特開 2023-71585 半導体装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023071585

(43)【公開日】2023-05-23

(54)【発明の名称】半導体装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 25/07 20060101AFI20230516BHJP

   H01L 23/12 20060101ALI20230516BHJP

   H05K 1/18 20060101ALI20230516BHJP

【ＦＩ】

H01L25/04 C

H01L23/12 301L

H05K1/18 J

【審査請求】未請求

【請求項の数】13

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022116626

(22)【出願日】2022-07-21

(31)【優先権主張番号】P 2021183970

(32)【優先日】2021-11-11

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(71)【出願人】

【識別番号】000190688

【氏名又は名称】新光電気工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100107766

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠重

(74)【代理人】

【識別番号】100070150

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠彦

(72)【発明者】

【氏名】孝井 健一

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 仁志

【テーマコード（参考）】

5E336

【Ｆターム（参考）】

5E336AA04

5E336BB02

5E336BB12

5E336BC15

5E336BC21

5E336CC31

5E336EE01

5E336EE05

5E336EE08

5E336GG30

(57)【要約】      （修正有）

【課題】インダクタンスを低減する半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置１は、互いに反対側を向く２面を有し、一方の面に第１電極１１が設けられ、他方の面に第２電極１２が設けられた第１半導体素子１０と、一方の面に第３電極２１が設けられ、他方の面に第４電極２２が設けられた第２半導体素子２０と、各半導体素子が接着された絶縁基材４１と、絶縁基材を貫通し、第１電極と電気的に接続されるとともに、絶縁基材に積層された第１配線６３と、絶縁基材を貫通し、第３電極と電気的に接続されるとともに、絶縁基材に積層された第２配線６４と、第１半導体素子に設けられ、第２電極と電気的に接続される第１配線部材１１０と、絶縁基材に設けられ、第２配線と電気的に接続される第２配線部材１２０と、を有する。絶縁基材は、折り曲げられて、第２配線部材が第１配線と接合され、第１配線部材と第２配線部材とに互いに逆方向の電流が流れる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１面と、前記第１面とは反対側の第２面とを有し、前記第１面に第１電極が設けられ、前記第２面に第２電極が設けられた第１半導体素子と、
第３面と、前記第３面とは反対側の第４面とを有し、前記第３面に第３電極が設けられ、前記第４面に第４電極が設けられた第２半導体素子と、
前記第１半導体素子及び前記第２半導体素子が接着された第５面と、前記第５面とは反対側の第６面とを有する絶縁基材と、
前記絶縁基材を貫通し、前記第１電極と電気的に接続されるとともに、前記絶縁基材の前記第６面に積層された第１配線と、
前記絶縁基材を貫通し、前記第３電極と電気的に接続されるとともに、前記絶縁基材の前記第６面に積層された第２配線と、
前記第１半導体素子の前記第２面側に設けられ、前記第２電極と電気的に接続される第１配線部材と、
第７面と、前記第７面とは反対側の第８面とを有し、前記第７面が前記絶縁基材の前記第６面側に設けられ、前記第２配線と電気的に接続される第２配線部材と、
を有し、
前記絶縁基材が前記第６面を内側にして折り曲げられて、前記第２配線部材の前記第８面が前記第１配線と接合され、
前記第１配線部材と前記第２配線部材とは互いに逆方向の電流が流れる半導体装置。

【請求項2】

前記絶縁基材は可撓性を備える請求項１に記載の半導体装置。

【請求項3】

前記第１配線部材と前記第２電極とを互いに接合する第１導電性接着層と、
前記第２配線部材と前記第２配線とを互いに接合する第２導電性接着層と、
を有する請求項１又は２に記載の半導体装置。

【請求項4】

前記第２配線部材と前記第１配線とを互いに接合する第１絶縁性接着層を有する請求項１又は２に記載の半導体装置。

【請求項5】

前記第１配線部材は第１リード端子を有し、
前記第２配線部材は第２リード端子を有する請求項１又は２に記載の半導体装置。

【請求項6】

前記第１配線部材は第１配線基板を有し、
前記第２配線部材は第２配線基板を有する請求項１又は２に記載の半導体装置。

【請求項7】

前記第５面に接着された導電部材と、
前記第２半導体素子の前記第４面側に設けられ、前記導電部材及び前記第４電極と電気的に接続される第３配線部材と、
を有し、
前記第１配線は、前記絶縁基材を貫通し、前記導電部材と電気的に接続されている請求項１又は２に記載の半導体装置。

【請求項8】

前記第３配線部材と前記導電部材とを互いに接合する第３導電性接着層と、
前記第３配線部材と前記第４電極とを互いに接合する第４導電性接着層と、
を有する請求項７に記載の半導体装置。

【請求項9】

前記第３配線部材は第３リード端子を有する請求項７に記載の半導体装置。

【請求項10】

前記第３配線部材は第３配線基板を有する請求項７に記載の半導体装置。

【請求項11】

前記第１半導体素子は、前記第１面に設けられた第５電極を有し、
前記第２半導体素子は、前記第３面に設けられた第６電極を有し、
前記絶縁基材を貫通し、前記第５電極と電気的に接続されるとともに、前記絶縁基材の前記第６面に積層された第３配線と、
前記絶縁基材を貫通し、前記第６電極と電気的に接続されるとともに、前記絶縁基材の前記第６面に積層された第４配線と、
を有する請求項１又は２に記載の半導体装置。

