特開 2024-108407 可動装置の台座、可動システム、画像投影装置、距離測定装置、音響装置および振動子

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024108407

(43)【公開日】2024-08-13

(54)【発明の名称】可動装置の台座、可動システム、画像投影装置、距離測定装置、音響装置および振動子

(51)【国際特許分類】

   B81B 3/00 20060101AFI20240805BHJP

   G02B 26/10 20060101ALI20240805BHJP

   G01C 3/06 20060101ALI20240805BHJP

   H04R 1/22 20060101ALI20240805BHJP

   H03H 9/24 20060101ALI20240805BHJP

   B81B 7/02 20060101ALI20240805BHJP

【ＦＩ】

B81B3/00

G02B26/10 104Z

G01C3/06 120Q

H04R1/22 310

H04R1/22 320

H03H9/24 Z

B81B7/02

【審査請求】未請求

【請求項の数】15

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023012755

(22)【出願日】2023-01-31

(71)【出願人】

【識別番号】000006747

【氏名又は名称】株式会社リコー

(74)【代理人】

【識別番号】100107766

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠重

(74)【代理人】

【識別番号】100070150

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠彦

(74)【代理人】

【識別番号】100107515

【弁理士】

【氏名又は名称】廣田 浩一

(72)【発明者】

【氏名】藤島 正幸

【テーマコード（参考）】

2F112

2H045

3C081

5D018

5J108

【Ｆターム（参考）】

2F112AD01

2F112CA05

2F112DA32

2H045AB01

2H045AB73

2H045BA02

2H045DA02

3C081AA13

3C081BA21

3C081BA28

3C081BA44

3C081BA48

3C081BA54

3C081DA03

3C081DA06

3C081EA01

3C081EA11

3C081EA21

5D018AA10

5D018BA03

5J108AA07

5J108AA08

5J108BB08

5J108CC04

5J108CC10

5J108CC11

5J108EE03

5J108EE04

5J108EE07

5J108EE13

(57)【要約】

【課題】可動部の変位量の変化を低減しつつ、温度変化に伴う可動装置の共振周波数変化を低減可能な可動装置の台座を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様に係る可動装置の台座は、可動部と、前記可動部を支持する支持部と、を有する可動装置が配置される可動装置の台座であって、基板と、前記基板上に配置される柱状部材と、を有し、前記基板は、上面視において、第１軸に対して対称に配置され、それぞれが前記第１軸に対して傾斜している一対の梁部と、上面視において、前記一対の梁部が内側に配置される枠部と、上面視において、前記枠部の内側に配置され、前記一対の梁部と前記枠部とを接続する梁接続部と、を有し、前記柱状部材は、上面視において、前記第１軸と交差する第２軸に沿う方向を長手として前記一対の梁部上に配置され、前記柱状部材の線膨張係数は、前記基板の線膨張係数よりも大きい。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

可動部と、前記可動部を支持する支持部と、を有する可動装置が配置される可動装置の台座であって、
基板と、
前記基板上に配置される柱状部材と、を有し、
前記基板は、
上面視において、第１軸に対して対称に配置され、それぞれが前記第１軸に対して傾斜している一対の梁部と、
上面視において、前記一対の梁部が内側に配置される枠部と、
上面視において、前記枠部の内側に配置され、前記一対の梁部と前記枠部とを接続する梁接続部と、を有し、
前記柱状部材は、上面視において、前記第１軸と交差する第２軸に沿う方向を長手として前記一対の梁部上に配置され、
前記柱状部材の線膨張係数は、前記基板の線膨張係数よりも大きい、可動装置の台座。

【請求項2】

前記支持部は、上面視において、一対の固定部を介して前記可動部を内側に支持し、
前記第１軸は、前記一対の固定部同士を結ぶ固定軸に沿っている、請求項１に記載の可動装置の台座。

【請求項3】

前記基板は、前記枠部の中心に対して対称に配置される偶数対の梁部を含む、請求項１に記載の可動装置の台座。

【請求項4】

第１から第４の柱状部材を含む４つの前記柱状部材を有し、
前記基板は、前記枠部の中心に対して対称に配置される四対の梁部を有し、
前記第１の柱状部材と前記第２の柱状部材は、上面視において、前記第２軸に対して対称に配置され、
前記第３の柱状部材と前記第４の柱状部材は、上面視において、前記第１軸に対して対称に配置される、請求項１に記載の可動装置の台座。

【請求項5】

前記一対の梁部と前記柱状部材は、上面視において、二等辺三角形の枠体を構成している、請求項１に記載の可動装置の台座。

【請求項6】

前記基板は、前記第１軸に対して対称に配置され、それぞれが前記第１軸に対して傾斜している一対の梁接続部を含み、
前記一対の梁部と前記一対の梁接続部は、上面視において、菱形枠体を構成している、請求項１に記載の可動装置の台座。

【請求項7】

第１から第４の柱状部材を含む４つの前記柱状部材を有し、
前記基板は、第１から第４の菱形枠体を含む４つの前記菱形枠体を有し、
前記第１の柱状部材と前記第２の柱状部材は、上面視において、前記第２軸に対して対称に配置され、
前記第３の柱状部材と前記第４の柱状部材は、上面視において、前記第１軸に対して対称に配置され、
前記第１の菱形枠体と前記第２の菱形枠体は、上面視において、前記第２軸に対して対称に配置され、
前記第３の菱形枠体と前記第４の菱形枠体は、上面視において、前記第１軸に対して対称に配置される、請求項６に記載の可動装置の台座。

【請求項8】

請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の可動装置の台座と、
前記台座に配置される可動装置と、
前記台座と前記可動装置との間に配置されるスペーサ部と、を有する、可動システム。

【請求項9】

前記スペーサ部は、前記梁部の梁接続部と反対側の端部を含む、請求項８に記載の可動システム。

【請求項10】

前記スペーサ部は、前記柱状部材を含む、請求項８に記載の可動システム。

【請求項11】

前記可動部は、第１から第４の固定部を介して接続する前記支持部により支持され、
上面視において、前記第１の固定部と前記第２の固定部を結ぶ軸は、前記第３の固定部と前記第４の固定部を結ぶ軸と交差する、請求項８に記載の可動システム。

【請求項12】

請求項８に記載の可動システムを有する、画像投影装置。

【請求項13】

請求項８に記載の可動システムを有する、距離測定装置。

【請求項14】

請求項８に記載の可動システムを有する、音響装置。

【請求項15】

請求項８に記載の可動システムを有する、振動子。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、可動装置の台座、可動システム、画像投影装置、距離測定装置、音響装置および振動子に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、半導体製造技術を応用したマイクロマシニング技術の発達に伴い、シリコンやガラスを微細加工して製造されるＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）装置等の可動装置が知られている。また、可動装置を外部装置に固定するための可動装置の台座、並びに可動装置と可動装置の台座とを含む可動システムが知られている。

【0003】

可動装置として、静電振動子の共振周波数を広い温度範囲で一定に保つために、振動体への圧接箇所に傾斜面を備えた出っ張り状の振動体圧接部を有し、膨張または収縮による振動体圧接部の変化によって振動体の振動範囲の長さが変化する構成が開示されている（例えば、特許文献１参照）。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１の構成では、振動体の振動範囲の長さが変化することにより、振動体等の可動部の変位量が変化する場合がある。

【0005】

本発明は、可動部の変位量の変化を低減しつつ、温度変化に伴う可動装置の共振周波数変化を低減可能な可動装置の台座を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一態様に係る可動装置の台座は、可動部と、前記可動部を支持する支持部と、を有する可動装置が配置される可動装置の台座であって、基板と、前記基板上に配置される柱状部材と、を有し、前記基板は、上面視において、第１軸に対して対称に配置され、それぞれが前記第１軸に対して傾斜している一対の梁部と、上面視において、前記一対の梁部が内側に配置される枠部と、上面視において、前記枠部の内側に配置され、前記一対の梁部と前記枠部とを接続する梁接続部と、を有し、前記柱状部材は、上面視において、前記第１軸と交差する第２軸に沿う方向を長手として前記一対の梁部上に配置され、前記柱状部材の線膨張係数は、前記基板の線膨張係数よりも大きい。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、可動部の変位量の変化を低減しつつ、温度変化に伴う可動装置の共振周波数変化を低減可能な可動装置の台座を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】第１実施形態に係る可動システムの一例を示す斜視図である。

【図2】図１の可動システムの分解斜視図である。

【図3】一対の梁部および柱状部材を示す上面図である。

【図4】一対の梁部および柱状部材の形状変化の第１例を示す上面図である。

【図5】一対の梁部および柱状部材の形状変化の第２例を示す上面図である。

【図6】第２実施形態に係る可動システムの一例を示す斜視図である。

【図7】図６の可動システムの分解斜視図である。

【図8】第３実施形態に係る可動システムの一例を示す斜視図である。

【図9】図８の可動システムの分解斜視図である。

【図10】第４実施形態に係る可動システムの一例を示す斜視図である。

【図11】図１０の可動システムの分解斜視図である。

【図12】第４実施形態に係る菱形枠体の一例を示す上面図である。

【図13】第５実施形態に係る可動システムの一例を示す斜視図である。

【図14】図１３の可動システムの分解斜視図である。

【図15】第５実施形態に係る菱形枠体の一例を示す上面図である。

【図16】第６実施形態に係る可動システムの一例を示す斜視図である。

【図17】図１６の可動システムの分解斜視図である。

【図18】スペーサ部の変形例を示す図である。

【図19】実施形態に係る画像投影装置を搭載した自動車の一例の図である。

【図20】実施形態に係る画像投影装置の一例の図である。

【図21】実施形態に係る距離測定装置を搭載した自動車の一例の図である。

【図22】実施形態に係る距離測定装置を搭載した自動車の他の例の図である。

【図23】実施形態に係る距離測定装置の一例の図である。

【図24】実施形態に係る音響装置の一例の図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、図面を参照して発明を実施するための形態について詳細に説明する。各図面において、同一構成部には同一符号を付し、重複した説明を適宜省略する。

【0010】

各図面において、方向表現として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸を有する直交座標を用いる。Ｚ軸に沿うＺ方向を上下方向とする。上下方向は、実施形態に係る可動装置における可動部の変位方向である。＋Ｚ方向を上、－Ｚ方向を下とする。本明細書では、上面視とは、特段の指定がない限り、＋Ｚ方向から対象を視ることをいう。Ｚ方向に直交する面内において、直交する２方向をＸ方向およびＹ方向とする。但し、これら方向表現は、本発明の実施形態の方向を限定するものではない。

【0011】

［第１実施形態］
（可動システム１００の構成例）
図１および図２を参照し、第１実施形態に係る可動システムの構成について説明する。図１は、第１実施形態に係る可動システム１００の一例を示す斜視図である。図２は、可動システム１００の分解斜視図である。

