特開 2024-118125 搬送システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024118125

(43)【公開日】2024-08-30

(54)【発明の名称】搬送システム

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20240823BHJP

   B65G 49/07 20060101ALI20240823BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B65G49/07 L

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023024383

(22)【出願日】2023-02-20

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】関家 一馬

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131CA70

5F131DA05

5F131DA22

5F131DA43

5F131DC05

5F131DC22

5F131KA12

5F131KA47

5F131KA52

5F131KA72

(57)【要約】

【課題】カセットを昇降する際に発生する振動を低減できる搬送システムを提供する事。
【解決手段】搬送システムは、ワーク処理装置に対して物品を搬出入する搬送車と、ワーク処理装置の上方に設置され搬送車が走行する走行路と、制御ユニットと、を備える。制御ユニットは、搬送車の撮像ユニットによって撮像された、搬送車のカセット１３がワーク処理装置のカセット載置台に設置されたガイド１２２によって位置決めされる前と後との画像を取得する画像取得部と、画像からカセット１３がガイド１２２により位置決めされる際の水平方向の移動量３５１，３５２を算出する移動量算出部と、移動量３５１，３５２に基づき、次に搬送車を受け渡し領域に停止させる際の停止位置を補正する停止位置補正部と、を備える。
【選択図】図１０

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ワーク処理装置と、
該ワーク処理装置に対して物品を搬出入する搬送車と、
該ワーク処理装置の上方に設置され該搬送車が走行する走行路と、
制御ユニットと、を備える搬送システムであって、
該搬送車は、
該物品を収容するカセットと、
該カセットを該ワーク処理装置のカセット載置台に対して昇降させる昇降ユニットと、
該搬送車の下方を撮像する撮像ユニットと、を有し、
該ワーク処理装置は、該カセット載置台に設置され、受け渡し領域に停止された該搬送車から昇降される該カセットに接触し、該カセットを水平方向に位置決めするガイドを有し、
該制御ユニットは、
撮像ユニットによって撮像された、該カセットが該ガイドによって位置決めされる前と後との画像を取得する画像取得部と、
該画像から該カセットが該ガイドにより位置決めされる際の水平方向の移動量を算出する移動量算出部と、
該移動量に基づき、次に該搬送車を該受け渡し領域に停止させる際の停止位置を補正する停止位置補正部と、
を備える事を特徴とする搬送システム。

【請求項2】

該撮像ユニットは、該カセット載置台に対して昇降する該カセットを撮像し、
該制御ユニットは、該カセットの昇降時の画像または映像の少なくともいずれかを記録する記録部を有する事を特徴とする請求項１に記載の搬送システム。

【請求項3】

該撮像ユニットは、該搬送車が該受け渡し領域に停止する際に、停止位置の基準となる印を有する、該走行路と、該カセット載置台と、の少なくともいずれかを撮像して位置決め画像を取得し、
該制御ユニットは、該位置決め画像から該搬送車の停止位置を検出し、該搬送車を該停止位置に停止させる停止位置検出部と、を含むことを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。

【請求項4】

該停止位置補正部は、該停止位置検出部が検出した停止位置を該移動量算出部が算出した該移動量に基づき補正することを特徴とする請求項３に記載の搬送システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、搬送車によって、ワーク処理装置に物品を搬送する搬送システムに関する。

【背景技術】

【0002】

搬送車によってワークやワークの処理に関連して使用される消耗品やメンテナンス部品、清掃部品などの物品が搬送される搬送システムが提案されている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２１－１６３９２０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

このような特許文献１では、搬送車は、ワークなどの物品を収容するカセットを搬送し、カセットをワーク処理装置に対して昇降させている。この搬送システムにおいては、カセットがカセット載置台に着地する際に、カセット載置台に設置された位置決めガイドに接触して水平方向に移動しながら位置決めされる機構であり、位置決め時の振動によりワークなどの物品が損傷する恐れがあった。また、カセットが搬送車に回収されるために上昇する際も、搬送車の停止位置がずれていると、カセットがガイドに接触し水平方向の移動量が大きくなり振動が発生する恐れがあった。

【0005】

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、カセットを昇降する際に発生する振動を低減できる搬送システムを提供する事である。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の搬送システムは、ワーク処理装置と、該ワーク処理装置に対して物品を搬出入する搬送車と、該ワーク処理装置の上方に設置され該搬送車が走行する走行路と、制御ユニットと、を備える搬送システムであって、該搬送車は、該物品を収容するカセットと、該カセットを該ワーク処理装置のカセット載置台に対して昇降させる昇降ユニットと、該搬送車の下方を撮像する撮像ユニットと、を有し、該ワーク処理装置は、該カセット載置台に設置され、受け渡し領域に停止された該搬送車から昇降される該カセットに接触し、該カセットを水平方向に位置決めするガイドを有し、該制御ユニットは、撮像ユニットによって撮像された、該カセットが該ガイドによって位置決めされる前と後との画像を取得する画像取得部と、該画像から該カセットが該ガイドにより位置決めされる際の水平方向の移動量を算出する移動量算出部と、該移動量に基づき、次に該搬送車を該受け渡し領域に停止させる際の停止位置を補正する停止位置補正部と、を備える事を特徴とする。

【0007】

該撮像ユニットは、該カセット載置台に対して昇降する該カセットを撮像し、該制御ユニットは、該カセットの昇降時の画像または映像の少なくともいずれかを記録する記録部を有していてもよい。

【0008】

該撮像ユニットは、該搬送車が該受け渡し領域に停止する際に、停止位置の基準となる印を有する、該走行路と、該カセット載置台と、の少なくともいずれかを撮像して位置決め画像を取得し、該制御ユニットは、該位置決め画像から該搬送車の停止位置を検出し、該搬送車を該停止位置に停止させる停止位置検出部と、を含んでいてもよい。

【0009】

該停止位置補正部は、該停止位置検出部が検出した停止位置を該移動量算出部が算出した該移動量に基づき補正してもよい。

【発明の効果】

【0010】

本発明は、カセットがカセット載置台に位置決めされる際にどれくらい水平方向に移動したかを画像処理により算出し、次回の搬送車の停止位置を補正するため、カセットがガイドにより位置決めされる際のカセットの水平方向の移動量を低減し、カセットを昇降する際にガイドに接触する等によりカセットに発生する振動を低減できる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】図１は、実施形態に係る搬送システムの構成例を示す概略図である。

