特開 2023-67015 テープ貼付装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023067015

(43)【公開日】2023-05-16

(54)【発明の名称】テープ貼付装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20230509BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021177931

(22)【出願日】2021-10-29

(71)【出願人】

【識別番号】000151494

【氏名又は名称】株式会社東京精密

(71)【出願人】

【識別番号】394016601

【氏名又は名称】日東精機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100169960

【弁理士】

【氏名又は名称】清水 貴光

(72)【発明者】

【氏名】木▲崎▼ 清貴

(72)【発明者】

【氏名】青木 仁

(72)【発明者】

【氏名】足立 禎

(72)【発明者】

【氏名】金澤 雅喜

(72)【発明者】

【氏名】山本 雅之

(72)【発明者】

【氏名】松下 孝夫

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131BA53

5F131CA31

5F131CA45

5F131CA46

5F131CA49

5F131DA13

5F131DA33

5F131DA42

5F131EA07

5F131EA22

5F131EB01

5F131EB03

5F131EB73

5F131EC32

5F131EC33

5F131EC44

5F131EC62

5F131EC63

5F131EC66

5F131EC69

(57)【要約】

【課題】長期間に亘って稼働可能なテープ貼付装置を提供する。
【解決手段】テープ貼付装置１０は、ダイシングフレームＤＦ及びワークＷを保持した状態で搬送路Ｐ内を移動可能な搬送テーブル２３と、ダイシングテープＤＴをダイシングフレームＤＦ及びワークWに貼り付ける複数の貼付ユニット３０と、各貼付ユニット３０の起動・停止をそれぞれ制御するコントローラ５０と、を備えている。複数の貼付ユニット３０の起動・停止がそれぞれ制御可能なことにより、何れかの貼付ユニット３０によるダイシングテープＤＴの貼付と並行して、他の貼付ユニット３０のメンテナンス又はダイシングテープＤＴの切替や交換を行える。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

テープ貼付装置であって、
ダイシングフレーム及びワークを保持した状態で搬送路内を移動可能な搬送テーブルと、
ダイシングテープを前記ダイシングフレーム及びワークに貼り付ける複数の貼付ユニットと、
各前記貼付ユニットの起動・停止をそれぞれ制御するコントローラと、
を備えていることを特徴とするテープ貼付装置。

【請求項2】

前記貼付ユニットが前記搬送路外で待機する待機位置と前記貼付ユニットが前記搬送路内で前記搬送テーブルに近接する貼付位置との間で、前記貼付ユニットを移動可能な移動機構をさらに備えていることを特徴とする請求項１に記載のテープ貼付装置。

【請求項3】

前記移動機構は、前記貼付ユニットを装置外に引き出し可能に支持する引出ガイドを備えていることを特徴とする請求項２に記載のテープ貼付装置。

【請求項4】

前記搬送路と前記搬送路外で待機する前記貼付ユニットとを隔てる開閉自在なシャッターをさらに備えていることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載のテープ貼付装置。

【請求項5】

前記ワークの加工条件に対応する前記ダイシングテープの種類情報を記憶するとともに、前記貼付ユニット毎に、収容する前記ダイシングテープの種類情報及び前記貼付ユニットの位置情報を記憶する記憶装置をさらに備え、
前記コントローラは、入力された前記ワークの加工条件に応じた種類の前記ダイシングテープを収容する貼付ユニットを駆動させることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載のテープ貼付装置。

【請求項6】

前記搬送テーブルは、前記複数の貼付ユニットのうち前記ダイシングテープの貼り付けを実行するように選択された貼付ユニットの近傍に移動し、
前記選択された貼付ユニットは、前記搬送テーブルに保持された前記ダイシングフレーム及びワークに前記ダイシングテープを貼り付けることを特徴とする請求項２に記載のテープ貼付装置。

【請求項7】

前記移動機構は、前記搬送テーブルが前記ダイシングフレーム及びワークを搬送する移動方向には移動しないように前記貼付ユニットを支持していることを特徴とする請求項６に記載のテープ貼付装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ダイシングテープのテープ貼付装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