【0012】

図１および図２に示すように、可動システム１００は、台座１と、台座１に固定される可動装置２と、台座１と可動装置２との間に配置されるスペーサ部材３と、を有する。

【0013】

可動装置２は、可動部２１と支持部２２とを有する。支持部２２は、可動部２１を支持する。図１および図２に示す例では、支持部２２は、上面視において、略矩形の外形形状と、略矩形の支持部開口２３と、を有する矩形枠状の部分である。支持部２２は、固定部２２０－１および固定部２２０－２を含む一対の固定部２２０を介し、上面視において、可動部２１を内側に支持する。固定軸２１０は、固定部２２０－１と固定部２２０－２とを結ぶ軸である。図１に示す例では、固定軸２１０はＹ軸に沿っている。

【0014】

可動装置２は、例えば半導体プロセスにより製作されたＭＥＭＳ装置である。可動装置２は、シリコン、ガラス等を含んで構成される。本明細書で例示する可動装置２は、可動部２１の両端が支持部２２により支持される両持ち梁構造を有する。可動装置２は、駆動電圧が印加されることにより、可動部２１の中央部分が上下方向（Ｚ方向）に往復変位、すなわち振動する振動装置である。可動装置２では、可動装置２の共振周波数で可動部２１を振動させることにより、共振周波数で振動させない場合と比較して、単位駆動電圧当たりの振動振幅（変位量）を大きくすることができる。

【0015】

可動装置２は、可動部２１の振動を音波に、又は音波を可動部２１の振動に変換する音響装置の一例である。この音響装置は、スピーカー、イヤホン、マイク等として利用できる。また、可動装置２は、高い周波数精度で発振する振動子としても使用できる。このような振動子は、高周波無線機器のフィルタ等に使用できる。可動装置２は、高周波電力を供給される場合には、高周波電力を超音波振動に変換する超音波振動子としても使用できる。但し、可動装置２は、振動装置に限定されず、可動部が揺動する揺動装置、反射面を含む可動部が揺動する揺動ミラー装置等であってもよい。また、可動装置２は、反射面に限らず、回折格子、フォトダイオード、ヒータ（例えば、窒化珪素を用いたヒータ）、光源（例えば、面発光型レーザ）等を有してもよい。また、可動装置２は、両持ち支持構造に限らず、可動部２１の一端が支持部２２により支持される片持ち梁構造を有してもよいし、可動部２１が３つ以上の固定部を介して支持部２２により支持される構造であってもよい。

【0016】

台座１は、可動装置２を外部装置に固定する場合に、可動装置２と外部装置との間に配置される。ここでの外部装置は、可動装置２が搭載される画像投影装置、距離測定装置等である。台座１を介することにより、可動装置２を外部装置に直接配置する場合と比較して、外部装置への可動装置２の配置を行いやすくすることができる。

【0017】

台座１は、基板１１と、柱状部材１２と、柱状部材１３と、を有する。柱状部材１２および柱状部材１３は、基板１１上に配置される。基板１１は、枠部１１１と、一対の梁部１１２と、一対の梁部１１３と、梁接続部１１４と、を有する。

【0018】

枠部１１１は、上面視において、梁接続部１１４を内側に支持する枠状の部分である。図１および図２に示す例では、枠部１１１は、上面視において、略矩形の外形形状と、略矩形の枠部開口１１５と、を有する矩形枠状の部分である。

【0019】

本実施形態では、一対の梁部１１２は、上面視において、第１軸１１０ｙに対して対称に配置され、それぞれが第１軸１１０ｙに対して傾斜している。一対の梁部１１３は、上面視において、第１軸１１０ｙに対して対称に配置され、それぞれが第１軸１１０ｙに対して傾斜している。梁接続部１１４は、上面視において、枠部１１１の内側に配置される一対の梁部１１２および一対の梁部１１３と、枠部１１１と、を接続する。一対の梁部１１２および一対の梁部１１３は、図２に示す枠部１１１の中心１１６に対して対称に配置される偶数対（ここでは二対）の梁部に対応する。

【0020】

実施形態に係る一対の梁部の個数は、二対に限定されるものではない。また、実施形態に係る一対の梁部の個数は、偶数個に限定されず、奇数個であってもよい。また、実施形態に係る一対の梁部は、上面視において、第１軸１１０ｙに対して対称に配置されれば、枠部１１１の中心１１６に対して必ずしも対称に配置されなくてもよい。

【0021】

本実施形態では、一対の梁部１１２は、梁部１１２－１と梁部１１２－２とを含む。梁部１１２－１および梁部１１２－２は、上面視において、第１軸１１０ｙに対して対称に配置されている。梁部１１２－１は、第１軸１１０ｙに対して－Ｘ方向側に配置され、梁部１１２－２は、第１軸１１０ｙに対して＋Ｘ方向側に配置されている。梁部１１２－１および梁部１１２－２のそれぞれは、上面視において、第１軸１１０ｙに対して傾斜している。この傾斜角度の絶対値は、０度よりも大きく９０度未満であってもよい。梁部１１２－１および梁部１１２－２のそれぞれの＋Ｙ方向側の端部は、梁接続部１１４に接続している。梁部１１２－１および梁部１１２－２のそれぞれの－Ｙ方向側の端部は、枠部１１１から離隔している。

【0022】

本実施形態では、一対の梁部１１３は、梁部１１３－１と梁部１１３－２とを含む。梁部１１３－１および梁部１１３－２は、上面視において、第１軸１１０ｙに対して対称に配置されている。梁部１１３－１は、第１軸１１０ｙに対して－Ｘ方向側に配置され、梁部１１３－２は、第１軸１１０ｙに対して＋Ｘ方向側に配置されている。梁部１１３－１および梁部１１３－２のそれぞれは、上面視において、第１軸１１０ｙに対して傾斜している。この傾斜角度の絶対値は、０度よりも大きく９０度未満であってもよい。梁部１１３－１および梁部１１３－２のそれぞれの－Ｙ方向側の端部は、梁接続部１１４に接続している。梁部１１３－１および梁部１１３－２のそれぞれの＋Ｙ方向側の端部は、枠部１１１から離隔している。

【0023】

本実施形態では、柱状部材１２は、上面視において、第１軸１１０ｙと交差する第２軸１１０ｘに沿う方向を長手として一対の梁部１１２上に配置されている。柱状部材１２は、梁部１１２－１および梁部１１２－２それぞれの上に、接着または接合によって固定される。柱状部材１２上には、可動装置２の支持部２２が接着または接合によって固定される。

【0024】

本実施形態では、柱状部材１３は、上面視において、第２軸１１０ｘに沿う方向を長手として一対の梁部１１３上に配置されている。柱状部材１３は、梁部１１３－１および梁部１１３－２それぞれの上に、接着または接合によって固定される。柱状部材１３上には、可動装置２の支持部２２が接着または接合によって固定される。

【0025】

本実施形態では、柱状部材１２の線膨張係数は、基板１１の線膨張係数よりも大きい。柱状部材１３の線膨張係数は、基板１１の線膨張係数よりも大きい。例えば、基板１１は、線膨張係数が１５ｐｐｍ（parts per million）であるＦＲ－４グレードのガラスエポキシ基板である。柱状部材１２および柱状部材１３のそれぞれは、線膨張係数が２４ｐｐｍのアルミニウムにより構成される。但し、基板１１、柱状部材１２および柱状部材１３の材質は、上記に限定されず、柱状部材１２および柱状部材１３の線膨張係数が基板１１の線膨張係数よりも大きければ、様々なものを選択可能である。

【0026】

スペーサ部材３は、台座１と可動装置２との間に配置されるスペーサ部の一例である。可動装置２が台座１に固定された状態において、可動装置２における可動部２１が変位する空間を確保するために、台座１と可動装置２との間に配置される。なお、スペーサ部はスペーサ部材３に限らず、台座１の一部分または可動装置２の一部分であってもよい。

【0027】

図１および図２に示す例では、スペーサ部材３は、柱状部材１２および柱状部材１３を含む。換言すると、柱状部材１２および柱状部材１３のそれぞれは、スペーサ部材３の機能を有する。なお、図２では、柱状部材１２および柱状部材１３のそれぞれがスペーサ部材３の機能を有するため、柱状部材１２および柱状部材１３のそれぞれの符号と、スペーサ部材３の符号を併記している。

【0028】

柱状部材１２および柱状部材１３は、スペーサ部材３の機能を有さず、例えば、基板１１における可動装置２が配置される側とは反対側に配置されてもよい。なお、基板１１における可動装置２が配置される側とは反対側に柱状部材１２および柱状部材１３が固定される場合には、－Ｚ方向が「上」に対応する。また、この場合には、基板１１の－Ｚ方向は、柱状部材１２および柱状部材１３が配置される「基板１１上」に対応する方向となり、上面視は－Ｚ方向から対象を視ることに対応する。

【0029】

（台座１および可動システム１００の主な作用効果）
図３～図５を参照して、可動システム１００の主な作用効果について説明する。図３は、可動システム１００における一対の梁部１１２および柱状部材１２を示す上面図である。図４は、温度変化に伴う一対の梁部１１２および柱状部材１２の形状変化の第１例を示す上面図である。図５は、温度変化に伴う一対の梁部１１２および柱状部材１２の形状変化の第２例を示す上面図である。

【0030】

例えば、図３は、可動システム１００の温度変化前における一対の梁部１１２および柱状部材１２を示している。図４は、図３の状態から可動システム１００の温度が上昇し、一対の梁部１１２および柱状部材１２のそれぞれが伸長した状態を示している。図５は、図３の状態から可動システム１００の温度が低下し、一対の梁部１１２および柱状部材１２のそれぞれが収縮した状態を示している。図３～図４に示すように、一対の梁部１１２と柱状部材１２は、上面視において、二等辺三角形の枠体Ｅを構成している。

【0031】

可動装置では、支持部が可動部を支持する一対の固定部同士を結ぶ固定軸に沿う方向に可動部が伸縮すると、可動装置の共振周波数が変化し、所望の変位量が得られなくなる場合がある。一方、上記の固定軸と交差する方向に可動部が伸縮した場合には、固定軸に沿って伸縮する場合と比較して、可動装置の共振周波数の変化は小さい。

【0032】

本実施形態では、柱状部材１２は、上面視において、第２軸１１０ｘに沿う方向を長手として一対の梁部１１２上に配置され、一対の梁部１１２に固定される。図３～図５に示す例では、柱状部材１２は、一対の梁部１１２において、梁接続部１１４に接続する端部Ｔ１とは反対側の端部Ｔ２上に固定されている。端部Ｔ１は、梁接続部１１４に固定されているため、柱状部材１２が伸縮してもほぼ動かない。一方、端部Ｔ２は、柱状部材１２に固定されているため、柱状部材１２の伸縮に応じて動くことができる。柱状部材１２の線膨張係数は、基板１１の線膨張係数よりも大きい。このため、柱状部材１２は基板１１と比較して、温度変化に応じて伸縮しやすい。

