(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024114393
(43)【公開日】2024-08-23
(54)【発明の名称】加工装置及び収容治具
(51)【国際特許分類】
B24B 45/00 20060101AFI20240816BHJP
H01L 21/677 20060101ALI20240816BHJP
B24B 49/12 20060101ALI20240816BHJP
B24B 41/06 20120101ALI20240816BHJP
B24B 27/06 20060101ALI20240816BHJP
B24B 53/12 20060101ALI20240816BHJP
B23Q 3/155 20060101ALI20240816BHJP
H01L 21/301 20060101ALI20240816BHJP
【ＦＩ】
B24B45/00 A
H01L21/68 A
B24B49/12
B24B41/06 A
B24B27/06 M
B24B53/12 Z
B24B41/06 L
B24B45/00 Z
B23Q3/155 K
H01L21/78 F
【審査請求】未請求
【請求項の数】4
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023020139
(22)【出願日】2023-02-13
(71)【出願人】
【識別番号】000134051
【氏名又は名称】株式会社ディスコ
(74)【代理人】
【識別番号】110002147
【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】寺田 一貴
【テーマコード（参考）】
3C002
3C034
3C047
3C158
5F063
5F131
【Ｆターム（参考）】
3C002HH06
3C002LL08
3C034AA13
3C034AA19
3C034BB52
3C034BB66
3C034BB73
3C034BB75
3C034BB81
3C034BB93
3C034CA14
3C034CA22
3C034CA26
3C034CB12
3C034DD10
3C047EE04
3C047EE09
3C047EE18
3C158AA03
3C158AA15
3C158AA19
3C158AB03
3C158AB04
3C158AC02
3C158BB02
3C158BC02
3C158BC03
3C158CB06
3C158DA17
5F063AA05
5F063CB05
5F063DD03
5F131AA02
5F131BA52
5F131CA09
5F131DA20
5F131DA32
5F131DA42
5F131DB15
5F131DB62
5F131DB72
5F131DB73
(57)【要約】
【課題】ワークの破損リスクを抑制することができること。
【解決手段】加工装置１は、ワークを保持する保持テーブルと、保持テーブルで保持されたワークを切削する切削ユニットと、を備えた装置であって、加工装置１で使用されるドレスボード３００を交換する交換機構と、ドレスボード３００を収容するボード収容部４３０を有した収容治具４００－１を収容するカセットと、カセットから収容治具４００－１を取り出す搬出入ユニット８６を含み、カセット５１から交換機構による消耗品交換位置へと収容治具４００－１を搬送する搬送ユニット８０と、搬出入ユニット８６がカセットから取り出した収容治具４００－１を識別する識別ユニット９０と、を備える。
【選択図】図８
【解決手段】加工装置１は、ワークを保持する保持テーブルと、保持テーブルで保持されたワークを切削する切削ユニットと、を備えた装置であって、加工装置１で使用されるドレスボード３００を交換する交換機構と、ドレスボード３００を収容するボード収容部４３０を有した収容治具４００－１を収容するカセットと、カセットから収容治具４００－１を取り出す搬出入ユニット８６を含み、カセット５１から交換機構による消耗品交換位置へと収容治具４００－１を搬送する搬送ユニット８０と、搬出入ユニット８６がカセットから取り出した収容治具４００－１を識別する識別ユニット９０と、を備える。
【選択図】図８
【特許請求の範囲】
【請求項1】
ワークを保持する保持テーブルと、該保持テーブルで保持されたワークを加工する加工ユニットと、を備えた加工装置であって、
該加工装置で使用される消耗品を交換する交換機構と、
該消耗品を収容する収容部を有した収容治具を収容する治具収容部と、
該治具収容部から該収容治具を取り出す取出しユニットを含み、該治具収容部から該交換機構による消耗品交換位置へと該収容治具を搬送する搬送ユニットと、
該取出しユニットが該治具収容部から取り出した該収容治具を識別する識別ユニットと、を備えた加工装置。
該加工装置で使用される消耗品を交換する交換機構と、
該消耗品を収容する収容部を有した収容治具を収容する治具収容部と、
該治具収容部から該収容治具を取り出す取出しユニットを含み、該治具収容部から該交換機構による消耗品交換位置へと該収容治具を搬送する搬送ユニットと、
該取出しユニットが該治具収容部から取り出した該収容治具を識別する識別ユニットと、を備えた加工装置。
【請求項2】
該保持テーブルは、ワークがテープを介してフレームに装着されたワークユニットの該ワークを該テープを介して保持し、
該加工装置は、ワークユニットと、該収容治具と、を収容したカセットが載置されるカセット載置台と、
該カセット載置台に隣接して配設され、該ワークユニットまたは該収容治具の両端部をそれぞれ支持する一対のガイドレールと、を備え、
該カセット載置台は該治具収容部を構成し、
該取出しユニットは、該カセット載置台上の該カセットから該ワークユニットまたは該収容治具を取出して該ガイドレール上に載置し、
該識別ユニットは、該ガイドレール上で支持している物品が該ワークユニットか該収容治具かを判別する、請求項１に記載の加工装置。
該加工装置は、ワークユニットと、該収容治具と、を収容したカセットが載置されるカセット載置台と、
該カセット載置台に隣接して配設され、該ワークユニットまたは該収容治具の両端部をそれぞれ支持する一対のガイドレールと、を備え、
該カセット載置台は該治具収容部を構成し、
該取出しユニットは、該カセット載置台上の該カセットから該ワークユニットまたは該収容治具を取出して該ガイドレール上に載置し、
該識別ユニットは、該ガイドレール上で支持している物品が該ワークユニットか該収容治具かを判別する、請求項１に記載の加工装置。
【請求項3】
該収容治具は欠損部を有し、
該識別ユニットは該ガイドレールで支持された該収容治具の該欠損部を検出する、請求項２に記載の加工装置。
該識別ユニットは該ガイドレールで支持された該収容治具の該欠損部を検出する、請求項２に記載の加工装置。
【請求項4】
加工装置に装着される消耗品を収容する収容部を有した本体を備え、
該本体に形成された識別マークを有する、収容治具。
該本体に形成された識別マークを有する、収容治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、加工装置、加工装置で利用される消耗品を収容する収容治具に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体ウェーハを切削する加工装置として切削ブレードを備えた加工装置が広く利用されている。切削ブレードは切削によって消耗する消耗品であり、切削ブレードが消耗した場合には新品の切削ブレードに交換する必要がある。
【0003】
切削ブレード等の消耗品を交換する交換装置を備えた加工装置と、複数の消耗品を収容する収容治具（搬送用治具）が用いられている（例えば、特許文献１参照）。
【0004】
特許文献１に示された収容治具は、ワークとともにカセットに収容され、消耗品の交換時には搬送ユニットが収容治具をカセットから取り出して消耗品の交換位置へと搬送する。例えばあらかじめカセット内において収容治具を収容する位置とワークを収容する位置とをそれぞれ決めておくことで、搬送ユニットが収容治具とワークとを選択的に搬送できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特開２０１９－２０４９２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
しかしながら、特許文献１等に示された収容治具やワークがあらかじめ決められた位置ではない位置に収容されていた場合、収容治具を搬出しようとしてワークを消耗品交換位置へと搬送してしまい、ワークの破損リスクを高めるおそれがあるため、改善が切望されていた。
