▶ ブルックス オートメーション ユーエス、エルエルシーの特許一覧
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024102284
(43)【公開日】2024-07-30
(54)【発明の名称】ロードポートモジュール
(51)【国際特許分類】
H01L 21/677 20060101AFI20240723BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 A
【審査請求】有
【請求項の数】20
【出願形態】ＯＬ
【外国語出願】
(21)【出願番号】P 2024076664
(22)【出願日】2024-05-09
(62)【分割の表示】P 2021531016の分割
【原出願日】2019-11-26
(31)【優先権主張番号】62/772,481
(32)【優先日】2018-11-28
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(31)【優先権主張番号】16/692,443
(32)【優先日】2019-11-22
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(71)【出願人】
【識別番号】522041444
【氏名又は名称】ブルックス オートメーション ユーエス、エルエルシー
(74)【代理人】
【識別番号】110001896
【氏名又は名称】弁理士法人朝日奈特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】スヌガトフ、ラディク
(72)【発明者】
【氏名】カールソン、ロバート
(57)【要約】 （修正有）
【課題】再構成可能なパージノズル構成を提供する清浄な乾燥空気／ガス対応のロードポートモジュールを提供する。
【解決手段】複数のパージポートノズル位置８００Ａ、８００Ｂ、８０１Ａ～８０４Ａ、８０１Ｂ～８０４Ｂが、カセット支持体上に配置されるカセット支持体パージポート８１０、８１１であって、複数のパージポートノズル位置の各々は、１以上の基板カセット容器の１以上のパージポートに連結する。各パージポートノズル位置は、交換可能なパージポートノズルインターフェース８２０～８２９を画定し、各々が異なる所定のパージノズル構成を有する、異なる交換可能なパージポートノズル９００～９０３は、異なるポートとの連結をもたらし、交換可能なパージポートノズルモジュールの異なる所定のパージノズル構成に対応する、複数のパージポートノズル位置の夫々のパージポートノズルインターフェースに取り外し可能に取り付けられる。
【選択図】図８
【解決手段】複数のパージポートノズル位置８００Ａ、８００Ｂ、８０１Ａ～８０４Ａ、８０１Ｂ～８０４Ｂが、カセット支持体上に配置されるカセット支持体パージポート８１０、８１１であって、複数のパージポートノズル位置の各々は、１以上の基板カセット容器の１以上のパージポートに連結する。各パージポートノズル位置は、交換可能なパージポートノズルインターフェース８２０～８２９を画定し、各々が異なる所定のパージノズル構成を有する、異なる交換可能なパージポートノズル９００～９０３は、異なるポートとの連結をもたらし、交換可能なパージポートノズルモジュールの異なる所定のパージノズル構成に対応する、複数のパージポートノズル位置の夫々のパージポートノズルインターフェースに取り外し可能に取り付けられる。
【選択図】図８
【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板搬送容器保持装置であって、
少なくとも１つの基板搬送容器を制御環境の領域と所定の連通状態に保持するように配置されたフレームと、
前記少なくとも１つの基板搬送容器が前記制御環境と所定の連通状態で保持されるように、前記少なくとも１つの基板搬送容器を前記フレーム上で所定の配向で支持するために、前記フレームに接続される容器支持体と、
選択可能に可変の容器支持体パージポートであって、前記容器支持体パージポートの各々が、前記容器支持体上に配置される可変のパージポートノズルを有し、前記可変のパージポートノズルが、２つ以上の選択可能な所定のパージポートノズル特性の間で可変であり、前記２つ以上の選択可能な所定のパージポートノズル特性の各々は、各々の選択された所定のパージポートノズル特性を有する前記パージポートノズルが、前記少なくとも１つの基板搬送容器の少なくとも１つのパージポートを補完し、前記少なくとも１つの基板搬送容器の少なくとも１つのパージポートに連結するように構成される、選択可能に可変の容器支持体パージポートと
を備える、基板搬送容器保持装置。
少なくとも１つの基板搬送容器を制御環境の領域と所定の連通状態に保持するように配置されたフレームと、
前記少なくとも１つの基板搬送容器が前記制御環境と所定の連通状態で保持されるように、前記少なくとも１つの基板搬送容器を前記フレーム上で所定の配向で支持するために、前記フレームに接続される容器支持体と、
選択可能に可変の容器支持体パージポートであって、前記容器支持体パージポートの各々が、前記容器支持体上に配置される可変のパージポートノズルを有し、前記可変のパージポートノズルが、２つ以上の選択可能な所定のパージポートノズル特性の間で可変であり、前記２つ以上の選択可能な所定のパージポートノズル特性の各々は、各々の選択された所定のパージポートノズル特性を有する前記パージポートノズルが、前記少なくとも１つの基板搬送容器の少なくとも１つのパージポートを補完し、前記少なくとも１つの基板搬送容器の少なくとも１つのパージポートに連結するように構成される、選択可能に可変の容器支持体パージポートと
を備える、基板搬送容器保持装置。
【請求項2】
前記選択可能に可変の容器支持体パージポートは、２つ以上のパージポートノズル位置を有し、前記選択可能に可変の容器支持体パージポートの各々の選択された所定のパージポートノズル特性は、各位置における前記パージポートノズルが、前記少なくとも１つのパージポートを補完し、前記少なくとも１つのパージポートに連結するように、前記選択された所定のパージポートノズル特性に対応する前記２つ以上のパージポートノズル位置の各々を配置する、請求項１記載の基板搬送容器保持装置。
【請求項3】
前記選択可能に可変の容器支持体パージポートは、少なくとも１つのパージポートノズルを有する交換可能なパージポートノズルモジュールを含み、各々が前記２つ以上の選択可能な所定のパージポートノズル特性のうちの対応する１つを画定する、複数の異なる交換可能なパージポートノズルモジュールから選択可能である、請求項２記載の基板搬送容器保持装置。
【請求項4】
前記２つ以上の選択可能な所定のパージポートノズル特性のうちの対応する１つの各々が、前記２つ以上の選択可能な所定のパージポートノズル特性によって画定されるそれぞれの交換可能なパージポートノズルインターフェースにモジュール式に取り付けるための異なる所定のパージポートノズル構成を決定し、それによって、前記交換可能なパージポートノズルモジュールの選択可能な取り付けは、前記選択可能に可変の容器支持体パージポートの構成を、第１の所定のパージポート特性を有する、前記少なくとも１つの基板搬送容器の第１の容器に適合し、第１の容器との連結をもたらすパージポートノズル位置に前記パージポートノズルを有する第１の構成から、前記第１の所定のパージポート特性とは異なる第２の所定のパージポート特性を有する、前記少なくとも１つの基板搬送容器の第２の容器に適合し、第２の容器との連結をもたらすパージポートノズル位置に前記パージポートノズルを有する第２の構成に変更する、請求項３記載の基板搬送容器保持装置。
【請求項5】
前記２つ以上のパージポートノズル位置の各々は、交換可能なパージポートノズルインターフェースを画定し、
前記交換可能なパージポートノズルインターフェースは、前記容器支持体の所定のデータムに対して、所定の位置を有するように配置され、それによって、前記交換可能なパージポートノズルインターフェースに取り付けられる、前記異なる交換可能なパージポートノズルモジュールの、各パージポートノズルは、各異なる基板搬送容器の所定のデータムに対して、決定的に配置される、請求項３記載の基板搬送容器保持装置。
前記交換可能なパージポートノズルインターフェースは、前記容器支持体の所定のデータムに対して、所定の位置を有するように配置され、それによって、前記交換可能なパージポートノズルインターフェースに取り付けられる、前記異なる交換可能なパージポートノズルモジュールの、各パージポートノズルは、各異なる基板搬送容器の所定のデータムに対して、決定的に配置される、請求項３記載の基板搬送容器保持装置。
【請求項6】
前記２つ以上のパージポートノズル位置の各々は、交換可能なパージポートノズルインターフェースを画定し、
前記交換可能なパージポートノズルインターフェースは、前記容器支持体の所定のデータムに対して、所定の位置を有するように配置され、それによって、前記交換可能なパージポートノズルモジュールの選択可能な取り付けは、各異なる基板搬送容器の所定のデータムに対して、前記交換可能なパージポートノズルインターフェースに取り付けられる、前記交換可能なパージポートノズルモジュールの、取り付けと実質的に同時に、各パージポートノズルの決定的位置決めをもたらす、請求項３記載の基板搬送容器保持装置。
前記交換可能なパージポートノズルインターフェースは、前記容器支持体の所定のデータムに対して、所定の位置を有するように配置され、それによって、前記交換可能なパージポートノズルモジュールの選択可能な取り付けは、各異なる基板搬送容器の所定のデータムに対して、前記交換可能なパージポートノズルインターフェースに取り付けられる、前記交換可能なパージポートノズルモジュールの、取り付けと実質的に同時に、各パージポートノズルの決定的位置決めをもたらす、請求項３記載の基板搬送容器保持装置。
【請求項7】
前記２つ以上のパージポートノズル位置の各々は、交換可能なパージポートノズルインターフェースを画定し、
前記交換可能なパージポートノズルインターフェースの各々は、前記容器支持体の所定のデータムに対して、所定の位置を有するように配置され、それによって、前記交換可能なパージポートノズルインターフェースの各々は、各異なる基板搬送容器の所定のデータムに対して、決定的に配置される、請求項３記載の基板搬送容器保持装置。
前記交換可能なパージポートノズルインターフェースの各々は、前記容器支持体の所定のデータムに対して、所定の位置を有するように配置され、それによって、前記交換可能なパージポートノズルインターフェースの各々は、各異なる基板搬送容器の所定のデータムに対して、決定的に配置される、請求項３記載の基板搬送容器保持装置。
【請求項8】
前記２つ以上のパージポートノズル位置の各々は、交換可能なパージポートノズルインターフェースを画定し、
前記交換可能なパージポートノズルインターフェースの各々および前記異なる交換可能なパージポートノズルモジュールの各それぞれの１つの異なる所定のパージノズル出口構成は、前記異なる交換可能なパージポートノズルモジュールの各それぞれ１つの、前記異なる交換可能なパージポートノズルモジュールの別の１つとの高速交換の取り付けをもたらすように構成される、請求項３記載の基板搬送容器保持装置。
前記交換可能なパージポートノズルインターフェースの各々および前記異なる交換可能なパージポートノズルモジュールの各それぞれの１つの異なる所定のパージノズル出口構成は、前記異なる交換可能なパージポートノズルモジュールの各それぞれ１つの、前記異なる交換可能なパージポートノズルモジュールの別の１つとの高速交換の取り付けをもたらすように構成される、請求項３記載の基板搬送容器保持装置。
【請求項9】
前記２つ以上のパージポートノズル位置の各々は、交換可能なパージポートノズルインターフェースを画定し、
前記交換可能なパージポートノズルインターフェースの各々は、異なるパージポート特性を有する異なる基板搬送容器の前記少なくとも１つのパージポートの各々を決定的に示す、ノズル位置決めデータムを画定する、請求項３記載の基板搬送容器保持装置。
前記交換可能なパージポートノズルインターフェースの各々は、異なるパージポート特性を有する異なる基板搬送容器の前記少なくとも１つのパージポートの各々を決定的に示す、ノズル位置決めデータムを画定する、請求項３記載の基板搬送容器保持装置。
【請求項10】
前記２つ以上のパージポートノズル位置の各々は、交換可能なパージポートノズルインターフェースを画定し、
各パージポートノズルは、前記交換可能なパージポートノズルモジュールの別のパージポートノズルから独立したユニットとして、前記交換可能なパージポートノズルインターフェースに取り外し可能に取り付けられ、前記交換可能なパージポートノズルモジュールの、独立して取り付けられる各パージポートノズルは、複数の異なるパージポートノズルモジュールからの別の異なるパージポートノズルモジュールの異なるパージポートノズルと独立して交換され、それによって、前記交換可能なパージポートノズルモジュールの前記別の異なるパージポートノズルモジュールとの交換をもたらす、請求項３記載の基板搬送容器保持装置。
各パージポートノズルは、前記交換可能なパージポートノズルモジュールの別のパージポートノズルから独立したユニットとして、前記交換可能なパージポートノズルインターフェースに取り外し可能に取り付けられ、前記交換可能なパージポートノズルモジュールの、独立して取り付けられる各パージポートノズルは、複数の異なるパージポートノズルモジュールからの別の異なるパージポートノズルモジュールの異なるパージポートノズルと独立して交換され、それによって、前記交換可能なパージポートノズルモジュールの前記別の異なるパージポートノズルモジュールとの交換をもたらす、請求項３記載の基板搬送容器保持装置。
【請求項11】
前記２つ以上のパージポートノズル位置の各々は、交換可能なパージポートノズルインターフェースを画定し、
各パージポートノズルは、前記交換可能なパージポートノズルモジュールの別のパージポートノズルから独立したユニットとして、前記交換可能なパージポートノズルインターフェースに取り外し可能に取り付けられ、前記交換可能なパージポートノズルモジュールは、異なる対応するパージポートノズルを有する、別の異なるパージポートノズルモジュールとノズルごとに交換される、請求項３記載の基板搬送容器保持装置。
各パージポートノズルは、前記交換可能なパージポートノズルモジュールの別のパージポートノズルから独立したユニットとして、前記交換可能なパージポートノズルインターフェースに取り外し可能に取り付けられ、前記交換可能なパージポートノズルモジュールは、異なる対応するパージポートノズルを有する、別の異なるパージポートノズルモジュールとノズルごとに交換される、請求項３記載の基板搬送容器保持装置。
【請求項12】
前記２つ以上のパージポートノズル位置の各々は、交換可能なパージポートノズルインターフェースを画定し、
複数の異なるパージポートノズルモジュールからの各異なるパージポートノズルモジュールは、モジュールフレームであって、前記モジュールフレームが各対応するパージポートノズルに共通であるように、各対応するパージポートノズルが前記モジュールフレームに取り付けられる、モジュールフレームを有し、前記モジュールフレームは、前記容器支持体に共通の取り外し可能な取り付け連結部を画定し、それによって、前記モジュールフレームの前記容器支持体への取り外し可能な連結が、共通モジュールユニットとしての各パージポートノズルのそれぞれのパージポートノズルインターフェースへの取り付けをもたらす、請求項３記載の基板搬送容器保持装置。
複数の異なるパージポートノズルモジュールからの各異なるパージポートノズルモジュールは、モジュールフレームであって、前記モジュールフレームが各対応するパージポートノズルに共通であるように、各対応するパージポートノズルが前記モジュールフレームに取り付けられる、モジュールフレームを有し、前記モジュールフレームは、前記容器支持体に共通の取り外し可能な取り付け連結部を画定し、それによって、前記モジュールフレームの前記容器支持体への取り外し可能な連結が、共通モジュールユニットとしての各パージポートノズルのそれぞれのパージポートノズルインターフェースへの取り付けをもたらす、請求項３記載の基板搬送容器保持装置。
【請求項13】
対応するパージポートノズルをその上に有する、各異なるパージポートノズルモジュールの前記モジュールフレームは、対応する異なるパージポートノズルをその上に有する、複数の異なるパージポートノズルモジュールからの各異なるパージポートノズルモジュールの別のモジュールフレームとモジュールユニットとして交換可能である、請求項１２記載の基板搬送容器保持装置。
【請求項14】
基板搬送容器保持装置のフレームを提供するステップであって、前記フレームは、少なくとも１つの基板搬送容器を制御環境の領域と所定の連通状態に保持するように配置される、ステップと、
前記少なくとも１つの基板搬送容器が前記制御環境と所定の連通状態で保持されるように、前記少なくとも１つの基板搬送容器を前記フレーム上で所定の配向で支持するために、前記フレームに接続される容器支持体を提供するステップと、
前記容器支持体に配置される２つ以上のパージポートノズル位置を有する選択可能に構成可能な容器支持体パージポートを提供するステップであって、前記２つ以上のパージポートノズル位置の各々は、前記パージポートノズル位置でのパージポートノズルが、前記少なくとも１つの基板搬送容器の少なくとも１つのパージポートに連結するように構成され、各パージポートノズル位置は、交換可能なパージポートノズルインターフェースを画定する、ステップと、
各々が前記交換可能なパージポートノズルインターフェースにモジュール式に取り付けるための異なる所定のパージポートノズル構成を有する、複数の異なる交換可能なパージポートノズルモジュールから、少なくとも１つのパージポートノズルを有する交換可能なパージポートノズルモジュールを選択するステップであって、それによって、前記交換可能なパージポートノズルモジュールの選択可能な取り付けは、前記選択可能に構成可能な容器支持体パージポートの構成を、第１の所定のパージポート特性を有する、前記少なくとも１つの基板搬送容器の第１の容器に適合し、第１の容器との連結をもたらすパージポートノズル位置に前記パージポートノズルを有する第１の構成から、前記第１の所定のパージポート特性とは異なる第２の所定のパージポート特性を有する、前記少なくとも１つの基板搬送容器の第２の容器に適合し、第２の容器との連結をもたらすパージポートノズル位置に前記パージポートノズルを有する第２の構成に変更する、ステップと
を含む、方法。
前記少なくとも１つの基板搬送容器が前記制御環境と所定の連通状態で保持されるように、前記少なくとも１つの基板搬送容器を前記フレーム上で所定の配向で支持するために、前記フレームに接続される容器支持体を提供するステップと、
前記容器支持体に配置される２つ以上のパージポートノズル位置を有する選択可能に構成可能な容器支持体パージポートを提供するステップであって、前記２つ以上のパージポートノズル位置の各々は、前記パージポートノズル位置でのパージポートノズルが、前記少なくとも１つの基板搬送容器の少なくとも１つのパージポートに連結するように構成され、各パージポートノズル位置は、交換可能なパージポートノズルインターフェースを画定する、ステップと、
各々が前記交換可能なパージポートノズルインターフェースにモジュール式に取り付けるための異なる所定のパージポートノズル構成を有する、複数の異なる交換可能なパージポートノズルモジュールから、少なくとも１つのパージポートノズルを有する交換可能なパージポートノズルモジュールを選択するステップであって、それによって、前記交換可能なパージポートノズルモジュールの選択可能な取り付けは、前記選択可能に構成可能な容器支持体パージポートの構成を、第１の所定のパージポート特性を有する、前記少なくとも１つの基板搬送容器の第１の容器に適合し、第１の容器との連結をもたらすパージポートノズル位置に前記パージポートノズルを有する第１の構成から、前記第１の所定のパージポート特性とは異なる第２の所定のパージポート特性を有する、前記少なくとも１つの基板搬送容器の第２の容器に適合し、第２の容器との連結をもたらすパージポートノズル位置に前記パージポートノズルを有する第２の構成に変更する、ステップと
を含む、方法。
【請求項15】
前記交換可能なパージポートノズルインターフェースが、前記容器支持体の所定のデータムに対して、所定の位置を有するように配置され、それによって、前記交換可能なパージポートノズルインターフェースに取り付けられる、前記異なる交換可能なパージポートノズルモジュールの各パージポートノズルが、各異なる基板搬送容器の所定のデータムに対して、決定的に配置される、請求項１４記載の方法。
【請求項16】
前記交換可能なパージポートノズルインターフェースは、前記容器支持体の所定のデータムに対して、所定の位置を有するように配置され、それによって、前記交換可能なパージポートノズルモジュールの選択可能な取り付けは、各異なる基板搬送容器の所定のデータムに対して、前記交換可能なパージポートノズルインターフェースに取り付けられる、前記交換可能なパージポートノズルモジュールの、取り付けと実質的に同時に、各パージポートノズルの決定的位置決めをもたらす、請求項１４記載の方法。
【請求項17】
前記交換可能なパージポートノズルインターフェースの各々は、前記容器支持体の所定のデータムに対して、所定の位置を有するように配置され、それによって、前記交換可能なパージポートノズルインターフェースの各々は、各異なる基板搬送容器の所定のデータムに対して、決定的に配置される、請求項１４記載の方法。
【請求項18】
前記異なる交換可能なパージポートノズルモジュールの各それぞれ１つの、前記異なる交換可能なパージポートノズルモジュールの別の１つとの高速交換の取り付けをもたらすステップをさらに含む、請求項１４記載の方法。
【請求項19】
前記交換可能なパージポートノズルインターフェースの各々は、異なるパージポート特性を有する前記少なくとも１つの基板搬送容器のそれぞれの１つの前記少なくとも１つのパージポートの各々を決定的に示す、ノズル位置決めデータムを画定する、請求項１４記載の方法。
【請求項20】
各パージポートノズルは、前記交換可能なパージポートノズルモジュールの別のパージポートノズルから独立したユニットとして、前記交換可能なパージポートノズルインターフェースに取り外し可能に取り付けられ、前記交換可能なパージポートノズルモジュールの、独立して取り付けられる各パージポートノズルは、前記交換可能なパージポートノズルモジュールの別の異なるパージポートノズルモジュールとの交換をもたらすように、前記複数の交換可能なパージポートノズルモジュールからの別の異なるパージポートノズルモジュールの異なるパージポートノズルと独立して交換される、請求項１４記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
［関連出願への相互参照］
この非仮特許出願は、開示全体が援用により本明細書に組み込まれる、２０１８年１１月２８日に出願された米国仮特許出願番号６２／７７２，４８１号からの優先権およびその利益を主張する。
この非仮特許出願は、開示全体が援用により本明細書に組み込まれる、２０１８年１１月２８日に出願された米国仮特許出願番号６２／７７２，４８１号からの優先権およびその利益を主張する。
【0002】
本開示の態様は、概して、基板処理装置に関し、より具体的には、基板処理装置用の改良されたロードポートモジュールに関する。
【背景技術】
【0003】
［関連する開発の簡単な説明］
概して、半導体製造で使用される清浄な乾燥空気／ガス対応のロードポートは、フロント・オープニング・ユニファイド・ポッド（ＦＯＵＰＳ）などの基板キャリア容器（本明細書では容器と呼ばれる）をパージするために利用される。パージオプションを備えるＦＯＵＰＳは、概して、前部および／または後部（たとえば、容器基板の通路開口部に対する）のポート位置を含む。一例として、パージオプションを備える３００ｍｍのＦＯＵＰＳは、限定されないが、Ｅｎｔｅｇｒｉｓ，Ｉｎｃ．、信越ポリマー（株）、およびミライアル（株）を含む異なる製造業者によって製造されているが、容器上のＦＯＵＰのパージポート位置に関する業界標準はない。
