特開2023-76733タングステンスパッタリングターゲット

発明の名称　タングステンスパッタリングターゲット

出願人　ＪＸ日鉱日石金属株式会社　（識別番号 502362758）

　　　　特許公開件数ランキング 393 位（74件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 447 位（54件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-76733

公報発行日　2023年6月1

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-76733

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