特開 2024-113859 加工装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024113859

(43)【公開日】2024-08-23

(54)【発明の名称】加工装置

(51)【国際特許分類】

   B23Q 17/22 20060101AFI20240816BHJP

   B24B 41/06 20120101ALI20240816BHJP

   B24B 49/12 20060101ALI20240816BHJP

   B25B 23/14 20060101ALI20240816BHJP

   B25B 23/144 20060101ALI20240816BHJP

   B23Q 17/24 20060101ALI20240816BHJP

【ＦＩ】

B23Q17/22 Z

B24B41/06 L

B24B49/12

B25B23/14 620J

B25B23/144

B23Q17/24 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023019102

(22)【出願日】2023-02-10

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110001014

【氏名又は名称】弁理士法人東京アルパ特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】大波 豪

(72)【発明者】

【氏名】荒蒔 創介

(72)【発明者】

【氏名】中塚 敦

【テーマコード（参考）】

3C029

3C034

3C038

【Ｆターム（参考）】

3C029AA40

3C029EE20

3C034AA08

3C034BB73

3C034BB93

3C034CA22

3C034CA30

3C034CB13

3C034CB20

3C034DD20

3C038AA01

3C038BC01

3C038CA06

3C038CC08

3C038EA06

(57)【要約】

【課題】複数のネジを所定の締め付け順で締め付ける。
【解決手段】第１締め付け順指示部８０が、所定の締め付け順に応じた締め付けられるべきネジ３００に光を照射することによって、作業者に対して、どのネジ３００を締め付けるべきかを指示している。したがって、作業者は、所定の締め付け順で、複数のネジ３００を締め付けることが容易となる。また、所定の締め付け順で、かつ、所定のトルクでネジ３００を締め付けたこと、すなわち、チャックテーブル２０の取り付けに問題がなかったことが記録される。したがって、加工不良が発生した時に、その原因から、チャックテーブル２０の取り付け不良を除外することができる。したがって、加工不良の原因を追及するための時間を短くすることができる。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数のネジによって取り付けられる部品の取り付けを管理する機能を備えた加工装置であって、
所定の締め付け順に、該ネジを光で指示する締め付け順指示部と、
該締め付け順指示部によって光が当てられ指示された該ネジを、所定のトルクでの締め付けが完了した際に完了信号を出力する出力部を備えたトルクレンチで締め付けた際に、該トルクレンチの該出力部から出力された該完了信号を受信する受信部と、
該複数のネジに関する該所定の締め付け順と、該受信部の受信内容とを対応させて記録する記録部と、
を備える加工装置。

【請求項2】

該トルクレンチの該出力部は、無線通信によって、該受信部に該完了信号を出力する、
請求項１記載の加工装置。

【請求項3】

該部品を撮像する撮像部と、
該締め付け順指示部に指示された該ネジを該撮像部で撮像することによって、該ネジが該トルクレンチによって締められたか否かを判断する判断部と、をさらに備える、
請求項１記載の加工装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、加工装置に関する。

【背景技術】

【0002】

チャックテーブルに保持されたウェーハを研削ホイールの研削砥石で研削する研削装置では、定期的にチャックテーブルを交換している。そして、チャックテーブルの上面を保持面形成用砥石で研削することによって、ウェーハを保持する保持面を形成している。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0003】

このチャックテーブルでは、チャックテーブルの外周部分を、複数のネジでチャックテーブルベースにネジ固定している。そのため、ネジの締め付け順が決められた順とは異なると、チャックテーブルベースの上面とチャックテーブルの下面との間に隙間ができる。この場合、研削の際、この隙間が研削荷重によって変動するため、研削されたウェーハの面内厚みが所定の厚みにならなくなることがある。

【0004】

また、作業者は、すべてのネジを締め付けたか否か、また、決められた締め付け順で締め付けを行ったか否かについて、作業中に不安になることがある。

【0005】

したがって、本発明の目的は、チャックテーブルのように複数のネジで取り付けられる部品について、複数のネジを所定の締め付け順で締め付けることを容易にするとともに、所定の締め付け順で、かつ、所定のトルクでネジを締め付けたことを管理することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の加工装置（本加工装置）は、複数のネジによって取り付けられる部品の取り付けを管理する機能を備えた加工装置であって、所定の締め付け順に、該ネジを光で指示する締め付け順指示部と、該締め付け順指示部によって光が当てられ指示された該ネジを、所定のトルクでの締め付けが完了した際に完了信号を出力する出力部を備えたトルクレンチで締め付けた際に、該トルクレンチの該出力部から出力された該完了信号を受信する受信部と、該複数のネジに関する該所定の締め付け順と、該受信部の受信内容とを対応させて記録する記録部と、を備える。

【0007】

本加工装置では、該トルクレンチの該出力部は、無線通信によって、該受信部に該完了信号を出力してもよい。

【0008】

本加工装置は、該部品を撮像する撮像部と、該締め付け順指示部に指示された該ネジを該撮像部で撮像することによって、該ネジが該トルクレンチによって締められたか否かを判断する判断部と、をさらに備えてもよい。