【0033】

図４では、柱状部材１２は、温度上昇に応じて第２軸１１０ｘに沿う方向に伸長している。破線で示した柱状部材１２および一対の梁部１１２は、温度上昇前のものを表し、実線で示した柱状部材１２'および一対の梁部１１２'は、温度上昇後のものを表している。端部Ｔ２は、柱状部材１２の伸長に応じて第２軸１１０ｘに沿う方向に動いている。

【0034】

温度上昇に伴う一対の梁部１１２の伸長量は、温度上昇に伴う柱状部材１２の伸長量よりも小さい。柱状部材１２の伸長に連動することにより、一対の梁部１１２では、第２軸１１０ｘに沿う方向への伸長が支配的となる。従って、一対の梁部１１２は、柱状部材１２の伸長に応じて、第２軸１１０ｘに沿う方向に主に伸長し、第１軸１１０ｙに沿う方向への伸長は低減される。そして、第１軸１１０ｙに対する一対の梁部１１２の傾斜角度θ１は、温度上昇前の傾斜角度θ０よりも大きくなる。

【0035】

一対の梁部１１２の第１軸１１０ｙに沿う方向への伸長が低減されることにより、図１に示した可動装置２では、可動部２１の固定軸２１０に沿う方向への伸長が低減される。これにより、本実施形態では、温度上昇に応じた可動装置２の共振周波数の変化を低減することができる。一方で、可動部２１の可動範囲は、温度上昇の前後で変わらないため、可動部２１の変位量が変化することはない。なお、本明細書における「変位量の変化」に関し、変位量に差があった場合にも、この差が誤差と認められる程度の差である場合には、「変位量の変化」があったとは見做さないものとする。誤差と認められる程度の差は、例えば振動振幅等の可動部に求められる所定の変位量の１／１０以下の差である。

【0036】

一方、図５において、柱状部材１２は、温度低下に応じて第２軸１１０ｘに沿う方向に収縮する。破線で示した柱状部材１２および一対の梁部１１２は、温度低下前のものを表し、実線で示した柱状部材１２''および一対の梁部１１２''は、温度低下後のものを表している。端部Ｔ２は、柱状部材１２の収縮に応じて第２軸１１０ｘに沿う方向に動いている。

【0037】

温度低下に伴う一対の梁部１１２の収縮量は、柱状部材１２の収縮量よりも小さい。柱状部材１２の収縮に連動することにより、一対の梁部１１２では、第２軸１１０ｘに沿う方向への収縮が支配的となる。従って、一対の梁部１１２は、柱状部材１２の収縮に応じて、第２軸１１０ｘに沿う方向に主に収縮し、第１軸１１０ｙに沿う方向への収縮は低減される。そして、第１軸１１０ｙに対する一対の梁部１１２の傾斜角度θ２は、温度上昇前の傾斜角度θ０よりも小さくなる。

【0038】

一対の梁部１１２の第１軸１１０ｙに沿う方向への収縮が低減されることにより、図１に示した可動装置２では、可動部２１の固定軸２１０に沿う方向への収縮が低減される。これにより、本実施形態では、温度低下に応じた可動装置２の共振周波数の変化を低減することができる。一方で、可動部２１の可動範囲は、温度低下の前後で変わらないため、可動部２１の変位量が変化することはない。

【0039】

以上により、本実施形態では、可動部２１の変位量の変化を低減しつつ、温度変化に伴う可動装置２の共振周波数変化を低減可能な可動装置２の台座１を提供することができる。また、台座１を含み、外部装置への可動装置２の配置を行いやすい可動システム１００において、上記と同じ効果を得ることができる。

【0040】

柱状部材１２が一対の梁部１１２上に配置される位置は、図３～図５に示した端部Ｔ２上に限定されず、一対の梁部１１２上における端部Ｔ１と端部Ｔ２との間の任意の位置であってもよい。但し、柱状部材１２が第２軸１１０ｘに沿う方向に伸縮する力を小さくする観点では、柱状部材１２は一対の梁部１１２上で端部Ｔ２に近い位置に配置されることが好ましい。

【0041】

図４および図５に示した梁部１１２－２の第１軸１１０ｙに対する傾斜角度θ０の絶対値は、柱状部材１２が伸長した場合の傾斜角度変化の余裕と、柱状部材１２が収縮した場合の傾斜角度変化の余裕を均等にする観点では、略４５度であることが好ましい。このことは、以降に示す他の梁部の第１軸１１０ｙまたは第２軸１１０ｘに対する傾斜角度においても同様である。

【0042】

また、本実施形態では、支持部２２は、上面視において、一対の固定部２２０を介して可動部２１を内側に支持し、第１軸１１０ｙは、一対の固定部２２０同士を結ぶ固定軸２１０に沿っている。この構成により、固定軸２１０に沿う方向における可動部２１の伸縮を低減し、可動部２１の変位量の変化を低減しつつ、温度変化に伴う可動装置２の共振周波数変化を低減可能な可動装置２の台座１を提供することができる。

【0043】

また、本実施形態では、基板１１は、枠部１１１の中心１１６に対して対称に配置される一対の梁部１１２および一対の梁部１１３、すなわち二対（偶数対）の梁部を含む。この構成により、例えば図２における中心１１６よりも－Ｙ方向側での可動部２１の第１軸１１０ｙに沿う方向への伸縮を、一対の梁部１１２および柱状部材１２を用いて低減できる。また、中心１１６よりも＋Ｙ方向側での可動部２１の第１軸１１０ｙに沿う方向への伸縮を一対の梁部１１３および柱状部材１３を用いて低減できる。この結果、可動部２１の第１軸１１０ｙに沿う方向への伸縮の低減効果を高くし、温度変化に伴う可動装置２の共振周波数変化の低減効果を高くすることができる。

【0044】

また、本実施形態では、梁部１１２－１および梁部１１２－２と柱状部材１２は、上面視において、二等辺三角形の枠体Ｅを構成している。これにより、第２軸１１０ｘに沿う方向において、梁部１１２－１と梁部１１２－２を近づけて配置できる。この結果、梁部１１２－１および梁部１１２－２を配置する面積を小さくして台座１を小型化しつつ、温度変化に伴う可動装置２の共振周波数変化を低減可能な可動装置２の台座１を提供できる。但し、一対の梁部１１２と柱状部材１２は、上面視において、必ずしも二等辺三角形の枠体Ｅを構成しなくてもよい。例えば梁部１１２－１および梁部１１３－２は、第２軸１１０ｘに沿う方向における異なる位置において梁接続部１１４に接続されることで、上面視において、二等辺三角形の枠体Ｅを構成しないように配置されてもよい。

【0045】

また、本実施形態では、スペーサ部材３は、柱状部材１２および柱状部材１３を含む。これにより、スペーサ部材３と、柱状部材１２および柱状部材１３と、を別々に配置しなくてもよいため、可動システム１００を小型化するとともに、可動システム１００のコストを低減することができる。

【0046】

［第２実施形態］
次に、第２実施形態に係る可動システムについて説明する。なお、既に説明した実施形態および変形例と同一の名称、符号については、同一もしくは同質の部材又は構成部を示しており、詳細説明を適宜省略する。この点は、以降に示す他の実施形態においても同様とする。

【0047】

第２実施形態に係る可動システムは、第１から第４の柱状部材を含む４つの柱状部材を有し、基板は、枠部の中心に対して対称に配置される四対の梁部を含み、第１の柱状部材と第２の柱状部材は、上面視において、第２軸１１０ｘに対して対称に配置され、第３の柱状部材と第４の柱状部材は、上面視において、第１軸１１０ｙに対して対称に配置される点が、第１実施形態と主に異なる。

【0048】

図６および図７を参照して、第２実施形態に係る可動システムについて説明する。図６は、第２実施形態に係る可動システム１００ａの一例を示す斜視図である。図７は、可動システム１００ａの分解斜視図である。

【0049】

可動システム１００ａは、台座１ａを有する点が可動システム１００と異なる。台座１ａは、基板１１ａと、第１の柱状部材１２ａと、第２の柱状部材１３ａと、第３の柱状部材１４ａと、第４の柱状部材１５ａと、を有する点が台座１と異なる。第１の柱状部材１２ａ、第２の柱状部材１３ａ、第３の柱状部材１４ａおよび第４の柱状部材１５ａは、基板１１ａ上に配置される。基板１１ａは、一対の梁部１１２ａと、一対の梁部１１３ａと、一対の梁部１１７ａと、一対の梁部１１８ａと、梁接続部１１４ａ－１と、梁接続部１１４ａ－２と、を有する点が基板１１と異なる。

【0050】

本実施形態では、一対の梁部１１２ａは、上面視において、第１軸１１０ｙに対して対称に配置され、それぞれが第１軸１１０ｙに対して傾斜している。一対の梁部１１３ａは、上面視において、第１軸１１０ｙに対して対称に配置され、それぞれが第１軸１１０ｙに対して傾斜している。一対の梁部１１７ａは、上面視において、第２軸１１０ｘに対して対称に配置され、それぞれが第２軸１１０ｘに対して傾斜している。一対の梁部１１８ａは、上面視において、第２軸１１０ｘに対して対称に配置され、それぞれが第２軸１１０ｘに対して傾斜している。梁接続部１１４ａ－１および梁接続部１１４ａ－２は、上面視において、枠部１１１の内側に配置される一対の梁部１１２ａ、一対の梁部１１３ａ、一対の梁部１１７ａおよび一対の梁部１１８ａと、枠部１１１と、を接続する。一対の梁部１１２ａ、一対の梁部１１３ａ、一対の梁部１１７ａおよび一対の梁部１１８ａは、図７に示す枠部１１１の中心１１６に対して対称に配置される偶数対（ここでは四対）の梁部に対応する。

【0051】

本実施形態では、一対の梁部１１２ａは、梁部１１２ａ－１と梁部１１２ａ－２とを含む。梁部１１２ａ－１および梁部１１２ａ－２は、上面視において、第１軸１１０ｙに対して対称に配置されている。梁部１１２ａ－１は、第１軸１１０ｙに対して－Ｘ方向側に配置され、梁部１１２ａ－２は、第１軸１１０ｙに対して＋Ｘ方向側に配置されている。梁部１１２ａ－１および梁部１１２ａ－２のそれぞれは、上面視において、第１軸１１０ｙに対して傾斜している。この傾斜角度の絶対値は、０度よりも大きく９０度未満であってもよい。梁部１１２ａ－１および梁部１１２ａ－２のそれぞれの＋Ｙ方向側の端部は、梁接続部１１４ａ－１および梁接続部１１４ａ－２に接続している。梁部１１２ａ－１および梁部１１２ａ－２のそれぞれの－Ｙ方向側の端部は、枠部１１１から離隔している。

