特開 2024-117598 ステージ、検査装置、およびステージの動作方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024117598

(43)【公開日】2024-08-29

(54)【発明の名称】ステージ、検査装置、およびステージの動作方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/66 20060101AFI20240822BHJP

   H01L 21/683 20060101ALI20240822BHJP

【ＦＩ】

H01L21/66 B

H01L21/68 N

【審査請求】未請求

【請求項の数】12

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023023776

(22)【出願日】2023-02-17

(71)【出願人】

【識別番号】000219967

【氏名又は名称】東京エレクトロン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100107766

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠重

(74)【代理人】

【識別番号】100070150

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠彦

(72)【発明者】

【氏名】廣瀬 優輝

(72)【発明者】

【氏名】小林 将人

【テーマコード（参考）】

4M106

5F131

【Ｆターム（参考）】

4M106AA01

4M106BA01

4M106DD03

4M106DD10

4M106DD18

4M106DD23

4M106DJ02

4M106DJ04

4M106DJ05

4M106DJ07

5F131AA02

5F131AA03

5F131AA04

5F131BA39

5F131CA62

5F131DA32

5F131DA33

5F131DA42

5F131EA02

5F131EA14

5F131EA22

5F131EA23

5F131EB01

5F131EB31

5F131EB81

5F131EB82

5F131GA14

5F131KA23

(57)【要約】

【課題】ステージにかかる荷重を安定して受けながら、ステージの移動における消費電力を抑制できる技術を提供する。
【解決手段】ステージは、基板を支持する基板支持部と、前記基板支持部を昇降させる１以上の昇降部と、前記１以上の昇降部の動作を制御する制御部と、を含む。前記１以上の昇降部は、回転に基づき前記基板支持部を昇降させる推力を出力する駆動モータと、前記基板支持部の高さ位置を保持するブレーキ保持力を前記昇降部に付与する電磁ブレーキと、を備える。前記制御部は、前記駆動モータの推力と前記電磁ブレーキのブレーキ保持力とを相互に連動させながら、前記基板支持部の高さ位置を制御する。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板を支持する基板支持部と、
前記基板支持部を昇降させる１以上の昇降部と、
前記１以上の昇降部の動作を制御する制御部と、を含むステージであって、
前記１以上の昇降部は、
回転に基づき前記基板支持部を昇降させる推力を出力する駆動モータと、
前記基板支持部の高さ位置を保持するブレーキ保持力を前記昇降部に付与する電磁ブレーキと、を備え、
前記制御部は、前記駆動モータの推力と前記電磁ブレーキのブレーキ保持力とを相互に連動させながら、前記基板支持部の高さ位置を制御する、
ステージ。

【請求項2】

前記制御部は、
前記基板支持部の高さ位置において前記基板支持部を保持する保持力が一定となるように、前記駆動モータの推力と前記電磁ブレーキのブレーキ保持力とを調整する、
請求項１に記載のステージ。

【請求項3】

前記制御部は、前記電磁ブレーキにより前記基板支持部を保持する場合に、前記駆動モータの推力を徐々に低下させる一方で、前記電磁ブレーキのブレーキ保持力を徐々に上昇させる、
請求項２に記載のステージ。

【請求項4】

前記制御部は、前記基板支持部の目標位置に基づき、前記駆動モータの推力および前記電磁ブレーキのブレーキ保持力を配分する、
請求項２に記載のステージ。

【請求項5】

前記制御部は、前記駆動モータから実位置をフィードバックして、前記目標位置と前記実位置との偏差を算出し、前記偏差に基づき前記駆動モータの推力および前記電磁ブレーキのブレーキ保持力を配分する、
請求項４に記載のステージ。

【請求項6】

前記制御部は、前記駆動モータのモータ電力に基づき前記電磁ブレーキのブレーキ保持力を設定し、設定した前記ブレーキ保持力に基づき前記電磁ブレーキに供給するブレーキ電力を制御する、
請求項４に記載のステージ。

【請求項7】

前記制御部は、ブレーキ電圧を制御することにより、前記電磁ブレーキに供給する前記ブレーキ電力を制御する、
請求項６に記載のステージ。

【請求項8】

前記電磁ブレーキは、前記制御部によりＰＷＭ制御された前記ブレーキ電圧が入力されることで、前記ブレーキ保持力が調整される、
請求項７に記載のステージ。

【請求項9】

前記制御部は、前記基板支持部を上昇させて位置決めを行う工程を制御し、
前記位置決めを行う工程の前に、前記電磁ブレーキに電力を供給し、前記昇降部を昇降可能な前記ブレーキ保持力とする、
請求項１乃至８のいずれか１項に記載のステージ。

【請求項10】

前記制御部は、前記基板支持部の鉛直方向の位置の補正を行う工程を制御し、
前記補正を行う工程では、前記ブレーキ保持力を低下させながら前記推力を上昇させた後、前記ブレーキ保持力を一定に維持して前記推力により前記基板支持部の位置を調整する、
請求項１乃至８のいずれか１項に記載のステージ。

【請求項11】

基板を載置して搬送するステージを有し、搬送された前記基板にプローブを接触させて当該基板の電気的特性を検査する検査装置であって、
前記ステージは、
前記基板を支持する基板支持部と、
前記基板支持部を昇降させる１以上の昇降部と、
前記１以上の昇降部の動作を制御する制御部と、を含み、
前記１以上の昇降部は、
回転に基づき前記基板支持部を昇降させる推力を出力する駆動モータと、
前記基板支持部の高さ位置を保持するブレーキ保持力を前記昇降部に付与する電磁ブレーキと、を備え、
前記制御部は、前記駆動モータの推力と前記電磁ブレーキのブレーキ保持力とを相互に連動させながら、前記基板支持部の高さ位置を制御する、
検査装置。

【請求項12】

基板を支持する基板支持部と、
前記基板支持部を昇降させる１以上の昇降部と、を含むステージの動作方法であって、
前記１以上の昇降部は、
回転に基づき前記基板支持部を昇降させる推力を出力する駆動モータと、
前記基板支持部の高さ位置を保持するブレーキ保持力を前記昇降部に付与する電磁ブレーキと、を備え、
前記ステージの動作方法では、
前記駆動モータの推力と前記電磁ブレーキのブレーキ保持力とを相互に連動させながら、前記基板支持部の高さ位置を制御する、
ステージの動作方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、ステージ、検査装置、およびステージの動作方法に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、ウエハを載置するステージ（メインチャック）を有し、このステージを３次元方向に移動することにより、ウエハの電気的検査を行う検査装置（プローブ装置）が開示されている。

