(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024111713
(43)【公開日】2024-08-19
(54)【発明の名称】着色硬化性樹脂組成物、光学フィルタ及び固体撮像素子
(51)【国際特許分類】
C09B 67/46 20060101AFI20240809BHJP
C08F 2/44 20060101ALI20240809BHJP
G02B 5/20 20060101ALI20240809BHJP
C09B 47/22 20060101ALN20240809BHJP
【FI】
C09B67/46 A
C08F2/44 Z
G02B5/20
C09B47/22
【審査請求】未請求
【請求項の数】5
【出願形態】OL
(21)【出願番号】P 2023016381
(22)【出願日】2023-02-06
(71)【出願人】
【識別番号】000002093
【氏名又は名称】住友化学株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100088155
【弁理士】
【氏名又は名称】長谷川 芳樹
(74)【代理人】
【識別番号】100128381
【弁理士】
【氏名又は名称】清水 義憲
(74)【代理人】
【識別番号】100124062
【弁理士】
【氏名又は名称】三上 敬史
(72)【発明者】
【氏名】濱木 裕史
(72)【発明者】
【氏名】松山 綾花
(72)【発明者】
【氏名】青木 拓磨
(72)【発明者】
【氏名】赤坂 哲郎
【テーマコード(参考)】
2H148
4J011
【Fターム(参考)】
2H148AA01
2H148AA05
2H148AA11
4J011PA43
4J011PA45
4J011PA69
4J011PB25
4J011PC02
4J011PC08
4J011QA22
4J011RA03
4J011SA61
4J011SA65
4J011TA03
4J011UA01
4J011VA01
4J011WA01
(57)【要約】 (修正有)
【課題】耐熱性に優れる光学フィルタを形成することが可能な着色硬化性樹脂組成物。
【解決手段】式(II)で表される化合物及びその2価金属錯体からなる群より選ばれる少なくとも1種の着色剤、アルカリ可溶性樹脂、重合開始剤、重合性化合物及び溶剤を含有する着色硬化性樹脂組成物。
[R
1~R
8は、独立に、H、C1~C10の炭化水素基等;A
1~A
16は、独立に、C1~C20の炭化水素基]
【選択図】なし
【特許請求の範囲】
【請求項1】
着色剤、アルカリ可溶性樹脂、重合開始剤、重合性化合物及び溶剤を含有する着色硬化性樹脂組成物であって、
前記着色剤が、式(I)で表される化合物及び式(II)で表される化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種を含む、着色硬化性樹脂組成物。
【化1】
【化2】
[式(I)及び式(II)中、Mは、2価の金属原子を表す。
R
1~R
8は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1~10の炭化水素基又はOR
15基を表す。
R
15は、炭素数1~10の炭化水素基を表し、2以上のR
15が存在する場合、それらは互いに同一でも異なっていてもよい。
A
1~A
16は、それぞれ独立に、炭素数1~20の炭化水素基を表す。]
【請求項2】
前記着色剤が式(II)で表される化合物である、請求項1に記載の着色硬化性樹脂組成物。
【請求項3】
前記R1~R8が水素原子である、請求項1又は2に記載の着色硬化性樹脂組成物。
【請求項4】
請求項1又は2に記載の着色硬化性樹脂組成物より形成される、光学フィルタ。
【請求項5】
請求項4に記載の光学フィルタを含む、固体撮像素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、着色硬化性樹脂組成物、光学フィルタ及び固体撮像素子に関する。
【背景技術】
【0002】
自動車、家電、セキュリティ等の様々な分野において、人を検知するために、近赤外線センサー、近赤外線カメラ等の装置が利用されている。このような装置においては、可視光線の透過率が低く、近赤外線の透過率が高い光学フィルタを含む固体撮像素子が備えられている。固体撮像素子に使用される光学フィルタは、例えば、着色硬化性樹脂組成物から製造される。このような着色硬化性樹脂組成物としては、例えば、着色剤、樹脂、重合性化合物及び重合開始剤を含有する着色硬化性樹脂組成物が知られている(例えば、特許文献1)。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
固体撮像素子に使用される光学フィルタには、充分な近赤外線透過性を有することに加えて、使用環境の観点から、充分な耐熱性を有することが求められる。しかしながら、従来の光学フィルタは、耐熱性が必ずしも充分でなく、改善の余地がある。
【0005】
そこで、本発明は、耐熱性に優れる光学フィルタを形成することが可能な着色硬化性樹脂組成物を提供することを主な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明は、[1]~[4]に記載の着色硬化性樹脂組成物、[5]に記載の光学フィルタ及び[6]に記載の固体撮像素子を提供する。
【0007】
[1]着色剤、アルカリ可溶性樹脂、重合開始剤、重合性化合物及び溶剤を含有する着色硬化性樹脂組成物であって、
前記着色剤が、式(I)で表される化合物及び式(II)で表される化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種を含む、着色硬化性樹脂組成物。
【化1】
【化2】
[式(I)及び式(II)中、Mは、2価の金属原子を表す。
R
1~R
8は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1~10の炭化水素基又はOR
15基を表す。
R
15は、炭素数1~10の炭化水素基を表し、2以上のR
15が存在する場合、それらは互いに同一でも異なっていてもよい。
A
1~A
16は、それぞれ独立に、炭素数1~20の炭化水素基を表す。]
[2]前記着色剤が式(II)で表される化合物である、[1]に記載の着色硬化性樹脂組成物。
[3]前記R
1~R
8が水素原子である、[1]又は[2]に記載の着色硬化性樹脂組成物。
[4][1]又は[2]に記載の着色硬化性樹脂組成物より形成される、光学フィルタ。
[5][4]に記載の光学フィルタを含む、固体撮像素子。
【発明の効果】
【0008】
本発明によれば、耐熱性に優れる光学フィルタを形成することが可能な着色硬化性樹脂組成物が提供される。また、本発明によれば、このような着色硬化性樹脂組成物より形成される光学フィルタ及び当該光学フィルタを含む固体撮像素子が提供される。
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。ただし、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。
【0010】
本明細書において、「~」を用いて示された数値範囲は、「~」の前後に記載される数値をそれぞれ最小値及び最大値として含む範囲を示す。本明細書中に段階的に記載されている数値範囲において、一つの数値範囲で記載された上限値又は下限値は、他の段階的な記載の数値範囲の上限値又は下限値に置き換えてもよい。また、本明細書中に記載されている数値範囲において、その数値範囲の上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてもよい。
【0011】
本明細書において、(メタ)アクリレートは、アクリレート又はそれに対応するメタクリレートを意味する。(メタ)アクリロイル基、(メタ)アクリル酸エステル等の他の類似表現についても同様である。
【0012】
本明細書中、以下で例示する材料は、特に断らない限り、条件に該当する範囲で、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。各成分の含有量は、各成分に該当する物質が複数存在する場合、特に断らない限り、当該複数の物質の合計量を意味する。
【0013】
[着色硬化性樹脂組成物]
本実施形態の着色硬化性樹脂組成物は、着色剤(以下、「着色剤(A)」という場合がある。)、アルカリ可溶性樹脂(以下、「樹脂(B)」という場合がある。)、重合性化合物(以下、「重合性化合物(C)」という場合がある。)、重合開始剤(以下、「重合開始剤(D)」という場合がある。)及び溶剤(以下、「溶剤(E)」という場合がある。)を含有する。本実施形態の着色硬化性樹脂組成物は、レベリング剤(以下、「レベリング剤(F)」という場合がある。)を含有していてもよい。
【0014】
<着色剤(A)>
着色剤(A)は、式(I)で表される化合物及び式(II)で表される化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種(以下、「着色剤(A1)」という場合がある。)を含む。なお、式(I)で表される化合物及び式(II)で表される化合物は、それぞれ互変異性体等の異性体が存在し得るが、これらの異性体も本発明の範囲に包含される。着色剤(A)は、着色剤(A1)として、式(II)で表される化合物を含むことが好ましい。
【0015】
【0016】
【0017】
Mは、2価の金属原子を表す。2価の金属原子としては、マンガン、鉄、コバルト、ニッケル、銅、亜鉛、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、スズ、白金、鉛等の原子が挙げられる。これらの中でも、2価の金属原子は、好ましくは、マンガン原子、鉄原子、コバルト原子、ニッケル原子、銅原子、亜鉛原子、パラジウム原子又は白金原子、より好ましくは、ニッケル原子、パラジウム原子、銅原子又は亜鉛原子、さらに好ましくは銅原子又は亜鉛原子である。
【0018】
R1~R8は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1~10の炭化水素基又はOR15基を表す。R1~R8は、一実施形態において、水素原子又は炭素数1~10の炭化水素基であってよい。R1~R8は、一実施形態において、水素原子であってよい。
【0019】
R1~R8における炭素数1~10の炭化水素基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基等の直鎖状アルキル基;イソプロピル基、イソブチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、2-エチルヘキシル基等の分岐状アルキル基;シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、アダマンチル基等の環状アルキル基;エテニル基、プロぺニル基、ブテニル基、3-メチル-2-ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基、オクテニル基等のアルケニル基;エチニル基、プロピニル基、ブチニル基、ペンチニル基、ヘキシニル基、オクチニル基等のアルキニル基;フェニル基、o-トリル基、m-トリル基、p-トリル基、2,4,6-トリメチルフェニル基、ナフチル基等のアリール基;ベンジル基、フェネチル基等のアラルキル基などが挙げられる。これらのアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基及びアラルキル基の水素原子の一部は、ハロゲン原子(フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等)で置換されていてもよい。
【0020】
R15は、炭素数1~10の炭化水素基を表し、2以上のR15が存在する場合、それらは互いに同一でも異なっていてもよい。R15における炭素数1~10の炭化水素基としては、R1~R8における炭素数1~10の炭化水素基で例示される基が挙げられる。
【0021】