【請求項12】

前記絶縁基材の前記第５面の上に設けられた第２絶縁性接着層を有する請求項１又は２に記載の半導体装置。

【請求項13】

前記第２絶縁性接着層は、
前記第１半導体素子を前記第５面に接着する第１接着部と、
前記第２半導体素子を前記第５面に接着する第２接着部と、
を有し、
前記第１接着部と前記第２接着部との間で、前記絶縁基材の折り曲げられた部分の前記第５面が前記第２絶縁性接着層から露出する請求項１２に記載の半導体装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、半導体装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体装置として、ポリイミド等の樹脂フィルムに接着層を介して半導体素子が貼り付けられ、樹脂フィルムの接着層とは反対側の面に配線層が形成されたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１６－０４６５２３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

高速のスイッチング動作等のために更なるインダクタンスの低減が望まれる。

【0005】

本開示は、インダクタンスを低減することができる半導体装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示の一形態によれば、第１面と、前記第１面とは反対側の第２面とを有し、前記第１面に第１電極が設けられ、前記第２面に第２電極が設けられた第１半導体素子と、第３面と、前記第３面とは反対側の第４面とを有し、前記第３面に第３電極が設けられ、前記第４面に第４電極が設けられた第２半導体素子と、前記第１半導体素子及び前記第２半導体素子が接着された第５面と、前記第５面とは反対側の第６面とを有する絶縁基材と、前記絶縁基材を貫通し、前記第１電極と電気的に接続されるとともに、前記絶縁基材の前記第６面に積層された第１配線と、前記絶縁基材を貫通し、前記第３電極と電気的に接続されるとともに、前記絶縁基材の前記第６面に積層された第２配線と、前記第１半導体素子の前記第２面側に設けられ、前記第２電極と電気的に接続される第１配線部材と、第７面と、前記第７面とは反対側の第８面とを有し、前記第７面が前記絶縁基材の前記第６面側に設けられ、前記第２配線と電気的に接続される第２配線部材と、を有し、前記絶縁基材が前記第６面を内側にして折り曲げられて、前記第２配線部材の前記第８面が前記第１配線と接合され、前記第１配線部材と前記第２配線部材とは互いに逆方向の電流が流れる半導体装置が提供される。

【発明の効果】

【0007】

本開示によれば、インダクタンスを低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】第１実施形態に係る半導体装置を示す断面図である。

【図2】第１実施形態に係る半導体装置を示す回路図である。

【図3】第１実施形態に係る半導体装置の製造方法を示す断面図（その１）である。

【図4】第１実施形態に係る半導体装置の製造方法を示す断面図（その２）である。

【図5】第１実施形態に係る半導体装置の製造方法を示す断面図（その３）である。

【図6】第１実施形態に係る半導体装置の製造方法を示す断面図（その４）である。

【図7】第２実施形態に係る半導体装置を示す断面図である。

【図8】第３実施形態に係る半導体装置を示す断面図である。

【図9】第３実施形態に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。

【図10】第４実施形態に係る半導体装置を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本開示の実施形態について添付の図面を参照しながら具体的に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複した説明を省くことがある。また、本開示においては、Ｘ１－Ｘ２方向、Ｙ１－Ｙ２方向、Ｚ１－Ｚ２方向を相互に直交する方向とする。Ｘ１－Ｘ２方向及びＹ１－Ｙ２方向を含む面をＸＹ面と記載し、Ｙ１－Ｙ２方向及びＺ１－Ｚ２方向を含む面をＹＺ面と記載し、Ｚ１－Ｚ２方向及びＸ１－Ｘ２方向を含む面をＺＸ面と記載する。なお、便宜上、Ｚ１－Ｚ２方向を上下方向とし、Ｚ１側を上側、Ｚ２側を下側とする。また、平面視とは、Ｚ１側から対象物を視ることをいい、平面形状とは、対象物をＺ１側から視た形状のことをいう。但し、半導体装置は天地逆の状態で用いることができ、又は任意の角度で配置することができる。

