特開 2024-101738 スピンナ洗浄ユニット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024101738

(43)【公開日】2024-07-30

(54)【発明の名称】スピンナ洗浄ユニット

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/304 20060101AFI20240723BHJP

【ＦＩ】

H01L21/304 643A

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023005838

(22)【出願日】2023-01-18

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110001014

【氏名又は名称】弁理士法人東京アルパ特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】小木 智史

【テーマコード（参考）】

5F157

【Ｆターム（参考）】

5F157AA99

5F157AB02

5F157AB14

5F157AB33

5F157AB90

5F157CF16

5F157CF32

5F157DB02

5F157DB46

(57)【要約】

【課題】スピンナ洗浄ユニットにおける洗浄時間を短縮する。
【解決手段】スピンナテーブル２０の上方のケース２９の天板２９５に取込口２９６を設けるとともに、スピンナテーブル２０の下方のケース２９の底板２９２に、吸引源８０に連結された吸引口２９７を有している。このため、ウェーハ１００の洗浄中に、取込口２９６から吸引口２９７へと下方向に向かう気流によって、洗浄液の噴霧を含む流体を吸引口２９７に導いて、ケース２９から迅速に排出することができる。したがって、発生した洗浄液の噴霧がケース２９内に飛散すること、この噴霧が洗浄後のウェーハ１００に付着すること、および、噴霧がケース２９内に滞留することを、良好に抑制することが可能である。このため、ウェーハ１００の洗浄時間を短縮することができる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ウェーハを洗浄するスピンナ洗浄ユニットであって、
ウェーハを保持するスピンナテーブルと、
該スピンナテーブルを回転させる回転機構と、
該スピンナテーブルに保持されたウェーハに洗浄液を噴射する洗浄液ノズルと、
該スピンナテーブルを収容するケースと、
該ケース内で該スピンナテーブルの外周を囲む筒状の飛散防止カバーと、
該飛散防止カバーの内側で該スピンナテーブルの下方に配置され、流体を吸引する吸引口と、
該ケースの天井における該スピンナテーブルの直上に配置され、ケース内に外気を取り込むための取込口と、を備える、
スピンナ洗浄ユニット。

【請求項2】

該吸引口は、複数配置されており、
複数の該吸引口は、該スピンナテーブルの中心を中心とする円に沿って等間隔に配置されている、
請求項１記載のスピンナ洗浄ユニット。

【請求項3】

複数の該吸引口と吸引源との間に配設され、該吸引口によって吸引された流体を合流させる合流部をさらに備え、
該吸引口は、気体と洗浄液とを吸引し、
該合流部は、気液分離機構を備える、
請求項２記載のスピンナ洗浄ユニット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、スピンナ洗浄ユニットに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１および２に開示のように、ウェーハを洗浄するスピンナ洗浄ユニットは、ウェーハを保持したスピンナテーブルを回転させ、ウェーハに洗浄液を噴射して洗浄を実施している。そのため、スピンナテーブルの回転による遠心力を受けた洗浄液が、スピンナテーブルから外に飛散して噴霧になる。この噴霧が洗浄後のウェーハに付着して、ウェーハの洗浄が不十分になることがある。

【0003】

そのため、特許文献３および４に開示のように、スピンナ洗浄ユニットは、テーブルを収容するケースと、ケース内の空気を吸引する吸引口と、ケースに外気を取り込む取込口とを備えて、ケース内に気流を形成している。そして、この気流によって、洗浄液の噴霧をケース内から排出している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０２２－０３４７１９号公報

【特許文献2】特開２０１７－２２４７４９号公報

【特許文献3】特開２０１９－１９２８５３号公報

【特許文献4】特開２０１９－１８６４９７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかし、洗浄後にもケースの角などに噴霧が滞留しているため、すべての噴霧がケース内から排出されるのを待ってから、ケースを開け、洗浄したウェーハをケース内から取り出している。そのため、スピンナ洗浄ユニットからウェーハを取り出すまでに時間がかかり、スピンナ洗浄ユニットにおける洗浄時間が長くなる。

