特開 2024-114537 ダイシングテープの張力異常検知装置及び方法並びにダイシングテープ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024114537

(43)【公開日】2024-08-23

(54)【発明の名称】ダイシングテープの張力異常検知装置及び方法並びにダイシングテープ

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20240816BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023020375

(22)【出願日】2023-02-13

(71)【出願人】

【識別番号】000151494

【氏名又は名称】株式会社東京精密

(74)【代理人】

【識別番号】100169960

【弁理士】

【氏名又は名称】清水 貴光

(72)【発明者】

【氏名】木▲崎▼ 清貴

(72)【発明者】

【氏名】石川 一政

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131BA52

5F131CA70

5F131EC33

5F131EC63

5F131EC64

5F131EC66

5F131EC69

(57)【要約】

【課題】ダイシングテープの張力の適否を定量的に判定して、ダイシングテープの張力異常を正確に検知可能なダイシングテープの張力異常検知装置及び方法並びにダイシングテープを提供する。
【解決手段】張力異常検知装置４は、一方面６ａにマーキング穴６ｂが設けられたダイシングテープ６を一方面６ａ側から撮影するカメラ４１と、予め記憶されたワークＷ貼着前のダイシングテープ６におけるマーキング穴６ｂの初期状態量とカメラ４１が撮影した画像に表れたワークＷ貼着後のダイシングテープ６におけるマーキング穴６ｂの現状態量との差である状態変化量を測定する測定部４２と、状態変化量が、予め設定された適正状態変化量範囲内である場合には、ダイシングテープ６に作用する張力が適切であると判定し、状態変化量が、適正状態変化量範囲内に属しない場合には、ダイシングテープ６に作用する張力が異常であると判定する判定部４３と、を備えている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ワークが貼着されたダイシングテープの張力異常検知装置であって、
一方面にマーキングが設けられた前記ダイシングテープを前記一方面側から撮影する撮影部と、
予め記憶されたワーク貼着前の前記ダイシングテープにおける前記マーキングの初期状態量と前記撮影部が撮影した画像に表れたワーク貼着後の前記ダイシングテープにおける前記マーキングの現状態量との差である状態変化量を測定する測定部と、
前記状態変化量が、予め設定された前記ダイシングテープに作用する張力の適正範囲に応じた適正状態変化量範囲内である場合には、前記張力が適切であると判定し、前記状態変化量が、前記適正状態変化量範囲内に属しない場合には、前記張力が異常であると判定する判定部と、
を備えていることを特徴とするダイシングテープの張力異常検知装置。

【請求項2】

前記マーキングは、前記一方面に所定の間隔を空けてドット状に設けられた複数のマーキング穴であり、
前記状態変化量は、ワーク貼着前後における前記マーキング穴の間隔の拡大量であることを特徴とする請求項１に記載のダイシングテープの張力異常検知装置。

【請求項3】

前記マーキングは、前記一方面に所定の間隔を空けて格子状に設けられた複数のマーキング線であり、
前記状態変化量は、ワーク貼着前後における前記マーキング線の歪み量であることを特徴とする請求項１に記載のダイシングテープの張力異常検知装置。

【請求項4】

前記撮影部は、前記ダイシングテープのうち前記ワークが貼付されていない撮影位置において前記ダイシングテープを撮影することを特徴とする請求項１に記載のダイシングテープの張力異常検知装置。

【請求項5】

前記撮影部は、平面視で前記ワークが前記撮影部に対して相対的に移動する搬送方向において前記ワークの前方又は後方に設定された撮影位置において前記ダイシングテープを撮影することを特徴とする請求項４に記載のダイシングテープの張力異常検知装置。

【請求項6】

前記撮影部は、平面視で前記ワークが前記撮影部に対して相対的に移動する搬送方向に対して垂直な幅方向において前記ワークの側方に設定された撮影位置において前記ダイシングテープを撮影することを特徴とする請求項４に記載のダイシングテープの張力異常検知装置。

【請求項7】

ワークが貼着されたダイシングテープの張力異常検知方法であって、
一方面にマーキングが設けられた前記ダイシングテープを前記一方面側から撮影部を用いて撮影する工程と、
予め記憶されたワーク貼着前の前記ダイシングテープにおける前記マーキングの初期状態量と前記撮影部が撮影した画像に表れたワーク貼着後の前記ダイシングテープにおける前記マーキングの現状態量との差である状態変化量を測定する工程と、
前記状態変化量が、予め設定された前記ダイシングテープに作用する張力の適正範囲に応じた適正状態変化量範囲内である場合には、前記張力が適切であると判定し、前記状態変化量が、前記適正状態変化量範囲内に属しない場合には、前記張力が異常であると判定する工程と、
を含むことを特徴とするダイシングテープの張力異常検知方法。

