特開 2024-110451 加工装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024110451

(43)【公開日】2024-08-16

(54)【発明の名称】加工装置

(51)【国際特許分類】

   G05B 19/409 20060101AFI20240808BHJP

   B23Q 17/00 20060101ALI20240808BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20240808BHJP

【ＦＩ】

G05B19/409 C

B23Q17/00 E

H01L21/78 F

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023014979

(22)【出願日】2023-02-03

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100075384

【弁理士】

【氏名又は名称】松本 昂

(74)【代理人】

【識別番号】100172281

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 知広

(74)【代理人】

【識別番号】100206553

【弁理士】

【氏名又は名称】笠原 崇廣

(74)【代理人】

【識別番号】100189773

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 英哲

(74)【代理人】

【識別番号】100184055

【弁理士】

【氏名又は名称】岡野 貴之

(74)【代理人】

【識別番号】100185959

【弁理士】

【氏名又は名称】今藤 敏和

(72)【発明者】

【氏名】三村 純也

【テーマコード（参考）】

3C029

3C269

5F063

【Ｆターム（参考）】

3C029FF03

3C269AB01

3C269BB11

3C269CC01

3C269JJ09

3C269JJ20

3C269MN47

3C269QC01

3C269QD02

3C269QE01

3C269QE22

3C269QE26

5F063AA41

5F063DD01

5F063DD99

5F063FF52

(57)【要約】

【課題】加工装置に記憶された情報を加工装置から取り出す際に、加工装置と記憶媒体等との物理的な接続をなくすことで、加工装置のウィルス感染を防止する。
【解決手段】被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルで保持された被加工物を加工する加工ユニットと、タッチパネルと、メモリ及びプロセッサを有し、チャックテーブル、加工ユニット及びタッチパネルを制御するコントローラと、を備え、コントローラは、メモリに記憶された情報を分割して分割された各々の内容を１つの二次元コードに変換することにより、情報を複数の二次元コードに変換する変換部と、複数の二次元コードを一括的にタッチパネルに表示させる、又は、複数の二次元コードの各々の表示及び非表示を順番にタッチパネルで行わせる表示指示部と、を含む加工装置を提供する。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被加工物を加工する加工装置であって、
該被加工物を保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルで保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、
タッチパネルと、
メモリ及びプロセッサを有し、該チャックテーブル、該加工ユニット及び該タッチパネルを制御するコントローラと、を備え、
該コントローラは、
該メモリに記憶された情報を分割して分割された各々の内容を１つの二次元コードに変換することにより、該情報を複数の二次元コードに変換する変換部と、
該複数の二次元コードを一括的に該タッチパネルに表示させる、又は、該複数の二次元コードの各々の表示及び非表示を順番に該タッチパネルで行わせる表示指示部と、を含むことを特徴とする加工装置。

【請求項2】

該メモリに記憶される該情報は、該被加工物の加工条件、該加工装置を使用する上での手順書、及び、該被加工物の加工履歴を含むことを特徴とする請求項１記載の加工装置。

【請求項3】

該表示指示部は、該複数の二次元コードの各々の表示及び非表示を順番に該タッチパネルで行わせ、且つ、該複数の二次元コードを該タッチパネルに所定の周期で繰り返し表示させることを特徴とする請求項１又は２記載の加工装置。

【請求項4】

該表示指示部は、該複数の二次元コードの各々の表示及び非表示を順番に該タッチパネルで行わせ、且つ、該複数の二次元コードを該タッチパネルに所定の周期で繰り返し表示させる際に、該複数の二次元コードのうち少なくとも１つの二次元コードの該タッチパネルにおける表示位置を該所定の周期毎に変更することを特徴とする請求項１又は２記載の加工装置。

【請求項5】

該表示指示部は、該複数の二次元コードの各々の表示及び非表示を順番に該タッチパネルで行わせ、且つ、該複数の二次元コードを該タッチパネルに所定の周期で繰り返し表示させる際に、該複数の二次元コードのうち少なくとも１つの二次元コードの表示順番を該所定の周期毎に変更することを特徴とする請求項１又は２記載の加工装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、被加工物を加工する加工装置に関する。

【背景技術】

【0002】

ＩＣ（Integrated Circuit）等のデバイスを有するデバイスチップは、携帯電話、ＰＣ（Personal Computer）等の電子機器に広く利用されている。デバイスチップを製造する際には、まず、半導体ウェーハの表面側に複数のデバイスを形成する。これら複数のデバイスは、表面側に設定された複数の分割予定ラインに沿って区画された矩形状の複数の領域の各々に形成される。

【0003】

次いで、半導体ウェーハの裏面側を研削装置で所定の厚さとなるまで研削して薄化した後、薄化後の半導体ウェーハを切削装置で各分割予定ラインに沿って切削する。これにより、半導体ウェーハは、複数のデバイスチップに分割される。