【0010】

（第１実施形態）
まず、第１実施形態について説明する。第１実施形態は半導体装置に関する。

【0011】

［半導体装置の構成］
まず、第１実施形態に係る半導体装置の断面構成について説明する。図１は、第１実施形態に係る半導体装置を示す断面図である。

【0012】

図１に示すように、第１実施形態に係る半導体装置１は、半導体素子１０と、半導体素子２０と、導電部材３０と、フレキシブル配線基板４０とを有する。各半導体素子１０、２０としては、例えば、シリコン（Ｓｉ）やシリコンカーバイド（ＳｉＣ）を用いたデバイスを用いることができる。各半導体素子１０、２０としては、例えば、窒化ガリウム（ＧａＮ）やガリウム砒素（ＧａＡｓ）などを用いたデバイスを用いることもできる。例えば、半導体素子１０、２０としては、能動素子としての半導体素子（例えば、ＣＰＵ等のシリコンチップ）、絶縁ゲートバイポーラトランジスタ（ＩＧＢＴ：Insulated Gate Bipolar Transistor）、金属酸化膜半導体電界効果トランジスタ（ＭＯＳＦＥＴ：Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor）やダイオード等を用いることができる。本実施形態の半導体素子１０、２０は、表裏面に電極が設けられた半導体素子である。半導体素子１０、２０の平面形状は、任意の形状及び任意の大きさとすることができる。半導体素子１０、２０の平面形状は、例えば、矩形状に形成されている。半導体素子１０、２０の厚さは、例えば、５０μｍ～５００μｍ程度とすることができる。

【0013】

半導体素子１０は、一方の面１０Ａと、一方の面１０Ａとは反対側の他方の面１０Ｂとを有する。また、半導体素子１０は、本体部１５と、電極１１と、電極１２と、電極１３とを有する。電極１１及び電極１３は一方の面１０Ａに設けられ、電極１２は他方の面１０Ｂに設けられている。例えば、電極１１、電極１２、電極１３は、それぞれソース電極、ドレイン電極、ゲート電極とすることができる。

【0014】

半導体素子２０は、一方の面２０Ａと、一方の面２０Ａとは反対側の他方の面２０Ｂとを有する。また、半導体素子２０は、本体部２５と、電極２１と、電極２２と、電極２３とを有する。電極２１及び電極２３は一方の面２０Ａに設けられ、電極２２は他方の面２０Ｂに設けられている。例えば、電極２１、電極２２、電極２３は、それぞれソース電極、ドレイン電極、ゲート電極とすることができる。

【0015】

電極１１、電極１２、電極１３、電極２１、電極２２及び電極２３（以下、これらを「電極」と総称することがある）の材料としては、例えば、アルミニウム（Ａｌ）や銅（Ｃｕ）などの金属、又はこれら金属から選択される少なくとも一種の金属を含む合金を用いることができる。なお、必要に応じて、電極の表面に表面処理層を形成するようにしてもよい。表面処理層の例としては、金（Ａｕ）層、ニッケル（Ｎｉ）層／Ａｕ層（Ｎｉ層とＡｕ層をこの順番で積層した金属層）、Ｎｉ層／パラジウム（Ｐｄ）層／Ａｕ層（Ｎｉ層とＰｄ層とＡｕ層をこの順番で積層した金属層）などを挙げることができる。これらＡｕ層、Ｎｉ層、Ｐｄ層としては、例えば、無電解めっき法により形成された金属層（無電解めっき金属層）を用いることができる。また、Ａｕ層はＡｕ又はＡｕ合金からなる金属層、Ｎｉ層はＮｉ又はＮｉ合金からなる金属層、Ｐｄ層はＰｄ又はＰｄ合金からなる金属層である。

【0016】

導電部材３０は、例えばＣｕ板等の金属板である。導電部材３０の平面形状は、任意の形状及び任意の大きさとすることができる。導電部材３０の平面形状は、例えば、矩形状に形成されている。導電部材３０の厚さは半導体素子１０及び２０の厚さと同程度であり、例えば、５０μｍ～５００μｍ程度とすることができる。

【0017】

フレキシブル配線基板４０は、絶縁基材４１と、絶縁性の接着層４２と、配線層４５とを有する。絶縁基材４１は、一方の面４１Ａと、一方の面４１Ａとは反対側の他方の面４１Ｂとを有する。接着層４２は一方の面４１Ａの上に設けられており、配線層４５は他方の面４１Ｂの上に設けられている。接着層４２は一方の面４１Ａの上の全体に設けられていてよい。配線層４５は他方の面４１Ｂに積層されている。配線層４５は、シード層４３と、金属層４４とを有する。

【0018】

絶縁基材４１としては、例えば、樹脂フィルム等を用いることができる。樹脂フィルムの材料としては、ポリイミド系樹脂、ポリエチレン系樹脂やエポキシ系樹脂などの絶縁性樹脂を用いることができる。絶縁基材４１は、例えば、可撓性を有している。ここで、可撓性とは、曲げや撓みを持たせることができる性質をいう。絶縁基材４１の平面形状は、任意の形状及び任意の大きさとすることができる。絶縁基材４１の平面形状は、例えば、矩形状に形成されている。絶縁基材４１の厚さは、例えば、５０μｍ～１００μｍ程度とすることができる。

【0019】

半導体素子１０、半導体素子２０及び導電部材３０は、接着層４２により絶縁基材４１の一方の面４１Ａに接着されている。絶縁基材４１の一方の面４１Ａに、半導体素子１０の一方の面１０Ａ及び半導体素子２０の一方の面２０Ａが対向している。絶縁基材４１及び接着層４２に、電極１１が露出する貫通孔５１と、電極２１が露出する貫通孔５２と、導電部材３０が露出する貫通孔５３と、電極１３が露出する貫通孔５４と、電極２３が露出する貫通孔５５とが形成されている。

