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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024104946
(43)【公開日】2024-08-06
(54)【発明の名称】発光装置
(51)【国際特許分類】
H01S 5/02255 20210101AFI20240730BHJP
H01S 5/02326 20210101ALI20240730BHJP
【ＦＩ】
H01S5/02255
H01S5/02326
【審査請求】未請求
【請求項の数】14
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023009403
(22)【出願日】2023-01-25
(71)【出願人】
【識別番号】000226057
【氏名又は名称】日亜化学工業株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100107766
【弁理士】
【氏名又は名称】伊東 忠重
(74)【代理人】
【識別番号】100070150
【弁理士】
【氏名又は名称】伊東 忠彦
(72)【発明者】
【氏名】北島 忠征
【テーマコード（参考）】
5F173
【Ｆターム（参考）】
5F173MA10
5F173MC01
5F173MC02
5F173MC03
5F173MD14
5F173ME22
5F173ME77
5F173ME85
5F173MF03
5F173MF28
(57)【要約】
【課題】発光素子と反射部材とを精度良く配置できる発光装置を提供する。
【解決手段】本開示の一実施形態に係る発光装置は、凹部と、平面である上面とを有する基部と、前記上面に配置され、出射端面から光を側方に出射する発光素子と、前記凹部を挟んで前記発光素子の前記側方に配置される反射部材であって、前記上面と同じ平面に配置され、前記光を上方に反射する反射面を備えた反射部材と、を備え、上面視で、前記反射面の少なくとも一部は、前記凹部に重なり、前記上面に垂直な法線方向において、前記反射面の下端は、前記上面よりも下方、かつ前記凹部の底面よりも上方に位置する。
【選択図】図４
【解決手段】本開示の一実施形態に係る発光装置は、凹部と、平面である上面とを有する基部と、前記上面に配置され、出射端面から光を側方に出射する発光素子と、前記凹部を挟んで前記発光素子の前記側方に配置される反射部材であって、前記上面と同じ平面に配置され、前記光を上方に反射する反射面を備えた反射部材と、を備え、上面視で、前記反射面の少なくとも一部は、前記凹部に重なり、前記上面に垂直な法線方向において、前記反射面の下端は、前記上面よりも下方、かつ前記凹部の底面よりも上方に位置する。
【選択図】図４
【特許請求の範囲】
【請求項1】
凹部と、平面である上面とを有する基部と、
前記上面に配置され、出射端面から光を側方に出射する発光素子と、
前記凹部を挟んで前記発光素子の前記側方に配置される反射部材であって、前記上面と同じ平面に配置され、前記光を上方に反射する反射面を備えた反射部材と、を備え、
上面視で、前記反射面の少なくとも一部は、前記凹部に重なり、
前記上面に垂直な法線方向において、前記反射面の下端は、前記上面よりも下方、かつ前記凹部の底面よりも上方に位置する、発光装置。
前記上面に配置され、出射端面から光を側方に出射する発光素子と、
前記凹部を挟んで前記発光素子の前記側方に配置される反射部材であって、前記上面と同じ平面に配置され、前記光を上方に反射する反射面を備えた反射部材と、を備え、
上面視で、前記反射面の少なくとも一部は、前記凹部に重なり、
前記上面に垂直な法線方向において、前記反射面の下端は、前記上面よりも下方、かつ前記凹部の底面よりも上方に位置する、発光装置。
【請求項2】
前記反射部材は、下面において前記基部の前記上面に配置され、
前記反射面は、前記下面に対して傾斜しており、前記法線方向において、少なくとも一部が前記下面の最下点よりも下方に位置する、請求項１に記載の発光装置。
前記反射面は、前記下面に対して傾斜しており、前記法線方向において、少なくとも一部が前記下面の最下点よりも下方に位置する、請求項１に記載の発光装置。
【請求項3】
上面視で、前記下面の少なくとも一部は前記凹部と重なり、
上面視で、前記発光素子は前記凹部と重ならない、請求項２に記載の発光装置。
上面視で、前記発光素子は前記凹部と重ならない、請求項２に記載の発光装置。
【請求項4】
前記反射部材は、前記凹部内に位置し、前記下面と接続し、前記下面に対して傾斜する傾斜面を有し、
前記傾斜面は、前記反射面の反対側に位置する、請求項２に記載の発光装置。
前記傾斜面は、前記反射面の反対側に位置する、請求項２に記載の発光装置。
【請求項5】
前記傾斜面は、前記反射面に平行であり、
前記傾斜面の面積は、前記下面の面積の１／２よりも小さい、請求項４に記載の発光装置。
前記傾斜面の面積は、前記下面の面積の１／２よりも小さい、請求項４に記載の発光装置。
【請求項6】
前記凹部は、前記底面と、前記上面と交わり当該上面から下方に延伸する１又は複数の側面によって規定され、
前記反射部材の下端は、前記凹部を規定するいずれの面とも離隔する、請求項１に記載の発光装置。
前記反射部材の下端は、前記凹部を規定するいずれの面とも離隔する、請求項１に記載の発光装置。
【請求項7】
前記１又は複数の側面は、前記底面に対して傾斜しており、前記底面に対する前記側面の傾斜角は、前記底面に対する前記反射面の傾斜角よりも大きい、請求項６に記載の発光装置。
【請求項8】
前記法線方向において、前記光の光軸と前記反射面との交点は、前記反射面の中点よりも下方に位置する、請求項１に記載の発光装置。
【請求項9】
前記反射面の中点は、前記上面よりも上方に位置し、前記上面に垂直な方向において、前記反射面のうち、前記凹部より上方に位置する部分の面積は、前記凹部内に位置する部分の面積よりも大きい、請求項１に記載の発光装置。
【請求項10】
前記法線方向において、前記底面から前記上面までの長さは、前記発光素子の厚みの６倍以下である、請求項１に記載の発光装置。
【請求項11】
前記上面に設けられ、前記発光素子が配置される金属部をさらに有し、
前記金属部は、前記出射端面と同じ方向を向く側面を有し、
前記金属部の前記側面は、上面視で前記凹部とは重ならず、
前記出射端面に垂直な方向において、前記金属部の前記側面と前記出射端面との距離は、５０μｍ以下である、請求項１に記載の発光装置。
前記金属部は、前記出射端面と同じ方向を向く側面を有し、
前記金属部の前記側面は、上面視で前記凹部とは重ならず、
前記出射端面に垂直な方向において、前記金属部の前記側面と前記出射端面との距離は、５０μｍ以下である、請求項１に記載の発光装置。
【請求項12】
前記出射端面に垂直な方向において、前記凹部の最も前記発光素子に近い点と前記金属部の前記側面までの距離は、０μｍ以上１５０μｍ以下である、請求項１１に記載の発光装置。
【請求項13】
前記基部に交わり、前記上面から上方に延伸する１又は複数の側壁部と、
前記側壁部の上方に配置される蓋部と、をさらに備え、
前記蓋部は、前記反射面で反射された光が入射する光入射面を有し、
前記法線方向において、前記光入射面から前記上面までの長さと、前記反射面の上端から前記下端までの長さの差は、２００μｍ以下である、請求項１に記載の発光装置。
前記側壁部の上方に配置される蓋部と、をさらに備え、
前記蓋部は、前記反射面で反射された光が入射する光入射面を有し、
前記法線方向において、前記光入射面から前記上面までの長さと、前記反射面の上端から前記下端までの長さの差は、２００μｍ以下である、請求項１に記載の発光装置。
【請求項14】
前記反射部材は、シリコンを主材料として形成される、請求項１に記載の発光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、発光装置に関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１には、主表面及び主表面に設けられた凹部を含む基板と、主表面に対して固定され、主表面に沿ってレーザ光を出射する出射面を有するレーザ発振部と、凹部の底面に対して固定され、レーザ光を反射する位置に主表面に対して斜めに傾いた傾斜面を有する反射部材と、を備えたレーザ装置が開示されている。
【0003】
このレーザ装置では、レーザ発振部と反射部材とが基板の異なる面に配置されるため、底面から主表面までの高さのばらつきがレーザ発振部と反射部材との実装位置に影響を及ぼす。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０２１－９００４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
本開示は、発光素子と反射部材とを精度良く配置できる発光装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本開示の一実施形態に係る発光装置は、凹部と、平面である上面とを有する基部と、前記上面に配置され、出射端面から光を側方に出射する発光素子と、前記凹部を挟んで前記発光素子の前記側方に配置される反射部材であって、前記上面と同じ平面に配置され、前記光を上方に反射する反射面を備えた反射部材と、を備え、上面視で、前記反射面の少なくとも一部は、前記凹部に重なり、前記上面に垂直な法線方向において、前記反射面の下端は、前記上面よりも下方、かつ前記凹部の底面よりも上方に位置する。
【発明の効果】
【0007】
発光素子と反射部材とを精度良く配置できる発光装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】第１実施形態に係る発光装置を例示する斜視図である。
【図5】第１実施形態に係る発光装置を例示する下面図である。
【図6】基部に設けられる金属膜及びビア配線について説明する上面図である。
【図7】本実施形態に係る反射部材を例示する斜視図である。
【図8】本実施形態に係る反射部材の製造方法を例示する断面図（その１）である。
【図9】本実施形態に係る反射部材の製造方法を例示する断面図（その２）である。
【図11】第２実施形態に係る発光装置を例示する斜視図である。
【図15】第２実施形態に係る発光装置を例示する下面図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。なお、以下の説明では、必要に応じて特定の方向や位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、及びそれらの用語を含む別の用語）を用いる。しかし、それらの用語の使用は図面を参照した発明の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本発明の技術的範囲が過度に制限されるものではない。例えば、「上面」と記載した場合に、常に上を向くように発明が用いられなければならないわけではない。また、複数の図面に表れる同一符号の部分は同一もしくは同等の部分又は部材を示す。
【0010】
また、本開示において、三角形や四角形等の多角形に関しては、多角形の隅に角丸め、面取り、角取り、丸取り等の加工が施された形状も含めて、多角形と呼ぶものとする。また、隅（辺の端）に限らず、辺の中間部分に加工が施された形状も同様に、多角形と呼ぶものとする。つまり、多角形をベースに残しつつ、部分的な加工が施された形状は、本開示で記載される"多角形"の解釈に含まれるものとする。
【0011】