A1~A16は、それぞれ独立に、炭素数1~20の炭化水素基を表す。A1~A16における炭素数1~20の炭化水素基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル、ドデシル基、ヘキサデシル基、オクタデシル基等の直鎖状アルキル基;イソプロピル基、イソブチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、2-エチルヘキシル基等の分岐状アルキル基;シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、アダマンチル基、シクロドデシル基等の環状アルキル基;エテニル基、プロぺニル基、ブテニル基、3-メチル-2-ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基、オクテニル基等のアルケニル基;エチニル基、プロピニル基、ブチニル基、ペンチニル基、ヘキシニル基、オクチニル基等のアルキニル基;フェニル基、o-トリル基、m-トリル基、p-トリル基、2,4,6-トリメチルフェニル基、ナフチル基、アントリル基等のアリール基;ベンジル基、フェネチル基、ジフェニルメチル基、トリフェニルメチル基等のアラルキル基などが挙げられる。これらのアルキル基、アリール基及びアラルキル基の水素原子の一部は、ハロゲン原子(フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等)で置換されていてもよい。
【0022】
式(II)で表される化合物は、例えば、Chemistry A European Journal、2017年、23巻、15446~15454頁に記載の合成法に準じて、式(x-1)、式(x-2)、式(x-3)、及び式(x-4)で表される化合物と、リチウムと、アルコール(ROH、Rは、炭素数4~10のアルキル基を表す。)とを反応させることによって得ることができる。
【0023】
【0024】
式(I)で表される化合物は、例えば、式(II)で表される化合物と上記Mを有する金属塩化合物(例えば、金属ハロゲン化物等)とを反応させることによって得ることができる。
【0025】
着色剤(A1)の含有量は、着色剤(A)の総量を基準として、好ましくは10~100質量%、より好ましくは30~100質量%、さらに好ましくは50~100質量%、特に好ましくは70~100質量%である。着色剤(A1)の含有量は、一実施形態において、着色剤(A)の総量を基準として、100質量%であってよい。
【0026】
着色剤(A)は、着色剤(A1)とは異なる着色剤(以下、「着色剤(A2)」という場合がある。)をさらに含んでいてもよい。
【0027】
着色剤(A2)としては、例えば、染料、顔料が挙げられる。
【0028】
染料としては、例えば、カラーインデックス(The Society of Dyers and Colourists出版)において顔料以外で色相を有するものに分類されている化合物、染色ノート(色染社)に記載されている公知の染料が挙げられる。
【0029】
キサンテン染料は、分子内にキサンテン骨格を有する化合物を含む染料である。キサンテン染料としては、例えば、C.I.アシッドレッド51(以下、「C.I.アシッドレッド」の記載を省略し、番号のみの記載とする。他の類似表現も同様に、番号のみの記載とする場合がある。)、52、87、92、94、289、388;C.I.アシッドバイオレット9、30、102;C.I.ベーシックレッド1(ローダミン6G)、2、3、4、8、10、11;C.I.ベーシックバイオレット10(ローダミンB)、11;C.I.ソルベントレッド218;C.I.モーダントレッド27;C.I.リアクティブレッド36(ローズベンガルB);スルホローダミンG;特開2010-32999号公報に記載のキサンテン染料;特許第4492760号公報に記載のキサンテン染料等が挙げられる。キサンテン染料は、有機溶剤に溶解するものが好ましい。
【0030】
キサンテン染料は、市販されているキサンテン染料(例えば、中外化成(株)製の「Chugai Aminol Fast Pink R-H/C」、田岡化学工業(株)製の「Rhodamin 6G」)も使用することができる。また、キサンテン染料は、市販されているキサンテン染料を出発原料として、特開2010-32999号公報を参考に合成することもできる。
【0031】
キサンテン染料以外の染料として、アゾ染料、シアニン染料、トリフェニルメタン染料、チアゾール染料、オキサジン染料、フタロシアニン染料、キノフタロン染料、アントラキノン染料、ナフトキノン染料、キノンイミン染料、メチン染料、アゾメチン染料、スクアリリウム染料、アクリジン染料、スチリル染料、クマリン染料、キノリン染料及びニトロ染料等を使用してもよい。キサンテン染料以外の染料は、それぞれ公知の染料を使用することができる。
【0032】
キサンテン染料以外の染料の具体例としては、C.I.ソルベントイエロー4(以下、C.I.ソルベントイエローの記載を省略し、番号のみの記載とする。他の類似表現も同様に、番号のみの記載とする場合がある。)、14、15、23、24、38、62、63、68、82、94、98、99、117、162、163、167、189;
C.I.ソルベントレッド45、49、111、125、130、143、145、146、150、151、155、168、169、172、175、181、207、222、227、230、245、247;
C.I.ソルベントオレンジ2、7、11、15、26、56、77、86;
C.I.ソルベントバイオレット11、13、14、26、31、36、37、38、45、47、48、51、59、60;
C.I.ソルベントブルー4、5、14、18、35、36、37、45、58、59、59:1、63、67、68、69、70、78、79、83、90、94、97、98、100、101、102、104、105、111、112、122、128、132、136、139;
C.I.ソルベントグリーン1、3、4、5、7、28、29、32、33、34、35等のC.I.ソルベント染料、
C.I.アシッドイエロー1、3、7、9、11、17、23、25、29、34、36、38、40、42、54、65、72、73、76、79、98、99、111、112、113、114、116、119、123、128、134、135、138、139、140、144、150、155、157、160、161、163、168、169、172、177、178、179、184、190、193、196、197、199、202、203、204、205、207、212、214、220、221、228、230、232、235、238、240、242、243、251;
C.I.アシッドレッド1、4、8、14、17、18、26、27、29、31、33、34、35、37、40、42、44、50、57、66、73、76、80、88、91、95、97、98、103、106、111、114、129、133、134、138、143、145、150、151、155、158、160、172、176、182、183、195、198、206、211、215、216、217、227、228、249、252、257、258、260、261、266、268、270、274、277、280、281、308、312、315、316、339、341、345、346、349、382、383、394、401、412、417、418、422、426;
C.I.アシッドオレンジ6、7、8、10、12、26、50、51、52、56、62、63、64、74、75、94、95、107、108、169、173;
C.I.アシッドバイオレット6B、7、15、16、17、19、21、23、24、25、34、38、49、72;
C.I.アシッドブルー1、3、5、7、9、11、13、15、17、18、22、23、24、25、26、27、29、34、38、40、41、42、43、45、48、51、54、59、60、62、70、72、74、75、78、80、82、83、86、87、88、90、90:1、91、92、93、93:1、96、99、100、102、103、104、108、109、110、112、113、117、119、120、123、126、127、129、130、131、138、140、142、143、147、150、151、154、158、161、166、167、168、170、171、175、182、183、184、187、192、199、203、204、205、210、213、229、234、236、242、243、256、259、267、269、278、280、285、290、296、315、324:1、335、340;
C.I.アシッドグリーン1、3、5、6、7、8、9、11、13、14、15、16、22、25、27、28、41、50、50:1、58、63、65、80、104、105、106、109等のC.I.アシッド染料、
C.I.ダイレクトイエロー2、33、34、35、38、39、43、47、50、54、58、68、69、70、71、86、93、94、95、98、102、108、109、129、136、138、141;
C.I.ダイレクトレッド79、82、83、84、91、92、96、97、98、99、105、106、107、172、173、176、177、179、181、182、184、204、207、211、213、218、220、221、222、232、233、234、241、243、246、250;
C.I.ダイレクトオレンジ26、34、39、41、46、50、52、56、57、61、64、65、68、70、96、97、106、107;
C.I.ダイレクトバイオレット47、52、54、59、60、65、66、79、80、81、82、84、89、90、93、95、96、103、104;
C.I.ダイレクトブルー1、2、3、6、8、15、22、25、28、29、40、41、42、47、52、55、57、71、76、77、78、80、81、84、85、86、90、93、94、95、97、98、99、100、101、106、107、108、109、113、114、115、117、119、120、137、149、150、153、155、156、158、159、160、161、162、163、164、165、166、167、168、170、171、172、173、188、189、190、192、193、194、195、196、198、199、200、201、202、203、207、209、210、212、213、214、222、225、226、228、229、236、237、238、242、243、244、245、246、247、248、249、250、251、252、256、257、259、260、268、274、275、293;
C.I.ダイレクトグリーン25、27、31、32、34、37、63、65、66、67、68、69、72、77、79、82等のC.I.ダイレクト染料、
C.I.ディスパースイエロー51、54,76;
C.I.ディスパースバイオレット26、27;
C.I.ディスパースブルー1、14、56、60等のC.I.ディスパース染料、
C.I.ベーシックブルー1、3、5、7、9、19、21、22、24、25、26、28、29、40、41、45、47、54、58、59、60、64、65、66、67、68、81、83、88、89;
C.I.ベーシックバイオレット2;
C.I.ベーシックレッド9;
C.I.ベーシックグリーン1等のC.I.ベーシック染料、
C.I.リアクティブイエロー2、76、116;
C.I.リアクティブオレンジ16;
C.I.リアクティブレッド36等のC.I.リアクティブ染料、
C.I.モーダントイエロー5、8、10、16、20、26、30、31、33、42、43、45、56、61、62、65;
C.I.モーダントレッド1、2、3、4、9、11、12、14、17、18、19、22、23、24、25、26、29、30、32、33、36、37、38、39、41、42、43、45、46、48、52、53、56、62、63、71、74、76、78、85、86、88、90、94、95;
C.I.モーダントオレンジ3、4、5、8、12、13、14、20、21、23、24、28、29、32、34、35、36、37、42、43、47、48;
