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特開2023-86720色調整板、太陽電池モジュール、色調整板の製造方法、成膜方法、及び、成膜装置
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023086720
(43)【公開日】2023-06-22
(54)【発明の名称】色調整板、太陽電池モジュール、色調整板の製造方法、成膜方法、及び、成膜装置
(51)【国際特許分類】
G02B 5/28 20060101AFI20230615BHJP
H01L 31/054 20140101ALI20230615BHJP
【ＦＩ】
G02B5/28
H01L31/04 620
【審査請求】未請求
【請求項の数】43
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022197411
(22)【出願日】2022-12-09
(31)【優先権主張番号】P 2021200963
(32)【優先日】2021-12-10
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(31)【優先権主張番号】P 2022102066
(32)【優先日】2022-06-24
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
【国等の委託研究の成果に係る記載事項】（出願人による申告）２０２０年度、国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構、「太陽光発電主力電源化推進技術開発／太陽光発電の新市場創造技術開発／壁面設置太陽光発電システム技術開発（壁面設置太陽電池モジュール（非開口部、開口部）の開発）」委託研究、産業技術力強化法第１７条の適用を受ける特許出願
(71)【出願人】
【識別番号】304021417
【氏名又は名称】国立大学法人東京工業大学
(71)【出願人】
【識別番号】301021533
【氏名又は名称】国立研究開発法人産業技術総合研究所
(74)【代理人】
【識別番号】100165179
【弁理士】
【氏名又は名称】田▲崎▼ 聡
(74)【代理人】
【識別番号】100188558
【弁理士】
【氏名又は名称】飯田 雅人
(74)【代理人】
【識別番号】100175824
【弁理士】
【氏名又は名称】小林 淳一
(74)【代理人】
【識別番号】100152272
【弁理士】
【氏名又は名称】川越 雄一郎
(74)【代理人】
【識別番号】100181722
【弁理士】
【氏名又は名称】春田 洋孝
(72)【発明者】
【氏名】和田 裕之
(72)【発明者】
【氏名】齋 均
(72)【発明者】
【氏名】足立 零生
(72)【発明者】
【氏名】久保田 聡
(72)【発明者】
【氏名】端無 元輝
(72)【発明者】
【氏名】近藤 道雄
【テーマコード（参考）】
2H148
5F151
【Ｆターム（参考）】
2H148GA01
2H148GA15
2H148GA24
2H148GA33
2H148GA51
2H148GA60
2H148GA61
2H148GA66
5F151BA03
5F151BA05
5F151BA11
5F151JA03
5F151JA23
5F151JA25
(57)【要約】
【課題】角度依存性が低い色調整板を提供することである。
【解決手段】本発明の色調整板１０は、基板１と、基板１上に形成され、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電体多層膜２と、を備え、誘電体多層膜２は、以下の（１－１）～（１－３）を満たすように構成されてなるものである；（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示す。（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含む。（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示す。
【選択図】図１
【解決手段】本発明の色調整板１０は、基板１と、基板１上に形成され、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電体多層膜２と、を備え、誘電体多層膜２は、以下の（１－１）～（１－３）を満たすように構成されてなるものである；（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示す。（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含む。（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示す。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板と、
前記基板上に形成され、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電体多層膜と、を備え、
前記誘電体多層膜は、以下の（１－１）～（１－３）を満たすように構成されてなる、色調整板；
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示し、
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含み、
（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示す。
前記基板上に形成され、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電体多層膜と、を備え、
前記誘電体多層膜は、以下の（１－１）～（１－３）を満たすように構成されてなる、色調整板；
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示し、
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含み、
（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示す。
【請求項2】
前記基板の、前記誘電体多層膜が形成されている膜形成面、及び、前記誘電体多層膜が形成されていない非膜形成面のうち一方の面は、凹凸構造を有する拡散反射面として形成されてなる、請求項１に記載の色調整板。
【請求項3】
前記非膜形成面が拡散反射面として形成されてなる、請求項２に記載の色調整板。
【請求項4】
前記拡散反射面の二乗平均平方根高さＲｑが０．４μｍ～１．３μｍである、請求項３に記載の色調整板。
【請求項5】
前記基板が拡散板である、請求項１に記載の色調整板。
【請求項6】
前記複数の反射ピークは２つの反射ピークである、請求項１又は２に記載の色調整板。
【請求項7】
前記複数の反射ピークは３つの反射ピークである、請求項１又は２に記載の色調整板。
【請求項8】
前記複数の反射ピークは４つの反射ピークである、請求項１又は２に記載の色調整板。
【請求項9】
前記誘電体多層膜はさらに、以下の（１－４）を満たすように構成されてなる、請求項１又は２に記載の色調整板；
（１－４）前記垂直方向からの入射角度を０°から３０°で変化させたときの前記反射光のＣＩＥ－ｘｙ色度図上の色度座標（ｘ、ｙ）におけるｘ座標及びｙ座標の変化がいずれも０．１以下である。
（１－４）前記垂直方向からの入射角度を０°から３０°で変化させたときの前記反射光のＣＩＥ－ｘｙ色度図上の色度座標（ｘ、ｙ）におけるｘ座標及びｙ座標の変化がいずれも０．１以下である。
【請求項10】
前記誘電体多層膜はさらに、以下の（１－５）を満たすように構成されてなる、請求項１又は２に記載の色調整板；
（１－５）前記第１主反射ピーク及び前記第２主反射ピークの少なくとも一方の半値全幅（ＦＷＨＭ）は２００ｎｍ以下である。
（１－５）前記第１主反射ピーク及び前記第２主反射ピークの少なくとも一方の半値全幅（ＦＷＨＭ）は２００ｎｍ以下である。
【請求項11】
前記誘電体多層膜はさらに、以下の（１－６）を満たすように構成されてなる、請求項１又は２に記載の色調整板；
（１－６）前記第１主反射ピーク及び前記第２主反射ピークの反射率はいずれも７０％以下である。
（１－６）前記第１主反射ピーク及び前記第２主反射ピークの反射率はいずれも７０％以下である。
【請求項12】
前記誘電体多層膜はさらに、以下の（１－７）を満たすように構成されてなる、請求項１又は２に記載の色調整板；
（１－７）前記反射光のＣＩＥ－ｘｙ色度図上の色度座標（ｘ、ｙ）が、０．２５≦ｘ≦０．４、かつ、０．２５≦ｙ≦０．４で囲まれる範囲に存在する、色調整板。
（１－７）前記反射光のＣＩＥ－ｘｙ色度図上の色度座標（ｘ、ｙ）が、０．２５≦ｘ≦０．４、かつ、０．２５≦ｙ≦０．４で囲まれる範囲に存在する、色調整板。
【請求項13】
前記誘電体多層膜はさらに、以下の（１－８）を満たすように構成されてなる、請求項１又は２に記載の色調整板；
（１－８）前記反射光のＣＩＥ－ｘｙ色度図上の色度座標（ｘ、ｙ）が、０．２５≦ｘ≦０．４、かつ、０．２５≦ｙ≦０．４で囲まれる範囲以外に存在する、色調整板。
（１－８）前記反射光のＣＩＥ－ｘｙ色度図上の色度座標（ｘ、ｙ）が、０．２５≦ｘ≦０．４、かつ、０．２５≦ｙ≦０．４で囲まれる範囲以外に存在する、色調整板。
【請求項14】
複数の太陽電池と、
前記複数の太陽電池の受光面側に配置する色調整板と、を備え、
前記色調整板は、基板と、前記基板上に形成され、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電体多層膜とを有し、
前記誘電体多層膜は、以下の（１－１）～（１－３）、（１－５）及び（１－６）を満たすように構成されてなる、太陽電池モジュール；
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示し、
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含み、
（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示すものである、
（１－５）前記第１主反射ピーク及び前記第２主反射ピークの少なくとも一方の半値全幅（ＦＷＨＭ）は２００ｎｍ以下であり、
（１－６）前記第１主反射ピーク及び前記第２主反射ピークの反射率はいずれも７０％以下である。
前記複数の太陽電池の受光面側に配置する色調整板と、を備え、
前記色調整板は、基板と、前記基板上に形成され、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電体多層膜とを有し、
前記誘電体多層膜は、以下の（１－１）～（１－３）、（１－５）及び（１－６）を満たすように構成されてなる、太陽電池モジュール；
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示し、
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含み、
（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示すものである、
（１－５）前記第１主反射ピーク及び前記第２主反射ピークの少なくとも一方の半値全幅（ＦＷＨＭ）は２００ｎｍ以下であり、
（１－６）前記第１主反射ピーク及び前記第２主反射ピークの反射率はいずれも７０％以下である。
【請求項15】
前記基板の、前記誘電体多層膜が形成されている膜形成面、及び、前記誘電体多層膜が形成されていない非膜形成面のうち一方の面は、凹凸構造を有する拡散反射面として形成されてなる、請求項１４に記載の太陽電池モジュール。
【請求項16】
前記非膜形成面が拡散反射面として形成されてなり、
前記色調整板は、前記膜形成面が前記太陽電池に対向するように配置されている、請求項１５に記載の太陽電池モジュール。
前記色調整板は、前記膜形成面が前記太陽電池に対向するように配置されている、請求項１５に記載の太陽電池モジュール。
【請求項17】
前記拡散反射面の二乗平均平方根高さＲｑが０．４μｍ～１．３μｍである、請求項１６に記載の太陽電池モジュール。
【請求項18】
前記基板が拡散板である、請求項１４に記載の太陽電池モジュール。
【請求項19】
二次元性を有する透明基板と、
前記透明基板の外表面全体に形成され、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電体多層膜と、を備え、
前記誘電体多層膜は、以下の（１－１）～（１－３）を満たすように構成されてなる、色調整板；
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示し、
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含み、
（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示す。
前記透明基板の外表面全体に形成され、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電体多層膜と、を備え、
前記誘電体多層膜は、以下の（１－１）～（１－３）を満たすように構成されてなる、色調整板；
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示し、
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含み、
（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示す。
【請求項20】
前記基板の、前記誘電体多層膜が形成されている膜形成面、及び、前記誘電体多層膜が形成されていない非膜形成面のうち一方の面は、凹凸構造を有する拡散反射面として形成されてなる、請求項１９に記載の色調整板。
【請求項21】
前記非膜形成面が拡散反射面として形成されてなる、請求項２０に記載の色調整板。
【請求項22】
前記透明基板のサイズが１μｍ～１０００μｍである、請求項１９又は２０に記載の色調整板。
【請求項23】
前記透明基板が天然雲母、人工雲母、ガラス及び無機単結晶からなる群から選択された一種である、請求項１９又は２０に記載の色調整板。
【請求項24】
前記基板が拡散板である、請求項１９に記載の色調整板。
【請求項25】
前記複数の反射ピークは２つの反射ピークである、請求項１９又は２０に記載の色調整板。
【請求項26】
前記複数の反射ピークは３つの反射ピークである、請求項１９又は２０に記載の色調整板。
【請求項27】
前記複数の反射ピークは４つの反射ピークである、請求項１９又は２０に記載の色調整板。
【請求項28】
前記誘電体多層膜はさらに、以下の（１－４）を満たすように構成されてなる、請求項１９又は２０に記載の色調整板；
（１－４）前記垂直方向からの入射角度を０°から３０°で変化させたときの前記反射光のＣＩＥ－ｘｙ色度図上の色度座標（ｘ、ｙ）におけるｘ座標及びｙ座標の変化がいずれも０．１以下である。
（１－４）前記垂直方向からの入射角度を０°から３０°で変化させたときの前記反射光のＣＩＥ－ｘｙ色度図上の色度座標（ｘ、ｙ）におけるｘ座標及びｙ座標の変化がいずれも０．１以下である。
【請求項29】
前記誘電体多層膜はさらに、以下の（１－５）を満たすように構成されてなる、請求項１９又は２０に記載の色調整板；
（１－５）前記第１主反射ピーク及び前記第２主反射ピークの少なくとも一方の半値全幅（ＦＷＨＭ）は２００ｎｍ以下である。
（１－５）前記第１主反射ピーク及び前記第２主反射ピークの少なくとも一方の半値全幅（ＦＷＨＭ）は２００ｎｍ以下である。
【請求項30】
前記誘電体多層膜はさらに、以下の（１－６）を満たすように構成されてなる、請求項１９又は２０に記載の色調整板；
（１－６）前記第１主反射ピーク及び前記第２主反射ピークの反射率はいずれも７０％以下である。
（１－６）前記第１主反射ピーク及び前記第２主反射ピークの反射率はいずれも７０％以下である。
【請求項31】
前記誘電体多層膜はさらに、以下の（１－７）を満たすように構成されてなる、請求項１９又は２０に記載の色調整板；
（１－７）前記反射光のＣＩＥ－ｘｙ色度図上の色度座標（ｘ、ｙ）が、０．２５≦ｘ≦０．４、かつ、０．２５≦ｙ≦０．４で囲まれる範囲に存在する、色調整板。
（１－７）前記反射光のＣＩＥ－ｘｙ色度図上の色度座標（ｘ、ｙ）が、０．２５≦ｘ≦０．４、かつ、０．２５≦ｙ≦０．４で囲まれる範囲に存在する、色調整板。
【請求項32】
前記誘電体多層膜はさらに、以下の（１－８）を満たすように構成されてなる、請求項１９又は２０に記載の色調整板；
（１－８）前記反射光のＣＩＥ－ｘｙ色度図上の色度座標（ｘ、ｙ）が、０．２５≦ｘ≦０．４、かつ、０．２５≦ｙ≦０．４で囲まれる範囲以外に存在する、色調整板。
（１－８）前記反射光のＣＩＥ－ｘｙ色度図上の色度座標（ｘ、ｙ）が、０．２５≦ｘ≦０．４、かつ、０．２５≦ｙ≦０．４で囲まれる範囲以外に存在する、色調整板。
【請求項33】
複数の太陽電池と、
前記複数の太陽電池の受光面側に配置する色調整板と、を備え、
前記色調整板は、二次元性を有する複数の透明基板と、前記透明基板の外表面全体に形成され、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電体多層膜と、を有し、
前記誘電体多層膜は、以下の（１－１）～（１－３）、（１－５）及び（１－６）を満たすように構成されてなる、太陽電池モジュール；
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示し、
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含み、
（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示すものである、
（１－５）前記第１主反射ピーク及び前記第２主反射ピークの少なくとも一方の半値全幅（ＦＷＨＭ）は２００ｎｍ以下であり、
（１－６）前記第１主反射ピーク及び前記第２主反射ピークの反射率はいずれも７０％以下である。
前記複数の太陽電池の受光面側に配置する色調整板と、を備え、
前記色調整板は、二次元性を有する複数の透明基板と、前記透明基板の外表面全体に形成され、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電体多層膜と、を有し、
前記誘電体多層膜は、以下の（１－１）～（１－３）、（１－５）及び（１－６）を満たすように構成されてなる、太陽電池モジュール；
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示し、
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含み、
（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示すものである、
（１－５）前記第１主反射ピーク及び前記第２主反射ピークの少なくとも一方の半値全幅（ＦＷＨＭ）は２００ｎｍ以下であり、
（１－６）前記第１主反射ピーク及び前記第２主反射ピークの反射率はいずれも７０％以下である。
【請求項34】
前記基板の、前記誘電体多層膜が形成されている膜形成面、及び、前記誘電体多層膜が形成されていない非膜形成面のうち一方の面は、凹凸構造を有する拡散反射面として形成されてなる、請求項３３に記載の太陽電池モジュール。
【請求項35】
前記非膜形成面が拡散反射面として形成されてなる、請求項３３に記載の太陽電池モジュール。
【請求項36】
前記基板が拡散板である、請求項３３に記載の太陽電池モジュール。
【請求項37】
請求項１、２、及び、１９のいずれか一項に記載の色調整板の製造方法であって、
前記誘電体多層膜の前記高屈折率層及び前記低屈折率層の材質、各層の層厚、及び、層数の少なくとも一つのパラメータを光学薄膜設計シミュレーションによって決定する誘電体多層膜決定工程を有する、色調整板の製造方法。
前記誘電体多層膜の前記高屈折率層及び前記低屈折率層の材質、各層の層厚、及び、層数の少なくとも一つのパラメータを光学薄膜設計シミュレーションによって決定する誘電体多層膜決定工程を有する、色調整板の製造方法。
【請求項38】
基板上、又は、透明基板の外表面全体に形成され、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電体多層膜を形成する成膜方法であって、
前記誘電体多層膜が、少なくとも以下の（１－１）～（１－３）を満たすように前記高屈折率層及び前記低屈折率層の材質、各層の層厚、及び、層数の少なくとも一つのパラメータを光学薄膜設計シミュレーションによって決定する、成膜方法；
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示し、
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含み、
（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示す。
前記誘電体多層膜が、少なくとも以下の（１－１）～（１－３）を満たすように前記高屈折率層及び前記低屈折率層の材質、各層の層厚、及び、層数の少なくとも一つのパラメータを光学薄膜設計シミュレーションによって決定する、成膜方法；
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示し、
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含み、
（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示す。
【請求項39】
基板上、又は、透明基板の外表面全体に形成され、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電体多層膜を形成する成膜装置であって、
前記誘電体多層膜が、少なくとも以下の（１－１）～（１－３）を満たすように前記高屈折率層及び前記低屈折率層の材質、各層の層厚、及び、層数の少なくとも一つのパラメータを光学薄膜設計シミュレーションによって決定する光学パラメータ決定手段を備える、成膜装置；
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示し、
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含み、
（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示す。
前記誘電体多層膜が、少なくとも以下の（１－１）～（１－３）を満たすように前記高屈折率層及び前記低屈折率層の材質、各層の層厚、及び、層数の少なくとも一つのパラメータを光学薄膜設計シミュレーションによって決定する光学パラメータ決定手段を備える、成膜装置；
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示し、