【発明の効果】

【0009】

本加工装置では、締め付け順指示部が、所定の締め付け順に応じた締め付けられるべきネジに光を照射することによって、作業者に対して、どのネジを締め付けるべきかを指示することができる。したがって、作業者は、所定の締め付け順で、複数のネジを締め付けることが容易となる。

【0010】

また、本加工装置では、所定の締め付け順で、かつ、所定のトルクでネジを締め付けたこと、すなわち、部品の取り付けに問題がなかったことが記録される。したがって、加工不良が発生した時に、その原因から、部品の取り付け不良を除外することができる。したがって、加工不良の原因を追及するための時間を短くすることができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】研削装置の構成を示す斜視図である。

【図2】チャックテーブルおよびチャックテーブルベースの構成を示す斜視図である。

【図3】第１締め付け順指示部の構成を示す説明図である。

【図4】トルクレンチの構成を示す説明図である。

【図5】撮像部および第２締め付け順指示部を示す説明図である。

【図6】トルクレンチの他の構成を示す説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

図１に示すように、研削装置１は、加工装置の一例であり、チャックテーブル２０の保持面２２に保持されたウェーハ１００を、研削砥石７７によって研削加工する装置である。

【0013】

ウェーハ１００は、たとえば、円形の半導体ウェーハであり、表面１０１および裏面１０２を含んでいる。図１においては下方を向いているウェーハ１００の表面１０１は、たとえば、複数のデバイスを保持しており、保護テープ１０５が貼着されることによって保護されている。ウェーハ１００の裏面１０２は、研削加工が施される被加工面となる。

【0014】

研削装置１は、直方体状の基台１０、上方に延びるコラム１１、および、研削装置１の各部材を制御する制御部７を備えている。

【0015】

基台１０の上面側には、開口部１３が設けられている。そして、開口部１３内には、ウェーハ保持機構３０が配置されている。

【0016】

ウェーハ保持機構３０は、ウェーハ１００を保持する保持面２２を備えたチャックテーブル２０、チャックテーブル２０を支持するチャックテーブルベース２９、チャックテーブルベース２９に連結されてチャックテーブル２０を回転させる回転機構２６、チャックテーブルベース２９を支持する支持部材２８、および、支持部材２８を支える複数の支持柱２７を含んでいる。

【0017】

図２に示すように、チャックテーブル２０は、略円板状の枠体２３を有しており、枠体２３の上面に設けられた凹部内に、ポーラスセラミックス等の多孔質部材からなる保持部材２１を有している。保持部材２１の上面が、ウェーハ１００を吸引保持する保持面２２となっている。チャックテーブル２０では、保持部材２１が吸引源（図示せず）に連通されることにより、保持面２２によってウェーハ１００を吸引保持することができる。枠体２３の上面である枠体面２４は、保持面２２を囲繞しており、保持面２２と同一面（面一）となるように形成されている。

【0018】

枠体２３における側面の下部には、枠体２３よりも大きい外径を有する環状フランジ３２が形成されている。環状フランジ３２には、雄ネジであるネジ３００を挿通させるための複数（本実施形態では８つ）の貫通穴３２１が、周方向に所定の間隔で形成されている。

【0019】

チャックテーブルベース２９は、上面である支持面２９０によってチャックテーブル２０を支持するように構成されている円板状体である。チャックテーブルベース２９の支持面２９０には、吸引溝２９１、および、チャックテーブルベース２９を貫通する吸引口２９２が形成されている。吸引溝２９１および吸引口２９２は、支持面２９０に支持されているチャックテーブル２０の底面２０１に対向するように構成されており、吸引源からの吸引力をチャックテーブル２０の保持面２２に伝達するために用いられる。本実施形態では、吸引口２９２は、吸引溝２９１内および支持面２９０の中央に設けられている。

【0020】

さらに、チャックテーブルベース２９の支持面２９０には、チャックテーブル２０の貫通穴３２１に対応する位置に、複数（本実施形態では８つ）のネジ孔（雌ネジ）２９３が形成されている。

【0021】

チャックテーブルベース２９に対してチャックテーブル２０を取り付ける際には、チャックテーブルベース２９の支持面２９０にチャックテーブル２０の底面２０１を当接させた状態で、ネジ３００を、上方から貫通穴３２１に挿入して、チャックテーブルベース２９のネジ孔２９３に螺合させる。そして、各ネジ３００を、所定の締め付け順序で、かつ、所定のトルクで締め付けることにより、チャックテーブル２０の底面２０１がチャックテーブルベース２９の支持面２９０に密着して、チャックテーブルベース２９に対してチャックテーブル２０が適切に取り付けられる。