C.I.モーダントバイオレット1、1:1、2、3、4、5、6、7、8、10、11、14、15、16、17、18、19、21、22、23、24、27、28、30、31、32、33、36、37、39、40、41、44、45、47、48、49、53、58;
C.I.モーダントブルー1、2、3、7、8、9、12、13、15、16、19、20、21、22、23、24、26、30、31、32、39、40、41、43、44、48、49、53、61、74、77、83、84;
C.I.モーダントグリーン1、3、4、5、10、13、15、19、21、23、26、29、31、33、34、35、41、43、53等のC.I.モーダント染料、
C.I.バットグリーン1等のC.I.バット染料などが挙げられる。
【0033】
顔料としては、例えば、カラーインデックス(The Society of Dyers and Colourists出版)でピグメントに分類されている顔料が挙げられる。このような顔料としては、以下の顔料を例示できる。
【0034】
緑色顔料:C.I.ピグメントグリーン7、36、58、59、62、63等
黄色顔料:C.I.ピグメントイエロー1、3、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、83、86、93、94、109、110、117、125、128、129、137、138、139、147、148、150、153、154、166、173、185、194、214、231、233等
オレンジ色顔料:C.I.ピグメントオレンジ13、31、34、36、38、40、42、43、51、55、59、61、64、65、71、73等
赤色顔料:C.I.ピグメントレッド9、97、105、122、123、144、149、166、168、176、177、180、192、209、215、216、224、242、254、255、264、265、269、272等
青色顔料:C.I.ピグメントブルー15、15:3、15:4、15:6、16、60等
紫色顔料:C.I.ピグメントバイオレット1、19、23、29、32、36、38等
黒色顔料:C.I.ピグメントブラック1、7、31、32等
【0035】
これらの顔料は、各色について1種の顔料又は複数の顔料を使用してもよく、各色の顔料を組み合わせてもよい。
【0036】
着色剤(A2)は、好ましくは1種以上の顔料、より好ましくは2種以上の顔料、さらに好ましくは、オレンジ色顔料、紫色顔料、青色顔料及び黒色顔料からなる群より選ばれる2種以上の顔料、特に好ましくは、オレンジ色顔料、紫色顔料及び青色顔料の組み合わせ又は青色顔料及び黒色顔料の組み合わせである。
【0037】
顔料は、必要に応じて、ロジン処理;酸性基又は塩基性基が導入された顔料誘導体等を用いた表面処理;高分子化合物等による顔料表面へのグラフト処理;硫酸微粒化法等による微粒化処理;不純物を除去するための有機溶剤、水等による洗浄処理;イオン性不純物のイオン交換法等による除去処理などが施されていてもよい。顔料の粒径は、好ましくは略均一である。顔料は、顔料分散剤を含有させて分散処理を行うことで、顔料分散剤溶液の中で均一に分散した状態の顔料分散液(着色樹脂組成物)とすることができる。顔料は、それぞれ単独で分散処理してもよいし、複数種を混合して分散処理してもよい。
【0038】
顔料分散剤としては、シリコーン系、フッ素系、エステル系、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性、ポリエステル系、ポリアミン系、アクリル系等の界面活性剤などが挙げられる。界面活性剤としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類、ポリエチレングリコールジエステル類、ソルビタン脂肪酸エステル類、脂肪酸変性ポリエステル類、3級アミン変性ポリウレタン類、ポリエチレンイミン類等が挙げられる。界面活性剤の市販品としては、例えば、商品名でKP(信越化学工業(株)製)、フローレン(共栄社化学(株)製)、ソルパース(ゼネカ(株)製)、EFKA(BASFジャパン(株)製)、アジスパー(登録商標)(味の素ファインテクノ(株)製)、Disperbyk(ビックケミー社製)等が挙げられる。
【0039】
顔料分散剤を用いる場合、その使用量は、顔料100質量部に対して、好ましくは10~200質量部、より好ましくは15~180質量部、さらに好ましくは20~160質量部である。顔料分散剤の使用量が上記の範囲にあると、2種以上の顔料を使用する場合により均一な分散状態の顔料分散液が得られる傾向がある。
【0040】
着色剤(A2)の含有量は、着色剤(A)の総量を基準として、好ましくは0~90質量%、より好ましくは0~70質量%、さらに好ましくは0~50質量%、特に好ましくは0~30質量%である。
【0041】
着色剤(A)の含有量は、着色硬化性樹脂組成物の固形分の総量を基準として、好ましくは1~60質量%、より好ましくは5~60質量%、さらに好ましくは10~60質量%である。着色剤(A)の含有量が上記の範囲内であると、所望とする分光及び色濃度をより得易くなる傾向がある。なお、本明細書において、「着色硬化性樹脂組成物の固形分の総量」とは、着色硬化性樹脂組成物から溶剤を除いた成分の合計量を意味する。着色硬化性樹脂組成物の固形分の総量及びこれに対する各成分の含有量は、例えば、液体クロマトグラフィー、ガスクロマトグラフィー等の公知の分析手段により測定することができる。
【0042】
<樹脂(B)>
樹脂(B)としては、以下の樹脂[K1]~[K6]等が挙げられる。
・樹脂[K1]:不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群より選ばれる少なくとも1種(a)(以下、「(a)」という場合がある。)に由来する構造単位と、炭素数2~4の環状エーテル構造及びエチレン性不飽和結合を有する単量体(b)(以下、「(b)」という場合がある。)に由来する構造単位とを有する共重合体
・樹脂[K2]:(a)に由来する構造単位と、(b)に由来する構造単位と、(a)と共重合可能な単量体(c)(ただし、(a)及び(b)とは異なる。)(以下、「(c)」という場合がある。)に由来する構造単位とを有する共重合体
・樹脂[K3]:(a)に由来する構造単位と(c)に由来する構造単位とを有する共重合体
・樹脂[K4]:(a)に由来する構造単位に(b)を付加させた構造単位と、(c)に由来する構造単位とを有する共重合体
・樹脂[K5]:(b)に由来する構造単位に(a)を付加させた構造単位と、(c)に由来する構造単位とを有する共重合体
・樹脂[K5’];(a)に由来する構造単位に(b)を付加させた構造単位と(c)に由来する構造単位とを有する共重合体;
・樹脂[K6]:(b)に由来する構造単位に(a)を付加させ、カルボン酸無水物をさらに付加させた構造単位と、(c)に由来する構造単位とを有する共重合体
【0043】
(a)としては、具体的には、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、o-、m-、p-ビニル安息香酸等の不飽和モノカルボン酸類;
マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸、3-ビニルフタル酸、4-ビニルフタル酸、3,4,5,6-テトラヒドロフタル酸、1,2,3,6-テトラヒドロフタル酸、ジメチルテトラヒドロフタル酸、1,4-シクロヘキセンジカルボン酸等の不飽和ジカルボン酸類;
メチル-5-ノルボルネン-2,3-ジカルボン酸、5-カルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5,6-ジカルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-カルボキシ-5-メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-カルボキシ-5-エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-カルボキシ-6-メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-カルボキシ-6-エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン等のカルボキシ基を含有するビシクロ不飽和化合物類;
無水マレイン酸、シトラコン酸無水物、イタコン酸無水物、3-ビニルフタル酸無水物、4-ビニルフタル酸無水物、3,4,5,6-テトラヒドロフタル酸無水物、1,2,3,6-テトラヒドロフタル酸無水物、ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、5,6-ジカルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン無水物等の不飽和ジカルボン酸類無水物;
こはく酸モノ[2-(メタ)アクリロイルオキシエチル]、フタル酸モノ[2-(メタ)アクリロイルオキシエチル]等の2価以上の多価カルボン酸の不飽和モノ[(メタ)アクリロイルオキシアルキル]エステル類;
α-(ヒドロキシメチル)アクリル酸等の、同一分子中にヒドロキシ基及びカルボキシ基を含有する不飽和アクリレート類等が挙げられる。
【0044】
これらのうち、共重合反応性の点及び得られる樹脂のアルカリ水溶液への溶解性の点から、(a)は、好ましくは、アクリル酸、メタクリル酸又は無水マレイン酸である。
【0045】
(b)は、例えば、炭素数2~4の環状エーテル構造(例えば、オキシラン環、オキセタン環及びテトラヒドロフラン環からなる群より選ばれる少なくとも1種)とエチレン性不飽和結合とを有する重合性化合物であり得る。(b)は、好ましくは炭素数2~4の環状エーテルと(メタ)アクリロイルオキシ基とを有する単量体である。
【0046】
(b)としては、例えば、オキシラニル基とエチレン性不飽和結合とを有する単量体(b1)(以下、「(b1)」という場合がある。)、オキセタニル基とエチレン性不飽和結合とを有する単量体(b2)(以下、「(b2)」という場合がある。)、テトラヒドロフリル基とエチレン性不飽和結合とを有する単量体(b3)(以下、「(b3)」という場合がある。)等が挙げられる。
【0047】
(b1)としては、例えば、直鎖状又は分岐状の脂肪族不飽和炭化水素がエポキシ化された構造を有する単量体(b1-1)(以下、「(b1-1)」という場合がある。)、脂環式不飽和炭化水素がエポキシ化された構造を有する単量体(b1-2)(以下、「(b1-2)」という場合がある。)が挙げられる。
【0048】
(b1-1)としては、グリシジル(メタ)アクリレート、β-メチルグリシジル(メタ)アクリレート、β-エチルグリシジル(メタ)アクリレート、グリシジルビニルエーテル、o-ビニルベンジルグリシジルエーテル、m-ビニルベンジルグリシジルエーテル、p-ビニルベンジルグリシジルエーテル、α-メチル-o-ビニルベンジルグリシジルエーテル、α-メチル-m-ビニルベンジルグリシジルエーテル、α-メチル-p-ビニルベンジルグリシジルエーテル、2,3-ビス(グリシジルオキシメチル)スチレン、2,4-ビス(グリシジルオキシメチル)スチレン、2,5-ビス(グリシジルオキシメチル)スチレン、2,6-ビス(グリシジルオキシメチル)スチレン、2,3,4-トリス(グリシジルオキシメチル)スチレン、2,3,5-トリス(グリシジルオキシメチル)スチレン、2,3,6-トリス(グリシジルオキシメチル)スチレン、3,4,5-トリス(グリシジルオキシメチル)スチレン、2,4,6-トリス(グリシジルオキシメチル)スチレン等が挙げられる。
【0049】