また、多角形に限らず、台形や円形や凹凸等、特定の形状を表す言葉についても同様である。また、その形状を形成する各辺を扱う場合も同様である。つまり、ある辺において、隅や中間部分に加工が施されていたとしても、"辺"の解釈には加工された部分も含まれる。なお、部分的な加工のない"多角形"や"辺"を、加工された形状と区別する場合は"厳密な"を付して、例えば、"厳密な四角形"等と記載するものとする。
【0012】
さらに、以下に示す実施形態は、本発明の技術思想を具体化するための発光装置等を例示するものであって、本発明を以下に限定するものではない。また、以下に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対的配置等は、特定的な記載がない限り、本発明の範囲をそれのみに限定する趣旨ではなく、例示することを意図したものである。また、一の実施形態において説明する内容は、他の実施形態や変形例にも適用可能である。また、図面が示す部材の大きさや位置関係等は、説明を明確にするため、誇張している場合がある。さらに、図面が過度に複雑になることを避けるために、一部の要素の図示を省略した模式図を用いたり、断面図として切断面のみを示す端面図を用いたりすることがある。
【0013】
【0014】
図１は、第１実施形態に係る発光装置２００を例示する斜視図である。図２は、図１に示す発光装置２００から側壁部２１３及び蓋部２１４を取り除いた状態の斜視図である。図３は、図１に示す発光装置２００から側壁部２１３及び蓋部２１４を取り除いた状態の上面図である。図４は、図１のＩＶ－ＩＶ断面線における発光装置２００の断面図である。図５は、第１実施形態に係る発光装置２００を例示する下面図である。図６は、基部２１１に設けられる金属膜及びビア配線について説明する上面図である。図７は、本実施形態に係る反射部材２４０を例示する斜視図である。
【0015】
本実施形態に係る発光装置２００は、基部２１１、発光素子２２０、金属部２３１、下側金属部２３２、及び反射部材２４０を備える。図示される例では、発光装置２００は、さらに側壁部２１３、蓋部２１４、保護素子２５０、及び配線２７０を備える。なお、発光装置２００は、これらの構成要素の全てを備えなくてもよい。
【0016】
発光装置２００の各構成要素について説明する。なお、発光装置２００に関して、金属部２３１及び下側金属部２３２については、基部２１１と合わせて説明する。
【0017】
図１から図７には、参考のため、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸が示されている。Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸と平行な方向を、それぞれ第１方向Ｘ、第２方向Ｙ、第３方向Ｚとしている。第１方向Ｘ及び第２方向Ｙは基部２１１の上面２１１ａに平行であり、第３方向Ｚは基部２１１の上面２１１ａに垂直である。
【0018】
（基部２１１、金属部２３１、下側金属部２３２）
基部２１１は、上面２１１ａ、下面２１１ｂ、及び凹部２１７を有している。上面２１１ａは平面である。図示する例で、下面２１１ｂは平面である。なお、下面２１１ｂは、平面でなくてもよい。上面２１１ａと下面２１１ｂとは、例えば平行である。ここで、基部２１１の面に関して「平行」と記述する場合、±５度の差を許容するものとする。凹部２１７は、上面２１１ａに開口している。凹部２１７は、底面２１７ｂと、上面２１１ａと交わり上面２１１ａから下方に延伸する１又は複数の側面によって規定される。凹部２１７は、例えば、上面視で矩形であり、矩形の第２方向Ｙの長さが第１方向Ｘの長さよりも長い。
基部２１１は、上面２１１ａ、下面２１１ｂ、及び凹部２１７を有している。上面２１１ａは平面である。図示する例で、下面２１１ｂは平面である。なお、下面２１１ｂは、平面でなくてもよい。上面２１１ａと下面２１１ｂとは、例えば平行である。ここで、基部２１１の面に関して「平行」と記述する場合、±５度の差を許容するものとする。凹部２１７は、上面２１１ａに開口している。凹部２１７は、底面２１７ｂと、上面２１１ａと交わり上面２１１ａから下方に延伸する１又は複数の側面によって規定される。凹部２１７は、例えば、上面視で矩形であり、矩形の第２方向Ｙの長さが第１方向Ｘの長さよりも長い。
【0019】
図示する例で、凹部２１７の複数の側面と、基部２１１の上面２１１ａとが交わる辺をそれぞれ２１７ｃ、２１７ｄ、２１７ｅ、及び２１７ｆとする。本明細書では、第１方向Ｘにおいて対向し、第２方向Ｙに延伸する２辺を、第１方向Ｘの正方向側に位置する側の辺からそれぞれ２１７ｃ、２１７ｄとする。さらに、第２方向Ｙにおいて対向し、第１方向Ｘに延伸する２辺を、第２方向Ｙの正方向側に位置する側の辺からそれぞれ２１７ｅ、２１７ｆとする。
【0020】
底面２１７ｂは、上面２１１ａよりも面粗度が大きくてもよい。凹部２１７を規定する１又は複数の側面は、底面２１７ｂに対して傾斜している。底面２１７ｂに対する各側面の傾斜角は、例えば、６０度以上９０度以下である。なお、凹部の１又は複数の側面は、底面２１７ｂに対して垂直でもよい。
【0021】
また、基部２１１は、上面２１１ａ及び下面２１１ｂと接続する１又は複数の側面を有している。１又は複数の側面は、上面２１１ａの外縁と下面２１１ｂの外縁とを接続する。基部２１１は、例えば、直方体又は立方体である。この場合、基部２１１の上面２１１ａ及び下面２１１ｂは何れも矩形であり、基部２１１は４つの矩形の側面を有する。なお、特に正方形を除外するような言及がされていない限り、矩形には正方形も含まれてよいものとする。基部２１１は、直方体又は立方体でなくてもよい。例えば、基部２１１は、上面視で任意の形状を有する板状であってもよい。なお、基部２１１は、板状には限定されず、上面視で円形、楕円形、多角形等の任意の形状であってもよい。
【0022】
基部２１１は、例えば、絶縁性を有する材料を含有する。基部２１１は、例えば、セラミックスを主材料として形成することができる。例えば、セラミックスとして、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、酸化アルミニウム、又は炭化ケイ素を用いることができる。なお、基部２１１を形成する主材料を、導電性を有する材料としてもよい。例えば、アルミニウム、金、銀、銅、タングステン、鉄、ニッケル、コバルト、若しくはそれらの合金等の金属や、ダイヤモンド、銅ダイヤモンド等の複合材料が挙げられる。
【0023】
基部２１１の上面２１１ａには、金属部２３１が設けられている。金属部２３１を形成する材料は、例えば、銅である。金属部２３１を形成する他の材料として、例えば、銅－タングステン等が挙げられる。金属部２３１の厚さＴ１は、基部２１１の厚さＴ３よりも小さい。金属部２３１の厚さＴ１は、例えば、３０μｍ以上１２０μｍ以下である。このような厚さにすることにより、発光素子２２０の発する熱を金属部２３１で効率よく放熱することができる。
【0024】
金属部２３１は、上面視で、矩形である上面２１１ａの長辺方向において対向する短辺の一辺側に寄って設けられる。より具体的には、上面２１１ａの２つの短辺のうち、第１方向Ｘの負方向側の短辺に寄って設けられる。図示する例で、金属部２３１は、上面視で凸形状を有する。より詳細には、金属部２３１は、上面視で上面２１１ａの長辺方向（第１方向Ｘ）において上面２１１ａの中心側に突出する凸部を有する。また、説明の便宜上、金属部２３１に関して、上面視で突出する凸部に対して第１方向Ｘの負方向側にへこんでいる部分を凹部と呼ぶ。図示する例では、突出する金属部２３１の凸部の側面２３１ｃが、金属部２３１の凹部の側面２３１ｄに対して上面２１１ａのより中心側に位置する。なお、金属部２３１は、上面視で矩形であってもよい。
【0025】
ここで、金属部２３１の凸部及び凹部についてさらに説明する。金属部２３１は、側面２３１ｃ及び側面２３１ｄに接続する側面２３１ｅを有する。金属部２３１の凸部は、上面視で側面２３１ｅを通り、側面２３１ｅと平行な直線よりも側面２３１ｃ側に位置する部分全体である。金属部２３１の凹部は上面視で側面２３１ｅを通り、側面２３１ｅと平行な直線よりも側面２３１ｄ側に位置する部分全体である。
【0026】
上面２１１ａの長辺方向（第１方向Ｘ）において、金属部２３１の凸部の長さは、凹部の長さよりも長い。金属部２３１の凹部の長さは、金属部２３１の凸部の長さの例えば０．２倍以上０．７倍以下である。また、上面２１１ａの短辺方向（第２方向Ｙ）におけて、金属部２３１の凸部の長さは、金属部２３１の凹部の長さよりも長い。金属部２３１の凹部の長さは、凸部の長さの例えば０．３倍以上０．７倍以下である。
【0027】
基部２１１の上面２１１ａには、さらに金属膜２６１が設けられてもよい。上面視で、金属膜２６１は、金属部２３１と離隔して設けられる。金属膜２６１は、第３方向Ｚにおいて、その厚さが金属部２３１の厚さＴ１の１／３よりも薄いことが好ましい。
【0028】
金属膜２６１は、上面２１１ａの長辺方向（第１方向Ｘ）において、金属部２３１が寄って配置されている短辺とは反対側の短辺に寄って設けられる。また、金属膜２６１は、凹部２１７を挟んで金属部２３１の反対側に設けられる。
【0029】
図示する例で、金属膜２６１は、上面視で第１方向Ｘにおいて金属部２３１側（負方向側）に突出する凸形状を有する。説明の便宜上、上面視で突出する凸部に対してへこんでいる金属膜２６１の部分を凹部とする。図３に示す例において、金属膜２６１の凹部と凸部の境界を破線で示す。第１方向Ｘにおいて、金属部２３１の凸部と金属膜２６１の凹部が上面視で凹部２１７を挟んで対向する。金属部２３１の凹部と金属膜２６１の凸部が上面視で対向する。金属部２３１の凹部と金属膜２６１の凸部の間には、凹部２１７は設けられていない。より具体的には、上面視で、金属部２３１の側面２３１ｃは、凹部２１７の辺２１７ｄと対向する。金属膜２６１の凹部の辺２６１ｃは、凹部２１７の辺２１７ｃと対向する。金属膜２６１の凸部の辺２６１ｅは、凹部２１７の辺２１７ｅ及び金属部２３１の側面２３１ｅと対向する。また、金属部２３１の側面２３１ｄは、金属膜２６１の辺２６１ｄと対向する。金属膜２６１の凸部は、凹部２１７の第２方向に対向する２辺の一方の辺側に位置する。金属膜２６１の凸部は、他方の辺側には設けられない。図示する例では、金属膜２６１の凸部は、凹部２１７よりも第２方向Ｙの正方向側に設けられ、負方向側には設けられない。
【0030】
基部２１１の下面２１１ｂには、１又は複数の下側金属部２３２が設けられてもよい。基部２１１の下面２１１ｂに下側金属部２３２を設ける場合、下側金属部２３２の厚さＴ２は、基部２１１の厚さＴ３よりも小さい。また、下側金属部２３２の厚さＴ２は、金属部２３１の厚さＴ１に対して０．８倍以上１．２倍以下であることが好ましい。これにより、基部２１１の上面２１１ａ側と下面２１１ｂ側の応力の偏りを抑制することができ、基部２１１に反りが生じることを抑制できる。下側金属部２３２の厚さＴ２は、例えば２５μｍ以上１５０μｍ以下である。
【0031】