【0022】

図１に示すように、ウェーハ保持機構３０の回転機構２６は、モータ２６１、エンコーダ２６５、モータ２６１に取り付けられている駆動プーリ２６２、チャックテーブルベース２９に固定された回転軸２６３、および、駆動プーリ２６２と回転軸２６３とを連結している無端ベルト２６４を備え、モータ２６１の駆動力によってチャックテーブルベース２９を回転させる。これにより、チャックテーブルベース２９に支持されているチャックテーブル２０が、保持面２２の中心を通るテーブル回転軸を中心に回転する。なお、エンコーダ２６５は、モータ２６１によって回転されるチャックテーブル２０の回転角度を読み取って認識する。

【0023】

チャックテーブル２０の周囲には、チャックテーブル２０とともにＹ軸方向に沿って移動されるカバー板３９が設けられている。また、カバー板３９には、Ｙ軸方向に伸縮する蛇腹カバー１２が連結されている。そして、ウェーハ保持機構３０の下方には、Ｙ軸方向移動機構４０が配設されている。

【0024】

Ｙ軸方向移動機構４０は、チャックテーブル２０と研削機構７０の研削砥石７７とを、相対的に、保持面２２に平行な方向であるＹ軸方向に移動させる。本実施形態では、Ｙ軸方向移動機構４０は、研削機構７０に対して、チャックテーブル２０を含むウェーハ保持機構３０を、Ｙ軸方向に移動させるように構成されている。

【0025】

Ｙ軸方向移動機構４０は、Ｙ軸方向に平行な一対のＹ軸ガイドレール４２、このＹ軸ガイドレール４２上をスライドするＹ軸移動テーブル４５、Ｙ軸ガイドレール４２と平行なＹ軸ボールネジ４３、Ｙ軸ボールネジ４３に接続されているＹ軸モータ４４、Ｙ軸ボールネジ４３の回転量を検知するためのＹ軸エンコーダ４６、および、これらを保持する保持台４１を備えている。

【0026】

Ｙ軸移動テーブル４５は、Ｙ軸ガイドレール４２にスライド可能に設置されている。Ｙ軸移動テーブル４５の下面には、ナット部（図示せず）が固定されている。このナット部には、Ｙ軸ボールネジ４３が螺合されている。Ｙ軸モータ４４は、Ｙ軸ボールネジ４３の一端部に連結されている。

【0027】

Ｙ軸方向移動機構４０では、Ｙ軸モータ４４がＹ軸ボールネジ４３を回転させることにより、Ｙ軸移動テーブル４５が、Ｙ軸ガイドレール４２に沿って、Ｙ軸方向に移動する。Ｙ軸移動テーブル４５には、ウェーハ保持機構３０が載置されている。したがって、Ｙ軸移動テーブル４５のＹ軸方向への移動に伴って、チャックテーブル２０を含むウェーハ保持機構３０が、Ｙ軸方向に移動する。

【0028】

Ｙ軸エンコーダ４６は、Ｙ軸モータ４４がＹ軸ボールネジ４３を回転させることで回転され、Ｙ軸ボールネジ４３の回転量（回転回数および回転角度）を認識することができる。そして、本実施形態では、制御部７が、Ｙ軸エンコーダ４６によって認識されたＹ軸ボールネジ４３の回転量を認識し、その認識結果に基づいて、Ｙ軸方向に移動されるチャックテーブル２０のＹ軸方向における位置を検知することができる。

【0029】

本実施形態では、ウェーハ保持機構３０のチャックテーブル２０は、保持面２２によってウェーハ１００を保持するための－Ｙ方向側の保持位置４０１と、ウェーハ１００が研削加工される＋Ｙ方向側の加工位置４０２との間を、Ｙ軸方向移動機構４０によって、Ｙ軸方向に沿って移動される。

【0030】

基台１０上の後方（＋Ｙ方向側）には、コラム１１が立設されている。コラム１１の前面には、ウェーハ１００を研削する研削機構７０、および、垂直移動機構５０が設けられている。

【0031】

垂直移動機構５０は、チャックテーブル２０と研削機構７０の研削砥石７７とを、保持面２２に垂直なＺ軸方向（研削送り方向）に相対的に移動させる。本実施形態では、垂直移動機構５０は、チャックテーブル２０に対して、研削砥石７７を含む研削機構７０をＺ軸方向に移動させるように構成されている。

【0032】

垂直移動機構５０は、Ｚ軸方向に平行な一対のＺ軸ガイドレール５１、このＺ軸ガイドレール５１上をスライドするＺ軸移動テーブル５３、Ｚ軸ガイドレール５１と平行なＺ軸ボールネジ５２、Ｚ軸ボールネジ５２に接続されているＺ軸モータ５４、Ｚ軸ボールネジ５２の回転量を検知するためのＺ軸エンコーダ５５、および、Ｚ軸移動テーブル５３に取り付けられたホルダ５６を備えている。ホルダ５６は、研削機構７０を支持している。

【0033】

Ｚ軸移動テーブル５３は、Ｚ軸ガイドレール５１にスライド可能に設置されている。Ｚ軸移動テーブル５３には、ナット部（図示せず）が固定されている。このナット部には、Ｚ軸ボールネジ５２が螺合されている。Ｚ軸モータ５４は、Ｚ軸ボールネジ５２の一端部に連結されている。