【0004】

研削装置、切削装置等の加工装置では、半導体ウェーハの種類に応じて加工条件が調整されるので、加工装置には、複数の加工条件が登録される。また、加工装置には、半導体ウェーハを加工する際の加工装置の稼働状態が、ログデータ（即ち、加工履歴）として記憶され、加工品質の確認や加工時に不具合が発生した場合の調査には、このログデータが解析される。

【0005】

例えば、加工時に不具合が発生した場合には、ＵＳＢ（Universal Serial Bus）メモリ等の記憶媒体を利用して加工装置に記憶されたログデータをＰＣにコピーした上で、不具合の発生要因の解析が行われる。しかし、記憶媒体を利用してログデータをＰＣにコピーする際には、加工装置が記憶媒体を介してウィルスに感染するリスクがある。

【0006】

また、加工装置とＰＣとをＬＡＮ（Local Area Network）ケーブルで接続して、ログデータを加工装置からＰＣにコピーすることも考えられるが、加工装置がＰＣを介してウィルスに感染するリスクがあるし、更には、ＬＡＮケーブルの接続作業に手間がかかる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】特開２００９－１１７７７６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

本発明は係る問題点に鑑みてなされたものであり、加工装置に記憶された情報を加工装置から取り出す際に、加工装置と記憶媒体等との物理的な接続をなくすことで、加工装置のウィルス感染を防止することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明の一態様によれば、被加工物を加工する加工装置であって、該被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルで保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、タッチパネルと、メモリ及びプロセッサを有し、該チャックテーブル、該加工ユニット及び該タッチパネルを制御するコントローラと、を備え、該コントローラは、該メモリに記憶された情報を分割して分割された各々の内容を１つの二次元コードに変換することにより、該情報を複数の二次元コードに変換する変換部と、該複数の二次元コードを一括的に該タッチパネルに表示させる、又は、該複数の二次元コードの各々の表示及び非表示を順番に該タッチパネルで行わせる表示指示部と、を含む加工装置が提供される。

【0010】

好ましくは、該メモリに記憶される該情報は、該被加工物の加工条件、該加工装置を使用する上での手順書、及び、該被加工物の加工履歴を含む。

【0011】

また、好ましくは、該表示指示部は、該複数の二次元コードの各々の表示及び非表示を順番に該タッチパネルで行わせ、且つ、該複数の二次元コードを該タッチパネルに所定の周期で繰り返し表示させる。

【0012】

また、好ましくは、該表示指示部は、該複数の二次元コードの各々の表示及び非表示を順番に該タッチパネルで行わせ、且つ、該複数の二次元コードを該タッチパネルに所定の周期で繰り返し表示させる際に、該複数の二次元コードのうち少なくとも１つの二次元コードの該タッチパネルにおける表示位置を該所定の周期毎に変更する。

【0013】

また、好ましくは、該表示指示部は、該複数の二次元コードの各々の表示及び非表示を順番に該タッチパネルで行わせ、且つ、該複数の二次元コードを該タッチパネルに所定の周期で繰り返し表示させる際に、該複数の二次元コードのうち少なくとも１つの二次元コードの表示順番を該所定の周期毎に変更する。

【発明の効果】

【0014】

本発明の一態様に係る加工装置では、加工装置に記憶された情報を複数の二次元コードに変換した上で、加工装置のタッチパネルにおいて複数の二次元コードを一括的に又は順番に表示させるので、加工装置と記憶媒体等とを物理的に接続しなくても、カメラ等の読取装置を用いて加工装置に記憶された情報を取り出すことができる。

【0015】

それゆえ、加工装置と記憶媒体等との物理的な接続に起因する加工装置のウィルス感染を防止できる。更には、加工装置と記憶媒体等との物理的な接続作業を省略できる分、作業者の手間を軽減できる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】切削装置の斜視図である。

【図2】切削装置に記憶された所定の情報と複数の二次元コードとの対応関係の一例を示す図である。

【図3】タッチパネルの画面の一例を示す図である。

【図4】図４（Ａ）は第１の二次元コードが表示された画面の例であり、図４（Ｂ）は第２の二次元コードが表示された画面の例であり、図４（Ｃ）は第３の二次元コードが表示された画面の例であり、図４（Ｄ）は第４の二次元コードが表示された画面の例である。

【図5】複数の二次元コードの表示及び非表示を１つずつ順番に行い、且つ、これを所定の周期で繰り返す表示手法を示す図である。

【図6】複数の二次元コードの表示及び非表示を１つずつ順番に行い、且つ、これを所定の周期で繰り返す際に少なくとも１つの二次元コードの表示位置を変更する表示手法を示す図である。

【図7】複数の二次元コードの表示及び非表示を１つずつ順番に行い、且つ、これを所定の周期で繰り返す際に少なくとも１つの二次元コードの表示順番を変更する表示手法を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

（第１の実施形態）添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、切削装置（加工装置）２の斜視図である。図１に示すＸ軸方向及びＹ軸方向は、水平面上において互いに垂直な方向である。また、Ｚ軸方向は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に垂直な方向である。