図示の例では、１又は複数の下側金属部２３２は、第１下側金属部２３２Ａ、第２下側金属部２３２Ｂ、及び第３下側金属部２３２Ｃを有する。図５に示すように、下面視で、第１下側金属部２３２Ａの四隅の一角は、矩形である下面２１１ｂの四隅の一角、あるいはその近傍に位置する。より具体的には、第１下側金属部２３２Ａは、下面２１１ｂにおいて、第１方向Ｘの正方向側かつ第２方向Ｙの負方向側に配置されている。下面視で、第２下側金属部２３２Ｂは、下面２１１ｂの短辺方向に延伸する辺よりも長辺方向に延伸する辺が長い矩形の形状を有する。第２下側金属部２３２Ｂは、第１下側金属部２３２Ａよりも第２方向Ｙの正方向側に配置される。下面視で、第１下側金属部２３２Ａと第２下側金属部２３２Ｂは、下面２１１ｂの短辺方向（第２方向Ｙ）において互いに離隔している。長辺方向（第１方向Ｘ）において、第２下側金属部２３２Ｂは、第１下側金属部２３２Ａよりも長い。また、短辺方向（第２方向Ｙ）において、第２下側金属部２３２Ｂは、第１下側金属部２３２Ａよりも短い。
【0032】
下面視で、第３下側金属部２３２Ｃは、下面２１１ｂの長辺方向（第１方向Ｘ）において第１下側金属部２３２Ａと離隔し、短辺方向（第２方向Ｙ）において第２下側金属部２３２Ｂと離隔する。より具体的には、第３下側金属部２３２Ｃは、第１下側金属部２３２Ａよりも第１方向Ｘの負方向側、かつ第２下側金属部２３２Ｂよりも第２方向Ｙの負方向側に配置されている。下面視で、長辺方向（第１方向Ｘ）において、第３下側金属部２３２Ｃは、第２下側金属部２３２Ｂよりも短く、第１下側金属部２３２Ａよりも長い。また、短辺方向において、第３下側金属部２３２Ｃは、第２下側金属部２３２Ｂよりも長い。
【0033】
第１下側金属部２３２Ａは上面視で、金属膜２６１と部分的に重なる。より詳細には、第１下側金属部２３２Ａは、上面視で金属膜２６１の凹部と部分的に重なる。第１下側金属部２３２Ａは、上面視で凹部２１７とは重ならない。第１下側金属部２３２Ａは、上面視で金属膜２６１の凸部及び金属部２３１とは重ならない。
【0034】
第２下側金属部２３２Ｂは、上面視で金属部２３１及び金属膜２６１と部分的に重なる。より詳細には、第２下側金属部２３２Ｂは、上面視で金属部２３１の凹部及び金属膜２６１の凸部と部分的に重なる。図示する例では、第２下側金属部２３２Ｂは、上面視で凹部２１７とは重ならない。なお、第２下側金属部２３２Ｂは、上面視で凹部２１７と部分的に重なっていてもよい。
【0035】
第３下側金属部２３２Ｃは、上面視で金属部２３１と部分的に重なる。より詳細には、第３下側金属部２３２Ｃは、上面視で金属部２３１の凸部と部分的に重なる。第３下側金属部２３２Ｃは、上面視で凹部２１７と部分的に重なる。第３下側金属部２３２Ｃは、上面視で金属膜２６１とは重ならない。
【0036】
図５及び図６に示すように、基部２１１には、金属膜２６１に接続し、基部２１１を貫通する貫通孔２３３に設けられる第１ビア配線２３３Ｖが設けられてもよい。上面視で、第１ビア配線２３３Ｖは、金属膜２６１の凹部に包含される位置において金属膜２６１と接続する。また、基部２１１には、金属部２３１に接続し、基部２１１を貫通する貫通孔２３４に設けられる第２ビア配線２３４Ｖが設けられてもよい。上面視で、第２ビア配線２３４Ｖは、金属部２３１の凹部に包含される位置において金属部２３１と接続する。貫通孔２３３及び貫通孔２３４は、基部２１１の上面２１１ａから下面２１１ｂに亘って貫通する。また、図示の例では、第１ビア配線２３３Ｖ及び第２ビア配線２３４Ｖは、それぞれ２個である。なお、第１ビア配線２３３Ｖ及び第２ビア配線２３４Ｖは、それぞれ１個でもよいし、３個以上でもよい。貫通孔２３３及び２３４は、上面視で、例えば、円形、楕円形、矩形等である。
【0037】
第１ビア配線２３３Ｖは、第１下側金属部２３２Ａと接続する。金属膜２６１は、第１ビア配線２３３Ｖを介して、第１下側金属部２３２Ａと導通する。第２ビア配線２３４Ｖは、第２下側金属部２３２Ｂと接続する。金属部２３１は、第２ビア配線２３４Ｖを介して、第２下側金属部２３２Ｂと導通する。なお、第３下側金属部２３２Ｃには、ビア配線は接続されなくてよい。第３下側金属部２３２Ｃは、電気的にフローティングされていてもよい。
【0038】
図６に示すように、基部２１１には、上面視で、金属膜２６１及び金属部２３１を囲む矩形枠状の金属膜２６２が設けられてもよい。また、上面視で、金属膜２６２の上面には、後述する側壁部２１３と接合するための金属接着剤２６３が設けられる。金属接着剤２６３の例としては、ＡｕＳｎが挙げられる。上面視で、金属膜２６２は、金属膜２６１及び金属部２３１と離隔している。なお、図６では、便宜上、金属接着剤２６３をドットパターンで示している。
【0039】
金属膜２６１及び２６２としては、例えば、Ｎｉ／Ａｕ（Ｎｉ、Ａｕの順で積層した金属膜）やＴｉ／Ｐｔ／Ａｕ（Ｔｉ、Ｐｔ、Ａｕの順で積層した金属膜）等が挙げられる。金属膜２６２の厚さは、金属膜２６１の厚さと同程度であり得る。
【0040】
（側壁部２１３、蓋部２１４）
１又は複数の側壁部２１３は、基部２１１に交わり、上面２１１ａから上方に延伸する。側壁部２１３は、上面２１３ａ、下面２１３ｂ、内側面、及び外側面を有している。側壁部２１３は、例えば、上面視で矩形の枠状である。側壁部２１３の内側面及び外側面は、基部２１１の上面２１１ａと交わる。
１又は複数の側壁部２１３は、基部２１１に交わり、上面２１１ａから上方に延伸する。側壁部２１３は、上面２１３ａ、下面２１３ｂ、内側面、及び外側面を有している。側壁部２１３は、例えば、上面視で矩形の枠状である。側壁部２１３の内側面及び外側面は、基部２１１の上面２１１ａと交わる。
【0041】
蓋部２１４は、側壁部２１３の上方に配置される。蓋部２１４は、上面２１４ａ、及び下面２１４ｂを有する。蓋部２１４の形状は、例えば平板形状である。上面２１４ａと下面２１４ｂとは、平行であってもよいし、平行でなくてもよい。また、蓋部２１４は、上面２１４ａ及び下面２１４ｂと接続する１又は複数の側面を有している。１又は複数の側面は、上面２１４ａの外縁と下面２１４ｂの外縁とに接続する。蓋部２１４は、例えば、直方体又は立方体である。この場合、蓋部２１４の上面２１４ａ及び下面２１４ｂは何れも矩形であり、蓋部２１４は４つの矩形の側面を有する。蓋部２１４は、直方体又は立方体でなくてもよい。すなわち、蓋部２１４は、上面視で矩形には限定されず、上面視で円形、楕円形、多角形等の任意の形状とすることが可能である。
【0042】
側壁部２１３の下面２１３ｂと基部２１１の上面２１１ａとが接合されている。また、側壁部２１３の上面２１３ａと蓋部２１４の下面２１４ｂとが接合されている。側壁部２１３と基部２１１及び蓋部２１４との接合には、例えば、金属接着剤を用い得る。金属接着剤としては、例えば、ＡｕＳｎや金属ペーストが挙げられる。側壁部２１３と基部２１１及び蓋部２１４との接合に樹脂接着剤を用いてもよい。
【0043】
側壁部２１３は、例えば、シリコンを主材料として形成することができる。なお、側壁部２１３の他の主材料として、例えばサファイア、石英、ガラス、セラミックス等が挙げられる。セラミックスとしては、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、酸化アルミニウム、又は炭化ケイ素を用いることができる。蓋部２１４は、例えば、サファイア、石英、炭化ケイ素、ガラス、シリコン等で形成することができる。蓋部２１４は、所定波長の光を透過させる光透過領域を有する。蓋部２１４の全体が光透過領域であってもよい。なお、側壁部２１３と蓋部２１４は、同一の主材料で一体に形成してもよい。
【0044】
（発光素子２２０）
発光素子２２０は、例えば、半導体レーザ素子である。発光素子２２０は、半導体レーザ素子に限らず、例えば、発光ダイオード（ＬＥＤ）や有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）などであってもよい。図示する発光装置２００では、発光素子２２０として、半導体レーザ素子が採用されている。
発光素子２２０は、例えば、半導体レーザ素子である。発光素子２２０は、半導体レーザ素子に限らず、例えば、発光ダイオード（ＬＥＤ）や有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）などであってもよい。図示する発光装置２００では、発光素子２２０として、半導体レーザ素子が採用されている。
【0045】
発光素子２２０は、例えば、上面視で長方形の外形を有する。また、長方形の２つの短辺のうちの一辺と交わる側面が、発光素子２２０から放射される光の出射端面２２０ａとなる。また、発光素子２２０の上面及び下面は、出射端面２２０ａよりも面積が大きい。発光素子２２０の上面には、金属膜が設けられてもよい。この金属膜には、例えば他の部材と導通するための配線等が設けられる。なお、発光素子２２０の上面には、金属膜が設けられていなくてもよい。
【0046】
ここで、発光素子２２０が半導体レーザ素子である場合について説明する。発光素子２２０から放射される光（レーザ光）は拡がりを有し、出射端面と平行な面において楕円形状のファーフィールドパターン（以下「ＦＦＰ」という。）を形成する。ここで、ＦＦＰとは、出射端面から離れた位置における出射光の形状や光強度分布を示す。
【0047】
発光素子２２０から出射される楕円形状の光に基づき、楕円形状の長径を通る方向をＦＦＰの速軸方向、楕円形状の短径を通る方向をＦＦＰの遅軸方向とする。発光素子２２０におけるＦＦＰの速軸方向は、発光素子２２０の活性層を含む複数の半導体層が積層される積層方向と一致し得る。
【0048】
また、発光素子２２０のＦＦＰの光強度分布に基づいて、ピーク強度値に対する１／ｅ２以上の強度を有する光を、主要部分の光と呼ぶものとする。また、この光強度分布において１／ｅ２の強度に相当する角度を拡がり角と呼ぶものとする。ＦＦＰの速軸方向における拡がり角は、ＦＦＰの遅軸方向における拡がり角よりも大きい。
【0049】
また、ＦＦＰの楕円形状の中心を通る光、言い換えると、ＦＦＰの光強度分布においてピーク強度の光を、光軸を進む光、あるいは、光軸を通る光、と呼ぶものとする。また、ＦＦＰの楕円形状の中心を進む光の光路を、その光の光軸、と呼ぶものとする。
【0050】
発光素子２２０として、出射される光が可視光である発光素子を用いることができる。可視光を出射する発光素子としては、例えば青色光、緑色光、及び赤色光を出射する発光素子が挙げられる。ここで、青色光、緑色光、及び赤色光を出射する発光素子とは、出射される光の発光ピーク波長がそれぞれ、４０５ｎｍ～４９４ｎｍ、４９５ｎｍ～５７０ｎｍ、及び６０５ｎｍ～７５０ｎｍの範囲にある発光素子を指すものとする。青色光又は緑色光を出射する発光素子２２０としては、窒化物半導体を含む半導体レーザ素子が挙げられる。窒化物半導体としては、例えば、ＧａＮ、ＩｎＧａＮ、又はＡｌＧａＮを用いることができる。また、赤色光を出射する発光素子２２０として、ＩｎＡｌＧａＰ系やＧａＩｎＰ系、ＧａＡｓ系やＡｌＧａＡｓ系の半導体を含む半導体レーザ素子が挙げられる。
【0051】
なお、発光素子２２０から出射される光の発光ピークは、これに限らなくてよい。例えば、発光素子２２０から出射される光は、前述した色以外の可視光であってもよく、可視光以外に、紫外光、赤外光等を出射する発光素子を用いても良い。
【0052】
（反射部材２４０）
図７に示すように、反射部材２４０は、光を上方に反射する反射面２４０ａと、下面２４０ｂと、傾斜面２４０ｃと、第１側面２４０ｄと、第２側面２４０ｅと、第３側面２４０ｆと、第４側面２４０ｇと、第５側面２４０ｈとを備える。図示される発光装置２００では、反射部材２４０が備える各面は平面である。
図７に示すように、反射部材２４０は、光を上方に反射する反射面２４０ａと、下面２４０ｂと、傾斜面２４０ｃと、第１側面２４０ｄと、第２側面２４０ｅと、第３側面２４０ｆと、第４側面２４０ｇと、第５側面２４０ｈとを備える。図示される発光装置２００では、反射部材２４０が備える各面は平面である。
【0053】