(b1-2)としては、ビニルシクロヘキセンモノオキサイド、1,2-エポキシ-4-ビニルシクロヘキサン(例えば、セロキサイド2000((株)ダイセル製))、3,4-エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート(例えば、サイクロマーA400((株)ダイセル製))、3,4-エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート(例えば、サイクロマーM100((株)ダイセル製))、3,4-エポキシトリシクロ[5.2.1.02,6]デシル(メタ)アクリレート(3,4-エポキシトリシクロ[5.2.1.02,6]デカン-8-イル(メタ)アクリレート、3,4-エポキシトリシクロ[5.2.1.02,6]デカン-9-イル(メタ)アクリレート等)、3,4-エポキシトリシクロ[5.2.1.02,6]デシルオキシエチル(メタ)アクリレート等が挙げられる。
【0050】
(b2)は、より好ましくはオキセタニル基と(メタ)アクリロイルオキシ基とを有する単量体である。(b2)としては、3-メチル-3-メタクリルロイルオキシメチルオキセタン、3-メチル-3-アクリロイルオキシメチルオキセタン、3-エチル-3-メタクリロイルオキシメチルオキセタン、3-エチル-3-アクリロイルオキシメチルオキセタン、3-メチル-3-メタクリロイルオキシエチルオキセタン、3-メチル-3-アクリロイルオキシエチルオキセタン、3-エチル-3-メタクリロイルオキシエチルオキセタン、3-エチル-3-アクリロイルオキシエチルオキセタン等が挙げられる。
【0051】
(b3)は、より好ましくはテトラヒドロフリル基と(メタ)アクリロイルオキシ基とを有する単量体である。(b3)としては、テトラヒドロフルフリルアクリレート(例えば、ビスコートV#150(大阪有機化学工業(株)製))、テトラヒドロフルフリルメタクリレート等が挙げられる。
【0052】
(b)は、得られる光学フィルタの耐熱性、耐薬品性等の信頼性をより高くすることができる点で、好ましくは(b1)である。さらに、(b)は、着色硬化性樹脂組成物の保存安定性が優れるという点で、より好ましくは(b1-2)である。
【0053】
(c)としては、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n-ブチル(メタ)アクリレート、sec-ブチル(メタ)アクリレート、tert-ブチル(メタ)アクリレート、2-エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ドデシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、シクロペンチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、2-メチルシクロヘキシル(メタ)アクリレート、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン-8-イル(メタ)アクリレート(当該技術分野では、慣用名として「ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート」といわれている。また、「トリシクロデシル(メタ)アクリレート」という場合がある。)、トリシクロ[5.2.1.02,6]デセン-8-イル(メタ)アクリレート(当該技術分野では、慣用名として「ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート」といわれている。)、ジシクロペンタニルオキシエチル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、アダマンチル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリレート、プロパルギル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、ナフチル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸エステル類;
2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート等のヒドロキシ基含有(メタ)アクリル酸エステル類;
マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチル等のジカルボン酸ジエステル;
ビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-ヒドロキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-ヒドロキシメチルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-(2’-ヒドロキシエチル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-メトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-エトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5,6-ジヒドロキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5,6-ジ(ヒドロキシメチル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5,6-ジ(2’-ヒドロキシエチル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5,6-ジメトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5,6-ジエトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-ヒドロキシ-5-メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-ヒドロキシ-5-エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-ヒドロキシメチル-5-メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-tert-ブトキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-シクロヘキシルオキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-フェノキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5,6-ビス(tert-ブトキシカルボニル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5,6-ビス(シクロヘキシルオキシカルボニル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン等のビシクロ不飽和化合物類;
N-フェニルマレイミド、N-シクロヘキシルマレイミド、N-ベンジルマレイミド、N-スクシンイミジル-3-マレイミドベンゾエート、N-スクシンイミジル-4-マレイミドブチレート、N-スクシンイミジル-6-マレイミドカプロエート、N-スクシンイミジル-3-マレイミドプロピオネート、N-(9-アクリジニル)マレイミド等のジカルボニルイミド誘導体類;
スチレン、α-メチルスチレン、m-メチルスチレン、p-メチルスチレン、ビニルトルエン、p-メトキシスチレン、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、塩化ビニル、塩化ビニリデン、アクリルアミド、メタクリルアミド、酢酸ビニル、1,3-ブタジエン、イソプレン、2,3-ジメチル-1,3-ブタジエン等が挙げられる。
【0054】
これらのうち、共重合反応性及び耐熱性の点から、(c)は、好ましくは、スチレン、ビニルトルエン、N-フェニルマレイミド、N-シクロヘキシルマレイミド、N-ベンジルマレイミド又はビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エンである。
【0055】
樹脂[K1]において、それぞれに由来する構造単位の比率は、樹脂[K1]を構成する全構造単位中、
(a)に由来する構造単位;2~60モル%
(b)に由来する構造単位;40~98モル%
であることが好ましく、
(a)に由来する構造単位;10~50モル%
(b)に由来する構造単位;50~90モル%
であることがより好ましい。
【0056】
樹脂[K1]の構造単位の比率が上記の範囲にあると、着色硬化性樹脂組成物の保存安定性、着色パターンを形成する際の現像性、及び、得られる光学フィルタの耐溶剤性に優れる傾向がある。
【0057】
樹脂[K1]は、例えば、文献「高分子合成の実験法」(大津隆行著、発行所(株)化学同人、第1版第1刷、1972年3月1日発行)に記載された方法及び当該文献に記載された引用文献を参考にして製造することができる。
【0058】
具体的には、(a)及び(b)の所定量、重合開始剤及び溶剤等を反応容器中に入れて、例えば、窒素により酸素を置換することにより、脱酸素雰囲気にし、撹拌しながら、加熱及び保温する方法が挙げられる。なお、ここで用いられる重合開始剤及び溶剤等は、特に限定されず、当該分野で通常使用されているものを使用することができる。例えば、重合開始剤としては、アゾ化合物(2,2’-アゾビスイソブチロニトリル、2,2’-アゾビス(2,4-ジメチルバレロニトリル)等)、有機過酸化物(ベンゾイルペルオキシド等)が挙げられる。溶剤は、各モノマーを溶解するものであればよく、例えば、後述の溶剤(E)で例示されるものを使用することができる。
【0059】
なお、得られた共重合体は、反応後の溶液をそのまま使用してもよいし、濃縮あるいは希釈した溶液を使用してもよい。また、得られた共重合体は、再沈殿等の方法で固体(粉体)として取り出したものを使用してもよい。特に、この重合の際に溶剤として、後述の溶剤(E)を使用することにより、反応後の溶液を着色硬化性樹脂組成物の調製に使用することができるため、本実施形態の着色硬化性樹脂組成物の製造工程を簡略化することができる。
【0060】
樹脂[K2]において、それぞれに由来する構造単位の比率は、樹脂[K2]を構成する全構造単位中、
(a)に由来する構造単位;2~45モル%
(b)に由来する構造単位;2~95モル%
(c)に由来する構造単位;1~65モル%
であることが好ましく、
(a)に由来する構造単位;5~40モル%
(b)に由来する構造単位;5~80モル%
(c)に由来する構造単位;5~60モル%
であることがより好ましい。
【0061】
樹脂[K2]の構造単位の比率が上記の範囲にあると、着色硬化性樹脂組成物の保存安定性、着色パターンを形成する際の現像性、並びに、得られる光学フィルタの耐溶剤性、耐熱性及び機械強度に優れる傾向がある。
【0062】
樹脂[K2]は、例えば、樹脂[K1]の製造方法として記載した方法と同様に製造することができる。
【0063】
樹脂[K3]において、それぞれに由来する構造単位の比率は、樹脂[K3]を構成する全構造単位中、
(a)に由来する構造単位;2~60モル%
(c)に由来する構造単位;40~98モル%
であることが好ましく、
(a)に由来する構造単位;10~50モル%
(c)に由来する構造単位;50~90モル%
であることがより好ましい。
【0064】
樹脂[K3]は、例えば、樹脂[K1]の製造方法として記載した方法と同様に製造することができる。
【0065】
樹脂[K4]は、(a)と(c)との共重合体を得て、(b)が有する炭素数2~4の環状エーテルを(a)が有するカルボン酸及び/又はカルボン酸無水物に付加させることにより製造することができる。
【0066】
まず(a)と(c)との共重合体を、樹脂[K1]の製造方法として記載した方法と同様に製造する。この場合、それぞれに由来する構造単位の比率は、樹脂[K3]で例示される比率と同様であることが好ましい。
【0067】