【0020】

接着層４２の材料としては、例えば、エポキシ系、ポリイミド系やシリコーン系などの接着剤を用いることができる。接着層４２の厚さとしては、例えば、２０μｍ～４０μｍ程度とすることができる。

【0021】

電極１１と貫通孔５１との組が複数設けられていてもよく、電極２１と貫通孔５２との組が複数設けられていてもよい。

【0022】

配線層４５は、貫通孔５１を通じて電極１１に接続された配線６１と、貫通孔５２を通じて電極２１に接続された配線６２と、貫通孔５４を通じて電極１３に接続された配線６３と、貫通孔５５を通じて電極２３に接続された配線６４とを有する。配線６１は、貫通孔５３を通じて導電部材３０にも接続されている。

【0023】

配線６１は、貫通孔５１内に充填されたビア配線と、貫通孔５３内に充填されたビア配線と、絶縁基材４１の他方の面４１Ｂに形成された配線パターンとを含む。配線６２は、貫通孔５２内に充填されたビア配線と、絶縁基材４１の他方の面４１Ｂに形成された配線パターンとを含む。配線６３は、貫通孔５４内に充填されたビア配線と、絶縁基材４１の他方の面４１Ｂに形成された配線パターンとを含む。配線６４は、貫通孔５５内に充填されたビア配線と、絶縁基材４１の他方の面４１Ｂに形成された配線パターンとを含む。

【0024】

シード層４３は、絶縁基材４１の他方の面４１Ｂと、貫通孔５１～５５の内面とを被覆する。シード層４３は、絶縁基材４１の他方の面４１Ｂと、貫通孔５１～５５の内面と、貫通孔５１～５５の底部に露出された電極の面とを連続して被覆するように形成されている。シード層４３としては、スパッタ法により形成された金属膜（スパッタ膜）を用いることができる。スパッタ法により形成されたシード層４３としては、例えば、絶縁基材４１の他方の面４１Ｂ及び貫通孔５１～５５の内面に、チタン（Ｔｉ）からなるＴｉ層と、銅（Ｃｕ）からなるＣｕ層とが順に積層された２層構造の金属膜を用いることができる。この場合には、Ｔｉ層の厚さは例えば１０ｎｍ～３００ｎｍ程度とすることができ、Ｃｕ層の厚さは例えば１００ｎｍ～１０００ｎｍ程度とすることができる。なお、Ｔｉ層は、絶縁基材４１及び電極等とシード層４３との密着性を向上させる密着層として機能する。また、Ｔｉ層は、Ｃｕ層等から絶縁基材４１等に銅が拡散することを抑制する金属バリア層として機能する。このような密着層及び金属バリア層として機能する金属膜の材料としては、Ｔｉの他に、窒化チタン（ＴｉＮ）、窒化タンタル（ＴａＮ）、タンタル（Ｔａ）、クロム（Ｃｒ）等を用いることができる。

【0025】

金属層４４の材料としては、例えば、銅や銅合金を用いることができる。金属層４４としては、例えば、電解めっき法により形成された金属層（電解めっき金属層）を用いることができる。

【0026】

フレキシブル配線基板４０は、他方の面４１Ｂを内側に、一方の面４１Ａを外側にして折り曲げられている。具体的には、フレキシブル配線基板４０は、貫通孔５２、５３及び５５が、貫通孔５１及び５４の上側（Ｚ１側）に位置するように、折り曲げられている。このため、配線層４５の配線６２及び６４が配線６３の上側（Ｚ１側）に位置するとともに、配線６１が途中で折り曲げられている。また、半導体素子１０と半導体素子２０とがＺ１－Ｚ２方向で重なり合っている。半導体素子２０が半導体素子１０の上側（Ｚ１側）に位置し、半導体素子１０の一方の面１０Ａと半導体素子２０の一方の面２０Ａとが互いに対向する。フレキシブル配線基板４０は、折り曲げられることで屈曲部を有している。

【0027】

例えば、フレキシブル配線基板４０が折り曲げられた状態で、電極１１及び貫通孔５１は、電極１３及び貫通孔５４のＸ１側にあり、電極２１及び貫通孔５２は、電極２３及び貫通孔５５のＸ２側にある。また、導電部材３０及び貫通孔５３は、半導体素子２０及び貫通孔５５のＸ１側にある。

【0028】

半導体装置１は、更に、リード端子１１０と、リード端子１２０と、リード端子１３０と、リード端子１４０とを有する。リード端子１１０、１２０、１３０及び１４０は、例えばリードフレームから形成されている。リード端子１１０、１２０及び１３０は、配線部材の一例である。

【0029】

リード端子１１０は、導電性接着層７１により半導体素子１０の電極１２に接合されている。リード端子１２０は、導電性接着層７２により配線層４５の配線６２に接合されている。リード端子１３０は、導電性接着層７３により導電部材３０に接合され、かつ導電性接着層７４により半導体素子２０の電極２２に接合されている。リード端子１４０は、導電性接着層７５により配線層４５の配線６４に接合されている。導電性接着層７１～７５は、例えば、はんだ層又は焼結金属層である。導電性接着層７１～７５が導電性ペーストから構成されていてもよい。