【請求項8】

ワークが貼着された状態で生じる張力の異常検知に用いられるダイシングテープであって、
一方面に設けられたマーキングは、前記ダイシングテープに作用する張力に応じて状態量が変化するように構成されていることを特徴とするダイシングテープ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ダイシングテープの張力異常検知装置及び方法並びにこれらに用いられるダイシングテープに関するものである。

【背景技術】

【0002】

半導体製造分野では、シリコンウェハ等の半導体基板（以下、「ワーク」という）をチップに割断する工程があり、その工程では、ワークに貼着されたダイシングテープが個々のチップの位置を拘束することにより、チップの割断を効率よく行うことができる。

【0003】

特許文献１には、テーブル２１１に吸着固定されたウェーハＷにエキスパンドテープＥを貼着用ローラの加圧力により貼り付けることが記載されている。なお、符号は、特許文献１のものである。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１３－４５８４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、新しいダイシングテープを使用する場合には、サンプルワークをダイシングテープに貼着させて、その貼り付け状態をオペレータが目視で確認することで、ダイシングテープの張力を含むパラメータの調整を行っているのが現状である。また、生産プロセスにおいても、オペレータは、ワークが貼着されたダイシングテープの貼り付け状態から、パラメータが適切に保たれていることを定期的に目視で確認している。

【0006】

このようにオペレータの目視によってダイシングテープの張力を確認すると、オペレータの熟練度等によってはダイシングテープの張力が不十分になる虞があり、ダイシングテープの張力が適切でない場合には、エキスパンド時にチップ間の適正な間隔が確保できず、チップの位置検知が困難になるという問題があった。

【0007】

そこで、ダイシングテープの張力の適否を定量的に判定して、ダイシングテープの張力異常を正確に検知するために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記目的を達成するために、本発明に係るダイシングテープの張力異常検知装置は、ワークが貼着されたダイシングテープの張力異常検知装置であって、一方面にマーキングが設けられた前記ダイシングテープを前記一方面側から撮影する撮影部と、予め記憶されたワーク貼着前の前記ダイシングテープにおける前記マーキングの初期状態量と前記撮影部が撮影した画像に表れたワーク貼着後の前記ダイシングテープにおける前記マーキングの現状態量との差である状態変化量を測定する測定部と、前記状態変化量が、予め設定された前記ダイシングテープに作用する張力の適正範囲に応じた適正状態変化量範囲内である場合には、前記張力が適切であると判定し、前記状態変化量が、前記適正状態変化量範囲内に属しない場合には、前記張力が異常であると判定する判定部と、を備えている。

【0009】

また、上記目的を達成するために、本発明に係るダイシングテープの張力異常検知方法は、ワークが貼着されたダイシングテープの張力異常検知方法であって、一方面にマーキングが設けられた前記ダイシングテープを前記一方面側から撮影部を用いて撮影する工程と、予め記憶されたワーク貼着前の前記ダイシングテープにおける前記マーキングの初期状態量と前記撮影部が撮影した画像に表れたワーク貼着後の前記ダイシングテープにおける前記マーキングの現状態量との差である状態変化量を測定する工程と、前記状態変化量が、予め設定された前記ダイシングテープに作用する張力の適正範囲に応じた適正状態変化量範囲内である場合には、前記張力が適切であると判定し、前記状態変化量が、前記適正状態変化量範囲内に属しない場合には、前記張力が異常であると判定する工程と、を含む。

【0010】

また、上記目的を達成するために、本発明に係るダイシングテープは、ワークが貼着された状態で生じる張力の異常検知に用いられるダイシングテープであって、一方面に設けられたマーキングは、前記ダイシングテープに作用する張力に応じて状態量が変化するように構成されている。

【発明の効果】

【0011】

本発明は、ダイシングテープの張力の適否を定量的に判定して、ダイシングテープの張力異常を正確に検知することができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明の一実施形態に係る張力異常検知装置を適用したテープ貼付システムの構成を示す模式図。