【0006】

したがって、本発明の目的は、スピンナ洗浄ユニットにおける洗浄時間を短縮することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明のスピンナ洗浄ユニット（本スピンナ洗浄ユニット）は、ウェーハを洗浄するスピンナ洗浄ユニットであって、ウェーハを保持するスピンナテーブルと、該スピンナテーブルを回転させる回転機構と、該スピンナテーブルに保持されたウェーハに洗浄液を噴射する洗浄液ノズルと、該スピンナテーブルを収容するケースと、該ケース内で該スピンナテーブルの外周を囲む筒状の飛散防止カバーと、該飛散防止カバーの内側で該スピンナテーブルの下方に配置され、流体を吸引する吸引口と、該ケースの天井における該スピンナテーブルの直上に配置され、ケース内に外気を取り込むための取込口と、を備える。

【0008】

本スピンナ洗浄ユニットでは、該吸引口は、複数配置されていてもよく、複数の該吸引口は、該スピンナテーブルの中心を中心とする円に沿って等間隔に配置されていてもよい。

【0009】

本スピンナ洗浄ユニットは、複数の該吸引口と吸引源との間に配設され、該吸引口によって吸引された流体を合流させる合流部をさらに備えてもよく、該吸引口は、気体と洗浄液とを吸引してもよく、該合流部は、気液分離機構を備えてもよい。

【発明の効果】

【0010】

本スピンナ洗浄ユニットでは、スピンナテーブルの上方に取込口を配置するとともに、スピンナテーブルの下方に吸引口を配置している。このため、ウェーハの洗浄中に、取込口から吸引口へと下方向に向かう気流によって、洗浄液の噴霧を含む流体を吸引口に導いて、ケースから迅速に排出することができる。したがって、発生した洗浄液の噴霧がケース内に飛散すること、この噴霧が洗浄後のウェーハに付着すること、および、噴霧がケース内に滞留することを、良好に抑制することが可能である。このため、ウェーハの洗浄時間を短縮することができる。

【0011】

さらに、本スピンナ洗浄ユニットでは、吸引口が、飛散防止カバーの内側に設けられている。このため、飛散防止カバーの内側で受け止められた洗浄液の噴霧を、吸引口に向かって良好に導くことができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】スピンナ洗浄ユニットの構成を示す説明図である。

【図2】クランプ部材および仮置き部の配置状態を示す説明図である。

【図3】クランプ部材の構成を示す説明図である。

【図4】合流部の構成を示す斜視図である。

【図5】気液分離機構の構成を示す説明図である。

【図6】スピンナ洗浄ユニットの構成を示す説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

図１に示すスピンナ洗浄ユニット１は、ウェーハ１００を洗浄する装置である。スピンナ洗浄ユニット１は、たとえば、研削ユニットや切削ユニットなどの加工ユニットによって加工されたウェーハ１００を洗浄して加工屑を除去するために用いられる。

【0014】

スピンナ洗浄ユニット１は、略円板状のウェーハ１００を保持するスピンナテーブル２０を備えている。また、図２に示すように、スピンナ洗浄ユニット１は、スピンナテーブル２０の外周側に、ウェーハ１００が仮置きされる３つの仮置き部２２と、３つのクランプ部材２１とを有している。クランプ部材２１は、仮置き部２２に仮置きされたウェーハ１００の外周をクランプして保持するためのものである。
なお、仮置き部２２およびクランプ部材２１は、各々３つ以上を有していてもよい。

【0015】

クランプ部材２１は、図２に示すように、スピンナテーブル２０の周方向に沿って等間隔に配設されている。また、仮置き部２２は、隣り合うクランプ部材２１の中間に配設されており、スピンナテーブル２０の上面から上方に突出している。なお、図１は、図２に示したＡＡ線矢視断面図である。

【0016】

クランプ部材２１は、図３に示すように、スピンナテーブル２０に固定されたベース部２６と、クランプアーム２７とを備えている。クランプアーム２７の上端部には、ウェーハ１００の外周をクランプする部分である保持部２７１が形成されている。

【0017】

クランプアーム２７は、ベース部２６によって、軸部２６０を中心として回転することが可能なように支持されている。そして、クランプアーム２７は、クランプアーム２７とベース部２６との間に設けられたバネ部２８により、保持部２７１がウェーハ１００を保持できるように、矢印５０１によって示す方向に付勢されている。

