特開 2023-89545 導波管変換装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023089545

(43)【公開日】2023-06-28

(54)【発明の名称】導波管変換装置

(51)【国際特許分類】

   H01P 5/107 20060101AFI20230621BHJP

   H01P 5/12 20060101ALI20230621BHJP

   H01P 5/10 20060101ALI20230621BHJP

【ＦＩ】

H01P5/107 B

H01P5/12 Z

H01P5/10 E

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021204118

(22)【出願日】2021-12-16

【国等の委託研究の成果に係る記載事項】（出願人による申告）電波資源拡大のための研究開発（ＪＰＪ０００２５４）委託研究、産業技術力強化法第１７条の適用を受ける特許出願

(71)【出願人】

【識別番号】304021277

【氏名又は名称】国立大学法人 名古屋工業大学

(74)【代理人】

【識別番号】110000291

【氏名又は名称】弁理士法人コスモス国際特許商標事務所

(72)【発明者】

【氏名】榊原 久二男

(72)【発明者】

【氏名】ディアウオ アンリ アブ

(57)【要約】

【課題】積層基板と導波管との間での送受信の効率のよい導波管変換装置を提供すること。
【解決手段】本開示技術に係る導波管変換装置１は、積層基板２により構成され導波管の端部に取り付けられる装置であって、導電層４として、アンテナパターンを有するアンテナ層４０と、アンテナ層４０よりも導波管側に位置し、円環形状の第１リングウィンドウを有する第１リング層４１と、第１リング層４１よりも導波管側に位置し、第１リングウィンドウの外直径より小さく内直径より大きい直径の円形の第１ラウンドウィンドウが第１リングウィンドウと同心に配置されている第１ラウンド層４２と、第１ラウンド層４２よりも導波管側に位置し、第１ラウンドウィンドウの直径より大きい外径で第１リングウィンドウの内直径より小さい内直径の円環形状の第２リングウィンドウが第１リングウィンドウと同心に配置されている第２リング層４３とを有している。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

絶縁層と導電層とを積層してなる積層基板により構成され、導波路を有する導波管の端部に取り付けられて導波管内の電磁波と入出力信号との変換を行う導波管変換装置であって、前記導電層として、
導波路との間で電磁波の送信または受信を行うアンテナパターンおよび前記アンテナパターンとの間で信号の入出力を行う差動線路パターンを有するアンテナ層と、
前記アンテナ層よりも導波管側に位置し、円環形状の第１リングウィンドウを有する第１リング層と、
前記第１リング層よりも導波管側に位置し、前記第１リングウィンドウの外直径より小さく内直径より大きい直径の円形の第１ラウンドウィンドウが前記第１リングウィンドウと同心に配置されている第１ラウンド層と、
前記第１ラウンド層よりも導波管側に位置し、前記第１ラウンドウィンドウの直径より大きい外径で前記第１リングウィンドウの内直径より小さい内直径の円環形状の第２リングウィンドウが前記第１リングウィンドウと同心に配置されている第２リング層とを有する導波管変換装置。

【請求項2】

請求項１に記載の導波管変換装置であって、
複数枚の前記第２リング層を有する導波管変換装置。

【請求項3】

請求項１または請求項２に記載の導波管変換装置であって、前記導電層として、
前記第２リング層よりも導波管側に位置し、前記第２リングウィンドウの外直径より直径の円形の第２ラウンドウィンドウが前記第１リングウィンドウと同心に配置されている第２ラウンド層をさらに有する導波管変換装置。

【請求項4】

請求項１から請求項３までのいずれか１つに記載の導波管変換装置であって、前記導電層として、
最も導波管側に位置し、導波管の導波路の断面形状と同一の形状の最終ウィンドウが形成されている最終ウィンドウ層を有する導波管変換装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示技術は，導波管変換装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来から、電磁波の送信に中空導波管が使用されている。中空導波管においては、その両端における入出力装置との接続が問題となる。この点に関わる先行技術として、特許文献１、特許文献２に記載されているものを挙げることができる。これらの技術では、中空導波管の開口部を塞ぐように基板を配置している。ＩＣチップから基板の線路導体へワイヤを介して給電するようにしている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開2008-244877号公報

