特開 2024-113994 支持治具

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024113994

(43)【公開日】2024-08-23

(54)【発明の名称】支持治具

(51)【国際特許分類】

   F16F 15/02 20060101AFI20240816BHJP

【ＦＩ】

F16F15/02 M

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023019326

(22)【出願日】2023-02-10

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】三上 公大

(72)【発明者】

【氏名】花島 聡

(72)【発明者】

【氏名】安田 信哉

【テーマコード（参考）】

3J048

【Ｆターム（参考）】

3J048AA01

3J048BA09

3J048BA11

3J048DA01

3J048EA13

(57)【要約】

【課題】防振性と耐震性との双方を図ることができる支持治具を提供すること。
【解決手段】支持治具１は、固定対象物１００を床２００上に支持し、固定対象物１００を床２００上に固定する治具であって、土台部２１と、土台部２１と固定対象物１００とを連結するボルト部２２と、を含むアジャスタ２と、土台部２１を覆うケース部３と、ケース部３と、土台部２１との間に配設された弾性部材４と、ケース部３を床２００に固定する固定部であるボルト５と、を備える。ケース部３は、土台部２１を覆うカバー部３１と、カバー部３１から床２００と平行な方向に延在し、ボルト５が挿入される穴３２１を有する板３２と、を有し、ボルト５によって板３２が床２００に締め付けられ、固定対象物１００が床２００に固定される。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

固定対象物を支持する支持治具であって、
該支持治具は、
土台部と、該土台部と該固定対象物とを連結するボルト部と、を含むアジャスタと、
該土台部を覆うケース部と、
該ケース部と、該土台部との間に配設された弾性部材と、
該ケース部を床に固定する固定部と、
を備える事を特徴とする支持治具。

【請求項2】

該ケース部は、
該土台部を覆うカバー部と、
該カバー部から該床と平行な方向に延在し、ボルトが挿入される穴を有する板と、を有し、
該固定部は、該穴に挿入されるボルトであり、
該ボルトによって該板が該床に締め付けられ、該固定対象物が該床に固定されることを特徴とする請求項１に記載の支持治具。

【請求項3】

該ケース部は、該土台部の底面に配置される支持板をさらに有し、
該弾性部材は、該支持板と該土台部との間にも配置されることを特徴とする請求項１に記載の支持治具。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、固定対象物を支持する支持治具に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、機械、装置は、振動や衝撃や騒音を防止する防振ゴムが底面についたアジャスタ等の支持治具（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）で支持された状態で床に設置されている。アジャスタによって装置の水平出しが行え、かつ防振ゴムによって床・装置間の振動伝達を抑制できる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特許第５１７１２４０号公報

【特許文献2】特開２００６－０３８０１１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

対震性を確保するために、装置や機械等が倒れないように固定する場合には、アジャスタに加え、アンカ金具によって装置フレーム部と床とをボルト締結する。

【0005】

装置や機械等を固定した際には、床と装置等との間で振動がアンカ金具を介して伝達してしまうため、従来のアジャスタが有していた防振性能が損なわれてしまうという問題があった。

【0006】

本発明の目的は、防振性と耐震性との双方を図ることができる支持治具を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の支持治具は、固定対象物を支持する支持治具であって、該支持治具は、土台部と、該土台部と該固定対象物とを連結するボルト部と、を含むアジャスタと、該土台部を覆うケース部と、該ケース部と、該土台部との間に配設された弾性部材と、該ケース部を床に固定する固定部と、を備えることを特徴とする。

【0008】

前記支持治具において、該ケース部は、該土台部を覆うカバー部と、該カバー部から該床と平行な方向に延在し、ボルトが挿入される穴を有する板と、を有し、該固定部は、該穴に挿入されるボルトであり、該ボルトによって該板が該床に締め付けられ、該固定対象物が該床に固定されても良い。