【0007】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、ワークの破損リスクを抑制することができる加工装置及び収容治具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0008】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工装置は、ワークを保持する保持テーブルと、該保持テーブルで保持されたワークを加工する加工ユニットと、を備えた加工装置であって、該加工装置で使用される消耗品を交換する交換機構と、該消耗品を収容する収容部を有した収容治具を収容する治具収容部と、該治具収容部から該収容治具を取り出す取出しユニットを含み、該治具収容部から該交換機構による消耗品交換位置へと該収容治具を搬送する搬送ユニットと、該取出しユニットが該治具収容部から取り出した該収容治具を識別する識別ユニットと、を備えたことを特徴とする。
【0009】
前記加工装置では、該保持テーブルは、ワークがテープを介してフレームに装着されたワークユニットの該ワークを該テープを介して保持し、該加工装置は、ワークユニットと、該収容治具と、を収容したカセットが載置されるカセット載置台と、該カセット載置台に隣接して配設され、該ワークユニットまたは該収容治具の両端部をそれぞれ支持する一対のガイドレールと、を備え、該カセット載置台は該治具収容部を構成し、該取出しユニットは、該カセット載置台上の該カセットから該ワークユニットまたは該収容治具を取出して該ガイドレール上に載置し、該識別ユニットは、該ガイドレール上で支持している物品が該ワークユニットか該収容治具かを判別しても良い。
【0010】
前記加工装置では、該収容治具は欠損部を有し、該識別ユニットは該ガイドレールで支持された該収容治具の該欠損部を検出しても良い。
【0011】
本発明の収容治具は、加工装置に装着される消耗品を収容する収容部を有した本体を備え、該本体に形成された識別マークを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【0012】
本発明は、ワークの破損リスクを抑制することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【0013】
【発明を実施するための形態】
【0014】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
【0015】
〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る加工装置を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。図２は、図１に示された加工装置の加工対象のワークを示す斜視図である。
本発明の実施形態１に係る加工装置を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。図２は、図１に示された加工装置の加工対象のワークを示す斜視図である。
【0016】
（ワーク）
実施形態１に係る加工装置１は、図２に示すワーク２００を切削（加工）する装置である。実施形態１では、ワーク２００は、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハ等のウェーハである。ワーク２００は、表面２０１に格子状に形成された複数の分割予定ライン２０２によって格子状に区画された領域にデバイス２０３が形成されている。
実施形態１に係る加工装置１は、図２に示すワーク２００を切削（加工）する装置である。実施形態１では、ワーク２００は、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハ等のウェーハである。ワーク２００は、表面２０１に格子状に形成された複数の分割予定ライン２０２によって格子状に区画された領域にデバイス２０３が形成されている。
【0017】
また、本発明のワーク２００は、中央部が薄化され、外周部に厚肉部が形成された所謂ＴＡＩＫＯ（登録商標）ウェーハでもよく、ウェーハの他に、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックス基板、フェライト基板、ガラス基板又はニッケル及び鉄の少なくとも一方を含む基板等でも良い。実施形態１において、ワーク２００は、外周縁にフレーム２１１が装着されたテープ２１０に裏面２０４が貼着されて、フレーム２１１に支持されて、ワークユニット２０５を構成している。ワークユニット２０５は、ワーク２００がテープ２１０を介してフレーム２１１に装着されて構成されている。
【0018】
フレーム２１１の外縁は、互いに平行な直線状の直線部２２１と、直線部２２１間に配置されかつ円弧状の円弧部２２２とが形成されている。また、実施形態１では、フレーム２１１の一つの直線部２２１（以下、符号２２１－１と記す）の両端には、切欠２２３が形成されている。切欠２２３は、フレーム２１１の外縁をフレーム２１１の内周側に向かって切り欠いて形成されている。
【0019】
（加工装置）
実施形態１に係る加工装置１は、図１に示すように、ワーク２００を保持面１１で吸引保持する保持テーブル１０と、保持テーブル１０が保持するワーク２００をスピンドル２３に装着した消耗品である切削ブレード２１で切削する切削ユニット２０と、保持テーブル１０に保持されたワーク２００を撮影する図示しない撮像ユニットと、切削ユニット２０の切削ブレード２１を交換する交換機構３と、制御ユニット１００とを備えて、ワーク２００を保持テーブル１０で保持し分割予定ライン２０２に沿って切削ブレード２１で切削（加工に相当）する切削装置である。
実施形態１に係る加工装置１は、図１に示すように、ワーク２００を保持面１１で吸引保持する保持テーブル１０と、保持テーブル１０が保持するワーク２００をスピンドル２３に装着した消耗品である切削ブレード２１で切削する切削ユニット２０と、保持テーブル１０に保持されたワーク２００を撮影する図示しない撮像ユニットと、切削ユニット２０の切削ブレード２１を交換する交換機構３と、制御ユニット１００とを備えて、ワーク２００を保持テーブル１０で保持し分割予定ライン２０２に沿って切削ブレード２１で切削（加工に相当）する切削装置である。
【0020】
また、加工装置１は、保持テーブル１０を水平方向と平行なＸ軸方向に加工送りする図示しないＸ軸移動ユニットと、切削ユニット２０を水平方向と平行でかつＸ軸方向に直交するＹ軸方向に割り出し送りする図示しないＹ軸移動ユニットと、切削ユニット２０をＸ軸方向とＹ軸方向との双方と直交する鉛直方向に平行なＺ軸方向に切り込み送りする図示しないＺ軸移動ユニットと、保持テーブル１０をＺ軸方向と平行な軸心回りに回転する回転移動ユニットとを少なくとも備える。加工装置１は、図１に示すように、切削ユニット２０を２つ備えた、即ち、２スピンドルのダイサ、いわゆるフェイシングデュアルタイプの加工装置である。
【0021】
（保持テーブル）
次に、保持テーブル１０を説明する。図３は、図１に示された加工装置の保持テーブルを示す斜視図である。保持テーブル１０は、図３に示すように円盤形状であり、ワーク２００を保持する保持面１１がポーラスセラミック等から形成されている。また、保持テーブル１０は、Ｘ軸移動ユニットにより切削ユニット２０の下方の加工位置と、切削ユニット２０の下方から離間してワーク２００が搬入出される搬入出位置とに亘ってＸ軸方向に移動自在に設けられ、かつ回転駆動源によりＺ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられている。
次に、保持テーブル１０を説明する。図３は、図１に示された加工装置の保持テーブルを示す斜視図である。保持テーブル１０は、図３に示すように円盤形状であり、ワーク２００を保持する保持面１１がポーラスセラミック等から形成されている。また、保持テーブル１０は、Ｘ軸移動ユニットにより切削ユニット２０の下方の加工位置と、切削ユニット２０の下方から離間してワーク２００が搬入出される搬入出位置とに亘ってＸ軸方向に移動自在に設けられ、かつ回転駆動源によりＺ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられている。
【0022】
保持テーブル１０は、図示しない真空吸引源と接続され、真空吸引源により吸引されることで、保持面１１に載置されたワーク２００を吸引、保持する。実施形態１では、保持テーブル１０は、ワークユニット２０５のワーク２００の裏面２０４側をテープ２１０を介して吸引、保持する。また、保持テーブル１０の周囲には、図１及び図３に示すように、フレーム２１１をクランプするクランプ部１２が複数設けられている。なお、図１は、ワーク２００の表面２０１上のデバイス２０３及びクランプ部１２の一部を省略している。
【0023】
また、保持テーブル１０の隣には、図３に示すように、Ｘ軸移動ユニットにより保持テーブル１０とともにＸ軸方向に移動するサブチャックテーブル１５が設けられている。即ち、加工装置１は、サブチャックテーブル１５を備える。サブチャックテーブル１５は、消耗品であるドレスボード３００を保持するものである。
