(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024111878
(43)【公開日】2024-08-20
(54)【発明の名称】検査装置及び検査方法
(51)【国際特許分類】
G01N 21/956 20060101AFI20240813BHJP
H01L 21/66 20060101ALI20240813BHJP
【ＦＩ】
G01N21/956 A
H01L21/66 J
【審査請求】未請求
【請求項の数】7
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023016551
(22)【出願日】2023-02-07
(71)【出願人】
【識別番号】000134051
【氏名又は名称】株式会社ディスコ
(74)【代理人】
【識別番号】100075384
【弁理士】
【氏名又は名称】松本 昂
(74)【代理人】
【識別番号】100172281
【弁理士】
【氏名又は名称】岡本 知広
(74)【代理人】
【識別番号】100206553
【弁理士】
【氏名又は名称】笠原 崇廣
(74)【代理人】
【識別番号】100189773
【弁理士】
【氏名又は名称】岡本 英哲
(74)【代理人】
【識別番号】100184055
【弁理士】
【氏名又は名称】岡野 貴之
(74)【代理人】
【識別番号】100185959
【弁理士】
【氏名又は名称】今藤 敏和
(72)【発明者】
【氏名】山田 陽平
【テーマコード（参考）】
2G051
4M106
【Ｆターム（参考）】
2G051AA51
2G051AA90
2G051AB02
2G051CA04
2G051CB01
2G051CB02
2G051EA16
2G051EB01
2G051ED04
2G051ED08
2G051ED11
2G051FA01
4M106AA01
4M106BA04
4M106BA08
4M106CA38
4M106DB04
4M106DJ03
4M106DJ27
(57)【要約】
【課題】被加工物の任意の箇所における加工結果を事後的に提供する。
【解決手段】保持テーブルと、撮像ユニットと、移動ユニットと、入力インターフェースと、ディスプレイと、プロセッサ及びメモリを有するコントローラと、を備え、コントローラは、移動ユニットで保持テーブルと撮像ユニットとを相対的に移動させ、保持テーブルで保持された被検査物を撮像ユニットで単位幅領域ごとにそれぞれ撮像することにより得られた複数の画像を含む画像データと、保持テーブルに対する被検査物の被撮像領域の座標を示す座標データと、に基づいて、被検査物の全体画像を作成してディスプレイに全体画像を表示させる全体画像表示部と、全体画像のうち作業者が入力インターフェースによって指定した指定位置の拡大画像をディスプレイに表示させる拡大画像表示部と、を有する検査装置が提供される。
【選択図】図９
【解決手段】保持テーブルと、撮像ユニットと、移動ユニットと、入力インターフェースと、ディスプレイと、プロセッサ及びメモリを有するコントローラと、を備え、コントローラは、移動ユニットで保持テーブルと撮像ユニットとを相対的に移動させ、保持テーブルで保持された被検査物を撮像ユニットで単位幅領域ごとにそれぞれ撮像することにより得られた複数の画像を含む画像データと、保持テーブルに対する被検査物の被撮像領域の座標を示す座標データと、に基づいて、被検査物の全体画像を作成してディスプレイに全体画像を表示させる全体画像表示部と、全体画像のうち作業者が入力インターフェースによって指定した指定位置の拡大画像をディスプレイに表示させる拡大画像表示部と、を有する検査装置が提供される。
【選択図】図９
【特許請求の範囲】
【請求項1】
被検査物を検査する検査装置であって、
該被検査物を保持する保持テーブルと、
撮像素子を含み、該保持テーブルで保持された該被検査物を撮像する撮像ユニットと、
該保持テーブルと該撮像ユニットとを相対的に移動させる移動ユニットと、
作業者が指示を入力するための入力インターフェースと、
該撮像ユニットで撮像された画像を表示するディスプレイと、
プロセッサ及びメモリを有し、該撮像ユニット、該移動ユニット、該入力インターフェース、及び、該ディスプレイを制御するコントローラと、を備え、
該コントローラは、
該メモリにそれぞれ記憶された画像データ及び座標データであって、該移動ユニットで該保持テーブルと該撮像ユニットとを相対的に移動させ、該保持テーブルで保持された該被検査物を該撮像ユニットで単位幅領域ごとにそれぞれ撮像することにより得られた複数の画像を含む該画像データと、該保持テーブルに対する該被検査物の被撮像領域の座標を示す該座標データと、に基づいて、該被検査物の全体画像を作成して該ディスプレイに該全体画像を表示させる全体画像表示部と、
該ディスプレイに表示された該全体画像のうち、該作業者が該入力インターフェースによって指定した指定位置の拡大画像を該ディスプレイに表示させる拡大画像表示部と、を有することを特徴とする検査装置。
該被検査物を保持する保持テーブルと、
撮像素子を含み、該保持テーブルで保持された該被検査物を撮像する撮像ユニットと、
該保持テーブルと該撮像ユニットとを相対的に移動させる移動ユニットと、
作業者が指示を入力するための入力インターフェースと、
該撮像ユニットで撮像された画像を表示するディスプレイと、
プロセッサ及びメモリを有し、該撮像ユニット、該移動ユニット、該入力インターフェース、及び、該ディスプレイを制御するコントローラと、を備え、
該コントローラは、
該メモリにそれぞれ記憶された画像データ及び座標データであって、該移動ユニットで該保持テーブルと該撮像ユニットとを相対的に移動させ、該保持テーブルで保持された該被検査物を該撮像ユニットで単位幅領域ごとにそれぞれ撮像することにより得られた複数の画像を含む該画像データと、該保持テーブルに対する該被検査物の被撮像領域の座標を示す該座標データと、に基づいて、該被検査物の全体画像を作成して該ディスプレイに該全体画像を表示させる全体画像表示部と、
該ディスプレイに表示された該全体画像のうち、該作業者が該入力インターフェースによって指定した指定位置の拡大画像を該ディスプレイに表示させる拡大画像表示部と、を有することを特徴とする検査装置。
【請求項2】
該コントローラは、
該拡大画像表示部によって該拡大画像が表示されている時間を計測する時間計測部と、
該時間計測部が計測した該時間が予め設定された所定の閾値を超えた場合に、該座標データのうち該拡大画像が表示された位置を記憶すると共に、該拡大画像が表示された位置を該作業者が検査を実施した検査済位置と判定する検査位置判定部と、
該全体画像に該検査済位置を表示させる検査済位置表示部と、
を有することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
該拡大画像表示部によって該拡大画像が表示されている時間を計測する時間計測部と、
該時間計測部が計測した該時間が予め設定された所定の閾値を超えた場合に、該座標データのうち該拡大画像が表示された位置を記憶すると共に、該拡大画像が表示された位置を該作業者が検査を実施した検査済位置と判定する検査位置判定部と、
該全体画像に該検査済位置を表示させる検査済位置表示部と、
を有することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項3】
該検査済位置表示部は、該検査済位置の時系列が分かる様に該全体画像に該検査済位置を表示させることを特徴とする請求項２に記載の検査装置。
【請求項4】
該検査済位置表示部は、該全体画像に該検査済位置を表示させると共に、該検査済位置に応じた該拡大画像のサムネイルをそれぞれの該検査済位置と関連付けて該全体画像に表示させることを特徴とする請求項２又は３に記載の検査装置。
【請求項5】
該保持テーブルは、所定の波長帯域の光に対して透明であり且つ該被検査物を保持する保持面を含む透明板を有し、
該撮像ユニットは、該透明板よりも上方に配置され該保持面で保持された該被検査物の上面側を撮像する上方撮像ユニットと、該透明板よりも下方に配置され該保持面で保持された該被検査物の下面側を該透明板を介して撮像する下方撮像ユニットと、を有し、
該全体画像表示部は、該上方撮像ユニットで撮像された上側全体画像と、該下方撮像ユニットで撮像された下側全体画像と、のいずれかを表示可能であり、
該拡大画像表示部は、該上方撮像ユニットで撮像された上側拡大画像と、該下方撮像ユニットで撮像された下側拡大画像と、のいずれかを表示可能であることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