【0009】

前記支持治具において、該ケース部は、該土台部の底面に配置される支持板をさらに有し、該弾性部材は、該支持板と該土台部との間にも配置されても良い。

【発明の効果】

【0010】

本発明は、防振性と耐震性との双方を図ることができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】図１は、実施形態１に係る支持治具を一部断面で模式的に示す側面図である。

【図2】図２は、実施形態２に係る支持治具を一部断面で模式的に示す側面図である。

【図3】図３は、従来の支持治具を一部断面で模式的に示す側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

【0013】

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る支持治具を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る支持治具を一部断面で模式的に示す側面図である。

【0014】

（支持治具）
実施形態１にかかる図１に示された支持治具１は、固定対象物１００を工場等の建造物の床２００上に支持するものである。また、実施形態１に係る支持治具１は、固定対象物１００を床２００上に固定するものでもある。

【0015】

実施形態１において、固定対象物１００は、床２００上に設置される装置であって、例えば、ウェーハ等の被加工物を切削加工する切削装置、被加工物をレーザ加工するレーザ加工装置、被加工物を研削加工する研削装置、又は被加工物を研磨加工する研磨装置などの各種の加工装置である。固定対象物１００は、下面に床２００上に固定される固定ブロック１０１が設けられている。実施形態１では、固定ブロック１０１は、下面に開口し、鉛直方向に沿って伸びたねじ穴１０２が設けられている。

【0016】

支持治具１は、図１に示すように、アジャスタ２と、ケース部３と、弾性部材４と、固定部であるボルト５とを備える。

【0017】

アジャスタ２は、土台部２１と、ボルト部２２とを備える。土台部２１は、リング状に形成され、床２００上に設置される。土台部２１は、内周面に雌ねじ２１１が形成されている。また、実施形態１では、土台部２１は、上面から凸の円環状の円環凸部２１２を一体に備えている。

【0018】

ボルト部２２は、土台部２１と固定対象物１００とを連結するものである。ボルト部２２は、円柱状に形成されかつ上端部にねじ穴１０２に螺合するねじ溝２２１が形成された円柱状の第２ボルト２２２と、第２ボルト２２２に固定されたハンドル２２３と、固定用ナット２２４とを備える。

【0019】

ハンドル２２３は、内側に第２ボルト２２２の下端部を収容して、第２ボルト２２２の下端部に固定される円筒部２２５と、円筒部２２５の上端部から円筒部２２５の外周方向に延在した延在部２２６とを一体に備えている。円筒部２２５は、外周面に土台部２１の雌ねじ２１１に螺合する雄ねじ２２７が形成されている。

【0020】

固定用ナット２２４は、固定ブロック１０１のねじ穴１０２に螺合した第２ボルト２２２の外周に螺合し、かつ固定ブロック１０１に押し付けられて、ボルト部２２の第２ボルト２２２を固定対象物１００の固定ブロック１０１に固定する。

【0021】

アジャスタ２は、ボルト部２２の第２ボルト２２２が固定ブロック１０１のねじ穴１０２に螺合して、固定用ナット２２４により第２ボルト２２２が固定ブロック１０１に固定される。アジャスタ２は、ボルト部２２のハンドル２２３の雄ねじ２２７が土台部２１の雌ねじ２１１に螺合して、ボルト部２２が土台部２１と固定対象物１００とを連結する。

【0022】

ケース部３は、土台部２１を覆うものである。ケース部３は、土台部２１を覆うカバー部３１と、カバー部３１から床２００と平行な方向に延在し、ボルト５が挿入される穴３２１を有する板３２とを一体に備えている。

【0023】

カバー部３１は、内径が土台部２１の外径よりも大きな円筒状の円筒部３１１と、円筒部３１１の上端の内縁に外縁が連なりかつ内径が土台部２１の円環凸部２１２の外径よりも大きな円環部３１２とを一体に備えている。

【0024】

板３２は、カバー部３１の円筒部２２５の下端から円筒部２２５の外周方向に延在している。穴３２１は、板３２を厚み方向に沿って貫通している。板３２の穴３２１は、床２００に設けられた固定用のねじ穴２０１に重なる位置に配置されている。