半導体製造分野では、シリコンウェハ等の半導体基板（以下、「ワーク」という）をチップに割断する工程があり、その工程では、ワークに貼着されたダイシングテープが個々のチップの位置を拘束することにより、チップの割断を効率よく行うことができる。

【0003】

特許文献１には、チャックテーブルに真空吸着された半導体ウエハ及びリングフレームに亘ってダイシングテープを貼付けローラで押圧しながら貼り付ける装置が記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１５－５３４７３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１記載の装置では、ワークの品種に応じたテープ切替時、テープの消耗に伴うテープ交換時又は装置のメンテンナンス時に装置を一時停止させる必要があり、装置稼働時間が短くなりがちであるという問題があった。

【0006】

そこで、テープ貼付装置の稼働時間を長大化させるために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記目的を達成するために、本発明に係るテープ貼付装置は、テープ貼付装置であって、ダイシングフレーム及びワークを保持した状態で搬送路内を移動可能な搬送テーブルと、ダイシングテープを前記ダイシングフレーム及びワークに貼り付ける複数の貼付ユニットと、各前記貼付ユニットの起動・停止をそれぞれ制御するコントローラと、を備えている。

【0008】

この構成によれば、複数の貼付ユニットを個別に起動・停止を制御可能なため、何れかの貼付ユニットによるダイシングテープの貼り付けと並行して、他の貼付ユニットのメンテナンス又はダイシングテープの切替や交換を行えるため、テープ貼付装置の稼働時間を長大化させることができる。

【発明の効果】

【0009】

本発明は、長期に亘って稼働可能なテープ貼付装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明の一実施形態に係るテープ貼付装置を含む加工装置の構成を示す正面図。

【図2】扉を外した状態のテープ貼付装置を示す正面図。

【図3】搬送ユニット及び貼付ユニットを示す斜視図。

【図4】一方側から視た貼付ユニット及び移動機構を示す斜視図。

【図5】貼付ユニット及び移動機構を示す正面図。

【図6】他方側から視た貼付ユニット及び移動機構を示す斜視図。

【図7】一方側から視た移動機構を示す斜視図。

【図8】他方側から視た移動機構を示す斜視図。

【図9】テープ貼付システムの主要な構成を示すブロック図。

【図10】１台の貼付ユニットを貼付位置まで降下させたテープ貼付装置を示す正面図。

【図11】ダイシングテープをワーク、ダイシングフレームに貼付する手順を示す模式図。

【図12】（ａ）は貼付ユニットを覆う扉を外した状態を示す斜視図、（ｂ）は貼付ユニットを装置外に引き出した状態を示す斜視図。

【発明を実施するための形態】

【0011】

本発明の一実施形態について図面に基づいて説明する。なお、以下では、構成要素の数、数値、量、範囲等に言及する場合、特に明示した場合及び原理的に明らかに特定の数に限定される場合を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも構わない。

【0012】

また、構成要素等の形状、位置関係に言及するときは、特に明示した場合及び原理的に明らかにそうでないと考えられる場合等を除き、実質的にその形状等に近似又は類似するもの等を含む。

【0013】

また、図面は、特徴を分かり易くするために特徴的な部分を拡大する等して誇張する場合があり、構成要素の寸法比率等が実際と同じであるとは限らない。

【0014】

＜加工装置の構成＞
図１に示すように、ワークＷを加工する加工装置１は、ダイシング装置２と、テープ貼付装置１０と、を備えている。ダイシング装置２は、ダイサー方式やレーザー方式等でテープ貼付装置１０から搬送された後述するワークＷをチップに割断するものであって公知の構成から成り、開閉可能な扉３に覆われている。

【0015】

＜テープ貼付装置の構成＞
テープ貼付装置１０は、図１、２に示すように、搬送ユニット２０と、貼付ユニット３０と、を備えている。搬送ユニット２０は、架台１１に直接取り付けられ、貼付ユニット３０は、後述する移動機構４０を介して架台１１に取り付けられている。搬送ユニット２０及び貼付ユニット３０は、開閉可能な扉４に覆われている。

