特開2023-84658IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

窒化物半導体レーザ素子

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】端面損傷の発生を抑制した窒化物半導体レーザ素子を提供することを目的とする。
【解決手段】第1導電型の第1窒化物半導体層と、該第1導電型とは異なる導電型である第2導電型の第2窒化物半導体層と、前記第1窒化物半導体層と前記第2窒化物半導体層との間に配置される活性層と、該活性層の前記第2窒化物半導体層の側の面と交わる光出射側端面及び光反射側端面と、前記光出射側端面に設けられた保護膜とを備え、該保護膜は、前記光出射側端面の側から順に、アルミニウム及び/又はガリウムと酸素とを含む結晶性の第1膜と、窒化膜からなる結晶性の第2膜と、アルミニウムと酸素とを含む第3膜とを備える窒化物半導体レーザ素子。
【選択図】図1C

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

一方、特に高出力が求められる半導体レーザにおいて、端面損傷(COD:catastrophic optical damage)が高出力化の限界要因のひとつとして挙げられている。このような限界を克服した、つまり、端面損傷の発生を抑制した、より高出力及び高性能の半導体レーザ素子が求められている。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の一実施形態の窒化物半導体レーザ素子は、第1導電型の第1窒化物半導体層と、該第1導電型とは異なる導電型である第2導電型の第2窒化物半導体層と、前記第1窒化物半導体層と前記第2窒化物半導体層との間に配置される活性層と、該活性層の前記第2窒化物半導体層の側の面と交わる光出射側端面及び光反射側端面と、前記光出射側端面に設けられた保護膜とを備え、 該保護膜は、前記光出射側端面の側から順に、・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の一実施形態によれば、端面損傷の発生を抑制した窒化物半導体レーザ素子を提供することができる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

知財ポータルサイト IP Force にログインして確認する (無料)

この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1A】 本発明の一実施形態の窒化物半導体レーザ素子の斜視図である。
【図1B】 図1Aの正面図である。
【図1C】 図1AのIC-IC線断面図である。
【図2】 保護膜及びその付近の高分解能透過電子顕微鏡像である。
【図3A】 第3膜の電子線回折像である。
【図3B】 第2膜の電子線回折像である。
【図3C】 第1膜の電子線回折像である。
【図3D】 窒化物半導体積層体の電子線回折像である。
【図4】 本発明の窒化物半導体レーザ素子の別の例を示す断面図である。
【図5】 光出射側端面の側の保護膜の別の例を示す部分拡大図である。
【図6】 光反射側端面の側の保護膜の一例を示す部分拡大図である。

選択図 図1C出願人が指定した本件の代表的な図

10 窒化物半導体レーザ素子 11 第1窒化物半導体層 12 第2窒化物半導体層 12a リッジ 13 活性層 14 光出射側端面 14a 光出射面 15 光反射側端面 16 基板 17 第1電極 18 埋込膜 19 第2電極 20 パッド電極 24、25 保護膜 21 第1膜 22 第2膜 23 第3膜 26 第4膜 25a 第1部分 25b 第2部分 251 第5膜 252 第6膜 253 第7膜 254 高屈折率膜 255 低屈折率膜

全ての図面はログインすると無料で閲覧できます。ログイン・ユーザー登録

[広告欄]

ログインすれば広告は減ります

ログインすれば広告は減ります