特開2023-93004真空蒸着装置、自転角度判定方法及び被蒸着物の製造方法

発明の名称　真空蒸着装置、自転角度判定方法及び被蒸着物の製造方法

出願人　株式会社アルバック　（識別番号 231464）

　　　　特許公開件数ランキング 753 位（30件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 512 位（45件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-93004

公報発行日　2023年7月4

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-93004

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