(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024114189
(43)【公開日】2024-08-23
(54)【発明の名称】絶縁構造体、静電レンズおよび荷電粒子線装置
(51)【国際特許分類】
H01J 37/12 20060101AFI20240816BHJP
【ＦＩ】
H01J37/12
【審査請求】未請求
【請求項の数】11
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023019784
(22)【出願日】2023-02-13
(71)【出願人】
【識別番号】000000239
【氏名又は名称】株式会社荏原製作所
(74)【代理人】
【識別番号】230104019
【弁護士】
【氏名又は名称】大野 聖二
(74)【代理人】
【識別番号】230112025
【弁護士】
【氏名又は名称】小林 英了
(74)【代理人】
【識別番号】230117802
【弁護士】
【氏名又は名称】大野 浩之
(74)【代理人】
【識別番号】100106840
【弁理士】
【氏名又は名称】森田 耕司
(74)【代理人】
【識別番号】100131451
【弁理士】
【氏名又は名称】津田 理
(74)【代理人】
【識別番号】100167933
【弁理士】
【氏名又は名称】松野 知紘
(74)【代理人】
【識別番号】100174137
【弁理士】
【氏名又は名称】酒谷 誠一
(74)【代理人】
【識別番号】100184181
【弁理士】
【氏名又は名称】野本 裕史
(72)【発明者】
【氏名】當間 康
(72)【発明者】
【氏名】狩俣 努
(72)【発明者】
【氏名】青田 佐多司
(72)【発明者】
【氏名】藤澤 新雪
【テーマコード（参考）】
5C101
【Ｆターム（参考）】
5C101AA03
5C101AA04
5C101AA22
5C101AA23
5C101AA27
5C101AA32
5C101BB02
5C101EE03
5C101EE13
5C101EE14
5C101EE15
5C101EE17
5C101EE38
5C101EE65
5C101EE66
5C101EE69
5C101GG34
5C101GG37
(57)【要約】
【課題】絶縁構造体における放電を抑制する。
【解決手段】荷電粒子線装置用の真空中で用いられる絶縁構造体であって、陽極と、前記陽極と対向する陰極と、前記陽極と前記陰極との間に配置される絶縁体と、を備え、前記絶縁体は、絶縁体平坦面と、前記絶縁体平坦面から突出した絶縁体凸部と、を有し、前記陰極は、陰極平坦面と、前記陰極平坦面から窪んでおり前記絶縁体凸部が嵌まる陰極凹部と、を有し、前記絶縁体平坦面と前記陰極平坦面は接しておらず、前記絶縁体凸部の外面と、前記陰極凹部の内面は接していない、絶縁構造体が提供される。
【選択図】図４Ａ
【解決手段】荷電粒子線装置用の真空中で用いられる絶縁構造体であって、陽極と、前記陽極と対向する陰極と、前記陽極と前記陰極との間に配置される絶縁体と、を備え、前記絶縁体は、絶縁体平坦面と、前記絶縁体平坦面から突出した絶縁体凸部と、を有し、前記陰極は、陰極平坦面と、前記陰極平坦面から窪んでおり前記絶縁体凸部が嵌まる陰極凹部と、を有し、前記絶縁体平坦面と前記陰極平坦面は接しておらず、前記絶縁体凸部の外面と、前記陰極凹部の内面は接していない、絶縁構造体が提供される。
【選択図】図４Ａ
【特許請求の範囲】
【請求項1】
荷電粒子線装置用の真空中で用いられる絶縁構造体であって、
陽極と、前記陽極と対向する陰極と、前記陽極と前記陰極との間に配置される絶縁体と、を備え、
前記陽極は、前記絶縁体と接する陽極平坦面を有し、
前記陰極は、
前記陽極平坦面とほぼ平行であり、前記陽極平坦面からの距離が第１距離である第１陰極平坦面と、
前記陽極平坦面とほぼ平行であり、前記陽極平坦面からの距離が前記第１距離より小さい第２距離である第２陰極平坦面と、
前記第１陰極平坦面と前記第２陰極平坦面とを接続する陰極接続面と、を有し、
前記絶縁体は、
前記陽極平坦面と接する第１絶縁体平坦面と、
前記陽極平坦面と前記第１陰極平坦面の間において、前記第１陰極平坦面に接する第２絶縁体平坦面と、
前記陽極平坦面と前記第２陰極平坦面の間において、前記陽極平坦面からの距離が前記第２距離より小さく、前記第２陰極平坦面には接しない第３絶縁体平坦面と、
前記第２絶縁体平坦面と前記第３絶縁体平坦面とを接続するが、前記陰極とは接しない第１絶縁体接続面と、
前記陽極の外周端部および前記陰極の外周端部より内側に位置し、前記第１絶縁体平坦面と前記第３絶縁体平坦面とを接続する第２絶縁体接続面と、を有する、絶縁構造体。
陽極と、前記陽極と対向する陰極と、前記陽極と前記陰極との間に配置される絶縁体と、を備え、
前記陽極は、前記絶縁体と接する陽極平坦面を有し、
前記陰極は、
前記陽極平坦面とほぼ平行であり、前記陽極平坦面からの距離が第１距離である第１陰極平坦面と、
前記陽極平坦面とほぼ平行であり、前記陽極平坦面からの距離が前記第１距離より小さい第２距離である第２陰極平坦面と、
前記第１陰極平坦面と前記第２陰極平坦面とを接続する陰極接続面と、を有し、
前記絶縁体は、
前記陽極平坦面と接する第１絶縁体平坦面と、
前記陽極平坦面と前記第１陰極平坦面の間において、前記第１陰極平坦面に接する第２絶縁体平坦面と、
前記陽極平坦面と前記第２陰極平坦面の間において、前記陽極平坦面からの距離が前記第２距離より小さく、前記第２陰極平坦面には接しない第３絶縁体平坦面と、
前記第２絶縁体平坦面と前記第３絶縁体平坦面とを接続するが、前記陰極とは接しない第１絶縁体接続面と、
前記陽極の外周端部および前記陰極の外周端部より内側に位置し、前記第１絶縁体平坦面と前記第３絶縁体平坦面とを接続する第２絶縁体接続面と、を有する、絶縁構造体。
【請求項2】
前記第３絶縁体平坦面は、前記第１絶縁体接続面から前記第２絶縁体接続面まで平坦である、請求項１に記載の絶縁構造体。
【請求項3】
荷電粒子線装置用の真空中で用いられる絶縁構造体であって、
陽極と、前記陽極と対向する陰極と、前記陽極と前記陰極との間に配置される絶縁体と、を備え、
前記絶縁体は、
絶縁体平坦面と、
前記絶縁体平坦面から突出した絶縁体凸部と、を有し、
前記陰極は、
陰極平坦面と、
前記陰極平坦面から窪んでおり前記絶縁体凸部が嵌まる陰極凹部と、を有し、
前記絶縁体平坦面と前記陰極平坦面は接しておらず、
前記絶縁体凸部の外面と、前記陰極凹部の内面は接していない、絶縁構造体。
陽極と、前記陽極と対向する陰極と、前記陽極と前記陰極との間に配置される絶縁体と、を備え、
前記絶縁体は、
絶縁体平坦面と、
前記絶縁体平坦面から突出した絶縁体凸部と、を有し、
前記陰極は、
陰極平坦面と、
前記陰極平坦面から窪んでおり前記絶縁体凸部が嵌まる陰極凹部と、を有し、
前記絶縁体平坦面と前記陰極平坦面は接しておらず、
前記絶縁体凸部の外面と、前記陰極凹部の内面は接していない、絶縁構造体。
【請求項4】
荷電粒子線装置用の真空中で用いられる絶縁構造体であって、
陽極と、前記陽極と対向する陰極と、前記陽極と前記陰極との間に配置される絶縁体と、を備え、
前記陽極は、前記絶縁体と接する陽極平坦面を有し、
前記陰極は、
前記陽極平坦面とほぼ平行であり、前記陽極平坦面からの距離が第１距離である第１陰極平坦面と、
前記陽極平坦面とほぼ平行であり、前記陽極平坦面からの距離が前記第１距離より小さい第２距離である第２陰極平坦面と、
前記陽極平坦面とほぼ平行であり、前記陽極平坦面からの距離が前記第１距離より小さく、前記第２距離より大きい第３距離である第３陰極平坦面と、
前記第１陰極平坦面と前記第２陰極平坦面とを接続する第１陰極接続面と、
前記第２陰極平坦面と前記第３陰極平坦面とを接続する第２陰極接続面と、を有し、
前記絶縁体は、
前記陽極平坦面と接する第１絶縁体平坦面と、
前記陽極平坦面と前記第１陰極平坦面の間において、前記第１陰極平坦面に接する第２絶縁体平坦面と、
前記陽極平坦面と前記第２陰極平坦面の間において、前記陽極平坦面からの距離が前記第前記第２距離より小さく、前記第２陰極平坦面には接しない第３絶縁体平坦面と、
前記陽極平坦面と前記第３陰極平坦面の間において、前記陽極平坦面からの距離が前記第前記第３距離より小さく、前記第３陰極平坦面には接しない第４絶縁体平坦面と、
前記第２絶縁体平坦面と前記第３絶縁体平坦面とを接続するが、前記陰極とは接しない第１絶縁体接続面と、
前記第３絶縁体平坦面と前記第４絶縁体平坦面とを接続するが、前記陰極とは接しない第２絶縁体接続面と、