図１～図６に図示される発光装置２００では、反射面２４０ａは矩形である。反射面２４０ａは、下面２４０ｂに対して傾斜している。例えば、下面２４０ｂを他の部材に対する配置面（載置面）とした場合に、下面２４０ｂに垂直な法線方向において、反射部材２４０の少なくとも一部が下面２４０ｂの最下点よりも下方に位置する。このような形状により、例えば発光装置２００において、反射部材２４０の下面２４０ｂを基部２１１の上面２１１ａに接合し、かつ、反射面２４０ａの一部を凹部２１７内に配置することが可能となる。下面２４０ｂに対する反射面２４０ａの傾斜角は、例えば、４５度である。なお、傾斜角の具体的な角度について述べる場合、製造精度を考慮して、製造品についてはその具体的な角度から±５度の差を含むものとする。平行及び垂直についても同様である。
【0054】
反射面２４０ａは、第１側面２４０ｄ、第２側面２４０ｅと、第３側面２４０ｆ、及び第４側面２４０ｇと接続する。反射面２４０ａは、下面２４０ｂ、傾斜面２４０ｃ、及び第５側面２４０ｈとは接続しない。
【0055】
傾斜面２４０ｃは、下面２４０ｂに対して傾斜する。傾斜面２４０ｃは、反射面２４０ａの反対側に位置する。傾斜面２４０ｃが、下面２４０ｂに対して傾斜する角度は、例えば４５度であり、反射面２４０ａと同じであってよい。図示の例では、傾斜面２４０ｃは、反射面２４０ａに平行である。傾斜面２４０ｃは、下面２４０ｂと接続する。また、傾斜面２４０ｃは、第１側面２４０ｄ、第２側面２４０ｅ、及び第３側面２４０ｆと接続する。傾斜面２４０ｃは、反射面２４０ａ、第４側面２４０ｇ、及び第５側面２４０ｈとは接続しない。傾斜面２４０ｃは、例えば矩形である。傾斜面２４０ｃの面積は、反射面２４０ａの面積よりも小さい。また、傾斜面２４０ｃの面積は、下面２４０ｂの面積よりも小さい方が好ましい。傾斜面２４０ｃの面積は、下面２４０ｂの面積の１／２より小さい方がより好ましい。これにより、基部２１１に接合する下面２４０ｂの面積を十分に確保することができる。
【0056】
第１側面２４０ｄ及び第２側面２４０ｅは、反射面２４０ａの短手方向において、反射面２４０ａを挟んで互いに対向する。第１側面２４０ｄ及び第２側面２４０ｅは、６つの辺を有し、各辺において６つの面と接続する。図示の例では、第１側面２４０ｄ及び第２側面２４０ｅは、それぞれ下面２４０ｂに対して垂直である。図示の例では、第１側面２４０ｄと第２側面２４０ｅとは、平行である。図示する例で、第１側面２４０ｄ及び第２側面２４０ｅは、ＸＺ平面と平行であり、互いに同じ形状を有する。また、図示する例で、第１側面２４０ｄの面積は、第２側面２４０ｅの面積と同じである。なお、第１側面２４０ｄ及び第２側面２４０ｅの形状及び面積は、これに限定されない。
【0057】
第３側面２４０ｆ及び第４側面２４０ｇは、下面２４０ｂに対して傾斜する。第３側面２４０ｆ及び第４側面２４０ｇは、反射面２４０ａの長手方向において、反射面２４０ａを挟んで対向する。第３側面２４０ｆは、反射面２４０ａ、傾斜面２４０ｃ、第１側面２４０ｄ、及び第２側面２４０ｅと接続する。第４側面２４０ｇは、反射面２４０ａ、第１側面２４０ｄ、第２側面２４０ｅ、及び第５側面２４０ｈと接続する。図示の例では、第３側面２４０ｆと第４側面２４０ｇとは、平行である。図示する例で、第３側面２４０ｆ及び第４側面２４０ｇは同じ形状を有し、例えば矩形である。第３側面２４０ｆの面積は、第４側面２４０ｇの面積よりも小さい。
【0058】
第５側面２４０ｈは、下面２４０ｂに対して傾斜する。第５側面２４０ｈは、反射面２４０ａの反対側に位置する。第５側面２４０ｈは、下面２４０ｂ、第１側面２４０ｄ、第２側面２４０ｅ、及び第４側面２４０ｇと接続する。図示の例では、第５側面２４０ｈと反射面２４０ａとは平行である。また、図示の例では、第５側面２４０ｈと傾斜面２４０ｃと反射面２４０ａは平行である。第５側面２４０ｈの面積は、反射面２４０ａの面積よりも小さい。第５側面２４０ｈの形状は、例えば矩形である。
【0059】
反射面２４０ａは、曲面であってもよいし、平面と曲面とが混在してもよい。また、反射面２４０ａは、入射する光を所望の方向に反射できれば、矩形でなくてもよい。同様に、反射部材２４０が有する他の面も、上述した形状に限定されない。
【0060】
反射部材２４０は、その外形を形成する主材料に、ガラスや金属などを使用できる。主材料は熱に強い材料がよく、例えば、石英やＢＫ７（硼珪酸ガラス）等のガラス、アルミニウム等の金属、又はシリコンを用いることができる。また、反射面２４０ａは、例えば、Ａｇ、Ａｌ等の金属やＴａ２Ｏ５／ＳｉＯ２、ＴｉＯ２／ＳｉＯ２、Ｎｂ２Ｏ５／ＳｉＯ２等の誘電体多層膜を用いて形成することができる。
【0061】
（保護素子２５０）
保護素子２５０は、半導体レーザ素子等の特定の素子を保護するための構成要素である。例えば保護素子２５０は、半導体レーザ素子等の特定の素子に過剰な電流が流れて破壊されることを防ぐための構成要素である。保護素子２５０としては、例えば、Ｓｉで形成されたツェナーダイオードを使用できる。また例えば、保護素子２５０は、特定の素子が温度環境によって故障しないように温度を測定するための構成要素であってもよい。このような温度測定素子としては、サーミスタを使用できる。温度測定素子は、発光素子２２０の出射端面の近くに配置するのがよい。
保護素子２５０は、半導体レーザ素子等の特定の素子を保護するための構成要素である。例えば保護素子２５０は、半導体レーザ素子等の特定の素子に過剰な電流が流れて破壊されることを防ぐための構成要素である。保護素子２５０としては、例えば、Ｓｉで形成されたツェナーダイオードを使用できる。また例えば、保護素子２５０は、特定の素子が温度環境によって故障しないように温度を測定するための構成要素であってもよい。このような温度測定素子としては、サーミスタを使用できる。温度測定素子は、発光素子２２０の出射端面の近くに配置するのがよい。
【0062】
（配線２７０）
配線２７０は、両端を接合部とする線状の形状を有する導電体から構成される。言い換えると、配線２７０は、線状部分の両端に、他の構成要素と接合する接合部を有する。配線２７０は、２つの構成要素間の電気的な接続に用いられる。配線２７０としては、例えば、金属のワイヤを用いることができる。金属としては、例えば、金、アルミニウム、銀、銅、タングステンなどが挙げられる。
配線２７０は、両端を接合部とする線状の形状を有する導電体から構成される。言い換えると、配線２７０は、線状部分の両端に、他の構成要素と接合する接合部を有する。配線２７０は、２つの構成要素間の電気的な接続に用いられる。配線２７０としては、例えば、金属のワイヤを用いることができる。金属としては、例えば、金、アルミニウム、銀、銅、タングステンなどが挙げられる。
【0063】
（反射部材２４０の製造方法）
図８及び図９を参照して、本実施形態に係る反射部材２４０の製造方法について説明する。図８及び図９は、本実施形態に係る反射部材２４０の製造方法を例示する断面図である。まず、図８の矢印上側に示すように、厚さが一定のシリコンウェハ２４０Ｗを準備し、シリコンウェハ２４０Ｗに、シリコンウェハ２４０Ｗの上面を部分的に露出する開口部を備えたマスク６００を形成する。マスク６００は、例えば、シリコンウェハ２４０Ｗの表面を熱酸化して形成したシリコン酸化膜である。マスク６００の開口部は、例えば、シリコン酸化膜の一部を反応性イオンエッチング等で除去することにより形成することができる。以下、図８及び図９に示すシリコンウェハ２４０Ｗにおいて、マスク６００が設けられる側の面を上面、その反対側の面を下面として説明する。
図８及び図９を参照して、本実施形態に係る反射部材２４０の製造方法について説明する。図８及び図９は、本実施形態に係る反射部材２４０の製造方法を例示する断面図である。まず、図８の矢印上側に示すように、厚さが一定のシリコンウェハ２４０Ｗを準備し、シリコンウェハ２４０Ｗに、シリコンウェハ２４０Ｗの上面を部分的に露出する開口部を備えたマスク６００を形成する。マスク６００は、例えば、シリコンウェハ２４０Ｗの表面を熱酸化して形成したシリコン酸化膜である。マスク６００の開口部は、例えば、シリコン酸化膜の一部を反応性イオンエッチング等で除去することにより形成することができる。以下、図８及び図９に示すシリコンウェハ２４０Ｗにおいて、マスク６００が設けられる側の面を上面、その反対側の面を下面として説明する。
【0064】
次に、図８の矢印下側に示すように、マスク６００の開口部内に露出するシリコンウェハ２４０Ｗの一部をエッチングにより除去する。エッチング後、シリコンウェハ２４０Ｗの上面には複数の凹部が形成される。それぞれの凹部は、２つの傾斜面と底面によって規定される。傾斜面は、上面と接続して上面に対して傾斜する面であり、傾斜角は例えば４５度である。底面は、２つの傾斜面に接続する面であり、例えば上面及び下面に対して平行である。底面は、後述する個片化後に反射部材２４０の傾斜面２４０ｃとなり、傾斜面は、個片化後に反射部材２４０の下面２４０ｂとなる。
【0065】
上面の法線方向において、上面から底面までの長さは、底面から下面までの長さよりも長い。より好ましくは、上面から底面までの長さは、底面から下面までの長さの２倍以上である。このよう長さ関係とすることにより、個片化後の反射部材２４０において、下面２４０ｂの面積を十分に確保することができる。また、上面視において、底面の面積を上面の面積と同程度になるようにエッチングを行う。底面をこのような面積とすることにより、個片化後の反射部材２４０において、傾斜面２４０ｃの大きさを確保することができる。
【0066】
次に、シリコンウェハ２４０Ｗの下面に反射膜２４０Ｍを形成する。反射膜２４０Ｍは、例えば、Ａｇ、Ａｌ等の金属やＴａ２Ｏ５／ＳｉＯ２、ＴｉＯ２／ＳｉＯ２、Ｎｂ２Ｏ５／ＳｉＯ２等の誘電体多層膜を用いて形成することができる。反射膜２４０Ｍは、例えば、スパッタ法により形成することができる。反射膜２４０Ｍが形成された下面は、個片化後の反射部材２４０の反射面２４０ａとなる。
【0067】
次に、反応性イオンエッチング、ウェットエッチング、ドライエッチング等によりマスク６００を除去する。その後、図９の矢印上側に示す一点鎖線の位置でシリコンウェハ２４０Ｗを切断することにより、図９の矢印下側に示すようにシリコンウェハ２４０Ｗが個片化される。これにより、複数の反射部材２４０が形成される。シリコンウェハ２４０Ｗの切断には、例えば、ブレードやレーザ等を用いることができる。
【0068】
図８の矢印下側において、シリコンウェハ２４０Ｗのエッチングには、例えば、水酸化カリウム水溶液（ＫＯＨ）、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイト液（ＴＭＡＨ）、エチレンジアミンピロカテコール水（ＥＤＰ）等のアルカリ性水溶液を用いた異方性エッチングを適用できる。このとき、シリコンウェハ２４０Ｗの上面および下面が（１００）面であれば、平坦な（１１１）面を斜面とする形状が形成され、（１１１）面と（１００）面とがなす角は約５４．７°となる。つまり、図９の矢印下側において、下面２４０ｂに対する反射面２４０ａの傾斜角は約５４．７°となる。また、シリコンウェハ２４０Ｗの上面および下面の（１００）面からのオフ角が９．７°であれば、上面および下面に対して約４５°の斜面を形成できる。つまり、図９の矢印下側において、下面２４０ｂに対する反射面２４０ａの傾斜角は約４５°となる。
【0069】