【図2】図２は、図１の搬送システム及びワーク処理装置の一部を示す斜視図である。

【図3】図３は、図２のワーク処理装置のカセット載置台を示す上面図である。

【図4】図４は、図１の搬送システムの搬送車の構成例を示す斜視図である。

【図5】図５は、図４の搬送車を示す側断面図である。

【図6】図６は、図１の搬送システムの走行路を示す上面図である。

【図7】図７は、図１の搬送システムによるガイドの位置決めの一例を説明する断面図である。

【図8】図８は、図１の搬送車の撮像ユニットが撮像する画像の一例を示す図である。

【図9】図９は、図１の搬送車の撮像ユニットが撮像する画像の一例を示す図である。

【図10】図１０は、図１の搬送システムの動作処理の一例を説明する図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

【0013】

〔実施形態〕
本発明の実施形態に係る搬送システム１を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態に係る搬送システム１の構成例を示す概略図である。図２は、図１の搬送システム１及びワーク処理装置１００の一部を示す斜視図である。搬送システム１は、図１に示すように、ワーク２０１（図２等参照）を処理する複数のワーク処理装置１００と、複数のワーク処理装置１００のそれぞれに対して物品２００（図２等参照）を搬出入する搬送車１０と、ワーク処理装置１００の上方にワーク処理装置１００の間にわたって設置され、搬送車１０が走行する走行路２０と、制御ユニット３０と、を備える。搬送システム１は、本実施形態では複数台（図１に示す例では３台）の搬送車１０を含むが、本発明ではこれに限定されず、１台や２台でもよく、もちろん４台以上でもよい。なお、図面は、適宜、一部の構成要素を省略したり、一部の構成要素を輪郭のみ等で簡易的に示したりしている。

【0014】

ワーク処理装置１００の処理対象であり、なおかつ、実施形態に係る搬送システム１の搬送対象の物品２００の一例であるワーク２０１を説明する。ワーク２０１は、図２に示すように、シリコン、サファイア、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）、ガリウムヒ素、ガラスなどを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等のウエーハである。ワーク２０１は、平坦な表面において、交差（本実施形態では、直交）する複数の分割予定ラインで区画された領域にそれぞれチップ状のデバイスが形成されている。なお、ワーク２０１は、本発明ではこれに限定されず、デバイスが形成されていなくてもよい。ワーク２０１は、本実施形態では、裏面に粘着テープが貼着され、粘着テープの外縁部に環状フレームが装着されているが、本発明ではこれに限定されず、環状フレームが装着されていなくても、粘着テープが貼着されていなくてもよい。

【0015】

なお、搬送システム１の搬送対象の物品２００は、ワーク２０１に限定されず、材質、形状、構造、大きさ等に制限はなく、例えば、他の半導体、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなる基板等であってもよく、ワーク２０１を加工する加工工具、ワーク２０１の加工に使用する消耗品、ワーク処理装置１００を清掃する清掃用具、ワーク処理装置１００をメンテナンスするメンテナンス部品であってもよい。ワーク２０１を加工する加工工具は、例えば、切削ブレード、研削ホイール等である。ワーク２０１の加工に使用するその他の消耗品は、例えば、ドレッシングボード、プリカットボード、ダミーワーク、粘着テープ、カーボン片等である。清掃用具は加工工具を装着する支持面を清掃する洗浄砥石などの清掃用品等である。また、メンテナンス部品は、その他のワーク処理装置１００に備えられる任意の機構をメンテナンスするためのメンテナンス用具等である。ワーク２０１以外の物品２００についても、本実施形態では、図２に示すように、裏面に粘着テープが貼着され、粘着テープの外縁部に環状フレームが装着されているが、本発明ではこれに限定されず、環状フレームが装着されていなくても、粘着テープが貼着されていなくてもよい。

【0016】

搬送システム１のワーク処理装置１００は、図２に示すように、筐体１１０と、カセット載置台１２０と、搬送ユニット１３０と、処理ユニット１４０と、受信機１６０と、送信機１７０と、制御部１８０と、を備える。筐体１１０は、筐体１１０を除くワーク処理装置１００の各構成要素を収容する。筐体１１０の上方の天井１１１には、物品２００（ワーク２０１）を収容する搬送車１０のカセット１３が通過可能な大きさ及び形状の開口１１２が形成されている。

【0017】

図３は、図２のワーク処理装置１００のカセット載置台１２０を示す上面図である。カセット載置台１２０は、図３に示すように、載置領域１２１と、ガイド１２２と、印１２３と、を有する。載置領域１２１は、搬送車１０から昇降ユニット１５により降下するカセット１３が着地して載置される領域であり、カセット載置台１２０の上面に、カセット１３の平面視の形状及び大きさと同じ形状及び大きさで設けられている。

【0018】

ガイド１２２は、カセット載置台１２０に設置されている。ガイド１２２は、載置領域１２１よりも外周側に、カセット載置台１２０の上面から複数（図３に示す例では８個）立設している。ガイド１２２は、内周側に、カセット１３の外周側が嵌め合わせ可能となる位置に配列されている。ガイド１２２は、内周側の面に、下方に向かうに従って内周側に突出する方向に傾斜する傾斜面が形成されている（図５及び図７参照）。さらに傾斜面が湾曲して形成されることで、カセット１３がガイド１２２に沿ってなめらかにスライドして位置決めされる。このため、ガイド１２２は、受け渡し領域２２に停止された搬送車１０から昇降されるカセット１３の降下時に、カセット１３の水平方向の位置が載置領域１２１に対してずれていた場合でも、傾斜面によりカセット１３に接触し、カセット１３の水平方向（図２等のＸＹ平面に平行な方向）の位置を修正し、カセット１３を水平方向に位置決めして、カセット１３を正確に載置領域１２１に着地させて載置させる。

【0019】

印１２３は、カセット載置台１２０の上面に設けられており、本実施形態では、載置領域１２１の中央に設けられている。印１２３は、搬送車１０の撮像ユニット１６－３（図４及び図５参照）により上方から撮像して検出することで、搬送車１０に対する載置領域１２１の水平方向の位置を検出できる。このため、印１２３は、搬送車１０が受け渡し領域２２に停止する際に、停止位置の基準となり、搬送車１０から昇降されるカセット１３とワーク処理装置１００のカセット載置台１２０の載置領域１２１との位置合わせを行なうアライメントを遂行する際のアライメントマークとして活用できる。印１２３は、本実施形態では、カセット１３がカセット載置台１２０の載置領域１２１に正確に載置された際に、カセット１３の上面の中央に設けられた印１３－２と鉛直方向（図２等のＺ軸方向）に沿って重なるように、設けられている。なお、印１２３の形状や形成される位置は限定されず撮像ユニット１６－３によって撮像可能な範囲であればカセット載置１２０のいずれに形成されても良い。