【0018】

また、クランプアーム２７の下方には、外周側に突出している作用部２７２が形成されている。作用部２７２が下方に向けて押し下げられることにより、クランプアーム２７は、保持部２７１がウェーハ１００から離れるように、矢印５０２によって示す方向に回転される。

【0019】

また、図１に示すように、スピンナ洗浄ユニット１は、スピンナテーブル２０の上方に、スピンナテーブル２０に保持されたウェーハ１００に洗浄液を噴射する第１洗浄液ノズル４１を有している。第１洗浄液ノズル４１は、洗浄液を貯留している第１タンク４０に連結されており、第１タンク４０からの洗浄液を下方に向けて噴出するように構成されている。

【0020】

また、スピンナ洗浄ユニット１は、スピンナテーブル２０の下方に、スピンナテーブル２０を回転させる回転機構３を有している。回転機構３は、回転シャフト３０およびモータ３１を有している。回転シャフト３０は、スピンナテーブル２０の下面の中心に連結されており、Ｚ軸方向（鉛直方向）に延びている。モータ３１は、回転シャフト３０の下端に連結されている。回転機構３では、モータ３１が回転シャフト３０を回転させることにより、スピンナテーブル２０を回転駆動する。なお、モータ３１には、電源３１０およびエンコーダ３１１が接続されている。

【0021】

回転シャフト３０の内部には、洗浄液を通すための液路３００が形成されている。液路３００の下端には、液体導入口３０１が連結されている。この液体導入口３０１には、洗浄液を貯留している第２タンク３０５が連結されている。さらに、液路３００の上端には、スピンナテーブル２０の中心から上方に開口されている第２洗浄ノズル２００が設けられている。第２洗浄ノズル２００は、液体導入口３０１および液路３００を介して供給された第２タンク３０５からの洗浄液を、上方に向けて噴射するように構成されている。

【0022】

また、スピンナ洗浄ユニット１は、ケース２９内でスピンナテーブル２０の外周を囲む筒状の飛散防止カバー５を備えている。飛散防止カバー５は、昇降ガイド２４に固定される被固定部５１と、被固定部５１に設けられたカバー部材としての飛散防止部５０とを備えている。

【0023】

飛散防止部５０は、スピンナテーブル２０を外周側から囲繞する円筒状に形成されており、内周側に向けて上昇する傾斜を有している。飛散防止部５０の先端には、飛散防止カバー５が下降した際にクランプアーム２７の作用部２７２（図３参照）を押し下げる押下げ部５２が形成されている。

【0024】

また、図１に示すように、スピンナ洗浄ユニット１は、スピンナテーブル２０を収容するとともに、スピンナテーブル２０を支持するケース２９を備えている。ケース２９は、円形に立設された内周壁２９０および外周壁２９１と、外周壁２９１の上端側を塞ぐ円板状の天板２９５と、内周壁２９０の下端と外周壁２９１の下端とを連結するリング状の底板２９２と、を有している。内周壁２９０と外周壁２９１と底板２９２とによって囲まれた空間は、凹部２９３を形成している。

【0025】

内周壁２９０の上端には、スピンナテーブル２０を回転可能に下方から支持する支持台２９８が設けられている。

【0026】

ケース２９は、外周壁２９１に、ケース２９内に対してウェーハ１００を搬入および搬出するための開口部９０を備えている。さらに、ケース２９は、外周壁２９１における開口部９０の近傍に、開口部９０を閉じるためのカバー９１、および、カバー９１を駆動して開口部９０を開閉するための開閉機構９２を備えている。

【0027】

ケース２９の天井となる天板２９５の中央には、取込口２９６が設けられている。取込口２９６は、ケース２９の天板２９５におけるスピンナテーブル２０の直上に配置されている。取込口２９６は、たとえばフィルタ状の構造を有しており、ケース２９内に外気を取り込むために用いられる。
なお、取込口２９６には、ＨＥＰＡフィルタまたはＵＬＰＡフィルタを配置してもよい。