【0018】

Ｘ軸方向に平行な所定の一方向は、加工送り方向に対応し、Ｙ軸方向に平行な所定の一方向は、割り出し送り方向に対応する。また、Ｚ軸方向に平行な所定の一方向（即ち、下方向）は、切り込み送り方向に対応する。

【0019】

切削装置２は、各構成要素が搭載される基台４を備える。基台４の上部には、基台４の上面と、側面の一部と、を覆う外装カバー部材６が設けられている。基台４の角部には、カセットテーブル８が設置されている。

【0020】

カセットテーブル８の上面には、複数の被加工物１１を収容したカセット（不図示）が載せられる。なお、図１では、カセットに収容される１つの被加工物１１を例示的に示す。被加工物１１は、例えば、シリコン単結晶基板を有する。シリコン単結晶基板の表面側には、複数の分割予定ラインが格子状に設けられている。

【0021】

複数の分割予定ラインで規定される各々矩形状の小領域には、ＩＣ等のデバイスが形成されている。但し、被加工物１１を構成する基板の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。同様に、デバイスの種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はない。被加工物１１には、デバイスが形成されていなくてもよい。

【0022】

被加工物１１の裏面側には、被加工物１１よりも大径のダイシングテープ１３の中央部が貼り付けられており、ダイシングテープ１３の外周部には、金属製で環状のフレーム１５の一面が貼り付けられている。被加工物１１は、ダイシングテープ１３を介してフレーム１５で支持されたフレームユニット１７の形態でカセットに収容されている。

【0023】

カセットテーブル８の下部には、昇降機構（不図示）が設けられている。昇降機構は、被加工物１１を外装カバー部材６の内部へ適切に搬出入できる様に、カセットの高さ位置を調節する。被加工物１１は、カセットから外装カバー部材６の内部へ搬送された後、円板状のチャックテーブル１０で吸引保持される。

【0024】

チャックテーブル１０は、金属で形成された円板状の枠体を有する。枠体の上部には、円板状の凹部が形成されており、この凹部には多孔質セラミックスで形成された円板状の多孔質板が固定されている。枠体の上面と、多孔質板の上面とは、略面一であり、ＸＹ平面に略平行な保持面１０ａを構成している。

【0025】

枠体には、所定の流路（不図示）が形成されており、所定の流路には、真空ポンプ等の吸引源（不図示）が接続されている。吸引源で発生させた負圧は、所定の流路を介して、多孔質板の上面へ伝達される。

【0026】

チャックテーブル１０の下部には、モータ等を含む回転機構（不図示）が設けられている。チャックテーブル１０は、回転機構（不図示）により、Ｚ軸方向に略平行な回転軸の周りに回転可能である。また、チャックテーブル１０及び回転機構は、ボールねじ式のＸ軸方向移動機構（不図示）によりＸ軸方向に沿って移動可能である。

【0027】

チャックテーブル１０で吸引保持された被加工物１１は、外装カバー部材６の内側に配置された切削ユニット（即ち、加工ユニット）１２で切削（即ち、加工）される。切削ユニット１２は、長手部がＹ軸方向に沿って配置された四角筒状のスピンドルハウジング１２ａを有する。

【0028】

スピンドルハウジング１２ａには、長手部がＹ軸方向に沿って配置された円柱状のスピンドル１２ｂが回転可能に配置されている。スピンドル１２ｂの基端部の近傍には、モータ等の駆動源（不図示）が設けられている。また、スピンドル１２ｂの先端部（即ち、一端部）には、切削ブレード（加工工具）１２ｃが装着されている。

【0029】

駆動源を動作させると、切削ブレード１２ｃが高速で回転する。切削ブレード１２ｃは、例えば、ハブ型であり、アルミニウム合金で形成された円板状のハブ基台と、ハブ基台の一面の外周部に設けられた円環状の切り刃と、を有するが、ハブ基台を有さずに切り刃のみで構成されるハブレス型（ワッシャ型）であってもよい。

【0030】

スピンドルハウジング１２ａには、切削ユニット１２をＹ軸方向及びＺ軸方向に沿って移動させる切削ユニット移動機構（不図示）が接続されている。また、スピンドルハウジング１２ａには、アライメント、カーフチェック等で用いられる顕微鏡カメラユニット（不図示）が設けられている。

【0031】

顕微鏡カメラユニットは、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）等の発光素子を有する光源と、対物レンズ及び結像レンズと、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）イメージセンサ、ＣＭＯＳ（Complementary Metal-Oxide-Semiconductor）イメージセンサ等の固体撮像素子と、を有する。

【0032】

Ｘ軸方向においてカセットテーブル８に隣接し、且つ、外装カバー部材６の前面６ａの後方側には、切削後の被加工物１１を洗浄するためのスピンナ洗浄装置（不図示）が設けられている。切削後の被加工物１１は、スピンナ洗浄装置で洗浄及び乾燥された後、カセットへ搬入される。

【0033】

外装カバー部材６の前面６ａには、ユーザーインターフェースとなるタッチパネル１４が設けられている。タッチパネル１４は、表示装置として機能し、複数のテンプレート、顕微鏡カメラユニットで得た画像、後述する二次元コード等を表示する。また、タッチパネル１４は、作業者が、指、タッチペン等で情報を入力するための入力装置としても機能する。