前記陽極の外周端部および前記陰極の外周端部より内側に位置し、前記第１絶縁体平坦面と前記第４絶縁体平坦面とを接続する第３絶縁体接続面と、を有する、絶縁構造体。
陽極と、前記陽極と対向する陰極と、前記陽極と前記陰極との間に配置される絶縁体と、を備え、
前記陽極は、前記絶縁体と接する陽極平坦面を有し、
前記陰極は、
前記陽極平坦面とほぼ平行であり、前記陽極平坦面からの距離が第１距離である第１陰極平坦面と、
前記陽極平坦面とほぼ平行であり、前記陽極平坦面からの距離が前記第１距離より小さい第２距離である第２陰極平坦面と、
前記陽極平坦面とほぼ平行であり、前記陽極平坦面からの距離が前記第１距離より小さく、前記第２距離より大きい第３距離である第３陰極平坦面と、
前記第１陰極平坦面と前記第２陰極平坦面とを接続する第１陰極接続面と、
前記第２陰極平坦面と前記第３陰極平坦面とを接続する第２陰極接続面と、を有し、
前記絶縁体は、
前記陽極平坦面と接する第１絶縁体平坦面と、
前記陽極平坦面と前記第１陰極平坦面の間において、前記第１陰極平坦面に接する第２絶縁体平坦面と、
前記陽極平坦面と前記第２陰極平坦面の間において、前記陽極平坦面からの距離が前記第前記第２距離より小さく、前記第２陰極平坦面には接しない第３絶縁体平坦面と、
前記陽極平坦面と前記第３陰極平坦面の間において、前記陽極平坦面からの距離が前記第前記第３距離より小さく、前記第３陰極平坦面には接しない第４絶縁体平坦面と、
前記第２絶縁体平坦面と前記第３絶縁体平坦面とを接続するが、前記陰極とは接しない第１絶縁体接続面と、
前記第３絶縁体平坦面と前記第４絶縁体平坦面とを接続するが、前記陰極とは接しない第２絶縁体接続面と、
前記陽極の外周端部および前記陰極の外周端部より内側に位置し、前記第１絶縁体平坦面と前記第４絶縁体平坦面とを接続する第３絶縁体接続面と、を有する、絶縁構造体。
【請求項5】
荷電粒子線装置用の真空中で用いられる絶縁構造体であって、
陽極と、前記陽極と対向する陰極と、前記陽極と前記陰極との間に配置される絶縁体と、を備え、
前記陰極は、
陰極凹部と、
前記陰極凹部の外側に設けられた陰極凸部と、を有し、
前記絶縁体は、
絶縁体凸部と、
前記絶縁体凸部の外側に設けられた絶縁体凹部と、
前記絶縁体凹部の外側に設けられた絶縁体突出部と、を有し、
前記絶縁体凸部は、前記陰極凹部に向かって突出し、前記絶縁体凸部の頂面が前記陰極凹部の底面に接しており、
前記陰極凸部は、前記絶縁体凹部に向かって突出しているが、前記絶縁体には接しておらず、
前記絶縁体凸部は、前記陰極に向かって突出しているが、前記陰極には接していない、絶縁構造体。
陽極と、前記陽極と対向する陰極と、前記陽極と前記陰極との間に配置される絶縁体と、を備え、
前記陰極は、
陰極凹部と、
前記陰極凹部の外側に設けられた陰極凸部と、を有し、
前記絶縁体は、
絶縁体凸部と、
前記絶縁体凸部の外側に設けられた絶縁体凹部と、
前記絶縁体凹部の外側に設けられた絶縁体突出部と、を有し、
前記絶縁体凸部は、前記陰極凹部に向かって突出し、前記絶縁体凸部の頂面が前記陰極凹部の底面に接しており、
前記陰極凸部は、前記絶縁体凹部に向かって突出しているが、前記絶縁体には接しておらず、
前記絶縁体凸部は、前記陰極に向かって突出しているが、前記陰極には接していない、絶縁構造体。
【請求項6】
荷電粒子線装置用の真空中で用いられる絶縁構造体であって、
陽極と、前記陽極と対向する陰極と、前記陽極と前記陰極との間に配置される絶縁体と、を備え、
前記陽極は、前記絶縁体と接する陽極平坦面を有し、
前記陰極は、
前記陽極平坦面とほぼ平行であり、前記陽極平坦面からの距離が第１距離である第１陰極平坦面と、
前記陽極平坦面とほぼ平行であり、前記陽極平坦面からの距離が前記第１距離より大きい第２距離である第２陰極平坦面と、
前記第１陰極平坦面と前記第２陰極平坦面とを接続する陰極接続面と、を有し、
前記絶縁体は、
前記陽極平坦面と接する第１絶縁体平坦面と、
前記陽極平坦面と前記第１陰極平坦面の間において、前記第１陰極平坦面に接する第２絶縁体平坦面と、
前記陽極平坦面と前記第２陰極平坦面の間において、前記陽極平坦面からの距離が前記第１距離より大きく前記第２距離より小さく、前記第２陰極平坦面には接しない第３絶縁体平坦面と、
前記第２絶縁体平坦面と前記第３絶縁体平坦面とを接続するが、前記陰極とは接しない第１絶縁体接続面と、
前記陽極の外周端部および前記陰極の外周端部より内側に位置し、前記第１絶縁体平坦面と前記第３絶縁体平坦面とを接続する第２絶縁体接続面と、を有する、絶縁構造体。
陽極と、前記陽極と対向する陰極と、前記陽極と前記陰極との間に配置される絶縁体と、を備え、
前記陽極は、前記絶縁体と接する陽極平坦面を有し、
前記陰極は、
前記陽極平坦面とほぼ平行であり、前記陽極平坦面からの距離が第１距離である第１陰極平坦面と、
前記陽極平坦面とほぼ平行であり、前記陽極平坦面からの距離が前記第１距離より大きい第２距離である第２陰極平坦面と、
前記第１陰極平坦面と前記第２陰極平坦面とを接続する陰極接続面と、を有し、
前記絶縁体は、
前記陽極平坦面と接する第１絶縁体平坦面と、
前記陽極平坦面と前記第１陰極平坦面の間において、前記第１陰極平坦面に接する第２絶縁体平坦面と、
前記陽極平坦面と前記第２陰極平坦面の間において、前記陽極平坦面からの距離が前記第１距離より大きく前記第２距離より小さく、前記第２陰極平坦面には接しない第３絶縁体平坦面と、
前記第２絶縁体平坦面と前記第３絶縁体平坦面とを接続するが、前記陰極とは接しない第１絶縁体接続面と、
前記陽極の外周端部および前記陰極の外周端部より内側に位置し、前記第１絶縁体平坦面と前記第３絶縁体平坦面とを接続する第２絶縁体接続面と、を有する、絶縁構造体。
【請求項7】
荷電粒子線装置用の真空中で用いられる絶縁構造体であって、
陽極と、前記陽極と対向する陰極と、前記陽極と前記陰極との間に配置される絶縁体と、を備え、
前記陰極は、
陰極平坦面と、
前記陰極平坦面から突出した陰極凸部と、を有し、
前記絶縁体は、
絶縁体平坦面と、
前記絶縁体平坦面から窪んでおり前記陰極凸部が嵌まる絶縁凹部と、を有し、
前記陰極平坦面と前記絶縁体平坦面は接しておらず、
前記陰極凸部の外面と、前記絶縁凹部の内面は接していない、絶縁構造体。
陽極と、前記陽極と対向する陰極と、前記陽極と前記陰極との間に配置される絶縁体と、を備え、
前記陰極は、
陰極平坦面と、
前記陰極平坦面から突出した陰極凸部と、を有し、
前記絶縁体は、
絶縁体平坦面と、
前記絶縁体平坦面から窪んでおり前記陰極凸部が嵌まる絶縁凹部と、を有し、
前記陰極平坦面と前記絶縁体平坦面は接しておらず、
前記陰極凸部の外面と、前記絶縁凹部の内面は接していない、絶縁構造体。
【請求項8】
前記絶縁体は、ＰＥＥＫ製である、請求項１乃至７のいずれかに記載の絶縁構造体。
【請求項9】
前記絶縁体における前記陽極と接する面の少なくとも一部は、メタライズされている、請求項１乃至７のいずれかに記載の絶縁構造体。
【請求項10】
請求項１乃至７のいずれかに記載の絶縁構造体を含む静電レンズ。
【請求項11】
請求項１０に記載の静電レンズを備える荷電粒子線装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、絶縁構造体、静電レンズおよび荷電粒子線装置に関する。
【背景技術】
【0002】
荷電粒子線装置は、真空中で荷電粒子の軌道を制御するために、高電圧が印加される静電レンズを備えている。静電レンズは、陽極と陰極との間に絶縁体を配置した絶縁構造体を有している。陽極と陰極との間に高電圧を印加した際に放電が発生すると、所望の性能が得られないことがある。
【0003】
放電の発生に起因して問題が発生し得ることは、荷電粒子線装置における静電レンズに限らず、絶縁構造体全般にも当てはまることである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開平８－１２４５１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
本発明の課題は、絶縁構造体における放電を抑制することである。
【課題を解決するための手段】
【0006】
［１］本発明の一態様によれば、
荷電粒子線装置用の真空中で用いられる絶縁構造体（３００）であって、
陽極（３１０）と、前記陽極（３１０）と対向する陰極（３２０）と、前記陽極（３１０）と前記陰極（３２０）との間に配置される絶縁体（３３０）と、を備え、
前記陽極（３１０）は、前記絶縁体（３３０）と接する陽極平坦面（３１１）を有し、
前記陰極（３２０）は、
前記陽極平坦面（３１１）とほぼ平行であり、前記陽極平坦面（３１１）からの距離が第１距離である第１陰極平坦面（３２２）と、
