特開 2023-8834 カーボン棒ホルダーおよびカーボン棒削り方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023008834

(43)【公開日】2023-01-19

(54)【発明の名称】カーボン棒ホルダーおよびカーボン棒削り方法

(51)【国際特許分類】

   C23C 14/24 20060101AFI20230112BHJP

   G01N 1/28 20060101ALN20230112BHJP

【ＦＩ】

C23C14/24 A

C23C14/24 E

G01N1/28 N

G01N1/28 F

G01N1/28 W

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022091410

(22)【出願日】2022-06-06

(31)【優先権主張番号】P 2021110574

(32)【優先日】2021-07-02

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(71)【出願人】

【識別番号】000183303

【氏名又は名称】住友金属鉱山株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100145872

【弁理士】

【氏名又は名称】福岡 昌浩

(74)【代理人】

【識別番号】100091362

【弁理士】

【氏名又は名称】阿仁屋 節雄

(72)【発明者】

【氏名】高須賀 博史

【テーマコード（参考）】

2G052

4K029

【Ｆターム（参考）】

2G052AA40

2G052AB27

2G052DA33

2G052FD06

2G052GA19

2G052GA35

2G052JA07

2G052JA10

2G052JA20

4K029BA34

4K029CA01

4K029DB02

4K029DB08

4K029DB12

4K029DB18

(57)【要約】

【課題】カーボン棒の利用率を高めることで、経済的で、作業効率を向上可能な技術を提供する。
【解決手段】直径１ｍｍを超え且つ６ｍｍ以下の円柱状の長尺なカーボン棒を保持するホルダーであって、カーボン棒の円柱側面を長尺なホルダー本体に挟みこんだ状態でホルダー本体同士を螺合手段により近接させることによりカーボン棒を保持可能であり、ホルダー本体は、一端の内周が半円筒形状である長尺な被せホルダーと、一端の内周が半円筒形状である長尺な受けホルダーと、を、各々別体として備え、被せホルダーと受けホルダーとを重ねてホルダー本体とすることにより、カーボン棒を保持可能な長尺な空間が形成されるカーボン棒ホルダーおよびその関連技術を提供する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

直径１ｍｍを超え且つ６ｍｍ以下の円柱状の長尺なカーボン棒を保持するホルダーであって、
前記カーボン棒の円柱側面を長尺なホルダー本体に挟みこんだ状態で前記ホルダー本体同士を螺合手段により近接させることにより前記カーボン棒を保持可能であり、
前記ホルダー本体は、
一端の内周が半円筒形状である長尺な被せホルダーと、
一端の内周が半円筒形状である長尺な受けホルダーと、
を、各々別体として備え、
前記被せホルダーと前記受けホルダーとを重ねて前記ホルダー本体とすることにより、前記カーボン棒を保持可能な長尺な空間が形成される、カーボン棒ホルダー。

【請求項2】

前記螺合手段によって前記カーボン棒を保持した状態において、前記カーボン棒ホルダーを長尺方向から見た場合、前記ホルダー本体の輪郭が直径８ｍｍの円内に収まる、請求項１に記載のカーボン棒ホルダー。

【請求項3】

前記螺合手段が無い状態且つ前記カーボン棒が有る状態で前記被せホルダーと前記受けホルダーとを重ねた時、前記被せホルダーと前記受けホルダーとの間に隙間ができる、請求項１に記載のカーボン棒ホルダー。

【請求項4】

長尺方向の所定の位置において、前記被せホルダーの前記一端の半円筒形状の内周の曲率半径は、前記受けホルダーの前記一端の半円筒形状の内周の曲率半径と等しく、且つ、
前記所定の位置における両内周は、前記曲率半径の半円弧よりも小さな寸法を有する、請求項１に記載のカーボン棒ホルダー。

【請求項5】

前記螺合手段は少なくとも二つ設けられ、
第１螺合手段および第２螺合手段の各々は、前記長尺な空間の中心軸を垂直方向から通過し、
前記第２螺合手段は、前記第１螺合手段よりも長尺方向の中央寄りに設けられ、
前記カーボン棒は、前記第２螺合手段よりも長尺方向の別の一端寄りの前記長尺な空間で保持される、請求項１に記載のカーボン棒ホルダー。

【請求項6】

前記第１螺合手段および前記第２螺合手段の各々は、雄ネジを備える固定ネジと、前記被せホルダーに設けられた孔および前記受けホルダーに設けられた雌ネジ孔と、を備え、
前記被せホルダーにはテラス部が設けられ、
前記ホルダー本体が前記カーボン棒を保持した状態で各々の前記固定ネジを回転させて前記カーボン棒を締め付け続けて各々の前記固定ネジの頭が前記テラス部に接触したとき、前記カーボン棒ホルダーを長尺方向から見た場合、各々の前記固定ネジは前記カーボン棒ホルダーの輪郭内に収まる、請求項５に記載のカーボン棒ホルダー。

【請求項7】

前記カーボン棒ホルダーは円筒形状であって、前記カーボン棒ホルダーの外径は７ｍｍ以上８ｍｍ以下である、請求項６に記載のカーボン棒ホルダー。

【請求項8】

前記カーボン棒は、電子顕微鏡用試料の前処理としてのカーボン蒸着用のカーボン棒である、請求項１～７のいずれか一つに記載のカーボン棒ホルダー。

【請求項9】

直径１ｍｍを超え且つ６ｍｍ以下の円柱状の長尺なカーボン棒を保持するホルダーであって、前記カーボン棒の円柱側面を長尺なホルダー本体に挟みこんだ状態で前記ホルダー本体同士を螺合手段により近接させることにより前記カーボン棒を保持するカーボン棒ホルダーごと鉛筆削り器に挿入し、前記カーボン棒を削る、カーボン棒削り方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、カーボン棒ホルダーおよびカーボン棒削り方法に関する。

【背景技術】

【0002】

カーボン蒸着は表面処理として利用される。特許文献１には、酸化しやすいカーボンを、気密容器内で不活性ガスであるアルゴンガスを満たし、更に気密容器内の圧力を０．５Ｐａ～５Ｐａに設定するカーボン蒸着装置が開示されている。カーボン棒としては直径が０．５ｍｍから１ｍｍ程度の太さのものを用いるのが望ましいと記載されている。

【0003】

主にｓｐ３混成軌道の炭素は、ダイヤモンド薄膜、ダイヤモンドライクカーボン薄膜等として絶縁性や潤滑性または強度に優れるコーティング層に適用される。

【0004】

主にｓｐ２混成軌道の炭素は、導電性に優れているためエレクトロニクス材料等に適用される。

【0005】

ｓｐ２混成軌道の炭素は、例えば、走査型電子顕微鏡（Ｓｃａｎｎｉｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：以降ＳＥＭと表記する）や電子プローブマイクロアナライザ（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｐｒｏｂｅ Ｍｉｃｒｏ Ａｎａｌｙｚｅｒ：以降ＥＰＭＡと表記する）のような電子顕微鏡観察の対象物への前処理にも使われる。