概して、半導体製造で使用される清浄な乾燥空気／ガス対応のロードポートは、フロント・オープニング・ユニファイド・ポッド（ＦＯＵＰＳ）などの基板キャリア容器（本明細書では容器と呼ばれる）をパージするために利用される。パージオプションを備えるＦＯＵＰＳは、概して、前部および／または後部（たとえば、容器基板の通路開口部に対する）のポート位置を含む。一例として、パージオプションを備える３００ｍｍのＦＯＵＰＳは、限定されないが、Ｅｎｔｅｇｒｉｓ，Ｉｎｃ．、信越ポリマー（株）、およびミライアル（株）を含む異なる製造業者によって製造されているが、容器上のＦＯＵＰのパージポート位置に関する業界標準はない。
【0004】
パージポート位置に関する業界標準がないことを考えると、パージポート位置は製造業者ごとに異なり得る。例として、上記の製造業者間では、前部のパージポート用に３つの異なる位置が存在し、後部のパージポート用に２つの異なる位置が存在し得る。パージポートの数も製造業者間で異なり得る。パージポートの数も、同じ製造業者からの異なる製品間で異なり得る。たとえば、一部のＦＯＵＰＳには２つの前部のパージポートしかないが、他のＦＯＵＰＳには２つの前部のパージポートおよび２つの後部のパージポートがある。ＦＯＵＰに出入りするパージガスの流れも、ＦＯＵＰＳ上のパージポートの入力ポートおよび／または排気ポートの指定先が様々であり得るという点で異なり得る。
【0005】
パージポート嵌合インターフェース（すなわち、負荷ポートのパージノズルと嵌合するパージポートの部分）は、製造業者間において、別の不確定要素（variable）である。たとえば、一部のＦＯＵＰＳは、硬質プラスチックのパージポート嵌合インターフェースを有し、他のＦＯＵＰＳは、他のタイプのインターフェースの中でも、フルオロエラストマー（ＤｕＰｏｎｔ Ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ Ｅｌａｓｔｏｍｅｒｓ ＬＬＣによってＶｉｔｏｎ（商標）の商品名で販売されているものなど）のパージポート嵌合インターフェースを有する。
【発明の概要】
【0006】
本開示の前述の態様および他の特徴は、添付の図面に関連して得られる、以下の記載において説明される。
【図面の簡単な説明】
【0007】
【図1A】本開示の態様による基板処理装置の概略斜視図である。
【図1B】本開示の態様による基板処理装置の概略図である。
【図1C】本開示の態様による基板処理装置の概略図である。
【図6A】基板搬送容器の概略図である。
【図6B】基板搬送容器の概略図である。
【図15】本開示の態様による典型的なフロー図である。
【図16】本開示の態様による典型的なフロー図である。
【図17】本開示の態様による典型的なフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【0008】
図１Ａを参照すると、本開示の特徴を具現化した基板処理装置１０の斜視図が図示されている。本開示が、図面を参照して説明されるが、態様の多くの代替形態で具体化され得ることを理解されたい。さらに、任意の適切なサイズ、形状、または種類の要素または材料が使用され得る。
【0009】
図１Ａに図示される態様では、基板処理装置１０は、たとえば例示目的のみで、一般的な基板バッチ処理ツールの構成を有するものとして示されている。代替の実施形態では、本発明の特徴が、以下でより詳細に説明するように、図１Ｂおよび１Ｃに図示される、および開示全体が援用により本明細書に組み込まれる、２００６年５月２６日に出願された「Ｌｉｎｅａｒｌｙ Ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｅｄ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｗｏｒｋｐｉｅｃｅ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｔｏｏｌ」と題する米国特許出願番号第１１／４４２，５１１号に記載されるものなどの、個々の基板処理用のツールおよび／またはリニアツールステーションを含む、任意の基板処理ツールの構成に等しく適用可能であるため、基板処理装置は任意の他の適切な構成を有し得る。装置１０は、２００ｍｍまたは３００ｍｍの半導体ウェーハ、半導体パッケージング基板（たとえば、高密度相互接続部）、半導体製造プロセスイメージングプレート（たとえば、マスクまたはレチクル）、およびフラットパネルディスプレイ用の基板などの、任意の所望の種類のフラットパネルまたは基板を取り扱い、処理することができ得る。装置１０は、概して、前セクション１２および後セクション１４を備え得る。前セクション１２（前という用語は、ここでは、例示的な基準のフレームを識別するために便宜上使用され、代替の実施形態では、基板処理装置の前部は、基板処理装置の任意の所望の側に確立され得る）。前セクション１２は、ファブから基板処理装置１０の内部への基板の移入を可能にするインターフェースを提供する（以下でより詳細に説明されるような）システムを有する。前セクション１２はまた、概して、ハウジング１６と、後セクション１４と外部との前セクションインターフェースとの間において、ハウジング処理基板内に配置される、自動コンポーネントとを有する。後セクション１４は、前セクションのハウジング１６に接続される。基板処理装置の後セクション１４は、制御雰囲気（controlled atmosphere：たとえば、真空、不活性ガス）を有してもよく、概して、基板を処理するための処理システムを備える。たとえば、後セクションは、概して、基板搬送装置を備える中央搬送チャンバ、および基板処理装置内の基板に対して所望の製造プロセス（たとえば、エッチング、材料成膜、洗浄、焼成、検査など）を実施するための周辺処理モジュールを含み得る。基板は、ファブ内において、容器Ｔ（キャリアとしても知られている）内の基板処理装置１０に搬送され得る。容器Ｔは、前セクションインターフェース上であるか、または前セクションインターフェースに近接して位置付けられ得る。容器から、基板は、ＢＯＬＴＳ（ボックスオープナ／ローダ・ツー・ツール・スタンダード）インターフェースなどのインターフェースを通って、前セクションにおける自動コンポーネントを使用して、前セクション１２に入れられ得る。基板は、周辺処理モジュールの１つまたは複数での処理のために、ロードロックを介して、雰囲気制御される後セクションに搬送され得る。その後、処理基板（processed substrates）は、実質的に逆の方法で、前セクション１２に戻され、その後、移動のために、搬送容器Ｔに戻され得る。
【0010】
環境フロントエンドモジュールまたはＥＦＥＭと呼ばれ得る、前セクション１２は、保護環境（protected environment）または小環境（mini-environment）を画定する、シェルまたはケーシングを有してもよく、小環境では、基板は、ＦＡＢ内で基板を搬送するために使用される搬送容器Ｔと、後部処理セクション１４に制御雰囲気への入口を提供するロードロック１４Ｌとの間の汚染の可能性を最小限とした状態で、アクセスされ、取り扱われ得る。ロードポートまたはロードポートモジュール２４（以下でさらに説明するように、数は１つまたは複数）は、前セクションの側面の１つまたは複数に配置され、前セクションとＦＡＢとの間のインターフェースが提供される。ロードポートモジュールは、開示全体が援用により本明細書に組み込まれる、２０１４年９月２日に特許査定を受けた、「Ｌｏａｄ Ｐｏｒｔ Ｍｏｄｕｌｅ」と題された、米国特許第８，８２１，０９９号明細書に記載されるものに略類似し得る。ロードポートモジュール２４は、ＥＦＥＭの内部と外部との間に、ＢＯＬＴＳインターフェースなどの、閉鎖可能なインターフェースを形成する、閉鎖可能なポート３０Ｐを有し得る。図１Ａに見られるように、ロードポートモジュールは、基板搬送容器Ｔのための支持領域を有し得る。支持領域下には二次保持領域も提供されてもよく、搬送容器は、ここで一時的にバッファされ得る。搬送容器支持領域は、その上に支持される搬送容器Ｔの最終的な位置またはドッキングされる位置への自動移動を可能にし得る。ロードポートモジュールのポートドアは、搬送容器を開放し、同時にロードポートフレーム内のアクセスポート３０Ｐを開放するために、ドッキングされる位置にあるときに搬送容器と係合して、搬送容器内の基板へのアクセスを提供するだけでなく、搬送容器とＥＦＥＭ内部との間で基板を搬送するためのアクセスも提供する。米国特許第８，８２１，０９９号明細書に記載されるように、ポートドアと搬送容器との間の係合は、独立して動作可能なキーによってもたらされ得る。
【0011】
本開示の態様によれば、本明細書に記載される（１つまたは複数の）ロードポートモジュール２４は、再構成可能なパージノズル構成を提供する清浄な乾燥空気／ガス対応のロードポートモジュールである（異なるパージポートノズル位置８００Ａ、８００Ｂ、８０１Ａ、８０１Ｂ、８０２Ａ、８０２Ｂ、８０３Ａ、８０３Ｂ、８０４Ａ、８０４Ｂを例示する図８を参照）。パージノズル構成は、たとえば、ロードポートモジュール２４に連結される容器Ｔの構成に応じて、いくつかの異なるパージノズル構成から選択可能である。従来、ロードポートの製造業者は、所定のパージポート構成を有する単一種の容器に合わせらるロードポート上に単一のパージノズル構成を提供する。本開示の態様による（１つまたは複数の）ロードポート２４は、半導体の製造業者が単一の容器の製造業者からの単一種の容器のみを使用することに制限されないように、ロードポートモジュール２４のパージノズル９００－９０３（図９Ａ）が、モジュール式に再構成され得るという点で、柔軟なロードポート２４を提供する。本開示の（１つまたは複数の）ロードポートモジュール２４は、容器パージポート構成ごとに異なるロードポートモジュールを製造する費用およびロジスティクスなしに、異なるパージポート構成を有する容器の使用を提供する。本開示の（１つまたは複数の）ロードポートモジュール２４はまた、パージノズル９００－９０３（図９Ａ）の位置、いくつかのパージノズル９００－９０３、および入力ノズルまたは出力ノズルとしてのパージノズルの指定先のオン・ザ・フライ（またはそうでなければ本明細書で高速交換と呼ばれる）再構成を提供し得る。オン・ザ・フライ再構成は、パージノズル９００－９０３が、半導体製造環境内の特定の時間に使用される容器の種類に応じて、ロードポートの製造業者および／またはエンドユーザ／顧客によって望まれるように再構成／再配置されるような構成であることが留意され、パージノズルモジュール１９１０Ｔ、１９１０ＴＡ、１９１０ＴＢ、１９１０ＴＣ、１９１０ＴＤ、１９１０ＴＥ、１９１０ＴＦ、１９１０ＴＧ、１９１０ＴＨ、１９１０ＴＩ、１９１０ＴＪ、１９１０ＴＦＬＵ、１９１０ＴＡＦＬＵ、１９１０ＴＢＦＬＵ、１９１０ＴＣＦＬＵ、１９１０ＴＤＦＬＵ、１９１０ＴＥＦＬＵ、１９１０ＴＦＦＬＵ、１９１０ＴＧＦＬＵ、１９１０ＴＨＦＬＵ、１９１０ＴＩＦＬＵ、１９１０ＴＪＦＬＵ（本明細書では概してパージノズルモジュール１９１０と呼ばれる；図９Ｂ、９Ｃ、９Ｆ、９Ｇを参照）およびパージノズルモジュール９１０Ｔ、９１０ＴＡ、９１０ＴＢ、９１０ＴＣ、９１０ＴＤ、９１０ＴＥ、９１０ＴＦ、９１０ＴＧ、９１０ＴＨ、９１０ＴＩ、９１０ＴＪ、 ９１０Ｔ１、９１０ＴＡ１、９１０ＴＢ１、９１０ＴＣ１、９１０ＴＤ１、９１０ＴＥ１、９１０ＴＦ１、９１０ＴＧ１、９１０ＴＨ１、９１０ＴＩ１、９１０ＴＪ１（本明細書では概してパージノズルモジュール９１０と呼ばれる；図９Ａを参照）は、高速交換され、ロードポート２４へのパージノズルモジュール１９１０、９１０の連結後のロードポート２４上のパージノズル９００－９０３の本来の場所の位置調整なしで、容器Ｔの所定のパージノズル構成に対応する所定の固定位置に配置される。本明細書に記載されるように、交換可能なパージポートノズルインターフェースの各々および異なる交換可能なパージポートノズルモジュール１９１０、９１０の各それぞれ１つの異なる所定のパージノズル構成は、異なる交換可能なパージポートノズルモジュール１９１０、９１０の各それぞれ１つの、異なる交換可能なパージポートノズルモジュール１９１０、９１０の別の１つとの高速交換の取り付けをもたらすように構成される。本開示の態様で使用され得る適切な容器Ｔ（容器ＴＡ－ＴＪも参照）は、Ｅｎｔｅｇｒｉｓ，Ｉｎｃ．、信越ポリマー（株）、およびミライアル（株）によって製造されるＦＯＵＰＳ（たとえば、一態様では、容器Ｔ－ＴＪは、信越ポリマー（株）のＣＴ－ＣＦ－Ｓ＿ＳＨＩＮ＿ＥＴＳＹ、Ｔ－ＣＦ－Ｓ＿ＳＨＩＮ＿ＥＴＳＹ、ＣＦ－Ａ＿ＳＨＩＮ－ＥＮＳＹ、ＯＢ－ＣＢ＿ＳＨＩＮ＿ＥＴＳＹ、Ｅｎｔｅｇｒｉｓ，Ｉｎｃ．のＳｐｅｃｔｒａ（商標）、Ａ３００、Ｆ３００、およびミライアル（株）の４ポートおよび２ポートなどのＦＯＵＰＳに対応し得る）である。
【0012】
本明細書に記載されるように、ロードポート２４の各パージノズル９００－９０３は、オペレータによって、いくつかの所定のパージポートノズル位置８００Ａ、８００Ｂ、８０１Ａ、８０１Ｂ、８０２Ａ、８０２Ｂ、８０３Ａ、８０３Ｂ、８０４Ａ、８０４Ｂ（図８）のいずれか１つに移動させ得る。可撓性流体ホース１００２０－１００２３（図１０）は、少なくとも部分的に、各パージノズル９００－９０３（図９）を、入力ガスマニホールド１００３０（図１０）または排気ガスマニホールド１００４０（図１０）のいずれかに選択可能に連結する。（たとえば、容器Ｔの硬質プラスチック構成のパージポート、容器Ｔのフルオロエラストマー（ＤｕＰｏｎｔ Ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ Ｅｌａｓｔｏｍｅｒｓ ＬＬＣによってＶｉｔｏｎ（商標）の商品名で販売されているものなど）構成のパージポート、または容器Ｔの任意の他の適切に構成されるパージポートとのインターフェース接続のための）パージノズル構成の種類もまた、ロードポート２４との使用のために選択される容器Ｔのパージノズル嵌合インターフェースに応じて、いくつかの異なる交換可能なパージノズル構成から選択され得る。本開示の態様が、フロント・オープニング・ユニファイド・ポッド（ＦＯＵＰ）型の容器Ｔに関して説明されるが、限定されないが、ＳＭＩＦ容器を含む、任意の所望の種類の搬送容器での利用のために、等しく展開され得ることが留意される。
【0013】
ここで図１Ｂを参照すると、リニア基板処理システム２０１０の概略平面図が示され、ここでツールインターフェースセクション２０１２は、概して、移送チャンバ３０１８の長手方向軸Ｘに向かって（たとえば、内側に）面するが、そこからオフセットされるように、移送チャンバモジュール３０１８に取り付けられている。移送チャンバモジュール３０１８は、援用により既に本明細書に組み込まれている、米国特許出願番号第１１／４４２，５１１号明細書に記載されるように、他の移送チャンバモジュール３０１８Ａ、３０１８１、３０１８Ｊをインターフェース２０５０、２０６０、２０７０に取り付けることによって、任意の適切な方向に延伸し得る。各移送チャンバモジュール３０１８、３０１９Ａ、３０１８Ｉ、３０１８Ｊは、基板を、処理システム２０１０全体にわたって、たとえば、処理モジュールＰＭに搬送および処理モジュールＰＭから搬送するための基板搬送装置２０８０を含む。理解され得るように、各チャンバモジュールは、隔離雰囲気、制御雰囲気、または密封雰囲気（isolated, controlled or sealed atmosphere：たとえば、Ｎ2、清浄な空気、真空）を保持することができ得る。
【0014】
図１Ｃを参照すると、リニア移送チャンバ４１６の長手方向軸Ｘに沿って取得され得るような典型的な処理ツール４１０の概略立面図が示されている。一態様では、図１Ｃに示されるように、ツールインターフェースセクション１２は、典型的には、移送チャンバ４１６に接続され得る。本態様では、インターフェースセクション１２は、ツール移送チャンバ４１６の一端を画定し得る。図１Ｃに見られるように、移送チャンバ４１６は、たとえば、インターフェースセクション１２と対向する端部に、別のワークピース入口／出口ステーション４１２を有し得る。他の態様では、ツール移送チャンバ４１６の端部間などに、移送チャンバからワークピースを挿入する／取り外すための他の入口／出口ステーションが設けられ得る。本開示の一態様では、インターフェースセクション１２および入口／出口ステーション４１２は、ツールからのワークピースの載置および取り出しを可能にし得る。他の態様では、ワークピースは、一端からツールに載置され、他端から取り外され得る。一態様では、移送チャンバ４１６は、１つまたは複数の移送チャンバモジュール１８Ｂ、１８ｉを有し得る。各チャンバモジュールは、隔離雰囲気、制御雰囲気、または密封雰囲気（たとえば、Ｎ2、清浄な空気、真空）を保持し得る。上記のように、図１Ｃに示される移送チャンバモジュール１８Ｂ、１８ｉ、ロードロックモジュール５６Ａ、５６Ｂ、および移送チャンバ４１６を形成するワークピースステーションの構成／配置は、単なる例示であり、他の態様では、移送チャンバは、任意のモジュール配置で配置されるモジュールを多かれ少なかれ有し得る。一態様では、ステーション４１２は、ロードロックであり得る。他の態様では、ロードロックモジュールが、端部入口／出口ステーション（ステーション４１２と同様）間に配置され得るか、または隣接する移送チャンバモジュール（モジュール１８ｉと同様）が、ロードロックとして動作するように構成され得る。また上記のように、移送チャンバモジュール１８Ｂ、１８ｉは、その中に配置される１つまたは複数の対応する搬送装置２６Ｂ、２６ｉを有する。それぞれの移送チャンバモジュール１８Ｂ、１８ｉの搬送装置２６Ｂ、２６ｉは、協働して、移送チャンバ内に線形に分配されるワークピース搬送システム４２０を提供し得る。他の態様では、移送チャンバモジュール１８Ｂは、任意の適切な搬送カート（図示せず）が、リニア移送チャンバ４１６の全長の少なくとも一部に沿って、移送チャンバモジュール１８Ｂ間を移動可能であるように構成され得る。理解され得るように、搬送カート９００は、それに取り付けられ、本明細書に記載されるこれらの搬送装置に略類似する、任意の適切な搬送装置を含み得る。図１Ｃに示されるように、一態様では、搬送装置２６Ｂのアームは、以下でさらに詳しく説明するように、搬送装置がピック／プレース位置からウェーハを迅速に交換可能にする、高速交換配置と呼ばれ得るものを提供するように配置され得る。搬送アーム２６Ｂは、従来の駆動システムと比較して、単純化された駆動システムからの３自由度（たとえば、Ｚ軸運動でのショルダおよびエルボの関節まわりの独立した回転）を各アームに提供するために、適切な駆動セクションを有し得る。他の態様では、駆動セクションは、アームに３を超えるまたは３未満の自由度を提供し得る。図１Ｃに見られるように、一態様では、モジュール５６Ａ、５６、３０ｉは、移送チャンバモジュール１８Ｂ、１８ｉ間の隙間に配置されることがあり、適切な（１つまたは複数の）処理モジュール、ロードロック、バッファステーション、計測ステーション、または任意の他の所望のステーションを画定し得る。たとえば、ロードロック５６Ａ、５６およびワークピースステーション３０ｉなどの介在モジュールは各々、搬送アームと協働して、移送チャンバの直線軸Ｘに沿う移送チャンバの全長にわたる搬送またはワークピースをもたらし得る、固定ワークピース支持部／棚５６Ｓ、５６Ｓ１、５６Ｓ２、３０Ｓ１、３０Ｓ２を有し得る。一例として、（１つまたは複数の）ワークピースは、インターフェースセクション１２によって移送チャンバ４１６に載置され得る。（１つまたは複数の）ワークピースは、インターフェースセクションの搬送アーム１５でロードロックモジュール５６Ａの（１つまたは複数の）支持体上に配置され得る。ロードロックモジュール５６Ａ内の（１つまたは複数の）ワークピースは、モジュール１８Ｂ内の搬送アーム２６Ｂによって、ロードロックモジュール５６Ａとロードロックモジュール５６との間で移動してもよく、同様で連続的な手法で、（モジュール１８ｉ内の）アーム２６ｉによりロードロック５６とワークピースステーション３０ｉとの間およびモジュール１８ｉ内のアーム２６ｉによりステーション３０ｉとステーション４１２との間で移動し得る。このプロセスは、全体的または部分的に逆にされて、（１つまたは複数の）ワークピースを反対方向に移動させ得る。したがって、一態様では、ワークピースは、軸Ｘに沿って任意の方向に、移送チャンバに沿って任意の位置に移動してもよく、移送チャンバと連絡する任意の所望のモジュール（処理モジュールまたは他のモジュール）に載置され、そこから取り出され得る。他の態様では、静的なワークピース支持体または棚を備える介在移送チャンバモジュールは、移送チャンバモジュール１８Ｂ、１８ｉ間に設けられなくてもよい。本開示のそのような態様では、隣接する移送チャンバモジュールの搬送アームは、ワークピースを、直接（またはバッファステーションの使用を介して）エンドエフェクタまたは１つの搬送アームから別の搬送アームのエンドエフェクタに通過させて、ワークピースを移送チャンバに通して移動させ得る。処理ステーションモジュールは、様々な成膜、エッチング、または他の種類のプロセスを介して基板上で動作して、基板上に電気回路または他の所望の構造を形成し得る。処理ステーションモジュールは、基板を、移送チャンバから処理ステーションに、またはその逆に通過可能とするために、移送チャンバモジュールに接続される。図１Ｃに示される処理装置に類似する一般的な特徴を有する処理ツールの適切な例は、全体が援用により既に組み込まれている、米国特許出願番号第１１／４４２，５１１号明細書に記載されている。
【0015】
（本開示のこの典型的な態様による処理装置のロードポートモジュール２４の斜視図である）図１Ａおよび２を参照すると、ロードポートモジュール２４は、ロードポートモジュール２４を任意の適切な処理装置に接続するように構成されるフレーム２９を有する。ロードポートモジュール２４のフレーム２９は、概して、（前述のように）搬送容器保持または支持領域２８および閉鎖可能なポート３０Ｐ（または搬送開口部）を画定してもよく、閉鎖可能なポート３０Ｐを通って、基板が、前部セクションのハウジング１６内の小環境に出入りして搬送される（他の態様では、閉鎖可能なポート３０Ｐは搬送開口部であり、搬送開口部を通って、基板が、ロードポートモジュール２４と、ＥＦＥＭ、処理モジュール、移送チャンバなどの任意の適切な処理装置との間で搬送される）。ロードポートモジュール２４は、開示全体が援用により本明細書に組み込まれる、「Ｌｏａｄ Ｐｏｒｔ Ｍｏｄｕｌｅ」と題され、２０１４年９月２日に特許査定を受けた米国特許第８，８２１，０９９号明細書に記載されているものに略類似し得る。ロードポートモジュール２４およびＥＦＥＭのハウジング１６は、以下でさらに説明されるように、接続されて、外部から実質的に閉じられ、上記のように、制御環境または前セクション１２（ＥＦＥＭとも呼ばれる）内の小環境を提供する、チャンバまたは空間２５を形成する。たとえば、前セクションは、粒子汚染が前セクション１２の小環境に入ることを回避するために、ベント、ルーバ、層流システムなどの制御気流システム（図示せず）を含み得る。図１Ａおよび２に見られるように、ロードポートモジュール２４の搬送容器保持領域２８は、一次または第１のステーション３６および二次ステーション３４を有し得る。本態様では、搬送容器保持領域２８の各ステーション３６、３４は、搬送容器Ｔを保持可能であるが、代替の実施形態では、搬送容器保持領域は、より多いか、またはより少ない保持ステーションを有してもよく、各保持ステーションは、任意の所望の数の基板搬送容器を支持可能であり得る。保持（またはカセット支持）ステーション３６、３４に着座して示される搬送容器Ｔ（図１Ａ）は、例示目的で、フロント・オープニング・ユニファイド・ポッド（ＦＯＵＰ）型の容器として示されているが、代替の実施形態では、ロードポート保持領域の保持ステーションは、ＳＭＩＦ容器などの任意の所望の種類の搬送容器を支持可能であり得る。
【0016】