前記陽極平坦面（３１１）とほぼ平行であり、前記陽極平坦面（３１１）からの距離が前記第１距離より小さい第２距離である第２陰極平坦面（３２１）と、
前記第１陰極平坦面（３２２）と前記第２陰極平坦面（３２１）とを接続する陰極接続面（３２３）と、を有し、
前記絶縁体（３３０）は、
前記陽極平坦面（３１１）と接する第１絶縁体平坦面（３３１）と、
前記陽極平坦面（３１１）と前記第１陰極平坦面（３２２）の間において、前記第１陰極平坦面（３２２）に接する第２絶縁体平坦面（３３２）と、
前記陽極平坦面（３１１）と前記第２陰極平坦面（３２１）の間において、前記陽極平坦面（３１１）からの距離が前記第２距離より小さく、前記第２陰極平坦面（３２１）には接しない第３絶縁体平坦面（３３３）と、
前記第２絶縁体平坦面（３３２）と前記第３絶縁体平坦面（３３３）とを接続するが、前記陰極（３２０）とは接しない第１絶縁体接続面（３３４）と、
前記陽極（３１０）の外周端部および前記陰極（３２０）の外周端部より内側に位置し、前記第１絶縁体平坦面（３３１）と前記第３絶縁体平坦面（３３３）とを接続する第２絶縁体接続面（３３５）と、を有する、絶縁構造体（３００）が提供される。
荷電粒子線装置用の真空中で用いられる絶縁構造体（３００）であって、
陽極（３１０）と、前記陽極（３１０）と対向する陰極（３２０）と、前記陽極（３１０）と前記陰極（３２０）との間に配置される絶縁体（３３０）と、を備え、
前記陽極（３１０）は、前記絶縁体（３３０）と接する陽極平坦面（３１１）を有し、
前記陰極（３２０）は、
前記陽極平坦面（３１１）とほぼ平行であり、前記陽極平坦面（３１１）からの距離が第１距離である第１陰極平坦面（３２２）と、
前記陽極平坦面（３１１）とほぼ平行であり、前記陽極平坦面（３１１）からの距離が前記第１距離より小さい第２距離である第２陰極平坦面（３２１）と、
前記第１陰極平坦面（３２２）と前記第２陰極平坦面（３２１）とを接続する陰極接続面（３２３）と、を有し、
前記絶縁体（３３０）は、
前記陽極平坦面（３１１）と接する第１絶縁体平坦面（３３１）と、
前記陽極平坦面（３１１）と前記第１陰極平坦面（３２２）の間において、前記第１陰極平坦面（３２２）に接する第２絶縁体平坦面（３３２）と、
前記陽極平坦面（３１１）と前記第２陰極平坦面（３２１）の間において、前記陽極平坦面（３１１）からの距離が前記第２距離より小さく、前記第２陰極平坦面（３２１）には接しない第３絶縁体平坦面（３３３）と、
前記第２絶縁体平坦面（３３２）と前記第３絶縁体平坦面（３３３）とを接続するが、前記陰極（３２０）とは接しない第１絶縁体接続面（３３４）と、
前記陽極（３１０）の外周端部および前記陰極（３２０）の外周端部より内側に位置し、前記第１絶縁体平坦面（３３１）と前記第３絶縁体平坦面（３３３）とを接続する第２絶縁体接続面（３３５）と、を有する、絶縁構造体（３００）が提供される。
【0007】
［２］
［１］に記載の絶縁構造体（３００）において、
前記第３絶縁体平坦面（３３３）は、前記第１絶縁体接続面（３３４）から前記第２絶縁体接続面（３３５）まで平坦であってもよい。
［１］に記載の絶縁構造体（３００）において、
前記第３絶縁体平坦面（３３３）は、前記第１絶縁体接続面（３３４）から前記第２絶縁体接続面（３３５）まで平坦であってもよい。
【0008】
［３］本発明の一態様によれば、
荷電粒子線装置用の真空中で用いられる絶縁構造体（３００）であって、
陽極（３１０）と、前記陽極（３１０）と対向する陰極（３２０）と、前記陽極（３１０）と前記陰極（３２０）との間に配置される絶縁体（３３０）と、を備え、
前記絶縁体（３３０）は、
絶縁体平坦面（３３３）と、
前記絶縁体平坦面（３３３）から突出した絶縁体凸部（３３０Ａ）と、を有し、
前記陰極（３２０）は、
陰極平坦面（３２１）と、
前記陰極平坦面（３２１）から窪んでおり前記絶縁体凸部（３３０Ａ）が嵌まる陰極凹部（３２０Ａ）と、を有し、
前記絶縁体平坦面（３３３）と前記陰極平坦面（３２１）は接しておらず、
前記絶縁体凸部（３３０Ａ）の外面と、前記陰極凹部（３３０Ａ）の内面は接していない、絶縁構造体（３００）が提供される。
荷電粒子線装置用の真空中で用いられる絶縁構造体（３００）であって、
陽極（３１０）と、前記陽極（３１０）と対向する陰極（３２０）と、前記陽極（３１０）と前記陰極（３２０）との間に配置される絶縁体（３３０）と、を備え、
前記絶縁体（３３０）は、
絶縁体平坦面（３３３）と、
前記絶縁体平坦面（３３３）から突出した絶縁体凸部（３３０Ａ）と、を有し、
前記陰極（３２０）は、
陰極平坦面（３２１）と、
前記陰極平坦面（３２１）から窪んでおり前記絶縁体凸部（３３０Ａ）が嵌まる陰極凹部（３２０Ａ）と、を有し、
前記絶縁体平坦面（３３３）と前記陰極平坦面（３２１）は接しておらず、
前記絶縁体凸部（３３０Ａ）の外面と、前記陰極凹部（３３０Ａ）の内面は接していない、絶縁構造体（３００）が提供される。
【0009】
［４］本発明の一態様によれば、
荷電粒子線装置用の真空中で用いられる絶縁構造体（４００）であって、
陽極（４１０）と、前記陽極（４１０）と対向する陰極（４２０）と、前記陽極（４１０）と前記陰極（４２０）との間に配置される絶縁体（４３０）と、を備え、
前記陽極（４１０）は、前記絶縁体（４３０）と接する陽極平坦面（４１１）を有し、
前記陰極（４２０）は、
前記陽極平坦面（４１１）とほぼ平行であり、前記陽極平坦面（４１１）からの距離が第１距離である第１陰極平坦面（４２３）と、
前記陽極平坦面（４１１）とほぼ平行であり、前記陽極平坦面（４１１）からの距離が前記第１距離より小さい第２距離である第２陰極平坦面（４２２）と、
前記陽極平坦面（４１１）とほぼ平行であり、前記陽極平坦面（４１１）からの距離が前記第１距離より小さく、前記第２距離より大きい第３距離である第３陰極平坦面（４２１）と、
前記第１陰極平坦面（４２３）と前記第２陰極平坦面（４２２）とを接続する第１陰極接続面（４２５）と、
前記第２陰極平坦面（４２２）と前記第３陰極平坦面（４２１）とを接続する第２陰極接続面（４２４）と、を有し、
前記絶縁体（４３０）は、
前記陽極平坦面（４１１）と接する第１絶縁体平坦面（４３１）と、
前記陽極平坦面（４１１）と前記第１陰極平坦面（４２３）の間において、前記第１陰極平坦面（４２３）に接する第２絶縁体平坦面（４３２）と、
前記陽極平坦面（４１１）と前記第２陰極平坦面（４２２）の間において、前記陽極平坦面（４１１）からの距離が前記第前記第２距離より小さく、前記第２陰極平坦面（４２２）には接しない第３絶縁体平坦面（４３３）と、
前記陽極平坦面（４１１）と前記第３陰極平坦面（４２１）の間において、前記陽極平坦面（４１１）からの距離が前記第前記第３距離より小さく、前記第３陰極平坦面（４２１）には接しない第４絶縁体平坦面（４３４）と、
前記第２絶縁体平坦面（４３２）と前記第３絶縁体平坦面（４３３）とを接続するが、前記陰極（４２０）とは接しない第１絶縁体接続面（４３５）と、
前記第３絶縁体平坦面（４３３）と前記第４絶縁体平坦面（４３４）とを接続するが、前記陰極（４２０）とは接しない第２絶縁体接続面（４３６）と、
前記陽極（４１０）の外周端部および前記陰極（４２０）の外周端部より内側に位置し、前記第１絶縁体平坦面（４３１）と前記第４絶縁体平坦面（４３４）とを接続する第３絶縁体接続面（４３７）と、を有する、絶縁構造体（４００）が提供される。
荷電粒子線装置用の真空中で用いられる絶縁構造体（４００）であって、
陽極（４１０）と、前記陽極（４１０）と対向する陰極（４２０）と、前記陽極（４１０）と前記陰極（４２０）との間に配置される絶縁体（４３０）と、を備え、
前記陽極（４１０）は、前記絶縁体（４３０）と接する陽極平坦面（４１１）を有し、
前記陰極（４２０）は、
前記陽極平坦面（４１１）とほぼ平行であり、前記陽極平坦面（４１１）からの距離が第１距離である第１陰極平坦面（４２３）と、
前記陽極平坦面（４１１）とほぼ平行であり、前記陽極平坦面（４１１）からの距離が前記第１距離より小さい第２距離である第２陰極平坦面（４２２）と、
前記陽極平坦面（４１１）とほぼ平行であり、前記陽極平坦面（４１１）からの距離が前記第１距離より小さく、前記第２距離より大きい第３距離である第３陰極平坦面（４２１）と、
前記第１陰極平坦面（４２３）と前記第２陰極平坦面（４２２）とを接続する第１陰極接続面（４２５）と、
前記第２陰極平坦面（４２２）と前記第３陰極平坦面（４２１）とを接続する第２陰極接続面（４２４）と、を有し、
前記絶縁体（４３０）は、