【0024】
サブチャックテーブル１５は、矩形の板状に形成され、上面が保持テーブル１０の保持面１１と同一の高さとなる位置に配置されている。サブチャックテーブル１５は、上面１６にドレスボード３００が載置される。サブチャックテーブル１５は、上面１６に図示しない真空吸引源と接続された吸引溝１７が複数形成されている。サブチャックテーブル１５は、吸引溝１７が真空吸引源により吸引されることで、上面１６に載置されたドレスボード３００を吸引保持する。
【0025】
ドレスボード３００は、目詰まりしたり目つぶれして切削能力が低下した切削ブレード２１を目立てして、切削ブレード２１の切削能力を回復させるものである。切削ブレード２１を目立てして、切削ブレード２１の切削能力を回復させることを、ドレスするという。
【0026】
ドレスボード３００は、平面形状がサブチャックテーブル１５の上面１６と略同形状の矩形の板状に形成されている。ドレスボード３００は、樹脂やセラミックスのボンド材に、ＷＡ（ホワイトアランダム、アルミナ系）、ＧＣ（グリーンカーボナイト、炭化ケイ素系）などの砥粒が混ぜ込まれて構成されている。
【0027】
【0028】
切削ユニット２０は、切削水を供給しながら保持テーブル１０に保持されたワーク２００を切削する加工ユニットである。切削ユニット２０は、それぞれ、保持テーブル１０に保持されたワーク２００に対して、Ｙ軸移動ユニットによりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸移動ユニットによりＺ軸方向に移動自在に設けられている。
【0029】
一対の切削ユニット２０は、それぞれ、Ｙ軸移動ユニット及びＺ軸移動ユニットを介して、装置本体２から立設した門型の図示しない支持フレームの一方の柱部に設けられている。切削ユニット２０は、Ｙ軸移動ユニット及びＺ軸移動ユニットにより、保持テーブル１０の保持面１１の任意の位置に切削ブレード２１を位置付け可能となっている。
【0030】
切削ユニット２０は、図４に示すように、Ｙ軸移動ユニット及びＺ軸移動ユニットによりＹ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に設けられたスピンドルハウジング２２（図１に示す）と、スピンドルハウジング２２に軸心回りに回転自在に設けられかつ図示しないモータにより回転されるスピンドル２３と、スピンドル２３の先端部に装着されたマウントフランジ２４とを有し、スピンドル２３の先端にマウントフランジ２４を介して切削ブレード２１が装着される。このように、スピンドル２３は、先端にマウントフランジ２４を介して切削ブレード２１が装着される。
【0031】
実施形態１において、スピンドル２３の先端部は、先端に向うにしたがって徐々に外径が小さくなる円錐台状に形成されており、スピンドルハウジング２２の先端から突出している。また、スピンドル２３の先端部の外周面には、図示しない真空吸引源に接続された吸引路２３１が開口している。スピンドル２３の先端面には、ボルト２５が螺合可能なネジ穴２３２が設けられている。
【0032】
マウントフランジ２４は、円筒状のボス部２４１と、ボス部２４１の軸心方向の中央に設けられたフランジ部２４２とを備えている。ボス部２４１は、一端部２４３内にスピンドル２３の先端部が挿入され、他端部２４４内にボルト２５を収容する。ボス部２４１の一端部２４３の内周面は、スピンドル２３の先端部の外周面が密に接触可能に、他端部２４４に向うにしたがって徐々に内径が小さく形成されている。ボス部２４１の一端部２４３は、他端部２４４よりも外径が大きい。また、ボス部２４１の他端部２４４の内周面には、ボルト２５のネジを通すワッシャ２６が重ねられるワッシャ受け面２４５が形成されている。
【0033】
フランジ部２４２は、ボス部２４１の外径よりの大径な円環状に形成されている。フランジ部２４２は、外縁部に他端部２４４側に向かって凸の装着凸部２４６が全周に亘って設けられている。装着凸部２４６の表面２４７は、切削ブレード２１を保持する保持面であり、マウントフランジ２４の軸心に対して直交している。このために、マウントフランジ２４は、装着凸部２４６の表面２４７を有する。
【0034】
マウントフランジ２４は、ボス部２４１の一端部２４３内にスピンドル２３の先端部を収容し、ワッシャ受け面２４５に重ねられるワッシャ２６内を通ったボルト２５のネジ部がネジ穴２３２にねじ込まれることで、図４に示すように、スピンドル２３の先端部に装着される。また、マウントフランジ２４は、ボス部２４１の一端部２４３の内周面と、フランジ部２４２の装着凸部２４６の内側の表面２４８とに開口する吸引路２４９が設けられている。吸引路２４９は、マウントフランジ２４がスピンドル２３の先端部に装着されると、スピンドル２３の吸引路２３１と連通する。
【0035】
切削ブレード２１は、略リング形状を有する極薄の切削砥石である。実施形態１において、切削ブレード２１は、いわゆるハブブレードであり、図４、図５及び図６に示すように、アルミニウム合金等の金属で構成された円環状の支持基台２１２と、支持基台２１２の外周に固定されてワーク２００を切削する円環状の切り刃２１３を備える。支持基台２１２は、マウントフランジ２４のボス部２４１に装着するための装着孔２１４が中央に設けられている。装着孔２１４は、内側にマウントフランジ２４のボス部２４１を通す。切り刃２１３は、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材（結合材）とからなり所定厚みに形成されている。
【0036】
このように構成された切削ユニット２０は、切削ブレード２１の支持基台２１２の装着孔２１４がスピンドル２３の先端部に装着されたマウントフランジ２４のボス部２４１の他端部２４４の外周に嵌合される。このとき、支持基台２１２が装着凸部２４６の表面２４７に密に接触して保持される。切削ユニット２０は、真空吸引源により吸引路２３１，２４９を介して、フランジ部２４２の表面２４８、装着凸部２４６及び支持基台２１２の裏面２１５の間の空間が吸引されることで、切削ブレード２１をマウントフランジ２４に固定する。
【0037】
なお、切削ユニット２０のスピンドル２３、マウントフランジ２４及び切削ブレード２１の軸心は、Ｙ軸方向と平行に設定されている。
【0038】
撮像ユニットは、切削ユニット２０と一体的に移動するように、切削ユニット２０に固定されている。撮像ユニットは、保持テーブル１０に保持された切削前のワーク２００の分割すべき領域を撮影する撮像素子を備えている。撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子である。撮像ユニットは、保持テーブル１０に保持されたワーク２００を撮影して、ワーク２００と切削ブレード２１との位置合わせを行なうアライメントを遂行するため等の画像を得、得た画像を制御ユニット１００に出力する。
【0039】
Ｘ軸移動ユニットは、保持テーブル１０を加工送り方向であるＸ軸方向に移動させることで、保持テーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＸ軸方向に沿って加工送りするものである。Ｙ軸移動ユニットは、切削ユニット２０を割り出し送り方向であるＹ軸方向に移動させることで、保持テーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＹ軸方向に沿って割り出し送りするものである。Ｚ軸移動ユニットは、切削ユニット２０を切り込み送り方向であるＺ軸方向に移動させることで、保持テーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＺ軸方向に沿って切り込み送りするものである。
【0040】
Ｘ軸移動ユニット、Ｙ軸移動ユニット及びＺ軸移動ユニットは、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ、ボールねじを軸心回りに回転させる周知のモータ及び保持テーブル１０又は切削ユニット２０をＸ軸方向、Ｙ軸方向又はＺ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレールを備える。回転移動ユニットは、保持テーブル１０を軸心回りに回転するモータ等を備える。
【0041】
また、加工装置１は、保持テーブル１０のＸ軸方向の位置を検出するため図示しないＸ軸方向位置検出ユニットと、切削ユニット２０のＹ軸方向の位置を検出するための図示しないＹ軸方向位置検出ユニットと、切削ユニット２０のＺ軸方向の位置を検出するためのＺ軸方向位置検出ユニットとを備える。Ｘ軸方向位置検出ユニット及びＹ軸方向位置検出ユニットは、Ｘ軸方向、又はＹ軸方向と平行なリニアスケールと、読み取りヘッドとにより構成することができる。Ｚ軸方向位置検出ユニットは、モータのパルスで切削ユニット２０のＺ軸方向の位置を検出する。Ｘ軸方向位置検出ユニット、Ｙ軸方向位置検出ユニット及びＺ軸方向位置検出ユニットは、保持テーブル１０のＸ軸方向、切削ユニット２０のＹ軸方向又はＺ軸方向の位置を制御ユニット１００に出力する。