【0016】

図２、３に示すように、搬送ユニット２０は、ワークＷを保持する内周側テーブル２１と、ダイシングフレームＤＦを載置する外周側テーブル２２と、を有する搬送テーブル２３を備えている。ワークＷは、例えば、シリコンウェハ等の半導体基板であるが、これに限定されるものではない。

【0017】

内周側テーブル２１の表面には、無数の気孔を有する多孔質材料からなる図示しない吸着体が埋設されている。吸着体の気孔の粗さは、例えば、＃４００又は＃８００等である。

【0018】

内周側テーブル２１は、図示しない真空源及び圧縮空気源に切換自在に接続されている。真空源が起動すると、内周側テーブル２１に載置されたワークＷと吸着体の上面（吸着面）との間に負圧が供給されて、ワークＷが吸着面に吸着保持される。また、圧縮空気源が起動すると、ワークＷと吸着面との間に圧縮空気（リリースエアー）が供給されて、ワークＷと吸着面との吸着が解除される。

【0019】

搬送テーブル２３は、搬送スライダ２４に載置されている。搬送スライダ２４は、架台１１に水平に取り付けられている。搬送スライダ２４は、テープ貼付装置１０の一方端（ワークＷの搬入・搬出側）と他方端（ダイシング装置２側）とに亘って形成された搬送路Ｐ内において移動方向Ｄに沿って搬送テーブル２３を往復動可能に構成されている。

【0020】

貼付ユニット３０は、ダイシングテープＤＴをワークＷ及びダイシングフレームＤＦに貼り付ける。貼付ユニット３０は、搬送路Ｐの上方で移動方向Ｄに沿って３台が並設されている。各貼付ユニット３０は、それぞれ独立して起動・停止を制御可能である。なお、貼付ユニット３０の設置台数は、２台であっても、４台以上であっても構わない。

【0021】

貼付ユニット３０にそれぞれ装着される各ダイシングテープＤＴは、同じ種類であっても異なる種類であっても構わない。ダイシングテープＤＴは、例えば紫外線硬化テープ等である。なお、符号１２は、搬送路Ｐの上方であって搬送テーブル２３に干渉しない待機位置に位置する貼付ユニット３０と搬送路Ｐとを隔てる開閉自在なシャッターである。

【0022】

図４～６に示すように、貼付ユニット３０は、基部３１と、繰出軸３２と、巻取軸３３と、ガイドローラ３４ａ～３４ｆと、押圧ローラ３５と、ナイフプレート３６と、を備えている。

【0023】

繰出軸３２は、基部３１の側面から立設され、ロール状のダイシングテープＤＴを繰り出し可能に支持する。繰出軸３２には、繰出軸３２の回転数からダイシングテープＤＴの残量を算出する回転数センサ、又はダイシングテープＤＴが少なくなったときに繰出軸３２を検知する金属検知センサ等が設けられて、ダイシングテープＤＴの残量が少なったことを検知可能である。

【0024】

巻取軸３３は、基部３１の側面から立設され、ダイシングテープＤＴのセパレータを巻き取ってダイシングテープＤＴに繰出力を付与する。

【0025】

ガイドローラ３４ａ～３４ｆは、基部３１及び支持プレート３７に両端を支持され、ダイシングテープＤＴの軌道を規制する。

【0026】

押圧ローラ３５は、アクチュエータ３５ａによって昇降可能に構成されており、ダイシングテープＤＴのテープ本体をワークＷ及びダイシングフレームＤＦに押圧して貼付する。

【0027】

ナイフプレート３６は、ダイシングテープＤＴのセパレータを折り返すようにセパレータの軌道を規制する。なお、符号３８は、貼付ユニット３０を機外に引き出す際にオペレータが把持するハンドルである。