【図2】ダイシングテープの構成を示す平面図。

【図3】展開状態のプリカット刃を示す平面図及び要部拡大斜視図。

【図4】ダイシングテープの一方面側を示す斜視図及び一部拡大図。

【図5】ダイシングテープ内に４カ所設定された撮影位置の位置関係を示す平面図及びＡ－Ａ線断面図。

【図6】テープ貼付システムの主要構成を示すブロック図。

【図7】ワークにダイシングテープを貼り付ける様子を示す斜視図。

【図8】ダイシングテープに作用する張力に応じてマーキング穴間の間隔が変化する様子を示す模式図。

【図9】ダイシングテープに作用する張力に応じてマーキング線の歪み量が変化する様子を示す模式図。

【発明を実施するための形態】

【0013】

本発明の実施形態について図面に基づいて説明する。なお、以下では、構成要素の数、数値、量、範囲等に言及する場合、特に明示した場合及び原理的に明らかに特定の数に限定される場合を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも構わない。

【0014】

また、構成要素等の形状、位置関係に言及するときは、特に明示した場合及び原理的に明らかにそうでないと考えられる場合等を除き、実質的にその形状等に近似又は類似するもの等を含む。

【0015】

また、図面は、特徴を分かり易くするために一部の構成要素を省略したり、特徴的な部分を拡大する等して誇張する場合があり、構成要素の寸法比率等が実際と同じであるとは限らない。また、断面図では、構成要素の断面構造を分かり易くするために、一部の構成要素のハッチングを省略することがある。

【0016】

また、本実施形態において、上下や左右等の方向を示す表現は、絶対的なものではなく、各構成要素が図面に描かれている姿勢である場合に適切であるが、その姿勢が変化した場合には姿勢の変化に応じて変更して解釈されるべきものである。

【0017】

図１は、テープ貼付システム１の構成を示す模式図である。テープ貼付システム１は、搬送装置２と、貼付装置３と、ダイシングテープ６の張力異常検知装置（以下、単に「張力異常検知装置」という）４と、を備えている。

【0018】

テープ貼付システム１は、ワークＷ及びダイシングフレーム５をダイシングテープ６で一体に貼着するものである。ワークＷは、例えば、シリコンウェハ等の半導体基板であるが、これに限定されるものではない。ダイシングテープ６は、紫外線硬化テープ等である。

【0019】

図２に示すように、ダイシングテープ６は、長尺状のセパレータ７上に、具体的にはセパレータ７の幅方向Ｄ１の略中央且つセパレータ７の長手方向Ｄ２に略等間隔に隙間を空けて配置されている。ダイシングテープ６は、ワークＷに貼り付け可能な貼付面がセパレータ７に対向するようにセパレータ７に剥離可能に設けられている。セパレータ７は、例えば、剥離処理されたポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等である。

【0020】

セパレータ７においてダイシングテープ６の幅方向Ｄ１の両側には、長手方向Ｄ２に亘って長尺状で且つダイシングテープ６とは分離した状態で保護シート８が設けられている。なお、保護シート８は、ダイシングテープ６と同じ樹脂等で形成してもよい。

【0021】

図１に戻り、搬送装置２は、上面中央にワークＷを保持する内周側テーブル２１と、ダイシングフレーム５を載置する外周側テーブル２２と、内周側テーブル２１及び外周側テーブル２２を搬送方向Ｄ３に沿ってスライドさせるスライダ２３と、を備えている。

【0022】

内周側テーブル２１の表面には、無数の気孔を有する多孔質材料からなる吸着体が埋設されている。吸着体の気孔の粗さは、例えば、＃４００又は＃８００等である。

【0023】

内周側テーブル２１は、図示しない真空源及び圧縮空気源に切換自在に接続されている。真空源が起動すると、内周側テーブル２１に載置されたワークＷと吸着体の上面（吸着面）との間に負圧が供給されて、ワークＷが吸着面に吸着保持される。また、圧縮空気源が起動すると、ワークＷと吸着面との間に圧縮空気（リリースエアー）が供給されて、ワークＷと吸着面との吸着が解除される。

【0024】

貼付装置３は、公知の構成から成るダイシングテープ６のテープ貼付ユニット３Ａと、ダイシングテープ６にマーキングを形成するマーキングユニット３Ｂと、を備えている。

【0025】

テープ貼付ユニット３Ａは、ダイシングテープ６を繰り出し可能に支持する送りローラ３１と、ダイシングテープ６に繰出力を付与してセパレータ７を巻き取る第１の巻取ローラ３２と、セパレータ７から剥離された保護シート８を巻き取る第２の巻取ローラ３３と、ダイシングテープ６をワークＷに貼付する押圧ローラ３４と、ダイシングテープ６から剥離されたセパレータ７の軌道を規制するナイフプレート３５と、を備えている。