【0042】
また、加工装置１は、図１に示すように、収容室４０と、収容室４０が設置されかつカセット５１が載置されるカセット載置台５０と、仮置き部であるテーブルカバー６０と、切削加工後のワーク２００を洗浄する洗浄ユニット７０と、搬送手段である搬送ユニット８０とを備える。
【0043】
次に、収容室４０を説明する。収容室４０は、後述する収容治具４００，４００－１（図５及び図７に示す）等の物品を収容可能な箱状に形成され、洗浄ユニット７０側に設けられた図示しない開口を通して収容治具４００，４００－１等の物品を出し入れ自在とする。また、収容室４０は、洗浄ユニット７０から離れた側に開閉自在に設けられた開閉扉４９（図１に示す）を開閉することで、洗浄ユニット７０から離れた側に設けられた図示しない開口を通して例えばオペレータ等が収容治具４００，４００－１等の物品を出し入れ自在とする。
【0044】
収容室４０は、カセット載置台５０上に設置されている。収容室４０は、カセット５１の下方でかつカセット載置台５０上に設置されて、カセット載置台５０とともに、Ｚ軸方向に沿って昇降する。
【0045】
次に、カセット５１を説明する。図５は、図１に示された加工装置のカセットに収容される収容治具の構成例を示す平面図である。図６は、図５中のＶＩ－ＶＩ線に沿う断面図である。図７は、図１に示された加工装置のカセットに収容される他の収容治具の構成例を示す平面図である。
【0046】
カセット５１は、ワークユニット２０５を収容するための箱状の収容器である。カセット５１は、切削加工前後のワーク２００をＺ軸方向に間隔をあけて、ワークユニット２０５を複数収容する。カセット５１は、洗浄ユニット７０側の開口を通してワークユニット２０５を出し入れ自在とする。カセット５１は、収容室４０上に設置される。カセット５１は、両端に切欠２２３を設けた直線部２２１－１を他の直線部２２１よりも洗浄ユニット７０側の開口から最も離れた位置に位置する向きでワークユニット２０５を収容する。
【0047】
また、カセット５１は、図５及び図６に示された収容治具４００と、図７に示す収容治具４００－１とを収容する。このために、実施形態１では、カセット５１は、収容治具４００，４００－１を収容する治具収容部でもあり、ワークユニット２０５と、収容治具４００，４００－１とを収容する。図５及び図６に示された収容治具４００は、消耗品である切削ブレード２１とドレスボード３００を収容し、切削ユニット２０に装着された切削ブレード２１を交換する際、及びサブチャックテーブル１５に保持されるドレスボード３００を交換する際に、切削ブレード２１及びドレスボード３００をカセット５１から搬入出位置の保持テーブル１０を覆うテーブルカバー６０上に運搬するための治具である。
【0048】
収容治具４００は、外縁の平面形状がフレーム２１１の外縁の平面形状と等しい板状に形成された本体４０４を備えている。このために、収容治具４００の外縁は、図５に示すように、互いに平行な直線状の直線部４０１と、直線部４０１間に配置されかつ円弧状の円弧部４０２とが形成されている。また、実施形態１では、収容治具４００の一つの直線部４０１（以下、符号４０１－１と記す）の両端には、切欠４０３が形成されている。切欠４０３は、収容治具４００の外縁を収容治具４００の内周側に向かって切り欠いて形成されている。
【0049】
収容治具４００は、図６に示すように、ガラスや樹脂等の透明な材料で構成された厚みが一様の透明板４１０（透明部材に相当）と、透明板４１０に積層されかつ厚みが一様の硬質板４１１とを備える。硬質板４１１は、例えば、ステンレス鋼等の金属などで構成され、厚みが一様に形成されている。
【0050】
硬質板４１１は、消耗品である切削ブレード２１を収容するブレード収容部４２０（収容部に相当）とドレスボード３００を収容するボード収容部４３０（収容部に相当）とをそれぞれ複数設けている。即ち、収容治具４００の本体３０３は、ブレード収容部４２０とボード収容部４３０とをそれぞれ複数有する。
【0051】
実施形態１では、硬質板４１１は、外縁部に収容治具４００の外縁に沿って間隔をあけてブレード収容部４２０を複数設け、中央部にボード収容部４３０を複数設けている。このように、収容治具４００の本体４０４は、ブレード収容部４２０とボード収容部４３０とを有している。実施形態１において、ブレード収容部４２０は、硬質板４１１を貫通した円形孔４２１と、円形孔４２１内に設けられたスペーサ４２２と、スペーサ４２２から突出した凸部４２３とを備える。
【0052】
円形孔４２１は、平面形状が円形に形成され、内径が切り刃２１３の外径よりも大径である。スペーサ４２２は、直径が切り刃２１３の外径及び支持基台２１２の外径よりも小径でかつ硬質板４１１よりも薄い円板状に形成され、円形孔４２１内に円形孔４２１と同軸に配置されて、透明板４１０上に固定されている。凸部４２３は、外径が切削ブレード２１の装着孔２１４の内径よりも若干小さい円柱状に形成されている。凸部４２３は、スペーサ４２２と同軸に配置されて、スペーサ４２２上に固定されている。ブレード収容部４２０は、凸部４２３が装着孔２１４に通されて、スペーサ４２２に裏面２１５側が重ねられて、円形孔４２１内に切削ブレード２１を収容する。
【0053】
実施形態１では、ブレード収容部４２０は、切削ブレード２１を収容する際に、スペーサ４２２が支持基台２１２の裏面２１５に当接して、切り刃２１３が透明板４１０即ち円形孔４２１の底面に接触することを規制する。
【0054】
実施形態１において、ボード収容部４３０は、硬質板４１１を貫通した矩形孔４３１により構成されている。矩形孔４３１は、平面形状がドレスボード３００の平面形状と同様の矩形状に形成されている。ボード収容部４３０は、矩形孔４３１内に透明板４１０上に載置されたドレスボード３００を収容する。
【0055】
前述した構成の収容治具４００は、収容部４２０，４３０に切削ブレード２１及びドレスボード３００を収容した状態で、カセット５１内に収容されることが可能であるとともに、搬送ユニット８０によりフレーム２１１と同様に搬送されることが可能である。即ち、収容治具４００は、ワーク２００と共通の搬送ユニット８０によって、カセット５１と保持テーブル１０上との間で搬送される。
【0056】
図７に示された収容治具４００－１は、消耗品であるドレスボード３００を収容し、サブチャックテーブル１５に保持されるドレスボード３００を交換する際に、ドレスボード３００をカセット５１から搬入出位置の保持テーブル１０を覆うテーブルカバー６０上に運搬するための治具である。なお、収容治具４００－１の説明において、収容治具４００と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
【0057】
収容治具４００－１は、収容治具４００と同様に、ガラスや樹脂等の透明な材料で構成された厚みが一様の透明板４１０（透明部材に相当）と、透明板４１０に積層されかつ厚みが一様の硬質板４１１とを備える。硬質板４１１は、例えば、ステンレス鋼等の金属などで構成され、厚みが一様に形成されている。
【0058】
硬質板４１１は、消耗品であるドレスボード３００を収容するボード収容部４３０（収容部に相当）をそれぞれ複数設けている。即ち、収容治具４００－１の本体４０４は、ボード収容部４３０を複数有している。
【0059】
実施形態１では、硬質板４１１は、互いに交差する直線部４０１に沿って間隔をあけてボード収容部４３０を複数設けている。
【0060】
前述した構成の収容治具４００，４００－１は、収容部４２０，４３０に切削ブレード２１及びドレスボード３００を収容した状態で、カセット５１内に収容されることが可能であるとともに、搬送ユニット８０によりフレーム２１１と同様に搬送されることが可能である。即ち、収容治具４００は、ワーク２００と共通の搬送ユニット８０によって、カセット５１と保持テーブル１０上との間で搬送される。また、収容治具４００，４００－１は、両端に切欠４０３を設けた直線部４０１－１を他の直線部４０１よりも洗浄ユニット７０側の開口から最も離れた位置に位置する向きでカセット５１内に収容される。また、収容治具４００，４００－１は、予めカセット５１内のＺ軸方向の位置が定められている。
【0061】
カセット載置台５０は、収容室４０及びカセット５１をＺ軸方向に沿って昇降させる。
【0062】
テーブルカバー６０は、搬入出位置の保持テーブル１０のＹ軸方向の隣に配置されている。テーブルカバー６０は、平板状に形成され、装置本体２の外縁部にヒンジ６１を中心に回転自在に設けられている。テーブルカバー６０は、両表面が鉛直方向と平行でかつ保持テーブル１０の保持面１１から退避する図１中に実線で示す待機位置と、両表面が水平方向と平行でかつ保持テーブル１０の保持面１１上に重なる図１中に二点鎖線で示すテーブル保護位置とに亘って図示しない駆動装置により移動される。テーブルカバー６０は、切削ブレード２１及びドレスボード３００の交換時に、テーブル保護位置に位置付けられて、収容治具４００が仮置きされる。なお、テーブルカバー６０がテーブル保護位置に位置付けられても、サブチャックテーブル１５の上面１６は、テーブルカバー６０に覆われることなく露出する。