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含み、
（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示す。
【請求項40】
基板と、
前記基板のおもて面及び裏面の少なくとも一方に、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電体多層膜と、を備え、
前記誘電体多層膜は、以下の（１－１）～（１－３）を満たすように構成されてなる、色調整板；
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示し、
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含み、
（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示す。
前記基板のおもて面及び裏面の少なくとも一方に、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電体多層膜と、を備え、
前記誘電体多層膜は、以下の（１－１）～（１－３）を満たすように構成されてなる、色調整板；
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示し、
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含み、
（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示す。
【請求項41】
前記基板が拡散板である、請求項４０に記載の色調整板。
【請求項42】
複数の太陽電池と、
前記複数の太陽電池の受光面側に配置する色調整板と、を備え、
前記色調整板は、基板と、前記基板のおもて面及び裏面の少なくとも一方に形成された無機顔料を含有する無機顔料含有層とを有し、
前記基板は、前記無機顔料含有層が形成されている膜形成面、及び、前記無機顔料含有層が形成されていない非膜形成面のうち一方の面は、凹凸構造を有する拡散反射面として形成されてなるか、又は、拡散板である、太陽電池モジュール。
前記複数の太陽電池の受光面側に配置する色調整板と、を備え、
前記色調整板は、基板と、前記基板のおもて面及び裏面の少なくとも一方に形成された無機顔料を含有する無機顔料含有層とを有し、
前記基板は、前記無機顔料含有層が形成されている膜形成面、及び、前記無機顔料含有層が形成されていない非膜形成面のうち一方の面は、凹凸構造を有する拡散反射面として形成されてなるか、又は、拡散板である、太陽電池モジュール。
【請求項43】
前記拡散反射面の二乗平均平方根高さＲｑが０．１μｍ～２．０μｍである、請求項４２に記載の太陽電池モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、色調整板、太陽電池モジュール、色調整板の製造方法、成膜方法、及び、成膜装置に関する。
【背景技術】
【0002】
太陽電池モジュールを建物に設置する場合、発電量を増加させるために屋根だけではなく、壁面等に設置することがある。この場合、太陽電池モジュールの表面が通常、黒色を呈しているため、景観上問題がある。
【0003】
太陽電池モジュールの受光面側に配置するガラス基板上に着色された被覆層を形成し、太陽電池モジュールの外観を着色することが提案されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】国際公開第２０１７／０９００５６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、太陽電池モジュールの外観を着色すると、その色を反射するためにその分の光が太陽電池モジュールに届かず、変換効率が低下してしまうという問題があり、変換効率の低下を抑制可能な着色技術が求められている。
【0006】
本発明者は、鋭意検討の結果、変換効率の低下が抑制可能な着色技術を開発した。さらに本発明者は、かかる着色技術を検討する中で、垂直反射で所望の色の反射光を得られても入射角度が変わるとその反射光の色が変わるという課題に直面した。そこで、さらに検討を加えた結果、反射光の入射角度依存性を低減する方法を見出した。さらに、当該方法は太陽電池モジュール以外にも適用可能であることに想到して、反射光の入射角度依存性が低い本発明を完成した。
【0007】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、角度依存性が低い色調整板、太陽電池モジュール、色調整板の製造方法、成膜方法、及び、成膜装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明は、上記課題を解決するために、以下の手段を提供する。
【0009】
本発明の態様１は、基板と、前記基板上に形成され、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電体多層膜と、を備え、前記誘電体多層膜は、以下の（１－１）～（１－３）を満たすように構成されてなる、色調整板である；
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示し、
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含み、
（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示す。
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示し、
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含み、
（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示す。
【0010】
本発明の態様２は、態様１の色調整板において、前記基板の、前記誘電体多層膜が形成されている膜形成面、及び、前記誘電体多層膜が形成されていない非膜形成面のうち一方の面は、凹凸構造を有する拡散反射面として形成されてなる。
【0011】
本発明の態様３は、態様２の色調整板において、前記非膜形成面が拡散反射面として形成されてなる色調整板である。
【0012】
本発明の態様４は、態様３の色調整板において、前記拡散反射面の二乗平均平方根高さＲｑが０．４μｍ～１．３μｍである。
【0013】
本発明の態様５は、態様１から態様４のいずれか一つの色調整板において、前記基板が拡散板である。
【0014】
本発明の態様６は、態様１から態様５のいずれか一つの色調整板において、前記複数の反射ピークが２つの反射ピークである。
【0015】
本発明の態様７は、態様１から態様５のいずれか一つの色調整板において、前記複数の反射ピークが３つの反射ピークである。
【0016】
本発明の態様８は、態様１から態様５のいずれか一つの色調整板において、前記複数の反射ピークが４つの反射ピークである。
【0017】
本発明の態様９は、態様１から態様８のいずれか一つの色調整板において、前記誘電体多層膜がさらに、以下の（１－４）を満たすように構成されてなる；
（１－４）前記垂直方向からの入射角度を０°から３０°で変化させたときの前記反射光のＣＩＥ－ｘｙ色度図上の色度座標（ｘ、ｙ）におけるｘ座標及びｙ座標の変化がいずれも０．１以下である。
（１－４）前記垂直方向からの入射角度を０°から３０°で変化させたときの前記反射光のＣＩＥ－ｘｙ色度図上の色度座標（ｘ、ｙ）におけるｘ座標及びｙ座標の変化がいずれも０．１以下である。
【0018】
本発明の態様１０は、態様１から態様９のいずれか一つの色調整板において、前記誘電体多層膜がさらに、以下の（１－５）を満たすように構成されてなる；
（１－５）前記第１主反射ピーク及び前記第２主反射ピークの少なくとも一方の半値全幅（ＦＷＨＭ）は２００ｎｍ以下である。
（１－５）前記第１主反射ピーク及び前記第２主反射ピークの少なくとも一方の半値全幅（ＦＷＨＭ）は２００ｎｍ以下である。
【0019】
本発明の態様１１は、態様１から態様１０のいずれか一つの色調整板において、前記誘電体多層膜がさらに、以下の（１－６）を満たすように構成されてなる色調整板である；
（１－６）前記第１主反射ピーク及び前記第２主反射ピークの反射率はいずれも７０％以下である。
（１－６）前記第１主反射ピーク及び前記第２主反射ピークの反射率はいずれも７０％以下である。
【0020】
本発明の態様１２は、態様１から態様１１のいずれか一つの色調整板において、前記誘電体多層膜がさらに、以下の（１－７）を満たすように構成されてなる色調整板である；
（１－７）前記反射光のＣＩＥ－ｘｙ色度図上の色度座標（ｘ、ｙ）が、０．２５≦ｘ≦０．４、かつ、０．２５≦ｙ≦０．４で囲まれる範囲に存在する。
（１－７）前記反射光のＣＩＥ－ｘｙ色度図上の色度座標（ｘ、ｙ）が、０．２５≦ｘ≦０．４、かつ、０．２５≦ｙ≦０．４で囲まれる範囲に存在する。
【0021】
本発明の態様１３は、態様１から態様１２のいずれか一つの色調整板において、前記誘電体多層膜がさらに、以下の（１－８）を満たすように構成されてなる；
（１－８）前記反射光のＣＩＥ－ｘｙ色度図上の色度座標（ｘ、ｙ）が、０．２５≦ｘ≦０．４、かつ、０．２５≦ｙ≦０．４で囲まれる範囲以外に存在する。
（１－８）前記反射光のＣＩＥ－ｘｙ色度図上の色度座標（ｘ、ｙ）が、０．２５≦ｘ≦０．４、かつ、０．２５≦ｙ≦０．４で囲まれる範囲以外に存在する。
【0022】
本発明の態様１４は、複数の太陽電池と、前記複数の太陽電池の受光面側に配置する色調整板と、を備え、前記色調整板は、基板と、前記基板上に形成され、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電体多層膜とを有し、前記誘電体多層膜は、以下の（１－１）～（１－３）、（１－５）及び（１－６）を満たすように構成されてなる、太陽電池モジュール；
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示し、
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含み、
（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示すものである、
（１－５）前記第１主反射ピーク及び前記第２主反射ピークの少なくとも一方の半値全幅（ＦＷＨＭ）は２００ｎｍ以下であり、
（１－６）前記第１主反射ピーク及び前記第２主反射ピークの反射率はいずれも７０％以下である。
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示し、
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含み、
（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示すものである、
（１－５）前記第１主反射ピーク及び前記第２主反射ピークの少なくとも一方の半値全幅（ＦＷＨＭ）は２００ｎｍ以下であり、
（１－６）前記第１主反射ピーク及び前記第２主反射ピークの反射率はいずれも７０％以下である。
【0023】
本発明の態様１５は、態様１４の太陽電池モジュールにおいて、前記基板の、前記誘電体多層膜が形成されている膜形成面、及び、前記誘電体多層膜が形成されていない非膜形成面のうち一方の面は、凹凸構造を有する拡散反射面として形成されてなる。
【0024】
本発明の態様１６は、態様１５の太陽電池モジュールにおいて、前記非膜形成面が拡散反射面として形成されてなる色調整板である。
【0025】
本発明の態様１７は、態様１６の太陽電池モジュールにおいて、拡散反射面の二乗平均平方根高さＲｑが０．４μｍ～１．３μｍである。
【0026】
本発明の態様１８は、態様１４～１７のいずれか一つの太陽電池モジュールにおいて、前記基板が拡散板である。
【0027】
本発明の態様１９は、二次元性を有する透明基板と、前記透明基板の外表面全体に形成され、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電体多層膜と、を備え、前記誘電体多層膜は、以下の（１－１）～（１－３）を満たすように構成されてなる、色調整板である；
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示し、
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含み、
（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示す。
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示し、
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含み、
（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示す。
【0028】
本発明の態様２０は、態様１９の色調整板において、前記基板の、前記誘電体多層膜が形成されている膜形成面、及び、前記誘電体多層膜が形成されていない非膜形成面のうち一方の面は、凹凸構造を有する拡散反射面として形成されてなる。
【0029】
本発明の態様２１は、態様２０の色調整板において、前記非膜形成面が拡散反射面として形成されてなる色調整板である。
【0030】
本発明の態様２２は、態様１９から態様２１のいずれか一つの色調整板において、前記透明基板のサイズが１μｍ～１０００μｍである。
【0031】
本発明の態様２３は、態様１９から態様２２のいずれか一つの色調整板において、前記透明基板が天然雲母、人工雲母、ガラス及び無機単結晶からなる群から選択された一種である。
【0032】
本発明の態様２４は、態様１９から態様２３のいずれか一つの色調整板において、前記基板が拡散板である。
【0033】
本発明の態様２５は、態様１９から態様２４のいずれか一つの色調整板において、前記複数の反射ピークが２つの反射ピークである。
【0034】
本発明の態様２６は、態様１９から態様２５のいずれか一つの色調整板において、前記複数の反射ピークが３つの反射ピークである。
【0035】
本発明の態様２７は、態様１９から態様２６のいずれか一つの色調整板において、前記複数の反射ピークが４つの反射ピークである。
【0036】
本発明の態様２８は、態様１９から態様２７のいずれか一つの色調整板において、前記誘電体多層膜がさらに、以下の（１－４）を満たすように構成されてなる；
（１－４）前記垂直方向からの入射角度を０°から３０°で変化させたときの前記反射光のＣＩＥ－ｘｙ色度図上の色度座標（ｘ、ｙ）におけるｘ座標及びｙ座標の変化がいずれも０．１以下である。
（１－４）前記垂直方向からの入射角度を０°から３０°で変化させたときの前記反射光のＣＩＥ－ｘｙ色度図上の色度座標（ｘ、ｙ）におけるｘ座標及びｙ座標の変化がいずれも０．１以下である。
【0037】
本発明の態様２９は、態様１９から態様２８のいずれか一つの色調整板において、前記誘電体多層膜がさらに、以下の（１－５）を満たすように構成されてなる；
（１－５）前記第１主反射ピーク及び前記第２主反射ピークの少なくとも一方の半値全幅（ＦＷＨＭ）は２００ｎｍ以下である。
（１－５）前記第１主反射ピーク及び前記第２主反射ピークの少なくとも一方の半値全幅（ＦＷＨＭ）は２００ｎｍ以下である。
【0038】
本発明の態様３０は、態様１９から態様２９のいずれか一つの色調整板において、前記誘電体多層膜がさらに、以下の（１－６）を満たすように構成されてなる；
（１－６）前記第１主反射ピーク及び前記第２主反射ピークの反射率はいずれも７０％以下である。
（１－６）前記第１主反射ピーク及び前記第２主反射ピークの反射率はいずれも７０％以下である。
【0039】
本発明の態様３１は、態様１９から態様３０のいずれか一つの色調整板において、前記誘電体多層膜がさらに、以下の（１－７）を満たすように構成されてなる；
（１－７）前記反射光のＣＩＥ－ｘｙ色度図上の色度座標（ｘ、ｙ）が、０．２５≦ｘ≦０．４、かつ、０．２５≦ｙ≦０．４で囲まれる範囲に存在する。
（１－７）前記反射光のＣＩＥ－ｘｙ色度図上の色度座標（ｘ、ｙ）が、０．２５≦ｘ≦０．４、かつ、０．２５≦ｙ≦０．４で囲まれる範囲に存在する。
【0040】
本発明の態様３２は、態様１９から態様３１のいずれか一つの色調整板において、前記誘電体多層膜がさらに、以下の（１－８）を満たすように構成されてなる；
（１－８）前記反射光のＣＩＥ－ｘｙ色度図上の色度座標（ｘ、ｙ）が、０．２５≦ｘ≦０．４、かつ、０．２５≦ｙ≦０．４で囲まれる範囲以外に存在する。
（１－８）前記反射光のＣＩＥ－ｘｙ色度図上の色度座標（ｘ、ｙ）が、０．２５≦ｘ≦０．４、かつ、０．２５≦ｙ≦０．４で囲まれる範囲以外に存在する。
【0041】
本発明の態様３３は、複数の太陽電池と、前記複数の太陽電池の受光面側に配置する色調整板と、を備え、前記色調整板は、二次元性を有する複数の透明基板と、前記透明基板の外表面全体に形成され、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電体多層膜とを有し、前記誘電体多層膜は、以下の（１－１）～（１－３）、（１－５）及び（１－６）を満たすように構成されてなる、太陽電池モジュールである；
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示し、
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含み、
（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示すものである、
（１－５）前記第１主反射ピーク及び前記第２主反射ピークの少なくとも一方の半値全幅（ＦＷＨＭ）は２００ｎｍ以下であり、
（１－６）前記第１主反射ピーク及び前記第２主反射ピークの反射率はいずれも７０％以下である。
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示し、
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含み、
（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示すものである、
（１－５）前記第１主反射ピーク及び前記第２主反射ピークの少なくとも一方の半値全幅（ＦＷＨＭ）は２００ｎｍ以下であり、
（１－６）前記第１主反射ピーク及び前記第２主反射ピークの反射率はいずれも７０％以下である。
【0042】
本発明の態様３４は、態様３３の太陽電池モジュールにおいて、前記基板の、前記誘電体多層膜が形成されている膜形成面、及び、前記誘電体多層膜が形成されていない非膜形成面のうち一方の面は、凹凸構造を有する拡散反射面として形成されてなる。
【0043】
本発明の態様３５は、態様３４の太陽電池モジュールにおいて、前記非膜形成面が拡散反射面として形成されてなる。
【0044】
本発明の態様３６は、態様３３～３５のいずれか一つの太陽電池モジュールにおいて、前記基板が拡散板である。
【0045】
本発明の態様３７は、態様１、態様２又は態様１９のいずれか一つの色調整板の製造方法であって、前記誘電体多層膜の前記高屈折率層及び前記低屈折率層の材質、各層の層厚、及び、層数の少なくとも一つのパラメータを光学薄膜設計シミュレーションによって決定する誘電体多層膜決定工程を有する色調整板の製造方法である。
【0046】
本発明の態様３８は、基板上、又は、透明基板の外表面全体に、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電体多層膜を形成する成膜方法であって、前記誘電体多層膜が、少なくとも以下の（１－１）～（１－３）を満たすように前記高屈折率層及び前記低屈折率層の材質、各層の層厚、及び、層数の少なくとも一つのパラメータを光学薄膜設計シミュレーションによって決定する、成膜方法である；
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示し、
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含み、
（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示す。
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示し、
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含み、
（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示す。
【0047】
本発明の態様３９は、基板上、又は、透明基板の外表面全体に、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電体多層膜を形成する成膜装置であって、前記誘電体多層膜が、少なくとも以下の（１－１）～（１－３）を満たすように前記高屈折率層及び前記低屈折率層の材質、各層の層厚、及び、層数の少なくとも一つのパラメータを光学薄膜設計シミュレーションによって決定する光学パラメータ決定手段を備える、成膜装置である；
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示し、
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含み、
（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示す。
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示し、
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含み、
（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示す。
【0048】
本発明の態様４０は、基板と、前記基板のおもて面及び裏面の少なくとも一方に、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電体多層膜と、を備え、
前記誘電体多層膜は、以下の（１－１）～（１－３）を満たすように構成されてなる、色調整板；
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示し、
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含み、
（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示す。
前記誘電体多層膜は、以下の（１－１）～（１－３）を満たすように構成されてなる、色調整板；
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示し、