【0030】

リード端子１２０及び１４０は、絶縁性接着層７０により配線層４５の配線６１及び６３に接合されている。絶縁性接着層７０の材料としては、例えば、エポキシ系、ポリイミド系やシリコーン系などの接着剤を用いることができる。絶縁性接着層７０を介して、半導体素子１０及び２０が互いに固定されている。

【0031】

リード端子１１０及び１２０は、半導体素子１０及び２０から見てＸ２側に互いに平行に延びる。リード端子１１０とリード端子１２０との間の距離は、概ね半導体素子１０の厚さとフレキシブル配線基板４０の厚さとの和と同程度であり、例えば１ｍｍ以下である。また、リード端子１３０は、半導体素子１０及び２０から見てＸ１側に延びる。

【0032】

リード端子１１０に半導体素子１０の電極１２が電気的に接続されている。リード端子１２０に半導体素子２０の電極２１が電気的に接続されている。リード端子１３０に半導体素子１０の電極１１及び半導体素子２０の電極２２が電気的に接続されている。すなわち、配線層４５の配線６１と半導体素子２０の電極２２とが、導電部材３０及びリード端子１３０を介して電気的に接続されている。また、リード端子１４０は、半導体素子２０の電極２３に電気的に接続されている。配線層４５の配線６３にもリード端子（図示せず）が接続され、このリード端子は半導体素子１０の電極１３に電気的に接続される。

【0033】

ここで、第１実施形態に係る半導体装置１の回路構成について説明する。図２は、第１実施形態に係る半導体装置を示す回路図である。

【0034】

図２に示すように、半導体素子１０の電極１２がリード端子１１０を介してＰ端子に電気的に接続される。半導体素子２０の電極２１がリード端子１２０を介してＮ端子に電気的に接続される。また、半導体素子１０の電極１１及び半導体素子２０の電極２２がリード端子１３０を介してＯ端子に電気的に接続される。Ｐ端子は正極側の入力端子であり、Ｎ端子は負極側の入力端子であり、Ｏ端子は出力端子である。従って、リード端子１１０とリード端子１２０とに互いに逆方向の電流が流れる。

【0035】

［半導体装置の製造方法］
次に、第１実施形態に係る半導体装置の製造方法について説明する。図３～図６は、第１実施形態に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。以下の説明では、半導体装置１となる部分を一括して製作した後に、個片化して多数の半導体装置１を製造する、いわゆる多数個取りの製造方法について説明する。なお、説明の便宜上、最終的に半導体装置１の各構成要素となる部分には、最終的な構成要素の符号を付して説明する。

【0036】

まず、図３（ａ）に示すように、一方の面４１Ａ及び他方の面４１Ｂを有する大判の絶縁基材４１を準備する。大判の絶縁基材４１は、例えば、半導体装置１が形成される個別領域がマトリクス状に複数個連設されている。ここで、個別領域は、最終的に所定の切断線に沿って切断させて個片化され、各々個別の半導体装置１となる領域である。なお、大判の絶縁基材４１が有する個別領域の数は特に限定されない。絶縁基材４１の一方の面４１Ａには、一方の面４１Ａの全体を被覆する絶縁性の接着層４２が設けられている。

【0037】

次に、図３（ｂ）に示すように、絶縁基材４１及び接着層４２の所要箇所に、絶縁基材４１及び接着層４２を厚さ方向に貫通する貫通孔５１～５５を形成する。貫通孔５１～５５は、例えば、ＣＯ_２レーザやＵＶ－ＹＡＧレーザ等によるレーザ加工法又はパンチング法によって形成することができる。例えば、貫通孔５１は貫通孔５４のＸ１側に形成し、貫通孔５３は貫通孔５１のＸ１側に形成し、貫通孔５５は貫通孔５３のＸ１側に形成し、貫通孔５２は貫通孔５５のＸ１側に形成する。

【0038】

次に、図３（ｃ）に示すように、半導体素子１０、半導体素子２０及び導電部材３０を接着層４２により絶縁基材４１に接着させる。このとき、半導体素子１０の一方の面１０Ａを絶縁基材４１の一方の面４１Ａに対向させ、平面視で、電極１１が貫通孔５１に重なり、電極１３が貫通孔５４に重なるように位置合わせを行う。また、半導体素子２０の一方の面２０Ａを絶縁基材４１の一方の面４１Ａに対向させ、平面視で、電極２１が貫通孔５２に重なり、電極２３が貫通孔５５に重なるように位置合わせを行う。更に、平面視で、導電部材３０の一方の面（Ｚ１側の面）が貫通孔５３に重なるように位置合わせを行う。

【0039】

次に、図４（ａ）に示すように、絶縁基材４１の他方の面４１Ｂの上にシード層４３及び金属層４４を含む配線層４５を形成する。配線層４５は、例えばセミアディティブ法によって形成することができる。

