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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024114430
(43)【公開日】2024-08-23
(54)【発明の名称】情報処理装置、基板処理装置及び基板処理方法
(51)【国際特許分類】
H01L 21/02 20060101AFI20240816BHJP
【ＦＩ】
H01L21/02 Z
【審査請求】未請求
【請求項の数】12
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023020193
(22)【出願日】2023-02-13
(71)【出願人】
【識別番号】000219967
【氏名又は名称】東京エレクトロン株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100107766
【弁理士】
【氏名又は名称】伊東 忠重
(74)【代理人】
【識別番号】100070150
【弁理士】
【氏名又は名称】伊東 忠彦
(72)【発明者】
【氏名】中村 隆央
(72)【発明者】
【氏名】三浦 真和
(72)【発明者】
【氏名】佐野 圭
(72)【発明者】
【氏名】奥 大輔
(57)【要約】
【課題】基板処理装置の状態に応じて基板処理装置が実行する操作を調整する。
【解決手段】被処理体を処理する基板処理装置と通信可能な情報処理装置であって、被処理体に対する一連の処理を示すレシピ情報の入力を受け付ける入力部と、レシピ情報に基づいて基板処理装置が実行する操作を示すコマンド列を生成するコマンド変換部と、基板処理装置の状態に応じてコマンド列を調整する手順を示す調整方法を生成するコマンド最適化部と、コマンド列及び調整方法を基板処理装置に出力する出力部と、を備える情報処理装置が提供される。
【選択図】図４
【解決手段】被処理体を処理する基板処理装置と通信可能な情報処理装置であって、被処理体に対する一連の処理を示すレシピ情報の入力を受け付ける入力部と、レシピ情報に基づいて基板処理装置が実行する操作を示すコマンド列を生成するコマンド変換部と、基板処理装置の状態に応じてコマンド列を調整する手順を示す調整方法を生成するコマンド最適化部と、コマンド列及び調整方法を基板処理装置に出力する出力部と、を備える情報処理装置が提供される。
【選択図】図４
【特許請求の範囲】
【請求項1】
被処理体を処理する基板処理装置と通信可能な情報処理装置であって、
前記被処理体に対する一連の処理を示すレシピ情報の入力を受け付けるように構成されている入力部と、
前記レシピ情報に基づいて前記基板処理装置が実行する操作を示すコマンド列を生成するように構成されているコマンド変換部と、
前記基板処理装置の状態に応じて前記コマンド列を調整する手順を示す調整方法を生成するように構成されているコマンド最適化部と、
前記コマンド列及び前記調整方法を前記基板処理装置に出力するように構成されている出力部と、
を備える情報処理装置。
前記被処理体に対する一連の処理を示すレシピ情報の入力を受け付けるように構成されている入力部と、
前記レシピ情報に基づいて前記基板処理装置が実行する操作を示すコマンド列を生成するように構成されているコマンド変換部と、
前記基板処理装置の状態に応じて前記コマンド列を調整する手順を示す調整方法を生成するように構成されているコマンド最適化部と、
前記コマンド列及び前記調整方法を前記基板処理装置に出力するように構成されている出力部と、
を備える情報処理装置。
【請求項2】
請求項１に記載の情報処理装置であって、
前記レシピ情報に示された前記一連の処理を前記被処理体に対する１以上の処理を示す処理単位に分解した処理列を生成するように構成されているレシピ分解部と、
予め定めた最適化指標に基づいて前記処理列が実行される順番を最適化するように構成されている処理列最適化部と、
をさらに備える情報処理装置。
前記レシピ情報に示された前記一連の処理を前記被処理体に対する１以上の処理を示す処理単位に分解した処理列を生成するように構成されているレシピ分解部と、
予め定めた最適化指標に基づいて前記処理列が実行される順番を最適化するように構成されている処理列最適化部と、
をさらに備える情報処理装置。
【請求項3】
請求項２に記載の情報処理装置であって、
前記コマンド変換部は、前記処理列最適化部により順番が最適化された前記処理列を前記コマンド列に変換するように構成されている、
情報処理装置。
前記コマンド変換部は、前記処理列最適化部により順番が最適化された前記処理列を前記コマンド列に変換するように構成されている、
情報処理装置。
【請求項4】
請求項３に記載の情報処理装置であって、
複数の最適化指標それぞれに基づいて前記処理列が実行される順番を最適化した複数の処理列候補を出力するように構成されている候補提示部をさらに備え、
前記コマンド変換部は、ユーザにより選択された前記処理列候補を前記コマンド列に変換するように構成されている、
情報処理装置。
複数の最適化指標それぞれに基づいて前記処理列が実行される順番を最適化した複数の処理列候補を出力するように構成されている候補提示部をさらに備え、
前記コマンド変換部は、ユーザにより選択された前記処理列候補を前記コマンド列に変換するように構成されている、
情報処理装置。
【請求項5】
請求項２に記載の情報処理装置であって、
前記入力部は、最適化済み処理列の入力をさらに受け付けるように構成されており、
前記処理列最適化部は、前記最適化済み処理列に基づいて、前記処理列が実行される順番を最適化するように構成されている、
情報処理装置。
前記入力部は、最適化済み処理列の入力をさらに受け付けるように構成されており、
前記処理列最適化部は、前記最適化済み処理列に基づいて、前記処理列が実行される順番を最適化するように構成されている、
情報処理装置。
【請求項6】
請求項５に記載の情報処理装置であって、
前記処理列最適化部は、前記処理列のうち、前記最適化済み処理列と異なる部分について、前記処理列が実行される順番を最適化するように構成されている、
情報処理装置。
前記処理列最適化部は、前記処理列のうち、前記最適化済み処理列と異なる部分について、前記処理列が実行される順番を最適化するように構成されている、
情報処理装置。
【請求項7】
請求項１から６のいずれかに記載の情報処理装置であって、
前記基板処理装置は、
前記被処理体に対してプロセスを行う複数の処理チャンバと、
前記被処理体を格納するロードポートと、
前記被処理体をロード又はアンロードするためのロードロック室と、
前記ロードポートと前記ロードロック室との間及び前記ロードロック室と前記処理チャンバとの間で前記被処理体を搬送する搬送機構と、
を備える情報処理装置。
前記基板処理装置は、
前記被処理体に対してプロセスを行う複数の処理チャンバと、
前記被処理体を格納するロードポートと、
前記被処理体をロード又はアンロードするためのロードロック室と、
前記ロードポートと前記ロードロック室との間及び前記ロードロック室と前記処理チャンバとの間で前記被処理体を搬送する搬送機構と、
を備える情報処理装置。
【請求項8】
被処理体を処理する基板処理装置と通信可能な情報処理装置であって、
前記被処理体に対する一連の処理を示すレシピ情報の入力を受け付けるように構成されている入力部と、
前記レシピ情報に示された前記一連の処理を前記被処理体に対する１以上の処理を示す処理単位に分解した処理列を生成するように構成されているレシピ分解部と、
前記基板処理装置の状態に応じて前記処理列を整列する規則を示す整列規則を生成するように構成されている処理列最適化部と、
前記処理列及び前記整列規則を前記基板処理装置に出力するように構成されている出力部と、
を備える情報処理装置。
前記被処理体に対する一連の処理を示すレシピ情報の入力を受け付けるように構成されている入力部と、
前記レシピ情報に示された前記一連の処理を前記被処理体に対する１以上の処理を示す処理単位に分解した処理列を生成するように構成されているレシピ分解部と、
前記基板処理装置の状態に応じて前記処理列を整列する規則を示す整列規則を生成するように構成されている処理列最適化部と、
前記処理列及び前記整列規則を前記基板処理装置に出力するように構成されている出力部と、
を備える情報処理装置。
【請求項9】
被処理体を処理する基板処理装置であって、
前記被処理体に対する操作を示すコマンド列及び前記コマンド列を調整する手順を示す調整方法の入力を受け付けるように構成されている入力部と、
前記基板処理装置の状態及び前記調整方法に基づいて前記コマンド列を調整するように構成されているコマンド調整部と、
前記コマンド列に従って前記被処理体に対する操作を行うように構成されている操作部と、
を備える基板処理装置。
前記被処理体に対する操作を示すコマンド列及び前記コマンド列を調整する手順を示す調整方法の入力を受け付けるように構成されている入力部と、
前記基板処理装置の状態及び前記調整方法に基づいて前記コマンド列を調整するように構成されているコマンド調整部と、
前記コマンド列に従って前記被処理体に対する操作を行うように構成されている操作部と、
を備える基板処理装置。
【請求項10】
被処理体を処理する基板処理装置であって、
前記被処理体に対する１以上の処理を含む処理単位が配列された処理列及び前記処理列を整列する規則を示す整列規則との入力を受け付けるように構成されている入力部と、
前記基板処理装置の状態及び前記整列規則に基づいて前記処理列が実行される順番を最適化するように構成されている処理列最適化部と、
前記処理列を前記被処理体に対する操作を示すコマンド列に変換するように構成されているコマンド変換部と、
前記コマンド列に従って前記被処理体に対する操作を行うように構成されている操作部と、
を備える基板処理装置。
前記被処理体に対する１以上の処理を含む処理単位が配列された処理列及び前記処理列を整列する規則を示す整列規則との入力を受け付けるように構成されている入力部と、
前記基板処理装置の状態及び前記整列規則に基づいて前記処理列が実行される順番を最適化するように構成されている処理列最適化部と、
前記処理列を前記被処理体に対する操作を示すコマンド列に変換するように構成されているコマンド変換部と、
前記コマンド列に従って前記被処理体に対する操作を行うように構成されている操作部と、
を備える基板処理装置。
【請求項11】
被処理体に対する一連の処理を示すレシピ情報の入力を受け付ける工程と、
前記レシピ情報に基づいて基板処理装置が実行する操作を示すコマンド列を生成する工程と、
前記基板処理装置の状態に応じて前記コマンド列を調整する手順を示す調整方法を生成する工程と、
前記基板処理装置の状態及び前記調整方法に基づいて前記コマンド列を調整する工程と、
前記コマンド列に従って前記被処理体に対する操作を行う工程と、
を実行する基板処理方法。
前記レシピ情報に基づいて基板処理装置が実行する操作を示すコマンド列を生成する工程と、
前記基板処理装置の状態に応じて前記コマンド列を調整する手順を示す調整方法を生成する工程と、
前記基板処理装置の状態及び前記調整方法に基づいて前記コマンド列を調整する工程と、
前記コマンド列に従って前記被処理体に対する操作を行う工程と、
を実行する基板処理方法。
【請求項12】
被処理体に対する一連の処理を示すレシピ情報の入力を受け付ける工程と、