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含み、
（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示す。
【0049】
本発明の態様４１は、態様４０の色調整板において、前記基板が拡散板である。
【0050】
本発明の態様４２は、複数の太陽電池と、前記複数の太陽電池の受光面側に配置する色調整板と、を備え、前記色調整板は、基板と、前記基板のおもて面及び裏面の少なくとも一方に形成された無機顔料を含有する無機顔料含有層とを有し、前記基板は、前記無機顔料含有層が形成されている膜形成面、及び、前記無機顔料含有層が形成されていない非膜形成面のうち一方の面は、凹凸構造を有する拡散反射面として形成されてなるか、又は、拡散板である、太陽電池モジュールである。
【0051】
本発明の態様４３は、態様４２の太陽電池モジュールにおいて、前記拡散反射面の二乗平均平方根高さＲｑが０．１μｍ～２．０μｍである。
【発明の効果】
【0052】
本発明の色調整板によれば、角度依存性が低い色調整板を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【0053】
【図1】一実施形態に係る色調整板の断面模式図である。
【図3】色調整板が備える誘電体多層膜に白色光が垂直反射した反射光の反射スペクトルの一例である。
【図4】誘電体多層膜における光の反射を示す概念図である。
【図5】ＣＩＥ－ｘｙ色度図である。
【図6】ｘｙ色度図の見方について説明するための図である。
【図7】主波長を説明するための図である。
【図9】（ａ）は、第１実施例の誘電体多層膜に入射した白色光の反射光の入射角度依存性をｘｙ色度図上の色度座標の移動によって示したものであり、（ｂ）は、各入射角度で入射した入射光が反射する様子を模式的に示した図である。
【図11】（ａ）は、第２実施例の誘電体多層膜に入射した白色光の反射スペクトルについてｘｙ色度図上の色度座標を示すものであり、（ｂ）は、シミュレーションで用いた誘電体多層膜モデルのパラメータである。
【図12】第２実施例の誘電体多層膜に白色光が垂直反射した反射光の反射スペクトルを示すものである。
【図13】（ａ）は、第２実施例の誘電体多層膜に各入射角度で入射した白色光の反射スペクトルを示すものであり、（ｂ）は、各入射角度における第１主反射ピーク及び第２主反射ピークの色度座標をｘｙ色度図上に示したものである。
【図14】（ａ）は、図１３（ｂ）のｘｙ色度図について第１主反射ピーク及び第２主反射ピークの色度座標が存在する部分を拡大したものであり、（ｂ）は、各入射角度の反射スペクトルの色度座標をｘｙ色度図上に示したものである。
【図15】（ａ）は、第３実施例の誘電体多層膜に入射した白色光の反射スペクトルについてｘｙ色度図上の色度座標を示すものであり、（ｂ）は、シミュレーションで用いた誘電体多層膜モデルのパラメータである。
【図16】第３実施例の誘電体多層膜に白色光が垂直反射した反射光の反射スペクトルを示すものである。
【図17】第３実施例の誘電体多層膜に白色光が入射した各入射角度の反射スペクトルの色度座標をｘｙ色度図上に示したものである。
【図18】（ａ）は、第４実施例の誘電体多層膜に入射した白色光の反射スペクトルについてｘｙ色度図上の色度座標を示すものであり、（ｂ）は、シミュレーションで用いた誘電体多層膜モデルのパラメータである。
【図19】第４実施例の誘電体多層膜に白色光が垂直反射した反射光の反射スペクトルを示すものである。
【図20】第４実施例の誘電体多層膜に白色光が入射した各入射角度の反射スペクトルの色度座標をｘｙ色度図上に示したものである。
【図21】第５実施例の誘電体多層膜に入射した白色光の反射スペクトルについてｘｙ色度図上の色度座標を示すものである。
【図22】第５実施例の誘電体多層膜に白色光が垂直反射した反射光の反射スペクトルを示すものである。
【図23】第５実施例の誘電体多層膜に白色光が入射した各入射角度の反射スペクトルの色度座標をｘｙ色度図上に示したものである。
【図24】第６実施例の誘電体多層膜に入射した白色光の反射スペクトルについてｘｙ色度図上の色度座標を示すものである。
【図25】第６実施例の誘電体多層膜に白色光が垂直反射した反射光の反射スペクトルを示すものである。
【図26】第６実施例の誘電体多層膜に白色光が入射した各入射角度の反射スペクトルの色度座標をｘｙ色度図上に示したものである。
【図27】（ａ）は、第７実施例の誘電体多層膜に入射した白色光の反射スペクトルについてｘｙ色度図上の色度座標を示すものであり、（ｂ）は、シミュレーションで用いた誘電体多層膜モデルのパラメータである。
【図28】第７実施例の誘電体多層膜に入射した白色光の反射スペクトルについてｘｙ色度図上の色度座標を示すものである。
【図29】第７実施例の誘電体多層膜に白色光が入射した各入射角度の反射スペクトルの色度座標をｘｙ色度図上に示したものである。
【図30】（ａ）は、第８実施例の誘電体多層膜に入射した白色光の反射スペクトルについてｘｙ色度図上の色度座標を示すものであり、（ｂ）は、シミュレーションで用いた誘電体多層膜モデルのパラメータである。
【図31】第８実施例の誘電体多層膜に入射した白色光の反射スペクトルについてｘｙ色度図上の色度座標を示すものである。
【図32】第８実施例の誘電体多層膜に白色光が入射した各入射角度の反射スペクトルの色度座標をｘｙ色度図上に示したものである。
【図33】第９実施形態に係る色調整板の断面模式図である。
【図34】（ａ）は、第９実施例の誘電体多層膜に入射した白色光の反射スペクトルについてｘｙ色度図上の色度座標を示すものであり、（ｂ）は、シミュレーションで用いた誘電体多層膜モデルのパラメータである。
【図35】第９実施例の誘電体多層膜に入射した白色光の反射スペクトルについてｘｙ色度図上の色度座標を示すものである。
【図36】第９実施例の誘電体多層膜に白色光が入射した各入射角度の反射スペクトルの色度座標をｘｙ色度図上に示したものである。
【図37】（ａ）は、第１０実施例の誘電体多層膜に入射した白色光の反射スペクトルについてｘｙ色度図上の色度座標を示すものであり、（ｂ）は、シミュレーションで用いた誘電体多層膜モデルのパラメータである。
【図38】第１０実施例の誘電体多層膜に入射した白色光の反射スペクトルについてｘｙ色度図上の色度座標を示すものである。
【図39】本発明に係る色調整板の用い方の例を示す断面模式図である。
【図40】本発明に係る色調整板の用い方の例を示す断面模式図である。
【図41】（ａ）～（ｃ）に断面模式図を示す、本発明に係る色調整板であって、基板の膜形成面又は非膜形成面のいずれか一方の面が拡散反射面である色調整板の白色度と、（ｄ）に断面模式図を示す、拡散反射面を有するガラス基板の白色度のグラフである。
【図42】図４１（ａ）～（ｃ）に断面模式図を示す色調整板を用いた太陽電池モジュールの短絡電流の減少割合ΔＪｓｃ（％）と、図４１（ｄ）に断面模式図を示す基板を用いた太陽電池モジュールの短絡電流の減少割合ΔＪｓｃ（％）を測定した結果のグラフである。
【図43】砥粒を用いてサンドブラストを行ったガラス基板の拡散反射面の光学顕微鏡写真であり、（ａ）は＃６００の砥粒、（ｂ）は＃４００の砥粒、（ｃ）は＃２２０の砥粒を用いた場合である。
【図45】本発明に係る太陽電池モジュールの一部を示す断面模式図である。
【図46】拡散反射面の面粗度と太陽電池モジュールの短絡電流の減少割合ΔＪｓｃとの関係を示すグラフである。
【図47】拡散反射面の面粗度と太陽電池モジュールの色調整板の白色度との関係を示すグラフである。
【図48】本発明に係る他の実施形態に係る太陽電池モジュールの一部を示す断面模式図である。
【発明を実施するための形態】
【0054】
以下、本発明について、図を適宜参照しながら詳細に説明する。以下の説明で用いる図面は、本発明の特徴をわかりやすくするために便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率等は実際とは異なっていることがある。以下の説明において例示される材料、寸法等は一例であって、本発明はそれらに限定されるものではなく、本発明の効果を奏する範囲で適宜変更して実施することが可能である。また、いずれかの実施形態でのみ説明した構成であっても、別の実施形態に適宜適用して実施することが可能である。
【0055】
図１は、本実施形態に係る色調整板の断面模式図である。図２は、図１に示す色調整板の誘電体多層膜の部分を拡大した断面模式図である。図３は、色調整板が備える誘電体多層膜に白色光が垂直方向から入射し、垂直反射した反射光の反射スペクトルの一例である。
【0056】
（色調整板（第１実施形態））
図１に示す色調整板１０は、基板１と、基板１上に形成され、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電体多層膜２と、を備えるものである。
また、誘電体多層膜２は、以下の（１－１）～（１－３）を満たすように構成されてなるものである；
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示す。
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含む。
（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示す。
ここで、「色調整板」とは、誘電体多層膜を構成する高屈折率層及び低屈折率層のパラメータによって色が調整された誘電体多層膜を備えた板であり、特に用途は限定されない。
図１に示す色調整板１０は、基板１と、基板１上に形成され、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電体多層膜２と、を備えるものである。
また、誘電体多層膜２は、以下の（１－１）～（１－３）を満たすように構成されてなるものである；
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示す。
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含む。
（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示す。
ここで、「色調整板」とは、誘電体多層膜を構成する高屈折率層及び低屈折率層のパラメータによって色が調整された誘電体多層膜を備えた板であり、特に用途は限定されない。
【0057】
＜色調整板の用途＞
色調整板は、種々の用途に適用可能である。
色調整板は例えば、太陽電池モジュールの外観を着色する用途で用いることができる。この場合は、太陽電池の変換効率の低下をできるだけ抑制する観点から、反射光のエネルギーをできるだけ抑制しつつ、着色する必要がある。求められる色も、太陽電池モジュールの設置場所の景観維持やデザイン性等の観点から種々あるが、任意の着色が可能である。
また、色調整板は、加飾（機能を変えずに外観を変える方法）の観点で用いる場合には、用途に特に制限はなく、大きな物で言えば、建物などの壁面に設置して用いたり、自動車やバス・電車・自転車等の移動体の外板、交通標識・看板・掲示板等の各種表示板、小さな物で言えば、個人が使用する情報・電子端末や小箱、携帯電話・スマートフォン等の通信端末、自動販売機・灯台等の電気を必要とする機器などの上面や側面に貼り付けて用いることもできる。
色調整板は、種々の用途に適用可能である。
色調整板は例えば、太陽電池モジュールの外観を着色する用途で用いることができる。この場合は、太陽電池の変換効率の低下をできるだけ抑制する観点から、反射光のエネルギーをできるだけ抑制しつつ、着色する必要がある。求められる色も、太陽電池モジュールの設置場所の景観維持やデザイン性等の観点から種々あるが、任意の着色が可能である。
また、色調整板は、加飾（機能を変えずに外観を変える方法）の観点で用いる場合には、用途に特に制限はなく、大きな物で言えば、建物などの壁面に設置して用いたり、自動車やバス・電車・自転車等の移動体の外板、交通標識・看板・掲示板等の各種表示板、小さな物で言えば、個人が使用する情報・電子端末や小箱、携帯電話・スマートフォン等の通信端末、自動販売機・灯台等の電気を必要とする機器などの上面や側面に貼り付けて用いることもできる。
【0058】
＜基板＞
色調整板を用いる用途によって、種々の基板を用いることができる。
例えば、色調整板を太陽電池セルの受光面側に着色用部材として用いる場合は、基板１は、各種ガラス基板、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂などからなるプラスチック基板、ガラス以外の透明無機材料基板、雲母（マイカ）等の、可視光域の光が透過可能な透明基板を用いる。
また、色調整板用加飾の観点で用いる場合には、誘電体多層膜が形成可能な基板であれば、特に制限なく用いることができる。
色調整板を用いる用途によって、種々の基板を用いることができる。
例えば、色調整板を太陽電池セルの受光面側に着色用部材として用いる場合は、基板１は、各種ガラス基板、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂などからなるプラスチック基板、ガラス以外の透明無機材料基板、雲母（マイカ）等の、可視光域の光が透過可能な透明基板を用いる。
また、色調整板用加飾の観点で用いる場合には、誘電体多層膜が形成可能な基板であれば、特に制限なく用いることができる。
【0059】
基板１は、その上に備える誘電体多層膜を形成する観点では、その表面（誘電体多層膜が形成されている膜形成面）は平坦であることが通常は好ましいが、ある程度の凹凸を有する場合であっても色調整板としての機能を発現する限り、あるいは色調整板としての機能を強化できる場合は、その表面に凹凸を有する基板を用いることができる。この場合の凹凸の大きさは例えば、数１０ナノメートル～数１０マイクロメートル程度である。
【0060】
また、基板１の、誘電体多層膜が形成される膜形成面、あるいは、誘電体多層膜が形成されない非膜形成面に、拡散反射機能を持たせるように凹凸構造を備える構成とすることができる。この構成によって、色調整板の性能を向上させることができる。この構成について後で詳述する。
なお、本明細書において、基板１の膜形成面又は非膜形成面のうち、拡散反射機能を持たせるように凹凸構造を備える面を「拡散反射面」ということがある。
なお、本明細書において、基板１の膜形成面又は非膜形成面のうち、拡散反射機能を持たせるように凹凸構造を備える面を「拡散反射面」ということがある。
【0061】
また、基板１は、拡散板であってもよい。
拡散板の代表的な種類として、光拡散粒子を含有するもの、表面に凹凸形状を有するものを挙げることができるが、基板１として用いるものは表面に凹凸形状を有する拡散板である。従って、拡散板も凹凸構造を有する拡散反射面を備える基板である。
表面に凹凸形状を有する拡散板としては例えば、市販のすりガラスなどを用いてもよい。例えば、ソーラボ（ＴＨＯＲＬＡＢＳ）社製のすりガラス拡散板（例えば、Ｎ－ＢＫ７すりガラス拡散板）、反射型拡散板（例えば、Ｎ－ＢＫ７反射型拡散板）、エンジニアード・ディフューザー（Ｅｎｇｅｎｅｅｒｅｄ Ｄｉｆｆｕｓｅｒ）などを用いることができる。番手としては例えば、＃１２０、＃２２０、＃６００、＃１５００のものを用いることができる。
拡散板の代表的な種類として、光拡散粒子を含有するもの、表面に凹凸形状を有するものを挙げることができるが、基板１として用いるものは表面に凹凸形状を有する拡散板である。従って、拡散板も凹凸構造を有する拡散反射面を備える基板である。
表面に凹凸形状を有する拡散板としては例えば、市販のすりガラスなどを用いてもよい。例えば、ソーラボ（ＴＨＯＲＬＡＢＳ）社製のすりガラス拡散板（例えば、Ｎ－ＢＫ７すりガラス拡散板）、反射型拡散板（例えば、Ｎ－ＢＫ７反射型拡散板）、エンジニアード・ディフューザー（Ｅｎｇｅｎｅｅｒｅｄ Ｄｉｆｆｕｓｅｒ）などを用いることができる。番手としては例えば、＃１２０、＃２２０、＃６００、＃１５００のものを用いることができる。
【0062】
（誘電体多層膜）
誘電体多層膜２は、基板１側から順に高屈折率層２ａと低屈折率層２ｂとが交互に積層された多層膜である。高屈折率層２ａと低屈折率層２ｂの層数は、特に制限されるものではなく、任意の層数とすることができる。
誘電体多層膜は高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された多層膜であり、高屈折率層と低屈折率層の各材料の組み合わせ（主には高低の屈折率の組み合わせ）、層厚（膜厚）、層数によって、多様な分光反射特性を有するものとすることができる。
図２に示す誘電体多層膜２は、基板１側から順に高屈折率層２ａと低屈折率層２ｂとが交互に積層されているが、基板１側から順に低屈折率層２ｂと高屈折率層２ａとが交互に積層されていてもよい。
また、最上層の屈折率層が高屈折率層２ａでも低屈折率層２ｂでも構わない。
誘電体多層膜２は、基板１側から順に高屈折率層２ａと低屈折率層２ｂとが交互に積層された多層膜である。高屈折率層２ａと低屈折率層２ｂの層数は、特に制限されるものではなく、任意の層数とすることができる。
誘電体多層膜は高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された多層膜であり、高屈折率層と低屈折率層の各材料の組み合わせ（主には高低の屈折率の組み合わせ）、層厚（膜厚）、層数によって、多様な分光反射特性を有するものとすることができる。
図２に示す誘電体多層膜２は、基板１側から順に高屈折率層２ａと低屈折率層２ｂとが交互に積層されているが、基板１側から順に低屈折率層２ｂと高屈折率層２ａとが交互に積層されていてもよい。
また、最上層の屈折率層が高屈折率層２ａでも低屈折率層２ｂでも構わない。
【0063】
高屈折率層２ａの屈折率は例えば、１．９１ ～ ３．４である。
高屈折率層２ａに用いられる誘電体材料は例えば、酸化チタン（ＴｉＯ２、屈折率２．３３～２．５５）、五酸化ニオブ（Ｎｂ２Ｏ５、屈折率２．３３）、酸化セリウム（ＣｅＯ２、屈折率２．１８～２．５２）、酸化ハフニウム（ＨｆＯ２、屈折率２．１５）、酸化インジウム（Ｉｎ２Ｏ３、屈折率２．００）、ケイ素（Ｓｉ、屈折率３．４）、一酸化ケイ素（ＳｉＯ、屈折率２．０）、五酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５、屈折率２．２～２．４）、酸化亜鉛（ＺｎＯ、屈折率２．１）、硫化亜鉛（ＺｎＳ、屈折率２．３１～２．３８）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２、屈折率１．９５～２．０５）などが挙げられる。
高屈折率層２ａに用いられる誘電体材料は例えば、酸化チタン（ＴｉＯ２、屈折率２．３３～２．５５）、五酸化ニオブ（Ｎｂ２Ｏ５、屈折率２．３３）、酸化セリウム（ＣｅＯ２、屈折率２．１８～２．５２）、酸化ハフニウム（ＨｆＯ２、屈折率２．１５）、酸化インジウム（Ｉｎ２Ｏ３、屈折率２．００）、ケイ素（Ｓｉ、屈折率３．４）、一酸化ケイ素（ＳｉＯ、屈折率２．０）、五酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５、屈折率２．２～２．４）、酸化亜鉛（ＺｎＯ、屈折率２．１）、硫化亜鉛（ＺｎＳ、屈折率２．３１～２．３８）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２、屈折率１．９５～２．０５）などが挙げられる。
【0064】
低屈折率層２ｂの屈折率は例えば、１．３８ ～ １．９である。
低屈折率層２ｂに用いられる誘電体材料は例えば、二酸化シリコン（ＳｉＯ２、屈折率１．４６）、フッ化マグネシウム（ＭｇＦ２、屈折率１．３８）、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３、屈折率１．５９～１．６２）、酸化ガドリニウム（Ｇｄ２Ｏ３、屈折率１．８）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ、屈折率１．７０～１．７５）、三酸化セレン（Ｓｅ２Ｏ３、屈折率１．８９）、酸化イットリウム（Ｙ２Ｏ３、屈折率１．８９）などが挙げられる。
低屈折率層２ｂに用いられる誘電体材料は例えば、二酸化シリコン（ＳｉＯ２、屈折率１．４６）、フッ化マグネシウム（ＭｇＦ２、屈折率１．３８）、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３、屈折率１．５９～１．６２）、酸化ガドリニウム（Ｇｄ２Ｏ３、屈折率１．８）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ、屈折率１．７０～１．７５）、三酸化セレン（Ｓｅ２Ｏ３、屈折率１．８９）、酸化イットリウム（Ｙ２Ｏ３、屈折率１．８９）などが挙げられる。
【0065】
高屈折率層２ａおよび低屈折率層２ｂの膜厚はそれぞれ、所望の分光反射特性に応じて適宜選択できる。
高屈折率層２ａの膜厚は例えば、０．１ｎｍ～１０００ｎｍとすることができる。
低屈折率層２ｂの膜厚は例えば、０．１ｎｍ～１０００ｎｍとすることができる。
高屈折率層２ａの膜厚は例えば、０．１ｎｍ～１０００ｎｍとすることができる。
低屈折率層２ｂの膜厚は例えば、０．１ｎｍ～１０００ｎｍとすることができる。
【0066】
なお、本発明の効果を奏する限り、基板１と誘電体多層膜２との間に他の層を有してもよい。例えば、基板１と誘電体多層膜２との間の密着性をよくするために密着層を有してもよい。
【0067】
誘電体多層膜２は、以下の（１－１）～（１－３）を満たすように構成されている；
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示す。
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含む。
（１－３）（１－１）の複数の反射ピークは、上記の波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示すものである。
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示す。
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含む。
（１－３）（１－１）の複数の反射ピークは、上記の波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示すものである。
【0068】
（１－１）の「３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下」は、可視光という観点から、「４００ｎｍ以上７００ｎｍ以下」であってもよい。また、同様の観点から、下限は３９０ｎｍ、４１０ｎｍでもよく、上限は７７０ｎｍ、７６０ｎｍ、７５０ｎｍ、７４０ｎｍ、７３０ｎｍ、７２０ｎｍ、７１０ｎｍでもよい。
【0069】