【0052】

本実施形態では、一対の梁部１１３ａは、梁部１１３ａ－１と梁部１１３ａ－２とを含む。梁部１１３ａ－１および梁部１１３ａ－２は、上面視において、第１軸１１０ｙに対して対称に配置されている。梁部１１３ａ－１は、第１軸１１０ｙに対して－Ｘ方向側に配置され、梁部１１３ａ－２は、第１軸１１０ｙに対して＋Ｘ方向側に配置されている。梁部１１３ａ－１および梁部１１３ａ－２のそれぞれは、上面視において、第１軸１１０ｙに対して傾斜している。この傾斜角度の絶対値は、０度よりも大きく９０度未満であってもよい。梁部１１３ａ－１および梁部１１３ａ－２のそれぞれの－Ｙ方向側の端部は、梁接続部１１４ａ－１および梁接続部１１４ａ－２に接続している。梁部１１３ａ－１および梁部１１３ａ－２のそれぞれの＋Ｙ方向側の端部は、枠部１１１から離隔している。

【0053】

本実施形態では、一対の梁部１１７ａは、梁部１１７ａ－１と梁部１１７ａ－２とを含む。梁部１１７ａ－１および梁部１１７ａ－２は、上面視において、第２軸１１０ｘに対して対称に配置されている。梁部１１７ａ－１は、第２軸１１０ｘに対して－Ｙ方向側に配置され、梁部１１７ａ－２は、第２軸１１０ｘに対して＋Ｙ方向側に配置されている。梁部１１７ａ－１および梁部１１７ａ－２のそれぞれは、上面視において、第２軸１１０ｘに対して傾斜している。この傾斜角度の絶対値は、０度よりも大きく９０度未満であってもよい。梁部１１７ａ－１および梁部１１７ａ－２のそれぞれの＋Ｘ方向側の端部は、梁接続部１１４ａ－１および梁接続部１１４ａ－２に接続している。梁部１１７ａ－１および梁部１１７ａ－２のそれぞれの－Ｘ方向側の端部は、枠部１１１から離隔している。

【0054】

本実施形態では、一対の梁部１１８ａは、梁部１１８ａ－１と梁部１１８ａ－２とを含む。梁部１１８ａ－１および梁部１１８ａ－２は、上面視において、第２軸１１０ｘに対して対称に配置されている。梁部１１８ａ－１は、第２軸１１０ｘに対して－Ｙ方向側に配置され、梁部１１８ａ－２は、第２軸１１０ｘに対して＋Ｙ方向側に配置されている。梁部１１８ａ－１および梁部１１８ａ－２のそれぞれは、上面視において、第２軸１１０ｘに対して傾斜している。この傾斜角度の絶対値は、０度よりも大きく９０度未満であってもよい。梁部１１８ａ－１および梁部１１８ａ－２のそれぞれの－Ｘ方向側の端部は、梁接続部１１４ａ－１および梁接続部１１４ａ－２に接続している。梁部１１８ａ－１および梁部１１８ａ－２のそれぞれの＋Ｘ方向側の端部は、枠部１１１から離隔している。

【0055】

本実施形態では、第１の柱状部材１２ａは、上面視において、第２軸１１０ｘに沿う方向を長手として一対の梁部１１２ａ上に配置されている。第１の柱状部材１２ａは、梁部１１２ａ－１および梁部１１２ａ－２それぞれの上に、接着または接合によって固定される。第１の柱状部材１２ａ上には、可動装置２の支持部２２が接着または接合によって固定される。

【0056】

本実施形態では、第２の柱状部材１３ａは、上面視において、第２軸１１０ｘに沿う方向を長手として一対の梁部１１３ａ上に配置されている。第２の柱状部材１３ａは、梁部１１３ａ－１および梁部１１３ａ－２それぞれの上に、接着または接合によって固定される。第２の柱状部材１３ａ上には、可動装置２の支持部２２が接着または接合によって固定される。

【0057】

本実施形態では、第３の柱状部材１４ａは、上面視において、第１軸１１０ｙに沿う方向を長手として一対の梁部１１７ａ上に配置されている。第３の柱状部材１４ａは、梁部１１７ａ－１および梁部１１７ａ－２それぞれの上に、接着または接合によって固定される。第３の柱状部材１４ａ上には、可動装置２の支持部２２が接着または接合によって固定される。

【0058】

本実施形態では、第４の柱状部材１５ａは、上面視において、第１軸１１０ｙに沿う方向を長手として一対の梁部１１７ａ上に配置されている。第４の柱状部材１５ａは、梁部１１８ａ－１および梁部１１８ａ－２それぞれの上に、接着または接合によって固定される。第４の柱状部材１５ａ上には、可動装置２の支持部２２が接着または接合によって固定される。

【0059】

本実施形態では、第１の柱状部材１２ａと第２の柱状部材１３ａは、第２軸１１０ｘに対して対称に配置される。第３の柱状部材１４ａと第４の柱状部材１５ａは、第１軸１１０ｙに対して対称に配置される。換言すると、第１の柱状部材１２ａと第２の柱状部材１３ａは、上面視において、第１軸１１０ｙに沿って配置される。第３の柱状部材１４ａと第４の柱状部材１５ａは、上面視において、第２軸１１０ｘに沿って配置される。

【0060】

本実施形態では、第１の柱状部材１２ａの線膨張係数は、基板１１ａの線膨張係数よりも大きい。第２の柱状部材１３ａの線膨張係数は、基板１１ａの線膨張係数よりも大きい。第３の柱状部材１４ａの線膨張係数は、基板１１ａの線膨張係数よりも大きい。第４の柱状部材１５ａの線膨張係数は、基板１１ａの線膨張係数よりも大きい。例えば、基板１１ａは、線膨張係数が１５ｐｐｍ（parts per million）であるＦＲ－４グレードのガラスエポキシ基板である。第１の柱状部材１２ａ、第２の柱状部材１３ａ、第３の柱状部材１４ａおよび第４の柱状部材１５ａのそれぞれは、線膨張係数が２４ｐｐｍのアルミニウムにより構成される。但し、基板１１ａ、第１の柱状部材１２ａ、第２の柱状部材１３ａ、第３の柱状部材１４ａおよび第４の柱状部材１５ａの材質は、上記に限定されず、第１の柱状部材１２ａ、第２の柱状部材１３ａ、第３の柱状部材１４ａおよび第４の柱状部材１５ａの線膨張係数が基板１１ａの線膨張係数よりも大きければ、様々なものを選択可能である。

【0061】

（台座１ａおよび可動システム１００ａの主な作用効果）
以上説明したように、本実施形態では、台座１ａは、基板１１ａと、第１の柱状部材１２ａと、第２の柱状部材１３ａと、第３の柱状部材１４ａと、第４の柱状部材１５ａと、を有する。基板１１ａは、枠部の中心に対して対称に配置される一対の梁部１１２ａ、一対の梁部１１３ａ、一対の梁部１１７ａおよび一対の梁部１１８ａを含む。第１の柱状部材１２ａと第２の柱状部材１３ａは、第２軸１１０ｘに対して対称に配置される。第３の柱状部材１４ａと第４の柱状部材１５ａは、第１軸１１０ｙに対して対称に配置される。以上の構成により、第１軸１１０ｙに沿う方向および第２軸１１０ｘに沿う方向のそれぞれにおいて、温度変化に応じた一対の梁部１１２ａ、一対の梁部１１３ａ、一対の梁部１１７ａおよび一対の梁部１１８ａそれぞれの伸縮を低減できる。本実施形態では、交差する２方向において梁部の伸縮を低減することにより、温度低下に応じた可動装置２の共振周波数の変化の低減効果を高くすることができる。一方で、可動部２１の可動範囲は、温度上昇の前後で変わらないため、可動部２１の変位量が変化することはない。

【0062】

以上により、本実施形態では、可動部２１の変位量の変化を低減しつつ、温度変化に伴う可動装置２の共振周波数変化を低減可能な可動装置２の台座１ａを提供できる。また、台座１ａを含み、外部装置への可動装置２の配置を行いやすい可動システム１００ａにおいて、上記と同じ効果を得ることができる。なお、上記以外の効果は、第１実施形態とほぼ同じである。

【0063】

［第３実施形態］
次に、第３実施形態に係る可動システムについて説明する。第３実施形態では、可動部は、第１から第４の固定部を介して接続する支持部により支持され、上面視において、第１の固定部と第２の固定部を結ぶ軸は、第３の固定部と第４の固定部を結ぶ軸と交差する点が、第２実施形態と主に異なる。

【0064】

図８および図９を参照して、第３実施形態に係る可動システムについて説明する。図８は、第３実施形態に係る可動システム１００ｂの一例を示す斜視図である。図９は、可動システム１００ｂの分解斜視図である。

【0065】

可動システム１００ｂは、可動装置２ｂを有する点が可動システム１００ａと異なる。可動装置２ｂは、可動部２１ｂと、支持部２２ｂと、を有する点が可動装置２ａと異なる。可動部２１ｂは、第１の固定部２２０ｂ－１、第２の固定部２２０ｂ－２、第３の固定部２２０ｂ－３および第４の固定部２２０ｂ－４のそれぞれを介して接続する支持部２２ｂにより支持される。軸Ａ１は、第１の固定部２２０ｂ－１と第２の固定部２２０ｂ－２を結ぶ軸である。軸Ａ２は、第３の固定部２２０ｂ－３と第４の固定部２２０ｂ－４を結ぶ軸である。上面視において、軸Ａ１は軸Ａ２と交差する。

【0066】

可動装置２ｂは、駆動電圧が印加されることにより、可動部２１ｂの中央部分が上下方向（Ｚ方向）に往復変位、すなわち振動する振動装置である。可動装置２ｂのように、交差する２方向において可動部が支持部に接続する構成では、温度変化に応じた、交差する２方向における可動部の伸縮により、可動装置の共振周波数が変化する場合がある。

【0067】

本実施形態では、第１の柱状部材１２ａと第２の柱状部材１３ａは、第２軸１１０ｘに対して対称に配置される。第３の柱状部材１４ａと第４の柱状部材１５ａは、第１軸１１０ｙに対して対称に配置される。この構成により、第１軸１１０ｙに沿う方向および第２軸１１０ｘに沿う方向のそれぞれにおいて、温度変化に応じた一対の梁部１１２ａ、一対の梁部１１３ａ、一対の梁部１１７ａおよび一対の梁部１１８ａそれぞれの伸縮を低減できる。交差する２方向における可動部２１ｂの温度変化に応じた伸縮を低減できるため、可動装置２ｂの共振周波数の変化を低減することができる。一方で、可動部２１ｂの可動範囲は、温度変化の前後で変わらないため、可動部２１ｂの変位量が変化することはない。