【0004】

【特許文献2】米国特許出願公開2020/0365971号明細書

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、前記した従来の技術には次のような問題点があった。積層基板と導波管との間での信号の変換効率がよくないのである。積層基板と導波管とでは構造が大きく異なるためである。このことは送受信のいずれの場合でも同様に問題となる。

【0006】

本開示技術は、前記した従来の技術が有する問題点を解決するためのものである。すなわちその課題とするところは、積層基板と導波管との間での送受信の効率のよい導波管変換装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本開示技術の一態様における導波管変換装置は、絶縁層と導電層とを積層してなる積層基板により構成され、導波路を有する導波管の端部に取り付けられて導波管内の電磁波と入出力信号との変換を行う装置であって、導電層として、導波路との間で電磁波の送信または受信を行うアンテナパターンおよびアンテナパターンとの間で信号の入出力を行う差動線路パターンを有するアンテナ層と、アンテナ層よりも導波管側に位置し、円環形状の第１リングウィンドウを有する第１リング層と、第１リング層よりも導波管側に位置し、第１リングウィンドウの外直径より小さく内直径より大きい直径の円形の第１ラウンドウィンドウが第１リングウィンドウと同心に配置されている第１ラウンド層と、第１ラウンド層よりも導波管側に位置し、第１ラウンドウィンドウの直径より大きい外径で第１リングウィンドウの内直径より小さい内直径の円環形状の第２リングウィンドウが第１リングウィンドウと同心に配置されている第２リング層とを有するものである。

【0008】

上記態様における導波管変換装置では、第１リングウィンドウおよび第１ラウンドウィンドウにより、アンテナ層と第１ラウンド層との間に、導波管側へ向かうほど狭くなる第１ビアホールが実質的に形成されている。また、第１ラウンドウィンドウおよび第２リングウィンドウにより、第１ラウンド層と導波管との間に、導波管側へ向かうほど広くなる第２ビアホールが実質的に形成されている。このため、積層基板と導波管との間での送受信の効率がよい。

【0009】

本明細書においては、導電層に形成されている円環形状のウィンドウを「リングウィンドウ」と呼び、円形のウィンドウを「ラウンドウィンドウ」と呼ぶ。各導電層には基本的に、リングウィンドウとラウンドウィンドウとのいずれか一方が互いに同心に形成されている。リングウィンドウが形成されている導電層を「リング層」と呼び、ラウンドウィンドウが形成されている導電層を「ラウンド層」と呼ぶ。

【0010】

アンテナ層から見てすぐ導波管側のリングウィンドウを「第１リングウィンドウ」と呼び、第１リングウィンドウを有するリング層を「第１リング層」（例えば図２の「４１」）と呼ぶ。アンテナ層と導波管とのほぼ中間辺りに位置するリングウィンドウを「第２リングウィンドウ」と呼び、第２リングウィンドウを有するリング層を「第２リング層」（例えば図２の「４３」、「４４」）と呼ぶ。第１リングウィンドウと第２リングウィンドウとの中間に位置するラウンドウィンドウを「第１ラウンドウィンドウ」と呼び、第１ラウンドウィンドウを有するラウンド層を「第１ラウンド層」（例えば図２の「４２」）と呼ぶ。

【0011】

上記態様における導波管変換装置では、複数枚の第２リング層を有することが望ましい。これにより、第２ビアホールの広がり具合を規定する機能と、第１ウィンドウ層から最も導波管側の第２リング層までの間隔を調整する機能とを分けることができる。複数枚の第２リング層のうちアンテナ層側のものを「第２リング第１層」（例えば図２の「４３」）と呼び、導波管側のものを「第２リング第２層」（例えば図２の「４４」）と呼ぶ。

【0012】

上記のいずれかの態様における導波管変換装置では、導電層として、第２リング層よりも導波管側に位置し、第２リングウィンドウの外直径より直径の円形の第２ラウンドウィンドウが第１リングウィンドウと同心に配置されている第２ラウンド層をさらに有することが望ましい。これにより、第２リング層から導波管までの間隔を調整することができる。第２リングウィンドウよりも導波管側にラウンドウィンドウがある場合、それを「第２ラウンドウィンドウ」と呼び、第２ラウンドウィンドウを有するラウンド層を「第２ラウンド層」（例えば図２の「４５」、「４６」）と呼ぶ。第２ラウンド層が複数ある場合、アンテナ層側から、「第２ラウンド第１層」、「第２ラウンド第１層」と呼ぶ。