【0026】

マーキングユニット３Ｂは、ダイシングテープ６の軌道の一部を挟むように配置されたパンチングローラ３６及びサポートローラ３７を備えている。

【0027】

パンチングローラ３６の表面には、図３（ａ）、（ｂ）に示すように、基板３８ａに微小な針３８ｂがドット状に配設されたプリカット刃３８が装着されている。プリカット刃３８の幅寸法は、ダイシングテープ６の幅寸法より長く設定されている。隣り合う針３８ｂの間隔は、例えば５ｍｍに設定される。サポートローラ３７は、パンチングローラ３６との間隔を調整可能であり、ダイシングテープ６をパンチングローラ３６に向けて押し付ける。これにより、パンチングローラ３６及びサポートローラ３７の間を通過したダイシングテープ６は、図４に示すように、針３８ｂによって一方面６ａ全面にドット状にマーキング穴６ｂが形成される。ワークＷが貼付される前のダイシングテープ６におけるマーキング穴６ｂ間の間隔は、針３８ｂの間隔に等しい。以下では、マーキング穴６ｂ間の間隔を「状態量」といい、ワークＷが貼付される前のダイシングテープ６におけるマーキング穴６ｂ間の間隔を「初期状態量」という。

【0028】

図１に戻り、貼付装置３に対して搬送方向Ｄ３の後方には、撮影部としてのカメラ４１を備えている。カメラ４１は、スライダ２３の通過領域の上方に配置されている。カメラ４１は、カメラ４１を図１の紙面上で垂直な幅方向にスライド可能な図示しないスライド機構に接続されている。カメラ４１は、ワークＷが貼付されたダイシングテープ６を上方から撮影する。

【0029】

図５に示すように、カメラ４１が撮影を行う撮影位置Ｐは、ダイシングテープ６のうちワークＷ及びダイシングフレーム５が貼付されていない領域内に４カ所設定される。以下、各撮影位置Ｐを区別する場合には、符号Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４を付して区別する。撮影位置Ｐ１は、搬送方向Ｄ３においてワークＷの前方に設定されており、撮影位置Ｐ２は、搬送方向Ｄ３においてワークＷの後方に設定されている。また、撮影位置Ｐ３，Ｐ４は、搬送方向Ｄ３に垂直な幅方向Ｄ４においてワークＷの側方にそれぞれ設定されている。なお、カメラ４１の撮影位置Ｐの数は４点に限らず、３点以下でも５点以上であっても構わない。

【0030】

また、図６に示すように、張力異常検知装置４は、測定部４２と、判定部４３と、記憶部４４と、を備えている。張力異常検知装置４の作用については後述する。

【0031】

テープ貼付システム１の動作は、図６に示すコントローラ９を介して制御される。コントローラ９は、テープ貼付システム１を構成する構成要素をそれぞれ制御するものである。コントローラ９は、例えばコンピュータであり、ＣＰＵ、メモリ等により構成される。なお、コントローラ９の機能は、ソフトウェアを用いて制御することにより実現されても良く、ハードウェアを用いて動作するものにより実現されても良い。

【0032】

次に、テープ貼付システム１の動作について図面に基づいて説明する。

【0033】

＜ワーク搬送＞
まず、ダイシングフレーム５が、図示しない搬送ハンド等により外周側テーブル２２上に移載される。

【0034】

次に、ワークＷが、図示しない搬送ハンド等により内周側テーブル２１上に移載される。その後、圧縮空気源からワークＷと吸着面との間に負圧が供給されると、ワークＷが内周側テーブル２１に吸着される。ワークＷの上面とダイシングフレーム５の上面とは、略面一に設定される。

【0035】

＜テープ貼付＞
次に、図７（ａ）に示すように、スライダ２３を駆動して、貼付装置３の下方にダイシングフレーム５の一方端（貼り付け開始位置）が配置されるように、内周側テーブル２１及び外周側テーブル２２を移動させる。内周側テーブル２１及び外周側テーブル２２の移動速度は、例えば１０ｍｍ／秒に設定される。