【0006】

ＳＥＭまたはＥＰＭＡで有機化合物等の非導電性試料の観察を行う際、導電処理をしないと試料が帯電し、像に歪みが生じたり、異常コントラスト像となり正確な画像を得ることができない。

【0007】

ＳＥＭ観察には、カーボン以外に金、白金等の金属を蒸着源として使用可能である。但し、ＥＰＭＡや、ＳＥＭ観察視野内に含まれる元素を解析するためにＳＥＭに備えつけたエネルギー分散型Ｘ線検出器（Ｅｎｅｒｇｙ Ｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅ Ｘ－ｒａｙ Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒ：以降ＥＤＳと表記する）を用いる場合、以下の懸念もある。

【0008】

金、白金等の金属を蒸着源として使用すると、該蒸着源の元素が試料中の含有元素と同じである場合、その含有元素の同定は不可能になる。または、蒸着源の元素と試料中の含有元素が違う場合でも、蒸着源から検出されるピークが妨害して試料中の含有元素の同定ができない場合がある。

【0009】

そのため、一般的にはカーボンを蒸着源として用いる。カーボンは酸化しやすいため、真空カーボン蒸着法が好適である。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0010】

【特許文献1】特開２０１０－０５９５２５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0011】

蒸発対象となるカーボン棒の先端の部分は、軸芯を頂点とした円錐形に削る必要がある。具体的には、該先端の部分を２０°以下に鋭角化する必要がある。鋭角化により、過剰な電流が流れることに起因するカーボン粗大粒子の生成を抑制できる。円錐形化により、昇華してガス化したカーボン量がカーボン棒の法線方向で均一となり、蒸着ムラを抑制できる。

【0012】

上記蒸着に使用されるカーボン棒は、直径（以降、外径ともいう。）が鉛筆より小さい。本明細書では円柱状のカーボン棒の外径が１ｍｍを超え且つ６ｍｍ以下である場合を挙げる。

【0013】

上記円錐形化および上記鋭角化は、鉛筆削り器を利用すると容易に実施可能である。鉛筆削り器の中で、カーボン棒を偏芯させずに固定できるハンドル回転式鉛筆削り器がよい。ハンドル回転式鉛筆削り器のことを手鉛筆削り器と呼んでも構わない。

【0014】

カーボン棒は蒸着を繰り返すと消費され短くなる。その都度、ハンドル回転式鉛筆削り器で先端の部分を円錐形に削ることになる。

【0015】

ところが、ハンドル回転式鉛筆削り器にカーボン棒を挿入した際、鉛筆削り器のクリップ部がカーボン棒を把持するための長さが必要となる。ハンドル回転式鉛筆削り器にカーボン棒を挿入した時に鉛筆削り器のクリップ部が把持する部分を考慮して一具体例を挙げると、カーボン棒の長さが１００ｍｍのとき、６０ｍｍが手鉛筆削り器のクリップ部に収まるが、これは、カーボン棒を４０ｍｍ使用すると手鉛筆削り器のクリップ部で保持できなくなることを意味し、ひいては真空蒸着には４０ｍｍしか使用できないことを意味する。そうなると、カーボン棒は６０ｍｍ残っているにもかかわらず廃棄せざるを得ない。つまり、カーボン棒の利用率は４０％となり、残り６０％のカーボン棒は廃棄処分となる。これは経済的では無い。そのうえ、頻繁にカーボン棒を交換することになり、作業効率も悪くなる。

【0016】

本発明は、カーボン棒の利用率を高めることで、経済的で、作業効率を向上可能な技術を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0017】

本発明者は、上記課題を解決すべく鋭意検討を行った。そして、カーボン棒を保持する専用ホルダーを用いることで、カーボン棒の利用率を高めることができることを見出した。

【0018】

上記の知見に基づいて成された本発明の態様は、以下の通りである。
本発明の第１の態様は、
直径１ｍｍを超え且つ６ｍｍ以下の円柱状の長尺なカーボン棒を保持するホルダーであって、
前記カーボン棒の円柱側面を長尺なホルダー本体に挟みこんだ状態で前記ホルダー本体同士を螺合手段により近接させることにより前記カーボン棒を保持可能であり、
前記ホルダー本体は、
一端の内周が半円筒形状である長尺な被せホルダーと、
一端の内周が半円筒形状である長尺な受けホルダーと、
を、各々別体として備え、
前記被せホルダーと前記受けホルダーとを重ねて前記ホルダー本体とすることにより、前記カーボン棒を保持可能な長尺な空間が形成される、カーボン棒ホルダーである。

【0019】

本発明の第２の態様は、
前記螺合手段によって前記カーボン棒を保持した状態において、前記カーボン棒ホルダーを長尺方向から見た場合、前記ホルダー本体の輪郭が直径８ｍｍの円内に収まる、第１の態様に記載のカーボン棒ホルダーである。

【0020】

本発明の第３の態様は、
前記螺合手段が無い状態且つ前記カーボン棒が有る状態で前記被せホルダーと前記受けホルダーとを重ねた時、前記被せホルダーと前記受けホルダーとの間に隙間ができる、第１または２の態様に記載のカーボン棒ホルダーである。

【0021】

本発明の第４の態様は、長尺方向の所定の位置において、前記被せホルダーの前記一端の半円筒形状の内周の曲率半径は、前記受けホルダーの前記一端の半円筒形状の内周の曲率半径と等しく、且つ、
前記所定の位置における両内周は、前記曲率半径の半円弧よりも小さな寸法を有する、第１～第３のいずれか一つの態様に記載のカーボン棒ホルダーである。

【0022】

本発明の第５の態様は、
前記螺合手段は少なくとも二つ設けられ、
第１螺合手段および第２螺合手段の各々は、前記長尺な空間の中心軸を垂直方向から通過し、
前記第２螺合手段は、前記第１螺合手段よりも長尺方向の中央寄りに設けられ、
前記カーボン棒は、前記第２螺合手段よりも長尺方向の別の一端寄りの前記長尺な空間で保持される、第１～第４のいずれか一つの態様に記載のカーボン棒ホルダーである。

【0023】

本発明の第６の態様は、
前記第１螺合手段および前記第２螺合手段の各々は、雄ネジを備える固定ネジと、前記被せホルダーに設けられた孔および前記受けホルダーに設けられた雌ネジ孔と、を備え、
前記被せホルダーにはテラス部が設けられ、
前記ホルダー本体が前記カーボン棒を保持した状態で各々の前記固定ネジを回転させて前記カーボン棒を締め付け続けて各々の前記固定ネジの頭が前記テラス部に接触したとき、前記カーボン棒ホルダーを長尺方向から見た場合、各々の前記固定ネジは前記カーボン棒ホルダーの輪郭内に収まる、第５の態様に記載のカーボン棒ホルダーである。