【0034】

垂直移動機構５０では、Ｚ軸モータ５４がＺ軸ボールネジ５２を回転させることにより、Ｚ軸移動テーブル５３が、Ｚ軸ガイドレール５１に沿って、Ｚ軸方向に移動する。これにより、Ｚ軸移動テーブル５３に取り付けられたホルダ５６、および、ホルダ５６に支持された研削機構７０も、Ｚ軸移動テーブル５３とともにＺ軸方向に移動する。

【0035】

Ｚ軸エンコーダ５５は、Ｚ軸モータ５４がＺ軸ボールネジ５２を回転させることで回転され、Ｚ軸ボールネジ５２の回転量（回転回数および回転角度）を認識することができる。そして、本実施形態では、制御部７が、Ｚ軸エンコーダ５５が認識したＺ軸ボールネジ５２の回転量を認識して、その認識結果に基づいて、Ｚ軸方向に移動される研削機構７０の研削砥石７７の高さ位置を検知することができる。

【0036】

研削機構７０は、保持面２２に吸引保持されたウェーハ１００を加工する加工機構の一例であり、ウェーハ１００を研削加工する。研削機構７０は、ホルダ５６に固定されたスピンドルハウジング７１、スピンドルハウジング７１に回転可能に保持されたスピンドル７２、スピンドル７２を回転駆動するスピンドルモータ７３、スピンドル７２の下端に取り付けられたホイールマウント７４、および、ホイールマウント７４に支持された研削ホイール７５を備えている。

【0037】

スピンドルハウジング７１は、Ｚ軸方向に延びるようにホルダ５６に保持されている。スピンドル７２は、チャックテーブル２０の保持面２２と直交するようにＺ軸方向に延び、スピンドルハウジング７１に回転可能に支持されている。

【0038】

スピンドルモータ７３は、スピンドル７２の上端側に連結されている。このスピンドルモータ７３により、スピンドル７２は、Ｚ軸方向に延びる軸を中心として回転する。

【0039】

ホイールマウント７４は、円板状に形成されており、スピンドル７２の下端（先端）に固定されている。ホイールマウント７４は、研削ホイール７５を支持している。

【0040】

研削ホイール７５は、ホイールマウント７４の外径と略同径の外径を有するように形成されている。研削ホイール７５は、金属材料から形成された円環状のホイール基台７６を含む。ホイール基台７６の下面には、全周にわたって、環状に配列された複数の研削砥石７７が固定されている。研削砥石７７は、スピンドル７２とともにスピンドルモータ７３によって回転され、チャックテーブル２０に保持されたウェーハ１００の裏面１０２を研削する。

【0041】

また、本実施形態では、研削機構７０は、研削ホイール７５に代えて、保持面研削用砥石を含む保持面研削用ホイールを、ホイールマウント７４に備えることもできる。

【0042】

また、開口部１３の側部には、厚み測定器６７が配設されている。厚み測定器６７は、保持面ハイトゲージ６８および上面ハイトゲージ６９を有している。保持面ハイトゲージ６８は、チャックテーブル２０の保持面２２と面一である枠体２３の枠体面２４に接触することによって、保持面２２の高さを測定する。上面ハイトゲージ６９は、保持面２２に保持されたウェーハ１００の上面に接触することによって、ウェーハ１００の上面高さを測定する。厚み測定器６７では、保持面ハイトゲージ６８の測定値と上面ハイトゲージ６９の測定値との差を算出することにより、ウェーハ１００の厚さを測定する。
なお、保持面ハイトゲージ６８および上面ハイトゲージ６９は、非接触型のハイトゲージであってもよい。

【0043】

また、研削装置１は、タッチパネル８を備えている。タッチパネル８には、研削装置１に関する各種情報が表示される。また、タッチパネル８は、各種情報を設定するためにも用いられる。このように、タッチパネル８は、情報を入力するための入力部材として機能するとともに、情報を表示するための表示部材としても機能する。

【0044】

また、研削装置１は、その内部に、研削装置１の制御のための制御部７を有している。制御部７は、制御プログラムに従って演算処理を行うＣＰＵ、および、メモリ等の記憶媒体等を備えている。制御部７は、各種の処理を実行し、研削装置１の各構成要素を統括制御する。

【0045】

たとえば、制御部７は、研削装置１の上述した各部材を制御して、ウェーハ１００に対する研削加工を実行する。

【0046】

また、制御部７は、ウェーハ保持機構３０におけるチャックテーブルベース２９に対して、作業者が、複数（本実施形態では８本）のネジ３００によってチャックテーブル２０を取り付ける際に、チャックテーブルベース２９に対するチャックテーブル２０の取り付けを管理する機能も有する。
すなわち、本実施形態にかかる研削装置１は、複数のネジによって取り付けられる部品（たとえばチャックテーブル２０）の取り付けを管理する機能を備えている。