前記レシピ情報に示された前記一連の処理を前記被処理体に対する１以上の処理を示す処理単位に分解した処理列を生成する工程と、
基板処理装置の状態に応じて前記処理列を整列する規則を示す整列規則を生成する工程と、
前記基板処理装置の状態及び前記整列規則に基づいて前記処理列が実行される順番を最適化する工程と、
前記処理列を前記被処理体に対する操作を示すコマンド列に変換する工程と、
前記コマンド列に従って前記被処理体に対する操作を行う工程と、
を実行する基板処理方法。
前記レシピ情報に示された前記一連の処理を前記被処理体に対する１以上の処理を示す処理単位に分解した処理列を生成する工程と、
基板処理装置の状態に応じて前記処理列を整列する規則を示す整列規則を生成する工程と、
前記基板処理装置の状態及び前記整列規則に基づいて前記処理列が実行される順番を最適化する工程と、
前記処理列を前記被処理体に対する操作を示すコマンド列に変換する工程と、
前記コマンド列に従って前記被処理体に対する操作を行う工程と、
を実行する基板処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、情報処理装置、基板処理装置及び基板処理方法に関する。
【背景技術】
【0002】
複数の処理チャンバを有する基板処理装置では、処理チャンバの空き時間を短くし、高いスループットを実現する被処理体の搬送スケジューリングが求められる。
【0003】
例えば、特許文献１には、ロードロック室にロードされたウェハの処理条件に応じて搬送シーケンスの種類を選択し、複数の動作パターンを組み合わせてスケジューリングした搬送シーケンスに従って搬送アーム装置を制御する搬送制御装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０１３－２５８２６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
本開示は、基板処理装置の状態に応じて基板処理装置が実行する操作を調整する技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本開示の一の態様によれば、被処理体を処理する基板処理装置と通信可能な情報処理装置であって、被処理体に対する一連の処理を示すレシピ情報の入力を受け付けるように構成されている入力部と、レシピ情報に基づいて基板処理装置が実行する操作を示すコマンド列を生成するように構成されているコマンド変換部と、基板処理装置の状態に応じてコマンド列を調整する手順を示す調整方法を生成するように構成されているコマンド最適化部と、コマンド列及び調整方法を基板処理装置に出力するように構成されている出力部と、を備える情報処理装置が提供される。
【発明の効果】
【0007】
一の側面によれば、基板処理装置の状態に応じて基板処理装置が実行する操作を調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】基板処理システムの全体構成の一例を示すブロック図である。
【図2】基板処理装置のハードウェア構成の一例を示す模式図である。
【図3】コンピュータのハードウェア構成の一例を示すブロック図である。
【図4】第１実施形態における基板処理システムの機能構成の一例を示すブロック図である。
【図5】レシピ情報の分解結果の一例を示す図である。
【図6】処理列の一例を示す図である。
【図7】コマンド列の一例を示す図である。
【図8】処理列の順番と時間との関係の一例を示す図である。
【図9】第１実施形態における基板処理方法の一例を示すフローチャートである。
【図10】変形例１における基板処理システムの機能構成の一例を示すブロック図である。
【図11】候補提示画面の一例を示す画面イメージである。
【図12】変形例２における基板処理システムの機能構成の一例を示すブロック図である。
【図13】第２実施形態における基板処理システムの機能構成の一例を示すブロック図である。
【図14】第２実施形態における基板処理方法の一例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、図面を参照して本開示を実施するための形態について説明する。各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。
【0010】
本明細書において平行、直角、直交、水平、垂直、上下、左右などの方向には、実施形態の効果を損なわない程度のずれが許容される。角部の形状は、直角に限られず、弓状に丸みを帯びてもよい。平行、直角、直交、水平、垂直、円、一致には、略平行、略直角、略直交、略水平、略垂直、略円、略一致が含まれてもよい。
【0011】
［第１実施形態］
本開示の第１実施形態は、複数の処理チャンバを有する基板処理装置が実行する操作を最適化する基板処理システムである。本実施形態における最適化の対象は、被処理体を処理チャンバに搬送する搬送スケジュールを少なくとも含む。
本開示の第１実施形態は、複数の処理チャンバを有する基板処理装置が実行する操作を最適化する基板処理システムである。本実施形態における最適化の対象は、被処理体を処理チャンバに搬送する搬送スケジュールを少なくとも含む。
【0012】
複数の処理装置（処理チャンバ）を有する基板処理装置は、クラスターツールとも呼ばれ、真空搬送室から各処理装置へ被処理体を搬送する。クラスターツールでは、処理チャンバの空き時間を短縮し、全体のスループットを向上する搬送スケジュールが求められる。枚葉処理を行うクラスターツールでは、各処理チャンバで１枚ずつ被処理体を処理する。真空搬送室の内部では、搬送アームがモジュール（処理装置等）間で被処理体の搬送を行う。搬送スケジュールには、搬送アームが搬送する被処理体の順番、搬送先のモジュールの位置、及び搬送を行うタイミング等が含まれる。
【0013】
搬送スケジュールを最適化する際には、各モジュールで保持できる被処理体の枚数が制約となる。この制約により、実行可能な処理が制限されたり、デッドロックが発生したりといった問題が発生し得る。したがって、クラスターツールにおける搬送スケジュールは、各モジュールが保持可能な被処理体の枚数を考慮しながら、搬送及び処理の順番及びタイミング等を最適化することが重要となる。
【0014】
従来技術では、搬送スケジュールは、例えば以下のようにして最適化している。まず、顧客が所望のレシピ情報を入力する。次に、エンジニアが、最適な搬送スケジュールとなるように、装置パラメータ（各モジュールの動作ルール）を調整する。なお、動作ルールは、基板処理装置の状態に関する条件と、その条件を満たすときに実行する操作とを定義するルールである。そして、エンジニアは、例えば時間発展シミュレータを用いて、調整した装置パラメータで最適な搬送スケジュールを実現できるか否かを確認する。
【0015】
基板処理装置の装置パラメータは多岐にわたるため、最適な搬送スケジュールとなるように装置パラメータを調整することは、熟練したエンジニアでなければ困難な場合がある。また、このような手法では、最適化が属人的となり、装置パラメータの調整に時間がかかり、複雑な状況下では搬送スケジュールの性能担保が困難になり、顧客の要望に沿った搬送スケジュールを実現することができない場合がある。このため、搬送スケジュールを精度よくかつ効率的に最適化することが期待されている。
【0016】
本実施形態は、基板処理装置の状態に応じて基板処理装置が実行する操作をリアルタイムに調整することができる基板処理システムを実現する。一つの側面では、本実施形態における基板処理システムは、予め定めた最適化指標に基づいて調整方法を最適化するため、属人的ではない最適化を実現できる。また、一つの側面では、本実施形態における基板処理システムは、最適化を行う探索空間を適切に設定するため、最適化に要する計算時間を低減することができる。
【0017】
【0018】
図１に示すように、基板処理システム１００は、工場ａ内に基板処理装置１２０ａ１～１２０ａ３と、制御装置１２１ａ１～１２１ａ３とを有する。基板処理装置１２０ａ１～１２０ａ３と制御装置１２１ａ１～１２１ａ３とは、有線又は無線により接続される。
【0019】
また、基板処理システム１００は、工場ｂ内に基板処理装置１２０ｂ１、１２０ｂ２と、制御装置１２１ｂ１、１２１ｂ２とを有する。基板処理装置１２０ｂ１、１２０ｂ２と制御装置１２１ｂ１、１２１ｂ２とは、有線又は無線により接続される。
【0020】
また、基板処理システム１００は、工場ｃ内に基板処理装置１２０ｃ１、１２０ｃ２と、制御装置１２１ｃ１、１２１ｃ２とを有する。基板処理装置１２０ｃ１、１２０ｃ２と制御装置１２１ｃ１、１２１ｃ２とは、有線又は無線により接続される。
【0021】
基板処理装置１２０ａ１～１２０ａ３、基板処理装置１２０ｂ１、１２０ｂ２、基板処理装置１２０ｃ１、１２０ｃ２は、ネットワークＮ１～Ｎ３を介してそれぞれホスト装置１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃと接続されている。ホスト装置１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃからの指示に基づく各制御装置の制御により、各基板処理装置が基板処理を実行する。ホスト装置１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃは、インターネットなどのネットワークＮ４を介してサーバ装置１５０に接続されている。
【0022】
以下の説明では、基板処理装置１２０ａ１～１２０ａ３、１２０ｂ１、１２０ｂ２、１２０ｃ１、１２０ｃ２を総称して基板処理装置１２０ともいう。また、制御装置１２１ａ１～１２１ａ３、１２１ｂ１、１２１ｂ２、１２１ｃ１、１２１ｃ２を総称して制御装置１２１ともいう。ホスト装置１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃを総称してホスト装置１１０ともいう。
【0023】
基板処理装置１２０ａ１～１２０ａ３、基板処理装置１２０ｂ１、１２０ｂ２、基板処理装置１２０ｃ１、１２０ｃ２は、それぞれが管理する多岐にわたるデータを自装置内に蓄積しているものとする。
【0024】
最適化装置１４０は、基板処理装置１２０ａ１を含む基板処理装置１２０に接続されることで、基板処理装置１２０のそれぞれに蓄積された蓄積データを継続的に取得する。図１の例は、最適化装置１４０が基板処理装置１２０ａ１に接続された様子を示しているが、これに限らない。以下、本実施形態では、最適化装置１４０が基板処理装置１２０ａ１に接続される場合の詳細について説明する。
【0025】
なお、最適化装置１４０は、被処理体を処理する基板処理装置と通信可能な情報処理装置の一例である。また、図１に示す基板処理システム１００は一例であり、用途や目的に応じて様々なシステム構成例があることは言うまでもない。図１に示す基板処理装置１２０、制御装置１２１、ホスト装置１１０、サーバ装置１５０のような装置の区分は一例である。例えば、基板処理装置１２０の個数、制御装置１２１の個数、工場の個数、ホスト装置１１０の個数等は一例であり、これに限らない。
【0026】
例えば、基板処理システム１００は、基板処理装置１２０、制御装置１２１、ホスト装置１１０、サーバ装置１５０の少なくとも２つが一体化された構成や、更に分割された構成等、様々な構成が可能である。例えば、制御装置１２１は、複数台の基板処理装置１２０をまとめて制御できるようにしてもよいし、基板処理装置１２０に対して一対一に設けるようにしてもよいし、基板処理装置１２０と一体化されてもよい。