【0034】

切削装置２には、カセットテーブル８の昇降機構、チャックテーブル１０の吸引源、回転機構及びＸ軸方向移動機構、切削ユニット１２、切削ユニット移動機構、顕微鏡カメラユニット、タッチパネル１４等を制御するためのコントローラ（制御ユニット）１６が設けられている。

【0035】

コントローラ１６は、例えば、コンピュータによって構成されており、各々ハードウェアとしての、ＣＰＵ（Central Processing Unit）に代表されるプロセッサ（処理装置）１６ａと、メモリ（記憶装置）１６ｂと、を含む。

【0036】

メモリ１６ｂは、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）、ＳＲＡＭ（Static Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）等の主記憶装置と、フラッシュメモリ、ハードディスクドライブ、ソリッドステートドライブ等の補助記憶装置と、を含む。

【0037】

補助記憶装置には、所定のプログラムを含むソフトウェアが記憶されている。このソフトウェアに従いプロセッサ１６ａ等を動作させることによって、コントローラ１６の機能が実現される。

【0038】

また、補助記憶装置には、被加工物１１の切削条件及び洗浄条件（即ち、被加工物１１の加工条件）、切削装置２を使用する上での手順書、被加工物１１の搬送履歴、切削履歴及び洗浄履歴（即ち、被加工物１１の加工履歴）等の情報１８も記憶される。

【0039】

切削条件は、スピンドル１２ｂの回転数、切削ブレード１２ｃの砥粒の種類、及び、砥粒の平均粒径又は粒度、切削ブレード１２ｃのボンド材の種類、切削ブレード１２ｃの刃厚、切削ブレード１２ｃにおける砥粒の集中度、切削ブレード１２ｃの外径、切削ブレード１２ｃの先端形状、チャックテーブル１０の加工送り速度、インデックス量、切り込み送り量等を含む。

【0040】

洗浄条件は、スピンナテーブルの回転数、洗浄水の単位時間当たりの流量、洗浄水の種類、洗浄が行われた時間等を含む。

【0041】

手順書は、予め記録された文字情報等で構成されており、切削ブレード１２ｃの交換手順、チャックテーブル１０の交換手順、装置エラーの解除手順、切削条件の設定手順、その他補助機能の使用手順、メンテナンス手順等の手順の説明を含む。なお、手順書は、随時アップデートを行うことにより更新されてもよい。

【0042】

搬送履歴は、被加工物１１を特定するための個体識別符号（即ち、ＩＤ）や被加工物１１が格納されていたカセットのスロット番号、被加工物１１を搬送するアームや被加工物１１の位置合わせをそれぞれ行うガイドレール、ピン等の位置、被加工物１１を搬送するアームのバキューム圧力等を含む。

【0043】

切削履歴は、採用された切削条件、切削ブレード１２ｃのセットアップ作業を行った時間、スピンドル１２ｂに供給される電流値（即ち、スピンドル電流値）の時間変化、切削の開始時刻、終了時刻、チッピングの数、大小及びカーフの位置ずれ等の切削品質に関する測定結果等を含む。洗浄履歴は、複数の被加工物１１の洗浄において採用された洗浄条件、複数の被加工物１１の洗浄順序、洗浄の開始時刻、終了時刻等を含む。

【0044】

補助記憶装置には、プロセッサ１６ａで実行することにより変換部２０として機能する所定のプログラムが記憶されている。変換部２０は、例えば、オペレーティングシステム（ＯＳ：Operating System）を介して処理が実行される第１のアプリケーションソフトウェア（ＡＰ：Application Software）を含む。

【0045】

変換部２０は、所定の情報１８を複数の内容（例えば、図２に示す第１の内容１８ａ、第２の内容１８ｂ、第３の内容１８ｃ、及び、第４の内容１８ｄ）に分割する。変換部２０は、更に、分割された各々の内容を１つの二次元コードに変換することにより、所定の情報１８を複数の二次元コード２２に変換する。

【0046】

変換部２０は、所定の情報１８を、例えば、図２に示す第１の二次元コード２２ａ、第２の二次元コード２２ｂ、第３の二次元コード２２ｃ、及び、第４の二次元コード２２ｄに変換する。

【0047】

なお、変換部２０により作成される二次元コードとは、タッチパネル１４等の表示装置で表示された場合に縦方向及び横方向に情報を有するコードであり、表示装置においてコードの形態で表示されていないときには文字、数字、記号等の情報となり得る。

【0048】

図２は、切削装置２に記憶された所定の情報１８と複数の二次元コード２２との対応関係の一例を示す図である。各二次元コードは、例えば、ＱＲコード（登録商標）であるが、これに限定されず、データマトリックス（DataMatrix）、マキシコード（MaxiCode）、アズテックコード（Aztec Code）、ピーディーエフ４１７（PDF417）等の他の態様であってもよい。