【0013】

上記のいずれかの態様における導波管変換装置では、導電層として、最も導波管側に位置し、導波管の導波路の断面形状と同一の形状の最終ウィンドウが形成されている最終ウィンドウ層を有することが望ましい。これにより、積層基板と導波管との接合がしやすい。

【発明の効果】

【0014】

本構成によれば、積層基板と導波管との間での送受信の効率のよい導波管変換装置が提供されている。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】実施の形態に係る導波管変換装置の斜視図である。

【図2】実施の形態の導波管変換装置における積層基板の構成を示す分解斜視図である。

【図3】導電層の１つであるアンテナ層を示す平面図である。

【図4】導電層の１つである第１リング層を示す平面図である。

【図5】導電層の１つである第１ラウンド層を示す平面図である。

【図6】導電層の１つである第２リング第１層を示す平面図である。

【図7】導電層の１つである第２リング第２層を示す平面図である。

【図8】導電層の１つである第２ラウンド第１層および第２ラウンド第２層を示す平面図である。

【図9】導電層の１つである最終ウィンドウ層を示す平面図である。

【図10】実施の形態に係る導波管変換装置の断面図である。

【図11】実施の形態に係る導波管変換装置の伝送特性を示すグラフである。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、本開示技術を具体化した実施の形態について、添付図面を参照しつつ詳細に説明する。図１に、本形態に係る導波管変換装置１を示す。導波管変換装置１は、積層基板２により構成されている。積層基板２は、絶縁層３と導電層４とを積層してなるものである。導波管変換装置１は、導波管５に取り付けられるものである。導波管５の内部には導波路６が形成されている。導波路６は、断面形状が矩形とされており、本形態では中空とされている。導波管変換装置１を構成する積層基板２には、導電層４のうちの１つにおける導体パターンとして、アンテナパターン７が含まれている。導波管変換装置１では、アンテナパターン７により、導波路６への電磁波の送信および導波路６からの電磁波の受信を行うことができる。本明細書で「導波管変換装置」とは、導波管５の導波路６内の電磁波と、積層基板２への入出力信号との変換を行う装置をいう。

【0017】

積層基板２に含まれる導電層４について説明する。本形態では図２に示すように、各導電層４がそれぞれ異なる導体パターンを有している。図２では理解の容易のため、積層基板２の各導電層４を互いに間隔を開けた状態で示している。本形態では、積層基板２中に８層の導電層４が存在する。８層の導電層４を区別して、図２中の上のものから順に、４０、４１、４２、４３、４４、４５、４６、４７の符号で示す。以下、上のものから順に説明する。

【0018】

図３に示すのは、積層基板２中で最も導波管５から遠い位置にある導電層４であるアンテナ層４０である。アンテナ層４０は、アンテナパターン７を含む導電層４である。アンテナ層４０は、一対のアンテナパターン７と一対の入出力線パターン１０とを有している。アンテナパターン７は、導波路６との間で電磁波の送信または受信を行うパターンである。入出力線パターン１０は、差動線路を構成しており、アンテナパターン７との間で信号の入出力を行うパターンである。一方のアンテナパターン７と一方の入出力線パターン１０とが繋がっており、もう一方のアンテナパターン７ともう一方の入出力線パターン１０とが繋がっている。

【0019】

アンテナ層４０はさらに、外郭パターン８０を有している。外郭パターン８０は、アンテナ層４０のうちアンテナパターン７および入出力線パターン１０以外の大部分を占めている。ただしアンテナパターン７および入出力線パターン１０は、絶縁部１３により外郭パターン８０から分離されている。