【0027】
また、最適化装置１４０が基板処理装置１２０ａ１と接続されている例を挙げたが、最適化装置１４０は、他の基板処理装置１２０にも接続されてもよい。他の最適化装置１４０が、他の基板処理装置１２０ａ２等に対して一対一に接続されてもよい。
【0028】
最適化装置１４０は、ホスト装置１１０によって実現してもよいし、サーバ装置１５０によって実現してもよい。この場合、最適化装置１４０は不要となる。また、最適化装置１４０は、制御装置１２１によって実現してもよい。最適化装置１４０は、複数の制御装置１２１を纏めて制御する制御装置（図示しない）によって実現してもよい。
【0029】
＜基板処理装置＞
本実施形態における基板処理装置の一例について、図２を参照しながら説明する。図２は、本実施形態における基板処理装置の一例を示す図である。以下では、４つの処理チャンバを有する基板処理装置の構成例について説明するが、処理チャンバの数は２つ以上であればよく、４つに限らない。
本実施形態における基板処理装置の一例について、図２を参照しながら説明する。図２は、本実施形態における基板処理装置の一例を示す図である。以下では、４つの処理チャンバを有する基板処理装置の構成例について説明するが、処理チャンバの数は２つ以上であればよく、４つに限らない。
【0030】
図２に示すように、本実施形態における基板処理装置１２０は、処理装置１０１～１０４と、真空搬送室２００と、ロードロック室２１１～２１３と、大気搬送室２２０と、ロードポート２３１～２３４と、制御装置１２１と、を備える。
【0031】
処理装置１０１～１０４は、それぞれゲートバルブＧ１１～Ｇ１４を介して真空搬送室２００と接続されている。処理装置１０１～１０４内は所定の真空雰囲気に減圧され、その内部にて被処理体の一例である基板Ｗに所望の処理を施す。処理装置１０１～１０４は、処理チャンバの一例である。
【0032】
真空搬送室２００は、内部が所定の真空雰囲気に減圧されている。真空搬送室２００には、減圧状態で基板Ｗを搬送可能な搬送機構２０１が設けられている。搬送機構２０１は、処理装置１０１～１０４又はロードロック室２１１～２１３に対して、基板Ｗを搬送する。搬送機構２０１は、例えば２つの搬送アーム（以下、「真空側アーム」とも呼ぶ）を有する。ただし、搬送アームは１つでもよい。
【0033】
ロードロック室２１１～２１３は、それぞれゲートバルブＧ２１～Ｇ２３を介して真空搬送室２００と接続され、ゲートバルブＧ３１～Ｇ３３を介して大気搬送室２２０と接続されている。ロードロック室２１１～２１３内は、大気雰囲気と真空雰囲気とを切り替えることができるようになっている。
【0034】
大気搬送室２２０は、内部が大気雰囲気となっており、例えば清浄空気のダウンフローが形成されている。大気搬送室２２０の内部には、基板Ｗのアライメントを行う図示しないアライナが設けられている。また、大気搬送室２２０には、搬送機構２２１が設けられている。搬送機構２２１は、例えば１つの搬送アーム（以下、「大気側アーム」とも呼ぶ）を有する。ただし、搬送アームは２つ又はそれ以上でもよい。搬送機構２２１は、ロードロック室２１１～２１３、ロードポート２３１～２３４のキャリアＣ、又はアライナに対して、基板Ｗを搬送する。
【0035】
ロードポート２３１～２３４は、大気搬送室２２０の長辺の壁面に設けられている。ロードポート２３１～２３４は、ゲートバルブＧ４１～Ｇ４４を介して基板Ｗが収容されたキャリアＣ又は空のキャリアＣが取り付けられる。キャリアＣとしては、例えばＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）を利用できる。
【0036】
制御装置１２１は、基板処理装置１２０の各部を制御する。例えば、制御装置１２１は、処理装置１０１～１０４の動作、搬送機構２０１，２２１の動作、ゲートバルブＧ１１～Ｇ１４，Ｇ２１～Ｇ２３，Ｇ３１～Ｇ３３，Ｇ４１～Ｇ４４の開閉、ロードロック室２１１～２１３内の雰囲気の切り替え等を実行する。
【0037】
図２に示す基板処理装置１２０は、クラスターツールの一例である。また、処理装置１０１～１０４、搬送機構２０１，２２１、ロードロック室２１１～２１３及びロードポート２３１～２３４は、モジュールの一例である。
【0038】
＜ハードウェア構成＞
図１に示す基板処理システム１００に含まれるホスト装置１１０、制御装置１２１、最適化装置１４０及びサーバ装置１５０は、例えば図３に示すようなハードウェア構成のコンピュータにより実現される。図３は、本実施形態におけるコンピュータのハードウェア構成の一例を示すブロック図である。
図１に示す基板処理システム１００に含まれるホスト装置１１０、制御装置１２１、最適化装置１４０及びサーバ装置１５０は、例えば図３に示すようなハードウェア構成のコンピュータにより実現される。図３は、本実施形態におけるコンピュータのハードウェア構成の一例を示すブロック図である。
【0039】
図３に示されているように、本実施形態におけるコンピュータ５００は、入力装置５０１、出力装置５０２、外部Ｉ／Ｆ（インタフェース）５０３、ＲＡＭ（Random Access Memory）５０４、ＲＯＭ（Read Only Memory）５０５、ＣＰＵ（Central Processing Unit）５０６、通信Ｉ／Ｆ５０７及びＨＤＤ（Hard Disk Drive）５０８などを備え、それぞれがバスＢで相互に接続されている。なお、入力装置５０１及び出力装置５０２は必要なときに接続して利用する形態であってもよい。
【0040】
入力装置５０１はキーボードやマウス、タッチパネルなどであり、作業者等が各操作信号を入力するのに用いられる。出力装置５０２はディスプレイ等であり、コンピュータ５００による処理結果を表示する。通信Ｉ／Ｆ５０７はコンピュータ５００をネットワークに接続するインタフェースである。ＨＤＤ５０８は、プログラムやデータを格納している不揮発性の記憶装置の一例である。
【0041】
外部Ｉ／Ｆ５０３は、外部装置とのインタフェースである。コンピュータ５００は外部Ｉ／Ｆ５０３を介してＳＤ（Secure Digital）メモリカードなどの記録媒体５０３ａの読み取り及び／又は書き込みを行うことができる。ＲＯＭ５０５は、プログラムやデータが格納された不揮発性の半導体メモリ（記憶装置）の一例である。ＲＡＭ５０４はプログラムやデータを一時保持する揮発性の半導体メモリ（記憶装置）の一例である。
【0042】
ＣＰＵ５０６は、ＲＯＭ５０５やＨＤＤ５０８などの記憶装置からプログラムやデータをＲＡＭ５０４上に読み出し、処理を実行することで、コンピュータ５００全体の制御や機能を実現する演算装置である。
【0043】
【0044】
≪最適化装置≫
図４に示されているように、本実施形態における最適化装置１４０は、レシピ入力部３０１、レシピ分解部３０２、処理列最適化部３０３、コマンド変換部３０４、コマンド最適化部３０５及び制御情報出力部３０６を備える。処理列最適化部３０３は、処理列シミュレータ３０３１及び最適化アルゴリズム３０３２を含む。コマンド最適化部３０５は、時間発展シミュレータ３０５１及び最適化アルゴリズム３０５２を含む。
図４に示されているように、本実施形態における最適化装置１４０は、レシピ入力部３０１、レシピ分解部３０２、処理列最適化部３０３、コマンド変換部３０４、コマンド最適化部３０５及び制御情報出力部３０６を備える。処理列最適化部３０３は、処理列シミュレータ３０３１及び最適化アルゴリズム３０３２を含む。コマンド最適化部３０５は、時間発展シミュレータ３０５１及び最適化アルゴリズム３０５２を含む。
【0045】
レシピ入力部３０１、レシピ分解部３０２、処理列最適化部３０３、コマンド変換部３０４、コマンド最適化部３０５及び制御情報出力部３０６は、例えば、図３に示されているＣＰＵ５０６が、ＲＡＭ５０４上にロードされたプログラムを実行することにより実現される。
【0046】
レシピ入力部３０１は、レシピ情報の入力を受け付ける。レシピ情報は、基板Ｗに対する一連の処理の内容を示す情報である。レシピ情報は、基板処理装置１２０のユーザがレシピを開発する際に入力する情報である。レシピ情報は、少なくともプロセスレシピと搬送レシピとを含む。プロセスレシピは、基板処理装置１２０がウェハに対して実行するプロセスに関するレシピである。搬送レシピは、モジュール間でウェハを搬送する制御に関するレシピである。レシピ情報には、例えば、ガス種、圧力等のプロセス条件、プロセス時間、クリーニングの頻度並びに回数、ダミーウェハの有無、及びプロセスの組合せ等が含まれる。また、レシピ情報には、チャンバ数、モジュール数、アーム数等の装置構成に関する情報が含まれてもよい。
【0047】
レシピ分解部３０２は、レシピ入力部３０１に入力されたレシピ情報に示された一連の処理を、１以上の処理を含む処理単位に分解する。以下、一連の処理を分解した処理単位の集合を「処理列」と呼ぶ。処理列は、基板Ｗを示す情報と当該基板Ｗに対して実行する処理単位を示す情報との組合せが、実行する順番に従って並べられた配列である。
【0048】
処理単位には、処理に要する時間に関する情報が含まれる。時間に関する情報は、処理に用いられるモジュールにより異なる。例えば、モジュールが搬送アームであれば、時間に関する情報は搬送アームの移動時間、搬送アームによる基板の保持時間を含む。また、例えば、モジュールが処理チャンバであれば、時間に関する情報はプロセス時間を含む。
【0049】
なお、レシピ分解部３０２は、予め定めた規則に従って、レシピ情報に示された一連の処理を処理単位に分解してもよい。また、レシピ分解部３０２は、ユーザによる指示に応じて、レシピ情報に示された一連の処理を処理単位に分解してもよい。レシピ分解部３０２が用いる規則は、制約条件を含んでもよい。制約条件は、例えば、クリーニング頻度、又はダミーウェハの有無等である。
【0050】
図５は、レシピ情報の分解結果の一例を示す図である。図５に示す例では、レシピ情報Ｒ１に、１７個の処理Ｐ１～Ｐ１７が含まれている。各処理Ｐ１～Ｐ１７は、１つのモジュールが実行する１つの操作にそれぞれ対応する。
【0051】
図５に示されているように、レシピ情報Ｒ１は、８個の処理単位Ｃ１～Ｃ８に分解することができる。処理単位に分解する箇所は、任意の基準に従って決定すればよい。例えば、モジュール間で基板Ｗの受け渡しが発生し、後続のモジュールに空きがないと処理を継続できない箇所で処理単位を分解することができる。
【0052】
図５に示す例では、処理Ｐ１～Ｐ２において、大気側アームがロードポートでウェハ（基板Ｗの一例）を保持すると、後続の処理Ｐ３はロードロック室に空きがなければ実行することができない。したがって、処理Ｐ１，Ｐ２を１つの処理単位Ｃ１に含め、処理Ｐ３は次の処理単位Ｃ２に含めるとよい。
【0053】
図６は、処理列の一例を示す図である。図６に示されているように、処理列は、基板Ｗを示す情報（Ｗ１，Ｗ２，・・・）と、処理単位を示す情報（Ｃ１，Ｃ２，・・・）との組み合わせが、処理の順番に従って並べられた配列である。なお、図６に示す処理単位Ｃ１～Ｃ４は、図５に示した処理単位（番号）に対応している。
【0054】