【0068】

以上により、本実施形態では、可動部２１ｂの変位量の変化を低減しつつ、温度変化に伴う可動装置２ｂの共振周波数変化を低減可能な可動装置２ｂの台座１ａを提供できる。また、台座１ａを含み、外部装置への可動装置２ｂの配置を行いやすい可動システム１００ｂにおいて、上記と同じ効果を得ることができる。なお、上記以外の効果は、第１および第２実施形態とほぼ同じである。

【0069】

また、本実施形態では、可動部２１ｂは、折り返し構造２４をさらに介して、支持部２２ｂに接続する。可動装置２ｂでは、可動部２１ｂが折り返し構造２４を介して支持部２２ｂに接続することで、折り返し構造２４を介さない場合と比較して、可動部２１ｂの変位量を大きくすることができる。但し、可動装置２ｂは、折り返し構造２４を介さずに支持部２２ｂに接続してもよい。

【0070】

［第４実施形態］
次に、第４実施形態に係る可動システムについて説明する。第４実施形態では、台座は、第１軸１１０ｙに対して対称に配置され、それぞれが第１軸１１０ｙに対して傾斜している一対の梁接続部を含み、一対の梁部と一対の梁接続部は、上面視において、菱形枠体を構成している点が第１実施形態と主に異なる。

【0071】

図１０～図１２を参照して、第４実施形態に係る可動システムについて説明する。図１０は、第４実施形態に係る可動システム１００ｃの一例を示す斜視図である。図１１は、可動システム１００ｃの分解斜視図である。図１２は、第４実施形態に係る菱形枠体の一例を示す上面図である。

【0072】

可動システム１００ｃは、台座１ｃを有する点が可動システム１００と異なる。台座１ｃは、基板１１ｃを有する点が台座１と異なる。基板１１ｃは、一対の梁部１１２ｃと、一対の梁部１１３ｃと、一対の梁接続部１１４ｃと、一対の梁接続部１１９ｃと、を有する点が基板１１と異なる。

【0073】

本実施形態では、一対の梁部１１２ｃは、梁部１１２ｃ－１と梁部１１２ｃ－２とを含む。梁部１１２ｃ－１および梁部１１２ｃ－２は、上面視において、第１軸１１０ｙに対して対称に配置されている。梁部１１２ｃ－１は、第１軸１１０ｙに対して－Ｘ方向側に配置され、梁部１１２ｃ－２は、第１軸１１０ｙに対して＋Ｘ方向側に配置されている。梁部１１２ｃ－１および梁部１１２ｃ－２のそれぞれは、上面視において、第１軸１１０ｙに対して傾斜している。この傾斜角度の絶対値は、０度よりも大きく９０度未満であってもよい。梁部１１２ｃ－１および梁部１１２ｃ－２のそれぞれの＋Ｙ方向側の端部は、梁部１１３ｃ－１および梁部１１３ｃ－２の－Ｙ方向側の端部に接続している。梁部１１２ｃ－１および梁部１１２ｃ－２のそれぞれの－Ｙ方向側の端部は、梁接続部１１４ｃ－１および梁接続部１１４ｃ－２に接続している。

【0074】

本実施形態では、一対の梁部１１３ｃは、梁部１１３ｃ－１と梁部１１３ｃ－２とを含む。梁部１１３ｃ－１および梁部１１３ｃ－２は、上面視において、第１軸１１０ｙに対して対称に配置されている。梁部１１３ｃ－１は、第１軸１１０ｙに対して－Ｘ方向側に配置され、梁部１１３ｃ－２は、第１軸１１０ｙに対して＋Ｘ方向側に配置されている。梁部１１３ｃ－１および梁部１１３ｃ－２のそれぞれは、上面視において、第１軸１１０ｙに対して傾斜している。この傾斜角度の絶対値は、０度よりも大きく９０度未満であってもよい。梁部１１３ｃ－１および梁部１１３ｃ－２のそれぞれの－Ｙ方向側の端部は、梁部１１２ｃ－１および梁部１１２ｃ－２の＋Ｙ方向側の端部に接続している。梁部１１３ｃ－１および梁部１１３ｃ－２のそれぞれの＋Ｙ方向側の端部は、梁接続部１１９ｃ－１と梁接続部１１９ｃ－２に接続している。

【0075】

本実施形態では、一対の梁接続部１１４ｃは、梁接続部１１４ｃ－１と梁接続部１１４ｃ－２とを含む。梁接続部１１４ｃ－１および梁接続部１１４ｃ－２は、上面視において、第１軸１１０ｙに対して対称に配置されている。梁接続部１１４ｃ－１は、第１軸１１０ｙに対して－Ｘ方向側に配置され、梁接続部１１４ｃ－２は、第１軸１１０ｙに対して＋Ｘ方向側に配置されている。梁接続部１１４ｃ－１および梁接続部１１４ｃ－２のそれぞれは、上面視において、第１軸１１０ｙに対して傾斜している。この傾斜角度の絶対値は、０度よりも大きく９０度未満であってもよい。梁接続部１１４ｃ－１および梁接続部１１４ｃ－２のそれぞれの＋Ｙ方向側の端部は、梁部１１２ｃ－１および梁部１１２ｃ－２の－Ｙ方向側の端部に接続している。梁接続部１１４ｃ－１および梁接続部１１４ｃ－２のそれぞれの－Ｙ方向側の端部は、枠部１１１に接続している。

【0076】

本実施形態では、一対の梁接続部１１９ｃは、梁接続部１１９ｃ－１と梁接続部１１９ｃ－２とを含む。梁接続部１１９ｃ－１および梁接続部１１９ｃ－２は、上面視において、第１軸１１０ｙに対して対称に配置されている。梁接続部１１９ｃ－１は、第１軸１１０ｙに対して－Ｘ方向側に配置され、梁接続部１１９ｃ－２は、第１軸１１０ｙに対して＋Ｘ方向側に配置されている。梁接続部１１９ｃ－１および梁接続部１１９ｃ－２のそれぞれは、上面視において、第１軸１１０ｙに対して傾斜している。この傾斜角度の絶対値は、０度よりも大きく９０度未満であってもよい。梁接続部１１９ｃ－１および梁接続部１１９ｃ－２のそれぞれの－Ｙ方向側の端部は、梁部１１３ｃ－１および梁部１１３ｃ－２の＋Ｙ方向側の端部に接続している。梁接続部１１９ｃ－１および梁接続部１１９ｃ－２のそれぞれの＋Ｙ方向側の端部は、枠部１１１に接続している。

【0077】

図１２に示すように、本実施形態では、一対の梁部１１２ｃと一対の梁接続部１１４ｃは、上面視において、菱形枠体Ｆ１を構成している。一対の梁部１１３ｃと一対の梁接続部１１９ｃは、上面視において、菱形枠体Ｆ２を構成している。

【0078】

図１１に示すように、柱状部材１２は、上面視において、第２軸１１０ｘに沿う方向を長手として一対の梁部１１２ｃ上に配置されている。柱状部材１２は、梁部１１２ｃ－１および梁部１１２ｃ－２それぞれの上に、接着または接合によって固定される。柱状部材１２ｃ上には、可動装置２の支持部２２が接着または接合によって固定される。

【0079】

柱状部材１３は、上面視において、第２軸１１０ｘに沿う方向を長手として一対の梁部１１３ｃ上に配置されている。柱状部材１３は、梁部１１３ｃ－１および梁部１１３ｃ－２それぞれの上に、接着または接合によって固定される。柱状部材１３上には、可動装置２の支持部２２が接着または接合によって固定される。

【0080】

（台座１ｃおよび可動システム１００ｃの主な作用効果）
以上説明したように、本実施形態では、台座１ｃは、第１軸１１０ｙに対して対称に配置され、それぞれが第１軸１１０ｙに対して傾斜している一対の梁接続部１１４ｃを含む。一対の梁部１１２ｃと一対の梁接続部１１４ｃは、上面視において、菱形枠体Ｆ１を構成している。温度変化に応じた柱状部材１２の第２軸１１０ｘに沿う方向への伸縮によって動く一対の梁部１１２ｃの端部は、一対の梁接続部１１４ｃを介して枠部１１１に接続している。これにより、Ｚ方向、すなわち可動部２１の変位方向への力が一対の梁部１１２ｃに加えられた場合にも、一対の梁部１１２ｃがＺ方向へ変位することを低減できるため、振動や衝撃に対する基板１１ｃの耐性を高くすることができる。

【0081】

上面視において、菱形枠体Ｆ２を構成する一対の梁部１１３ｃと一対の梁接続部１１９ｃにおいても、一対の梁部１１２ｃと一対の梁接続部１１４ｃと同様の効果が得られる。

【0082】

また、本実施形態では、菱形枠体Ｆ１と菱形枠体Ｆ２は、第２軸１００ｘ対して対称に配置され、一対の梁部１１２ｃおよび一対の梁部１１３ｃの端部同士が接続している。これにより、菱形枠体Ｆ１および菱形枠体Ｆ２は、上面視において、枠部１１１の内側に支持される両持ち梁構造を構成する。この結果、１つの菱形枠体が片持ち梁構造で枠部１１１の内側に支持される場合と比較して、振動や衝撃に対する基板１１ｃの耐性を高くすることができる。

【0083】

上記以外の効果は、第１実施形態とほぼ同じである。

【0084】

［第５実施形態］
次に、第５実施形態に係る可動システムについて説明する。第５実施形態では、台座は第１から第４の柱状部材を含む４つの柱状部材を有し、基板は第１から第４の菱形枠体を含む４つの菱形枠体、を有する。第１の柱状部材と第２の柱状部材は、上面視において、第２軸に対して対称に配置され、第３の柱状部材と第４の柱状部材は、上面視において、第１軸に対して対称に配置される。第１の菱形枠体と第２の菱形枠体は、上面視において、第２軸に対して対称に配置され、第３の菱形枠体と第４の菱形枠体は、上面視において、第１軸に対して対称に配置される。これらの点が第４実施形態と主に異なる。

【0085】

図１３～図１５を参照して、第５実施形態に係る可動システムについて説明する。図１３は、第５実施形態に係る可動システム１００ｄの一例を示す斜視図である。図１４は、可動システム１００ｄの分解斜視図である。図１５は、第５実施形態に係る菱形枠体の一例を示す上面図である。

【0086】

可動システム１００ｄは、台座１ｄを有する点が可動システム１００と異なる。台座１ｄは、基板１１ｄを有する点が台座１ｃと異なる。基板１１ｄは、一対の梁部１１２ｄと、一対の梁部１１３ｄと、一対の梁部１１７ｄと、一対の梁部１１８ｄと、一対の梁接続部１１４ｄと、一対の梁接続部１１９ｄと、一対の梁接続部２０１ｄと、一対の梁接続部２０２ｄと、を有する点が基板１１ｃと異なる。