図１Ａに示される態様では、前セクション１２は、例示目的で、前セクション１２の前面１２Ｆに配置されるロードポートモジュール２４を有する。この位置では、ロードポートモジュール２４は、任意の適切な自動材料ハンドリングシステム（ＡＭＨＳ）（図示せず）を使用して、ロードポートモジュール保持領域２８の少なくとも１つの保持（またはカセット支持）ステーション３４、３６上への搬送容器Ｔの配置および取り外しを容易にするように位置付けられ得る。図１Ａ－２に見られるように、ロードポートモジュール保持領域２８は、前セクションの前面１２Ｆから前方に突出し、ＡＭＨＳを用いる、保持領域２８上への搬送容器Ｔの取り外し／配置のためのアクセスは、上部または前部であり得る。代替の実施形態では、ロードポートモジュールは、必要に応じて、前セクションの他の側面に配置され得る。さらに他の代替の実施形態では、ロードポートモジュールは、前セクション１２の２つまたはそれ以上の側面に配置され得る。図２に見られるように、この典型的な態様におけるロードポートモジュール２４は、ロードポートモジュール２４のベースプレートから外向きに突出する延伸ゾーン３８を有し得る。
【0017】
また図１Ａ－３を参照すると、ロードポートモジュール２４の搬送容器保持領域２８は、上部３６および下部３４の支持ステーションの両方を有してもよく、各支持ステーション３６、３４は、図１Ａに示されるように搬送容器Ｔを保持可能または支持可能であり得る。本態様では、下部ステーション３４は、概して、上部ステーション３６の下に配置される。下部ステーション３４は、搬送容器Ｔの構造にコンフォーマルに係合可能な、対向部材３４Ｌ（そのうちの１つのみが図３に示される）を含んでもよく、それにより、搬送容器は、下部ステーション３４に配置されると対向部材３４Ｌから支持される。図６Ａ－６Ｂはそれぞれ、典型的な基板搬送容器Ｔの正面および底面の斜視図である。図６Ａ－６Ｂにおける基板搬送容器Ｔは、ＦＯＵＰ型の構成を有するものとして示されている。代替の実施形態では、基板容器は、図６Ａに最適に見られるように、任意の他の所望の構成を有してもよく、搬送容器Ｔは、概して、ケーシングＴ２、およびケーシングに取り外し可能に接続されるケーシングカバーまたはドアＴ４を有する。ケーシングＴ４は、そこから突出する固定具Ｔ８を備える上面Ｔ６を有する。固定具Ｔ８は、ケーシングの上面Ｔ６からある距離だけオフセットされる横方向フランジまたは外向きに突出する着座面Ｔ１０を含み得る。着座面Ｔ１０は、ＳＥＭＩ；Ｅ４７．１－１００１に準拠するハンドリングフランジの一部であり得る。着座面Ｔ１０は、自動材料ハンドリングシステムの容器搬送装置の連結部（図示せず）と結合し、それによって容器搬送装置から容器を支持するように機能する。また図２－３を参照すると、ロードポートモジュール保持領域２８上の下部ステーション３４の支持部材３４Ｌは、本態様では、角度または一般的なＬ字型構成を有するものとして示されている。部材３４Ｌは、示されるように、内向きに突出するフランジ３４Ｆを有する。代替の実施形態では、支持部材３４Ｌは任意の他の適切な形状を有し得る。支持部材３４Ｌは、たとえば、金属、プラスチック、または任意の他の適切な材料であってもよく、図３に示されるように、ロードポートフレーム２９の支持構造２９６に接続され得る。内向きフランジ３４Ｆは、搬送容器上の着座面Ｔ１０（図６Ａを参照）と容器の上面Ｔ６との間に入るように寸法合わせされている。対向部材３４Ｌのフランジ３４Ｆは、フランジ間の容器Ｔの支持固定具Ｔ８の挿入を可能にするように十分に分離されており、外向きに突出する着座面Ｔ１０は（少なくとも部分的に）対応するフランジ３４Ｆに突出する。したがって、搬送容器Ｔは、下部ステーション３４に載置されると、フランジ３４Ｆに着座する着座面Ｔ１０によって支持される。
【0018】
本態様では、搬送容器Ｔは、固定具Ｔ８がフランジ３４Ｆ間で移動させられるように容器を（図２の矢印Ｉによって示される方向に）挿入することによって、オペレータにより下部ステーション３４上に手動で位置付けられ得る。代替の実施形態では、下部支持ステーションの支持部材は、搬送容器を任意の他の所望の方向から位置付け可能にする、任意の他の所望の配向を有し得る。下部ステーション３４からの搬送容器Ｔの取り外しは、実質的に逆の方法で達成されてもよく、ユーザは、設置とは反対の方向に容器を手動で引き抜く。下部支持ステーション３４は、ロードポートモジュールに別の容器収納位置を提供し、別の容器収納位置では、ユーザは、上部支持ステーション３６が別の搬送容器によって占有されているか、または上部ステーション上の搬送容器Ｔの配置を防止する、いくつかの状態（試験など）である場合に、搬送容器Ｔを配置し得る。上記のように、代替の実施形態では、ロードポートモジュールは、搬送容器保持領域２８内に下部支持ステーションを有さなくてもよい。
【0019】
ここで図２を再度参照すると、ロードポートモジュール２４上の搬送容器保持領域２８の上部支持ステーション３６は、概して、ベース支持体または棚５０と、棚５０に移動可能に取り付けられるキャリッジまたはシャトル５２とを備える。シャトル駆動システム５４は、シャトル５２を棚５０に動作可能に接続し、棚５０上でシャトル５２を移動可能にする。駆動システム５４は、第１の位置と第２の位置との間でシャトルを（図２の矢印Ｍによって示される方向に）移動させる。以下でさらに説明するように、シャトル５２は、その上に搬送容器Ｔを配置可能に構成される。第１のシャトル位置は、搬送容器Ｔが自動材料ハンドリングシステム（図示せず）によってキャリッジ上に自動的に位置付けられ得る（またはピックオフされ得る）ように配置され得る。シャトル５２が移動し得る第２の位置は、シャトル上の搬送容器Ｔが、以下でさらに説明されるように、ドア３０Ｄ（図１Ａを参照）にドッキングされ得るように配置される。シャトルがこの第２の位置にあるとき、その上の搬送容器Ｔは、便宜上、ドッキング位置と呼ばれる位置に配置される。制御装置４００は、以下でさらに説明するように、シャトルおよび駆動システム上のセンサに通信可能に接続される。
【0020】
図１Ａに見られるように、搬送容器Ｔは、シャトル５２上に配置され、搬送容器の底面は、シャトル上に着座する。したがって、シャトル５２は、以下でさらに説明するように、搬送容器Ｔの底部にコンフォーマルに係合するように構成される。図６Ｂは、典型的な基板搬送容器Ｔの底部Ｔ３の特徴を図示する底面図である。本態様では、搬送容器の底部Ｔ３は、ＳＥＭＩ；Ｅ４７．１の仕様に概して準拠する機能を有する。代替の実施形態では、基板搬送容器の底部は、任意の他の所望の特徴を有し得る。この場合、底部Ｔ３は、概して、容器感知パッドＴ１２、基板工程（ＦＥＯＬ）および配線工程（ＢＥＯＬ）の情報パッドＴ１４、Ｔ１６の各１つ、容器容量（すなわち、基板保持位置の数）の情報パッドＴ１８、およびボックスまたはカセットの情報パッドＴ２０を含む。容器底部Ｔ３は、シャトル５２上の位置決め／動的連結ピン（kinematic coupling pins）６６による結合のためのスロットＴ２２をさらに含み得る。理解され得るように、動的連結ピン６６
は、ロードポートモジュール２４の周辺の搬送容器保持領域と、それによって係合される容器特徴部との間の決定的な位置決めデータムを画定する。第１の保持特徴部として底面への第１の凹部Ｔ２４が提供される。容器の底部はまた、その中に形成される第２の保持特徴部Ｔ２６を有する。第２の保持特徴部は、概して、（結合リップＴ３６を形成する）実質的に四角に仕切られる縁部Ｔ３４を備える外側開口Ｔ３２を有する底部に形成される、概して円形の凹部Ｔ３０を備える。
は、ロードポートモジュール２４の周辺の搬送容器保持領域と、それによって係合される容器特徴部との間の決定的な位置決めデータムを画定する。第１の保持特徴部として底面への第１の凹部Ｔ２４が提供される。容器の底部はまた、その中に形成される第２の保持特徴部Ｔ２６を有する。第２の保持特徴部は、概して、（結合リップＴ３６を形成する）実質的に四角に仕切られる縁部Ｔ３４を備える外側開口Ｔ３２を有する底部に形成される、概して円形の凹部Ｔ３０を備える。
【0021】
図４Ａ－４Ｄは、シャトル５２、およびシャトルが置かれる支持棚構造の一部のそれぞれの概略斜視図、平面図、正面図および側面図である（支持棚構造５０は、図４Ｃ－４Ｄにのみ見られる）。シャトル５２は、概して、シャーシまたはフレーム５５と、シャーシの上に位置付けられるカバー５６とを備える。シャトル５２はまた、概して、容器Ｔを適切にシャトル上に配置するのを補助するための位置決め特徴部５８と、シャトルへの着座した容器Ｔの確実な連結のための連結特徴部６０と、シャトル５２上の容器Ｔの存在および正確な配置を検出するための検出システム６２とを有し得る。ここで、シャトル５２の部分断面図を示す図５も参照すると、シャーシ５５は、任意の適切な形状を有してもよく、任意の適切な材料から作製されてもよく、シャトル上の搬送容器Ｔの配置および取り外しだけでなく、第１の位置と第２の位置との間の容器およびシャトルの移動に関連付けられる、静的および動的な荷重を支持することができる。シャーシ５５は、ロードポートモジュールフレームの支持棚５０に対する（図２の矢印Ｍによって示される方向の）シャトル５２の自由な移動を可能にするローラまたはスライドなどの動作システム（motion system：図示せず）を有し得る。図５に部分的に示される支持棚５０（図２も参照）は、フレーム２９（図３を参照）の支持構造２９６によって形成され得る。支持棚５０は、シャーシ５５の動作システムが乗るフレーム構造２９６（たとえば、上部プレート２９６Ｈまたは側部プレート２９６Ｅ）上に、またはそれに依存して形成されるトラックまたはレール（図示せず）を含み得る。容器位置決め特徴部５８、連結特徴部６０、検出システム６２およびカバー５６は、シャーシ５５に取り付けられる。
【0022】
図４Ａ－４Ｂに最適に見られるように、本態様では、シャトル５２上の容器位置決め特徴部５８は、突出する係合部材６４を含み得る。本態様では、係合部材６４は、容器の底部Ｔ３における位置決め凹部Ｔ２４（図６Ｂを参照）の形状に概ね一致する、略ピラミッド台形形状を有し得る。係合部材６４は、シャーシ５５に固定されてもよく、カバーの上面５６Ｕの十分上にあるカバー５６の適切な開口部を通って突出し、容器Ｔがシャトル５２に着座したときに容器内の位置決め凹部Ｔ２４と係合し得る。係合部材６４は、シャトル上への容器Ｔの適切な自動位置決めを補助するために、容器位置決め特徴部の縁部と協働するためのカム表面６４Ｃを有し得る。代替の実施形態では、シャトルは、係合部材６４のような係合部材を有さなくてもよい。本態様では、シャトル５２は、位置決めポスト（動的連結ピンとも呼ばれる）６６を有し得る。位置決めポスト６６は、シャトル５２上の容器Ｔの正しい位置決めを補助する位置決め特徴部としてだけでなく、シャトル５２への容器Ｔの確実な連結（すなわち、動的連結）の手段を提供するものとしても機能し得る。図４Ｂおよび６Ｂから理解され得るように、位置決めポスト６６は、容器底部Ｔ３におけるスロットＴ２２と協働するようにシャトル５２上に位置付けられる。金属またはプラスチックなどの任意の適切な材料から形成され得るポスト６６は、図５に示されるように、シャトルのシャーシ５４に直接固定され得る。ポスト６６は、カバー５６（における適切な孔）を通って突出して、スロットＴ２２内の容器の底部と係合し得る（図６Ｂを参照）。本態様では、ポスト６６は、シャトル上の搬送容器Ｔのための支持面を画定し得る。ポスト６６の端部または先端６６Ｔは、図４Ｄおよび５に見られるように、概して円錐形または丸みを帯びた形状を有し得る。これは、シャトル上の容器のための支持面の正確かつ再現性のある画定のために、シャトル５２と容器の底部との間に所望の３つの接触点を提供する。理解され得るように、ポスト６６は、容器Ｔの重量を支持し、したがって、容器の重量をシャーシに分配する、図５に示されるラジアルフランジなどの構成を有する。ポスト６６の円錐形の上部６６Ｔはまた、容器底部におけるスロットＴ２２の傾斜した側面に対するカム面として動作し、シャトル上の容器の（スロットＴ２２およびポスト６６の上部６６Ｔの幾何学的形状によってもたらされる）所望の位置が確立されるまで、容器を支持面に沿って機械的に案内する。
【0023】
シャトル５２の検出システム６２は、概して、シャトルの領域全体に分配される、多数のスイッチ６８を備える。スイッチ６８は、シャトル５２上に配置され、容器の底部で容器感知パッドＴ１２、ＦＥＯＬおよびＢＥＯＬ情報パッドＴ１４、Ｔ１６、容器容量およびカセット情報パッドＴ１８、Ｔ２０と協働し得る。図４Ｂは、カバー５６に重ねられる容器Ｔの底部のパッドＴ１２－Ｔ２０およびシャトル５２のスイッチ６８の位置を図示している。本態様では、スイッチ６８は、概して同種のものであって、互いに類似しており、典型的なスイッチを参照して以下で説明される。代替の実施形態では、異なる種類のスイッチが、容器Ｔの異なる情報パッドＴ１６－Ｔ２０によって、所与のスイッチに中継可能な異種の情報に対応する、シャトル上の異なる位置で使用され得る。典型的なスイッチのアーキテクチャ６８は、図５で最適に見られる。本態様では、スイッチ６８は、概して、ベースまたはセンサ部６８０および作動部６８Ｉを備える電気光学スイッチであり得る。作動部６８Ｉは、以下でさらに説明するように、バネ式であり、容器底部の対応するパッドとの接触によって作動される。センサ部６８０は、制御システムに信号を送信する作動部の作動を検出する。図５に見られるように、センサ部６８０は、シャトルのシャーシ５５上に位置付けられるＰＣＢ７４に取り付けられ得る。ＰＣＢ７４は、電力および信号の伝送の両方のために、その中に形成される、トレース６８Ｅを有し得る。トレース６８Ｅは、（フラッシュウェーブはんだ付けを含む、ＰＣＢ上に電子部品を取り付けるための任意の適切な手段を使用して）電子部品の接点端子が必要に応じて接続され得る、適切な表面接点（図示せず）に終端し得る。センサ部６８０の接点端子（電力および信号の両方）は、同様の方法でＰＣＢ７４におけるトレース６８Ｅに接続され得る。スイッチ６８のセンサ部６８０などの電子部品を一体型トレースを備えるＰＣＢ（ＰＣＢ７４など）に取り付けることは、個々の導体だけでなく、シャーシへのそれらの費用および時間のかかる設置を排除するように働き、そうでなければ、コンポーネントを電源および制御システムに接続するために使用される。ＰＣＢのトレース６８Ｅは、端子コネクタ（図示せず）まで延伸してもよく、端子コネクタに、たとえば、可撓性ワイヤハーネス７２（図４Ｄも参照）のコネクタ化された端部が嵌合され得る。理解され得るように、ワイヤハーネスは、ＰＣＢ７４におけるトレース６８Ｅをリンクし得、したがって、検出器スイッチ６８のセンサ部などの電子部品を、制御システム４００（図２を参照）および電源（図示せず）にリンクし得る。センサ部６８０は、たとえば、ＬＥＤなどの適切な光源およびフォトセルなどの光検出器を有し得る。スイッチの非アクティブ状態では、光源は、たとえば、フォトセルを照射し、センサ部６８０に、制御システムによってスイッチ６８の非アクティブ状態であると解釈される信号を（トレース６８Ｅを介して）制御システム４００へと送信させ得る。スイッチの作動部６８Ｉの一部などによって光源が遮られると、フォトセルからの信号が変化し、順に制御システムによってスイッチが作動状態にあると読み取られる。代替の実施形態では、センサ部６８０は、スイッチ６８が非アクティブ状態にあるときに、光源が遮られ、アクティブ状態にあるときに、光検出器を照射するように構成され得る。
【0024】
図５に見られるように、スイッチ６８の作動部６８Ｉは、シャトル５２のカバー５６に統合されている。作動部６８Ｉを付勢するばねは、本態様では、カバー５６の一部によって形成されている。シャトル５２のカバー５６は、たとえば、プラスチック、板金、または任意の他の適切な材料で作製され得る。本態様では、カバー５６は、一体型の部材（すなわち、単一構造のもの）であり得る。カバー５６は、プラスチックである場合、たとえば、射出成形または任意の他の適切なプロセスによって形成され得る。図４Ａ－４Ｄに見られるように、本態様のカバー５６は、上面５６Ｕおよび上面から突出する外周壁５６Ｗを備える、略六面体形状を有し得る。代替の実施形態では、シャトルカバーは任意の他の適切な形状を有し得る。図２に最適に見られるように、カバー５６は、シャーシ５５に取り付けられると、その中にシャーシを実質的に囲むように機能するが、シャトルシステムへのほこりや他の粒子の侵入を最小限に抑制しながら、シャトルの自由な相対移動を容易にするために、カバーの外周壁５６Ｗの下端と棚５０との間に小さな間隙が設けられている。カバーの上面５６Ｕは、図４Ａに示されるように、その中に形成される貫通孔５６Ｈを有する。図５に最適に見られるように、孔５６Ｈによって、ポスト６６はカバー５６を通って延伸することが可能になる。本態様の孔５６Ｈはまた、図５にも示されるように、カバー５６をシャトルシャーシ５５上に位置付けるように機能する（孔の縁と対応するポスト６６との間のクリアランスは十分に小さいため、ポスト６６はシャーシ５５に対するカバー５６の正確な位置決めを提供する）。さらに、本態様では、孔５６Ｈの縁部は、図５に示されるように、ポスト６６のカラー６６Ｃに着座し、それによって、ポストからカバー５６を支持する。代替の実施形態では、カバーは、カバーおよびシャーシを取り付けるための任意の他の所望の取り付けシステムを有し得る。図４Ａ－４Ｂに見られるように、カバーの上面５６Ｕは、その中に形成される、いくつかの弾性的に可撓性のタブまたはフィンガ７０を有する。タブ７０は、カバー５６の上面５６Ｕを切断するなどの、任意の適切な手段によって形成され得る。タブ７０の数は、検出システム６２のスイッチ６８の数と一致し得る。本態様では、カバーの上面には、８つのタブ７０が形成されている。代替の実施形態では、カバーは、その中に形成される、任意の他の所望の数の可撓性タブを有し得る。他の代替の実施形態では、可撓性タブは、カバーの任意の他の所望の表面に形成され得る。図４Ａ－４Ｂに示される態様では、タブ７０は、互いに略類似しており、したがって、類似する弾性的に可撓性の特性を有し得る。代替の実施形態では、様々なタブの形状（すなわち、長さ、断面）は、異なるタブに異なる可撓性の特性を提供するために変更し得る。本態様では、タブ７０の先端７０Ｅは、カバー上に配置され、それにより、カバーがシャーシに取り付けられると、各先端７０Ｅは、対応するスイッチ６８のセンサ部６８０の実質的に上に位置付けられる（図５を参照）。代替の実施形態では、タブは、タブの任意の他の所望の部分（すなわち、タブ中央セクション）が対応する、スイッチのセンサ部上に位置付けられるように配置され得る。カバーの上面５６Ｕ上のタブの配向は、必要に応じて、非拘束のカンチレバーの可撓性をタブに提供するために選択され得る。図４Ａ－４Ｂに示されるタブ７０の配向は、単なる例示であり、タブは任意の他の所望の配向を有し得る。
【0025】
図５に最適に見られるように、本態様では、スイッチ６８の作動部６８Ｉは、対応するタブ７０の先端７０Ｅに取り付けられるか、または配置される。作動部６８Ｉは、（たとえば、カバー上面の成形プロセス中に形成される）タブ７０との一体構造であり得るか、または接着剤などの適切な結合手段によって、タブ７０に取り付けられ得る。作動部６８Ｉは、カバーの上面５６Ｕから十分に突出して、ポスト６６に配置される容器の対応するパッドＴ１２－Ｔ２０と接触し、この接触によって、タブ７０の十分な撓みを生成して、作動部の遮断器フラグ部６８Ｆを移動させ（たとえば、光源を妨害し）、スイッチ６８の作動を引き起こす。容器Ｔがシャトル５２から取り外されると、可撓性タブ７０は、撓みのない位置に跳ね返って戻り、スイッチを非アクティブ状態に戻す。理解され得るように、容器Ｔがシャトル上に適切に配置されていない場合、容器のパッドＴ１２－Ｔ２０とスイッチ６８の作動部６８Ｉの少なくとも一部との間に、いくらかの不整合が存在してもよく、それにより、スイッチの少なくとも一部はアクティブにならない。いくつかのスイッチがアクティブにされ、他のスイッチが非アクティブである信号の組み合わせは、制御システム４００によってシャトル上の容器Ｔの不適切な配置の指標として解釈され得る。その後、制御システムのプログラミングは、シャトル５２の動作を防止し、シャトルからの容器の配置または取り外しを修正するための修正措置を命令し得る。
【0026】
上記のように、シャトル５２は、シャトルへの搬送容器Ｔの確実な連結のために、連結特徴部６０を有し得る。また上記のように、ポスト６６は、シャトル運動の間のシャトルと容器との間の動的連結手段として機能する。本態様では、シャトル連結特徴部６０はまた、全体が援用により既に本明細書に組み込まれている、米国特許第８，８２１，０９９号明細書に記載されるものに略類似する容器クランプシステム６１を含み得る。
【0027】
ここで図２および４Ａ－４Ｄを再度参照すると、シャトル５２は、駆動システム５４によって、シャトルの第１の位置または載置位置と、ドッキングされる位置との間で（図２の矢印Ｍによって示される方向に）移動し得る。図４Ｃ－４Ｄに最適に見られるように、本態様のシャトル駆動システム５４は、概して、リードねじ５７を駆動させる電気モータ５３を備える。代替の実施形態では、シャトルは、空気圧または油圧駆動システムなどの任意の適切な種類の駆動システムを有し得る。本態様の電気モータ５３は、ＡＣまたはＤＣモータ、ステッパモータまたはサーボモータなどの、任意の適切な種類のモータであり得る。モータ５３は、棚構造５０に固定して取り付けられ得る。リードねじ５７はモータの出力シャフトに接続されている。モータは、リードねじを時計回りと反時計回りの両方に回転させ得る。リードねじ５７はまた、（１つまたは複数の）リニアベアリング２８３に沿って動作するシャトル５２のシャーシ５５に駆動的に係合されている（図３）。リードねじとシャーシとの間の係合は、たとえば、シャーシに固定され、リードねじによって螺合される、ねじ付きブッシングなどの任意の適切な手段によって提供され得る。モータ５３によるリードねじ５７の回転は、リードねじ上のブッシングの軸運動となり、したがって、モータ５３が固定される棚５０に対するシャーシおよびシャトル５２の軸運動をもたらす。図４Ｃに見られるように、モータ５３は、適切な回路９１によって制御装置４００に通信可能に接続されている。制御装置４００は、回路９１を介してモータ５３に（適切な電源からの）命令信号および電力の両方を提供し得る。モータ５４は、位置表示データを制御装置に送信するために、モータエンコーダ５８Ｅ（図４Ｄを参照）を含み得る。制御装置４００は、ロードポート上のシャトルの位置を識別するように、モータエンコーダデータを処理し得る。代替の実施形態では、移動中のシャトル位置を識別するために、シャトルと支持棚との間にリニアエンコーダが取り付けられ得る。図４Ｃに見られるように、本態様では、回路９１はまた、シャトル運動に対する障害物を検出することができるピンチ保護回路９０を含み得る。ピンチ保護回路は、任意の適切な種類の電流センサ９２、およびモータ５３への電流変化を測定することができる所望の感度の電流センサ９２を含み得る。電流センサ９２は、必要に応じて、回路９１を介してモータ５３に供給される電流を監視するように構成される。センサ９２からの測定信号は、回路９０によって制御装置４００に送信される。ピンチ保護回路９０は、必要に応じた閉ループまたは開ループのシステムであり得る。理解され得るように、シャトルが駆動モータ５３によって前進されて障害物に遭遇すると、（回路９１を介して）モータに供給される電流は、障害物によって提供されるシャトル動作に対する抵抗のレベルに略比例して増加する。「過剰な」電流がセンサ９２によって検出され、その情報は回路９０を介して制御装置４００に中継される。センサ９２は、生のセンサデータ、または未処理のセンサデータを制御装置４００に送信し得る。制御装置は、ノイズから、障害物を示すのに十分なレベル、および十分な持続時間の過剰電流がモータ５３にいつ供給されるかを識別するように、センサからのデータを処理するべく、プログラムされ得る（適切なアルゴリズムなど）。制御装置４００は自動逆転プログラム４０２（図１Ａを参照）を有し、ここで、過剰電流（したがって、シャトル運動に対する障害物）を識別すると、制御装置は、前に命令された動作を停止し、モータの方向を逆転させる命令信号をモータ５３に送信する。したがって、シャトル５２の移動を有効にするリードねじ５７の回転もまた逆転され、それによって、シャトルの移動を障害物から離れるように逆転させる。シャトルは、エンコーダ５３Ｅ情報から確立される所定の距離を逆転させられ得る。代替の実施形態では、電流センサ９２は、過剰電流を検出するための所望の設定点を選択するように、プログラム可能であり得る。この場合、電流センサは、プログラムされる設定点を超えるレベル、および持続時間を有する過剰電流を検出すると、適切な信号を制御装置に送信し得る。制御装置は、電流センサから信号を受信すると、制御装置のメモリ内の自動逆転プログラム４０２にアクセスする。これによって、撓み可能な（つまりピンチ）バーを利用する従来のシステムよりも、低コストで優れた障害物の検出および回収のシステムが提供される。
