特開 2024-112357 光モジュールおよび光モジュールの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024112357

(43)【公開日】2024-08-21

(54)【発明の名称】光モジュールおよび光モジュールの製造方法

(51)【国際特許分類】

   G02B 6/42 20060101AFI20240814BHJP

   G02B 6/27 20060101ALI20240814BHJP

   H01S 5/02251 20210101ALI20240814BHJP

   H01S 5/0238 20210101ALI20240814BHJP

   G02B 6/32 20060101ALI20240814BHJP

   H01L 31/12 20060101ALN20240814BHJP

【ＦＩ】

G02B6/42

G02B6/27 301

H01S5/02251

H01S5/0238

G02B6/32

H01L31/12 H

【審査請求】未請求

【請求項の数】23

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023017281

(22)【出願日】2023-02-08

(71)【出願人】

【識別番号】000005290

【氏名又は名称】古河電気工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】澤村 壮嗣

(72)【発明者】

【氏名】鹿島 和彦

(72)【発明者】

【氏名】永井 京子

(72)【発明者】

【氏名】梅田 康平

(72)【発明者】

【氏名】タッサリングカンサクン ニティデット

(72)【発明者】

【氏名】スクソンブーン ラッタナポーン

(72)【発明者】

【氏名】ラッタコーン パンラモン

【テーマコード（参考）】

2H137

5F173

5F889

【Ｆターム（参考）】

2H137AB06

2H137BA15

2H137BB02

2H137BB14

2H137BB17

2H137BB25

2H137BB33

2H137BC02

2H137BC07

2H137BC47

2H137CA13A

2H137CA19A

2H137CA19F

2H137CA20A

2H137CA20F

2H137CA59

2H137CA67

2H137CB06

2H137CB22

2H137CC01

2H137EA04

2H137EA05

5F173MA01

5F173MB03

5F173MC03

5F173MC24

5F173MD34

5F173MD64

5F173MD73

5F173MD81

5F173ME23

5F173ME32

5F173ME44

5F173ME75

5F173ME85

5F173MF03

5F173MF23

5F173MF39

5F173MF40

5F889AB03

5F889AC24

5F889CA16

5F889CA21

(57)【要約】

【課題】例えば、光素子と光ファイバとの位置決め精度をより容易にあるいはより確実に確保することが可能となるような、改善された新規な光モジュールおよび光モジュールの製造方法を得る。
【解決手段】光モジュールは、例えば、第一方向を向いた第一面と、当該第一面から第一方向と直交した第二方向に離れ第一方向を向いた第二面と、を有したベースと、第一面上に実装され、第二方向に光を出力するかあるいは当該第二方向の反対方向に光が入力される光素子と、ベースにおいて、第二面から第一方向の反対方向に凹むとともに第二方向に延び、光素子から出力された光が入力されるかあるいは前記光素子に入力される光を出力する光ファイバの被覆が除去された芯線を少なくとも部分的に収容する溝が設けられた、光ファイバ固定部と、第一方向の反対方向に見た場合に、溝から第二方向の反対方向に離れた第一位置に設けられた、アライメントマークと、を備える。
【選択図】図１４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第一方向を向いた第一面と、当該第一面から前記第一方向と直交した第二方向に離れ前記第一方向を向いた第二面と、を有したベースと、
前記第一面上に設けられ、前記第二方向に光を出力するかあるいは当該第二方向の反対方向に光が入力される光素子と、
前記ベースにおいて、前記第二面から前記第一方向の反対方向に凹むとともに前記第二方向に延び、前記光素子から出力された光が入力されるかあるいは前記光素子に入力される光を出力する光ファイバの被覆が除去された芯線を少なくとも部分的に収容する溝が設けられた、光ファイバ固定部と、
前記第一方向の反対方向に見た場合に、前記溝から前記第二方向の反対方向に離れた第一位置に設けられた、アライメントマークと、
を備えた、光モジュール。

【請求項2】

第一方向を向いた第一面と、当該第一面から前記第一方向と直交した第二方向に離れ前記第一方向を向いた第二面と、を有したベースと、
前記第一面上に設けられ、前記第二方向に光を出力するかあるいは当該第二方向の反対方向に光が入力される光素子と、
前記ベースにおいて、前記第二面から前記第一方向の反対方向に凹むとともに前記第二方向に延び、前記光素子から出力された光が入力される光ファイバの被覆が除去された芯線を少なくとも部分的に収容する溝が設けられた、光ファイバ固定部と、
前記光素子と前記光ファイバとの間に位置し、前記光素子から出力された光を前記第一方向および前記第二方向と直交した第三方向にオフセットして前記光ファイバに入力するかあるいは前記光ファイバから出力された光を前記第三方向の反対方向にオフセットして前記光素子に入力する第一光学部品と、
前記第一方向の反対方向に見た場合に、前記溝から前記第二方向の反対方向に離れた第一位置に対して前記第三方向の反対方向へ前記第一光学部品によるオフセット量だけずれた第二位置に設けられたアライメントマークと、
を備えた、光モジュール。

【請求項3】

前記第一面および前記第二面が同一部材に設けられた、請求項１または２に記載の光モジュール。

【請求項4】

前記第一位置は、前記溝の前記第二方向に延びた谷線から前記第二方向の反対方向に離れた位置である、請求項１または２に記載の光モジュール。

【請求項5】

前記溝の前記第二方向と交差した断面は、略Ｖ字状の形状を有した、請求項４に記載の光モジュール。

【請求項6】

前記第一位置は、前記第二面における前記溝の前記第二方向に延びた二つの開口端縁の中心線から前記第二方向の反対方向に離れた位置である、請求項１に記載の光モジュール。

【請求項7】

前記溝の前記第二方向と交差した断面は、略Ｕ字状の形状を有した、請求項６に記載の光モジュール。

【請求項8】

前記溝の前記第二方向と交差した断面は、略逆台形状の形状を有した、請求項６に記載の光モジュール。

【請求項9】

前記溝の前記第二方向と交差した断面は、底部が丸められた略Ｖ字状の形状を有した、請求項６に記載の光モジュール。

【請求項10】

前記アライメントマークは、前記光素子に対して前記光ファイバとは反対側に位置した、請求項１または２に記載の光モジュール。

【請求項11】

前記アライメントマークは、前記光素子と前記光ファイバとの間に位置した、請求項１または２に記載の光モジュール。

【請求項12】

前記光素子に対して前記光ファイバとは反対側で前記第一面上に設けられた第二光学部品を備え、
前記アライメントマークは、前記第二光学部品を固定する接合剤に設けられた、請求項１または２に記載の光モジュール。