【0047】

この取り付け管理では、図１に示した第１締め付け順指示部８０、ならびに、制御部７の有する受信部１５、記録部１６および判断部１７が用いられる。

【0048】

第１締め付け順指示部８０は、所定の締め付け順に、ネジを光で指示するものである。すなわち、図２に示したように、チャックテーブル２０は、複数のネジ３００によって、チャックテーブルベース２９に対して取り付けられる。この取り付けの際、ネジ３００は、チャックテーブル２０の貫通穴３２１を介してチャックテーブルベース２９のネジ孔２９３に螺合され、所定の締め付け順序で、かつ、所定のトルクで締め付けられる。

【0049】

そして、図１に示した第１締め付け順指示部８０は、このネジ３００の締め付け順序を、光によって作業者に指示するように構成されている。図１に示すように、第１締め付け順指示部８０は、光を照射する投光部８１、および、投光部８１によって照射される光の位置（向き）を切り換える切換部８２を有している。

【0050】

以下に、制御部７によって制御される、チャックテーブルベース２９に対するチャックテーブル２０の取り付けを管理する取り付け管理方法について説明する。以下に示す方法では、チャックテーブルベース２９から既存のチャックテーブル２０を取り外して、新たなチャックテーブル２０を取り付ける例（チャックテーブル２０を交換する例）について説明する。

【0051】

チャックテーブル２０の交換では、制御部７は、まず、図１に示すように、Ｙ軸方向移動機構４０を制御して、チャックテーブル２０およびチャックテーブルベース２９を含むウェーハ保持機構３０を、－Ｙ方向側の保持位置４０１に配置する。

【0052】

作業者は、この保持位置４０１にあるウェーハ保持機構３０における既存のチャックテーブル２０を、チャックテーブルベース２９から取り外す。そして、作業者は、新たなチャックテーブル２０を、チャックテーブルベース２９の上に載置し、図３に示すように、複数のネジ３００を、チャックテーブル２０の貫通穴３２１を介してチャックテーブルベース２９のネジ孔２９３（図２参照）に挿入して、弱いトルクでネジ孔２９３に仮締めする。これにより、チャックテーブル２０がチャックテーブルベース２９に仮止めされる。

【0053】

なお、図１に示すように、保持位置４０１にあるウェーハ保持機構３０の直上には、第１締め付け順指示部８０が配置されている。そして、制御部７は、チャックテーブル２０がチャックテーブルベース２９に仮止めされた後、たとえばタッチパネル８を介して入力される作業者の指示に応じて、第１締め付け順指示部８０を制御して、図３に示すように、所定の締め付け順に、複数のネジ３００を照らす。

【0054】

すなわち、まず、制御部７は、第１締め付け順指示部８０の切換部８２を制御して、投光部８１からの光を、最初に締め付けられるべきネジ３００に照射する（光照射工程）。そして、作業者は、投光されているネジ３００の締め付けを実施する。

【0055】

この締め付けの際、作業者は、図４に示すようなトルクレンチ５００を用いる。トルクレンチ５００は、細板形状の本体部５０１、本体部５０１の基端側に備えられたグリップ５０２、本体部５０１の先端側に備えられたヘッド部５０３を有しており、ヘッド部５０３には、ソケット５１０の頭部穴５１１に挿入可能な角ドライブ５０４が備えられている。このソケット５１０は、ネジ３００を締め付けるために適したサイズを有している。トルクレンチ５００によってネジ３００を締め付ける場合、ネジ３００の頭部穴３０１（図２参照）にソケット５１０を差し込み、さらに、ソケット５１０の頭部穴５１１にトルクレンチ５００のヘッド部５０３における角ドライブ５０４を差し込んで、トルクレンチ５００を回動させる。

【0056】

また、グリップ５０２の端部には、締付けトルクを設定するための設定ノブ５０５が設けられている。トルクレンチ５００は、設定ノブ５０５によって設定された所定のトルクがヘッド部５０３にかかってネジ３００の締付けが完了したときに、そのことを作業者に通知するように構成されている。具体的には、たとえば、トルクレンチ５００は、所定のトルクでの締付けが完了したときに、「カチッ」と音がなって、ヘッド部５０３が少し折れ曲がるように構成されている。

【0057】

また、トルクレンチ５００は、出力部５０６を備えている。この出力部５０６は、所定のトルクでの締め付けが完了した際に、完了信号を外部に出力するものである。本実施形態では、トルクレンチ５００の出力部５０６は、完了信号を、無線通信によって、研削装置１における制御部７の受信部１５（図１参照）に出力するように構成されている。

【0058】

作業者が、このようなトルクレンチ５００を用いて、最初に締め付けられるべきネジ３００を締め付けて、その締め付けが完了すると、トルクレンチ５００の出力部５０６から完了信号が発信されて、研削装置１の受信部１５が、この完了信号を受信する（完了信号受信工程）。すなわち、受信部１５は、第１締め付け順指示部８０によって光が当てられ指示されたネジ３００をトルクレンチ５００によって締め付けた際に、トルクレンチ５００の出力部５０６から出力された完了信号を受信するように構成されている。