【0025】

弾性部材４は、ケース部３と土台部２１との間に配設されている。弾性部材４は、ゴム等の弾性を有する樹脂により構成されている。実施形態１では、弾性部材４は、外径がケース部３のカバー部３１の円筒部２２５の内径と等しくかつ内径が土台部２１の外径と等しい円筒状の円筒部４１と、円筒部４１の上端の内縁に外縁が連なりかつ内径が土台部２１の円環凸部２１２の外径よりも大きな円環部４２とを一体に備えている。実施形態１では、弾性部材４は、円筒部４１が土台部２１の外周とケース部３のカバー部３１の円筒部３１１の内周に嵌合し、円環部４２が土台部２１の上面とケース部３のカバー部３１の円環部３１２との間に配置されて、ケース部３と土台部２１との間に配設される。

【0026】

ボルト５は、ケース部３を床２００に固定するものである。ボルト５は、板３２に設けられた穴３２１を通って床２００に設けられたねじ穴２０１に螺合して、ケース部３を床２００に固定する。

【0027】

また、実施形態１では、第２弾性部材６（弾性部材に相当）を備える。第２弾性部材６は、土台部２１の下面２１３（底面に相当）に取り付けられている。第２弾性部材６は、ゴム等の弾性を有する樹脂により構成されている。実施形態１では、第２弾性部材６は、厚みが一定でかつ外径が土台部２１の外径よりも小さい円板状に形成されて、土台部２１の下面２１３の土台部２１と同軸となる位置に取り付けられている。第２弾性部材６の下面は、カバー部３１の板３２の下面よりも若干下方に位置している。

【0028】

次に、前述した構成の支持治具１を用いた固定対象物１００を床２００上に支持し、床２００上に固定する方法を説明する。固定対象物１００を床２００上に支持し固定する前に、固定ブロック１０１の固定ブロック１０１のねじ穴１０２に第２ボルト２２２のねじ溝２２１を螺合し、固定用ナット２２４により第２ボルト２２２を固定ブロック１０１に固定する。その後、固定ブロック１０１に第２ボルト２２２が固定されたボルト部２２のハンドル２２３の円筒部２２５の雌ねじ２１１に外周面に弾性部材４及びケース部３のカバー部３１が嵌合した土台部２１の雄ねじ２２７に螺合させて、支持治具１を固定対象物１００の固定ブロック１０１に取り付ける。

【0029】

固定対象物１００の下面に図示しないキャスタを取り付けて、固定対象物１００を床２００上におく。この時、キャスタの床２００を転動する車輪の下端よりも第２弾性部材６の下面が上方に位置するように、ハンドル２２３と土台部２１とを相対的に軸心回りに回転して、これらの螺合量を調整しておく。その後、第２弾性部材６の下面が床２００に接触するまで、ハンドル２２３と土台部２１とを相対的に軸心回りに回転して、これらの螺合量を調整する。

【0030】

第２弾性部材６の下面が床２００に接触すると、板３２の穴３２１にボルト５を通して、ボルト５を床２００に設けられたねじ穴２０１に螺合させる。板３２の下面が床２００に接触するまで、ボルト５を床２００に設けられたねじ穴２０１に螺合させて、ケース部３を床２００に固定して、支持治具１で固定対象物１００を床２００上に支持するとともに、床２００上に固定する。すると、弾性部材４，６が厚みが薄くなる方向に弾性変形して、第２弾性部材６が床２００と土台部２１とに密着し、弾性部材４が土台部２１とケース部３のカバー部３１に密着する。こうして、支持治具１のボルト５によって板３２が床２００に締め付けられて、固定対象物１００が床２００に固定される。