また、シリコンウェハ２４０Ｗのエッチングに、例えば、水酸化カリウム水溶液（ＫＯＨ）にイソプロピルアルコールを添加したエッチング液を用いた異方性エッチングを適用することもできる。このとき、シリコンウェハ２４０Ｗの上面および下面が（１００）面であれば、平坦な（１１０）面を斜面とする形状が形成され、（１１０）面と（１００）面とがなす角は約４５°となる。つまり、図９の矢印下側において、下面２４０ｂに対する反射面２４０ａの傾斜角は約４５°となる。
【0070】
ここまで、本実施形態に係る反射部材２４０の製造方法について説明したが、反射部材２４０の製造方法は、これに限定されない。
【0071】
（発光装置２００）
次に、発光装置２００について説明する。
次に、発光装置２００について説明する。
【0072】
発光素子２２０は、基部２１１の上面２１１ａに配置される。より具体的には、発光素子２２０は、金属部２３１を介して基部２１１の上面２１１ａに配置される。発光素子２２０は、金属部２３１の上面２３１ａに接合される。同様に、保護素子２５０は、金属部２３１を介して上面２１１ａに配置される。また、例えば、発光素子２２０は下面に金属膜を有し、金属部２３１の上面２３１ａに設けられた金属膜に接合される。そして、これらの金属膜同士が、例えば金属接着剤を介して接合される。この接合に用いる金属接着剤としては、例えばＡｕＳｎが挙げられる。発光素子２２０の下面に設けられる金属膜、上面２３１ａに設けられる金属膜の厚さは、金属膜２６１の厚さと同程度であり得る。
【0073】
図示される例では、上面２１１ａの垂直方向から見る上面視で、発光素子２２０は、側壁部２１３によって側方を囲まれる。これ以降、発光装置についての説明については、「上面視」は、特に言及がない限り、基部２１１の上面２１１ａの垂直方向における「上面視」を指す。発光素子２２０は、出射端面２２０ａから光を側方に出射する。図示する例では、出射端面２２０ａから側方に出射された光の光軸は、第１方向Ｘと平行である。発光素子２２０から出射される光は、例えば青色光、緑色光、赤色光といった可視光である。なお、発光素子２２０から出射される光は可視光に限定されず、例えば発光素子２２０として、紫外光や赤外光を出射する発光素子を用いてもよい。また、図示される例において、発光素子２２０は、半導体レーザ素子である。
【0074】
発光素子２２０は、出射端面２２０ａが、金属部２３１の１つの側面２３１ｃと同じ方向を向くように配置される。発光素子２２０の出射端面２２０ａは、第１方向Ｘに垂直である。また、発光素子２２０の出射端面２２０ａは、例えば、側壁部２１３の１つの内側面又は１つの外側面と平行又は垂直であり得る。上面視で、発光素子２２０は凹部２１７と重ならない。また、発光素子２２０の全体が、金属部２３１の上面２３１ａ上に位置することが好ましい。これにより、発光素子２２０の放熱性を高めることができる。
【0075】
発光素子２２０は上面視で、金属部２３１の上面２３１ａにおいて、凸部の上面に配置される。また、保護素子２５０は、金属部２３１の凸部及び凹部にまたがって配置される。より詳細には、発光素子２２０と保護素子２５０は、金属部２３１の凸部の上面において第２方向Ｙに関して並んで配置される。また、上面視で、発光素子２２０は、側面２３１ｄと重なり側面２３１ｄに平行な仮想面と重なる。保護素子２５０は、前述の仮想面と重ならない。発光素子２２０は、上面視で金属膜２６１とは重ならない。発光素子２２０は、辺２６１ｄの延長仮想線と、上面視で重なる。保護素子２５０は、前述の延長仮想線とは重ならない。
【0076】
反射部材２４０は、基部２１１の上面２１１ａと同じ平面に配置される。より詳細には、反射部材２４０は、発光素子２２０が配置される平面と同じ平面である上面２１１ａに配置される。つまり、発光素子２２０と反射部材２４０は、同じ平面上に配置される。発光素子２２０と反射部材２４０とを同じ平面である基部２１１の上面２１１ａに配置することにより、発光素子２２０と反射部材２４０とを精度良く配置できる。このような配置により、例えば発光素子２２０から出射された光を、その光軸を上面２１１ａに垂直な方向に向けて、反射面２４０ａで精度よく反射することができる。また、反射部材２４０は、凹部２１７を挟んで発光素子２２０の側方に配置される。反射部材２４０の反射面２４０ａは、発光素子２２０の出射端面２２０ａの方向を向く。反射面２４０ａは、発光素子２２０の出射端面２２０ａから出射された光を上方に反射する。
【0077】
反射部材２４０は、下面２４０ｂにおいて基部２１１の上面２１１ａに配置される。反射部材２４０は、上面２１１ａにおいて直下に設けられた金属膜２６１に配置され得る。この場合、反射部材２４０の下面２４０ｂは、金属部２３１の上面２３１ａよりも下方に位置する。
【0078】
例えば、反射部材２４０は下面２４０ｂに金属膜を有し、この金属膜と金属膜２６１とが、例えば金属接着剤を介して接合され得る。この接合に用いる金属接着剤としては、例えばＡｕＳｎが挙げられる。反射部材２４０の下面２４０ｂに設けられる金属膜の厚さは、金属膜２６１の厚さと同程度であり得る。また、反射部材２４０の下面２４０ｂは、上面視で金属膜２６１の凹部に配置される。反射部材２４０は、上面視で金属膜２６１の凸部とは重ならない。
【0079】
上面視で、反射面２４０ａの少なくとも一部は、凹部２１７に重なる。また、上面視で、下面２４０ｂの少なくとも一部は凹部２１７と重なる。図示する例において、反射面２４０ａは、上面視で、その一部が凹部２１７の内側に位置し、その他の部分が凹部２１７の外側に位置している。第１方向Ｘにおいて、反射面２４０ａの長さは、凹部２１７の長さよりも長い。第２方向Ｙにおいて、反射面２４０ａの長さは、凹部２１７の長さよりも短い。
【0080】
上面視で、反射面２４０ａの最も第１方向Ｘの正方向側に位置する点は、凹部２１７の辺２１７ｃよりも反射部材２４０側（第１方向Ｘの正方向側）に位置する。また、上面視で、反射面２４０ａの最も第１方向Ｘの負方向側に位置する点は、凹部２１７の辺２１７ｄよりも反射部材２４０側（第１方向Ｘの正方向側）に位置する。一方、上面視で、傾斜面２４０ｃの最も第１方向Ｘの正方向側に位置する点は、凹部２１７の辺２１７ｃよりも発光素子２２０側（第１方向Ｘの負方向側）に位置する。なお、傾斜面２４０ｃの最も第１方向Ｘの負方向側に位置する点は、凹部２１７の辺２１７ｄよりも反射部材２４０側（第１方向Ｘの正方向側）に位置する。
【0081】
上面２１１ａに垂直な法線方向において、反射面２４０ａの下端は、上面２１１ａよりも下方、かつ凹部２１７の底面２１７ｂよりも上方に位置する。また、傾斜面２４０ｃは、凹部２１７内に位置する。具体的には、傾斜面２４０ｃの下端は、凹部２１７内に位置し、上面２１１ａよりも下方、かつ、底面２１７ｂよりも上方に位置する。つまり、第３方向Ｚにおいて、反射部材２４０の下端は、凹部２１７を規定するいずれの面とも離隔する。凹部２１７の底面２１７ｂと、反射部材２４０の下端との間には、空間が存在する。底面２１７ｂと反射部材２４０の下端を結んだ直線上に空間が存在する。
【0082】
反射面２４０ａに関して、上面２１１ａよりも上方（第３方向Ｚの正方向）に位置する部分の面積は、上面２１１ａよりも下方に位置する部分の面積よりも大きい。言い換えると、反射面２４０ａのうち、凹部２１７よりも上方に位置する部分の面積は、凹部２１７内に位置する部分の面積よりも大きい。一方で、傾斜面２４０ｃに関して、上面２１１ａよりも上方に位置する部分の面積は、上面２１１ａよりも下方に位置する部分の面積よりも小さい。図示する例において、傾斜面２４０ｃは、下面２４０ｂと交わる辺が上面２１１ａと同じ高さに位置し、その他の部分は全て上面２１１ａよりも下方に位置する。
【0083】
このように、発光装置２００では、反射部材２４０の反射面２４０ａの一部が凹部２１７内に配置される。この構造では、反射部材２４０の全体を凹部２１７の底面２１７ｂに配置する場合と異なり、凹部２１７の底面２１７ｂを上面２１１ａに対して平行にする厳密性が要求されないため、凹部２１７を形成する際の加工が容易となる。また、凹部２１７の大きさを小さくできるため、基部２１１の強度の低下を少なくすることができる。
【0084】
また、反射部材２４０の下端が凹部２１７の底面２１７ｂよりも上方に位置することにより、凹部２１７の底面２１７ｂの粗度が反射部材２４０の配置精度に影響しないため、凹部２１７の底面２１７ｂの平坦化が不要となる。また、反射部材２４０の下端が凹部２１７を規定するいずれの面とも離隔する場合、凹部２１７を規定するいずれの面の面精度も反射部材２４０の配置精度に影響しない。
【0085】
凹部２１７の１又は複数の側面のうち、反射部材２４０の下面２４０ｂと接続する側面は、その底面２１７ｂに対する傾斜角が、反射面２４０ａの底面２１７ｂに対する傾斜角よりも大きい。つまり、辺２１７ｃを含む側面の傾斜角は、反射面２４０ａの傾斜角よりも大きい。また、底面２１７ｂに対する凹部２１７の各側面の傾斜角が大きいほど、第１方向Ｘ及び第２方向Ｙにおいて凹部２１７を小型化することができる。その結果、第１方向Ｘ及び第２方向Ｙにおいて発光装置２００を小型化することができる。
【0086】
凹部２１７の底面２１７ｂの面積は、反射部材２４０の下面２４０ｂの面積よりも小さいことが好ましい。また、出射端面２２０ａに垂直な方向において、凹部２１７の長さは、反射部材２４０の下面２４０ｂの長さよりも短いことが好ましい。また、凹部２１７の深さは、基部２１１の厚さの１／２以下であることが好ましい。このような構造により、凹部２１７の大きさを小さくできるため、凹部２１７を形成する際の加工が容易となる。また、凹部２１７の大きさを小さくできるため、基部２１１の強度の低下を少なくすることができる。
【0087】
図１０は、図４に示す発光装置２００について、発光素子２２０及び反射部材２４０とその近傍を拡大した拡大断面図である。図１０に示すように、発光装置２００では、反射部材２４０の反射面２４０ａの一部が凹部２１７内に配置されている。そのため、出射端面２２０ａから出射された光の主要部分のうち、光軸ＯＡよりも下方に向かって出射した光の一部は、凹部２１７内に配置された反射面２４０ａに照射され、上方に反射される。そのため、発光装置２００では、発光素子２２０を配置するサブマウントを用いる必要がない。その結果、発光装置２００の部材点数を少なくでき、ひいては発光装置２００を小型化することができる。
【0088】
また、図１０に示すように、第３方向Ｚにおいて、発光素子２２０の出射する光の光軸ＯＡと反射面２４０ａとの交点Ｐ１は、反射面２４０ａの中点Ｐ２よりも下方に位置する。また、反射面２４０ａの中点Ｐ２は、上面２１１ａよりも上方に位置する。例えば、反射面２４０ａの中点Ｐ２が上面２１１ａよりも上方に位置するため、反射面のうち凹部２１７内に位置する部分の面積を最小限にすることができる。これにより、凹部２１７の大きさを小さくできるため、凹部２１７を形成する際の加工が容易となる。また、凹部２１７の大きさを小さくできるため、基部２１１の強度の低下を少なくすることができる。
【0089】
第３方向Ｚにおいて、凹部２１７の底面２１７ｂから上面２１１ａまでの長さＴ４は、発光素子２２０の厚みＴ５の６倍以下であることが好ましい。このように、凹部２１７の深さを浅くすることにより、凹部２１７を形成する際の加工が容易となる。また、凹部２１７の深さを浅くすることで、基部２１１の強度の低下を少なくすることができる。
【0090】
出射端面２２０ａから出射された光の主要部分のうち、光軸ＯＡよりも下方に向かって出射した光は、反射面２４０ａの第３方向Ｚにおける中点Ｐ２よりも下方において反射面２４０ａに照射される。光軸ＯＡよりも下方に向かって出射した光は、凹部２１７内に位置する反射面２４０ａに照射されてもよい。光軸ＯＡよりも下方に向かって出射した光は、中点Ｐ２よりも上方において反射面２４０ａには照射されない。