【0020】

搬送ユニット１３０は、図２に示すように、カセット載置台１２０に隣接して設置される。搬送ユニット１３０は、カセット載置台１２０の載置領域１２１に着地したカセット１３内に収容された物品２００（ワーク２０１）を搬出して処理ユニット１４０に関する所定の位置に載置し、また、処理ユニット１４０の周囲の所定の位置に載置した物品２００（ワーク２０１）をカセット載置台１２０の載置領域１２１に着地したカセット１３内に搬入する。ここで、処理ユニット１４０に関する所定の位置は、図２に示す本実施形態の例では、処理ユニット１４０－１（切削加工ユニット）及び処理ユニット１４０－３（撮像ユニット、検査ユニット）の周囲にある保持テーブル（チャックテーブル）上、または、処理ユニット１４０－２（洗浄ユニット）のスピンナテーブル上である。

【0021】

搬送ユニット１３０は、本実施形態では、例えば、第１搬送アーム１３１と、第２搬送アーム１３２と、一対のレール１３３と、を備える。第１搬送アーム１３１は、カセット載置台１２０の載置領域１２１に着地したカセット１３内と、一対のレール１３３上と、の間で、物品２００（ワーク２０１）を搬送する。第２搬送アーム１３２は、一対のレール１３３上と、処理ユニット１４０の周囲の所定の位置と、の間で、物品２００（ワーク２０１）を搬送する。一対のレール１３３は、互いに平行な状態を維持しながら接近または離隔でき、一対のレール１３３間で、環状フレームを介して物品２００（ワーク２０１）を保持できる。

【0022】

処理ユニット１４０は、ワーク２０１を処理する。処理ユニット１４０は、本実施形態では、例えば、ワーク２０１をカセット１３０と異なるカセットとの間で入れ替えるなど、ワーク２０１を任意の収容カセットに収容処理する収容ユニット、ワーク２０１に対して加工処理する加工ユニット、ワーク２０１に対して洗浄処理する洗浄ユニット、ワーク２０１に対して検査処理する検査ユニット、ワーク２０１に対して撮像処理する撮像ユニット、ワーク２０１に対して粘着テープなどの支持部材を貼り付けるまたは剥離するマウンタユニット、ワーク２０１に対して膜を形成する膜形成ユニット等である。すなわち、収容ユニット以外の処理ユニット１４０を備えるワーク処理装置１００は、ワーク２０１に対して、加工、洗浄、検査、撮像、支持部材の貼り付け、支持部材の剥離、膜の形成の少なくともいずれかを実施することができる。

【0023】

処理ユニット１４０が収容ユニットである場合、搬送システム１の搬送対象の種々の物品２００、すなわち、ワーク２０１、他の半導体、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなる基板等、切削ブレードや研削ホイール等のワーク２０１を加工する加工工具、ドレッシングボードやプリカットボード、ダミーワーク、粘着テープ、カーボン片等のワーク２０１の加工に使用する消耗品、ワーク処理装置１００を清掃する清掃用具、ワーク処理装置１００をメンテナンスするメンテナンス部品を収容する。ワーク処理装置１００は、処理ユニット１４０が収容ユニットである場合、処理ユニット１４０内で搬送システム１の搬送対象の種々の物品２００を任意のカセットに収容し、筐体１１０の上方の天井１１１の開口１１２を通じて任意のカセットから搬送車１０に搬出及び搬入するいわゆるストッカーである。図１に示す本実施形態の例では、ワーク処理装置１００－２がストッカーである。

【0024】

処理ユニット１４０は、加工ユニットである場合、例えば、切削ブレードが回転可能に装着されるスピンドルを備え、切削ブレードでワーク２０１を切削加工処理する切削加工ユニットや、研削砥石が配置された研削ホイールが回転可能に装着されるスピンドルを備え、研削砥石でワーク２０１を研削加工処理する研削加工ユニット、ワーク２０１にレーザービームを照射するレーザービーム照射器を備え、レーザービームでワーク２０１をレーザー加工処理するレーザー加工ユニット、ワーク２０１にプラズマ化したガスを供給してエッチングするプラズマ加工ユニット、ワーク２０１に粘着テープ等の保護部材を貼着して保護部材設置加工処理をする貼着加工ユニット、ワーク２０１に紫外線を照射する紫外線照射器を備え、ワーク２０１を紫外線照射加工処理する紫外線加工ユニット、等である。ワーク処理装置１００は、処理ユニット１４０が加工ユニットである場合、ワーク２０１に対して加工処理する加工装置である。図２に示すワーク処理装置１００は、処理ユニット１４０－１が切削加工ユニットであり、ワーク２０１に対して切削加工処理を実施することができる。

【0025】

処理ユニット１４０は、洗浄ユニットである場合、ワーク２０１に洗浄液や洗浄用のガス等を供給するノズルを備え、ワーク２０１を洗浄処理する。ワーク処理装置１００は、処理ユニット１４０が洗浄ユニットである場合、ワーク２０１に対して洗浄処理する洗浄装置である。図２に示すワーク処理装置１００は、処理ユニット１４０－２が洗浄ユニットであり、ワーク２０１に対して洗浄処理を実施することができる。

【0026】

処理ユニット１４０は、検査ユニットである場合、ワーク２０１に検査用のレーザービームを照射するレーザービーム照射器や、ワーク２０１に電磁波を照射する電磁波照射器、ワーク２０１に検査用の紫外線を照射する紫外線照射器、ワーク２０１の検査用画像を撮像する撮像器と、照射や撮像の結果に基づいてワーク２０１の検査判定をする検査判定部とを備え、ワーク２０１を検査処理する。ワーク処理装置１００は、処理ユニット１４０が検査ユニットである場合、ワーク２０１に対して検査処理する検査装置である。図２に示すワーク処理装置１００は、処理ユニット１４０－３が撮像器としての機能を備え、制御部１８０が検査判定部としての機能を備えるので、実質的に検査ユニットを備え、ワーク２０１に対して切削加工処理が正常な範囲内で実行されたか否かを自動的に確認する所謂カーフチェック等の検査処理を実施することができる。

【0027】

処理ユニット１４０は、撮像ユニットである場合、ワーク２０１を撮像する撮像器と、ワーク２０１を移動させて撮像器に対するワーク２０１の位置や向きを変更及び調整するワーク移動器とを備え、ワーク２０１を撮像処理する。ワーク処理装置１００は、処理ユニット１４０が撮像ユニットである場合、ワーク２０１に対して撮像処理する撮像装置である。図２に示すワーク処理装置１００は、処理ユニット１４０－３が撮像ユニットであり、ワーク２０１に対して撮像処理を実施することができる。