【0063】
洗浄ユニット７０は、ワーク２００を吸引保持するとともに、Ｚ軸方向と平行な軸心回りに回転するスピンナーテーブル７１と、スピンナーテーブル７１に吸引保持されたワーク２００に洗浄液を供給する洗浄液供給ノズルとを備える。実施形態１では、洗浄ユニット７０は、カセット載置台５０即ちカセット５１及び収容室４０のＸ軸方向の隣に配置され、かつ搬入出位置の保持テーブル１０のＹ軸方向の隣に配置されている。
【0064】
次に、搬送ユニット８０を説明する。図８は、図１に示された加工装置の搬送ユニットの一方の搬送アームの搬出入ユニットが収容治具をカセットから取り出した状態を模式的に示す斜視図である。搬送ユニット８０は、ワーク２００を切削する際に、ワーク２００をカセット５１、保持テーブル１０、洗浄ユニット７０、カセット５１に順に搬送するものである。また、搬送ユニット８０は、切削ブレード２１及びドレスボード３００の交換時に、カセット５１からテーブル保護位置のテーブルカバー６０上の消耗品交換位置へと収容治具４００，４００－１を搬送するとともに、テーブルカバー６０上の消耗品交換位置からカセット５１内に収容治具４００，４００－１を搬送するものである。
【0065】
搬送ユニット８０は、図１に示すように、一対の搬送アーム８１と、一対のガイドレール８２とを備える。実施形態１では、一対の搬送アーム８１は、装置本体２にＸ軸方向及びＹ軸方向に移動自在に設けられかつ下方に伸張するシリンダユニット８３と、シリンダユニット８３のロッド８４の先端に取り付けられた吸着部８５とを備える。シリンダユニット８３は、ロッド８４が伸縮自在に設けられ、ロッド８４の伸縮方向がＺ軸方向と平行に配置されている。吸着部８５は、フレーム２１１を吸引保持可能であるとともに、収容治具４００の外縁部を吸引保持可能である。
【0066】
また、一方の搬送ユニット８０の吸着部８５は、フレーム２１１又は収容治具４００，４００－１の外縁部を保持して、ワーク２００をカセット５１に出し入れ自在とするとともに収容治具４００，４００－１をカセット５１に出し入れ自在とする搬出入ユニット８６が取り付けられている。搬出入ユニット８６は、カセット５１から収容治具４００，４００－１を取り出す取出しユニットである。取出しユニットである搬出入ユニット８６は、カセット載置台５０上のカセット５１からワークユニット２０５または収容治具４００，４００－１を取り出してガイドレール８２上に載置する。こうして、搬送ユニット８０は、取出しユニットである搬出入ユニット８６を含み、カセット５１から交換機構３による消耗品交換位置へと収容治具４００，４００－１を搬送するものである。
【0067】
一対のガイドレール８２は、カセット載置台５０即ちカセット５１及び収容室４０のＸ軸方向の隣に隣接して配設され、互いにＹ軸方向に間隔をあけて配置されている。また、一対のガイドレール８２は、Ｘ軸方向と平行な直線状に形成され、フレーム２１１及び収容治具４００，４００－１が上面に載置される載置壁８７と、載置壁８７の互いに離れた側の縁から立設した位置決め壁８８とを備えている。一対のガイドレール８２は、載置壁８７上にフレーム２１１及び収容治具４００，４００－１のＹ軸方向の両端部が載置されて、フレーム２１１及び収容治具４００，４００－１のＹ軸方向の両端部をそれぞれ支持する。また、一対のガイドレール８２は、Ｙ軸方向に図示しない駆動機構により移動自在に設けられ、移動機構により互いに離れる方向又は互いに近付く方向に移動される。
【0068】
搬送ユニット８０は、一対のガイドレール８２が互いに離れた状態で一方の搬送アーム８１が移動されかつ一方の搬送アーム８１のシリンダユニット８３のロッド８４が伸縮されることで、カセット５１内のワークユニット２０５のフレーム２１１を搬出入ユニット８６で保持して、カセット５１から一対のガイドレール８２の載置壁８７上に搬出する。また、搬送ユニット８０は、同様に、図８に示すように、カセット５１の収容治具４００，４００－１を搬出入ユニット８６で保持して、カセット５１から一対のガイドレール８２の載置壁８７上に搬出する。なお、図８は、収容治具４００，４００－１のうち収容治具４００－１を代表して示している。
【0069】
搬送ユニット８０は、一対のガイドレール８２を互いに近づけ、位置決め壁８８によりワーク２００又は収容治具４００をＹ軸方向に位置決めし、一方の搬送アーム８１の吸着部８５がフレーム２１１又は収容治具４００，４００－１を吸引保持し、一方の搬送アーム８１のシリンダユニット８３がＹ軸方向に移動されかつシリンダユニット８３のロッド８４が伸縮されることで、吸引保持したワーク２００を保持テーブル１０の保持面１１上に搬送するとともに、収容治具４００をテーブル保護位置のテーブルカバー６０上に搬送する。
【0070】
搬送ユニット８０は、切削加工後のワーク２００を他方の搬送アーム８１で洗浄ユニット７０のスピンナーテーブル７１に搬送した後、洗浄後のワーク２００を一方の搬送アーム８１でガイドレール８２の載置壁８７上に搬送した後、搬出入ユニット８６でワーク２００をカセット５１内に収容する。また、搬送ユニット８０は、テーブルカバー６０上の収容治具４００を一方の搬送アーム８１でガイドレール８２の載置壁８７上に搬送した後、搬出入ユニット８６でカセット５１内に収容する。
【0071】
（交換機構）
次に、本明細書は、交換機構３を図面に基づいて説明する。図９は、図１に示された加工装置の交換機構の構成例を示す斜視図である。図１０は、図９に示された交換機構の構成例を示す他の斜視図である。
次に、本明細書は、交換機構３を図面に基づいて説明する。図９は、図１に示された加工装置の交換機構の構成例を示す斜視図である。図１０は、図９に示された交換機構の構成例を示す他の斜視図である。
【0072】
交換機構３は、加工装置１で使用される消耗品である切削ブレード２１とドレスボード３００を交換するものである。交換機構３は、図１、図９及び図１０に示すように、切削ユニット２０に装着された切削ブレード２１及びサブチャックテーブル１５に保持されたドレスボード３００を交換する交換装置３０と、移動ユニット３１とを備える。実施形態１において、交換機構３は、図１に示すように、搬入出位置の保持テーブル１０のＹ軸方向の隣に配置され、保持テーブル１０との間にテーブルカバー６０を設けている。
【0073】
移動ユニット３１は、交換装置３０を切削ユニット２０及び搬入出位置の保持テーブル１０の保持面１１上から退避させた図１及び図９に示す待機位置と、交換装置３０が切削ユニット２０の切削ブレード２１及びサブチャックテーブル１５に保持されたドレスボード３００を交換する図１０に示す交換位置との間で交換装置３０を移動させるものである。
【0074】
実施形態１では、移動ユニット３１は、装置本体２等に固定されたベース部３１１と、昇降部材３１２と、第１回転アーム３１３と、第２回転アーム３１４と、昇降機構３１５と、第１回転機構３１６と、第２回転機構３１７と、第３回転機構３１８とを備える。ベース部３１１は、Ｚ軸方向と平行な直線状に形成され、実施形態１では、装置本体２の上面から上方に延びている。昇降部材３１２は、ベース部３１１にＺ軸方向に移動自在に設けられている。
【0075】
第１回転アーム３１３及び第２回転アーム３１４は、直線状に延在している。第１回転アーム３１３は、一端部がＺ軸方向と平行な第１回転軸３１９１回りに昇降部材３１２に回転自在に支持されている。第１回転アーム３１３の他端部と第２回転アーム３１４の一端部とがＺ軸方向と平行な第２回転軸３１９２回りに互いに回転自在に支持されている。第２回転アーム３１４は、他端部がＺ軸方向と平行な第３回転軸３１９３回りに交換装置３０を回転自在に支持している。
【0076】
昇降機構３１５は、ベース部３１１に対して昇降部材３１２をＺ軸方向に移動させる。第１回転機構３１６は、昇降部材３１２に対して第１回転アーム３１３の一端部を第１回転軸３１９１回りに回転させる。第２回転機構３１７は、第１回転アーム３１３の他端部と第２回転アーム３１４の一端部とを互いに第２回転軸３１９２回りに回転させる。第３回転機構３１８は、第２回転アーム３１４の他端部に対して交換装置３０を第３回転軸３１９３回りに回転させる。
【0077】
交換装置３０は、装置本体３０１と、図示しない回転機構と、交換ユニット３２とを備える。装置本体３０１は、移動ユニット３１の第２回転アーム３１４の他端部に第３回転軸３１９３回りに回転自在に支持され、第３回転機構３１８により第３回転軸３１９３回りに回転される。回転機構は、装置本体２に対して交換ユニット３２を水平方向と平行な軸心３２０回りに回転させる。
【0078】