次に、上記の共重合体中の(a)に由来するカルボン酸及び/又はカルボン酸無水物の一部に、(b)が有する炭素数2~4の環状エーテルを反応させる。(a)と(c)との共重合体の製造に引き続き、フラスコ内雰囲気を窒素から空気に置換し、(b)、カルボン酸又はカルボン酸無水物と環状エーテルとの反応触媒(例えば、トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール等)及び重合禁止剤(例えば、ハイドロキノン等)等をフラスコ内に入れて、例えば、60~130℃で、1~10時間反応することにより、樹脂[K4]を製造することができる。
【0068】
(b)の使用量は、(a)100モルに対して、好ましくは5~80モル、より好ましくは10~75モルである。この範囲にすることにより、着色硬化性樹脂組成物の保存安定性、パターンを形成する際の現像性、並びに、得られるパターンの耐溶剤性、耐熱性、機械強度及び感度のバランスが良好になる傾向がある。環状エーテルの反応性が高く、未反応の(b)が残存し難いことから、樹脂[K4]に用いる(b)は、好ましくは(b1)、より好ましくは(b1-1)である。
【0069】
上記の反応触媒の使用量は、好ましくは、(a)、(b)及び(c)の合計量100質量部に対して0.001~5質量部である。上記の重合禁止剤の使用量は、好ましくは、(a)、(b)及び(c)の合計量100質量部に対して0.001~5質量部である。
【0070】
仕込方法、反応温度及び時間等の反応条件は、製造設備、重合による発熱量等を考慮して適宜調整することができる。
【0071】
樹脂[K5]は、第一段階として、上記の樹脂[K1]の製造方法と同様にして、(b)と(c)との共重合体を得る。上記と同様に、得られた共重合体は、反応後の溶液をそのまま使用してもよいし、濃縮あるいは希釈した溶液を使用してもよい。また、得られた共重合体は、再沈殿等の方法で固体(粉体)として取り出したものを使用してもよい。
【0072】
(b)及び(c)に由来する構造単位の比率は、上記の共重合体を構成する全構造単位の合計モル数に対して、それぞれ、
(b)に由来する構造単位;5~95モル%
(c)に由来する構造単位;5~95モル%
であることが好ましく、
(b)に由来する構造単位;10~90モル%
(c)に由来する構造単位;10~90モル%
であることがより好ましい。
【0073】
さらに、樹脂[K4]の製造方法と同様の条件で、(b)と(c)との共重合体が有する(b)に由来する環状エーテルに、(a)が有するカルボン酸又はカルボン酸無水物を反応させることにより、樹脂[K5]を得ることができる。
【0074】
上記の共重合体に反応させる(a)の使用量は、好ましくは(b)100モルに対して、5~80モルである。環状エーテルの反応性が高く、未反応の(b)が残存し難いことから、樹脂[K5]に用いる(b)は、好ましくは(b1)、より好ましくは(b1-1)である。
【0075】
樹脂[K5’]において、それぞれに由来する構造単位の比率は、樹脂[K5’]を構成する全構造単位中、
(a)に由来する構造単位((b)は付加していない);0~30モル%
(a)に由来する構造単位に(b)を付加させた構造単位;5~95モル%
(c)に由来する構造単位;5~95モル%
であることが好ましく、
(a)に由来する構造単位((b)は付加していない);0~10モル%
(a)に由来する構造単位に(b)を付加させた構造単位;15~90モル%
(c)に由来する構造単位;10~85モル%
であることがより好ましく、
(a)に由来する構造単位((b)は付加していない);0~5モル%
(a)に由来する構造単位に(b)を付加させた構造単位;20~80モル%
(c)に由来する構造単位;20~80モル%
であることがよりさらに好ましい。
(a)に由来する構造単位((b)は付加していない)と、(a)に由来する構造単位に(b)を付加させた構造単位と、(c)に由来する構造単位の合計は、樹脂[K5’]を構成する全構造単位中、例えば、90モル%以上、好ましくは95モル%以上、より好ましくは98モル%以上、特に好ましくは100モル%である。
(a)に由来する構造単位((b)は付加していない)としては、(メタ)アクリル酸などの不飽和モノカルボン酸に由来する構造単位が好ましい。(a)に由来する構造単位に(b)を付加させた構造単位としては、(メタ)アクリル酸などの不飽和モノカルボン酸に由来する構造単位に、直鎖状又は分枝鎖状の脂肪族不飽和炭化水素がエポキシ化された構造を有する単量体(b1-1)を付加させた構造単位が好ましい。(c)に由来する構造単位としては、直鎖又は分岐鎖の脂肪族飽和炭化水素基を有する(メタ)アクリル酸エステル類、環状飽和炭化水素基を有する(メタ)アクリル酸エステル類から選ばれる1種以上が好ましく、2種以上がより好ましい。
樹脂[K5’]は、上記の樹脂[K4]の製造方法を参照して行ってもよく、(b)の使用量は、(a)100モルに対して、80モル超100モル以下であればよい。
【0076】
樹脂[K6]は、樹脂[K5]に、さらにカルボン酸無水物を反応させた樹脂である。環状エーテルとカルボン酸又はカルボン酸無水物との反応により発生するヒドロキシ基に、カルボン酸無水物を反応させる。
【0077】
カルボン酸無水物としては、無水マレイン酸、シトラコン酸無水物、イタコン酸無水物、3-ビニルフタル酸無水物、4-ビニルフタル酸無水物、3,4,5,6-テトラヒドロフタル酸無水物、1,2,3,6-テトラヒドロフタル酸無水物、ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、5,6-ジカルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン無水物等が挙げられる。カルボン酸無水物の使用量は、好ましくは、(a)の使用量1モルに対して、0.5~1モルである。
【0078】
具体的な樹脂(B)としては、3,4-エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体、3,4-エポキシトリシクロ[5.2.1.02,6]デシルアクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体等の樹脂[K1];グリシジル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体、グリシジル(メタ)アクリレート/スチレン/(メタ)アクリル酸共重合体、3,4-エポキシトリシクロ[5.2.1.02,6]デシルアクリレート/(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート、3,4-エポキシトリシクロ[5.2.1.02,6]デシルアクリレート/(メタ)アクリル酸/N-シクロヘキシルマレイミド共重合体、3,4-エポキシトリシクロ[5.2.1.02,6]デシルアクリレート/(メタ)アクリル酸/N-シクロヘキシルマレイミド/2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート共重合体、3-メチル-3-(メタ)アクリルロイルオキシメチルオキセタン/(メタ)アクリル酸/スチレン共重合体等の樹脂[K2];ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体、スチレン/(メタ)アクリル酸共重合体等の樹脂[K3];ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体にグリシジル(メタ)アクリレートを付加させた樹脂、トリシクロデシル(メタ)アクリレート/スチレン/(メタ)アクリル酸共重合体にグリシジル(メタ)アクリレートを付加させた樹脂、トリシクロデシル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体にグリシジル(メタ)アクリレートを付加させた樹脂等の樹脂[K4];トリシクロデシル(メタ)アクリレート/グリシジル(メタ)アクリレートの共重合体に(メタ)アクリル酸を反応させた樹脂、トリシクロデシル(メタ)アクリレート/スチレン/グリシジル(メタ)アクリレートの共重合体に(メタ)アクリル酸を反応させた樹脂等の樹脂[K5];トリシクロデシル(メタ)アクリレート/グリシジル(メタ)アクリレートの共重合体に(メタ)アクリル酸を反応させた樹脂にさらにテトラヒドロフタル酸無水物を反応させた樹脂等の樹脂[K6]等が挙げられる。
【0079】
樹脂(B)は、好ましくは、不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群より選ばれる少なくとも1種に由来する構造単位と、炭素数2~4の環状エーテル構造とエチレン性不飽和結合とを有する構造単位とを少なくとも含む共重合体、より好ましくは樹脂[K1]又は樹脂[K2]、さらに好ましくは樹脂[K2]である。
【0080】
樹脂(B)のポリスチレン換算の重量平均分子量は、好ましくは3000~100000、より好ましくは5000~50000、さらに好ましくは5000~30000である。重量平均分子量が上記の範囲内にあると、光学フィルタの硬度が向上し、残膜率が高く、未露光部の現像液に対する溶解性が良好で、着色パターンの解像度が向上する傾向がある。
【0081】
樹脂(B)の分散度[重量平均分子量(Mw)/数平均分子量(Mn)]は、好ましくは1.1~6、より好ましくは1.2~4である。
【0082】
樹脂(B)の酸価は、固形分換算で、好ましくは50~170mg-KOH/g、より好ましくは60~150mg-KOH/g、さらに好ましくは70~135mg-KOH/gである。ここで、酸価は樹脂(B)1gを中和するために必要な水酸化カリウムの量(mg)として測定される値であり、例えば、水酸化カリウム水溶液を用いて滴定することにより求めることができる。
【0083】
樹脂(B)の含有量は、着色硬化性樹脂組成物の固形分の総量を基準として、好ましくは5~60質量%、より好ましくは10~55質量%、さらに好ましくは20~50質量%である。樹脂(B)の含有量が、上記の範囲内にあると、着色パターンが形成でき、また着色パターンの解像度及び残膜率が向上する傾向がある。
【0084】
<重合性化合物(C)>
重合性化合物(C)は、重合開始剤(D)から発生した活性ラジカル及び/又は酸によって重合し得る化合物である。重合性化合物(C)としては、例えば、重合性のエチレン性不飽和結合を有する化合物等が挙げられる。重合性化合物(C)は、好ましくは(メタ)アクリル酸エステル化合物である。
【0085】
重合性化合物(C)は、好ましくはエチレン性不飽和結合を3つ以上有する重合性化合物である。このような重合性化合物としては、例えば、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールオクタ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタ(メタ)アクリレート、テトラペンタエリスリトールデカ(メタ)アクリレート、テトラペンタエリスリトールノナ(メタ)アクリレート、トリス(2-(メタ)アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、エチレングリコール変性ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、エチレングリコール変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、プロピレングリコール変性ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、プロピレングリコール変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらの中でも、重合性化合物(C)は、好ましくは、トリメチロールプロパントリアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート又はジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートである。
【0086】
重合性化合物(C)の分子量又は重量平均分子量は、好ましくは150~2900、より好ましくは250~1500である。
【0087】