【0040】

具体的には、絶縁基材４１の他方の面４１Ｂの全体と貫通孔５１～５５の内面の全体とを被覆するようにシード層４３を形成する。シード層４３は、例えば、スパッタ法や無電解めっき法により形成することができる。例えば、スパッタ法によりシード層４３を形成する場合には、まず、絶縁基材４１の他方の面４１Ｂと貫通孔５１～５５の内面とを被覆するように、チタンをスパッタリングにより堆積させてＴｉ層を形成する。その後、Ｔｉ層上に銅をスパッタリングにより堆積させてＣｕ層を形成する。これにより、２層構造（Ｔｉ層／Ｃｕ層）のシード層４３を形成することができる。また、無電解めっき法によりシード層４３を形成する場合には、例えば、無電解銅めっき法によりＣｕ層（１層構造）からなるシード層４３を形成することができる。

【0041】

次いで、シード層４３の上に、配線層４５を形成する部分、すなわち配線６１～６４を形成する部分に開口部が設けられためっきレジスト層（不図示）を形成する。続いて、シード層４３をめっき給電経路に利用する電解めっき法により、めっきレジスト層の開口部に銅等からなる金属層４４を形成する。その後、めっきレジスト層を除去する。次いで、金属層４４をマスクにしてシード層４３をウェットエッチングにより除去する。このようにして、シード層４３及び金属層４４を含む配線層４５を形成することができる。配線層４５は、配線６１～６４を有する。絶縁基材４１、接着層４２及び配線層４５からフレキシブル配線基板４０が構成される。

【0042】

配線層４５の形成後、図４（ｂ）に示すように、半導体素子１０の他方の面１０Ｂの上に導電性接着層７１を設け、導電部材３０の他方の面（Ｚ２側の面）の上に導電性接着層７３を設け、半導体素子２０の他方の面２０Ｂの上に導電性接着層７４を設ける。また、配線層４５の配線６２の上面（Ｚ１側の面）の上に導電性接着層７２を設け、配線６４の上面（Ｚ１側の面）の上に導電性接着層７５を設ける。導電性接着層７１～７５は未硬化の状態とする。

【0043】

次に、図５（ａ）に示すように、リード端子１１０を導電性接着層７１により電極１２に接合し、リード端子１３０を導電性接着層７３により導電部材３０に接合するともに、導電性接着層７４により電極２２に接合する。また、リード端子１２０を導電性接着層７２により配線６２に接合し、リード端子１４０を導電性接着層７５により配線６４に接合する。この接合の際に、導電性接着層７１～７５を硬化させる。

【0044】

次に、図５（ｂ）に示すように、配線層４５の配線６１及び６３の上面（Ｚ１側の面）の上に絶縁性接着層７０を設ける。絶縁性接着層７０は、例えば配線６１及び６３にまたがるように設ける。絶縁性接着層７０は未硬化の状態とする。

【0045】

次に、図６（ａ）に示すように、フレキシブル配線基板４０を、貫通孔５１と貫通孔５３との間で、絶縁基材４１の他方の面４１Ｂが内側に、一方の面４１Ａが外側になるようにして折り曲げる。

【0046】

そして、図６（ｂ）に示すように、絶縁性接着層７０を配線層４５の配線６１及び６３の上面（Ｚ１側の面）に押し付けて広げる。次に、絶縁性接着層７０を硬化させて、リード端子１２０を配線層４５の配線６１及び６３にも固定する。

【0047】

このようにして、第１実施形態に係る半導体装置１を製造することができる。なお、大判の絶縁基材４１の分割は、例えば、配線層４５の形成（図４（ａ）参照）の後で、導電性接着層７１～７５を設ける（図４（ｂ）参照）前に行うことができる。

【0048】

第１実施形態に係る半導体装置１では、Ｐ端子からＮ端子に向けて電流が流れる。このため、リード端子１１０では、Ｘ２側からＸ１側に向けて電流が流れ、リード端子１２０では、Ｘ１側からＸ２側に向けて電流が流れる。また、本実施形態では、リード端子１１０とリード端子１２０との間の距離は、概ね半導体素子１０の厚さとフレキシブル配線基板４０の厚さとの和と同程度である。従って、インダクタンスを著しく低減することができる。

【0049】

また、配線層４５は絶縁基材４１の他方の面４１Ｂにセミアディティブ法により、微細かつ高精度で形成することができる。配線層４５は絶縁基材４１の他方の面４１Ｂにサブトラクティブ法により形成することも可能である。更に、接着層４２により絶縁基材４１の一方の面４１Ａに半導体素子１０及び２０を接着することで、絶縁基材４１及び配線層４５に対して半導体素子１０及び２０の位置を固定することができる。従って、本実施形態によれば、優れた位置精度及び接続信頼性を得ることができる。

【0050】

参考例として、絶縁基板（セラミックス基板等）の表面に設けられた金属箔（銅箔等）に半導体素子が固定された半導体装置（パワーモジュール）を製造するとする。このような半導体装置を製造する際には、半導体素子の固定のためにはんだのリフローが行われ、このリフロー時に少なからず半導体素子の位置ずれが生じ得る。このため、設計段階において、半導体素子の配置に比較的大きなマージンが必要とされる。