【0020】

図４に示すのは、積層基板２中でアンテナ層４０のすぐ導波管５側に隣接して位置する導電層４である第１リング層４１である。第１リング層４１は、外郭パターン８１と、アイランドパターン９１とを有している。第１リング層４１においては、外郭パターン８１とアイランドパターン９１との間に円環形状の絶縁部である第１リングウィンドウ１３１が形成されている。第１リングウィンドウ１３１により外郭パターン８１とアイランドパターン９１とは分離されている。第１リングウィンドウ１３１の外周および内周は同心円形状をなしている。

【0021】

図５に示すのは、第１リング層４１の導波管５側に隣接して位置する導電層４である第１ラウンド層４２である。第１ラウンド層４２は、外郭パターン８２と、円形の絶縁部である第１ラウンドウィンドウ１３２とを有している。

【0022】

図６に示すのは、第１ラウンド層４２の導波管５側に隣接して位置する導電層４である第２リング第１層４３である。第２リング第１層４３は、外郭パターン８３と、アイランドパターン９２とを有している。第２リング第１層４３においては、外郭パターン８３とアイランドパターン９２との間に円環形状の絶縁部である第２リング第１ウィンドウ１３３が形成されている。第２リング第１ウィンドウ１３３により外郭パターン８３とアイランドパターン９２とは分離されている。第２リング第１ウィンドウ１３３の外周および内周は同心円形状をなしている。

【0023】

図７に示すのは、第２リング第１層４３の導波管５側に隣接して位置する導電層４である第２リング第２層４４である。第２リング第２層４４は、外郭パターン８４と、アイランドパターン９４とを有している。第２リング第２層４４においては、外郭パターン８４とアイランドパターン９４との間に円環形状の絶縁部である第２リング第２ウィンドウ１３４が形成されている。第２リング第２ウィンドウ１３４により外郭パターン８４とアイランドパターン９４とは分離されている。第２リング第２ウィンドウ１３４の外周および内周は同心円形状をなしている。第２リング第１層４３と第２リング第２層４４とはいずれも、第２リング層に相当する。

【0024】

図８に示すのは、第２リング第２層４４の導波管５側に隣接して位置する導電層４である第２ラウンド第１層４５である。第２ラウンド第１層４５は、外郭パターン８５と、円形の絶縁部である第２ラウンドウィンドウ１３５とを有している。第２ラウンド第１層４５の導波管５側に隣接して位置する導電層４である第２ラウンド第２層４６も、第２ラウンド第１層４５のパターンと同様のパターンを有している。第２ラウンド第１層４５と第２ラウンド第２層４６とはいずれも、第２ラウンド層に相当する。

【0025】

図９に示すのは、積層基板２中で最も導波管５寄りに位置する導電層４である最終ウィンドウ層４７である。最終ウィンドウ層４７は、外郭パターン８７と、長方形の絶縁部である最終ウィンドウ１３７とを有している。最終ウィンドウ１３７の長辺長Ｌおよび短辺長Ｗは、導波路６の断面形状のサイズと同じである。

【0026】

上記各導電層４中の第１リングウィンドウ１３１（図４）、第１ラウンドウィンドウ１３２（図５）、第２リング第１ウィンドウ１３３（図６）、第２リング第２ウィンドウ１３４（図７）、第２ラウンドウィンドウ１３５（図８）の相互関係を説明する。これらの円形のウィンドウはすべて、同軸上に位置している。

【0027】

サイズに関しては、次の各関係が成り立つ。
Ｒ２ ＜ Ｒ３ ＜ Ｒ１
Ｒ５ ＜ Ｒ３ ＜ Ｒ４
Ｒ７ ＜ Ｒ３ ＜ Ｒ６
Ｒ７ ＜ Ｒ５ ＜ Ｒ２
Ｒ４ ≦ Ｒ６
Ｒ４ ＜ Ｒ８
Ｒ６ ≦ Ｒ８

【0028】

上記における各記号の意味は次の通りである。
Ｒ１：第１リングウィンドウ１３１の外直径
Ｒ２：第１リングウィンドウ１３１の内直径
Ｒ３：第１ラウンドウィンドウ１３２の直径
Ｒ４：第２リング第１ウィンドウ１３３の外直径
Ｒ５：第２リング第１ウィンドウ１３３の内直径
Ｒ６：第２リング第２ウィンドウ１３４の外直径
Ｒ７：第２リング第２ウィンドウ１３４の内直径
Ｒ８：第２ラウンドウィンドウ１３５の直径