【0024】

本発明の第７の態様は、
前記カーボン棒ホルダーは円筒形状であって、前記カーボン棒ホルダーの外径は７ｍｍ以上８ｍｍ以下である、第６の態様に記載のカーボン棒ホルダーである。

【0025】

本発明の第８の態様は、
前記カーボン棒は、電子顕微鏡用試料の前処理としてのカーボン蒸着用のカーボン棒である、第１～第７のいずれか一つの態様に記載のカーボン棒ホルダーである。

【0026】

本発明の第９の態様は、
直径１ｍｍを超え且つ６ｍｍ以下の円柱状の長尺なカーボン棒を保持するホルダーであって、前記カーボン棒の円柱側面を長尺なホルダー本体に挟みこんだ状態で前記ホルダー本体同士を螺合手段により近接させることにより前記カーボン棒を保持するカーボン棒ホルダーごと鉛筆削り器に挿入し、前記カーボン棒を削る、カーボン棒削り方法である。

【発明の効果】

【0027】

本発明によれば、カーボン棒の利用率を高めることで、経済的で、作業効率を向上可能な技術を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0028】

【図1】図１は、本実施形態に係るカーボン棒ホルダーの概略平面図である。

【図2】図２（ａ）は、Ｙ１方向からＹ２方向に見たときの本実施形態に係る被せホルダーの概略側面図である。図２（ｂ）は、本実施形態に係る被せホルダーの概略正面図である。

【図3】図３（ａ）は、Ｙ１方向からＹ２方向に見たときの本実施形態に係る受けホルダーの概略側面図である。図３（ｂ）は、本実施形態に係る受けホルダーの概略正面図である。

【図4】図４は、本実施形態に係るカーボン棒ホルダーにカーボン棒を挿入したときの概略平面図である。

【図5】図５は、本実施形態に係るカーボン棒ホルダーにカーボン棒を挿入したときの概略正面図である。

【図6】図６（ａ）は、Ｙ１方向からＹ２方向に見たときの本実施形態に係る被せホルダーの概略側面図である。図６（ｂ）は、Ｙ１方向からＹ２方向に見たときの本実施形態に係る受けホルダーの概略側面図である。

【図7】図７は、ハンドル回転式鉛筆削り器の挿入孔に対する概略正面図である。

【図8】図８は、好適例を適用しない場合のハンドル回転式鉛筆削り器の内部に対する概略断面図である。

【図9】図９は、好適例を適用した場合のハンドル回転式鉛筆削り器の内部に対する概略断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0029】

本発明の実施の形態について、以下の順番で説明する。
１．カーボン棒
２．カーボン棒ホルダー
３．カーボン棒ホルダー１の更なる具体例および変形例
４．カーボン棒ホルダー１の使用方法（カーボン棒削り方法）

【0030】

＜１．カーボン棒＞
前述の通り、例えば、ＳＥＭまたはＥＰＭＡのような電子顕微鏡で有機化合物等の非導電性試料の観察を行う際、蒸着源としてカーボンが頻繁に用いられる。その際、カーボン棒を使用する。具体的には、カーボン棒の先端を蒸発させてカーボンを観察対象物の表面に蒸着させる際にカーボン棒を使用する。つまり、本明細書に記載のカーボン棒は、本発明の一実施形態である電子顕微鏡用試料の前処理としてのカーボン蒸着用のカーボン棒であることが好ましい。

【0031】

カーボン棒としては、直径は１ｍｍを超え且つ６ｍｍ以下の円柱状の長尺なカーボン棒を挙げる。長尺方向の長さには限定は無いが、７０ｍｍ以上（例えば１００ｍｍ）を例示する。なお、鉛筆とは異なりカーボン棒は、不可避不純物を除けばカーボン（炭素）のみにより構成される。

【0032】

カーボン蒸着を行う場合、カーボン棒の先端を２０°以下の鋭角化、および、軸芯を頂点とした円錐形化する必要がある。この作業は、ハンドル回転式鉛筆削り器により実施可能である。但し、鉛筆削り器のクリップ部が把持する部分をカーボン棒において確保しなければならない。この点を考慮され、以下のカーボン棒ホルダーおよびその関連技術が本発明者により創出された。

【0033】

＜２．カーボン棒ホルダー＞
以下、本実施形態に係るカーボン棒ホルダーについて説明する。本実施形態に係るカーボン棒ホルダーは以下の構成を有する。
「直径１ｍｍを超え且つ６ｍｍ以下の円柱状の長尺なカーボン棒を保持するホルダーであって、
前記カーボン棒の円柱側面を長尺なホルダー本体に挟みこんだ状態で前記ホルダー本体同士を螺合手段により近接させることにより前記カーボン棒を保持可能であり、
前記ホルダー本体は、
一端の内周が半円筒形状である長尺な被せホルダーと、
一端の内周が半円筒形状である長尺な受けホルダーと、
を、各々別体として備え、
前記被せホルダーと前記受けホルダーとを重ねて前記ホルダー本体とすることにより、前記カーボン棒を保持可能な長尺な空間が形成される、カーボン棒ホルダー。」

【0034】

以下、カーボン棒ホルダーの長尺方向であってカーボン棒を保持する空間の開口がある一端側をＸ１方向（前方）、その逆方向をＸ２方向（後方）とする。天地の天の方向をＺ１方向（上方）、その逆方向をＺ２方向（下方）とする。長尺方向および上下方向に垂直な方向であって開口に向かって正面視したときの左端方向をＹ１方向とし、その逆方向であって開口に向かって正面視したときの右端方向をＹ２方向とする。本明細書における平面視とは、Ｚ１方向からＺ２方向を見たときの状態であり、正面視とは、Ｘ１方向からＸ２方向を見たときの状態であり、断面視とはＸ１－Ｘ２方向に垂直なＹ－Ｚ平面での断面視である。

【0035】

図１は、本実施形態に係るカーボン棒ホルダーの概略平面図である。
図２（ａ）は、Ｙ１方向からＹ２方向に見たときの本実施形態に係る被せホルダーの概略側面図である。図２（ｂ）は、本実施形態に係る被せホルダーの概略正面図である。
図３（ａ）は、Ｙ１方向からＹ２方向に見たときの本実施形態に係る受けホルダーの概略側面図である。図３（ｂ）は、本実施形態に係る受けホルダーの概略正面図である。
図４は、本実施形態に係るカーボン棒ホルダーにカーボン棒を挿入したときの概略平面図である。