（１－１）～（１－３）の要件から、（１－２）の「第１主反射ピーク」は、３８０ｎｍ以上５２０ｎｍ未満の波長の反射ピークであって、かつ、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示すものである。「第１主反射ピーク」は１つに限らず、複数でもよい。また、（１－２）の「第２主反射ピーク」は、５２０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長の反射ピークであって、かつ、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示すものである。「第２主反射ピーク」は１つに限らず、複数でもよい。
【0070】
（１－３）の「２０％以上」であるため、前記複数の反射ピークには色への影響が小さい反射ピークは含まれない。従って、（１－３）の要件は「２５％以上」であることが好ましく、「３０％以上」であることがより好ましい。
【0071】
また、（１－１）の「３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピーク」には、上記の波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して５％以下のものが存在しないことが好ましく、１０％以下のものが存在しないことがより好ましく、１５％以下のものが存在しないことがさらに好ましく、２０％未満のものが存在しないことがもっと好ましい。
【0072】
（１－１）及び（１－３）は、本発明に係る誘電体多層膜の反射光の色を決定するのに支配的な反射ピークは複数であることを示すものである。この「複数の反射ピーク」の数は、２つ、３つ又は４つのいずれかであることが好ましい。
また、（１－２）は、入射角度が大きくなった場合の反射光のブルーシフトを抑制することにつながるものである。ブルーシフトについては後述する。
また、（１－２）は、入射角度が大きくなった場合の反射光のブルーシフトを抑制することにつながるものである。ブルーシフトについては後述する。
【0073】
図３に例示した反射スペクトルを用いて、（１－１）～（１－３）について説明する。なお、この反射スペクトルは光学薄膜設計ソフトウェア「ＯｐｔｉＬａｙｅｒ」（OptiLayer社）を用いてシミュレーションを行って得たものであり、このときに用いられた誘電体多層膜モデルのパラメータは図８（ｂ）に示したものである。以下、この誘電体多層膜を第１実施例の誘電体多層膜ということがある。
【0074】
図３に示す反射スペクトルは、３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲にｐ１１～ｐ１４の４つの反射ピークを有する。
ｐ１１～ｐ１４の４つの反射ピークのうち、最大の反射率を示すのは反射ピークｐ１１である。
（１－１）の「複数の反射ピーク」は、（１－３）で規定する通り、最大の反射率を示す反射ピークｐ１１に対して２０％以上の反射率を示すものに限定されているため、反射ピークｐ１２及び反射ピークｐ１４は（１－１）の「複数の反射ピーク」に含まれない。従って、（１－１）の「複数の反射ピーク」は、反射ピークｐ１１及び反射ピークｐ１３のみである。このうち、波長４００ｎｍ近傍に反射ピークを有する反射ピークｐ１１が（１－２）の「第１主反射ピーク」に相当し、波長５６０ｎｍ近傍に反射ピークを有する反射ピークｐ１３が（１－２）の「第２主反射ピーク」に相当する。
ｐ１１～ｐ１４の４つの反射ピークのうち、最大の反射率を示すのは反射ピークｐ１１である。
（１－１）の「複数の反射ピーク」は、（１－３）で規定する通り、最大の反射率を示す反射ピークｐ１１に対して２０％以上の反射率を示すものに限定されているため、反射ピークｐ１２及び反射ピークｐ１４は（１－１）の「複数の反射ピーク」に含まれない。従って、（１－１）の「複数の反射ピーク」は、反射ピークｐ１１及び反射ピークｐ１３のみである。このうち、波長４００ｎｍ近傍に反射ピークを有する反射ピークｐ１１が（１－２）の「第１主反射ピーク」に相当し、波長５６０ｎｍ近傍に反射ピークを有する反射ピークｐ１３が（１－２）の「第２主反射ピーク」に相当する。
【0075】
上記（１－２）の構成は、上述の通り、ブルーシフトを抑制するためのものである。
ブルーシフトは、誘電体多層膜に入射する光の入射角度が大きくなると反射率波長特性が短波長側にずれる現象のことである。ブルーシフトについては図を用いて説明する。
ブルーシフトは、誘電体多層膜に入射する光の入射角度が大きくなると反射率波長特性が短波長側にずれる現象のことである。ブルーシフトについては図を用いて説明する。
【0076】
図４は、誘電体多層膜における光の反射を示す概念図である。図４では理解を容易にするために説明に要する部分のみを描いている。図４に示す符号２Ａは、第１屈折率ｎ１を有する高屈折率層２Ａａ（膜厚：ｄ１）と第２屈折率ｎ２を有する低屈折率層２Ａｂ（膜厚：ｄ２）とが交互に多層に積層された誘電体多層膜の一部である。図４では、２層の高屈折率層２Ａａの膜厚を符号ｄ１として示しているが、同じ膜厚であることは意味しておらず、各高屈折率層の膜厚は所望の光学特性を有するように適宜決定される。低屈折率層の膜厚について同様である。
【0077】
垂直入射した場合の反射光と入射角度θ１で入射した場合の反射光とを比較して説明する。
誘電体多層膜２Ａに白色光が入射すると、高屈折率層２Ａａと低屈折率層２Ａｂとの間の界面において、入射光の一部が反射し、その他は屈折して（屈折角：θ２）透過していく。高屈折率層と低屈折率層との間の界面は繰り返し現れるので、各界面で生じた反射光は干渉する。誘電体多層膜に光が垂直入射する場合は、層内を往復してくる光と表面で反射する光の位置は同じ位置になるため、２つの光の光路長差は層内を往復する光路長と一致する。しかし、入射角度がつくと、反射する光の位置と層内を往復する光の入射位置にずれが生ずる。垂直入射でない場合、反射する光の位置と層内を往復する光の入射位置のずれによって光路長ｎ１ｂが発生する。一方、層内を往復して層の表面を抜けてくる光の光路長２ｎ２ａと光路長ｎ１ｂの差が、平行平面基層の入射角度θ１によって生じる光路長差Ｓである（Ｓ＝２ｎ２ａ－ｎ１ｂ）。
入射光の入射角θ１を徐々に大きくすると、各界面で生じた反射光の光路長差は徐々に小さくなり、より短波長の光が干渉して強め合うようになる。従って、白色光があたっている誘電体多層膜２をより斜め（面に平行に近い角度）から見るほど、より短波長の光が強く反射しているように見える。すなわち、入射角θ１を大きくするほど、反射光がだんだん青っぽく見えるようになる。この現象をブルーシフトという。
なお、入射角は入射面への垂線と入射光の光軸とがなす角度として定義される。
誘電体多層膜２Ａに白色光が入射すると、高屈折率層２Ａａと低屈折率層２Ａｂとの間の界面において、入射光の一部が反射し、その他は屈折して（屈折角：θ２）透過していく。高屈折率層と低屈折率層との間の界面は繰り返し現れるので、各界面で生じた反射光は干渉する。誘電体多層膜に光が垂直入射する場合は、層内を往復してくる光と表面で反射する光の位置は同じ位置になるため、２つの光の光路長差は層内を往復する光路長と一致する。しかし、入射角度がつくと、反射する光の位置と層内を往復する光の入射位置にずれが生ずる。垂直入射でない場合、反射する光の位置と層内を往復する光の入射位置のずれによって光路長ｎ１ｂが発生する。一方、層内を往復して層の表面を抜けてくる光の光路長２ｎ２ａと光路長ｎ１ｂの差が、平行平面基層の入射角度θ１によって生じる光路長差Ｓである（Ｓ＝２ｎ２ａ－ｎ１ｂ）。
入射光の入射角θ１を徐々に大きくすると、各界面で生じた反射光の光路長差は徐々に小さくなり、より短波長の光が干渉して強め合うようになる。従って、白色光があたっている誘電体多層膜２をより斜め（面に平行に近い角度）から見るほど、より短波長の光が強く反射しているように見える。すなわち、入射角θ１を大きくするほど、反射光がだんだん青っぽく見えるようになる。この現象をブルーシフトという。
なお、入射角は入射面への垂線と入射光の光軸とがなす角度として定義される。
【0078】
【0079】
人間の色の知覚の最も基本的な特性は色相、彩度、明度（白色度）である。色相とは赤・黄・緑・シアン・青・マゼンダといった色の種類を意味し、すなわち人間の目に知覚される互いに異なった波長の光の色を意味し、彩度とは色の鮮やかさ、色の純度を意味し、彩度が高いと純粋な色に近づき、彩度が低いと無彩色（白～グレー～）に近づき、明度とは色の明るさを意味する。
【0080】
ＸＹＺ表色系においてＸ、Ｙ、Ｚで示される数値を三刺激値というが、Ｘ、Ｙ、Ｚの値を見ても直ちに色を判断することは困難なため、三刺激値の比率（三原刺激の混色比）を用いた色度図で表現されることが一般的である。Ｘ、Ｙ、Ｚの混色比x、y、zはそれぞれ、ｘ＝Ｘ／（Ｘ+Ｙ+Ｚ）、y＝Ｙ／（Ｘ+Ｙ+Ｚ）、ｚ＝Ｚ／（Ｘ+Ｙ+Ｚ）で表され、ｘ＋y＋ｚ＝１（１００％）となる。ｘとyが分かればｚの値も分かるのでｚの表示を行わず、ｘとy だけを用いて表示したものがｘｙ色度図である。
【0081】
＜ｘｙ色度図における色相＞
図５及び図６に示されている通り、ｘｙ色度図はｘを横軸に、ｙを縦軸にして馬蹄形状（あるいは釣鐘形状）をしている。馬蹄形状に湾曲した外周曲線はスペクトル軌跡あるいは単色光軌跡といい、また、直線状の部分は純紫軌跡という。馬蹄形の中央部の少し下側の色度座標（ｘ、ｙ) ＝（０．３３３、０．３３３）近辺が無彩色（白～グレー）になっている。この無彩色を中心として、スペクトル軌跡において右端の赤から反時計周りに黄赤、黄、黄緑、緑、青緑、青、青紫といった色相が順次配列されている。スペクトル軌跡には各色相の単色の光が配列しており、このスペクトル軌跡の内側の色はすべて混色の光になる。
図５及び図６に示されている通り、ｘｙ色度図はｘを横軸に、ｙを縦軸にして馬蹄形状（あるいは釣鐘形状）をしている。馬蹄形状に湾曲した外周曲線はスペクトル軌跡あるいは単色光軌跡といい、また、直線状の部分は純紫軌跡という。馬蹄形の中央部の少し下側の色度座標（ｘ、ｙ) ＝（０．３３３、０．３３３）近辺が無彩色（白～グレー）になっている。この無彩色を中心として、スペクトル軌跡において右端の赤から反時計周りに黄赤、黄、黄緑、緑、青緑、青、青紫といった色相が順次配列されている。スペクトル軌跡には各色相の単色の光が配列しており、このスペクトル軌跡の内側の色はすべて混色の光になる。
【0082】
＜ｘｙ色度図における彩度＞
色度座標（ｘ、ｙ) ＝（０．３３３、０．３３３）を中心としたエリアから外周方向に放射状に遠ざかるほど彩度が高くなる。最外周のスペクトル軌跡（単色光軌跡）および純紫軌跡上に、その色相のうちで最高彩度の色が配置されている。
色度座標（ｘ、ｙ) ＝（０．３３３、０．３３３）を中心としたエリアから外周方向に放射状に遠ざかるほど彩度が高くなる。最外周のスペクトル軌跡（単色光軌跡）および純紫軌跡上に、その色相のうちで最高彩度の色が配置されている。
【0083】
＜ｘｙ色度図における明度＞
ＸＹＺ表色系において、物体色の明度（Ｌ＊）に対応する表示は視感反射（透過）率Ｙで表わされる。あるｘｙ色度図上の色は全て同一の視感反射率Ｙ値、つまり同じ明度の色で構成されている。ｘｙ色度図は無彩色エリアが白く描かれている場合が多いが、これは、視感反射率Ｙ値が大きい（明るい）場合である。Ｙの値が小さく（暗く）なるにつれて、ｘｙ色度図全体が暗くなっていく。このように、ｘｙ色度図は視感反射率Ｙ値（明るさ）毎の多層構造になっている。このような多層構造になっていることから、ＸＹＺ表色系をＹｘｙ表色系と称されることもある。以下では、無彩色点である（ｘ、ｙ) ＝（０．３３３、０．３３３）について白色点と称することもあるが、これはＹ値が大きい場合を示するものである。
ＸＹＺ表色系において、物体色の明度（Ｌ＊）に対応する表示は視感反射（透過）率Ｙで表わされる。あるｘｙ色度図上の色は全て同一の視感反射率Ｙ値、つまり同じ明度の色で構成されている。ｘｙ色度図は無彩色エリアが白く描かれている場合が多いが、これは、視感反射率Ｙ値が大きい（明るい）場合である。Ｙの値が小さく（暗く）なるにつれて、ｘｙ色度図全体が暗くなっていく。このように、ｘｙ色度図は視感反射率Ｙ値（明るさ）毎の多層構造になっている。このような多層構造になっていることから、ＸＹＺ表色系をＹｘｙ表色系と称されることもある。以下では、無彩色点である（ｘ、ｙ) ＝（０．３３３、０．３３３）について白色点と称することもあるが、これはＹ値が大きい場合を示するものである。
【0084】
ｘｙ色度図においては、光の色はｘ座標とｙ座標の２つの数値によって表現されるが、その２つの数字からその色を連想することは簡単ではないため、多少の正確さは犠牲にしても１つの数字によって色が連想できると実用的である。この要求に応えるものとして、主波長を用いられる。
図７を用いて、主波長を説明する。例えば、ｘｙ色度図上にＦ（０．４１、０．４２）いう色があったとき、白色点Ｗ（０．３３３、０．３３３）からＦに向かって直線を引き、さらにその直線をまっすぐ延長してスペクトル軌跡に突きあたった点をＳとすると、この点Ｓには５７５ｎｍの波長の単色光の色度が一義的に対応するのでこの単色光の波長を色Ｆの主波長とする。換言すると、主波長とは、ある色を白色光と単色光との混色で作った場合にその単色光の波長のことである。色度図上のスペクトル軌跡には主波長を数値で示している。
ｘｙ色度図において、色相は主波長の波長に相当する。
図７を用いて、主波長を説明する。例えば、ｘｙ色度図上にＦ（０．４１、０．４２）いう色があったとき、白色点Ｗ（０．３３３、０．３３３）からＦに向かって直線を引き、さらにその直線をまっすぐ延長してスペクトル軌跡に突きあたった点をＳとすると、この点Ｓには５７５ｎｍの波長の単色光の色度が一義的に対応するのでこの単色光の波長を色Ｆの主波長とする。換言すると、主波長とは、ある色を白色光と単色光との混色で作った場合にその単色光の波長のことである。色度図上のスペクトル軌跡には主波長を数値で示している。
ｘｙ色度図において、色相は主波長の波長に相当する。
【0085】
図８（ａ）に、図３に例示した反射スペクトルの反射光についてｘｙ色度図上の色度座標ｃ０＝（０．３３０、０．３２５）を示す。ｘｙ色度図上のＷは白色光（無彩色）の色度座標（０．３３３、０．３３３）である。図８（ｂ）は、シミュレーションで用いた誘電体多層膜モデルのパラメータである。
図３に例示した反射スペクトルの反射光は白色（無彩色）に近い色度座標を有することがわかる。
図３に例示した反射スペクトルの反射光は白色（無彩色）に近い色度座標を有することがわかる。
【0086】
＜入射角度依存性＞
次に、ｘｙ色度図を用いて反射光の入射角度依存性について説明する。
図９（ａ）は、誘電体多層膜に白色光を垂直入射（入射角度：０°）から５°づつ入射角度を大きくしたときのそれぞれの反射スペクトルについて光学薄膜設計ソフトウェア「ＯｐｔｉＬａｙｅｒ」（OptiLayer社）を用いてシミュレーションを行い、その結果得た反射スペクトルの色度座標をｘｙ色度図上に示したものである。図９（ｂ）は、各入射角度で光が誘電体多層膜に入射し、それに応じた反射角度（反射スペクトルを得る方向）で反射する様子を模式的に示した図である。
次に、ｘｙ色度図を用いて反射光の入射角度依存性について説明する。
図９（ａ）は、誘電体多層膜に白色光を垂直入射（入射角度：０°）から５°づつ入射角度を大きくしたときのそれぞれの反射スペクトルについて光学薄膜設計ソフトウェア「ＯｐｔｉＬａｙｅｒ」（OptiLayer社）を用いてシミュレーションを行い、その結果得た反射スペクトルの色度座標をｘｙ色度図上に示したものである。図９（ｂ）は、各入射角度で光が誘電体多層膜に入射し、それに応じた反射角度（反射スペクトルを得る方向）で反射する様子を模式的に示した図である。
【0087】
図９（ａ）に示すｘｙ色度図上において、符号Ｗで示すのは白色の色度座標であり、符号ｃ１０で示すのは垂直入射のときの反射スペクトルの色度座標であり、符号ｃ１１、符号ｃ１２、符号ｃ１３、符号ｃ１４、符号ｃ１５、符号ｃ１６はそれぞれ、入射角度５°、入射角度１０°、入射角度１５°、入射角度２０°、入射角度２５°、入射角度３０°で入射したときの反射スペクトルの色度座標を示すものである。
各入射角度における反射スペクトルの色度座標は以下の通りである；
Ｗ＝（０．３３３、０．３３３）、ｃ１０＝（０．３２５、０．３３６）、ｃ１１＝（０．３２５、０．３４６）、ｃ１２＝（０．３２２、０．３７５）、ｃ１３＝（０．３０９、０．４１５）、ｃ１４＝（０．２８０、０．４４６）、ｃ１５＝（０．２３５、０．４４１）、ｃ１６＝（０．１８６、０．３９１）。
各入射角度における反射スペクトルの色度座標は以下の通りである；
Ｗ＝（０．３３３、０．３３３）、ｃ１０＝（０．３２５、０．３３６）、ｃ１１＝（０．３２５、０．３４６）、ｃ１２＝（０．３２２、０．３７５）、ｃ１３＝（０．３０９、０．４１５）、ｃ１４＝（０．２８０、０．４４６）、ｃ１５＝（０．２３５、０．４４１）、ｃ１６＝（０．１８６、０．３９１）。
【0088】
図９（ａ）において、垂直入射から入射角度が大きくなるにつれて、入射角度０°で黄みがかった色から始まり、黄緑みがかった色、緑みがかった色へ変わり、入射角度３０°では青みがかった色へと色相が変わっていくことがわかる。このように入射角度が変わるにつれて青みがかった色へ変わっていく現象がブルーシフトである。
【0089】
図１０に示す反射スペクトルは、図３に示した反射スペクトルの波長範囲の上限を１２００ｎｍまで広げたものである。図１０には、太陽電池モジュールの外部量子効率の波長依存性の典型例を併せて示している。
図１０に示す反射スペクトルは、図３を用いて説明した通り、上記（１－１）～（１－３）を満たすものである。すなわち、反射スペクトルが有する反射ピークｐ１１及び反射ピークｐ１３はそれぞれ、約３９０ｎｍのピーク波長、約５６０ｎｍのピーク波長であり（（１－１）を満たす）、反射ピークｐ１１の波長は５２０ｎｍ未満であり、かつ、反射ピークｐ１３の波長は５２０ｎｍ以上であり（（１－２）を満たす）、反射ピークｐ１３の反射率（約３３％）は最大の反射率を示す反射ピークｐ１１の反射率（約９０％）に対して３７％である（（１－３）を満たす）。
図１０に示す反射スペクトルは、図３を用いて説明した通り、上記（１－１）～（１－３）を満たすものである。すなわち、反射スペクトルが有する反射ピークｐ１１及び反射ピークｐ１３はそれぞれ、約３９０ｎｍのピーク波長、約５６０ｎｍのピーク波長であり（（１－１）を満たす）、反射ピークｐ１１の波長は５２０ｎｍ未満であり、かつ、反射ピークｐ１３の波長は５２０ｎｍ以上であり（（１－２）を満たす）、反射ピークｐ１３の反射率（約３３％）は最大の反射率を示す反射ピークｐ１１の反射率（約９０％）に対して３７％である（（１－３）を満たす）。
【0090】
図１０に示す反射スペクトルから、反射ピークｐ１１及び反射ピークｐ１３はいずれも、その半値全幅（ＦＷＨＭ）が１００ｎｍ以下であることがわかる。
反射ピークの半値全幅（ＦＷＨＭ）が狭いことは、本発明の色調整板を太陽電池モジュールで用いる場合には反射光エネルギーが抑制されることを意味し、その結果、発電効率の低下を抑制できるため、好ましい。
この観点から、上記（１－１）～（１－３）を満たす反射ピークは少なくともその一つの反射ピークは、半値全幅（ＦＷＨＭ）が２００ｎｍ以下であることが好ましく、１５０ｎｍ以下であることがより好ましく、１００ｎｍ以下であることがさらに好ましい。この色調整板は、狭帯域の反射ピークを２つ備える反射スペクトルを示す反射膜として誘電体多層膜を備えるものである。
反射ピークの半値全幅（ＦＷＨＭ）が狭いことは、本発明の色調整板を太陽電池モジュールで用いる場合には反射光エネルギーが抑制されることを意味し、その結果、発電効率の低下を抑制できるため、好ましい。
この観点から、上記（１－１）～（１－３）を満たす反射ピークは少なくともその一つの反射ピークは、半値全幅（ＦＷＨＭ）が２００ｎｍ以下であることが好ましく、１５０ｎｍ以下であることがより好ましく、１００ｎｍ以下であることがさらに好ましい。この色調整板は、狭帯域の反射ピークを２つ備える反射スペクトルを示す反射膜として誘電体多層膜を備えるものである。
【0091】
また、図１０に示す太陽電池モジュールの外部量子効率は約６００ｎｍから下がり始め、約４８０ｎｍで０．８となり、約４２０ｎｍで０．６となり、約３９０ｎｍで０．５となる。従って、本発明の色調整板を太陽電池モジュールで用いる場合に発電効率の低下を抑制する観点で、「第１主反射ピーク」は（１－１）要件の波長範囲の下限である３８０ｎｍに近いほど好ましく、また、「第２主反射ピーク」も（１－１）要件の波長範囲の下限である５２０ｎｍに近いほど好ましい。
また、発電効率の低下を抑制する観点では、「第１主反射ピーク」及び「第２主反射ピーク」の反射率は７０％以下であることが好ましい。特に、図１０に示した外部量子効率の波長依存性の観点で、「第１主反射ピーク」の反射率よりも「第２主反射ピーク」の反射率の方が発電効率の低下抑制に効くため、「第２主反射ピーク」の反射率が低いことが好ましい。例えば、「第２主反射ピーク」の反射率は６０％以下であることが好ましく、５０％以下であることがより好ましく、４０％以下であることがさらに好ましい。
また、発電効率の低下を抑制する観点では、「第１主反射ピーク」及び「第２主反射ピーク」の反射率は７０％以下であることが好ましい。特に、図１０に示した外部量子効率の波長依存性の観点で、「第１主反射ピーク」の反射率よりも「第２主反射ピーク」の反射率の方が発電効率の低下抑制に効くため、「第２主反射ピーク」の反射率が低いことが好ましい。例えば、「第２主反射ピーク」の反射率は６０％以下であることが好ましく、５０％以下であることがより好ましく、４０％以下であることがさらに好ましい。
【0092】
（色調整板（第２実施形態））
第２実施形態に係る色調整板は、入射角度依存性が第１実施例の誘電体多層膜よりも低い誘電体多層膜を備えるものである。
第２実施形態に係る色調整板は、入射角度依存性が第１実施例の誘電体多層膜よりも低い誘電体多層膜を備えるものである。
【0093】
かかる特徴を有する２実施例の誘電体多層膜について光学特性を説明する。
図１１（ａ）は、第２実施例の誘電体多層膜に白色光を垂直入射した場合の反射光についてｘｙ色度図上の色度座標ｃ２０（０．３３０、０．３３０）を示すものである。図１１（ｂ）は、シミュレーションで用いた誘電体多層膜モデルのパラメータである。図１２は、第２実施例の誘電体多層膜に白色光が垂直入射した場合の反射スペクトルを示すものである。
図１１（ａ）は、第２実施例の誘電体多層膜に白色光を垂直入射した場合の反射光についてｘｙ色度図上の色度座標ｃ２０（０．３３０、０．３３０）を示すものである。図１１（ｂ）は、シミュレーションで用いた誘電体多層膜モデルのパラメータである。図１２は、第２実施例の誘電体多層膜に白色光が垂直入射した場合の反射スペクトルを示すものである。
【0094】
図１２に示す反射スペクトルは、上記の（１－１）～（１－３）の要件を満たす２つの反射ピークｐ２１及び反射ピークｐ２２を有する。