該撮像ユニットは、該透明板よりも上方に配置され該保持面で保持された該被検査物の上面側を撮像する上方撮像ユニットと、該透明板よりも下方に配置され該保持面で保持された該被検査物の下面側を該透明板を介して撮像する下方撮像ユニットと、を有し、
該全体画像表示部は、該上方撮像ユニットで撮像された上側全体画像と、該下方撮像ユニットで撮像された下側全体画像と、のいずれかを表示可能であり、
該拡大画像表示部は、該上方撮像ユニットで撮像された上側拡大画像と、該下方撮像ユニットで撮像された下側拡大画像と、のいずれかを表示可能であることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項6】
検査装置を用いて被検査物を検査する検査方法であって、
該検査装置は、該被検査物を保持する保持テーブルと、撮像素子を含み該保持テーブルで保持された該被検査物を撮像する撮像ユニットと、該保持テーブルと該撮像ユニットとを相対的に移動させる移動ユニットと、作業者が該検査装置に指示を入力するための入力インターフェースと、該撮像ユニットで撮像された画像を表示するディスプレイと、プロセッサ及びメモリを有し、該撮像ユニット、該移動ユニット、該入力インターフェース、及び、該ディスプレイを制御するコントローラと、を含み、
該検査方法は、
該保持テーブルで該被検査物を保持する保持工程と、
該移動ユニットで該保持テーブルと該撮像ユニットとを相対的に移動させ、該保持テーブルで保持された該被検査物を該撮像ユニットで単位幅領域ごとにそれぞれ撮像し、複数の画像を得る撮像工程と、
該撮像工程で得られた該複数の画像を含む画像データと、該検査装置における基準位置に対する該被検査物の被撮像領域の座標を示す座標データと、を該コントローラが記憶する記憶工程と、
該コントローラが、該画像データ及び該座標データに基づいて、該被検査物の全体画像を作成して該ディスプレイに該全体画像を表示させる全体画像表示工程と、
該コントローラが、該ディスプレイに表示された該全体画像のうち、該作業者が該入力インターフェースによって指定した指定位置の拡大画像を該ディスプレイに表示させる拡大画像表示工程と、を備えることを特徴とする検査方法。
該検査装置は、該被検査物を保持する保持テーブルと、撮像素子を含み該保持テーブルで保持された該被検査物を撮像する撮像ユニットと、該保持テーブルと該撮像ユニットとを相対的に移動させる移動ユニットと、作業者が該検査装置に指示を入力するための入力インターフェースと、該撮像ユニットで撮像された画像を表示するディスプレイと、プロセッサ及びメモリを有し、該撮像ユニット、該移動ユニット、該入力インターフェース、及び、該ディスプレイを制御するコントローラと、を含み、
該検査方法は、
該保持テーブルで該被検査物を保持する保持工程と、
該移動ユニットで該保持テーブルと該撮像ユニットとを相対的に移動させ、該保持テーブルで保持された該被検査物を該撮像ユニットで単位幅領域ごとにそれぞれ撮像し、複数の画像を得る撮像工程と、
該撮像工程で得られた該複数の画像を含む画像データと、該検査装置における基準位置に対する該被検査物の被撮像領域の座標を示す座標データと、を該コントローラが記憶する記憶工程と、
該コントローラが、該画像データ及び該座標データに基づいて、該被検査物の全体画像を作成して該ディスプレイに該全体画像を表示させる全体画像表示工程と、
該コントローラが、該ディスプレイに表示された該全体画像のうち、該作業者が該入力インターフェースによって指定した指定位置の拡大画像を該ディスプレイに表示させる拡大画像表示工程と、を備えることを特徴とする検査方法。
【請求項7】
該拡大画像表示工程において該拡大画像が表示されている時間を該コントローラが計測する時間計測工程と、
該時間計測工程によって計測された該時間が予め設定された所定の閾値を超えた場合に、該コントローラが、該座標データのうち該拡大画像が表示された位置を記憶すると共に、該拡大画像が表示された位置を該作業者が検査を実施した検査済位置と判定する検査位置判定工程と、
該コントローラが、該全体画像に該検査済位置を表示させる検査済位置表示工程と、を更に備えることを特徴とする請求項６に記載の検査方法。
該時間計測工程によって計測された該時間が予め設定された所定の閾値を超えた場合に、該コントローラが、該座標データのうち該拡大画像が表示された位置を記憶すると共に、該拡大画像が表示された位置を該作業者が検査を実施した検査済位置と判定する検査位置判定工程と、
該コントローラが、該全体画像に該検査済位置を表示させる検査済位置表示工程と、を更に備えることを特徴とする請求項６に記載の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、被検査物を検査する検査装置と、検査装置を用いて被検査物を検査する検査方法と、に関する。
【背景技術】
【0002】
切削ブレードやレーザービームを利用して、ウェーハ（即ち、被加工物）を複数のチップに分割する加工技術が知られている。例えば、切削加工では、切削装置へ搬送された被加工物に切削ブレードで切削溝（即ち、カーフ）を形成した後、切削ブレードでの切削を一時中断し、当該切削装置内において顕微鏡カメラユニットを用いてカーフチェックが行われる（例えば、特許文献１参照）。
【0003】
カーフチェックは、例えば、撮像装置で切削溝の一箇所を顕微鏡カメラユニットで撮像して得られた画像をコンピュータで解析することにより、撮像装置において自動で行われる。カーフチェックでは、切削溝（即ち、カーフ）の縁部に発生する欠け（即ち、チッピング）のサイズ、切削溝の幅等が閾値以下であるか否かが検査される。
【0004】
例えば、切削ブレードを用いて被加工物を切削する場合、カーフチェックを行う間は切削が一時的に中断される。それゆえ、カーフチェックの回数が増えるほど、被加工物の切削に要する時間が長くなり、生産性が低下する。従って、生産性を下げない様に、被加工物を切削する際には、カーフチェックを行う箇所の数を限定するのが一般的である。
【0005】
加工結果に関する被加工物の画像データは切削装置に記憶されるが、通常、この画像データは、カーフチェックを行った箇所の画像を含むが、カーフチェックが行われなかった箇所の画像を含まない。
【0006】
しかも、被加工物が複数のチップに分割され、切削前の位置関係が維持されない程度に各チップがバラバラになった後には、切削装置で切削された直後における被加工物の加工結果を示す画像データを事後的に得ることはできない。
【0007】
しかし、近年では、加工結果についてトレーサビリティ（traceability）の要求が高まりつつある。この要求を充たすためには、各チップが個片化されてバラバラに配置された後であっても、被加工物の任意の箇所におけるチッピングサイズ、カーフ幅等の加工結果を事後的に提供する必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0008】
【特許文献1】特開平７－１３０８０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0009】
本発明は係る問題点に鑑みてなされたものであり、被加工物の任意の箇所における加工結果を事後的に提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0010】
本発明の一態様によれば、被検査物を検査する検査装置であって、該被検査物を保持する保持テーブルと、撮像素子を含み、該保持テーブルで保持された該被検査物を撮像する撮像ユニットと、該保持テーブルと該撮像ユニットとを相対的に移動させる移動ユニットと、作業者が指示を入力するための入力インターフェースと、該撮像ユニットで撮像された画像を表示するディスプレイと、プロセッサ及びメモリを有し、該撮像ユニット、該移動ユニット、該入力インターフェース、及び、該ディスプレイを制御するコントローラと、を備え、該コントローラは、該メモリにそれぞれ記憶された画像データ及び座標データであって、該移動ユニットで該保持テーブルと該撮像ユニットとを相対的に移動させ、該保持テーブルで保持された該被検査物を該撮像ユニットで単位幅領域ごとにそれぞれ撮像することにより得られた複数の画像を含む該画像データと、該保持テーブルに対する該被検査物の被撮像領域の座標を示す該座標データと、に基づいて、該被検査物の全体画像を作成して該ディスプレイに該全体画像を表示させる全体画像表示部と、該ディスプレイに表示された該全体画像のうち、該作業者が該入力インターフェースによって指定した指定位置の拡大画像を該ディスプレイに表示させる拡大画像表示部と、を有する検査装置が提供される。
【0011】
好ましくは、該コントローラは、該拡大画像表示部によって該拡大画像が表示されている時間を計測する時間計測部と、該時間計測部が計測した該時間が予め設定された所定の閾値を超えた場合に、該座標データのうち該拡大画像が表示された位置を記憶すると共に、該拡大画像が表示された位置を該作業者が検査を実施した検査済位置と判定する検査位置判定部と、該全体画像に該検査済位置を表示させる検査済位置表示部と、を有する。