【0028】

処理ユニット１４０は、マウンタユニットである場合、ワーク２０１に対して粘着テープなどの支持部材を供給する支持部材供給部と、供給された支持部材をワーク２０１に対して貼り付ける貼り付け部と、ワーク２０１に対して貼り付けられた支持部材を剥離する剥離部とを備え、ワーク２０１に対して、支持部材貼り付け処理、もしくは、支持部材剥離処理を実施する。ワーク処理装置１００は、処理ユニット１４０がマウンタユニットである場合、ワーク２０１に対して支持部材貼り付け処理、もしくは、支持部材剥離処理をするマウンタ装置である。

【0029】

処理ユニット１４０は、膜形成ユニットである場合、ワーク２０１に対して膜を形成する膜形成部を備え、ワーク２０１に対して膜形成処理を実施する。ワーク処理装置１００は、処理ユニット１４０が膜形成ユニットである場合、ワーク２０１に対して膜形成処理をする膜形成装置である。

【0030】

処理ユニット１４０は、ワーク２０１を加工する加工工具や、ワーク２０１の加工に使用する消耗品等といったワーク２０１以外の物品２００を交換する交換処理を実施する。ワーク処理装置１００は、処理ユニット１４０が交換処理を実施する場合、新規な加工工具や消耗品等が開口１１２より搬入され、処理ユニット１４０の使用済みの加工工具や消耗品等を新規な加工工具や消耗品等に交換し、処理ユニット１４０から取り外された加工工具や消耗品等が開口１１２より搬出される。

【0031】

受信機１６０は、搬送システム１の制御ユニット３０と情報通信可能に接続され、制御ユニット３０から送信された情報を受信し、受信した情報を制御部１８０に出力する。受信機１６０は、本実施形態では、制御ユニット３０と無線で情報通信可能に接続されているが、本発明ではこれに限定されず、制御ユニット３０と有線で情報通信可能に接続されてもよい。受信機１６０が制御ユニット３０から受信する情報は、本実施形態では、例えば、ワーク処理装置１００の処理に関する動作の指令情報や、ワーク処理装置１００内のワーク２０１の状況を含むワーク処理装置１００の処理状況や処理履歴の送信を促す要求情報等である。

【0032】

送信機１７０は、制御ユニット３０と情報通信可能に接続され、制御部１８０から出力された情報を制御ユニット３０に送信する。送信機１７０は、本実施形態では、制御ユニット３０と無線で情報通信可能に接続されているが、本発明ではこれに限定されず、制御ユニット３０と有線で情報通信可能に接続されてもよい。送信機１７０が制御ユニット３０に送信する情報は、本実施形態では、例えば、ワーク処理装置１００の処理状況や処理履歴等である。

【0033】

制御部１８０は、ワーク処理装置１００の各構成要素の動作を制御して、物品２００（ワーク２０１）に対する各種処理動作をワーク処理装置１００に実施させるものである。制御部１８０は、受信機１６０が制御ユニット３０から受信した情報を取得し、制御ユニット３０に送信する情報を送信機１７０に出力する。制御部１８０は、受信機１６０が制御ユニット３０から受信した指令情報に応じた動作をワーク処理装置１００に実施させる。制御部１８０は、受信機１６０が制御ユニット３０から受信した要求情報に応じて、ワーク処理装置１００の処理状況や処理履歴の情報を送信機１７０から制御ユニット３０に送信させる。制御部１８０は、制御ユニット３０からの要求情報を受信していない場合でも、自発的にワーク処理装置１００の処理状況や処理履歴の情報を送信機１７０から制御ユニット３０に送信させることもできる。

【0034】

制御部１８０は、本実施形態では、後述する制御ユニット３０と同様のコンピュータシステムを含む。制御部１８０の演算処理装置は、制御部１８０の記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、ワーク処理装置１００を制御するための制御信号を、制御部１８０の入出力インターフェース装置を介してワーク処理装置１００の各構成要素に出力する。

【0035】

図４は、図１の搬送システム１の搬送車１０の構成例を示す斜視図である。図５は、図４の搬送車１０を示す側断面図である。搬送車１０は、自動搬送車（Automated Guided Vehicle、ＡＧＶ）であり、図４に示すように、フレーム１１と、車輪１２と、カセット１３と、ベルト１４と、昇降ユニット１５と、撮像ユニット１６と、受信機１７と、送信機１８と、制御部１９と、を有する。

【0036】

フレーム１１は、矩形状に形成されており、カセット１３を収容可能で下方側に開放された凹部１１－１が形成されている。車輪１２は、フレーム１１の互いに平行な一対の側面に、それぞれ複数個（図４に示す例では２個）、この一対の側面に対して直交する軸心周りに互いに独立して回転自在に設けられている。車輪１２は、外周面が走行路２０の通路領域２１または受け渡し領域２２に接触する。車輪１２は、それぞれ不図示のモーター等に接続されており、モーター等により軸心周りの回転動作が加えられて、走行路２０の通路領域２１上または受け渡し領域２２上を走行する。車輪１２は、本実施形態では、例えば、傾斜した樽状（筒状）の複数の回転体が外周面に取り付けられたメカナムホイールが使用される。

【0037】

カセット１３は、矩形状に形成されており、内部に物品２００（ワーク２０１）を収容する。カセット１３は、互いに平行な一対の側面に、物品２００（ワーク２０１）が通過可能な大きさ及び形状の開口１３－１が形成されている。カセット１３は、開口１３－１から物品２００（ワーク２０１）が取り出され、開口１３－１から物品２００（ワーク２０１）が収容される。カセット１３は、上面の中央に、印１３－２が設けられている。印１３－２は、搬送車１０の撮像ユニット１６により上方から撮像して検出することで、カセット１３の水平方向の位置をより正確に検出できる。印１３－２は、本実施形態では、カセット１３がカセット載置台１２０の載置領域１２１に正確に載置された際に、カセット載置台１２０の上面の載置領域１２１の中央に設けられた印１２３と鉛直方向（Ｚ軸方向）に沿って重なるように、設けられている。

【0038】

ベルト１４は、フレーム１１と、カセット１３とを連結する。ベルト１４は、一方の端部がフレーム１１内に設けられた昇降ユニット１５の不図示のリールに巻き付けられ、他方の端部が、図４及び図５に示すように、カセット１３の上面に固定されている。ベルト１４は、２本で一対になっている。搬送車１０は、図４に示す本実施形態の例では、２本のベルト１４が二対設けられているが、本発明ではこれに限定されず、一対でも三対以上でもよい。