【請求項13】

前記第二光学部品は、前記光素子から出力された光を受光する受光素子である、請求項１２に記載の光モジュール。

【請求項14】

前記アライメントマークは、前記第一面上に設けられた導体パターンの縁によって構成された、請求項１または２に記載の光モジュール。

【請求項15】

前記アライメントマークは、前記ベースに設けられ前記第一方向の反対方向に凹む凹部として構成された、請求項１または２に記載の光モジュール。

【請求項16】

前記第一光学部品は、その位置や姿勢の調整によって前記光の前記光ファイバへの入力位置を変更可能な部品である、請求項２に記載の光モジュール。

【請求項17】

前記第一光学部品として、レンズおよびアイソレータのうち少なくとも一方を備えた、請求項１６に記載の光モジュール。

【請求項18】

前記光ファイバ固定部は、
前記溝が設けられ、第一接着剤によって前記被覆が除去された前記芯線が固定された第一固定部と、
前記溝に対して前記光素子とは反対側に位置し、第二接着剤によって前記光ファイバのうち前記被覆で覆われた部位が固定された第二固定部と、
を有した、請求項１または２に記載の光モジュール。

【請求項19】

前記第一方向において、前記第一固定部の前記溝の最深位置と、前記第二固定部の位置とが略同じである、請求項１８に記載の光モジュール。

【請求項20】

前記第一接着剤の成分と前記第二接着剤の成分とが異なる、請求項１８に記載の光モジュール。

【請求項21】

第一方向を向いた第一面と、当該第一面から前記第一方向と直交した第二方向に離れ前記第一方向を向いた第二面と、を有したベースと、
前記第一面上に設けられ、前記第二方向に光を出力するかあるいは当該第二方向の反対方向に光が入力される光素子と、
前記ベースにおいて、前記第二面から前記第一方向の反対方向に凹むとともに前記第二方向に延び、前記光素子から出力された光が入力されるかあるいは前記光素子に入力する光を出力する光ファイバの被覆が除去された芯線を少なくとも部分的に収容する溝が設けられた、光ファイバ固定部と、
を備え、
前記溝内で、前記芯線は前記光ファイバ固定部とは接触せず、当該芯線と前記光ファイバ固定部との間には接着剤が介在した、光モジュール。

【請求項22】

ベースに、第一方向を向いた第一面を形成する工程と、
前記ベースに、前記第一面から前記第一方向と直交した第二方向に離れ前記第一方向を向いた第二面を形成する工程と、
前記ベースに対して固定されたアライメントマークを形成する工程と、
前記第二面に、前記第一方向の反対方向に凹むとともに前記第二方向に延び、当該第二方向において既に形成された前記アライメントマークと並んだ溝を、形成する工程と、
前記第一面上に前記アライメントマークと所定の位置関係となるように光素子を設ける工程と、
光ファイバの被覆が除去された芯線が前記溝内に少なくとも部分的に収容された状態で、接着剤によって、当該芯線と前記ベースとを固定する工程と、
を備えた、光モジュールの製造方法。

【請求項23】

ベースに、第一方向を向いた第一面を形成する工程と、
前記ベースに、前記第一面から前記第一方向と直交した第二方向に離れ前記第一方向を向いた第二面を形成する工程と、
前記ベースに対して固定されたアライメントマークを形成する工程と、
前記第二面に、前記第一方向の反対方向に凹むとともに前記第二方向に延び、既に形成された前記アライメントマークを通り前記第二方向に延びた第一仮想線を、前記第一方向および前記第二方向と直交した第三方向に所定のオフセット量だけオフセットした第二仮想線に沿った溝を、形成する工程と、
前記第一面上に前記アライメントマークと所定の位置関係となるように光素子を設ける工程と、
光ファイバの被覆が除去された芯線が前記溝内に少なくとも部分的に収容された状態で、接着剤によって、当該芯線と前記ベースとを固定する工程と、
前記ベースに、前記光素子と前記光ファイバとの間に位置し、前記光素子から出力された光を前記第一方向および前記第二方向と直交した第三方向にオフセットして前記光ファイバに入力するかあるいは前記光ファイバから出力された光を前記第三方向の反対方向にオフセットして前記光素子に入力する第一光学部品を、固定する工程と、
を備え、
前記オフセット量は、前記第一光学部品による光のオフセット量である、光モジュールの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、光モジュールおよび光モジュールの製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、発光素子と、当該発光素子の出力光が結合される光ファイバと、を備えた光モジュールが知られている（例えば、特許文献１）。特許文献１の光モジュールでは、ベース上に、発光素子と光ファイバとが固定されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】国際公開２０１７／０１０５７０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

この種の光モジュールにおいて、発光素子のような光素子と光ファイバとの位置決め精度が低いと、当該光素子と光ファイバとの間で光の結合効率が低下してしまう。すなわち、光素子と光ファイバとの位置決め精度をより容易にあるいはより確実に確保することができる光モジュールが得られれば、有益である。

【0005】

そこで、本発明の課題の一つは、例えば、光素子と光ファイバとの位置決め精度をより容易にあるいはより確実に確保することが可能となるような、改善された新規な光モジュールおよび光モジュールの製造方法を得ること、である。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の光モジュールは、例えば、第一方向を向いた第一面と、当該第一面から前記第一方向と直交した第二方向に離れ前記第一方向を向いた第二面と、を有したベースと、前記第一面上に設けられ、前記第二方向に光を出力するかあるいは当該第二方向の反対方向に光が入力される光素子と、前記ベースにおいて、前記第二面から前記第一方向の反対方向に凹むとともに前記第二方向に延び、前記光素子から出力された光が入力されるかあるいは前記光素子に入力される光を出力する光ファイバの被覆が除去された芯線を少なくとも部分的に収容する溝が設けられた、光ファイバ固定部と、前記第一方向の反対方向に見た場合に、前記溝から前記第二方向の反対方向に離れた第一位置に設けられた、アライメントマークと、を備える。