すなわち、反射ピークｐ２１及び反射ピークｐ２２はそれぞれ、３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲である波長４８０ｎｍ近傍、波長６２０ｎｍ近傍にピーク波長を有し、かつ、反射ピークｐ２１及び反射ピークｐ２２はそれぞれ、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピーク、５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークであり、かつ、反射ピークｐ２２の反射率は最大の反射率を示す反射ピークｐ２１に対して２０％以上の反射率を示すものである。
このように第２実施例の誘電体多層膜は、第１実施例の誘電体多層膜と異なる反射特性を有するものであるが、第１実施例の誘電体多層膜と同程度に白色光（無彩色）に近い色度座標を有する反射スペクトルを示すものであることがわかる。
すなわち、反射ピークｐ２１及び反射ピークｐ２２はそれぞれ、３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲である波長４８０ｎｍ近傍、波長６２０ｎｍ近傍にピーク波長を有し、かつ、反射ピークｐ２１及び反射ピークｐ２２はそれぞれ、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピーク、５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークであり、かつ、反射ピークｐ２２の反射率は最大の反射率を示す反射ピークｐ２１に対して２０％以上の反射率を示すものである。
このように第２実施例の誘電体多層膜は、第１実施例の誘電体多層膜と異なる反射特性を有するものであるが、第１実施例の誘電体多層膜と同程度に白色光（無彩色）に近い色度座標を有する反射スペクトルを示すものであることがわかる。
【0095】
＜入射角度依存性＞
第２実施例の誘電体多層膜について反射光の入射角度依存性について説明する。
この例では、第１主反射ピーク及び第２主反射ピークに着目し、それらの入射角度依存性から反射光の入射角度依存性を説明する。
図１３（ａ）は、垂直入射から５°づつ入射角度を大きくしたときのそれぞれの入射角度の反射スペクトルについて光学薄膜設計ソフトウェアを用いてシミュレーションを行った結果である。いずれの反射スペクトルでも第１主反射ピーク及び第２主反射ピークが存在することがわかる。図１３（ｂ）は、各入射角度における第１主反射ピーク及び第２主反射ピークの色度座標をｘｙ色度図上に示したものである。図１３（ｂ）において、点線はスペクトル軌跡の波長５２０ｎｍと白色Ｗとを結んだものである。
図１４（ａ）は、図１３（ｂ）のｘｙ色度図について、第１主反射ピーク及び第２主反射ピークの色度座標が存在する部分を拡大したものである。図１４（ｂ）は、各入射角度の反射スペクトルの色度座標をｘｙ色度図上に示したものである。
第２実施例の誘電体多層膜について反射光の入射角度依存性について説明する。
この例では、第１主反射ピーク及び第２主反射ピークに着目し、それらの入射角度依存性から反射光の入射角度依存性を説明する。
図１３（ａ）は、垂直入射から５°づつ入射角度を大きくしたときのそれぞれの入射角度の反射スペクトルについて光学薄膜設計ソフトウェアを用いてシミュレーションを行った結果である。いずれの反射スペクトルでも第１主反射ピーク及び第２主反射ピークが存在することがわかる。図１３（ｂ）は、各入射角度における第１主反射ピーク及び第２主反射ピークの色度座標をｘｙ色度図上に示したものである。図１３（ｂ）において、点線はスペクトル軌跡の波長５２０ｎｍと白色Ｗとを結んだものである。
図１４（ａ）は、図１３（ｂ）のｘｙ色度図について、第１主反射ピーク及び第２主反射ピークの色度座標が存在する部分を拡大したものである。図１４（ｂ）は、各入射角度の反射スペクトルの色度座標をｘｙ色度図上に示したものである。
【0096】
図１３（ｂ）において、第１主反射ピーク及び第２主反射ピークのそれぞれがブルーシフトしていることがわかる。各入射角度の第１主反射ピーク及び第２主反射ピークの色度座標が、白色（無彩色）Ｗ近傍のエリア（以下、ｘｙ色度図上で０．２５≦ｘ≦０．４、かつ、０．２５≦ｙ≦０．４で囲まれる範囲を無彩色近傍エリアということがある。）を挟んで対称的な位置に配置するため、各入射角度の反射スペクトルの色度座標はいずれも、無彩色近傍エリアに配置する。より具体的には、各入射角度の反射スペクトルの色度座標は０．３１≦ｘ≦０．３４、０．２８≦ｘ≦０．３４の範囲に存在する。
このように、第２実施例の誘電体多層膜は第１実施例の誘電体多層膜よりも入射角度依存性が低く、入射角度を０°から３０°で変化させたときの反射光の色度座標（ｘ、ｙ）におけるｘ座標及びｙ座標の変化がいずれも０．１以下であり、ｘ座標の変化は０．０３以下、ｙ座標の変化は０．０６以下である。
このように、第２実施例の誘電体多層膜は第１実施例の誘電体多層膜よりも入射角度依存性が低く、入射角度を０°から３０°で変化させたときの反射光の色度座標（ｘ、ｙ）におけるｘ座標及びｙ座標の変化がいずれも０．１以下であり、ｘ座標の変化は０．０３以下、ｙ座標の変化は０．０６以下である。
【0097】
誘電体多層膜の第１主反射ピーク及び第２主反射ピークが図１３（ｂ）で示した点線を挟んで短波長側と長波長側に色度座標を有することで、反射光の色度座標が無彩色近傍エリアに存在するものとなる。このことが各入射角度で成り立つと、入射角度依存性が低いものとなる。
【0098】
図１２に示す反射スペクトルから、反射ピークｐ２１及び反射ピークｐ２２はいずれも、その半値全幅（ＦＷＨＭ）が１５０ｎｍ以下であることがわかる。反射ピークｐ２１の半値全幅（ＦＷＨＭ）は１００ｎｍ以下であることがわかる。
反射ピークの半値全幅（ＦＷＨＭ）が狭いことは、本発明の色調整板を太陽電池モジュールで用いる場合には反射光エネルギーが抑制されることを意味し、その結果、発電効率の低下を抑制できるため、好ましい。
反射ピークの半値全幅（ＦＷＨＭ）が狭いことは、本発明の色調整板を太陽電池モジュールで用いる場合には反射光エネルギーが抑制されることを意味し、その結果、発電効率の低下を抑制できるため、好ましい。
【0099】
また、発電効率の低下を抑制する観点では、「第１主反射ピーク」及び「第２主反射ピーク」の反射率は７０％以下であることが好ましいが、第２実施例の誘電体多層膜では、「第１主反射ピーク」及び「第２主反射ピーク」の反射率は４０％以下である。
【0100】
（色調整板（第３実施形態））
第３実施形態に係る色調整板は、入射角度依存性が第２実施例の誘電体多層膜よりもさらに低い誘電体多層膜を備えるものである。
第３実施形態に係る色調整板は、入射角度依存性が第２実施例の誘電体多層膜よりもさらに低い誘電体多層膜を備えるものである。
【0101】
かかる特徴を有する第３実施例の誘電体多層膜について光学特性を説明する。
図１５（ａ）は、第３実施例の誘電体多層膜に白色光を垂直入射した場合の反射光についてｘｙ色度図上の色度座標ｃ３０（０．３３３、０．３２７）を示すものである。図１５（ｂ）は、シミュレーションで用いた誘電体多層膜モデルのパラメータである。図１６は、第３実施例の誘電体多層膜に白色光が垂直入射した場合の反射スペクトルを示すものである。
図１５（ａ）は、第３実施例の誘電体多層膜に白色光を垂直入射した場合の反射光についてｘｙ色度図上の色度座標ｃ３０（０．３３３、０．３２７）を示すものである。図１５（ｂ）は、シミュレーションで用いた誘電体多層膜モデルのパラメータである。図１６は、第３実施例の誘電体多層膜に白色光が垂直入射した場合の反射スペクトルを示すものである。
【0102】
図１６に示す反射スペクトルは、上記の（１－１）～（１－３）の要件を満たす２つの反射ピークｐ３１及び反射ピークｐ３２を有する。
すなわち、反射ピークｐ３１及び反射ピークｐ３２はそれぞれ、３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲である波長４７０ｎｍ近傍、波長６００ｎｍ近傍にピーク波長を有し、かつ、反射ピークｐ３１及び反射ピークｐ３２はそれぞれ、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピーク、５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークであり、かつ、反射ピークｐ３２の反射率は最大の反射率を示す反射ピークｐ３１に対して２０％以上の反射率を示すものである。なお、反射ピークｐ３３は（１－１）の要件はぎりぎり満たしているにしても（１－３）の要件は満たさず、また、反射ピークｐ３４は（１－１）の要件を満たさない。
このように第３実施例の誘電体多層膜は、第１実施例の誘電体多層膜と異なる反射特性を有するものであるが、図１５（ａ）に示すように第１実施例の誘電体多層膜と同程度に白色光（無彩色）に近い色度座標を有する反射スペクトルを示すものであることがわかる。
すなわち、反射ピークｐ３１及び反射ピークｐ３２はそれぞれ、３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲である波長４７０ｎｍ近傍、波長６００ｎｍ近傍にピーク波長を有し、かつ、反射ピークｐ３１及び反射ピークｐ３２はそれぞれ、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピーク、５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークであり、かつ、反射ピークｐ３２の反射率は最大の反射率を示す反射ピークｐ３１に対して２０％以上の反射率を示すものである。なお、反射ピークｐ３３は（１－１）の要件はぎりぎり満たしているにしても（１－３）の要件は満たさず、また、反射ピークｐ３４は（１－１）の要件を満たさない。
このように第３実施例の誘電体多層膜は、第１実施例の誘電体多層膜と異なる反射特性を有するものであるが、図１５（ａ）に示すように第１実施例の誘電体多層膜と同程度に白色光（無彩色）に近い色度座標を有する反射スペクトルを示すものであることがわかる。
【0103】
＜入射角度依存性＞
第３実施例の誘電体多層膜について反射光の入射角度依存性について説明する。
図１７は、第３実施例の誘電体多層膜に白色光を垂直入射から５°づつ入射角度を大きくしたときのそれぞれの反射スペクトルについて光学薄膜設計ソフトウェアを用いてシミュレーションを行い、その結果得た反射スペクトルの色度座標をｘｙ色度図上に示したものである。
図１７において、各入射角度の反射スペクトルの色度座標はいずれも、無彩色近傍エリアに配置する。より具体的には、各入射角度の反射スペクトルの色度座標は０．３１≦ｘ≦０．３４、０．３２≦ｘ≦０．３４の範囲に存在する。
このように、第３実施例の誘電体多層膜は第２実施例の誘電体多層膜よりもさらに入射角度依存性が低く、入射角度を０°から３０°で変化させたときの反射光の色度座標（ｘ、ｙ）におけるｘ座標及びｙ座標の変化がいずれも０．１以下であり、ｘ座標の変化は０．０３以下、ｙ座標の変化は０．０２以下である。
第３実施例の誘電体多層膜について反射光の入射角度依存性について説明する。
図１７は、第３実施例の誘電体多層膜に白色光を垂直入射から５°づつ入射角度を大きくしたときのそれぞれの反射スペクトルについて光学薄膜設計ソフトウェアを用いてシミュレーションを行い、その結果得た反射スペクトルの色度座標をｘｙ色度図上に示したものである。
図１７において、各入射角度の反射スペクトルの色度座標はいずれも、無彩色近傍エリアに配置する。より具体的には、各入射角度の反射スペクトルの色度座標は０．３１≦ｘ≦０．３４、０．３２≦ｘ≦０．３４の範囲に存在する。
このように、第３実施例の誘電体多層膜は第２実施例の誘電体多層膜よりもさらに入射角度依存性が低く、入射角度を０°から３０°で変化させたときの反射光の色度座標（ｘ、ｙ）におけるｘ座標及びｙ座標の変化がいずれも０．１以下であり、ｘ座標の変化は０．０３以下、ｙ座標の変化は０．０２以下である。
【0104】
図１６に示す反射スペクトルから、反射ピークｐ３１及び反射ピークｐ３２はいずれも、その半値全幅（ＦＷＨＭ）が１５０ｎｍ以下であることがわかる。反射ピークｐ３１の半値全幅（ＦＷＨＭ）は１００ｎｍ以下であることがわかる。
反射ピークの半値全幅（ＦＷＨＭ）が狭いことは、本発明の色調整板を太陽電池モジュールで用いる場合には反射光エネルギーが抑制されることを意味し、その結果、発電効率の低下を抑制できるため、好ましい。
反射ピークの半値全幅（ＦＷＨＭ）が狭いことは、本発明の色調整板を太陽電池モジュールで用いる場合には反射光エネルギーが抑制されることを意味し、その結果、発電効率の低下を抑制できるため、好ましい。
【0105】
また、発電効率の低下を抑制する観点では、「第１主反射ピーク」及び「第２主反射ピーク」の反射率は７０％以下であることが好ましいが、第３実施例の誘電体多層膜では、「第１主反射ピーク」及び「第２主反射ピーク」の反射率は３０％以下である。
【0106】
（色調整板（第４実施形態））
第４実施形態に係る色調整板は、上記の（１－１）及び（１－３）の要件を満たす複数の反射ピークを４つ有する誘電体多層膜を備えるものである。
第４実施形態に係る色調整板は、上記の（１－１）及び（１－３）の要件を満たす複数の反射ピークを４つ有する誘電体多層膜を備えるものである。
【0107】
かかる特徴を有する第４実施例の誘電体多層膜について光学特性を説明する。
図１８（ａ）は、第４実施例の誘電体多層膜に白色光を垂直入射した場合の反射光についてｘｙ色度図上の色度座標ｃ４０（０．３１１、０．３２５）を示すものである。図１８（ｂ）は、シミュレーションで用いた誘電体多層膜モデルのパラメータである。図１９は、第４実施例の誘電体多層膜に白色光が垂直入射した場合の反射スペクトルを示すものである。
図１８（ａ）は、第４実施例の誘電体多層膜に白色光を垂直入射した場合の反射光についてｘｙ色度図上の色度座標ｃ４０（０．３１１、０．３２５）を示すものである。図１８（ｂ）は、シミュレーションで用いた誘電体多層膜モデルのパラメータである。図１９は、第４実施例の誘電体多層膜に白色光が垂直入射した場合の反射スペクトルを示すものである。
【0108】
図１９に示す反射スペクトルは、上記の（１－１）～（１－３）の要件を満たす４つの反射ピークｐ４１～反射ピークｐ４４を有する。
すなわち、反射ピークｐ４１～反射ピークｐ４４はそれぞれ、３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲である波長４４０ｎｍ近傍、波長４９０ｎｍ近傍、波長５６０ｎｍ近傍、波長６６０ｎｍ近傍にピーク波長を有し、かつ、反射ピークｐ４１及び反射ピークｐ４２は５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークであり、反射ピークｐ４３及び反射ピークｐ４４は５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークであり、かつ、反射ピークｐ４２～反射ピークｐ４４の反射率は最大の反射率を示す反射ピークｐ４１に対して２０％以上の反射率を示すものである。なお、反射ピークｐ４５及び反射ピークｐ４６は（１－１）の要件を満たさない。
このように第４実施例の誘電体多層膜は、第１実施例の誘電体多層膜と異なる反射特性を有するものであるが、図１８（ａ）に示すように第１実施例の誘電体多層膜と同程度に白色光（無彩色）に近い色度座標を有する反射スペクトルを示すものであることがわかる。
すなわち、反射ピークｐ４１～反射ピークｐ４４はそれぞれ、３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲である波長４４０ｎｍ近傍、波長４９０ｎｍ近傍、波長５６０ｎｍ近傍、波長６６０ｎｍ近傍にピーク波長を有し、かつ、反射ピークｐ４１及び反射ピークｐ４２は５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークであり、反射ピークｐ４３及び反射ピークｐ４４は５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークであり、かつ、反射ピークｐ４２～反射ピークｐ４４の反射率は最大の反射率を示す反射ピークｐ４１に対して２０％以上の反射率を示すものである。なお、反射ピークｐ４５及び反射ピークｐ４６は（１－１）の要件を満たさない。
このように第４実施例の誘電体多層膜は、第１実施例の誘電体多層膜と異なる反射特性を有するものであるが、図１８（ａ）に示すように第１実施例の誘電体多層膜と同程度に白色光（無彩色）に近い色度座標を有する反射スペクトルを示すものであることがわかる。
【0109】
＜入射角度依存性＞
第４実施例の誘電体多層膜について反射光の入射角度依存性について説明する。
図２０は、第４実施例の誘電体多層膜に白色光を垂直入射から５°づつ入射角度を大きくしたときのそれぞれの反射スペクトルについて光学薄膜設計ソフトウェアを用いてシミュレーションを行い、その結果得た反射スペクトルの色度座標をｘｙ色度図上に示したものである。
図２０において、各入射角度の反射スペクトルの色度座標はいずれも、無彩色近傍エリアに配置する。より具体的には、各入射角度の反射スペクトルの色度座標は０．３１≦ｘ≦０．３３、０．３２≦ｘ≦０．３５の範囲に存在する。
このように、第４実施例の誘電体多層膜も第３実施例の誘電体多層膜と同程度に入射角度依存性が低く、入射角度を０°から３０°で変化させたときの反射光の色度座標（ｘ、ｙ）におけるｘ座標及びｙ座標の変化がいずれも０．１以下であり、ｘ座標の変化は０．０２以下、ｙ座標の変化は０．０３以下である。
第４実施例の誘電体多層膜について反射光の入射角度依存性について説明する。
図２０は、第４実施例の誘電体多層膜に白色光を垂直入射から５°づつ入射角度を大きくしたときのそれぞれの反射スペクトルについて光学薄膜設計ソフトウェアを用いてシミュレーションを行い、その結果得た反射スペクトルの色度座標をｘｙ色度図上に示したものである。
図２０において、各入射角度の反射スペクトルの色度座標はいずれも、無彩色近傍エリアに配置する。より具体的には、各入射角度の反射スペクトルの色度座標は０．３１≦ｘ≦０．３３、０．３２≦ｘ≦０．３５の範囲に存在する。
このように、第４実施例の誘電体多層膜も第３実施例の誘電体多層膜と同程度に入射角度依存性が低く、入射角度を０°から３０°で変化させたときの反射光の色度座標（ｘ、ｙ）におけるｘ座標及びｙ座標の変化がいずれも０．１以下であり、ｘ座標の変化は０．０２以下、ｙ座標の変化は０．０３以下である。
【0110】
図１９に示す反射スペクトルから、反射ピークｐ４１～反射ピークｐ４４はいずれも、その半値全幅（ＦＷＨＭ）が１００ｎｍ以下であることがわかる。反射ピークｐ４１及び反射ピークｐ４３の半値全幅（ＦＷＨＭ）は７０ｎｍ以下であることがわかる。
反射ピークの半値全幅（ＦＷＨＭ）が狭いことは、本発明の色調整板を太陽電池モジュールで用いる場合には反射光エネルギーが抑制されることを意味し、その結果、発電効率の低下を抑制できるため、好ましい。
反射ピークの半値全幅（ＦＷＨＭ）が狭いことは、本発明の色調整板を太陽電池モジュールで用いる場合には反射光エネルギーが抑制されることを意味し、その結果、発電効率の低下を抑制できるため、好ましい。
【0111】
また、発電効率の低下を抑制する観点では、「第１主反射ピーク」及び「第２主反射ピーク」の反射率は７０％以下であることが好ましいが、第４実施例の誘電体多層膜では、「第１主反射ピーク」及び「第２主反射ピーク」の反射率は５５％以下である。
【0112】
（色調整板（第５実施形態））
第５実施形態に係る色調整板は、第１主反射ピーク及び第２主反射ピークの少なくとも一方の半値全幅（ＦＷＨＭ）が第１実施例～第４実施例に係る誘電体多層膜のいずれよりも狭い特性を有する誘電体多層膜を備えるものである。
第５実施形態に係る色調整板は、第１主反射ピーク及び第２主反射ピークの少なくとも一方の半値全幅（ＦＷＨＭ）が第１実施例～第４実施例に係る誘電体多層膜のいずれよりも狭い特性を有する誘電体多層膜を備えるものである。
【0113】
かかる特徴を有する第５実施例の誘電体多層膜について光学特性を説明する。
図２１は、第５実施例の誘電体多層膜に白色光を垂直入射した場合の反射光についてｘｙ色度図上の色度座標ｃ５０（０．３４７、０．３３１）を示すものである。第５実施例の誘電体多層膜は、二酸化チタン（ＴｉＯ２）の高屈折率層及び二酸化シリコン（ＳｉＯ２）の低屈折率層が交互に積層した６３層で、総膜厚８７５．３ｎｍからなるものである。図２１（ｂ）は、シミュレーションで用いた誘電体多層膜モデルのパラメータである。図２２は、第５実施例の誘電体多層膜に白色光が垂直入射した場合の反射スペクトルを示すものである。
図２１は、第５実施例の誘電体多層膜に白色光を垂直入射した場合の反射光についてｘｙ色度図上の色度座標ｃ５０（０．３４７、０．３３１）を示すものである。第５実施例の誘電体多層膜は、二酸化チタン（ＴｉＯ２）の高屈折率層及び二酸化シリコン（ＳｉＯ２）の低屈折率層が交互に積層した６３層で、総膜厚８７５．３ｎｍからなるものである。図２１（ｂ）は、シミュレーションで用いた誘電体多層膜モデルのパラメータである。図２２は、第５実施例の誘電体多層膜に白色光が垂直入射した場合の反射スペクトルを示すものである。
【0114】
図２２に示す反射スペクトルは、上記の（１－１）～（１－３）の要件を満たす３つの反射ピークｐ５１～反射ピークｐ５３を有する。
すなわち、反射ピークｐ５１～反射ピークｐ５３はそれぞれ、３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲である波長３９０ｎｍ近傍、４８０ｎｍ近傍、波長５９０ｎｍ近傍にピーク波長を有し、かつ、反射ピークｐ５１及び反射ピークｐ５２は５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークであり、反射ピークｐ５３は５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークであり、かつ、反射ピークｐ５２及び反射ピークｐ５３の反射率は最大の反射率を示す反射ピークｐ５１に対して２０％以上の反射率を示すものである。
このように第５実施例の誘電体多層膜は、第１実施例の誘電体多層膜と異なる反射特性を有するものであるが、図２１に示すように第１実施例の誘電体多層膜と同程度に白色光（無彩色）に近い色度座標を有する反射スペクトルを示すものであることがわかる。
すなわち、反射ピークｐ５１～反射ピークｐ５３はそれぞれ、３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲である波長３９０ｎｍ近傍、４８０ｎｍ近傍、波長５９０ｎｍ近傍にピーク波長を有し、かつ、反射ピークｐ５１及び反射ピークｐ５２は５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークであり、反射ピークｐ５３は５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークであり、かつ、反射ピークｐ５２及び反射ピークｐ５３の反射率は最大の反射率を示す反射ピークｐ５１に対して２０％以上の反射率を示すものである。
このように第５実施例の誘電体多層膜は、第１実施例の誘電体多層膜と異なる反射特性を有するものであるが、図２１に示すように第１実施例の誘電体多層膜と同程度に白色光（無彩色）に近い色度座標を有する反射スペクトルを示すものであることがわかる。
