力（第２動力）を生成する部材である。動力生成部８４は、排ガスＧｅの流れの運動エネルギーを、除去部材８８を移動させるための動力に変換する。動力生成部８４は、動力生成部６４と同様に構成されており、排ガスＧｅを受けて回転する風車であってもよい。動力生成部８４は、固着部材８２よりも上流に配置されている。動力生成部８４は、例えば、回転軸８５と、複数の羽根８６とを有する。

【0055】

回転軸８５は、方向Ｄ１（又は方向Ｄ２）に沿った軸線まわりに回転可能に設けられている。回転軸８５の一端は、例えば、固着部材８２の吸着面８２ａを形成する部分の内周縁から延びる支持部８２ｃに接続されている。支持部８２ｃは、吸着面８２ａの内周縁の内側の領域を全て塞がないように形成されている。複数の羽根８６は、回転軸８５まわりの周方向において互いに間隔を空けた状態で、回転軸８５に接続されている。複数の羽根８６（例えば、４枚の羽根）は、排ガスＧｅが流れることによって、回転軸８５まわりに回転する。

【0056】

除去部材８８（第２除去部材）は、吸着面８２ａに接触するように設けられている。除去部材８８の一部が吸着面８２ａに接触していてもよい。除去部材８８は、ブラシであってもよく、ブラシの先端部分が吸着面８２ａに接触していてもよい。除去部材８８（ブラシの先端部分）は、吸着面８２ａを擦ることが可能な程度に吸着面８２ａに接触している。除去部材８８は、羽根８６の裏側（下流を向く面）に取り付けられている。複数の羽根８６それぞれに、除去部材８８が取り付けられていてもよい。複数の羽根８６が方向Ｄ１に沿った軸線まわりに回転すると、吸着面８２ａに接触した状態を維持しつつ、除去部材８８が吸着面８２ａに沿って移動する。言い換えると、除去部材８８が吸着面８２ａ上を摺動する。

【0057】

以上のように、動力生成部８４は、複数の羽根８６が、固着部材６２を通過した排ガスＧｅを受けて生成（変換）した動力によって、吸着面８２ａに沿って除去部材６８を移動させる。除去部材８８が吸着面８２ａに沿って移動することで、吸着面８２ａにおいて固化して付着した昇華物Ｓｕが、吸着面８２ａから除去される。吸着面８２ａから除去された昇華物Ｓｕは、固化した状態のまま、排ガスＧｅと共に下流に向かって流れる。

【0058】

流路調整部６０と流路調整部８０との間で、複数の羽根が回転する方向が互いに反対であってもよい。流路調整部６０の動力生成部６４が、方向Ｄ１に沿った軸線まわりの第１回転方向に除去部材６８を回転させるように構成されていてもよい。この場合に、流路調整部８０の動力生成部８４は、方向Ｄ１に沿った軸線まわりの上記第１回転方向とは反対の第２回転方向に除去部材８８を回転させるように構成されていてもよい。上流から下流を見たときに、動力生成部６４による除去部材の回転方向が時計回り（右回り）である場合に、動力生成部８４による除去部材の回転方向が反時計回り（左回り）であってもよい。

【0059】

上流から下流を見たときに、動力生成部６４による除去部材の回転方向が反時計回り（左回り）である場合に、動力生成部８４による除去部材の回転方向が時計回り（右回り）であってもよい。流路調整部６０と流路調整部８０との間で、複数の羽根が回転する方向が同じであってもよい。上流から下流を見て、回転軸６５の設置位置と回転軸８５の設置位置とが互いに同じであってもよく、互いに異なっていてもよい。回転軸６５の設置位置と回転軸８５の設置位置とが、流路４５の断面において略中心に位置していてもよい。