【0003】

この種の検査装置は、電気的検査を行うためにウエハを上昇させるオーバドライブ時に、プローブカードの多数のプローブからかかる荷重を受けて、ステージが傾斜する場合がある。このため、検査装置は、ステージの情報、ウエハの情報およびプローブカードの情報に基づき、オーバドライブ時におけるステージの３次元方向の移動補正量を求めて、この移動補正量に応じてステージを移動させる処理を行っている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開平１１－３０６５１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

本開示は、ステージにかかる荷重を安定して受けながら、ステージの移動における消費電力を抑制できる技術を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示の一態様によれば、基板を支持する基板支持部と、前記基板支持部を昇降させる１以上の昇降部と、前記１以上の昇降部の動作を制御する制御部と、を含むステージであって、前記１以上の昇降部は、回転に基づき前記基板支持部を昇降させる推力を出力する駆動モータと、前記基板支持部の高さ位置を保持するブレーキ保持力を前記昇降部に付与する電磁ブレーキと、を備え、前記制御部は、前記駆動モータの推力と前記電磁ブレーキのブレーキ保持力とを相互に連動させながら、前記基板支持部の高さ位置を制御する、ステージが提供される。

【発明の効果】

【0007】

一態様によれば、ステージにかかる荷重を安定して受けながら、ステージの移動における消費電力を抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】一実施形態に係るステージを有する検査装置を示す概略断面図である。

【図2】検査部に設置されるステージを示す概略側面図である。

【図3】ステージのＺ軸移動機構を拡大して示す斜視図である。

【図4】ステージのＺ軸移動機構を示す側面断面図である。

【図5】Ｚ軸移動機構の駆動モータおよび電磁ブレーキの動作を制御する構成を示すブロック図である。

【図6】図６（Ａ）は、電磁ブレーキのブレーキ電力と電磁ブレーキのブレーキトルクとの関係を示すグラフである。図６（Ｂ）は、電磁ブレーキのブレーキ電力と、基台の目標位置およびブレーキトルクとの関係を示すグラフである。図６（Ｃ）は、電磁ブレーキの電圧－電流特性を示すグラフである。

【図7】図７（Ａ）は、本実施形態に係るステージの動作方法を示すタイミングチャートである。図７（Ｂ）は、比較例に係るステージの動作方法を示すタイミングチャートである。

【図8】図８（Ａ）は、ＰＷＭ制御を行った場合のモータトルクとブレーキトルクとの関係を示すタイミングチャートである。図８（Ｂ）は、ｎ個の電磁ブレーキを備えたステージにおいてＰＷＭ制御を行った例を示すタイミングチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、図面を参照して本開示を実施するための形態について説明する。各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。

【0010】

図１は、一実施形態に係るステージ３０を有する検査装置１を示す概略断面図である。図１に示すように、一実施形態に係る検査装置１は、基板の一例であるウエハＷの電気的特性を検査する。ウエハＷの表面には、被検査デバイス（ＤＵＴ：Device Under Test）である半導体デバイスが形成されている。なお、基板は、ウエハＷに限定されず、被検査デバイスが配置されたキャリア、ガラス基板、チップ単体、電子回路基板等でもよい。被検査デバイスも、半導体デバイスに限らず、他の電子デバイス等でもよい。

【0011】

検査装置１は、検査を実際に行う検査部１０と、検査部１０の隣接位置に設置されるローダ１３と、検査部１０の上方に設置されるテスタ２０と、を備える。さらに、検査装置１は、検査部１０、ローダ１３およびテスタ２０の動作を制御するコントローラ９０を有する。

【0012】

検査部１０は、直方体状の筐体１１を備え、この筐体１１の内部に検査室１２を有する。検査室１２には、ウエハＷを載置して、所望の３次元座標位置にウエハＷを搬送するステージ３０が収容されている。

【0013】

ローダ１３には、複数のウエハＷを待機させるＦＯＵＰ（不図示）がセットされる。ローダ１３は、図示しない搬送装置を備え、搬送装置によりＦＯＵＰからウエハＷを取り出して、検査室１２のステージ３０へウエハＷを受け渡す。また、ローダ１３は、搬送装置により検査済のウエハＷをステージ３０から取り出してＦＯＵＰへ収容する。

【0014】

検査部１０は、インタフェース２３を介してテスタ２０に接続されるプローブカード２１を検査室１２の上方に備える。プローブカード２１は、ウエハＷに対向する位置に複数のプローブ２２を有する。各プローブ２２は、ステージ３０によりウエハＷを移動させた際に、ウエハＷの各被検査デバイスの電極パッドや半田バンプ等に接触する。これにより、テスタ２０は、プローブカード２１およびインタフェース２３を介して被検査デバイスへ電力および各種の信号を出力し、またプローブカード２１およびインタフェース２３を介して被検査デバイスから送信される信号を受信する。

【0015】

テスタ２０は、インタフェース２３に接続されるマザーボード（不図示）を内部に備える。マザーボードは、図示しない複数のテストボードが装着される複数のスロットを有すると共に、コントローラ９０に接続されている。マザーボードは、ウエハＷの被検査デバイスから送信される信号に基づき各被検査デバイスの良否を判断する。テスタ２０は、テストボードを適宜取り替えることにより、複数種類の検査を実施することができる。

【0016】

さらに、検査装置１は、検査室１２の適宜の位置に、ステージ３０上のウエハＷを撮像する検査側カメラ２９を備えてもよい。検査側カメラ２９は、例えば、ステージ３０の傾斜やステージ３０に載置されたウエハＷの位置などを撮像する。あるいは、検査装置１は、プローブカード２１、または各プローブ２２とウエハＷの接触状態等を撮像するステージ側カメラ１９を有してもよい。

【0017】

図２は、検査部１０に設置されるステージ３０を示す概略側面図である。図２に示すように、ステージ３０は、筐体１１の外観を構成するパネル（不図示）を支持するフレーム構造１４に設置される。ステージ３０の上面には、ウエハＷを支持する平坦状の載置面３０ｓが形成されている。

【0018】

ステージ３０は、検査室１２の適宜の３次元位置（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向）に、載置面３０ｓに載置されたウエハＷを搬送する。例えば、ステージ３０は、図１のローダ１３の近傍位置（または内部）と、プローブカード２１の対向位置との間で水平方向（Ｘ軸－Ｙ軸方向）に移動して、ウエハＷの水平位置を調整する。また、ステージ３０は、プローブカード２１とウエハＷとの対向位置において、鉛直方向（Ｚ軸方向）に昇降して、ウエハＷの昇降位置を調整する。