【0028】

ケース２９の底板２９２には、昇降ガイド２４が貫通している。昇降ガイド２４の上端には、飛散防止カバー５の被固定部５１が固定されている。一方、昇降ガイド２４の下端には、昇降板２３が連結されている。昇降板２３には、昇降機構６が連結されている。昇降機構６は、昇降板２３に連結されたロッド６０と、ロッド６０を昇降させるシリンダ６１とを有する。昇降板２３は、この昇降機構６によって、Ｚ軸方向に沿って昇降されることが可能となっている。

【0029】

本実施形態では、昇降機構６が昇降板２３を昇降させることにより、昇降板２３に連結された昇降ガイド２４、および、昇降ガイド２４の上端に固定された飛散防止カバー５が、Ｚ軸方向に沿って昇降する。

【0030】

また、スピンナ洗浄ユニット１は、ケース２９の底板２９２に、吸引口２９７を有している。吸引口２９７は、底板２９２における、飛散防止カバー５の内側であってスピンナテーブル２０の下方となる位置に配置されている。吸引口２９７は、ケース２９内の流体としての気体（空気および洗浄液の噴霧を含む）と洗浄液（液体）とを吸引するために用いられる。本実施形態では、ケース２９内の気体は、洗浄液の噴霧を含み、吸引口２９７に連通された吸引源８０の吸引力によって、吸引口２９７からケース２９の外部に排出される。また、ケース２９内の洗浄液は、自重によって、吸引口２９７からケース２９の外部に排出される。

【0031】

本実施形態では、３つの吸引口２９７が飛散防止カバー５の内側で底板２９２に配置されている。３つの吸引口２９７は、スピンナテーブル２０の中心を中心とする円に沿って、底板２９２に等間隔に配置されている（図２参照）。
また、図２に示すように、吸引口２９７の中心は、飛散防止カバー５の内周とスピンナテーブル２０の外周との間の直下になるように配置されているとよい。

【0032】

本実施形態では、これら３つの吸引口２９７は、合流部７０を介して吸引源８０に連結されている。合流部７０は、複数の吸引口２９７と吸引源８０との間に配設され、３つの吸引口２９７によって吸引された気体と洗浄液とを合流させるために用いられる。

【0033】

合流部７０は、図４に示すように、３本の吸引管７１、これら３本の吸引管７１の下端に連結された筐状の本体部７２、および、本体部７２の下流側の気液分離機構７３を有している。３本の吸引管７１は、３つの吸引口２９７のそれぞれに連結されており、吸引口２９７から排出された流体の流路となっている。すなわち、３つの吸引口２９７から排出された流体は、３本の吸引管７１を介して本体部７２に導入されて合流され、その後、気液分離機構７３に導入される。

【0034】

気液分離機構７３は、図５に示すように、主通路７４、主通路７４よりも上側に配置されて吸引源８０に連結されている気体通路７５、および、主通路７４よりも下側に配置されている液体通路７６を有している。

【0035】

気液分離機構７３では、本体部７２から導入された気体と洗浄液は、吸引源８０の吸引力によって主通路７４を流れる。そして、気体は、図５に矢印５０５によって示すように、吸引源８０に連結されている上側の気体通路７５に導入される。一方、洗浄液は、矢印５０６によって示すように、自重のために主通路７４の底部を流れており、そのまま液体通路７６に導入される。洗浄液は、たとえば、液体通路７６に連結されている洗浄液回収装置８１によって回収される。

【0036】

また、スピンナ洗浄ユニット１は、その内部に、スピンナ洗浄ユニット１の制御のための制御部７を有している（図１参照）。制御部７は、制御プログラムに従って演算処理を行うＣＰＵ、および、メモリ等の記憶媒体等を備えている。制御部７は、各種の処理を実行し、スピンナ洗浄ユニット１の各構成要素を統括制御する。たとえば、制御部７は、スピンナ洗浄ユニット１の上述した各構成要素を制御して、ウェーハ１００に対する洗浄を実行する。

【0037】

以下に、制御部７によって制御されるスピンナ洗浄ユニット１における洗浄動作について説明する。

【0038】

（１）搬入工程
この工程では、制御部７は、ケース２９内のスピンナテーブル２０に、洗浄対象のウェーハ１００を搬入する。具体的には、制御部７は、まず、図６に示すように、昇降機構６を用いて、昇降板２３、昇降ガイド２４および飛散防止カバー５を下降させる。これにより、図３に示すように、飛散防止カバー５における飛散防止部５０の押下げ部５２が、クランプアーム２７の作用部２７２を押し下げる。このため、クランプアーム２７が、矢印５０２によって示す方向に回転されて、スピンナテーブル２０のクランプ部材２１が開いた状態となる。