【0060】

冷却ガスＧｃの吐出口９２ａが、流路調整部８０を間に挟んだ状態で、固着部材６２に対向していてもよい。この場合、方向Ｄ１において、吐出口９２ａと固着部材６２とは、流路調整部８０の固着部材８２を間に挟むように配置される。上流から下流を見たときに、図５（ｂ）に示されるように、吐出口９２ａが、吸着面８２ａと重ならないように配置されていてもよい。吐出口９２ａは、吸着面８２ａの内周縁の内側に位置する。この場合、吐出口９２ａから吐出される冷却ガスＧｃによって、固着部材６２に加えて、固着部材８２の周囲が冷却され得る。図５（ａ）に示される例とは異なり、吐出口９２ａが、固着部材６２と固着部材８２との間に配置されていてもよい。

【0061】

固化除去ユニット５０Ａは、１組の流路調整部６０及び流路調整部８０に加えて、１組又は複数組の流路調整部６０及び流路調整部８０を有してもよい。図５（ａ）に示される例では、合計で２組の流路調整部６０及び流路調整部８０が設けられている。１組の流路調整部６０及び流路調整部８０は、吐出口９２ａよりも下流に配置されてもよい。下流に位置する１組の流路調整部６０及び流路調整部８０に対して、別の冷却ガス供給部によって冷却ガスＧｃが供給されてもよい。複数組の流路調整部６０及び流路調整部８０に加えて、１つの流路調整部６０が更に設けられてもよい。

【0062】

（変形例２）
塗布現像装置２は、固化除去ユニット５０Ａに代えて、固化除去ユニット５０Ｂを備えてもよい。固化除去ユニット５０Ｂは、図６に示されるように、流路調整部８０に代えて、流路調整部８０Ｂを有する。流路調整部８０Ｂは、除去部材８８に加えて、除去部材８９を有する点で流路調整部８０と相違する。

【0063】

除去部材８９は、上流に位置する固着部材６２の裏面６２ｂに接触するように設けられている。除去部材８９は、ブラシであってもよく、ブラシの先端部分が裏面６２ｂに接触していてもよい。除去部材８９（ブラシの先端部分）は、裏面６２ｂを擦ることが可能な程度に裏面６２ｂに接触している。除去部材８９は、羽根８６の表側（上流を向く面）に取り付けられている。複数の羽根８６それぞれに、除去部材８９が取り付けられていてもよい。複数の羽根８６が方向Ｄ１に沿った軸線まわりに回転すると、裏面６２ｂに接触した状態を維持しつつ、除去部材８９が裏面６２ｂに沿って移動する。言い換えると、除去部材８９が裏面６２ｂ上を摺動する。

【0064】

固化除去ユニット５０Ｂでは、動力生成部８４が、複数の羽根８６が固着部材６２を通過した排ガスＧｅを受けて生成（変換）した動力によって、吸着面８２ａに沿って除去部材６８を移動させると共に、裏面６２ｂに沿って除去部材８９を移動させる。除去部材８９が裏面６２ｂに沿って移動することで、裏面６２ｂにおいて固化して付着した昇華物Ｓｕが、裏面６２ｂから除去される。固化除去ユニット５０Ｂでは、吸着面６２ａと裏面６２ｂとの両方において固化して付着した昇華物Ｓｕが除去部材によって除去されるので、昇華物Ｓｕを固化させて排ガスＧｅ内に分散させる量を増加させることができる。

【0065】

（変形例３）
塗布現像装置２は、図７に示されるように、固化除去ユニット５０Ａに代えて、固化除去ユニット５０Ｃを備えてもよい。固化除去ユニット５０Ｃは、冷却ガスＧｃの吐出口が排気管４４の内面４４ａに設けれ、内面４４ａのうちの冷却ガスＧｃの吐出口の周囲にも吸着面が設けられる。固化除去ユニット５０Ｃは、冷却ガス供給部９０に代えて冷却ガス供給部９０Ｃを有し、流路調整部６０に代えて流路調整部６０Ｃを有する点で固化除去ユニット５０Ａと相違する。