【0059】

制御部７は、最初に締め付けられるべきネジ３００に関する完了信号が受信部１５によって受信されたときに、図３に示した第１締め付け順指示部８０の切換部８２を制御して、投光部８１からの光を、次に締め付けられるべきネジ３００に照射する（光照射工程）。そして、作業者が、トルクレンチ５００を用いてこのネジ３００を所定のトルクで締め付けると、トルクレンチ５００の出力部５０６から、このネジ３００に関する完了信号が出力されて、制御部７の受信部１５によって受信される（完了信号受信工程）。

【0060】

このようにして、制御部７は、所定の締め付け順に、全てのネジ３００に関して、光照射工程および完了信号受信工程を実施する。

【0061】

また、この際、制御部７の記録部１６（図１参照）は、複数のネジ３００に関する所定の締め付け順と、受信部１５が受信した内容とを対応させて記録する。すなわち、記録部１６は、第１締め付け順指示部８０によって所定の締め付け順で締め付けを指示された各ネジ３００と、各ネジ３００に関する受信部１５の受信内容とを対応させて記録する。

【0062】

ここで、受信部１５の受信内容は、ネジ３００が所定のトルクで締め付けられたことを示す完了信号である。受信部１５が全てのネジ３００に関する完了信号を受信した場合、記録部１６は、全てのネジ３００が、所定の締め付け順で、所定のトルクで締め付けられたことを記録する。

【0063】

そして、全てのネジ３００に関する記録部１６による記録が完了した後、制御部７は、たとえば、タッチパネル８に、ネジの締め付けが完了した旨と記録部１６の記録内容とを表示する。

【0064】

以上のように、本実施形態では、第１締め付け順指示部８０が、所定の締め付け順に応じた締め付けられるべきネジ３００に光を照射することによって、作業者に対して、どのネジ３００を締め付けるべきかを指示している。したがって、作業者は、所定の締め付け順で、複数のネジ３００を締め付けることが容易となる。

【0065】

また、本実施形態では、所定の締め付け順で、かつ、所定のトルクでネジ３００を締め付けたこと、すなわち、チャックテーブル２０の取り付けに問題がなかったことが、研削装置１に記録される。したがって、加工不良が発生した時に、その原因から、チャックテーブル２０の取り付け不良を除外することができる。したがって、加工不良の原因を追及するための時間を短くすることができる。

【0066】

また、本実施形態では、ネジ３００が締め付けられて、このネジ３００に関する完了信号が受信部１５によって受信されたときに、第１締め付け順指示部８０の投光部８１からの光が、次に締め付けられるべきネジ３００に照射される。したがって、受信部１５によって完了信号が受信されるまで、次に締め付けられるべきネジ３００が指示されないため、作業者による締め付け不良を良好に抑制することができる。

【0067】

なお、本実施形態では、投光部８１からの光が照射されるネジ３００を、切換部８２によって切り換えている。これに関し、制御部７は、投光部８１の光が照射される位置（ネジ締め位置）を固定した状態で、ウェーハ保持機構３０における回転機構２６のモータ２６１によってチャックテーブルベース２９およびチャックテーブル２０を回転させることにより、光が照射されるネジ３００（締め付けられるべきネジ３００）を切り換えてもよい。

【0068】

この場合、図１に示した受信部１５によって完了信号が受信されたら、制御部７は、エンコーダ２６５によって読み取られたチャックテーブル２０の回転角度（エンコーダ２６５の読み取り値）が、次に締め付けられるべきネジ３００がネジ締め位置に配置される回転角度になるように、チャックテーブル２０を回転させる。これにより、ネジ締め位置に配置されて光が照射されるネジ３００が、次に締め付けられるべきネジ３００に切り換えられる。この場合、ネジ締め位置を、作業者によってネジ３００を締め付けやすい位置に設定することにより、作業者の作業効率を高めることができる。

【0069】

なお、上記の実施形態では、ネジ締め位置に配置されたネジ３００に光が照射される。これに関し、次に締め付けられるべきネジ３００がネジ締め位置に配置されたときに、トルクレンチ５００を振動させるようにしてもよい。

【0070】

詳しくは、研削装置１の制御部７は、図１に示すように、発信部１８を備えている。この発信部１８は、次に締め付けられるべきネジ３００がネジ締め位置に位置付けられたら、トルクレンチ５００に対して、次に締め付けられるべきネジ３００がネジ締め位置に位置付けられたことを示す配置完了信号を発信する。

【0071】

また、この場合、トルクレンチ５００は、図６に示すように、配置完了信号を受信する受信部５０７と、トルクレンチ５００を振動させる振動部５０８と、受信部５０７が配置完了信号を受信したら振動部５０８を振動させる振動制御部５０９と、をさらに備えている。