【0036】

本実施形態においては、被せホルダー２が上方に設置され、受けホルダー３が下方に設置される。被せホルダー２も受けホルダー３も長尺方向の一端（本実施形態では前方端）が半円筒形状である。そのため、この一端同士を重ね合わせることにより、前方に開口４を有する長尺な円筒形状の空間を形成可能である。

【0037】

また、前述の通り、カーボン棒の先端を鋭角化、および、軸芯を頂点とした円錐形化するために、ハンドル回転式鉛筆削り器を使用することができる。鉛筆の外径はＪＩＳ Ｓ ６００６で８ｍｍ以下と規定されている。本実施形態では、螺合手段によってカーボン棒を保持したときに、カーボン棒ホルダーを長尺方向から見た場合、ホルダー本体の輪郭を直径８ｍｍの円内に収めることにより、カーボン棒ホルダーごと鉛筆削り器の挿入孔に挿入できるため、カーボン棒の利用率をより高めることができる。

【0038】

図５は、本実施形態に係るカーボン棒ホルダーにカーボン棒を挿入したときの概略正面図である。

【0039】

円筒形状の空間についてであるが、本実施形態においては、螺合手段が無い状態且つカーボン棒Ｃが有る状態で被せホルダー２と受けホルダー３とを重ねた時、被せホルダー２と受けホルダー３との間に隙間Ｇができるのが好ましい。この隙間Ｇから前記カーボン棒Ｃが露出するのが好ましい。つまり、螺合手段が無い状態で被せホルダー２と受けホルダー３とを接触させて上記円筒形状の空間を形成したとき、カーボン棒Ｃが該空間に収まりきらないのが好ましい。そのために螺合手段が存在する。

【0040】

カーボン棒Ｃが該空間に収まりきらずとも、螺合手段により被せホルダー２と前記受けホルダー３とを固定することにより、カーボン棒Ｃが両ホルダーによって上下方向から押さえつけられる。その結果、被せホルダー２と受けホルダー３からなる本体ホルダーに対してカーボン棒Ｃを固定できる。

【0041】

該空間の具体例は以下の通りである。
「長尺方向の所定の位置において、前記被せホルダー２の前記一端の半円筒形状の内周の曲率半径は、前記受けホルダー３の前記一端の半円筒形状の内周の曲率半径と等しく、且つ、
前記所定の位置における両内周は、前記曲率半径の半円弧よりも小さな寸法を有する。」

【0042】

言い方を変えると以下の構成が好ましい。
「前記被せホルダー２の前記一端の半円筒形状の断面の内周は、前記カーボン棒Ｃの断面の曲率半径と等しい曲率半径を有し、且つ、前記カーボン棒Ｃの断面の半円弧よりも小さな寸法を有し、
前記受けホルダー３の前記一端の半円筒形状の断面の内周は、前記カーボン棒Ｃの断面の曲率半径と等しい曲率半径を有し、且つ、前記カーボン棒Ｃの断面の半円弧よりも小さな寸法を有する。」

【0043】

「曲率半径が等しい」とは、両曲率半径の差が０．５ｍｍＲ以下（好適には０．１ｍｍＲ以下、特に好適には完全一致）であることを指す。

【0044】

「曲率半径の半円弧よりも小さな寸法」は、螺合手段が無い状態且つカーボン棒Ｃが有る状態で被せホルダー２と受けホルダー３とを重ねた時、被せホルダー２と受けホルダー３との間に隙間Ｇができることを表す一つの具体的表現である。

【0045】

長尺方向の所定の位置において、被せホルダー２の一端の半円筒形状の内周の形状は、受けホルダー３の一端の半円筒形状の内周の形状と同一であってもよい。両ホルダーを重ね合わせたときに両内周の形状が上下対称であるのが好ましい。

【0046】

仮に、両ホルダーを重ね合わせたときの空間の開口４の径がカーボン棒Ｃの外径よりも大きい場合、市販のＯリングや輪ゴム等の空間充填部材を用いてカーボン棒Ｃの軸芯とカーボン棒ホルダー１の軸芯が一致するように固定可能である。つまり、空間の開口４の径がカーボン棒Ｃの外径よりも大きい場合、空間充填部材を備えることにより、被せホルダー２と前記受けホルダー３との間に隙間Ｇができ、最終的には、螺合手段により被せホルダー２と受けホルダー３とカーボン棒Ｃとを固定可能となる。

【0047】

図２、図３に示すように、両ホルダーの内周の大きさを、前方から後方に向けて変化させてもよい。この変化は連続的でも不連続的でもよい（図２、図３だと、開口４から一定の地点で空間の断面が小さくなるように不連続変化）。この構成により、カーボン棒ホルダー１は、様々な外径のカーボン棒Ｃに対応可能となる。

【0048】

本実施形態における螺合手段は少なくとも二つ設けられ、
第１螺合手段５および第２螺合手段６の各々は、前記長尺な空間の中心軸を垂直方向から通過し、
第１螺合手段５は、前記ホルダー本体の長尺方向の一端寄りに設けられ、
第２螺合手段６は、前記第１螺合手段５よりも中央寄りに設けられ、
前記カーボン棒Ｃは、前記第２螺合手段６よりも長尺方向の別の一端寄りの前記長尺な空間で保持されるのが好ましい。

【0049】

螺合手段の一具体例は、固定ネジ５、６である雄ネジと、被せホルダー２に形成された貫通孔２２、２３と、受けホルダー３に形成された孔（すなわち雌ネジ孔）３２、３３である。

【0050】

長尺な空間の中心軸は、円筒形状の空間の断面視中心を通過するＸ軸を指す。円筒形状の空間の断面視中心が判別困難な場合は、断面視における空間の重心と言い換えてもよい。

【0051】

第１螺合手段５は、重ね合わされたときの円筒形状の空間の開口４の逆方向の端（後方）寄りに設けられるのがよい。そして、第２螺合手段６は、前記第１螺合手段５よりも中央寄り（長尺方向の別の一端寄り、前方寄り）に設けられるのがよい。

【0052】

第２螺合手段６が設けられることにより、長尺な空間は潰される。言い方を変えると、第２螺合手段６よりも前方にしか、カーボン棒Ｃを保持する空間を確保できない。第２螺合手段６の長尺方向での位置には限定は無いが、第１螺合手段５よりも中央寄り（前方）でありながらも可能な限り第１螺合手段５寄り（後方）に位置させるのがよい。それにより、カーボン棒Ｃを保持する空間を長尺方向に長く確保できる。

