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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024109643
(43)【公開日】2024-08-14
(54)【発明の名称】ランプの検査装置および検査方法
(51)【国際特許分類】
G01B 11/02 20060101AFI20240806BHJP
G01B 11/26 20060101ALI20240806BHJP
G01B 11/08 20060101ALI20240806BHJP
【ＦＩ】
G01B11/02 H
G01B11/26 H
G01B11/08 H
【審査請求】有
【請求項の数】39
【出願形態】ＯＬ
【外国語出願】
(21)【出願番号】P 2024075572
(22)【出願日】2024-05-08
(62)【分割の表示】P 2022555180の分割
【原出願日】2021-03-12
(31)【優先権主張番号】62/989,451
(32)【優先日】2020-03-13
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(71)【出願人】
【識別番号】390040660
【氏名又は名称】アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
【氏名又は名称原語表記】ＡＰＰＬＩＥＤ ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ，ＩＮＣＯＲＰＯＲＡＴＥＤ
【住所又は居所原語表記】３０５０ Ｂｏｗｅｒｓ Ａｖｅｎｕｅ Ｓａｎｔａ Ｃｌａｒａ ＣＡ ９５０５４ Ｕ．Ｓ．Ａ．
(74)【代理人】
【識別番号】110002077
【氏名又は名称】園田・小林弁理士法人
(72)【発明者】
【氏名】ラージ， ゴーヴィンダ
(72)【発明者】
【氏名】ネストロフ， ヴィレン ケー．
(57)【要約】 （修正有）
【課題】ランプ寸法を検査するための方法および装置を提供する。
【解決手段】ランプ寸法を検査するための方法は、ランプ２００ａの実際の測定値を決定することを含む。ランプは、基板処理装置内の基板を加熱するように構成される。幅および高さを有するウィンドウが、生成される。ウィンドウは、ランプの目標測定値に基づいている。この方法は、実際の測定値の画像とウィンドウとの間の差に基づいて偏差を生成することを、さらに含む。偏差は、第１の閾値と比較される。偏差が、第１の閾値の外側にある場合、ランプは不合格になる。
【選択図】図２Ａ
【解決手段】ランプ寸法を検査するための方法は、ランプ２００ａの実際の測定値を決定することを含む。ランプは、基板処理装置内の基板を加熱するように構成される。幅および高さを有するウィンドウが、生成される。ウィンドウは、ランプの目標測定値に基づいている。この方法は、実際の測定値の画像とウィンドウとの間の差に基づいて偏差を生成することを、さらに含む。偏差は、第１の閾値と比較される。偏差が、第１の閾値の外側にある場合、ランプは不合格になる。
【選択図】図２Ａ
【特許請求の範囲】
【請求項1】
ランプを検査するための方法であって、
基板処理装置内の基板を加熱するように構成されているランプの実際の測定値を決定することと、
幅および高さを有するウィンドウであって、前記ランプの目標測定値に基づくウィンドウを生成することと、
前記実際の測定値の画像と前記ウィンドウとの間の差に基づいて偏差を生成することと、
前記偏差を第１の閾値と比較することと、
前記偏差が前記第１の閾値の外側にある場合、前記ランプを不合格にすることと、
を含む方法。
基板処理装置内の基板を加熱するように構成されているランプの実際の測定値を決定することと、
幅および高さを有するウィンドウであって、前記ランプの目標測定値に基づくウィンドウを生成することと、
前記実際の測定値の画像と前記ウィンドウとの間の差に基づいて偏差を生成することと、
前記偏差を第１の閾値と比較することと、
前記偏差が前記第１の閾値の外側にある場合、前記ランプを不合格にすることと、
を含む方法。
【請求項2】
前記実際の測定値を決定することが、
ランプの第１のピンデータムと第２のピンデータムとの間にデータム中心軸を設定することと、
前記データム中心軸に対して直角をなす線を延ばして、横方向データム軸を規定することであって、前記データム中心軸および前記横方向データム軸が、ウィンドウを形成するために使用される、横方向データム軸を規定することと、
を含む、請求項１に記載の方法。
ランプの第１のピンデータムと第２のピンデータムとの間にデータム中心軸を設定することと、
前記データム中心軸に対して直角をなす線を延ばして、横方向データム軸を規定することであって、前記データム中心軸および前記横方向データム軸が、ウィンドウを形成するために使用される、横方向データム軸を規定することと、
を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項3】
前記実際の測定値を決定することが、
データム中心軸とウィンドウに基づいて、前記ランプ内部のフィラメントの中心との間の第１の偏差角を決定すること、
を含む、請求項１に記載の方法。
データム中心軸とウィンドウに基づいて、前記ランプ内部のフィラメントの中心との間の第１の偏差角を決定すること、
を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項4】
前記ウィンドウを決定することが、
第１のコイル端点、第２のコイル端点、第１のコイル縁点、および第２のコイル縁点を含む複数のコイル点を設定すること、
を含む、請求項３に記載の方法。
第１のコイル端点、第２のコイル端点、第１のコイル縁点、および第２のコイル縁点を含む複数のコイル点を設定すること、
を含む、請求項３に記載の方法。
【請求項5】
前記実際の測定値を決定することが、
第１のコイル端点、第２のコイル端点、第１のコイル縁点、および第２のコイル縁点を含む複数のコイル点を設定することと、
前記複数のコイル点を用いてウィンドウを設定することと、
前記ウィンドウを用いてコイル中心点を設定することと、
をさらに含む、請求項１に記載の方法。
第１のコイル端点、第２のコイル端点、第１のコイル縁点、および第２のコイル縁点を含む複数のコイル点を設定することと、
前記複数のコイル点を用いてウィンドウを設定することと、
前記ウィンドウを用いてコイル中心点を設定することと、
をさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項6】
前記実際の測定値を決定することが、
データム中心軸とウィンドウに基づいて、前記ランプ内部のフィラメントの中心との間の第２の偏差角を決定すること、
を含み、前記第２の偏差角が、前記第１の偏差角とは異なる、請求項３に記載の方法。
データム中心軸とウィンドウに基づいて、前記ランプ内部のフィラメントの中心との間の第２の偏差角を決定すること、
を含み、前記第２の偏差角が、前記第１の偏差角とは異なる、請求項３に記載の方法。
【請求項7】
前記実際の測定値を決定することが、
第１のコイル端点、第２のコイル端点、第１のコイル縁点、および第２のコイル縁点を含む複数のコイル点を設定することと、
前記複数のコイル点に基づいてフィラメントの外径を決定することと、
を含む、請求項１に記載の方法。
第１のコイル端点、第２のコイル端点、第１のコイル縁点、および第２のコイル縁点を含む複数のコイル点を設定することと、
前記複数のコイル点に基づいてフィラメントの外径を決定することと、
を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項8】
カメラ、
少なくとも１つのレンズ、および
ランプを適格認定するための方法を実行するように構成されたコントローラ、
を備える画像処理装置であって、前記方法は、
基板処理装置内の基板を加熱するように構成されているランプのフィラメントの実際の測定値を決定することと、
幅および高さを有するウィンドウであって、前記フィラメントの目標測定値に基づくウィンドウを生成することと、
前記実際の測定値の画像と前記ウィンドウとの間の差に基づいて偏差を生成することと、
前記偏差を第１の閾値と比較することと、
前記偏差が前記第１の閾値の外側にある場合、前記ランプを不合格にすることと、
を含む、画像処理装置。
少なくとも１つのレンズ、および
ランプを適格認定するための方法を実行するように構成されたコントローラ、
を備える画像処理装置であって、前記方法は、
基板処理装置内の基板を加熱するように構成されているランプのフィラメントの実際の測定値を決定することと、
幅および高さを有するウィンドウであって、前記フィラメントの目標測定値に基づくウィンドウを生成することと、
前記実際の測定値の画像と前記ウィンドウとの間の差に基づいて偏差を生成することと、
前記偏差を第１の閾値と比較することと、
前記偏差が前記第１の閾値の外側にある場合、前記ランプを不合格にすることと、
を含む、画像処理装置。
【請求項9】
前記実際の測定値を決定することが、
ランプの第１のピンデータムと第２のピンデータムとの間にデータム中心軸を設定することと、
前記データム中心軸に対して直角をなす線を延ばして、横方向データム軸を規定することであって、前記データム中心軸および前記横方向データム軸が、ウィンドウを形成するために使用される、横方向データム軸を規定することと、
を含む、請求項８に記載の画像処理装置。
ランプの第１のピンデータムと第２のピンデータムとの間にデータム中心軸を設定することと、
前記データム中心軸に対して直角をなす線を延ばして、横方向データム軸を規定することであって、前記データム中心軸および前記横方向データム軸が、ウィンドウを形成するために使用される、横方向データム軸を規定することと、
を含む、請求項８に記載の画像処理装置。
【請求項10】
前記実際の測定値を決定することが、
データム中心軸とウィンドウに基づいて、前記ランプ内部のフィラメントの中心との間の第１の偏差角を決定すること、
を含む、請求項８に記載の画像処理装置。
データム中心軸とウィンドウに基づいて、前記ランプ内部のフィラメントの中心との間の第１の偏差角を決定すること、
を含む、請求項８に記載の画像処理装置。
【請求項11】
前記ウィンドウを決定することが、
第１のコイル端点、第２のコイル端点、第１のコイル縁点、および第２のコイル縁点を含む複数のコイル点を設定すること、
を含む、請求項１０に記載の画像処理装置。
第１のコイル端点、第２のコイル端点、第１のコイル縁点、および第２のコイル縁点を含む複数のコイル点を設定すること、
を含む、請求項１０に記載の画像処理装置。
【請求項12】
前記実際の測定値を決定することが、
第１のコイル端点、第２のコイル端点、第１のコイル縁点、および第２のコイル縁点を含む複数のコイル点を設定することと、
前記複数のコイル点を用いてウィンドウを設定することと、
前記ウィンドウを用いてコイル中心点を設定することと、
をさらに含む、請求項８に記載の画像処理装置。
第１のコイル端点、第２のコイル端点、第１のコイル縁点、および第２のコイル縁点を含む複数のコイル点を設定することと、
前記複数のコイル点を用いてウィンドウを設定することと、
前記ウィンドウを用いてコイル中心点を設定することと、
をさらに含む、請求項８に記載の画像処理装置。
【請求項13】
前記実際の測定値を決定することが、
データム中心軸とウィンドウに基づいて、前記ランプ内部のフィラメントの中心との間の第２の偏差角を決定すること、
を含み、前記第２の偏差角が、前記第１の偏差角とは異なる、請求項１０に記載の画像処理装置。
データム中心軸とウィンドウに基づいて、前記ランプ内部のフィラメントの中心との間の第２の偏差角を決定すること、
を含み、前記第２の偏差角が、前記第１の偏差角とは異なる、請求項１０に記載の画像処理装置。
【請求項14】
前記実際の測定値を決定することが、
第１のコイル端点、第２のコイル端点、第１のコイル縁点、および第２のコイル縁点を含む複数のコイル点を設定することと、
前記複数のコイル点に基づいてフィラメントの外径を決定することと、
を含む、請求項８に記載の画像処理装置。
第１のコイル端点、第２のコイル端点、第１のコイル縁点、および第２のコイル縁点を含む複数のコイル点を設定することと、
前記複数のコイル点に基づいてフィラメントの外径を決定することと、
を含む、請求項８に記載の画像処理装置。
【請求項15】