【0049】

ここで、図１に戻る。補助記憶装置には、プロセッサ１６ａで実行することにより表示指示部２４として機能する所定のプログラムが記憶されている。本実施形態の表示指示部２４は、上述のオペレーティングシステムを介して処理が実行される第２のアプリケーションソフトウェアを含む。

【0050】

第２のアプリケーションソフトウェアは、例えば、タッチパネル１４の画面内に表示される１つのウィンドウのどこに二次元コード等を表示するのかを制御する。また、第２のアプリケーションソフトウェアは、画面に表示される上述の複数のテンプレートの作成、表示位置の制御等も行う。

【0051】

また、本実施形態の表示指示部２４は、上述のオペレーティングシステムの機能の一部を含む。つまり、表示指示部２４は、１以上のウィンドウをタッチパネル１４の画面内においてどのように表示するのかを制御する。

【0052】

タッチパネル１４を介して所定の情報１８に対応する複数の二次元コード２２を表示させる旨の要請２４ａがあった場合、表示指示部２４は、変換部２０に所定のコマンド２４ｂを送る。これにより、変換部２０は、メモリ１６ｂから所定の情報１８を読み出し、所定の情報１８を複数の二次元コード２２に変換する。

【0053】

その後、表示指示部２４は、変換部２０での処理結果（即ち、複数の二次元コード２２）をタッチパネル１４の所定の表示領域に所定の形式で表示させる様に、複数の二次元コード２２に対応する表示情報を含む画面情報２４ｃをタッチパネル１４に送る。

【0054】

この様にして、表示指示部２４は、タッチパネル１４に複数の二次元コード２２を表示させる。第１の実施形態においては、図３に示す様に、表示指示部２４は、複数の二次元コード２２を一括的にタッチパネル１４に表示させる。

【0055】

図３は、タッチパネル１４の画面の一例を示す図である。図３では、画面の縦方向の中央部且つ画面の左半分に、第１の二次元コード２２ａから第４の二次元コード２２ｄが同時に表示されている。

【0056】

例えば、図３の画面の右端に表示されている“Ｅｎｔｅｒ”のボタン２６ａを作業者が押すと、コントローラ１６が要請２４ａを受け取り、第１の二次元コード２２ａから第４の二次元コード２２ｄがタッチパネル１４に表示される。

【0057】

また、第１の二次元コード２２ａから第４の二次元コード２２ｄの表示は、ボタン２６ａの下側に表示されている“Ｅｘｉｔ”のボタン２６ｂを作業者が押すまで継続される。但し、図３に示すボタン２６ａ，２６ｂは、一例であり、画面に表示される他のボタンにより、二次元コードの表示開始及び表示終了を行ってもよい。

【0058】

図３に示す第１の二次元コード２２ａから第４の二次元コード２２ｄは、被加工物１１の加工履歴を示す情報１８を構成しているが、加工履歴に限定されず、被加工物１１の加工条件や切削装置２を使用する上での手順書であってもよい。

【0059】

作業者は、カメラ機能付きの携帯電話等の読取装置（不図示）を用いて、タッチパネル１４に表示されている第１の二次元コード２２ａから第４の二次元コード２２ｄを撮影する。これにより、切削装置２と記憶媒体等とを物理的に接続しなくても、切削装置２に記憶された情報１８を取り出すことができる。

【0060】

それゆえ、切削装置２と記憶媒体等との物理的な接続に起因する切削装置２のウィルス感染を防止できる。更には、切削装置２と記憶媒体等との物理的な接続作業を省略できる分、作業者の手間を軽減できる。また、第１の実施形態では、複数の二次元コード２２を読取装置で一度に読み取ることができるので、読み取りに要する作業時間を短縮できるという利点がある。

【0061】

ところで、無線通信により切削装置２とＰＣとを接続することも考えられるが、切削装置２が設置された環境次第では切削装置２とＰＣとの無線通信を適切に行えない場合があるし、そもそも切削装置２に無線通信の機能が備わっていない場合もある。

【0062】

これに対して、切削装置２では、コントローラ１６に所定のプログラムをインストールすれば、切削装置２がＰＣとの無線通信を行うことができない場合であっても、切削装置２に記憶された情報１８を取り出すことができる。

【0063】

（第２の実施形態）次に、図４を参照して第２の実施形態について説明する。第２の実施形態の表示指示部２４は、画面情報２４ｃを第１の実施形態から変更することで、複数の二次元コード２２の表示形式を変更する。

【0064】

第２の実施形態の表示指示部２４は、具体的には、第１の二次元コード２２ａから第４の二次元コード２２ｄの各々の表示及び非表示を１つずつ順番にタッチパネル１４で行わせる。係る点が、第１の実施形態と異なる。

【0065】

図４（Ａ）は、第１の二次元コード２２ａが表示された画面の例である。所定時間（例えば、１００ｍｓ）の経過後、表示指示部２４は、第１の二次元コード２２ａを非表示とし、第２の二次元コード２２ｂを表示させる。