【0019】

ステージ３０は、移動部３２（Ｘ軸移動機構３３、Ｙ軸移動機構３４、Ｚ軸移動機構４０）、基台３５、針研機構６０、ステージ制御部７０およびドライバ部８０を有する。一方、フレーム構造１４は、移動部３２を支持する上ベース１４１と、ステージ制御部７０およびドライバ部８０を支持する下ベース１４２と、上ベース１４１や下ベース１４２の四隅に設けられる複数の支柱１４３と、を含む２段構造を呈している。

【0020】

移動部３２のＸ軸移動機構３３は、上ベース１４１の上面に固定されＸ軸方向に沿って延在する複数のガイドレール３３０と、各ガイドレール３３０間にわたって配置される複数のＸ軸可動体３３１と、各Ｘ軸可動体３３１に支持されるＸ軸台３３２と、を含む。Ｘ軸台３３２は、ドライバ部８０に接続される図示しないＸ軸駆動部（モータ、ギア機構等）を有する。Ｘ軸駆動部は、ドライバ部８０からの電力供給に基づき、各Ｘ軸可動体３３１およびＸ軸台３３２をＸ軸方向に往復動させて、ウエハＷのＸ座標を調整する。

【0021】

Ｙ軸移動機構３４は、Ｘ軸台３３２の上面に固定されＹ軸方向に沿って延在する複数のガイドレール３４０と、各ガイドレール３４０間にわたって配置される複数のＹ軸可動体３４１と、各Ｙ軸可動体３４１に支持されるＹ軸台３４２と、を含む。Ｙ軸台３４２は、ドライバ部８０に接続される図示しないＹ軸駆動部（モータ、ギア機構等）を有する。Ｙ軸駆動部は、ドライバ部８０からの電力供給に基づき、各Ｙ軸可動体３４１およびＹ軸台３４２を軸方向に往復動させて、ウエハＷのＹ座標を調整する。

【0022】

Ｚ軸移動機構４０は、Ｙ軸台３４２に設置されると共に、その上部において基台３５を保持している。Ｚ軸移動機構４０は、基台３５をＺ軸方向（鉛直方向）に変位させることで、基台３５の載置面３０ｓに載置されたウエハＷを昇降させる本実施形態の昇降機構を構成している。このＺ軸移動機構４０の構成については後に詳述する。

【0023】

以上の移動部３２により搬送される基台３５は、Ｚ軸移動機構４０に支持されるボトムプレート３５１と、ボトムプレート３５１の上側に積層されて載置面３０ｓを有するチャックトップ３５２と、を含む。ボトムプレート３５１は、後述するＺ軸移動機構４０の４つの昇降部４５に支持されている。チャックトップ３５２は、平面視でウエハＷよりも大径の円形状を呈しており、またボトムプレート３５１よりも厚みを持つように形成される。なお図示は省略するが、チャックトップ３５２は、ウエハＷを保持する適宜の保持手段（真空吸着、メカニカルチャック等）、載置面３０ｓの温度を調整する温調機構、載置面３０ｓの温度を検出する温度センサ等を備えてもよい。

【0024】

ステージ３０の針研機構６０は、Ｙ軸台３４２において、Ｚ軸移動機構４０の隣接位置に設置される。針研機構６０の上部には、プローブカード２１から下方に突出しているプローブ２２を研磨する研磨体６１が設けられる。針研機構６０は、研磨体６１をＺ軸方向に変位させる研磨側Ｚ軸移動機構６２を有する。研磨側Ｚ軸移動機構６２は、Ｚ軸移動機構４０と略同様に構成される。

【0025】

ステージ制御部７０は、検査装置１のコントローラ９０に接続され、コントローラ９０の指令に基づき、ステージ３０の動作を制御する。ステージ制御部７０は、例えば、ステージ３０全体の動作を制御するメイン制御部、移動部３２の動作を制御するＰＬＣ、温調機構を制御する温度コントローラ、照明制御部、電源ユニット等を有する（共に不図示）。ステージ制御部７０のメイン制御部は、図示しない１以上のプロセッサ、メモリ、入出力インタフェースおよび電子回路等を有するコンピュータ内臓ボードを適用し得る。１以上のプロセッサは、ＣＰＵ、ＧＰＵ、ＡＳＩＣ、ＦＰＧＡ、複数のディスクリート半導体からなる回路等のうち１つまたは複数を組み合わせたものであり、メモリに記憶されたプログラムを実行処理する。メモリは、不揮発性メモリおよび揮発性メモリを含む。

【0026】

ステージ制御部７０は、コントローラ９０の指令に基づきドライバ部８０を制御して、ローダ１３から基台３５にウエハＷを受け取った後に、移動部３２を動作させてウエハＷを水平方向に移動させる。そして、プローブカード２１にウエハＷが対向する位置において、ステージ制御部７０は、移動部３２のＺ軸移動機構４０により基台３５を上昇させ、プローブカード２１のプローブ２２にウエハＷを接触させる。この状態で、コントローラ９０は、テスタ２０による電気的検査を開始する。また、ステージ制御部７０は、テスタ２０の検査終了後に、上記と逆の動作により、検査後のウエハＷを下降および水平移動させ、ローダ１３にウエハＷを戻す。

【0027】

図３は、ステージ３０のＺ軸移動機構４０を拡大して示す斜視図である。図４は、ステージ３０のＺ軸移動機構４０を示す側面断面図である。図３および図４に示すように、Ｚ軸移動機構４０は、Ｙ軸台３４２に設置される支持フレーム４１を有する。支持フレーム４１は、基台３５の昇降方向と直交する方向（水平方向：Ｘ軸‐Ｙ軸方向）に沿って一連に連続する部材である。この支持フレーム４１は、Ｚ軸移動機構４０の４つの昇降部４５を保護すると共に、各昇降部４５の昇降をガイドする。つまり、Ｚ軸移動機構４０は、上記した１つの基台３５（図２参照）を、４つの昇降部４５により昇降させる構成としている。

【0028】

支持フレーム４１は、一対の側壁４２と、当該一対の側壁４２の間を延在する１つの連結壁４３とを有し、平面視でＨ字状に形成されている。一対の側壁４２の上面および連結壁４３の上面が面一に連なることで、支持フレーム４１の上部は平坦状に形成されている。