【0036】

次に、第１の巻取ローラ３２が回転してダイシングテープ６が繰り出される。そして、パンチングローラ３６及びサポートローラ３７の間を通過したダイシングテープ６の一方面６ａ全面には、マーキング穴６ｂが形成される。このとき、マーキング穴６ｂの初期状態量は、針３８ｂの間隔と等しい。

【0037】

その後、保護シート８がセパレータ７から剥離された後に、押圧ローラ３４がダイシングテープ６をダイシングフレーム５の一方端（貼り始め位置）に押し当てて所定の押圧力で貼着する。なお、第１の巻取ローラ３２の巻取速度は、例えば１０ｍｍ／秒に設定される。第２の巻取ローラ３３の巻取速度は、第１の巻取ローラ３２の巻取速度と略等しく設定される。

【0038】

その後、図７（ｂ）に示すように、内周側テーブル２１及び外周側テーブル２２が搬送方向Ｄ３に沿って移動し、ダイシングテープ６が徐々に貼り進められ、図７（ｃ）に示すように、ダイシングテープ６がダイシングフレーム５の他方端（貼り終わり位置）まで達すると、ワークＷとダイシングフレーム５とが、ダイシングテープ６を介して一体に貼着される。

【0039】

＜張力判定＞
次に、スライダ２３を駆動して、カメラ４１の下方にダイシングテープ６が位置するように、内周側テーブル２１及び外周側テーブル２２を移動させる。

【0040】

さらに、内周側テーブル２１及び外周側テーブル２２を搬送方向Ｄ３へ移動させながら、カメラ４１を幅方向Ｄ４へ移動させることにより、カメラ４１が、撮影位置Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４の少なくとも何れか１カ所においてダイシングテープ６を撮影する。カメラ４１が撮影した画像は、記憶部４４に記憶される。

【0041】

測定部４２は、カメラ４１が撮影した画像に基づいて、ワークＷが貼付された後のダイシングテープ６におけるマーキング穴６ｂ間の間隔を測定する。ダイシングテープ６に作用する張力によってダイシングテープ６が伸びるため、図８に示すように、図８に、ワークＷの貼着前後でマーキング穴６ｂの間隔は拡がる。以下では、ワークＷが貼付される後のダイシングテープ６におけるマーキング穴６ｂ間の間隔を「現状態量」という。図８中の符号Ｌ１は、初期状態量に対応し、符号Ｌ２は現状態量にそれぞれ対応する。

【0042】

次に、測定部４２は、予め記憶部４４に記憶された初期状態量と測定部４２が測定した現状態量との差、すなわちワークＷの貼着前後におけるマーキング穴６ｂの間隔の拡大量である状態変化量を導出する。この状態変化量は、記憶部４４に記憶される。

【0043】

次に、判定部４３は、撮影位置Ｐにおけるダイシングテープ６の張力が適正範囲内に属するか否かを判定する。

【0044】

具体的には、判定部４３は、測定部４２が導出した状態変化量と、予め設定されたマーキング穴６ｂ間の間隔の状態変化量の適正範囲（適正状態変化量範囲）とを比較する。なお、「適正状態変化量範囲」とは、ダイシングテープ６に作用する張力の適正範囲に対応するマーキング穴６ｂの状態変化量の適正範囲であって、予め実験等により算出されて記憶部４４に記憶される。

【0045】

そして、判定部４３は、状態変化量が適正状態変化量範囲内である場合には、ダイシングテープ６に作用する張力が適切であると判定する。一方、判定部４３は、状態変化量が適正状態変化量範囲内に属しない場合には、ダイシングテープ６に作用する張力が異常であると判定する。

【0046】

ダイシングテープ６の張力が異常であると判定された場合には、図示しない報知部等を介して張力異常をオペレータに報知しても構わない。報知部による報知は、光、音声又はテキストメッセージ等の何れであっても構わない。

【0047】

また、ダイシングテープ６の張力が異常であると判定された場合には、図示しない補正部により張力を測定したワークＷの次のワークＷに貼り付けるダイシングテープ６の張力が適正範囲内に収まるように、スライダ２３の移動速度及び第１の巻取ローラ３２の巻取速度を制御しても構わない。

【0048】

一般的に、ダイシングテープ６の張力は、スライダ２３と第１の巻取ローラ３２との相対速度に応じて設定される。すなわち、スライダ２３の移動速度が第１の巻取ローラ３２の巻取速度に対して相対的に高速である場合には、ダイシングテープ６に作用する張力は高くなる。一方、スライダ２３の移動速度が第１の巻取ローラ３２の巻取速度に対して相対的に低速である場合には、ダイシングテープ６に作用する張力は低くなる。