【0072】

この場合、研削装置１では、チャックテーブル２０を回転させることにより、ネジ締め位置にネジ３００が位置付けられたら、発信部１８がトルクレンチ５００に配置完了信号を発信し、トルクレンチ５００の振動部５０８がトルクレンチ５００を振動させる。この振動により、作業者に対して、次に締め付けられるべきネジ３００がネジ締め位置に位置付けられたことを通知することができる。

【0073】

また、上記の実施形態では、図１に示した回転機構２６のモータ２６１によって、チャックテーブルベース２９およびチャックテーブルを回転させているが、作業者によってこれらを回転させてもよい。つまり、作業者がチャックテーブルベース２９およびチャックテーブル２０を回転させ、エンコーダ２６５によって読み取られたチャックテーブル２０の回転角度（エンコーダ２６５の読み取り値）が、次に締め付けられるべきネジ３００がネジ締め位置に配置される回転角度になったら、上記の実施形態のように、光および／または振動を用いて、作業者に通知するようにしてもよい。

【0074】

なお、エンコーダ２６５は、チャックテーブル２０の回転方向を認識するように構成されていてもよい。また、締め付けられるべきネジ３００がネジ締め位置に配置されるようなチャックテーブル２０の回転角度は、厳密な回転角度で無くてもよく、所定範囲内の角度であってもよい。つまり、ネジ締め位置に配置されているネジ３００が、いま締め付けられているネジ３００から次に締め付けられるべきネジ３００に切り替わるようなチャックテーブル２０の回転角度は、１７５度から１８５度までの範囲というように、ある範囲内の値として設定されていてもよい。これにより、作業者が、チャックテーブルベース２９およびチャックテーブル２０を回転させ、ネジ３００の締め付け作業を実施することが容易となる。

【0075】

また、エンコーダ２６５は、接触式であってもよい。詳しくは、チャックテーブル２０の回転軸の側面に等間隔に、ネジ３００に対応するように突起を形成する。そして、エンコーダ２６５が、これらの突起に接触するタッチセンサを備える。この場合、エンコーダ２６５は、タッチセンサが反応した回数に基づいて、次に締め付けられるべきネジ３００がネジ締め位置に位置付けられたことを検知し、上記したように光および／または振動を用いて、作業者に通知してもよい。
また、突起を金属で形成してもよい。この場合、エンコーダ２６５は、突起を非接触の近接センサによって検知するように構成されていてもよい。

【0076】

また、制御部７は、－Ｙ方向側の端部の保持位置４０１（図１参照）にあるウェーハ保持機構３０の直上に、図５に示すように、複数のネジ３００によって取り付けられる部品であるチャックテーブル２０を撮像する撮像部９０を備えていてもよい。この撮像部９０は、チャックテーブル２０における全ての貫通穴３２１を撮像することが可能なように構成されている。

【0077】

この場合、制御部７の判断部１７（図１参照）は、第１締め付け順指示部８０に指示されたネジ３００（光を照射されたネジ３００）を撮像部９０で撮像することによって、その撮像画像に基づいて、このネジ３００がトルクレンチ５００のようなトルクレンチによって締められたか否かを判断する。すなわち、判断部１７が、第１締め付け順指示部８０によって指示されたネジ３００が締め付けられたか否か、および、この締め付けがトルクレンチによって実施されたか否か、を判断することができる。そして、判断部１７は、たとえば、判断結果を記録するとともに、タッチパネル８に表示する。

【0078】

この構成では、作業者は、ネジ３００を、所定の順序でトルクレンチ５００によって締め付けたか否かを、容易に確認することができる。

【0079】

また、この構成では、記録部１６が、判断部１７による判断結果をも記録するように構成されていてもよい。この場合、記録部１６は、第１締め付け順指示部８０によって所定の締め付け順で締め付けを指示された各ネジ３００と、各ネジ３００の締め付けがトルクレンチによって実施されたことと、各ネジ３００に関する受信部１５の受信内容（完了信号）とを、対応させて記録する。

【0080】

また、研削装置１は、第１締め付け順指示部８０に代えて、図５に示すように、リング状の構成を有する第２締め付け順指示部８５を有していてもよい。この第２締め付け順指示部８５は、チャックテーブル２０の貫通穴３２１が設けられている環状フランジ３２とほぼ同じ外径および内径を有するリング状部材８６を備えている。また、リング状部材８６には、チャックテーブル２０の各貫通穴３２１に対応するように、複数(８つ)の発光部としての第１発光部８７１、第２発光部８７２、第３発光部８７３、第４発光部８７４、第５発光部８７５、第６発光部８７６、第７発光部８７７および第８発光部８７８が設けられている。