【0029】

図３～図８には、最終ウィンドウ１３７（図９）に相当する長方形を破線で書き加えている。積層基板２において図３～図９の各導電層４は、これらの長方形１３７同士がちょうど重なり合うように積層されている。これらの長方形１３７の位置は、導波路６の断面形状の長方形とも重なり合うように配置されている。つまり、図４～図８の各円形のウィンドウは、導波路６の断面形状の中心に対しても同軸に配置されている。図３～図９の各導電層４には、外郭パターン８０～８７同士を接続するスルーホール１２も形成されている。

【0030】

図１０に、本形態に係る導波管変換装置１の断面構造を示す。図１０中には、計７層の絶縁層３が現れている。このうち厚み方向の中央のもの（第２リング第１層４３と第２リング第２層４４との間のもの）が他の絶縁層３より厚く描かれている。他より厚いこの絶縁層３は、積層基板２の機械的強度のためのコア層であり、約１００μｍ前後の厚さのものである。それ以外の薄めの絶縁層３は、プリプレグを積層したものであり、それぞれ数十μｍ程度の厚さのものである。プリプレグ絶縁層３の層数は、コア絶縁層３の両面で同数となっている。

【0031】

図１０の導波管変換装置１における積層基板２の内部では、上記図４の第１リング層４１から図８の第２ラウンド第２層４６までの各円形のウィンドウにより、図１０中に破線で示すようなテーパ型ビアホールが実質的に形成されている。第１ラウンド層４２よりもアンテナ層４０側の第１ビアホール１４は、導波管５側へ向かうほど狭くなっている。第１ラウンド層４２よりも導波管５側の第２ビアホール１５は、導波管５側へ向かうほど広くなっている。

【0032】

積層基板２では、特定の導電層４間の間隔を、送受信しようとする電磁波の波長との関係で設定することが望ましい。図１０に示した例は、第１ラウンド層４２と第２リング第２層４４との間隔Ｔ１と、第２リング第２層４４との最終ウィンドウ層４７との間隔Ｔ２とをいずれも、送受信しようとする電磁波の波長λの４分の１に設定した例である。このようにすることで導波管変換装置１は、当該波長の電磁波に対してより優れた伝送特性を発揮することができる。第１ラウンド層４２は、第２ビアホール１５の起点としての意味を有する。第２リング第２層４４、つまり複数の第２リング層のうち最も導波管５寄りのものは、第２ビアホール１５の広がり具合を規定する意味を有する。

【0033】

間隔Ｔ１、間隔Ｔ２は、積層基板２の設計時に、導電層４の枚数あるいは絶縁層３の厚さにより調整することができる。図１０に示した例は、間隔Ｔ１および間隔Ｔ２を、コア絶縁層３に対する各導電層４の配置、第２ラウンド層（４５、４６）の枚数により調整したものである。これは調整の仕方の一例である。間隔Ｔ１、Ｔ２については、絶縁層３の厚さや第２リング層の枚数、第２ラウンド層の枚数等により多様な調整の仕方がある。

【0034】

図１１に、本形態の導波管変換装置１の伝送特性のグラフを示す。図１１には、透過特性と反射特性との２通りの伝送特性が示されている。透過特性とは、アンテナパターン７と導波路６との間での信号の透過のしやすさに関する指標である。送信時でいえば、入出力線パターン１０からアンテナパターン７に入力した信号に対する、導波路６へ放射された信号の比率である。受信時でいえば、導波路６内の信号に対する、アンテナパターン７が取得した信号の比率である。反射特性とは、積層基板２の第１ビアホール１４、第２ビアホール１５の部分と導波路６との間での反射により信号が失われる程度を示す指標である。透過特性と相補的な関係となる。

【0035】

図１１のグラフの横軸は、電磁波の周波数である。縦軸は、透過特性および反射特性である。透過特性はグラフ中の上方ほど、反射特性は下方ほど、損失が少なく優れていることを意味する。図１１中の実線が反射特性のグラフで破線が透過特性のグラフである。実線の反射特性のグラフを見ると、矢印Ｗで示す広い帯域幅（約１００ＧＨｚ）にわたって損失成分が－１０ｄＢ以下であることが分かる。この領域内では透過特性も－４ｄＢ程度と良好である。