前記陽極平坦面（４１１）と接する第１絶縁体平坦面（４３１）と、
前記陽極平坦面（４１１）と前記第１陰極平坦面（４２３）の間において、前記第１陰極平坦面（４２３）に接する第２絶縁体平坦面（４３２）と、
前記陽極平坦面（４１１）と前記第２陰極平坦面（４２２）の間において、前記陽極平坦面（４１１）からの距離が前記第前記第２距離より小さく、前記第２陰極平坦面（４２２）には接しない第３絶縁体平坦面（４３３）と、
前記陽極平坦面（４１１）と前記第３陰極平坦面（４２１）の間において、前記陽極平坦面（４１１）からの距離が前記第前記第３距離より小さく、前記第３陰極平坦面（４２１）には接しない第４絶縁体平坦面（４３４）と、
前記第２絶縁体平坦面（４３２）と前記第３絶縁体平坦面（４３３）とを接続するが、前記陰極（４２０）とは接しない第１絶縁体接続面（４３５）と、
前記第３絶縁体平坦面（４３３）と前記第４絶縁体平坦面（４３４）とを接続するが、前記陰極（４２０）とは接しない第２絶縁体接続面（４３６）と、
前記陽極（４１０）の外周端部および前記陰極（４２０）の外周端部より内側に位置し、前記第１絶縁体平坦面（４３１）と前記第４絶縁体平坦面（４３４）とを接続する第３絶縁体接続面（４３７）と、を有する、絶縁構造体（４００）が提供される。
【0010】
［５］本発明の一態様によれば、
荷電粒子線装置用の真空中で用いられる絶縁構造体（４００）であって、
陽極（４１０）と、前記陽極（４１０）と対向する陰極（４２０）と、前記陽極（４１０）と前記陰極（４２０）との間に配置される絶縁体（４３０）と、を備え、
前記陰極（４２０）は、
陰極凹部（４２０Ａ）と、
前記陰極凹部（４２０Ａ）の外側に設けられた陰極凸部（４２０Ｂ）と、を有し、
前記絶縁体（４３０）は、
絶縁体凸部（４３０Ａ）と、
前記絶縁体凸部（４３０Ａ）の外側に設けられた絶縁体凹部（４３０Ｂ）と、
前記絶縁体凹部（４３０Ｂ）の外側に設けられた絶縁体突出部（４３０Ｃ）と、を有し、
前記絶縁体凸部（４３０Ａ）は、前記陰極凹部（４２０Ａ）に向かって突出し、前記絶縁体凸部（４３０Ａ）の頂面が前記陰極凹部（４２０）の底面に接しており、
前記陰極凸部（４２０Ｂ）は、前記絶縁体凹部（４３０Ｂ）に向かって突出しているが、前記絶縁体（４３０）には接しておらず、
前記絶縁体凸部（４３０Ｃ）は、前記陰極（４２０）に向かって突出しているが、前記陰極（４２０）には接していない、絶縁構造体（４００）が提供される。
荷電粒子線装置用の真空中で用いられる絶縁構造体（４００）であって、
陽極（４１０）と、前記陽極（４１０）と対向する陰極（４２０）と、前記陽極（４１０）と前記陰極（４２０）との間に配置される絶縁体（４３０）と、を備え、
前記陰極（４２０）は、
陰極凹部（４２０Ａ）と、
前記陰極凹部（４２０Ａ）の外側に設けられた陰極凸部（４２０Ｂ）と、を有し、
前記絶縁体（４３０）は、
絶縁体凸部（４３０Ａ）と、
前記絶縁体凸部（４３０Ａ）の外側に設けられた絶縁体凹部（４３０Ｂ）と、
前記絶縁体凹部（４３０Ｂ）の外側に設けられた絶縁体突出部（４３０Ｃ）と、を有し、
前記絶縁体凸部（４３０Ａ）は、前記陰極凹部（４２０Ａ）に向かって突出し、前記絶縁体凸部（４３０Ａ）の頂面が前記陰極凹部（４２０）の底面に接しており、
前記陰極凸部（４２０Ｂ）は、前記絶縁体凹部（４３０Ｂ）に向かって突出しているが、前記絶縁体（４３０）には接しておらず、
前記絶縁体凸部（４３０Ｃ）は、前記陰極（４２０）に向かって突出しているが、前記陰極（４２０）には接していない、絶縁構造体（４００）が提供される。
【0011】
［６］本発明の一態様によれば、
荷電粒子線装置用の真空中で用いられる絶縁構造体（２００）であって、
陽極（２１０）と、前記陽極（２１０）と対向する陰極（２２０）と、前記陽極（２１０）と前記陰極（２２０）との間に配置される絶縁体（２３０）と、を備え、
前記陽極（２１０）は、前記絶縁体（２３０）と接する陽極平坦面（２１１）を有し、
前記陰極（２２０）は、
前記陽極平坦面（２１１）とほぼ平行であり、前記陽極平坦面（２１１）からの距離が第１距離である第１陰極平坦面（２２２）と、
前記陽極平坦面（２１１）とほぼ平行であり、前記陽極平坦面（２１１）からの距離が前記第１距離より大きい第２距離である第２陰極平坦面（２２１）と、
前記第１陰極平坦面（２２２）と前記第２陰極平坦面（２２１）とを接続する陰極接続面（２２３）と、を有し、
前記絶縁体（２３０）は、
前記陽極平坦面（２１１）と接する第１絶縁体平坦面（２３１）と、
前記陽極平坦面（２１１）と前記第１陰極平坦面（２２２）の間において、前記第１陰極平坦面（２２２）に接する第２絶縁体平坦面（２３２）と、
前記陽極平坦面（２１１）と前記第２陰極平坦面（２２１）の間において、前記陽極平坦面（２１１）からの距離が前記第１距離より大きく前記第２距離より小さく、前記第２陰極平坦面（２２１）には接しない第３絶縁体平坦面（２３３）と、
前記第２絶縁体平坦面（２３２）と前記第３絶縁体平坦面（２３３）とを接続するが、前記陰極とは接しない第１絶縁体接続面（２３４）と、
前記陽極（２１０）の外周端部および前記陰極（２２０）の外周端部より内側に位置し、前記第１絶縁体平坦面（２３１）と前記第３絶縁体平坦面（２３３）とを接続する第２絶縁体接続面（２３５）と、を有する、絶縁構造体（２００）が提供される。
荷電粒子線装置用の真空中で用いられる絶縁構造体（２００）であって、
陽極（２１０）と、前記陽極（２１０）と対向する陰極（２２０）と、前記陽極（２１０）と前記陰極（２２０）との間に配置される絶縁体（２３０）と、を備え、
前記陽極（２１０）は、前記絶縁体（２３０）と接する陽極平坦面（２１１）を有し、
前記陰極（２２０）は、
前記陽極平坦面（２１１）とほぼ平行であり、前記陽極平坦面（２１１）からの距離が第１距離である第１陰極平坦面（２２２）と、
前記陽極平坦面（２１１）とほぼ平行であり、前記陽極平坦面（２１１）からの距離が前記第１距離より大きい第２距離である第２陰極平坦面（２２１）と、
前記第１陰極平坦面（２２２）と前記第２陰極平坦面（２２１）とを接続する陰極接続面（２２３）と、を有し、
前記絶縁体（２３０）は、
前記陽極平坦面（２１１）と接する第１絶縁体平坦面（２３１）と、
前記陽極平坦面（２１１）と前記第１陰極平坦面（２２２）の間において、前記第１陰極平坦面（２２２）に接する第２絶縁体平坦面（２３２）と、
前記陽極平坦面（２１１）と前記第２陰極平坦面（２２１）の間において、前記陽極平坦面（２１１）からの距離が前記第１距離より大きく前記第２距離より小さく、前記第２陰極平坦面（２２１）には接しない第３絶縁体平坦面（２３３）と、
前記第２絶縁体平坦面（２３２）と前記第３絶縁体平坦面（２３３）とを接続するが、前記陰極とは接しない第１絶縁体接続面（２３４）と、
前記陽極（２１０）の外周端部および前記陰極（２２０）の外周端部より内側に位置し、前記第１絶縁体平坦面（２３１）と前記第３絶縁体平坦面（２３３）とを接続する第２絶縁体接続面（２３５）と、を有する、絶縁構造体（２００）が提供される。
【0012】
［７］本発明の一態様によれば、
荷電粒子線装置用の真空中で用いられる絶縁構造体（２００）であって、
陽極（２１０）と、前記陽極（２１０）と対向する陰極（２２０）と、前記陽極（２１０）と前記陰極（２２０）との間に配置される絶縁体（２３０）と、を備え、
前記陰極（２２０）は、
陰極平坦面（２２１）と、
前記陰極平坦面（２２１）から突出した陰極凸部（２２０Ａ）と、を有し、
前記絶縁体（２３０）は、
絶縁体平坦面（２３３）と、
前記絶縁体平坦面（２３３）から窪んでおり前記陰極凸部（２２０Ａ）が嵌まる絶縁体凹部（２３０Ａ）と、を有し、
前記陰極平坦面（２２１）と前記絶縁体平坦面（２３３）は接しておらず、
前記陰極凸部（２２０Ａ）の外面と、前記絶縁体凹部（２３０Ａ）の内面は接していない、絶縁構造体（２００）が提供される。
荷電粒子線装置用の真空中で用いられる絶縁構造体（２００）であって、
陽極（２１０）と、前記陽極（２１０）と対向する陰極（２２０）と、前記陽極（２１０）と前記陰極（２２０）との間に配置される絶縁体（２３０）と、を備え、
前記陰極（２２０）は、
陰極平坦面（２２１）と、
前記陰極平坦面（２２１）から突出した陰極凸部（２２０Ａ）と、を有し、
前記絶縁体（２３０）は、
絶縁体平坦面（２３３）と、
前記絶縁体平坦面（２３３）から窪んでおり前記陰極凸部（２２０Ａ）が嵌まる絶縁体凹部（２３０Ａ）と、を有し、
前記陰極平坦面（２２１）と前記絶縁体平坦面（２３３）は接しておらず、
前記陰極凸部（２２０Ａ）の外面と、前記絶縁体凹部（２３０Ａ）の内面は接していない、絶縁構造体（２００）が提供される。