【0066】

図４（Ｂ）は、第２の二次元コード２２ｂが表示された画面の例である。同様に、所定時間（例えば、１００ｍｓ）の経過後、表示指示部２４は、第２の二次元コード２２ｂを非表示とし、第３の二次元コード２２ｃを表示させる。

【0067】

図４（Ｃ）は、第３の二次元コード２２ｃが表示された画面の例である。同様に、所定時間（例えば、１００ｍｓ）の経過後、表示指示部２４は、第３の二次元コード２２ｃを非表示とし、第４の二次元コード２２ｄを表示させる。

【0068】

図４（Ｄ）は、第４の二次元コード２２ｄが表示された画面の例である。この様に、４００ｍｓ程度の短時間において、第１の二次元コード２２ａから第４の二次元コード２２ｄの１つずつの表示及び非表示が行われる。

【0069】

作業者が読取装置をタッチパネル１４にかざしておけば、各二次元コードが逐次的に読み取られるので、情報１８を取得できる。なお、図４（Ａ）から図４（Ｄ）では、各二次元コードの表示位置が異なるが、各二次元コードを所定の同じ位置に表示させてもよい。

【0070】

例えば、ＱＲコード（登録商標）の場合、１つの二次元コードで表示可能な情報量の上限は、約２．８ｋＢ（kilobyte）であるので、情報１８の量が多くなると、複数の二次元コード２２の数も多くなる。

【0071】

この場合、複数の二次元コード２２を一括的にタッチパネル１４で表示することが難しくなる。しかし、複数の二次元コード２２を１つずつ順番に表示させることで、情報量が多くなっても全ての情報を確実にタッチパネル１４で表示できる。

【0072】

なお、複数の二次元コード２２を１つずつ順番に表示させることに代えて、複数の二次元コード２２の一部を複数ずつ（即ち、２つ以上、且つ、分割総数未満の所定数ずつ）タッチパネル１４に表示させてもよい。

【0073】

（第３の実施形態）次に、図５を参照して第３の実施形態について説明する。第３の実施形態の表示指示部２４も、第１の二次元コード２２ａから第４の二次元コード２２ｄの各々の表示及び非表示を１つずつ順番にタッチパネル１４で行わせる。

【0074】

但し、第３の実施形態の表示指示部２４は、画面情報２４ｃを変更することで、第１の二次元コード２２ａから第４の二次元コード２２ｄ（即ち、複数の二次元コード２２）をタッチパネル１４に所定の周期で繰り返し表示させる。係る点が、第２の実施形態と異なる。

【0075】

図５は、複数の二次元コード２２の表示及び非表示を１つずつ順番に行い、且つ、これを所定の周期で繰り返す表示手法を示す図である。第３の実施形態の表示指示部２４は、まず、第１の二次元コード２２ａから第４の二次元コード２２ｄの１つずつの表示及び非表示の繰り返しを、第２の実施形態と同様に行う。

【0076】

但し、第３の実施形態の表示指示部２４は、更に、第４の二次元コード２２ｄ（即ち、最後の二次元コード）を非表示にすると第１の二次元コード２２ａ（即ち、最初の二次元コード）を所定の時間（例えば、１００ｍｓ）表示させる。

【0077】

この様にして、第３の実施形態の表示指示部２４は、作業者が“Ｅｘｉｔ”のボタン２６ｂを押すまで、第１の二次元コード２２ａから第４の二次元コード２２ｄの１つずつの表示及び非表示を繰り返す。

【0078】

この様に、複数の二次元コード２２を１つずつ繰り返し表示することにより、何らかの理由で１周期目では読み取ることができなかった二次元コードがあったとしても、２周期目以降の表示で読み取ることができるので、第２の実施形態に比べてより確実に複数の二次元コード２２を読み取ることができる。

【0079】

なお、第３の実施形態においても、複数の二次元コード２２を１つずつ順番に表示させることに代えて、複数の二次元コード２２を複数ずつ（即ち、２つ以上、且つ、分割総数未満の所定数ずつ）順番に表示させてもよい。

【0080】

（第４の実施形態）次に、図６を参照して第４の実施形態について説明する。第４の実施形態の表示指示部２４も、第１の二次元コード２２ａから第４の二次元コード２２ｄの各々の表示及び非表示を１つずつ順番にタッチパネル１４で行わせる。

【0081】

更に、第４の実施形態の表示指示部２４も、第１の二次元コード２２ａから第４の二次元コード２２ｄ（即ち、複数の二次元コード２２）をタッチパネル１４に所定の周期で繰り返し表示させる。

【0082】

但し、第４の実施形態の表示指示部２４は、画面情報２４ｃを変更することで、複数の二次元コード２２のうち少なくとも１つの二次元コードのタッチパネル１４における表示位置を所定の周期毎に変更する。係る点が、第３の実施形態と異なる。

【0083】

図６は、複数の二次元コード２２の表示及び非表示を１つずつ順番に行い、且つ、これを所定の周期で繰り返す際に少なくとも１つの二次元コードの表示位置を変更する表示手法を示す図である。