【0029】

一対の側壁４２は、Ｙ軸台３４２の上面に固定される。各側壁４２は、側面視で、Ｘ軸方向に長く延在し、かつＺ軸方向に短く延在する略長方形状を呈している。そして、各側壁４２のＸ軸方向（長辺）の中間位置に、連結壁４３が連結されている。一対の側壁４２の下面寄り所定位置には、複数のネジ止め用空間４２０が形成されている。このネジ止め用空間４２０から各側壁４２を貫通した固定ネジ４２１がＹ軸台３４２に螺合されることで、支持フレーム４１はＹ軸台３４２に強固に固定される。

【0030】

連結壁４３は、Ｙ軸方向（幅方向）かつＺ軸方向（高さ方向、鉛直方向）に延在する略長方形状に形成されている。図４に示すように、連結壁４３のＹ軸方向の長さは、側壁４２のＸ軸方向の長さよりも長い。連結壁４３の下方は、Ｙ軸台３４２に支持フレーム４１を固定した状態で、Ｙ軸台３４２に形成された孔３４２ａに挿入され、Ｙ軸可動体３４１よりも下方に突出している。

【0031】

図３に示すように、４つの昇降部４５は、連結壁４３よって２つに分かれて配置される。各昇降部４５は、基台３５を直接支持するＺ軸可動体４６と、Ｚ軸可動体４６を昇降させる駆動モータ４７と、Ｚ軸可動体４６の昇降を案内するガイド部４８と、を含む。

【0032】

Ｚ軸移動機構４０は、連結壁４３のＸ軸方向の一方の壁面４３ａに２つのガイド部４８を備えると共に、連結壁４３のＸ軸方向の他方の壁面４３ｂに２つのガイド部４８を備える。各ガイド部４８は、Ｚ軸方向に延在する一対のレール４９を有する。一対のレール４９は、連結壁４３の上端から下端までの間を直線状に延在している。また、ガイド部４８は、連結壁４３の壁面４３ａ、４３ｂの上部に、Ｚ軸可動体４６の上昇を制限する移動制限ブロック５０を有する。

【0033】

昇降部４５の駆動モータ４７は、Ｙ軸台３４２に固定され、Ｚ軸正方向に突出する軸部４７０を有する。この駆動モータ４７の種類は、特に限定されるものではないが、軸部４７０の回転位置や回転速度等を制御可能なサーボモータを適用できる。特に、Ｚ軸移動機構４０の小型化を図るために、駆動モータ４７は、ダイレクトドライブモータを適用することが好ましい。ダイレクトドライブモータは、減速機を備えずに軸方向に沿って低く構成され、また低速かつ高トルクで回転することができる。あるいは、駆動モータ４７は、磁気ギヤードモータを適用してもよい。

【0034】

なお、駆動モータ４７とＺ軸可動体４６の間には、駆動モータ４７の回転を減速する減速機が設けられてもよい。昇降部４５は、駆動モータ４７自体、または駆動モータ４７とＺ軸可動体４６の間に、駆動モータ４７の回転運動を減速させる磁気減速機構を備えてもよい。

【0035】

駆動モータ４７は、軸部４７０または図示しないロータの回転角度を検出するエンコーダ５４を備える。また、駆動モータ４７は、基台３５からロータにかかる荷重値をトルク（電流値）として検出する図示しないトルクセンサを備えてもよい。

【0036】

Ｚ軸方向に延在する軸部４７０とＺ軸可動体４６の間には、動力変換部５１が設けられる。例えば、動力変換部５１は、軸部４７０の外周面に螺旋状のネジ山を備える一方で、Ｚ軸可動体４６の軸部４７０が挿通される孔の内側にナットを螺合したボールネジ機構を採ることができる。このような動力変換部５１によって、昇降部４５は、軸部４７０の回転下にＺ軸可動体４６を昇降させることができる。なお、動力変換部５１の構成は、特に限定されず、駆動モータ４７の回転運動を直線運動に変換可能な種々の機構を採用し得る。

【0037】

一方、昇降部４５のＺ軸可動体４６は、基台３５を支持する部材であり、駆動モータ４７の駆動に基づき昇降することで、当該基台３５を昇降させる。本実施形態に係るＺ軸移動機構４０は、４つのＺ軸可動体４６（昇降部４５）の各々を個別に昇降させることにより、基台３５のチルトを調整可能としている。

【0038】

Ｚ軸可動体４６は、基台３５のボトムプレート３５１に接触する接触子５７を上面に備えている。すなわち、基台３５は、４つの接触子５７に支持される。この接触子５７は、平坦状の上面を有する硬質なブロックに形成されている。

【0039】

図４に示すように、Ｚ軸可動体４６は、水平方向（Ｘ軸－Ｙ軸方向）に平行な横延在体４６０と、横延在体４６０に連なると共に鉛直方向に平行な縦延在体４６１と、を有し、側面断面視で、略Ｌ字状に形成されている。横延在体４６０には、上記の動力変換部５１のナットが設けられている。縦延在体４６１は、支持フレーム４１の連結壁４３の隣接位置で、当該連結壁４３に対向し、その対向面に一対のレール４９に配置される一対のスライダ５６を備える。スライダ５６は、レール４９に係合することで、Ｚ軸方向（レール４９の延在方向）への移動がガイドされる。このレール４９およびスライダ５６により、Ｚ軸可動体４６は、水平方向（Ｘ軸－Ｙ軸方向）へのＺ軸可動体４６の離脱が防止されつつ、Ｚ軸方向への移動がガイドされる。

【0040】

そして、本実施形態に係るＺ軸移動機構４０は、駆動モータ４７の上部に、電磁ブレーキ５８を備える。この電磁ブレーキ５８は、軸部４７０の周囲を囲う円環状を呈している。

【0041】

例えば、電磁ブレーキ５８は、駆動モータ４７（または他の部材）に固定されるブレーキステータ５８１と、ブレーキステータ５８１と相対的に回転可能なブレーキアーマチュア５８２とを含む。ブレーキステータ５８１の内部には、電磁ブレーキ５８へのブレーキ電力の供給に基づき、ブレーキアーマチュア５８２に磁力を付与するコイル（不図示）が収容されている。ブレーキアーマチュア５８２は、適宜の連結手段（例えば、スプライン嵌合）によって、軸部４７０の外周面に連結され、軸部４７０と一体に回転可能となっている。

【0042】

電磁ブレーキ５８は、コイルへのブレーキ電力の供給によりブレーキアーマチュア５８２をブレーキステータ５８１に引き寄せる。このブレーキアーマチュア５８２の引き寄せによって、ブレーキステータ５８１とブレーキアーマチュア５８２の間に設けられた摩擦部（不図示）にブレーキアーマチュア５８２が接触する。これにより、電磁ブレーキ５８は、ブレーキアーマチュア５８２および軸部４７０の回転を制動する、または軸部４７０を回転不能に保持することが可能となる。