【0013】
［８］
［１］乃至［７］のいずれかに記載の絶縁体構造において、
前記絶縁体は、ＰＥＥＫ製であってもよい。
［１］乃至［７］のいずれかに記載の絶縁体構造において、
前記絶縁体は、ＰＥＥＫ製であってもよい。
【0014】
［９］
［１］乃至［８］のいずれかに記載の絶縁体構造において、
前記絶縁体における前記陽極と接する面の少なくとも一部は、メタライズされていてもよい。
［１］乃至［８］のいずれかに記載の絶縁体構造において、
前記絶縁体における前記陽極と接する面の少なくとも一部は、メタライズされていてもよい。
【0015】
［１０］本発明の一態様によれば、
［１］乃至［９］のいずれかに記載の絶縁構造体を含む静電レンズが提供される。
［１］乃至［９］のいずれかに記載の絶縁構造体を含む静電レンズが提供される。
【0016】
［１１］本発明の一態様によれば、
［１０］に記載の静電レンズを備える荷電粒子線装置が提供される。
［１０］に記載の静電レンズを備える荷電粒子線装置が提供される。
【発明の効果】
【0017】
絶縁構造体における放電を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【0018】
【図1A】荷電粒子線装置の一例である走査電子顕微鏡の模式図。
【図1B】検出器２８の構成例を示す図。
【図2】陽極、陰極および絶縁体から構成される絶縁構造体において、沿面放電が起こるメカニズムを説明する図。
【図3A】第１絶縁構造体１００の断面図。
【図4A】第２絶縁構造体２００の断面図。
【図5A】第３絶縁構造体３００の断面図。
【図6A】第４絶縁構造体４００の断面図。
【図7】第１絶縁構造体１００～第４絶縁構造体４００の初回放電電圧を示すグラフ。
【図8】第１絶縁構造体１００～第４絶縁構造体４００のＣＴＪ電界強度を示すグラフ。
【図9】第１絶縁構造体１００～第４絶縁構造体４００の３５ｋＶ定常電流を示すグラフ。
【図10A】静電レンズの概略側面図。
【図14A】別の静電レンズの概略側面図。
【発明を実施するための形態】
【0019】
以下、本発明に係る実施形態について、図面を参照しながら具体的に説明する。
【0020】
図１Ａは、荷電粒子線装置の一例である走査電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope：SEM）の模式図である。この走査電子顕微鏡は、１次光学系１（照射系）と、２次光学系２（結像系）とを備えており、これらは図示しない真空コラム内に配置される。
【0021】
１次光学系１はステージ１６に載置された試料の複数箇所に複数の１次電子から構成される１次電子ビーム（荷電粒子）を集束して照射するものであり、電子源１１、マルチビーム発生機構１２、転送レンズ１３、ビーム分離器１４、対物レンズ１５、ステージ１６、スキャン偏向器１７などから構成される。
【0022】
電子源１１から放出された電子ビームは、適宜、加速器（不図示）によって加速されるとともにレンズ（不図示）によって拡げられ、マルチビーム発生機構１２に入射する。マルチビーム発生機構１２は複数の開口を有しており、これらの開口を電子源１１からの電子ビームが通過することで、複数の１次電子から構成される１次電子ビームが生成される。生成された１次電子ビームは転送レンズ１３、ビーム分離器１４および対物レンズ１５によって個々に集束され、ステージ１６に載置された試料の複数の箇所に等間隔に離散して照射される。
【0023】
また、１次電子ビームはスキャン偏向器１７によって２次元的に試料上を走査するよう偏向される。これにより、離散的に照射される１次電子ビームが試料上に万遍なく照射される。
【0024】
２次光学系２は、１次電子ビームが照射された試料から放射される複数の２次電子から構成される２次電子ビームを検出器２８で検出するものであり、対物レンズ１５、ビーム分離器１４、ビームベンダ２１、投影レンズ２７、開口絞り２６、検出器２８などから構成される。なお、対物レンズ１５およびビーム分離器１４は１次光学系１と共用される。
【0025】
試料からの２次電子ビームは対物レンズ１５によって集束される。そして、電界と磁界の重畳界を形成するビーム分離器１４により、２次電子ビームは１次光学系１とは異なる方向に曲げられる。２次電子ビームはビームベンダ２１によってさらに曲げられる。
【0026】
２次電子ビームは投影レンズ２７によって光軸付近に近づけられる。開口絞り２６は、複数の２次電子が光軸中心で最も互いに近接する位置に配置される。
【0027】
開口絞り２６は開口部を有しており、開口部を通過した２次電子ビームのみが投影レンズ２７に到達する。これにより、２次電子ビームの開き角が規定される。
【0028】
検出器２８は、図１Ｂに示すように、例えばシンチレータ２８１、光増幅器２８２、イメージセンサ２８３（例えばＣＭＯＳイメージセンサ）、拡大レンズ２８４、ハーフミラー２８５を有する。
【0029】
試料上の複数箇所から放出された２次電子はシンチレータ２８１上で結像し、シンチレータ２８１に到達した２次電子ビームの多寡に応じた光がシンチレータ２８１から生じる。生じた光は発散光であるので、光路に配置された拡大レンズ２８４を用いて拡大投影される。拡大レンズ２８４を通過した光は、その一部がハーフミラー２８５を通過して光ファイバの束を介して光増幅器２８２に向かい、また、その一部がハーフミラー２８５によって反射されてイメージセンサ２８３に向かう。前者の光は光増幅器２８２によって電気信号に変換され、２次電子ビームの多寡に応じたビーム本数の走査画像（ＳＥＭ像）が形成される。後者の光はイメージセンサ２８３上に結像し、２次電子ビームによる画像が得られる。
【0030】
このような走査電子顕微鏡等の荷電粒子線装置では、転送レンズ１３、対物レンズ１５、投影レンズ２７、拡大レンズ２８４等として静電レンズが用いられる。静電レンズは、陽極と陰極との間に絶縁体を配置した絶縁構造体を有しているが、高電圧を印加した際に放電が発生すると、電子像や分析の分解能が低下することがある。
【0031】
また、絶縁体として、アルミナやガラスよりも安価であり、誘電率が低い有機材料（例えばＰＥＥＫ（Poly Ether Ether Ketone）等のエンジニアリングプラスチック）を用いることもある。その場合、放電が発生すると、放電に起因して発生する電流によって有機材料の絶縁特性が劣化してしまうことがある。
【0032】
真空中の放電で特に問題となるのは、絶縁体の表面を電子が伝わる沿面放電である。図２を用いて、陽極、陰極および絶縁体から構成される絶縁構造体において、沿面放電が起こるメカニズムを説明する。
【0033】
陰極、絶縁体および真空が重なる領域（カソードトリプルジャンクション（Cathode Triple Junction、以下「ＣＴＪ」という。）において電界が強められると、電界電子放出によって１次電子が放出される（開始段階）。放出された１次電子が絶縁体の表面で衝突することで２次電子が生成される。２次電子がさらに絶縁体の表面で衝突することで、２次電子は増倍する。このような２次電子が陰極から陽極に移動する。それにより、絶縁体の表面の吸着ガスの脱離が促進される（進展段階）。そして、絶縁体の表面から脱離した吸着ガス中で放電が発生することとなる（破壊段階）。
【0034】
このような沿面放電を抑制すべく、発明者らは以下の４つの絶縁構造体について、電界解析を行った。
【0035】
図３Ａおよび図３Ｂは、それぞれ第１絶縁構造体１００の断面図と、その一点鎖線部内の拡大図である。第１絶縁構造体１００は基準となる構造であり、陽極１１０と、陽極１１０と対向する陰極１２０と、陽極１１０と陰極１２０との間に配置されるＰＥＥＫ製の絶縁体１３０とを備える。
【0036】
図３Ｂに示すように、陽極１１０は平坦面１１１を有する。平坦面１１１は円形であり、その直径は絶縁体１３０よりも十分に大きい。そのため、陽極１１０における絶縁体１３０と接する部分は平坦である。
【0037】
陰極１２０は平坦面１２１を有する。平坦面１２１は円形であり、その直径は絶縁体１３０よりも十分に大きい。そのため、陰極１２０における絶縁体１３０と接する部分は平坦である。陽極１１０と陰極１２０の距離は３ｍｍである。
【0038】
絶縁体１３０は円柱状であり、陽極１１０の平坦面１１１と接する平坦面１３１と、陰極１２０の平坦面１２１と接する平坦面１３２と、平坦面１３１，１３２を接続する接続面１３３とを有する。なお、接続面１３３は、概ね鉛直方向に延びる円筒状であるが、陽極１１０および陰極１２０と接する近傍では内側に傾斜している。接続面１３３は絶縁体１３０の外縁を画定しており、絶縁体１３０は半径（絶縁体１３０の中心軸から接続面１３３までの長さ）７ｍｍの円形である。