【0084】

図６では、第１の二次元コード２２ａから第４の二次元コード２２ｄの表示に要する所定の周期（例えば、４００ｍｓ（＝１００ｍｓ×４））の後、再度、第１の二次元コード２２ａが表示されるが、２周期目の第１の二次元コード２２ａは、１周期目に第４の二次元コード２２ｄが表示されていた位置に表示される。

【0085】

更に、図６では示されていないが、３周期目の第１の二次元コード２２ａは、１周期目に第３の二次元コード２２ｃが表示されていた位置に表示されてもよい。表示位置をどのように変化させるかは、種々の設定が可能である。

【0086】

第２の二次元コード２２ｂから第４の二次元コード２２ｄについては、２周期目以降の表示位置を変えてもよく、変えなくてもよい。表示指示部２４は、二次元コードの位置をランダムに変更してもよく、予め定められたパターンに従って変更してもよい。

【0087】

第４の実施形態では、室内灯や外光がタッチパネル１４に当たりその反射光により、１周期目の表示において少なくとも１つの二次元コードの撮影が適切に行われなかったとしても、当該少なくとも１つの二次元コードの表示位置を変更することにより、２周期目以降の表示で撮影の不備を解消できる。

【0088】

なお、第４の実施形態においても、複数の二次元コード２２を１つずつ順番に表示させることに代えて、複数の二次元コード２２を複数ずつ（即ち、２つ以上、且つ、分割総数未満の所定数ずつ）順番に表示させてもよい。

【0089】

（第５の実施形態）次に、図７を参照して第５の実施形態について説明する。第５の実施形態の表示指示部２４も、第１の二次元コード２２ａから第４の二次元コード２２ｄの各々の表示及び非表示を１つずつ順番にタッチパネル１４で行わせる。

【0090】

更に、第５の実施形態の表示指示部２４も、第１の二次元コード２２ａから第４の二次元コード２２ｄ（即ち、複数の二次元コード２２）をタッチパネル１４に所定の周期で繰り返し表示させる。

【0091】

但し、第５の実施形態の表示指示部２４は、画面情報２４ｃを変更することで、複数の二次元コード２２のうち少なくとも１つの二次元コードのタッチパネル１４における表示順番を所定の周期毎に変更する。なお、二次元コードの表示位置は、第２の実施形態（図４）に示す様に、二次元コードに応じて予め定められていてもよく、第４の実施形態（図６）と同様に変更されてもよい。

【0092】

図７は、複数の二次元コード２２の表示及び非表示を１つずつ順番に行い、且つ、これを所定の周期で繰り返す際に少なくとも１つの二次元コードの表示順番を変更する表示手法を示す図である。

【0093】

図７に示す例では、まず、所定の周期（例えば、４００ｍｓ（＝１００ｍｓ×４））の間、第１の二次元コード２２ａから第４の二次元コード２２ｄをこの順序で表示させる（１周期目）。

【0094】

その後、所定の周期の間、第１の二次元コード２２ａから第４の二次元コード２２ｄを、今度は、第２の二次元コード２２ｂ、第１の二次元コード２２ａ、第４の二次元コード２２ｄ、及び、第３の二次元コード２２ｃの順序で表示させる（２周期目）。

【0095】

更に、その後、所定の周期の間、第１の二次元コード２２ａから第４の二次元コード２２ｄを、今度は、第４の二次元コード２２ｄ、第２の二次元コード２２ｂ、第３の二次元コード２２ｃ、及び、第１の二次元コード２２ａの順序で表示させる（３周期目）。

【0096】

但し、表示順番をどのように変化させるかは、種々の設定が可能である。表示指示部２４は、二次元コードの順番をランダムに変更してもよく、予め定められたパターンに従って変更してもよい。

【0097】

第５の実施形態においては、瞬間的な反射光の入り込みや瞬間的なタッチパネル１４での表示の不備等に起因して１周期目の表示において少なくとも１つの二次元コードの撮影が適切に行われなかったとしても、当該少なくとも１つの二次元コードの表示順番を変更することにより、２周期目以降の表示で撮影の不備を解消できる。

【0098】

また、複数の二次元コード２２の各々が一定の周期で規則的に繰り返し表示される状況において、１つの二次元コードの表示周期と同じ周期で反射光の入り込みがあった場合や当該表示周期と同じ周期で瞬間的なタッチパネル１４での表示の不備が発生した場合にも、撮影の不備を解消できる。

【0099】

なお、第５の実施形態においても、複数の二次元コード２２を１つずつ順番に表示させることに代えて、複数の二次元コード２２を複数ずつ（即ち、２つ以上、且つ、分割総数未満の所定数ずつ）順番に表示させてもよい。

【0100】

その他、上述の実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。例えば、情報１８の分割数は４に限定されない。分割数は、２分割、３分割、又は、５分割以上であってもよい。

【0101】

また、変換部２０は、所定の情報１８を複数の二次元コード２２（例えば、図２に示す第１の二次元コード２２ａ、第２の二次元コード２２ｂ、第３の二次元コード２２ｃ、及び、第４の二次元コード２２ｄ）に変換した上で、これらが重ね合わされた１つの二次元コードを作成してもよい。