【0049】

そこで、判定部４３が、ダイシングテープ６の張力が適正範囲を下回ると判定した場合には、補正部は、ダイシングテープ６の張力が増すように、スライダ２３の移動速度を高速化させる、又は第１の巻取ローラ３２の巻取速度を低速化させる。

【0050】

一方、判定部４３が、ダイシングテープ６の張力が適正範囲を上回ると判定した場合には、補正部は、ダイシングテープ６の張力が低下するように、スライダ２３の移動速度を低速化させる、又は第１の巻取ローラ３２の巻取速度を高速化させる。

【0051】

なお、ダイシングテープ６内の張力分布は、幅方向Ｄ４の中央が最も高く、幅方向Ｄ４の外側に向かって徐々に低下するように形成される。すなわち、ダイシングテープ６内の張力分布において、撮影位置Ｐ１、Ｐ２における張力が最大であり、撮影位置Ｐ３、Ｐ４における張力は撮影位置Ｐ１、Ｐ２よりも小さい。

【0052】

したがって、撮影位置Ｐ１、Ｐ２においてダイシングテープ６に作用する最大張力の異常検知を行うことにより、ダイシングテープ６に作用する張力が過大にならないように張力異常検知を行うことができる。また、撮影位置Ｐ３，Ｐ４においてダイシングテープ６に作用する最小張力をモニタリングすることにより、ダイシングテープ６に作用する張力が過小にならないように張力異常検知を行うことができる。

【0053】

このようにして、本実施形態に係る張力異常検知装置４は、ワークＷが貼着されたダイシングテープ６の張力異常検知装置４であって、一方面６ａにマーキング穴６ｂが設けられたダイシングテープ６を一方面６ａ側から撮影するカメラ４１と、予め記憶されたワークＷ貼着前のダイシングテープ６におけるマーキング穴６ｂの初期状態量とカメラ４１が撮影した画像に表れたワークＷ貼着後のダイシングテープ６におけるマーキング穴６ｂの現状態量との差である状態変化量を測定する測定部４２と、状態変化量が、予め設定された適正状態変化量範囲内である場合には、ダイシングテープ６に作用する張力が適切であると判定し、状態変化量が、適正状態変化量範囲内に属しない場合には、ダイシングテープ６に作用する張力が異常であると判定する判定部４３と、を備えている構成とした。

【0054】

この構成によれば、測定部４２が、ワークＷの貼着前後におけるマーキング穴６ｂの状態変化量を測定し、判定部４３が、マーキング穴６ｂの状態変化量と適正状態変化量範囲とを比較することにより、ダイシングテープ６の張力の適否を定量的に判定可能なため、ダイシングテープ６の張力異常を正確に検知することができる。

【0055】

さらに、測定部４２が、ダイシングテープ６に非接触でマーキング穴６ｂの状態変化量を測定可能なため、ダイシングテープ６及びワークＷにダメージを与えることなく、ダイシングテープ６の張力異常を検知することができる。

【0056】

また、張力異常検知装置４は、カメラ４１が、ダイシングテープ６のうちワークＷが貼付されていない撮影位置Ｐにおいてダイシングテープ６を撮影する構成とした。

【0057】

この構成によれば、ダイシングテープ６の張力異常を正確に検知することができる。

【0058】

また、張力異常検知装置４は、撮影位置Ｐ１、Ｐ２が、平面視でダイシングテープ６がワークＷに対して相対的に移動する搬送方向Ｄ３においてワークＷの前方又は後方に設定されている構成とした。

【0059】

この構成によれば、ダイシングテープ６に作用する張力が最も高い場所に撮影位置Ｐ１，Ｐ２が設定されるため、ダイシングテープ６に作用する張力の最大値が適正範囲内に属するか否かを判定することにより、ダイシングテープ６に作用する張力が過大になることを抑制できる。

【0060】

また、張力異常検知装置４は、撮影位置Ｐ３、Ｐ４が、平面視でダイシングテープ６が幅方向Ｄ４においてワークＷの側方に設定されている構成とした。

【0061】

この構成によれば、ダイシングテープ６に作用する張力が低くなりがちな場所に撮影位置Ｐ３，Ｐ４が設定されるため、ダイシングテープ６に作用する張力の最小値が適正範囲内に属するか否かを判定することにより、ダイシングテープ６に作用する張力が過小になることを抑制できる。