【0007】

本発明の光モジュールは、例えば、第一方向を向いた第一面と、当該第一面から前記第一方向と直交した第二方向に離れ前記第一方向を向いた第二面と、を有したベースと、前記第一面上に設けられ、前記第二方向に光を出力するかあるいは当該第二方向の反対方向に光が入力される光素子と、前記ベースにおいて、前記第二面から前記第一方向の反対方向に凹むとともに前記第二方向に延び、前記光素子から出力された光が入力される光ファイバの被覆が除去された芯線を少なくとも部分的に収容する溝が設けられた、光ファイバ固定部と、前記光素子と前記光ファイバとの間に位置し、前記光素子から出力された光を前記第一方向および前記第二方向と直交した第三方向にオフセットして前記光ファイバに入力するかあるいは前記光ファイバから出力された光を前記第三方向の反対方向にオフセットして前記光素子に入力する第一光学部品と、前記第一方向の反対方向に見た場合に、前記溝から前記第二方向の反対方向に離れた第一位置に対して前記第三方向の反対方向へ前記第一光学部品によるオフセット量だけずれた第二位置に設けられたアライメントマークと、を備える。

【0008】

前記光モジュールでは、前記第一面および前記第二面が同一部材に設けられてもよい。

【0009】

前記光モジュールでは、前記第一位置は、前記溝の前記第二方向に延びた谷線から前記第二方向の反対方向に離れた位置であってもよい。

【0010】

前記光モジュールでは、前記溝の前記第二方向と交差した断面は、略Ｖ字状の形状を有してもよい。

【0011】

前記光モジュールでは、前記第一位置は、前記第二面における前記溝の前記第二方向に延びた二つの開口端縁の中心線から前記第二方向の反対方向に離れた位置であってもよい。

【0012】

前記光モジュールでは、前記溝の前記第二方向と交差した断面は、略Ｕ字状の形状を有してもよい。

【0013】

前記光モジュールでは、前記溝の前記第二方向と交差した断面は、略逆台形状の形状を有してもよい。

【0014】

前記光モジュールでは、前記溝の前記第二方向と交差した断面は、底部が丸められた略Ｖ字状の形状を有してもよい。

【0015】

前記光モジュールでは、前記アライメントマークは、前記光素子に対して前記光ファイバとは反対側に位置してもよい。

【0016】

前記光モジュールでは、前記アライメントマークは、前記光素子と前記光ファイバとの間に位置してもよい。

【0017】

前記光モジュールは、前記光素子に対して前記光ファイバとは反対側で前記第一面上に設けられた第二光学部品を備え、前記アライメントマークは、前記第二光学部品を固定する接合材に設けられてもよい。

【0018】

前記光モジュールでは、前記第二光学部品は、前記光素子から出力された光を受光する受光素子であってもよい。

【0019】

前記光モジュールでは、前記アライメントマークは、前記第一面上に設けられた導体パターンの縁によって構成されてもよい。

【0020】

前記光モジュールでは、前記アライメントマークは、前記ベースに設けられ前記第一方向の反対方向に凹む凹部として構成されてもよい。

【0021】

前記光モジュールでは、前記第一光学部品は、その位置や姿勢の調整によって前記光の前記光ファイバへの入力位置を変更可能な部品であってもよい。

【0022】

前記光モジュールでは、前記第一光学部品として、レンズおよびアイソレータのうち少なくとも一方を備えてもよい。

【0023】

前記光モジュールでは、前記光ファイバ固定部は、前記溝が設けられ、第一接着剤によって前記被覆が除去された前記芯線が固定された第一固定部と、前記溝に対して前記光素子とは反対側に位置し、第二接着剤によって前記光ファイバのうち前記被覆で覆われた部位が固定された第二固定部と、を有してもよい。

【0024】

前記光モジュールでは、前記第一方向において、前記第一固定部の前記溝の最深位置と、前記第二固定部の位置とが略同じであってもよい。

【0025】

前記光モジュールでは、前記第一接着剤の成分と前記第二接着剤の成分とが異なってもよい。

【0026】

また、本発明の光モジュールは、例えば、第一方向を向いた第一面と、当該第一面から前記第一方向と直交した第二方向に離れ前記第一方向を向いた第二面と、を有したベースと、前記第一面上に設けられ、前記第二方向に光を出力するかあるいは当該第二方向の反対方向に光が入力される光素子と、前記ベースにおいて、前記第二面から前記第一方向の反対方向に凹むとともに前記第二方向に延び、前記光素子から出力された光が入力されるかあるいは前記光素子に入力する光を出力する光ファイバの被覆が除去された芯線を少なくとも部分的に収容する溝が設けられた、光ファイバ固定部と、を備え、前記溝内で、前記芯線は前記光ファイバ固定部とは接触せず、当該芯線と前記光ファイバ固定部との間には接着剤が介在する。

【0027】

本発明の光モジュールの製造方法は、例えば、ベースに、第一方向を向いた第一面を形成する工程と、前記ベースに、前記第一面から前記第一方向と直交した第二方向に離れ前記第一方向を向いた第二面を形成する工程と、前記ベースに対して固定されたアライメントマークを形成する工程と、前記第二面に、前記第一方向の反対方向に凹むとともに前記第二方向に延び、当該第二方向において既に形成された前記アライメントマークと並んだ溝を、形成する工程と、前記第一面上に前記アライメントマークと所定の位置関係となるように光素子を設ける工程と、光ファイバの被覆が除去された芯線が前記溝内に少なくとも部分的に収容された状態で、接着剤によって、当該芯線と前記ベースとを固定する工程と、を備える。

【0028】

また、本発明の光モジュールの製造方法は、例えば、ベースに、第一方向を向いた第一面を形成する工程と、前記ベースに、前記第一面から前記第一方向と直交した第二方向に離れ前記第一方向を向いた第二面を形成する工程と、前記ベースに対して固定されたアライメントマークを形成する工程と、前記第二面に、前記第一方向の反対方向に凹むとともに前記第二方向に延び、既に形成された前記アライメントマークを通り前記第二方向に延びた第一仮想線を、前記第一方向および前記第二方向と直交した第三方向に所定のオフセット量だけオフセットした第二仮想線に沿った溝を、形成する工程と、前記第一面上に前記アライメントマークと所定の位置関係となるように光素子を設ける工程と、光ファイバの被覆が除去された芯線が前記溝内に少なくとも部分的に収容された状態で、接着剤によって、当該芯線と前記ベースとを固定する工程と、前記ベースに、前記光素子と前記光ファイバとの間に位置し、前記光素子から出力された光を前記第一方向および前記第二方向と直交した第三方向にオフセットして前記光ファイバに入力するかあるいは前記光ファイバから出力された光を前記第三方向の反対方向にオフセットして前記光素子に入力する第一光学部品を、固定する工程と、を備え、前記オフセット量は、前記第一光学部品による光のオフセット量である。