【0012】
また、好ましくは、該検査済位置表示部は、該検査済位置の時系列が分かる様に該全体画像に該検査済位置を表示させる。
【0013】
また、好ましくは、該検査済位置表示部は、該全体画像に該検査済位置を表示させると共に、該検査済位置に応じた該拡大画像のサムネイルをそれぞれの該検査済位置と関連付けて該全体画像に表示させる。
【0014】
また、好ましくは、該保持テーブルは、所定の波長帯域の光に対して透明であり且つ該被検査物を保持する保持面を含む透明板を有し、該撮像ユニットは、該透明板よりも上方に配置され該保持面で保持された該被検査物の上面側を撮像する上方撮像ユニットと、該透明板よりも下方に配置され該保持面で保持された該被検査物の下面側を該透明板を介して撮像する下方撮像ユニットと、を有し、該全体画像表示部は、該上方撮像ユニットで撮像された上側全体画像と、該下方撮像ユニットで撮像された下側全体画像と、のいずれかを表示可能であり、該拡大画像表示部は、該上方撮像ユニットで撮像された上側拡大画像と、該下方撮像ユニットで撮像された下側拡大画像と、のいずれかを表示可能である。
【0015】
本発明の他の態様によれば、検査装置を用いて被検査物を検査する検査方法であって、該検査装置は、該被検査物を保持する保持テーブルと、撮像素子を含み該保持テーブルで保持された該被検査物を撮像する撮像ユニットと、該保持テーブルと該撮像ユニットとを相対的に移動させる移動ユニットと、作業者が該検査装置に指示を入力するための入力インターフェースと、該撮像ユニットで撮像された画像を表示するディスプレイと、プロセッサ及びメモリを有し、該撮像ユニット、該移動ユニット、該入力インターフェース、及び、該ディスプレイを制御するコントローラと、を含み、該検査方法は、該保持テーブルで該被検査物を保持する保持工程と、該移動ユニットで該保持テーブルと該撮像ユニットとを相対的に移動させ、該保持テーブルで保持された該被検査物を該撮像ユニットで単位幅領域ごとにそれぞれ撮像し、複数の画像を得る撮像工程と、該撮像工程で得られた該複数の画像を含む画像データと、該検査装置における基準位置に対する該被検査物の被撮像領域の座標を示す座標データと、を該コントローラが記憶する記憶工程と、該コントローラが、該画像データ及び該座標データに基づいて、該被検査物の全体画像を作成して該ディスプレイに該全体画像を表示させる全体画像表示工程と、該コントローラが、該ディスプレイに表示された該全体画像のうち、該作業者が該入力インターフェースによって指定した指定位置の拡大画像を該ディスプレイに表示させる拡大画像表示工程と、を備える検査方法が提供される。
【0016】
好ましくは、検査方法は、該拡大画像表示工程において該拡大画像が表示されている時間を該コントローラが計測する時間計測工程と、該時間計測工程によって計測された該時間が予め設定された所定の閾値を超えた場合に、該コントローラが、該座標データのうち該拡大画像が表示された位置を記憶すると共に、該拡大画像が表示された位置を該作業者が検査を実施した検査済位置と判定する検査位置判定工程と、該コントローラが、該全体画像に該検査済位置を表示させる検査済位置表示工程と、を更に備える。
【発明の効果】
【0017】
本発明の一態様に係る検査装置のコントローラは、メモリを有し、このメモリには、
保持テーブルで保持された被検査物を撮像ユニットで単位幅領域ごとにそれぞれ撮像することにより得られた複数の画像を含む画像データと、保持テーブルに対する被検査物の被撮像領域の座標を示す座標データと、が記憶される。
保持テーブルで保持された被検査物を撮像ユニットで単位幅領域ごとにそれぞれ撮像することにより得られた複数の画像を含む画像データと、保持テーブルに対する被検査物の被撮像領域の座標を示す座標データと、が記憶される。
【0018】
コントローラは、全体画像表示部と、拡大画像表示部と、を更に有する。全体画像表示部は、画像データと、座標データと、に基づいて、被検査物の全体画像を作成して該ディスプレイに全体画像を表示させる。また、拡大画像表示部は、ディスプレイに表示された全体画像のうち、作業者が入力インターフェースによって指定された指定位置における拡大画像をディスプレイに表示させる。
【0019】
この様に、画像データと座標データとを記憶することにより、検査装置は、各チップが個片化されてバラバラに配置された後であっても、被検査物の任意の箇所における加工結果を事後的に提供できる。
【0020】
本発明の他の態様に係る検査方法は、撮像工程と、記憶工程と、全体画像表示工程と、拡大画像表示工程と、を備える。撮像工程では、保持テーブルで保持された被検査物を撮像ユニットで単位幅領域ごとにそれぞれ撮像し、複数の画像を得る。
【0021】
記憶工程では、撮像工程で得られた複数の画像を含む画像データと、検査装置における基準位置に対する被検査物の被撮像領域の座標を示す座標データと、をコントローラが記憶する。全体画像表示工程では、コントローラが、画像データ及び座標データに基づいて、被検査物の全体画像を作成して、この全体画像をディスプレイに表示させる。
【0022】
また、拡大画像表示工程では、コントローラが、ディスプレイに表示された全体画像のうち、作業者が該入力インターフェースによって指定された指定位置の拡大画像をディスプレイに表示させる。
【0023】
この様に、記憶工程において画像データと座標データとを記憶することにより、検査装置は、各チップが個片化されてバラバラに配置された後であっても、被検査物の任意の箇所における加工結果を事後的に提供できる。
【図面の簡単な説明】
【0024】
【図2】検査装置の斜視図である。
【図3】保持機構の斜視図である。
【図4】撮像機構の斜視図である。
【図5】画像データ及び座標データを示す模式図である。
【図6】検査方法のフロー図である。
【図7】保持工程を示す図である。
【図8】撮像工程及び記憶工程を示す図である。
【図9】全体画像表示工程及び拡大画像表示工程での画面の模式図である。
【図10】拡大画像表示工程を経る検査の詳細を示すフロー図である。
【図12】複数の検査済位置が表示された全体画像を示す画面の模式図である。
【図13】拡大画像のサムネイルを全体画像に表示させた画面の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【0025】
【0026】
図１（Ａ）は、切削前のウェーハ１１を含むフレームユニット２１の斜視図である。切削前のウェーハ１１は、円板状のシリコン（Ｓｉ）製の単結晶基板を有する。ウェーハ１１の直径は、例えば、３００ｍｍである。
【0027】
ウェーハ１１の表面１１ａ側には、格子状に複数の分割予定ライン（即ち、ストリート）１３が設定されている。複数の分割予定ライン１３で区画される矩形状の各領域には、ＩＣ（Integrated Circuit）等のデバイス１５が形成されている。
【0028】
但し、ウェーハ１１に形成されるデバイス１５の種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等に制限はない。ウェーハ１１には、デバイス１５が形成されていなくてもよい。また、ウェーハ１１は、シリコン製の単結晶基板に代えて、炭化珪素（ＳｉＣ）、窒化ガリウム（ＧａＮ）等の他の半導体材料で形成された単結晶基板を有してもよい。
【0029】
ウェーハ１１に対して切削を施す前には、樹脂製のダイシングテープ１７を介してウェーハ１１が金属製のリングフレーム１９で支持されたフレームユニット２１を形成する。ダイシングテープ１７は、ウェーハ１１よりも大径である。
【0030】
ダイシングテープ１７の径方向の中央部には、ウェーハ１１の裏面１１ｂ側が貼り付けられ、ダイシングテープ１７の径方向の外周部には、ウェーハ１１よりも大径の開口部を有するリングフレーム１９の一面が貼り付けられている。
【0031】
この様にして、ウェーハ１１の表面１１ａ側が露出されたフレームユニット２１を形成した後、各分割予定ライン１３に沿って切削を行うことにより、ウェーハ１１を切断する切削溝１３ａを形成する。これにより、ウェーハ１１を複数のデバイスチップ２３（図１（Ｂ）参照）に分割する。
【0032】
なお、ウェーハ１１の表面１１ａ側にダイシングテープ１７を貼り付けることで、裏面１１ｂ側が露出されたフレームユニット２１を形成してもよい。この場合であっても、各分割予定ライン１３に沿う切削溝１３ａを形成し、ウェーハ１１を複数のデバイスチップ２３に分割できる。
【0033】