【0051】

一方、本実施形態では、貫通孔５１～５５が形成された絶縁基材４１に半導体素子１０及び２０が接着され、セミアディティブ法により配線層４５が形成される。このため、優れた位置精度及び接続信頼性を得ることができ、参考例のような大きなマージンは必要とされない。

【0052】

（第２実施形態）
次に、第２実施形態について説明する。図７は、第２実施形態に係る半導体装置を示す断面図である。

【0053】

図７に示すように、第２実施形態に係る半導体装置２は、リード端子１１０に代えて配線基板２１０を有し、リード端子１２０及び１４０に代えて配線基板２２０を有し、リード端子１３０に代えて配線基板２３０を有する。配線基板２１０、２２０及び２３０は、配線部材の一例である。

【0054】

配線基板２１０は、絶縁層２１１と、配線層２１２とを有する。配線層２１２は絶縁層２１１の上面（Ｚ１側の面）の上に設けられている。絶縁層２１１の材料は無機材料であってもよく、有機材料であってもよく、複合材料であってもよい。配線層２１２の材料は、例えば、銅又は銅合金である。配線層２１２が導電性接着層７１により半導体素子１０の電極１２に接合されている。

【0055】

配線基板２２０は、絶縁層２２１と、配線層２２２と、配線層２２３とを有する。配線層２２２及び２２３は絶縁層２２１の上面（Ｚ１側の面）の上に設けられている。絶縁層２２１の材料は無機材料であってもよく、有機材料であってもよく、複合材料であってもよい。配線層２２２及び２２３の材料は、例えば、銅又は銅合金である。配線層２２２が導電性接着層７２により配線層４５の配線６２に接合され、配線層２２３が導電性接着層７５により配線層４５の配線６４に接合されている。また、絶縁層２２１は、絶縁性接着層７０により配線層４５の配線６１及び６３に接合されている。

【0056】

配線基板２３０は、絶縁層２３１と、配線層２３２とを有する。配線層２３２は絶縁層２３１のＺ２側の面の上に設けられている。絶縁層２３１の材料は無機材料であってもよく、有機材料であってもよく、複合材料であってもよい。配線層２３２の材料は、例えば、銅又は銅合金である。配線層２３２が導電性接着層７３により導電部材３０に接合され、かつ導電性接着層７４により半導体素子２０の電極２２に接合されている。

【0057】

配線基板２１０は、半導体素子１０及び２０から見てＸ２側に延びる配線層（例えば配線層２１２）を含み、配線基板２２０は、半導体素子１０及び２０から見てＸ２側に延びる配線層（例えば配線層２２２）を含む。また、配線基板２３０は、半導体素子１０及び２０から見てＸ１側に延びる配線層（例えば配線層２３２）を含む。

【0058】

他の構成は第１実施形態と同様である。

【0059】

第２実施形態に係る半導体装置２を製造する場合、配線基板２１０、２２０及び２３０を予め準備しておく。そして、リード端子１１０に代えて配線基板２１０を半導体素子１０に接合し、リード端子１２０及び１４０に代えて配線基板２２０を配線層４５に接合し、リード端子１３０に代えて配線基板２３０を半導体素子２０及び導電部材３０に接合する。このようにして、半導体装置２を製造することができる。

【0060】

第２実施形態に係る半導体装置２でも、Ｐ端子からＮ端子に向けて電流が流れる。このため、配線基板２１０では、Ｘ２側からＸ１側に向けて電流が流れ、配線基板２２０では、Ｘ１側からＸ２側に向けて電流が流れる。また、本実施形態では、配線基板２１０と配線基板２２０との間の距離は、概ね半導体素子１０の厚さとフレキシブル配線基板４０の厚さとの和と同程度である。従って、第１実施形態と同様に、インダクタンスを著しく低減することができる。

【0061】

また、第１実施形態と同様に、貫通孔５１～５５が形成された絶縁基材４１に半導体素子１０及び２０が接着され、セミアディティブ法により配線層４５が形成される。このため、優れた位置精度及び接続信頼性を得ることができる。

【0062】

（第３実施形態）
次に、第３実施形態について説明する。

【0063】

［半導体装置の構成］
まず、第３実施形態に係る半導体装置の断面構成について説明する。図８は、第３実施形態に係る半導体装置を示す断面図である。

【0064】

図８に示すように、第３実施形態に係る半導体装置３は、接着層４２に代えて接着層３４２を有する。接着層４２と同じく、接着層３４２は絶縁基材４１の一方の面４１Ａの上に設けられている。接着層３４２の材料及び厚さは、接着層４２の材料及び厚さと同様である。

【0065】

接着層３４２は、半導体素子１０を一方の面４１Ａに接着する接着部３４２Ａと、半導体素子２０を一方の面４１Ａに接着する接着部３４２Ｂとを有する。接着部３４２Ａと接着部３４２Ｂとの間で、絶縁基材４１の折り曲げられた部分の一方の面４１Ａが接着層３４２から露出している。