プロセッサによって実行されるとランプ検査プロセスを実行させる命令を、記憶するように構成された不揮発性コンピュータ可読媒体であって、前記ランプ検査プロセスが、
基板処理装置内の基板を加熱するように構成されているランプのフィラメントの実際の測定値を決定することと、
幅および高さを有するウィンドウであって、前記フィラメントの目標測定値に基づくウィンドウを生成することと、
前記実際の測定値の画像と前記ウィンドウとの間の差に基づいて偏差を生成することと、
前記偏差を第１の閾値と比較することと、
前記偏差が前記第１の閾値の外側にある場合、前記ランプを不合格にすることと、
を含む、不揮発性コンピュータ可読媒体。
基板処理装置内の基板を加熱するように構成されているランプのフィラメントの実際の測定値を決定することと、
幅および高さを有するウィンドウであって、前記フィラメントの目標測定値に基づくウィンドウを生成することと、
前記実際の測定値の画像と前記ウィンドウとの間の差に基づいて偏差を生成することと、
前記偏差を第１の閾値と比較することと、
前記偏差が前記第１の閾値の外側にある場合、前記ランプを不合格にすることと、
を含む、不揮発性コンピュータ可読媒体。
【請求項16】
前記プロセッサが、
ランプの第１のピンデータムと第２のピンデータムとの間にデータム中心軸を設定することと、
前記データム中心軸に対して直角をなす線を延ばして、横方向データム軸を規定することであって、前記データム中心軸および前記横方向データム軸が、ウィンドウを形成するために使用される、横方向データム軸を規定することと、
を行うように、さらに構成されている、請求項１５に記載の不揮発性コンピュータ可読媒体。
ランプの第１のピンデータムと第２のピンデータムとの間にデータム中心軸を設定することと、
前記データム中心軸に対して直角をなす線を延ばして、横方向データム軸を規定することであって、前記データム中心軸および前記横方向データム軸が、ウィンドウを形成するために使用される、横方向データム軸を規定することと、
を行うように、さらに構成されている、請求項１５に記載の不揮発性コンピュータ可読媒体。
【請求項17】
前記プロセッサが、
データム中心軸とウィンドウに基づいて、前記ランプ内部のフィラメントの中心との間の第１の偏差角を決定するように、
さらに構成されている、請求項１５に記載の不揮発性コンピュータ可読媒体。
データム中心軸とウィンドウに基づいて、前記ランプ内部のフィラメントの中心との間の第１の偏差角を決定するように、
さらに構成されている、請求項１５に記載の不揮発性コンピュータ可読媒体。
【請求項18】
前記プロセッサが、
第１のコイル端点、第２のコイル端点、第１のコイル縁点、および第２のコイル縁点を含む複数のコイル点を設定するように、
さらに構成されている、請求項１７に記載の不揮発性コンピュータ可読媒体。
第１のコイル端点、第２のコイル端点、第１のコイル縁点、および第２のコイル縁点を含む複数のコイル点を設定するように、
さらに構成されている、請求項１７に記載の不揮発性コンピュータ可読媒体。
【請求項19】
前記プロセッサが、
第１のコイル端点、第２のコイル端点、第１のコイル縁点、および第２のコイル縁点を含む複数のコイル点を設定することと、
前記複数のコイル点を用いてウィンドウを設定することと、
前記ウィンドウを用いてコイル中心点を設定することと、
を行うように、さらに構成されている、請求項１５に記載の不揮発性コンピュータ可読媒体。
第１のコイル端点、第２のコイル端点、第１のコイル縁点、および第２のコイル縁点を含む複数のコイル点を設定することと、
前記複数のコイル点を用いてウィンドウを設定することと、
前記ウィンドウを用いてコイル中心点を設定することと、
を行うように、さらに構成されている、請求項１５に記載の不揮発性コンピュータ可読媒体。
【請求項20】
前記プロセッサが、
データム中心軸とウィンドウに基づいて、前記ランプ内部のフィラメントの中心との間の第２の偏差角を決定するするように、
さらに構成されており、前記第２の偏差角が、前記第１の偏差角とは異なる、請求項１７に記載の不揮発性コンピュータ可読媒体。
データム中心軸とウィンドウに基づいて、前記ランプ内部のフィラメントの中心との間の第２の偏差角を決定するするように、
さらに構成されており、前記第２の偏差角が、前記第１の偏差角とは異なる、請求項１７に記載の不揮発性コンピュータ可読媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
［０００１］ 本明細書に開示される実施例は、ランプ寸法を検査するための方法および装置に関する。
【背景技術】
【0002】
［０００２］ エピタキシャル堆積チャンバなどの基板処理チャンバでは、堆積された材料の品質は、特に、基板の温度の均一性に依存し得る。熱源の制御は、基板全体にわたる温度の熱プロファイルに影響を与える１つの方法である。熱源のサイズ、形状、角度などの寸法は、熱プロファイルの品質に影響を与えるパラメータである。複数の熱源が処理チャンバ内で使用される場合、熱源のサイズ、形状、および角度の制御は、熱プロファイルに直接対応し、したがって、基板上に堆積される材料の品質に直接対応する。
【0003】
［０００３］ 処理チャンバの日常のメンテナンス中に、個々の熱源を交換することができる。基板全体にわたって一貫した熱プロファイルを維持することは、日常のメンテナンスの手順間において、基板上に堆積された材料のより高い均一性を可能にする。
【0004】
［０００４］ 新しい熱源または交換用の熱源は、処理チャンバで使用する前に適格認定されている必要がある。所与の熱源の品質を評価することは、外観検査または試験ゲージによって達成され得る。熱源が外観検査に不合格になった場合、または測定値が許容範囲内に収まらない場合は、熱源は廃棄され得る。これらの品質保証技術が使用される場合、バッチ全体を適格認定するために、熱源のバッチのなかの少数のサンプルが検査される。サンプルの結果に応じて、バッチ全体を廃棄するか、または受け入れ可能であると決定することができる。したがって、適格認定されたバッチ内のサンプリングされなかった熱源には、許容範囲外の熱源が含まれている可能性がある。不適合の熱源が受け入れられると、これらの熱源は、処理チャンバに導入されて、基板全体にわたる熱均一性プロファイルに悪影響を与える可能性がある。したがって、材料の堆積が、悪影響を受ける。
【0005】
［０００５］ ゆえに、処理チャンバで使用される熱源のための改良された品質保証技術が必要とされている。
【発明の概要】
【0006】
［０００６］ 本明細書に開示される例は、ランプを検査するための方法および装置に関する。この方法は、ランプの実際の測定値を決定することを含む。ランプは、基板処理装置内の基板を加熱するように構成される。幅および高さを有するウィンドウが、生成される。ウィンドウは、ランプの目標測定値に基づいている。この方法は、実際の測定値の画像とウィンドウとの間の差に基づいて偏差を生成することを、さらに含む。偏差は、第１の閾値と比較される。偏差が、第１の閾値の外側にある場合、ランプは不合格になる。
【0007】
［０００７］ 別の例では、画像処理装置は、カメラを含む。カメラは、少なくとも１つのレンズとコントローラを有する。コントローラは、ランプを適格認定するための方法を実行するように構成される。この方法は、ランプのフィラメントの実際の測定値を決定することを含む。ランプは、基板処理装置内の基板を加熱するように構成される。この方法は、幅および高さを有するウィンドウを生成することを、さらに含む。ウィンドウは、フィラメントの目標測定値に基づいている。この方法は、実際の測定値の画像とウィンドウとの間の差に基づいて偏差を生成することを、さらに含む。偏差は、第１の閾値と比較される。偏差が、第１の閾値の外側にある場合、ランプは不合格になる。
【0008】
［０００８］ 本明細書の例はまた、命令を記憶するように構成された不揮発性コンピュータ可読媒体を含む。プロセッサによって実行されると、命令は、ランプ検査プロセスを実行させる。このプロセスは、ランプのフィラメントの実際の測定値を決定することを含む。ランプは、基板処理装置内の基板を加熱するように構成される。このプロセスは、幅および高さを有するウィンドウを生成することを、さらに含む。ウィンドウは、フィラメントの目標測定値に基づいている。このプロセスは、実際の測定値の画像とウィンドウとの間の差に基づいて偏差を生成することを含む。偏差は、第１の閾値と比較される。偏差が、第１の閾値の外側にある場合、ランプは不合格になる。
【0009】
［０００９］ 三次元印刷されたランプフィラメントのランプ寸法を測定し、試験するための方法および装置が、本明細書に開示される。本開示の上記の特徴を詳細に理解することができるように、上記で簡単に要約された本開示のより具体的な説明が、本明細書中の実施例を参照することによって行われ、そのいくつかが、添付の図面に示されている。しかしながら、添付の図面は、実施例を示すに過ぎず、したがって、本開示の範囲を限定するものと見なされるべきではないことに、留意されたい。したがって、添付の図面は、他の同等に有効な実施例を許容する。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【発明を実施するための形態】
【0011】
［００２３］ 理解を容易にするために、可能な場合、共通の特徴である同一の要素を示すために同一の参照番号が使用されている。１つの実施例の要素および特徴は、さらに説明することなく、他の実施例に有益に組み込まれ得ることが意図されている。
【0012】
［００２４］ エピタキシは、処理チャンバ内の反応から基板上に材料を堆積させる１つの技法である。処理チャンバは、可変電力によって制御されるヒートランプを使用して、基板を加熱する。ランプは、可視域から近赤外域までの放射を提供することができる。基板は、ランプからの放射を吸収し、したがって、その温度を上昇させ、材料を堆積させるための適合性を高める。ランプは、電流を通すと光と熱を放射する材料で作られたフィラメントを含む。ランプは、フィラメントの寿命を延ばすように設計された気体環境に配置されてもよい。
【0013】
［００２５］ 本明細書に開示されるランプに使用されるフィラメントコイルのワイヤの断面は、ほぼ菱形（例えば、ダイヤモンド形状）、五角形、または六角形であり得る。ランプのワイヤの断面は、単位平方メートル当たりの放射（Ｗ／ｍ２）の増加に寄与する。フィラメントコイルの断面の形状は、フィラメントコイルの表面積を増加させ、ランプの寿命を延ばす。従来のランプと比較して、フィラメントの蒸発した分子は、以下にさらに詳述されるように、フィラメントコイルに再堆積される。加えて、フィラメントコイルの全体的な幾何学的形状または断面は、ランプのバルブの内部表面から反射されてフィラメントコイルに向かって戻る光を減少させる。したがって、処理チャンバ内のランプの交換頻度が少なくなるので、日常のメンテナンスが削減される。日常のメンテナンスの頻度を減らすことにより、処理チャンバのダウンタイムが減少し、処理チャンバ当たりのより多い処理量を達成することができる。
【0014】
［００２６］ 基板上に堆積される材料の均一性は、基板の表面全体にわたる熱の均一性と相関する。ランプは、熱を放射しているので、ランプの均一性が、基板全体にわたる熱勾配の均一性と相関する。基板上の熱勾配を制御することによって、その結果、基板上に堆積される材料の均一性を制御することができる。
【0015】
［００２７］ 本明細書では、処理チャンバ内での使用に適したランプフィラメントのランプ寸法を測定および試験するための方法および装置が開示される。この方法は、処理チャンバ内で使用するように構成されたランプの画像を取り込む自動化された外観検査を含む。取り込まれたランプの画像は、さらなる処理のためにコンピュータに送信されるか、または画像処理装置において処理される。コンピュータまたは画像処理装置は、所定の寸法を、画像処理装置によって測定されたランプの実際の寸法と比較する。不適合のランプ、つまり誤差許容閾値を超えたランプは、不合格になる。所定の寸法に適合するランプもまた、適切にフラグ付けされ、すなわち適格認定され、不適合のランプから分離される。
【0016】
［００２８］ 基板上に堆積される材料の均一性は、基板の表面全体にわたる温度の均一性と相関する。ランプは、基板の表面全体にわたって熱を放射しているので、適格認定されたランプの均一性が、基板全体にわたる熱勾配の均一性と相関する。基板厚さ上の熱勾配を制御することによって、基板上に堆積される材料は、より正確に制約され得る。有利には、基板上の堆積材料の中心から縁部までの均一性は、適格認定されたランプを利用することによって改善される。