処理列では、複数の基板Ｗに対する処理を実行可能なように、基板Ｗを示す情報と処理単位を示す情報との組み合わせが配列されている。例えば、基板Ｗ１に対して処理単位Ｃ１～Ｃ２を実行し、大気側アームが基板Ｗ１をロードロック室に搬送すると、大気側アームはアイドルとなる。そのため、次の基板Ｗ２に対して処理単位Ｃ１を実行し、大気側アームがロードポートで基板Ｗ２を保持することが可能となる。一方、基板Ｗ２に対して処理単位Ｃ１を実行し、大気側アームがロードポートで基板Ｗ２を保持しても、ロードロック室には基板Ｗ１が存在するため、処理単位Ｃ２を実行し、基板Ｗ２をロードロック室に搬送することはできない。
【0055】
その後、基板Ｗ１に対して処理単位Ｃ３～Ｃ４を実行し、真空側アームが基板Ｗ１をロードロック室から処理チャンバに搬送すると、ロードロック室に空きができる。そのため、基板Ｗ２に対して処理単位Ｃ２を実行し、基板Ｗ２をロードロック室に搬送することが可能となる。このようにして、レシピ分解部３０２は、レシピ情報を処理単位に分解し、実行可能な順番でそれらを並べることで、処理列を生成する。
【0056】
図４に戻って説明する。処理列最適化部３０３は、処理列シミュレータ３０３１及び最適化アルゴリズム３０３２を用いて、レシピ分解部３０２により生成された処理列における処理単位の順番を最適化する。
【0057】
処理列シミュレータ３０３１は、基板処理装置１２０による基板搬送を模擬するシミュレータである。処理列シミュレータ３０３１は、処理列を入力とし、入力された処理列に基づいて基板搬送のシミュレーションを実行する。処理列シミュレータ３０３１によるシミュレーション結果は、最適化アルゴリズム３０３２に入力される。
【0058】
処理列シミュレータ３０３１は、オフラインでのシミュレーションを実行する。つまり、処理列シミュレータ３０３１には、処理列全体が一度に入力され、将来の状態が既知な状態で処理列に示された処理を順次実行する。処理列シミュレータ３０３１は、すべての処理を実行した後にシミュレーション結果をまとめて出力する。
【0059】
最適化アルゴリズム３０３２は、処理列シミュレータ３０３１によるシミュレーション結果を入力とし、入力されたシミュレーション結果に基づいて、予め定めた最適化指標を満たすように、処理列が実行される順番を最適化する。最適化アルゴリズム３０３２により最適化された処理列は、処理列シミュレータ３０３１に入力される。
【0060】
最適化指標は、様々な指標を用いることができる。例えば、スループットの最大化、処理チャンバのアイドル時間の均一化、搬送する基板の順番の維持等を、最適化指標として利用することができる。
【0061】
また、最適化指標は、複数の指標を任意の重みで混合した指標を利用してもよい。例えば、スループットの最大化×０．６＋アイドル時間の均一化×０．４を、最適化指標としてもよい。さらに、最適化指標は、許容範囲が設定されてもよい。例えば、アイドル時間が０秒～２０秒の範囲となることを最適化指標としてもよい。
【0062】
処理列の最適化に用いるアルゴリズムは、公知のアルゴリズムを用いることができる。アルゴリズムの一例は、原始モンテカルロ法及び強化学習等である。なお、レシピ情報又は処理列の内容に応じて異なるアルゴリズムを選択してもよい。
【0063】
原始モンテカルロ法は、選択可能なすべての処理について、最初の１つの処理を選択した状態から最終状態までランダムに選択可能な処理を実行し、最終状態の評価結果に基づいて最適な処理を選択する手法である。クラスターツールにおける搬送スケジュールでは、選択可能な処理の数が比較的少数であるため、原始モンテカルロ法を用いれば、計算時間の短縮及び最適化精度の向上が期待できる。
【0064】
処理列最適化部３０３は、処理列シミュレータ３０３１と最適化アルゴリズム３０３２とを繰り返し実行することで、処理列における処理単位の順番を最適化する。処理列最適化部３０３は、予め定めた収束条件を満たすと、その時点の処理列を最適化済みの処理列として出力する。収束条件は、処理列の順番が収束したとき（例えば、入れ替えが発生しなくなったとき）、又は予め定めた回数の繰り返しを実行したとき等とすればよい。
【0065】
コマンド変換部３０４は、処理列最適化部３０３により最適化された処理列をコマンド列に変換する。コマンド列は、基板処理装置１２０が基板Ｗに対して実行する操作を示す情報である。コマンド列には、時間情報が付与されている。時間情報は、各コマンドを実行すべき時間を示す情報である。言い替えると、コマンド列は、基準時間に対する経過時間ごとに実行すべきコマンドが示された情報である。
【0066】
図７は、コマンド列の一例を示す図である。図７に示されているように、コマンド列は、時間を示す情報（Ｔ１，Ｔ２，・・・）と、コマンドの内容を示す情報との組み合わせが、時間単位で並べられた配列である。図７に示す例では、時間を示す情報は、コマンドを開始する時刻である。時間を示す情報は、コマンドの実行タイミングを定義する情報であればどのようなものでもよい。
【0067】
なお、図７に示すコマンド内容は、図５に示した処理Ｐ１～Ｐ１７に対応している。ただし、コマンド内容と処理内容とは必ずしも一対一で対応しなくともよい。ある処理が複数のコマンドで実現される場合、１つの処理内容と連続する複数のコマンド内容とが対応することもある。
【0068】
図４に戻って説明する。コマンド最適化部３０５は、時間発展シミュレータ３０５１及び最適化アルゴリズム３０５２を用いて、コマンド変換部３０４により生成されたコマンド列を調整するための調整方法を最適化する。
【0069】
調整方法は、外乱に応じてコマンド列の時間情報を調整する手順を示す。外乱は、各コマンドの処理時間の変動である。外乱は、例えば、処理チャンバにおけるプロセス時間の変動、又は基板処理装置１２０のメンテナンス等により発生し得る。また、外乱は、例えば、基板処理装置１２０のメンテナンス又は障害等により、利用可能なモジュール数の変動により発生することもある。調整方法は、例えば、あるコマンドで実行したプロセスの処理時間が１秒長くなった場合、そのコマンド以降のコマンドの開始時間を１秒ずつ遅らせる、といった内容となる。
【0070】
時間発展シミュレータ３０５１は、基板処理装置１２０による基板搬送を模擬するシミュレータである。時間発展シミュレータ３０５１は、コマンド列を入力とし、入力されたコマンド列に基づいて基板搬送のシミュレーションを実行する。時間発展シミュレータ３０５１によるシミュレーション結果は、最適化アルゴリズム３０５２に入力される。
【0071】
時間発展シミュレータ３０５１は、オンラインでのシミュレーションを実行する。つまり、時間発展シミュレータ３０５１には、次に実行するコマンドが時間情報に従って入力され、将来の状態が未知な状態で入力されたコマンドを実行する。時間発展シミュレータ３０５１は、時間単位でコマンドの実行結果を出力する。
【0072】
最適化アルゴリズム３０５２は、時間発展シミュレータ３０５１によるシミュレーション結果を入力とし、入力されたシミュレーション結果に基づいて、コマンド列の時間情報及び調整方法を最適化する。最適化アルゴリズム３０５２により最適化されたコマンド列は、時間発展シミュレータ３０５１に入力される。
【0073】
コマンド列の最適化に用いるアルゴリズムは、公知のアルゴリズムを用いることができる。アルゴリズムの一例は、逆強化学習、模倣学習及びルールベース等である。なお、レシピ情報又はコマンド列の内容に応じて異なるアルゴリズムを選択してもよい。
【0074】
コマンド最適化部３０５は、時間発展シミュレータ３０５１と最適化アルゴリズム３０５２とを繰り返し実行することで、コマンド列の時間情報及び調整方法を最適化する。コマンド最適化部３０５は、予め定めた収束条件を満たすと、その時点のコマンド列及び調整方法を最適化済みのコマンド列及び調整方法として出力する。収束条件は、コマンド列が収束したとき（例えば、時間情報が変化しなくなったとき）、又は予め定めた回数の繰り返しを実行したとき等とすればよい。
【0075】
制御情報出力部３０６は、基板処理装置１２０の動作を制御する制御情報を出力する。本実施形態における制御情報は、コマンド最適化部３０５により最適化されたコマンド列及び調整方法を含む。
【0076】
≪基板処理装置≫
図４に示されているように、本実施形態における基板処理装置１２０は、制御情報入力部４０１、状態取得部４０２、コマンド調整部４０３及び操作部４０４を備える。
図４に示されているように、本実施形態における基板処理装置１２０は、制御情報入力部４０１、状態取得部４０２、コマンド調整部４０３及び操作部４０４を備える。
【0077】
制御情報入力部４０１、状態取得部４０２、コマンド調整部４０３及び操作部４０４は、例えば、図３に示されているＣＰＵ５０６が、ＲＡＭ５０４上にロードされたプログラムを実行することにより実現される。
【0078】
制御情報入力部４０１は、基板処理装置１２０の動作を制御する制御情報の入力を受け付ける。制御情報には、基板処理装置１２０が実行する操作を示すコマンド列、及びコマンド列を調整する手順を示す調整方法が含まれる。
【0079】
状態取得部４０２は、基板処理装置１２０の状態を示す装置状態を取得する。装置状態には、基板処理装置１２０が備える各モジュールの状態が含まれる。装置状態には、利用可能なチャンバ数、モジュール数、アーム数等の装置構成が含まれてもよい。装置状態は、例えば、処理チャンバが処理を開始してから３０秒経過した、搬送アームが基板Ｗを２枚保持している、といった内容を含む。
【0080】
コマンド調整部４０３は、状態取得部４０２により取得された装置状態及び制御情報入力部４０１に入力された調整方法に基づいて、制御情報入力部４０１に入力されたコマンド列の時間情報を調整する。
【0081】
操作部４０４は、コマンド調整部４０３により調整された時間情報に従って、コマンド列に示されたコマンドを実行することで、基板Ｗに対する操作を実行する。
【0082】
（処理列の最適化とコマンド列の最適化との関係）
本実施形態における最適化装置１４０は、２段階の最適化を行う。第１の最適化は、処理列最適化部３０３による処理単位の順番の最適化である。第２の最適化は、コマンド最適化部３０５による調整方法の最適化である。
本実施形態における最適化装置１４０は、２段階の最適化を行う。第１の最適化は、処理列最適化部３０３による処理単位の順番の最適化である。第２の最適化は、コマンド最適化部３０５による調整方法の最適化である。
【0083】
被処理体に対する一連の処理の内容をコマンド列に変換し、コマンド列の時間情報を直接最適化する場合、時間単位ごとの各モジュールの最適な動作を探索することになる。この場合、探索空間が膨大となり、現実的な計算時間では最適化を行うことが困難である。まず、被処理体に対する一連の処理の順番を最適化し、次に、最適化された順番で処理を行うコマンド列の時間情報を調整することで、それぞれの最適化の探索空間を適切に設定することができ、全体の計算量を低減することができる。
【0084】
また、処理単位の順番の最適化では、オフラインの最適化が行われるため、時間を遡って処理の並べ替えが行われることがある。図８は、処理単位の順番と時間との関係の一例を示す図である。図８に示されている例では、処理１．基板Ｗ１を処理チャンバ（ＰＭ）に搬送、処理２．処理チャンバで基板Ｗ２にプロセス実行、処理３．基板Ｗ３をロードロック室（ＬＬＭ）に搬送・・・といった処理列があるとき、最適化アルゴリズム３０３２による最適化が行われると、処理２と処理３とが同じ時間に開始することになる。
