特開 2024-118171 ブレーキング装置及びブレーキング装置の異常検知方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024118171

(43)【公開日】2024-08-30

(54)【発明の名称】ブレーキング装置及びブレーキング装置の異常検知方法

(51)【国際特許分類】

   B28D 7/00 20060101AFI20240823BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20240823BHJP

   B28D 5/00 20060101ALI20240823BHJP

   C03B 33/033 20060101ALI20240823BHJP

【ＦＩ】

B28D7/00

H01L21/78 T

B28D5/00 A

B28D5/00 Z

C03B33/033

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023024449

(22)【出願日】2023-02-20

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】有賀 真也

(72)【発明者】

【氏名】大平 哲

(72)【発明者】

【氏名】小林 弘明

【テーマコード（参考）】

3C069

4G015

5F063

【Ｆターム（参考）】

3C069AA02

3C069BA03

3C069BB01

3C069BB04

3C069BC02

3C069BC03

3C069BC04

3C069CA05

3C069CA11

3C069CB01

3C069CB04

3C069DA01

3C069DA03

3C069EA05

4G015FA03

4G015FB01

4G015FC02

4G015FC14

5F063AA04

5F063AA28

5F063AA41

5F063AA48

5F063BA33

5F063BA34

5F063BA45

5F063BA47

5F063BA48

5F063CB07

5F063CB28

5F063DD81

5F063DD83

5F063DE01

5F063DE11

5F063DE16

5F063DE23

5F063DE33

5F063EE07

5F063EE09

5F063EE21

5F063EE34

5F063FF42

5F063FF43

(57)【要約】

【課題】ワークの破損を抑制することができる。
【解決手段】ブレーキング装置１は、ワークユニットを固定するフレーム固定ユニット１０と、ワークユニット２００の分割予定ラインを検出する検出ユニット２０と、分割すべき分割予定ラインに隣接した領域の上下から挟持する挟持ユニット４０と、分割すべき分割予定ラインを挟んで挟持ユニット４０の反対側で分割すべき分割予定ラインに隣接した領域を押圧する押圧バー６０と、を備える。検出ユニット２０は、フレーム固定ユニット１０でフレームが固定されたワークユニットのワークを撮像する撮像カメラ２１，２２を有する。撮像カメラ２１，２２で挟持ユニット４０及び押圧バー６０を撮像した撮像画像に基づいて異常を検出する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の分割予定ラインが設定されるとともに各該分割予定ラインに沿って分割起点が形成されたワークと該ワークが貼着されたシートと該シートの外周が貼着されたフレームとからなるワークユニットの該フレームを固定するフレーム固定ユニットと、該フレーム固定ユニットで該フレームが固定されたワークユニットの分割予定ラインを検出する検出ユニットと、分割すべき分割予定ラインに隣接した領域のワークを該ワークユニットの上下から挟持する上側挟持面と下側挟持面とを有した挟持ユニットと、該分割すべき分割予定ラインを挟んで該挟持ユニットの反対側で該分割すべき分割予定ラインに隣接した領域のワークを押圧し該分割すべき分割予定ラインに沿ってワークをブレーキングする押圧バーと、を備えたブレーキング装置であって、
該検出ユニットは該フレーム固定ユニットで該フレームが固定されたワークユニットのワークを撮像する撮像カメラを有し、
該撮像カメラで該挟持ユニットまたは該押圧バーの少なくとも一方を撮像した撮像画像に基づいて該ブレーキング装置の異常を検出する、ブレーキング装置。

【請求項2】

警報発信ユニットと、
少なくとも該検出ユニットと該押圧バーと該警報発信ユニットとを制御するコントローラと、を備え、
該コントローラは、該挟持ユニットまたは該押圧バーに異常がない状態で、該撮像カメラで該挟持ユニットまたは該押圧バーを撮像した正常時画像を記憶する正常時画像記憶部を有し、
該正常時画像記憶部で記憶された該正常時画像と、該撮像カメラで該挟持ユニットまたは該押圧バーの少なくとも一方を撮像した撮像画像と、を比較することで該挟持ユニットまたは該押圧バーの異常有無を検出し、異常を検出した場合に該警報発信ユニットから警報を発信する、請求項１に記載のブレーキング装置。

【請求項3】

該撮像カメラが該挟持ユニットまたは該押圧バーを撮像した撮像画像に基づいて該挟持ユニットまたは該押圧バーへの異物付着を検知する、請求項１または請求項２に記載のブレーキング装置。

【請求項4】

該撮像カメラが該押圧バーを撮像した撮像画像に基づいて該押圧バーの摩耗を検知する、請求項１または請求項２に記載のブレーキング装置。

【請求項5】

複数の分割予定ラインが設定されるとともに各該分割予定ラインに沿って分割起点が形成されたワークと該ワークが貼着されたシートと該シートの外周が貼着されたフレームとからなるワークユニットの該フレームを固定するフレーム固定ユニットと、該フレーム固定ユニットで該フレームが固定されたワークユニットの分割予定ラインを検出する検出ユニットと、分割すべき分割予定ラインに隣接した領域のワークを該ワークユニットの上下から挟持する上側挟持面と下側挟持面とを有した挟持ユニットと、該分割すべき分割予定ラインを挟んで該挟持ユニットの反対側で該分割すべき分割予定ラインに隣接した領域のワークを押圧し該分割すべき分割予定ラインに沿ってワークをブレーキングする押圧バーと、を備えたブレーキング装置の異常検知方法であって、
該検出ユニットの撮像カメラで該挟持ユニットまたは該押圧バーの少なくとも一方を撮像した撮像画像に基づいて該ブレーキング装置の異常を検知する、ブレーキング装置の異常検知方法。