【0091】
図１０に示すように、第１方向Ｘにおいて、金属部２３１の側面２３１ｃは、上面視で凹部２１７とは重ならないことが好ましい。また、出射端面２２０ａに垂直な方向において、金属部２３１の側面２３１ｃと出射端面２２０ａとの距離Ｌ３は、例えば、５０μｍ以下である。出射端面２２０ａは、側面２３１ｃよりも反射部材２４０側に突出するように配置し得る。この場合、出射端面２２０ａから出射された光が金属部２３１の上面に照射されることを抑制できる。出射端面２２０ａに垂直な方向において、凹部２１７の最も発光素子２２０に近い点Ｐ３と金属部２３１の側面２３１ｃまでの距離Ｌ４は、例えば、０μｍ以上１５０μｍ以下である。
【0092】
図示する例では、金属部２３１及び金属膜２６１は、凹部２１７を囲むように設けられる。より具体的には、凹部２１７の辺２１７ｃよりも第１方向Ｘの正方向側に、金属膜２６１の凹部が位置する。辺２１７ｅよりも第２方向Ｙの正方向側に、金属膜２６１の凸部が位置する。辺２１７ｄよりも第１方向Ｘの負方向側に金属部２３１の凸部が位置する。辺２１７ｆよりも第２方向Ｙの負方向側には、金属部２３１及び金属膜２６１は設けられない。また、第１方向Ｘに関して、金属部２３１及び金属膜２６１は、凹部２１７よりも長い。このように、金属部２３１及び金属膜２６１は、凹部２１７と重ならないように設けられる。また、金属部２３１の凸部と金属膜２６１の凸部が近接するように、凹部２１７の周囲を囲むように設けられる。このように設けることで、後述する配線２７０の接続を容易にしている。
【0093】
図３に示す例では、発光素子２２０に複数の配線２７０が接合される。これらの複数の配線２７０は、一端が、発光素子２２０の上面に接合され、他端が、金属膜２６１の凸部のうち辺２６１ｃよりも発光素子２２０側（第１方向Ｘの負方向側）に接合される。これにより、金属膜２６１と発光素子２２０とを接続する配線２７０の長さを短くすることができる。
【0094】
さらに、図６を参照して、各部材の配置を説明する。凹部２１７を通り、第２方向Ｙに平行な仮想線は、上面視で金属膜２６１を通過する。より詳細には、この仮想線は金属膜２６１の凸部を通過する。この仮想線は、金属膜２６１の凹部は通過しない。さらに、凹部２１７を通り、第１方向Ｘに平行な仮想線は、上面視で発光素子２２０及び反射部材２４０を通過する。
【0095】
発光素子２２０と接続する複数の配線２７０の少なくとも一部は、上面視で凹部２１７と重なる。具体的には、発光素子２２０の上面に接合される複数の配線２７０のうち、最も反射部材２４０側に接合される配線は、他の配線と比して金属膜２６１の凸部の最も反射部材２４０側において接合される。この配線が、上面視で凹部２１７と重なる。図示する例では、この配線以外の配線は、凹部２１７と上面視で重ならない。
【0096】
図３に示す例では、保護素子２５０に配線２７０が接合される。一端が保護素子２５０に接合される配線２７０は、他端が金属膜２６１の凸部のうち辺２６１ｃよりも発光素子２２０側において接合される。保護素子２５０に接続する配線２７０は、発光素子２２０に接続する配線２７０よりも保護素子２５０側において金属膜２６１の凸部に接合される。
【0097】
発光素子２２０と外部電源との電気的な接続には、例えば、基部２１１の下面２１１ｂに設けられた第１下側金属部２３２Ａ及び第２下側金属部２３２Ｂを利用することができる。
【0098】
側壁部２１３の下面２１３ｂは、基部２１１の上面２１１ａの外縁に接合されている。例えば、側壁部２１３の下面２１３ｂに設けられた金属膜と、基部２１１の上面２１１ａに設けられた金属膜２６２とが金属接着剤２６３を介して接合し固定される。側壁部２１３の上面２１３ａは、蓋部２１４の下面２１４ｂの外縁に接合されている。例えば、側壁部２１３の上面２１３ａに設けられた金属膜と、蓋部２１４の下面２１４ｂに設けられた金属膜２６２とが金属接着剤を介して接合し固定される。側壁部２１３及び蓋部２１４が基部２１１に接合されることで、基部２１１、側壁部２１３、及び蓋部２１４に囲まれた封止空間が形成される。この封止空間は、気密封止された状態で形成されてもよい。この封止空間が気密封止されることで、発光素子２２０の出射端面２２０ａに有機物等が集塵することを抑制できる。
【0099】
蓋部２１４は、反射部材２４０の上方に反射された光を透過させて外部に出射させる光透過領域を有する。反射部材２４０の上方に反射された光は、蓋部２１４の光透過領域を透過して、上面２１４ａから発光装置２００の外部に出射される。光透過領域において、蓋部２１４の下面２１４ｂは、反射部材２４０の反射面２４０ａで反射された光が入射する光入射面となる。蓋部２１４の上面２１４ａは、光入射面に入射した光を発光装置２００の外部に出射する光出射面となる。蓋部２１４の全体が光透過領域であってもよい。蓋部２１４の光透過領域は、反射部材２４０の上方に反射された光の７０％以上を透過させる。図４に示すように、第３方向Ｚにおいて、光入射面となる蓋部２１４の下面２１４ｂから基部２１１の上面２１１ａまでの長さＬ１と、反射面２４０ａの上端から下端までの長さＬ２の差は、例えば、２００μｍ以下である。このような構造により、発光装置２００を第３方向Ｚにおいて小型化することができる。
【0100】
発光装置２００の第１方向Ｘにおける長さは、例えば２５００μｍ以上４０００μｍ以下である。第２方向Ｙにおける長さは、例えば１８００μｍ以上２５００μｍ以下である。第３方向Ｚにおける長さは、例えば１５００μｍ以上２１００μｍ以下である。このように、本明細書に開示の発光装置２００は、小型化に適した発光装置である。また、発光装置２００は、金属部や基部とは別にさらに放熱用の部材、例えばサブマウントを個別に配置することなく設計が可能である。これにより、発光装置２００全体の部材点数を少なくすることができる。結果として、発光装置２００の製造の際の生産性を向上できる。
【0101】
＜第２実施形態＞
次に、図１１から図１５を参照して、第２実施形態に係る発光装置３００を説明する。第２実施形態に係る発光装置３００は、複数の発光素子３２０、及び１又は複数の反射部材３４０を備え、さらに基部２１１Ａが凹部３１７及び複数の金属部３３１を有する点で、少なくとも第１実施形態に係る発光装置２００と相違する。
次に、図１１から図１５を参照して、第２実施形態に係る発光装置３００を説明する。第２実施形態に係る発光装置３００は、複数の発光素子３２０、及び１又は複数の反射部材３４０を備え、さらに基部２１１Ａが凹部３１７及び複数の金属部３３１を有する点で、少なくとも第１実施形態に係る発光装置２００と相違する。
【0102】
図１１は、第２実施形態に係る発光装置３００を例示する斜視図である。図１２は、図１１に示す発光装置３００から側壁部２１３及び蓋部２１４を取り除いた状態の斜視図である。図１３は、図１１に示す発光装置３００から側壁部２１３及び蓋部２１４を取り除いた状態の上面図である。図１４は、図１１のＸＩＶ－ＸＩＶ断面線における発光装置３００の断面図である。図１５は、第２実施形態に係る発光装置３００を例示する下面図である。
【0103】
まず、各部材について説明する。なお、第１実施形態と重複する内容は、適宜省略する。
【0104】
（基部２１１Ａ）
基部２１１Ａは、上面２１１ａ、下面２１１ｂ、及び凹部３１７を有している。凹部３１７は、上面２１１ａに開口している。凹部３１７は、底面３１７ｂと、上面２１１ａと交わり上面２１１ａから下方に延伸する１又は複数の側面によって規定される。凹部３１７は、例えば、上面視で矩形であり、矩形の第２方向Ｙの長さが第１方向Ｘの長さよりも長い。凹部３１７において、上面視で、第２方向Ｙの長さは第１方向Ｘの長さの３倍以上であってよい。
基部２１１Ａは、上面２１１ａ、下面２１１ｂ、及び凹部３１７を有している。凹部３１７は、上面２１１ａに開口している。凹部３１７は、底面３１７ｂと、上面２１１ａと交わり上面２１１ａから下方に延伸する１又は複数の側面によって規定される。凹部３１７は、例えば、上面視で矩形であり、矩形の第２方向Ｙの長さが第１方向Ｘの長さよりも長い。凹部３１７において、上面視で、第２方向Ｙの長さは第１方向Ｘの長さの３倍以上であってよい。
【0105】
底面３１７ｂと上面２１１ａとは、平行であってもよいし、平行でなくてもよい。底面３１７ｂは、上面２１１ａよりも面粗度が大きくてもよい。凹部３１７を規定する１又は複数の側面は、底面３１７ｂに対して傾斜してもよいし、底面３１７ｂに対して垂直であってもよい。底面３１７ｂに対する各側面の傾斜角は、例えば、６０度以上９０度以下である。
【0106】
（複数の発光素子３２０）
複数の発光素子３２０は、例えば、第１実施形態に係る発光素子２２０と同様に、半導体レーザ素子である。複数の発光素子３２０は、第１発光素子３２０Ａ、第２発光素子３２０Ｂを備える。第１発光素子３２０Ａ及び第２発光素子３２０Ｂは、共に同じ色の光を出射するものであってよいし、それぞれ異なる色の光を出射するものであってもよい。なお、複数の発光素子は、半導体レーザ素子に限らず、例えば、発光ダイオード（ＬＥＤ）や有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）などであってもよい。なお、複数の発光素子３２０は、２つに限定されず、第１発光素子３２０Ａ及び第２発光素子３２０Ｂの他に、さらに発光素子を備えるものであってもよい。
複数の発光素子３２０は、例えば、第１実施形態に係る発光素子２２０と同様に、半導体レーザ素子である。複数の発光素子３２０は、第１発光素子３２０Ａ、第２発光素子３２０Ｂを備える。第１発光素子３２０Ａ及び第２発光素子３２０Ｂは、共に同じ色の光を出射するものであってよいし、それぞれ異なる色の光を出射するものであってもよい。なお、複数の発光素子は、半導体レーザ素子に限らず、例えば、発光ダイオード（ＬＥＤ）や有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）などであってもよい。なお、複数の発光素子３２０は、２つに限定されず、第１発光素子３２０Ａ及び第２発光素子３２０Ｂの他に、さらに発光素子を備えるものであってもよい。
【0107】
（１又は複数の反射部材３４０）
１又は複数の反射部材３４０は、図７に示した第１実施形態に係る反射部材２４０と同様の構造を有し得る。例えば発光装置３００が複数の反射部材３４０を有する場合、それぞれの反射部材３４０の外形や材料は、反射部材２４０と同じであり得る。図示する例で、複数の反射部材３４０は、第１反射部材３４０Ａ、第２反射部材３４０Ｂを有する。なお、例えば反射部材３４０は１つの反射部材であってもよく、その場合は、反射部材２４０よりも反射面３４０ａの一辺の長さが長いものを用いることができる。
１又は複数の反射部材３４０は、図７に示した第１実施形態に係る反射部材２４０と同様の構造を有し得る。例えば発光装置３００が複数の反射部材３４０を有する場合、それぞれの反射部材３４０の外形や材料は、反射部材２４０と同じであり得る。図示する例で、複数の反射部材３４０は、第１反射部材３４０Ａ、第２反射部材３４０Ｂを有する。なお、例えば反射部材３４０は１つの反射部材であってもよく、その場合は、反射部材２４０よりも反射面３４０ａの一辺の長さが長いものを用いることができる。
【0108】
（第１金属部３３１Ａ、第２金属部３３１Ｂ）