重合性化合物(C)の含有量は、着色硬化性樹脂組成物の固形分の総量を基準として、好ましくは5~60質量%、より好ましくは10~50質量%、さらに好ましくは20~40質量%である。重合性化合物(C)の含有量が、上記の範囲内にあると、着色パターン形成時の残膜率及び光学フィルタの耐薬品性が向上する傾向にある。
【0088】
<重合開始剤(D)>
重合開始剤(D)は、光又は熱の作用により活性ラジカル、酸等を発生し、重合を開始し得る化合物であれば特に限定されることなく、公知の重合開始剤を用いることができる。活性ラジカルを発生する重合開始剤としては、例えば、O-アシルオキシム化合物、アルキルフェノン化合物、トリアジン化合物、アシルホスフィンオキサイド化合物、ビイミダゾール化合物が挙げられる。
【0089】
O-アシルオキシム化合物は、式(d1)で表される部分構造を有する化合物である。以下、*は結合手を表す。
【0090】
【0091】
O-アシルオキシム化合物としては、例えば、N-ベンゾイルオキシ-1-(4-フェニルスルファニルフェニル)ブタン-1-オン-2-イミン、N-ベンゾイルオキシ-1-(4-フェニルスルファニルフェニル)オクタン-1-オン-2-イミン、N-ベンゾイルオキシ-1-(4-フェニルスルファニルフェニル)-3-シクロペンチルプロパン-1-オン-2-イミン、N-アセトキシ-1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]エタン-1-イミン、N-アセトキシ-1-[9-エチル-6-{2-メチル-4-(3,3-ジメチル-2,4-ジオキサシクロペンタニルメチルオキシ)ベンゾイル}-9H-カルバゾール-3-イル]エタン-1-イミン、N-アセトキシ-1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-3-シクロペンチルプロパン-1-イミン、N-ベンゾイルオキシ-1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-3-シクロペンチルプロパン-1-オン-2-イミン、N-アセチルオキシ-1-(4-フェニルスルファニルフェニル)-3-シクロヘキシルプロパン-1-オン-2-イミン等が挙げられる。O-アシルオキシム化合物として、イルガキュア(登録商標、以下、同様)OXE01(N-ベンゾイルオキシ-1-(4-フェニルスルファニルフェニル)オクタン-1-オン-2-イミン)、イルガキュアOXE02(N-アセトキシ-1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]エタン-1-イミン)(以上、BASF社製)、N-1919((株)ADEKA製)等の市販品を用いてもよい。
【0092】
これらの中でも、O-アシルオキシム化合物は、好ましくは、N-アセチルオキシ-1-(4-フェニルスルファニルフェニル)-3-シクロヘキシルプロパン-1-オン-2-イミン、N-ベンゾイルオキシ-1-(4-フェニルスルファニルフェニル)ブタン-1-オン-2-イミン、N-ベンゾイルオキシ-1-(4-フェニルスルファニルフェニル)オクタン-1-オン-2-イミン、N-アセトキシ-1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]エタン-1-イミン及びN-ベンゾイルオキシ-1-(4-フェニルスルファニルフェニル)-3-シクロペンチルプロパン-1-オン-2-イミンからなる群から選ばれる少なくとも1種、より好ましくは、N-アセチルオキシ-1-(4-フェニルスルファニルフェニル)-3-シクロヘキシルプロパン-1-オン-2-イミン、N-ベンゾイルオキシ-1-(4-フェニルスルファニルフェニル)オクタン-1-オン-2-イミン又はN-アセトキシ-1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]エタン-1-イミンである。このようなO-アシルオキシム化合物を用いると、高明度な光学フィルタが得られる傾向にある。
【0093】
アルキルフェノン化合物は、式(d2)で表される部分構造又は式(d3)で表される部分構造を有する化合物である。これらの部分構造中、ベンゼン環は置換基を有していてもよい。
【0094】
【0095】
式(d2)で表される部分構造を有する化合物としては、例えば、2-メチル-2-モルホリノ-1-(4-メチルスルファニルフェニル)プロパン-1-オン、2-ジメチルアミノ-1-(4-モルホリノフェニル)-2-ベンジルブタン-1-オン、2-(ジメチルアミノ)-2-[(4-メチルフェニル)メチル]-1-[4-(4-モルホリニル)フェニル]ブタン-1-オン等が挙げられる。式(d2)で表される部分構造を有する化合物として、イルガキュア369、907、379(以上、BASF社製)等の市販品を用いてもよい。
【0096】
式(d3)で表される部分構造を有する化合物としては、例えば、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-フェニルプロパン-1-オン、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-[4-(2-ヒドロキシエトキシ)フェニル]プロパン-1-オン、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-(4-イソプロペニルフェニル)プロパン-1-オンのオリゴマー、α,α-ジエトキシアセトフェノン、ベンジルジメチルケタール等が挙げられる。
【0097】
アルキルフェノン化合物は、感度の点で、好ましくは、式(d2)で表される部分構造を有する化合物である。
【0098】
トリアジン化合物としては、例えば、2,4-ビス(トリクロロメチル)-6-(4-メトキシフェニル)-1,3,5-トリアジン、2,4-ビス(トリクロロメチル)-6-(4-メトキシナフチル)-1,3,5-トリアジン、2,4-ビス(トリクロロメチル)-6-ピペロニル-1,3,5-トリアジン、2,4-ビス(トリクロロメチル)-6-(4-メトキシスチリル)-1,3,5-トリアジン、2,4-ビス(トリクロロメチル)-6-[2-(5-メチルフラン-2-イル)エテニル]-1,3,5-トリアジン、2,4-ビス(トリクロロメチル)-6-[2-(フラン-2-イル)エテニル]-1,3,5-トリアジン、2,4-ビス(トリクロロメチル)-6-[2-(4-ジエチルアミノ-2-メチルフェニル)エテニル]-1,3,5-トリアジン、2,4-ビス(トリクロロメチル)-6-[2-(3,4-ジメトキシフェニル)エテニル]-1,3,5-トリアジン等が挙げられる。
【0099】
アシルホスフィンオキサイド化合物としては、2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド等が挙げられる。アシルホスフィンオキサイド化合物として、イルガキュア819(BASF製)等の市販品を用いてもよい。
【0100】
ビイミダゾール化合物としては、例えば、2,2’-ビス(2-クロロフェニル)-4,4’,5,5’-テトラフェニルビイミダゾール、2,2’-ビス(2,3-ジクロロフェニル)-4,4’,5,5’-テトラフェニルビイミダゾール(例えば、特開平6-75372号公報、特開平6-75373号公報等参照)、2,2’-ビス(2-クロロフェニル)-4,4’,5,5’-テトラフェニルビイミダゾール、2,2’-ビス(2-クロロフェニル)-4,4’,5,5’-テトラ(アルコキシフェニル)ビイミダゾール、2,2’-ビス(2-クロロフェニル)-4,4’,5,5’-テトラ(ジアルコキシフェニル)ビイミダゾール、2,2’-ビス(2-クロロフェニル)-4,4’,5,5’-テトラ(トリアルコキシフェニル)ビイミダゾール(例えば、特公昭48-38403号公報、特開昭62-174204号公報等参照)、4,4’5,5’-位のフェニル基がカルボアルコキシ基により置換されているビイミダゾール化合物(例えば、特開平7-10913号公報等参照)等が挙げられる。
【0101】
さらに重合開始剤(D)としては、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾイン化合物;ベンゾフェノン、o-ベンゾイル安息香酸メチル、4-フェニルベンゾフェノン、4-ベンゾイル-4’-メチルジフェニルサルファイド、3,3’,4,4’-テトラ(tert-ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、2,4,6-トリメチルベンゾフェノン等のベンゾフェノン化合物;9,10-フェナンスレンキノン、2-エチルアントラキノン、カンファーキノン等のキノン化合物;10-ブチル-2-クロロアクリドン、ベンジル、フェニルグリオキシル酸メチル、チタノセン化合物等が挙げられる。これらは、後述の重合開始助剤(D1)(特にアミン類)と組み合わせて用いることが好ましい。
【0102】
酸を発生する重合開始剤としては、例えば、4-ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムp-トルエンスルホナート、4-ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、4-アセトキシフェニルジメチルスルホニウムp-トルエンスルホナート、4-アセトキシフェニルメチルベンジルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムp-トルエンスルホナート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニルヨードニウムp-トルエンスルホナート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート等のオニウム塩類、ニトロベンジルトシレート類、ベンゾイントシレート類などが挙げられる。
【0103】
重合開始剤(D)は、好ましくは、O-アシルオキシム化合物、アルキルフェノン化合物、トリアジン化合物、アシルホスフィンオキサイド化合物及びビイミダゾール化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種を含む重合開始剤、より好ましくは、O-アシルオキシム化合物を含む重合開始剤である。
【0104】
重合開始剤(D)の含有量は、樹脂(B)及び重合性化合物(C)の合計量100質量部に対して、好ましくは0.1~30質量部、より好ましくは1~20質量部である。重合開始剤(D)の含有量が上記の範囲内にあると、高感度化して露光時間が短縮される傾向にあるため光学フィルタの生産性の向上が期待できる。
【0105】
<重合開始助剤(D1)>
重合開始助剤(D1)は、重合性化合物の重合を促進するために用いられる化合物又は増感剤である。着色硬化性樹脂組成物が重合開始助剤(D1)を含有する場合、通常、重合開始剤(D)と組み合わせて用いられる。
【0106】
重合開始助剤(D1)としては、アミン化合物、アルコキシアントラセン化合物、チオキサントン化合物及びカルボン酸化合物等が挙げられる。
【0107】
アミン化合物としては、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、4-ジメチルアミノ安息香酸メチル、4-ジメチルアミノ安息香酸エチル、4-ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸2-ジメチルアミノエチル、4-ジメチルアミノ安息香酸2-エチルヘキシル、N,N-ジメチルパラトルイジン、4,4’-ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(通称ミヒラーズケトン)、4,4’-ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’-ビス(エチルメチルアミノ)ベンゾフェノン等が挙げられる。アミン化合物として、EAB-F(保土谷化学工業(株)製)等の市販品を用いてもよい。これらの中でも、アミン化合物は、好ましくは4,4’-ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンである。
【0108】