本実施形態の被検査物３１は、切削ブレード（不図示）により複数のデバイスチップ２３に分割された切削後のウェーハ１１である。但し、被検査物３１は、切削に限定されず、レーザービーム照射工程を経て複数のデバイスチップ２３に分割されたレーザー加工後のウェーハ１１であってもよい。
【0034】
図１（Ｂ）は、被検査物３１を含むフレームユニット２１の斜視図である。被検査物３１の表面３１ａは、ウェーハ１１の表面１１ａに対応し、被検査物３１の裏面３１ｂは、ウェーハ１１の裏面１１ｂに対応する。被検査物３１において、各デバイスチップ２３は、ダイシングテープ１７により相対的な位置関係が略固定されている。
【0035】
被検査物３１を含むフレームユニット２１は、検査装置２（図２参照）へ搬送され検査される。検査装置２は、例えば、加工時にウェーハ１１に形成されたチッピングサイズ、カーフ幅等の加工結果を調べる。そこで、図２から図５、図７、図９及び図１２を参照し、検査装置２について説明する。
【0036】
図２は、検査装置２の斜視図である。なお、図２では、検査装置２の構成要素の一部を機能ブロックで示す。図２に示すＸ軸方向（前後方向）、Ｙ軸方向（左右方向）及びＺ軸方向（上下方向、鉛直方向）は、互いに直交する。
【0037】
検査装置２は、検査装置２の構成要素を支持する基台４を備える。基台４は、長辺がＸ軸方向に沿って配置された矩形状の開口４ａを有する。基台４の上面側には、Ｙ軸方向において開口４ａを跨ぐ様に、保持機構６が設けられている。
【0038】
ここで、図３を参照して、保持機構６について説明する。図３は、保持機構６の斜視図である。保持機構６は、円板状の保持テーブル８を含む。保持テーブル８は、金属で形成された円筒状の枠体１０を有する。つまり、枠体１０の径方向の中央部には、貫通開口１０ａ（図７参照）が形成されている。
【0039】
また、枠体１０の内周部の上面側には、枠体１０の周方向に沿って環状の段差部１０ｂが形成されている（図７参照）。段差部１０ｂには、枠体１０の貫通開口１０ａを塞ぐ様に円板状の透明板１２が固定されている。
【0040】
透明板１２は、可視光（即ち、３６０ｎｍ以上８３０ｎｍ以下の所定の波長帯域の光）に対してそれぞれ透明なガラス、硬質樹脂等で形成されている。透明板１２の上面は、枠体１０の上面よりも僅かに下がっている。
【0041】
透明板１２の上面及び枠体１０の上面は、被検査物３１を吸引保持するための保持面８ａを構成している。枠体１０の径方向において段差部１０ｂよりも外側には、複数の環状溝１０ｃ（図７参照）が同心状に形成されている。
【0042】
各環状溝１０ｃは、枠体１０の周方向に沿うリング状の溝である。各環状溝１０ｃには、吸引路（不図示）を経て、真空ポンプ等の吸引源（不図示）が接続されている。
【0043】
枠体１０の径方向において最も内側に位置する環状溝１０ｃの内径は、被検査物３１の外径よりも大きい。また、枠体１０の径方向において最も外側に位置する環状溝１０ｃの外径は、リングフレーム１９の内径よりも小さい。
【0044】
フレームユニット２１は、検査装置２の近傍に配置された所定の位置合わせ機構（不図示）により位置が調整された上で、保持テーブル８へ搬送される。このとき、被検査物３１が透明板１２の略中央に位置する様に、フレームユニット２１は保持テーブル８上に配置される。
【0045】
次いで、各環状溝１０ｃに負圧を伝達させると、ダイシングテープ１７が複数の環状溝１０ｃで吸引保持される。これにより、ダイシングテープ１７を介して、被検査物３１の裏面３１ｂ側が保持面８ａで吸引保持される。
【0046】
なお、保持面８ａでの吸引保持後に、フレームユニット２１を保持面８ａから搬出する際に、ダイシングテープ１７が保持面８ａから剥離しやすくなる様に、保持面８ａをフッ素樹脂でコーティングしてもよい。
【0047】
図３に示す様に、保持テーブル８のＹ軸方向の両側は、Ｙ軸方向に沿う長手部を有する梁状の支持構造１４ａ，１４ｂで支持されている。支持構造１４ａ，１４ｂの先端部は、枠体１０の外周側面に固定されている。
【0048】
支持構造１４ａの基端部は、移動板１６ａの上面に固定され、支持構造１４ｂの基端部は、移動板１６ｂの上面に固定されている。この様に、保持テーブル８は、支持構造１４ａ，１４ｂを介して移動板１６ａ，１６ｂで支持されている。
【0049】
移動板１６ａ，１６ｂの底面側には、長手方向がＸ軸方向に沿って配置されたガイドレール１８ａ，１８ｂが設けられている。ガイドレール１８ａ，１８ｂは、基台４の上面に固定されている。
【0050】
移動板１６ａ，１６ｂは、ガイドレール１８ａ，１８ｂに対してＸ軸方向に沿ってスライド可能に固定されている。移動板１６ａにはナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、長手部がＸ軸方向に略平行に配置されたねじ軸２０が回転可能に固定されている。
【0051】
ねじ軸２０の一端部には、ステッピングモータ等のモータ２２が連結されている。モータ２２でねじ軸２０を回転させると、移動板１６ａ，１６ｂと共に保持機構６がＸ軸方向に沿って移動する。
【0052】
この様に、支持構造１４ａ，１４ｂ、移動板１６ａ，１６ｂ、ガイドレール１８ａ，１８ｂ、ねじ軸２０、モータ２２等は、保持テーブル８をＸ軸方向に沿って移動させるＸ軸方向移動機構２４を構成する。
【0053】
保持テーブル８は、Ｘ軸方向移動機構２４により、開口４ａの前方側（Ｘ軸方向の一方側）に位置する搬入搬出領域Ａ１と、開口４ａの後方側（Ｘ軸方向のた方側）に位置する検査実行領域Ａ２と、の間で移動できる。
【0054】
ここで、図２に戻る。検査実行領域Ａ２には、撮像機構２６が設けられている。撮像機構２６は、門型の支持構造２８により、Ｙ軸方向に沿って移動可能に支持されている。支持構造２８は、Ｙ軸方向において開口４ａを跨ぐ様に設けられている。
【0055】
支持構造２８は、保持機構６よりも上方に配置された板状の水平部と、Ｙ軸方向において保持機構６の外側に配置された各々ブロック状の一対の立設部と、を含み、保持機構６と干渉しない様に設けられている。それゆえ、保持機構６は、支持構造２８の直下をＸ軸方向に沿って移動できる。
【0056】
支持構造２８の水平部の上面には、Ｙ軸方向に沿って配置された一対のガイドレール３０が設けられている。一対のガイドレール３０上には、移動板３２がＹ軸方向に沿ってスライド可能に支持されている。
【0057】
移動板３２の底面側には、ナット部（不図示）が設けられている。このナット部には、Ｙ軸方向に沿って略平行に配置されたねじ軸３４が回転可能に固定されている。ねじ軸３４の一端部には、ステッピングモータ等のモータ３６が連結されている。
【0058】
モータ３６でねじ軸３４を回転させると、移動板３２は、撮像機構２６と共にＹ軸方向に沿って移動する。一対のガイドレール３０、移動板３２、ねじ軸３４、モータ３６等は、撮像機構２６をＹ軸方向に沿って移動させるＹ軸方向移動機構３８を構成する。
【0059】
Ｘ軸方向移動機構２４及びＹ軸方向移動機構３８は、保持テーブル８と、撮像ユニット５４（詳細は後述する）と、を相対的に移動させる移動ユニット４０を構成する。ここで、図４を参照し、撮像機構２６について説明する。
【0060】
図４は、撮像機構２６の斜視図である。撮像機構２６は、移動板３２に固定された移動ブロック４２を有する。移動ブロック４２は、直方体状の上方移動ブロック４２ａを有する。上方移動ブロック４２ａは、その底面が移動板３２で支持されている。
【0061】
上方移動ブロック４２ａの前方側面には、Ｚ軸方向に沿って配置された一対のガイドレール４４ａが固定されている。一対のガイドレール４４ａには、移動板４６ａがＺ軸方向に沿ってスライド可能に固定されている。
【0062】
移動板４６ａの後方側面には、ナット部（不図示）が設けられている。このナット部には、Ｚ軸方向に略平行に配置されたねじ軸４８ａが回転可能に固定されている。ねじ軸４８ａの上端部にはステッピングモータ等のモータ５０ａが連結されている。
【0063】
モータ５０ａでねじ軸４８ａを回転させると、移動板４６ａがＺ軸方向に沿って移動する。一対のガイドレール４４ａ、移動板４６ａ、ねじ軸４８ａ、モータ５０ａ等は、上方Ｚ軸方向移動機構５２ａを構成する。
【0064】
移動板４６ａの前方側面には、上方撮像ユニット５４ａが固定されている。上方撮像ユニット５４ａは、顕微鏡カメラユニットであり、集光レンズ（不図示）、撮像素子５６ａ等を含むラインセンサカメラ（ラインスキャンカメラとも称される）を有する。
【0065】
撮像素子５６ａは、所定方向（例えば、Ｙ軸方向）に沿って一次元的に配列された複数の光電変換素子（不図示）を有する。なお、上方撮像ユニット５４ａは、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）等の発光素子（不図示）を含む。発光素子は、下方に向かって所定の波長帯域の光を放ち、この光は撮像時の照明として利用される。