【0066】

冷却ガス供給部９０Ｃは、昇華物Ｓｕが固化し得る温度となる上記低温部分を形成するように、内面４４ａにおいて開口した吐出口９２ａから、排気管４４内に冷却ガスＧｃを供給する。吐出口９２ａは、吸着面６２ａよりも上流に位置している。冷却ガス供給部９０Ｃの供給管９２の端部は、排気管４４に接続されている。内面４４ａにおいて開口した吐出口９２ａから冷却ガスＧｃが吐出する方向は、排気管４４の流路４５において外周から中心に向かう方向（向き）であってもよい。冷却ガスＧｃが吐出する方向に延びる延長線は、吸着面６２ａに交わらなくてもよい。

【0067】

排気管４４の内径が小さい場合があり、内径が小さいと、供給管９２の端部（吐出口９２ａ）を排気管４４の流路４５に設置し難くなる。吐出口９２ａが内面４４ａにおいて開口するようにすることで、排気管４４の内径が小さい場合でも冷却ガスＧｃを排気管４４内の流路４５に送り込むことができる。吐出口９２ａが内面４４ａに位置することによって、内面４４ａのうちの吐出口９２ａの周囲に昇華物Ｓｕが付着し得る。そのため、内面４４ａにおいて吐出口９２ａの周囲に吸着面（以下、「吸着面４４ｂ」という。）が形成される。

【0068】

流路調整部６０Ｃは、動力生成部６４に代えて動力生成部６４Ｃを有する。動力生成部６４Ｃは、複数の羽根６６に代えて、複数の羽根６６Ｃを含む。複数の羽根６６Ｃそれぞれは、方向Ｄ１に沿って延在するように形成されている。羽根６６Ｃの上流に位置する端部は、吐出口９２ａよりも上流に位置しており、羽根６６Ｃの下流に位置する端部は、吐出口９２ａよりも下流に位置している。方向Ｄ１において、羽根６６Ｃの上流側の端部と、吐出口９２ａと、羽根６６Ｃの下流側の端部とが、上流からこの順で並んでいる。

【0069】

流路調整部６０Ｃは、除去部材６８に加えて、除去部材６９（第２除去部材）を有する。除去部材６９は、排気管４４の内面４４ａにおける吐出口９２ａの周囲に設けられた吸着面４４ｂ（第２吸着面）に接触するように配置されている。吸着面４４ｂは、内面４４ａのうちの、吐出口９２ａからの冷却ガスＧｃによって昇華物Ｓｕが固化する範囲に設定されている。除去部材６９は、羽根６６Ｃの先端（回転軸６５と接続される端部とは反対側の端部）に取り付けられている。複数の羽根６６Ｃそれぞれの先端に、除去部材６９が取り付けられていてもよい。

【0070】

除去部材６９は、ブラシであってもよく、ブラシの先端部分が吸着面４４ｂに接触するよう配置されていてもよい。除去部材６９は、羽根６６Ｃの回転位置によっては、吸着面４４ｂと接触していない場合もある。除去部材６９は、内面４４ａのうちの吸着面４４ｂを含む環状の周面に接触した状態で設けられている。除去部材６９（ブラシの先端部分）は、上記周面を擦ることが可能な程度に上記周面に接触している。上記周面の長さは、羽根６６Ｃの長さに対応している。複数の羽根６６Ｃが方向Ｄ１に沿った軸線まわりに回転すると、除去部材６９が吸着面４４ｂ（吸着面４４ｂを含む上記周面）に沿って移動する。言い換えると、除去部材６９が吸着面４４ｂ（吸着面４４ｂを含む上記周面）上を摺動する。

【0071】

固化除去ユニット５０Ｃでは、動力生成部６４Ｃが、複数の羽根６６Ｃが排ガスＧｅにより回転することで得られる動力によって、吸着面６２ａに沿って除去部材６８を移動させる。動力生成部６４Ｃは、複数の羽根６６Ｃが排ガスＧｅにより回転することで得られる動力によって、吸着面４４ｂに沿って除去部材６９を移動させる。