【0085】
上記のような最適化では、最適な処理の順番を求めることができるが、オンラインで動作させることは困難である。処理１と処理２とを順番に実行した後に、処理３が入力されると、最適な処理の順番では処理２と同じ時間に開始すべきとなるが、実際には処理２の開始時間はすでに経過しており、その時間に開始することはできないからである。本実施形態では、最適化装置１４０がオフラインで処理の順番を最適化し、基板処理装置１２０がオンラインでコマンド列を調整する構成とすることで、時間を遡って処理の順番が並べ替えられることを回避し、オンラインで最適な動作を実現することが可能となっている。
【0086】
【0087】
ステップＳ１において、最適化装置１４０のレシピ入力部３０１は、ユーザによる操作に応じて、レシピ情報の入力を受け付ける。次に、レシピ入力部３０１は、受け付けたレシピ情報をレシピ分解部３０２に送る。
【0088】
ステップＳ２において、最適化装置１４０のレシピ分解部３０２は、レシピ入力部３０１からレシピ情報を受け取る。次に、レシピ分解部３０２は、レシピ情報に示された一連の処理を、１以上の処理を含む処理単位に分解する。これにより、初期状態の処理列が生成される。そして、レシピ分解部３０２は、初期状態の処理列を処理列最適化部３０３に送る。
【0089】
ステップＳ３において、最適化装置１４０の処理列最適化部３０３は、レシピ分解部３０２から初期状態の処理列を受け取る。次に、処理列最適化部３０３は、初期状態の処理列を処理列シミュレータ３０３１に入力する。
【0090】
処理列シミュレータ３０３１は、入力された処理列に基づいて基板搬送のシミュレーションを実行する。処理列シミュレータ３０３１によるシミュレーション結果は、最適化アルゴリズム３０３２に入力される。
【0091】
最適化アルゴリズム３０３２は、入力されたシミュレーション結果に基づいて、予め定めた最適化指標を満たすように、処理単位の順番を最適化する。最適化アルゴリズム３０３２により最適化された処理列は、処理列シミュレータ３０３１に入力される。
【0092】
処理列最適化部３０３は、予め定めた収束条件を満たすまで、処理列シミュレータ３０３１と最適化アルゴリズム３０３２とを繰り返し実行する。処理列最適化部３０３は、収束条件を満たしたとき、その時点の処理列をコマンド変換部３０４に送る。
【0093】
ステップＳ４において、最適化装置１４０のコマンド変換部３０４は、処理列最適化部３０３から処理列を受け取る。次に、コマンド変換部３０４は、処理列をコマンド列に変換する。そして、コマンド変換部３０４は、コマンド列をコマンド最適化部３０５に送る。
【0094】
ステップＳ５において、最適化装置１４０のコマンド最適化部３０５は、コマンド変換部３０４からコマンド列を受け取る。次に、コマンド最適化部３０５は、コマンド列を時間発展シミュレータ３０５１に入力する。
【0095】
時間発展シミュレータ３０５１は、入力されたコマンド列に基づいて基板搬送のシミュレーションを実行する。時間発展シミュレータ３０５１によるシミュレーション結果は、最適化アルゴリズム３０５２に入力される。
【0096】
最適化アルゴリズム３０５２は、入力されたシミュレーション結果に基づいて、コマンド列の時間情報及び調整方法を最適化する。最適化アルゴリズム３０５２により最適化されたコマンド列は、時間発展シミュレータ３０５１に入力される。
【0097】
コマンド最適化部３０５は、予め定めた収束条件を満たすまで、時間発展シミュレータ３０５１と最適化アルゴリズム３０５２とを繰り返し実行する。コマンド最適化部３０５は、収束条件を満たしたとき、その時点のコマンド列及び調整方法を制御情報出力部３０６に送る。
【0098】
ステップＳ６において、最適化装置１４０の制御情報出力部３０６は、コマンド最適化部３０５からコマンド列及び調整方法を受け取る。次に、制御情報出力部３０６は、コマンド列及び調整方法を含む制御情報を生成する。そして、制御情報出力部３０６は、制御情報を基板処理装置１２０に送信する。
【0099】
ステップＳ７において、基板処理装置１２０の制御情報入力部４０１は、最適化装置１４０から制御情報を受信する。次に、制御情報入力部４０１は、受信した制御情報の入力を受け付ける。そして、制御情報入力部４０１は、受け付けた制御情報をコマンド調整部４０３に送る。
【0100】
ステップＳ８において、基板処理装置１２０の状態取得部４０２は、基板処理装置１２０が備える各モジュールの状態を取得する。次に、状態取得部４０２は、各モジュールの状態を含む装置状態を生成する。そして、状態取得部４０２は、装置状態をコマンド調整部４０３に送る。
【0101】
ステップＳ９において、基板処理装置１２０のコマンド調整部４０３は、制御情報入力部４０１から制御情報を受け取る。また、コマンド調整部４０３は、状態取得部４０２から装置状態を受け取る。次に、コマンド調整部４０３は、装置状態に基づいて外乱が発生したか否かを判定する。外乱が発生した場合、コマンド調整部４０３は、外乱に応じた調整方法に従って、コマンド列を調整する。そして、コマンド調整部４０３は、調整したコマンド列を操作部４０４に送る。なお、外乱が発生していない場合、コマンド調整部４０３は、コマンド列を調整せずに、そのまま操作部４０４に送る。
【0102】
ステップＳ１０において、基板処理装置１２０の操作部４０４は、コマンド調整部４０３からコマンド列を受け取る。次に、操作部４０４は、コマンド列に示された時間情報に従って、コマンド列に示されたコマンドを実行する。これにより、基板処理装置１２０が備える各モジュールが、基板Ｗに対する操作を実行する。
【0103】
ステップＳ１１において、基板処理装置１２０は、コマンド列に示されたすべてのコマンドが完了したか否かを判定する。すべてのコマンドが完了した場合（ＹＥＳ）、基板処理装置１２０は基板処理方法の処理を終了する。一方、完了していないコマンドがある場合（ＮＯ）、基板処理装置１２０はステップＳ８に処理を戻す。その後、基板処理装置１２０は、装置状態に基づいて残りのコマンドの時間情報を調整し、すべてのコマンドが完了するまで順次残りのコマンドを実行する。
【0104】
＜第１実施形態の効果＞
本実施形態における最適化装置１４０は、被処理体に対する一連の処理を示すレシピ情報に基づいて、基板処理装置１２０が実行する操作を示すコマンド列と、基板処理装置１２０の状態に応じてコマンド列を調整する手順を示す調整方法を生成する。本実施形態における基板処理装置１２０は、コマンド列に従って被処理体に対する操作を行い、基板処理装置１２０の状態に基づいてコマンド列を調整する。したがって、本実施形態における基板処理システム１００によれば、基板処理装置１２０の状態に応じて基板処理装置１２０が実行する操作を調整することができる。
本実施形態における最適化装置１４０は、被処理体に対する一連の処理を示すレシピ情報に基づいて、基板処理装置１２０が実行する操作を示すコマンド列と、基板処理装置１２０の状態に応じてコマンド列を調整する手順を示す調整方法を生成する。本実施形態における基板処理装置１２０は、コマンド列に従って被処理体に対する操作を行い、基板処理装置１２０の状態に基づいてコマンド列を調整する。したがって、本実施形態における基板処理システム１００によれば、基板処理装置１２０の状態に応じて基板処理装置１２０が実行する操作を調整することができる。
【0105】
本実施形態における基板処理装置１２０は、基板処理装置１２０の状態に基づいて外乱が発生したか否かを判定し、外乱が発生した場合、外乱に応じた調整方法に従って、コマンド列を調整する。したがって、本実施形態における基板処理システム１００によれば、プロセス時間の変動等のリアルタイムな外乱に対して適切に対応することができる。
【0106】
本実施形態における最適化装置１４０は、レシピ情報に示された一連の処理を１以上の処理を含む処理単位に分解した処理列を生成し、予め定めた最適化指標に基づいて処理単位の順番を最適化する。また、本実施形態における最適化装置１４０は、最適化された処理列をコマンド列に変換し、コマンド列の時間情報を最適化する。したがって、本実施形態における基板処理システム１００によれば、最適化における探索空間が適切に設定され、最適化に要する計算時間を低減することができる。
【0107】
本実施形態における基板処理装置１２０は、被処理体に対してプロセスを行う複数の処理チャンバと、被処理体をロード又はアンロードするためのロードロック室と、処理チャンバとロードロック室との間で被処理体を搬送する搬送機構とを備える。したがって、本実施形態における基板処理システム１００によれば、基板処理装置１２０の状態に応じて、被処理体の搬送スケジュールを最適化することができる。
【0108】
［変形例１］
第１実施形態では、予め定めた最適化指標に基づいて最適化した処理列に基づいてコマンド列及び調整方法を生成した。変形例１では、複数の最適化指標に基づいて最適化した複数の処理列のうち、ユーザにより選択された処理列に基づいてコマンド列及び調整方法を生成する。
第１実施形態では、予め定めた最適化指標に基づいて最適化した処理列に基づいてコマンド列及び調整方法を生成した。変形例１では、複数の最適化指標に基づいて最適化した複数の処理列のうち、ユーザにより選択された処理列に基づいてコマンド列及び調整方法を生成する。
【0109】
以下、本変形例における基板処理システム１００について、第１実施形態との相違点を中心に説明する。なお、本変形例は、第１実施形態以外の各実施形態及び各変形例に対しても適用可能である。
【0110】
【0111】
≪最適化装置≫
図１０に示されているように、本変形例における最適化装置１４０は、レシピ入力部３０１、レシピ分解部３０２、処理列最適化部３０３、コマンド変換部３０４、コマンド最適化部３０５、制御情報出力部３０６及び候補提示部３０７を備える。本変形例における最適化装置１４０は、第１実施形態における最適化装置１４０と比較して、候補提示部３０７をさらに備える点が異なる。
図１０に示されているように、本変形例における最適化装置１４０は、レシピ入力部３０１、レシピ分解部３０２、処理列最適化部３０３、コマンド変換部３０４、コマンド最適化部３０５、制御情報出力部３０６及び候補提示部３０７を備える。本変形例における最適化装置１４０は、第１実施形態における最適化装置１４０と比較して、候補提示部３０７をさらに備える点が異なる。
【0112】
本変形例における処理列最適化部３０３は、複数の異なる最適化指標に基づいて処理列が実行される順番を最適化することで、複数の処理列候補を生成する。選択可能な最適化指標の種類、及び最適化に用いるアルゴリズムは、第１実施形態と同様である。ただし、最適化指標に応じて、最適化に用いるアルゴリズムを選択してもよい。
【0113】
候補提示部３０７は、処理列最適化部３０３により生成された処理列候補を、表示装置５０６等に出力する。候補提示部３０７は、複数の最適化指標に基づく複数の処理列候補を、選択可能な態様でユーザに提示する。
【0114】
【0115】
図１１に示されているように、本変形例における候補提示画面６００は、搬送条件表示欄６１０、チャート表示欄６２０、操作可視化欄６３０、条件変更ボタン６４１、最適化ボタン６４２及び決定ボタン６４３を有する。
【0116】
搬送条件表示欄６１０は、レシピ表示欄６１１及び指標表示欄６１２を有する。レシピ表示欄６１１には、ユーザにより入力されたレシピ情報の内容が表示される。指標表示欄６１２には、現在選択されている最適化指標が表示される。