【0087】

本実施形態では、一対の梁部１１２ｄは、梁部１１２ｄ－１と梁部１１２ｄ－２とを含む。梁部１１２ｄ－１および梁部１１２ｄ－２は、上面視において、第１軸１１０ｙに対して対称に配置されている。梁部１１２ｄ－１は、第１軸１１０ｙに対して－Ｘ方向側に配置され、梁部１１２ｄ－２は、第１軸１１０ｙに対して＋Ｘ方向側に配置されている。梁部１１２ｄ－１および梁部１１２ｄ－２のそれぞれは、上面視において、第１軸１１０ｙに対して傾斜している。この傾斜角度の絶対値は、０度よりも大きく９０度未満であってもよい。梁部１１２ｄ－１および梁部１１２ｄ－２のそれぞれの＋Ｙ方向側の端部は、梁部１１３ｄ－１および梁部１１３ｄ－２の－Ｙ方向側の端部、梁部１１７ｄ－１および梁部１１７ｄ－２の＋Ｘ方向側の端部、並びに、梁部１１８ｄ－１および梁部１１８ｄ－２の－Ｘ方向側の端部に接続している。梁部１１２ｄ－１および梁部１１２ｄ－２のそれぞれの－Ｙ方向側の端部は、梁接続部１１４ｄ－１および梁接続部１１４ｄ－２に接続している。

【0088】

本実施形態では、一対の梁部１１３ｄは、梁部１１３ｄ－１と梁部１１３ｄ－２とを含む。梁部１１３ｄ－１および梁部１１３ｄ－２は、上面視において、第１軸１１０ｙに対して対称に配置されている。梁部１１３ｄ－１は、第１軸１１０ｙに対して－Ｘ方向側に配置され、梁部１１３ｄ－２は、第１軸１１０ｙに対して＋Ｘ方向側に配置されている。梁部１１３ｄ－１および梁部１１３ｄ－２のそれぞれは、上面視において、第１軸１１０ｙに対して傾斜している。この傾斜角度の絶対値は、０度よりも大きく９０度未満であってもよい。梁部１１３ｄ－１および梁部１１３ｄ－２のそれぞれの－Ｙ方向側の端部は、梁部１１２ｄ－１および梁部１１２ｄ－２の＋Ｙ方向側の端部、梁部１１７ｄ－１および梁部１１７ｄ－２の＋Ｘ方向側の端部、並びに、梁部１１８ｄ－１および梁部１１８ｄ－２の－Ｘ方向側の端部に接続している。梁部１１３ｄ－１および梁部１１３ｄ－２のそれぞれの＋Ｙ方向側の端部は、梁接続部１１９ｄ－１と梁接続部１１９ｄ－２に接続している。

【0089】

本実施形態では、一対の梁部１１７ｄは、梁部１１７ｄ－１と梁部１１７ｄ－２とを含む。梁部１１７ｄ－１および梁部１１７ｄ－２は、上面視において、第２軸１１０ｘに対して対称に配置されている。梁部１１７ｄ－１は、第２軸１１０ｘに対して－Ｙ方向側に配置され、梁部１１７ｄ－２は、第２軸１１０ｘに対して＋Ｙ方向側に配置されている。梁部１１７ｄ－１および梁部１１７ｄ－２のそれぞれは、上面視において、第２軸１１０ｘに対して傾斜している。この傾斜角度の絶対値は、０度よりも大きく９０度未満であってもよい。梁部１１７ｄ－１および梁部１１７ｄ－２のそれぞれの＋Ｘ方向側の端部は、梁部１１８ｄ－１および梁部１１８ｄ－２の－Ｘ方向側の端部、梁部１１２ｄ－１および梁部１１２ｄ－２の＋Ｙ方向側の端部、並びに、梁部１１３ｄ－１および梁部１１３ｄ－２の－Ｙ方向側の端部に接続している。梁部１１７ｄ－１および梁部１１７ｄ－２のそれぞれの－Ｘ方向側の端部は、梁接続部２０１ｄ－１および梁接続部２０１ｄ－２に接続している。

【0090】

本実施形態では、一対の梁部１１８ｄは、梁部１１８ｄ－１と梁部１１８ｄ－２とを含む。梁部１１８ｄ－１および梁部１１８ｄ－２は、上面視において、第２軸１１０ｘに対して対称に配置されている。梁部１１８ｄ－１は、第２軸１１０ｘに対して－Ｙ方向側に配置され、梁部１１８ｄ－２は、第２軸１１０ｘに対して＋Ｙ方向側に配置されている。梁部１１８ｄ－１および梁部１１８ｄ－２のそれぞれは、上面視において、第２軸１１０ｘに対して傾斜している。この傾斜角度の絶対値は、０度よりも大きく９０度未満であってもよい。梁部１１８ｄ－１および梁部１１８ｄ－２のそれぞれの－Ｘ方向側の端部は、梁部１１７ｄ－１および梁部１１７ｄ－２の＋Ｘ方向側の端部、梁部１１２ｄ－１および梁部１１２ｄ－２の＋Ｙ方向側の端部、並びに、梁部１１３ｄ－１および梁部１１３ｄ－２の－Ｙ方向側の端部に接続している。梁部１１８ｄ－１および梁部１１８ｄ－２のそれぞれの＋Ｘ方向側の端部は、梁接続部２０２ｄ－１および梁接続部２０２ｄ－２に接続している。

【0091】

本実施形態では、一対の梁接続部１１４ｄは、梁接続部１１４ｄ－１と梁接続部１１ｄ－２とを含む。梁接続部１１４ｄ－１および梁接続部１１４ｄ－２は、上面視において、第１軸１１０ｙに対して対称に配置されている。梁接続部１１４ｄ－１は、第１軸１１０ｙに対して－Ｘ方向側に配置され、梁接続部１１４ｄ－２は、第１軸１１０ｙに対して＋Ｘ方向側に配置されている。梁接続部１１４ｄ－１および梁接続部１１４ｄ－２のそれぞれは、上面視において、第１軸１１０ｙに対して傾斜している。この傾斜角度の絶対値は、０度よりも大きく９０度未満であってもよい。梁接続部１１４ｄ－１および梁接続部１１４ｄ－２のそれぞれの＋Ｙ方向側の端部は、梁部１１２ｄ－１および梁部１１２ｄ－２の－Ｙ方向側の端部に接続している。梁接続部１１４ｄ－１および梁接続部１１４ｄ－２のそれぞれの－Ｙ方向側の端部は、枠部１１１に接続している。

【0092】

本実施形態では、一対の梁接続部１１９ｄは、梁接続部１１９ｄ－１と梁接続部１１９ｄ－２とを含む。梁接続部１１９ｄ－１および梁接続部１１９ｄ－２は、上面視において、第１軸１１０ｙに対して対称に配置されている。梁接続部１１９ｄ－１は、第１軸１１０ｙに対して－Ｘ方向側に配置され、梁接続部１１９ｄ－２は、第１軸１１０ｙに対して＋Ｘ方向側に配置されている。梁接続部１１９ｄ－１および梁接続部１１９ｄ－２のそれぞれは、上面視において、第１軸１１０ｙに対して傾斜している。この傾斜角度の絶対値は、０度よりも大きく９０度未満であってもよい。梁接続部１１９ｄ－１および梁接続部１１９ｄ－２のそれぞれの－Ｙ方向側の端部は、梁部１１３ｄ－１および梁部１１３ｄ－２の＋Ｙ方向側の端部に接続している。梁接続部１１９ｄ－１および梁接続部１１９ｄ－２のそれぞれの＋Ｙ方向側の端部は、枠部１１１に接続している。

【0093】

本実施形態では、一対の梁接続部２０１ｄは、梁接続部２０１ｄ－１と梁接続部２０１ｄ－２とを含む。梁接続部２０１ｄ－１および梁接続部２０１ｄ－２は、上面視において、第２軸１１０ｘに対して対称に配置されている。梁接続部２０１ｄ－１は、第２軸１１０ｘに対して－Ｙ方向側に配置され、梁接続部２０１ｄ－２は、第２軸１１０ｘに対して＋Ｙ方向側に配置されている。梁接続部２０１ｄ－１および梁接続部２０１ｄ－２のそれぞれは、上面視において、第２軸１１０ｘに対して傾斜している。この傾斜角度の絶対値は、０度よりも大きく９０度未満であってもよい。梁接続部２０１ｄ－１および梁接続部２０１ｄ－２のそれぞれの＋Ｘ方向側の端部は、梁部１１７ｄ－１および梁部１１７ｄ－２の－Ｘ方向側の端部に接続している。梁接続部２０１ｄ－１および梁接続部２０１ｄ－２のそれぞれの－Ｘ方向側の端部は、枠部１１１に接続している。

【0094】

本実施形態では、一対の梁接続部２０２ｄは、梁接続部２０２ｄ－１と梁接続部２０２ｄ－２とを含む。梁接続部２０２ｄ－１および梁接続部２０２ｄ－２は、上面視において、第２軸１１０ｘに対して対称に配置されている。梁接続部２０２ｄ－１は、第２軸１１０ｘに対して－Ｙ方向側に配置され、梁接続部２０２ｄ－２は、第２軸１１０ｘに対して＋Ｙ方向側に配置されている。梁接続部２０２ｄ－１および梁接続部２０２ｄ－２のそれぞれは、上面視において、第２軸１１０ｘに対して傾斜している。この傾斜角度の絶対値は、０度よりも大きく９０度未満であってもよい。梁接続部２０２ｄ－１および梁接続部２０２ｄ－２のそれぞれの－Ｘ方向側の端部は、梁部１１８ｄ－１および梁部１１８ｄ－２の＋Ｘ方向側の端部に接続している。梁接続部２０２ｄ－１および梁接続部２０２ｄ－２のそれぞれの＋Ｘ方向側の端部は、枠部１１１に接続している。

【0095】

図１５に示すように、本実施形態では、一対の梁部１１２ｄと一対の梁接続部１１４ｄは、上面視において、第１の菱形枠体Ｆ１１を構成している。一対の梁部１１３ｄと一対の梁接続部１１９ｄは、上面視において、第２の菱形枠体Ｆ１２を構成している。一対の梁部１１７ｄと一対の梁接続部２０１ｄは、上面視において、第３の菱形枠体Ｆ１３を構成している。一対の梁部１１８ｄと一対の梁接続部２０２ｄは、上面視において、第４の菱形枠体Ｆ１４を構成している。第１の菱形枠体Ｆ１１と第２の菱形枠体Ｆ１２は、上面視において、第２軸１１０ｘに対して対称に配置される。第３の菱形枠体Ｆ１３と第４の菱形枠体Ｆ１４は、上面視において、第１軸１１０ｙに対して対称に配置される。