アルコキシアントラセン化合物としては、9,10-ジメトキシアントラセン、2-エチル-9,10-ジメトキシアントラセン、9,10-ジエトキシアントラセン、2-エチル-9,10-ジエトキシアントラセン、9,10-ジブトキシアントラセン、2-エチル-9,10-ジブトキシアントラセン等が挙げられる。
【0109】
チオキサントン化合物としては、2-イソプロピルチオキサントン、4-イソプロピルチオキサントン、2,4-ジエチルチオキサントン、2,4-ジクロロチオキサントン、1-クロロ-4-プロポキシチオキサントン等が挙げられる。
【0110】
カルボン酸化合物としては、フェニルスルファニル酢酸、メチルフェニルスルファニル酢酸、エチルフェニルスルファニル酢酸、メチルエチルフェニルスルファニル酢酸、ジメチルフェニルスルファニル酢酸、メトキシフェニルスルファニル酢酸、ジメトキシフェニルスルファニル酢酸、クロロフェニルスルファニル酢酸、ジクロロフェニルスルファニル酢酸、N-フェニルグリシン、フェノキシ酢酸、ナフチルチオ酢酸、N-ナフチルグリシン、ナフトキシ酢酸等が挙げられる。
【0111】
これらの重合開始助剤(D1)を用いる場合、その含有量は、樹脂(B)及び重合性化合物(C)の合計量100質量部に対して、好ましくは0.1~30質量部、より好ましくは1~20質量部である。重合開始助剤(D1)の量がこの範囲内にあると、さらに高感度で着色パターンを形成することができ、光学フィルタの生産性が向上する傾向にある。
【0112】
<溶剤(E)>
溶剤(E)は、特に限定されず、当該分野で通常使用される溶剤を用いることができる。例えば、エステル溶剤(分子内に-COO-を含み、-O-を含まない溶剤)、エーテル溶剤(分子内に-O-を含み、-COO-を含まない溶剤)、エーテルエステル溶剤(分子内に-COO-と-O-とを含む溶剤)、ケトン溶剤(分子内に-CO-を含み、-COO-を含まない溶剤)、アルコール溶剤(分子内にOHを含み、-O-、-CO-及び-COO-を含まない溶剤)、芳香族炭化水素溶剤、アミド溶剤、ジメチルスルホキシド等が挙げられる。
【0113】
エステル溶剤としては、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸ブチル、2-ヒドロキシイソブタン酸メチル、酢酸エチル、酢酸n-ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸ペンチル、酢酸イソペンチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、シクロヘキサノールアセテート及びγ-ブチロラクトン等が挙げられる。
【0114】
エーテル溶剤としては、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、3-メトキシ-1-ブタノール、3-メトキシ-3-メチルブタノール、テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン、1,4-ジオキサン、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、アニソール、フェネトール及びメチルアニソール等が挙げられる。
【0115】
エーテルエステル溶剤としては、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、3-メトキシプロピオン酸メチル、3-メトキシプロピオン酸エチル、3-エトキシプロピオン酸メチル、3-エトキシプロピオン酸エチル、2-メトキシプロピオン酸メチル、2-メトキシプロピオン酸エチル、2-メトキシプロピオン酸プロピル、2-エトキシプロピオン酸メチル、2-エトキシプロピオン酸エチル、2-メトキシ-2-メチルプロピオン酸メチル、2-エトキシ-2-メチルプロピオン酸エチル、3-メトキシブチルアセテート、3-メチル-3-メトキシブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート及びジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート等が挙げられる。
【0116】
ケトン溶剤としては、4-ヒドロキシ-4-メチル-2-ペンタノン、アセトン、2-ブタノン、2-ヘプタノン、3-ヘプタノン、4-ヘプタノン、4-メチル-2-ペンタノン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン及びイソホロン等が挙げられる。
【0117】
アルコール溶剤としては、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、プロピレングリコール及びグリセリン等が挙げられる。
【0118】
芳香族炭化水素溶剤としては、ベンゼン、トルエン、キシレン及びメシチレン等が挙げられる。
【0119】
アミド溶剤としては、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド及びN-メチルピロリドン等が挙げられる。
【0120】
これらの中でも、溶剤(E)は、好ましくはエーテルエステル溶剤及びエーテル溶剤からなる群より選ばれる少なくとも1種、より好ましくはプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート又はジエチレングリコールエチルメチルエーテルである。
【0121】
溶剤(E)の含有量は、着色硬化性樹脂組成物の総量を基準として、好ましくは70~95質量%、より好ましくは75~92質量%である。言い換えると、着色硬化性樹脂組成物の固形分の含有量は、着色硬化性樹脂組成物の総量を基準として、好ましくは5~30質量%、より好ましくは8~25質量%である。溶剤(E)の含有量が上記の範囲内にあると、塗布時の平坦性が良好になり、光学フィルタを形成した際に色濃度が不足し難いために表示特性が良好となる傾向にある。
【0122】
エーテルエステル溶剤を使用する場合、エーテルエステル溶剤の含有量は、溶剤の総量を基準として、好ましくは10~100質量%、より好ましくは15~90質量%、さらに好ましくは17~80質量%である。
【0123】
エーテル溶剤を使用する場合、エーテル溶剤の含有量は、溶剤の総量を基準として、好ましくは20~90質量%、より好ましくは30~85質量%、さらに好ましくは40~80質量%である。
【0124】
<レベリング剤(F)>
レベリング剤(F)としては、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤及びフッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤等が挙げられる。これらは、側鎖に重合性基を有していてもよい。
【0125】
シリコーン系界面活性剤としては、分子内にシロキサン結合を有する界面活性剤等が挙げられる。具体的には、トーレシリコーンDC3PA、同SH7PA、同DC11PA、同SH21PA、同SH28PA、同SH29PA、同SH30PA、同SH8400(商品名、東レ・ダウコーニング(株)製)、KP321、KP322、KP323、KP324、KP326、KP340、KP341(信越化学工業(株)製)、TSF400、TSF401、TSF410、TSF4300、TSF4440、TSF4445、TSF4446、TSF4452、TSF4460(モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン合同会社製)等が挙げられる。
【0126】
フッ素系界面活性剤としては、分子内にフルオロカーボン鎖を有する界面活性剤等が挙げられる。具体的には、フロラード(登録商標)FC430、同FC431(住友スリーエム(株)製)、メガファック(登録商標)F142D、同F171、同F172、同F173、同F177、同F183、同F554、同R30、同RS-718-K(DIC(株)製)、エフトップ(登録商標)EF301、同EF303、同EF351、同EF352(三菱マテリアル電子化成(株)製)、サーフロン(登録商標)S381、同S382、同SC101、同SC105(AGC(株)(旧旭硝子(株))製)及びE5844((株)ダイキンファインケミカル研究所製)等が挙げられる。
【0127】
フッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤としては、分子内にシロキサン結合及びフルオロカーボン鎖を有する界面活性剤等が挙げられる。具体的には、メガファック(登録商標)R08、同BL20、同F475、同F477及び同F443(DIC(株)製)等が挙げられる。
【0128】
レベリング剤(F)の含有量は、着色硬化性樹脂組成物の総量を基準として、好ましくは0.001~0.2質量%、より好ましくは0.002~0.1質量%、さらに好ましくは0.01~0.05質量%である。なお、この含有量に、上記顔料分散剤の含有量は含まれない。レベリング剤(F)の含有量が上記の範囲内にあると、光学フィルタの平坦性を良好にすることができる。
【0129】
<その他の成分>
本実施形態の着色硬化性樹脂組成物は、必要に応じて、分散剤、充填剤、他の高分子化合物、密着促進剤、酸化防止剤、光安定剤、連鎖移動剤等、当該技術分野で公知の添加剤を含有していてもよい。本実施形態の着色硬化性樹脂組成物は、赤外線透過のために好適に使用される。
【0130】
<着色硬化性樹脂組成物の製造方法>
本実施形態の着色硬化性樹脂組成物は、例えば、着色剤(A)、樹脂(B)、重合性化合物(C)、重合開始剤(D)及び溶剤(E)、並びに、必要に応じて用いられる重合開始助剤(D1)、溶剤(E)及びその他の成分を混合することにより調製することができる。
【0131】
着色剤(A)は、着色剤(A1)を含む着色分散液又は顔料分散液を調製してもよい。例えば、着色分散液又は顔料分散液に、残りの成分を、所定の濃度となるように混合することにより、目的の着色硬化性樹脂組成物を調製することができる。
【0132】
着色硬化性樹脂組成物が着色剤(A2)として染料を場合の染料は、予め溶剤(E)の一部又は全部にそれぞれ溶解させて溶液を調製してもよい。当該溶液は、孔径0.01~1μm程度のフィルタでろ過することが好ましい。
【0133】
着色硬化性樹脂組成物は、各成分を混合した後に、孔径0.01~10μm程度のフィルタでろ過することが好ましい。
【0134】
[光学フィルタ及びその製造方法]
本実施形態の着色硬化性樹脂組成物から着色パターンを製造する方法としては、フォトリソグラフ法、インクジェット法、印刷法等が挙げられる。これらの中でも、着色パターンを製造する方法は、好ましくはフォトリソグラフ法である。フォトリソグラフ法は、着色硬化性樹脂組成物を基板に塗布し、乾燥させて着色塗膜を形成し、フォトマスクを介して該着色塗膜を露光して、現像する方法である。フォトリソグラフ法において、露光の際にフォトマスクを用いないこと、及び/又は、現像しないことにより、着色塗膜の硬化物である着色硬化塗膜を形成することができる。このようにして形成された着色パターン又は着色硬化塗膜が本実施形態の光学フィルタである。
【0135】
作製する光学フィルタの膜厚は、特に限定されず、目的及び用途等に応じて適宜調整することができる。光学フィルタの膜厚は、例えば、0.1~30μmであってよく、好ましくは0.1~20μm、より好ましくは0.5~6μmである。
【0136】
基板としては、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス、アルミナケイ酸塩ガラス、表面をシリカコートしたソーダライムガラス等のガラス板;ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル、ポリエチレンテレフタレート等の樹脂板;シリコン基板;これら基板上にアルミニウム、銀、銀/銅/パラジウム合金等の薄膜を形成した基板などが挙げられる。これらの基板上には、別の光学フィルタ(着色パターン又は着色硬化塗膜)、樹脂膜、トランジスタ、回路等が形成されていてもよい。
【0137】