【0072】

（変形例４）
排気装置４０は、図８（ａ）及び図８（ｂ）に示されるように、排気管４４に代えて、排気管４４Ｄを有してもよい。排気管４４が円筒形状を有するのに対して、排気管４４Ｄは、断面が四角形（長方形）である筒状に形成されている。排気管４４Ｄは、上壁４６ａと、底壁４６ｂと、側壁４６ｃと、側壁４６ｄとを含む。塗布現像装置２は、固化除去ユニット５０Ｄを備えてもよい。固化除去ユニット５０Ｄは、排気管４４Ｄ内の流路４５に設けられている。固化除去ユニット５０等が複数の羽根によって除去部材を回転させるのに対して、固化除去ユニット５０Ｄは、除去部材を往復移動させるように構成されている。

【0073】

固化除去ユニット５０Ｄは、排気管４４Ｄの内面における一部の領域に設けられた吸着面に固化して付着した昇華物Ｓｕを除去する。固化除去ユニット５０Ｄにおいて、吸着面は、例えば、上壁４６ａ及び底壁４６ｂの内面に設けられる。固化除去ユニット５０Ｄは、流路調整部１１０と、冷却ガス供給部９０とを有する。冷却ガス供給部９０は、流路調整部１１０よりも下流に配置されており、流路調整部１１０が配置される位置に冷却ガスＧｃを供給することで、上記低温部分を形成する。

【0074】

流路調整部１１０は、動力生成部１１１と、複数の除去部材１１８（例えば、４個の除去部材１１８）とを有する。動力生成部１１１は、排ガスＧｅの流れのエネルギーから、複数の除去部材１１８を方向Ｄ１に沿って往復移動させるための動力を生成する。動力生成部１１１は、羽根部１１２と、変換機構１１４とを有する。羽根部１１２は、複数の羽根を含んでおり、排ガスＧｅの流れを受けて、方向Ｄ１に垂直な方向に沿って延びる軸線まわりに回転するように構成されている。変換機構１１４は、羽根部１１２の回転運動（回転エネルギー）を複数の除去部材１１８を方向Ｄ１に沿って往復移動させる動力に変換する機構である。変換機構１１４は、欠歯ピン歯車と二重ラックとを含む機構であってもよい。

【0075】

複数の除去部材１１８は、変換機構１１４に接続されている。複数の除去部材１１８の２個の除去部材１１８は、上壁４６ａの内面（その内面における吸着面）に接触した状態で配置されている。複数の除去部材１１８のうちの残りの２個の除去部材１１８は、底壁４６ｂの内面（その内面における吸着面）に接触した状態で配置されている。除去部材１１８は、方向Ｄ１に垂直な方向に沿って延びるように棒状に形成されている。除去部材１１８は、上壁４６ａ又は底壁４６ｂの内面に、その内面を擦ることができる程度に接触している。

【0076】

固化除去ユニット５０Ｄでは、排ガスＧｅによって羽根部１１２の各羽根が回転すると、変換機構１１４によって除去部材１１８を往復移動させるための動力が生成される。動力生成部１１１は、上記動力によって除去部材１１８を方向Ｄ１において往復移動させるように構成されている。複数の除去部材１１８が上壁４６ａ及び底壁４６ｂの内面に沿って移動することで、上壁４６ａ及び底壁４６ｂの内面における吸着面に固化して付着した昇華物Ｓｕが除去される。

【0077】

（変形例５）
塗布現像装置２は、図９に示されるように、検知部材４７（検知部）と、報知部材４８とを備えてもよい。固化除去ユニット５０の流路調整部６０は、動力生成部６４に代えて、動力生成部６４Ａを有してもよい。動力生成部６４Ａは、回転軸６５に代えて回転軸６５Ａを含んでおり、回転軸６５Ａは、排気管４４の外まで延びている。動力生成部６４Ａは、動力生成部６４と同様に、複数の羽根６６の回転により除去部材を動かすための動力を生成する。

【0078】

検知部材４７は、動力生成部６４Ａにより生成された動力に応じて電気信号を生成する。検知部材４７は、上記動力である回転エネルギーを電気エネルギーに変換して電力を生成する発電機（発電機モータ）であってもよい。検知部材４７には、排気管４４の外まで延びる回転軸６５Ａの一端が接続されており、動力生成部６４Ａによって生成された動力が伝達されている。動力生成部６４Ａによる動力が大きくなるほど、検知部材４７によって生成される電力（電圧又は電流）が大きくなり、上記動力が小さくなるほど、検知部材４７によって生成される電力が小さくなる。