【0115】
＜入射角度依存性＞
第５実施例の誘電体多層膜について反射光の入射角度依存性について説明する。
図２３は、第５実施例の誘電体多層膜に白色光を垂直入射から５°づつ入射角度を大きくしたときのそれぞれの反射スペクトルについて光学薄膜設計ソフトウェアを用いてシミュレーションを行い、その結果得た反射スペクトルの色度座標をｘｙ色度図上に示したものである。
図２３において、各入射角度の反射スペクトルの色度座標はいずれも無彩色近傍エリアに配置する。より具体的には、各入射角度の反射スペクトルの色度座標は０．３０≦ｘ≦０．３５、０．３１≦ｘ≦０．３４の範囲に存在する。
第５実施例の誘電体多層膜は第２実施例の誘電体多層膜よりも入射角度依存性が低く、入射角度を０°から３０°で変化させたときの反射光の色度座標（ｘ、ｙ）におけるｘ座標及びｙ座標の変化がいずれも０．１以下であり、ｘ座標の変化は０．０５以下、ｙ座標の変化は０．０３以下である。
第５実施例の誘電体多層膜について反射光の入射角度依存性について説明する。
図２３は、第５実施例の誘電体多層膜に白色光を垂直入射から５°づつ入射角度を大きくしたときのそれぞれの反射スペクトルについて光学薄膜設計ソフトウェアを用いてシミュレーションを行い、その結果得た反射スペクトルの色度座標をｘｙ色度図上に示したものである。
図２３において、各入射角度の反射スペクトルの色度座標はいずれも無彩色近傍エリアに配置する。より具体的には、各入射角度の反射スペクトルの色度座標は０．３０≦ｘ≦０．３５、０．３１≦ｘ≦０．３４の範囲に存在する。
第５実施例の誘電体多層膜は第２実施例の誘電体多層膜よりも入射角度依存性が低く、入射角度を０°から３０°で変化させたときの反射光の色度座標（ｘ、ｙ）におけるｘ座標及びｙ座標の変化がいずれも０．１以下であり、ｘ座標の変化は０．０５以下、ｙ座標の変化は０．０３以下である。
【0116】
図２２に示す反射スペクトルから、反射ピークｐ５１～反射ピークｐ５３はいずれも、その半値全幅（ＦＷＨＭ）が５０ｎｍ以下であることがわかる。
反射ピークの半値全幅（ＦＷＨＭ）が狭いことは、本発明の色調整板を太陽電池モジュールで用いる場合には反射光エネルギーが抑制されることを意味し、その結果、発電効率の低下を抑制できるため、好ましい。
反射ピークの半値全幅（ＦＷＨＭ）が狭いことは、本発明の色調整板を太陽電池モジュールで用いる場合には反射光エネルギーが抑制されることを意味し、その結果、発電効率の低下を抑制できるため、好ましい。
【0117】
（色調整板（第６実施形態））
第６実施形態に係る色調整板は、第１実施例～第５実施例に係る誘電体多層膜よりも少ない８層以下の層数からなる誘電体多層膜を備えるものである。
第６実施形態に係る色調整板は、第１実施例～第５実施例に係る誘電体多層膜よりも少ない８層以下の層数からなる誘電体多層膜を備えるものである。
【0118】
かかる特徴を有する第６実施例の誘電体多層膜について光学特性を説明する。
図２４（ａ）は、第６実施例の誘電体多層膜に白色光を垂直入射した場合の反射光についてｘｙ色度図上の色度座標ｃ６０（０．３２４、０．３３４）を示すものである。図２４（ｂ）は、シミュレーションで用いた誘電体多層膜モデルのパラメータであり、二酸化チタン（ＴｉＯ２）の高屈折率層及び二酸化シリコン（ＳｉＯ２）の低屈折率層が交互に積層した３層で、総膜厚２１７．４ｎｍからなるものである。図２５は、第６実施例の誘電体多層膜に白色光が垂直入射した場合の反射スペクトルを示すものである。
図２４（ａ）は、第６実施例の誘電体多層膜に白色光を垂直入射した場合の反射光についてｘｙ色度図上の色度座標ｃ６０（０．３２４、０．３３４）を示すものである。図２４（ｂ）は、シミュレーションで用いた誘電体多層膜モデルのパラメータであり、二酸化チタン（ＴｉＯ２）の高屈折率層及び二酸化シリコン（ＳｉＯ２）の低屈折率層が交互に積層した３層で、総膜厚２１７．４ｎｍからなるものである。図２５は、第６実施例の誘電体多層膜に白色光が垂直入射した場合の反射スペクトルを示すものである。
【0119】
図２５に示す反射スペクトルは、上記の（１－１）～（１－３）の要件を満たす２つの反射ピークｐ６１及び反射ピークｐ６２を有する。
すなわち、反射ピークｐ６１及び反射ピークｐ６２はそれぞれ、３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲である波長４６０ｎｍ近傍、波長６１０ｎｍ近傍にピーク波長を有し、かつ、反射ピークｐ６１は５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークであり、反射ピークｐ６２は５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークであり、かつ、反射ピークｐ６１及び反射ピークｐ６２の反射率はほぼ同程度の７％程度であるから、一方の反射ピークの反射率が他方の反射率の２０％以上であることを示すものである。
このように第６実施例の誘電体多層膜は、第１実施例の誘電体多層膜と異なる反射特性を有するものであるが、図２４（ａ）に示すように第１実施例の誘電体多層膜と同程度に白色光（無彩色）に近い色度座標を有する反射スペクトルを示すものであることがわかる。
すなわち、反射ピークｐ６１及び反射ピークｐ６２はそれぞれ、３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲である波長４６０ｎｍ近傍、波長６１０ｎｍ近傍にピーク波長を有し、かつ、反射ピークｐ６１は５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークであり、反射ピークｐ６２は５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークであり、かつ、反射ピークｐ６１及び反射ピークｐ６２の反射率はほぼ同程度の７％程度であるから、一方の反射ピークの反射率が他方の反射率の２０％以上であることを示すものである。
このように第６実施例の誘電体多層膜は、第１実施例の誘電体多層膜と異なる反射特性を有するものであるが、図２４（ａ）に示すように第１実施例の誘電体多層膜と同程度に白色光（無彩色）に近い色度座標を有する反射スペクトルを示すものであることがわかる。
【0120】
＜入射角度依存性＞
第６実施例の誘電体多層膜について反射光の入射角度依存性について説明する。
図２６は、第６実施例の誘電体多層膜に白色光を垂直入射から５°づつ入射角度を大きくしたときのそれぞれの反射スペクトルについて光学薄膜設計ソフトウェアを用いてシミュレーションを行い、その結果得た反射スペクトルの色度座標をｘｙ色度図上に示したものである。
図２６において、各入射角度の反射スペクトルの色度座標はいずれも、無彩色近傍エリアに配置する。より具体的には、各入射角度の反射スペクトルの色度座標は０．３２≦ｘ≦０．３４、０．３３≦ｘ≦０．３５の範囲に存在する。
このように、第６実施例の誘電体多層膜も第３実施例の誘電体多層膜と同程度に入射角度依存性が低く、入射角度を０°から３０°で変化させたときの反射光の色度座標（ｘ、ｙ）におけるｘ座標及びｙ座標の変化がいずれも０．１以下であり、ｘ座標の変化は０．０２以下、ｙ座標の変化は０．０２以下である。
第６実施例の誘電体多層膜について反射光の入射角度依存性について説明する。
図２６は、第６実施例の誘電体多層膜に白色光を垂直入射から５°づつ入射角度を大きくしたときのそれぞれの反射スペクトルについて光学薄膜設計ソフトウェアを用いてシミュレーションを行い、その結果得た反射スペクトルの色度座標をｘｙ色度図上に示したものである。
図２６において、各入射角度の反射スペクトルの色度座標はいずれも、無彩色近傍エリアに配置する。より具体的には、各入射角度の反射スペクトルの色度座標は０．３２≦ｘ≦０．３４、０．３３≦ｘ≦０．３５の範囲に存在する。
このように、第６実施例の誘電体多層膜も第３実施例の誘電体多層膜と同程度に入射角度依存性が低く、入射角度を０°から３０°で変化させたときの反射光の色度座標（ｘ、ｙ）におけるｘ座標及びｙ座標の変化がいずれも０．１以下であり、ｘ座標の変化は０．０２以下、ｙ座標の変化は０．０２以下である。
【0121】
（色調整板（第７実施形態））
第７実施形態に係る色調整板は、垂直入射に対する反射光の色度座標が無彩色近傍エリア以外の範囲に存在する誘電体多層膜を備えるものである。すなわち、白っぽい着色以外の色に着色された誘電体多層膜を備えるものである。
第７実施形態に係る色調整板は、垂直入射に対する反射光の色度座標が無彩色近傍エリア以外の範囲に存在する誘電体多層膜を備えるものである。すなわち、白っぽい着色以外の色に着色された誘電体多層膜を備えるものである。
【0122】
かかる特徴を有する第７実施例の誘電体多層膜について光学特性を説明する。
図２７（ａ）は、第７実施例の誘電体多層膜に白色光を垂直入射した場合の反射光についてｘｙ色度図上の色度座標ｃ７０（０．５０６、０．３４５）を示すもの、すなわち、橙色系の色を示すものである。図２７（ｂ）は、シミュレーションで用いた誘電体多層膜モデルのパラメータである。図２８は、第７実施例の誘電体多層膜に白色光が垂直入射した場合の反射スペクトルを示すものである。
図２７（ａ）は、第７実施例の誘電体多層膜に白色光を垂直入射した場合の反射光についてｘｙ色度図上の色度座標ｃ７０（０．５０６、０．３４５）を示すもの、すなわち、橙色系の色を示すものである。図２７（ｂ）は、シミュレーションで用いた誘電体多層膜モデルのパラメータである。図２８は、第７実施例の誘電体多層膜に白色光が垂直入射した場合の反射スペクトルを示すものである。
【0123】
図２８に示す反射スペクトルは、上記の（１－１）～（１－３）の要件を満たす２つの反射ピークｐ７１及び反射ピークｐ７２を有する。
すなわち、反射ピークｐ７１及び反射ピークｐ７２はそれぞれ、３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲である波長４８０ｎｍ近傍、波長６３０ｎｍ近傍にピーク波長を有し、かつ、反射ピークｐ７１は５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークであり、反射ピークｐ７２は５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークであり、かつ、反射ピークｐ７１の反射率は最大の反射率を示す反射ピークｐ７２に対して２０％以上の反射率を示すものである。なお、反射ピークｐ７３及び反射ピークｐ７４は（１－３）の要件を満たさず、反射ピークｐ７５は（１－１）の要件を満たさない。
すなわち、反射ピークｐ７１及び反射ピークｐ７２はそれぞれ、３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲である波長４８０ｎｍ近傍、波長６３０ｎｍ近傍にピーク波長を有し、かつ、反射ピークｐ７１は５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークであり、反射ピークｐ７２は５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークであり、かつ、反射ピークｐ７１の反射率は最大の反射率を示す反射ピークｐ７２に対して２０％以上の反射率を示すものである。なお、反射ピークｐ７３及び反射ピークｐ７４は（１－３）の要件を満たさず、反射ピークｐ７５は（１－１）の要件を満たさない。
【0124】
第７実施例の誘電体多層膜では、それぞれ１つの第１主反射ピーク及び第２主反射ピークの反射ピークの反射率を大きく違えるという構成をとることによって、無彩色近傍エリア以外の色度座標ｃ７０（０．５０６、０．３４５）を有する反射光を生ずるものとした。
【0125】
＜入射角度依存性＞
第７実施例の誘電体多層膜について反射光の入射角度依存性について説明する。
図２９は、第７実施例の誘電体多層膜に白色光を垂直入射から５°づつ入射角度を大きくしたときのそれぞれの反射スペクトルについて光学薄膜設計ソフトウェアを用いてシミュレーションを行い、その結果得た反射スペクトルの色度座標をｘｙ色度図上に示したものである。
図２９において、各入射角度の反射スペクトルの色度座標はいずれも、橙色のエリアに配置する。より具体的には、各入射角度の反射スペクトルの色度座標は０．４７≦ｘ≦０．５２、０．３３≦ｘ≦０．３６の範囲に存在する。
このように、垂直入射で橙色のエリアに色度座標を有する第７実施例の誘電体多層膜についても、狭い色度座標範囲内で色度座標が変わるのみであり、入射角度依存性が低いものとなっている。
第７実施例の誘電体多層膜について反射光の入射角度依存性について説明する。
図２９は、第７実施例の誘電体多層膜に白色光を垂直入射から５°づつ入射角度を大きくしたときのそれぞれの反射スペクトルについて光学薄膜設計ソフトウェアを用いてシミュレーションを行い、その結果得た反射スペクトルの色度座標をｘｙ色度図上に示したものである。
図２９において、各入射角度の反射スペクトルの色度座標はいずれも、橙色のエリアに配置する。より具体的には、各入射角度の反射スペクトルの色度座標は０．４７≦ｘ≦０．５２、０．３３≦ｘ≦０．３６の範囲に存在する。
このように、垂直入射で橙色のエリアに色度座標を有する第７実施例の誘電体多層膜についても、狭い色度座標範囲内で色度座標が変わるのみであり、入射角度依存性が低いものとなっている。
【0126】
（色調整板（第８実施形態））
第８実施形態に係る色調整板は、上記の（１－１）及び（１－３）の要件を満たす複数の反射ピークを４つ有する誘電体多層膜を備えるものである。反射光の入射角度依存性について０°～８０°の広い範囲で変化させたときの反射光の色度座標（ｘ、ｙ）におけるｘ座標及びｙ座標の変化が０．１以下であることを確認した。
第８実施形態に係る色調整板は、上記の（１－１）及び（１－３）の要件を満たす複数の反射ピークを４つ有する誘電体多層膜を備えるものである。反射光の入射角度依存性について０°～８０°の広い範囲で変化させたときの反射光の色度座標（ｘ、ｙ）におけるｘ座標及びｙ座標の変化が０．１以下であることを確認した。
【0127】
かかる特徴を有する第８実施例の誘電体多層膜について光学特性を説明する。
図３０（ａ）は、第８実施例の誘電体多層膜に白色光を垂直入射した場合の反射光についてｘｙ色度図上の色度座標ｃ８０（０．３１１、０．３２５）を示すものである。図３０（ｂ）は、シミュレーションで用いた誘電体多層膜モデルのパラメータである。図３１は、第８実施例の誘電体多層膜に白色光が垂直入射した場合の反射スペクトルを示すものである。
図３０（ａ）は、第８実施例の誘電体多層膜に白色光を垂直入射した場合の反射光についてｘｙ色度図上の色度座標ｃ８０（０．３１１、０．３２５）を示すものである。図３０（ｂ）は、シミュレーションで用いた誘電体多層膜モデルのパラメータである。図３１は、第８実施例の誘電体多層膜に白色光が垂直入射した場合の反射スペクトルを示すものである。
【0128】
図３１に示す反射スペクトルは、上記の（１－１）～（１－３）の要件を満たす４つの反射ピークｐ８１～反射ピークｐ８４を有する。
すなわち、反射ピークｐ８１～反射ピークｐ８４はそれぞれ、３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲である波長３８０ｎｍ近傍、波長４３０ｎｍ近傍、波長４９０ｎｍ近傍、波長６１０ｎｍ近傍にピーク波長を有し、かつ、反射ピークｐ８１～ｐ８３は５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークであり、反射ピークｐ８４は５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークであり、かつ、反射ピークｐ８２～反射ピークｐ８４の反射率は最大の反射率を示す反射ピークｐ８１に対して２０％以上の反射率を示すものである。
このように第４実施例の誘電体多層膜は、第１実施例の誘電体多層膜と異なる反射特性を有するものであるが、図３１（ａ）に示すように第１実施例の誘電体多層膜と同程度に白色光（無彩色）に近い色度座標を有する反射スペクトルを示すものであることがわかる。
すなわち、反射ピークｐ８１～反射ピークｐ８４はそれぞれ、３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲である波長３８０ｎｍ近傍、波長４３０ｎｍ近傍、波長４９０ｎｍ近傍、波長６１０ｎｍ近傍にピーク波長を有し、かつ、反射ピークｐ８１～ｐ８３は５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークであり、反射ピークｐ８４は５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークであり、かつ、反射ピークｐ８２～反射ピークｐ８４の反射率は最大の反射率を示す反射ピークｐ８１に対して２０％以上の反射率を示すものである。
このように第４実施例の誘電体多層膜は、第１実施例の誘電体多層膜と異なる反射特性を有するものであるが、図３１（ａ）に示すように第１実施例の誘電体多層膜と同程度に白色光（無彩色）に近い色度座標を有する反射スペクトルを示すものであることがわかる。
【0129】
＜入射角度依存性＞
第８実施例の誘電体多層膜について反射光の入射角度依存性について説明する。
図３２は、第８実施例の誘電体多層膜に白色光を垂直入射から５°づつ入射角度を大きくしたときのそれぞれの反射スペクトルについて光学薄膜設計ソフトウェアを用いてシミュレーションを行い、その結果得た反射スペクトルの色度座標をｘｙ色度図上に示したものである。先に示した実施例の入射角度依存性よりも広く０°から８０°の範囲で確認した。
図３２において、各入射角度の反射スペクトルの色度座標はいずれも、無彩色近傍エリアに配置する。より具体的には、各入射角度の反射スペクトルの色度座標は０．３１≦ｘ≦０．３３、０．３３≦ｘ≦０．３６の範囲に存在する。
このように、上記実施例の誘電体多層膜と同程度に入射角度依存性が低く、それらよりも広い入射角度を０°から８０°で変化させたときの反射光の色度座標（ｘ、ｙ）におけるｘ座標及びｙ座標の変化がいずれも０．１以下であり、ｘ座標の変化は０．０２以下、ｙ座標の変化は０．０３以下である。
第８実施例の誘電体多層膜について反射光の入射角度依存性について説明する。
図３２は、第８実施例の誘電体多層膜に白色光を垂直入射から５°づつ入射角度を大きくしたときのそれぞれの反射スペクトルについて光学薄膜設計ソフトウェアを用いてシミュレーションを行い、その結果得た反射スペクトルの色度座標をｘｙ色度図上に示したものである。先に示した実施例の入射角度依存性よりも広く０°から８０°の範囲で確認した。
図３２において、各入射角度の反射スペクトルの色度座標はいずれも、無彩色近傍エリアに配置する。より具体的には、各入射角度の反射スペクトルの色度座標は０．３１≦ｘ≦０．３３、０．３３≦ｘ≦０．３６の範囲に存在する。
このように、上記実施例の誘電体多層膜と同程度に入射角度依存性が低く、それらよりも広い入射角度を０°から８０°で変化させたときの反射光の色度座標（ｘ、ｙ）におけるｘ座標及びｙ座標の変化がいずれも０．１以下であり、ｘ座標の変化は０．０２以下、ｙ座標の変化は０．０３以下である。
【0130】
（色調整板（第９実施形態））
図３３は、第９実施形態に係る色調整板の断面模式図である。
図３３に示す色調整板２０は、二次元性を有する透明基板２１（２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃ）と、透明基板２１の外表面全体（２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄ）に、高屈折率層２２ａと低屈折率層２２ｂとが交互に積層された誘電体多層膜２２と、を備えるものである。図３３には、３個の色調整板２０を示した。
また、誘電体多層膜２２は、以下の（１－１）～（１－３）を満たすように構成されている；
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示し、
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含み、
（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示す。
図３３は、第９実施形態に係る色調整板の断面模式図である。
図３３に示す色調整板２０は、二次元性を有する透明基板２１（２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃ）と、透明基板２１の外表面全体（２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄ）に、高屈折率層２２ａと低屈折率層２２ｂとが交互に積層された誘電体多層膜２２と、を備えるものである。図３３には、３個の色調整板２０を示した。
また、誘電体多層膜２２は、以下の（１－１）～（１－３）を満たすように構成されている；
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示し、
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含み、
（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示す。
【0131】
二次元性を有する複数の透明基板２１としては例えば、天然雲母、人工雲母、ガラス、無機単結晶などを挙げることができる。二次元性を有するとは、平面視のサイズに比べて厚みが小さいことを意味し、例えば、１／１０以下であることを意味する。
【0132】
本実施形態に係る色調整板は後述するように、透明基板にゾルゲル法等の液相法によって誘電体多層膜を形成するため、透明基板２１の外表面全体に誘電体多層膜が形成される。
【0133】
高屈折率層２２ａ及び低屈折率層２２ｂは、可視光の波長よりも小さい多数の結晶粒子からなる層とすることができる。可視光の波長よりも小さい結晶粒子からなる層は光学的に膜として作用する。結晶粒子としては、上述した高屈折率層２ａ及び低屈折率層２ｂの材料の結晶粒子を用いることができる。
【0134】
かかる特徴を有する第９実施例の誘電体多層膜について光学特性を説明する。
図３４（ａ）は、第９実施例の誘電体多層膜に白色光を垂直入射した場合の反射光についてｘｙ色度図上の色度座標ｃ８０（０．３２９、０．３２２）を示すものである。図３４（ｂ）は、シミュレーションで用いた誘電体多層膜モデルのパラメータである。図３５は、第９実施例の誘電体多層膜に白色光が垂直入射した場合の反射スペクトルを示すものである。透明基板としては雲母を用い、色調整板を太陽電池セル等の物品に取り付けるためのＰＭＭＡ（ポリメタクリル酸メチル樹脂）を誘電体多層膜の上に形成したモデルで、シミュレーションは雲母の上面のみの結果であるが下面も同様の結果が得られた。