【0039】

昇降ユニット１５は、フレーム１１内の凹部１１－１の上方に設けられている。昇降ユニット１５は、図５に示すように、ベルト１４によって、カセット１３及びカセット１３に収容した物品２００（ワーク２０１）を、ワーク処理装置１００のカセット載置台１２０に対して昇降させる。昇降ユニット１５は、カセット１３及びカセット１３に収容した物品２００（ワーク２０１）を、搬送車１０のフレーム１１の凹部１１－１に収容された車内位置と、ワーク処理装置１００の筐体１１０の内部の、カセット載置台１２０の載置領域１２１に着地した着地位置との間で、走行路２０の開口２４及びワーク処理装置１００の開口１１２を通して、昇降移動させる。

【0040】

撮像ユニット１６は、本実施形態では、図４に示すように、一対の撮像ユニット１６－１と、一対の撮像ユニット１６－２と、撮像ユニット１６－３と、を有する。撮像ユニット１６は、いずれも、フレーム１１に、搬送車１０が走行する走行路２０と鉛直方向に沿って対向するように装着されており、搬送車１０の下方を撮像する。

【0041】

一対の撮像ユニット１６－１は、フレーム１１の前端部及び後端部に装着されている。一対の撮像ユニット１６－２は、フレーム１１の両側端部に装着されている。一対の撮像ユニット１６－１及び一対の撮像ユニット１６－２は、走行路２０に複数種類設けられた印２５を上方から撮像して検出することで、搬送車１０の走行路２０上の位置を検出する。本実施形態では、一対の撮像ユニット１６－１は、全ての種類の印２５を上方から撮像して検出し、一対の撮像ユニット１６－２は、印２５－１（図６参照）を除く印２５を上方から撮像して検出する。また、一対の撮像ユニット１６－１及び一対の撮像ユニット１６－２は、搬送車１０が受け渡し領域２２に停止する際に、停止位置の基準となる印２５（印２５－４，２５－５）を有する走行路２０の受け渡し領域２２を上方から撮像して、停止位置を決めるための基準となる位置決め画像４０１，４０２，４０３，４０４（いずれも図６参照）を取得する。位置決め画像４０１，４０２，４０３，４０４は、例えば、図６に破線で囲った部分のような画像となる。なお、撮像ユニット１６－１，１６－２は、図６において位置決め画像４０１～４０４の内、４０１を撮像できる位置に１つだけ備えられていても良い。

【0042】

なお、一対の撮像ユニット１６－１及び一対の撮像ユニット１６－２は、本発明では上記したフレーム１１の前端部、後端部及び両側端部に装着された形態に限定されず、走行路２０に設けられた印２５の形態に応じて適宜変更され、走行路２０に設けられた印２５を撮像可能な形態であればどのような形態でもよい。

【0043】

撮像ユニット１６－３は、一対の撮像ユニット１６－１及び一対の撮像ユニット１６－２よりも内側に設けられており、図４及び図５に示す本実施形態の例では、撮像ユニット１６－１の内側に設けられている。撮像ユニット１６－３は、図５に示すように、カセット載置台１２０に対して昇降するカセット１３を、走行路２０の開口２４及びワーク処理装置１００の開口１１２を通して、上方から撮像することで、カセット１３がカセット載置台１２０のガイド１２２によって載置領域１２１に位置決めされる前と後とのガイド前画像３０１，ガイド後画像３０２（それぞれ、図８及び図９参照）を取得する。撮像ユニット１６は、カセット載置台１２０に対して昇降するカセット１３に設けられた印１３－２を上方から撮像して検出することで、カセット１３の水平方向の位置をより正確に検出できる。

【0044】

また、撮像ユニット１６－３は、走行路２０の印２５と合わせて、または走行路２０の印２５の代わりに、搬送車１０が受け渡し領域２２に停止する際に、停止位置の基準となる印１２３を有するカセット載置台１２０を上方から撮像して、停止位置を決めるための基準となる位置決め画像４０５（図３参照）を取得しても良い。その場合、位置決め画像４０５は、例えば、図３にカセット載置台１２０の外周と同じ実線で囲った部分のような画像となる。

【0045】

なお、撮像ユニット１６－３は、本発明では上記した撮像ユニット１６－１の内側に設けられた形態に限定されず、カセット載置台１２０の印１２３、カセット載置台１２０に対して昇降するカセット１３、及び、カセット載置台１２０に対して昇降するカセット１３に設けられた印１３－２を撮像可能な形態であればどのような形態でもよく、例えば、撮像ユニット１６－２の内側に設けられてもよい。また、撮像ユニット１６－３は、図５に示す本実施形態の例では、フレーム１１内に設けられているが、本発明ではこれに限定されず、フレーム１１の下方の外側に設けられてもよい。また、カセット載置台１２０に対して昇降するカセット１３、及び、カセット載置台１２０に対して昇降するカセット１３に設けられた印１３－２を撮像する撮像ユニットを凹部１１－１の底面に設けてもよい。

【0046】

撮像ユニット１６は、いずれも、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子等の撮像素子を備えている。撮像ユニット１６は、例えば、赤外線カメラや可視光線カメラである。撮像ユニット１６は、複数備えなくても良く、図５に示すように、カセット１３が下降した際に、上方からカセット１３の全体を撮像視野内に収められる程度に視野角の広いカメラ１つ（本実施形態における撮像ユニット１６－３に相当）を使用してもよい。

【0047】

搬送車１０は、最初に搬送システム１の走行路２０上にセットされる際、セットした場所と搬送車１０の種類とが制御部１９や制御ユニット３０に登録される。搬送車１０は、例えば、走行路２０に複数種類設けられた印２５を撮像ユニット１６－１，１６－２で撮像して検出することで搬送車１０の走行路２０上の位置を検出する。なお、搬送車１０は、本発明ではこの構成に限定されず、例えば、この構成に代えて、ラインセンサによって印２５を検出する構成や、走行路２０上に設置した複数のセンサにより搬送車１０の位置を検出する構成でも良く、搬送車１０をＧＰＳ（Global Positioning System）と無線で情報通信可能に接続し、ＧＰＳを利用して搬送車１０の位置を取得する構成でも良く、どのような形で搬送車１０の位置を取得可能な構成としてもよい。

【0048】

受信機１７は、制御ユニット３０と情報通信可能に接続され、制御ユニット３０から送信された情報を受信し、受信した情報を制御部１９に出力する。受信機１７は、本実施形態では、制御ユニット３０と無線で情報通信可能に接続されているが、本発明ではこれに限定されず、制御ユニット３０と有線で情報通信可能に接続されてもよい。受信機１７が制御ユニット３０から受信する情報は、本実施形態では、例えば、搬送車１０の走行やカセット１３の昇降に関する動作の指令情報や、搬送車１０の位置やカセット１３の位置を含む搬送車１０の搬送状況や搬送履歴の送信を促す要求情報等である。