【発明の効果】

【0029】

本発明によれば、新規な改善された光モジュールおよび光モジュールの製造方法を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【0030】

【図1】図１は、第１実施形態の光モジュールの例示的かつ模式的な斜視図である。

【図2】図２は、第１実施形態の光モジュールの例示的かつ模式的な平面図である。

【図3】図３は、図２のIII－III断面図である。

【図4】図４は、第１実施形態の光モジュールのベースの例示的かつ模式的な平面図である。

【図5】図５は、第１実施形態の光モジュールの製造方法の手順の一例を示すフローチャートである。

【図6】図６は、第２実施形態の光モジュールのベースの例示的かつ模式的な平面図である。

【図7】図７は、第３実施形態の光モジュールのベースの一部の例示的かつ模式的な平面図である。

【図8】図８は、第４実施形態の光モジュールのベースの一部の例示的かつ模式的な平面図である。

【図9】図９は、第５実施形態の光モジュールのベースの例示的かつ模式的な平面図である。

【図10】図１０は、第６実施形態の光モジュールの図３と同等位置における断面図である。

【図11】図１１は、第７実施形態の光モジュールの図３と同等位置における断面図である。

【図12】図１２は、第８実施形態の光モジュールの図３と同等位置における断面図である。

【図13】図１３は、第９実施形態の光モジュールの例示的かつ模式的な斜視図である。

【図14】図１４は、第１０実施形態の光モジュールの例示的かつ模式的な平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0031】

以下、本発明の例示的な実施形態が開示される。以下に示される実施形態の構成、ならびに当該構成によってもたらされる作用および結果（効果）は、一例である。本発明は、以下の実施形態に開示される構成以外によっても実現可能である。また、本発明によれば、構成によって得られる種々の効果（派生的な効果も含む）のうち少なくとも一つを得ることが可能である。

【0032】

以下に示される複数の実施形態は、同様の構成を備えている。よって、各実施形態の構成によれば、当該同様の構成に基づく同様の作用および効果が得られる。また、以下では、それら同様の構成には同様の符号が付与されるとともに、重複する説明が省略される場合がある。

【0033】

本明細書において、序数は、方向や、部材、部品、部位等を区別するために便宜上付与されており、優先順位や順番を示すものではなく、個数を限定するものでもない。

【0034】

各図において、Ｘ方向を矢印Ｘで表し、Ｙ方向を矢印Ｙで表し、Ｚ方向を矢印Ｚで表す。Ｘ方向、Ｙ方向、およびＺ方向は、互いに交差するとともに互いに直交している。また、Ｘ方向は長手方向または延び方向と称され、Ｙ方向は短手方向または幅方向と称され、Ｚ方向は厚さ方向若しくは高さ方向と称されうる。

【0035】

［第１実施形態］
図１は、第１実施形態の光モジュール１００Ａ（１００）の斜視図である。図１に示されるように、光モジュール１００は、ベース１０Ａ（１０）と、発光素子２０と、光ファイバ３０と、受光素子４０と、レンズ５１と、アイソレータ５２と、を備えている。発光素子２０は、光素子の一例である。

【0036】

ベース１０は、略角棒状の形状を有している。ベース１０は、Ｙ方向における略一定の幅を有し、Ｘ方向に延びている。ベース１０は、例えば、シリコンで作られる。なお、ベース１０は、例えば、窒化アルミニウムのような、熱伝導率が比較的高いセラミックで作られてもよいし、上記以外の材料で作られてもよい。

【0037】

ベース１０は、面１０ａを有している。面１０ａは、Ｚ方向の反対方向を向くとともに、Ｚ方向と交差するとともに直交し、Ｙ方向に略一定の幅でＸ方向に延びている。また、面１０ａは、四角形状の形状を有している。面１０ａは、底面あるいは下面とも称されうる。

【0038】

また、ベース１０Ａ（１０）は、面１０ａとは反対側に、面１０ｂ，１０ｄ，１０ｃ１，１０ｃ２を有している。面１０ｂ，１０ｄ，１０ｃ１，１０ｃ２は、それぞれ、Ｚ方向を向くとともに、Ｚ方向と交差するとともに直交し、Ｙ方向に略一定の幅でＸ方向に延びている。面１０ｂ，１０ｄ，１０ｃ１，１０ｃ２は、それぞれ、例えば、四角形状の形状を有している。面１０ｂ，１０ｄ，１０ｃ１，１０ｃ２は、Ｘ方向にこの順に並んでおり、面１０ｃ１は、面１０ｂに対してＸ方向に離れている。面１０ｂ，１０ｄ，１０ｃ１，１０ｃ２は、頂面あるいは上面とも称されうる。Ｚ方向は、第一方向の一例であり、Ｘ方向は第二方向の一例である。また、面１０ｂは、第一面の一例であり、面１０ｃ１は、第二面の一例である。なお、面１０ｂ，１０ｄ，１０ｃ１，１０ｃ２は、本実施形態では、一例として四角形状の形状を有したが、これには限定されず、四角形状とは異なる形状を有してもよい。

【0039】

面１０ｂ，１０ｄ，１０ｃ１，１０ｃ２の面１０ａからのＺ方向の高さＨ１，Ｈ３，Ｈ２１，Ｈ２２（厚さ）は、それぞれ異なっている。本実施形態では、一例として、高さＨ１，Ｈ３，Ｈ２１，Ｈ２２は、Ｈ１≧Ｈ２１＞Ｈ２２＞Ｈ３の関係を有している。すなわち、面１０ｂ，１０ｄ，１０ｃ１，１０ｃ２は、段差を構成している。また、面１０ｂ，１０ｄ，１０ｃ１，１０ｃ２は、部品を固定する面として利用されている。すなわち、面１０ｂ，１０ｄ，１０ｃ１，１０ｃ２は、部品固定面あるいは部品実装面とも称されうる。

