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ブルックス オートメーション ユーエス、エルエルシー

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  2024年 出願公開件数ランキング    第4243位 3件 下降2023年:第1220位 20件)

  2024年 特許取得件数ランキング    第1190位 13件 下降2023年:第1130位 19件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7546362 密封型ロボット駆動部 2024年 9月 6日
特許 7546726 基板処理ツール 2024年 9月 6日
特許 7538847 基板搬送部 2024年 8月22日
特許 7530481 自動ウェハセンタリング方法および装置 2024年 8月 7日
特許 7526277 基板処理装置 2024年 7月31日
特許 7523543 基板処理装置 2024年 7月26日
特許 7512038 基板処理装置 2024年 7月 8日
特許 7486570 ロボット埋め込み型視覚装置 2024年 5月17日
特許 7473606 基板搬送装置 2024年 4月23日
特許 7432457 基板処理システム 2024年 2月16日
特許 7432588 基板処理装置 2024年 2月16日
特許 7430641 基板搬送装置 2024年 2月13日
特許 7430668 オンザフライ方式の自動ウェハセンタリング方法および装置 2024年 2月13日

13 件中 1-13 件を表示

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7546362 7546726 7538847 7530481 7526277 7523543 7512038 7486570 7473606 7432457 7432588 7430641 7430668

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