【0049】

送信機１８は、制御ユニット３０と情報通信可能に接続され、制御部１９から出力された情報を制御ユニット３０に送信する。送信機１８は、本実施形態では、制御ユニット３０と無線で情報通信可能に接続されているが、本発明ではこれに限定されず、制御ユニット３０と有線で情報通信可能に接続されてもよい。送信機１８が制御ユニット３０に送信する情報は、本実施形態では、例えば、搬送車１０の搬送状況や搬送履歴の情報、撮像ユニット１６により撮像した画像である。

【0050】

制御部１９は、搬送車１０の各構成要素の動作を制御して、搬送車１０の走行やカセット１３の昇降に関する動作を搬送車１０に実施させるものである。制御部１９は、車輪１２に接続された不図示のモーターや、車輪１２の角度等を制御することで、搬送車１０の走行を制御する。制御部１９は、昇降ユニット１５の不図示のモーターを制御することで、カセット１３の昇降移動を制御する。

【0051】

制御部１９は、一対の撮像ユニット１６－１及び一対の撮像ユニット１６－２により撮像して取得した画像と、作業者により予め登録されて記憶された印２５に関する基準画像とをパターンマッチング処理することにより、一対の撮像ユニット１６－１及び一対の撮像ユニット１６－２により撮像して取得した画像に基づいて印２５を検出する。なお、一対の撮像ユニット１６－１及び一対の撮像ユニット１６－２により撮像して取得した画像に基づいて印２５を検出するための画像処理は、本発明ではこれに限定されず、制御部１９に代えて制御ユニット３０が実行してもよい。

【0052】

制御部１９は、受信機１７が制御ユニット３０から受信した情報を取得し、制御ユニット３０に送信する情報を送信機１８に出力する。制御部１９は、受信機１７が制御ユニット３０から受信した指令情報に応じた動作を搬送車１０に実施させる。制御部１９は、受信機１７が制御ユニット３０から受信した要求情報に応じて、搬送車１０の搬送状況や搬送履歴の情報、撮像ユニット１６－３によって取得したガイド前画像３０１，ガイド後画像３０２を含む、撮像ユニット１６によって撮像した画像を、送信機１８から制御ユニット３０に送信させる。制御部１９は、制御ユニット３０からの要求情報を受信していない場合でも、自発的に搬送車１０の搬送状況や搬送履歴の情報を送信機１８から制御ユニット３０に送信させることもできる。

【0053】

制御部１９は、本実施形態では、後述する制御ユニット３０と同様のコンピュータシステムを含む。制御部１９の演算処理装置は、制御部１９の記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、搬送車１０を制御するための制御信号を、制御部１９の入出力インターフェース装置を介して搬送車１０の各構成要素に出力する。

【0054】

搬送システム１の走行路２０は、図２に示すように、通路領域２１と、受け渡し領域２２と、ガイド部２３とを備える。通路領域２１は、複数のワーク処理装置１００の筐体１１０の上方に跨って配設されている。受け渡し領域２２は、ワーク処理装置１００ごとに筐体１１０の上方に通路領域２１に隣接して１箇所ずつ配設されている。受け渡し領域２２には、筐体１１０の開口１１２の直上に、搬送車１０のフレーム１１が通過不可能であり、なおかつ、カセット１３が通過可能な大きさ及び形状の開口２４が形成されている。

【0055】

ガイド部２３は、通路領域２１及び受け渡し領域２２の幅方向の両側端に配設されている。ガイド部２３は、搬送車１０の車輪１２よりも高く形成されており、これにより、搬送車１０がガイド部２３を乗り越えて通路領域２１及び受け渡し領域２２から脱落することを防止する。

【0056】

図６は、図１の搬送システム１の走行路２０を示す上面図である。走行路２０の通路領域２１及び受け渡し領域２２には、印２５が複数種類設けられている。印２５は、走行路２０の通路領域２１及び受け渡し領域２２の上面に設けられており、本実施形態では、図６に示すように、印２５－１と、印２５－２と、印２５－３と、印２５－４と、印２５－５と、を有する。印２５は、搬送車１０の撮像ユニット１６により上方から撮像して検出することで、搬送車１０の走行路２０上の位置を検出できる。このため、印２５は、上記の印１２３と同様に、搬送車１０が受け渡し領域２２に停止する際に、停止位置の基準となり、アライメントマークとして活用できる。本実施形態では、開口２４の周囲に設けられる印２５－４，２５－５が、搬送車１０が受け渡し領域２２に停止する際に、停止位置の基準となり、アライメントマークとして活用できる。

【0057】

印２５は、例えば、通路領域２１及び受け渡し領域２２の上面の他の領域とは異なる色彩を有する直線状に形成されるが、本発明ではこれに限定されず、例えば、曲線を含んでも良いし、破線によって構成されていても良いし、文字、数字、図柄等を使用してもよい。

【0058】

印２５－１は、図６に示すように、通路領域２１の上面に、例えば、通路領域２１の幅方向における所定の位置（例えば中央）に、通路領域２１において搬送車１０が進行する方向に沿って設けられる。搬送車１０は、一対の撮像ユニット１６－１が印２５－１を撮像して検出しながら走行することで、通路領域２１の幅方向における位置を検出しながら、通路領域２１の幅方向における所定の位置（例えば中央）を当該進行方向に沿って走行することができる。

【0059】

印２５－２は、図６に示すように、通路領域２１の上面に、通路領域２１において搬送車１０が進行する方向に交差（本実施形態では、直交）して、所定の間隔ごとに複数設けられる。搬送車１０は、一対の撮像ユニット１６－１及び一対の撮像ユニット１６－２が印２５－２を撮像して検出しながら走行することで、撮像して検出した印２５－２の数等に基づいて、通路領域２１の進行方向における位置を検出しながら走行することができる。

【0060】

印２５－３は、図６に示すように、通路領域２１及び各受け渡し領域２２の上面にわたって、通路領域２１において搬送車１０が進行する方向に交差（本実施形態では、直交）して設けられる。搬送車１０は、一対の撮像ユニット１６－１及び一対の撮像ユニット１６－２が所望のワーク処理装置１００上の受け渡し領域２２に設けられた印２５－３を撮像して検出することで、所望のワーク処理装置１００上の受け渡し領域２２に入る位置及び方向を正確に検出できる。