【0096】

図１４に示すように、第１の柱状部材１２ａは、上面視において、第２軸１１０ｘに沿う方向を長手として一対の梁部１１２ｄ上に配置されている。第１の柱状部材１２ａは梁部１１２ｄ－１および梁部１１２ｄ－２それぞれの上に、接着または接合によって固定される。第１の柱状部材１２ａ上には、可動装置２の支持部２２が接着または接合によって固定される。

【0097】

第２の柱状部材１３ａは、上面視において、第２軸１１０ｘに沿う方向を長手として一対の梁部１１３ｄ上に配置されている。第２の柱状部材１３ａは、梁部１１３ｄ－１および梁部１１３ｄ－２それぞれの上に、接着または接合によって固定される。第２の柱状部材１３ａ上には、可動装置２の支持部２２が接着または接合によって固定される。

【0098】

第３の柱状部材１４ａは、上面視において、第１軸１１０ｙに沿う方向を長手として一対の梁部１１７ｄ上に配置されている。第３の柱状部材１４ａは、梁部１１７ｄ－１および梁部１１７ｄ－２それぞれの上に、接着または接合によって固定される。第３の柱状部材１４ａ上には、可動装置２の支持部２２が接着または接合によって固定される。

【0099】

第４の柱状部材１５ａは、上面視において、第１軸１１０ｙに沿う方向を長手として一対の梁部１１８ｄ上に配置されている。第４の柱状部材１５ａは、梁部１１８ｄ－１および梁部１１８ｄ－２それぞれの上に、接着または接合によって固定される。第４の柱状部材１５ａ上には、可動装置２の支持部２２が接着または接合によって固定される。

【0100】

（台座１ｄおよび可動システム１００ｄの主な作用効果）
以上説明したように、本実施形態では、台座１ｄは、第１の柱状部材１２ａ、第２の柱状部材１３ａ、第３の柱状部材１４ａおよび第４の柱状部材１５ａを有し、基板１１ｄは、第１の菱形枠体Ｆ１１、第２の菱形枠体Ｆ１２、第３の菱形枠体Ｆ１３および第４の菱形枠体Ｆ１４を含む４つの菱形枠体を有する。第１の柱状部材１２ａと第２の柱状部材１３ａは、上面視において、第２軸１１０ｘに対して対称に配置され、第３の柱状部材１４ａと第４の柱状部材１５ａは、上面視において、第１軸１１０ｙに対して対称に配置される。第１の菱形枠体Ｆ１１と第２の菱形枠体Ｆ１２は、上面視において、第２軸１１０ｘに対して対称に配置され、第３の菱形枠体Ｆ１３と第４の菱形枠体Ｆ１４は、上面視において、第１軸１１０ｙに対して対称に配置される。

【0101】

上記構成により、第１軸１１０ｙに沿う方向および第２軸１１０ｘに沿う方向のそれぞれにおいて、温度変化に応じた一対の梁部１１２ｄ、一対の梁部１１３ｄ、一対の梁部１１７ｄおよび一対の梁部１１８ｄそれぞれの伸縮を低減できる。交差する２方向において、梁部の伸縮を低減することにより、本実施形態では、温度低下に応じた可動装置２の共振周波数変化の低減効果を高くすることができる。一方で、可動部２１の可動範囲は、温度上昇の前後で変わらないため、可動部２１の変位量が変化することはない。

【0102】

以上により、本実施形態では、可動部２１の変位量の変化を低減しつつ、温度変化に伴う可動装置２の共振周波数変化を低減可能な可動装置２の台座１ｄを提供できる。また、台座１ｄを含み、外部装置への可動装置２の配置を行いやすい可動システム１００ｄにおいて、上記と同じ効果を得ることができる。

【0103】

また、本実施形態では、Ｚ方向、すなわち可動部２１の変位方向への力が一対の梁部１１２ｃに加えられた場合にも、一対の梁部１１２ｃがＺ方向へ変位することを低減できるため、振動や衝撃に対する基板１１ｃの耐性を高くすることができる。

【0104】

上記以外の効果は、第４実施形態とほぼ同じである。

【0105】

［第６実施形態］
次に、第６実施形態に係る可動システムについて説明する。第６実施形態に係る可動システムは、第３実施形態における可動装置２ｂと、第５実施形態における台座１ｄと、を組み合わせたものである。

【0106】

図１６は、第６実施形態に係る可動システム１００ｅの一例を示す斜視図である。図１７は、可動システム１００ｅの分解斜視図である。可動システム１００ｅは、可動装置２ｂと台座１ｄと、を有する。

【0107】

台座１ｄでは、第１軸１１０ｙに沿う方向および第２軸１１０ｘに沿う方向のそれぞれにおいて、温度変化に応じた一対の梁部１１２ｄ、一対の梁部１１３ｄ、一対の梁部１１７ｄおよび一対の梁部１１８ｄそれぞれの伸縮を低減できる。これにより、本実施形態では、可動部２１ｂの変位量の変化を低減しつつ、温度変化に伴う可動装置２ｂの共振周波数変化を低減することができる。また、台座１ｄを含み、外部装置への可動装置２ｂの配置を行いやすい可動システム１００ｅにおいて、上記と同じ効果を得ることができる。なお、上記以外の効果は、第３および第５実施形態とほぼ同じである。

【0108】

図１８は、スペーサ部の変形例を示す図である。図１８に示すように、スペーサ部３ａは、梁部１１２－１における梁接続部と反対側の端部に設けられた、梁部１１２－１の一部分である。スペーサ部３ａは、梁部１１２－１と一体化されている。

【0109】

［その他の好適な実施形態］
（画像投影装置）
次に、図１９および図２０を参照して、実施形態に係る可動システムを適用した画像投影装置について説明する。図１９は、実施形態に係る画像投影装置５００を搭載した自動車４００の実施形態に係る概略図である。図２０は画像投影装置５００の一例の概略図である。

【0110】

画像投影装置５００は、光走査により画像を投影する装置であり、例えばヘッドアップディスプレイ装置である。自動車４００は、実施形態に係る画像投影装置が搭載される移動体の一例である。

【0111】

画像投影装置５００は、可動システム１００ｆを有する。可動システム１００ｆは、揺動軸回りに揺動可能な可動部を有する可動装置と、実施形態に係る台座と、を有する。実施形態に係る台座は、上述した台座１、台座１ａ、台座１ｃおよび台座１ｄのいずれであってもよい。可動装置における可動部は、反射面１４を有する。可動システム１００ｆは、反射面１４に入射する光の反射方向を、可動部を揺動させることによって変化させ、反射面１４による反射光を走査させることができる。

【0112】

図１９に示すように、画像投影装置５００は、例えば、自動車４００のウインドシールド（フロントガラス４０１等）の付近に設置される。画像投影装置５００から発せられる投射光Ｌがフロントガラス４０１で反射され、ユーザーである観察者（運転者４０２）に向かう。これにより、運転者４０２は、画像投影装置５００によって投影された画像等を虚像として視認することができる。なお、ウインドシールドの内壁面にコンバイナを設置し、コンバイナによって反射する投射光によってユーザーに虚像を視認させる構成にしてもよい。

【0113】

図２０に示すように、画像投影装置５００は、赤色、緑色、青色のレーザ光源５０１Ｒ、５０１Ｇ、５０１Ｂからレーザ光が出射される。出射されたレーザ光は、各レーザ光源に対して設けられるコリメータレンズ５０２、５０３、５０４と、２つのダイクロイックミラー５０５、５０６と、光量調整部５０７と、から構成される入射光学系を経た後、反射面１４を有する可動システム１００ｆにて偏向される。そして、偏向されたレーザ光は、自由曲面ミラー５０９と、中間スクリーン５１０と、投射ミラー５１１とから構成される投射光学系を経て、スクリーンに投影される。なお、上記画像投影装置５００では、レーザ光源５０１Ｒ、５０１Ｇ、５０１Ｂ、コリメータレンズ５０２、５０３、５０４、ダイクロイックミラー５０５、５０６は、光源ユニット５３０として光学ハウジングによってユニット化されている。

【0114】

画像投影装置５００は、中間スクリーン５１０に表示される中間像を自動車４００のフロントガラス４０１に投射することで、その中間像を運転者４０２に虚像として視認させる。

【0115】

レーザ光源５０１Ｒ、５０１Ｇ、５０１Ｂから発せられる各色レーザ光は、それぞれ、コリメータレンズ５０２、５０３、５０４で略平行光とされ、２つのダイクロイックミラー５０５、５０６により合成される。ダイクロイックミラー５０５、５０６は、それぞれ合成部の一例である。合成されたレーザ光は、光量調整部５０７で光量が調整された後、反射面１４を有する可動システム１００ｆによって二次元走査される。可動システム１００ｆで二次元走査された投射光Ｌは、自由曲面ミラー５０９で反射されて歪みを補正された後、中間スクリーン５１０に集光され、中間像を表示する。中間スクリーン５１０は、マイクロレンズが二次元配置されたマイクロレンズアレイで構成されており、中間スクリーン５１０に入射してくる投射光Ｌをマイクロレンズ単位で拡大する。

【0116】

可動システム１００ｆは、反射面１４を２軸方向に往復可動させ、反射面１４に入射する投射光Ｌを二次元走査する。この可動システム１００ｆの駆動制御は、レーザ光源５０１Ｒ、５０１Ｇ、５０１Ｂの発光タイミングに同期して行われる。

【0117】

以上、画像投影装置は、反射面１４を有した可動システム１００ｆにより光走査を行うことで画像を投影する装置であればよい。例えば、机等に置かれ、表示スクリーン上に画像を投影するプロジェクタや、観測者の頭部等に装着される装着部材に搭載され、装着部材が有する反射透過スクリーンに投影、または眼球をスクリーンとして画像を投影するヘッドマウントディスプレイ装置等にも、同様に適用することができる。

【0118】

画像投影装置は、車両や装着部材だけでなく、例えば、航空機、船舶、移動式ロボット等の移動体、あるいは、その場から移動せずにマニピュレータ等の駆動対象を操作する作業ロボット等の非移動体に搭載されてもよい。

【0119】

このように、実施形態に係る可動システムを画像投影装置に適用することにより、温度変化に伴う可動装置の共振周波数変化を低減させ、可動装置により安定して光走査可能な画像投影装置を提供できる。

【0120】

（距離測定装置）
次に、図２１～図２３を参照して、実施形態に係る可動システムを適用した距離測定装置について詳細に説明する。図２１および図２２は、実施形態に係る距離測定装置を、自動車の前照灯を搭載する灯部ユニットに搭載した自動車の概略図である。また、図２３は実施形態に係る距離測定装置の一例の概略図である。

