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公報発行日 2023年6月19
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-84658 ログイン済みの方はこのURLへ
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【課題】端面損傷の発生を抑制した窒化物半導体レーザ素子を提供することを目的とする。
【解決手段】第1導電型の第1窒化物半導体層と、該第1導電型とは異なる導電型である第2導電型の第2窒化物半導体層と、前記第1窒化物半導体層と前記第2窒化物半導体層との間に配置される活性層と、該活性層の前記第2窒化物半導体層の側の面と交わる光出射側端面及び光反射側端面と、前記光出射側端面に設けられた保護膜とを備え、該保護膜は、前記光出射側端面の側から順に、アルミニウム及び/又はガリウムと酸素とを含む結晶性の第1膜と、窒化膜からなる結晶性の第2膜と、アルミニウムと酸素とを含む第3膜とを備える窒化物半導体レーザ素子。
【選択図】図1C
本発明の一実施形態によれば、端面損傷の発生を抑制した窒化物半導体レーザ素子を提供することができる。
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