【0043】

図５は、Ｚ軸移動機構４０の駆動モータ４７および電磁ブレーキ５８の動作を制御する構成を示すブロック図である。図５に示すように、ステージ制御部７０は、４つの昇降部４５（駆動モータ４７、電磁ブレーキ５８）の各々を制御する機能部として、モータ制御部７１と、ブレーキ制御部７２とを内部に備える。また、ドライバ部８０は、モータ制御部７１に接続されるサーボアンプ８１と、ブレーキ制御部７２に接続される電圧制御部８２とを備える。なお、モータ制御部７１と、ブレーキ制御部７２、サーボアンプ８１、電圧制御部８２の設置位置は特に限定されず、例えば全ての機能部がドライバ部８０に設けられてもよい。

【0044】

モータ制御部７１は、接続されている駆動モータ４７およびＺ軸可動体４６に対応するＺ軸方向の目標位置を、ステージ制御部７０から受信する。ステージ制御部７０は、例えば、基台３５全体の昇降位置に関わる位置指令、および基台３５がプローブ２２から受ける荷重の検出情報等に基づき各駆動モータ４７の目標位置を算出して、モータ制御部７１にこの目標位置を指令する。

【0045】

モータ制御部７１は、受信した目標位置に基づき、駆動モータ４７の推力であるモータトルクと、電磁ブレーキ５８のブレーキ保持力であるブレーキトルクとを設定する。例えば、モータ制御部７１は、受信した目標位置に基づきその昇降部４５において基台３５を保持するのに必要な保持力（モータトルクとブレーキトルクの合計：換言すれば、ステージ３０が受ける荷重）を算出する。そして、モータ制御部７１は、算出した保持力をモータトルクとブレーキトルクとに適宜配分する。すなわち、モータ制御部７１は、駆動モータ４７と電磁ブレーキ５８の協調制御アルゴリズムを内包している。

【0046】

モータ制御部７１は、設定したモータトルクをドライバ部８０のサーボアンプ８１に指令し、サーボアンプ８１は、このモータトルクに応じたモータ電力を駆動モータ４７に供給する。これにより、駆動モータ４７は、モータ制御部７１のモータトルクに応じて軸部４７０を回転することができる。また、駆動モータ４７は、軸部４７０の回転時に、エンコーダ５４（図３参照）により軸部４７０の実位置を検出して、この実位置をモータ制御部７１にフィードバックする。これにより、モータ制御部７１は、軸部４７０の実位置と目標位置の偏差を算出し、偏差に対するモータトルクのゲインとブレーキトルクが一致するように制御することができる。モータ制御部７１は、実位置と目標位置の偏差と比較するための閾値を有し、偏差が閾値以上となった場合に電磁ブレーキ５８のブレーキトルクを低下させる等の制御を行ってもよい。これにより、電磁ブレーキ５８のブレーキトルクに伴う位置決め速度の低下を抑制できる。

【0047】

ブレーキ制御部７２は、オープンループ制御を行うように構成されており、モータ制御部７１において設定されたブレーキトルクを受信して、電磁ブレーキ５８のブレーキ比率を算出する。ブレーキ比率とは、電磁ブレーキ５８によって駆動モータ４７の軸部４７０（すなわち、Ｚ軸可動体４６の高さ位置）を保持するブレーキトルクとブレーキ電力（消費電力）との比率である。次に、Ｚ軸移動機構４０に適用される電磁ブレーキ５８の特性について、図６を参照しながら詳述する。

【0048】

図６（Ａ）は、電磁ブレーキ５８のブレーキ電力と電磁ブレーキ５８のブレーキトルクとの関係を示すグラフである。図６（Ｂ）は、電磁ブレーキ５８のブレーキ電力と、基台３５の目標位置および荷重との関係を示すグラフである。図６（Ｃ）は、電磁ブレーキ５８の電圧－電流特性を示すグラフである。電磁ブレーキ５８は、通常、励磁状態となったブレーキの作動モードと、励磁が解除されたブレーキの非作動モードの２モードのみで動作する。ただし、図６（Ａ）に示すように、電磁ブレーキ５８の軸部４７０を保持するブレーキトルクは、ブレーキステータ５８１によりブレーキアーマチュア５８２に摩擦をかけた（噛み込んだ）後、ブレーキ電力の増加に連れて線形的に増加する。例えば、電磁ブレーキ５８のブレーキ電力として０．２Ｗを供給した場合には、電磁ブレーキ５８のブレーキトルクとして約１ｋＮが得られ、ブレーキ電力として１Ｗを供給した場合には、電磁ブレーキ５８のブレーキトルクとして約６ｋＮが得られる。

【0049】

また、ウエハＷが各プローブ２２に接触した後に基台３５をさらに上昇させるオーバドライブ時には、ステージ制御部７０の目標位置が上昇するに連れて各昇降部４５にかかる保持力（荷重）が上昇する。このため、図６（Ｂ）に示すように、各昇降部４５に要求される保持力（モータトルクとブレーキトルクの合計）も上昇する。なお、図６（Ｂ）において黒三角は、ステージ３０の位置であり、黒丸は、各昇降部４５に要求される保持力（ステージ３０が受ける荷重）である。基台３５の上昇が終了して目標位置が一定になった後は、これに連れて保持力も一定となる。例えば、目標位置（保持力）が一定になった状態では、電磁ブレーキ５８に要求されるブレーキトルクとして２．２５ｋＮが要求される。電磁ブレーキ５８において２．２５ｋＮとなるブレーキ電力は、０．４Ｗ～０．５Ｗ程度である（図６（Ａ）も参照）。すなわち、電磁ブレーキ５８を適用すれば、０．５Ｗのブレーキ電力で基台３５にかかる荷重を保持できる。

【0050】

図６（Ｃ）に示すように、電磁ブレーキ５８では、ブレーキ電圧の増加に対してブレーキ電流が線形的に増加していく。言い換えれば、電磁ブレーキ５８は、線形抵抗を有している。したがって、電磁ブレーキ５８のブレーキトルクを制御する場合、ステージ制御部７０は、電磁ブレーキ５８に供給するブレーキ電圧を制御すればよいことになる。

【0051】

図５に戻り、ブレーキ制御部７２は、モータ制御部７１からブレーキトルク（例えば、図６（Ｂ）の目標位置に応じた２．２５ｋＮのブレーキトルク）を受信する。ブレーキ制御部７２は、ブレーキトルクとブレーキ電力の関係を示す情報（関数、テーブル等）を保有しており、受信したブレーキトルクに基づきドライバ部８０が電磁ブレーキ５８に供給するブレーキ電力の比率であるブレーキ比率を算出する。