【0028】
ここで図２を再度参照すると、示されている態様のロードポートモジュールは、搬送容器前進検出システム１１０（図２に概略的に示されている）を有し得る。容器前進検出システム１１０は、シャトル５２に取り付けられ、それにより前進する容器Ｔの特徴部を検出し、容器がドッキングされる位置にあるときに、容器の前面が、異なる容器間の許容誤差の変動に関係なく、所望の繰り返し可能な位置にあるように、シャトルの停止をもたらす、非接触システムである。容器とロードポートフレーム２９とが実際に接触することなく、それらの間のクリアランスが最小であるように、ロードポートシャトルの前進運動を停止させることが望ましい。容器の寸法は特に、製造業者間で異なるため、従来のシステムでは、シャトルの移動は概して「最悪のケース」のために調整され、ほとんどの場合、過度に大きなクリアランスを見込んでいる。ロードポートモジュール２４の容器前進検出システム１１０は、従来のシステムの問題を克服し、前面が最小のクリアランスを提供する位置Ｌ１となる状態で、異なる容器が停止することが可能になる。本態様の容器前進検出システム１１０は、放射エネルギーのエミッタまたはソースおよびエミッタからの放射エネルギーを検出するための検出器を備えた「スルービーム」センサ構成を有する。たとえば、本態様では、容器前進検出システム１１０は、適切なりリモート光源に接続される光ファイバの末端にＬＥＤまたはレーザーダイオードなどの光源１１２を有し得る。容器前進検出システム１１０はまた、光源１１２からの光ビームを感知するためのフォトセルなどの、適切な光感知部１１４を有し得る。図２に見られるように、光源１１２およびセンサ１１４は、シャトル５２の対向する側および所望の高さに位置付けられ、それにより、シャトル５２によって取り付けられ、搬送される容器Ｔは、光源１１２によって放射される、少なくともセンサ１１４の感知部を照射する、光ビームＢを遮断する。図２には示されていないが、光源１１２およびセンサ１１４は、接触および粒子保護のための、およびシャトル５２によって搬送される容器以外の物体による、ビームの故意でない遮断を防ぐための適切なカバーに収容され得る。図２に見られるように、センサ１１２、１１４は、容器Ｔがシャトルによってドッキングされる位置に移動するときに、容器Ｔの前面の位置Ｌ１から光ビームＢが所望の距離ｄだけ離間するように、（図２の矢印Ｍで示される）シャトルの移動方向にオフセット距離で位置付けられる。理解され得るように、シャトルによって前進させられる容器Ｔの前面は、ドッキングされる位置Ｌ１から距離ｄにあるときにビームＢを遮断する。制御装置４００は、距離ｄでプログラムされる。制御装置４００はまた、モータエンコーダ５３Ｅ（図４Ｄも参照）によって制御装置に提供され得るものなどの、シャトル移動情報を使用するアルゴリズム（図１Ａのプログラムモジュール４０１）、およびシャトル上の容器Ｔの前面が位置Ｌ１になるように、いつシャトルの前進移動が停止させるべきであるかを判定するための距離ｄでプログラムされる。したがって、前進する容器Ｔの前面がビームＢを遮断すると、センサ１１４は、適切な信号を制御装置４００に送信して、容器前面の検出を制御装置に通知する。その後、制御装置４００は、上記のように、いつシャトルの前進を停止させるように命令するかを判定してもよく、正しい時間にコマンドをシャトル駆動セクション５４に送信する。このようにして、シャトルによって搬送される各容器Ｔは、容器間の寸法変動に関係なく位置Ｌ１に容器前面を有するように、そのドッキングされる位置に適切に位置付けられる。
【0029】
容器Ｔがドッキングされる位置にあるとき、図１Ａに示されるように、容器のドアＴ４は、ロードポートモジュールアクセスポート３０Ｐのドア３０Ｄと結合させられ得る。容器Ｔの前面におけるドアＴ４は、図６Ａに概略的に図示されている。ドアＴ４は、結合させるときに、ドアＴ４を容器ボックス内に保持するラッチシステムＴ４０、Ｔ４２を含み得る。容器ドアのためのラッチシステムの例は、全体が援用により本明細書に組み込まれる、１９９８年６月３０日に特許査定を受けた、米国特許第５，７７２，３８６号明細書に開示されている。ドアのラッチシステムＴ４０、Ｔ４２は、回転可能なハブＴ４４を含んでもよく、ラッチタブＴ４６は、ハブＴ４４に関節式で連結され得る。ハブＴ４４の回転は、ラッチタブＴ４６の作動を引き起こして、容器ハウジングを結合および結合解除する。ラッチハブＴ４４は、ドアＴ４におけるラッチキーアクセス孔Ｔ５０を介してアクセス可能である。容器ドアＴ４はまた、図６Ａに示されるように、ロケータピン孔Ｔ５２を有し得る。また図２を参照すると、ロードポートモジュールのアクセスポートドア３０Ｄは、容器のドアＴ４におけるロケータピン孔Ｔ５２およびラッチキーアクセス孔Ｔ５０との相補的な、または一致する構成でのロケータピン１２０およびラッチキー１２２を有する。ポートドア３０Ｄにおけるロケータピン１２０およびラッチキー１２２は、（援用により前に本明細書に組み込まれる）米国特許第５，７７２，３８６号明細書のロケータピンおよびラッチキーに類似し得る。ポートドア３０Ｄのラッチキー１２２は、容器ドアにおけるキーアクセス孔Ｔ５０およびラッチシステムのハブＴ４４におけるキー孔の形状に一致する。ポートドア３０Ｄが容器ドアＴ４と結合すると、アクセスドア３０Ｄ上のラッチキー１２２は、キーアクセス孔Ｔ５０を通って、容器のハブＴ４４に形成されるキー孔に入る。ラッチキー１２２の回転は、ハブＴ４４の回転およびラッチシステムの作動を引き起こして、ラッチタブを結合／結合解除し、それにより、容器ドアＴ４を容器からロックまたはロック解除する。ラッチキー１２２は、開示全体が援用により既に本明細書に組み込まれている、米国特許第８，８２１，０９９号明細書に記載される方法に略類似する方法で、アクセスドアの構造に回転可能に取り付けられて操作される。
【0030】
ここで図７Ａおよび７Ｂを参照すると、別の典型的な実施形態による、基板処理装置またはツール１００２、および基板処理装置またはツール１００２に接続される（１つまたは複数の）容器Ｔの概略立面図が示されている。図７Ａに示される典型的な実施形態では、基板処理装置１００２は、概して、図１Ａ、１Ｂ、および１Ｃに図示される基板処理ツールに類似する。基板処理ツール１００２は、概して、処理セクション１００６およびＥＦＥＭ１００４を有し得る（説明目的のみで、ウェーハが正面からツールに載置されると考えられ得る慣用を続けて参照されたい）。典型的な実施形態では、処理セクション１００６およびＥＦＥＭ１００４は、共通の制御環境または制御雰囲気（たとえば、不活性ガス（Ｎ2）、（Ａｒ）、または非常に清浄な乾燥空気）を共有し得る。処理セクション１００６は、概略的に示され、ＥＦＥＭ１００４に接続される１つまたは複数の処理セクションまたはモジュールを含み得る（図７Ａに示される配置は単なる例示であり、ＥＦＥＭおよび処理セクションのモジュールは、代替の実施形態では、任意の所望の配置で互いに接続され得る）。（１つまたは複数の）処理セクションまたは（１つまたは複数の）モジュール１００６は、閉鎖可能な開口部（たとえば、ゲート弁）などを用いて、ＥＦＥＭ１００４から隔離され得る。したがって、処理セクションにはまた、ＥＦＥＭ雰囲気とは異なる処理の雰囲気が提供され得る。代替の実施形態では、処理セクション１００６は、以下でさらに説明するように、類似しない雰囲気を有するか、または真空を保持する処理モジュールをＥＦＥＭに接続可能にするロードロックを含み得る。
【0031】
図７Ａに示される典型的な実施形態におけるＥＦＥＭ１００４は、別途明記のない限り、上記のものに類似し得る。ＥＦＥＭ１００４は、基板が処理セクション１００６間で搬送されるときに、ＥＦＥＭ内の所望の制御環境または制御雰囲気を維持するために、適切な環境制御部を含み得る。たとえば、ＥＦＥＭ１００４は、制御装置３１０００（これは上記の制御装置４００に略類似し得る）、１つまたは複数の流体制御弁３１０１０、３１０２０、圧力逃がし弁または逆止弁３１０３０、およびたとえば、圧力センサ３１０４０、汚染センサ３１０４１、および温度センサ３１０４２などの、センサを含み得る。制御装置は、ＥＦＥＭ（および処理セクション１００６）内の制御環境の温度圧力およびガス流量３１０５０などの属性を調整または調節するように構成され得る。たとえば、制御装置３１０００は、圧力センサ３１０４０、温度センサ３１０４２、および環境汚染センサ３１０４１から信号を受信し得る。これらの信号における環境情報に応じて、制御装置は、適切な弁３１０１０、３１０３０を作動させることによって、ＥＦＥＭ内の圧力を解放するか、または増加させ、ＥＦＥＭ内の空気流３１０５０を増加させるか、または減少させ得る。制御装置３１０００はまた、温度センサ３１０４２によって提供される温度読み取り値に基づいて、（たとえば、ラジエータ３１０６０を通る冷却剤の流れを調整することによって）ＥＦＥＭ内の気体の温度を上昇させるか、または低下させるように構成され得る。理解され得るように、制御装置３１０００および関連付けられる弁およびセンサは、図７Ａおよび７Ｂに関して説明されるが、制御装置３１０００は、本明細書に開示される他の実施形態の（１つまたは複数の）環境を制御するために使用され得る。
【0032】
ＥＦＥＭ１００４は、基板を保持および搬送することができる基板搬送装置またはロボット１００４Ｒ（ロボットは、理解され得るように、任意の所望の種類のものであり得る）を含み得る。上記と同様に、ＥＦＥＭ１００４は、１つまたは複数の容器Ｔをツール１００２にインターフェース接続し、基板をツール１００２へと載置するおよびツール１００２から取り出し可能とするために、（本明細書に記載されるような）ロードポート２４を含み得る。ＥＦＥＭ１００４のロードポート２４、および（本明細書に記載されるような）（１つまたは複数の）容器Ｔの対応する補完インターフェース部は、ＥＦＥＭ１００４および処理セクション１００６内の制御環境を劣化させることなく、容器とＥＦＥＭとの間の基板の載置および取り出しを可能にするように構成され得る。集合的に容器からＥＦＥＭへのインターフェースと呼ばれ得る、ＥＦＥＭロードポート２４および容器Ｔの補完インターフェース部は、ＥＦＥＭにインターフェース接続される（１つまたは複数の）容器Ｔがツールに統合されるように配置され得る。一例として、そのようにロードポート２４を介して統合される（１つまたは複数の）容器Ｔは、ＥＦＥＭと同じ制御雰囲気を共有し、したがって、ＥＦＥＭと同じ制御雰囲気に基板を保持することができる（１つまたは複数の）チャンバを画定し得、それにより、基板は、ＥＦＥＭ搬送ロボット１００４Ｒによって容器Ｔから処理セクションまたは処理モジュールに直接搬送され得る。前述の本開示の態様と同様に、図７Ａに示される典型的な実施形態における容器からＥＦＥＭへのインターフェースは、容器チャンバ内から、インターフェースを介してＥＦＥＭへと、および処理セクション全体に、既に（ＥＦＥＭおよび処理セクション全体と略同じ清浄度を有する）クリーントンネルと呼ばれ得るものを画定する。（（１つまたは複数の）容器がロードポートから取り外されるときなどに）クリーントンネルは閉じられ、クリーントンネルに対する劣化なしで自由に開かれ得る。図７Ａに示される態様では、容器からＥＦＥＭへのインターフェースは、開示全体が援用により本明細書に組み込まれる、 「Ｓｉｄｅ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ」と題され、２０１５年８月１１日に特許査定を受けた、米国特許第９，１０５，６７３号明細書に記載される方法に略類似する方法で、インターフェース接続前に、容器環境とは無関係に（実質的に上記のように）容器Ｔとツールとの直接統合を可能にするように配置され得る。したがって、図７Ａに図示される態様では、（１つまたは複数の）容器Ｔは、以下でさらに説明するように、異なるまたは類似しない環境（たとえば、清浄空気から不活性ガス環境、または清浄空気から真空）を有する処理ツールとインターフェース接続され、それに直接統合され、その後、異なる類似しない環境のツール間で直接搬送され、再度ツールとインターフェース接続され、それに統合され得る。したがって、制御環境を有する１つのツールでの（１つまたは複数の）基板は、ＥＦＥＭロボット１００４Ｒを用いて、（処理セクション１００６に類似する）処理セクションからクリーントンネルを通って（１つまたは複数の）容器Ｔに直接搬送されてもよく、（１つまたは複数の）容器Ｔは、類似しない／異なる制御環境を有する可能性のある別のツールで（ＥＦＥＭ１００４に類似する）ＥＦＥＭに直接搬送されてインターフェース接続され、（１つまたは複数の）基板は、他の処理ツールにおける制御環境の劣化なしで、ＥＦＥＭロボットを用いて、他のツールにおいて定義されるクリーントンネルを通って処理セクションに直接移送される。事実上、容器と組み合あわせでの容器とＥＦＥＭとのインターフェースは、外部ロードロック、すなわち容器ロードロックを画定すると考えられ得る。
【0033】
さらに図７Ａを参照すると、図７Ａに図示される態様では、ロードポート２４は、例示目的で１つの容器Ｔとインターフェース接続して示されているが、代替の実施形態では、ロードポートは任意の所望の数の容器とインターフェース接続するように配置され得る。たとえば、代替の態様では、ロードポートは、開示全体が援用により既に本明細書に組み込まれている、米国特許第９，１０５，６７３号明細書に記載されるスタックに類似するスタックで配列される多数の容器とインターフェース接続することができる、典型的にスタックされる構成を有し得る。本開示によれば、ロードポート２４は、容器をポンプダウンするために、たとえば、容器がロードポート上にあるときに容器内部とその中の基板から分子汚染物質を取り除くために、ロードポートに保持される（１つまたは複数の）容器Ｔに連絡可能に接続可能である真空源１０１０Ｖを有し得る。逆に、容器は、米国特許第９，１０５，６７３号明細書に記載されるように、ロードポートで真空源１０１０Ｖと連絡可能にインターフェース接続し、容器が真空にポンプダウンされるときに容器ケース内の雰囲気圧に耐える任意の適切な方法で、配置され得る。
【0034】
容器Ｔは、容器とロードポート２４との接続または連結時に、ロードポートの真空源１０１０Ｖが、自動的に容器ハウジングに連結され、容器内部と連絡するように、適切な通路および（１つまたは複数の）開口またはポート７７６（これらは、真空ポート、パージガスポート、または真空およびパージガス源の両方に共通であり得るポートであり得る）を有し得る。理解され得るように、容器シール（たとえば、図９のドアシール９４０を参照）は、シールにわたる真空に耐えるために、所望の完全性を有する。
【0035】
図７Ａに見られるように、図示される典型的な実施形態では、容器Ｔはまた、ベントまたはパージガスの供給源などのガス供給源に連絡可能に接続されるように構成され得る。図７Ａに示される典型的な実施形態では、容器Ｔは、ロードポート２４の容器支持体に着座するときに、ガス源／供給源１０１０Ｇに連絡可能に接続され得る。理解され得るように、容器Ｔは、容器がロードポートの支持面上に配置されるときなどに、ガス供給源１０１０Ｇのノズルに（たとえば自動的に）連結するために、適切な入口ポート７７６（プラグおよび容器内部を接続する適切なガスチャネル）を有し得る。図７Ａに示されるロードポートと容器との間のガス源のインターフェースの配置は、単なる例示であり、代替の実施形態では、容器とロードポートとの間のガス源のインターフェースは、任意の他の所望の位置および構成を有し得る。前述のように、ガス源１０１０Ｇは、たとえば、ロードポート２４に着座または配置される容器にパージおよび／またはベントガスを提供し得る。例として、容器Ｔが（オーバーヘッド搬送などから）ロードポート２４に適切に位置付けられ、ガス供給ノズルが容器に接続されて、ガスが容器ハウジングに供給されると、（ロードポートに配置されるときの容器の内部雰囲気、およびＥＦＥＭにおいて維持されている環境に依存して）必要に応じてパージガス（たとえば、Ｎ2）が容器に供給され得る。したがって、容器が（前のツールとのインターフェースなどから）たとえばいくらかの処理雰囲気を阻止し、ＥＦＥＭ１００４が、不活性ガスまたは非常に清浄な空気の雰囲気で維持されてもよく、それが、容器の雰囲気とは非類似であり得る場合、ガス供給源１０１０Ｇなどを介して、所望のパージガスが容器に供給され、容器がロードポート開口部とインターフェース接続され、上記のように、ツール１００２に統合され得るように、容器の雰囲気をパージする。また、容器をロードポートに位置付けると（しかし、たとえば容器内部をＥＦＥＭ環境に開く前に）、容器の雰囲気が、ＥＦＥＭ環境と適合性がない、またはＥＦＥＭ環境に望ましくない汚染物質をもたらす可能性があると考えられる場合、容器内部は、真空源１０１０Ｖを介して十分な真空までポンプダウンされ、ＥＦＥＭにおける環境に類似する不活性ガス（たとえば、Ｎ2、非常に清浄な空気）で満たされ、容器Ｔから潜在的な汚染物質を取り除き得、前述したようにツールへの容器Ｔの統合を可能にする。理解され得るように、ポート７７６の１つまたは複数は真空源１０１０Ｖに連結されてもよく、１つまたは複数の他のポート７７６は、パージガス源１０１０Ｇに連結され、容器Ｔのパージをもたらし得る。
【0036】
上記のように、パージガス供給部１０１０Ｇは、真空源１０１０Ｖに加えるか、または真空源１０１０Ｖの代わりに、上述のものに略類似する方法で、アクチュエータ５０００を動作させ得る。容器の雰囲気に関する情報は、容器が載置されるロードポート２４にあるか、またはロードポート２４に近接するのに適切なリーダによって読み取る（または、そうでなければ、アクセスする）ことができる、ＲＦＩＤ（無線周波数識別）タグ、または他の適切なデータ記憶装置に記録され得る。したがって、容器内部に関する適切な情報が、ツール制御装置によって取得され、所望のプロトコルで検討され、および必要に応じて、容器が、ロードポート２４に位置付けられるときに、前述のように排気および排出され得る。容器の雰囲気に関する情報は、たとえば、容器がロードポートにドッキングされるとき、または他の適切な時間に、容器搭載の保管装置に記録され得る。このような情報はまた、必要に応じて、ＦＡＢ広域制御装置によって追跡され得る。理解され得るように、容器Ｔはまた、真空およびガス供給接続部を有していないことがある、ＥＦＥＭとインターフェース接続され得る。代替の実施形態では、容器は、ロードポートに位置付けられるときに、容器をパージすることをもたらすために、米国特許第９，１０５，６７３号明細書に記載されるものなどの、パージガスの内部またはオンボードの供給源を含み得る。理解され得るように、他の態様では、容器とインターフェース接続するロードポートインターフェースには、真空接続部が設けられてもよく、ガスは、たとえば、容器に搭載されるガス源から供給されている、ガス供給源は設けられていない。したがって、理解され得るように、容器は、ここではツールの基板洗浄チャンバとして機能してもよく、基板をツールで保管することで、基板は、洗浄を受ける。理解され得るように、容器の排気／排出はまた、容器Ｔを別のツールに再び位置付けるときなど、ロードポート２４から容器Ｔを取り外す前に実施され得る。
【0037】
上記のように、図７Ａに示されるロードポートおよび容器からツールへのインターフェースの配置は、単なる例示であり、他の態様では、インターフェースは、任意の他の所望の構成を有し得る。たとえば、ガス供給源は、必要に応じて、容器内部が排気された後に、ガスをＥＦＥＭ環境から容器に排出するように位置付けられ得る。
【0038】
ここで、図２、６、８、および９Ａを参照すると、ロードポートモジュール２４の支持ステーション３６は、選択可能に構成可能なカセット支持体パージポート８１０、８１１を含み、２つ以上のパージポートノズル位置８００Ａ、８００Ｂ、８０１Ａ、８０１Ｂ、８０２Ａ、８０２Ｂ、８０３Ａ、８０３Ｂ、８０４Ａ、８０４Ｂが、支持ステーション３６などの容器Ｔ支持上に配置されている。２つ以上のパージポートノズル位置８００Ａ、８００Ｂ、８０１Ａ、８０１Ｂ、８０２Ａ、８０２Ｂ、８０３Ａ、８０３Ｂ、８０４Ａ、８０４Ｂの各々は、それぞれのパージポートノズル位置８００Ａ、８００Ｂ、８０１Ａ、８０１Ｂ、８０２Ａ、８０２Ｂ、８０３Ａ、８０３Ｂ、８０４Ａ、８０４Ｂでのパージノズル９００－９０３が、（１つまたは複数の）容器Ｔ－ＴＪの少なくとも１つのパージポート６００－６０９に連結するように構成される。各パージポートノズル位置８００Ａ、８００Ｂ、８０１Ａ、８０１Ｂ、８０２Ａ、８０２Ｂ、８０３Ａ、８０３Ｂ、８０４Ａ、８０４Ｂは、（以下に説明するように）異なる交換可能なパージポートノズルモジュール１９１０、９１０に対応する異なる交換可能なパージノズル９００－９０３が、異なるパージノズル位置間で高速に交換され、（同じロードポートモジュールで異なる特性を有する異なる容器を嵌合するように）所望の位置でロードポートモジュールをパージノズルとオン・ザ・フライで再構成するように、交換可能なパージポートノズルインターフェース８２０－８３１（図８および９Ａ）を画定する。異なる交換可能なパージポートノズルモジュール１９１０、９１０の各々は、異なる所定のパージノズル構成（たとえば、これはロードポート２４に連結される容器Ｔの所定のパージポート構成に対応する）を有する。異なる交換可能なパージポートノズルモジュール１９１０、９１０の各々は、交換可能なパージポートノズルモジュール１９１０、９１０の異なる所定のパージノズル構成に対応するパージポートノズル位置８００Ａ、８００Ｂ、８０１Ａ、８０１Ｂ、８０２Ａ、８０２Ｂ、８０３Ａ、８０３Ｂ、８０４Ａ、８０４Ｂのうちの１つまたは複数のそれぞれのパージノズルインターフェース８２０－８３１に取り外し可能に取り付けられる。異なる交換可能なパージポートノズルモジュール１９１０、９１０の各々は、異なるパージポート６００－６０９特性を有する、異なる容器Ｔ－ＴＪ（図６Ｂ）、少なくとも１つの容器Ｔ－ＴＪの、異なるパージポート６００－６０３、少なくとも１つのパージポート６００－６０９に適合し、少なくとも１つの容器Ｔ－ＴＪの、異なるパージポート６００－６０３、少なくとも１つのパージポート６００－６０９への連結をもたらす。
【0039】