【0039】

次に、制御部７は、図６に示すように、開閉機構９２によってカバー９１を駆動することにより、開口部９０を開放する。そして、制御部７は、洗浄対象のウェーハ１００を搬送ロボット９５を用いて保持し、開口部９０を介してケース２９内に搬送ロボット９５を進入させて、スピンナテーブル２０の仮置き部２２上にウェーハ１００を載置する。

【0040】

その後、制御部７は、搬送ロボット９５をケース２９の外部に出し、図１に示すように、開閉機構９２によってカバー９１を駆動することにより、開口部９０を閉じる。そして、制御部７は、昇降機構６を用いて、昇降板２３、昇降ガイド２４および飛散防止カバー５を上昇させる。これにより、飛散防止カバー５における飛散防止部５０の押下げ部５２が、クランプアーム２７の作用部２７２から離れて、圧縮ばねであるバネ部２８の反発力によって、軸部２６０を軸にクランプアーム２７が矢印５０１によって示す方向に回転されて（図３参照）、クランプ部材２１が閉じた状態となる。その結果、スピンナテーブル２０の仮置き部２２に載置されていたウェーハ１００が、クランプアーム２７の保持部２７１によって保持される。このようにして、ウェーハ１００が、スピンナテーブル２０によって保持される。

【0041】

（２）洗浄工程
次に、制御部７は、回転機構３におけるモータ３１を用いて回転シャフト３０を回転させることにより、ウェーハ１００を保持しているスピンナテーブル２０を、所定の回転速度で回転させる。さらに、制御部７は、第１洗浄液ノズル４１および第２洗浄ノズル２００から、スピンナテーブル２０に保持されているウェーハ１００の上面および下面に向けて洗浄液を噴射する。これにより、ウェーハ１００の両面が洗浄される。なお、ウェーハ１００を洗浄するための洗浄液としては、たとえば、薬液（酸性あるいはアルカリ性の洗浄液）や純水を用いることができる。

【0042】

この洗浄工程では、スピンナテーブル２０とともに回転するウェーハ１００に洗浄液が噴射されることにより、洗浄液にスピンナテーブル２０の遠心力が付与され、洗浄液がウェーハ１００から外に飛散する。そして、スピンナ洗浄ユニット１では、この飛散した洗浄液の噴霧は、飛散防止カバー５の飛散防止部５０によって受けとめられる。

【0043】

また、この洗浄工程では、制御部７は、合流部７０を介して吸引口２９７に連結されている吸引源８０を駆動する。これにより、ケース２９の天板２９５の中央に設けられた取込口２９６から、飛散防止カバー５の内側の下方の底板２９２に設けられた吸引口２９７に向かって、図１に矢印５０８によって示すような、上から下に向かう気流が発生する。このため、飛散防止カバー５の飛散防止部５０よって受けとめられた噴霧を含む気体が、その下方の吸引口２９７に導かれる。また、スピンナテーブル２０に保持されたウェーハ１００から流下する洗浄液は、自重によって吸引口２９７に導かれる。そして、これらの気体および洗浄液は、合流部７０に導入される。合流部７０に導入された気体と洗浄液は、合流部７０の気液分離機構７３によって気体と洗浄液とに分離されて回収される。

【0044】

（３）搬出工程
ウェーハ１００の洗浄後、制御部７は、ケース２９内のスピンナテーブル２０から、ウェーハ１００を搬出する。具体的には、制御部７は、まず、図６に示すように、昇降機構６を用いて、昇降板２３、昇降ガイド２４および飛散防止カバー５を下降させる。これにより、飛散防止カバー５における飛散防止部５０の押下げ部５２がクランプアーム２７の作用部２７２を押し下げて、スピンナテーブル２０のクランプ部材２１が開いた状態となる。その結果、ウェーハ１００が、クランプアーム２７の保持部２７１から開放されて、仮置き部２２に載置された状態となる。