【0053】

少なくとも二つの螺合手段を設けることにより、固定ネジ５、６が被せホルダー２および受けホルダー３を貫通したときに両ホルダーが十分に固定される。例えば、ホルダー本体の長尺方向に沿って少なくとも二つの螺合手段が設けられてもよい。また、螺合手段の設置場所にも限定は無い。例えば、第１螺合手段５（後方側）も第２螺合手段６（前方側）も長尺方向の中央寄りに設けられても構わない。さらに、第１螺合手段５、第２螺合手段６に加えて、合計三つ以上の螺合手段を設けても構わない。

【0054】

第１螺合手段５および第２螺合手段６との間、すなわちカーボン棒を保持可能な長尺な空間が形成されない部分における被せホルダー２および受けホルダー３の内周の形状には限定は無く、第２螺合手段６から前方の内周の形状と同様に、半円筒形状であってもよい。その一方、第１螺合手段５および第２螺合手段６との間においては、被せホルダー２および受けホルダー３で形成される該空間を潰してもよい。

【0055】

螺合手段に関しては、以下の構成も好ましい。
「前記第１螺合手段５および前記第２螺合手段６の各々は、雄ネジを備える固定ネジ５、６と、前記被せホルダー２に設けられた孔および前記受けホルダー３に設けられた雌ネジ孔と、を備え、
前記被せホルダー２にはテラス部（以降、平坦部と称することがある）７、８が設けられ、
前記ホルダー本体が前記カーボン棒Ｃを保持した状態で各々の前記固定ネジ５、６を回転させて前記カーボン棒Ｃを締め付け続けて各々の前記固定ネジ５、６の頭が前記平坦部７、８に接触したとき、前記カーボン棒ホルダー１を長尺方向から見た場合、各々の前記固定ネジ５、６は前記カーボン棒ホルダー１の輪郭内に収まる。」

【0056】

本実施形態のカーボン棒ホルダー１は、カーボン棒Ｃを保持した状態を正面視したとき、各々の前記固定ネジ５、６は前記カーボン棒ホルダー１の輪郭内に収まるのが好ましい。この構成により、カーボン棒Ｃをカーボン棒ホルダー１ごと鉛筆削り器に挿入可能となる機会が生まれる。

【0057】

仮に、ホルダー本体の外径がハンドル回転式鉛筆削り器の挿入口径よりも小さい場合、カーボン棒Ｃをホルダー本体ごとハンドル回転式鉛筆削り器に挿入可能となる。その場合、ホルダー本体の後方端さえ鉛筆削り器のクリップ部が把持できればカーボン棒Ｃを加工可能となる。その一方、螺合手段の固定ネジ５、６が、カーボン棒ホルダー１の正面視の輪郭からはみ出る場合、固定ネジ５、６のせいで、ハンドル回転式鉛筆削り器の挿入口内への挿入長さが減ってしまうことがある。これを防ぐべく、前段落に記載の構成が創出された。

【0058】

上記構成を実現すべく、被せホルダー２には平坦部７、８が設けられる。この平坦部７、８は、各螺合手段に設けられるのが好ましい。つまり、第１螺合手段５に対して第１平坦部７が設けられ、第２螺合手段６に対して第２平坦部８が設けられるのが好ましい。この平坦部７、８が設けられるのは少なくとも被せホルダー２であればよいが、受けホルダー３に設けても構わない。例えば、受けホルダーに雌ネジ孔では無く貫通孔を設けた上で、受けホルダー３に平坦部を設けてナットで固定するようにしても良い。

【0059】

本実施形態では、平坦部７、８は略Ｘ－Ｙ平面上である。この平坦部７、８のおかげで、各々の固定ネジ５、６を回転させてカーボン棒Ｃを締め付け続けて各々の固定ネジ５、６の頭が平坦部７、８に接触したとき、各々の固定ネジ５、６の頭は、正面視において本体ホルダーの陰に隠れやすくなる。その結果、固定ネジ５、６の頭がハンドル回転式鉛筆削り器の挿入孔に干渉することなく、カーボン棒Ｃをホルダー本体ごと該挿入孔に十分な長さだけ挿入可能となる。該挿入孔への干渉の可能性を低減すべく、固定ネジ５、６の頭を平たくするするのが好ましい。つまり、固定ネジ５、６は平ネジであるのが好ましい。

【0060】

固定ネジ５、６の頭が平坦部７、８に接触したときのカーボン棒ホルダー１（ひいてはホルダー本体）の円筒形状の外径は７ｍｍ以上８ｍｍ以下であるのが好ましい。本段落の「外径」は、カーボン棒Ｃを装着した状態での正面視における外接円の直径を指す。本段落の「外径」は、カーボン棒Ｃの装着前の本体ホルダーにおいて固定ネジ５、６の頭が平坦部７、８に接触したときの外接円の直径であってもよい。

【0061】

本実施形態におけるカーボン棒ホルダー１にカーボン棒Ｃを装着することにより、例えば、カーボン棒Ｃの長さが１００ｍｍのとき、今までハンドル回転式鉛筆削り器では４０ｍｍの部分しか使用できなかったものを６５ｍｍまでカーボン蒸着に使用できるようになる。

【0062】

この例を基に述べると、本実施形態におけるカーボン棒ホルダー１にカーボン棒Ｃを固定するための差し込み代として最低でも３ｍｍ（好適には５ｍｍ）が必要である。そして、ハンドル回転式鉛筆削り器の挿入口から奥までの距離（すなわち切削部の奥深さ）が３０ｍｍ程度である。つまり、本実施形態におけるカーボン棒ホルダー１を使用するとカーボン棒Ｃのうち６５ｍｍを使用できる。また、カーボン棒Ｃをホルダー本体ごと挿入すれば、すなわち挿入口から切削刃までの筒状部分にホルダー本体を挿入すれば、上記３０ｍｍ程度をさらに小さくすることができる。

【0063】

＜３．カーボン棒ホルダー１の更なる具体例および変形例＞
本発明の技術的範囲は上述した実施の形態に限定されるものではなく、発明の構成要件やその組み合わせによって得られる特定の効果を導き出せる範囲において、種々の変更や改良を加えた形態も含む。以下、更に具体的な例を挙げ、その後、変形例を挙げる。

【0064】

本実施形態のカーボン棒ホルダー１は、外径が１ｍｍを超え且つ６ｍｍ以下のカーボン棒Ｃを保持するために、外半径が３．５ｍｍ以上４ｍｍ以下である半円柱形状の金属製の被せホルダー２と、被せホルダー２と同じ外径の半円柱形状の金属製の受けホルダー３と、被せホルダー２と受けホルダー３を覆合して円柱状とするための螺合手段とから構成される。

【0065】

被せホルダー２には、該被せホルダー２の一端側（前方側）に形成され、カーボン棒Ｃのための上部挿入溝が半円柱状に削孔された上部挿入部２１（後の開口４の一部）と、被せホルダー２の他端側（後方側）近傍に形成された貫通孔２２、２３がある。