依然として図２、６、８、および９Ａを参照すると、交換可能なパージポートノズルモジュール１９１０、９１０の各々は、少なくとも１つのパージノズル９００－９０３を有し、いくつかの異なる交換可能なパージポートノズルモジュール１９１０、９１０から選択可能である。パージノズルモジュール１９１０、９１０の各々は、交換可能なパージポートノズルインターフェース８２０－８３１へのモジュール式の取り付けのための異なる所定のパージノズル構成を有し、その結果、交換可能なパージポートノズルモジュール１９１０、９１０の選択可能な取り付けにより、カセット支持体パージポート８１０、８１１の構成を、第１の所定のパージポート特性を有する容器Ｔ－ＴＪの第１の容器に適合し、第１の容器との連結をもたらすパージポートノズル位置８００Ａ、８００Ｂ、８０１Ａ、８０１Ｂ、８０２Ａ、８０２Ｂ、８０３Ａ、８０３Ｂ、８０４Ａ、８０４Ｂでの少なくとも１つのパージノズル９００－９０３を有する第１の構成から、第１の所定のパージポート特性とは異なる第２の所定のパージポート特性を有する容器Ｔ－ＴＪの第２の容器に適合し、第２の容器との連結をもたらすパージポートノズル位置８００Ａ、８００Ｂ、８０１Ａ、８０１Ｂ、８０２Ａ、８０２Ｂ、８０３Ａ、８０３Ｂ、８０４Ａ、８０４Ｂでのパージポートノズル９００－９０３を有する第２の構成へと変更する。たとえば、図６Ｂに見られるように、容器Ｔ－ＴＪの異なるパージポート特性は、それぞれの容器Ｔ－ＴＪの動的位置決め特徴部（たとえば、スロットＴ２２）に対するパージポート６００－６０９の位置／構成である。たとえば、容器Ｔ、ＴＡ、ＴＤのパージポート６００、６０１は、本明細書では、狭い外側前部パージポート（ＯＢ－ＣＢ＿ＳＨＩＮ＿ＥＴＳＹ ＦＯＵＰなどの信越ポリマー（株）に見られるもの）と呼ばれ、ロードポート２４のパージポートノズル位置８０１Ａ、８０１Ｂに対応する。容器ＴＧ、ＴＨ、ＴＪのパージポート６０６、６０７は、本明細書では、広い外側前部パージポート（Ｓｐｅｃｔｒａ（商標）およびＦ３００ ＦＯＵＰＳなどのＥｎｔｅｇｒｉｓ，Ｉｎｃ．に見られるもの、４ポートおよび２ポートのＦＯＵＰＳなどのミライアル（株）に見られるもの、ならびにＣＴ－ＣＦ＿ＳＨＩＮ＿ＥＴＳＹおよびＴ－ＣＦ－Ｓ＿ＳＨＩＮ＿ＥＴＳＹ ＦＯＵＰなどの信越ポリマー（株）に見られるもの）と呼ばれ、ロードポート２４のパージポートノズル位置８０２Ａ、８０２Ｂに対応する。容器ＴＥ、ＴＦ、ＴＩのパージポート６０８、６０９は、本明細書では、内側前部パージポート（Ａ３００ ＦＯＵＰなどのＥｎｔｅｇｒｉｓ，Ｉｎｃ．に見られるもの、およびＣＦ－Ａ＿ＳＨＩＮ－ＥＮＳＹ ＦＯＵＰなどの信越ポリマー（株）に見られるもの）と呼ばれ、ロードポート２４のパージポートノズル位置８００Ａ、８００Ｂに対応する。容器Ｔ、ＴＢ、ＴＥ、ＴＪのパージポート６０２、６０３は、本明細書では、前方後部パージポート（Ｓｐｅｃｔｒａ（商標） ＦＯＵＰなどのＥｎｔｅｇｒｉｓ，Ｉｎｃ．に見られるもの、４ポートのＦＯＵＰなどのミライアル（株）に見られるもの、ならびにＣＴ－ＣＦ＿ＳＨＩＮ＿ＥＴＳＹおよびＴ－ＣＦ－Ｓ＿ＳＨＩＮ＿ＥＴＳＹ ＦＯＵＰなどの信越ポリマー（株）に見られるもの）と呼ばれ、ロードポート２４のパージポートノズル位置８０３Ａ、８０３Ｂに対応する。容器ＴＣ、ＴＤ、ＴＨ、ＴＩのパージポート６０４、６０５は、本明細書では、後方後部パージポート（Ａ３００ ＦＯＵＰなどのＥｎｔｅｇｒｉｓ，Ｉｎｃ．に見られるもの、およびＣＦ－Ａ＿ＳＨＩＮ－ＥＮＳＹ ＦＯＵＰなどの信越ポリマー（株）に見られるもの）と呼ばれ、ロードポート２４のパージポートノズル位置８０４Ａ、８０４Ｂに対応する。したがって、容器Ｔ－ＴＪの各々は、容器Ｔ－ＴＪの別の容器のパージポート構成とは異なる、それぞれのパージポート構成を有する。
【0040】
交換可能なパージポートノズルモジュール１９１０、９１０は、物理パージノズルモジュール、仮想パージノズルモジュール、または物理パージノズルモジュールと仮想パージノズルモジュールの両方の組み合わせであり得る。各異なるパージポートノズルモジュール１９１０、９１０（仮想モジュール９１０は、物理モジュール１９１０と同様の構成を有し、注記されている場合を除いて同様に番号が付けられる）は、たとえば、容器Ｔのパージポート６００－６０９の位置（たとえば、広い外側前部パージポート、狭い外側前部パージポート、内側前部パージポート、前方後部パージポート、後方後部パージポート）および／または構成（たとえば、硬質プラスチックパージポート嵌合インターフェース、フルオロエラストマーパージポートインターフェース）などの、少なくとも１つの基板カセット容器Ｔ－ＴＪ（概して、容器Ｔ－ＴＪの特定の態様が言及されていない限り、本明細書では容器Ｔと呼ばれる）の異なるパージポートノズルモジュールの異なる所定のパージポート特性に対応する。
【0041】
図９Ａ－９Ｇを参照すると、物理パージノズルモジュール１９００の例は、パージノズルモジュール１９１０Ｔ、１９１０ＴＡ、１９１０ＴＢ、１９１０ＴＣ、１９１０ＴＤ、１９１０ＴＥ、１９１０ＴＦ、１９１０ＴＧ、１９１０ＴＨ、１９１０ＴＩ、１９１０ＴＪ、およびパージノズルモジュール１９１０ＴＦＬＵ、１９１０ＴＡＦＬＵ、１９１０ＴＢＦＬＵ、１９１０ＴＣＦＬＵ、１９１０ＴＤＦＬＵ、１９１０ＴＥＦＬＵ、１９１０ＴＦＦＬＵ、１９１０ＴＧＦＬＵ、１９１０ＴＨＦＬＵ、１９１０ＴＩＦＬＵ、１９１０ＴＪＦＬＵである（パージノズルモジュール１９１０ＴＦＬＵ、１９１０ＴＡＦＬＵ、１９１０ＴＢＦＬＵ、１９１０ＴＣＦＬＵ、１９１０ＴＤＦＬＵ、１９１０ＴＥＦＬＵ、１９１０ＴＦＦＬＵ、１９１０ＴＧＦＬＵ、１９１０ＴＨＦＬＵ、１９１０ＴＩＦＬＵ、１９１０ＴＪＦＬＵが、パージノズルモジュール１９１０Ｔ、１９１０ＴＡ、１９１０ＴＢ、１９１０ＴＣ、１９１０ＴＤ、１９１０ＴＥ、１９１０ＴＦ、１９１０ＴＧ、１９１０ＴＨ、１９１０ＴＩ、１９１０ＴＪの対応する１つに略類似する（たとえば、１９１０ＴＦＬＵは１９１０Ｔに対応し、１９１０ＴＡＦＬＵは１９１０ＴＡに対応するなど）が、パージノズル１９１０Ｔ、１９１０ＴＡ、１９１０ＴＢ、１９１０ＴＣ、１９１０ＴＤ、１９１０ＴＥ、１９１０ＴＦ、１９１０ＴＧ、１９１０ＴＨ、１９１０ＴＩ、１９１０ＴＪの対応する１つとは異なるタイプのパージノズルカプラー部分（図９Ａのカプラー部分９３４Ａ、９３４Ｂを参照）を有することに留意）。図９Ａおよび９Ｂのパージノズルモジュール１９１０ＴＢ、１９１０ＴＣを参照すると、パージノズルモジュール１９１０ＴＢ、１９１０ＴＣは、対応する容器ＴＢ、ＴＣの対応する前方後部パージポート６０２、６０３または後方後部パージポート６０４、６０５とそれぞれインターフェース接続するために、シャトル５２の隣接する後部側（ロードポート２４のフレーム２９の開口部３００の反対側）に交換可能に配置され得る。各異なる物理パージポートノズルモジュール１９１０ＴＢ、１９１０ＴＣは、モジュールフレーム（たとえば、仮想パージポートノズルモジュール９１０には存在しないベース／フレーム９５０を参照）を有し、各々の対応するパージポートノズル９０２、９０３は、ベース９５０が各々の対応するパージポートノズル９０２、９０３に共通であるように、それぞれのベース９５０に取り付けられており、ベース９５０は、ベース９５０の支持ステーション３６への取り外し可能な連結が、共通モジュールユニットとしてのそれぞれのパージポートノズルインターフェース８２６－８３０への各パージポートノズル９０２、９０３の取り付けをもたらすように、支持ステーション３６への共通の取り外し可能な取り付け連結部を画定する。他の態様では、ベース９５０は、本明細書に記載されるような仮想パージポートノズルモジュール９１０との利用のために容器支持体３６に固定されてもよく、ベース９５０は、支持ステーション３６に固定されたままである。
【0042】
パージノズルモジュール１９１０ＴＢ、１９１０ＴＣ、１９１０ＴＢＦＬＵ、１９１０ＴＣＦＬＵが、パージノズルモジュール１９１０ＴＢに関して説明されることが留意される。パージノズルモジュール１９１０ＴＣ、１９１０ＴＢＦＬＵ、１９１０ＴＣＦＬＵは、特に他に明記されない限り、パージノズルモジュール１９１０ＴＢに略類似する。（１つまたは複数の）対応するパージポートノズル９０２、９０３を上に有する各異なるパージポートノズルモジュール１９１０ＴＢ、１９１０ＴＣ、１９１０ＴＢＦＬＵ、１９１０ＴＣＦＬＵのベース９５０は、本明細書に記載されるように、対応する異なるパージポートノズル９０２、９０３を上に有する互いの異なるパージポートノズルモジュール１９１０ＴＢ、１９１０ＴＣ、１９１０ＴＢＦＬＵ、１９１０ＴＣＦＬＵの別のモジュールフレーム９５０を有するモジュールユニットとして交換可能である。パージノズルモジュール１９１０ＴＢは、ベース９５０と、ベース９５０に移動可能に連結されるノズル支持体９５１とを含む。ノズル支持体９５１は、少なくとも方向９９９（これは、位置決め／動的連結ピン６６によって画定されるような容器Ｔの支持面に略垂直な方向である）に移動するように、任意の適切な方法（（１つまたは複数の）リニアガイド９５５など）でベース９５０に移動可能に連結され得る。シャトル表面５２Ｓの上のパージノズル９０２、９０３の高さ１２００（図１２Ａ）を制限するために、任意の適切な物理的制限ストップ９４６、９４７がベース９５０および／またはノズル支持体９５１に設けられ得る（高さ１２００が代表的なものであり、パージノズルモジュールのうちの１つまたは複数の高さ１２００が異なる対応する高さを有し得ることが留意される）。リニアアクチュエータ９８５が提供され、制御装置４００に通信可能に連結され、ここで、制御装置４００からの命令下で、リニアアクチュエータ９８５は、パージポートノズル９０２、９０３が容器Ｔを係合または係合解除するように、ノズル支持体９５１およびその上のパージポートノズル９０２、９０３を上昇（または下降）させる。制御装置４００は、任意の適切な方法で、アクチュエータの係合／係合解除のポーズを教示されてもよく、これは、いくつかの態様では、パージノズルモジュール１９１０ＴＢ、１９１０ＴＣ（および１９１０ＴＢＦＬＵ、１９１０ＴＢＴＣＦＬＵ）と容器ＴＢ、ＴＣとの間で変わり得る。異なるアクチュエータの係合／係合解除のポーズの各々は、異なるパージノズルモジュール１９１０ＴＢ、１９１０ＴＣ（および１９１０ＴＢＦＬＵ、１９１０ＴＣＦＬＵ）の交換時に、新たに設置されるパージノズルモジュールが制御装置によって検出／識別され（またはオペレータが制御装置に新たに設置されるパージノズルモジュールの識別を入力する）、制御装置４００は、制御装置のセレクタテーブル４０３から対応するアクチュエータの係合／係合解除のポーズを選択するように、制御装置４００に教示され、制御装置のセレクタテーブル４０３（図１Ａを参照）にプログラムされ得る。パージノズルモジュール１９１０ＴＢに連結される少なくとも１つのパージノズル９０２、９０３を、それぞれの容器ＴＢの前方後部パージポート６０２、６０３から離間させる（ここではリニアアクチュエータ９８５がノズル支持体９５１を容器Ｔに向かって持ち上げるなど）か、またはそこに対して（ここではリニアアクチュエータ９８５がノズル支持９５１を容器Ｔから離間させて下降させるなど）付勢するために、任意の適切な付勢部材９５４が提供され得る。付勢部材９５４が、少なくとも１つのパージノズル９０２、９０３を前方後部パージポート６０２、６０３に対して付勢する場合、付勢部材９５４は、所定の係合力を提供し得る（パージノズルモジュール１９１０ＴＣの少なくとも１つのパージノズル９０２、９０３が、容器ＴＣの後方後部パージポート６０４、６０５に対して付勢されることが留意される）。
【0043】
交換可能なパージポートノズルインターフェース８２０－８３１（図８および９Ａ）の各々は、カセット支持ステーション３６の所定のデータム（たとえば、動的位置決めピン６６）に対して、所定の位置を有するように配置され、それによって、各パージポートノズルインターフェース８２０－８３１は、各異なる基板カセット容器Ｔの所定のデータム（スロットＴ２２など）に対して、決定的に配置される。言い換えれば、交換可能なパージポートノズルインターフェース８２６－８３０は、支持ステーション３６の所定のデータム（たとえば、ピン６６など）に対して、所定の位置を有するように配置され、それによって、交換可能なパージポートノズルインターフェース８２６－８３０に取り付けられる、異なる交換可能なパージポートノズルモジュール１９１０ＴＢ、１９１０ＴＣ、１９１０ＴＢＦＬＵ、１９１０ＴＣＦＬＵの、各パージポートノズル９０２、９０３は、各異なる基板カセット容器Ｔの所定のデータム（スロットＴ２２など）に対して、決定的に配置される。たとえば、ベース９５０は、パージノズルモジュール１９１０ＴＢ、１９１０ＴＣ、１９１０ＴＢＦＬＵ、１９１０ＴＣＦＬＵが、シャトル５２の任意の適切な（１つまたは複数の）データム（たとえば、動的位置決めピン６６）に対して交換可能にかつ繰り返し配置され得るように、シャトル５２の対応するピン９５７と嵌合する、穴／開口などの、任意の適切な位置決め特徴部９５６を含む。他の態様では、ベース９５０は、シャトル５２に連結されてもよく、位置決めピン６６と、たとえば、ベース９５０を位置決めピン６６に対してシャトル５２上に位置決めするためのベース９５０の位置決め特徴部９５６（または他の適切な位置決め特徴部）とインターフェース接続する任意の適切な位置決め治具９６７などを用いて、任意の適切な方法でシャトル５２の任意の適切な（１つまたは複数の）データム（たとえば、動的位置決めピン６６）に対して、交換可能にかつ繰り返し配置され得る。動的位置決めピン６６に対するパージノズルモジュール１９１０ＴＢ、１９１０ＴＣ、１９１０ＴＢＦＬＵ、１９１０ＴＣＦＬＵの繰り返し可能な位置決めによって、実質的にシャトル５２へのパージノズルモジュール１９１０ＴＢ、１９１０ＴＣ、１９１０ＴＢＦＬＵ、１９１０ＴＣＦＬＵの連結で（すなわち、シャトル５２との連結後にパージノズル９０２、９０３またはパージノズルモジュール１９１０ＴＢ、１９１０ＴＣ、１９１０ＴＢＦＬＵ、１９１０ＴＣＦＬＵをさらに位置決めすることなく）、パージノズルモジュール１９１０ＴＢ、１９１０ＴＣ、１９１０ＴＢＦＬＵ、１９１０ＴＣＦＬＵ、および、それに連結される少なくとも１つのパージノズル９０２、９０３をパージポート６０２－６０４に対して位置付ける。したがって、パージノズルモジュール１９１０ＴＢ、１９１０ＴＣ、１９１０ＴＢＦＬＵ、１９１０ＴＣＦＬＵは、ロードポート２４の配置は、容器ＴＢ、ＴＣのパージポート構成に対応する異なるパージノズルモジュール構成の各々の間で、オン・ザ・フライで再構成され得るように、高速交換され得る。
【0044】
図９Ａ、９Ｂ、１３および１４を参照すると、交換可能なパージポートノズルインターフェース８２６－８２９の各々は、ノズル位置決めデータム（またはパージノズルデータム）９５２、９５３を画定し、異なるパージポート特性（たとえば、入口、出口、位置など）を有する、異なる基板カセット容器ＴＢ、ＴＣの少なくとも１つのパージポート６０２－６０５の各々を決定的に示す。たとえば、ノズル支持体９５１は、パージポートノズル位置８０３Ａ、８０３Ｂ、８０４Ａ、８０４Ｂを画定するように、ノズル支持体９５１に連結されているパージノズルデータム９５２、９５３を含む。データム９５２、９５３は、（それぞれのパージノズル位置決め特徴部１３００に挿入されている適切なピン１４００（図９Ａ）などで）パージノズル９０２、９０３が連結されている任意の適切なパージノズル位置決め特徴部１３００（穴／開口など）を含む。ピン１４００とパージノズル位置決め特徴部１３００との間の嵌合は、ロードポート２４が容器Ｔを処理装置に積載する、および処理装置から取り出すべく動作するように、パージノズル９０２、９０３がシャトル５２上に保持されるようなものであり得る。他の態様では、パージノズル９０２、９０３は、任意の適切な方法（たとえば、ファスナ、クリップ、タブなど）でシャトル５２上に保持され得る。
【0045】
図１０も参照すると、パージノズル９０２、９０３は、任意の適切な方法で、入力ガスマニホールド１００３０または排気ガスマニホールド１００４０に連結され得る。一態様では、パージノズル９０２、９０３は、それぞれの流体硬質／剛性ライン、またはそれに連結される流体パイプ９９０、９９１を有してもよく、流体パイプ９９０、９９１のそれぞれの連結部９９２は、容器支持ステーション３６の下で伸長する。それぞれの可撓性ホース（ホース１０２０－１０２３を参照）は、パージノズル９０２、９０３を入力ガスマニホールド１００３０または排気ガスマニホールド１００４０に接続するために、それぞれの連結部９９２を流体パイプ９９０、９９１に連結し得る。他の態様では、それぞれの可撓性ホースは、介在する流体パイプ９９０、９９１なしで、パージノズル９０２、９０３を入力ガスマニホールド１００３０または排気ガスマニホールド１００４０に連結し得る。
【0046】
パージノズルモジュールは、ロードポート２４に連結される（１つまたは複数の）容器ＴＢ、ＴＣのパージノズル特性に応じて、（前方後部パージポート６０２、６０３とインターフェース接続する）パージノズルモジュール１９１０ＴＢ、１９１０ＴＢＦＬＵまたは（後方後部パージポート６０４、６０５とインターフェース接続する）パージノズルモジュール１９１０ＴＣ、１９１０ＴＣＦＬＵとして構成され得る。各パージノズル９０２、９０３は、対応するパージポートノズルモジュール１９１０ＴＢ、１９１０ＴＣ、１９１０ＴＢＦＬＵ、１９１０ＴＣＦＬＵの別のパージポートノズル９０２、９０３から独立したユニットとして、交換可能なパージポートノズルインターフェース８２６－８２９に取り外し可能に取り付けられ、対応するパージポートノズルモジュール１９１０ＴＢ、１９１０ＴＣ、１９１０ＴＢＦＬＵ、１９１０ＴＣＦＬＵの各々独立して取り付けられるパージポートノズル９０２、９０３は、対応するパージポートノズルモジュール１９１０ＴＢ、１９１０ＴＣ、１９１０ＴＢＦＬＵ、１９１０ＴＣＦＬＵの、異なる対応するパージポートノズルモジュール１９１０ＴＢ、１９１０ＴＣ、１９１０ＴＢＦＬＵ、１９１０ＴＣＦＬＵとの交換をもたらすように、異なる対応するパージポートノズルモジュール１９１０ＴＢ、１９１０ＴＣ、１９１０ＴＢＦＬＵ、１９１０ＴＣＦＬＵの異なるパージポートノズル９０２、９０３と独立して交換される。たとえば、各パージノズルデータム９５２、９５３は、それぞれの位置決めファスナ９０５、９０６とインターフェース接続するデータムストップ１３０２、１３０３を画定する一連のスロット１３０５を含む。パージノズルデータム９５２、９５３をパージポート６０２、６０３とインターフェース接続するための位置（例えば、前方位置）に移動させ、パージノズルモジュールをパージノズルモジュール１９１０ＴＢ、１９１０ＴＢＦＬＵとして構成するために、位置決めファスナ９０５、９０６は、（図１４に示すように）データムストップ１３０３が位置決めファスナ９０５に実質的に接触して静止するように、方向１４０１へのパージノズルデータム９５２、９５３の摺動をもたらすために、緩和され得る。ここで、前方位置にあるパージノズルモジュール１９１０ＴＢ、１９１０ＴＢＦＬＵのパージノズル９０２、９０３は、パージポートノズル位置８０３Ａ、８０３Ｂに配置される。同様に、パージノズルモジュールを、パージポート６０４、６０５とインターフェース接続するように、パージノズルモジュール１９１０ＴＣ、１９１０ＴＣＦＬＵとして構成するために、位置決めファスナ９０５、９０６は、パージポート６０４、６０５とインターフェース接続するための位置（たとえば、後方位置）へのパージノズルデータム９５２、９５３の摺動をもたらすために緩和され、ここで、パージノズルデータム９５２、９５３は、（図１３に示されるように）データムストップ１３０２が位置決めファスナ９０６に実質的に接触し、静止するように、方向１３０１に移動する。ここで、後方位置にあるパージノズルモジュール１９１０ＴＣ、１９１０ＴＣＦＬＵのパージノズル９０２、９０３は、パージポートノズル位置８０３Ａ、８０３Ｂに配置される。
【0047】
図８、９Ａ、および９Ｃ－９Ｅを参照すると、パージノズルモジュール１９１０ＴＧ、１９１０ＴＡ、１９１０ＴＦ、１９１０ＴＧＦＬＵ、１９１０ＴＡＦＬＵ、１９１０ＴＦＦＬＵは、対応する容器ＴＡ、ＴＧ、ＴＦの対応する狭い外側前部パージポート６００、６０１または広い外側前部パージポート６０６、６０７または内側前部パージポート６０８、６０９とインターフェース接続するために、シャトル５２の前面に隣接して（ロードポート２４のフレーム２９の場合、開口部３００に隣接して）交換可能に配置され得る。各異なるパージポートノズルモジュール１９１０ＴＧ、１９１０ＴＡ、１９１０ＴＦ、１９１０ＴＧＦＬＵ、１９１０ＴＡＦＬＵ、１９１０ＴＦＦＬＵは、モジュールフレーム（たとえば、ベース／フレーム９７０を参照）を有し、ベース９７０が各々の対応するパージポートノズル９００、９０１に共通であるように、各々の対応する各パージポートノズル９００、９０１は、それぞれのベース９７０に取り付けられ、ベース９７０は、ベース９７０の支持ステーション３６への取り外し可能な連結が、共通モジュールユニットとしてのそれぞれのパージポートノズルインターフェース８２０－８２５への各パージポートノズル９００、９０１の取り付けをもたらすように、支持ステーション３６に共通の取り外し可能な取り付け連結部を画定する。他の態様では、ベース９７０は、本明細書に記載されるような仮想パージポートノズルモジュールとの利用のために、容器支持体３６に固定され得る。
【0048】
パージノズルモジュール１９１０ＴＧ、１９１０ＴＡ、１９１０ＴＦ、１９１０ＴＧＦＬＵ、１９１０ＴＡＦＬＵ、１９１０ＴＦＦＬＵは、パージノズルモジュール１９１０ＴＧに関して説明されることが留意される。パージノズルモジュール１９１０ＴＡ、１９１０ＴＦ、１９１０ＴＧＦＬＵ、１９１０ＴＡＦＬＵ、１９１０ＴＦＦＬＵは、特に他に明記のない限り、パージノズルモジュール１９１０ＴＧに略類似する。対応するパージポートノズル９００、９０１を上に有する各異なるパージポートノズルモジュール１９１０ＴＧ、１９１０ＴＡ、１９１０ＴＦ、１９１０ＴＧＦＬＵ、１９１０ＴＡＦＬＵ、１９１０ＴＦＦＬＵのベース９７０は、本明細書に記載されるように、モジュールユニットとして、対応する異なるパージポートノズル９００、９０１を上に有する互いの異なるパージポートノズルモジュール１９１０ＴＧ、１９１０ＴＡ、１９１０ＴＦ、１９１０ＴＧＦＬＵ、１９１０ＴＡＦＬＵ、１９１０ＴＦＦＬＵの別のモジュールフレーム９７０と交換可能である。パージノズルモジュール１９１０ＴＧは、ベース９７０、ベース９７０に移動可能に連結されるノズル支持体９７１、および支持ブリッジ９７２を含む。支持ブリッジ９７２は、ノズル支持体９７１に連結され、ノズル支持体９７１によって運ばれる。ノズル支持体９７１は、少なくとも方向９９９（これは、位置決め／動的連結ピン６６によって画定されるような容器Ｔの支持面に略垂直な方向である）に移動するように、任意の適切な方法（（１つまたは複数の）リニアガイド９７５など）でベース９７０に移動可能に連結され得る。支持ブリッジ９７２は、パージノズル９００、９０１の高さ１２０１をシャトル５２の表面５２Ｓ上に制御するように、シャトル５２の内面１２０２（図１２Ａ）と係合するように構成され得る（高さ１２０１は、代表的なものであり、パージノズルモジュールのうちの１つまたは複数の高さ１２０１は、異なる対応する高さを有し得ることが留意される）。上記と同様の方法で、ノズル支持体９７１およびその上のパージポートノズル９００、９０１を上昇させる（または下降させる）ように、リニアアクチュエータ９８５が提供され、制御装置４００に通信可能に連結され、それによって、パージポートノズル９００、９０１は、容器Ｔを係合または係合解除する。上記と同様の方法で、制御装置は、新しく設置されるパージノズルモジュール１９１０ＴＧ、１９１０ＴＧＦＬＵ、１９１０ＴＡ、１９１０ＴＡＦＬＵ、１９１０ＴＦ、１９１０ＴＦＦＬＵを検出／識別してもよく（または、オペレータは、新たに設置されるパージノズルモジュールの識別情報を手動で入力してもよく）、それによって、制御装置４００は、パージノズルモジュールの交換時に、制御装置のセレクタテーブル４０３から対応するアクチュエータの係合／係合解除のポーズを選択する。パージノズルモジュール１９１０ＴＧ（およびパージノズルモジュール１９１０ＴＧＦＬＵ）に連結される少なくとも１つのパージノズル９００、９０１を、それぞれの容器ＴＧの広い外側前部パージポート６０６、６０７から離間させる（ここではリニアアクチュエータ９８５がノズル支持体９５１を容器Ｔに向かって持ち上げるなど）か、またはそこに対して（ここではリニアアクチュエータ９８５がノズル支持９５１を容器Ｔから離間させて下降させるなど）付勢するために、任意の適切な付勢部材９７４が提供され得る。バイアス部材９７４が少なくとも１つのパージノズル９００、９０１を広い外側前部パージポート６０６、６０７に対して付勢する場合、バイアス部材９７４は所定の係合力を提供し得る（パージノズルモジュール１９１０ＴＡ、１９１０ＴＡＦＬＵの少なくとも１つのパージノズル９００、９０１が狭い外側前部パージポート６００、６０１に対して付勢され、パージノズルモジュール１９１０ＴＦ、１９１０ＴＦＦＬＵの少なくとも１つのパージノズル９００、９０１が内側前部パージポート６０８、６０９に対して付勢されることに留意されたい。
【0049】