【0102】

この場合、例えば、第１の二次元コード２２ａの各セルは、第１の色と、第１の色とは異なる第５の色と、で構成され、第２の二次元コード２２ｂの各セルは、第１及び第５の色とは異なる第２の色と、第５の色と、で構成される。

【0103】

また、第３の二次元コード２２ｃの各セルは、第１、第２及び第５の色とは異なる第３の色と、第５の色と、で構成され、第４の二次元コード２２ｄの各セルは、第１、第２、第３及び第５の色とは異なる第４の色と、第５の色と、で構成される。なお、第１の二次元コード２２ａから第４の二次元コード２２ｄは、縦横の大きさが同じである。

【0104】

第１の二次元コード２２ａから第４の二次元コード２２ｄを重ね合わせる際には、同じ位置にあるセルの色を所定のアルゴリズムに従い加法混色又は減法混色することで形成する。これにより、複数の二次元コード２２の情報を消失させることなく、複数の二次元コード２２を１つの二次元コードにまとめて表示できる。

【0105】

ところで、上述の実施形態では、加工装置として切削装置２の例を説明したが、加工装置は、被加工物１１の研削を行う研削装置、被加工物１１のバイト切削を行うバイト切削装置、被加工物１１の研磨を行う研磨装置であってもよい。

【0106】

研削装置（不図示）は、円板状のチャックテーブルと、チャックテーブルの上方に配置された研削ユニットと、を有する。この研削ユニットは、長手部がＺ軸方向に沿って配置されたスピンドルを有する。スピンドルの下端部（一端部）には、円板状のマウントの上面側の中央部が固定されている。

【0107】

マウントの下面側には、円環状の研削ホイール（加工工具）が装着される。研削ホイールは、金属で形成された環状基台を有する。環状基台の下面側には、それぞれブロック状の複数の研削砥石が環状基台の周方向に沿って略等間隔に配置されている。

【0108】

バイト切削装置（不図示）は、円板状のチャックテーブルと、チャックテーブルの上方に配置されたバイト切削ユニットと、を有する。このバイト切削ユニットは、長手部がＺ軸方向に沿って配置されたスピンドルを有する。

【0109】

スピンドルの下端部（一端部）には、円板状のマウントの上面側の中央部が固定されている。マウントの下面側のうち、外周部の一部には、ダイヤモンドで形成されたバイト（ダイヤモンドバイト、即ち、加工工具）が固定されている。

【0110】

研磨装置（不図示）は、円板状のチャックテーブルと、チャックテーブルの上方に配置された研磨ユニットと、を有する。この研磨ユニットは、長手部がＺ軸方向に沿って配置されたスピンドルを有する。

【0111】

スピンドルの下端部（一端部）には、円板状のマウントの上面側の中央部が固定されている。マウントの下面側には、円板状の研磨工具（加工工具）が装着される。研磨工具は、硬質樹脂等で形成された円板状の基台を有する。基台の下面側には、円板状の研磨パッドが固定されている。

【0112】

研磨パッドは、例えば、発泡樹脂、不織布等のパッド部と、ダイヤモンド等で形成されパッド部に固定された砥粒と、を有する。なお、研磨パッドは、砥粒を有しなくてもよい。この場合、研磨時に研磨工具へ供給される研磨液に遊離砥粒が含有される。

【0113】

ところで、加工装置は、エッチング装置、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）装置、スパッタリング装置等の他の加工装置（いずれも不図示）であってもよい。この場合、加工装置のチャックテーブルとしては、被加工物１１を負圧で吸引することに代えて、電気的な力で被加工物１１を吸引保持する静電チャックが用いられる。

【0114】

エッチング装置、ＣＶＤ装置、スパッタリング装置等の他の加工装置において、被加工物１１を加工する加工ユニットは、静電チャックを覆うチャンバと、静電チャックで保持された被加工物１１に活性ガスやターゲット材料の粒子を供給するための電極構造と、を含む。

【符号の説明】

【0115】

２：切削装置（加工装置）、４：基台、６：外装カバー部材、６ａ：前面
８：カセットテーブル、１０：チャックテーブル、１０ａ：保持面
１１：被加工物、１３：ダイシングテープ、１５：フレーム、１７：フレームユニット
１２：切削ユニット（加工ユニット）、１２ａ：スピンドルハウジング
１２ｂ：スピンドル、１２ｃ：切削ブレード（加工工具）
１４：タッチパネル
１６：コントローラ、１６ａ：プロセッサ、１６ｂ：メモリ
１８：情報
１８ａ：第１の内容、１８ｂ：第２の内容、１８ｃ：第３の内容、１８ｄ：第４の内容
２０：変換部
２２：複数の二次元コード
２２ａ：第１の二次元コード、２２ｂ：第２の二次元コード
２２ｃ：第３の二次元コード、２２ｄ：第４の二次元コード
２４：表示指示部、２４ａ：要請、２４ｂ：コマンド、２４ｃ：画面情報
２６ａ，２６ｂ：ボタン

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】