【0121】

距離測定装置７００は、対象方向の物体までの距離を測定する装置であり、例えばレーザレーダ装置である。図２１および図２２に示すように、距離測定装置７００は、例えば自動車７０１に搭載され、対象方向を光走査して、対象方向に存在する被対象物７０２からの反射光を受光することで、被対象物７０２までの距離を測定する。自動車７０１は、実施形態に係る距離測定装置が搭載される移動体の一例である。

【0122】

距離測定装置７００は、可動システム１００ｆを有する。可動システム１００ｆの構成は、画像投影装置５００における可動システム１００ｆの構成と同じである。

【0123】

図２３に示すように、光源装置１２Ａから出射されたレーザ光は、発散光を略平行光とする光学系であるコリメータレンズ７０３と、平面ミラー７０４とから構成される入射光学系を経て、反射面１４を有する可動システム１００ｆで１軸もしくは２軸方向に走査される。そして、投光光学系である投光レンズ７０５等を経て装置前方の被対象物７０２に照射される。光源装置１２Ａおよび可動システム１００ｆは、制御装置により駆動を制御される。被対象物７０２で反射された反射光は、光検出器７０９により光検出される。すなわち、反射光は入射光検出受光光学系である集光レンズ７０６等を経て撮像素子７０７により受光され、撮像素子７０７は検出信号を信号処理装置７０８に出力する。信号処理装置７０８は、入力された検出信号に２値化やノイズ処理等の所定の処理を行い、結果を測距回路７１０に出力する。

【0124】

測距回路７１０は、光源装置１２Ａがレーザ光を発光したタイミングと、光検出器７０９でレーザ光を受光したタイミングとの時間差、または受光した撮像素子７０７の画素ごとの位相差によって、被対象物７０２の有無を認識し、さらに被対象物７０２との距離情報を算出する。

【0125】

反射面１４を有する可動システム１００ｆは多面鏡に比べて破損しづらく、小型であるため、耐久性の高い小型のレーダ装置を提供することができる。このようなレーザレーダ装置は、例えば車両、航空機、船舶、ロボット等に取り付けられ、所定範囲を光走査して障害物の有無や障害物までの距離を測定することができる。

【0126】

距離測定装置は、反射面１４を有した可動システム１００ｆを制御装置で制御することにより光走査を行い、光検出器により反射光を受光することで被対象物７０２までの距離を測定する装置であればよく、上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、手や顔を光走査して得た距離情報から形状等の物体情報を算出し、記録と参照することで対象物を認識する生体認証や、対象範囲への光走査により侵入物を認識するセキュリティセンサ、光走査により得た距離情報から形状等の物体情報を算出して認識し、３次元データとして出力する３次元スキャナの構成部材等にも同様に適用することができる。

【0127】

このように、実施形態に係る可動システムを距離測定装置に適用することにより、温度変化に伴う可動装置の共振周波数変化を低減させ、可動装置により安定して光走査可能な距離測定装置を提供できる。

【0128】

（音響装置）
図２４は、実施形態に係る音響装置の一例の図である。図２４において、音響装置８００は、例えばワイヤレスイヤホンである。音響装置８００における部分８０１の内側に、実施形態に係る可動装置を有する。実施形態に係る可動装置は、例えば図１および図２に示した可動装置２である。音響装置８００は、可動装置２における可動部２１の振動を音波に、又は音波を可動部２１の振動に変換することができる。音響装置８００は、可動装置２を有することにより、可動部２１の変位量の変化を低減しつつ、温度変化に伴う可動装置２の共振周波数変化を低減し、可動部２１の振動を音波に、又は音波を可動部２１の振動に、安定して変換することができる。

【0129】

以上、好ましい実施形態等について詳説したが、上述した実施形態等に制限されることはなく、特許請求の範囲に記載された範囲を逸脱することなく、上述した実施形態等に種々の変形および置換を加えることができる。

【0130】

本発明の態様は、例えば、以下のとおりである。
＜１＞ 可動部と、上面視において、前記可動部を内側に支持する枠状の支持部と、を有する可動装置が配置される可動装置の台座であって、基板と、前記基板上に配置される柱状部材と、を有し、前記基板は、上面視において、第１軸に対して対称に配置され、それぞれが前記第１軸に対して傾斜している一対の梁部と、上面視において、前記一対の梁部が内側に配置される枠部と、上面視において、前記枠部の内側に配置され、前記一対の梁部と前記枠部とを接続する梁接続部と、を有し、前記柱状部材は、上面視において、前記第１軸と交差する第２軸に沿う方向を長手として前記一対の梁部上に配置され、記柱状部材の線膨張係数は、前記基板の線膨張係数よりも大きい、可動装置の台座である。
＜２＞ 前記支持部は、上面視において、一対の固定部を介して前記可動部を内側に支持し、前記第１軸は、前記一対の固定部同士を結ぶ固定軸に沿っている、前記＜１＞に記載の可動装置の台座である。
＜３＞ 前記基板は、前記枠部の中心に対して対称に配置される偶数対の梁部を含む、前記＜１＞または前記＜２＞に記載の可動装置の台座である。
＜４＞ 第１から第４の柱状部材を含む４つの前記柱状部材を有し、前記基板は、前記枠部の中心に対して対称に配置される四対の梁部を有し、前記第１の柱状部材と前記第２の柱状部材は、上面視において、前記第２軸に対して対称に配置され、前記第３の柱状部材と前記第４の柱状部材は、上面視において、前記第１軸に対して対称に配置される、前記＜１＞から前記＜３＞のいずれか１つに記載の可動装置の台座である。
＜５＞ 前記一対の梁部と前記柱状部材は、上面視において、二等辺三角形の枠体を構成している、前記＜１＞から前記＜４＞のいずれか１つに記載の可動装置の台座である。
＜６＞ 前記基板は、前記第１軸に対して対称に配置され、それぞれが前記第１軸に対して傾斜している一対の梁接続部を含み、前記一対の梁部と前記一対の梁接続部は、上面視において、菱形枠体を構成している、前記＜１＞から前記＜４＞のいずれか１つに記載の可動装置の台座である。
＜７＞ 第１から第４の菱形枠体を含む４つの前記菱形枠体を有し、前記第１の菱形枠体と前記第２の菱形枠体は、上面視において、前記第２軸に対して対称に配置され、前記第３の菱形枠体と前記第４の菱形枠体は、上面視において、前記第１軸に対して対称に配置される、前記＜６＞に記載の可動装置の台座である。
＜８＞ 前記＜１＞から前記＜７＞のいずれか１つに記載の可動装置の台座と、前記台座に配置される可動装置と、前記台座と前記可動装置との間に配置されるスペーサ部と、を有する、可動システムである。
＜９＞ 前記スペーサ部は、前記梁部の梁接続部と反対側の端部を含む、前記＜８＞に記載の可動システムである。
＜１０＞ 前記スペーサ部は、前記柱状部材を含む、前記＜８＞に記載の可動システムである。
＜１１＞ 前記可動部は、第１から第４の固定部を介して接続する前記支持部により支持され、上面視において、前記第１の固定部と前記第２の固定部を結ぶ軸は、前記第３の固定部と前記第４の固定部を結ぶ軸と交差する、前記＜８＞から前記＜１０＞のいずれか１つに記載の可動システムである。
＜１２＞ 前記＜８＞から前記＜１１＞のいずれか１つに記載の可動システムを有する、画像投影装置である。
＜１３＞ 前記＜８＞から前記＜１１＞のいずれか１つに記載の可動システムを有する、距離測定装置である。
＜１４＞ 前記＜８＞から前記＜１１＞のいずれか１つに記載の可動システムを有する、音響装置である。
＜１５＞ 前記＜８＞から前記＜１１＞のいずれか１つに記載の可動システムを有する、振動子である。

【符号の説明】

【0131】

１、１ａ、１ｃ、１ｄ 台座
１１、１１ａ、１１ｃ、１１ｄ 基板
１１０ｘ 第２軸
１１０ｙ 第１軸
１１１ 枠部
１１２、１１３ 一対の梁部
１１２－１、１１２－２、１１３－１、１１３－２ 梁部
１１２ａ、１１３ａ 一対の梁部
１１２ａ－１、１１２ａ－２、１１３ａ－１、１１３ａ－２ 梁部
１１２ｃ、１１３ｃ 一対の梁部
１１２ｃ－１、１１２ｃ－２、１１３ｃ－１、１１３ｃ－２ 梁部
１１２ｄ、１１３ｄ 一対の梁部
１１２ｄ－１、１１２ｄ－２、１１３ｄ－１、１１３ｄ－２ 梁部
１１４、１１４ａ－１、１１４ａ－２ 梁接続部
１１４ｃ、１１９ｃ 一対の梁接続部
１１４ｃ－１、１１４ｃ－２、１１９ｃ－１、１１９ｃ－２ 梁接続部
１１４ｄ、１１９ｄ 一対の梁接続部
１１４ｄ－１、１１４ｄ－２、１１９ｄ－１、１１９ｄ－２ 梁接続部
１１５ 枠部開口
１１６ 中心
１１７、１１８ 一対の梁部
１１７－１、１１７－２、１１８－１、１１８－２ 梁部
１１７ａ、１１８ａ 一対の梁部
１１７ａ－１、１１７ａ－２、１１８ａ－１、１１８ａ－２ 梁部
１１７ｄ、１１８ｄ 一対の梁部
１１７ｄ－１、１１７ｄ－２、１１８ｄ－１、１１８ｄ－２ 梁部
２０１ｄ、２０２ｄ 一対の梁接続部
２０１ｄ－１、２０１ｄ－２、２０２ｄ－１、２０２ｄ－２ 梁接続部
１２、１３ 柱状部材
１２ａ 第１の柱状部材
１３ａ 第２の柱状部材
１４ａ 第３の柱状部材
１５ａ 第４の柱状部材
２、２ｂ 可動装置
２１ｂ 可動部
２２ｂ 支持部
２１０ 固定軸
２２０ 一対の固定部
２２０－１、２２０－２ 固定部
２２０ｂ－１ 第１の固定部
２２０ｂ－２ 第２の固定部
２２０ｂ－３ 第３の固定部
２２０ｂ－４ 第４の固定部
２３ 支持部開口
２４ 折り返し構造
３ スペーサ部材（スペーサ部の一例）
３ａ スペーサ部
１００、１００ａ、１００ｂ、１００ｃ、１００ｄ、１００ｅ、１００ｆ 可動システム
５００ 画像投影装置
７００ 距離測定装置
Ａ１、Ａ２ 軸
Ｅ 二等辺三角形の枠体
Ｆ１、Ｆ２ 菱形枠体
Ｆ１１ 第１の菱形枠体
Ｆ１２ 第２の菱形枠体
Ｆ１３ 第３の菱形枠体
Ｆ１４ 第４の菱形枠体
θ０、θ１、θ２ 傾斜角度
Ｔ１、Ｔ２ 端部

【先行技術文献】

【特許文献】

【0132】

【特許文献1】特許５１２８２９６号公報

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】