上述のように、交換可能なパージポートノズルインターフェース８２０－８３１（図８および９Ａ）の各々は、カセット支持ステーション３６の所定のデータム（たとえば、動的位置決めピン６６）に対して、所定の位置を有するように配置され、それによって、各パージポートノズルインターフェース８２０－８３１は、各異なる基板カセット容器Ｔの所定のデータム（スロットＴ２２など）に対して、決定的に配置される。言い換えれば、交換可能なパージポートノズルインターフェース８２０－８２５、８３１は、支持ステーション３６の所定のデータム（たとえば、ピン６６など）に対して、所定の位置を有するように配置され、それによって、交換可能なパージポートノズルインターフェース８２０－８２５、８３１に取り付けられる、異なる交換可能なパージポートノズルモジュール１９１０ＴＧ、１９１０ＴＡ、１９１０ＴＦ、１９１０ＴＧＦＬＵ、１９１０ＴＡＦＬＵ、１９１０ＴＦＦＬＵの、各パージポートノズル９００、９０１は、各異なる基板カセット容器Ｔの所定のデータム（スロットＴ２２など）に対して、決定的に配置される。たとえば、ベース９７０は、パージノズルモジュール１９１０ＴＧ、１９１０ＴＡ、１９１０ＴＦ、１９１０ＴＧＦＬＵ、１９１０ＴＡＦＬＵ、１９１０ＴＦＦＬＵが、シャトル５２の任意の適切な（１つまたは複数の）データム（たとえば、動的位置決めピン６６）に対して交換可能に、かつ、繰り返し配置され得るように、シャトル５２の対応するピン９７７と嵌合する、穴／開口などの、任意の適切な位置決め特徴部９７６を含む。他の態様では、ベース９７０は、シャトル５２に連結されてもよく、位置決めピン６６と、たとえば、ベース９７０を位置決めピン６６に対してシャトル５２上に位置決めするためのベース９７０の位置決め特徴部９７６（または他の適切な位置決め特徴部）とインターフェース接続する任意の適切な位置決め治具９６８などを用いて、任意の適切な方法でシャトル５２の任意の適切な（１つまたは複数の）データム（たとえば、動的位置決めピン６６）に対して交換可能にかつ繰り返し配置され得る。動的位置決めピン６６に対するパージノズルモジュール１９１０ＴＧ、１９１０ＴＡ、１９１０ＴＦ、１９１０ＴＧＦＬＵ、１９１０ＴＡＦＬＵ、１９１０ＴＦＦＬＵの繰り返し可能な位置決めによって、実質的にシャトル５２へのパージノズルモジュール１９１０ＴＧ、１９１０ＴＡ、１９１０ＴＦ、１９１０ＴＧＦＬＵ、１９１０ＴＡＦＬＵ、１９１０ＴＦＦＬＵの連結で（すなわち、シャトル５２との連結後にパージノズル９００、９０１またはパージノズルモジュール１９１０ＴＧ、１９１０ＴＡ、１９１０ＴＦ、１９１０ＴＧＦＬＵ、１９１０ＴＡＦＬＵ、１９１０ＴＦＦＬＵをさらに位置決めすることなく）、パージノズルモジュール１９１０ＴＧ、１９１０ＴＡ、１９１０ＴＦ、１９１０ＴＧＦＬＵ、１９１０ＴＡＦＬＵ、１９１０ＴＦＦＬＵおよびそれに連結される少なくとも１つのパージノズル９００、９０１をパージポート６００、６０１、６０６－６０９に対して位置付ける。したがって、パージノズルモジュール１９１０ＴＧ、１９１０ＴＡ、１９１０ＴＦ、１９１０ＴＧＦＬＵ、１９１０ＴＡＦＬＵ、１９１０ＴＦＦＬＵは、ロードポート２４の配置が、容器ＴＧ、ＴＡ、ＴＣのパージポート構成に対応する異なるパージノズルモジュール構成の各々の間で、オン・ザ・フライで再構成され得るように、高速交換され得る。
【0050】
図９Ａ、９Ｃ－９Ｅ、１３および１４を参照すると、上述のように、交換可能なパージポートノズルインターフェース８２０－８２５の各々は、ノズル位置決めデータム（またはパージノズルデータム）９８０Ａ、９８０Ｂ、９８１Ａ、９８１Ｂ、９８２Ａ、９８２Ｂを画定し、異なるパージポート特性（たとえば、入口、出口など）を有する異なる基板カセット容器Ｔの少なくとも１つのパージポート６００、６０１、６０６－６０９の各々を決定的に示す。たとえば、ノズル支持体９７１は、パージポートノズル位置８０１Ａ、８０１Ｂ、８０２Ａ、８０２Ｂ、８００Ａ、８００Ｂを画定するように、ノズル支持体９７１に連結されるパージノズルデータム９８０Ａ、９８０Ｂ、９８１Ａ、９８１Ｂ、９８２Ａ、９８２Ｂを含む。データム９８０Ａ、９８０Ｂ、９８１Ａ、９８１Ｂ、９８２Ａ、９８２Ｂは、（それぞれのパージノズル位置決め特徴部１３００に挿入される適切なピン１４００（図９Ａ）などで）パージノズル９００、９０１が連結される、任意の適切なパージノズル位置決め特徴部１３００（穴／開口など）を含む。ピン１４００とパージノズル位置決め特徴部１３００との間の嵌合は、ロードポート２４が容器Ｔを処理装置に積載する、および処理装置から取り出すべく動作するように、パージノズル９００、９０１がシャトル５２上に保持されるようなものであり得る。他の態様では、パージノズル９００、９０１は、任意の適切な方法（たとえば、ファスナ、クリップ、タブなど）でシャトル５２上に保持され得る。図１０も参照すると、パージノズル９００、９０１は、任意の適切な方法で、入力ガスマニホールド１００３０または排気ガスマニホールド１００４０に連結され得る。一態様では、パージノズル９００、９０１は、それぞれの流体硬質／剛性ラインまたはそれに連結される流体パイプ９９３、９９４を有してもよく、流体パイプ９９３、９９４のそれぞれの連結部９９５は、容器支持ステーション３６の下で伸長する。それぞれの可撓性ホース（ホース１０２０－１０２３を参照）が、パージノズル９００、９０１を入力ガスマニホールド１００３０または排気ガスマニホールド１００４０に接続するために、流体パイプ９９３、９９４のそれぞれの連結部９９５に連結し得る。他の態様では、それぞれの可撓性ホースは、介在する流体パイプ９９３、９９４なしで、パージノズル９００、９０１を入力ガスマニホールド１００３０または排気ガスマニホールド１００４０に連結し得る。
【0051】
パージノズルモジュールは、ロードポート２４と連結される（１つまたは複数の）容器Ｔのパージノズル特性に応じて、（広い外側前部パージポート６０６、６０７とインターフェース接続する）パージノズルモジュール１９１０ＴＧ、１９１０ＴＧＦＬＵとして、（狭い外側前部パージポート６００、６０１とインターフェース接続する）パージノズルモジュール１９１０ＴＡ、１９１０ＴＡＦＬＵ、または（内側前部パージポート６０８、６０９とインターフェース接続する）パージノズルモジュール１９１０ＴＦ、１９１０ＴＦＦＬＵとして構成され得る。各パージノズル９００、９０１は、対応するパージポートノズルモジュール１９１０ＴＧ、１９１０ＴＡ、１９１０ＴＦ、１９１０ＴＧＦＬＵ、１９１０ＴＡＦＬＵ、１９１０ＴＦＦＬＵの別のパージポートノズル９００、９０１から独立したユニットとして交換可能なパージポートノズルインターフェース８２０－８２５に取り外し可能に取り付けられ、対応するパージポートノズルモジュール１９１０ＴＧ、１９１０ＴＡ、１９１０ＴＦ、１９１０ＴＧＦＬＵ、１９１０ＴＡＦＬＵ、１９１０ＴＦＦＬＵの各々独立して取り付けられるパージポートノズル９００、９０１は、対応するパージポートノズルモジュール１９１０ＴＧ、１９１０ＴＡ、１９１０ＴＦ、１９１０ＴＧＦＬＵ、１９１０ＴＡＦＬＵ、１９１０ＴＦＦＬＵの、異なる対応するパージポートノズルモジュール１９１０ＴＧ、１９１０ＴＡ、１９１０ＴＦ、１９１０ＴＧＦＬＵ、１９１０ＴＡＦＬＵ、１９１０ＴＦＦＬＵとの交換をもたらすように、異なる対応するパージポートノズルモジュール１９１０ＴＧ、１９１０ＴＡ、１９１０ＴＦ、１９１０ＴＧＦＬＵ、１９１０ＴＡＦＬＵ、１９１０ＴＦＦＬＵの異なるパージポートノズル９００、９０１と独立して交換される。たとえば、データム９８０Ａ、９８０Ｂ、９８１Ａ、９８１Ｂ、９８２Ａ、９８２Ｂおよびパージノズル９００、９０１の位置決め特徴部１３００は、パージノズル９００、９０１が、それぞれのデータム９８０Ａ、９８０Ｂ、９８１Ａ、９８１Ｂ、９８２Ａ、９８２Ｂによって画定されるパージポートノズル位置８００Ａ、８００Ｂ、８０１Ａ、８０１Ｂ、８０２Ａ、８０２Ｂのいずれか１つまたはそれ以上に、選択的かつ交換可能に位置付けられ得るように、構成される。ここで、パージノズルモジュールをパージノズルモジュール１９１０ＴＧ、１９１０ＴＧＦＬＵとして構成するために、パージノズル９００、９０１は、パージポートノズル位置８０２Ａ、８０２Ｂに対応するデータム９８０Ａ、９８０Ｂに連結され、ここで、たとえば、パージノズル位置決め特徴部１３００とピン１４００（図９Ａ）との間のインターフェースによって、パージノズル９００、９０１をシャトル５２の任意の適切な（１つまたは複数の）データム（たとえば、動的位置決めピン６６）に対して交換可能かつ繰り返し可能に位置決めする。動的位置決めピン６６に対するパージノズル９００、９０１の繰り返し可能な位置決めによって、実質的にシャトル５２へのパージノズルモジュール１９１０ＴＧ、１９１０ＴＡ、１９１０ＴＦ、１９１０ＴＧＦＬＵ、１９１０ＴＡＦＬＵ、１９１０ＴＦＦＬＵの連結で（すなわち、シャトル５２との連結後にパージノズル９００、９０１またはパージノズルモジュール１９１０ＴＧ、１９１０ＴＡ、１９１０ＴＦ、１９１０ＴＧＦＬＵ、１９１０ＴＡＦＬＵ、１９１０ＴＦＦＬＵをさらに位置決めすることなく）、パージノズルモジュール１９１０ＴＧ、１９１０ＴＡ、１９１０ＴＦ、１９１０ＴＧＦＬＵ、１９１０ＴＡＦＬＵ、１９１０ＴＦＦＬＵおよびそれに連結される少なくとも１つのパージノズル９００、９０１をパージポート６００、６０１、６０６－６０９に対して位置付ける。
【0052】
物理的で交換可能なパージポートノズルモジュール１９１０ＴＡ、１９１０ＴＦ、１９１０ＴＧ、１９１０ＴＢ、１９１０ＴＣ、１９１０ＴＡＦＬＵ、１９１０ＴＦＦＬＵ、１９１０ＴＧＦＬＵ、１９１０ＴＢＦＬＵ、１９１０ＴＣＦＬＵは、２つのパージポートを有する容器ＴＡ、ＴＦ、ＴＧ、ＴＢ、ＴＣとの連結のために構成されると説明されているが、物理的で交換可能なパージポートノズルモジュール１９１０Ｔ、１９１０ＴＤ、１９１０ＴＥ、１９１０ＴＨ、１９１０ＴＩ、１９１０ＴＪ、１９１０ＴＦＬＵ、１９１０ＴＤＦＬＵ、１９１０ＴＥＦＬＵ、１９１０ＴＨＦＬＵ、１９１０ＴＩＦＬＵ、１９１０ＴＪＦＬＵはまた、図９Ｆおよび９Ｇに図示されるように４つのパージポートを有する容器Ｔ、ＴＤ、ＴＥ、ＴＨ、ＴＩ、ＴＪとの連結をもたらすために、前部および後部を含み得る。パージノズルモジュール１９１０Ｔ、１９１０ＴＤ、１９１０ＴＥ、１９１０ＴＨ、１９１０ＴＩ、１９１０ＴＪ、１９１０ＴＦＬＵ、１９１０ＴＤＦＬＵ、１９１０ＴＥＦＬＵ、１９１０ＴＨＦＬＵ、１９１０ＴＩＦＬＵ、１９１０ＴＪＦＬＵの前部および後部は、互いに独立して／別々に容器支持体３６に連結されている別個の部分であり得るか、または他の態様では、前部および後部は、単一のユニットとして容器支持体３６に連結される単一のモジュールであり得る。パージノズルモジュール１９１０Ｔ、１９１０ＴＤ、１９１０ＴＥ、１９１０ＴＨ、１９１０ＴＩ、１９１０ＴＪ、１９１０ＴＦＬＵ、１９１０ＴＤＦＬＵ、１９１０ＴＥＦＬＵ、１９１０ＴＨＦＬＵ、１９１０ＴＩＦＬＵ、１９１０ＴＪＦＬＵはまた、ロードポート２４の配置が、容器Ｔ－ＴＪのパージポート構成に対応する異なるパージノズルモジュール構成の各々の間で、オン・ザ・フライで再構成され得るように、高速交換され得る。
【0053】
パージノズルモジュール１９１０Ｔ（およびパージノズルモジュール１９１０Ｔに略類似するパージノズルモジュール１９１０ＴＦＬＵ）は、容器Ｔの４つのパージポート６００、６０１、６０２、６０３との連結のために構成される。パージノズルモジュール１９１０Ｔは、狭い外側前部パージポート６００、６０１との連結のためにパージノズルモジュール１９１０ＴＡに略類似する前部１９１０Ｔ１を含む。パージノズルモジュール１９１０Ｔはまた、前方後部パージポート６０２、６０３との連結のためにパージノズルモジュール１９１０ＴＢに略類似する後部１９１０Ｔ２を含む。
【0054】
パージノズルモジュール１９１０ＴＤ（およびパージノズルモジュール１９１０ＴＤに略類似するパージノズルモジュール１９１０ＴＤＦＬＵ）は、容器ＴＤの４つのパージポート６００、６０１、６０４、６０５との連結のために構成される。パージノズルモジュール１９１０ＴＤは、狭い外側前部パージポート６００、６０１との連結のためにパージノズルモジュール１９１０ＴＡに略類似する前部１９１０ＴＤ１を含む。パージノズルモジュール１９１０ＴＤはまた、後方後部パージポート６０４、６０５との連結のためにパージノズルモジュール１９１０ＴＣに略類似する後部１９１０ＴＤ２を含む。
【0055】
パージノズルモジュール１９１０ＴＥ（およびパージノズルモジュール１９１０ＴＥに略類似するパージノズルモジュール１９１０ＴＥＦＬＵ）は、容器ＴＥの４つのパージポート６０８、６０９、６０２、６０３との連結のために構成される。パージノズルモジュール１９１０ＴＥは、内側前部パージポート６０８、６０９との連結のためにパージノズルモジュール１９１０ＴＦに略類似する前部１９１０ＴＥ１を含む。パージノズルモジュール１９１０ＴＥはまた、前方後部パージポート６０２、６０３との連結のためにパージノズルモジュール１９１０ＴＢに略類似する後部１９１０ＴＥ２を含む。
【0056】
パージノズルモジュール１９１０ＴＨ（およびパージノズルモジュール１９１０ＴＨに略類似するパージノズルモジュール１９１０ＴＨＦＬＵ）は、容器ＴＨの４つのパージポート６０６、６０７、６０４、６０５との連結のために構成される。パージノズルモジュール１９１０ＴＨは、広い外側前部パージポート６０６、６０７との連結のためにパージノズルモジュール１９１０ＴＧに略類似する前部１９１０ＴＨ１を含む。パージノズルモジュール１９１０ＴＨはまた、後方後部パージポート６０４、６０５との連結のためにパージノズルモジュール１９１０ＴＣに略類似する後部１９１０ＴＨ２を含む。
【0057】
パージノズルモジュール１９１０ＴＩ（およびパージノズルモジュール１９１０ＴＩに略類似するパージノズルモジュール１９１０ＴＩＦＬＵ）は、容器ＴＩの４つのパージポート６０８、６０９、６０４、６０５との連結のために構成される。パージノズルモジュール１９１０ＴＩは、内側前部パージポート６０８、６０９との連結のためにパージノズルモジュール１９１０ＴＦに略類似する前部１９１０ＴＩ１を含む。パージノズルモジュール１９１０ＴＩはまた、後方後部パージポート６０４、６０５との連結のためにパージノズルモジュール１９１０ＴＣに略類似する後部１９１０ＴＩ２を含む。
【0058】
パージノズルモジュール１９１０ＴＪ（およびパージノズルモジュール１９１０ＴＪに略類似するパージノズルモジュール１９１０ＴＪＦＬＵ）は、容器ＴＪの４つのパージポート６０６、６０７、６０２、６０３との連結のために構成される。パージノズルモジュール１９１０ＴＪは、広い外側前部パージポート６０６、６０７との連結のためにパージノズルモジュール１９１０ＴＧに略類似する前部１９１０ＴＪ１を含む。パージノズルモジュール１９１０ＴＪはまた、前方後部パージポート６０２、６０３との連結のためにパージノズルモジュール１９１０ＴＢに略類似する後部１９１０ＴＪ２を含む。
【0059】
パージノズルモジュール１９１０Ｔ－１９１０ＴＪ（および本明細書に記載されるような１９１０Ｔ－１９１０ＴＪに略類似する１９１０ＴＦＬＵ－１９１０ＴＪＦＬＵ）は、（図９Ａおよび９Ｂを参照して）ベース部分９３６（たとえば、図９Ｄを参照）およびカプラー部分９３４Ａを含むパージノズル９００－９０３を有するものとして例示されている。ベース部分９３６は、すべてのパージノズル９００－９０３に関して略類似し得る。カプラー部分９３４Ａは、任意の適切な方法（たとえば、クリップ、ねじ山、スナップ、または任意の他の取り外し可能なファスナなど）で、ベース部分９３６と取り外し可能に連結し、それぞれのパージポート６００－６０９とパージノズル９００－９０３との間に実質的にシールを形成するように（支持ステーション３６上のパージノズルの位置に依存して）、それぞれのパージポート６００－６０９とインターフェース接続するように構成される。カプラー部分９３４Ａは、硬質プラスチック（または他の適切な硬質材料）で構成されるパージポートとインターフェース接続するように構成されてもよく、硬質プラスチック（または他の適切な硬質材料）で構成されるパージポートと実質的に接触し、それを密封する、密封部材９３５Ａ（たとえば、図９Ａおよび９Ｂに示されるフルオロエラストマーのＯリングなど）を含む。他の態様では、パージノズルモジュール１９１０Ｔ－１９１０ＴＪのカプラー部分９３４Ａは、フルオロエラストマーで構成されるパージポートとインターフェースするように構成される、およびフルオロエラストマーで構成されるパージポートと実質的に接触して、それを密封する実質的に硬い表面９３５Ｂ（図９Ａ）を含むカプラー部分９３４Ｂと交換され得る（たとえば、以下に説明される方法と同様の方法で交換可能である）。さらに他の態様では、パージノズルモジュール１９１０ＴＦＬＵ－１９１０ＴＪＦＬＵ（図９Ｇを参照）が提供されてもよく、ここで、パージノズルモジュール１９１０ＴＦＬＵ－１９１０ＴＪＦＬＵは、対応するパージノズルモジュール１９１０Ｔ－１９１０Ｔ１に略類似するが、パージノズルモジュール１９１０Ｔ１－１９１０ＴＪは、カプラー部分９３４Ａの代わりにカプラー部分９３４Ｂで構成される。
【0060】
上述のように、交換可能なパージポートノズルモジュール１９１０、９１０は、物理パージノズルモジュール、仮想パージノズルモジュール、または物理パージノズルモジュールと仮想パージノズルモジュールの両方の組み合わせであり得る。仮想パージノズルモジュール９１０としては、図９Ａに図示される仮想パージノズルモジュール９１０Ｔ、９１０ＴＡ、９１０ＴＢ、９１０ＴＣ、９１０ＴＤ、９１０ＴＥ、９１０ＴＦ、９１０ＴＧ、９１０ＴＨ、９１０ＴＩ、９１０ＴＪ、９１０Ｔ１、９１０ＴＡ１、９１０ＴＢ１、９１０ＴＣ１、９１０ＴＤ１、９１０ＴＥ１、９１０ＴＦ１、９１０ＴＧ１、９１０ＴＨ１、９１０ＴＩ１、９１０ＴＪ１が挙げられる。仮想パージノズルモジュール９１０は、パージポートノズル位置８０１Ａ、８０１Ｂ、８０２Ａ、８０２Ｂ、８００Ａ、８００Ｂ、８０３Ａ、８０３Ｂ、８０４Ａ、８０４Ｂのそれぞれ１つでパージポートノズルインターフェース８２０－８２９に交換可能に連結されるパージノズル９００－９０３、９００Ａ－９０３Ａのセットであり得る。たとえば、仮想パージノズルモジュール９１０Ｔ、１９１０Ｔ１は、（狭い外側前部パージポート６００、６０１および前方後部パージポート６０２、６０３を有する）容器Ｔのパージポート構成に対応し、仮想パージノズルモジュール９１０ＴＤ、９１０ＴＤ１は、（狭い外側前部パージポート６００、６０１および後方後部パージポート６０４、６０５を有する）容器ＴＤのパージポート構成に対応し、仮想パージノズルモジュール９１０ＴＥ、９１０ＴＥ１は、（内側前部パージポート６０２、６０３および前方後部パージポート６０２、６０３を有する）容器ＴＥのパージポート構成に対応し、仮想パージノズルモジュール９１０ＴＨ、９１０ＴＨ１は、（広い外側前部パージポート６０６、６０７および後方後部パージポート６０４、６０５を有する）容器ＴＨのパージポート構成に対応し、仮想パージノズルモジュール９１０ＴＩ、９１０ＴＩ１は、（内側前部パージポート６０８、６０９および後方後部パージポート６０４、６０５を有する）容器ＴＩのパージポート構成に対応し、仮想パージノズルモジュール９１０ＴＪ、９１０ＴＪ１は、（広い外側前部パージポート６０６、６０７および前方後部パージポート６０２、６０３を有する）容器ＴＪのパージポート構成に対応する。
【0061】
仮想パージノズルモジュール９１０ＴＡ、９１０ＴＡ１は、（狭い外側前部パージポート６０６、６０７を有する）容器ＴＡのパージポート構成に対応する。仮想パージノズルモジュール９１０ＴＦ、９１０ＴＦ１は、（内側前部パージポート６０８、６０９を有する）容器ＴＦのパージポート構成に対応する。仮想パージノズルモジュール９１０ＴＧ、９１０ＴＧ１は、（広い外側前部パージポート６０６、６０７を有する）容器ＴＧのパージポート構成に対応する。
【0062】
仮想パージノズルモジュール９１０ＴＢ、９１０ＴＢ１は、（前方後部パージポート６０２、６０３を有する）容器ＴＢのパージポート構成に対応する。仮想パージノズルモジュール９１０ＴＣ、９１０ＴＣ１は、（後方後部パージポート６０４、６０５を有する）容器ＴＣのパージポート構成に対応する。
【0063】
理解され得るように、一態様では、パージノズル９００－９０３、９００Ａ－９０３Ａは、互いに代替可能／交換可能であり、それによって、前部容器パージポートとの連結を意図したパージノズル９００、９０１、９００Ａ、９０１Ａは、後部容器パージポートとインターフェース接続するように、容器支持体３６上に配置されてもよく、後部容器パージポートとの連結を意図したパージノズル９０２、９０３、９０２Ａ、９０３Ｂは、前部容器パージポートとインターフェース接続するように、容器支持体３６上に配置され得る。加えて、フレーム９５０が容器支持体３６に取り付けられたままである一方、パージノズル９０２、９０３は、本明細書に記載されるように、パージノズルデータム９５２、９５３を移動させることによって、パージポートノズル位置８０３Ａ、８０３Ｂ、８０４Ａ、８０４Ｂ間で移動され得る。
【0064】
他の態様では、容器のパージポート６００－６０９が異なる連結特性を有する（たとえば、硬質プラスチックで構成されるパージポートやフルオロエラストマーで構成されるパージポートなど）場合など、（上記のような）容器Ｔ－ＴＪの１つまたは複数（または各々）に対応する異なる仮想パージノズルモジュール９１０Ｔ－９１０ＴＪ、９１０Ｔ１－９１０ＴＪ１も存在し得る。たとえば、図９Ａおよび９Ｂを参照すると、上記のように、各パージノズル９００－９０３、９００Ａ－９０３Ａは、ベース部分９３６（たとえば、図９Ｄを参照）およびカプラー部分９３４Ａ、９３４Ｂ（たとえば、図９Ａおよび９Ｂを参照）を含む。ベース部分９３６は、すべてのパージノズル９００－９０３、９００Ａ－９０３Ａに関して略類似してもよく、したがって、異なるカプラー部分９３４Ａ、９３４Ｂは、パージノズル９００－９０３、９００Ａ－９０３Ａおよびパージノズル位置８０１Ａ、８０１Ｂ、８０２Ａ、８０２Ｂ、８００Ａ、８００Ｂ、８０３Ａ、８０３Ｂ、８０４Ａ、８０４Ｂの各々と交換可能であり得る。ベース部分９３６は、たとえば、本明細書に記載されるように、それぞれのパージノズル位置決め特徴部１３００に挿入されるピン１４００（図９Ａ）を含む。ベース部分９３６はまた、それぞれの可撓性ホース（ホース１０２０－１０２３を参照）および／またはそれぞれの流体パイプ９９０、９９１、９９３、９９４と連結するように構成される。
【0065】
カプラー部分９３４Ａ、９３４Ｂは、任意の適切な方法（たとえば、クリップ、ねじ山、スナップ、または任意の他の取り外し可能なファスナなど）で、ベース部分９３６と取り外し可能に連結し、それぞれのパージポート６００－６０９とパージノズル９００－９０３、９００Ａ－９０３Ａとの間に実質的にシールを形成するように（支持ステーション３６上のパージノズルの位置に依存して）、それぞれのパージポート６００－６０９とインターフェース接続するように構成される。カプラー部分９３４Ａは、硬質プラスチック（または他の適切な硬質材料）で構成されるパージポートとインターフェース接続するように構成されてもよく、硬質プラスチック（または他の適切な硬質材料）で構成されるパージポートと実質的に接触し、それを密封する、密封部材９３５Ａ（たとえば、図９Ａおよび９Ｂに示されるフルオロエラストマーのＯリングなど）を含む。カプラー部分９３４Ｂは、フルオロエラストマーで構成されるパージポートとインターフェース接続するように構成されてもよく、フルオロエラストマーで構成されるパージポートと実質的に接触して、それを密封する実質的に硬い表面９３５Ｂ（図９Ａ）を含む。本明細書に記載されるパージノズル９００－９０３、９００Ａ－９０３Ａの構成は、例示的なものであり、パージノズルは、任意の適切な容器の任意の適切なパージポートと連結するための任意の他の適切な構成を有し得る。
【0066】