第１金属部３３１Ａ、及び第２金属部３３１Ｂは、基部２１１Ａの上面２１１ａに互いに離隔して設けられている。第１金属部３３１Ａの厚さＴ６は、３０μｍ以上１２０μｍ以下であり得る。第２金属部３３１Ｂの厚さは、第１金属部３３１Ａの厚さと同じであり得る。第１金属部３３１Ａ及び第２金属部３３１Ｂの材料は、例えば第１実施形態の金属部２３１の材料と同じであり得る。
第１金属部３３１Ａ、及び第２金属部３３１Ｂは、基部２１１Ａの上面２１１ａに互いに離隔して設けられている。第１金属部３３１Ａの厚さＴ６は、３０μｍ以上１２０μｍ以下であり得る。第２金属部３３１Ｂの厚さは、第１金属部３３１Ａの厚さと同じであり得る。第１金属部３３１Ａ及び第２金属部３３１Ｂの材料は、例えば第１実施形態の金属部２３１の材料と同じであり得る。
【0109】
図示する発光装置３００の第１金属部３３１Ａ及び第２金属部３３１Ｂは、上面視で矩形である。基部２１１Ａの上面２１１ａの長辺方向（第１方向Ｘ）において、第１金属部３３１Ａは、第２金属部３３１Ｂよりも長い。上面２１１ａの短辺方向（第２方向Ｙ）において、第１金属部３３１Ａは、第２金属部３３１Ｂよりも短い。図示する例において、第１金属部３３１Ａは、第２金属部３３１Ｂよりも第２方向Ｙの負方向側に位置する。また、基部２１１Ａを貫通する貫通孔３３３に設けられた第３ビア配線３３３Ｖが、第１金属部３３１Ａと第３接続箇所において接続する。
【0110】
（下側金属部３３２）
基部２１１Ａの下面２１１ｂには、１又は複数の下側金属部３３２が設けられてもよい。下側金属部２３２の厚さＴ７は、基部２１１Ａの厚さＴ８よりも小さい。また、下側金属部２３２の厚さＴ８は金属部２３１の厚さＴ６に対して例えば０．８倍以上１．２倍以下である。厚さＴ７は、厚さＴ８と同じ厚さであることが好ましい。これにより、第１実施形態に係る下側金属部２３２の場合と同様の効果を奏する。
基部２１１Ａの下面２１１ｂには、１又は複数の下側金属部３３２が設けられてもよい。下側金属部２３２の厚さＴ７は、基部２１１Ａの厚さＴ８よりも小さい。また、下側金属部２３２の厚さＴ８は金属部２３１の厚さＴ６に対して例えば０．８倍以上１．２倍以下である。厚さＴ７は、厚さＴ８と同じ厚さであることが好ましい。これにより、第１実施形態に係る下側金属部２３２の場合と同様の効果を奏する。
【0111】
図示の例では、基部２１１Ａの下面２１１ｂに、第１下側金属部３３２Ａ、第２下側金属部３３２Ｂ、及び第３下側金属部３３２Ｃを有する複数の下側金属部３３２が設けられている。図１５に示すように、下面視で、第１下側金属部３３２Ａ及び第２下側金属部３３２Ｂは、共に下面２１１ｂの２つ短辺の１辺に寄って配置される。また、第１下側金属部３３２Ａ及び第２下側金属部３３２Ｂは、短辺方向（第２方向Ｙ）において対向するように配置される。図示する例では、第１下側金属部３３２Ａは、第１方向Ｘの負方向側で、かつ第２方向Ｙの負方向側に配置されている。第２下側金属部３３２Ｂは、第１方向Ｘの負方向側で、かつ第１下側金属部３３２Ａよりも第２方向Ｙの正方向側に配置されている。第１方向Ｘ、及び第２方向Ｙにおいて、第１下側金属部３３２Ａ及び第２下側金属部３３２Ｂは、同じ大きさであってよい。
【0112】
下面視で、第３下側金属部３３２Ｃは、第１下側金属部３３２Ａ及び第２下側金属部３３２Ｂと、長辺方向（第１方向Ｘ）において対向するように配置される。より具体的には、第１方向Ｘの正方向側に配置され、第１方向Ｘにおいて、第１下側金属部３３２Ａ及び第２下側金属部３３２Ｂと対向するように配置される。また、下面視で、第３下側金属部３３２Ｃは、第１下側金属部３３２Ａ及び第２下側金属部３３２Ｂと第１方向Ｘにおいて離隔している。下面２１１ｂの長辺方向（第１方向Ｘ）及び短辺方向（第２方向Ｙ）において、第３下側金属部３３２Ｃは、第１下側金属部３３２Ａ、第２下側金属部３３２Ｂのそれぞれよりも長い。また、下面視で、第３下側金属部３３２Ｃの面積は、第１下側金属部３３２Ａ及び第２下側金属部３３２Ｂの合計の面積よりも大きい。なお、放熱性の向上のため、第３下側金属部３３２Ｃの面積は、基部２１１Ａの下面２１１ｂの面積の１／２よりも大きいことが望ましい。
【0113】
上面視（あるいは下面視）で、第１下側金属部３３２Ａは、凹部３１７と重ならない。同様に、第２下側金属部３３２Ｂは、上面視で凹部３１７と重ならない。第３下側金属部３３２Ｃは、上面視で凹部３１７と少なくとも一部が重なる。図示する例において、第３下側金属部３３２Ｃは、上面視で凹部３１７の全面と重なる。
【0114】
（金属膜３６１）
基部２１１Ａの上面２１１ａには、金属膜３６１が設けられる。金属膜３６１の厚さは、第１実施形態の金属膜２６１と同一の厚さとしてもよい。また、金属膜３６１の上面に、金属接着剤３６３が設けられる。金属接着剤３６３として、例えばＡｕＳｎを用いることができる。上面視で、金属膜３６１は、第１金属部３３１Ａ、第２金属部３３１Ｂ、及び凹部３１７の周囲を囲むように設けられる。金属膜３６１は、上面視で第１金属部３３１Ａ、第２金属部３３１Ｂ、及び凹部３１７と重ならない。
基部２１１Ａの上面２１１ａには、金属膜３６１が設けられる。金属膜３６１の厚さは、第１実施形態の金属膜２６１と同一の厚さとしてもよい。また、金属膜３６１の上面に、金属接着剤３６３が設けられる。金属接着剤３６３として、例えばＡｕＳｎを用いることができる。上面視で、金属膜３６１は、第１金属部３３１Ａ、第２金属部３３１Ｂ、及び凹部３１７の周囲を囲むように設けられる。金属膜３６１は、上面視で第１金属部３３１Ａ、第２金属部３３１Ｂ、及び凹部３１７と重ならない。
【0115】
基部２１１Ａを貫通する貫通孔３３４に設けられる第４ビア配線３３４Ｖは、第４接続箇所において金属膜３６１と接続する。第４接続箇所は、上面視で第１金属部３３１Ａに重ならない。第４接続箇所は、上面視で第２金属部３３１Ｂに重ならない。
【0116】
第１金属部３３１Ａと接続する第３ビア配線３３３Ｖは、第１下側金属部３３２Ａと接続する。第３接続箇所は、下面視で第１下側金属部３３２Ａと重なる。また、金属膜３６１と接続する第４ビア配線３３４Ｖは、第２下側金属部３３２Ｂと接続する。第４接続箇所は、下面視で第２下側金属部３３２Ｂと重なる。なお、第３下側金属部３３２Ｃには、ビア配線は接続されなくてよい。第３接続箇所は、下面視で第３下側金属部３３２Ｃと重ならない。第４接続箇所は、下面視で第３下側金属部３３２Ｃと重ならない。なお、第３下側金属部３３２Ｃは、電気的にフローティングされていてもよい。
【0117】
（発光装置３００）
次に、発光装置３００について説明する。
次に、発光装置３００について説明する。
【0118】
第１発光素子３２０Ａ及び第２発光素子３２０Ｂは、それぞれ第１金属部３３１Ａ、及び第２金属部３３１Ｂを介して基部２１１Ａの上面２１１ａに配置される。第１発光素子３２０Ａ及び第２発光素子３２０Ｂは、それぞれ第１出射端面３２０ａ及び第２出射端面３２０ｂから光を側方に出射する。第１出射端面３２０ａ及び第２出射端面３２０ｂは、互いに同じ方向を向く。図示する例において、第１発光素子３２０Ａから出射される光と第２発光素子３２０Ｂから出射される光の光軸は、互いに平行であり得る。また、第１出射端面３２０ａと第２出射端面３２０ｂは、互いに平行であり得る。なお、ここでの「平行」とは、±５°の誤差を許容するものとする。第１発光素子３２０Ａから出射される光の光軸方向（第１方向Ｘ）において、第１出射端面３２０ａと第２出射端面３２０ｂとの距離は、例えば５０μｍ以下であり得る。また、第１出射端面３２０ａ及び第２出射端面３２０ｂは、例えば、側壁部２１３の１つの内側面又は１つの外側面と平行／垂直であり得る。
【0119】
第１方向Ｘにおいて、第１金属部３３１Ａの長さは、第２金属部３３１Ｂの長さよりも長い。また、第１方向Ｘにおいて、第１発光素子３２０Ａの長さ及び第２発光素子３２０Ｂの長さは、第２金属部３３１Ｂの長さよりも短い。第１方向Ｘにおける、第１発光素子３２０Ａと第２発光素子３２０Ｂの長さの差は、例えば５０μｍ以下である。第１方向Ｘにおいて、第１金属部３３１Ａの第１反射部材３４０Ａ側の側面と、第２金属部３３１Ｂの第２反射部材３４０Ｂ側の側面との間の距離は、１００μｍ以下である。また、第１方向Ｘにおいて、第１金属部３３１Ａの第１反射部材３４０Ａと反対側の側面と、第２金属部３３１Ｂの第２反射部材３４０Ｂと反対側の側面との距離は２００μｍ以上である。
【0120】
第１反射部材３４０Ａ及び第２反射部材３４０Ｂは、基部２１１Ａの上面２１１ａと同じ平面において、凹部３１７を挟んでそれぞれ第１発光素子３２０Ａ及び第２発光素子３２０Ｂの側方に配置される。第１反射部材３４０Ａの反射面３４０ａは、第１発光素子３２０Ａの第１出射端面３２０ａの方向を向く。第２反射部材３４０Ｂの反射面３４０ｂは、第２発光素子３２０Ｂの第２出射端面３２０ｂの方向を向く。反射面３４０ａ及び反射面３４０ｂは、それぞれ第１発光素子３２０Ａ及び第２発光素子３２０Ｂから出射された光を上方に反射する。
【0121】
上面視で、反射面３４０ａ及び３４０ｂのそれぞれの少なくとも一部は、凹部３１７に重なる。また、上面視で、第１反射部材３４０Ａ及び第２反射部材３４０Ｂのそれぞれの下面の少なくとも一部は凹部３１７と重なる。上面２１１ａに垂直な法線方向において、反射面３４０ａ及び３４０ｂのそれぞれの下端は、上面２１１ａよりも下方、かつ凹部３１７の底面３１７ｂよりも上方に位置する。また、第１反射部材３４０Ａ及び第２反射部材３４０Ｂのそれぞれの傾斜面は、凹部３１７内に位置する。第３方向Ｚにおいて、第１反射部材３４０Ａ及び第２反射部材３４０Ｂのそれぞれの下端は、凹部３１７を規定するいずれの面とも離隔することが好ましい。
【0122】
このように、発光装置３００では、第１反射部材３４０Ａの反射面３４０ａ及び第２反射部材３４０Ｂの反射面３４０ｂのそれぞれの一部が凹部３１７内に配置される。これにより、第１実施形態の場合と同様の効果を奏する。また、第１反射部材３４０Ａ及び第２反射部材３４０Ｂのそれぞれの下端が凹部３１７の底面３１７ｂよりも上方に位置することにより、第１実施形態の場合と同様の効果を奏する。なお、基部２１１Ａは、第１反射部材３４０Ａの一部が配置される第１凹部と、第２反射部材３４０Ｂの一部が配置される第２凹部を備えてもよい。
【0123】
側面視で、第１反射部材３４０Ａ及び第２反射部材３４０Ｂは、その大部分が重なる。より詳細には、第１方向Ｘにおいて、第１反射部材３４０Ａの第１発光素子３２０Ａ側の端点と、第２反射部材３４０Ｂの第２発光素子３２０Ｂ側の端点との距離は、例えば５０μｍ以下である。このような配置とすることで、第１発光素子３２０Ａから出射した光が反射面３４０ａに入射するまでの距離と、第２発光素子３２０Ｂから出射した光が反射面３４０ｂに入射するまでの距離の差を小さくすることができる。例えば第１発光素子３２０Ａ及び第２発光素子３２０Ｂから出射するそれぞれの光の光路長を揃えることができる。
【0124】
第２金属部３３１Ｂは、第２反射部材３４０Ｂを向く側面３３１ｄを有する。側面３３１ｄは、第２出射端面３２０ｂと同じ方向を向く。第２金属部３３１Ｂは、第１金属部３３１Ａと、光軸方向に垂直な方向（第２方向Ｙ）において互いに離隔している。側面３３１ｄは、第１金属部３３１Ａの側面３３１ｃと平行であり得る。第１方向Ｘにおいて、側面３３１ｃと側面３３１ｄとの間の距離は５０μｍ以下であり得る。
【0125】