【0028】

移動機構４０は、貼付ユニット３０を架台１１に対して相対移動可能に支持している。図７～８に示すように、移動機構４０は、前後一対の支柱４１と、支柱４１の側面に設けられた昇降ガイドレール４２上を移動自在な前後一対の昇降スライダ４３と、昇降スライダ４３をそれぞれ昇降可能なシリンダ４４と、を備えている。なお、以下の説明において、一対に設けられた支柱４１、昇降ガイドレール４２、昇降スライダ４３又はシリンダ４４を前後で区別する場合には、前後方向の前方Fに位置する部材の符号の末尾にＦを付し、前後方向の後方Rに位置する部材の符号の末尾にＲを付して区別する。

【0029】

支柱４１Ｆ、４１Ｒは、架台１１上に立設され、搬送路Ｐを挟んで前後にそれぞれ配置されている。

【0030】

昇降スライダ４３Ｆは、昇降ガイドレール４２Ｆによって支柱４１Ｆに対して相対的に昇降可能に且つ支柱４１Ｆの長手方向に沿って昇降するように規制されている。また、シリンダ４４Ｆのロッドが、昇降スライダ４３Ｆの下端に接続されており、シリンダ４４Ｆのロッドの進退動作に応じて、昇降スライダ４３Ｆが昇降する。

【0031】

同様に、昇降スライダ４３Ｒは、昇降ガイドレール４２Ｒによって支柱４１Ｒに対して相対的に昇降可能に且つ支柱４１Ｒの長手方向に沿って昇降するように規制されている。また、シリンダ４４Ｒのロッドが、昇降スライダ４３Ｒの下端に接続されており、シリンダ４４Ｒのロッドの進退動作に応じて、昇降スライダ４３Ｒが昇降する。

【0032】

また、移動機構４０は、基部３１の上部と昇降スライダ４３Ｒとを接続する上部引出ガイド４５と、基部３１の下部と昇降スライダ４３Ｆ、４３Ｒとを接続する下部引出ガイド４６と、を備えている。

【0033】

上部引出ガイド４５は、昇降スライダ４３Ｒの側面から立設された上部梁４５ａと、上部梁４５ａの側面に前後方向に沿って設けられた上部ガイドレール４５ｂと、基部３１の上部に接続されて上部ガイドレール４５ｂ上を摺動可能に設けられた上部横スライダ４５ｃと、を備えている。

【0034】

下部引出ガイド４６は、昇降スライダ４３Ｆ、４３Ｒ間に架設された下部梁４６ａと、下部梁４６ａの側面に前後方向に沿って設けられた下部ガイドレール４６ｂと、基部３１の下部に接続されて下部ガイドレール４６ｂ上を摺動可能に設けられた２台の下部横スライダ４６ｃと、を備えている。

【0035】

これにより、シリンダ４４Ｆ、４４Ｒが連動して進退動作を行うことにより、貼付ユニット３０は、水平を保ちながら昇降することができる。

【0036】

また、オペレータがハンドル３８を把持して貼付ユニット３０を前後方向の前方Fに引き出そうとすると、上部横スライダ４５ｃが上部ガイドレール４５ｂ上を摺動するとともに下部横スライダ４６ｃが下部ガイドレール４６ｂ上を摺動することにより、貼付ユニット３０が、上部梁４５ａ、下部梁４６ａに対して相対的に移動して前後方向の前方Fに引き出される。

【0037】

テープ貼付装置１０の動作は、コントローラ５０を介して制御される。図９に示すように、コントローラ５０は、テープ貼付装置１０を構成する構成要素をそれぞれ制御するものである。コントローラ５０は、例えばコンピュータであり、ＣＰＵ、メモリ等により構成される。なお、コントローラ５０の機能は、ソフトウェアを用いて制御することにより実現されても良く、ハードウェアを用いて動作するものにより実現されても良い。

【0038】

コントローラ５０は、入力装置５１と、記憶装置５２と、を備えている。

【0039】

入力装置５１は、ワークＷの加工条件を入力する等して所望のダイシングテープＤＴを呼び出すための装置であり、例えば加工装置１の側面に設けられたタッチパネル等である。

【0040】

記憶装置５２は、複数のワークＷに関する加工条件と各加工条件に対応したダイシングテープＤＴの種類情報とが関連付けて記憶されている。また、記憶装置５２は、貼付ユニット３０毎に、貼付ユニット３０が収容するダイシングテープＤＴの種類情報及び貼付ユニット３０の位置情報を記憶している。なお、ダイシングテープＤＴの種類情報及び貼付ユニット３０の位置情報は、ダイシングテープＤＴの切替や交換が生じる度に更新される。