【0017】
［００２９］ 図１Ａは、複数の熱源１０２ａを有する処理チャンバ１００ａの概略断面図である。処理チャンバ１００ａは、チャンバ本体１０５を有する。チャンバ本体１０５は、チャンバ本体１０５のエンクロージャ１０９を画定する側壁１３６、底部１０６、および蓋部１３０を含む。上部ドーム１２８、下部ドーム１１４、およびライナー１６３が、エンクロージャ１０９内に配置されている。ライナー１６３は、側壁１３６に取り付けられている。チャンバ本体１０５の内部空間１０１が、上部ドーム１２８、下部ドーム１１４、およびライナー１６３によって画定される。内部空間１０１は、処理空間１１１およびパージ空間１１３を含む。
【0018】
［００３０］ プロセスガス入口１７４が、処理チャンバ１００ａの側壁１３６を通って形成されている。プロセスガス入口１７４はまた、ライナー１６３も通って形成され、プロセスガスを処理空間１１１内に流すための経路を提供する。プロセスガスは、ガス源１７２から、プロセスガス入口１７４を通って、処理チャンバ１００ａの内部空間１０１内に配置された基板支持体１０４を横切って流れる。
【0019】
［００３１］ パージガス入口１６４が、処理チャンバ１００ａの側壁１３６を通って形成されている。パージガス入口１６４はまた、ライナー１６３も通って形成され、パージガスをパージ空間１１３内に流すための経路を提供する。パージガスは、パージガス源１６２から、パージガス入口１６４を通って、処理チャンバ１００ａのパージ空間１１３内へ流れる。
【0020】
［００３２］ ガス出口１７８が、側壁１３６およびライナー１６３を通って配置されている。ガス出口１７８は、処理チャンバ１００ａの内部空間１０１においてプロセスガス入口１７４とほぼ反対側にある。ガス出口１７８は、内部空間１０１の処理空間１１１内のプロセスガスを処理チャンバ１００ａから排出することを可能にする。内部空間１０１のパージ空間１１３内のパージガスもまた、ガス出口１７８を通って処理チャンバ１００ａから排出される。処理チャンバ１００ａの内部空間１０１からプロセスガスおよびパージガスを排出するために、真空源１８０が、ガス出口１７８に連結されている。
【0021】
［００３３］ 基板支持体１０４は、処理チャンバ１００ａ内の処理動作中に、基板支持体１０４の上面１１０上に配置された基板１０８を支持するように、構成されている。基板支持体１０４は、処理中に基板１０８を回転させて、基板１０８上に堆積される材料の均一性を改善することができる。上部ドーム１２８は、基板支持体１０４の上方に配置され、基板支持体１０４の上面１１０およびライナー１６３とともに、さらに処理空間１１１を画定する。パージ空間１１３は、下部ドーム１１４、基板支持体１０４の底面（番号なし）、およびライナー１６３によって、さらに画定される。
【0022】
［００３４］ 熱シールドアセンブリ１６０が、基板支持体１０４を取り囲んでいる。熱シールドアセンブリ１６０は、基板支持体１０４と同心のリング状構造体である。熱シールドアセンブリ１６０は、環状予熱部材１６７と熱シールド部材１６８とを含む。環状予熱部材１６７は、リング状である。
【0023】
［００３５］ 熱モジュール１４５が、処理中に処理チャンバ１００ａに熱を供給する。熱モジュール１４５は、基板支持体１０４の上方または下方に、または上方と下方の両方に配置することができる。図１Ａに示す処理チャンバ１００ａでは、熱モジュール１４５は、基板支持体１０４の下方に設けられている。熱モジュール１４５は、レンズ、光パイプ、または他の反射および屈折要素などの光学要素１１５を含むことができる。熱モジュール１４５は、複数の熱源１０２を含む。熱源１０２は、下部ドーム１１４内に配置されている。熱源１０２は、ランプ、発光ダイオード（ＬＥＤ）、およびレーザのいずれか１つまたは組み合わせであってもよい。反射および屈折要素は、熱源１０２によって放射されたエネルギーを基板支持体１０４に向けるような形を個々にしている。熱モジュール１４５からの熱は、基板支持体１０４を加熱し、このことは、基板１０８が基板支持体１０４と接触している場合、伝導によって熱を基板１０８に伝達する。場合によっては、例えば、基板１０８が基板支持体１０４と接触していない場合、熱は、放射によっても伝達され得る。一例では、熱源１０２はランプである。熱源１０２のさらなる議論は、処理チャンバ１００ａ内での処理のために基板１０８上に熱を放射するように構成されたフィラメントを有するランプに関するものである。
【0024】
［００３６］ 図１Ｂは、基板１０８上に材料を堆積させるように構成された別の処理チャンバ１００ｂの概略断面図である。図１Ｂは、処理チャンバ１００ｂ内で基板１０８を加熱するために熱モジュール１４５内で代替熱源１０２ｂを使用するためのコンテクストを提供する。一例では、処理チャンバ１００ｂは、急速熱処理（ＲＴＰ）チャンバとして構成される。本明細書に示される処理チャンバ１００ｂは、例示の目的のためのものであり、本開示の概念は、基板１０８を加熱して処理するための放射エネルギーを放出するために、熱源１０２などの光源を使用する任意の熱処理チャンバに利益を与え得ることを、理解されたい。熱源１０２ｂは、基板１０８の上方の処理空間１１１に隣接して配置されたランプ管１３４内に配置されて、示されているが、熱源１０２ｂは、代替的に、処理チャンバ１００ｂ内で基板１０８の下方に、または上方および下方に配置されてもよい。複数のランプ管１３４は、処理チャンバ１００ｂの処理空間１１１内に配置されている。処理空間１１１は、一般に、処理チャンバ１００ｂの側壁および本体（図示されているが、番号は付されていない）によって囲まれ、窓１３８によってランプ管１３４および熱源１０２ｂから分離された空間である。処理空間１１１は、大気圧より低い圧力に保持されてもよい。
【0025】
［００３７］ 複数のランプ管１３４は、熱モジュール１４５内に配置されている。熱モジュール１４５は、窓１３８を覆い、窓１３８は、熱モジュール１４５を処理空間１１１から分離する。基板ハンドリング装置１４４は、ロータチャネル１４８内に配置されたロータ１４６と、ロータ１４６上に載置されているか、または他の方法でロータ１４６に連結された支持シリンダ１５０とを含む。支持シリンダ１５０は、ケイ素石英でコーティングされていてもよい。ロータ１４６は、磁気浮揚させることができる。エッジリング１５２が、支持シリンダ１５０上に載置されている。エッジリング１５２は、ケイ素でコーティングされた炭化ケイ素で作ることができる。エッジリング１５２は、処理中に基板１０８の少なくとも一部に外接し、それを支持するように構成される。
【0026】
［００３８］ 熱モジュール１４５は、ランプ管１３４と熱源１０２ｂを含む。図示のように、１つの熱源１０２ｂが、それぞれのランプ管１３４の一端に配置されている。ランプ管１３４は、ランプハウジング管１５４の中に挿入されるように構成されている。あるいは、１つより多い熱源１０２ｂが、それぞれのランプハウジング管１５４の中に収容されてもよい。各ランプハウジング管１５４は、銀または金のコーティングであってもよい反射性の内面を含むことができる。ランプハウジング管１５４は、鏡面反射体１６６で裏打ちすることができる。一例において、熱源１０２ｂは、タングステンハロゲンランプなどの放射電球である。
【0027】
［００３９］ 処理チャンバ１００ｂおよび熱モジュール１４５の雰囲気は、制御することができる。例えば、図１に示されるように、熱モジュール１４５と流体連通している第１のチャネル１５８を介して、熱モジュール１４５内の圧力を制御する、例えば、低減するために、第１の真空ポンプ１５６が設けられている。第２のチャネル１７６を介して熱モジュール１４５内の圧力を制御する、例えば、低減するために、第２の真空ポンプ１７０が設けられている。一実施態様では、鏡面反射体１６６の変色を防止するために、熱源１０２ｂの周囲の雰囲気は、鏡面反射体１６６上で使用される銀上の硫化物形成材料または硫化物触媒材料の量を実質的に最小限に抑えるように制御される。鏡面反射体１６６の変色を防止する１つの方法は、雰囲気がＨ２Ｓおよび水分（Ｈ２Ｏ）をほぼ含まないことを確実にすることである。例えば、第１のチャネル１５８からヘリウムを流すことによって、大気が熱源１０２ｂの周囲の領域に入るのを実質的に防止することができる。別の例では、熱源１０２ｂの周囲の雰囲気からＨ２Ｓおよび水分を除去するために、フィルタおよび／またはゲッタが、第１のチャネル１５８内に配置され得る。例えば、酸化鉄などの金属酸化物を含む硫化物ゲッタは、大気が熱源１０２ｂの周囲の領域に入ることを実質的に防止する。
【0028】
［００４０］図２Ａは、図１Ａに示す処理チャンバ１００ａにおいて熱源１０２ａとして使用できる例示的なランプ２００ａの正面図である。ランプ２００ａは、基部２０４とドーム２２０を有する。ドーム２２０は、一端に先端部２２２を有する。いくつかの例では、ドーム２２０は、石英で作られている。第１のピン２０８および第２のピン２１０が、基部２０４に接続されている。第１のピン２０８および第２のピン２１０の各々は、上側部分２１２および下側部分２１６を有する。第１のピン２０８および第２のピン２１０は、熱モジュール１４５（図１Ａに示されている）に取り外し可能に取り付けられるように構成されている。加えて、プログラムは、第１のピン２０８の中心を通ってｙ方向３５０に沿って長手方向に走る第１のピン２０８の第１のピン線３３０（図２Ｃに示される）を設定する。第２のピン２１０は、第２のピン２１０の中心を通ってｙ方向３５０に沿って長手方向に走る第２のピン２１０の第２のピン線３３２（図２Ｃに示される）を有する。
【0029】
［００４１］ 支持部材２２４が、ドーム２２０の底部に取り付けられている。支持部材２２４は、第１のコネクタ２４４および第２のコネクタ２５６を受容するように構成された穴２２６を有する。穴２２６は、第１のピン２０８および第２のピン２１０をそれぞれ第１のコネクタ２４４および第２のコネクタ２５６に電気的に連結する接触電極を有する。
【0030】
［００４２］ 外径２６４を有するフィラメント２４８が、ドーム２２０内に配置されている。フィラメント２４８は、コイル状部分２５２を有する。フィラメント２４８は、（図４に示すように）ワイヤ４０８から形成されている。フィラメント２４８のワイヤ４０８（図４に示される）の一部が、スタブ２４０の周りに螺旋状に巻かれるか、または巻き付けられていてもよい。スタブ２４０は、ドーム２２０の頂部に近接して配置されている。ほぼ同一のスタブ２４０が、ドーム２２０の底部に近接して配置されている。接地ワイヤ２６０が、フィラメント２４８に電気的に連結され、フィラメント２４８の垂直方向長さ（すなわち、ｙ方向３５０）に沿って延在している。
【0031】
［００４３］ 第１のコネクタ２４４は、接地ワイヤ２６０の一部から形成されている。第１のコネクタ２４４は、接地ワイヤ２６０を第１のピン２０８に連結する。第２のコネクタ２５６は、第２のピン２１０をフィラメント２４８に電気的に連結する。したがって、第２のピン２１０に入った電流は、第２のコネクタ２５６を通ってフィラメント２４８へ流れ、接地ワイヤ２６０および第１のコネクタ２４４を経由して戻り、第１のピン２０８から出る。
【0032】
［００４４］ 動作中、電流がフィラメント２４８に印加され、フィラメント２４８に光および熱を放射させる。本開示のいくつかの例では、フィラメントは、タングステンで作られている。タングステンフィラメントは、約３４２２℃までの温度で赤外線を放射することができる。本開示の範囲から逸脱することなく、他の金属を利用することができることを理解されたい。ドーム２２０（例えば、石英バルブ）は、フィラメント２４８の寿命を延ばすように構成されたガスで充填されている。ガスは、ハロゲンガス、例えば、フッ素（Ｆ）、塩素（Ｃｌ）、臭素（Ｂｒ）、ヨウ素（Ｉ）、アスタチン（Ａｔ）、およびテネシン（Ｔｓ）のいずれか、またはそれらの組み合わせなどの、低レベルの反応性を有し得る。一例では、ドーム２２０は、１種以上のハロゲンガスで充填されている。ハロゲンサイクルによれば、電流がフィラメント２４８に印加されると、ドーム２２０内に蒸気が形成される。蒸気は、蒸発したタングステンの分子を含む。タングステンの分子とのハロゲン化物、すなわちハロゲン化合物が、形成され得る。したがって、ハロゲン化物分子の一部が、フィラメント２４８上に再堆積する。このようにして、フィラメント２４８およびランプ２００ａの寿命が延びる。