交換ユニット３２は、回転機構により軸心３２０回りに回転される図示しない回転軸と、回転軸の周囲に設けられた第１保持部３３（図１０に示す）と、第２保持部３４（図１０に示す）と、第３保持部３５（図９に示す）と、第４保持部３６（図１０に示す）とを備える。
【0079】
保持部３３，３４，３５，３６は、回転軸の周囲に等間隔に配置されている。保持部３３，３４，３５，３６は、軸心が軸心３２０に対して直交する円板状に形成されている。また、保持部３３，３４，３５，３６は、互いに隣り合う軸心同士が直交している。保持部３３，３４，３５，３６は、軸心３２０の外周側に切削ブレード２１及びドレスボード３００を吸引保持する保持面３３１，３４１，３５１，３６１を有している。
【0080】
実施形態１において、各保持部３３，３４，３５，３６は、保持面３３１，３４１，３５１，３６１に切削ブレード２１の支持基台２１２の裏面２１５の反対側の表面２１７（図４に示す）及びドレスボード３００の上面５０３（図３に示す）を吸引保持するものである。実施形態１では、各保持部３３，３４，３５，３６は、保持面３３１，３４１，３５１，３６１の中央にマウントフランジ２４のボス部２４１の他端部２４４を通すことができる装着穴３２５が設けられ、保持面３３１，３４１，３５１，３６１の装着穴３２５の外周に図示しない真空吸引源から吸引されることで切削ブレード２１の支持基台２１２及びドレスボード３００を吸引、保持する吸引保持溝３２６が設けられている。また、実施形態１では、各保持部３３，３４，３５，３６は、切削ブレード２１の支持基台２１２の表面２１７を吸引保持しているが、本発明では、各保持部３３，３４，３５，３６に対する切削ブレード２１の固定方法はこれに限定されない。
【0081】
前述した構成の交換機構３は、加工装置１の切削加工中では移動ユニット３１が第１回転アーム３１３の一端部と第２回転アーム３１４の他端部とを互いに近づけ、交換装置３０をベース部３１１に対向させて、交換装置３０を図１及び図９に示す待機位置に位置付ける。交換機構３は、各切削ユニット２０の切削ブレード２１を交換する際、及びサブチャックテーブル１５に保持されたドレスボード３００を交換する際には、移動ユニット３１が、第１回転アーム３１３の一端部と第２回転アーム３１４の他端部とを互いに遠ざけ、交換装置３０を切削ユニット２０に対向させて、交換装置３０を図１０に示す交換位置に位置付ける。
【0082】
また、実施形態１において、収容治具４００，４００－１は、図５及び図７に示すように、本体４０４に形成された識別マーク５００を有し、フレーム２１１は、図２に示すように、識別マーク５００を有していない。なお、識別マーク５００は、カセット５１から取り出されたものが収容治具４００，４００－１とフレーム２１１のいずれかであるかを識別するためのマークである。また、本発明では、識別マーク５００は、収容治具４００，４００－１の種類を識別するためのマークであってもよい。
【0083】
実施形態１では、識別マーク５００は、欠損部である貫通孔５０１を有している。収容治具４００，４００－１は、実施形態１では、一方のガイドレール８２に支持される直線部４０１の縁部である互いに同じ位置の所定領域４０５に貫通孔５０１を有している。収容治具４００は、所定領域４０５の両端と中央に貫通孔５０１を設けて、貫通孔５０１を合計３つ有している。また、収容治具４００－１は、所定領域４０５の両端に貫通孔５０１を設けて、貫通孔５０１を合計２つ有している。
【0084】
また、加工装置１は、図８に示すように、識別ユニット９０を備えている。次に、識別ユニット９０を説明する。図１１は、図１に示された加工装置の識別ユニットが図７に示された収容治具を検出した際の信号の一例を示す図である。図１２は、図１に示された加工装置の識別ユニットが図５に示された収容治具を検出した際の信号の一例を示す図である。図１３は、図１に示された加工装置の識別ユニットが図２に示されたフレームを検出した際の信号の一例を示す図である。
【0085】
識別ユニット９０は、搬出入ユニット８６がカセット５１や収容室４０である治具収容部から取り出した収容治具４００，４００－１を識別するものである。識別ユニット９０は、搬出入ユニット８６がカセット５１から取り出してガイドレール８２上で支持している物品がワークユニット２０５、収容治具４００，４００－１のいずれかであるかを識別するものである。即ち、実施形態１では、識別ユニット９０は、搬出入ユニット８６がカセット５１から取り出してガイドレール８２上で支持している物品がワークユニット２０５が収容治具４００，４００－１かを判別するものである。実施形態１では、識別ユニット９０は、一方のガイドレール８２の位置決め壁８８から立設した立設部材９１と、一方のガイドレール８２の載置壁８７に設けられた発光部９２と、立設部材９１に発光部９２とＺ軸方向に対向して設けられかつ発光部９２が発光した光を受光する受光部９３とを備える。
【0086】
発光部９２が発光した光は、収容治具４００，４００－１の本体４０４及びフレーム２１１により遮られて受光部９３に受光されない。発光部９２が発光した光は、収容治具４００，４００－１の本体４０４の所定領域４０５に設けられた貫通孔５０１内を通って受光部９３に受光される。受光部９３は、図１１及び図１２に示すように、発光部９２が発光した光を受光すると、光の受光に応じた信号９４を制御ユニット１００に出力するとともに、図１３に示すように、発光部９２が発光した光を受光しないと、光の受光に応じた信号９４を制御ユニット１００に出力しない。なお、図１１、図１２及び図１３の横軸は、時間を示している。
【0087】
こうして、実施形態１では、識別ユニット９０は、受光部９３が光を受光するか否かで即ち信号９４を出力するか否かで、ガイドレール８２で支持された収容治具４００，４００－１の識別マーク５００の欠損部である貫通孔５０１を検出する。また、実施形態１では、識別ユニット９０は、一方のガイドレール８２に設けられているので、搬出入ユニット８６がカセット５１から収容治具４００，４００－１及びワークユニット２０５を取り出す際に、信号９４を制御ユニット１００に出力する。ガイドレール８２上に取り出された物品が収容治具４００－１であると、図１１に示すように、受光部９３が貫通孔５０１に応じた数の信号９４を制御ユニット１００に出力して、制御ユニット１００は、ガイドレール８２上に取り出されたものが収容治具４００－１であると識別する。
【0088】
また、ガイドレール８２上に取り出された物品が収容治具４００であると、図１２に示すように、受光部９３が貫通孔５０１に応じた数の信号９４を制御ユニット１００に出力して、制御ユニット１００は、ガイドレール８２上に取り出されたものが収容治具４００であると識別する。ガイドレール８２上に取り出された物品がワークユニット２０５であると、図１３に示すように、受光部９３が信号９４を制御ユニット１００に出力せずに、制御ユニット１００は、ガイドレール８２上に取り出されたものがワークユニット２０５であると識別する。こうして、実施形態１では、識別ユニット９０は、一方のガイドレール８２に設けられているので、搬出入ユニット８６がカセット５１から収容治具４００，４００－１及びワークユニット２０５を取り出す際に、信号９４を制御ユニット１００に出力するか否か及び信号９４間の時間間隔及び数により、ガイドレール８２上で支持している物品がワークユニット２０５か収容治具４００，４００－１かを判別する。
【0089】
制御ユニット１００は、加工装置１の上述した各構成要素をそれぞれ制御して、ワーク２００に対する加工動作を加工装置１に実施させるものである。即ち、制御ユニット１００は、少なくとも切削ユニット２０と交換機構３を制御するものである。なお、制御ユニット１００は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御ユニット１００の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、加工装置１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して加工装置１の上述した構成要素に出力する。
【0090】
制御ユニット１００は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される図示しない表示ユニットと、オペレータが加工条件などを登録する際に用いる入力ユニットと、報知ユニットとに接続されている。入力ユニットは、表示ユニットに設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。報知ユニットは、音と光のうち少なくとも一方を発して、オペレータに報知する。
【0091】
