特開2023-96896絶縁膜形成装置用トレー、絶縁膜形成装置および絶縁膜形成方法

発明の名称　絶縁膜形成装置用トレー、絶縁膜形成装置および絶縁膜形成方法

出願人　株式会社ＳＵＭＣＯ　（識別番号 302006854）

　　　　特許公開件数ランキング 666 位（35件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 367 位（67件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-96896

公報発行日　2023年7月7

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-96896

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