【0062】

また、本実施形態に係るワークＷが貼着されたダイシングテープ６の張力異常検知方法は、ワークＷが貼着されたダイシングテープ６の張力異常検知方法であって、一方面６ａにマーキング穴６ｂが設けられたダイシングテープ６内の任意の撮影位置Ｐをカメラ４１で一方面６ａ側から撮影する工程と、測定部４２が、予め記憶されたワークＷ貼着前のダイシングテープ６におけるマーキング穴６ｂの初期状態量とカメラ４１が撮影した画像に表れたワークＷ貼着後のダイシングテープ６におけるマーキング穴６ｂの現状態量との差である状態変化量を測定する工程と、判定部４３は、状態変化量が予め設定された適正状態変化量範囲内である場合には、ダイシングテープ６に作用する張力が適切であると判定し、状態変化量が適正状態変化量範囲内に属しない場合には、ダイシングテープ６に作用する張力が異常であると判定する工程と、を含む構成した。

【0063】

この構成によれば、測定部４２が、ワークＷの貼着前後におけるマーキング穴６ｂの状態変化量を測定し、判定部４３が、マーキング穴６ｂの状態変化量と適正状態変化量範囲とを比較することにより、ダイシングテープ６の張力の適否を定量的に判定可能なため、ダイシングテープ６の張力異常を正確に検知することができる。

【0064】

さらに、測定部４２が、ダイシングテープ６に非接触でマーキング穴６ｂの状態変化量を測定可能なため、ダイシングテープ６及びワークＷにダメージを与えることなく、ダイシングテープ６の張力異常を検知することができる。

【0065】

また、本実施形態に係るダイシングテープ６は、ワークＷが貼着された状態で生じる張力の異常検知に用いられるダイシングテープ６であって、一方面６ａに設けられたマーキング穴６ｂが、ダイシングテープ６に作用する張力に応じて状態量が変化するように構成されている。

【0066】

この構成により、張力異常検知装置４に用いられて、ダイシングテープ６に作用する張力に応じて状態量が変化するマーキング穴６ｂを備えたダイシングテープ６を得ることができる。

【0067】

以下、本発明の変形例について説明する。
＜変形例１＞
上述した実施形態では、貼付装置３として、ダイシングテープ６へのマーキング穴６ｂの形成とダイシングテープ６のワークＷへの貼付を連続して行う構成を例示したが、貼付装置３は、これに限定されるものではなく、例えば、ダイシングテープ６にマーキング穴６ｂを穿孔するマーキングユニット３Ｂと、マーキング穴６ｂが形成された後にロール状に巻き取られたダイシングテープ６をワークＷに貼付するテープ貼付ユニット３Ａと、が分離して構成されたものであっても構わない。

【0068】

＜変形例２＞
上述した実施形態では、プリカット刃３８として基板３８ａ上にグリッド状に配置された多数の針３８ｂを備えているものを例示したが、ダイシングテープ６にマーキングを形成する手段は、これに限定されるものではなく、例えば、基板上に格子状に配置されたプリカット刃を備えているものであっても構わない。このような格子状に配置されたプリカット刃は、例えば、ダイシングテープ６の幅方向Ｄ１及び長手方向Ｄ２にそれぞれ平行になるように配置され、図９に示すように、幅方向Ｄ１及び長手方向Ｄ２に平行な格子状のマーキング線をダイシングテープ６に形成することができる。

【0069】

そして、ダイシングテープ６内に格子状に形成されたマーキング線６ｃは、ダイシングテープ６に作用する張力によって幅方向Ｄ１又は長手方向Ｄ２に僅かに歪む。このようなダイシングテープ６に作用する張力に応じたマーキング線６ｃの状態変化に着目して、判定部４３は、撮影位置Ｐにおけるダイシングテープ６の張力が適正範囲内に属するか否かを判定する。

【0070】

具体的には、まず、「状態量」を、ダイシングテープ６におけるマーキング線６ｃの幅方向Ｄ１又は長手方向Ｄ２に対する歪み量に、「初期状態量」を、ワークＷが貼付される前のダイシングテープ６におけるマーキング線６ｃの幅方向Ｄ１又は長手方向Ｄ２に対する初期歪み量に、「現状態量」を、カメラ４１の撮影画像から測定部４２が導出した、ワークＷが貼付された後のダイシングテープ６におけるマーキング線６ｃの幅方向Ｄ１又は長手方向Ｄ２に対する歪み量に、「状態変化量」を、ワークＷの貼着前後のダイシングテープ６におけるマーキング線６ｃの歪み量の変化量に、それぞれ設定する。なお、図９は、長手方向Ｄ２に略平行に形成された、換言すれば初期状態量ゼロのマーキング線６ｃが幅方向Ｄ１に歪む場合を例示しており、図９中の符号Ｌ３は、現状態量に対応する。