【0079】

検知部材４７は、配線４９を介して、生成した電力を報知部材４８に供給してもよい。報知部材４８は、作業員等のユーザに、検知部材４７によって生成された電力（電気信号）に応じた情報を報知する。上記情報は、動力生成部６４Ａによる動力の大きさを示す情報であり、複数の羽根６６の回転状態を示す。報知部材４８は、例えば、ＬＥＤである。この場合、報知部材４８は、検知部材４７によって生成された電力に応じた光量の光を発する。作業員等は、ＬＥＤからの光の強さを確認することで、複数の羽根６６の回転状態を確認することができる。

【0080】

検知部材４７は、報知部材４８ではなく、動力生成部６４Ａにより生成された動力に応じた電気信号を制御装置１００に出力してもよい。制御装置１００は、上記電気信号を継続して取得することで、複数の羽根６６の回転状態を示す情報を記録してもよく、複数の羽根６６の回転状態（処理空間Ｓからのガスの排気の状態）を監視してもよい。

【0081】

（その他の変形例）
固化除去ユニット５０は、冷却ガス供給部９０を有していなくてもよい。熱処理ユニットＵ２は、加熱ユニット３０の全体及び他の部材を囲む筐体と、その筐体内に下向きの下降流を発生させるブロア又はファンフィルタユニットとを有してもよい。ガス状態の昇華物Ｓｕが固化する程度まで温度が低下した上記低温部分は、排気管４４のうちの一部にブロア又はファンフィルタユニットによる下降流が当たることによって形成されてもよい。例えば、図３に例示される加熱ユニット３０を含む熱処理ユニットＵ２において、上方からファンフィルタユニットにより下降流が形成されている場合について考える。熱処理ユニットＵ２内において、排気管カバー（不図示）などの排気管４２を覆う部材が設けられてもよい。この場合に、固化除去ユニット５０が設けられる排気管４２の一部の領域における上側において、排気管４２を覆う部材を局所的に設けない又は切欠きを付けることで、下降流に対して露出する部分が形成されてもよい。露出部分の形成により、排気上流側の領域及び下流側の領域よりも温度が低い低温部分が形成されてもよい。

【0082】

塗布現像装置２においては、少なくとも加熱工程と排気工程とを含む基板処理方法が実行される。加熱工程は、処理液の膜Ｆが表面Ｗａに形成された状態のワークＷを処理空間Ｓ内において加熱することを含む。排気工程は、処理空間Ｓに接続された排気管４４を介して、ワークＷの加熱により処理液の膜Ｆから発生する昇華物Ｓｕを処理空間Ｓから排出することを含む。また、排気工程は、排気管４４内を流れる排ガスＧｅの流れによって動力を生成することと、排ガスＧｅに含まれる昇華物Ｓｕが付着するように設けられた吸着面６２ａに接触した除去部材６８を、上記動力によって吸着面６２ａに沿って移動させることと、を含む。

【0083】

［実施形態の効果］
上述の例とは異なり、排気管４４内において昇華物Ｓｕを含む排ガスＧｅをそのまま流すことが考えられる。この場合、排気管４４内のいずれかの箇所で昇華物Ｓｕが固化して、その箇所での固化が継続することで昇華物Ｓｕが堆積してしまうおそれがある。その結果、堆積した昇華物Ｓｕによって、排気管４４内の流路が詰まってしまう場合がある。上記塗布現像装置２では、排ガスＧｅに含まれる昇華物Ｓｕが吸着面に付着し、吸着面に接触する除去部材６８，１１８が、排ガスＧｅの流れから得られる動力によって吸着面に沿って移動する。そのため、吸着面に固化して付着した直後の昇華物Ｓｕが吸着面から除去され、固体状の昇華物Ｓｕが粉体として排ガスＧｅに混ざり、排ガスＧｅと共に下流に流れる。昇華物Ｓｕが固化した直後に除去されるので吸着面に昇華物Ｓｕが堆積され難い。また、固化した直後に除去された昇華物Ｓｕは極小であるので、下流においても昇華物Ｓｕが堆積され難い。従って、塗布現像装置２は、昇華物Ｓｕに起因した排気管４４の詰まりの抑制に有用である。