図１２及び図１３に示すように、第１発光素子３２０Ａの上面にその一端が接合する配線２７０の他端が、第２金属部３３１Ｂの上面３３１ｂに接合される。例えば複数の配線２７０が第２金属部３３１Ｂに接合され、図示する例では、３つの配線２７０が接合される。また、第１反射部材３４０Ａ及び第２反射部材３４０Ｂが配置される金属膜３６１の上面には、第２発光素子３２０Ｂの上面にその一端が接合される配線２７０が接合される。例えば複数の配線２７０が金属膜３６１の上面に接合され、図示する例では、３つの配線２７０が接合される。さらに、金属膜３６１の上面には、保護素子２５０に電気的に接続する配線２７０が接合される。このように、保護素子２５０と電気的に接続する配線２７０が、第２金属部３３１Ｂではなく、金属膜３６１に接合される。このように接合することにより、電気的に直列に接続している２つの発光素子３２０に対し、保護素子２５０が並列に接続するため、順方向バイアス、逆方向バイアスのいずれの印加電流においても、２つの発光素子３２０を保護することができる。
【0126】
第１発光素子３２０Ａから出射される光のうち、主要部分の光は、側方に進行し、第１反射部材３４０Ａの反射面３４０ａに入射する。反射面３４０ａに入射した光は、第１反射部材３４０Ａの上方に反射され、蓋部２１４の光透過領域を透過して発光装置３００の外部に出射される。同様に、第２発光素子３２０Ｂから出射される光のうち、主要部分の光は、側方に進行し、第２反射部材３４０Ｂの反射面３４０ｂに入射する。反射面３４０ｂに入射した光は、第２反射部材３４０Ｂの上方に反射され、蓋部２１４の光透過領域を透過して発光装置３００の外部に出射される。
【0127】
発光装置２００及び３００は、例えば、プロジェクターに利用できる。また、発光装置２００及び３００は、これに限らず、照明、車載ヘッドライト、ヘッドマウントディスプレイ、その他ディスプレイのバックライト等の光源に利用できる。
【0128】
以上、好ましい実施形態等について詳説したが、前述した実施形態等に制限されることはなく、特許請求の範囲に記載された範囲を逸脱することなく、前述した実施形態等に種々の変形及び置換を加えることができる。
【0129】
以上の実施形態に加えて、さらに以下の付記を開示する。
（付記１）
凹部と、平面である上面とを有する基部と、
前記上面に配置され、出射端面から光を側方に出射する発光素子と、
前記凹部を挟んで前記発光素子の前記側方に配置される反射部材であって、前記上面と同じ平面に配置され、前記光を上方に反射する反射面を備えた反射部材と、を備え、
上面視で、前記反射面の少なくとも一部は、前記凹部に重なり、
前記上面に垂直な法線方向において、前記反射面の下端は、前記上面よりも下方、かつ前記凹部の底面よりも上方に位置する、発光装置。
（付記２）
前記反射部材は、下面において前記基部の前記上面に配置され、
前記反射面は、前記下面に対して傾斜しており、前記法線方向において、少なくとも一部が前記下面の最下点よりも下方に位置する、付記１に記載の発光装置。
（付記３）
上面視で、前記下面の少なくとも一部は前記凹部と重なり、
上面視で、前記発光素子は前記凹部と重ならない、付記２に記載の発光装置。
（付記４）
前記反射部材は、前記凹部内に位置し、前記下面と接続し、前記下面に対して傾斜する傾斜面を有し、
前記傾斜面は、前記反射面の反対側に位置する、付記２又は３に記載の発光装置。
（付記５）
前記傾斜面は、前記反射面に平行であり、
前記傾斜面の面積は、前記下面の面積の１／２よりも小さい、付記４に記載の発光装置。
（付記６）
前記凹部は、前記底面と、前記上面と交わり当該上面から下方に延伸する１又は複数の側面によって規定され、
前記反射部材の下端は、前記凹部を規定するいずれの面とも離隔する、付記１から５のいずれか１に記載の発光装置。
（付記７）
前記１又は複数の側面は、前記底面に対して傾斜しており、前記底面に対する前記側面の傾斜角は、前記底面に対する前記反射面の傾斜角よりも大きい、付記６に記載の発光装置。
（付記８）
前記法線方向において、前記光の光軸と前記反射面との交点は、前記反射面の中点よりも下方に位置する、付記１から７のいずれか１に記載の発光装置。
（付記９）
前記反射面の中点は、前記上面よりも上方に位置し、前記上面に垂直な方向において、前記反射面のうち、前記凹部より上方に位置する部分の面積は、前記凹部内に位置する部分の面積よりも大きい、付記１から８のいずれか１に記載の発光装置。
（付記１０）
前記法線方向において、前記底面から前記上面までの長さは、前記発光素子の厚みの６倍以下である、付記１から９のいずれか１に記載の発光装置。
（付記１１）
前記上面に設けられ、前記発光素子が配置される金属部をさらに有し、
前記金属部は、前記出射端面と同じ方向を向く側面を有し、
前記金属部の前記側面は、上面視で前記凹部とは重ならず、
前記出射端面に垂直な方向において、前記金属部の前記側面と前記出射端面との距離は、５０μｍ以下である、付記１から１０のいずれか１に記載の発光装置。
（付記１２）
前記出射端面に垂直な方向において、前記凹部の最も前記発光素子に近い点と前記金属部の前記側面までの距離は、０μｍ以上１５０μｍ以下である、付記１１に記載の発光装置。
（付記１３）
前記基部に交わり、前記上面から上方に延伸する１又は複数の側壁部と、
前記側壁部の上方に配置される蓋部と、をさらに備え、
前記蓋部は、前記反射面で反射された光が入射する光入射面を有し、
前記法線方向において、前記光入射面から前記上面までの長さと、前記反射面の上端から前記下端までの長さの差は、２００μｍ以下である、付記１から１２のいずれか１に記載の発光装置。
（付記１４）
前記反射部材は、シリコンを主材料として形成される、付記１から１３のいずれか１に記載の発光装置。
（付記１）
凹部と、平面である上面とを有する基部と、
前記上面に配置され、出射端面から光を側方に出射する発光素子と、
前記凹部を挟んで前記発光素子の前記側方に配置される反射部材であって、前記上面と同じ平面に配置され、前記光を上方に反射する反射面を備えた反射部材と、を備え、
上面視で、前記反射面の少なくとも一部は、前記凹部に重なり、
前記上面に垂直な法線方向において、前記反射面の下端は、前記上面よりも下方、かつ前記凹部の底面よりも上方に位置する、発光装置。
（付記２）
前記反射部材は、下面において前記基部の前記上面に配置され、
前記反射面は、前記下面に対して傾斜しており、前記法線方向において、少なくとも一部が前記下面の最下点よりも下方に位置する、付記１に記載の発光装置。
（付記３）
上面視で、前記下面の少なくとも一部は前記凹部と重なり、
上面視で、前記発光素子は前記凹部と重ならない、付記２に記載の発光装置。
（付記４）
前記反射部材は、前記凹部内に位置し、前記下面と接続し、前記下面に対して傾斜する傾斜面を有し、
前記傾斜面は、前記反射面の反対側に位置する、付記２又は３に記載の発光装置。
（付記５）
前記傾斜面は、前記反射面に平行であり、
前記傾斜面の面積は、前記下面の面積の１／２よりも小さい、付記４に記載の発光装置。
（付記６）
前記凹部は、前記底面と、前記上面と交わり当該上面から下方に延伸する１又は複数の側面によって規定され、
前記反射部材の下端は、前記凹部を規定するいずれの面とも離隔する、付記１から５のいずれか１に記載の発光装置。
（付記７）
前記１又は複数の側面は、前記底面に対して傾斜しており、前記底面に対する前記側面の傾斜角は、前記底面に対する前記反射面の傾斜角よりも大きい、付記６に記載の発光装置。
（付記８）
前記法線方向において、前記光の光軸と前記反射面との交点は、前記反射面の中点よりも下方に位置する、付記１から７のいずれか１に記載の発光装置。
（付記９）
前記反射面の中点は、前記上面よりも上方に位置し、前記上面に垂直な方向において、前記反射面のうち、前記凹部より上方に位置する部分の面積は、前記凹部内に位置する部分の面積よりも大きい、付記１から８のいずれか１に記載の発光装置。
（付記１０）
前記法線方向において、前記底面から前記上面までの長さは、前記発光素子の厚みの６倍以下である、付記１から９のいずれか１に記載の発光装置。
（付記１１）
前記上面に設けられ、前記発光素子が配置される金属部をさらに有し、
前記金属部は、前記出射端面と同じ方向を向く側面を有し、
前記金属部の前記側面は、上面視で前記凹部とは重ならず、
前記出射端面に垂直な方向において、前記金属部の前記側面と前記出射端面との距離は、５０μｍ以下である、付記１から１０のいずれか１に記載の発光装置。
（付記１２）
前記出射端面に垂直な方向において、前記凹部の最も前記発光素子に近い点と前記金属部の前記側面までの距離は、０μｍ以上１５０μｍ以下である、付記１１に記載の発光装置。
（付記１３）
前記基部に交わり、前記上面から上方に延伸する１又は複数の側壁部と、
前記側壁部の上方に配置される蓋部と、をさらに備え、
前記蓋部は、前記反射面で反射された光が入射する光入射面を有し、
前記法線方向において、前記光入射面から前記上面までの長さと、前記反射面の上端から前記下端までの長さの差は、２００μｍ以下である、付記１から１２のいずれか１に記載の発光装置。
（付記１４）
前記反射部材は、シリコンを主材料として形成される、付記１から１３のいずれか１に記載の発光装置。
【符号の説明】
【0130】
２００，３００ 発光装置
２１１，２１１Ａ 基部
２１１ａ 上面
２１１ｂ 下面
２１３ 側壁部
２１３ａ 上面
２１３ｂ 下面
２１４ 蓋部
２１４ａ 上面
２１４ｂ 下面
２１７，３１７ 凹部
２１７ｂ，３１７ｂ 底面
２２０ 発光素子
２２０ａ 出射端面
２３１ 金属部
２３１ａ 上面
２３１ｃ，２３１ｄ，２３１ｅ 側面
２３２ 下側金属部
２３２Ａ 第１下側金属部
２３２Ｂ 第２下側金属部
２３２Ｃ 第３下側金属部
２３３，２３４ 貫通孔
２３３Ｖ 第１ビア配線
２３４Ｖ 第２ビア配線
２４０ 反射部材
２４０ａ 反射面
２４０ｂ 下面
２４０ｃ 傾斜面
２４０ｄ 第１側面
２４０ｅ 第２側面
２４０ｆ 第３側面
２４０ｇ 第４側面
２４０ｈ 第５側面
２５０ 保護素子
２６１，２６２ 金属膜
２６３ 金属接着剤
２７０ 配線
３２０Ａ 第１発光素子
３２０ａ 第１出射端面
３２０Ｂ 第２発光素子
３２０ｂ 第２出射端面
３３１Ａ 第１金属部
３３１ａ 上面
３３１ｃ 側面
３３１Ｂ 第２金属部
３３１ｂ 上面
３３１ｄ 側面
３３３，３３４ 貫通孔
３３３Ｖ 第３ビア配線
３３４Ｖ 第４ビア配線
３４０Ａ 第１反射部材
３４０ａ 反射面
３４０Ｂ 第２反射部材
３４０ｂ 反射面
３６１ 金属膜
３６３ 金属接着剤
２１１，２１１Ａ 基部
２１１ａ 上面
２１１ｂ 下面
２１３ 側壁部
２１３ａ 上面
２１３ｂ 下面
２１４ 蓋部
２１４ａ 上面
２１４ｂ 下面
２１７，３１７ 凹部
２１７ｂ，３１７ｂ 底面
２２０ 発光素子
２２０ａ 出射端面
２３１ 金属部
２３１ａ 上面
２３１ｃ，２３１ｄ，２３１ｅ 側面
２３２ 下側金属部
２３２Ａ 第１下側金属部
２３２Ｂ 第２下側金属部
２３２Ｃ 第３下側金属部
２３３，２３４ 貫通孔
２３３Ｖ 第１ビア配線
２３４Ｖ 第２ビア配線
２４０ 反射部材
２４０ａ 反射面
２４０ｂ 下面
２４０ｃ 傾斜面
２４０ｄ 第１側面
２４０ｅ 第２側面
２４０ｆ 第３側面
２４０ｇ 第４側面
２４０ｈ 第５側面
２５０ 保護素子
２６１，２６２ 金属膜
２６３ 金属接着剤
２７０ 配線
３２０Ａ 第１発光素子
３２０ａ 第１出射端面
３２０Ｂ 第２発光素子
３２０ｂ 第２出射端面
３３１Ａ 第１金属部
３３１ａ 上面
３３１ｃ 側面
３３１Ｂ 第２金属部
３３１ｂ 上面
３３１ｄ 側面
３３３，３３４ 貫通孔
３３３Ｖ 第３ビア配線
３３４Ｖ 第４ビア配線
３４０Ａ 第１反射部材
３４０ａ 反射面
３４０Ｂ 第２反射部材
３４０ｂ 反射面
３６１ 金属膜
３６３ 金属接着剤
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】