仮想パージノズルモジュール９１０Ｔ－９１０ＴＪ、９１０Ｔ１－９１０ＴＪ１の各パージノズル９００－９０３、９００Ａ－９０３Ａは、別々で異なるパージノズル（すなわち、モジュール１９１０ＴＧ、１９１０ＴＢと同様にフレーム上の容器支持体３６に設置される、および／または容器支持体３６から取り外されている個々のパージノズル）であり、それによって、各パージポートノズル９００－９０３、９００Ａ－９０３Ａは、対応するパージポートノズルモジュール９１０Ｔ－９１０ＴＪ、９１０Ｔ１－９１０ＴＪ１の別のパージポートノズル９００－９０３、９００Ａ－９０３Ａから独立したユニットとしてパージポートノズルインターフェース８２０－８２９に取り外し可能に取り付けられる。対応するパージポートノズルモジュール９１０Ｔ－９１０ＴＪ、９１０Ｔ１－９１０ＴＪ１はまた、異なる対応するパージポートノズル９００－９０３、９００Ａ－９０３Ａを備える異なるパージポートノズルモジュール９１０Ｔ－９１０ＴＪ、９１０Ｔ１－９１０ＴＪ１と交換され得る。たとえば、仮想パージノズルモジュール９１０Ｔの代わりに、仮想パージノズルモジュール９１０ＴＧが容器支持体３６に連結される場合、仮想パージノズルモジュール９１０Ｔの各パージノズル９００－９０３は、任意の適切な順序で、容器支持体３６から個別に取り外される／連結解除される。仮想パージノズルモジュール９１０Ｔのパージノズル９００－９０３を取り外した後、仮想パージノズルモジュール９１０ＴＧのパージノズル９００Ａ、９０１Ａは、任意の適切な順序で容器支持体３６に個別に設置される／連結される。他の態様では、パージノズル９００、９０１全体を交換するよりむしろ、仮想パージノズルモジュール９１０Ｔを仮想パージノズルモジュール９１０Ｔ１として再構成するように、仮想パージノズルモジュール９１０Ｔのカプラー部分９３４Ａが取り外され、カプラー部分９３４Ｂと交換され得る。本明細書に記載されるように、パージノズル９００－９０３、９００Ａ－９０３Ａは、容器Ｔのパージポート特性に依存して、異なるパージポートノズル位置８００Ａ、８００Ｂ、８０１Ａ、８０１Ｂ、８０２Ａ、８０２Ｂ、８０３Ａ、８０３Ｂ、８０４Ａ、８０４Ｂのいずれかで容器支持体３６に連結され得る。
【0067】
上述のように、パージノズル９００－９０３、９００Ａ－９０３Ａが連結される、交換可能なパージポートノズルインターフェース８２０－８２９は、カセット支持体３６の所定のデータム（たとえば、ピン６６）に対して、所定の位置を有するように配置され、その結果、交換可能なパージポートノズルモジュール９１２－９１４、９１２Ａ－９１４Ａの選択可能な取り付けによって、各異なる基板カセット容器Ｔの所定のデータム（たとえば、スロットＴ２２）に対する交換可能なパージポートノズルインターフェース８２０－８２９に取り付けられる、交換可能なパージポートノズルモジュール９１０Ｔ－９１０ＴＪ、９１０Ｔ１－９１０ＴＪ１の、取り付けと実質的に同時に、各パージポートノズル９００－９０３、９００Ａ－９０３Ａの決定的位置決めをもたらす。
【0068】
図１１Ａ－１４を参照すると、容器支持体３６は、異なる構成のパージノズル９００－９０３および／またはパージノズルモジュール１９１０ＴＧ、１９１０ＴＡ、１９１０ＴＦ、１９１０ＴＢ、１９１０ＴＣとともに図示されている（パージノズル９００－９０３が図示されているが、パージノズル９００Ａ－９０３Ａが、パージノズル９００－９０３の代わりに、またはそれと組み合わせて使用され得ることが理解されるべきである）。図１１Ａ－１４に図示される構成が、本明細書に記載される構成を網羅するものではないことが留意される。たとえば、図１１Ａおよび１１Ｂは、（たとえば、広い外側前部パージポート６０６、６０７とインターフェース接続する）パージポートノズル位置８０２Ａ、８０２Ｂに配置されるパージノズル９００、９０１、および（たとえば、後方後部パージポート６０４、６０５とインターフェース接続する）パージノズル位置８０４Ａ、８０４Ｂに配置されるパージノズル９０２、９０３を図示している。上記のように、一態様では、パージノズル９００－９０３は、仮想パージノズルモジュール９１０ＴＨ９１０ＴＨ１として、または仮想パージノズルモジュール９１０ＴＧ、９１０ＴＧ１と９１０ＴＣ、９１０ＴＣ１との組み合わせとして構成され得る。他の態様では、パージノズル９０２－９０３は、（後方後部パージポート６０４、６０５とインターフェース接続する（図６Ｂを参照））物理パージノズルモジュール１９１０ＴＣ、１９１０ＴＣＦＬＵの一部であり得、パージノズル９００－９０１は、（広い外側前部パージポート６０６、６０７とインターフェース接続する（図６Ｂを参照））パージノズルモジュール１９１０ＴＧ、１９１０ＴＧＦＬＵとして構成され得る。さらに他の態様では、パージノズル９００、９０１が仮想パージノズルモジュール９１０ＴＧ、９１０ＴＧ１として構成され得る一方で、パージノズル９０２、９０３は物理パージノズルモジュール１９１０ＴＣ、１９１０ＴＣＦＬＵとして構成される。他の態様では、パージノズル９００、９０１が物理パージノズルモジュール１９１０ＴＧ、１９１０ＴＧＦＬＵとして構成され得る一方で、パージノズル９０２、９０３は仮想パージノズルモジュール９１０ＴＣ、９１０ＴＣ１として構成される。
【0069】
図１２Ａおよび１２Ｂは、（たとえば、内側前部パージポート６００、６０１とインターフェース接続する）パージポートノズル位置８００Ａ、８００Ｂに配置されるパージノズル９００、９０１、および（たとえば、後方後部パージポート６０２、６０３とインターフェース接続する）パージノズル位置８０３Ａ、８０３Ｂに配置されるパージノズル９０２、９０３を図示している。上記のように、一態様では、パージノズル９００－９０３は、仮想パージノズルモジュール９１０ＴＥ、９１０ＴＥＦＬＵとして、または仮想パージノズルモジュール９１０ＴＦ、９１０ＴＦ１と９１０ＴＢ、９１０ＴＢ１との組み合わせとして構成され得る。他の態様では、パージノズル９０２－９０３は、（前方後部パージポート６０２、６０３とインターフェース接続する（図６Ｂを参照））物理パージノズルモジュール１９１０ＴＢ、１９１０ＴＢＦＬＵの一部であり得、パージノズル９００－９０１は、（内側前部パージポート６０８、６０９とインターフェース接続する（図６Ｂを参照））パージノズルモジュール１９１０ＴＦ、１９１０ＴＦＦＬＵとして構成され得る。さらに他の態様では、パージノズル９００、９０１が仮想パージノズルモジュール９１０ＴＦ、９１０ＴＦ１として構成され得る一方で、パージノズル９０２、９０３は物理パージノズルモジュール１９１０ＴＢとして構成される。他の態様では、パージノズル９００、９０１が物理パージノズルモジュール１９１０ＴＦ、１９１０ＴＦＦＬＵとして構成され得る一方で、パージノズル９０２、９０３は仮想パージノズルモジュール９１０ＴＢ、９１０ＴＢ１として構成される。
【0070】
図１３は、（たとえば、狭い外側前部パージポート６００、６０１とインターフェース接続する）パージポートノズル位置８０１Ａ、８０１Ｂに配置されるパージノズル９００－９０１を図示している。本態様では、ベース９５０およびノズル支持体９５１は、仮想パージノズルモジュール９１０ＴＣ、９１０ＴＣ１との使用のために（後方後部パージポート６０４、６０５とインターフェース接続するパージポートノズル位置８０４Ａ、８０４Ｂに配置される位置決め特徴部１３００で）、容器支持体３６に固定されて例示されているが、図１３に図示されるパージノズル構成では、仮想パージノズルモジュール９１０ＴＣ、９１０ＴＣ１は利用されない。上記のように、一態様では、パージノズル９００、９０１は、仮想パージノズルモジュール９１０ＴＡ、９１０ＴＡ１の１つとして構成され得る。他の態様では、パージノズル９００、９０１は、（狭い外側前部パージポート６００、６０１とインターフェース接続する（図６Ｂを参照））物理パージノズル１９１０ＴＡ、１９１０ＴＡＦＬＵの一部であり得る。
【0071】
図１４は、（たとえば、広い外側前部パージポート６０６、６０７とインターフェース接続する）パージポートノズル位置８０２Ａ、８０２Ｂに配置されるパージノズル９００－９０１を図示している。本態様では、ベース９５０およびノズル支持体９５１は、仮想パージノズルモジュール９１０ＴＢ、９１０ＴＢ１との使用のために（前方後部パージポート６０２、６０３とインターフェース接続するパージポートノズル位置８０３Ａ、８０３Ｂに配置される位置決め特徴部１３００で）、容器支持体３６に固定されて例示されているが、図１３に図示されるパージノズル構成では、仮想パージノズルモジュール９１０ＴＢ、９１０ＴＢ１は利用されない。上記のように、一態様では、パージノズル９００、９０１は、仮想パージノズルモジュール９１０ＴＧ、９１０ＴＧ１の１つとして構成され得る。他の態様では、パージノズル９００、９０１は、（広い外側前部パージポート６０６、６０７とインターフェース接続する（図６Ｂを参照））物理パージノズル１９１０ＴＧ、１９１０ＴＧＦＬＵの一部であり得る。
【0072】
図８および１０を参照すると、上記のように、可撓性流体ホース１００２０－１００２３が、少なくとも部分的に、各パージノズル９００－９０３を、入力ガスマニホールド１００３０または排気ガスマニホールド１００４０のいずれかに選択可能に連結する。本開示の態様によれば、異なるパージポートノズル位置８００Ａ、８００Ｂ、８０１Ａ、８０１Ｂ、８０２Ａ、８０２Ｂ、８０３Ａ、８０３Ｂ、８０４Ａ、８０４Ｂのいずれか１つに配置されるパージノズル９００－９０３のいずれか１つは、入力ガスマニホールド１００３０または排気ガスマニホールド１００４０の１つとの連結を介して、（たとえば、容器支持体３６に連結される容器Ｔにガス／流体を入力するための）入力ノズルまたは（たとえば、容器支持体３６に連結される容器Ｔからガス／流体を出力するための）出力ノズルとして構成され得る。たとえば、入力ガスマニホールド１００３０は、１つまたは複数のパージノズル９００－９０３を任意の適切なガス源１００３１に連結するために、任意の適切な数の連結ポート１００１０－１００１３を含み得る。出力ガスマニホールド１００４０は、１つまたは複数のパージノズル９００－９０３を任意の適切な真空／吸引源１００４１に連結するための任意の適切な数の連結ポート１０００１－１０００４を含み得る。
【0073】
入力ガスマニホールド１００３０および出力ガスマニホールドの各々が、４つの連結ポート１００１０－１００１３、１００１－１００４とともに例示されているが、他の態様では、入力ガスマニホールド１００３０および出力ガスマニホールド１００４０の１つまたは複数に、たとえば、容器支持体３６に連結されるパージノズルの数に応じて、４つより多いまたは少ない連結ポートが提供され得ることが留意される。一態様では、入力ガスマニホールド１００３０連結ポートの数は、容器支持体３６のパージポートノズル位置の数に等しくなり得る。一態様では、出力ガスマニホールド１００４０連結ポートの数は、容器支持体３６のパージポートノズル位置の数に等しくなり得る。上記によれば、入力ガスマニホールド１００３０および出力ガスマニホールド１００４０は、入力ノズルと出力ノズルの任意の適切な組み合わせを支持するように構成される。たとえば、入力ガスマニホールド１００３０は、異なるパージポートノズル位置８００Ａ、８００Ｂ、８０１Ａ、８０１Ｂ、８０２Ａ、８０２Ｂ、８０３Ａ、８０３Ｂ、８０４Ａ、８０４Ｂの１つまたは複数（またはすべて）に配置されるパージノズル９００－９０１（再び、４つより多いまたは少ないパージノズルが存在することを留意されたい）のすべてが入力ノズルであるように、任意の適切な数の連結ポートを含み得る。出力ガスマニホールド１００４０は、異なるパージポートノズル位置８００Ａ、８００Ｂ、８０１Ａ、８０１Ｂ、８０２Ａ、８０２Ｂ、８０３Ａ、８０３Ｂ、８０４Ａ、８０４Ｂの１つまたは複数（またはすべて）に配置されるパージノズル９００－９０１（再び、４つより多いまたは少ないパージノズルが存在することを留意されたい）のすべてが出力ノズルであるように、任意の適切な数の連結ポートを含み得る。別の例として、入力ノズルと出力ノズルの任意の適切な組み合わせが、入力ガスマニホールド１００３０および／または出力ガスマニホールド１００４０によって提供され得る。
【0074】
図８、９Ａ－９Ｃ、１０および１５を参照すると、典型的な方法が、本開示の態様に応じて説明される。一態様では、いくつかの異なる交換可能なパージポートノズルモジュール１９１０Ｔ－１９１０ＴＪ、１９１０ＴＦＬＵ－１９１０ＴＪＦＬＵ、９１０Ｔ－９１０ＴＪ、９１０Ｔ１－９１０ＴＪ１からの少なくとも１つの交換可能なパージポートノズルモジュール１９１０Ｔ－１９１０ＴＪ、１９１０ＴＦＬＵ－１９１０ＴＪＦＬＵ、９１０Ｔ－９１０ＴＪ、９１０Ｔ１－９１０ＴＪ１は、ロードポート２４の容器支持体３６に選択的に連結される（図１５、ブロック１５００）。一態様では、少なくとも１つの交換可能なパージポートノズルモジュール１９１０Ｔ－１９１０ＴＪ、１９１０ＴＦＬＵ－１９１０ＴＪＦＬＵを容器支持体３６に連結することは、２つ以上のパージノズル９００－９０３をモジュール式ユニットとして容器支持体３６に連結する（図１５、ブロック１５０５）ことを含み、２つ以上のパージノズル９００－９０３は、本明細書に記載されるように共通のフレーム９５０、９７０上に取り付けられる。別の態様では、少なくとも１つの交換可能なパージポートノズルモジュール９１０Ｔ－９１０ＴＪ、９１０Ｔ１－９１０ＴＪ１を容器支持体３６に連結することは、２つ以上のパージノズル９００－９０３を容器支持体３６にノズルごとに連結する（図１５、ブロック１５１０）ことを含み、２つ以上のパージノズル９００－９０３は、上記のように２つ以上のパージノズル９００－９０３の他のパージノズルとは独立して容器支持体３６に連結される、別々の個別のノズルである。一態様では、少なくとも１つの交換可能なパージポートノズルモジュール１９１０Ｔ－１９１０ＴＪ、１９１０ＴＦＬＵ－１９１０ＴＪＦＬＵの少なくとも１つは、モジュール式ユニットとして容器支持体３６に連結され（図１５、ブロック１５０５）、一方で、少なくとも１つのパージノズルモジュール９１０Ｔ－９１０ＴＪ、９１０Ｔ１－９１０ＴＪ１の別の１つは、ノズルごとに容器支持体３６に連結される（図１５、ブロック１５１０）。
【0075】
一態様では、２つ以上のパージノズル９００－９０１の少なくとも１つは、本明細書に記載されるように、２つ以上のパージノズル９００－９０３の少なくとも１つを入力ノズルとして構成するために、入力ガスマニホールド１００３０に連絡可能に連結される（図１５、ブロック１５１５）。別の態様では、２つ以上のパージノズル９００－９０１の少なくとも１つは、本明細書に記載されるように２つ以上のパージノズル９００－９０３の少なくとも１つを出力ノズルとして構成するために、出力ガスマニホールド１００４０に連絡可能に連結される（図１５、ブロック１５２０）。さらに別の態様では、２つ以上のパージノズル９００－９０１の少なくとも１つは、入力ガスマニホールド１００３０に連絡可能に連結され（図１５、ブロック１５１５）、一方で、２つ以上のパージノズル９００－９０１の別の１つは、出力ガスマニホールド１００４０に連絡可能に連結される（図１５、ブロック１５２０）。
【0076】
少なくとも１つの交換可能なパージポートノズルモジュール１９１０Ｔ－１９１０ＴＪ、１９１０ＴＦＬＵ－１９１０ＴＪＦＬＵ、９１０Ｔ－９１０ＴＪ、９１０Ｔ１－９１０ＴＪ１は、容器支持体３６から取り外し／連結解除されてもよく（図１５、ブロック１５２５）、異なる交換可能なパージポートノズルモジュール１９１０Ｔ－１９１０ＴＪ、１９１０ＴＦＬＵ－１９１０ＴＪＦＬＵ、９１０Ｔ－９１０ＴＪ、９１０Ｔ１－９１０ＴＪ１の別の１つは、容器支持体３６に連結される容器Ｔのパージポート特性に基づいて選択され得る（図１５、ブロック１５３０）。別の態様では、少なくとも１つのパージノズルモジュール１９１０Ｔ－１９１０ＴＪ、１９１０ＴＦＬＵ－１９１０ＴＪＦＬＵ、９１０Ｔ－９１０ＴＪ、９１０Ｔ１－９１０ＴＪ１の少なくとも１つのパージノズル９００－９０３の少なくとも１つのカプラー部分９３４Ａ、９３４Ｂは、それぞれのパージノズル９００－９０３のそれぞれのベース部分９３６から連結解除／取り外されてもよく（図１５、ブロック１５３５）、別の異なるカプラー部分９３４Ａ、９３４Ｂは、容器支持体３６に連結される容器Ｔのパージポート特性に基づいて、選択され得る（図１５、ブロック１５４０）。異なるカプラー部分９３４Ａ、９３４Ｂは、少なくとも１つのパージノズル９００－９０３に連結され、そこからカプラー部分９３４Ａ、９３４Ｂは連結解除／取り外される（図１５、ブロック１５４５）。本開示の態様によれば、それぞれのパージノズル９００－９０１は、たとえば、容器Ｔのパージポートの特性に応じて、必要に応じて、入力ガスマニホールド１００３０および出力ガスマニホールド１００４０に／から接続、連結解除、および再接続され得る。
【0077】
図８、９Ａ－９Ｃ、１０および１６を参照すると、例示的な方法が、本開示の態様に応じて説明される。当該方法１６００は、基板載置装置のフレームを提供するステップ（図１６、ブロック１６０１）であって、フレームが、基板載置装置を基板処理装置に接続するように構成され、搬送開口部３０Ｐを有し、搬送開口部３０Ｐを通って、基板が、基板載置装置と基板処理装置との間で搬送される、ステップを含む。カセット支持体３６が提供され（図１６、ブロック１６０２）、搬送開口部３０Ｐを介する少なくとも１つの基板カセット容器Ｔ間の基板の移送のために、少なくとも１つの基板カセット容器Ｔを保持するためのフレームに接続される。異なる交換可能なパージポートノズル９００－９０３は、基板載置装置に選択的に取り付けられ（図１６、ブロック１６０３）、２つ以上のパージポートノズル位置８００Ａ、８００Ｂ、８０１Ａ、８０１Ｂ、８０２Ａ、８０２Ｂ、８０３Ａ、８０３Ｂ、８０４Ａ、８０４Ｂを有するカセット支持体パージポート８１０、８１１は、カセット支持体３６上に配置される。２つ以上のパージポートノズル位置８００Ａ、８００Ｂ、８０１Ａ、８０１Ｂ、８０２Ａ、８０２Ｂ、８０３Ａ、８０３Ｂ、８０４Ａ、８０４Ｂの各々は、パージポートノズル位置８００Ａ、８００Ｂ、８０１Ａ、８０１Ｂ、８０２Ａ、８０２Ｂ、８０３Ａ、８０３Ｂ、８０４Ａ、８０４Ｂでのパージポートノズル９００－９０３が、少なくとも１つの基板カセット容器Ｔの少なくとも１つのパージポート６００－６０９に連結するように構成される。各パージポートノズル位置８００Ａ、８００Ｂ、８０１Ａ、８０１Ｂ、８０２Ａ、８０２Ｂ、８０３Ａ、８０３Ｂ、８０４Ａ、８０４Ｂは、交換可能なパージポートノズルインターフェース８２０－８３１を画定し、それによって、各々が異なる所定のパージノズル構成を有する、異なる交換可能なパージポートノズルモジュール１９１０－９１０に対応する、異なる交換可能なパージポートノズル９００－９０３が、少なくとも１つの基板カセット容器Ｔの、異なるパージポート特性を有する、少なくとも１つの基板カセット容器Ｔの異なる基板カセット容器Ｔの異なるポートに適合し、異なるポートとの連結をもたらし、交換可能なパージポートノズルモジュール１９１０－９１０の異なる所定のパージノズル構成に対応する、２つ以上のパージポートノズル位置８００Ａ、８００Ｂ、８０１Ａ、８０１Ｂ、８０２Ａ、８０２Ｂ、８０３Ａ、８０３Ｂ、８０４Ａ、８０４Ｂのそれぞれのパージポートノズルインターフェース８２０－８３１に取り外し可能に取り付けられる。
【0078】
図８、９Ａ－９Ｃ、１０および１７を参照すると、例示的な方法１７００が、本開示の態様に応じて説明される。当該方法１７００は、基板載置装置のフレームを提供するステップ（図１７、ブロック１７０１）であって、フレームが、基板載置装置を基板処理装置に接続するように構成され、搬送開口部３０Ｐを有し、搬送開口部３０Ｐを通って、基板が、基板載置装置と基板処理装置との間で搬送される、ステップを含む。カセット支持体３６が提供され（図１７、ブロック１７０２）、搬送開口部３０Ｐを介する少なくとも１つの基板カセット容器Ｔ間の基板の移送のために、少なくとも１つの基板カセット容器Ｔを保持するためのフレームに接続される。選択可能に構成可能なカセット支持体パージポート８１０、８１１が提供される（図１７、ブロック１７０３）。選択可能に構成可能なカセット支持体パージポート８１０、８１１は、カセット支持体３６上に配置される２つ以上のパージポートノズル位置８００Ａ、８００Ｂ、８０１Ａ、８０１Ｂ、８０２Ａ、８０２Ｂ、８０３Ａ、８０３Ｂ、８０４Ａ、８０４Ｂを有する。２つ以上のパージポートノズル位置８００Ａ、８００Ｂ、８０１Ａ、８０１Ｂ、８０２Ａ、８０２Ｂ、８０３Ａ、８０３Ｂ、８０４Ａ、８０４Ｂの各々は、パージポートノズル位置８００Ａ、８００Ｂ、８０１Ａ、８０１Ｂ、８０２Ａ、８０２Ｂ、８０３Ａ、８０３Ｂ、８０４Ａ、８０４Ｂでのパージポートノズルが、少なくとも１つの基板カセット容器Ｔの少なくとも１つのパージポート６００－６０９に連結するように構成される。各パージポートノズル位置８００Ａ、８００Ｂ、８０１Ａ、８０１Ｂ、８０２Ａ、８０２Ｂ、８０３Ａ、８０３Ｂ、８０４Ａ、８０４Ｂは、交換可能なパージポートノズルインターフェース８２０－８３１を画定する。少なくとも１つのパージポートノズルを有する交換可能なパージポートノズルモジュールは、各々が交換可能なパージポートノズルインターフェース８２０－８３１へのモジュール式の取り付けのための異なる所定のパージポートノズル構成を有する、いくつかの異なる交換可能なパージポートノズルモジュール１９１０－９１０から選択され（図１７、ブロック１７０４）、それによって、交換可能なパージポートノズルモジュールの選択可能な取り付けは、選択可能に構成可能なカセット支持体パージポート８１０、８１１の構成を、第１の所定のパージポート特性を有する、少なくとも１つの基板カセット容器Ｔの第１の容器に適合し、少なくとも１つの基板カセット容器Ｔの第１の容器との連結をもたらすパージポートノズル位置８００Ａ、８００Ｂ、８０１Ａ、８０１Ｂ、８０２Ａ、８０２Ｂ、８０３Ａ、８０３Ｂ、８０４Ａ、８０４Ｂにパージポートノズルを有する第１の構成から、第１の所定のパージポート特性とは異なる第２の所定のパージポート特性を有する、少なくとも１つの基板カセット容器Ｔの第２の容器に適合し、少なくとも１つの基板カセット容器Ｔとの連結をもたらすパージポートノズル位置８００Ａ、８００Ｂ、８０１Ａ、８０１Ｂ、８０２Ａ、８０２Ｂ、８０３Ａ、８０３Ｂ、８０４Ａ、８０４Ｂにパージポートノズルを有する第２の構成に変更する。
【0079】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、基板載置装置であって、基板載置装置を基板処理装置に接続するように構成されるフレームであって、フレームは、搬送開口部を有し、搬送開口部を通って、基板が、基板載置装置と基板処理装置との間で搬送される、フレームと、少なくとも１つの基板カセット容器であって、搬送開口部を通って、少なくとも１つの基板カセット容器への基板の移送、および少なくとも１つの基板カセット容器からの基板の移送のための、少なくとも１つの基板カセット容器を保持するために、フレームに接続される、カセット支持体と、２つ以上のパージポートノズル位置がカセット支持体上に配置される、カセット支持体パージポートであって、２つ以上のパージポートノズル位置の各々は、パージポートノズル位置でのパージポートノズルが、少なくとも１つの基板カセット容器の少なくとも１つのパージポートに連結するように構成される、カセット支持体パージポートとを備え、各パージポートノズル位置は、交換可能なパージポートノズルインターフェースを画定し、それによって、各々が異なる所定のパージノズル構成を有する、異なる交換可能なパージポートノズルモジュールに対応する、異なる交換可能なパージポートノズルは、少なくとも１つの基板カセット容器の異なる基板カセット容器の、異なるパージポート特性を有する、少なくとも１つのパージポートの異なるポートに適合し、異なるポートとの連結をもたらし、交換可能なパージポートノズルモジュールの異なる所定のパージノズル構成に対応する、２つ以上のパージポートノズル位置のそれぞれのパージポートノズルインターフェースに取り外し可能に取り付けられる。
【0080】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、交換可能なパージポートノズルインターフェースの各々は、カセット支持体の所定のデータムに対して、所定の位置を有するように配置され、それによって、各パージポートノズルインターフェースは、各異なる基板カセット容器の所定のデータムに対して、決定的に配置される。
【0081】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、交換可能なパージポートノズルインターフェースの各々および異なる交換可能なパージポートノズルモジュールの各それぞれ１つの異なる所定のパージノズル構成は、異なる交換可能なパージポートノズルモジュールの各それぞれ１つの、異なる交換可能なパージポートノズルモジュールの別の１つとの高速交換の取り付けをもたらすように構成される。
【0082】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、交換可能なパージポートノズルインターフェースの各々は、異なるパージポート特性を有する異なる基板カセット容器の少なくとも１つのパージポートの各々を決定的に示す、ノズル位置決めデータムを画定する。
