特開2023-64096結像光学製造システムの目標波面を再生する方法、およびその方法を実施する計測システム

発明の名称　結像光学製造システムの目標波面を再生する方法、およびその方法を実施する計測システム

出願人　カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー　（識別番号 503263355）

　　　　特許公開件数ランキング 436 位（64件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 503 位（44件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-64096

公報発行日　2023年5月10

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-64096

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