【0040】

図２は、光モジュール１００Ａ（１００）の平面図である。図１，２に示されるように、面１０ｂ上には、複数の電極１１が形成されている。発光素子２０および受光素子４０は、同じ電極１１上に接合材２１，４１を介して、それぞれ表面実装されている。接合材２１，４１は、例えば、電極１１上に塗布されており、一例としては、はんだ箔やはんだペーストである。また、発光素子２０および受光素子４０のＺ方向の端部に設けられた端子電極は、ボンディングワイヤ２２，４２を介して、互いに異なる電極１１と、電気的に接続されている。電極１１は、導体パターンとも称されうる。

【0041】

発光素子２０は、レーザ光をＸ方向に出力する。発光素子２０からＸ方向に出力された光は、レンズ５１およびアイソレータ５２を経由して、光ファイバ３０の芯線３１に入力される。すなわち、レンズ５１およびアイソレータ５２は、発光素子２０と光ファイバ３０との間に位置している。発光素子２０は、例えばレーザ発光素子である。

【0042】

図２に示されるように、すなわちＺ方向の反対方向に見た場合に、本実施形態では、アイソレータ５２の中心線Ｃは、端面反射からの戻り光を防止するため、Ｘ方向に対して僅かに傾斜して配置されており、これにより、アイソレータ５２からの出力光は、アイソレータ５２への入力光に対し、Ｙ方向に平行移動する。すなわち、発光素子２０から出力された光は、アイソレータ５２を経由することにより、Ｙ方向にオフセット量δだけオフセットする。レンズ５１およびアイソレータ５２は、面１０ｄ上に、接着剤５３を介して、それぞれ固定されている。レンズ５１およびアイソレータ５２は、第一光学部品の一例である。

【0043】

また、発光素子２０は、レーザ光をＸ方向の反対方向にも出力する。発光素子２０からＸ方向の反対方向に出力された光は、発光素子２０に対して光ファイバ３０とは反対側に設けられた受光素子４０に入力される。受光素子４０は、例えば、発光素子２０から出力された光の強度を検出する。受光素子４０は、例えばフォトダイオードである。

【0044】

光ファイバ３０は、芯線３１と、当該芯線３１を取り囲む被覆３２と、を有している。光ファイバ３０は、接着剤３３，３４を介して、ベース１０に固定されている。

【0045】

図３は、図２のIII－III断面図である。また、図４は、ベース１０Ａ（１０）の平面図である。図３に示されるように、溝１０ｅは、ベース１０の面１０ｃ１からＺ方向の反対方向に凹んでいる。また、図４に示されるように、溝１０ｅは、図３に示されるような略Ｖ字状の断面形状で、Ｘ方向に延びている。

【0046】

図３に示されるように、光ファイバ３０の端部において被覆３２が部分的に除去されて露出した芯線３１は、溝１０ｅ内に少なくとも部分的に収容されている。また、図１～３に示されるように、接着剤３３は、当該芯線３１の周囲を取り囲むとともに、当該芯線３１と、面１０ｃ１または溝１０ｅの内面と、の間に介在し、芯線３１を、ベース１０に接着している。ベース１０のうち、面１０ｃ１の一部および溝１０ｅの内面は、光ファイバ固定部６０Ａ（６０）を構成している。本実施形態では、芯線３１は、溝１０ｅの内面とは直接的には接触しない。仮に、芯線３１が溝１０ｅの内面と接触してしまうと、芯線３１の位置が、溝１０ｅの位置によって制限されることになり、より精度の芯線３１の良い位置決めができなくなってしまう虞がある。この点、本実施形態では、芯線３１は溝１０ｅの内面とは直接的には接触しないため、芯線３１の位置が溝１０ｅの位置によって制限されることで位置決めの精度が低下するのを抑制することができる。

【0047】

また、図１，２に示されるように、光ファイバ３０のうち、被覆３２が除去された部位の近傍の部位は、被覆３２で覆われた状態で、面１０ｃ２上に載せられている。接着剤３４は、被覆３２を取り囲むとともに、当該被覆３２と面１０ｃ２との間に介在し、被覆３２を、ベース１０に接着している。ベース１０のうち、面１０ｃ２の一部は、光ファイバ固定部６０Ａ（６０）を構成している。なお、芯線３１の一部は、接着剤３４で覆われてもよい。

【0048】

このような構成において、発光素子２０から出力された光の光ファイバ３０の芯線３１に対する結合効率を高めるためには、発光素子２０と、光ファイバ３０の芯線３１とが、精度良く位置決めされていることが必要である。そこで、図２，４に示されるように、本実施形態では、一例として、受光素子４０の接合材４１に、位置決め用のアライメントマーク４１ａが設けられている。アライメントマーク４１ａは、接合材４１のＸ方向の端部に位置する縁に、当該縁からＸ方向に突出した突起として形成されている。このような構成によれば、光モジュール１００の製造時に、アライメントマーク４１ａを基準として、溝１０ｅを形成するとともに、発光素子２０を実装することができるため、発光素子２０と、光ファイバ３０の芯線３１との位置決め精度を高め、ひいては、発光素子２０から出力された光の光ファイバ３０の芯線３１に対する結合効率を高めることができる。また、本実施形態の構成によれば、アライメントマーク４１ａを、接合材４１を形成する際に、比較的容易に形成することができるという利点が得られる。

【0049】

図５は、光モジュール１００の製造手順の一例を示すフローチャートである。図５に示されるように、まずは、公知の半導体プロセス等により、ベース１０に、面１０ｂ（第一面）、面１０ｃ１（第二面）、および面１０ｄ（第三面）を形成する（Ｓ１）。面１０ｂと面１０ｃ１とが面一である場合、Ｓ１では、まずは当該面１０ｂおよび面１０ｃ１となる面を形成し、次に当該面のＸ方向の中間部分に、適宜なマスクパターンを用いたエッチング等によって面１０ｄを形成することにより、面１０ｂ、面１０ｃ１、および面１０ｄを形成することができる。

【0050】

次に、図５に示されるように、ベース１０に、アライメントマーク４１ａを形成する（Ｓ２）。本実施形態のように、アライメントマーク４１ａが、接合材４１に形成される場合には、Ｓ１の後、Ｓ２の前に、電極１１が形成される。Ｓ２では、当該電極１１上に、接合材４１が形成され、当該接合材４１にアライメントマーク４１ａが設けられる。