【0061】

印２５－４は、図６に示すように、各受け渡し領域２２の上面に、搬送車１０が走行路２０の開口２４及びワーク処理装置１００の開口１１２を通してカセット１３を昇降移動させる際に搬送車１０が停止する位置（停止位置）に応じて、受け渡し領域２２において搬送車１０が進行する方向に沿って設けられる。印２５－４は、本実施形態では、例えば、搬送車１０の停止位置において、フレーム１１の両側端部に設けられた撮像ユニット１６と対向する位置に設けられる。搬送車１０は、一対の撮像ユニット１６－２が印２５－４を撮像して検出しながら位置を調整することで、好適に停止位置に位置付けることができる。

【0062】

印２５－５は、図６に示すように、各受け渡し領域２２の上面に、搬送車１０の停止位置に応じて、受け渡し領域２２において搬送車１０が進行する方向に交差（本実施形態では、直交）して設けられる。印２５－２は、本実施形態では、例えば、搬送車１０の停止位置において、フレーム１１の前端部及び後端部に設けられた撮像ユニット１６と対向する位置と、後端部に設けられた撮像ユニット１６から所定の間隔だけ後ろの位置とに設けられる。搬送車１０は、一対の撮像ユニット１６－１が印２５－５を撮像して検出しながら位置を調整することで、好適に停止処理を開始して、好適に停止位置に位置付けることができる。

【0063】

制御ユニット３０は、各ワーク処理装置１００の受信機１６０及び送信機１７０と情報通信可能に接続されており、搬送車１０の受信機１７及び送信機１８と情報通信可能に接続されている。制御ユニット３０は、受信機１６０，１７に指令情報を送信することで、制御部１８０，１９を介して各ワーク処理装置１００及び搬送車１０を遠隔で制御して動作させることができる。また、制御ユニット３０は、送信機１７０から各ワーク処理装置１００の処理状況や処理履歴の情報を受信して把握することができ、送信機１８から各搬送車１０の搬送状況や搬送履歴の情報を受信して把握することができる。また、制御ユニット３０は、送信機１８から、各搬送車１０の撮像ユニット１６－３によって取得したガイド前画像３０１，ガイド後画像３０２を含む、各搬送車１０の撮像ユニット１６によって撮像した画像を、受信する。このように、制御ユニット３０は、搬送システム１の構成要素である各ワーク処理装置１００及び搬送車１０を統括的に制御して動作させることができる。

【0064】

制御ユニット３０は、図１に示すように、画像取得部３１と、記録部３２と、移動量算出部３３と、停止位置補正部３４と、停止位置検出部３５と、を備える。画像取得部３１は、撮像ユニット１６－３によって撮像された、カセット１３がガイド１２２によって位置決めされる前と後とのガイド前画像３０１，ガイド後画像３０２を取得する。記録部３２は、撮像ユニット１６－３によって撮像された、カセット１３の昇降時の画像または映像の少なくともいずれかを記録する。移動量算出部３３は、ガイド前画像３０１，ガイド後画像３０２からカセット１３がガイド１２２により位置決めされる際のカセット１３の水平方向の移動量３５１，３５２（図１０参照）を算出する。停止位置補正部３４は、移動量３５１，３５２に基づき、次に搬送車１０を受け渡し領域２２に停止させる際の停止位置を補正する。具体的には、停止位置補正部３４は、次に搬送車１０を受け渡し領域２２に停止させる際に、停止位置検出部３５が位置決め画像４０１，４０２，４０３，４０４，４０５の少なくともいずれかから検出した搬送車１０の停止位置から移動量３５１，３５２を補正して、搬送車１０を停止位置に停止させる。

【0065】

制御ユニット３０は、本実施形態では、コンピュータシステムを含む。制御ユニット３０が含むコンピュータシステムは、ＣＰＵ（Central Processing Unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（Read Only Memory）又はＲＡＭ（Random Access Memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御ユニット３０の演算処理装置は、制御ユニット３０の記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、搬送システム１を制御するための制御信号を、制御ユニット３０の入出力インターフェース装置を介して搬送システム１の各構成要素に出力する。

【0066】

画像取得部３１及び記録部３２の各機能は、本実施形態では、制御ユニット３０の記憶装置により実現される。移動量算出部３３、停止位置補正部３４及び停止位置検出部３５の各機能は、本実施形態では、制御ユニット３０の演算処理装置が記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムを実行することにより実現される。

【0067】

以上のような構成を有する実施形態に係る搬送システム１の動作処理の一例を説明する。図７は、図１の搬送システム１によるガイド１２２の位置決めの一例を説明する断面図である。図８及び図９は、それぞれ、図１の搬送車１０の撮像ユニット１６が撮像する画像の一例であるガイド前画像３０１，ガイド後画像３０２を示す図である。図１０は、図１の搬送システム１の動作処理の一例を説明する図である。搬送システム１の制御ユニット３０は、搬送車１０を受け渡し領域２２に停止させて、搬送車１０が昇降ユニット１５によりカセット１３をワーク処理装置１００のカセット載置台１２０に対して降下させる際、降下するカセット１３を、図７に示すように、カセット載置台１２０に設置されたガイド１２２により、水平方向に移動させて、載置領域１２１に位置決めする。

【0068】

搬送システム１の制御ユニット３０は、撮像ユニット１６－３により、カセット１３がガイド１２２によって位置決めされる前の図８に示すガイド前画像３０１と、カセット１３がガイド１２２によって位置決めされた後の図９に示すガイド後画像３０２とを撮像し、送信機１８からガイド前画像３０１，ガイド後画像３０２を受信し、画像取得部３１によりガイド前画像３０１，ガイド後画像３０２を取得する。記録部３２は、画像取得部３１が取得したガイド前画像３０１，ガイド後画像３０２を、カセット１３を降下させた搬送車１０及びワーク処理装置１００と関連付けて、記録する。記録部３２は、搬送車１０及びワーク処理装置１００の組み合わせ毎に、ガイド前画像３０１，ガイド後画像３０２を記憶する。

【0069】

搬送システム１の制御ユニット３０は、撮像ユニット１６－３により、カセット１３がガイド１２２によって位置決めされる前と後とを含む、カセット１３の昇降時の映像を撮像し、送信機１８から当該映像を受信し、記録部３２により当該映像を記録し、当該映像を処理してガイド前画像３０１，ガイド後画像３０２を抽出し、画像取得部３１によりガイド前画像３０１，ガイド後画像３０２を取得してもよい。また、搬送システム１の制御ユニット３０は、画像取得部３１によるガイド前画像３０１，ガイド後画像３０２の取得とは別に、記録部３２により当該映像を取得してもよい。搬送システム１は、このように記録部３２により当該映像を取得及び記録することにより、ワーク２０１を含む物品２００に不良があった際に原因究明に役立てることができる。