【0071】

そして、判定部４３は、測定部４２が導出した状態変化量と、予め設定された適正な状態変化量範囲（適正状態変化量範囲）とを比較する。なお、「適正状態変化量範囲」とは、ダイシングテープ６に作用する張力が適正範囲である場合に対応するマーキング線６ｃの状態変化量の適正範囲であって、予め実験等により算出されて記憶部４４に記憶される。

【0072】

判定部４３は、状態変化量が適正状態変化量範囲内である場合には、ダイシングテープ６に作用する張力が適切であると判定する。一方、判定部４３は、状態変化量が適正状態変化量範囲内に属しない場合には、ダイシングテープ６に作用する張力が異常であると判定する。

【0073】

＜変形例３＞
また、上述した実施形態や変形例では、ダイシングテープ６の状態変化に着目してダイシングテープ６に作用する張力の異常検知を行ったが、例えば、ワークＷの状態変化に基づいてダイシングテープ６に作用する張力の異常検知を行っても構わない。

【0074】

例えば、ワークＷが裏面研削によりチップ化される、いわゆる先ダイシングウェハである場合、ダイシングテープ６に作用する張力によってダイシングテープ６が幅方向Ｄ１及び長手方向Ｄ２にそれぞれ伸びるため、チップ間の隙間が僅かに変化する。このようなダイシングテープ６に作用する張力に応じたチップ間の間隔の状態変化に着目して、判定部４３が、撮影位置Ｐにおけるダイシングテープ６の張力が適正範囲内に属するか否かを判定することが考えられる。

【0075】

具体的には、まず、「状態量」を、ワークＷ内のチップ間の間隔に、「初期状態量」を、ワークＷが貼付される前のダイシングテープ６におけるワークＷ内のチップ間の初期間隔に、「現状態量」を、カメラ４１の撮影画像から測定部４２が導出したワークＷが貼付された後のダイシングテープ６におけるワークＷ内のチップ間の間隔に、「状態変化量」を、ワークＷの貼着前後のダイシングテープ６におけるワークＷ内のチップ間の間隔の変化量にそれぞれ設定する。

【0076】

そして、判定部４３は、測定部４２が導出した状態変化量と、予め設定された適正な状態変化量範囲（適正状態変化量範囲）とを比較する。なお、「適正状態変化量範囲」とは、ダイシングテープ６に作用する張力が適正範囲である場合に対応するワークＷ内のチップ間隔の状態変化量の適正範囲であって、予め実験等により算出されて記憶部４４に記憶される。

【0077】

判定部４３は、状態変化量が適正状態変化量範囲内である場合には、ダイシングテープ６に作用する張力が適切であると判定する。一方、判定部４３は、状態変化量が適正状態変化量範囲内に属しない場合には、ダイシングテープ６に作用する張力が異常であると判定する。

【0078】

また、本発明は、本発明の精神を逸脱しない限り、上記以外にも種々の改変を為すことができ、そして、本発明が該改変されたものに及ぶことは当然である。

【符号の説明】

【0079】

１ ：テープ貼付システム
２ ：搬送装置
３ ：貼付装置
３Ａ：テープ貼付ユニット
３Ｂ：マーキングユニット
４ ：張力異常検知装置
５ ：ダイシングフレーム
６ ：ダイシングテープ
６ａ：一方面
６ｂ：マーキング穴
６ｃ：マーキング線
７ ：セパレータ
８ ：保護シート
９ ：コントローラ
２１：内周側テーブル
２２：外周側テーブル
２３：スライダ
３１：送りローラ
３２：第１の巻取ローラ
３３：第２の巻取ローラ
３４：押圧ローラ
３５：ナイフプレート
３６：パンチングローラ
３７：サポートローラ
３８：プリカット刃
４１：カメラ
４２：測定部
４３：判定部
４４：記憶部
Ｐ、Ｐ１～Ｐ４：撮影位置
Ｗ ：ワーク

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】