【0066】
上方撮像ユニット５４ａの集光レンズの光軸は、Ｚ軸方向と略平行に配置されている。上方撮像ユニット５４ａは、保持テーブル８よりも上方（即ち、透明板１２よりも上方）に配置されており、保持面８ａで吸引保持された被検査物３１の上面側（例えば、表面３１ａ側）を、例えば可視光帯域の光で撮像する。
【0067】
上方移動ブロック４２ａは、連結ブロック４２ｂを介して直方体状の下方移動ブロック４２ｃに固定されている。下方移動ブロック４２ｃの前方側面には、一対のガイドレール４４ｂ、移動板４６ｂ、ねじ軸４８ｂ、モータ５０ｂ等を含む下方Ｚ軸方向移動機構５２ｂが設けられている。
【0068】
下方Ｚ軸方向移動機構５２ｂは、上下が反転している以外は上方Ｚ軸方向移動機構５２ａと略同じ構造を有し、上方Ｚ軸方向移動機構５２と同様に、顕微鏡カメラユニットの焦点位置合わせに利用される。それゆえ、詳細な説明を省略する。
【0069】
移動板４６ｂの前方側面には、下方撮像ユニット５４ｂが固定されている。下方撮像ユニット５４ｂは、顕微鏡カメラユニットであり、集光レンズ（不図示）、撮像素子５６ｂ等を含むラインセンサカメラを有する。撮像素子５６ｂは、撮像素子５６と同様に、所定方向に沿って一次元的に配列された複数の光電変換素子（不図示）を有する。
【0070】
下方撮像ユニット５４ｂは、撮像時の照明として利用されるＬＥＤ等の発光素子（不図示）を含む。但し、発光素子は、上方に向かって所定の波長帯域の光を放つ。下方撮像ユニット５４ｂの集光レンズの光軸は、Ｚ軸方向と略平行に配置されている。
【0071】
下方撮像ユニット５４ｂは、透明板１２よりも下方に配置されており、保持面８ａで吸引保持された被検査物３１の下面側（裏面３１ｂ側）を、透明板１２を介して可視光帯域の光で撮像する。
【0072】
本実施形態の上方撮像ユニット５４ａ及び下方撮像ユニット５４ｂは、保持面８ａで吸引保持された被検査物３１の上下両面側を撮像する撮像ユニット５４を構成する。撮像ユニット５４は、表面３１ａ側及び裏面３１ｂ側の両方において、被検査物３１に形成されているチッピングサイズ、カーフ幅等を検査できる。
【0073】
撮像時には、まず、上方撮像ユニット５４ａの集光点を被検査物３１の表面３１ａに位置付けると共に、下方撮像ユニット５４ｂの集光点を被検査物３１の裏面３１ｂに位置付ける。この状態で、保持テーブル８をＸ軸方向に沿って例えば前方から後方へ移動させることで、Ｘ軸方向に沿うリボン状の領域を撮像する。
【0074】
例えば、当該リボン状の領域のＹ軸方向における長さは２．０ｍｍであり、Ｘ軸方向に沿う被検査物３１の一端から他端までを撮像して１ライン分の画像を得た後、撮像ユニット５４をＹ軸方向に沿って２．０ｍｍだけ割り出し送りすると共に、保持テーブル８を後方から前方へ移動させる。
【0075】
その後、同様に、保持テーブル８をＸ軸方向に沿って前方から後方へ移動させて、Ｘ軸方向に沿う被検査物３１の一端から他端までを撮像して１ライン分の画像を得る。この様にして、表面３１ａ側及び裏面３１ｂ側の全体を撮像する。
【0076】
特に、上方撮像ユニット５４ａ及び下方撮像ユニット５４ｂをラインセンサカメラとすることにより、エリアセンサカメラとする場合に比べて、表面３１ａ側及び裏面３１ｂ側の凹凸を高い精度で検知できる。
【0077】
なお、撮像ユニット５４は、下方撮像ユニット５４ｂを有さずに上方撮像ユニット５４ａを有してもよく、上方撮像ユニット５４ａを有さずに下方撮像ユニット５４ｂを有してもよい。
【0078】
また、一組の上方撮像ユニット５４ａ及び下方撮像ユニット５４ｂに代えて、保持テーブル８の上方にそれぞれ配置された第１上方撮像ユニット及び第２上方撮像ユニット（いずれも不図示）を有してもよい。
【0079】
この場合、第１上方撮像ユニットが可視光で被検査物３１の上面側を撮像し、第２上方撮像ユニットが被検査物３１を透過可能な波長帯域の光（例えば、赤外光）で被検査物３１の下面側を撮像する。
【0080】
それゆえ、この場合には、保持テーブル８の透明板１２は、可視光に対して透明でなくてもよく、赤外光が透過可能な材料で形成されればよい。但し、上述の様に、第１上方撮像ユニット及び第２上方撮像ユニットは、ラインセンサカメラである方が好ましい。
【0081】
なお、一組の上方撮像ユニット５４ａ及び下方撮像ユニット５４ｂに代えて、保持テーブル８の下方にそれぞれ配置された第１下方撮像ユニット及び第２下方撮像ユニット（いずれも不図示）を有してもよい。
【0082】
この場合、第１下方撮像ユニットが可視光で被検査物３１の下面側を撮像し、第２下方撮像ユニットが被検査物３１を透過可能な波長帯域の光（例えば、赤外光）で被検査物３１の上面側を撮像する。上述の様に、第１下方撮像ユニット及び第２下方撮像ユニットは、ラインセンサカメラである方が好ましい。
【0083】
ここで、再び図２に戻り、検査装置２の他の構成要素について説明する。上述の保持機構６、撮像機構２６、Ｘ軸方向移動機構２４、Ｙ軸方向移動機構３８等は、破線で示す筐体に覆われている。
【0084】
筐体の前方側面には、タッチパネル６０が設けられている。タッチパネル６０は、作業者が検査装置２に指示を入力するための入力インターフェース（即ち、入力装置）、及び、撮像ユニット５４で撮像された画像を表示するディスプレイ（即ち、表示装置）として機能する。
【0085】
但し、タッチパネル６０に代えて、キーボード、マウス、ジョイスティック等の入力専用装置により入力インターフェースを構成してもよく、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ、ＬＥＤディスプレイ等の表示専用装置によりディスプレイを構成してもよい。
【0086】
検査装置２は、コントローラ６２を有する。コントローラ６２は、上述の保持テーブル８へ負圧を作用させるための吸引源、移動ユニット４０、撮像ユニット５４、タッチパネル６０等の検査装置２の構成要素の動作を制御する。
【0087】
コントローラ６２は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）に代表されるプロセッサ（処理装置）６４と、メモリ（記憶装置）６６と、を含むコンピュータによって構成されている。
【0088】
メモリ６６は、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）、ＳＲＡＭ（Static Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）等の主記憶装置と、フラッシュメモリ、ハードディスクドライブ、ソリッドステートドライブ等の補助記憶装置と、を含む。
【0089】
補助記憶装置には、所定のプログラムを含むソフトウェアが記憶されている。このソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、コントローラ６２の機能が実現される。
【0090】
補助記憶装置には、画像処理等を行う第１のプログラムが記憶されており、第１のプログラムをプロセッサで実行することにより、コントローラ６２の一部は全体画像表示部６２ａとして機能する。
【0091】
全体画像表示部６２ａは、被検査物３１の全体画像７０を作成して、タッチパネル６０の全体画像表示領域７０ａに全体画像７０を表示させる（図９参照）。この全体画像７０は、図５に示す様に、メモリ６６にそれぞれ記憶された画像データ７２及び座標データ７４に基づいて、コントローラ６２により画像処理を経て作成される。
【0092】
図５は、画像データ７２及び座標データ７４を示す模式図である。画像データ７２は、上述の様に、移動ユニット４０で保持テーブル８と撮像ユニット５４とを相対的にＸ軸方向及びＹ軸方向に沿って移動させ、保持テーブル８で吸引保持された被検査物３１を撮像ユニット５４で単位幅領域７２ａごとにそれぞれ撮像することにより得られる。
【0093】
単位幅領域７２ａは、図５において破線で示す様に、Ｙ軸方向に沿う短辺とＸ軸方向に沿う長辺とを有するリボン状の領域である。複数の単位幅領域７２ａは、例えば、Ｙ軸方向に沿って隙間ができない様に設定される。
【0094】
本実施形態において、単位幅領域７２ａのＸ軸方向の長さは、Ｙ軸方向に沿って表面３１ａ（及び裏面３１ｂ）の中心位置３１ｃに近づくほど長くなるが、Ｙ軸方向の位置によらず同じであってもよい。
【0095】
撮像ユニット５４は、１つの単位幅領域７２ａに対応して１つの画像７２ｂを得る。複数の単位幅領域７２ａの各々に対応して１つの画像７２ｂを得ることで、被検査物３１の表面３１ａ側及び裏面３１ｂ側のそれぞれについて複数の画像７２ｂを含む画像データ７２が得られる。
【0096】