前述した構成の加工装置１は、収容治具４００，４００－１及びワークユニット２０５が収容されたカセット５１がカセット載置台５０に設置され、サブチャックテーブル１５の上面１６にドレスボード３００が載置される。加工装置１は、オペレータが入力した加工条件を受け付けて、制御ユニット１００に登録する。オペレータからの加工開始指示を受け付けると、加工動作を開始する。なお、加工条件は、カセット５１内の収容治具４００，４００－１の位置を示す情報と、各収容治具４００，４００－１の種類と、識別マーク５００の貫通孔５０１の数や貫通孔５０１間の間隔を紐付けた情報も含む。
【0092】
加工動作では、加工装置１は、制御ユニット１００が、真空吸引源を駆動して各切削ユニット２０のスピンドル２３に取り付けられたマウントフランジ２４に切削ブレード２１を固定するとともに、切削水を供給しながらスピンドル２３即ち切削ブレード２１を加工条件で定められた回転数で回転する。実施形態１において、加工動作では、加工装置１は、制御ユニット１００が、テーブルカバー６０を待機位置に位置付け、交換機構３の交換装置３０を待機位置に位置付けるとともに、サブチャックテーブル１５の上面１６にドレスボード３００を吸引保持する。
【0093】
実施形態１において、加工動作では、加工装置１は、制御ユニット１００が、搬送ユニット８０にカセット５１内からワークユニット２０５を搬入出位置の保持テーブル１０まで搬送させ、テープ２１０を介して裏面２０４側を保持テーブル１０の保持面１１に吸引保持させるとともに、クランプ部１２にフレーム２１１をクランプさせる。なお、加工装置１は、カセット５１からワークユニット２０５をガイドレール８２上に取り出す際に、制御ユニット１００がカセット載置台５０を制御して、取り出すワークユニット２０５のフレーム２１１の下面をガイドレール８２の載置壁８７の上面と同一平面上に位置付けた後、搬出入ユニット８６によりカセット５１内からワークユニット２０５を取り出す。実施形態１において、加工動作では、加工装置１は、制御ユニット１００が、Ｘ軸移動ユニットに保持テーブル１０を加工位置に向かって移動させて、撮像ユニットにワーク２００を撮影させて、撮像ユニットが撮影して得た画像に基づいて、アライメントを遂行する。
【0094】
実施形態１において、加工動作では、加工装置１は、制御ユニット１００が、分割予定ライン２０２に沿ってワーク２００と切削ユニット２０とを相対的に移動させながら、切削ブレード２１を各分割予定ライン２０２に切り込ませてワーク２００を個々のデバイス２０３に分割する。実施形態１において、加工動作では、加工装置１は、制御ユニット１００が、個々のデバイス２０３に分割されたワーク２００を洗浄ユニット７０に洗浄させた後、搬送ユニット８０にカセット５１に収容させる。実施形態１において、加工装置１は、制御ユニット１００が、カセット５１内のワークユニット２０５のワーク２００の切削加工が終了すると加工動作を終了する。
【0095】
また、加工装置１は、制御ユニット１００が、各切削ユニット２０に装着された切削ブレード２１及びサブチャックテーブル１５に保持したドレスボード３００を交換する交換タイミングであると、加工装置１は、制御ユニット１００が、各切削ユニット２０の切削ブレード２１の回転を停止し、切削水の供給を停止する。なお、交換タイミングは、各切削ユニット２０の切削ブレード２１及びサブチャックテーブル１５に保持したドレスボード３００を交換するタイミングであることをいい、切削ブレード２１の交換タイミングは、例えば、予め設定された数のワーク２００を切削する毎や切削ブレード２１が予め設定された量消耗した毎であり、各切削ブレード２１毎に定められ、加工条件の一部として制御ユニット１００に登録される。
【0096】
ドレスボード３００の交換タイミングは、例えば、予め設定された回数ドレスされた毎であり、加工条件の一部として制御ユニット１００に登録される。また、本発明の交換タイミングは、まさに１枚のワーク２００を加工している途中でも良く、複数のワーク２００を連続して加工する際に、ワーク２００を交換するタイミングでも良い。また、実施形態１において、加工装置１は、制御ユニット１００が、保持テーブル１０を搬入出位置に位置付け、テーブルカバー６０をテーブル保護位置に位置付け、搬送ユニット８０にカセット５１内から収容治具４００，４００－１のいずれかを搬入出位置の保持テーブル１０上まで搬送させて、テーブル保護位置のテーブルカバー６０上に載置させる。
【0097】
なお、加工装置１は、カセット５１から収容治具４００，４００－１のいずれかをガイドレール８２上に取り出す際に、制御ユニット１００がカセット載置台５０を制御して、取り出す収容治具４００，４００－１の下面をガイドレール８２の載置壁８７の上面と同一平面上に位置付けた後、搬出入ユニット８６によりカセット５１内から収容治具４００，４００－１のいずれかを取り出す。なお、実施形態１では、消耗品交換位置は、テーブル保護位置に位置付けられたテーブルカバー６０上の位置であるが、本発明では、一対のガイドレール８２の載置壁８７上の位置でも良い。加工装置１は、制御ユニット１００が交換機構３を制御して、切削ブレード２１及びドレスボード３００を交換し、搬送ユニット８０を制御して、収容治具４００，４００－１のいずれかをカセット５１内に搬送する。
【0098】
また、加工装置１は、カセット５１からワークユニット２０５と収容治具４００，４００－１のいずれかをガイドレール８２上に取り出す際に、制御ユニット１００がガイドレール８２上の物品がワークユニット２０５と収容治具４００，４００－１のうちの所望の物品であるか否かを識別ユニット９０により識別する。加工装置１は、カセット５１からワークユニット２０５と収容治具４００，４００－１のいずれかをガイドレール８２上に取り出した際に、制御ユニット１００がガイドレール８２上の物品がワークユニット２０５と収容治具４００，４００－１のうちの所望の物品であると識別ユニット９０により識別すると、加工動作及び交換動作を継続する。加工装置１は、カセット５１からワークユニット２０５と収容治具４００，４００－１のいずれかをガイドレール８２上に取り出した際に、制御ユニット１００がガイドレール８２上の物品がワークユニット２０５と収容治具４００，４００－１のうちの所望の物品ではないと識別ユニット９０により識別すると、加工動作及び交換動作を停止し、報知ユニットを動作させてオペレータに報知する。
【0099】
以上のように、実施形態１に係る加工装置１は、カセット５１から収容治具４００，４００－１を取り出す搬出入ユニット８６を含む搬送ユニット８０と、搬出入ユニット８６がカセット５１から取り出した収容治具４００，４００－１を識別する識別ユニット９０とを備える。このため、加工装置１は、搬出入ユニット８６がカセット５１から取り出した物品が収容治具４００，４００－１か否かを判別することができる。
【0100】
その結果、実施形態１に係る加工装置１は、ワーク２００を消耗品交換位置へと搬送することを抑制することができ、ワーク２００の破損リスクを抑制することができるという効果を奏する。
【0101】
また、実施形態１に係る収容治具４００，４００－１は、切削ブレード２１やドレスボード３００を収容する収容部４２０，４３０を有した本体４０４に識別マーク５００を有しているので、カセット５１から取り出した物品が収容治具４００，４００－１か否かを判別させることができる。
【0102】
なお、実施形態１では、識別マーク５００が備える欠損部が貫通孔５０１であるが、本発明では、欠損部は、貫通孔５０１に限らず、収容治具４００，４００－１の本体４０４の一部を欠損していれば、貫通孔５０１に限定されない。
【0103】
〔実施形態２〕
実施形態２に係る加工装置を図面に基づいて説明する。図１４は、実施形態２に係る加工装置の要部を模式的に示す斜視図である。なお、図１４は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
実施形態２に係る加工装置を図面に基づいて説明する。図１４は、実施形態２に係る加工装置の要部を模式的に示す斜視図である。なお、図１４は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
【0104】
実施形態２に係る加工装置１は、識別マーク５００－２と識別ユニット９０－２の構成が実施形態１と異なること以外、実施形態１と同じである。実施形態２において、識別マーク５００－２は、収容治具４００，４００－１の本体４０４の所定領域４０５に付されている。実施形態２において、識別マーク５００－２は、収容治具４００，４００－１の少なくとも種類を示す情報を含んでいる。実施形態２では、識別マーク５００－２は、周知の２次元コードであるが、１次元コードでも良く、図形、数字、文字又はこれらの組み合わせでも良い。
【0105】