【0041】

次に、テープ貼付装置１０の動作について図面に基づいて説明する。

【0042】

＜ワーク搬送＞
まず、ダイシングフレームＤＦが、図示しない搬送ハンド等により外周側テーブル２２上に移載される。

【0043】

次に、ワークＷが、図示しない搬送ハンド等により内周側テーブル２１上に移載される。その後、真空源からワークＷと吸着面との間に負圧が供給されると、ワークＷが内周側テーブル２１に吸着される。ワークＷの上面とダイシングフレームＤＦの上面とは、略面一に設定される。

【0044】

＜テープ貼付＞
オペレータ等により入力装置５１を介して入力されたワークＷの加工条件に基づいて、コントローラ５０が、ワークＷの加工条件に適したダイシングテープＤＴの種類情報を記憶装置５２から呼び出す。

【0045】

次に、コントローラ５０が、呼び出したワークＷの加工条件に適したダイシングテープＤＴの種類情報と各貼付ユニット３０に装着されているダイシングテープＤＴの種類情報とを比較して、ワークＷの加工条件に適したダイシングテープＤＴを収容する貼付ユニット３０を選択する。

【0046】

次に、コントローラ５０が搬送スライダ２４を駆動させて、選択された貼付ユニット３０の押圧ローラ３５の下方にダイシングフレームＤＦの一方端（貼り付け開始位置）が位置するように、搬送テーブル２３を移動させる。

【0047】

次に、選択された貼付ユニット３０と搬送路Ｐとを隔てるシャッター１２が開かれ、その後に、選択された貼付ユニット３０を支持するシリンダ４４Ｆ、４４Ｒを起動して、図１０に示すように、待機位置で待機する貼付ユニット３０を押圧ローラ３５がダイシングフレームＤＦの一方端に接近する貼付位置まで貼付ユニット３０を降下させる。なお、貼付ユニット３０は、必ずしも全体が搬送路Ｐ内に進入する必要はなく、少なくとも押圧ローラ３５等のダイシングテープＤＴの貼り付けに必要の構成が搬送路Ｐ内に進入すればよい。

【0048】

次に、巻取軸３３が回転してダイシングテープＤＴを繰り出すとともに、図１１（ａ）に示すように、押圧ローラ３５がダイシングテープＤＴをダイシングフレームＤＦに押し当てて所定の押圧力でダイシングテープＤＴを貼着する。

【0049】

その後、搬送テーブル２３が移動方向Ｄの進行方向側（Ｄ１）に沿って移動すると、図１１（ｂ）に示すように、ダイシングテープＤＴが、ダイシングフレームＤＦ及びワークＷに徐々に貼り進められる。

【0050】

そして、図１１（ｃ）に示すように、ダイシングテープＤＴが、ダイシングフレームＤＦの他方端（貼り付け終了位置）まで達すると、ワークＷとダイシングフレームＤＦとが、ダイシングテープＤＴを介して一体に貼着される。

【0051】

ダイシングテープＤＴの貼り付けが終了すると、コントローラ５０は搬送スライダ２４を駆動させて、搬送テーブル２３がダイシング装置２に向けて移動する。

【0052】

なお、ワークＷの加工条件が変更される等してダイシングテープＤＴの貼り付けに供する貼付ユニット３０を変更する場合には、まず、貼付位置に位置する貼付ユニット３０を支持する移動機構４０のシリンダ４４Ｆ、４４Ｒを起動して、貼付ユニット３０を搬送路Ｐから退避させるように貼付位置から待機位置まで上昇させる。