【0081】

このような第２締め付け順指示部８５を用いる場合、制御部７は、ウェーハ保持機構３０における回転機構２６によってチャックテーブルベース２９およびチャックテーブル２０を回転させることにより、チャックテーブル２０の貫通穴３２１の位置と、第２締め付け順指示部８５の第１～第８発光部８７１～８７８の位置とを合わせる。
そして、制御部７は、光照射工程において、締め付けられるべきネジ３００を、その上方に位置している発光部によって照らすことにより、作業者に指示する。すなわち、制御部７は、光を照射する第１～第８発光部８７１～８７８を所定の締め付け順に切り換えることにより、光が照射されるネジ３００を切り換えて、締め付けられるべきネジを作業者に指示する。
この構成では、第１締め付け順指示部８０を用いる場合に比して、チャックテーブル２０の直上に撮像部９０を配置しやすくなる。

【0082】

また、このような第２締め付け順指示部８５は、図１に示した研削機構７０のホイールマウント７４に、研削ホイール７５に代えて取り付けられてもよい。この場合、スピンドルモータ７３によってスピンドル７２を回転させることにより、第２締め付け順指示部８５における第１～第８発光部８７１～８７８の位置を容易に変更することができる。なお、この場合、チャックテーブル２０をチャックテーブルベース２９に取り付ける際には、ウェーハ保持機構３０は、Ｙ軸方向移動機構４０により、＋Ｙ方向側の加工位置４０２に配置される。

【0083】

また、本実施形態では、複数のネジによって取り付けられる部品の一例としてチャックテーブル２０が示されているとともに、制御部７が、チャックテーブルベース２９に対するチャックテーブル２０の取り付けを管理する例が示されている。これに関し、複数のネジによって取り付けられる部品は、たとえば、研削ホイール７５であってもよい。研削ホイール７５は、ホイールマウント７４の上側から挿入される複数のネジ３１０（図１参照）によって、ホイールマウント７４に取り付けられる。

【0084】

この場合、制御部７は、ホイールマウント７４に対する研削ホイール７５の取り付けを管理する。なお、この場合には、たとえば、図５に示したリング状の第２締め付け順指示部８５が、ホイールマウント７４の上方（たとえば、垂直移動機構５０におけるホルダ５６の下面）に配置され、ホイールマウント７４の上面に露出しているネジ３１０の頭部に、所定の締め付け順にしたがって光を照射してもよい。
また、ホルダ５６の下面に、図１に示した投光部８１を有する第１締め付け順指示部８０が配置されてもよい。この場合、制御部７は、投光部８１の光が照射される位置を固定した状態で、スピンドルモータ７３によってスピンドル７２を回転させることにより、光が照射されるネジ３１０を切り換えてもよい。

【0085】

また、本実施形態では、加工装置の一例として研削装置が示されている。これに関し、本実施形態にかかる加工装置は、複数のネジによって取り付けられる部品を有するものであれば、ウェーハを切削する切削装置やウェーハに保護部材を形成する保護部材形成装置など、どのような装置であってもよい。

【符号の説明】

【0086】

１：研削装置、７：制御部、８：タッチパネル、１０：基台、１１：コラム、
１２：蛇腹カバー、１３：開口部、１５：受信部、１６：記録部、１７：判断部、
１８：発信部、２０：チャックテーブル、２１：保持部材、２２：保持面、２３：枠体、
２４：枠体面、２６：回転機構、２７：支持柱、２８：支持部材、
２９：チャックテーブルベース、３０：ウェーハ保持機構、３２：環状フランジ、
３９：カバー板、４０：Ｙ軸方向移動機構、４１：保持台、４２：Ｙ軸ガイドレール、
４３：Ｙ軸ボールネジ、４４：Ｙ軸モータ、４５：Ｙ軸移動テーブル、
４６：Ｙ軸エンコーダ、５０：垂直移動機構、５１：Ｚ軸ガイドレール、
５２：Ｚ軸ボールネジ、５３：Ｚ軸移動テーブル、５４：Ｚ軸モータ、
５５：Ｚ軸エンコーダ、５６：ホルダ、６７：厚み測定器、６８：保持面ハイトゲージ、
６９：上面ハイトゲージ、７０：研削機構、７１：スピンドルハウジング、
７２：スピンドル、７３：スピンドルモータ、７４：ホイールマウント、
７５：研削ホイール、７６：ホイール基台、７７：研削砥石、
８０：第１締め付け順指示部、８１：投光部、８２：切換部、
８５：第２締め付け順指示部、８６：リング状部材、８７１～８７８：発光部、
９０：撮像部、
１００：ウェーハ、１０１：表面、１０２：裏面、１０５：保護テープ、２０１：底面、
２６１：モータ、２６２：駆動プーリ、２６３：回転軸、２６４：無端ベルト、
２６５：エンコーダ、２９０：支持面、２９１：吸引溝、２９２：吸引口、
２９３：ネジ孔、３００：ネジ、３０１：頭部穴、３２１：貫通穴、
４０１：保持位置、４０２：加工位置、
５００：トルクレンチ、５０１：本体部、５０２：グリップ、５０３：ヘッド部、
５０４：角ドライブ、５０５：設定ノブ、５０６：出力部、５０７：受信部、
５０８：振動部、５０９：振動制御部
５１０：ソケット、５１１：頭部穴

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】