【0031】

なお、従来から用いられていた支持治具３００は、図３に示すように、床２００との間に弾性部材４を設けることで防振性を向上させているが、支持治具３００だけでは転倒防止の効果は薄いため、耐震対策が必要とされる場合は固定対象物１００を床２００に固定されるアンカ金具３０１により固定し、固定対象物１００の転倒や移動を防止している。このために、従来から用いられてきた支持治具３００は、耐震対策を追加で実施すると床２００と固定対象物１００との間で振動がアンカ金具３０１を介して伝わってしまい、防振性が損なわれてしまう。

【0032】

しかしながら、以上説明したように、実施形態１に係る支持治具１は、ケース部３の板３２がボルト５により床２００に固定されて、固定対象物１００を床２００に固定して、耐震性を確保しているとともに、床２００に固定されるケース部３が固定対象物１００に固定されるアジャスタ２との間に弾性部材４を設けている。

【0033】

このために、実施形態１に係る支持治具１は、ケース部３を床２００に固定することで耐震性を向上させ、さらにケース部３を床２００に固定しても、固定対象物１００の振動が弾性部材４が変形することでケース部３即ち床２００に伝わることを抑制され、床２００の振動は、弾性部材４及び第２弾性部材６が変形することでアジャスタ２即ち固定対象物１００に伝わることを抑制して、防振性を確保することができる。また、床２００と、ケース部３の板３２との間に弾性部材４を配置して防振性を確保すると、耐震性を向上させるために板３２を床２００に対してボルト５で締め込むほど弾性部材４が潰れて防振性が低下してしまい、防振性と耐震性との両立が困難であった。本発明は、土台部２１とケース部３との間に弾性部材４を配置し、弾性部材４とボルト５による締め込み位置との距離が離れているので、耐震性を確保するために板３２をボルト５によってきつく床２００に締め込んでも、床２００と板３２との間に弾性部材を配置する実施例と比較すると弾性部材４がつぶれにくく、防振性の低下を軽減することができる。

【0034】

その結果、実施形態１に係る支持治具１は、防振性と耐震性との双方を図ることができるという効果を奏する。

【0035】

また、実施形態１に係る支持治具１は、アジャスタ２の土台部２１の床２００との間に第２弾性部材６を設けているので、床２００の振動がアジャスタ２に直接伝わることを抑制できる。

【0036】

なお、図３は、従来の支持治具を一部断面で模式的に示す側面図である。なお、図３は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

【0037】

〔実施形態２〕
実施形態２に係る支持治具を図面に基づいて説明する。図２は、実施形態２に係る支持治具を一部断面で模式的に示す側面図である。なお、図２は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

【0038】

実施形態２にかかる図２に示された支持治具１は、図２に示すように、支持板７を有し、第２弾性部材６が支持板７と土台部２１の下面２１３との間に配置されている事以外、実施形態１と同じである。なお、支持板７が、厚みが一定の板状に形成され、ケース部３の板３２の下面及び第２弾性部材６の下面と、床２００との間に配置され、ボルト５を通す穴７１が設けられている。

【0039】

実施形態２に係る支持治具１は、ケース部３の板３２がボルト５により床２００に固定して、支持治具１を介して固定対象物１００を床２００に固定して、耐震性を確保しているとともに、床２００に固定されるケース部３が固定対象物１００に固定されるアジャスタ２との間に弾性部材４を設けているので、固定対象物１００と床２００との間で振動が伝わることを抑制して、実施形態１と同様に、防振性と耐震性との双方を図ることができるという効果を奏する。また、弾性部材４は、例えば地震が少ない地域など、耐震対策が必要とされない場合は、ケース部３を取り外して、従来と同様のアジャスタ２として使用することができる。

【0040】

なお、本発明は、上記実施形態等に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。

【符号の説明】

【0041】

１ 支持治具
２ アジャスタ
３ ケース部
４ 弾性部材
５ ボルト（固定部）
６ 第２弾性部材（弾性部材）
７ 支持板
２１ 土台部
２２ ボルト部
３１ カバー部
３２ 板
１００ 固定対象物
２００ 床
２１３ 下面（底面）
３２１ 穴

【図1】

【図2】

【図3】