【0033】
［００４５］ プログラムは、上側部分２１２と下側部分２１６との交わり部において第１のピン２０８および第２のピン２１０を直交的に切断する分割平面２７４を、設定することができる。分割平面２７４は、ｘ方向３４０およびｚ方向３６０に延びている。ｚ方向３６０は、ｘ方向３４０およびｙ方向３５０に直交している。中心線２２８は、第１のピン線３３０および第２のピン線３３２（図２Ｃに示す）から等距離である。第１のピン線３３０は、第１のピン２０８を通過し、第２のピン線３３２は、第２のピン２１０を通過する。中心線２２８は、ｙ方向３５０に垂直に延びている。中心線２２８は、ドーム２２０および支持部材２２４の中央、すなわち中心を通ることができる。ランプの第１の長さ２７２は、先端部２２２を引いたドーム２２０の頂部から、第１のピン２０８および第２のピン２１０の上側部分２１２と下側部分２１６との間を延びている分割平面２７４まで延びている。分割平面２７４は、中心線２２８に対してほぼ直交している。ランプ２００ａの第２の長さ２７６は、先端部２２２を引いたドーム２２０の頂部から先端部２２２の頂点まで延びている。したがって、第２の長さ２７６は、ドーム２２０の先端部２２２の寸法である。第１のピン線３３０および第２のピン線３３２は、本明細書では、それぞれ第１のピンデータムおよび第２のピンデータムと呼ぶことができる。中心線２２８は、データム中心軸と呼ぶことができる。
【0034】
［００４６］ 中心点２８０が、中心線２２８と分割平面２７４との交点によって定義される。第１の偏差点２８４は、図２Ａに示されるような、ランプ２００ａの正面図で見たときの、第１のコイルボックス３２０（すなわち、図２Ｃに示される第１のウィンドウ）の幾何学的中心である。第１のコイルボックス３２０は、フィラメント２４８の二次元輪郭である。正面図で見たときに、外径２６４は、第１のコイルボックス３２０の幅に等しい。フィラメント２４８のコイル状部分２５２の長さ３０４（図３Ａに示す）は、第１のコイルボックス３２０の長さに等しい。第１の偏差線２３２が、中心点２８０および第１の偏差点２８４を通る。第１の偏差角２６８が、中心線２２８と第１の偏差線２３２との間の角度によって定義される。ランプ２００ａは、縮尺通りには描かれておらず、本開示の特徴を示すために、中心点２８０と第１の偏差点２８４との間の関係は誇張されていることが、理解される。
【0035】
［００４７］ 図２Ｂは、図１Ｂに示される処理チャンバ１００ｂにおいて使用され得る例示的な熱源１０２ｂの正面図である。熱源１０２ｂは、基部２０４と、ドーム２２０と、ピン部分２１４とを有する。一例では、ドーム２２０は、一般的な形状の円筒のドームであってもよく、円筒の一端が、半球形の端部を有することができる。熱源１０２ｂはまた、ドーム２２０の一端に先端部２２２を有することができる。いくつかの例では、ドーム２２０は、石英、または他の適切な材料で作られている。
【0036】
［００４８］ 熱源１０２ｂは、ドーム２２０内に配置されたフィラメント２４８を含む。フィラメント２４８は、外径２６４を有する。フィラメント２４８は、ワイヤ４０８（図４Ａ～図４Ｂに示される）から形成されている。フィラメント２４８は、ドーム２２０の内部でｙ方向２７０に延在するコイル状部分２５２を含む。別の言い方をすれば、フィラメント２４８のコイル状部分２５２は、熱源１０２ｂの長軸と整列したｙ方向２７０に延在する。コイル状部分２５２は、ほぼ螺旋状であるが、他の形状を有してもよい。フィラメント２４８は、接地ワイヤ２６０に取り付けられている。
【0037】
［００４９］ ピン部分２１４は、第１のピン２３４および第２のピン２３８を含む。第１のピン２３４および第２のピン２３８は、ランプハウジング管１５４内に配置された電極（図示せず）に連結されるように構成されている。基部２０４は、フィラメント２４８および／または接地ワイヤ２６０を第１のピン２３４および第２のピン２３８に連結するために必要な電極、回路、および他の構成要素を含むことができる。
【0038】
［００５０］ 熱源１０２ｂの第１の長さ２７２が、先端部２２２の遠位端とピン部分２１４の底部（ピン２３４、２３８を除く）との間に定義される。熱源１０２ｂの第１の長さ２７２は、約１２０ｍｍから１３５ｍｍの間である。一例では、第１の長さ２７２は、約１２５ｍｍである。第１のピン２３４と第２のピン２３８との間の幅２４６は、約６ｍｍから約８ｍｍの間である。ドーム２２０は、約１１ｍｍから約１７ｍｍの間の外径２５０を有する。フィラメント２４８のコイル状部分２５２の外径２６４は、約３ｍｍから約７ｍｍの間である。他の幾何学的形状が特定の用途のために利用され得ることが企図される。
【0039】
［００５１］ 動作中、電流がフィラメント２４８に印加され、フィラメント２４８に光および熱を放射させる。本開示のいくつかの例では、フィラメントは、タングステンまたは他の適切な導体で作られている。タングステンフィラメントは、約３４２２℃までの温度で赤外線を放射する。本開示の範囲から逸脱することなく、他の金属を利用することができることを理解されたい。ドーム２２０（例えば、石英バルブ）は、フィラメント２４８の寿命を延ばすように構成された少なくとも１種のガスで充填されている。ガスは、１種以上の希ガスなどの、低レベルの反応性を有し得る。他のガスもまた、バルブ内に存在し得る。ガスは、フィラメント２４８が崩壊する速度を低下させ、したがって、熱源１０２ｂの寿命を延ばす。
【0040】
［００５２］ 図２Ｃは、図２Ａに示すランプ２００ａの正面図寸法を測定する方法の説明図である。以下の議論はランプ２００ａに向けられているが、ここで開示されている方法はランプ２００ｂにも適用可能であることを、理解すべきである。議論したように、フィラメント２４８が、ランプ２００ｂのドーム２２０内に配置されている。中心点２８０が、中心線２２８と分割平面２７４との交点によって決定される。例えば、図２Ａに示されるような正面図からフィラメント２４８のコイル状部分２５２の縁部を設定することによって、第１の偏差点２８４を決定することができる。フィラメント２４８のデジタル表現は、少なくとも、ｘ方向３４０に延びる２つの水平縁部３２６と、ｙ方向３５０に延びる２つの垂直縁部３２５とを有する。２つの水平縁部３２６は、ｙ方向３５０に延びる２つの垂直縁部３２５と交差するまで、ｘ方向３４０に延びている。第１の水平縁部３２６と２つの平行な垂直縁部３２５との交点は、第１の点３１６および第２の点３１７で交差する。第３の点３１８および第４の点３１９は、第２の水平縁部３２６と２つの平行な垂直縁部３２５との交点である。第１のコイルボックス３２０が、４つの点３１６～３１９を２組の平行な線で接続することによって作成される。コイル中心線３２８が、中心線２２８とほぼ平行にｙ方向３５０に延びている。第１の偏差点２８４は、第１の点３１６から第３の点３１８まで延びる対角線（図示せず）と、第２の点３１７から第４の点３１９まで延びる別の対角線（図示せず）との交点である。したがって、第１の偏差点２８４は、第１のコイルボックス３２０の垂直方向および水平方向の中心点である。コイル中心線３２８は、第１の偏差点２８４を通る。幅が、ｘ方向３４０の方向における平行な２点間の距離によって決定される。長さが、ｙ方向３５０の方向における平行な２点間の距離によって決定される。
【0041】
［００５３］ 図２Ａの側面図で見たフィラメント２４８の外径２６４が、第１の点３１６と第２の点３１７との間の距離に基づいて決定される。あるいは、外径２６４は、第３の点３１８と第４の点３１９との間の距離に基づいて決定することができる。第１の長さ２７２（図２Ａに示される）は、中心点２８０と、ドーム２２０の頂部に位置する第５の点３２１との間の距離を決定することによって、測定することができる。第２の長さ２７６は、第６の点３２２と第５の点３２１との間の距離であり、第６の点３２２は、ドーム２２０の先端部２２２を示す。
【0042】
［００５４］ 図３Ａは、図２Ａに示す例示的なランプ２００ａの側面図である。図２Ａに示されるランプ２００ａは、図３Ａにおいて９０度回転されている。簡単にするために、接地２６０は、図３Ａに示されていない。この側面図から、フィラメント２４８のコイル状部分２５２の長さ３０４が、決定される。分割平面２７４が、第１のピン２０８または第２のピン２１０（図２Ａに示される）のいずれかの上側部分２１２と下側部分２１６との間でｚ方向３６０に延びている。フィラメント２４８の垂直距離３０８が、分割平面２７４からコイル状部分２５２の開始点までの距離を測定することによって決定される。第２の偏差角３１２が、第１の偏差角２６８と同様の方法で決定される。具体的には、第２の偏差角３１２は、中心線２２８と、中心点２８０および第２の偏差点３１４を通る第２の偏差線３１３との間の角度である。第２の偏差点３１４は、図３Ａにおけるランプ２００ａの側面図で見たときの、第２のコイルボックス３７０（すなわち、図３Ｂに示される第２のウィンドウ）の幾何学的中心である。第２のコイルボックス３７０は、図３Ａの側面図で見たときの、フィラメント２４８の二次元輪郭である。外径２６４は、第２のコイルボックス３７０の幅に等しい。フィラメント２４８のコイル状部分２５２の長さ３０４は、第２のコイルボックス３７０の長さに等しい。上述したように、中心点２８０は、中心線２２８と分割平面２７４との交点である。第２の偏差点３１４は、図３Ａに示すランプ２００ａの位置から見たときのフィラメント２４８の二次元表現の幾何学的中心である。上述したように、第２の偏差角３１２は、図２Ａに示す位置からランプ２００ａを９０度回転させたときに測定される。
【0043】
［００５５］ 第１の曲率半径３２７および第２の曲率半径３２９が、ほぼ同じ方法で決定され得る。例えば、第１の曲率半径３２７は、画像処理装置１０００がランプ２００ａの画像を取り込んだ後に決定されてもよい。第１の曲率半径３２７は、ドーム２２０の勾配、傾斜、またはエッジを決定するための画像処理技法を使用することによって計算されてもよい。本開示の範囲から逸脱することなく、本明細書に開示される寸法を決定するために他の画像処理技法が使用され得ることを、理解されたい。
【0044】
［００５６］ 間隔距離３３１が、図３Ａに示されるように、ドーム２２０の底点３３３から支持部材２２４の表面上の点まで垂直に測定される。支持部材２２４の表面は、ｚ方向３６０に対してほぼ直角をなす。間隔距離３３１は、第２の曲率半径３２９に近接して示されている。しかしながら、間隔距離３３１は、第１の曲率半径３２７に近接して取得されてもよい。したがって、間隔距離３３１の大きさは、間隔距離３３１が第１の曲率半径３２７に近接して決定されるか、または第２の曲率半径３２９に近接して決定されるかで、同じ値であってもよい。しかしながら、間隔距離３３１が、第１の曲率半径３２７に近接して決定されるか、または第２の曲率半径３２９に近接して決定されるかに応じて、他の例では、間隔距離３３１の大きさは、異なる値を有してもよい。
【0045】
［００５７］ 図３Ｂは、図３Ａに示すランプ２００ａまたはランプ２００ｂの側面図寸法を測定する方法の説明図である。上記の議論は、ランプ２００ａに向けられているが、ここで開示されている方法は、ランプ２００ｂにも適用可能である。議論したように、フィラメント２４８が、ランプ２００ａ、２００ｂのドーム２２０内に配置されている。中心点２８０が、中心線２２８と分割平面２７４との交点によって決定される。例えば、図３Ａに示されるような側面図からフィラメント２４８のコイル状部分２５２の縁部を設定することによって、第２の偏差点３１４を決定することができる。フィラメント２４８は、少なくとも、ｚ方向３６０に延びる２つの水平縁部３５６と、ｙ方向３５０に延びる２つの垂直縁部３５５とを有する。２つの水平縁部３５６は、ｙ方向３５０に延びる２つの垂直縁部３５５と交差するまで、ｚ方向３６０に延びている。第１の水平縁部３５６と２つの平行な垂直縁部３５５との交点は、第１の点３５１および第２の点３５２で交差する。第３の点３５３および第４の点３５４は、第２の水平縁部３５６と２つの平行な垂直縁部３５５との交点である。第２のコイルボックス３７０が、４つの点３５１～３５４を２組の平行な線で接続することによって作成される。コイル中心線３５８が、中心線２２８とほぼ平行にｙ方向３５０に延びている。第２の偏差点３１４は、第１の点３５１から第３の点３５３まで延びる対角線（図示せず）と、第２の点３５２から第４の点３５４まで延びる別の対角線との交点である。したがって、第２の偏差点３１４は、第２のコイルボックス３７０の垂直方向および水平方向の中心点である。コイル中心線３５８は、第２の偏差点３１４を通る。