【0039】
なお、絶縁体１３０における陰極１２０と接触する面はメタライズされている。詳細には、ＰＥＥＫ製の絶縁体１３０の表面にニッケルメッキ１３０’が施されている。これにより、陰極１２０と絶縁体１３０との電気接触を確実にするとともに、ＣＴＪをニッケルメッキ１３０’の端面に固定することができる。ニッケルメッキ１３０’は、厚さ２０ｎｍ程度であり、絶縁体１３０の外周端部（接続面１３３）から０．５ｍｍ程度内側まで施されている。
【0040】
絶縁体１３０の接続面１３３は真空部分と接している。そのため、星印で示す位置が陰極１２０、絶縁体１３０および真空が重なるＣＴＪとなる。
【0041】
図４Ａおよび図４Ｂは、それぞれ第２絶縁構造体２００の断面図と、その一点鎖線部内の拡大図である。第２絶縁構造体２００は、陽極２１０と、陽極２１０と対向する陰極２２０と、陽極２１０と陰極２２０との間に配置されるＰＥＥＫ製の絶縁体２３０とを備える。第１絶縁構造体１００との主な違いとして、第２絶縁構造体２００は、陰極２２０が直径１１ｍｍの円形の凸部２２０Ａを有し、絶縁体２３０が直径１２ｍｍの円形の凹部２３０Ａを有し、これらが嵌合している点である。なお、凸部２２０Ａの外面と凹部２３０Ａの内面は接していない。以下、詳細に説明する。
【0042】
図４Ｂに示すように、陽極２１０は平坦面２１１を有する。平坦面２１１は円形であり、その直径は絶縁体２３０よりも十分に大きい。そのため、陽極２１０における絶縁体２３０と接する部分は平坦である。
【0043】
陰極２２０は、陽極２１０の平坦面２１１とほぼ平行な平坦面２２１，２２２と、平坦面２２１，２２２を接続する接続面２２３とを有する。平坦面２２１は陰極２２０の外縁側にある環状であり、平坦面２２２はその内側にある円形である。陽極２１０の平坦面２１１と平坦面２２１，２２２との距離をそれぞれｄ２１，ｄ２２とすると、ｄ２１＝３ｍｍ、ｄ２２＝２ｍｍであり、ｄ２１＞ｄ２１である。
【0044】
凸部２２０Ａは平坦面２２１から陽極２１０に向かって突出したものであり、凸部２２０Ａの頂面が平坦面２２２であるともいえる。
【0045】
絶縁体２３０は、平坦面２３１～２３３と、接続面２３４，２３５とを有する。平坦面２３１は陽極２１０の平坦面２１１と接する。平坦面２３２は、陽極２１０の平坦面２１１と陰極２２０の平坦面２２２の間において、平坦面２２２に接する。平坦面２３３は、陽極２１０の平坦面２１１と陰極２１０の平坦面２２１の間にあるが、平坦面２２１には接しない。すなわち、陽極２１０の平坦面２１１と絶縁体２３０の平坦面２３３との距離をｄ２３とすると、ｄ２３＝２．５ｍｍであって、ｄ２２＜ｄ２３＜ｄ２１である。
【0046】
凹部２３０Ａは平坦面２３３から窪んだものであり、凹部２３０Ａの底面が平坦面２３２であるともいえる。また、凹部２３０Ａの外側において、接続面２３４、平坦面２３３および接続面２３５によって構成され、陰極２２０に向かって突出する円環状の突出部２３０Ｂがあるともいえる。
【0047】
接続面２３４は平坦面２３２と平坦面２３３とを接続する。ただし、接続面２３４は陰極２２０とは接していない。これにより、凸部２２０Ａの外面（すなわち接続面２２３）と凹部２３０Ａの内面（すなわち接続面２３４）は接しない。接続面２３５は、陽極２１０の外周端部および陰極２２０の外周端部より内側に位置し、平坦面２３１と平坦面２３３とを接続する。なお、接続面２３５は、概ね鉛直方向に延びる円筒状であるが、陽極２１０および陰極２２０と接する近傍では傾斜している。接続面２３５は絶縁体２３０の外縁を画定しており、絶縁体２３０は半径（絶縁体２３０の中心軸から接続面２３５までの長さ）７ｍｍの円形である。
【0048】
なお、絶縁体２３０における陰極２２０と接する面はメタライズされている。詳細には、絶縁体２３０の平坦面２３２のうち、外周端部から０．５ｍｍ程度内側まで、ニッケルメッキ２３０’が施されている。
【0049】
絶縁体２３０の接続面２３４が真空部分と接している。そのため、星印で示す位置が陰極２２０、絶縁体２３０および真空が重なるＣＴＪとなる。そして、ＣＴＪ近傍で生じた電子は、接続面２２３，２３４の間を通り、突出部２３０Ｂを経由し、接続面２３５に沿って移動する。
【0050】
図５Ａおよび図５Ｂは、それぞれ第３絶縁構造体３００の断面図と、その一点鎖線部内の拡大図である。第３絶縁構造体３００は、陽極３１０と、陽極３１０と対向する陰極３２０と、陽極３１０と陰極３２０との間に配置されるＰＥＥＫ製の絶縁体３３０とを備える。第１絶縁構造体１００との主な違いとして、第３絶縁構造体３００は、絶縁体３３０が直径１０ｍｍの円形の凸部３３０Ａを有し、陰極３２０が直径１２ｍｍの円形の凹部３２０Ａを有し、これらが嵌合している点である。なお、凸部３３０Ａの外面と凹部３２０Ａの内面は接していない。以下、詳細に説明する。
【0051】
図５Ｂに示すように、陽極３１０は平坦面３１１を有する。平坦面３１１は円形であり、その直径は絶縁体３３０よりも十分に大きい。そのため、陽極３１０における絶縁体３３０と接する部分は平坦である。
【0052】
陰極３２０は、陽極３１０の平坦面３１１とほぼ平行な平坦面３２１，３２２と、平坦面３２１，３２２を接続する接続面３２３とを有する。平坦面３２１は陰極３２０の外縁側にある環状であり、平坦面３２２はその内側にある円形である。陽極３１０の平坦面３１１と平坦面３２１，３２２との距離をそれぞれｄ３１，ｄ３２とすると、ｄ３１＝３ｍｍ、ｄ３２＝４ｍｍであり、ｄ３１＜ｄ３２である。
【0053】
凹部３２０Ａは平坦面３２１から窪んだものであり、凹部３２０Ａの底面が平坦面３２２であるともいえる。また、凹部３２０Ａの外側において、接続面３２３、平坦面３２１および陰極３２０の外周面によって構成され、陽３１０に向かって突出する円環状の突出部３２０Ｂがあるともいえる。
【0054】
絶縁体３３０は、平坦面３３１～３３３と、接続面３３４，３３５とを有する。平坦面３３１は陽極３１０の平坦面３１１と接する。平坦面３３２は、陽極３１０の平坦面３１１と陰極３２０の平坦面３２２の間において、平坦面３２２に接する。平坦面３３３は、陽極３１０の平坦面３１１と陰極３２０の平坦面３２１の間にあるが、平坦面３２１には接しない。すなわち、陽極３１０の平坦面３１１と絶縁体３３０の平坦面３３３との距離をｄ３３とすると、ｄ３３＝２．５ｍｍであって、ｄ３３＜ｄ３１＜ｄ３２である。
【0055】
凸部３３０Ａは平坦面３３３から陰極３２０に向かって突出したものであり、凸部３３０Ａの頂面が平坦面３３２であるともいえる。
【0056】
接続面３３４は平坦面３３２と平坦面３３３とを接続する。ただし、接続面３３４は陰極３２０とは接していない。これにより、凸部３３０Ａの外面（すなわち接続面３３４）と凹部３２０Ａの内面（すなわち接続面３２３）は接しない。接続面３３５は、陽極３１０の外周端部および陰極３２０の外周端部より内側に位置し、平坦面３３１と平坦面３３３とを接続する。なお、接続面３３５は、概ね鉛直方向に延びる円筒状であるが、陽極３１０および陰極３２０と接する近傍では傾斜している。接続面３３５は絶縁体３３０の外縁を画定しており、絶縁体３３０は半径（絶縁体３３０の中心軸から接続面３３５までの長さ）７ｍｍの円形である。また、平坦面３３３は、内縁（接続面３３４）から外縁（接続面３３５）まで平坦であり、凸部は設けられない。
【0057】
なお、絶縁体３３０における陰極３２０と接する面はメタライズされている。詳細には、絶縁体３３０の平坦面３３２のうち、外周端部から０．５ｍｍ程度内側まで、ニッケルメッキ３３０’が施されている。
【0058】
絶縁体３３０の接続面３３４が真空部分と接している。そのため、星印で示す位置が陰極３２０、絶縁体３３０および真空が重なるＣＴＪとなる。そして、ＣＴＪ近傍で生じた電子は、接続面３２３，２３４の間を通り、平坦面３３３および接続面３３５に沿って移動する。平坦面３３３が平坦であるため、電子の移動経路に凸部はない。
【0059】
図６Ａおよび図６Ｂは、それぞれ第４絶縁構造体４００の断面図と、その一点鎖線部内の拡大図である。第４絶縁構造体４００は、陽極４１０と、陽極４１０と対向する陰極４２０と、陽極４１０と陰極４２０との間に配置されるＰＥＥＫ製の絶縁体４３０とを備える。
【0060】