また、本実施形態のコントローラ６２は、撮像ユニット５４で被検査物３１を撮像する際に、保持テーブル８に対する被検査物３１の被撮像領域の座標を示す座標データ７４を把握して記憶する。
【0097】
【0098】
コントローラ６２が座標データ７４を把握する際には、コントローラ６２は、保持面８ａの中心位置８ｂを原点とした画像７２ｂのＸＹ座標を把握する。つまり、中心位置８ｂが、検査装置２における座標系の基準位置となる。
【0099】
図５では、被検査物３１の表面３１ａの中心位置３１ｃが、保持面８ａの中心位置８ｂと一致しているが、両者は必ずしも一致していなくてもよく、ずれていてもよい。要は、検査装置２が各画像７２ｂのＸＹ座標を特定できさえすればよい。
【0100】
コントローラ６２は、上方撮像ユニット５４ａ及び下方撮像ユニット５４ｂの位置に基づいて、１つの画像７２ｂにおける任意の位置の座標を算出できる。
【0101】
例えば、コントローラ６２は、まず、上方撮像ユニット５４ａ（即ち、ラインセンサカメラ）の視野のＹ軸方向の中心位置が、保持面８ａの中心位置８ｂに一致したときにおける、保持テーブル８のＸ軸方向の初期位置と、上方撮像ユニット５４ａのＹ軸方向の初期位置と、を記憶しておく。
【0102】
その後、保持テーブル８と、上方撮像ユニット５４ａとが、相対的に移動したときには、コントローラ６２は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の各初期位置からの移動量に基づいて、１つの画像７２ｂにおける任意の位置の座標を把握できる。なお、下方撮像ユニット５４ｂについても同様にして、１つの画像７２ｂにおける任意の位置の座標が、コントローラ６２により把握される。
【0103】
全体画像表示部６２ａは、既知の画像処理技術に基づいて、例えば、オリジナルの各画像７２ｂを配置することにより表面３１ａ側を示す１つの画像を作成し、次いで、この画像のサイズを縮小することにより、表面３１ａ側の全体画像７０（即ち、上側全体画像）を作成する。
【0104】
同様に、全体画像表示部６２ａは、既知の画像処理技術に基づいて、例えば、オリジナルの各画像７２ｂを配置することにより裏面３１ｂ側を示す１つの画像を作成し、次いで、この画像のサイズを縮小することにより、裏面３１ｂ側の全体画像７０（即ち、下側全体画像）を作成する。
【0105】
また、全体画像表示部６２ａは、上方撮像ユニット５４ａで撮像された表面３１ａ側の全体画像７０と、下方撮像ユニット５４ｂで撮像された裏面３１ｂ側の全体画像７０と、のいずれかを選択的にタッチパネル６０に表示可能である。
【0106】
補助記憶装置には、画像処理等を行う第２のプログラムが記憶されており、第２のプログラムをプロセッサで実行することにより、コントローラ６２の一部は拡大画像表示部６２ｂとして機能する。
【0107】
拡大画像表示部６２ｂは、タッチパネル６０に表示された全体画像７０のうち、作業者がタッチパネル６０の全体画像７０の一部に触れることによって指定した指定位置７０ｂの拡大画像７６を、タッチパネル６０の拡大画像表示領域７６ａに表示させる（図９参照）。なお、図９では指定位置７０ｂを太線の四角枠で示すが、この四角枠内の中心の位置が指定位置７０ｂとして取り扱われる。
【0108】
拡大画像表示領域７６ａの近傍には、拡大画像７６を拡大表示するためのプラスボタン７６ｂと、拡大画像７６を縮小表示するためのマイナスボタン７６ｃと、が表示されており、作業者は、プラスボタン７６ｂ及びマイナスボタン７６ｃにより拡大画像７６を自在に拡大縮小できる。
【0109】
例えば、最も拡大された拡大画像７６としては、Ｘ軸方向に５００μｍ且つＹ軸方向に５００μｍのサイズを有する矩形領域が表示される。また、最も縮小された拡大画像７６としては、全体画像７０よりも所定倍率だけ拡大された矩形領域が表示される。
【0110】
拡大画像表示領域７６ａに表示される拡大画像７６は、最も拡大された画像と、最も縮小された画像と、を含め、例えば、１０段階のスケールで段階的に拡大（又は縮小）して表示される。
【0111】
また、拡大画像表示部６２ｂは、タッチパネル６０に表示されている全体画像７０に応じて、上方撮像ユニット５４ａで撮像された表面３１ａ側の拡大画像７６（即ち、上側拡大画像）と、下方撮像ユニット５４ｂで撮像された裏面３１ｂ側の拡大画像７６（即ち、下側拡大画像）と、のいずれかを選択的に表示可能である。
【0112】
補助記憶装置には、時間を測定するための第３のプログラムが記憶されており、第３のプログラムをプロセッサで実行することにより、コントローラ６２の一部は時間計測部６２ｃとして機能する。
【0113】
時間計測部６２ｃは、コントローラ６２に内蔵されているシステムクロック、リアルタイムクロック（ＲＴＣ：Real Time Clock）等を利用して、拡大画像表示部６２ｂによって拡大画像表示領域７６ａに拡大画像７６が表示されている時間を計測する。
【0114】
時間計測部６２ｃは、計測した時間が予め定められた所定の閾値（例えば、１秒、２秒等）を超えた場合、その旨を検査位置判定部６２ｄに通知する。なお、所定の閾値は、タッチパネル６０を介して作業者が予め任意の値に調整可能である。
【0115】
補助記憶装置には、所定の判定を行うための第４のプログラムが記憶されており、第４のプログラムをプロセッサで実行することにより、コントローラ６２の一部は検査位置判定部６２ｄとして機能する。
【0116】
検査位置判定部６２ｄは、時間計測部６２ｃが計測した時間が所定の閾値を超えると、座標データ７４のうち拡大画像７６が表示された位置を記憶すると共に、拡大画像７６が表示された位置を、作業者が検査を実施した検査済位置７８（図１２参照）と判定する。
【0117】
補助記憶装置には、全体画像７０に１以上の検査済位置７８を表示するための第５のプログラムが記憶されており、第５のプログラムをプロセッサで実行することにより、コントローラ６２の一部は検査済位置表示部６２ｅとして機能する。
【0118】
検査済位置表示部６２ｅは、図１２に示す様に、全体画像７０に１以上の検査済位置７８を表示させる。検査済位置表示部６２ｅは、検査済位置７８の時系列が分かる様に、全体画像７０に検査済位置７８を表示させる。
【0119】
検査済位置７８を記録することで、被検査物３１のどこを作業者が検査したのかについて証拠を残すことができる。また、他の被検査物３１について略同じ位置を観察して、加工結果の差異を比較する場合にも検査済位置７８を利用できる。
【0120】
図１２に示す全体画像７０において、各検査済位置７８には、視認性を向上させるために所定径の円が付されている。検査済位置７８は、厳密には、この円の中心位置である。また、検査済位置７８を示す円の近傍には、アルファベットと、三桁の数字と、が付されている。
【0121】
本実施形態において、アルファベットは、作業者を特定するための情報であり、例えば、検査装置２を起動させてログインした作業者の名前等に関連した情報である。三桁の数字は、検査を行った順序を示す情報である。更に、検査済位置７８は、三桁の数字が昇順に配置される様に、矢印でつながれている。
【0122】
しかし、三桁の数字及び矢印の両方が必須ではなく、検査を行った順序が分かれば、どちらか一方のみが表示されてもよい。また、アルファベット、三桁の数字及び矢印のうち、一種類のみ又は二種類が表示されてもよい。
【0123】
なお、アルファベットに代えて、他の文字、記号、数字等を付してもよし、三桁の数字に代えて、二桁又は四桁以上の数字としてもよい。検査を行った順序が分かるのであれば、数字に代えて、文字、記号等を用いてもよい。
【0124】
検査済位置７８に作業者を特定するための情報を付加することで、検査を行った作業者を事後的に特定できる。また、検査には作業者の技量が反映されるので、高い技量を有する作業者の検査済位置７８の時系列を残すことにより、低い技量の作業者が検査を行う際の学習材料を提供できる。
【0125】
本実施形態では、検査装置２のメモリ６６に、画像データ７２及び座標データ７４が記憶されているので、各デバイスチップ２３が個片化されてバラバラに配置された後であっても、被検査物３１の任意の箇所における加工結果を事後的に提供できる。
【0126】
次に、図６から図１２を参照し、検査装置２を用いた被検査物３１の検査方法について説明する。図６は、検査方法のフロー図である。この検査方法では、まず、保持テーブル８を搬入搬出領域Ａ１へ移動させ、保持面８ａ上にフレームユニット２１を搬送する。
【0127】
そして、保持面８ａでダイシングテープ１７を吸引保持することにより、被検査物３１の裏面３１ｂ側を保持テーブル８で吸引保持する（保持工程Ｓ１０）。図７は、保持工程Ｓ１０を示す図である。
【0128】
保持工程Ｓ１０の後、保持テーブル８を検査実行領域Ａ２へ移動させ、撮像工程Ｓ２０及び記憶工程Ｓ３０を行う。図８は、撮像工程Ｓ２０及び記憶工程Ｓ３０を示す図である。