【0051】

次に、図５に示されるように、アライメントマーク４１ａを基準として、溝１０ｅを形成する（Ｓ３）。図４は、Ｓ３後のベース１０の平面図である。上述したように、本実施形態では、発光素子２０から出力された光は、レンズ５１およびアイソレータ５２を経由することにより、Ｙ方向にオフセット量δだけオフセットする。したがって、Ｓ３において、溝１０ｅを、図４に示されるように、Ｚ方向の反対方向に見た場合に、その谷線１０ｅ１が、既に形成されたアライメントマーク４１ａを通る仮想線Ｌ１に対してＹ方向にオフセット量δだけオフセットした仮想線Ｌ２に沿うように、形成する。Ｓ３では、適宜なマスクパターンを用いたエッチング等によって溝１０ｅを形成することができる。このＳ３により、光モジュール１００の製品においては、図２に示されるように、Ｚ方向の反対方向に見た場合に、アライメントマーク４１ａの基準点は、溝１０ｅの谷線１０ｅ１に対してＸの反対方向に離れた位置Ｐ１に対してＹ方向の反対方向へオフセット量δだけずれた位置Ｐ２に設けられていることになる。なお、アライメントマーク４１ａは、発光素子２０に対して光ファイバ３０とは反対側に位置しているが、これには限定されない。また、アライメントマーク４１ａの基準点は、例えば、Ｘ方向またはＸ方向の反対方向に尖った形状の先端のように、Ｙ方向における位置を特定しやすい位置に設定される。仮想線Ｌ１は、第一仮想線の一例であり、仮想線Ｌ２は、第二仮想線の一例である。位置Ｐ１は、第一位置の一例であり、位置Ｐ２は、第二位置の一例である。

【0052】

ここで、図３に示されるように、Ｚ方向における溝１０ｅの最深位置、すなわち本実施形態では谷線１０ｅ１の位置と、Ｚ方向における面１０ｃ２の位置とが略同じである。したがって、Ｓ３では、適宜なマスクパターンを用いたエッチング等によって、溝１０ｅと面１０ｃ２とを並行して形成することができる。仮に、Ｚ方向において、溝１０ｅの最深位置と、面１０ｃ２の位置とが異なる場合、当該溝１０ｅおよび面１０ｃ２を形成する工程がより複雑になる。この点、本実施形態によれば、溝１０ｅと面１０ｃ２とを同時並行的に形成することができる分、ベース１０ひいては光モジュール１００をより容易にあるいはより迅速に製造することができる。

【0053】

次に、図５に示されるように、発光素子２０および受光素子４０を実装し（Ｓ４）、さらに、接着剤３３，３４，５３によって光ファイバ３０およびレンズ５１およびアイソレータ５２（光学部品）を固定する（Ｓ５）。

【0054】

Ｓ４では、発光素子２０および受光素子４０を、アライメントマーク４１ａに対して位置決めしながら、ベース１０に実装する。この際、発光素子２０および受光素子４０は、Ｚ方向の反対方向に見た場合において、アライメントマーク４１ａと所定の位置関係となるよう、具体的には、例えば、Ｘ方向においてアライメントマーク４１ａと並ぶよう、配置される。なお、Ｘ方向において並ぶ、とは、間隔をあけてＸ方向に沿って略一列に並んでいることを指し、並ぶ順序は問わないものとする。

【0055】

また、Ｓ５では、接着剤３３，５３が完全に固化していない状態で、発光素子２０から光を出力し、光ファイバ３０に結合された光の強度を測定しながら、芯線３１の先端の位置や、レンズ５１の位置や姿勢、アイソレータ５２の位置や姿勢等を調整し、光ファイバ３０への光の結合効率を高めてもよい。特に、本実施形態の構成によれば、アイソレータ５２の中心線ＣのＸ方向に対する傾斜角度（図２参照）を調整することにより、発光素子２０から出力された光のオフセット量を調整することができるので、より結合効率を高めやすいという効果が得られる。

【0056】

さらに、Ｓ５の調整においては、接着剤３４を固化し被覆３２で覆われた光ファイバ３０の根元部分をベース１０と固定した上で、接着剤３３が完全に固化していない状態で、芯線３１の位置の微調整を行ってもよい。そのために、接着剤３４を接着剤３３より速く固化する接着剤としてもよいし、接着剤３３の成分と接着剤３４の成分とを異ならせてもよい。ベース１０の光ファイバ固定部６０のうち、芯線３１が接着剤３３によって固定される部位としての溝１０ｅおよび面１０ｃ１は、第一固定部の一例であり、光ファイバ３０のうち被覆３２で覆われた部位が接着剤３４によってベース１０に固定される部位としての面１０ｃ２は、第二固定部の一例である。接着剤３３は、第一接着剤の一例であり、接着剤３４は、第二接着剤の一例である。

【0057】

以上、説明したように、本実施形態の構造および方法によれば、アライメントマーク４１ａを基準として溝１０ｅを形成することにより、発光素子２０と光ファイバ３０の芯線３１とをより精度良く位置決めすることができ、ひいては、発光素子２０から出力された光の光ファイバ３０に対する結合効率をより容易にあるいはより確実に高めることができる、という効果が得られる。

【0058】

また、本実施形態では、面１０ｂと面１０ｃ１とが、一つのベース１０、すなわち同一部材に設けられている。仮に、ベース１０が複数部材で構成され、これに伴い、面１０ｂと面１０ｃ１とがそれぞれ別の部材に設けられていた場合、面１０ｂと面１０ｃ１との位置のずれがより大きくなるため、芯線３１を溝１０ｅ内により確実に収容するために、言い換えると、面１０ｂと面１０ｃ１との製造ばらつきによる芯線３１に対する溝１０ｅの位置ずれを吸収するため、溝１０ｅの幅や深さ、すなわち溝１０ｅの断面積をより大きくする必要が生じる。その場合、溝１０ｅの断面積がより大きくなる分、接着剤３３の量がより増大したり、溝１０ｅ内で芯線３１の可動範囲が大きくなる分、芯線３１の位置ずれがより大きくなり易くなったり、といった不都合が生じる虞がある。この点、本実施形態によれば、面１０ｂと面１０ｃ１とが、一つのベース１０、すなわち同一部材に設けられている分、アライメントマーク４１ａに対して溝１０ｅの位置ずれをより小さくすることができ、これにより溝１０ｅの断面積をより小さくすることができるため、上述したような不都合が生じるのを抑制できる、という効果が得られる。また、本実施形態によれば、接着剤３３の量を減らせることにより、接着剤３３の劣化による信頼性の低下を抑制できるという効果も得られる。