【0046】
［００５８］ 図４Ａは、図２Ａ～図２Ｂおよび図３Ａに示すランプ２００ａまたはランプ２００ｂで利用されるフィラメント２４８の一部である。フィラメント２４８の一部は、ピッチ勾配４２４を有する。中心軸４０１に平行に延びる仮想線（図示せず）を考慮すると、ピッチは、仮想線と交差するワイヤ４０８上の第１の点４０３から仮想線と交差するワイヤ４０８上の第２の点４０５までの中心間距離として定義される。ワイヤ４０８上の第２の点４０５は、ワイヤ４０８の螺旋円周に沿って第１の点４０３から約３６０度である。ピッチは、２つの隣接する点、例えば、第１の点４０３と第２の点４０５との間の差として定義される。ピッチ勾配４３０は、第１の点４０３と第２の点４０５との間の差、および第２の点４０５と第３の点４０７との間の差などの、３つ以上の点の間の差として定義される。第３の点４０７は、ワイヤ４０８の円周に沿って、第２の点４０５から約３６０度離れており、第１の点４０３から約７２０度離れている。追加の点が、ワイヤ４０８上の隣接する点から約３６０度離れていることが理解される。
【0047】
［００５９］ 第１のピッチ４１４は、第１の点４０３と第２の点４０５との間の距離として定義される。第２のピッチ４１６は、第２の点４０５と第３の点４０７との間の距離として定義される。第３のピッチ４１８は、第３の点４０７と第４の点４０９との間の距離として定義される。第４のピッチ４２０および第５のピッチ４２２は、隣接する点４０９～４１３間の距離として同様に定義される。図示の例では、第１のピッチ４１４は、第２のピッチ４１６より短く、第２のピッチ４１６は、第３のピッチ４１８より短い。したがって、フィラメント２４８のピッチ勾配４２４は、第１の点４０３から第６の点４１３へ延びる方向に増加する。したがって、ピッチ勾配４２４は、各隣接ピッチがピッチ勾配４２４の方向に増加するように、第１のピッチ４１４から第５のピッチ４２２まで増加する。ピッチ勾配４２４は、線形または非線形であり得る。
【0048】
［００６０］ 一例では、フィラメント２４８のピッチ勾配４２４は、重力方向に増加している。第１の点４０３は、ドーム２２０の先端部２２２よりも基部２０４に近い。逆に、第６の点４１３は、基部２０４よりもドーム２２０の先端部２２２に近い。フィラメント２４８がランプ２００ｂ内に配置されているとき、第１のピッチ４１４は、基部２０４に隣接し、第２のピッチ４１６より短く、第２のピッチ４１６は、第３のピッチ４１８より短い。第３のピッチ４１８は、第１のピッチ４１４よりも先端部２２２に近い。有利には、ランプ２００ａまたはランプ２００ｂが熱モジュール１４５内に設置されているとき、ピッチ勾配４２４は、フィラメント２４８がコイル状部分２５２の完全性を維持することを可能にする。いくつかの例では、コイル状部分２５２の完全性は、従来のランプ（図示せず）よりも約２０パーセント長い間、維持される。
【0049】
［００６１］ 数千回のプロセス実行後、ワイヤ４０８の加熱および冷却は、フィラメント２４８のコイル状部分２５２を変形させ得る。従来のランプでは、重力は、ワイヤ４０８の材料が加熱および冷却されるときに、この変形を悪化させ、より大きな変形を生じさせる。温度変化とワイヤの質量に対する重力によって生じる従来のフィラメントのこの繰り返しの変形は、従来のランプの故障につながる。有利には、ピッチ勾配４２４は、フィラメント２４８の加熱および冷却によって生じる繰り返し応力によって引き起こされる変形を妨げ、したがって、フィラメント２４８が完全性を維持することを可能にする。一例では、約２０，０００～約２５，０００回のプロセス実行後、第１のピッチ４１４、第２のピッチ４１６、および第３のピッチ４１８は、ほぼ等しくなり得る。別の例では、第１のピッチ４１４から第５のピッチ４２２までは、約２０，０００～約２５，０００プロセス実行後にほぼ等しくなる。
【0050】
［００６２］ 先に説明したように、ピッチ勾配４２４は、重力方向に増加している。したがって、フィラメント２４８が処理チャンバ１００ａのランプ２００ａ内に取り付けられている場合、第１の点４０３は、第２の点４０５よりもドーム２２０の先端部２２２に近い。したがって、第１のピッチ４１４は、第２のピッチ４１６または後続のピッチ４１８～４２２よりも、基板支持体１０４または基板１０８に近い。逆に、フィラメント２４８が処理チャンバ１００ｂのランプ２００ｂ内に取り付けられている場合、第１の点４０３は、第２の点４０５よりもドーム２２０の先端部２２２からより遠く離れている。したがって、第１のピッチ４１４は、第２のピッチ４１６および後続のピッチ４１８～４２２よりも、基板１０８からより遠く離れている。
【0051】
［００６３］ 一例では、ピッチ４１４～４２４のうちの最後のピッチと最初のピッチとの間の比は、約２．０から約２．３の間、例えば、約２．０５から約２．２５の間である。別の例では、比は、約２．１から約２．１５の間である。点４０３が基部２０４に最も近く、点４１３が先端部２２２に最も近い、さらに別の例では、ピッチ４１４は、約１．０ｍｍから約１．５ｍｍの間であり、ピッチ４２２は、約２．０ｍｍから約３．４５ｍｍの間である。一例では、ピッチ４１６は、ピッチ４１４の長さの約１．１２５倍である。したがって、ピッチ勾配４２４は、ゼロ（０）よりも大きい。一例では、ピッチ勾配４２４は、０．００５ｍｍ＜｛（Ｐｎ＋２－Ｐｎ＋１）－（Ｐｎ＋１－Ｐｎ）｝＞０．１２５ｍｍと定義され、ここで、ｎは、所与の点であり、ｎ＋１は、直ぐ隣の点であり、点ｎは、基部２０４により近い。別の例では、ピッチ勾配４２４は、０．００５ｍｍ＜｛（Ｐｎ＋２－Ｐｎ＋１）－（Ｐｎ＋１－Ｐｎ）｝＞０．１６６ｍｍと定義される。例えば、Ｐｎは、ピッチ４１４であり得、Ｐｎ＋１は、ピッチ４１６であり、Ｐｎ＋２は、ピッチ４１８であり、初期点は、点４０３であり得る。
【0052】
［００６４］ さらに別の例では、ピッチ勾配４２４は、所与のピッチＰｎ＝Ｐ０＋（ｎ＊ｓ）となるように増分することができ、ここで、ｎは、所与のピッチの組における所与のピッチの番号であり、Ｐ０は、ピッチの配列中の最初のピッチであり、ｓは、ステップである。ステップ（ｓ）は、約０．００５ｍｍから約０．１６６ｍｍの間、例えば、約０．０１５６ｍｍ、０．０２０ｍｍ、または約０．１２５ｍｍであり得る。さらに別の例では、ステップ（ｓ）は、初期ピッチＰ０に等しくすることができる。この例では、Ｐ０は、ピッチ４１４と等しい距離とすることができ、Ｐｎは、ピッチ４１４～４２２のうちの任意の１つとすることができる。上述のように、ピッチ勾配４２４は、重力方向に増加している。有利には、ピッチ勾配４２４を有するフィラメント２４８は、従来のフィラメントよりも２０パーセント長い動作期間を有することができ、ランプ２００ａおよびランプ２００ｂの耐用年数を延ばすことができる。
【0053】
［００６５］ 図４Ｂは、図２Ａ～図２Ｂおよび図３Ａの例示的なランプ２００ａまたは２００ｂで利用されるフィラメント２４８の一部である。フィラメント２４８の一部分４０４のみが、ここでは示されている。部分４０４のいかなる議論も、必ずフィラメント２４８を含み、フィラメント２４８のいかなる議論も、部分４０４に帰することができることを理解されたい。図示されているように、フィラメントの部分４０４は、中心軸４０１からほぼ一定の半径方向距離４１２に位置決めされたワイヤ４０８で作られている。しかしながら、本明細書の開示から逸脱することなく、一定の半径方向距離４１２は増加または減少してもよいことが理解される。中心軸４０１は、ほぼ螺旋状であり、部分４０４が、フィラメント２４８の長さ３０４に延びているとき、フィラメント２４８のコイル状部分２５２は、ワイヤ４０８によって形成される（図２Ａ、図２Ｂ、および図３Ａに示される）。図４Ｂのフィラメント２４８は、ほぼゼロ（０）のピッチ勾配４２４を有する。したがって、ピッチ４１４～４２２（図４Ｂには図示せず）は、ほぼ等しく、したがって、ほぼ勾配はない。
【0054】
［００６６］ 図５～図７に描かれたフィラメントは、付加製造または押出成形などの他の適切な技術によって製造することができる。一例では、フィラメントは、三次元印刷技術（すなわち、３Ｄ印刷）によって製造される。後述する断面は、フィラメント５００～７００の粒界間の剪断を低減する。フィラメント５００～７００の粒界間の剪断を減少させることは、フィラメント５００～７００の寿命を延ばし、それによって、ランプ２００の耐用年数を増加させる。ランプ２００ａまたはランプ２００ｂの耐用年数を増加させることによって、日常のメンテナンスおよび処理チャンバ１００のダウンタイムも減少し、したがって、処理チャンバ１００の全体的な処理量を増加させる。本明細書で議論される菱形、六角形、および五角形などの多角形のいくつかの性質の議論は、網羅的ではないことを理解されたい。これらの幾何学的形状の議論は、明示的に表現されていない性質を排除するものではない。
【0055】
［００６７］ 図５は、図４Ａに示される中心軸４０１と交わる平面に沿った、例示的なフィラメント５００の断面図である。フィラメント５００は、中心軸４０１から半径方向距離４１２に位置決めされたワイヤ５０８で作られている。ワイヤ５０８の断面５０４は、ほぼダイヤモンド形状または菱形であり、断面５０４は、４つの辺５０６を有する。フィラメント５００の断面５０４は、長さが等しい２つの連続する辺５０６を有する。断面５０４の向かい側の辺５０６は、ほぼ平行であり得る。角度５１２が、２つの連続する辺５０６の間に形成されている。角度５１２の向かい側の別の角度は、ほぼ等しい大きさである。角度５１２は、約９０度であってもよい。ただし、角度５１２は、９０度に限定されず、各内角の和が３６０度であれば、任意の大きさであってよい。
【0056】
［００６８］ 図６は、図４Ａに示される中心軸４０１と交わる平面に沿った、別の例示的なフィラメント６００の断面図である。フィラメント６００は、中心軸４０１から一定の半径方向距離４１２に位置決めされたワイヤ６０８で作られている。ワイヤ６０８の断面６０４は、ほぼ六角形であり、断面６０４は、６つの辺６０６を有する。角度６１２が、２つの隣接する辺６０６の間に形成されている。一例では、角度は１２０度であるが、角度６１２は、この角度に限定されない。角度６１２は、全ての内角の和が７２０度であるような任意の角度とすることができる。
【0057】
［００６９］ 図７は、図４Ａに示される中心軸４０１と交わる平面に沿った、例示的なフィラメント７００の断面図である。フィラメント７００は、中心軸４０１から一定の半径方向距離４１２のワイヤ７０８で作られている。ワイヤ７０８の断面７０４は、ほぼ五角形であり、断面７０４は、５つの辺７０６を有する。角度７１２が、２つの隣接する辺７０６の間に形成されている。角度は、約１０８度であってもよい。角度７１２は、この角度に限定されず、各内角の和が５４０度であれば、任意の大きさであってよい。
【0058】
［００７０］ 図８は、図２Ａ、図２Ｂ、および図３Ａに描かれたランプ２００を固定するのに適した例示的なランプ保持構造体８００の図面である。ランプ保持構造体８００は、支持構造体８３２と、フレーム８０４と、基部８０８とを有する。ランプ２００の基部２０４が、ランプ保持構造体８００のフレーム８０４と基部８０８との間に保持され得る。フレーム８０４および基部８０８は、本明細書に開示される装置および方法に従って、特定の寸法の測定中にランプ２００を固定するように構成されている。フレーム８０４および基部８０８は、ほぼ等しい寸法であり、基部８０８の両端に上面８２０を有する。凹部面８１６が、基部８０８の中央に配置されている。傾斜面８２４が、上面８２０と凹部面８１６との間に配置されている。凹部面８１６は、上面８２０とほぼ平行である。壁８２８は、上面８２０に対してほぼ直角をなす。傾斜面８２４は、壁８２８によって上面８２０に接続されている。上面８２０に平行な方向に測定される、基部８０８の幅８２６は、基部８０８の高さ８２２よりも大きい。図示のように、高さ８２２は、上面８２０とほぼ直角の方向に、支持構造体８３２と上面８２０との間で測定される。
【0059】