【0036】

導波管変換装置１の伝送特性についてさらに述べる。積層基板２中のリングウィンドウにおいては、その１周の長さと一致する波長の電磁波に対して共振を起こす性質がある。本形態では３つのリングウィンドウ（１３１、１３３、１３４）を備えていることから、図１１の反射特性中に３箇所の落ち込み箇所（３重共振）が見られる。これらは、その周波数では共振により反射損失が少ないことを意味している。このように複数の共振周波数があることで、帯域幅Ｗの全体としての伝送特性の向上に貢献している。

【0037】

さらに本形態では、３つのリングウィンドウ（１３１、１３３、１３４）のうち最もアンテナパターン７に近い第１リングウィンドウ１３１を、比較的大径でかつ幅の狭い形状としている。そして、各リングウィドウの外直径（Ｒ１、Ｒ４、Ｒ６）をほぼ同じとしつつ、導波管５に近いものほど内直径（Ｒ２、Ｒ５、Ｒ７）が小さくなる設定としている。この設定により、第１リングウィンドウ１３１から導波管５に向かって徐々に内直径の影響が小さくなり導波管５に繋がる物理構造としている。また、３つのリングウィンドウ（１３１、１３３、１３４）間の厚み方向の間隔があまり大きくは異ならないようにしている。これにより３重共振を実現させつつ、特性の急峻な変化を避け、広い帯域幅Ｗで良好な伝送特性が得られるようにしている。このように本形態では，前述の構造により優れた伝送特性を有している。むろん前述の、間隔Ｔ１、Ｔ２と４分の１波長との関係もこれに貢献している。

【0038】

以上詳細に説明したように本実施の形態の導波管変換装置１では、積層基板２におけるアンテナ層４０よりも導波管５側の導電層４１～４７のパターンにより、第１リングウィンドウ１３１、第１ラウンドウィンドウ１３２、第２リング第１ウィンドウ１３３、第２リング第２ウィンドウ１３４、第２ラウンドウィンドウ１３５を有している。これにより、積層基板２内に実質的にテーパ型ビアホールが形成されるようにしている。この構成により、送受信の効率のよい導波管変換装置を実現している。

【0039】

本実施の形態は単なる例示にすぎず、本発明を何ら限定するものではない。したがって本発明は当然に、その要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能である。例えば、アンテナ層４０におけるアンテナパターン７の形状について、図３中では左右から同一直線上にて向き合う形としているが、別の形状でもよい。例えば、左右のアンテナパターン７間に角度が付いている形状が考えられる。また、両アンテナパターン７間の間隔は、種々変更可能である。

【0040】

本実施の形態では、第１リング層、第１ラウンド層、第２リング層、第２ラウンド層の枚数を、１枚、１枚、２枚、２枚としたが、これらの層の枚数はこの通りでなくてもよい。第２ラウンド層４５、４６および最終ウィンドウ層４７は必須のものではない。ただし第２ラウンド層が存在することにより、前述の間隔Ｔ２の調整がしやすい。最終ウィンドウ層４７が存在することにより、積層基板２と導波管５との接合がしやすい。最終ウィンドウ層４７が存在しない場合における間隔Ｔ２は、第２リング層（複数枚の場合は最も導波管５寄りのもの）と導波管５の先端との間隔とする。

【符号の説明】

【0041】

１ 導波管変換装置 ４ 導電層
２ 積層基板 ５ 導波管
３ 絶縁層 ６ 導波路
７ アンテナパターン ４６ 第２ラウンド第２層
１０ 入出力線パターン １３１ 第１リングウィンドウ
４０ アンテナ層 １３２ 第１ラウンドウィンドウ
４１ 第１リング層 １３３ 第２リング第１ウィンドウ
４２ 第ラウンド層 １３４ 第２リング第２ウィンドウ
４３ 第２リング第１層 １３５ 第２ラウンドウィンドウ
４４ 第２リング第２層 １３７ 最終ウィンドウ
４５ 第２ラウンド第１層

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】