フォトリソグラフ法による各色画素の形成は、公知又は慣用の装置、条件等で行うことができる。フォトリソグラフ法による各色画素の形成は、例えば、下記のようにして作製することができる。
【0138】
まず、着色硬化性樹脂組成物を基板上に塗布し、加熱乾燥(プリベーク)及び/又は減圧乾燥することにより溶剤等の揮発成分を除去して乾燥させ、平滑な着色塗膜を得る。
【0139】
塗布方法としては、スピンコート法、スリットコート法、スリット アンド スピンコート法等が挙げられる。加熱乾燥を行う場合の温度は、好ましくは30~120℃、より好ましくは50~110℃である。また、加熱時間は、好ましくは10秒~60分、より好ましくは30秒~30分である。減圧乾燥を行う場合は、50~150Paの圧力下、20~25℃の温度範囲で行うことが好ましい。
【0140】
着色塗膜の膜厚は、特に限定されず、目的とする光学フィルタの膜厚に応じて適宜選択することができる。
【0141】
次に、着色塗膜は、目的の着色パターンを形成するためのフォトマスクを介して露光される。フォトマスク上のパターンは、特に限定されず、目的とする用途に応じたパターンが用いられる。
【0142】
露光に用いられる光源は、好ましくは250~450nmの波長の光を発生する光源である。露光に用いられる光源は、例えば、350nm未満の光を、この波長域をカットするフィルタを用いてカットするものであってもよく、436nm付近、408nm付近、365nm付近の光を、これらの波長域を取り出すバンドパスフィルタを用いて選択的に取り出すものであってもよい。露光に用いられる光源の具体例としては、水銀灯、発光ダイオード、メタルハライドランプ、ハロゲンランプ等が挙げられる。
【0143】
露光においては、露光面全体に均一に平行光線を照射することができ、フォトマスクと着色塗膜が形成された基板との正確な位置合わせを行うことができるため、マスクアライナ及びステッパ等の露光装置を使用することが好ましい。
【0144】
露光後の着色塗膜(すなわち、着色硬化塗膜)を現像液に接触させて現像することにより、基板上に着色パターンが形成される。現像により、着色塗膜の未露光部が現像液に溶解して除去される。現像液としては、例えば、水酸化カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸ナトリウム、水酸化テトラメチルアンモニウム等のアルカリ性化合物の水溶液が挙げられる。これらのアルカリ性化合物の水溶液中の濃度は、好ましくは0.01~10質量%、より好ましくは0.03~5質量%である。現像液は、界面活性剤をさらに含んでいてもよい。
【0145】
現像方法としては、パドル法、ディッピング法、スプレー法等が挙げられる。現像時においては、基板を任意の角度に傾けながら行ってもよい。また、現像後においては、得られた着色パターンを水洗することが好ましい。
【0146】
得られた着色パターンにおいては、ポストベークを行うことが好ましい。ポストベーク温度は、好ましくは150~250℃、より好ましくは160~235℃である。ポストベーク時間は、好ましく1~120分、より好ましくは10~60分である。
【0147】
[固体撮像素子]
本実施形態の固体撮像素子は、着色パターン、着色硬化塗膜等である光学フィルタを含む。
【0148】
本実施形態の着色硬化性樹脂組成物によれば、例えば、赤外線透過フィルタを作製することができる。当該赤外線透過フィルタは、表示装置(例えば、液晶表示装置、有機EL装置、電子ペーパー等)及び固体撮像素子に用いられる膜として有用である。
【実施例0149】
以下、実施例を挙げて本発明をより具体的に説明するが、本発明はもとより下記実施例によって制限を受けるものではなく、上記・下記の趣旨に適合し得る範囲で適当に変更を加えて実施することも勿論可能であり、それらはいずれも本発明の技術的範囲に包含される。なお、以下においては、特に断りのない限り、「部」は「質量部」を、「%」は「質量%」を意味する。
【0150】
以下の実施例において、化合物の構造は質量分析装置(LC:Agilent社製1200型、MASS:Agilent社製LC/MSD6130型)で確認した。
【0151】
以下の実施例において、極大吸収波長は紫外可視近赤外吸収分光装置(日本分光(株)製V-770)で確認した。
【0152】
樹脂のポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)及び数平均分子量(Mn)の測定は、GPC法により以下の条件で行った。
装置:HLC-8120GPC(東ソー(株)製)
カラム:TSK-GELG2000HXL
カラム温度:40℃
溶剤:テトラヒドロフラン
流速:1.0mL/分
分析試料の固形分濃度:0.001~0.01質量%
注入量:50μL
検出器:RI
校正用標準物質:TSK STANDARD POLYSTYRENE F-40、F-4、F-288、A-2500、A-500(東ソー(株)製)
【0153】
上記で得られたポリスチレン換算の重量平均分子量及び数平均分子量の比(Mw/Mn)を分散度とした。
【0154】
(合成例1)
<式(II-1)で表される化合物(化合物(II-1))の合成>
Chemistry A European Journal、2017年、23巻、15446~15454頁に記載の合成法に準じて、式(X-1)で表される化合物とリチウムと1-ヘキサノールとを反応させることによって化合物(II-1)を得た。
【0155】
【0156】
<化合物(II-1)の同定>
(質量分析)イオン化モード=ESI+:m/z=[M+H]+ 1452
Exact Mass:1451
【0157】
(合成例2)
<樹脂(B-1)の合成>
還流冷却器、滴下ロート及び撹拌機を備えたフラスコ内に窒素を適量流し窒素雰囲気に置換し、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート340部を入れ、撹拌しながら80℃まで加熱した。次いで、アクリル酸57部、3,4-エポキシトリシクロ[5.2.1.02,6]デカン-8-イルアクリレート及び3,4-エポキシトリシクロ[5.2.1.02,6]デカン-9-イルアクリレートの混合物(含有比はモル比で1:1)54部、ベンジルメタクリレート239部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート73部の混合溶液を5時間かけて滴下した。一方、重合開始剤2,2-アゾビス(2,4-ジメチルバレロニトリル)40部をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート197部に溶解した開始剤溶液を6時間かけて滴下した。開始剤溶液の滴下終了後、80℃で3時間保持した後、室温(18~24℃)まで冷却して、B型粘度計(23℃)で測定した粘度127mPas、固形分37.0%の共重合体(樹脂(B-1))溶液を得た。生成した共重合体の重量平均分子量Mwは9.4×103、分散度は1.89、固形分換算の酸価は114mg-KOH/gであった。樹脂(B-1)は、以下の構造単位を有する。
【0158】
【0159】
(合成比較例)
特開2021-59721号公報の実施例1に記載の合成法に準拠して、フタロシアニン化合物Pc-02を得た。
【0160】
【0161】
(実施例1)
(1)着色樹脂組成物1Aの調製
着色剤(A)として化合物(II-1)30部、分散剤(BYK製、BYKLPN-6919)(固形分換算)24部、樹脂(B)として樹脂(B-1)(固形分換算)24部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート522部及び0.2mmのジルコニアビーズ900部を混合し、ペイントコンディショナー(LAU社製)を使用して、得られた混合物を1時間振盪した。その後、ジルコニアビーズをろ過により除去して着色樹脂組成物1Aを得た。
【0162】
(2)着色剤(A)の紫外可視近赤外吸収分光測定
着色樹脂組成物1Aの化合物(II-1)の含有量が10ppmになるように、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを用いて希釈し、波長1400~300nm(データサンプリング間隔1nm)の範囲で測定した。このとき、吸光度の極大値を示す波長を極大吸収波長λmaxとした。また、波長780nmにおける吸光度Abs(780)とλmaxにおける吸光度Abs(λmax)との比(Abs(780)/Abs(λmax))を算出した。光学フィルタは、可視領域の上限780nmの光を吸収する必要があることから、この値が大きいほど、近赤外線透過性を有する光学フィルタの特性として好ましい。また、波長1000~1400nmの範囲の最大吸光度Abs(1000-1400)とλmaxにおける吸光度Abs(λmax)との比(Abs(1000-1400)/Abs(λmax))を算出した。この値が小さいほど、近赤外領域の透過性が高くなり、センサーとしての感度が高くなるため、近赤外線透過性を有する光学フィルタの特性として好ましい。結果を表1に示す。
【0163】
(3)着色硬化性樹脂組成物1Bの作製
下記の成分を混合することにより、着色硬化性樹脂組成物1Bを得た。
・着色樹脂組成物1A:720部
(着色剤(A):化合物(II-1)36部
樹脂(B):樹脂(B-1)(固形分換算)28.8部
溶剤(E):プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート626部
その他の成分:分散剤(BYK社製、BYKLPN-6919)(固形分換算)28.8部)
・樹脂(B):合成例2で得られた樹脂(B-1)73部(固形換算)
・重合性化合物(C):ジペンタエリスリトールポリアクリレート(商品名A-9550、新中村化学工業(株)製)68部(固形換算)
・重合開始剤(D):N-アセチルオキシ-1-(4-フェニルスルファニルフェニル)-3-シクロヘキシルプロパン-1-オン-2-イミン(商品名TR-PBG327、常州強力電子新材料社製))5.1部
・溶剤(E):プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート1134部
・レベリング剤(F):ポリエーテル変性シリコーンオイル(商品名トーレシリコーンSH8400、東レダウコーニング(株)製)1.4部
【0164】
(4)着色硬化塗膜の作製
着色硬化性樹脂組成物1Bを、5cm角のガラス基板(イーグル2000、コーニング社製)上にスピンコート法で塗布し、着色塗膜を得た。その後、着色塗膜に対して、100℃で3分間プリベークを行い、オーブン中、230℃で20分間ポストベークを行うことによって着色硬化塗膜を得た。
【0165】
(5)耐熱性試験
得られた着色硬化塗膜を、オーブン中、大気雰囲気下で、260℃で10分間加熱し、加熱前後の着色硬化塗膜の吸光度維持率を測定した。ここで、吸光度維持率とは、下記式から算出される数値であり、吸光度維持率が100%に近いほど、耐熱性に優れることを意味する。また、着色硬化塗膜の耐熱性が良好であれば、同じ着色硬化性樹脂組成物1Bから作製される光学フィルタも、耐熱性に優れるといえる。結果を表2に示す。
吸光度維持率(%)=(加熱後の着色硬化塗膜の極大吸収波長における吸光度)/(加熱前の着色硬化塗膜の極大吸収波長における吸光度)×100
【0166】
(比較例1)
30部の化合物(II-1)に代えて、30部のフタロシアニン化合物Pc-02に変更した以外は、実施例1と同様にして、着色樹脂組成物1a及び着色硬化性樹脂組成物1bを得て、着色硬化塗膜を作製した。着色樹脂組成物1a及び着色硬化塗膜について、実施例1と同様にして、紫外可視近赤外吸収分光測定及び耐熱性試験を行った。結果を表1及び表2に示す。
【0167】
【0168】
【0169】
表1に示すとおり、所定の着色剤(化合物(II-1))は、優れた近赤外線透過性を有していた。また、表2に示すとおり、所定の着色剤(化合物(II-1))を含有する実施例1の着色硬化塗膜は、所定の着色剤を含有しない比較例1の着色硬化塗膜に比べて、加熱前後の着色硬化塗膜の吸光度維持率が100%に近かった。これらの結果から、本発明の着色硬化性樹脂組成物が、耐熱性に優れる光学フィルタを形成することが可能であることが確認された。