【0066】

他の構成は第１実施形態と同様である。

【0067】

［半導体装置の製造方法］
次に、第３実施形態に係る半導体装置の製造方法について説明する。図９は、第３実施形態に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。以下の説明では、半導体装置３となる部分を一括して製作した後に、個片化して多数の半導体装置３を製造する、いわゆる多数個取りの製造方法について説明する。なお、説明の便宜上、最終的に半導体装置３の各構成要素となる部分には、最終的な構成要素の符号を付して説明する。

【0068】

まず、図９（ａ）に示すように、第１実施形態と同様に、一方の面４１Ａ及び他方の面４１Ｂを有する大判の絶縁基材４１を準備する。ただし、絶縁基材４１の一方の面４１Ａには、接着層４２に代えて、接着部３４２Ａと、接着部３４２Ｂとを備え、接着部３４２Ａと接着部３４２Ｂとの間に開口部３４２Ｘが形成された絶縁性の接着層３４２が設けられる。開口部３４２Ｘは、例えば接着層の打ち抜き加工により形成することができる。

【0069】

次に、図９（ｂ）に示すように、絶縁基材４１及び接着層３４２の所要箇所に、絶縁基材４１及び接着層３４２を厚さ方向に貫通する貫通孔５１～５５を形成する。

【0070】

次に、図９（ｃ）に示すように、半導体素子１０、半導体素子２０及び導電部材３０を接着層３４２により絶縁基材４１に接着させる。このとき、半導体素子１０は接着部３４２Ａにより絶縁基材４１に接着させ、半導体素子２０及び導電部材３０は接着部３４２Ｂにより絶縁基材４１に接着させる。また、第１実施形態と同様の位置合わせを行う。

【0071】

その後、第１実施形態と同様にして、シード層４３及び金属層４４を含む配線層４５の形成以降の処理を行う。このようにして、第３実施形態に係る半導体装置３を製造することができる。

【0072】

第３実施形態によっても第１実施形態と同様の効果を得ることができる。更に、接着部３４２Ａと接着部３４２Ｂとの間で、絶縁基材４１の折り曲げられた部分の一方の面４１Ａが接着層３４２から露出する。このため、接着層３４２には、絶縁基材４１の折り曲げに付随して折り曲げられた部分が含まれないか、含まれていたとしてもその範囲は第１実施形態よりも狭い。第１実施形態では、接着層４２の材料によっては、硬化後の接着層４２の靭性が低く、折り曲げられると接着層４２に割れが生じるおそれがある。接着層４２に割れが生じると、絶縁基材４１から接着層４２が剥離したり、半導体素子１０、半導体素子２０又は導電部材３０が絶縁基材４１から剥離したりするおそれがある。これに対し、第３実施形態では、接着層３４２はほとんど折り曲げられないため、硬化後の接着層３４２の靭性が低い場合でも、接着層３４２の割れを生じにくくすることができる。

【0073】

（第４実施形態）
次に、第４実施形態について説明する。図１０は、第４実施形態に係る半導体装置を示す断面図である。

【0074】

図１０に示すように、第４実施形態に係る半導体装置４は、第２実施形態と同様に、リード端子１１０に代えて配線基板２１０を有し、リード端子１２０及び１４０に代えて配線基板２２０を有し、リード端子１３０に代えて配線基板２３０を有する。

【0075】

他の構成は第３実施形態と同様である。

【0076】

第４実施形態によれば、第２実施形態及び第３実施形態と同様の効果を得ることができる。

【0077】

なお、配線基板の構成は上記のものに限定されず、セラミックス基板又はビルドアップ基板等が用いられてもよく、単層構造に限定されない。例えば、１層又は複数層の配線層と複数層の絶縁層とを積層した積層構造に具体化してもよい。配線層は表面及び裏面の両方に設けられていてもよい。

【0078】

また、リード端子１１０，１２０，１３０と配線基板２１０，２２０，２３０をそれぞれ組み合わせて半導体装置を構成しても良い。例えば、図１において、リード端子１２０を配線基板２２０に置換した構成でも良い。

【0079】

以上、好ましい実施の形態等について詳説したが、上述した実施の形態等に制限されることはなく、特許請求の範囲に記載された範囲を逸脱することなく、上述した実施の形態等に種々の変形及び置換を加えることができる。

【符号の説明】

【0080】

１、２、３、４ 半導体装置
１０、２０ 半導体素子
１０Ａ、１０Ｂ、２０Ａ、２０Ｂ 面
１１、２１ 電極
１２、２２ 電極
１３、２３ 電極
３０ 導電部材
４０ フレキシブル配線基板
４１ 絶縁基材
４２、３４２ 接着層
４５ 配線層
５１、５２、５３、５４、５５ 貫通孔
６１、６２、６３、６４ 配線
７０ 絶縁性接着層
７１、７２、７３、７４、７５ 導電性接着層
１１０、１２０、１３０、１４０ リード端子
２１０、２２０、２３０ 配線基板
２１１、２２１、２３１ 絶縁層
２１２、２２２、２２３、２３２ 配線層
３４２Ａ、３４２Ｂ：接着部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】