【0066】

受けホルダー３には、被せホルダー２の上部挿入部２１に対して上下方向で対向する位置に、カーボン棒Ｃのための上部挿入溝と同じ内半径で半円柱状に下部挿入溝が削孔された下部挿入部３１（後の開口４の一部）と、貫通孔２２、２３に対向する位置に、貫通孔２２、２３に延設するように形成された孔３２、３３がある。更に、螺合手段は、貫通孔２２、２３、孔３２、３３を介して被せホルダー２と受けホルダー３が固定される機能を有する。

【0067】

被せホルダー２および受けホルダー３の材質は、金属であれば特に制限されない。カーボン棒Ｃを確実に把持するための強度、剛性を備えた金属が必須となるが、一般的な炭素鋼、ステンレス鋼等を用いることができる。その中でも、耐食性も備えたステンレス鋼が良い。貫通孔２２、２３は、螺合手段が貫通できる構成であれば、それで良い。

【0068】

被せホルダー２および受けホルダー３の外半径は４ｍｍ以下とする。そうすると、被せホルダー２と受けホルダー３を覆合したときに形成される円柱の外径（外直径）が８ｍｍ以下になる。本明細書では、市販の鉛筆削り器でカーボン棒Ｃを削ることを前提としている。ＪＩＳ Ｓ ６００６で規定された鉛筆の外径が８ｍｍ以下であり、本実施形態のカーボン棒ホルダー１は鉛筆と同じ外径を有するようになる。

【0069】

また、カーボン棒Ｃの外径が最大６ｍｍなので、被せホルダー２および受けホルダー３の外半径は３．５ｍｍ以上とする。そうすると、被せホルダー２と受けホルダー３を覆合したときに形成される円筒形状の外径が７ｍｍ以上になる。

【0070】

被せホルダー２および受けホルダー３の材質を強度、剛性を備えた金属とするので、カーボン棒Ｃを上下方向から覆合する外郭部の厚さが０．５ｍｍ以上あれば鉛筆を軸芯に把持するためのクリップ部（チャック部）が安定的に把持できる最低限の太さになる。

【0071】

螺合手段はボルトナットを備えても構わない。固定ネジ５、６についても、頭部に平板を有する通常のネジが良いが、イモネジ、皿ネジ等、何でも良い。イモネジは頭部を有しないので、被せホルダー２の輪郭から外側にイモネジがはみ出ないようにするための平坦部７、８が小さくて済む。

【0072】

一般的なカーボン蒸着では、汎用品の外径が５ｍｍのカーボン棒Ｃが使用される。本実施形態は外径が１ｍｍを超え且つ６ｍｍ以下のカーボン棒Ｃであれば適用できるが、特に外径が５ｍｍのカーボン棒Ｃに好適に使用できる。

【0073】

固定ネジ５、６の数、それに対応した貫通孔２２、２３、孔３２、３３の数は、１ヶ所以上であれば特に限定されない。しかしながら、固定ネジ５、６の数は２本、それに対応した貫通孔２２、２３、孔３２、３３の数は、それぞれ２ヶ所であることが好ましい。２ヶ所であれば、確実にカーボン棒Ｃを保持することができる。１ヶ所であれば、被せホルダー２と受けホルダー３が固定ネジを回転軸の中心としてずれる可能性がある。３ヶ所以上としても確実に保持するという効果は同じであり、構造が複雑になり、余計な製作の手間、取付けの手間が発生する。固定ネジ５、６の数が２本、それに対応した貫通孔２２、２３、孔３２、３３の数が、それぞれ２ヶ所である場合、その位置は図２に示した通り、上部挿入部２１と下部挿入部３１とは逆の端面側の２ヶ所になる。

【0074】

更に、固定ネジ５、６の数が２本、それに対応した貫通孔２２、２３、孔３２、３３の数が、それぞれ２ヶ所である場合、固定ネジ５、６のうち上部挿入部２１および下部挿入部３１から遠い側の１本において、前記被せホルダー２と前記受けホルダー３の合わせ面に平ワッシャーが挟持されていることが好ましい。そうすると、箸やピンセットでつまむように、上部挿入部２１と下部挿入部３１の一端でカーボン棒Ｃを把持することになるので、保持圧力が高くなり、より確実にカーボン棒Ｃを把持することができる。該平ワッシャーは、いちいち固定ネジ５に嵌め入れる手間を省くべく、被せホルダー２または受けホルダー３に予め固着させてもよい。

【0075】

なお、固定ネジ５、６のうち上部挿入部２１および下部挿入部３１から近い側の１本において、前記被せホルダー２と前記受けホルダー３の合わせ面に平ワッシャーが挟持されてももちろん構わない。その一方、上記遠い側の１本にさえ平ワッシャーが挟持されていれば、上記遠い側の１本の固定ネジ５さえきつく締めればカーボン棒Ｃを安定して把持できる。つまり、上記近い側の１本の固定ネジ６は前記被せホルダー２と前記受けホルダー３の位置ずれ防止という役割を主に担うことになる。上記遠い側の１本の固定ネジ５に平ワッシャーが挟持されることにより、前記被せホルダー２と前記受けホルダー３との間に遊びのスペースを設けることが可能となる。その結果、上記遠い側の１本の固定ネジ５を締めた状態でも上記近い側の１本の固定ネジ６を締めたり緩めたりすることにより、カーボン棒Ｃを容易に着脱できる。

【0076】

本実施形態のカーボン棒ホルダー１は、一般的なカーボン蒸着用のカーボン棒Ｃに広く用いることができるが、特に、電子顕微鏡用試料の前処理としてのカーボン蒸着に用いられることが好ましい。電子顕微鏡用試料の前処理としてのカーボン蒸着装置は蒸着部が小型のものが多く、１００ｍｍ以下の短いカーボン棒Ｃが用いられる。短いカーボン棒Ｃに本実施形態を適用すれば、カーボン棒Ｃの利用率を高めるという効果をより享受することができる。

【0077】

被せホルダー２と受けホルダー３の高さは、被せホルダー２と受けホルダー３の外半径よりも０．１ｍｍ程度小さくする。そうすると、被せホルダー２と受けホルダー３を覆合したとき、若干の隙間Ｇが開き、カーボン棒Ｃを確実に把持できる。

【0078】

以下、変形例を記載する。

【0079】

一端の内周が半円筒形状である長尺な被せホルダー２と、一端の内周が半円筒形状である長尺な受けホルダー３とを一体として備えるホルダー本体を用いてもよい。例えば、両ホルダーの一端をヒンジにて連結し、ヒンジにて両ホルダーを回動させることにより両ホルダーの別の一端同士を近接させ、その後、螺合手段により一端同士を近接させて固定してもよい。