【0129】
撮像工程Ｓ２０及び記憶工程Ｓ３０では、保持テーブル８と、撮像ユニット５４と、を移動ユニット４０（即ち、Ｘ軸方向移動機構２４及びＹ軸方向移動機構３８）で移動させながら単位幅領域７２ａ毎に撮像ユニット５４で被検査物３１を撮像する。
【0130】
具体的には、まず、撮像ユニット５４の集光点を被検査物３１のＹ軸方向の一端部に配置した上で、保持テーブル８をＸ軸方向に沿って前方から後方へ矢印８ｃに沿って所定速度（例えば、７０ｍｍ／ｓ）で移動させる。
【0131】
なお、このとき、上方撮像ユニット５４ａの集光点は表面３１ａに配置され、下方撮像ユニット５４ｂの集光点は裏面３１ｂに配置される。この様にして、１つ目の単位幅領域７２ａを上方撮像ユニット５４ａ及び下方撮像ユニット５４ｂで撮像し、表面３１ａ側及び裏面３１ｂ側について単位幅領域７２ａの画像７２ｂを得る。
【0132】
１つ目の画像７２ｂ（即ち、Ｘ軸方向に沿う被検査物３１の一端から他端までにおける１ライン分の画像７２ｂ）を得ると共に、コントローラ６２は、この１つ目の画像７２ｂと、被撮像領域（即ち、上述の単位幅領域７２ａ）の座標を示す座標データ７４と、を記憶する。
【0133】
次いで、撮像ユニット５４をＹ軸方向に沿って２．０ｍｍだけ割り出し送りすると共に（上方撮像ユニット５４ａ及び下方撮像ユニット５４ｂの右向矢印を参照）、撮像時に比べて１０倍以上の高速（例えば、１０００ｍｍ／ｓ）で保持テーブル８を後方から前方へ移動させる。
【0134】
その後、同様に、保持テーブル８をＸ軸方向に沿って前方から後方へ所定速度で移動させることで（矢印８ｃ参照）、Ｘ軸方向に沿う被検査物３１の一端から他端までを撮像して、２つ目の単位幅領域７２ａの画像７２ｂを得る。
【0135】
２つ目の画像７２ｂを得ると共に、コントローラ６２は、この２つ目の画像７２ｂと、被撮像領域（即ち、単位幅領域７２ａ）の座標を示す座標データ７４と、を記憶する。以降、同様にして、被検査物３１のＹ軸方向の他端部に位置する単位幅領域７２ａまで、撮像及び記憶を繰り返す。
【0136】
これにより、表面３１ａ側及び裏面３１ｂ側のそれぞれの全体画像７０を構成可能な複数の画像７２ｂを含む画像データ７２を得る（撮像工程Ｓ２０）と共に、画像データ７２と、各画像７２ｂが得られた被撮像領域の座標を示す座標データ７４と、をコントローラ６２がメモリ６６の補助記憶領域に記憶する（記憶工程Ｓ３０）。
【0137】
本実施形態において、検査装置２のメモリ６６には、画像データ７２及び座標データ７４が記憶されているので、各デバイスチップ２３が個片化されてバラバラに配置された後であっても、被検査物３１の任意の箇所における加工結果を事後的に提供できる。
【0138】
なお、図６では、撮像工程Ｓ２０が記憶工程Ｓ３０よりも先に開始されることを示しており、撮像工程Ｓ２０の終了後に記憶工程Ｓ３０が開始されることを必ずしも意味しない。本実施形態では、１つの単位幅領域７２ａ毎に撮像と記憶とを行うので、撮像工程Ｓ２０と、記憶工程Ｓ３０とは、並列して行われる時間帯がある。
【0139】
撮像工程Ｓ２０及び記憶工程Ｓ３０の終了後、全体画像表示部６２ａが、画像データ７２及び座標データ７４に基づいて被検査物３１の全体画像７０を作成して、図９の右側に示す様に、タッチパネル６０に全体画像７０を表示させる（全体画像表示工程Ｓ４０）。
【0140】
図６に示す様に、作業者により全体画像７０の一部が指定されていない場合（Ｓ５０でＮＯ）、タッチパネル６０には全体画像７０の表示が継続され、拡大画像表示領域７６ａに拡大画像７６は表示されない。
【0141】
これに対して、タッチパネル６０に表示された全体画像７０のうち、作業者がタッチパネル６０の全体画像７０に接触することにより全体画像７０の一部が指定された場合（Ｓ５０でＹＥＳ）、拡大画像表示部６２ｂは、指定位置７０ｂの拡大画像７６をタッチパネル６０に表示させる（拡大画像表示工程Ｓ６０）。
【0142】
図９は、全体画像表示工程Ｓ４０及び拡大画像表示工程Ｓ６０でのタッチパネル６０の画面の模式図である。なお、図９では、表面３１ａ側の全体画像７０が右側に、表面３１ａ側の拡大画像７６が左側に、それぞれ表示されている。また、図９において、紙面横方向はＹ軸方向に対応し、紙面縦方向はＸ軸方向に対応する。
【0143】
作業者の検査を助けるために、コントローラ６２が、表示される拡大画像７６に対して画像処理を施すことでチッピングサイズ及びカーフ幅を自動的に測定し、チッピングサイズ及びカーフ幅の最大値、最小値等をタッチパネル６０に表示させてもよい。
【0144】
作業者は、位置の特定に利用するための全体画像７０と、詳細な検査に利用するための拡大画像７６と、に基づいて、被検査物３１の任意の位置を詳細に検査できる。図１０は、拡大画像表示工程Ｓ６０を経る検査の詳細を示すフロー図である。
【0145】
拡大画像表示工程Ｓ６０において拡大画像７６が表示されている時間は、時間計測部６２ｃが計測する（時間計測工程Ｓ７０）。時間計測部６２ｃは、一の指定位置７０ｂでの拡大画像７６の表示が開始されている間、この拡大画像７６が表示されている時間を計測する。
【0146】
上述の様に、プラスボタン７６ｂ又はマイナスボタン７６ｃを利用して、拡大画像７６を拡大又は縮小できる。作業者は、切削溝１３ａの縁部におけるチッピングサイズや、カーフ幅等が予め定められた許容範囲内であるか否かを、それぞれ表示されている数値、画像等に基づいて検査する。
【0147】
図１１は、プラスボタン７６ｂを押下することにより、図９の拡大画像７６を更に拡大したときの画面の模式図である。図１１の拡大画像７６において、切削溝１３ａの幅は例えば１００μｍである。この様に、作業者は、拡大画像７６において、極細の切削溝１３ａ及びその近傍を観察できる。
【0148】
作業者は、タッチパネル６０の表示画面内の所定ボタン８０を押下することにより、画面内にキーボードを表示させて、検査済位置７８に関連付けてメモを入力してもよい。また、このメモに関連付けられた検査済位置７８の近傍には、メモの存在を示すチェックマーク等の所定のアイコンが表示されてもよい。
【0149】
最初に指定した指定位置７０ｂでの拡大画像７６の表示が継続されている場合、この指定位置７０ｂでの拡大画像７６の表示時間が予め設定された予め定められた所定の閾値を超えたか否かを、検査位置判定部６２ｄが判定する。
【0150】
本実施形態では、指定位置７０ｂでの拡大画像７６が拡大された場合であっても、縮小された場合であっても、拡大画像７６が表示されたタイミングを始点として、時間計測部６２ｃによる時間計測が継続して行われる。
【0151】
時間計測工程Ｓ７０によって計測された表示時間が閾値を超えていない場合（Ｓ８０でＮＯ）、Ｓ９０へ進む。しかし、表示時間が閾値を超えた場合に（Ｓ８０でＹＥＳ）、検査位置判定部６２ｄは、座標データ７４のうち拡大画像７６が表示された位置を記憶すると共に、その拡大画像７６が表示された位置を作業者が検査を実施した検査済位置７８と判定する（検査位置判定工程Ｓ１００）。
【0152】
検査位置判定部６２ｄにより検査済位置７８と判定された後、検査済位置表示部６２ｅが、全体画像７０に検査済位置７８を表示させる（検査済位置表示工程Ｓ１１０）。この様にして、図１２にＡ００１で示す検査済位置７８が全体画像７０に表示される。
【0153】
フローは、Ｓ１１０の後、Ｓ９０へ進む。作業者は、通常、被検査物３１の１箇所だけではなく複数個所を検査する。例えば、作業者は、最初に指定した指定位置７０ｂとは異なる他の一部を全体画像７０において新たに指定する（即ち、Ｓ９０でＹＥＳ）。
【0154】
Ｓ９０でＹＥＳの場合、フローはＳ７０に戻り、時間計測部６２ｃは、時間の計測を一旦リセットして、時間の計測をゼロから再開する。また、最初に指定した指定位置７０ｂとは異なる指定位置７０ｂでの拡大画像７６についても、Ｓ７０、Ｓ８０、Ｓ１００及びＳ１１０が順次行われる。
【0155】
そして、拡大画像７６が表示されている時間が閾値を超えた場合、最初に指定した指定位置７０ｂとは異なる他の一部での指定位置７０ｂが、検査済位置７８として全体画像表示領域７０ａに追加される。例えば、図１２にＡ００２で示す検査済位置７８が、全体画像７０に追加される。
【0156】
図１２は、複数の検査済位置７８が表示された全体画像７０を示すタッチパネル６０の画面の模式図である。なお、図１２では、全体画像７０以外の領域に指定位置７０ｂがあるので、拡大画像表示領域７６ａには拡大画像７６が表示されていない。しかし、拡大画像表示領域７６ａには、例えば、最も直近に表示された拡大画像７６が表示されてもよい。
【0157】