【0070】

搬送システム１の制御ユニット３０は、移動量算出部３３により、図１０に示すように、ガイド前画像３０１，ガイド後画像３０２を、ガイド前画像３０１，ガイド後画像３０２に写るガイド１２２同士を重ね合わせるようにして合成処理して合成画像３０３を生成し、ガイド前画像３０１に写るカセット１３の像３１１とガイド後画像３０２に写るカセット１３の像３１２との間の移動量３５１，３５２を、カセット１３がガイド１２２により位置決めされる際のカセット１３の水平方向の移動量３５１，３５２とみなして、算出する。なお、移動量３５１は、移動量算出部３３により、像３１２の位置の基準となるガイド後画像３０２に写るカセット１３の上面に形成された印１３－２の像３２２の中央の合成画像３０３におけるＸ座標から、像３１１の位置の基準となるガイド前画像３０１に写るカセット１３の印１３－２の像３２１の中央の合成画像３０３におけるＸ座標を差し引いて、実際の長さに換算して算出され、符号はカセット１３がガイド１２２により位置決めされる際のカセット１３の移動方向を表している。また、移動量３５２は、移動量算出部３３により、像３１２の像３２２の中央の合成画像３０３におけるＹ座標から、像３１１の像３２１の中央の合成画像３０３におけるＹ座標を差し引いて、実際の長さに換算して算出され、符号はカセット１３がガイド１２２により位置決めされる際のカセット１３の移動方向を表している。

【0071】

搬送システム１の制御ユニット３０は、移動量算出部３３により算出した移動量３５１，３５２を、カセット１３を降下させた搬送車１０及びワーク処理装置１００と関連付けて、記憶する。搬送システム１の制御ユニット３０は、搬送車１０及びワーク処理装置１００の組み合わせ毎に、移動量算出部３３により移動量３５１，３５２を算出して、記憶することでより正確に停止位置を制御することができる。

【0072】

搬送システム１の制御ユニット３０は、次に搬送車１０を受け渡し領域２２に停止させる際、同じ組み合わせの搬送車１０及び受け渡し領域２２と関連付けられた移動量３５１，３５２を記憶している場合、当該記憶を参照し、停止位置補正部３４により、当該移動量３５１，３５２に基づき、当該移動量３５１，３５２を打ち消す方向に、次に搬送車１０を受け渡し領域２２に停止させる際の停止位置を補正し、搬送車１０を当該補正した停止位置に停止させる。具体的には、停止位置補正部３４は、搬送車１０を受け渡し領域２２に停止させる際に、停止位置検出部３５が位置決め画像４０１，４０２，４０３，４０４，４０５の少なくともいずれかから検出した搬送車１０の停止位置を、前回に移動量算出部３３が算出して制御ユニット３０に記憶された移動量３５１，３５２に基づいて補正して、搬送車１０を当該補正した停止位置に停止させる。搬送システム１は、このように停止位置補正部３４により搬送車１０の停止位置を補正することにより、カセット１３がガイド１２２により位置決めされる際のカセット１３の水平方向の移動量３５１，３５２を低減し、カセット１３を昇降する際にガイド１２２に接触する等によりカセット１３に発生する振動を低減できる。

【0073】

搬送システム１の制御ユニット３０は、搬送車１０を受け渡し領域２２に停止させる際、画像取得部３１によるガイド前画像３０１，ガイド後画像３０２の取得、移動量算出部３３による移動量３５１，３５２の算出及び停止位置補正部３４による停止位置の補正や、画像取得部３１による位置決め画像４０１，４０２，４０３，４０４，４０５の取得及び停止位置検出部３５による停止位置の調整を、搬送車１０及び受け渡し領域２２の組み合わせ毎に一度のみ実施しても良いし、搬送車１０を受け渡し領域２２に停止させる毎に実施して移動量３５１，３５２の低減及びカセット１３に発生する振動の低減の精度を向上させてもよい。

【0074】

以上のような構成を有する実施形態に係る搬送システム１は、カセット１３がカセット載置台１２０に位置決めされる際にどれくらい水平方向に移動したかを画像処理により算出し、次回の搬送車１０の停止位置を補正するため、カセット１３がガイド１２２により位置決めされる際のカセット１３の水平方向の移動量３５１，３５２を低減し、カセット１３を昇降する際にガイド１２２に接触する等によりカセット１３に発生する振動を低減できるという作用効果を奏する。

【0075】

また、実施形態に係る搬送システム１は、記録部３２によりカセット１３の昇降時の画像または映像の少なくともいずれかを記録するため、記録した画像または映像を、ワーク２０１を含む物品２００に不良があった際に原因究明に役立てることができる。

【0076】

また、実施形態に係る搬送システム１は、搬送車１０の停止位置の基準となる印２５を有する走行路２０や、搬送車１０の停止位置の基準となる印１２３を有するカセット載置台１２０などを撮像して、搬送車１０の停止位置を位置決めすることで、搬送車１０を精密に位置決めすることができる。

【0077】

また、実施形態に係る搬送システム１は、停止位置補正部３４が、停止位置検出部３５が検出した停止位置を移動量算出部３３が算出した移動量３５１，３５２に基づき補正するので、搬送車１０の停車位置を精密かつ正確に補正することが出来る。

【0078】

また、実施形態に係る搬送システム１は、画像取得部３１によるガイド前画像３０１，ガイド後画像３０２の取得、移動量算出部３３による移動量３５１，３５２の算出及び停止位置補正部３４による停止位置の補正を、搬送車１０及びワーク処理装置１００の組み合わせ毎に実施する。このため、実施形態に係る搬送システム１は、搬送車１０及びワーク処理装置１００の個体差を考慮して、搬送車１０を精密に位置決めすることができる。

【0079】

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。

【符号の説明】

【0080】

１０ 搬送車
１３ カセット
１３－２，２５，２５－１，２５－２，２５－３，２５－４，２５－５，１２３ 印
１５ 昇降ユニット
１６，１６－１，１６－２，１６－３ 撮像ユニット
２０ 走行路
３０ 制御ユニット
３１ 画像取得部
３２ 記録部
３３ 移動量算出部
３４ 停止位置補正部
３５ 停止位置検出部
１００，１００－２ ワーク処理装置
１２０ カセット載置台
１２２ ガイド
２００ 物品
２０１ ワーク
３０１ ガイド前画像
３０２ ガイド後画像
４０１，４０２，４０３，４０４，４０５ 位置決め画像

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】