【0080】

螺合手段は、両ホルダーの一端（つまりは空間の中心軸から外れた位置）に設けてもよい。

【0081】

平坦部７、８に関してであるが、各々の固定ネジ５、６がカーボン棒ホルダー１の輪郭内に収まるのであれば、平面を構成しなくても構わず、若干の曲面形状であっても構わない。但し、固定ネジ５、６の雄ネジを、貫通孔２２、２３および孔３２、３３の雌ネジに確実に係合させるためには平坦部７、８が好ましい。

【0082】

図６（ａ）は、Ｙ１方向からＹ２方向に見たときの本実施形態に係る被せホルダーの概略側面図である。図６（ｂ）は、Ｙ１方向からＹ２方向に見たときの本実施形態に係る受けホルダーの概略側面図である。

【0083】

被せホルダー２と受けホルダー３とを組み合わせたとき、前方に向けて外径を小さくするのが好ましい。また、被せホルダー２と受けホルダー３との少なくともいずれかにおいて、前方に向けて外径を小さくするのが好ましい。外径を小さくし始める開始部分はカーボン棒ホルダーを鉛筆削り器のクリップ部で把持できるように開口部から３５ｍｍ程度までがよく、前方に向けて、外径を小さくするのが好ましい。「外径を小さくする」とは、一例としては、外径を上下方向に狭くし、正面視で扁平にすることが挙げられる。

【0084】

図７は、ハンドル回転式鉛筆削り器の挿入孔に対する概略正面図である。
上記の構成が好適な理由であるが、ハンドル回転式鉛筆削り器９の挿入孔９１は、ハンドル回転式鉛筆削り器９が鉛筆を保持するチャック部９２の存在により、正面視にて完全な円形ではなく、略楕円形（例えば図７のハッチ部分）であったり略逆三角形だったりする。

【0085】

図８は、好適例を適用しない場合のハンドル回転式鉛筆削り器の内部に対する概略断面図である。
図９は、好適例を適用した場合のハンドル回転式鉛筆削り器の内部に対する概略断面図である。
また、ハンドル回転式鉛筆削り器は、遊星ギアにより稼働する削り刃９３が、所定角度に斜めに設置され且つ鉛筆の周りを回りながら鉛筆を削る方式を採用している。本実施形態では、この方式を考慮し、カーボン棒ホルダー１の外周に対して削り刃９３と干渉しないように前方に向けて外径を小さくするのが好ましい。図８、図９において干渉位置を破線囲みで示す。図８に比べず図９だと干渉位置は奥側に移動する。その一具体例が、削り刃９３と干渉しない角度のテーパをカーボン棒ホルダー１の外周に対して設定するという例である。
そのため、被せホルダー２と受けホルダー３との少なくともいずれか（好適には両方）において、中央近傍から前方に向けて外径を小さくしておけば、上記削り刃９３と上記チャック部９２に対するカーボン棒ホルダー１の干渉の影響を減らせ、ひいてはハンドル回転式鉛筆削り器９の挿入孔９１に更に深くカーボン棒Ｃ及びカーボン棒ホルダー１を挿入できる。

【0086】

具体的には、例えば被せホルダー２の場合、図２（ａ）のように側面視したとき、傾斜角度１～２０度（好適な下限は２度、４度、好適な上限は１５度、１０度、８度）のテーパを設けてもよい。受けホルダー３についても同様の規定を採用できる。被せホルダー２と受けホルダー３とでテーパの傾斜角度を等しくしてもよい。この構成により、ハンドル回転式鉛筆削り器９の挿入・BR>E９１に更に深くカーボン棒Ｃ及びカーボン棒ホルダー１を挿入できる。一例としては後掲の実施例だと、被せホルダー２と受けホルダー３とでテーパの傾斜角度を６度とした場合、ハンドル回転式鉛筆削り器９の挿入孔９１に対して更に１０ｍｍ奥にカーボン棒Ｃ及びカーボン棒ホルダー１を挿入できる。
なお、本明細書では、上記テーパが設けられている場合も、被せホルダー２と受けホルダー３を覆合したときに形成されるカーボン棒ホルダー１の一端の外周の形状は円筒形状と称する。上記テーパが設けられている場合、カーボン棒Ｃを保持する空間の開口に向かう方向（前方であるＸ１方向から後方であるＸ２方向に向かう方向）で該開口を見たとき、少なくとも外周形状においては左右方向（Ｙ１－Ｙ２方向）が長辺、上下方向（Ｚ１－Ｚ２方向）が短辺の楕円となる。

【0087】

テーパでなく細かい段差を設ける態様でも構わないが、カーボン棒ホルダー１の製造の難易度を加味すると、テーパがよい。

【0088】

＜４．カーボン棒ホルダー１の使用方法（カーボン棒削り方法）＞
次に、本実施形態に係るカーボン棒ホルダー１の使用方法について、以下に説明する。

【0089】

一般的なカーボン蒸着用のカーボン棒Ｃのサイズは、外径が５ｍｍ、長さが１００ｍｍである。そのカーボン棒Ｃの先端を、ハンドル回転式鉛筆削り器９で円錐形に削る。

【0090】

次に、円錐形に削ったカーボン棒Ｃを真空カーボン蒸着装置に設置する。このとき、カーボン棒Ｃの円錐形にした部分と、先端を削っていない断面が平らなカーボン棒Ｃを接触させて固定する。固定できたら装置内を真空にし、通電加熱をしてカーボン蒸着を実施する。カーボン蒸着を実施すると、円錐形に削った先端が損耗するので、カーボン蒸着を実施する毎に装置からカーボン棒Ｃを取り外し、ハンドル回転式鉛筆削り器９で円錐形に削る。

【0091】

この作業を繰返すと、徐々にカーボン棒Ｃが短くなる。カーボン棒Ｃは概ね６０ｍｍよりも長い場合はそのままハンドル回転式鉛筆削り器９で削ることができるが、短くなってきたら、本実施形態のカーボン棒ホルダー１にカーボン棒Ｃを装着する。

【0092】

カーボン棒Ｃの装着方法は、まず、被せホルダー２と受けホルダー３を両者がずれないように重ね合わせ、貫通孔２２、２３および孔３２、３３に固定ネジ５、６および平ワッシャーを入れて仮止めをする。次に、上部挿入部２１と下部挿入部３１で形成される空間にカーボン棒Ｃを挿入し、固定ネジ５、６を本締めしてカーボン棒Ｃを固定する。

【0093】

カーボン棒Ｃの長さが６０ｍｍより短くなった場合には、カーボン棒ホルダー１でカーボン棒Ｃを固定保持した状態で、カーボン棒Ｃ側をハンドル回転式鉛筆削り器９に挿入し、ハンドル回転式鉛筆削り器９のチャック部９２でカーボン棒ホルダー１を固定して、カーボン棒Ｃを円錐形に削る。