【0083】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、各パージポートノズルは、対応するパージポートノズルモジュールの別のパージポートノズルから独立したユニットとして、交換可能なパージポートノズルインターフェースに取り外し可能に取り付けられ、対応するパージポートノズルモジュールの、独立して取り付けられる各パージポートノズルは、異なる対応するパージポートノズルモジュールの異なるパージポートノズルと独立して交換され、それによって、対応するパージポートノズルモジュールの異なる対応するパージポートノズルモジュールとの交換をもたらす。
【0084】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、各パージポートノズルは、対応するパージポートノズルモジュールの別のパージポートノズルから独立したユニットとして、パージポートノズルインターフェースに取り外し可能に取り付けられ、対応するパージポートノズルモジュールは、異なる対応するパージポートノズルを有する、異なるパージポートノズルモジュールとノズルごとに交換される。
【0085】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、各異なるパージポートノズルモジュールは、モジュールフレームであって、モジュールフレームが各対応するパージポートノズルに共通であるように、各対応するパージポートノズルがモジュールフレームに取り付けられる、モジュールフレームを有し、モジュールフレームは、カセット支持体に共通の取り外し可能な取り付け連結部を画定し、それによって、モジュールフレームのカセット支持体への取り外し可能な連結が、共通モジュールユニットとしての各パージポートノズルのそれぞれのパージポートノズルインターフェースへの取り付けをもたらす。
【0086】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、対応するパージポートノズルをその上に有する、各異なるパージポートノズルモジュールのモジュールフレームは、対応する異なるパージポートノズルをその上に有する、互いの異なるパージポートノズルモジュールの別のモジュールフレームとモジュールユニットとして交換可能である。
【0087】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、各異なるパージポートノズルモジュールは、少なくとも１つの基板カセット容器の異なる基板カセット容器の異なる所定のパージポート特性に対応する。
【0088】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、基板載置装置であって、基板載置装置を基板処理装置に接続するように構成されるフレームであって、フレームは、搬送開口部を有し、搬送開口部を通って、基板が、基板載置装置と基板処理装置との間で搬送される、フレームと、少なくとも１つの基板カセット容器であって、搬送開口部を通って、少なくとも１つの基板カセット容器への基板の移送、および少なくとも１つの基板カセット容器からの基板の移送のための、少なくとも１つの基板カセット容器を保持するために、フレームに接続される、カセット支持体と、２つ以上のパージポートノズル位置がカセット支持体上に配置される、カセット支持体パージポートであって、２つ以上のパージポートノズル位置の各々は、パージポートノズル位置でのパージポートノズルが、少なくとも１つの基板カセット容器の少なくとも１つのパージポートに連結するように構成され、各パージポートノズル位置は、交換可能なパージポートノズルインターフェースを画定する、選択可能に構成可能なカセット支持体パージポートと、交換可能なパージポートノズルモジュールであって、少なくとも１つのパージポートノズルを有し、各々が交換可能なパージポートノズルインターフェースへのモジュール式の取り付けのために、異なる所定のパージポートノズル構成を有する、複数の異なる交換可能なパージポートノズルモジュールから選択可能であり、それによって、交換可能なパージポートノズルモジュールの選択可能な取り付けは、選択可能に構成可能なカセット支持体パージポートの構成を、第１の所定のパージポート特性を有する、少なくとも１つの基板カセット容器の第１の容器に適合し、第１の容器との連結をもたらすパージポートノズル位置にパージポートノズルを有する第１の構成から、第１の所定のパージポート特性とは異なる第２の所定のパージポート特性を有する、少なくとも１つの基板カセット容器の第２の容器に適合し、第２の容器との連結をもたらすパージポートノズル位置にパージポートノズルを有する第２の構成に変更する、交換可能なパージポートノズルモジュールとを備える。
【0089】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、交換可能なパージポートノズルインターフェースは、カセット支持体の所定のデータムに対して、所定の位置を有するように配置され、それによって、交換可能なパージノズルインターフェースに取り付けられる、異なる交換可能なパージポートノズルモジュールの、各パージポートノズルは、各異なる基板カセット容器の所定のデータムに対して、決定的に配置される。
【0090】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、交換可能なパージポートノズルインターフェースは、カセット支持体の所定のデータムに対して、所定の位置を有するように配置され、それによって、交換可能なパージポートノズルモジュールの選択可能な取り付けは、各異なる基板カセット容器の所定のデータムに対して、交換可能なパージノズルインターフェースに取り付けられる、交換可能なパージポートノズルモジュールの、取り付けと実質的に同時に、各パージポートノズルの決定的位置決めをもたらす。
【0091】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、交換可能なパージポートノズルインターフェースの各々は、カセット支持体の所定のデータムに対して、所定の位置を有するように配置され、それによって、交換可能なパージポートノズルインターフェースの各々は、各異なる基板カセット容器の所定のデータムに対して、決定的に配置される。
【0092】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、交換可能なパージポートノズルインターフェースの各々および異なる交換可能なパージポートノズルモジュールの各それぞれ１つの異なる所定のパージノズル構成は、異なる交換可能なパージポートノズルモジュールの各それぞれ１つの、異なる交換可能なパージポートノズルモジュールの別の１つとの高速交換の取り付けをもたらすように構成される。
【0093】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、交換可能なパージポートノズルインターフェースの各々は、異なるパージポート特性を有する異なる基板カセット容器の少なくとも１つのパージポートの各々を決定的に示す、ノズル位置決めデータムを画定する。
【0094】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、各パージポートノズルは、各パージポートノズルは、交換可能なパージポートノズルモジュールの別のパージポートノズルから独立したユニットとして、交換可能なパージポートノズルインターフェースに取り外し可能に取り付けられ、交換可能なパージポートノズルモジュールの、独立して取り付けられる各パージポートノズルは、複数の異なるパージポートノズルモジュールからの別の異なるパージポートノズルモジュールの異なるパージポートノズルと独立して交換され、それによって、交換可能なパージポートノズルモジュールの他の異なるパージポートノズルモジュールとの交換をもたらす。
【0095】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、各パージポートノズルは、交換可能なパージポートノズルモジュールの別のパージポートノズルから独立したユニットとして、交換可能なパージポートノズルインターフェースに取り外し可能に取り付けられ、交換可能なパージポートノズルモジュールは、異なる対応するパージポートノズルを有する、別の異なるパージポートノズルモジュールとノズルごとに交換される。
【0096】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、複数の異なるパージポートノズルモジュールからの各異なるパージポートノズルモジュールは、モジュールフレームであって、モジュールフレームが各対応するパージポートノズルに共通であるように、各対応するパージポートノズルがモジュールフレームに取り付けられる、モジュールフレームを有し、モジュールフレームは、カセット支持体に共通の取り外し可能な取り付け連結部を画定し、それによって、モジュールフレームのカセット支持体への取り外し可能な連結が、共通モジュールユニットとしての各パージポートノズルのそれぞれのパージポートノズルインターフェースへの取り付けをもたらす。
【0097】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、対応するパージポートノズルをその上に有する、各異なるパージポートノズルモジュールのモジュールフレームは、対応する異なるパージポートノズルをその上に有する、複数の異なるパージポートノズルモジュールからの各異なるパージポートノズルモジュールの別のモジュールフレームとモジュールユニットとして交換可能である。
【0098】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、複数の異なるパージポートノズルモジュールからの各異なるパージポートノズルモジュールは、少なくとも１つの基板カセット容器の異なる基板カセット容器の異なる所定のパージポート特性に対応する。
【0099】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、方法が提供される。当該方法は、基板載置装置のフレームを提供するステップであって、フレームは、基板載置装置を基板処理装置に接続するように構成され、フレームは、搬送開口部を有し、搬送開口部を通って、基板が、基板載置装置と基板処理装置との間で搬送される、ステップと、カセット支持体を提供するステップであって、カセット支持体は、少なくとも１つの基板カセット容器であって、搬送開口部を通る、少なくとも１つの基板カセット容器への基板の移送、および少なくとも１つの基板カセット容器からの基板の移送のための少なくとも１つの基板カセット容器を保持するために、フレームに接続される、ステップと、異なる交換可能なパージポートノズルを基板載置装置に選択可能に取り付けるステップであって、２つ以上のパージポートノズル位置を有するカセット支持体パージポートがカセット支持体上に配置され、２つ以上のパージポートノズル位置の各々は、パージポートノズル位置でのパージポートノズルが、少なくとも１つの基板カセット容器の少なくとも１つのパージポートに連結するように構成され、各パージポートノズル位置は、交換可能なパージポートノズルインターフェースを画定し、それによって、各々が異なる所定のパージノズル構成を有する、異なる交換可能なパージポートノズルモジュールに対応する、異なる交換可能なパージポートノズルが、少なくとも１つの基板カセット容器の異なる基板カセット容器の、異なるパージポート特性を有する、少なくとも１つのパージポートの異なるポートに適合し、異なるポートとの連結をもたらし、交換可能なパージポートノズルモジュールの異なる所定のパージノズル構成に対応する、２つ以上のパージポートノズル位置のそれぞれのパージポートノズルインターフェースに取り外し可能に取り付けられる、ステップとを含む。
【0100】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、当該方法は、カセット支持体の所定のデータムに対して、所定の位置を有するように、交換可能なパージポートノズルインターフェースの各々を配置するステップであって、それによって、各パージポートノズルインターフェースが、各異なる基板カセット容器の所定のデータムに対して、決定的に配置される、ステップをさらに含む。
【0101】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、当該方法は、異なる交換可能なパージポートノズルモジュールの各それぞれ１つの、異なる交換可能なパージポートノズルモジュールの別の１つとの高速交換の取り付けをもたらすステップをさらに含む。
【0102】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、交換可能なパージポートノズルインターフェースの各々は、異なるパージポート特性を有する異なる基板カセット容器の少なくとも１つのパージポートの各々を決定的に示す、ノズル位置決めデータムを画定する。
【0103】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、各パージポートノズルは、対応するパージポートノズルモジュールの別のパージポートノズルから独立したユニットとして、交換可能なパージポートノズルインターフェースに取り外し可能に取り付けられ、対応するパージポートノズルモジュールの、独立して取り付けられる各パージポートノズルは、異なる対応するパージポートノズルモジュールの異なるパージポートノズルと独立して交換され、方法は、対応するパージポートノズルモジュールの異なる対応するパージポートノズルモジュールとの交換をもたらすステップをさらに含む。
【0104】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、各パージポートノズルは、対応するパージポートノズルモジュールの別のパージポートノズルから独立したユニットとして、パージポートノズルインターフェースに取り外し可能に取り付けられ、方法は、対応するパージポートノズルモジュールを、異なる対応するパージポートノズルを有する、異なるパージポートノズルモジュールとノズルごとに交換するステップをさらに含む。
【0105】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、各異なるパージポートノズルモジュールは、モジュールフレームであって、モジュールフレームが各対応するパージポートノズルに共通であるように、各対応するパージポートノズルがモジュールフレームに取り付けられる、モジュールフレームを有し、モジュールフレームは、カセット支持体に共通の取り外し可能な取り付け連結部を画定し、方法は、共通モジュールユニットとしての各パージポートノズルのそれぞれのパージポートノズルインターフェースへの取り付けをもたらすように、モジュールフレームをカセット支持体に取り外し可能に連結するステップをさらに含む。
【0106】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、対応するパージポートノズルをその上に有する、各異なるパージポートノズルモジュールのモジュールフレームは、対応する異なるパージポートノズルをその上に有する、互いの異なるパージポートノズルモジュールの別のモジュールフレームとモジュールユニットとして交換可能である。
【0107】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、各異なるパージポートノズルモジュールは、少なくとも１つの基板カセット容器の異なるパージポートノズルモジュールの異なる所定のパージポート特性に対応する。
【0108】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、方法が提供される。当該方法は、基板載置装置のフレームを提供するステップであって、フレームは、基板載置装置を基板処理装置に接続するように構成され、フレームは、搬送開口部を有し、搬送開口部を通って、基板が、基板載置装置と基板処理装置との間で搬送される、ステップと、カセット支持体を提供するステップであって、カセット支持体は、少なくとも１つの基板カセット容器であって、搬送開口部を通る、少なくとも１つの基板カセット容器への基板の移送、および少なくとも１つの基板カセット容器からの基板の移送のための少なくとも１つの基板カセット容器を保持するために、フレームに接続される、ステップと、２つ以上のパージポートノズル位置がカセット支持体上に配置される、選択可能に構成可能なカセット支持体パージポートを提供するステップであって、２つ以上のパージポートノズル位置の各々は、パージポートノズル位置でのパージポートノズルが、少なくとも１つの基板カセット容器の少なくとも１つのパージポートに連結するように構成され、各パージポートノズル位置は、交換可能なパージポートノズルインターフェースを画定する、ステップと、複数の異なる交換可能なパージポートノズルモジュールから、少なくとも１つのパージポートノズルを有する交換可能なパージポートノズルモジュールを選択するステップであって、各々が交換可能なパージポートノズルインターフェースへのモジュール式の取り付けのために異なる所定のパージポートノズル構成を有し、それによって、交換可能なパージポートノズルモジュールの選択可能な取り付けにより、選択可能に構成可能なカセット支持体パージポートの構成が、第１の所定のパージポート特性を有する少なくとも１つの基板カセット容器の第１の容器に適合し、第１の容器との連結をもたらすパージポートノズル位置にパージポートノズルを有する第１の構成から、第１の所定のパージポート特性とは異なる第２の所定のパージポート特性を有する少なくとも１つの基板カセット容器の第２の容器に適合し、第２の容器との連結をもたらすパージポートノズル位置にパージポートノズルを有する第２の構成に変更される、ステップとを含む。
【0109】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、交換可能なパージポートノズルインターフェースは、カセット支持体の所定のデータムに対して、所定の位置を有するように配置され、それによって、交換可能なパージポートノズルインターフェースに取り付けられる、異なる交換可能なパージポートノズルモジュールの、各パージポートノズルは、各異なる基板カセット容器の所定のデータムに対して、決定的に配置される。
【0110】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、交換可能なパージポートノズルインターフェースは、カセット支持体の所定のデータムに対して、所定の位置を有するように配置され、それによって、交換可能なパージポートノズルモジュールの選択可能な取り付けは、各異なる基板カセット容器の所定のデータムに対して、交換可能なパージポートノズルインターフェースに取り付けられる、交換可能なパージポートノズルモジュールの、取り付けと実質的に同時に、各パージポートノズルの決定的位置決めをもたらす。
【0111】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、交換可能なパージポートノズルインターフェースの各々は、カセット支持体の所定のデータムに対して、所定の位置を有するように配置され、それによって、交換可能なパージポートノズルインターフェースの各々は、各異なる基板カセット容器の所定のデータムに対して、決定的に配置される。
【0112】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、異なる交換可能なパージポートノズルモジュールの各それぞれ１つの、異なる交換可能なパージポートノズルモジュールの別の１つとの高速交換の取り付けをもたらすステップをさらに含む。
【0113】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、交換可能なパージポートノズルインターフェースの各々は、異なるパージポート特性を有する異なる基板カセット容器の少なくとも１つのパージポートの各々を決定的に示す、ノズル位置決めデータムを画定する。
【0114】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、各パージポートノズルは、交換可能なパージポートノズルモジュールの別のパージポートノズルから独立したユニットとして、交換可能なパージポートノズルインターフェースに取り外し可能に取り付けられ、交換可能なパージポートノズルモジュールの、独立して取り付けられる各パージポートノズルは、複数の異なるパージポートノズルモジュールからの別の異なるパージポートノズルモジュールの異なるパージポートノズルと独立して交換され、それによって、交換可能なパージポートノズルモジュールの他のパージポートノズルモジュールとの交換をもたらす。
【0115】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、各パージポートノズルは、交換可能なパージポートノズルモジュールの別のパージポートノズルから独立したユニットとして、交換可能なパージポートノズルインターフェースに取り外し可能に取り付けられ、交換可能なパージポートノズルモジュールは、異なる対応するパージポートノズルを有する、別の異なるパージポートノズルモジュールとノズルごとに交換される。
【0116】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、複数の異なるパージポートノズルモジュールからの各異なるパージポートノズルモジュールは、モジュールフレームであって、モジュールフレームが各対応するパージポートノズルに共通であるように、各対応するパージポートノズルがモジュールフレームに取り付けられる、モジュールフレームを有し、モジュールフレームは、カセット支持体に共通の取り外し可能な取り付け連結部を画定し、それによって、モジュールフレームのカセット支持体への取り外し可能な連結が、共通モジュールユニットとしての各パージポートノズルのそれぞれのパージポートノズルインターフェースへの取り付けをもたらす。
【0117】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、対応するパージポートノズルをその上に有する、各異なるパージポートノズルモジュールのモジュールフレームは、対応する異なるパージポートノズルをその上に有する、複数の異なるパージポートノズルモジュールからの各異なるパージポートノズルモジュールの別のモジュールフレームとモジュールユニットとして交換可能である。
【0118】
本開示の１つまたは複数の態様によれば、複数の異なるパージポートノズルモジュールからの各異なるパージポートノズルモジュールは、少なくとも１つの基板カセット容器の異なるパージポートノズルモジュールの異なる所定のパージポート特性に対応する。
【0119】
前述の説明は、本開示の態様の例示にすぎないことを理解されたい。本開示の態様から逸脱することなく、当業者によって異なる代替および修正が企図され得る。したがって、本開示の態様は、本明細書に添付された任意の請求項の範囲内にある、すべてのそのような代替、修正、および変形を包含することを意図する。さらに、異なる特徴が、本明細書に添付され得る、相互に異なる従属請求項または独立請求項に記載されているという単なる事実は、これらの特徴の組み合わせが利点を有して使用することができず、そのような組み合わせが本開示の態様の範囲内にとどまることを示すものではない。
【図1A】
【図1B】
【図1C】
【図2】
【図3】
【図4A】
【図4B】
【図4C】
【図4D】
【図5】
【図6A】
【図6B】
【図7A】
【図7B】
【図8】
【図9A】
【図9B】
【図9C】
【図9D】
【図9E】
【図9F】
【図9G】
【図10】
【図11A】
【図11B】
【図12A】
【図12B】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【外国語明細書】