［００７１］ 貫通孔８１２が、基部８０８の上面８２０を貫通して延びており、フレーム８０４の上面８２０内の別の貫通孔８１２と整列している。いくつかの例では、ランプ保持構造体８００は、支持構造体８３２で補強されている。支持構造体８３２内の貫通孔８４０は、フレーム８０４内の貫通孔８１２、および基部８０８内の貫通孔８１２とほぼ整列している。締め具８３６が、支持構造体８３２内の貫通孔８４０を通過している。締め具８３６は、フレーム８０４内の貫通孔８１２および基部８０８内の貫通孔８１２を通過している。ランプ保持構造体８００の一構成では、締め具８３６は、フレーム８０４内の貫通孔８１２および基部８０８内の貫通孔８１２を通過するだけである。締め具８３６は、フレーム８０４を基部８０８に固定するように構成されている。支持構造体８３２が利用されているとき、締め具８３６は、フレーム８０４、基部８０８、および支持構造体８３２を互いに固定する。締め具８３６は、ボルト、ピン、溶接されたロッド、ねじ、または任意の他の適切な接続具であってよい。ランプ保持構造体８００は、ランプに対するクランプ力をバランスさせるために、貫通孔８１２に類似した１つより多い貫通孔と、１つより多い締め具とを有してもよいことが、理解されるべきである。ランプ保持構造体８００は、プラスチック、アルミニウムおよび鋼などの金属、石英、または木材のうちのいずれか１つまたはそれらの組み合わせから作製され得る。
【0060】
［００７２］ 図９は、図８のランプ保持構造体８００を支持するために使用される例示的な支持構造体８３２の上面図である。支持構造体８３２は、連結部材９０８によって接続された第１の脚部９０４および第２の脚部９０６を有する。第１の脚部９０４および第２の脚部９０６は、互いにほぼ平行である。連結部材９０８は、第１の脚部９０４および第２の脚部９０６に対してほぼ直角である。
【0061】
［００７３］ 第１の脚部９０４および第２の脚部９０６の各々は、幅９２４よりも長い長さ９２２を有する。連結部材９０８は、第１の脚部９０４と第２の脚部９０６との間の距離９２８を広げている。連結部材９０８は、厚さ９３０を有する。支持構造体８３２の全幅９２６は、第１の脚部９０４の幅、第２の脚部９０６の幅９２４、および第１の脚部９０４と第２の脚部９０６との間の距離９２８に等しい。
【0062】
［００７４］ 図１０は、図２Ａ～図２Ｂおよび図３Ａに示されるランプ２００の寸法を測定するために使用される画像処理装置１０００の図面である。ランプ保持構造体８００は、カメラおよびレンズの視野内にランプを配置するために使用することができる。カメラおよびレンズの視野内にランプを配置することにより、ランプの画像を撮影することができる。コントローラ１０１６が、カメラおよびレンズによって撮影された画像からランプの実際の測定値を処理する。
【0063】
［００７５］ 画像処理装置１０００は、コントローラ１０１６に連結されたカメラ１００１を含む。コントローラ１０１６は、互いに連結されたプロセッサ１００４、メモリ１００８、およびサポート回路１０１２を含む。コントローラ１０１６は、カメラ１００１に搭載されていてもよく、または代替例では、コントローラ１０１６は、カメラ１００１から画像を受信するリモートデバイス（図示せず）に搭載されていてもよい。カメラ１００１は、本明細書に開示されたランプ２００の画像を取り込むように構成された少なくとも１つのレンズ１００２を有する。
【0064】
［００７６］ 画像処理装置１０００は、その制御を容易にするために、画像処理装置１０００の様々な構成要素に連結された、電源、クロック、キャッシュ、入出力（Ｉ／Ｏ）回路などの入力制御ユニットを含む。任意選択で、画像処理装置１０００は、表示ユニット（図示せず）を含むことができる。プロセッサ１００４は、プログラマブルロジックコントローラ（ＰＬＣ）などの、各々が産業環境で使用することができる、任意の形態の汎用マイクロプロセッサ、または汎用中央処理装置（ＣＰＵ）のうちの１つとすることができる。
【0065】
［００７７］ メモリ１００８は、非一時的であり、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、リードオンリーメモリ（ＲＯＭ）、またはローカルもしくはリモートの任意の他の形式のデジタルストレージなどの容易に利用可能なメモリのうちの１つ以上であってもよい。メモリ１００８は、プロセッサ１００４によって実行されると、画像処理装置１０００の動作を促進する命令を格納している。メモリ１００８内の命令は、本開示の方法を実施するプログラムなどのプログラム製品の形態である。プログラム製品のプログラムコードは、多数の異なるプログラミング言語のいずれか１つに従うことができる。例示的なコンピュータ可読記憶媒体は、（ｉ）情報が永続的に記憶される書き込み不可の記憶媒体（例えば、ＣＤ－ＲＯＭドライブによって読み取り可能なＣＤ－ＲＯＭディスク、フラッシュメモリ、ＲＯＭチップ、または任意のタイプのソリッドステート不揮発性半導体メモリなどの、コンピュータ内の読み出し専用メモリデバイス）、および（ｉｉ）変更可能な情報が記憶される書き込み可能な記憶媒体（例えば、ディスケットドライブ内のフロッピーディスク、またはハードディスクドライブ、または任意のタイプのソリッドステートランダムアクセス半導体メモリ）を含むが、これらに限定されない。そのようなコンピュータ可読記憶媒体は、本明細書に記載の方法の機能を指示するコンピュータ可読命令を格納している場合、本開示の実施例である。
【0066】
［００７８］一例では、本開示は、コンピュータシステム（図示せず）と共に使用するためのコンピュータ可読記憶媒体（例えば、１００８）上に記憶されたプログラム製品として実施することができる。プログラム製品のプログラムは、本明細書に記載の本開示の機能を規定している。プログラム／命令は、レンズ１００２によって取得された（図２～図３に示されている）ランプ２００の画像の縁部（エッジ）を検出するように構成された画像処理アルゴリズムを含む。これらのアルゴリズムは、Ｃａｎｎｙエッジ検出、ガウシアンフィルタ、勾配の大きさフィルタ（Ｇｒａｄｉｅｎｔ ｍａｇｎｉｔｕｄｅ ｆｉｌｔｅｒ）、ハフ変換、ヒステリシス閾値処理、ロバーツ（Ｒｏｂｅｒｔｓ）演算子、ソーベル（Ｓｏｂｅｌ）演算子、プレヴィット（Ｐｒｅｗｉｔｔ）演算子、ラプラシアン演算子、一次および二次導関数、ならびに、明示的に上述されていないものを含むこれらの技術のうちの任意の１つまたは組み合わせを使用する他のエッジ検出技術を含むが、これらに限定されない。
【0067】
［００７９］図１１は、図１０の画像処理デバイスを利用してランプを検査するための例示的な方法１１００のフローチャートである。方法１１００は、メモリ１００８に記憶されることができる。ブロック１１０４では、ランプ２００の画像が取得される。ランプ２００の実際の測定値と理想の測定値との間の偏差が、ブロック１１０８において決定される。実際の測定値は、上述した画像処理装置１０００によって取得することができる。別の例では、画像処理装置１０００は、測定装置（図示せず）から実際の測定値を受け取ることができる。理想の測定値は、メモリ１００８に記憶されて、コントローラ１０１６のメモリ１００８にインストールされたプログラムによって実際の測定値と比較されることができる。測定値は、以下のパラメータ：フィラメントの外径２６４、フィラメント２４８の第１の偏差角２６８、ランプ２００の第１の長さ２７２、ランプ２００の第２の長さ２７６、フィラメント２４８の長さ３０４、フィラメント２４８の垂直距離３０８、および第２の偏差角３１２を含むが、これらに限定されない。上記で開示されたものを含む追加の測定値が確認され得ることが、理解される。図２Ｃおよび図３Ｂに図示されるように、方法１１００は、上記のパラメータを決定するために、ウィンドウ、すなわち、第１のコイルボックス３２０または第２のコイルボックス３７０を生成する。方法１１００は、図２Ｃおよび図３Ｂにおける各特徴を実現することを可能にするためのプロセスを含むことが、さらに理解される。ブロック１１１２において、偏差が閾値を上回っている場合、ランプ２００は不合格にされる。言い換えると、上述のパラメータのうちのいずれか１つが、許容閾値を超えていることによって理想の測定値に適合していない場合、ランプ２００は、不合格として画像処理装置１０００によってフラグ付けまたは識別され得る。パラメータは、ランプ２００の測定された（すなわち、決定された）寸法または大きさである。ブロック１１１６において、ランプ２００の偏差が閾値以下である場合、ランプ２００は、適合としてフラグ付けされ、適合ランプのリストに含めることができる。ブロック１１２０において、別のランプ２００の画像が取得され、ステップ１１２４において、方法１１００は、ブロック１１０８に戻る。新しい画像が取得されなくなるか、または方法１１００がユーザによって中断されるまで、ブロック１１０８～１１２４が繰り返される。不合格にされていない（すなわち、適合している）ランプ２００は、不合格にされた（すなわち、適合していない）ランプ２００から分離され得る。
【0068】
［００８０］ 三次元印刷されたランプフィラメントのランプ寸法を測定および試験するための方法および装置が、上記で開示された。上記は、特定の例に向けられているが、その基本的な範囲から逸脱することなく、他の例が考案され得、その範囲は、以下の特許請求の範囲によって決定される。
【図1A】
【図1B】
【図2A】
【図2B】
【図2C】
【図3A】
【図3B】
【図4A】
【図4B】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【手続補正書】
【提出日】2024-06-03
【手続補正1】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
ガスで充填されたバルブと、
前記バルブ内に配置された、複数のコイルを含むフィラメントと、
を備え、
前記複数のコイルは、
第１の点を有する第１のコイル、
第２の点を有する第２のコイル、及び
第３の点を有する第３のコイル、を含み、
前記第１、第２、及び第３の点はピッチ勾配を形成し、
前記ピッチ勾配は、
前記第２の点と前記第１の点の間の第１のピッチ、
前記第３の点と前記第２の点の間の第２のピッチであって、前記第２の点は前記第１の点から３６０度離れており、前記第３の点は前記第２の点から３６０度離れている、第２のピッチ、及び
前記第１のピッチの大きさと前記第２のピッチの大きさの差であって、前記第２のピッチは前記第１のピッチより大きい、差
により定義される、ランプ。
前記バルブ内に配置された、複数のコイルを含むフィラメントと、
を備え、
前記複数のコイルは、
第１の点を有する第１のコイル、
第２の点を有する第２のコイル、及び
第３の点を有する第３のコイル、を含み、
前記第１、第２、及び第３の点はピッチ勾配を形成し、
前記ピッチ勾配は、
前記第２の点と前記第１の点の間の第１のピッチ、
前記第３の点と前記第２の点の間の第２のピッチであって、前記第２の点は前記第１の点から３６０度離れており、前記第３の点は前記第２の点から３６０度離れている、第２のピッチ、及び
前記第１のピッチの大きさと前記第２のピッチの大きさの差であって、前記第２のピッチは前記第１のピッチより大きい、差
により定義される、ランプ。
【請求項2】
前記複数のコイルは、第４の点を有する第４のコイルをさらに含み、第３のピッチは前記第３の点と前記第４の点の間であり、前記第４の点は前記第３の点から３６０度離れている、請求項１に記載のランプ。
【請求項3】
前記複数のコイルは、第５の点を有する第５のコイルをさらに備え、第４のピッチは前記第４の点と前記第５の点の間であり、前記第５の点は前記第４の点から３６０度離れている、請求項２に記載のランプ。
【請求項4】
前記ピッチ勾配は、前記第２のピッチの大きさと前記第３のピッチの大きさの差、及び前記第３のピッチの大きさと前記第４のピッチの大きさの差によりさらに定義され、前記第３のピッチは前記第２のピッチより大きく、前記第４のピッチは前記第３のピッチより大きい、請求項３に記載のランプ。
【請求項5】
前記フィラメントに電気的に連結された電極と、
前記電極に電気的に連結され、且つ前記フィラメントにエネルギーを送るように構成された一対のピンと、
をさらに備える、請求項１に記載のランプ。
前記電極に電気的に連結され、且つ前記フィラメントにエネルギーを送るように構成された一対のピンと、
をさらに備える、請求項１に記載のランプ。
【請求項6】
前記ランプは、約１２０ｍｍと約１３５ｍｍの間の長さを有する、請求項１に記載のランプ。
【請求項7】
前記ピッチ勾配は、前記第１のピッチ、前記第２のピッチ、及び前記第３のピッチを含む連続ピッチ間で、約２パーセントから約６パーセント増加する、請求項２に記載のランプ。
【請求項8】