【0045】

次に、制御部７は、開閉機構９２によってカバー９１を駆動することにより、開口部９０を開放する。そして、制御部７が、開口部９０を介してケース２９の内部に搬送ロボット９５を進入させて、この搬送ロボット９５によって、スピンナテーブル２０の仮置き部２２上のウェーハ１００を保持して、ケース２９の外部に搬出する。

【0046】

以上のように、本実施形態では、スピンナ洗浄ユニット１は、スピンナテーブル２０の上方のケース２９の天板２９５に取込口２９６を有するとともに、スピンナテーブル２０の下方のケース２９の底板２９２に、吸引源８０に連結された吸引口２９７を有している。このため、ウェーハ１００の洗浄中に、取込口２９６から吸引口２９７へと下方向に向かう気流を形成し、この気流によって、洗浄液の噴霧を含む気体を吸引口２９７に導いて、ケース２９から迅速に排出することができる。

【0047】

したがって、本実施形態では、発生した洗浄液の噴霧がケース２９内に飛散すること、この噴霧が洗浄後のウェーハ１００に付着すること、および、噴霧がケース２９内に滞留することを、良好に抑制することが可能である。このため、ウェーハ１００をケース２９に搬入してから搬出するまでの時間、すなわち、ウェーハ１００の洗浄時間を短縮することが可能となる。

【0048】

また、本実施形態では、吸引口２９７が、ケース２９の底板２９２における飛散防止カバー５の内側に配置されている。このため、飛散防止カバー５の内側で受け止められた洗浄液の噴霧を、吸引口２９７に向かって良好に導くことができる。

【0049】

また、本実施形態では、３つの吸引口２９７が、スピンナテーブル２０の中心を中心とする円に沿って、底板２９２に等間隔に配置されている。このため、飛散防止カバー５の内側において、取込口２９６から吸引口２９７に向かう気流が、上から下に向かってほぼ直線的に流れる。したがって、この気流に乗った噴霧が乱流となることを良好に抑制することができるので、噴霧がケース２９内に溜まることを、より良好に防止することができる。

【0050】

また、本実施形態では、吸引口２９７から排出された洗浄液を含む流体を、合流部７０の気液分離機構７３によって気体と洗浄液とに分離して回収している。したがって、洗浄液として薬液を用いる場合でも、洗浄液がスピンナ洗浄ユニット１の外部に漏出することを良好に防止することが可能である。

【0051】

なお、本実施形態では、ケース２９の底板２９２に、３つの吸引口２９７が設けられている。これに関し、吸引口２９７の数は、１つでもよいし、３以外の複数であってもよい。

【0052】

また、本実施形態では、スピンナテーブル２０が、クランプ部材２１によってウェーハ１００を保持するように構成されている。これに関し、スピンナテーブル２０は、ウェーハ１００を吸引保持することの可能な保持面によってウェーハ１００を保持するように構成されていてもよい。

【符号の説明】

【0053】

１：スピンナ洗浄ユニット、３：回転機構、５：飛散防止カバー、６：昇降機構、
７：制御部、２０：スピンナテーブル、２１：クランプ部材、２２：仮置き部、
２３：昇降板、２４：昇降ガイド、２６：ベース部、２７：クランプアーム、
２８：バネ部、２９：ケース、３０：回転シャフト、３１：モータ、４０：第１タンク、
４１：第１洗浄液ノズル、５０：飛散防止部、５１：被固定部、５２：押下げ部、
６０：ロッド、６１：シリンダ、７０：合流部、７１：吸引管、７２：本体部、
７３：気液分離機構、７４：主通路、７５：気体通路、７６：液体通路、８０：吸引源、
８１：洗浄液回収装置、９０：開口部、９１：カバー、９２：開閉機構、
９５：搬送ロボット、１００：ウェーハ、２００：第２洗浄ノズル、２６０：軸部、
２７１：保持部、２７２：作用部、２９０：内周壁、２９１：外周壁、２９２：底板、
２９３：凹部、２９５：天板、２９６：取込口、２９７：吸引口、３００：液路、
３０１：液体導入口、３０５：第２タンク、３１０：電源、３１１：エンコーダ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】