【0084】

吸着面は、排気管４４のうちの排ガスＧｅに含まれる昇華物Ｓｕが固化する程度まで温度が低下した低温部分に設けられてもよい。吸着面が低温部分に設けられることで、排ガスＧｅ内の多くの昇華物Ｓｕが吸着面上で固化する。これにより、排ガスＧｅ内に固化した状態の多くの昇華物Ｓｕが分散されるので、上記低温部分以降の下流において昇華物Ｓｕが堆積してしまう可能性を低減できる。従って、昇華物Ｓｕに起因して排気管４４の流路４５が詰まってしまう可能性又は頻度を低減するに有用である。

【0085】

吸着面６２ａは、排気管４４内において排ガスＧｅが流れる方向に交差した状態で、排ガスＧｅが当たるように設けられていてもよい。塗布現像装置２は、吸着面６２ａが形成された固着部材６２と、上記低温部分を形成するように、固着部材６２に対して冷却ガスＧｃを供給する冷却ガス供給部９０とを更に備えてもよい。吸着面６２ａに排ガスＧｅが当たり、また、吸着面６２ａが形成された固着部材６２に対して冷却ガスＧｃが供給されることで、排ガスＧｅに含まれる昇華物Ｓｕが吸着面６２ａ上で固化する量が多くなる。これにより、多くの昇華物Ｓｕが固化した状態で排ガスＧｅに分散されるので、固着部材６２よりも下流において昇華物Ｓｕが堆積してしまう可能性を低減できる。従って、昇華物Ｓｕの堆積に起因した排気管４４の詰まりの抑制に有用である。

【0086】

塗布現像装置２は、排気管４４内の排ガスＧｅと冷却ガスＧｃとが流れる箇所おいて、排気管４４内の流路４５の一部を塞ぐ閉塞部材７２を更に備えてもよい。閉塞部材７２は、排気管４４の内面に沿って全周に設けられていてもよい。閉塞部材７２の存在によって、ガスの流れに乱れが生じて固着部材６２を通過した後の排ガスＧｅと冷却ガスＧｃとの混合が促進される。そのため、固着部材６２の吸着面６２ａで固化しなかった昇華物Ｓｕの多くを、閉塞部材７２の上流において固化することができる。その結果、多くの昇華物Ｓｕが固化した状態で排ガスＧｅに分散されるので、昇華物Ｓｕが同じ箇所で固化する状態が継続されて、その箇所での昇華物Ｓｕが堆積する可能性を低減できる。従って、昇華物Ｓｕに起因して排気管４４が詰まってしまう可能性が低減され、排気管４４のメンテナンスの負担を低減するのに有用である。

【0087】

塗布現像装置２は、排気管４４内において排ガスＧｅが流れる方向に交差した状態で、固着部材６２を通過した排ガスＧｅが当たるように設けられた別の吸着面（吸着面８２ａ）と、吸着面８２ａが形成された固着部材８２と、吸着面８２ａに接触するように設けられた除去部材８８と、排ガスＧｅの流れによって別の動力を生成し、別の動力によって吸着面８２ａに沿って除去部材８８を移動させる動力生成部８４と、を更に備えてもよい。吸着面６２ａは、排気管４４内の流路４５の中央領域に位置していてもよく、吸着面８２ａは、排気管４４内の流路４５の外周領域に位置していてもよい。冷却ガス供給部９０による冷却ガスＧｃの吐出口９２ａと固着部材６２とは、固着部材８２を間に挟むように配置されていてもよい。この場合、上流に位置する固着部材６２を通過した後の排ガスＧｅに含まれる昇華物Ｓｕを固化させて、固化した状態の昇華物Ｓｕを排ガスＧｅに分散させることができる。また、冷却ガスＧｃによって、固着部材６２と、固着部材８２の周囲の温度が低下する。そのため、固化させて排ガスＧｅに分散させる昇華物Ｓｕの量を増加させることができる。従って、昇華物Ｓｕに起因した詰まりの可能性が低減され、排気管４４のメンテナンスの負担を低減するのに有用である。