【0059】

［第２実施形態］
図６は、第２実施形態のベース１０Ｂ（１０）の平面図である。ベース１０Ｂ（１０）は、第１実施形態のベース１０Ａに替えて、光モジュール１００に組み込むことができる。

【0060】

本実施形態では、アライメントマーク１０ｆ１は、ベース１０Ｂ（１０）の面１０ｂと面１０ｃ１との間の傾斜面１０ｆの凹部として、設けられている。アライメントマーク１０ｆ１は、公知の半導体プロセス等により、面１０ｂ，１０ｃ１を形成する前に設けられてもよいし、面１０ｂ，１０ｃ１を形成した後に設けられてもよい。傾斜面１０ｆは、面１０ｄを形成する工程で形成される。傾斜面１０ｆは、境界面や側面とも称されうる。

【0061】

また、本実施形態では、アライメントマーク１０ｆ１は、発光素子２０と光ファイバ３０との間に設けられている。

【0062】

本実施形態でも、アライメントマーク１０ｆ１を基準として溝１０ｅを形成することにより、発光素子２０と光ファイバ３０の芯線３１とをより精度良く位置決めすることができ、ひいては、発光素子２０から出力された光の光ファイバ３０に対する結合効率をより容易にあるいはより確実に高めることができる、という効果が得られる。

【0063】

［第３実施形態］
図７は、第３実施形態のベース１０Ｃ（１０）の一部の平面図である。ベース１０Ｃ（１０）は、第１実施形態のベース１０Ａに替えて、光モジュール１００に組み込むことができる。

【0064】

本実施形態では、アライメントマーク１０ｂ１は、面１０ｂに設けられた凹部として、設けられている。アライメントマーク１０ｂ１は、そのＹ方向の中央部において、Ｘ方向に延びる谷線を有しており、当該谷線をアライメントマーク１０ｂ１の基準点とすることができる。なお、面１０ｂは、電極１１で覆われているため、当該アライメントマーク１０ｂ１も電極１１の導体層で覆われている。なお、アライメントマーク１０ｂ１は、導体層で覆われなくてもよい。

【0065】

本実施形態でも、アライメントマーク１０ｂ１を基準として溝１０ｅを形成することにより、発光素子２０と光ファイバ３０の芯線３１とをより精度良く位置決めすることができ、ひいては、発光素子２０から出力された光の光ファイバ３０に対する結合効率をより容易にあるいはより確実に高めることができる、という効果が得られる。

【0066】

［第４実施形態］
図８は、第４実施形態の光モジュール１００のベース１０Ｄ（１０）の一部の平面図である。ベース１０Ｄ（１０）は、第１実施形態のベース１０Ａに替えて、光モジュール１００に組み込むことができる。

【0067】

本実施形態では、アライメントマーク１１ａは、電極１１に設けられた開口の縁によって構成されている。アライメントマーク１１ａとしての縁は、そのＹ方向の端部において、Ｘ方向に延びる部位を有しており、当該部位をアライメントマーク１１ａの基準点とすることができる。なお、この場合の縁は、開口の縁、すなわち内側境界には限定されず、電極１１の外側境界の一部であってもよい。

【0068】

本実施形態でも、アライメントマーク１１ａを基準として溝１０ｅを形成することにより、発光素子２０と光ファイバ３０の芯線３１とをより精度良く位置決めすることができ、ひいては、発光素子２０から出力された光の光ファイバ３０に対する結合効率をより容易にあるいはより確実に高めることができる、という効果が得られる。

【0069】

［第５実施形態］
図９は、第５実施形態の光モジュール１００のベース１０Ｅ（１０）の平面図である。ベース１０Ｅ（１０）は、第１実施形態のベース１０Ａに替えて、光モジュール１００に組み込むことができる。

【0070】

本実施形態では、接合材４１に、第１実施形態と同じアライメントマーク４１ａに加えて、溝１０ｅの谷線１０ｅ１に対してＸの反対方向に離れた位置Ｐ１に設けられたアライメントマーク４１ａ１が設けられている。この場合、アライメントマーク４１ａを、発光素子２０の位置決めに利用し、アライメントマーク４１ａ１を、溝１０ｅ（谷線１０ｅ１）の位置決めに利用することができる。

【0071】

本実施形態によれば、アライメントマーク４１ａ１を基準として溝１０ｅを形成することにより、発光素子２０と光ファイバ３０の芯線３１とをより精度良く位置決めすることができ、ひいては、発光素子２０から出力された光の光ファイバ３０に対する結合効率をより容易にあるいはより確実に高めることができる、という効果が得られる。

【0072】

［第６実施形態］
図１０は、第６実施形態の光モジュール１００Ｆ（１００）の図３と同等位置、すなわち、光ファイバ固定部６０Ｆ（６０）における断面図である。図１０に示されるように、本実施形態では、ベース１０Ｆ（１０）の溝１０ｅの、Ｘ方向と交差した断面は、略Ｕ字状の形状を有している。溝１０ｅは、当該断面形状でＸ方向に延びている。

【0073】

図１０から明らかとなるように、溝１０ｅの底面１０ｅ３には、第１実施形態のような谷線１０ｅ１が形成されない。このような場合には、面１０ｃ１における溝１０ｅのＸ方向に延びた二つの開口縁１０ｅ２の中心線を仮想線Ｌ２として、第１実施形態と同様の工程を行う。すなわち、図５のＳ３において、溝１０ｅを、Ｚ方向の反対方向に見た場合に、二つの開口縁１０ｅ２の中心線が、既に形成されたアライメントマーク４１ａを通る仮想線Ｌ１に対してＹ方向にオフセット量δだけオフセットした仮想線Ｌ２に沿うように、形成する。この場合も、Ｓ３により、光モジュール１００の製品においては、Ｚ方向の反対方向に見た場合に、アライメントマーク４１ａの基準点は、二つの開口縁１０ｅ２の中心線（線分）に対してＸの反対方向に離れた位置Ｐ１に対してＹ方向の反対方向へオフセット量δだけずれた位置Ｐ２に設けられていることになる。