図３４（ａ）は、第９実施例の誘電体多層膜に白色光を垂直入射した場合の反射光についてｘｙ色度図上の色度座標ｃ８０（０．３２９、０．３２２）を示すものである。図３４（ｂ）は、シミュレーションで用いた誘電体多層膜モデルのパラメータである。図３５は、第９実施例の誘電体多層膜に白色光が垂直入射した場合の反射スペクトルを示すものである。透明基板としては雲母を用い、色調整板を太陽電池セル等の物品に取り付けるためのＰＭＭＡ（ポリメタクリル酸メチル樹脂）を誘電体多層膜の上に形成したモデルで、シミュレーションは雲母の上面のみの結果であるが下面も同様の結果が得られた。
【0135】
図３５に示す反射スペクトルは、上記の（１－１）～（１－３）の要件を満たす２つの反射ピークｐ９１及びｐ９２を有する。
すなわち、反射ピークｐ９１及びｐ９２はそれぞれ、３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲である波長３８０ｎｍ近傍、波長６００ｎｍ近傍にピーク波長を有し、かつ、反射ピークｐ９１は５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークであり、反射ピークｐ９２は５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークであり、かつ、反射ピークｐ９２の反射率は最大の反射率を示す反射ピークｐ９１に対して２０％以上の反射率を示すものである。
このように第９実施例の誘電体多層膜は、第１実施例の誘電体多層膜と異なる反射特性を有するものであるが、図３４（ａ）に示すように第１実施例の誘電体多層膜と同程度に白色光（無彩色）に近い色度座標を有する反射スペクトルを示すものであることがわかる。
すなわち、反射ピークｐ９１及びｐ９２はそれぞれ、３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲である波長３８０ｎｍ近傍、波長６００ｎｍ近傍にピーク波長を有し、かつ、反射ピークｐ９１は５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークであり、反射ピークｐ９２は５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークであり、かつ、反射ピークｐ９２の反射率は最大の反射率を示す反射ピークｐ９１に対して２０％以上の反射率を示すものである。
このように第９実施例の誘電体多層膜は、第１実施例の誘電体多層膜と異なる反射特性を有するものであるが、図３４（ａ）に示すように第１実施例の誘電体多層膜と同程度に白色光（無彩色）に近い色度座標を有する反射スペクトルを示すものであることがわかる。
【0136】
＜入射角度依存性＞
第９実施例の誘電体多層膜について反射光の入射角度依存性について説明する。
図３６は、第９実施例の誘電体多層膜に白色光を垂直入射から５°づつ入射角度を大きくしたときのそれぞれの反射スペクトルについて光学薄膜設計ソフトウェアを用いてシミュレーションを行い、その結果得た反射スペクトルの色度座標をｘｙ色度図上に示したものである。
図３６において、各入射角度の反射スペクトルの色度座標はいずれも、無彩色近傍エリアに配置する。より具体的には、各入射角度の反射スペクトルの色度座標は０．３２≦ｘ≦０．３３、０．３１≦ｘ≦０．３４の範囲に存在する。
このように、第９実施例の誘電体多層膜も上記実施例の誘電体多層膜と同程度に入射角度依存性が低く、入射角度を０°から３０°で変化させたときの反射光の色度座標（ｘ、ｙ）におけるｘ座標及びｙ座標の変化がいずれも０．１以下であり、ｘ座標の変化は０．０１以下、ｙ座標の変化は０．０３以下である。
後述するように、本実施形態に係る色調整板は多数の色調整板を塗布等によって、太陽電池セル等の対象物品に付けるが、色調整板が互いに傾いていても、反射スペクトルに対して入射角度依存性が低いために色に対する影響はほとんどない。
第９実施例の誘電体多層膜について反射光の入射角度依存性について説明する。
図３６は、第９実施例の誘電体多層膜に白色光を垂直入射から５°づつ入射角度を大きくしたときのそれぞれの反射スペクトルについて光学薄膜設計ソフトウェアを用いてシミュレーションを行い、その結果得た反射スペクトルの色度座標をｘｙ色度図上に示したものである。
図３６において、各入射角度の反射スペクトルの色度座標はいずれも、無彩色近傍エリアに配置する。より具体的には、各入射角度の反射スペクトルの色度座標は０．３２≦ｘ≦０．３３、０．３１≦ｘ≦０．３４の範囲に存在する。
このように、第９実施例の誘電体多層膜も上記実施例の誘電体多層膜と同程度に入射角度依存性が低く、入射角度を０°から３０°で変化させたときの反射光の色度座標（ｘ、ｙ）におけるｘ座標及びｙ座標の変化がいずれも０．１以下であり、ｘ座標の変化は０．０１以下、ｙ座標の変化は０．０３以下である。
後述するように、本実施形態に係る色調整板は多数の色調整板を塗布等によって、太陽電池セル等の対象物品に付けるが、色調整板が互いに傾いていても、反射スペクトルに対して入射角度依存性が低いために色に対する影響はほとんどない。
【0137】
（色調整板（第１０実施形態））
第１０実施形態に係る色調整板も、第９実施形態に係る色調整板と同様に、二次元性を有する複数の透明基板と、透明基板の外表面全体に形成され、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電体多層膜と、を備えるものである。
第１０実施形態に係る色調整板も、第９実施形態に係る色調整板と同様に、二次元性を有する複数の透明基板と、透明基板の外表面全体に形成され、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電体多層膜と、を備えるものである。
【0138】
かかる特徴を有する第１０実施例の誘電体多層膜について光学特性を説明する。
図３７（ａ）は、第１０実施例の誘電体多層膜に白色光を垂直入射した場合の反射光についてｘｙ色度図上の色度座標ｃ９０（０．３２５、０．３２９）を示すものである。図３７（ｂ）は、シミュレーションで用いた誘電体多層膜モデルのパラメータである。図３８は、第１０実施例の誘電体多層膜に白色光が垂直入射した場合の反射スペクトルを示すものである。透明基板としては雲母を用い、色調整板を太陽電池セル等の物品に取り付けるためのＰＭＭＡ（ポリメタクリル酸メチル樹脂）を誘電体多層膜の上に形成したモデルでシミュレーションを行った。
図３７（ａ）は、第１０実施例の誘電体多層膜に白色光を垂直入射した場合の反射光についてｘｙ色度図上の色度座標ｃ９０（０．３２５、０．３２９）を示すものである。図３７（ｂ）は、シミュレーションで用いた誘電体多層膜モデルのパラメータである。図３８は、第１０実施例の誘電体多層膜に白色光が垂直入射した場合の反射スペクトルを示すものである。透明基板としては雲母を用い、色調整板を太陽電池セル等の物品に取り付けるためのＰＭＭＡ（ポリメタクリル酸メチル樹脂）を誘電体多層膜の上に形成したモデルでシミュレーションを行った。
【0139】
図３８に示す反射スペクトルは、上記の（１－１）～（１－３）の要件を満たす２つの反射ピークｐ１０１及びｐ１０２を有する。
すなわち、反射ピークｐ１０１及びｐ１０２はそれぞれ、３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲である波長３８０ｎｍ近傍、波長５９０ｎｍ近傍にピーク波長を有し、かつ、反射ピークｐ９１は５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークであり、反射ピークｐ９２は５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークであり、かつ、反射ピークｐ１０２の反射率は最大の反射率を示す反射ピークｐ１０１に対して２０％以上の反射率を示すものである。
このように第９実施例の誘電体多層膜は、第１実施例の誘電体多層膜と異なる反射特性を有するものであるが、図３７（ａ）に示すように第１実施例の誘電体多層膜と同程度に白色光（無彩色）に近い色度座標を有する反射スペクトルを示すものであることがわかる。
すなわち、反射ピークｐ１０１及びｐ１０２はそれぞれ、３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲である波長３８０ｎｍ近傍、波長５９０ｎｍ近傍にピーク波長を有し、かつ、反射ピークｐ９１は５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークであり、反射ピークｐ９２は５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークであり、かつ、反射ピークｐ１０２の反射率は最大の反射率を示す反射ピークｐ１０１に対して２０％以上の反射率を示すものである。
このように第９実施例の誘電体多層膜は、第１実施例の誘電体多層膜と異なる反射特性を有するものであるが、図３７（ａ）に示すように第１実施例の誘電体多層膜と同程度に白色光（無彩色）に近い色度座標を有する反射スペクトルを示すものであることがわかる。
【0140】
【0141】
【0142】
図４０に示す例は、太陽電池モジュールで用いる場合を例示するものであるが、同様の使い方であれば、他の製品に用いることができる。図４０（ａ）～（ｇ）において、符号１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄ、１００Ｅ、１００Ｆ、１００Ｇで示すのは太陽電池モジュールであり、符号１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ、１０Ｅ、１０Ｆ、１０Ｇで示すのは色調整板であり、符号１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ、１１Ｄ、１１Ｅ、１１Ｆ、１１Ｇで示すのは太陽電池（セル）であり、符号１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ、１Ｅ、１Ｆ、１Ｇで示すのは基板であり、符号２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ、２Ｅ、２Ｆ、２Ｇで示すのは誘電体多層膜である。
図４０（ａ）は、本発明の色調整板が太陽電池モジュールの受光面側に設けられた例であり、誘電体多層膜が太陽電池セル側に向いた配置の場合であり、（ｂ）は（ａ）とは逆に、基板側が太陽電池セル側に向いた配置の場合であり、（ｃ）は太陽電池モジュールの裏面側にバックシートを備える例であり、（ｄ）は本発明の色調整板が太陽電池モジュールの受光面側に設けられた例であり、太陽電池セルが空気など気体を有する状態で密閉された空間に配置する場合であり、（ｅ）～（ｇ）は、基板の表面に凹凸を有する例であり、（ｅ）は本発明の色調整板が太陽電池モジュールの受光面側に設けられた例であり、誘電体多層膜が太陽電池セル側に向いた配置であって、基板の大気側の面に凹凸を有する場合であり、（ｆ）は、本発明の色調整板が太陽電池モジュールの受光面側に設けられた例であり、基板が太陽電池セル側に向いた配置であって、基板の大気側の面に凹凸を有し、その凹凸を有する面に誘電体多層膜が形成された場合であり、（ｇ）は、本発明の色調整板が太陽電池モジュールの受光面側に設けられた例であり、誘電体多層膜が太陽電池セル側に向いた配置であって、基板の太陽電池セル側の面に凹凸を有し、その凹凸を有する面に誘電体多層膜が形成された場合である。
図４０（ａ）は、本発明の色調整板が太陽電池モジュールの受光面側に設けられた例であり、誘電体多層膜が太陽電池セル側に向いた配置の場合であり、（ｂ）は（ａ）とは逆に、基板側が太陽電池セル側に向いた配置の場合であり、（ｃ）は太陽電池モジュールの裏面側にバックシートを備える例であり、（ｄ）は本発明の色調整板が太陽電池モジュールの受光面側に設けられた例であり、太陽電池セルが空気など気体を有する状態で密閉された空間に配置する場合であり、（ｅ）～（ｇ）は、基板の表面に凹凸を有する例であり、（ｅ）は本発明の色調整板が太陽電池モジュールの受光面側に設けられた例であり、誘電体多層膜が太陽電池セル側に向いた配置であって、基板の大気側の面に凹凸を有する場合であり、（ｆ）は、本発明の色調整板が太陽電池モジュールの受光面側に設けられた例であり、基板が太陽電池セル側に向いた配置であって、基板の大気側の面に凹凸を有し、その凹凸を有する面に誘電体多層膜が形成された場合であり、（ｇ）は、本発明の色調整板が太陽電池モジュールの受光面側に設けられた例であり、誘電体多層膜が太陽電池セル側に向いた配置であって、基板の太陽電池セル側の面に凹凸を有し、その凹凸を有する面に誘電体多層膜が形成された場合である。
【0143】
＜拡散反射面を有する基板を用いた色調整板＞
図４１（ａ）～（ｃ）は、本発明に係る色調整板であって、基板の膜形成面又は非膜形成面のいずれか一方の面が拡散反射面である構成の断面模式図である。図４１に示すグラフは、＃６００、＃４００、＃２２０（株式会社不二製作所、フジランダムＡ）の各砥粒を用いてサンドブラストを行って拡散反射面を形成した構成について、色調整板の下方に太陽電池を配置する場合に、（ａ）～（ｃ）の上方から白色光が垂直入射し（図中の矢印）、その反射光の白色度（Ｌ＊値）を測定した結果を示すものである。なお、フジランダムＡは材質がアルミナ・炭化ケイ素系の褐色溶融アルミナの研磨材である。グラフにおいて、横軸の＃６００、＃４００、＃２２０は砥粒のサイズ示す番手であり、縦軸は白色度（Ｌ＊値）を示す。砥粒のサイズは、＃６００は平均粒子径２０．０μｍ±１．５μｍで最大粒子径５３．０μｍ以下であり、＃４００は平均粒子径２５．０μｍ±２．０μｍで最大粒子径６３．０μｍ以下であり、＃２２０は中心粒径が７５～４５μｍである。
図４１（ａ）～（ｃ）は、本発明に係る色調整板であって、基板の膜形成面又は非膜形成面のいずれか一方の面が拡散反射面である構成の断面模式図である。図４１に示すグラフは、＃６００、＃４００、＃２２０（株式会社不二製作所、フジランダムＡ）の各砥粒を用いてサンドブラストを行って拡散反射面を形成した構成について、色調整板の下方に太陽電池を配置する場合に、（ａ）～（ｃ）の上方から白色光が垂直入射し（図中の矢印）、その反射光の白色度（Ｌ＊値）を測定した結果を示すものである。なお、フジランダムＡは材質がアルミナ・炭化ケイ素系の褐色溶融アルミナの研磨材である。グラフにおいて、横軸の＃６００、＃４００、＃２２０は砥粒のサイズ示す番手であり、縦軸は白色度（Ｌ＊値）を示す。砥粒のサイズは、＃６００は平均粒子径２０．０μｍ±１．５μｍで最大粒子径５３．０μｍ以下であり、＃４００は平均粒子径２５．０μｍ±２．０μｍで最大粒子径６３．０μｍ以下であり、＃２２０は中心粒径が７５～４５μｍである。
【0144】
図４１（ａ）～（ｃ）の基板１（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ）はＢＫ７（ボロシリケートクラウンガラス）であり、誘電体多層膜２（２ａ、２ｂ、２ｃ）は基板側から順に、第１層（ＴｉＯ２、１５．１ｎｍ）、第２層（ＳｉＯ２、３７．１ｎｍ）、第３層（ＴｉＯ２、１５．３ｎｍ）、第４層（ＳｉＯ２、４４．１ｎｍ）、第５層（ＴｉＯ２、８４．９ｎｍ）、第６層（ＳｉＯ２、２１．４ｎｍ）、第７層（ＴｉＯ２、９７．７ｎｍ）、第８層（ＳｉＯ２、２２．７ｎｍ）、第９層（ＴｉＯ２、２２．５ｎｍ）、第１０層（ＳｉＯ２、２２．４ｎｍ）、第１１層（ＴｉＯ２、１０ｎｍ）、第１２層（ＳｉＯ２、１０３．８ｎｍ）の１２層からなる多層膜であった。
図４１（ａ）の色調整板は、誘電体多層膜２ａが基板１ａの白色光の入射面側であってサンドブラストを行っていない平坦面に形成され、基板１ａの拡散反射面１ａａが太陽電池側に配置する構成である。
図４１（ｂ）の色調整板（図４０（ｇ）に相当）は、誘電体多層膜２ｂが基板１ｂの太陽電池側の拡散反射面１ｂｂに形成され、白色光の入射面がサンドブラストを行っていない平坦面が配置する構成である。
図４１（ｃ）の色調整板（図４０（ｅ）に相当）は、誘電体多層膜２ｂが基板１ｂの太陽電池側であって、サンドブラストを行っていない平坦面に形成され、白色光の入射面が拡散反射面１ｃｃである構成である。
図４１（ｄ）は参考として、誘電体多層膜を有さない基板１ｄだけの構成であって、サンドブラストを行っていない平坦面に白色光が入射し、太陽電池側に拡散反射面１ｄｄを有する構成である。
図４１（ａ）の色調整板は、誘電体多層膜２ａが基板１ａの白色光の入射面側であってサンドブラストを行っていない平坦面に形成され、基板１ａの拡散反射面１ａａが太陽電池側に配置する構成である。
図４１（ｂ）の色調整板（図４０（ｇ）に相当）は、誘電体多層膜２ｂが基板１ｂの太陽電池側の拡散反射面１ｂｂに形成され、白色光の入射面がサンドブラストを行っていない平坦面が配置する構成である。
図４１（ｃ）の色調整板（図４０（ｅ）に相当）は、誘電体多層膜２ｂが基板１ｂの太陽電池側であって、サンドブラストを行っていない平坦面に形成され、白色光の入射面が拡散反射面１ｃｃである構成である。
図４１（ｄ）は参考として、誘電体多層膜を有さない基板１ｄだけの構成であって、サンドブラストを行っていない平坦面に白色光が入射し、太陽電池側に拡散反射面１ｄｄを有する構成である。
【0145】
図４１に示した結果から、以下の知見が得られた。
（ａ）～（ｃ）はいずれも、＃２２０、＃４００、＃６００の砥粒の順でＬ＊値が高い。すなわち、この３種類の砥粒でサンドブラストを行って拡散反射面を形成した場合には、粗い砥粒（番手が小さい砥粒）を用いた方がＬ＊値が高い。これは、拡散反射面の凹凸構造の大きさの程度によって散乱光を調整できることを示すものであり、＃２２０、＃４００、＃６００の砥粒の順で、得られた拡散反射面の凹凸構造の大きさがＬ＊値を高めるのに適していたことを示すものである。
＃２２０及び＃４００の砥粒を用いた場合、基板の平坦面に配置した誘電体多層膜が太陽電池側に配置し、光が入射する側に拡散反射面が配置する（ｃ）の色調整板（図４０（ｅ）に相当）が最もＬ＊値が高い。
（ａ）～（ｃ）はいずれも、＃２２０、＃４００、＃６００の砥粒の順でＬ＊値が高い。すなわち、この３種類の砥粒でサンドブラストを行って拡散反射面を形成した場合には、粗い砥粒（番手が小さい砥粒）を用いた方がＬ＊値が高い。これは、拡散反射面の凹凸構造の大きさの程度によって散乱光を調整できることを示すものであり、＃２２０、＃４００、＃６００の砥粒の順で、得られた拡散反射面の凹凸構造の大きさがＬ＊値を高めるのに適していたことを示すものである。
＃２２０及び＃４００の砥粒を用いた場合、基板の平坦面に配置した誘電体多層膜が太陽電池側に配置し、光が入射する側に拡散反射面が配置する（ｃ）の色調整板（図４０（ｅ）に相当）が最もＬ＊値が高い。
【0146】
図４２に、図４１（ａ）～（ｃ）に示した構成の色調整板であって、その拡散反射面を＃６００、＃４００、＃２２０の各砥粒を用いてサンドブラストを行って形成した場合の太陽電池モジュールの短絡電流（太陽電池に印加される外部電圧が０Ｖのときに流れる電流）の減少割合ΔＪｓｃ（％）を測定した結果を示す。また、参考として色調整板の代わりに、図４１（ｄ）に示した構成の基板を用いた場合の太陽電池モジュールの短絡電流の減少割合ΔＪｓｃ（％）を測定した結果も示す。ΔＪｓｃ（％）は太陽電池効率を評価する指標である。
【0147】
図４２で示した結果から、以下の知見が得られた。
（ａ）～（ｃ）はいずれも、＃６００、＃４００、＃２２０の砥粒の順で短絡電流の減少割合ΔＪｓｃが小さい。すなわち、この３種類の砥粒でサンドブラストを行って拡散反射面を形成した場合には、細かい砥粒（番手が大きい砥粒）を用いた方がΔＪｓｃが抑制されている（すなわち、太陽電池の効率低下が抑制されている）。これは、拡散反射面の凹凸構造の大きさの程度によって短絡電流の減少割合ΔＪｓｃを調整できることを示すものであり、＃６００、＃４００、＃２２０の砥粒の順で、得られた拡散反射面の凹凸構造の大きさが短絡電流の減少割合ΔＪｓｃを抑制するのに適していることを示すものである。
いずれの砥粒を用いた場合も、基板の平坦面に配置した誘電体多層膜が太陽電池側に配置し、光が入射する側に拡散反射面が配置する（ｃ）の色調整板（図４０（ｅ）に相当）が最も短絡電流の減少割合ΔＪｓｃが抑制されている（すなわち、太陽電池の効率低下が抑制されている）。
（ａ）～（ｃ）はいずれも、＃６００、＃４００、＃２２０の砥粒の順で短絡電流の減少割合ΔＪｓｃが小さい。すなわち、この３種類の砥粒でサンドブラストを行って拡散反射面を形成した場合には、細かい砥粒（番手が大きい砥粒）を用いた方がΔＪｓｃが抑制されている（すなわち、太陽電池の効率低下が抑制されている）。これは、拡散反射面の凹凸構造の大きさの程度によって短絡電流の減少割合ΔＪｓｃを調整できることを示すものであり、＃６００、＃４００、＃２２０の砥粒の順で、得られた拡散反射面の凹凸構造の大きさが短絡電流の減少割合ΔＪｓｃを抑制するのに適していることを示すものである。
いずれの砥粒を用いた場合も、基板の平坦面に配置した誘電体多層膜が太陽電池側に配置し、光が入射する側に拡散反射面が配置する（ｃ）の色調整板（図４０（ｅ）に相当）が最も短絡電流の減少割合ΔＪｓｃが抑制されている（すなわち、太陽電池の効率低下が抑制されている）。
【0148】
図４１及び図４２で示した結果に基づくと、図４１（ａ）～（ｃ）に示した構成の色調整板のうち、基板の平坦面に配置した誘電体多層膜が太陽電池側に配置し、光が入射する側に拡散反射面が配置する（ｃ）の色調整板（図４０（ｅ）に相当）が、高いＬ＊値を奏し、も短絡電流の減少割合ΔＪｓｃを最も抑制することがわかった。
【0149】
図４３（ａ）～（ｃ）に、それぞれ、＃６００、＃４００、＃２２０の各砥粒を用いてサンドブラストを行ったガラス基板の拡散反射面の光学顕微鏡写真を示す。図４４に、図４３（ａ）～（ｃ）のそれぞれのＸ－Ｘ線における算術平均粗さＲａ、最大高さＲｙ、二乗平均平方根高さＲｑを示す。
【0150】
図４４に示した拡散反射面の粗さと図４１及び図４２で示した結果とに基づくと、以下の知見が得られる。
粗さの代表として二乗平均平方根高さＲｑを用いると、Ｒｑが１．２μｍ～１．８μｍ程度であると、高い白色度（Ｌ＊値）を得ることができる。
また、Ｒｑが０．４μｍ～１．３μｍ程度であると、短絡電流の減少割合ΔＪｓｃを抑制できる（すなわち、太陽電池の効率低下が抑制できる）。
太陽電池の効率を重視しつつ、白色度を高めるためには、拡散反射面の粗さＲｑは０．４μｍ～１．３μｍであることが好ましい。
粗さの代表として二乗平均平方根高さＲｑを用いると、Ｒｑが１．２μｍ～１．８μｍ程度であると、高い白色度（Ｌ＊値）を得ることができる。
また、Ｒｑが０．４μｍ～１．３μｍ程度であると、短絡電流の減少割合ΔＪｓｃを抑制できる（すなわち、太陽電池の効率低下が抑制できる）。
太陽電池の効率を重視しつつ、白色度を高めるためには、拡散反射面の粗さＲｑは０．４μｍ～１．３μｍであることが好ましい。
【0151】
（太陽電池モジュール（第１実施形態））
本実施形態に係る太陽電池モジュールは、複数の太陽電池と、複数の太陽電池の受光面側に配置する色調整板と、を備え、色調整板は、基板と、基板上に形成され、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電体多層膜とを有し、誘電体多層膜は、上記（１－１）～（１－３）、（１－５）及び（１－６）を満たすように構成されてなるものである。