【0052】

また、電圧制御部８２は、ブレーキ制御部７２からブレーキ比率を受信して、電磁ブレーキ５８を制御するためのブレーキ電圧を算出する。そして、電圧制御部８２は、図示しない電源からの電力を制御して、算出したブレーキ電圧を電磁ブレーキ５８に供給することで、電磁ブレーキ５８を制御する。

【0053】

なお、ドライバ部８０は、駆動モータ４７や電磁ブレーキ５８について、例えばパルス波を供給するＰＷＭ制御を実施して、駆動モータ４７のモータトルクおよび電磁ブレーキ５８のブレーキトルクを制御してもよい。これにより、ステージ３０は、駆動モータ４７および電磁ブレーキ５８を一層良好に協調制御することができる。

【0054】

本実施形態に係る検査装置１およびステージ３０は、基本的には以上のように構成され、以下、ステージ３０の動作方法について、図７を参照しながら説明する。図７（Ａ）は、本実施形態に係るステージ３０の動作方法を示すタイミングチャートである。図７（Ｂ）は、比較例に係るステージの動作方法を示すタイミングチャートである。

【0055】

比較例に係るステージは、駆動モータ４７および電磁ブレーキ５８の協調制御を行わず、また電磁ブレーキ５８の作動モードおよび非作動モードの切り替えによりＺ軸移動機構４０を動作させた場合を示している。Ｚ軸移動機構４０によりステージを上昇させる場合、図７（Ｂ）に示すように、ステージ制御部７０は、ドライバ部８０のサーボアンプ８１をオン状態として、ドライバ部８０から駆動モータ４７にモータ電力を出力する。このモータ電力（モータ電流）は一定値である。これにより、駆動モータ４７が駆動して、Ｚ軸可動体４６が上昇する。

【0056】

例えば、時点ｔｂ１においてステージが目標位置に達すると、ステージ制御部７０は、駆動モータ４７の駆動から電磁ブレーキ５８の駆動に切り替える制御を行う。ただし、電磁ブレーキ５８は、ドライバ部８０からブレーキ電力が供給されても、直ちにブレーキトルクを発揮できるわけではなく、若干のタイムラグを経てブレーキトルクを発揮する。このため、比較例に係るステージは、駆動モータ４７の駆動期間と電磁ブレーキ５８の駆動期間とが相互に重なるようにして電磁ブレーキ５８を作動させ、その後の時点ｔｂ２において駆動モータ４７の駆動を停止する構成としている。

【0057】

以上のことから、比較例に係るステージの動作方法では、駆動モータ４７と電磁ブレーキ５８との切り替えに時間がかかることになる。また、駆動モータ４７および電磁ブレーキ５８のオン／オフを切り替える制御では、駆動モータ４７のモータ電力および電磁ブレーキ５８のブレーキ電力も増えることになる。例えば、電磁ブレーキ５８を作動にした場合、定格の電力として１１Ｗを電磁ブレーキ５８に供給する必要がある。さらに、駆動モータ４７および電磁ブレーキ５８のオン／オフを切り替える制御では、切り替えタイミングにおいてステージにかかる荷重により基台３５の沈み込みが生じ易くなり、停止精度が悪化することになる。

【0058】

これに対し、本実施形態に係るステージ３０は、駆動モータ４７および電磁ブレーキ５８の協調制御を行う。この場合、ステージ制御部７０は、ドライバ部８０のサーボアンプ８１をオン状態として、ドライバ部８０から駆動モータ４７にモータ電力を出力する。ただし、モータ制御部７１は、協調制御を行うためモータ電流を適宜のタイミングで変動させる。また、モータ制御部７１から指令を受けたブレーキ制御部７２は、電磁ブレーキ５８の動作遅延をなくすために、ドライバ部８０から電磁ブレーキ５８にブレーキ電力を出力する。

【0059】

例えば、モータ制御部７１は、オーバドライブの初期において（図７（Ａ）の時点ｔａ０～ｔａ１）、一定値のモータ電流を供給して駆動モータ４７により昇降部４５のＺ軸可動体４６を上昇させる。また、ブレーキ制御部７２は、電磁ブレーキ５８のブレーキトルクを直ちに発揮可能な状態とするために、時点ｔａ０において一旦高いブレーキ電圧を供給する。そして、ブレーキ制御部７２は、時点ｔａ０から多少時間が経過した時点ｔａ０'において、ブレーキ電圧を低い電圧値に降下させることで、電磁ブレーキ５８を待機させる。これにより、時点ｔａ０'以降、電磁ブレーキ５８は弱いブレーキトルクが生じた状態となる。この弱いブレーキトルクは、ブレーキステータ５８１にブレーキアーマチュア５８２が僅かに接触する（または接触しない程度に近接する）値であり、駆動モータ４７の軸部４７０の回転に殆ど影響を与えない。したがって、昇降部４５は、駆動モータ４７の回転駆動によってＺ軸可動体４６を安定して上昇させることができる。

【0060】

時点ｔａ１に達すると、ステージ制御部７０は、オーバドライブにおいてウエハＷの高さ位置を位置決めする工程を行う。この位置決め工程は、時点ｔａ１～時点ｔａ２の期間にわたって実施され、時点ｔａ２においてウエハＷの上昇（すなわちオーバドライブ）が終了する。

【0061】

位置決め工程において、ステージ制御部７０は、モータ制御部７１の制御下に、駆動モータ４７に供給するモータ電力を徐々に低下させる。その一方で、ステージ制御部７０は、ブレーキ制御部７２の制御下に、電磁ブレーキ５８に供給するブレーキ電力（ブレーキ電圧）を徐々に上昇させる。これにより、駆動モータ４７と電磁ブレーキ５８の両方（昇降部４５全体）が基台３５に対して付与する保持力は略一定を保ちながら、モータトルクが低くなり、ブレーキトルクが高まる。したがって、昇降部４５は、位置決め工程において各プローブ２２から受ける荷重に対して充分な保持力をかけることができる。

【0062】

時点ｔａ２に達すると、駆動モータ４７に供給されるモータ電力はゼロとなる一方で、電磁ブレーキ５８に供給されるブレーキ電力が最も高くなる。ただし、上記したように駆動モータ４７がウエハＷおよび基台３５の高さ位置を維持するためのモータ電力に比べて、電磁ブレーキ５８のブレーキ電力は僅かである。例えば、駆動モータ４７がウエハＷおよび基台３５の高さ位置を維持するためのモータ電力は、従来３５Ｗ程度に設定される。これに対し、１つの電磁ブレーキ５８がウエハＷおよび基台３５の高さ位置を維持するためのブレーキ電力は０．５Ｗである（図６（Ｂ）も参照）。したがって、ステージ３０は、低い消費電力によってウエハＷおよび基台３５の高さ位置を良好に維持することができる。