なお、本発明では、識別マーク５００－２は、消耗品の種類、数、それらを置く位置の情報を含んでも良く、収容治具４００，４００－１のシリアルナンバーを示す情報を含んでも良い。また、本発明では、識別マーク５００－２は、切削ブレード２１の情報（品種、ロットナンバー、シリアルナンバー、刃先出し量、刃厚、外径など）、切削ブレード２１が収容治具４００，４００－１のどの位置に載置されているかを示す情報を含んでも良い。また、本発明では、識別マーク５００－２は、ドレスボード３００の情報（品種、ロットナンバー、シリアルナンバー、大きさなど）、ドレスボード３００が収容治具４００，４００－１のどの位置に載っているかを示す情報を含んでも良い。また、消耗品として、収容治具４００，４００－１がプリカットボードを収容する際には、識別マーク５００－２は、プリカットボードの情報（品種、ロットナンバー、シリアルナンバー、大きさなど）、プリカットボードが収容治具４００，４００－１のどの位置に載っているかを示す情報を含んでも良い。また、消耗品として、収容治具４００，４００－１がシリコンピースを収容する際には、識別マーク５００－２は、シリコンピースの情報（大きさ、厚さなど）、シリコンピースが収容治具４００，４００－１のどの位置に載っているか等）を示す情報を含んでも良い。
【0106】
実施形態２において、識別ユニット９０－２は、ガイドレール８２上に取り出された収容治具４００，４００－１の識別マーク５００－２を読み取るものである。実施形態２では、読み取りユニット４３は、立設部材９１に設けられた撮像カメラ９５を備える。撮像カメラ９５は、ガイドレール８２上に取り出された収容治具４００，４００－１の識別マーク５００－２を撮像して、撮像して得た画像を制御ユニット１００に出力する。撮像カメラ９５は、識別マーク５００－２を撮像するＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子等の撮像素子を備えている。実施形態２において、識別ユニット９０－２は、撮像カメラ９５がガイドレール８２上に取り出された収容治具４００，４００－１の識別マーク５００－２を撮像して、撮像して得た画像を制御ユニット１００に出力することで、搬出入ユニット８６がカセット５１から取り出してガイドレール８２上で支持している物品がワークユニット２０５、収容治具４００，４００－１のいずれかであるかを識別する。
【0107】
実施形態２に係る加工装置１は、カセット５１から収容治具４００，４００－１を取り出す搬出入ユニット８６を含む搬送ユニット８０と、搬出入ユニット８６がカセット５１から取り出した収容治具４００，４００－１を識別する識別ユニット９０－２とを備える。その結果、加工装置１は、実施形態１と同様に、搬出入ユニット８６がカセット５１から取り出した物品が収容治具４００，４００－１か否かを判別することができ、ワーク２００を消耗品交換位置へと搬送することを抑制することができ、ワーク２００の破損リスクを抑制することができるという効果を奏する。
【0108】
また、実施形態２に係る加工装置１は、識別マーク５００－２が周知の２次元コードであるので、収容治具４００，４００－１にシリアル番号等を与え、ホストコンピューター側で管理すれば収容治具４００，４００－１上の消耗品の情報を管理できる。
【0109】
また、実施形態２に係る収容治具４００，４００－１は、切削ブレード２１やドレスボード３００を収容する収容部４２０，４３０を有した本体４０４に識別マーク５００－２を有しているので、カセット５１から取り出した物品が収容治具４００，４００－１か否かを判別させることができる。
【0110】
また、本発明では、識別マーク５００－２は、周知の２次元コード、１次元コードでも良く、図形、数字、文字又はこれらの組み合わせの代わりに、情報を書きこみ自在なＲＦＩＤ（Radio Frequency Identification）タグでも良く、この場合、識別ユニット９０－２は、ＲＦＩＤタグリーダであるのが望ましい。この場合、収容治具４００，４００－１上の消耗品の情報を書き換えることができる。
【0111】
〔実施形態３〕
実施形態３に係る加工装置を図面に基づいて説明する。図１５は、実施形態３に係る収容治具を模式的に示す平面図である。図１６は、実施形態３に係る収容治具の他の例を模式的に示す平面図である。図１７は、実施形態３に係る収容治具の更に他の例を模式的に示す平面図である。図１８は、実施形態３に係る収容治具の更に別の例を模式的に示す平面図である。図１９は、実施形態３に係る加工装置の要部を模式的に示す斜視図である。なお、図１５、図１６、図１７、図１８及び図１９は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
実施形態３に係る加工装置を図面に基づいて説明する。図１５は、実施形態３に係る収容治具を模式的に示す平面図である。図１６は、実施形態３に係る収容治具の他の例を模式的に示す平面図である。図１７は、実施形態３に係る収容治具の更に他の例を模式的に示す平面図である。図１８は、実施形態３に係る収容治具の更に別の例を模式的に示す平面図である。図１９は、実施形態３に係る加工装置の要部を模式的に示す斜視図である。なお、図１５、図１６、図１７、図１８及び図１９は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
【0112】
実施形態３に係る収容治具４００－２，４００－３，４００－４，４００－５は、図１５、図１６、図１７及び図１８に示すように、識別マーク５００が有する欠損部である貫通孔５０１が本体４０４の中央に少なくとも１以上設けられ、加工装置１は、図１９に示すように、識別ユニット９０－３の発光部９２と受光部９３とがガイドレール８２上の収容治具４００－２，４００－３，４００－４，４００－５の本体４０４の中央の貫通孔５０１を互いの間に位置付けることが可能な位置に設けられていること以外、実施形態１と同じである。なお、図１５及び図１７に示された収容治具４００－２，４００－４は、本体４０４の外縁部にブレード収容部４２０を間隔あけて複数設けた例を示し、図１６及び図１８に示された収容治具４００－３，４００－５は、本体４０４の外縁部にボード収容部４３０を間隔あけて複数設けた例を示している。
【0113】
実施形態３に係る加工装置１は、カセット５１から収容治具４００－２，４００－３，４００－４，４００－５を取り出す搬出入ユニット８６を含む搬送ユニット８０と、搬出入ユニット８６がカセット５１から取り出した収容治具４００－２，４００－３，４００－４，４００－５を識別する識別ユニット９０－３とを備える。その結果、加工装置１は、実施形態１と同様に、搬出入ユニット８６がカセット５１から取り出した物品が収容治具４００－２，４００－３，４００－４，４００－５か否かを判別することができ、ワーク２００を消耗品交換位置へと搬送することを抑制することができ、ワーク２００の破損リスクを抑制することができるという効果を奏する。
【0114】
なお、本発明は、上記実施形態及び変形例に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。実施形態１では、消耗品である切削ブレード２１及びドレスボード３００を交換する例を記載しているが、本発明では、ドレスボード３００の代わりに、消耗品として、シリコンで構成された矩形板状のシリコンピース、プリカットボード等種々の消耗品を交換しても良い。また、本発明では、加工装置１は、収容室４０内に収容治具４００，４００－１を収容しても良い。また、本発明では、収容室４０とカセット５１が治具収容部として機能しても良い。特に、収容室４０が治具収容部として機能する場合、収容室４０から搬出した収容治具４００，４００－１の種類を識別ユニット９０で確認することが望ましい。
【符号の説明】
【0115】
１ 加工装置
３ 交換機構
１０ 保持テーブル
２０ 切削ユニット（加工ユニット）
２１ 切削ブレード（消耗品）
４０ 収容室（治具収容部）
５０ カセット載置台
５１ カセット（治具収容部）
８０ 搬送ユニット
８２ ガイドレール
８６ 搬出入ユニット（取出しユニット）
９０，９０－２，９０－３ 識別ユニット
２００ ワーク
２０５ ワークユニット
２１０ テープ
２１１ フレーム
３００ ドレスボード
４００，４００－１，４００－２，４００－３，４００－４，４００－５ 収容治具
４０４ 本体
４２０ ブレード収容部（収容部）
４３０ ボード収容部（収容部）
５００ 識別マーク
５０１ 貫通孔（欠損部）
３ 交換機構
１０ 保持テーブル
２０ 切削ユニット（加工ユニット）
２１ 切削ブレード（消耗品）
４０ 収容室（治具収容部）
５０ カセット載置台
５１ カセット（治具収容部）
８０ 搬送ユニット
８２ ガイドレール
８６ 搬出入ユニット（取出しユニット）
９０，９０－２，９０－３ 識別ユニット
２００ ワーク
２０５ ワークユニット
２１０ テープ
２１１ フレーム
３００ ドレスボード
４００，４００－１，４００－２，４００－３，４００－４，４００－５ 収容治具
４０４ 本体
４２０ ブレード収容部（収容部）
４３０ ボード収容部（収容部）
５００ 識別マーク
５０１ 貫通孔（欠損部）
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】