【0053】

次に、新たに選択された貼付ユニット３０を支持する移動機構４０を起動して、この貼付ユニット３０を搬送路Ｐ内に進入させるように待機位置から貼付位置まで降下させる。このようにして、異なるワークＷの加工条件に対応できるように貼付ユニット３０をスムーズに変更することができる。

【0054】

〈テープ交換、メンテナンス〉
ワークＷの品種に応じてダイシングテープＤＴを切り替えたり、ダイシングテープＤＴの消耗に伴ってダイシングテープＤＴを交換したり、又は貼付ユニット３０のメンテンナンスを行う場合には、オペレータは、図１２（ａ）に示すように、テープ交換等を行うテープ貼付装置１０の扉４を開き、ハンドル３８を把持して手前に引き出すと、上部横スライダ４５ｃが上部ガイドレール４５ｂ上を摺動するとともに下部横スライダ４６ｃが下部ガイドレール４６ｂ上を摺動することにより、図１２（ｂ）に示すように、オペレータが貼付ユニット３０の各部にアクセスし易いように、貼付ユニット３０がテープ貼付装置１０の装置外に引き出される。

【0055】

また、各貼付ユニット３０が独立して動作制御されていることにより、何れかの貼付ユニット３０によるダイシングテープＤＴの貼り付けと並行して、他の貼付ユニット３０のメンテナンス又はダイシングテープＤＴの切替や交換を行うことができる。

【0056】

このようにして、本実施形態に係るテープ貼付装置１０は、ダイシングフレームＤＦ及びワークＷを保持した状態で搬送路Ｐ内を移動可能な搬送テーブル２３と、ダイシングテープＤＴをダイシングフレームＤＦ及びワークＷに貼り付ける複数の貼付ユニット３０と、各貼付ユニット３０の起動・停止をそれぞれ制御するコントローラ５０と、を備えている構成とした。

【0057】

この構成によれば、複数の貼付ユニット３０を個別に起動・停止を制御可能なため、何れかの貼付ユニット３０によるダイシングテープＤＴの貼付と並行して、他の貼付ユニット３０のメンテナンス又はダイシングテープＤＴの切替や交換を行えるため、テープ貼付装置１０の稼働時間を長大化させることができる。

【0058】

また、本実施形態に係るテープ貼付装置１０は、貼付ユニット３０が搬送路Ｐ外で待機する待機位置と貼付ユニット３０が搬送路Ｐ内で搬送テーブル２３に近接する貼付位置との間で、貼付ユニット３０を移動可能な移動機構４０をさらに備えている構成とした。

【0059】

この構成によれば、移動機構４０が、テープ貼り付けを行う貼付ユニット３０のみを貼付位置に移動させるとともに、他の貼付ユニット３０を搬送テーブル２３に干渉しない待機位置に待機させることにより、貼付ユニット３０と搬送テーブル２３との接触を回避することができる。

【0060】

また、本実施形態に係るテープ貼付装置１０は、移動機構４０が、貼付ユニット３０を装置外に引き出し可能に支持する上部引出ガイド４５、下部引出ガイド４６を備えている構成とした。

【0061】

この構成によれば、貼付ユニット３０が装置外に簡便に引き出し可能なことにより、オペレータが貼付ユニット３０の各部にアクセスし易くなり、ダイシングテープＤＴのセッティング作業や貼付ユニット３０のメンテナンス作業を効率的に行うことができる。

【0062】

また、本実施形態に係るテープ貼付装置１０は、搬送路Ｐと搬送路Ｐ外で待機する貼付ユニット３０とを隔てる開閉自在なシャッター１２をさらに備えている構成とした。

【0063】

この構成によれば、オペレータが貼付ユニット３０にアクセスする際に、高速で移動する搬送テーブル２３に誤って接触することを抑制できる。

【0064】

また、本実施形態に係るテープ貼付装置１０は、ワークＷの加工条件に対応するダイシングテープＤＴの種類情報を記憶するとともに、貼付ユニット３０毎に、収容するダイシングテープＤＴの種類情報及び貼付ユニット３０の位置情報を記憶する記憶装置５２をさらに備え、コントローラ５０は、入力されたワークＷの加工条件に応じた種類のダイシングテープＤＴを収容する貼付ユニット３０を駆動させる構成とした。