【0117】
チャート表示欄６２０には、現在選択されている最適化指標に基づいて最適化された処理列が、チャート図に変換されて表示される。チャート図では、基板処理装置１２０が備えるモジュールごとに、基準時間（０秒）からの経過時間において処理している基板Ｗ（ウェハ）が示される。
【0118】
操作可視化欄６３０には、チャート図に表示されている処理列に従った各モジュールの動作が可視化される。チャート表示欄６２０には再生ボタン６２１が表示されており、ユーザが再生ボタン６２１を押下すると、チャート図上で現在時刻（Ｎｏｗ）が時間軸上を進行する。操作可視化欄６３０では、基板処理装置１２０を模した画像が表示されており、現在時刻の進行に伴って各モジュールで基板Ｗが処理される様子がアニメーションで表示される。チャート表示欄６２０に示す現在時刻（Ｎｏｗ）には、操作可視化欄６３０に示すようにウェハ１０１、１０２、１０３が各モジュールに置かれている。
【0119】
条件変更ボタン６４１は、最適化指標を切り替えるためのボタンである。ユーザが条件変更ボタン６４１を押下すると、選択可能な最適化指標の選択肢が表示される。ユーザが所望の最適化指標を選択すると、指標表示欄６１２に新たに選択された最適化指標が表示される。同時に、チャート表示欄６２０に、新たに選択された最適化指標に基づいて最適化された処理列が表示される。
【0120】
最適化ボタン６４２は、最適化を実行するためのボタンである。例えば、ユーザがレシピ表示欄６１１においてレシピを編集し、最適化ボタン６４２を押下すると、搬送条件表示欄６１０に表示されている内容に基づいて、処理列の最適化が再度実行される。最適化が終わると、チャート表示欄６２０に新たに最適化された処理列がチャート図に変換されて表示される。
【0121】
決定ボタン６４３は、処理列候補を選択するためのボタンである。ユーザが決定ボタン６４３を押下すると、指標表示欄６１２に表示された最適化指標に基づく処理列候補が選択される。処理列候補が選択されると、候補提示部３０７は、選択された処理列候補をコマンド変換部３０４に送る。
【0122】
＜変形例１の効果＞
本変形例における最適化装置１４０は、複数の最適化指標それぞれに基づいて処理列を最適化した複数の処理列候補をユーザに提示し、ユーザにより選択された処理列候補をコマンド列に変換する。したがって、本変形例における基板処理システム１００によれば、ユーザの要望に沿った搬送スケジュールを実現することができる。
本変形例における最適化装置１４０は、複数の最適化指標それぞれに基づいて処理列を最適化した複数の処理列候補をユーザに提示し、ユーザにより選択された処理列候補をコマンド列に変換する。したがって、本変形例における基板処理システム１００によれば、ユーザの要望に沿った搬送スケジュールを実現することができる。
【0123】
例えば、ある最適化指標に基づいて最適化を行った場合に、異なる観点で問題が発生することがある。具体的には、スループット重視で最適化した場合に、処理チャンバのアイドル時間にばらつきが出る等、ユーザが想定していない問題が発生する可能性がある。複数の最適化指標に基づく処理列候補をユーザに提示し、ユーザがそれらを比較しながら検討することができれば、実機で実行する前に問題を発見することができ、基板の廃棄等を抑止することが期待できる。
【0124】
［変形例２］
第１実施形態では、予め定めた最適化指標に基づいて処理単位の順番を最適化した。変形例２では、最適化済みの処理列を参照しながら処理単位の順番を最適化する。
第１実施形態では、予め定めた最適化指標に基づいて処理単位の順番を最適化した。変形例２では、最適化済みの処理列を参照しながら処理単位の順番を最適化する。
【0125】
以下、本変形例における基板処理システム１００について、第１実施形態との相違点を中心に説明する。なお、本変形例は、第１実施形態以外の各実施形態及び各変形例に対しても適用可能である。
【0126】
【0127】
≪最適化装置≫
図１２に示されているように、本変形例における最適化装置１４０は、レシピ入力部３０１、レシピ分解部３０２、処理列最適化部３０３、コマンド変換部３０４、コマンド最適化部３０５及び制御情報出力部３０６を備える。なお、本変形例における最適化装置１４０は、第１実施形態における最適化装置１４０と比較して、レシピ情報に加えて、実績データを入力とする点が異なる。
図１２に示されているように、本変形例における最適化装置１４０は、レシピ入力部３０１、レシピ分解部３０２、処理列最適化部３０３、コマンド変換部３０４、コマンド最適化部３０５及び制御情報出力部３０６を備える。なお、本変形例における最適化装置１４０は、第１実施形態における最適化装置１４０と比較して、レシピ情報に加えて、実績データを入力とする点が異なる。
【0128】
本変形例におけるレシピ入力部３０１は、レシピ情報及び実績データの入力を受け付ける。実績データは、最適化済みの処理列を示すデータである。最適化済みの処理列は、入力されるレシピ情報と類似する内容であるとよい。
【0129】
例えば、１０枚の基板Ｗを処理したときの処理列があるとき、同じ処理内容で２０枚の基板Ｗを処理したい場合であれば、１０枚の基板Ｗを処理したときの処理列を実績データとして入力すればよい。また、例えば、１０個の処理を実行したときの処理列があるとき、さらに数個の処理を追加したレシピ情報を入力するのであれば、１０個の処理を実行したときの処理列を実績データとして入力すればよい。
【0130】
本変形例における処理列最適化部３０３は、レシピ入力部３０１に入力された実績データに基づいて、処理単位の順番を最適化する。具体的には、処理列最適化部３０３は、レシピ分解部３０２により生成された処理列のうち、実績データの処理列と合致する部分については実績データの処理列を再利用する。一方、実績データの処理列と異なる部分については、予め定めた最適化指標に基づいて処理単位の順番を最適化する。
【0131】
例えば、日常的に基板Ｗを処理するために用いているレシピ情報があるときに、緊急に処理したい基板Ｗが発生したとする。この場合、緊急に処理したい基板Ｗを処理するレシピ情報を入力し、新しく全体を計算し直すことも可能であるが、大部分が日常的に用いているレシピ情報に基づく処理列と同様のものとなる。すでに実績のある処理列の一部を再利用することができれば、その部分に関する最適化の計算は省略することができ、大幅に計算量を低減することができる。その結果、緊急で処理したい基板Ｗを処理するためのリードタイムを短縮することができる。
【0132】
＜変形例２の効果＞
本変形例における最適化装置１４０は、処理列のうち、最適化済み処理列と異なる部分について、順番を最適化する。言い替えると、本変形例における最適化装置１４０は、実績のある処理列と同じ部分を再利用して最適化を行う。したがって、本変形例における基板処理システム１００によれば、実績のあるレシピ情報と類似するレシピ情報であれば、最適化に要する計算量をさらに低減することができる。
本変形例における最適化装置１４０は、処理列のうち、最適化済み処理列と異なる部分について、順番を最適化する。言い替えると、本変形例における最適化装置１４０は、実績のある処理列と同じ部分を再利用して最適化を行う。したがって、本変形例における基板処理システム１００によれば、実績のあるレシピ情報と類似するレシピ情報であれば、最適化に要する計算量をさらに低減することができる。
【0133】
［第２実施形態］
第１実施形態では、最適化装置１４０がコマンド列及び調整方法を最適化し、基板処理装置１２０が装置状態及び調整方法に基づいてコマンド列を調整しながら基板Ｗに対する処理を実行した。第２実施形態では、最適化装置１４０が、処理列が実行される順番を最適化し、最適化された処理列を再現するための整列規則を生成する。基板処理装置１２０は装置状態及び整列規則に基づいて処理列が実行される順番を最適化し、最適化された処理列に基づいて基板Ｗに対する処理を実行する。
第１実施形態では、最適化装置１４０がコマンド列及び調整方法を最適化し、基板処理装置１２０が装置状態及び調整方法に基づいてコマンド列を調整しながら基板Ｗに対する処理を実行した。第２実施形態では、最適化装置１４０が、処理列が実行される順番を最適化し、最適化された処理列を再現するための整列規則を生成する。基板処理装置１２０は装置状態及び整列規則に基づいて処理列が実行される順番を最適化し、最適化された処理列に基づいて基板Ｗに対する処理を実行する。
【0134】
以下、本実施形態における基板処理システム１００について、第１実施形態との相違点を中心に説明する。なお、本実施形態は、第１実施形態以外の各変形例に対しても適用可能である。
【0135】
【0136】
≪最適化装置≫
図１３に示されているように、本実施形態における最適化装置１４０は、レシピ入力部３０１、レシピ分解部３０２、処理列最適化部３０３－１、制御情報出力部３０６及び整列規則記憶部３０８を備える。処理列最適化部３０３－１は、処理列シミュレータ３０３１－１及び最適化アルゴリズム３０３２－１を含む。本実施形態における最適化装置１４０は、第１実施形態における最適化装置１４０と比較して、コマンド変換部３０４及びコマンド最適化部３０５を備えず、整列規則記憶部３０８を備える点が異なる。
図１３に示されているように、本実施形態における最適化装置１４０は、レシピ入力部３０１、レシピ分解部３０２、処理列最適化部３０３－１、制御情報出力部３０６及び整列規則記憶部３０８を備える。処理列最適化部３０３－１は、処理列シミュレータ３０３１－１及び最適化アルゴリズム３０３２－１を含む。本実施形態における最適化装置１４０は、第１実施形態における最適化装置１４０と比較して、コマンド変換部３０４及びコマンド最適化部３０５を備えず、整列規則記憶部３０８を備える点が異なる。
【0137】
整列規則記憶部３０８には、処理列を並べ替える規則を示す整列規則が記憶される。初期状態では、整列規則記憶部３０８には、整列規則の初期値が記憶されている。整列規則記憶部３０８には、処理列最適化部３０３－１で処理単位の順番が最適化されるたびに、新たな整列規則が蓄積される。
【0138】
整列規則は、最適化前の処理単位の順番と、最適化後の処理単位の順番との差分を示す情報である。具体的には、例えば、ある処理列のグルーピング、処理列の優先度付け、処理列の同期を取る場所の指定等を、整列規則として用いることができる。ただし、整列規則としてどのような情報を用いるかは、最適化アルゴリズム３０３２－１に応じて選択することができる。
【0139】
処理列最適化部３０３－１は、処理列シミュレータ３０３１－１及び最適化アルゴリズム３０３２－１を用いて、レシピ分解部３０２により生成された処理列における処理単位の順番を最適化する。処理列最適化部３０３－１は、整列規則記憶部３０８から整列規則を読み出し、最適化アルゴリズム３０３２－１に入力する。また、処理列最適化部３０３－１は、最適化アルゴリズム３０３２－１から出力された処理列に基づいて、整列規則を生成し、整列規則記憶部３０８に記憶する。
【0140】
本実施形態における最適化アルゴリズム３０３２－１は、処理列シミュレータ３０３１－１によるシミュレーション結果及び整列規則記憶部３０８から読み出した整列規則を入力し、入力されたシミュレーション結果及び整列規則に基づいて、予め定めた最適化指標を満たすように、処理単位の順番を最適化する。なお、最適化アルゴリズム３０３２－１は、整列規則が入力されると、その整列規則を利用してより効率的に処理単位の順番を最適化するように構成されている。