第１絶縁構造体１００との主な違いとして、第４絶縁構造体４００の陰極４２０は、直径９ｍｍの円形の凹部４２０Ａと、その外側に設けられた外側直径１１ｍｍの環状の凸部４２０Ｂと、その外側に設けられた環状の凹部４２０Ｃとを有する。また、絶縁体４３０は、直径７ｍｍの円形の凸部４３０Ａと、その外側に設けられた外側直径１２ｍｍの環状の凹部４３０Ｂと、その外側に設けられた突出部４３０Ｃとを有する。
【0061】
そして、絶縁体４３０の凸部４３０Ａは、陰極４２０の凹部４２０Ａに向かって突出し、その頂面が凹部４２０Ａの底面に接している。陰極４２０の凸部４２０Ｂは、絶縁体４３０の凹部４３０Ｂに向かって突出しているが、絶縁体４３０には接していない。絶縁体４３０の突出部４３０Ｃは、陰極４２０の凹部４２０Ｃに向かって突出しているが、陰極４２０には接していない。以下、詳細に説明する。
【0062】
図６Ｂに示すように、陽極４１０は平坦面４１１を有する。平坦面４１１は円形であり、その直径は絶縁体４３０よりも十分に大きい。そのため、陽極４１０における絶縁体４３０と接する部分は平坦である。
【0063】
陰極４２０は、陽極４１０の平坦面４１１とほぼ平行な平坦面４２１～４２３と、平坦面４２１，４２２を接続する接続面４２４と、平坦面４２２，４２３を接続する接続面４２５とを有する。平坦面４２１は陰極４２０の外縁側にある環状であり、平坦面４２２はその内側にある環状であり、平坦面４２３はその内側にある円形である。平坦面４１１と平坦面４２１，４２２，４２３との距離をそれぞれｄ１，ｄ２，ｄ３とすると、ｄ１＝３ｍｍ、ｄ２＝２．５ｍｍ、３．５ｍｍであり、ｄ２＜ｄ１＜ｄ３である。
【0064】
凹部４２０Ａは平坦面４２２から窪んだものであり、その底面が平坦面４２３であるともいえる。凸部４２０Ｂは平坦面４２３および／または平坦面４２１から陽極４１０に向かって突出したものであり、その頂面が平坦面４２２であるともいえる。凹部４２０Ｃは平坦面４２２から窪んだものであり、その底面が平坦面４２１であるともいえる。
絶縁体４３０は、平坦面４３１～４３４と、接続面４３５～４３７とを有する。
絶縁体４３０は、平坦面４３１～４３４と、接続面４３５～４３７とを有する。
【0065】
平坦面４３１は陽極４１０の平坦面４１１と接する。平坦面４３２は、陽極４１０の平坦面４１１と陰極４２０の平坦面４２３の間において、平坦面４２３に接する。平坦面４３３は、陽極４１０の平坦面４１１と陰極４２０の平坦面４２２の間にあるが、平坦面４２２には接しない。平坦面４３４は、陽極４１０の平坦面４１１と陰極４２０の平坦面４２１の間にあるが、平坦面４２１には接しない。
【0066】
接続面４３５は平坦面４３２と平坦面４３３とを接続するが、陰極４２０とは接していない。接続面４３６は平坦面４３３と平坦面４３４とを接続するが、陰極４２０とは接しない。
【0067】
接続面４３５、平坦面４３３および接続面４３６が陰極４２０と接しないことにより、絶縁体４３０の凸部４３０Ａの外面（すなわち接続面４３５）と陰極４２０の凹部４２０Ａの内面（すなわち接続面４２５）とは接しない。また、陰極４２０の凸部４２０Ｂの外面（すなわち接続面４２４，４２５）と絶縁体４３０の凹部４３０Ｂの内面（すなわち接続面４３５，４３６）とは接しない。さらに、絶縁体４３０の突出部４３０Ｃの外面（すなわち接続面４３６）と陰極４２０の凹部４２０Ｃの内面（すなわち接続面４２４）とは接しない。
【0068】
接続面４３７は、陽極４１０の外周端部および陰極４２０の外周端部より内側に位置し、平坦面４３１と平坦面４３４とを接続する。なお、接続面４３７は、概ね鉛直方向に延びる円筒状であるが、陽極４１０および陰極４２０と接する近傍では傾斜している。接続面４３７は絶縁体４３０の外縁を画定しており、絶縁体４３０は半径（絶縁体４３０の中心軸から接続面４３７までの長さ）７ｍｍの円形である。
【0069】
なお、絶縁体４３０における陰極４２０と接する面はメタライズされている。詳細には、絶縁体４３０の平坦面４３２のうち、外周端部から０．５ｍｍ程度内側まで、ニッケルメッキ４３０’が施されている。
【0070】
絶縁体４３０の接続面４３５が真空部分と接している。そのため、星印で示す位置が陰極４２０、絶縁体４３０および真空が重なるＣＴＪとなる。そして、ＣＴＪ近傍で生じた電子は、接続面４２５，４３５の間を通り、さらに平坦面４２２，４３３の間を通り、突出部４３０Ｃを経由し、接続面４３７に沿って移動する。
【0071】
以上のような第１絶縁構造体１００～第４構造体４００の放電特性を解析した。
図７は、第１絶縁構造体１００～第４絶縁構造体４００の初回放電電圧を示すグラフである。この初回放電電圧は、陰極１１０～４１０を接地電圧とし、陽極１２０～４２０に印加する電圧を高くしていき、初めて絶縁破壊が生じた電圧である。初回放電電圧が高いほど好ましい。
図７は、第１絶縁構造体１００～第４絶縁構造体４００の初回放電電圧を示すグラフである。この初回放電電圧は、陰極１１０～４１０を接地電圧とし、陽極１２０～４２０に印加する電圧を高くしていき、初めて絶縁破壊が生じた電圧である。初回放電電圧が高いほど好ましい。
【0072】
図示のように、第２絶縁構造体２００、第３絶縁構造体３００および第４絶縁構造体４００の初回放電電圧は、基準となる第１絶縁構造体１００の初回放電電圧より高い。第２絶縁構造体２００，４００では、電子なだれの経路に突出部２３０Ｂ，４３０Ｃがそれぞれあるため、電子なだれが抑制されて耐電圧が高くなったものと考えられる。また、第３絶縁構造体３００では、ＣＴＪが陰極３２０の中に隠されるような形状であるため、耐圧性が高くなったと考えられる。
【0073】
よって、初回放電電圧に着目するのであれば、第２絶縁構造体２００、第３絶縁構造体３００および第４絶縁構造体４００のいずれも有効である。
【0074】
図８は、第１絶縁構造体１００～第４絶縁構造体４００のＣＴＪ電界強度を示すグラフである。このＣＴＪ電界強度は、陰極１１０～４１０を接地電極とし、陽極１２０～４２０に３０ｋＶを印加したとして、数値計算による電界解析を行って得られた結果である。ＣＴＪ電界強度が低いほど好ましい。
【0075】
図示のように、第３絶縁構造体３００のＣＴＪ電界強度は基準となる第１絶縁構造体１００のＣＴＪ電界強度より低い。第３絶縁構造体３００では、ＣＴＪが陰極３２０の中に隠されるような形状であるため、ＣＴＪ電界強度が低くなったと考えられる。なお、第２絶縁構造体２００では、陰極２２０に凸部２２０Ａがあるため、ＣＴＪ電界強度が高くなったものと考えられる。第４絶縁構造体４００では、陰極４２０に凸部４２０Ｂがあるため、ＣＴＪ電界強度が高くなったものと考えられる。
【0076】
よって、ＣＴＪ電界強度に着目するのであれば、第３絶縁構造体３００が有効である。
【0077】
図９は、第１絶縁構造体１００～第４絶縁構造体４００の３５ｋＶ定常電流を示すグラフである。この３５ｋＶ定常電流は、陰極１１０～４１０を接地電極とし、陽極１２０～４２０に３５ｋＶを印加した場合に、電極間を流れる電流を測定した結果である。３５ｋＶ定常電流が低いほど好ましい。
【0078】
図示のように、第３絶縁構造体３００および第４絶縁構造体４００の３５ｋＶ定常電流は基準となる第１絶縁構造体１００の３５ｋＶ定常電流より低い。よって、電圧印加時に電極間に流れる定常電流に着目するのであれば、第３絶縁構造体３００および第４絶縁構造体４００が有効である。
【0079】
以上から、陽極と陰極との絶縁構造として、上述した第２絶縁構造体２００～第４絶縁構造体４００が有効である。なお、陽極、陰極および絶縁体の材料、大きさ、形状等は、どれだけ放電を抑制したいかに応じ、目的を達成し得る範囲において適宜変更してもよい。特に、陽極はＣＴＪから離れており、その形状は放電特性に大きな影響を与えなので、自由度が高い。
【0080】
以下、第２絶縁構造体２００～第４絶縁構造体４００を用いた静電レンズの構成例を示す。
【0081】
図１０Ａおよび図１０Ｂは、それぞれ静電レンズの概略側面図およびそのＸ－Ｘ断面から下方を見た図である。静電レンズは陽極１０および陰極２０を備えている。陽極１０には相対的に高い電圧が印加され、陰極２０には相対的に低い電圧が印加される。陽極１０に印加される電圧と陰極２０に印加される電圧との差は、例えば２０ｋＶである。これら陽極１０および陰極２０は荷電粒子線（例えば電子ビーム）に対して静電レンズとして作用する。
【0082】
陽極１０および陰極２０は直径１００ｍｍ程度の円形である。そして、陽極１０および陰極２０のほぼ中心に直径１０ｍｍ程度の孔１５が形成されており、この孔１５を荷電粒子線が通過する。そして、孔１５を中心として、時計の０時の方向、４時の方向および８時の方向に直径１０ｍｍ程度の円柱状の絶縁体３０Ａ～３０Ｃがそれぞれ配置されている。
【0083】