【0074】

本実施形態でも、アライメントマーク４１ａ１を基準として溝１０ｅを形成することにより、発光素子２０と光ファイバ３０の芯線３１とをより精度良く位置決めすることができ、ひいては、発光素子２０から出力された光の光ファイバ３０に対する結合効率をより容易にあるいはより確実に高めることができる、という効果が得られる。なお、第１実施形態においても、本実施形態と同様に、面１０ｃ１における溝１０ｅのＸ方向に延びた二つの開口縁１０ｅ２の中心線を仮想線Ｌ２として、上述した工程を行ってもよい。

【0075】

［第７実施形態］
図１１は、第７実施形態の光モジュール１００Ｇ（１００）の図３と同等位置、すなわち、光ファイバ固定部６０Ｇ（６０）における断面図である。図１１に示されるように、本実施形態では、ベース１０Ｇ（１０）の溝１０ｅの、Ｘ方向と交差した断面は、略逆台形状の形状を有している。溝１０ｅは、当該断面形状でＸ方向に延びている。

【0076】

本実施形態でも、上記第６実施形態と同様に、溝１０ｅのＸ方向に延びた二つの開口縁１０ｅ２の中心線を仮想線Ｌ２として、第１実施形態と同様の工程を行えばよい。すなわち、本実施形態でも、第６実施形態と同様の効果が得られる。

【0077】

［第８実施形態］
図１２は、第８実施形態の光モジュール１００Ｈ（１００）の図３と同等位置、すなわち、光ファイバ固定部６０Ｈ（６０）における断面図である。図１１に示されるように、本実施形態では、ベース１０Ｈ（１０）の溝１０ｅの、Ｘ方向と交差した断面は、底部が丸められた略Ｖ字状の形状を有している。溝１０ｅは、当該断面形状でＸ方向に延びている。

【0078】

本実施形態でも、上記第６実施形態と同様に、溝１０ｅのＸ方向に延びた二つの開口縁１０ｅ２の中心線を仮想線Ｌ２として、第１実施形態と同様の工程を行えばよい。すなわち、本実施形態でも、第６実施形態と同様の効果が得られる。

【0079】

［第９実施形態］
図１３は、第９実施形態の光モジュール１００Ｉ（１００）の斜視図である。本実施形態では、ベース１０Ｉ（１０）は、Ｙ方向により幅が広い略板状の形状を有しており、発光素子２０、レンズ５１、アイソレータ５２、および光ファイバ３０の複数の組み合わせについて、共用されている。本実施形態でも、各組み合わせについてアライメントマーク４１ａが設けられているため、上記第１実施形態と同様の効果が得られる。なお、組み合わせの数は２には限定されず、３以上であってもよい。

【0080】

［第１０実施形態］
図１４は、光モジュール１００Ｊ（１００）の平面図である。本実施形態では、ベース１０Ｊ（１０）には、第１実施形態のようなレンズ５１やアイソレータ５２が設けられていない。このため、発光素子２０から出力された光には、第１実施形態のようなＹ方向のオフセットが生じない。この場合、光ファイバ３０は、レンズドファイバであってもよい。

【0081】

本実施形態では、第５実施形態（図９参照）と同様に、溝１０ｅの谷線１０ｅ１に対してＸの反対方向に離れた位置Ｐ１に設けられたアライメントマーク４１ａ１が設けられている。当該アライメントマーク４１ａ１は、溝１０ｅ（谷線１０ｅ１）の位置決めに利用することができる。本実施形態でも、上記他の実施形態と同様の効果が得られる。

【0082】

以上、本発明の実施形態が例示されたが、上記実施形態は一例であって、発明の範囲を限定することは意図していない。上記実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、組み合わせ、変更を行うことができる。また、各構成や、形状、等のスペック（構造や、種類、方向、型式、大きさ、長さ、幅、厚さ、高さ、数、配置、位置、材質等）は、適宜に変更して実施することができる。

【0083】

例えば、アライメントマークは、ベースに対して固定されていればよく、ベースまたは当該ベースに対して固定された種々のものに設けられうる。例えば、アライメントマークは、光素子とは別の素子の接合材に設けられてもよい。また、アライメントマークは、カメラや作業者が認識できる部位を有すればよく、種々の形状や、位置、大きさ等のスペックで、実施することができる。さらに、アライメントマークは、溝を形成する工程と並行して設けられてもよい。この場合、アライメントマークと溝とをより精度良く位置合わせすることが可能となる。また、光素子は、発光素子には限定されず、例えば、光変調器のような光を出力する発光素子とは別の素子であってもよいし、例えば、受光素子やコヒーレントミキサのような、光が入力される素子であってもよい。また、光ファイバは、光素子からの光が入力されるものには限定されず、光素子へ向けて光を出力するものであってもよい。

【符号の説明】

【0084】

１０，１０Ａ～１０Ｊ…ベース
１０ａ…面
１０ｂ…面（第一面）
１０ｂ１…アライメントマーク
１０ｃ１…面（第二面、第一固定部）
１０ｃ２…面（第二固定部）
１０ｄ…面（第三面）
１０ｅ…溝（第一固定部）
１０ｅ１…谷線（最深位置）
１０ｅ２…開口縁
１０ｅ３…底面
１０ｆ…傾斜面
１０ｆ１…アライメントマーク
１１…電極
１１ａ…アライメントマーク
２０…発光素子（光素子）
２１…接合材
２２…ボンディングワイヤ
３０…光ファイバ
３１…芯線
３２…被覆
３３…接着剤
３４…接着剤
４０…受光素子（第二光学部品）
４１…接合材
４１ａ…アライメントマーク
４１ａ１…アライメントマーク
４２…ボンディングワイヤ
５１…レンズ（第一光学部品）
５２…アイソレータ（第一光学部品）
５３…接着剤
６０，６０Ａ，６０Ｆ～６０Ｈ…光ファイバ固定部
１００，１００Ａ，１００Ｆ～１００Ｊ…光モジュール
Ｃ…中心線
Ｈ１，Ｈ２１，Ｈ２２，Ｈ３…高さ
Ｌ１…仮想線（第一仮想線）
Ｌ２…仮想線（第二仮想線）
Ｐ１…位置（第一位置）
Ｐ２…位置（第二位置）
Ｘ…方向（第二方向）
Ｙ…方向（第三方向）
Ｚ…方向（第一方向）
δ…オフセット量

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】