【0063】

また、ウエハＷおよび基台３５の高さ位置を補正する場合、ステージ制御部７０は、やはり駆動モータ４７および電磁ブレーキ５８を協調制御することにより、高さ位置を調整できる。例えば、図７（Ａ）では時点ｔａ３以降において補正を行う工程を示している。

【0064】

この補正工程において、ステージ制御部７０は、ブレーキ制御部７２の制御下に、電磁ブレーキ５８に供給するブレーキ電力（ブレーキ電圧）を徐々に低下させる。その一方で、ステージ制御部７０は、モータ制御部７１の制御下に、駆動モータ４７に供給するモータ電力（モータ電流）を徐々に上昇させる。

【0065】

そして、時点ｔａ４に至ると、ステージ制御部７０は、電磁ブレーキ５８に供給するブレーキ電力を一定値に維持すると共に、駆動モータ４７に供給するモータ電力を一定値に維持する。これにより、時点ｔａ４～時点ｔａ５の期間において、ウエハＷおよび基台３５の高さ位置の補正がなされる。なお、駆動モータ４７のモータ電力（モータ電流）は、高さ位置を調整するために必要なモータトルクをかける値であり、一定値でなくてもよい。またこの際の電磁ブレーキ５８のブレーキトルクは、時点ｔａ０'～時点ｔａ１の期間のブレーキトルクと同じでもよく、このブレーキトルクより高くてもよい。

【0066】

時点ｔａ５に至ると、ステージ制御部７０は、モータ制御部７１の制御下に、駆動モータ４７に供給するモータ電力を徐々に低下させる。その一方で、ステージ制御部７０は、ブレーキ制御部７２の制御下に、電磁ブレーキ５８に供給するブレーキ電力（ブレーキ電圧）を徐々に上昇させる。これにより、電磁ブレーキ５８が軸部４７０にブレーキトルクをかけることで、ステージ３０は、ウエハＷおよび基台３５の高さ位置を低い消費電力でかつ強固に維持することができる。

【0067】

なお、ステージ３０、検査装置１、およびステージ３０の動作方法は、上記の実施形態に限定されず、種々の変形例をとり得る。例えば、上記の実施形態において、Ｚ軸移動機構４０は、４つの昇降部４５によりウエハＷおよび基台３５を上昇させる構成であったが、昇降部４５の数は限定されない。一例として、Ｚ軸移動機構４０は、３つの昇降部４５を備えた構成や５つ以上の昇降部４５を備えた構成でもよく、逆に１つの昇降部４５を備えた構成でもよい。

【0068】

また、ステージ制御部７０は、電磁ブレーキ５８の電圧制御についてＰＷＭ制御を実施してもよい。以下、ＰＷＭ制御を行った場合のステージ３０の動作方法について、図８を参照しながら説明する。図８（Ａ）は、ＰＷＭ制御を行った場合のモータトルクとブレーキトルクとの関係を示すタイミングチャートである。図８（Ｂ）は、ｎ個の昇降部４５を備えたステージ３０においてＰＷＭ制御を行った例を示すタイミングチャートである。

【0069】

図８（Ａ）に示すように、ステージ３０は、電磁ブレーキ５８に対して一定値に設定されたパルス波のブレーキ電圧を出力する。例えば、オーバドライブの初期（時点ｔｃ０～時点ｔｃ１）において、電圧制御部８２（図５参照）は、パルス波の間隔（オフ期間）が長いブレーキ電圧を出力する。これにより、電磁ブレーキ５８は、駆動モータ４７の軸部４７０の回転に殆ど影響を与えない弱いブレーキトルクが生じた状態となる。またこの際、モータ制御部７１が駆動モータ４７に一定のモータ電力（モータ電流）を供給することで、駆動モータ４７は、ウエハＷおよび基台３５を上昇させる。

【0070】

そして、時点ｔｃ１に至ると、電圧制御部８２は、オーバドライブの初期よりもパルス波の間隔（オフ期間）が短いブレーキ電圧を出力する。また、電圧制御部８２は、時点ｔｃ１～時点ｔｃ２においてパルス波の間隔を徐々に狭めていく。これにより、電磁ブレーキ５８は、ブレーキトルクを徐々に高めていくことができる。またこの際、モータ制御部７１が駆動モータ４７に徐々に低下するモータ電力（モータ電流）を供給することで、駆動モータ４７のモータトルクが徐々に低下していく。

【0071】

時点ｔｃ２以降は、ウエハＷおよび基台３５の高さ位置を維持する工程であり、この際、電圧制御部８２は、パルス波の間隔がさらに短い（あるいは、パルス波の間隔がゼロの）ブレーキ電圧を出力する。これにより、電磁ブレーキ５８は、強いブレーキトルクを軸部４７０にかけることが可能となり、ウエハＷおよび基台３５の高さ位置を、容易に維持することができる。

【0072】

以上のように、ステージ３０は、電磁ブレーキ５８に供給するブレーキ電圧をＰＷＭ制御することでも、電磁ブレーキ５８のブレーキトルクを精度よく制御することができる。

【0073】

また図８（Ｂ）に示すように、ステージ３０は、各昇降部４５のＰＷＭ制御において独立してブレーキ電圧のパルス波の間隔を調整できる。これにより、各昇降部４５の電磁ブレーキ５８は、ウエハＷおよび基台３５にかかる荷重や基台３５の傾きに応じて、適切なブレーキトルクを個別にかけることが可能となり、ウエハＷの姿勢を安定して制御することができる。

【0074】

以上の実施形態で説明した本開示の技術的思想および効果について以下に記載する。

【0075】

本開示の第１の態様は、基板（ウエハＷ）を支持する基板支持部（基台３５）と、基板支持部を昇降させる１以上の昇降部４５と、１以上の昇降部４５の動作を制御する制御部（ステージ制御部７０）と、を含むステージ３０であって、１以上の昇降部４５は、回転に基づき基板支持部を昇降させる推力を出力する駆動モータ４７と、基板支持部の高さ位置を保持するブレーキ保持力を昇降部４５に付与する電磁ブレーキ５８と、を備え、制御部は、駆動モータ４７の推力と電磁ブレーキ５８のブレーキ保持力とを相互に連動させながら、基板支持部の高さ位置を制御する。