【0065】

この構成によれば、複数の貼付ユニット３０のうち、入力されたワークＷの加工条件に応じた適切なダイシングテープＤＴを収容する貼付ユニット３０を選択することにより、多様なワークＷの加工条件に対応することができる。

【0066】

また、本実施形態に係るテープ貼付装置１０は、搬送テーブル２３が、複数の貼付ユニット３０のうちダイシングテープＤＴの貼り付けを実行するように選択された貼付ユニット３０の近傍に移動し、選択された貼付ユニット３０が、搬送テーブル２３に保持されたダイシングフレームＤＦ及びワークＷにダイシングテープＤＴを貼り付ける構成とした。

【0067】

この構成によれば、搬送テーブル２３が貼付位置に位置する貼付ユニット３０の近傍に移動した後に、この貼付ユニット３０がダイシングテープＤＴをダイシングフレームＤＦ及びワークＷに貼り付けることにより、貼付ユニット３０によるダイシングテープＤＴの貼付をスムーズに実行することができる。

【0068】

また、本実施形態に係るテープ貼付装置１０は、移動機構４０が、搬送テーブル２３がダイシングフレームＤＦ及びワークＷを搬送する移動方向Ｄには移動しないように貼付ユニット３０を支持している構成とした。

【0069】

例えば、貼付ユニット３０が移動方向Ｄに沿って移動する構成を採用した場合には、貼付ユニット３０の移動スペースを確保したり貼付ユニット３０の移動を制御する制御装置が必要となる等してテープ貼付装置１０が大型化し、装置の設置面積が拡大することが避けられず、また、テープ貼付装置１０の構成が複雑になり、製造・組立・メンテナンス等の各種作業が煩雑となる。さらに、貼付ユニット３０を移動させた後にダイシングテープＤＴを貼り付けるときには、搬送テーブル２３に対する貼付ユニット３０の相対的な位置関係を制御するアライメント制御が煩雑になり、ダイシングテープＤＴを適切に貼り付けることが難しくなる。一方、移動機構４０が貼付ユニット３０を移動方向Ｄには移動しないように支持していることにより、貼付ユニット３０の移動スペースや移動制御の制御装置が不要となり、製造・組立・メンテナンス等の各種作業が簡便に行え、さらに、ダイシングテープＤＴを精度良く貼り付けることができる。

【0070】

また、本発明は、本発明の精神を逸脱しない限り、上記以外にも種々の改変を為すことができ、そして、本発明が該改変されたものに及ぶことは当然である。

【0071】

例えば、上述した実施形態では、テープ貼付の際に適当なダイシングテープＤＴを収容する貼付ユニット３０を降下させ、テープ切替等の際に貼付ユニット３０を引出可能に支持する移動機構４０を例示に説明したが、移動機構４０の構成はこれに限定されるものではなく。

【0072】

例えば、複数の貼付ユニット３０が搬送路Ｐの側方に移動方向Ｄに沿って並設され、テープ貼付の際に適当なダイシングテープＤＴを収容する貼付ユニット３０を搬送路Ｐ内に進入するようにスライドさせ、テープ切替等の際に貼付ユニット３０を上方に引出可能に支持する移動機構４０であっても構わない。

【符号の説明】

【0073】

１ ：加工装置
２ ：ダイシング装置
１０：テープ貼付装置
２０：搬送ユニット
２３：搬送テーブル
３０：貼付ユニット
３５：押圧ローラ
４０：移動機構
４１、４１Ｆ、４１Ｒ：支柱
４２、４２Ｆ、４２Ｒ：昇降ガイドレール
４３、４３Ｆ、４３Ｒ：昇降スライダ
４４、４４Ｆ、４４Ｒ：シリンダ
４５：上部引出ガイド
４６：下部引出ガイド
５０：コントローラ
ＤＦ：ダイシングフレーム
ＤＴ：ダイシングテープ
Ｐ ：搬送路
Ｗ ：ワーク

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】