前記ピッチ勾配は連続的なピッチで増加し、前記連続的なピッチはＰｎ＝Ｐ０＋（ｎ＊ｓ）により定義され、ここで、ｎは所与のピッチの組における所与のピッチの番号であり、Ｐ０は最初のピッチであり、ｓはステップであり、前記ステップは正の実数である、請求項１に記載のランプ。
【請求項9】
前記フィラメントは多角形形状の断面を有する、請求項１に記載のランプ。
【請求項10】
処理チャンバであって、
前記処理チャンバの内部空間に熱を供給するように構成されたランプを備え、
前記ランプは、
ガスで充填されたバルブと、
前記バルブ内に配置された、複数のコイルを含むフィラメントと、
を備え、
前記複数のコイルは、
第１の点を有する第１のコイル、
第２の点を有する第２のコイル、及び
第３の点を有する第３のコイル、を含み、
前記第１、第２、及び第３の点はピッチ勾配を形成し、
前記ピッチ勾配は、
前記第２の点と前記第１の点の間の第１のピッチ、
前記第３の点と前記第２の点の間の第２のピッチであって、前記第２の点は前記第１の点から３６０度離れており、前記第３の点は前記第２の点から３６０度離れている、第２のピッチ、及び
前記第１のピッチの大きさと前記第２のピッチの大きさの差であって、前記第２のピッチは前記第１のピッチより大きい、差
により定義される、処理チャンバ。
前記処理チャンバの内部空間に熱を供給するように構成されたランプを備え、
前記ランプは、
ガスで充填されたバルブと、
前記バルブ内に配置された、複数のコイルを含むフィラメントと、
を備え、
前記複数のコイルは、
第１の点を有する第１のコイル、
第２の点を有する第２のコイル、及び
第３の点を有する第３のコイル、を含み、
前記第１、第２、及び第３の点はピッチ勾配を形成し、
前記ピッチ勾配は、
前記第２の点と前記第１の点の間の第１のピッチ、
前記第３の点と前記第２の点の間の第２のピッチであって、前記第２の点は前記第１の点から３６０度離れており、前記第３の点は前記第２の点から３６０度離れている、第２のピッチ、及び
前記第１のピッチの大きさと前記第２のピッチの大きさの差であって、前記第２のピッチは前記第１のピッチより大きい、差
により定義される、処理チャンバ。
【請求項11】
前記複数のコイルは、第４の点を有する第４のコイルをさらに含み、第３のピッチは前記第３の点と前記第４の点の間であり、前記第４の点は前記第３の点から３６０度離れている、請求項１０に記載の処理チャンバ。
【請求項12】
前記複数のコイルは、第５の点を有する第５のコイルをさらに備え、第４のピッチは前記第４の点と前記第５の点の間であり、前記第５の点は前記第４の点から３６０度離れている、請求項１１に記載の処理チャンバ。
【請求項13】
前記ピッチ勾配は、前記第２のピッチの大きさと前記第３のピッチの大きさの差、及び前記第３のピッチの大きさと前記第４のピッチの大きさの差によりさらに定義され、前記第３のピッチは前記第２のピッチより大きく、前記第４のピッチは前記第３のピッチより大きい、請求項１２に記載の処理チャンバ。
【請求項14】
前記フィラメントに電気的に連結された電極と、
前記電極に電気的に連結され、且つ前記フィラメントにエネルギーを送るように構成された一対のピンと、
をさらに備える、請求項１０に記載の処理チャンバ。
前記電極に電気的に連結され、且つ前記フィラメントにエネルギーを送るように構成された一対のピンと、
をさらに備える、請求項１０に記載の処理チャンバ。
【請求項15】
前記ピッチ勾配は、前記第１のピッチ、前記第２のピッチ、及び前記第３のピッチを含む連続ピッチ間で、約２パーセントから約６パーセント増加する、請求項１１に記載の処理チャンバ。
【請求項16】
ランプのためのフィラメントを製造する方法であって、
ガスで充填されたバルブ内に配置するためのフィラメントであって、複数のコイルを含み、多角形形状の断面を有するフィラメントを形成すること
を含む、方法。
ガスで充填されたバルブ内に配置するためのフィラメントであって、複数のコイルを含み、多角形形状の断面を有するフィラメントを形成すること
を含む、方法。
【請求項17】
前記断面は、菱形形状、六角形形状、又は五角形形状である、請求項１６に記載の方法。
【請求項18】
前記複数のコイルは、
第１の点を有する第１のコイル、
第２の点を有する第２のコイル、及び
第３の点を有する第３のコイル、を含み、
前記第１、第２、及び第３の点はピッチ勾配を形成し、
前記ピッチ勾配は、
前記第２の点と前記第１の点の間の第１のピッチ、
前記第３の点と前記第２の点の間の第２のピッチであって、前記第２の点は前記第１の点から３６０度離れており、前記第３の点は前記第２の点から３６０度離れている、第２のピッチ、及び
前記第１のピッチの大きさと前記第２のピッチの大きさの差であって、前記第２のピッチは前記第１のピッチより大きい、差
により定義される、請求項１６に記載の方法。
第１の点を有する第１のコイル、
第２の点を有する第２のコイル、及び
第３の点を有する第３のコイル、を含み、
前記第１、第２、及び第３の点はピッチ勾配を形成し、
前記ピッチ勾配は、
前記第２の点と前記第１の点の間の第１のピッチ、
前記第３の点と前記第２の点の間の第２のピッチであって、前記第２の点は前記第１の点から３６０度離れており、前記第３の点は前記第２の点から３６０度離れている、第２のピッチ、及び
前記第１のピッチの大きさと前記第２のピッチの大きさの差であって、前記第２のピッチは前記第１のピッチより大きい、差
により定義される、請求項１６に記載の方法。
【請求項19】
前記フィラメントを形成することは、付加製造、押出成形、又は三次元印刷のうちの１つ又は複数を含む、請求項１６に記載の方法。
【請求項20】
ガスで充填されたバルブと、
前記バルブ内に配置された、複数のコイルを含むフィラメントと、
を備え、
前記複数のコイルは、
第１の点を有する第１のコイル、
第２の点を有する第２のコイル、
第３の点を有する第３のコイル、及び
第４の点を有する第４のコイル、
を含み、
前記第１、第２、第３、及び第４の点はピッチ勾配を形成し、
前記ピッチ勾配は、
前記第２の点と前記第１の点の間の第１のピッチ、
前記第３の点と前記第２の点の間の第２のピッチであって、前記第２のピッチは前記第１のピッチより大きく、前記第２の点は前記第１の点から３６０度離れており、前記第３の点は前記第２の点から３６０度離れている、第２のピッチ、
前記第３の点と前記第４の点の間の第３のピッチであって、前記第４の点は前記第３の点から３６０度離れている、第３のピッチ、及び
前記第２のピッチの大きさと前記第３のピッチの大きさの差であって、前記第３のピッチは前記第２のピッチより大きい、差
により定義される、ランプ。
前記バルブ内に配置された、複数のコイルを含むフィラメントと、
を備え、
前記複数のコイルは、
第１の点を有する第１のコイル、
第２の点を有する第２のコイル、
第３の点を有する第３のコイル、及び
第４の点を有する第４のコイル、
を含み、
前記第１、第２、第３、及び第４の点はピッチ勾配を形成し、
前記ピッチ勾配は、
前記第２の点と前記第１の点の間の第１のピッチ、
前記第３の点と前記第２の点の間の第２のピッチであって、前記第２のピッチは前記第１のピッチより大きく、前記第２の点は前記第１の点から３６０度離れており、前記第３の点は前記第２の点から３６０度離れている、第２のピッチ、
前記第３の点と前記第４の点の間の第３のピッチであって、前記第４の点は前記第３の点から３６０度離れている、第３のピッチ、及び
前記第２のピッチの大きさと前記第３のピッチの大きさの差であって、前記第３のピッチは前記第２のピッチより大きい、差
により定義される、ランプ。
【請求項21】
前記複数のコイルは、第５の点を有する第５のコイルをさらに含み、第４のピッチは前記第４の点と前記第５の点の間であり、前記第５の点は前記第４の点から３６０度離れている、請求項２０に記載のランプ。
【請求項22】
前記ピッチ勾配は、前記第３のピッチの大きさと前記第４のピッチの大きさの差によりさらに定義され、前記第４のピッチは前記第３のピッチより大きい、請求項２１に記載のランプ。
【請求項23】
ガスで充填されたバルブと、
前記バルブ内に配置された、複数のコイルを含むフィラメントと、
を備え、
前記複数のコイルは、
第１の点を有する第１のコイル、
第２の点を有する第２のコイル、及び
第３の点を有する第３のコイル、
を含み、
前記第１、第２、及び第３の点はピッチ勾配を形成し、
前記ピッチ勾配は、
前記第２の点と前記第１の点の間の第１のピッチ、及び
前記第３の点と前記第２の点の間の第２のピッチであって、前記第２のピッチは前記第１のピッチより大きく、前記第２の点は前記第１の点から３６０度離れており、前記第３の点は前記第２の点から３６０度離れている、第２のピッチ、
により定義され、
前記ピッチ勾配は、前記第１のピッチと前記第２のピッチを含む連続ピッチ間で、約２パーセントから約６パーセント増加する、ランプ。
前記バルブ内に配置された、複数のコイルを含むフィラメントと、
を備え、
前記複数のコイルは、
第１の点を有する第１のコイル、
第２の点を有する第２のコイル、及び
第３の点を有する第３のコイル、
を含み、
前記第１、第２、及び第３の点はピッチ勾配を形成し、
前記ピッチ勾配は、
前記第２の点と前記第１の点の間の第１のピッチ、及び
前記第３の点と前記第２の点の間の第２のピッチであって、前記第２のピッチは前記第１のピッチより大きく、前記第２の点は前記第１の点から３６０度離れており、前記第３の点は前記第２の点から３６０度離れている、第２のピッチ、
により定義され、
前記ピッチ勾配は、前記第１のピッチと前記第２のピッチを含む連続ピッチ間で、約２パーセントから約６パーセント増加する、ランプ。
【請求項24】
前記複数のコイルは、第４の点を有する第４のコイルをさらに含み、前記第３の点と前記第４の点の間の第３のピッチは、前記第２のピッチより大きく、前記第４の点は前記第３の点から３６０度離れている、請求項２３に記載のランプ。
【請求項25】
前記連続ピッチは前記第３のピッチをさらに含む、請求項２４に記載のランプ。
【請求項26】
ガスで充填されたバルブと、
前記バルブ内に配置された、複数のコイルを含むフィラメントと、
を備え、
前記複数のコイルは、
第１の点を有する第１のコイル、
第２の点を有する第２のコイル、及び
第３の点を有する第３のコイル、
を含み、
前記第１、第２、及び第３の点はピッチ勾配を形成し、
前記ピッチ勾配は、
前記第２の点と前記第１の点の間の第１のピッチ、及び
前記第３の点と前記第２の点の間の第２のピッチであって、前記第２のピッチは前記第１のピッチより大きく、前記第２の点は前記第１の点から３６０度離れており、前記第３の点は前記第２の点から３６０度離れている、第２のピッチ、
により定義され、
前記ピッチ勾配は連続的なピッチで増加し、前記連続的なピッチはＰｎ＝Ｐ０＋（ｎ＊ｓ）により定義され、ここで、ｎは所与のピッチの組における所与のピッチの番号であり、Ｐ０は最初のピッチであり、ｓはステップであり、前記ステップは正の実数である、
ランプ。
前記バルブ内に配置された、複数のコイルを含むフィラメントと、
を備え、
前記複数のコイルは、
第１の点を有する第１のコイル、
第２の点を有する第２のコイル、及び
第３の点を有する第３のコイル、
を含み、
前記第１、第２、及び第３の点はピッチ勾配を形成し、
前記ピッチ勾配は、
前記第２の点と前記第１の点の間の第１のピッチ、及び
前記第３の点と前記第２の点の間の第２のピッチであって、前記第２のピッチは前記第１のピッチより大きく、前記第２の点は前記第１の点から３６０度離れており、前記第３の点は前記第２の点から３６０度離れている、第２のピッチ、
により定義され、
前記ピッチ勾配は連続的なピッチで増加し、前記連続的なピッチはＰｎ＝Ｐ０＋（ｎ＊ｓ）により定義され、ここで、ｎは所与のピッチの組における所与のピッチの番号であり、Ｐ０は最初のピッチであり、ｓはステップであり、前記ステップは正の実数である、
ランプ。
【請求項27】
処理チャンバであって、
前記処理チャンバの内部空間に熱を供給するように構成されたランプを備え、
前記ランプは、
ガスで充填されたバルブと、
前記バルブ内に配置された、複数のコイルを含むフィラメントと、
を備え、
前記複数のコイルは、
第１の点を有する第１のコイル、
第２の点を有する第２のコイル、
第３の点を有する第３のコイル、及び
第４の点を有する第４のコイル、
を含み、
前記第１、第２、第３、及び第４の点はピッチ勾配を形成し、
前記ピッチ勾配は、
前記第２の点と前記第１の点の間の第１のピッチ、
前記第３の点と前記第２の点の間の第２のピッチであって、前記第２のピッチは前記第１のピッチより大きく、前記第２の点は前記第１の点から３６０度離れており、前記第３の点は前記第２の点から３６０度離れている、第２のピッチ、