【0088】

動力生成部６４は、排気管４４内において排ガスＧｅが流れる方向に沿った軸線まわりの第１回転方向に除去部材６８を回転させるように構成されていてもよい。動力生成部８４は、排気管４４内において排ガスＧｅが流れる方向に沿った軸線まわりの上記第１回転方向とは反対の第２回転方向に除去部材８８を回転させるように構成されていてもよい。動力生成部６４と動力生成部８４との間で回転方向が互いに逆方向となることで、気流の乱れが生じる。そのため、固着部材６２及び固着部材８２において、固化させて排ガスＧｅに分散させる昇華物Ｓｕの量を更に増加させることができる。従って、昇華物Ｓｕに起因した詰まりの可能性が更に低減され、排気管４４のメンテナンスの負担を低減するのに更に有用である。

【0089】

吸着面６２ａは、排気管４４内において排ガスＧｅが流れる方向に交差した状態で、排ガスＧｅが当たるように設けられていてもよい。塗布現像装置２は、吸着面６２ａが形成された固着部材６２と、上記低温部分を形成するように、排気管４４の内面４４ａにおいて開口した吐出口９２ａから、排気管４４内に冷却ガスＧｃを供給する冷却ガス供給部９０Ｃと、排気管４４の内面４４ａにおける吐出口９２ａの周囲に設けられた吸着面４４ｂと、吸着面４４ｂに接触するように設けられた除去部材６９とを更に備えてもよい。動力生成部６４は、上記動力によって吸着面４４ｂに沿って除去部材６９を更に移動させるように構成されていてもよい。冷却ガスＧｃの吐出口９２ａが排気管４４の内面４４ａにおいて開口するので、吐出口９２ａの近傍の内面４４ａにおいて、排ガスＧｅ内の昇華物Ｓｕが固化して堆積し得る。上記構成では、吐出口９２ａの周囲に位置する吸着面４４ｂ上を除去部材６９が接触した状態で移動する。そのため、排気管４４の内面４４ａに冷却ガスＧｃの吐出口９２ａを設けても、吐出口９２ａを内面４４ａで開口させたことに起因して昇華物Ｓｕの堆積が生じ難い。従って、排気管４４内において昇華物Ｓｕの堆積による詰まりを抑制するのに更に有用である。

【0090】

吸着面は、排気管４４Ｄの内面における一部の領域に設けられていてもよい。動力生成部１１１は、上記動力によって、排気管４４内において排ガスＧｅが流れる方向に沿って処理モジュール１１を往復移動させるように構成されていてもよい。この場合、排気管４４の内面において昇華物Ｓｕが固化して堆積しようとしても、固化の直後に動力生成部１１１によって除去できる。

【0091】

塗布現像装置２は、動力生成部６４により生成された上記動力に応じて電気信号を生成する検知部材４７を更に備えてもよい。この場合、検知部材４７による電気信号によって、動力生成部６４が生成する動力の状態を検知することができる。動力の状態が検知されることで、除去部材の周囲での昇華物Ｓｕの堆積状況、又は処理空間Ｓからのガスの排気の状態を推測することができる。

【符号の説明】

【0092】

２…塗布現像装置、Ｕ２…熱処理ユニット、３０…加熱ユニット、４０…排気装置、４４，４４Ｄ…排気管、４４ａ…内面、４４ｂ…吸着面、４５…流路、４７…検知部材、Ｇｅ…排ガス、６２ａ…吸着面、６２…固着部材、６４，６４Ａ，６４Ｃ…動力生成部、６８…除去部材，６９…除去部材、７２…閉塞部材、８２…固着部材、８２ａ…吸着面、８４…動力生成部、８８…除去部材、１１１…動力生成部、１１８…除去部材、９０…冷却ガス供給部、９２ａ…吐出口、Ｇｃ…冷却ガス。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】