ところで、図１０に示すフローにおいて、最初に指定した指定位置７０ｂでの拡大画像７６に関してＳ９０でＮＯであり、且つ、全体画像７０及び拡大画像７６の表示をタッチパネル６０において継続しない場合（Ｓ１２０でＮＯ）、フローは終了する。
【0158】
例えば、作業者がタッチパネル６０の表示モードを、撮像条件の設定画面等の他の画面表示に切り替える場合、このフローは終了する。しかし、全体画像７０及び拡大画像７６を表示させるタッチパネル６０の表示モードを継続する場合（例えば、オペレータが検査を行っている最中である場合）、Ｓ１２０でＹＥＳとなり、Ｓ８０に戻る。
【0159】
本実施形態では、検査装置２のメモリ６６には、画像データ７２及び座標データ７４が記憶されているので、各デバイスチップ２３が個片化されてバラバラに配置された後であっても、被検査物３１の任意の箇所における加工結果を事後的に提供できる。
【0160】
（第２の実施形態）次に、図１３を参照して第２の実施形態について説明する。図１３は、拡大画像７６のサムネイル７６ｄを全体画像７０に表示させたタッチパネル６０の画面の模式図である。第２の実施形態では、全体画像７０にサムネイル７６ｄをさせる点が第１の実施形態と異なる。
【0161】
第２の実施形態では、検査済位置表示部６２ｅが、全体画像７０に検査済位置７８を表示させると共に、検査済位置７８に応じた拡大画像７６のサムネイル７６ｄをそれぞれの検査済位置７８と関連付けて全体画像７０に表示させる。サムネイル７６ｄは、コントローラ６２（例えば、検査済位置表示部６２ｅ）により自動的に生成される。
【0162】
なお、１つの指定位置７０ｂにおいて異なる拡大倍率で複数の拡大画像７６が拡大画像表示領域７６ａに表示された場合において、２つ以上の拡大画像７６のそれぞれの表示時間が閾値を超えた場合、検査済位置表示部６２ｅは、当該２つ以上の拡大画像７６に対応するサムネイル７６ｄを重ねる様に全体画像７０に表示させる。
【0163】
例えば、検査済位置表示部６２ｅは、２以上のサムネイル７６ｄの各々の上縁及び左縁が重ならない様に、２以上のサムネイル７６ｄを重ねて表示させる。但し、２以上のサムネイル７６ｄを重ねる際の配置は、この例に限定されない。
【0164】
検査済位置表示部６２ｅは、重ねて表示される２以上のサムネイル７６ｄのうち、拡大倍率が最も大きい拡大画像７６に対応するサムネイル７６ｄを最も前面に配置し、拡大倍率が最も小さい拡大画像７６に対応するサムネイル７６ｄを最も背面に配置してもよい。
【0165】
また、検査済位置表示部６２ｅは、重ねて表示される２以上のサムネイル７６ｄのうち、表示時間が最も長かった拡大画像７６に対応するサムネイル７６ｄを最も前面に配置し、表示時間が最も短かった拡大画像７６に対応するサムネイル７６ｄを最も背面に配置してもよい。
【0166】
更に、表示時間が閾値を超えた拡大画像７６のうち、表示時間がこの閾値よりも長い時間である所定時間（例えば、６０秒）を超えた拡大画像７６について、コントローラ６２は、検査に時間を要した位置であることを意味するアイコン等をポップアップによりサムネイル７６ｄの近傍に表示させてもよい。
【0167】
その他、上述の実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。検査装置２は、独立した１つの装置であってよく、切削装置やレーザー加工装置（いずれも不図示）に組み込まれたものであってもよい。
【0168】
検査装置２には、ＵＳＢ（Universal Serial Bus）、ＨＤＭＩ（登録商標）（High-Definition Multimedia Interface）、ＬＡＮ（Local Area Network）等のポートを設けることもできるし、Ｗｉ－Ｆｉ等の無線通信機能を搭載することもできる。
【0169】
有線、無線等を介して、画像データ７２、座標データ７４、検査済位置７８等の情報を、検査装置２のメモリ６６からＰＣ（Personal Computer）等のコンピュータやサーバへ出力すれば（即ち、エクスポート）、ＰＣ等のディスプレイ上で、全体画像７０、拡大画像７６、検査済位置７８付き全体画像７０等を表示できる。
【0170】
これにより、検査装置２のみではなくコンピュータ等においても、被検査物３１の任意の箇所の加工結果を事後的に確認できる。また、検査装置２には、他の被検査物３１の画像データ７２、座標データ７４、検査済位置７８等の情報を取り込めば（即ち、インポート）、検査装置２で全体画像７０等を表示することもできる。
【0171】
画像データ７２、座標データ７４、検査済位置７８等の情報を１つのファイルとし、このファイルに作業者名、検査を行った日付等を紐付けて、メモリ６６に記憶してもよい。これにより、検査結果の管理、検索等が容易になる。
【符号の説明】
【0172】
２：検査装置、４：基台、４ａ：開口、６：保持機構
８：保持テーブル、８ａ：保持面、８ｂ：中心位置（基準位置）、８ｃ：矢印
１０：枠体、１０ａ：貫通開口、１０ｂ：段差部、１０ｃ：環状溝、１２：透明板
１１：ウェーハ、１１ａ：表面、１１ｂ：裏面
１３：分割予定ライン、１３ａ：切削溝、１５：デバイス、１７：ダイシングテープ
１４ａ，１４ｂ：支持構造、１６ａ，１６ｂ：移動板、１８ａ，１８ｂ：ガイドレール
１９：リングフレーム、２１：フレームユニット、２３：デバイスチップ
２０：ねじ軸、２２：モータ、２４：Ｘ軸方向移動機構、２６：撮像機構
２８：支持構造、３０：ガイドレール、３２：移動板、３４：ねじ軸、３６：モータ
３１：被検査物、３１ａ：表面、３１ｂ：裏面、３１ｃ：中心位置
３８：Ｙ軸方向移動機構、４０：移動ユニット、４２：移動ブロック
４２ａ：上方移動ブロック、４２ｂ：連結ブロック、４２ｃ：下方移動ブロック
４４ａ，４４ｂ：ガイドレール、４６ａ，４６ｂ：移動板
４８ａ，４８ｂ：ねじ軸、５０ａ，５０ｂ：モータ
５２ａ：上方Ｚ軸方向移動機構、５２ｂ：下方Ｚ軸方向移動機構
５４：撮像ユニット、５４ａ：上方撮像ユニット、５４ｂ：下方撮像ユニット
５６ａ，５６ｂ：撮像素子
６０：タッチパネル
６２：コントローラ、６２ａ：全体画像表示部、６２ｂ：拡大画像表示部
６２ｃ：時間計測部、６２ｄ：検査位置判定部、６２ｅ：検査済位置表示部
６４：プロセッサ、６６：メモリ
７０：全体画像、７０ａ：全体画像表示領域、７０ｂ：指定位置
７２：画像データ、７２ａ：単位幅領域、７２ｂ：画像
７４：座標データ
７６：拡大画像、７６ａ：拡大画像表示領域
７６ｂ：プラスボタン、７６ｃ：マイナスボタン、７６ｄ：サムネイル
７８：検査済位置、８０：所定ボタン
Ａ１：搬入搬出領域、Ａ２：検査実行領域
Ｓ１０：保持工程、Ｓ２０：撮像工程、Ｓ３０：記憶工程、Ｓ４０：全体画像表示工程
Ｓ６０：拡大画像表示工程、Ｓ７０：時間計測工程、Ｓ１００：検査位置判定工程
Ｓ１１０：検査済位置表示工程
８：保持テーブル、８ａ：保持面、８ｂ：中心位置（基準位置）、８ｃ：矢印
１０：枠体、１０ａ：貫通開口、１０ｂ：段差部、１０ｃ：環状溝、１２：透明板
１１：ウェーハ、１１ａ：表面、１１ｂ：裏面
１３：分割予定ライン、１３ａ：切削溝、１５：デバイス、１７：ダイシングテープ
１４ａ，１４ｂ：支持構造、１６ａ，１６ｂ：移動板、１８ａ，１８ｂ：ガイドレール
１９：リングフレーム、２１：フレームユニット、２３：デバイスチップ
２０：ねじ軸、２２：モータ、２４：Ｘ軸方向移動機構、２６：撮像機構
２８：支持構造、３０：ガイドレール、３２：移動板、３４：ねじ軸、３６：モータ
３１：被検査物、３１ａ：表面、３１ｂ：裏面、３１ｃ：中心位置
３８：Ｙ軸方向移動機構、４０：移動ユニット、４２：移動ブロック
４２ａ：上方移動ブロック、４２ｂ：連結ブロック、４２ｃ：下方移動ブロック
４４ａ，４４ｂ：ガイドレール、４６ａ，４６ｂ：移動板
４８ａ，４８ｂ：ねじ軸、５０ａ，５０ｂ：モータ
５２ａ：上方Ｚ軸方向移動機構、５２ｂ：下方Ｚ軸方向移動機構
５４：撮像ユニット、５４ａ：上方撮像ユニット、５４ｂ：下方撮像ユニット
５６ａ，５６ｂ：撮像素子
６０：タッチパネル
６２：コントローラ、６２ａ：全体画像表示部、６２ｂ：拡大画像表示部
６２ｃ：時間計測部、６２ｄ：検査位置判定部、６２ｅ：検査済位置表示部
６４：プロセッサ、６６：メモリ
７０：全体画像、７０ａ：全体画像表示領域、７０ｂ：指定位置
７２：画像データ、７２ａ：単位幅領域、７２ｂ：画像
７４：座標データ
７６：拡大画像、７６ａ：拡大画像表示領域
７６ｂ：プラスボタン、７６ｃ：マイナスボタン、７６ｄ：サムネイル
７８：検査済位置、８０：所定ボタン
Ａ１：搬入搬出領域、Ａ２：検査実行領域
Ｓ１０：保持工程、Ｓ２０：撮像工程、Ｓ３０：記憶工程、Ｓ４０：全体画像表示工程
Ｓ６０：拡大画像表示工程、Ｓ７０：時間計測工程、Ｓ１００：検査位置判定工程
Ｓ１１０：検査済位置表示工程
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