前記第３の点と前記第４の点の間の第３のピッチであって、前記第４の点は前記第３の点から３６０度離れている、第３のピッチ、及び
前記第２のピッチの大きさと前記第３のピッチの大きさの差であって、前記第３のピッチは前記第２のピッチより大きい、差
により定義される、処理チャンバ。
前記処理チャンバの内部空間に熱を供給するように構成されたランプを備え、
前記ランプは、
ガスで充填されたバルブと、
前記バルブ内に配置された、複数のコイルを含むフィラメントと、
を備え、
前記複数のコイルは、
第１の点を有する第１のコイル、
第２の点を有する第２のコイル、
第３の点を有する第３のコイル、及び
第４の点を有する第４のコイル、
を含み、
前記第１、第２、第３、及び第４の点はピッチ勾配を形成し、
前記ピッチ勾配は、
前記第２の点と前記第１の点の間の第１のピッチ、
前記第３の点と前記第２の点の間の第２のピッチであって、前記第２のピッチは前記第１のピッチより大きく、前記第２の点は前記第１の点から３６０度離れており、前記第３の点は前記第２の点から３６０度離れている、第２のピッチ、
前記第３の点と前記第４の点の間の第３のピッチであって、前記第４の点は前記第３の点から３６０度離れている、第３のピッチ、及び
前記第２のピッチの大きさと前記第３のピッチの大きさの差であって、前記第３のピッチは前記第２のピッチより大きい、差
により定義される、処理チャンバ。
【請求項28】
前記複数のコイルは、第５の点を有する第５のコイルをさらに含み、第４のピッチは前記第４の点と前記第５の点の間であり、前記第５の点は前記第４の点から３６０度離れている、請求項２７に記載の処理チャンバ。
【請求項29】
前記ピッチ勾配は、前記第３のピッチの大きさと前記第４のピッチの大きさの差によりさらに定義され、前記第４のピッチは前記第３のピッチより大きい、請求項２８に記載の処理チャンバ。
【請求項30】
処理チャンバであって、
前記処理チャンバの内部空間に熱を供給するように構成されたランプを備え、
前記ランプは、
ガスで充填されたバルブと、
前記バルブ内に配置された、複数のコイルを含むフィラメントと、
を備え、
前記複数のコイルは、
第１の点を有する第１のコイル、
第２の点を有する第２のコイル、及び
第３の点を有する第３のコイル、
を含み、
前記第１、第２、及び第３の点はピッチ勾配を形成し、
前記ピッチ勾配は、
前記第２の点と前記第１の点の間の第１のピッチ、及び
前記第３の点と前記第２の点の間の第２のピッチであって、前記第２のピッチは前記第１のピッチより大きく、前記第２の点は前記第１の点から３６０度離れており、前記第３の点は前記第２の点から３６０度離れている、第２のピッチ、
により定義され、
前記ピッチ勾配は、前記第１のピッチと前記第２のピッチを含む連続ピッチ間で、約２パーセントから約６パーセント増加する、処理チャンバ。
前記処理チャンバの内部空間に熱を供給するように構成されたランプを備え、
前記ランプは、
ガスで充填されたバルブと、
前記バルブ内に配置された、複数のコイルを含むフィラメントと、
を備え、
前記複数のコイルは、
第１の点を有する第１のコイル、
第２の点を有する第２のコイル、及び
第３の点を有する第３のコイル、
を含み、
前記第１、第２、及び第３の点はピッチ勾配を形成し、
前記ピッチ勾配は、
前記第２の点と前記第１の点の間の第１のピッチ、及び
前記第３の点と前記第２の点の間の第２のピッチであって、前記第２のピッチは前記第１のピッチより大きく、前記第２の点は前記第１の点から３６０度離れており、前記第３の点は前記第２の点から３６０度離れている、第２のピッチ、
により定義され、
前記ピッチ勾配は、前記第１のピッチと前記第２のピッチを含む連続ピッチ間で、約２パーセントから約６パーセント増加する、処理チャンバ。
【請求項31】
前記複数のコイルは、第４の点を有する第４のコイルをさらに含み、前記第３の点と前記第４の点の間の第３のピッチは、前記第２のピッチより大きく、前記第４の点は前記第３の点から３６０度離れている、請求項３０に記載の処理チャンバ。
【請求項32】
前記連続ピッチは前記第３のピッチをさらに含む、請求項３１に記載の処理チャンバ。
【請求項33】
プロセッサによって実行されるとランプ検査プロセスを実行させる命令を記憶するように構成された非一時的コンピュータ可読媒体であって、前記ランプ検査プロセスは、
カメラを用いて、前記カメラの視野内に配置されたランプの画像を取り込むことと、
前記画像を用いて、基板処理装置内の基板を加熱するように構成された前記ランプのフィラメントの１つ又は複数の寸法の実際の測定値を決定することであって、幅および高さを有するウィンドウを生成することを含む、実際の測定値を決定することと、
前記実際の測定値と前記１つ又は複数の寸法の目標測定値との間の差に基づいて偏差を生成することと、
前記偏差を第１の閾値と比較することと、
前記偏差が前記第１の閾値の外側にある場合、前記ランプを不合格にすることと、
を含む、非一時的コンピュータ可読媒体。
カメラを用いて、前記カメラの視野内に配置されたランプの画像を取り込むことと、
前記画像を用いて、基板処理装置内の基板を加熱するように構成された前記ランプのフィラメントの１つ又は複数の寸法の実際の測定値を決定することであって、幅および高さを有するウィンドウを生成することを含む、実際の測定値を決定することと、
前記実際の測定値と前記１つ又は複数の寸法の目標測定値との間の差に基づいて偏差を生成することと、
前記偏差を第１の閾値と比較することと、
前記偏差が前記第１の閾値の外側にある場合、前記ランプを不合格にすることと、
を含む、非一時的コンピュータ可読媒体。
【請求項34】
前記ランプは、基部、ドーム、フィラメント、第１のピン、及び第２のピンを含み、前記実際の測定値を決定することは、
前記ランプの第１のピンデータムと第２のピンデータムとの間にデータム中心軸を設定することであって、前記第１のピンデータムは前記第１のピンの中心を通って延び、前記第２のピンデータムは前記第２のピンの中心を通って延びる、データム中心軸を設定することと、
前記第１のピン及び前記第２のピンを垂直に貫通して、前記データム中心軸に直角な線を延ばして、横方向データム軸を規定することと、
をさらに含む、請求項３３に記載の非一時的コンピュータ可読媒体。
前記ランプの第１のピンデータムと第２のピンデータムとの間にデータム中心軸を設定することであって、前記第１のピンデータムは前記第１のピンの中心を通って延び、前記第２のピンデータムは前記第２のピンの中心を通って延びる、データム中心軸を設定することと、
前記第１のピン及び前記第２のピンを垂直に貫通して、前記データム中心軸に直角な線を延ばして、横方向データム軸を規定することと、
をさらに含む、請求項３３に記載の非一時的コンピュータ可読媒体。
【請求項35】
前記実際の測定値を決定することは、
第１の偏差角を決定することであって、前記第１の偏差角は第１の偏差線と前記データム中心軸の間に定義され、前記第１の偏差線はコイル形状を有するフィラメントの中心を通って且つ前記横方向データム軸が前記データム中心軸と交差する点を通って延びる、第１の偏差角を決定することと、
前記ランプを９０度回転することと、
前記ランプの回転に対応する第２の偏差角を決定することであって、前記第２の偏差角は第２の偏差線と前記データム中心軸の間に定義され、前記第２の偏差線は前記フィラメントの中心を通って且つ前記横方向データム軸が前記データム中心軸と交差する点を通って延びる、第２の偏差角を決定することと、
をさらに含む、請求項３４に記載の非一時的コンピュータ可読媒体。
第１の偏差角を決定することであって、前記第１の偏差角は第１の偏差線と前記データム中心軸の間に定義され、前記第１の偏差線はコイル形状を有するフィラメントの中心を通って且つ前記横方向データム軸が前記データム中心軸と交差する点を通って延びる、第１の偏差角を決定することと、
前記ランプを９０度回転することと、
前記ランプの回転に対応する第２の偏差角を決定することであって、前記第２の偏差角は第２の偏差線と前記データム中心軸の間に定義され、前記第２の偏差線は前記フィラメントの中心を通って且つ前記横方向データム軸が前記データム中心軸と交差する点を通って延びる、第２の偏差角を決定することと、
をさらに含む、請求項３４に記載の非一時的コンピュータ可読媒体。
【請求項36】
カメラの視野内にランプを配置することであって、前記ランプは、基部、ドーム、フィラメント、第１のピン、及び第２のピンを含む、ランプを配置することと、
前記カメラを用いて前記ランプの画像を取り込むことと、
前記画像を用いて、前記ランプの１つ又は複数の寸法の実際の測定値を決定することであって、前記ランプは、基板処理装置内の基板を加熱するように構成されており、
幅および高さを有するウィンドウを生成することと、
前記ランプの第１のピンデータムと第２のピンデータムの間にデータム中心軸を設定することであって、前記第１のピンデータムは前記第１のピンの中心を通って延び、前記第２のピンデータムは前記第２のピンの中心を通って延びる、データム中心軸を設定することと、
前記第１のピン及び前記第２のピンを垂直に貫通して、前記データム中心軸に直角な線を延ばして、横方向データム軸を規定することと、
を含む、前記ランプの１つ又は複数の寸法の実際の測定値を決定することと、
前記実際の測定値と前記１つ又は複数の寸法の目標測定値との間の差に基づいて偏差を生成することと、
前記偏差を第１の閾値と比較することと、
前記偏差が前記第１の閾値の外側にある場合、前記ランプを不合格にすることと、
を含む、ランプを検査するための方法。
前記カメラを用いて前記ランプの画像を取り込むことと、
前記画像を用いて、前記ランプの１つ又は複数の寸法の実際の測定値を決定することであって、前記ランプは、基板処理装置内の基板を加熱するように構成されており、
幅および高さを有するウィンドウを生成することと、
前記ランプの第１のピンデータムと第２のピンデータムの間にデータム中心軸を設定することであって、前記第１のピンデータムは前記第１のピンの中心を通って延び、前記第２のピンデータムは前記第２のピンの中心を通って延びる、データム中心軸を設定することと、
前記第１のピン及び前記第２のピンを垂直に貫通して、前記データム中心軸に直角な線を延ばして、横方向データム軸を規定することと、
を含む、前記ランプの１つ又は複数の寸法の実際の測定値を決定することと、
前記実際の測定値と前記１つ又は複数の寸法の目標測定値との間の差に基づいて偏差を生成することと、
前記偏差を第１の閾値と比較することと、
前記偏差が前記第１の閾値の外側にある場合、前記ランプを不合格にすることと、
を含む、ランプを検査するための方法。
【請求項37】
前記実際の測定値を決定することは、
第１の偏差角を決定することであって、前記第１の偏差角は第１の偏差線と前記データム中心軸の間に定義され、前記第１の偏差線はコイル形状を有するフィラメントの中心を通って且つ前記横方向データム軸が前記データム中心軸と交差する点を通って延びる、第１の偏差角を決定することと、
をさらに含む、請求項３６に記載の方法。
第１の偏差角を決定することであって、前記第１の偏差角は第１の偏差線と前記データム中心軸の間に定義され、前記第１の偏差線はコイル形状を有するフィラメントの中心を通って且つ前記横方向データム軸が前記データム中心軸と交差する点を通って延びる、第１の偏差角を決定することと、
をさらに含む、請求項３６に記載の方法。
【請求項38】
前記ウィンドウを生成することは、第１のコイル端点、第２のコイル端点、第１のコイル縁点、および第２のコイル縁点を含む複数のコイル点を設定することを含む、請求項３７に記載の方法。
【請求項39】
前記実際の測定値を決定することは、
前記ランプを９０度回転することと、
第２の偏差角を決定することであって、前記第２の偏差角は第２の偏差線と前記データム中心軸の間に定義され、前記第２の偏差線は前記フィラメントの中心を通って且つ前記横方向データム軸が前記データム中心軸と交差する点を通って延びる、第２の偏差角を決定することと、
をさらに含む、請求項３７に記載の方法。
前記ランプを９０度回転することと、
第２の偏差角を決定することであって、前記第２の偏差角は第２の偏差線と前記データム中心軸の間に定義され、前記第２の偏差線は前記フィラメントの中心を通って且つ前記横方向データム軸が前記データム中心軸と交差する点を通って延びる、第２の偏差角を決定することと、
をさらに含む、請求項３７に記載の方法。
【外国語明細書】