【0141】
本実施形態における制御情報出力部３０６は、基板処理装置１２０の動作を制御する制御情報を出力する。本実施形態における制御情報は、処理列最適化部３０３－１により最適化された処理列及びその処理列を生成したときの整列規則を含む。
【0142】
≪基板処理装置≫
図１３に示されているように、本実施形態における基板処理装置１２０は、制御情報入力部４０１、状態取得部４０２、処理列最適化部３０３－２、コマンド変換部３０４及び操作部４０４を備える。処理列最適化部３０３－２は、処理列シミュレータ３０３１－２及び最適化アルゴリズム３０３２－２を含む。本実施形態における基板処理装置１２０は、第１実施形態における基板処理装置１２０と比較して、コマンド調整部４０３の代わりに処理列最適化部３０３－２及びコマンド変換部３０４を備える点が異なる。
図１３に示されているように、本実施形態における基板処理装置１２０は、制御情報入力部４０１、状態取得部４０２、処理列最適化部３０３－２、コマンド変換部３０４及び操作部４０４を備える。処理列最適化部３０３－２は、処理列シミュレータ３０３１－２及び最適化アルゴリズム３０３２－２を含む。本実施形態における基板処理装置１２０は、第１実施形態における基板処理装置１２０と比較して、コマンド調整部４０３の代わりに処理列最適化部３０３－２及びコマンド変換部３０４を備える点が異なる。
【0143】
本実施形態における制御情報入力部４０１は、基板処理装置１２０の動作を制御する制御情報の入力を受け付ける。制御情報には、被処理体に対する処理の順番を示す処理列、及び処理列を整列する規則を示す整列規則が含まれる。
【0144】
処理列最適化部３０３－２は、状態取得部４０２により取得された装置状態に基づいて、外乱を検知する。外乱を検知した場合、処理列最適化部３０３－２は、処理列シミュレータ３０３１－２及び最適化アルゴリズム３０３２－２を用いて、制御情報入力部４０１に入力された処理列における処理単位の順番を最適化する。
【0145】
外乱の検知は、状態取得部４０２により取得された装置状態において、制御情報入力部４０１に入力された処理列から変換されたコマンド列が実行できるか否かを判定することで行う。現在の装置状態においてコマンド列が実行できる場合、外乱が発生していないと判定する。一方、現在の装置状態においてコマンド列が実行できない場合、外乱が発生したと判定する。
【0146】
第１実施形態における最適化アルゴリズム３０３２は、オフラインでのシミュレーションを実行する。そのため、現在時刻をまたいで処理単位が並べ替えられるおそれがある。具体的には、現在時刻よりも後に実行される処理が現在時刻よりも前に移動したり、現在時刻よりも前に実行された処理が現在時刻よりも後に移動したりすることが起こり得る。本実施形態における基板処理装置１２０は、リアルタイムに基板Ｗを処理しながら処理列を最適化するため、現在時刻よりも前に移動した処理が実行されなかったり、現在時刻よりも後に移動した処理が二重で実行されたりする等の問題が起こる。
【0147】
このような問題を回避するために、本実施形態における最適化アルゴリズム３０３２－２は、処理単位の順番を最適化するとき、現在時刻をまたいだ処理単位の並べ替えを行わない制約を設ける。具体的には、現在時刻よりも後の処理のみを最適化の対象とし、現在時刻よりも後の処理が現在時刻よりも前に移動することがないように、処理列が実行される順番を最適化する。
【0148】
【0149】
ステップＳ２１において、最適化装置１４０のレシピ入力部３０１は、ユーザによる操作に応じて、レシピ情報の入力を受け付ける。次に、レシピ入力部３０１は、受け付けたレシピ情報をレシピ分解部３０２に送る。
【0150】
ステップＳ２２において、最適化装置１４０のレシピ分解部３０２は、レシピ入力部３０１からレシピ情報を受け取る。次に、レシピ分解部３０２は、レシピ情報に示された一連の処理を、１以上の処理を含む処理単位に分解する。これにより、初期状態の処理列が生成される。そして、レシピ分解部３０２は、初期状態の処理列を処理列最適化部３０３－１に送る。
【0151】
ステップＳ３において、最適化装置１４０の処理列最適化部３０３－１は、レシピ分解部３０２から初期状態の処理列を受け取る。次に、処理列最適化部３０３－１は、処理列を処理列シミュレータ３０３１－１に入力する。
【0152】
続いて、処理列最適化部３０３－１は、整列規則記憶部３０８から整列規則を読み出す。次に、処理列最適化部３０３－１は、整列規則を最適化アルゴリズム３０３２－１に入力する。
【0153】
処理列最適化部３０３－１は、予め定めた収束条件を満たすまで、処理列シミュレータ３０３１－１と最適化アルゴリズム３０３２－１とを繰り返し実行する。処理列最適化部３０３－１は、収束条件を満たしたとき、その時点の処理列を制御情報出力部３０６に送る。
【0154】
さらに、処理列最適化部３０３－１は、入力された処理列及び出力する処理列に基づいて、整列規則を生成する。そして、処理列最適化部３０３－１は、整列規則を整列規則記憶部３０８に記憶する。
【0155】
ステップＳ２４において、最適化装置１４０の制御情報出力部３０６は、処理列最適化部３０３－１から処理列及び整列規則を受け取る。次に、制御情報出力部３０６は、処理列及び整列規則を含む制御情報を生成する。そして、制御情報出力部３０６は、制御情報を基板処理装置１２０に送信する。
【0156】
ステップＳ２５において、基板処理装置１２０の制御情報入力部４０１は、最適化装置１４０から制御情報を受信する。次に、制御情報入力部４０１は、受信した制御情報の入力を受け付ける。そして、制御情報入力部４０１は、受け付けた制御情報を処理列最適化部３０３－２に送る。
【0157】
ステップＳ２６において、基板処理装置１２０の状態取得部４０２は、基板処理装置１２０が備える各モジュールの状態を取得する。次に、状態取得部４０２は、各モジュールの状態を含む装置状態を生成する。そして、状態取得部４０２は、装置状態を処理列最適化部３０３－２に送る。
【0158】
ステップＳ２７において、基板処理装置１２０の処理列最適化部３０３－２は、制御情報入力部４０１から制御情報を受け取る。また、処理列最適化部３０３－２は、状態取得部４０２から装置状態を受け取る。次に、処理列最適化部３０３－２は、装置状態に基づいて、外乱を検知する。外乱を検知しなかった場合、処理列最適化部３０３－２は、制御情報に含まれる処理列をコマンド変換部３０４に送る。
【0159】
外乱を検知した場合、処理列最適化部３０３－２は、制御情報に含まれる処理列を処理列シミュレータ３０３１－２に入力する。また、処理列最適化部３０３－２は、制御情報に含まれる整列規則を最適化アルゴリズム３０３２－２に入力する。
【0160】
処理列最適化部３０３－２は、予め定めた収束条件を満たすまで、処理列シミュレータ３０３１－２と最適化アルゴリズム３０３２－２とを繰り返し実行する。処理列最適化部３０３－２は、収束条件を満たしたとき、その時点の処理列をコマンド変換部３０４に送る。
【0161】
ステップＳ２８において、基板処理装置１２０のコマンド変換部３０４は、処理列最適化部３０３－２から処理列を受け取る。次に、コマンド変換部３０４は、処理列をコマンド列に変換する。そして、コマンド変換部３０４は、コマンド列を操作部４０４に送る。
【0162】
ステップＳ２９において、基板処理装置１２０の操作部４０４は、コマンド変換部３０４からコマンド列を受け取る。次に、操作部４０４は、コマンド列に示された時間情報に従って、コマンド列に示されたコマンドを実行する。これにより、基板処理装置１２０が備える各モジュールが、基板Ｗに対する操作を実行する。
【0163】
ステップＳ３０において、基板処理装置１２０は、コマンド列に示されたすべてのコマンドが完了したか否かを判定する。すべてのコマンドが完了した場合（ＹＥＳ）、基板処理装置１２０は基板処理方法の処理を終了する。一方、完了していないコマンドがある場合（ＮＯ）、基板処理装置１２０はステップＳ２６に処理を戻す。その後、基板処理装置１２０は、装置状態に基づいて残りのコマンドの時間情報を調整し、すべてのコマンドが完了するまで順次残りのコマンドを実行する。
【0164】
＜第２実施形態の効果＞
本実施形態における最適化装置１４０は、被処理体に対する一連の処理を示すレシピ情報に基づいて、被処理体に対する１以上の処理を示す処理単位を並べた処理列と、基板処理装置１２０の状態に応じて処理列を整列する規則を示す整列規則を生成する。本実施形態における基板処理装置１２０は、処理列から変換されたコマンド列に従って被処理体に対する操作を行い、基板処理装置１２０の状態に基づいて処理列が実行される順番を最適化する。したがって、本実施形態における基板処理システム１００によれば、基板処理装置１２０の状態に応じて基板処理装置１２０が実行する操作を調整することができる。
本実施形態における最適化装置１４０は、被処理体に対する一連の処理を示すレシピ情報に基づいて、被処理体に対する１以上の処理を示す処理単位を並べた処理列と、基板処理装置１２０の状態に応じて処理列を整列する規則を示す整列規則を生成する。本実施形態における基板処理装置１２０は、処理列から変換されたコマンド列に従って被処理体に対する操作を行い、基板処理装置１２０の状態に基づいて処理列が実行される順番を最適化する。したがって、本実施形態における基板処理システム１００によれば、基板処理装置１２０の状態に応じて基板処理装置１２０が実行する操作を調整することができる。
【0165】
［補足］
今回開示された実施形態に係る情報処理装置及び基板処理装置は、すべての点において例示であって制限的なものではない。実施形態は、添付の請求の範囲及びその主旨を逸脱することなく、様々な形態で変形及び改良が可能である。上記複数の実施形態に記載された事項は、矛盾しない範囲で他の構成も取り得ることができ、また、矛盾しない範囲で組み合わせることができる。
今回開示された実施形態に係る情報処理装置及び基板処理装置は、すべての点において例示であって制限的なものではない。実施形態は、添付の請求の範囲及びその主旨を逸脱することなく、様々な形態で変形及び改良が可能である。上記複数の実施形態に記載された事項は、矛盾しない範囲で他の構成も取り得ることができ、また、矛盾しない範囲で組み合わせることができる。
【0166】
本開示の基板処理方法を含むプロセスを実行する基板処理装置は、上記の基板処理装置１２０のように真空下で処理を行う基板処理装置に限らない。基板処理装置は、ドライエッチング、成膜などの真空下で処理を行う装置だけでなく、塗布現像、洗浄などの大気下で処理を行う装置でも適用可能である。
【0167】
以上に開示された実施形態は、例えば、以下の態様を含む。
（付記１）
被処理体を処理する基板処理装置と通信可能な情報処理装置であって、
前記被処理体に対する一連の処理を示すレシピ情報の入力を受け付けるように構成されている入力部と、
前記レシピ情報に基づいて前記基板処理装置が実行する操作を示すコマンド列を生成するように構成されているコマンド変換部と、
前記基板処理装置の状態に応じて前記コマンド列を調整する手順を示す調整方法を生成するように構成されているコマンド最適化部と、