陽極１０、陰極２０および絶縁体３０Ａにより、絶縁構造体が形成される。同様に、陽極１０、陰極２０および絶縁体３０Ｂにより、絶縁構造体が形成される。陽極１０、陰極２０および絶縁体３０Ｃにより、絶縁構造体が形成される。
【0084】
図１１は、図１０Ａおよび図１０Ｂの静電レンズに第２絶縁構造体２００を適用した場合のＹ－Ｙ断面図である。図示のように、陰極２０（２２０）に形成された凸部２２０Ａが絶縁体３０（２３０）に形成された凹部２３０Ａに嵌合する第２絶縁構造体２００（図４Ａおよび図４Ｂ参照）が適用される。
【0085】
図１２は、図１０Ａおよび図１０Ｂの静電レンズに第３絶縁構造体３００を適用した場合のＹ－Ｙ断面図である。図示のように、絶縁体３０（３３０）に形成された凸部３３０Ａが陰極２０（３２０）に形成された凹部３２０Ａに嵌合する第３絶縁構造体３００（図５Ａおよび図５Ｂ参照）が適用される。
【0086】
図１３は、図１０Ａおよび図１０Ｂの静電レンズに第４絶縁構造体４００を適用した場合のＹ－Ｙ断面図である。図示のように、絶縁体３０（４３０）に形成された凸部４３０Ａが陰極２０（４２０）に形成された凹部４２０Ａに嵌合し、陰極２０（４２０）に形成された凸部４２０Ｂが絶縁体３０（４３０）に形成された凹部４３０Ｂに向かって突出する第４絶縁構造体４００（図６Ａおよび図６Ｂ）が適用される。
【0087】
【0088】
図１４Ａおよび図１４Ｂは、それぞれ別の静電レンズの概略側面図およびそのＸ－Ｘ断面から下方を見た図である。以下、図１０Ａおよび図１０Ｂの静電レンズとの違いを述べる。絶縁体３０は円筒状であり、その中心軸は孔１５の中心を通る位置にある。絶縁体３０の外周面は直径９０ｍｍ程度、内周面は直径８０ｍｍ程度である。
孔１５付近の真空度をよくするため、絶縁体３０の側面に直径５ｍｍ～３０ｍｍ程度の貫通穴を２個～１００個程度あけてもよい。また、陽極１０または陰極２０に同様の貫通穴を設けてもよい。
孔１５付近の真空度をよくするため、絶縁体３０の側面に直径５ｍｍ～３０ｍｍ程度の貫通穴を２個～１００個程度あけてもよい。また、陽極１０または陰極２０に同様の貫通穴を設けてもよい。
【0089】
図１５は、図１４Ａおよび図１４Ｂの静電レンズに第２絶縁構造体２００を適用した場合のＹ－Ｙ断面図である。図１６は、図１４Ａおよび図１４Ｂの静電レンズに第３絶縁構造体３００を適用した場合のＹ－Ｙ断面図である。図１７は、図１４Ａおよび図１４Ｂの静電レンズに第４絶縁構造体４００を適用した場合のＹ－Ｙ断面図である。なお、図１５～図１７では、各陽極１０を陰極２０と同じ形状（すなわち上下対称）としているが、陽極１０は平坦であってもよい。
【0090】
以上述べたような第２絶縁構造体２００～第４絶縁構造体４００を適用した静電レンズを荷電粒子線装置に用いることで、放電を抑制でき、電子像や分析の分解能が低下するのを抑制できる。
【0091】
なお、上述した第２絶縁構造体２００～第４絶縁構造体４００は他の装置にも適用可能である。また、上述した静電レンズは、任意の荷電粒子線装置（例えば、走査電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope：SEM）、透過電子顕微鏡（Transmission Electron Microscopy：TEM）、電子線描画装置、電子プローブマイクロアナライザー（Electron Probe Micro Analyzer：EPMA）、集束イオンビーム装置（Focused Ion Beam：FIB））に適用可能であり、他の装置にも適用可能である。
【0092】
上記の記載に基づいて、当業者であれば、本発明の追加の効果や種々の変形例を想到できるかもしれないが、本発明の態様は、上述した個々の実施形態には限定されるものではない。特許請求の範囲に規定された内容およびその均等物から導き出される本発明の概念的な思想と趣旨を逸脱しない範囲で種々の追加、変更および部分的削除が可能である。
【0093】
例えば、本明細書において１つの部材として説明されるもの（図面において１つの部材として描かれているものを含む）を複数の部材によって実現してもよい。逆に、本明細書において複数の部材として説明されるもの（図面において複数の部材として描かれているものを含む）を１つの部材によって実現してもよい。
【0094】
また、本明細書に記載された事項の全てが必須の要件というわけではない。特に、本明細書に記載され、特許請求の範囲に記載されていない事項は任意の付加的事項ということができる。
【0095】
なお、本出願人は本明細書の「先行技術文献」欄の文献に記載された文献公知発明を知っているにすぎず、本発明は必ずしも同文献公知発明における課題を解決することを目的とするものではないことにも留意されたい。本発明が解決しようとする課題は本明細書全体を考慮して認定されるべきものである。例えば、本明細書において、特定の構成によって所定の効果を奏する旨の記載がある場合、当該所定の効果の裏返しとなる課題が解決されるということもできる。ただし、必ずしもそのような特定の構成を必須の要件とする趣旨ではない。
【符号の説明】
【0096】
１ １次光学系
１１ 電子源
１２ マルチビーム発生機構
１３ 転送レンズ
１４ ビーム分離器
１５ 対物レンズ
１６ ステージ
１７ スキャン偏向器
２ ２次光学系
２１ ビームベンダ
２７ 投影レンズ
２８ 検出器
２８１ シンチレータ
２８２ 光増幅器
２８３ イメージセンサ
２８４ 拡大レンズ
２８５ ハーフミラー
１００ 第１絶縁構造体
１１０ 陽極
１１１ 平坦面
１２０ 陰極
１２１ 平坦面
１３０ 絶縁体
１３０’ ニッケルメッキ
１３１，１３２ 平坦面
１３３ 接続面
２００ 第２絶縁構造体
２１０ 陽極
２１１ 平坦面
２２０ 陰極
２２０Ａ 凸部
２２１，２２２ 平坦面
２２３ 接続面
２３０ 絶縁体
２３０’ ニッケルメッキ
２３０Ａ 凹部
２３０Ｂ 突出部
２３１～２３３ 平坦面
２３４，２３５ 接続面
３００ 第３絶縁構造体
３１０ 陽極
３１１ 平坦面
３２０ 陰極
３２０Ａ 凹部
３２０Ｂ 突出部
３２１，３２２平坦面
３２３ 接続面
３３０ 絶縁体
３３０’ ニッケルメッキ
３３０Ａ 凸部
３３１～３３３ 平坦面
３３４，３３５ 接続面
４００ 第４絶縁構造体
４１０ 陽極
４１１ 平坦面
４２０ 陰極
４２０Ａ 凹部
４２０Ｂ 凸部
４２０Ｃ 凹部
４２１～４２３ 平坦面
４２４，４２５ 接続面
４３０ 絶縁体
４３０’ ニッケルメッキ
４３０Ａ 凸部
４３０Ｂ 凹部
４３０Ｃ 突出部
４３１～４３４ 平坦面
４３５～４３７ 接続面
１０ 陽極
２０ 陰極
３０ 絶縁体
１１ 電子源
１２ マルチビーム発生機構
１３ 転送レンズ
１４ ビーム分離器
１５ 対物レンズ
１６ ステージ
１７ スキャン偏向器
２ ２次光学系
２１ ビームベンダ
２７ 投影レンズ
２８ 検出器
２８１ シンチレータ
２８２ 光増幅器
２８３ イメージセンサ
２８４ 拡大レンズ
２８５ ハーフミラー
１００ 第１絶縁構造体
１１０ 陽極
１１１ 平坦面
１２０ 陰極
１２１ 平坦面
１３０ 絶縁体
１３０’ ニッケルメッキ
１３１，１３２ 平坦面
１３３ 接続面
２００ 第２絶縁構造体
２１０ 陽極
２１１ 平坦面
２２０ 陰極
２２０Ａ 凸部
２２１，２２２ 平坦面
２２３ 接続面
２３０ 絶縁体
２３０’ ニッケルメッキ
２３０Ａ 凹部
２３０Ｂ 突出部
２３１～２３３ 平坦面
２３４，２３５ 接続面
３００ 第３絶縁構造体
３１０ 陽極
３１１ 平坦面
３２０ 陰極
３２０Ａ 凹部
３２０Ｂ 突出部
３２１，３２２平坦面
３２３ 接続面
３３０ 絶縁体
３３０’ ニッケルメッキ
３３０Ａ 凸部
３３１～３３３ 平坦面
３３４，３３５ 接続面
４００ 第４絶縁構造体
４１０ 陽極
４１１ 平坦面
４２０ 陰極
４２０Ａ 凹部
４２０Ｂ 凸部
４２０Ｃ 凹部
４２１～４２３ 平坦面
４２４，４２５ 接続面
４３０ 絶縁体
４３０’ ニッケルメッキ
４３０Ａ 凸部
４３０Ｂ 凹部
４３０Ｃ 突出部
４３１～４３４ 平坦面
４３５～４３７ 接続面
１０ 陽極
２０ 陰極
３０ 絶縁体
【図1A】
【図1B】
【図2】
【図3A】
【図3B】
【図4A】
【図4B】
【図5A】
【図5B】
【図6A】
【図6B】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10A】
【図10B】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14A】
【図14B】
【図15】
【図16】
【図17】