本実施形態に係る太陽電池モジュールは、複数の太陽電池と、複数の太陽電池の受光面側に配置する色調整板と、を備え、色調整板は、基板と、基板上に形成され、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電体多層膜とを有し、誘電体多層膜は、上記（１－１）～（１－３）、（１－５）及び（１－６）を満たすように構成されてなるものである。
【0152】
図４５は、本発明の色調整板を適用した太陽電池モジュールの一部を模式的に描いた断面模式図である。
図４５に示す太陽電池モジュール１００は、太陽電池１１１と、太陽電池１１１の受光面側に設けられた色調整板１０Ａと、太陽電池１１１の裏面側に設けられた第２保護部材１１２と、第１保護部材１１及び第２保護部材１１２の間に設けられ、太陽電池１１１を封止する封止材１１４とを備える。封止材１１４は、太陽電池１１１と第１保護部材１１との間に配置された封止材１１４ａと、太陽電池１１１と第２保護部材１１２との間に配置された封止材１１４ｂとを含む。本実施形態では、各保護部材の間に複数の太陽電池１１１が配置され、太陽電池１１１同士を接続する配線材１１５が設けられている。
図４５に示す色調整板１０Ａは、第１保護部材（基板１に相当）１１と、第１保護部材１１上に形成され、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電体多層膜１２とからなる。
太陽電池１１１としては、公知のタイプの太陽電池セルを用いることができる。例えば、電極配置の観点では、両面電極型太陽電池セル、裏面電極型太陽電池セルのいずれを用いることもできる。また、太陽電池セルをシリコン系、化合物半導体系、有機系に３つに分類した観点でも特に制限なく、いずれの種類の太陽電池セルも用いることができる。
図４５に示す太陽電池モジュール１００は、太陽電池１１１と、太陽電池１１１の受光面側に設けられた色調整板１０Ａと、太陽電池１１１の裏面側に設けられた第２保護部材１１２と、第１保護部材１１及び第２保護部材１１２の間に設けられ、太陽電池１１１を封止する封止材１１４とを備える。封止材１１４は、太陽電池１１１と第１保護部材１１との間に配置された封止材１１４ａと、太陽電池１１１と第２保護部材１１２との間に配置された封止材１１４ｂとを含む。本実施形態では、各保護部材の間に複数の太陽電池１１１が配置され、太陽電池１１１同士を接続する配線材１１５が設けられている。
図４５に示す色調整板１０Ａは、第１保護部材（基板１に相当）１１と、第１保護部材１１上に形成され、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電体多層膜１２とからなる。
太陽電池１１１としては、公知のタイプの太陽電池セルを用いることができる。例えば、電極配置の観点では、両面電極型太陽電池セル、裏面電極型太陽電池セルのいずれを用いることもできる。また、太陽電池セルをシリコン系、化合物半導体系、有機系に３つに分類した観点でも特に制限なく、いずれの種類の太陽電池セルも用いることができる。
【0153】
第１保護部材１１には、例えばガラス基板や樹脂基板、樹脂フィルム等の透光性を有する部材を用いることができる。第２保護部材１１２には、第１保護部材１１と同じ透明な部材を用いてもよいし、不透明な部材を用いてもよい。
【0154】
封止材１１４は、太陽電池１１１に水分等が接触することを防止する役割を果たす。封止材１１４を構成する樹脂は、各保護部材及び太陽電池１１１に対する密着性が良く、水分を透過し難いものが好ましい。配線材１１５は、例えば接着剤により太陽電池１１１の電極に取り付けられる。
【0155】
（太陽電池モジュール（第２実施形態））
本実施形態に係る太陽電池モジュールは、複数の太陽電池と、複数の太陽電池の受光面側に配置する色調整板と、を備え、色調整板は、二次元性を有する複数の透明基板と、透明基板の外表面全体に形成され、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電体多層膜と、を有し、誘電体多層膜は、以下の（１－１）～（１－３）、（１－５）及び（１－６）を満たすように構成されてなるものである。
本実施形態に係る太陽電池モジュールは、複数の太陽電池と、複数の太陽電池の受光面側に配置する色調整板と、を備え、色調整板は、二次元性を有する複数の透明基板と、透明基板の外表面全体に形成され、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電体多層膜と、を有し、誘電体多層膜は、以下の（１－１）～（１－３）、（１－５）及び（１－６）を満たすように構成されてなるものである。
【0156】
（太陽電池モジュール（第３実施形態））
本実施形態に係る太陽電池モジュールは、複数の太陽電池と、複数の太陽電池の受光面側に配置する色調整板と、を備え、色調整板は、基板と、基板のおもて面及び裏面の少なくとも一方に形成された無機顔料を含有する無機顔料含有層とを有し、基板は、無機顔料含有層が形成されている膜形成面、及び、無機顔料含有層が形成されていない非膜形成面のうち一方の面は、凹凸構造を有する拡散反射面として形成されてなるか、又は、拡散板である。
本実施形態に係る太陽電池モジュールは、複数の太陽電池と、複数の太陽電池の受光面側に配置する色調整板と、を備え、色調整板は、基板と、基板のおもて面及び裏面の少なくとも一方に形成された無機顔料を含有する無機顔料含有層とを有し、基板は、無機顔料含有層が形成されている膜形成面、及び、無機顔料含有層が形成されていない非膜形成面のうち一方の面は、凹凸構造を有する拡散反射面として形成されてなるか、又は、拡散板である。
【0157】
無機顔料含有層が含有する無機顔料としては例えば、パール顔料を用いることができる。パール顔料は、薄片状の粒子（例えば、最長径が２～１００μｍ、厚さが０．０１～１０μｍである粒子）の表面が金属またはその酸化物によって被覆されている顔料である。薄片状の粒子としては、天然雲母、人工雲母、ガラス及び無機単結晶などが挙げられる。薄片状の粒子表面を被覆する金属またはその酸化物としては、二酸化チタン、酸化鉄、銀等が挙げられる。
市販のパール顔料としては例えば、ＴＷＩＮＣＬＥＰＥＡＲＬ（製品名、日本光研工業社製）が挙げられる。例えば、ＴＷＩＮＣＬＥＰＥＡＲＬ ＳＸＤ（平均粒子径：５～６０μｍ）を用いることができる。
市販のパール顔料としては例えば、ＴＷＩＮＣＬＥＰＥＡＲＬ（製品名、日本光研工業社製）が挙げられる。例えば、ＴＷＩＮＣＬＥＰＥＡＲＬ ＳＸＤ（平均粒子径：５～６０μｍ）を用いることができる。
【0158】
無機顔料含有層は塗布や蒸着等によって形成することができる。
例えば、マイカパール顔料としてＴＷＩＮＣＬＥＰＥＡＲＬ ＳＸＤ（平均粒子径：５～６０μｍ）を用いて塗布によって無機顔料含有層を形成する場合、濃度は０．１２５重量％程度にするのが好ましい。濃度は短絡電流の減少割合ΔＪｓｃ（％）及び白色度（Ｌ＊値）の観点から、０．５重量％を超えない方がよく、例えば、０．１～０．５重量％とすることができる。
例えば、マイカパール顔料としてＴＷＩＮＣＬＥＰＥＡＲＬ ＳＸＤ（平均粒子径：５～６０μｍ）を用いて塗布によって無機顔料含有層を形成する場合、濃度は０．１２５重量％程度にするのが好ましい。濃度は短絡電流の減少割合ΔＪｓｃ（％）及び白色度（Ｌ＊値）の観点から、０．５重量％を超えない方がよく、例えば、０．１～０．５重量％とすることができる。
【0159】
図４１（ｃ）に示した構成の色調整板であって、図４１（ｃ）中の符号２ｃが、マイカパール顔料（ＴＷＩＮＣＬＥＰＥＡＲＬ ＳＸＤ）が０．１２５重量％の濃度で塗布されて形成された無機顔料含有層である色調整板を用いて、拡散反射面（図４１（ｃ）中の符号１ｃｃに相当）の面粗度と、太陽電池モジュールの短絡電流の減少割合ΔＪｓｃ（％）との関係を調べて結果を図４６に示す。白色光を入射光角度４５°（基板面に対して垂直方向を０°として）で拡散反射面から入射した。面粗度としては、二乗平均平方根高さＲｑ〔μｍ〕を用い、ＩＳＯ２５１７８に準拠した「接触式(触針式)」の評価方法で評価した。測定は、触針式表面粗さ計のデクタック（Ｄｅｋｔａｋ、Ｂｒｕｋｅｒ社製）を用いて行った。
拡散反射面の作製はサンドブラストで行った。比較のために、サンドブラストを行っていないもの（サンドブラストを行っていない以外は同様の構成）についてもΔＪｓｃを評価した。図４６において、拡散反射面から入射するものをテクスチャ面入射、比較として、サンドブラストを行っていない、テクスチャを有さない面への入射を平板入射と記載した。
拡散反射面の作製はサンドブラストで行った。比較のために、サンドブラストを行っていないもの（サンドブラストを行っていない以外は同様の構成）についてもΔＪｓｃを評価した。図４６において、拡散反射面から入射するものをテクスチャ面入射、比較として、サンドブラストを行っていない、テクスチャを有さない面への入射を平板入射と記載した。
【0160】
図４６から、拡散反射面の面粗度が３μｍ程度まで面粗度が増加すると共に、ΔＪｓｃが大きくなること（換言すると、太陽電池効率が低下すること）がわかる。ΔＪｓｃを２５％以内に抑えるためには、拡散反射面の面粗度Ｒｑを２．０μｍ以下にすることが好ましい。また、ΔＪｓｃを２０％以内に抑えるためには、拡散反射面の面粗度Ｒｑを１．３μｍ以下にすることが好ましい。
【0161】
図４７に、図４６を得るために用いた色調整板と同じ色調整板を用いて、白色光を入射光角度４５°（基板面に対して垂直方向を０°として）で拡散反射面から入射し、０°で観察して、拡散反射面の面粗度と、色調整板の白色度（Ｌ＊値）との関係を調べて結果を示す。比較のために、サンドブラストを行っていないもの（サンドブラストを行っていない以外は同様の構成）についても白色度（Ｌ＊値）を評価した。図４７において、平面入射がサンドブラストを行っていないものである。
【0162】
図４７から、面粗度が３μｍ程度まで面粗度の増加と共に、色調整板の白色度（Ｌ＊値）が増加することがわかる。白色度（Ｌ＊値）を２５以上にするためには、面粗度Ｒｑを０．１μｍ以上にすることが好ましい。また、白色度（Ｌ＊値）を３５以上にするためには、面粗度Ｒｑを１．５μｍ以上にすることが好ましい。
【0163】
図４６及び図４７に示した結果から、第３実施形態に係る太陽電池モジュールについて以下の知見が得られる。
拡散反射面を有する色調整板において、ΔＪｓｃを２５％以内に抑え、かつ、白色度（Ｌ＊値）を２５以上にするためには、拡散反射面の面粗度Ｒｑを０．１μｍ以上２．０μｍ以下にすることが好ましい。
拡散反射面を有する色調整板において、ΔＪｓｃを２５％以内に抑え、かつ、白色度（Ｌ＊値）を３０以上にするためには、面粗度Ｒｑを０．７μｍ以上２．０μｍ以下にすることが好ましい。
拡散反射面を有する色調整板において、ΔＪｓｃを２５％以内に抑え、かつ、白色度（Ｌ＊値）を３５以上にするためには、面粗度Ｒｑを１．５μｍ以上２．０μｍ以下にすることが好ましい。
拡散反射面を有する色調整板において、ΔＪｓｃを２０％以内に抑え、かつ、白色度（Ｌ＊値）を２５以上にするためには、面粗度Ｒｑを０．１μｍ以上１．３μｍ以下にすることが好ましい。
拡散反射面を有する色調整板において、ΔＪｓｃを２０％以内に抑え、かつ、白色度（Ｌ＊値）を３０以上にするためには、面粗度Ｒｑを０．７μｍ以上１．３μｍ以下にすることが好ましい。
拡散反射面を有する色調整板において、ΔＪｓｃを２５％以内に抑え、かつ、白色度（Ｌ＊値）を２５以上にするためには、拡散反射面の面粗度Ｒｑを０．１μｍ以上２．０μｍ以下にすることが好ましい。
拡散反射面を有する色調整板において、ΔＪｓｃを２５％以内に抑え、かつ、白色度（Ｌ＊値）を３０以上にするためには、面粗度Ｒｑを０．７μｍ以上２．０μｍ以下にすることが好ましい。
拡散反射面を有する色調整板において、ΔＪｓｃを２５％以内に抑え、かつ、白色度（Ｌ＊値）を３５以上にするためには、面粗度Ｒｑを１．５μｍ以上２．０μｍ以下にすることが好ましい。
拡散反射面を有する色調整板において、ΔＪｓｃを２０％以内に抑え、かつ、白色度（Ｌ＊値）を２５以上にするためには、面粗度Ｒｑを０．１μｍ以上１．３μｍ以下にすることが好ましい。
拡散反射面を有する色調整板において、ΔＪｓｃを２０％以内に抑え、かつ、白色度（Ｌ＊値）を３０以上にするためには、面粗度Ｒｑを０．７μｍ以上１．３μｍ以下にすることが好ましい。
【0164】
色調整板で色調整の機能を有する層が無機顔料含有層である場合も、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電体多層膜である場合も、拡散反射面を有する基板を用いるときは、太陽電池効率及び白色度のいずれを重視するかにより、拡散反射面の面粗度Ｒｑは０．１μｍ～２．０μｍであることが好ましい場合、０．１μｍ以上１．３μｍ以下であることが好ましい場合、０．７μｍ以上１．３μｍ以下であることが好ましい場合、０．３μｍ以上１．３μｍ以下であることが好ましい場合、０．７μｍ以上２．０μｍ以下であることが好ましい場合、１．５μｍ以上２．０μｍ以下にすることが好ましい場合などがある。
【0165】
（色調整板の製造方法）
本発明に係る色調整板の製造方法は、本発明に係る色調整板を製造する方法であって、誘電体多層膜の前記高屈折率層及び前記低屈折率層の材質、各層の層厚、及び、層数の少なくとも一つのパラメータを光学薄膜設計シミュレーションによって決定する誘電体多層膜決定工程を有する。
本発明に係る色調整板の製造方法は、本発明に係る色調整板を製造する方法であって、誘電体多層膜の前記高屈折率層及び前記低屈折率層の材質、各層の層厚、及び、層数の少なくとも一つのパラメータを光学薄膜設計シミュレーションによって決定する誘電体多層膜決定工程を有する。
【0166】
（成膜方法）
本発明に係る成膜方法は、基板上、又は、透明基板の外表面全体に、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電体多層膜を形成する成膜方法であって、誘電体多層膜が、少なくとも以下の（１－１）～（１－３）を満たすように前記高屈折率層及び前記低屈折率層の材質、各層の層厚、及び、層数の少なくとも一つのパラメータを光学薄膜設計シミュレーションによって決定する；
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示し、
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含み、
（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示す。
本発明に係る成膜方法は、基板上、又は、透明基板の外表面全体に、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電体多層膜を形成する成膜方法であって、誘電体多層膜が、少なくとも以下の（１－１）～（１－３）を満たすように前記高屈折率層及び前記低屈折率層の材質、各層の層厚、及び、層数の少なくとも一つのパラメータを光学薄膜設計シミュレーションによって決定する；
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示し、
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含み、
（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示す。
【0167】
第１実施形態～第８実施形態に係る色調整板について、基板上に誘電体多層膜を形成する成膜する際には、蒸着法やスパッタ法などの公知の乾式の薄膜法を用いることができる。また、公知の湿式の薄膜法を用いてもよい。
【0168】
また、第９実施形態～第１０実施形態に係る色調整板の製造に際して、雲母等の二次元性の透明基板のサイズを調製する工程を有してもよい。例えば、雲母原石を粉砕（例えば、湿式粉砕）し、分級・粒度調整して、所望の粒度分布の雲母基板を得てもよい。
【0169】
また、第９実施形態～第１０実施形態に係る色調整板について、透明基板の外表面全体に誘電体多層膜を形成する成膜する際には、硫酸チタニル法、四塩化チタン法、ゾルゲル法などの公知の湿式の薄膜形成法を用いることができる。例えば、ＴｉＯ２層の成膜、ＳｉＯ２層の成膜、ＳｎＯ２層の成膜について以下の化学反応を利用することができる。それらの層は適宜、乾燥、焼成等による結晶化工程を行ってもよい。
・TiOSO4 + 3H2O → TiO2・2H2O + H2SO4
・Ti(OCH2CH3)4 + 2H2O → TiO2 + 4CH3CH2OH
・Si(OCH2CH3)4 + 2H2O → SiO2 + 4CH3CH2OH
・Sn(OCH2CH3)4 + 2H2O → SnO2 + 4CH3CH2OH
また、例えば、雲母等の二次元性を有する複数の透明基板上に誘電体多層膜を成膜した色調整板をアクリル樹脂等（図４８の符号３０）によって太陽電池セル等の対象物品に付けることができる。より具体的には例えば、色調整板をアクリル樹脂等のクリア塗料に混ぜて、塗布・乾燥させることによって太陽電池モジュール等を製造することができる。塗布方法は、バーコーターやドクターブレード、スプレーガン、アプリケーター等を用いることができる。雲母等の二次元性を有する複数の透明基板を備える色調整板２０は、雲母等がクリア塗料内の溶媒が蒸発して固化する際にガラス基板に並行して固定され、図４８に示したように、対象物品（例えば、太陽電池）１２１の上に二次元面を並行にして接合され、太陽電池モジュール２００を作製できる。固定に際しては適宜、顔料の塗布技術を適用することができる。また、仮に二次元面が３０°程度の傾きができたとしても上述したように反射スペクトルの低入射角度依存性のために色への影響はほとんどない。雲母等の二次元性を有する透明基板のサイズ（二次元面方向）は、通常、はく離したものを粉砕して使用するため、特に規定しないが、数μｍ～数１００μｍ程度の不定形で、厚さは数ｎｍ～数μｍである。
また、このように作製した色調整板を透明基板（ガラスなど）に付着させれば、図４０と全く同様の構造において用いることが出来る。
・TiOSO4 + 3H2O → TiO2・2H2O + H2SO4
・Ti(OCH2CH3)4 + 2H2O → TiO2 + 4CH3CH2OH
・Si(OCH2CH3)4 + 2H2O → SiO2 + 4CH3CH2OH
・Sn(OCH2CH3)4 + 2H2O → SnO2 + 4CH3CH2OH
また、例えば、雲母等の二次元性を有する複数の透明基板上に誘電体多層膜を成膜した色調整板をアクリル樹脂等（図４８の符号３０）によって太陽電池セル等の対象物品に付けることができる。より具体的には例えば、色調整板をアクリル樹脂等のクリア塗料に混ぜて、塗布・乾燥させることによって太陽電池モジュール等を製造することができる。塗布方法は、バーコーターやドクターブレード、スプレーガン、アプリケーター等を用いることができる。雲母等の二次元性を有する複数の透明基板を備える色調整板２０は、雲母等がクリア塗料内の溶媒が蒸発して固化する際にガラス基板に並行して固定され、図４８に示したように、対象物品（例えば、太陽電池）１２１の上に二次元面を並行にして接合され、太陽電池モジュール２００を作製できる。固定に際しては適宜、顔料の塗布技術を適用することができる。また、仮に二次元面が３０°程度の傾きができたとしても上述したように反射スペクトルの低入射角度依存性のために色への影響はほとんどない。雲母等の二次元性を有する透明基板のサイズ（二次元面方向）は、通常、はく離したものを粉砕して使用するため、特に規定しないが、数μｍ～数１００μｍ程度の不定形で、厚さは数ｎｍ～数μｍである。
また、このように作製した色調整板を透明基板（ガラスなど）に付着させれば、図４０と全く同様の構造において用いることが出来る。
【0170】
上述した塗布の例として、アクリル樹脂は酢酸ブチル等で薄めて塗布しやすいようにしてもよい。すなわち、例えば、乾燥後に７０％程度になるようにアクリル樹脂を薄めてもよい。また、スプレーガンやアプリケーターでの初期膜厚は２００μｍ程度とし、乾燥収縮後に樹脂固形分３０％程度が残り、雲母がガラス基板に平行に並ぶようにしてもよい。また、ガラス基板表面は雲母顔料やアクリル樹脂が強固にかつ均質に付着する様に極性等の表面処理を行うことが好ましい。
【0171】
（成膜装置）
本発明に係る成膜装置は、基板上、又は、透明基板の外表面全体に、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電体多層膜を形成する成膜装置であって、誘電体多層膜が、少なくとも以下の（１－１）～（１－３）を満たすように前記高屈折率層及び前記低屈折率層の材質、各層の層厚、及び、層数の少なくとも一つのパラメータを光学薄膜設計シミュレーションによって決定する光学パラメータ決定手段を備える；
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示し、
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含み、
（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示す。
本発明に係る成膜装置は、基板上、又は、透明基板の外表面全体に、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電体多層膜を形成する成膜装置であって、誘電体多層膜が、少なくとも以下の（１－１）～（１－３）を満たすように前記高屈折率層及び前記低屈折率層の材質、各層の層厚、及び、層数の少なくとも一つのパラメータを光学薄膜設計シミュレーションによって決定する光学パラメータ決定手段を備える；
（１－１）白色光を垂直方向から入射させて前記垂直方向と同じ方向に反射する反射光が３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長範囲の複数の反射ピークを有する分光反射特性を示し、
（１－２）前記複数の反射ピークは少なくとも、５２０ｎｍ未満の波長の第１主反射ピークと５２０ｎｍ以上の波長の第２主反射ピークとを１つづつ含み、
（１－３）前記複数の反射ピークは、前記波長範囲の反射ピークのうち、最大の反射率を示す反射ピークに対して２０％以上の反射率を示す。
【符号の説明】
【0172】
１ 基板
２、２２ 誘電体多層膜
２ａ、２２ａ 高屈折率層
２ｂ、２２ｂ 低屈折率層
１０、１０Ａ、２０ 色調整板
２１ 透明基板
３０ 色調整板固定剤
１００、２００ 太陽電池モジュール
１１１、１２１ 太陽電池（セル）
２、２２ 誘電体多層膜
２ａ、２２ａ 高屈折率層
２ｂ、２２ｂ 低屈折率層
１０、１０Ａ、２０ 色調整板
２１ 透明基板
３０ 色調整板固定剤
１００、２００ 太陽電池モジュール
１１１、１２１ 太陽電池（セル）
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】
【図28】
【図29】
【図30】
【図31】
【図32】
【図33】
【図34】
【図35】
【図36】
【図37】
【図38】
【図39】
【図40】
【図41】
【図42】
【図43】
【図44】
【図45】
【図46】
【図47】
【図48】