【0076】

上記によれば、ステージ３０は、当該ステージ３０にかかる荷重を安定して受けながら、ステージ３０の移動における消費電力を抑制できる。すなわち、ステージ３０は、駆動モータ４７の推力と電磁ブレーキ５８のブレーキ保持力とを協調制御することによって、電磁ブレーキ５８を駆動モータ４７の制御システムに取り込むことができる。電磁ブレーキ５８のブレーキ電力は、駆動モータ４７のモータ電力に比べて充分に低いため、消費電力を大幅に低減できる。しかも、電磁ブレーキ５８と駆動モータ４７の切り替えた場合に生じていたコンタクト精度の悪化は、協調制御によりなくすことが可能となる。

【0077】

また、制御部（ステージ制御部７０）は、基板支持部（基台３５）の高さ位置において基板支持部を保持する保持力が一定となるように、駆動モータ４７の推力と電磁ブレーキ５８のブレーキ保持力とを調整する。これにより、ステージ３０は、基板支持部の保持力を良好に維持することができる。

【0078】

また、制御部（ステージ制御部７０）は、電磁ブレーキ５８により基板支持部（基台３５）を保持する場合に、駆動モータ４７の推力を徐々に低下させる一方で、電磁ブレーキ５８のブレーキ保持力を徐々に上昇させる。これにより、ステージ３０は、駆動モータ４７による位置決めから電磁ブレーキ５８による保持への切り替えを円滑に行うことができる。

【0079】

また、制御部（ステージ制御部７０）は、基板支持部（基台３５）の目標位置に基づき、駆動モータ４７の推力および電磁ブレーキ５８のブレーキ保持力を配分する。これにより、制御部は、高さ位置に応じて推力およびブレーキ保持力を適切に設定できる。

【0080】

また、制御部（ステージ制御部７０）は、駆動モータ４７から実位置をフィードバックして、目標位置と実位置との偏差を算出し、偏差に基づき駆動モータ４７の推力および電磁ブレーキ５８のブレーキ保持力を配分する。ステージ３０は、この偏差を利用することで電磁ブレーキ５８のブレーキ保持力を低下させる等の処理を行うことができ、基板支持部（基台３５）の実位置を目標位置に一致させる動作を適切かつ効率的に行うことができる。

【0081】

また、制御部（ステージ制御部７０）は、駆動モータ４７のモータ電力に基づき電磁ブレーキ５８のブレーキ保持力を設定し、設定したブレーキ保持力に基づき電磁ブレーキ５８に供給するブレーキ電力を制御する。これにより、ステージ３０は、電磁ブレーキ５８のブレーキ保持力を良好に制御可能となる。

【0082】

また、制御部（ステージ制御部７０）は、ブレーキ電圧を制御することにより、電磁ブレーキ５８に供給するブレーキ電力を制御する。電磁ブレーキ５８は線形抵抗として扱え、かつ電磁ブレーキ５８のブレーキトルクとブレーキ電力が線形であることから、電磁ブレーキのブレーキ電圧を制御することでその保持力を制御することが可能となる。 そのため、オープンループ制御として扱うことが可能となる。

【0083】

また、電磁ブレーキ５８は、制御部（ステージ制御部７０）によりＰＷＭ制御されたブレーキ電圧が入力されることで、ブレーキ保持力が調整される。これにより制御部は、電磁ブレーキ５８をより簡単に制御することができる。

【0084】

また、制御部（ステージ制御部７０）は、基板支持部（基台３５）を上昇させて位置決めを行う工程を制御し、位置決めを行う工程の前に、電磁ブレーキ５８に電力を供給し、昇降部４５を昇降可能なブレーキ保持力とする。これにより、ステージ３０は、機械的特性で生じていたブレーキアーマチュア５８２の無駄時間を滑り制御によってなくすことができる。

【0085】

また、制御部（ステージ制御部７０）は、基板支持部（基台３５）の鉛直方向の位置の補正を行う工程を制御し、補正を行う工程では、ブレーキ保持力を低下させながら推力を上昇させた後、ブレーキ保持力を一定に維持して推力により基板支持部の位置を調整する。これにより、ステージ３０は、外乱等により基台３５の高さ位置を補正する場合でも、スムーズかつ精度よく昇降部４５を移動させることができる。

【0086】

また、本開示の第２の態様は、基板（ウエハＷ）を載置して搬送するステージ３０を有し、搬送された基板にプローブ２２を接触させて当該基板の電気的特性を検査する検査装置１であって、ステージ３０は、基板を支持する基板支持部（基台３５）と、基板支持部を昇降させる１以上の昇降部４５と、１以上の昇降部４５の動作を制御する制御部（ステージ制御部７０）と、を含み、１以上の昇降部４５は、回転に基づき基板支持部を昇降させる推力を出力する駆動モータ４７と、基板支持部の高さ位置を保持するブレーキ保持力を昇降部４５に付与する電磁ブレーキ５８と、を備え、制御部は、駆動モータ４７の推力と電磁ブレーキ５８のブレーキ保持力とを相互に連動させながら、基板支持部の高さ位置を制御する。

【0087】

また、本開示の第３の態様は、基板（ウエハＷ）を支持する基板支持部（基台３５）と、基板支持部を昇降させる１以上の昇降部４５と、を含むステージ３０の動作方法であって、１以上の昇降部４５は、回転に基づき基板支持部を昇降させる推力を出力する駆動モータ４７と、基板支持部の高さ位置を保持するブレーキ保持力を昇降部４５に付与する電磁ブレーキ５８と、を備え、ステージの動作方法では、駆動モータ４７の推力と電磁ブレーキ５８のブレーキ保持力とを相互に連動させながら、基板支持部の高さ位置を制御する。以上の第２の態様および第３の態様でも、ステージ３０にかかる荷重を安定して受けながら、ステージ３０の移動における消費電力を抑制できる。

【0088】

今回開示された実施形態に係るステージ３０、検査装置１、ステージ３０の動作方法は、すべての点において例示であって制限的なものではない。実施形態は、添付の請求の範囲およびその主旨を逸脱することなく、様々な形態で変形および改良が可能である。上記複数の実施形態に記載された事項は、矛盾しない範囲で他の構成も取り得ることができ、また、矛盾しない範囲で組み合わせることができる。

【符号の説明】

【0089】

１ 検査装置
３０ ステージ
３５ 基台
４５ 昇降部
４７ 駆動モータ
５８ 電磁ブレーキ
７０ ステージ制御部
Ｗ ウエハ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】