前記コマンド列及び前記調整方法を前記基板処理装置に出力するように構成されている出力部と、
を備える情報処理装置。
（付記２）
付記１に記載の情報処理装置であって、
前記レシピ情報に示された前記一連の処理を前記被処理体に対する１以上の処理を示す処理単位に分解した処理列を生成するように構成されているレシピ分解部と、
予め定めた最適化指標に基づいて前記処理列が実行される順番を最適化するように構成されている処理列最適化部と、
をさらに備える情報処理装置。
（付記３）
付記２に記載の情報処理装置であって、
前記コマンド変換部は、前記処理列最適化部により順番が最適化された前記処理列を前記コマンド列に変換するように構成されている、
情報処理装置。
（付記４）
付記２又は付記３に記載の情報処理装置であって、
複数の最適化指標それぞれに基づいて前記処理列が実行される順番を最適化した複数の処理列候補を出力するように構成されている候補提示部をさらに備え、
前記コマンド変換部は、ユーザにより選択された前記処理列候補を前記コマンド列に変換するように構成されている、
情報処理装置。
（付記５）
付記２から付記４のいずれかに記載の情報処理装置であって、
前記入力部は、最適化済み処理列の入力をさらに受け付けるように構成されており、
前記処理列最適化部は、前記最適化済み処理列に基づいて、前記処理列が実行される順番を最適化するように構成されている、
情報処理装置。
（付記６）
付記５に記載の情報処理装置であって、
前記処理列最適化部は、前記処理列のうち、前記最適化済み処理列と異なる部分について、前記処理列が実行される順番を最適化するように構成されている、
情報処理装置。
（付記７）
付記１から付記６のいずれかに記載の情報処理装置であって、
前記基板処理装置は、
前記被処理体に対してプロセスを行う複数の処理チャンバと、
前記被処理体を格納するロードポートと、
前記被処理体をロード又はアンロードするためのロードロック室と、
前記ロードポートと前記ロードロック室との間及び前記ロードロック室と前記処理チャンバとの間で前記被処理体を搬送する搬送機構と、
を備える情報処理装置。
（付記８）
被処理体を処理する基板処理装置と通信可能な情報処理装置であって、
前記被処理体に対する一連の処理を示すレシピ情報の入力を受け付けるように構成されている入力部と、
前記レシピ情報に示された前記一連の処理を前記被処理体に対する１以上の処理を示す処理単位に分解した処理列を生成するように構成されているレシピ分解部と、
前記基板処理装置の状態に応じて前記処理列を整列する規則を示す整列規則を生成するように構成されている処理列最適化部と、
前記処理列及び前記整列規則を前記基板処理装置に出力するように構成されている出力部と、
を備える情報処理装置。
（付記９）
被処理体を処理する基板処理装置であって、
前記被処理体に対する操作を示すコマンド列及び前記コマンド列を調整する手順を示す調整方法の入力を受け付けるように構成されている入力部と、
前記基板処理装置の状態及び前記調整方法に基づいて前記コマンド列を調整するように構成されているコマンド調整部と、
前記コマンド列に従って前記被処理体に対する操作を行うように構成されている操作部と、
を備える基板処理装置。
（付記１０）
被処理体を処理する基板処理装置であって、
前記被処理体に対する１以上の処理を含む処理単位が配列された処理列及び前記処理列を整列する規則を示す整列規則との入力を受け付けるように構成されている入力部と、
前記基板処理装置の状態及び前記整列規則に基づいて前記処理列が実行される順番を最適化するように構成されている処理列最適化部と、
前記処理列を前記被処理体に対する操作を示すコマンド列に変換するように構成されているコマンド変換部と、
前記コマンド列に従って前記被処理体に対する操作を行うように構成されている操作部と、
を備える基板処理装置。
（付記１１）
被処理体に対する一連の処理を示すレシピ情報の入力を受け付ける工程と、
前記レシピ情報に基づいて基板処理装置が実行する操作を示すコマンド列を生成する工程と、
前記基板処理装置の状態に応じて前記コマンド列を調整する手順を示す調整方法を生成する工程と、
前記基板処理装置の状態及び前記調整方法に基づいて前記コマンド列を調整する工程と、
前記コマンド列に従って前記被処理体に対する操作を行う工程と、
を実行する基板処理方法。
（付記１２）
被処理体に対する一連の処理を示すレシピ情報の入力を受け付ける工程と、
前記レシピ情報に示された前記一連の処理を前記被処理体に対する１以上の処理を示す処理単位に分解した処理列を生成する工程と、
基板処理装置の状態に応じて前記処理列を整列する規則を示す整列規則を生成する工程と、
前記基板処理装置の状態及び前記整列規則に基づいて前記処理列が実行される順番を最適化する工程と、
前記処理列を前記被処理体に対する操作を示すコマンド列に変換する工程と、
前記コマンド列に従って前記被処理体に対する操作を行う工程と、
を実行する基板処理方法。
（付記１）
被処理体を処理する基板処理装置と通信可能な情報処理装置であって、
前記被処理体に対する一連の処理を示すレシピ情報の入力を受け付けるように構成されている入力部と、
前記レシピ情報に基づいて前記基板処理装置が実行する操作を示すコマンド列を生成するように構成されているコマンド変換部と、
前記基板処理装置の状態に応じて前記コマンド列を調整する手順を示す調整方法を生成するように構成されているコマンド最適化部と、
前記コマンド列及び前記調整方法を前記基板処理装置に出力するように構成されている出力部と、
を備える情報処理装置。
（付記２）
付記１に記載の情報処理装置であって、
前記レシピ情報に示された前記一連の処理を前記被処理体に対する１以上の処理を示す処理単位に分解した処理列を生成するように構成されているレシピ分解部と、
予め定めた最適化指標に基づいて前記処理列が実行される順番を最適化するように構成されている処理列最適化部と、
をさらに備える情報処理装置。
（付記３）
付記２に記載の情報処理装置であって、
前記コマンド変換部は、前記処理列最適化部により順番が最適化された前記処理列を前記コマンド列に変換するように構成されている、
情報処理装置。
（付記４）
付記２又は付記３に記載の情報処理装置であって、
複数の最適化指標それぞれに基づいて前記処理列が実行される順番を最適化した複数の処理列候補を出力するように構成されている候補提示部をさらに備え、
前記コマンド変換部は、ユーザにより選択された前記処理列候補を前記コマンド列に変換するように構成されている、
情報処理装置。
（付記５）
付記２から付記４のいずれかに記載の情報処理装置であって、
前記入力部は、最適化済み処理列の入力をさらに受け付けるように構成されており、
前記処理列最適化部は、前記最適化済み処理列に基づいて、前記処理列が実行される順番を最適化するように構成されている、
情報処理装置。
（付記６）
付記５に記載の情報処理装置であって、
前記処理列最適化部は、前記処理列のうち、前記最適化済み処理列と異なる部分について、前記処理列が実行される順番を最適化するように構成されている、
情報処理装置。
（付記７）
付記１から付記６のいずれかに記載の情報処理装置であって、
前記基板処理装置は、
前記被処理体に対してプロセスを行う複数の処理チャンバと、
前記被処理体を格納するロードポートと、
前記被処理体をロード又はアンロードするためのロードロック室と、
前記ロードポートと前記ロードロック室との間及び前記ロードロック室と前記処理チャンバとの間で前記被処理体を搬送する搬送機構と、
を備える情報処理装置。
（付記８）
被処理体を処理する基板処理装置と通信可能な情報処理装置であって、
前記被処理体に対する一連の処理を示すレシピ情報の入力を受け付けるように構成されている入力部と、
前記レシピ情報に示された前記一連の処理を前記被処理体に対する１以上の処理を示す処理単位に分解した処理列を生成するように構成されているレシピ分解部と、
前記基板処理装置の状態に応じて前記処理列を整列する規則を示す整列規則を生成するように構成されている処理列最適化部と、
前記処理列及び前記整列規則を前記基板処理装置に出力するように構成されている出力部と、
を備える情報処理装置。
（付記９）
被処理体を処理する基板処理装置であって、
前記被処理体に対する操作を示すコマンド列及び前記コマンド列を調整する手順を示す調整方法の入力を受け付けるように構成されている入力部と、
前記基板処理装置の状態及び前記調整方法に基づいて前記コマンド列を調整するように構成されているコマンド調整部と、
前記コマンド列に従って前記被処理体に対する操作を行うように構成されている操作部と、
を備える基板処理装置。
（付記１０）
被処理体を処理する基板処理装置であって、
前記被処理体に対する１以上の処理を含む処理単位が配列された処理列及び前記処理列を整列する規則を示す整列規則との入力を受け付けるように構成されている入力部と、
前記基板処理装置の状態及び前記整列規則に基づいて前記処理列が実行される順番を最適化するように構成されている処理列最適化部と、
前記処理列を前記被処理体に対する操作を示すコマンド列に変換するように構成されているコマンド変換部と、
前記コマンド列に従って前記被処理体に対する操作を行うように構成されている操作部と、
を備える基板処理装置。
（付記１１）
被処理体に対する一連の処理を示すレシピ情報の入力を受け付ける工程と、
前記レシピ情報に基づいて基板処理装置が実行する操作を示すコマンド列を生成する工程と、
前記基板処理装置の状態に応じて前記コマンド列を調整する手順を示す調整方法を生成する工程と、
前記基板処理装置の状態及び前記調整方法に基づいて前記コマンド列を調整する工程と、
前記コマンド列に従って前記被処理体に対する操作を行う工程と、
を実行する基板処理方法。
（付記１２）
被処理体に対する一連の処理を示すレシピ情報の入力を受け付ける工程と、
前記レシピ情報に示された前記一連の処理を前記被処理体に対する１以上の処理を示す処理単位に分解した処理列を生成する工程と、
基板処理装置の状態に応じて前記処理列を整列する規則を示す整列規則を生成する工程と、
前記基板処理装置の状態及び前記整列規則に基づいて前記処理列が実行される順番を最適化する工程と、
前記処理列を前記被処理体に対する操作を示すコマンド列に変換する工程と、
前記コマンド列に従って前記被処理体に対する操作を行う工程と、
を実行する基板処理方法。
【符号の説明】
【0168】
１００ 基板処理システム
１１０ ホスト装置
１２０ 基板処理装置
１２１ 制御装置
１４０ 最適化装置
１５０ サーバ装置
３０１ レシピ入力部
３０２ レシピ分解部
３０３ 処理列最適化部
３０４ コマンド変換部
３０５ コマンド最適化部
３０６ 制御情報出力部
３０７ 候補提示部
３０８ 整列規則記憶部
４０１ 制御情報入力部
４０２ 状態取得部
４０３ コマンド調整部
４０４ 操作部
１１０ ホスト装置
１２０ 基板処理装置
１２１ 制御装置
１４０ 最適化装置
１５０ サーバ装置
３０１ レシピ入力部
３０２ レシピ分解部
３０３ 処理列最適化部
３０４ コマンド変換部
３０５ コマンド最適化部
３０６ 制御情報出力部
３０７ 候補提示部
３０８ 整列規則記憶部
４０１ 制御情報入力部
４０２ 状態取得部
４０３ コマンド調整部
４０４ 操作部
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】