【0094】

次に、カーボン棒Ｃを真空カーボン蒸着装置に設置する。このとき、カーボン棒Ｃをカーボン棒ホルダー１から外し、カーボン棒Ｃの円錐形にした部分と、先端を削っていない断面が平らなカーボン棒Ｃを接触させて固定する。真空カーボン蒸着装置には、円錐形にしたカーボン棒Ｃを設置する側にバネが内蔵されており、カーボン棒Ｃの長さが６０ｍｍより短くなった場合でも、カーボン棒Ｃの円錐形にした部分と、先端を削っていない断面が平らなカーボン棒Ｃを接触させて固定することができる。カーボン蒸着を実施する毎に装置からカーボン棒Ｃを取り外し、カーボン棒ホルダー１でカーボン棒Ｃを保持し、ハンドル回転式鉛筆削り器９で円錐形に削る。

【0095】

この作業を繰返すと、徐々にカーボン棒Ｃが短くなる。カーボン棒Ｃの長さがこれ以上削れない長さになったら廃棄する。これ以上削れない長さとは、例えば３５ｍｍである。

【0096】

上記の使用方法により、カーボン棒Ｃの利用率を高め、経済的で、作業効率を向上させられる。

【0097】

本実施形態によれば、以下に示す１つまたは複数の効果を奏する。

【0098】

カーボン棒ホルダー１を使用するのは、例えば、電子顕微鏡で非導電性試料を観察する場合に、導電処理をするために使用するカーボン棒Ｃの使うことができなかった部分を有効利用し、蒸着回数または蒸着時間を増加させるためである。

【0099】

カーボン棒Ｃを用いてカーボン蒸着をする場合、カーボン棒Ｃの先端を鋭い円錐形にしなければ蒸着時に蒸着むらが生じてしまうが、ハンドル回転式鉛筆削り器９を用いて削ると容易に先端を鋭い円錐形にできる。しかし、ハンドル回転式鉛筆削り器９は、カーボン棒Ｃを固定するために、例えば、６０ｍｍの長さが必要であり、例えば、カーボン棒Ｃの長さは１００ｍｍなので、４０ｍｍしか使用できない。

【0100】

カーボン棒ホルダー１にカーボン棒Ｃを装着することにより、例えば、カーボン棒Ｃの長さが１００ｍｍであるのに対して、ハンドル回転式鉛筆削り器９では４０ｍｍの部分しか使用できなかったものを、６５ｍｍまでカーボン蒸着に使用できるようになる。

【0101】

従って、例えば、カーボン棒Ｃの長さが１００ｍｍであれば、カーボン棒ホルダー１を装着することにより１．６倍のカーボン蒸着ができるようになる。

【実施例0102】

以下、本発明を更に詳細な実施例に基づき説明するが、本発明は、これら実施例に限定されない。本実施例では図１～図３に記載の上記カーボン棒ホルダー１を使用した。カーボン棒Ｃの設置後を示すのが図４である。

【0103】

ＳＥＭ（日本電子（株）製 ＪＳＭ―７９００Ｆ）用試料台上に非導電性試料をカーボンテープで固定し、これを真空カーボン蒸着装置（日本電子（株）製 ＪＥＥ－４００）に入れカーボン蒸着を行った。使用したカーボン棒Ｃ（日本電子（株）製 ＣＡＲＢＯＮ ＲＯＤＳ：外径５ｍｍ、長さ１００ｍｍ）の先端を円錐形にするため、ハンドル回転式鉛筆削り器９（三菱鉛筆（株）製 ＫＨ－１８ １８００）を用いた。真空カーボン蒸着は、カーボン棒Ｃの先端を円錐形にした部分と、先端を削っていない断面が平らなカーボン棒Ｃを接触させて固定し、装置内を真空にしてから通電加熱をしてカーボン蒸着を実施した。カーボン棒Ｃは、使用の都度、先端を円錐形にする必要があるため、次第に長さが短くなった。

【0104】

長さが６０ｍｍになったカーボン棒Ｃをカーボン棒ホルダー１に取り付けた。使用したカーボン棒ホルダー１は、被せホルダー２と受けホルダー３の外半径が４ｍｍ、上部挿入部２１と下部挿入部３１の内径が５ｍｍ、上部挿入部２１と下部挿入部３１の長さが１５ｍｍ、貫通孔２２、２３の径が３．５ｍｍ、孔３２、３３にはＭ３の雌ネジが切られたものを使用した。貫通孔２２、２３、孔３２、３３はそれぞれ２ヶ所である。螺合手段としては、市販のＭ３の平ネジを使用し、後方側の貫通孔２２と孔３２の間のみに、外径８ｍｍ、内径４ｍｍ、厚さ０．５ｍｍの平ワッシャーを挟持した。被せホルダー２の平坦部７、８については、上端より１．５ｍｍ下がった位置に平坦面（Ｘ－Ｙ平面）が形成されたものを使用した。被せホルダー２と受けホルダー３とを平ネジで仮止めした後、長さが６０ｍｍになったカーボン棒Ｃの削っていない側をカーボン棒ホルダー１の開口４から空間内に５ｍｍ挿入し、平ネジを本締めしてカーボン棒ホルダー１にカーボン棒Ｃを保持した。

【0105】

カーボン棒ホルダー１に保持されたカーボン棒Ｃの先端を、ハンドル回転式鉛筆削り器９で円錐形にした。カーボン棒Ｃをカーボン棒ホルダー１から取り外し、前述と同様にカーボン棒Ｃの円錐形にした部分と先端を削っていない断面が平らなカーボン棒Ｃを接触させて固定し、装置内を真空にしてから通電加熱をしてカーボン蒸着を実施した。カーボン蒸着とハンドル回転式鉛筆削り器９によるカーボン棒Ｃの加工とを繰り返したところ、本実施例のカーボン棒ホルダー１を用いた場合、カーボン棒Ｃの長さが３５ｍｍになるまでカーボン棒Ｃを使用できた。

【符号の説明】

【0106】

１…カーボン棒ホルダー
２…被せホルダー
３…受けホルダー
４…開口
５…第１螺合手段（固定ネジ）
６…第２螺合手段（固定ネジ）
７…第１平坦部
８…第２平坦部
２１…上部挿入部
２２…（第１螺合手段に対応する上部挿入部の）貫通孔
２３…（第２螺合手段に対応する上部挿入部の）貫通孔
３１…下部挿入部
３２…（第１螺合手段に対応する下部挿入部の）孔
３３…（第２螺合手段に対応する下部挿入部の）孔
９…ハンドル回転式鉛筆削り器
９１…挿入孔
９２…チャック部
９３…削り刃
Ｃ…カーボン棒
Ｇ…隙間

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】