【請求項6】

該撮像カメラが該挟持ユニットまたは該押圧バーを撮像した撮像画像に基づいて該挟持ユニットまたは該押圧バーへの異物付着を検知する、請求項５に記載のブレーキング装置の異常検知方法。

【請求項7】

該撮像カメラが該押圧バーを撮像した撮像画像に基づいて該押圧バーの摩耗を検知する、請求項６に記載のブレーキング装置の異常検知方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ブレーキング装置及びブレーキング装置の異常検知方法に関する。

【背景技術】

【0002】

ガラスやサファイア、ＳｉＣ等のワークは、設定された分割予定ラインに沿って分割され、複数のチップが形成される。ワークを分割する場合、例えば分割予定ラインに沿ってレーザビームを照射してワーク内部に改質層を形成した後、従来から種々のブレーキング装置で分割している（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１９－７１３９０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に示されたブレーキング装置は、一対の挟持ユニットとワークとの間やワークと押圧バーとの間に異物を挟み込んだ状態で、ワークを押圧バーで押圧するとワーク破損に繋がりかねない。

【0005】

また、前述したブレーキング装置は、押圧バーの先端が摩耗した状態でワークを押圧しても分割予定ラインに沿ってワークが分割されずに、分割予定ラインから外れた位置でワークが分割されてしまうおそれがあり、ワークが破損するおそれが生じ、改善が切望されていた。

【0006】

本発明の目的は、ワークの破損を抑制することができるブレーキング装置及びブレーキング装置の異常検知方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のブレーキング装置は、複数の分割予定ラインが設定されるとともに各該分割予定ラインに沿って分割起点が形成されたワークと該ワークが貼着されたシートと該シートの外周が貼着されたフレームとからなるワークユニットの該フレームを固定するフレーム固定ユニットと、該フレーム固定ユニットで該フレームが固定されたワークユニットの分割予定ラインを検出する検出ユニットと、分割すべき分割予定ラインに隣接した領域のワークを該ワークユニットの上下から挟持する上側挟持面と下側挟持面とを有した挟持ユニットと、該分割すべき分割予定ラインを挟んで該挟持ユニットの反対側で該分割すべき分割予定ラインに隣接した領域のワークを押圧し該分割すべき分割予定ラインに沿ってワークをブレーキングする押圧バーと、を備えたブレーキング装置であって、該検出ユニットは該フレーム固定ユニットで該フレームが固定されたワークユニットのワークを撮像する撮像カメラを有し、該撮像カメラで該挟持ユニットまたは該押圧バーの少なくとも一方を撮像した撮像画像に基づいて該ブレーキング装置の異常を検出することを特徴とする。

【0008】

前記ブレーキング装置において、警報発信ユニットと、少なくとも該検出ユニットと該押圧バーと該警報発信ユニットとを制御するコントローラと、を備え、該コントローラは、該挟持ユニットまたは該押圧バーに異常がない状態で、該撮像カメラで該挟持ユニットまたは該押圧バーを撮像した正常時画像を記憶する正常時画像記憶部を有し、該正常時画像記憶部で記憶された該正常時画像と、該撮像カメラで該挟持ユニットまたは該押圧バーの少なくとも一方を撮像した撮像画像と、を比較することで該挟持ユニットまたは該押圧バーの異常有無を検出し、異常を検出した場合に該警報発信ユニットから警報を発信しても良い。

【0009】

前記ブレーキング装置において、該撮像カメラが該挟持ユニットまたは該押圧バーを撮像した撮像画像に基づいて該挟持ユニットまたは該押圧バーへの異物付着を検知しても良い。

【0010】

前記ブレーキング装置において、該撮像カメラが該押圧バーを撮像した撮像画像に基づいて該押圧バーの摩耗を検知しても良い。

【0011】

本発明のブレーキング装置の異常検知方法は、複数の分割予定ラインが設定されるとともに各該分割予定ラインに沿って分割起点が形成されたワークと該ワークが貼着されたシートと該シートの外周が貼着されたフレームとからなるワークユニットの該フレームを固定するフレーム固定ユニットと、該フレーム固定ユニットで該フレームが固定されたワークユニットの分割予定ラインを検出する検出ユニットと、分割すべき分割予定ラインに隣接した領域のワークを該ワークユニットの上下から挟持する上側挟持面と下側挟持面とを有した挟持ユニットと、該分割すべき分割予定ラインを挟んで該挟持ユニットの反対側で該分割すべき分割予定ラインに隣接した領域のワークを押圧し該分割すべき分割予定ラインに沿ってワークをブレーキングする押圧バーと、を備えたブレーキング装置の異常検知方法であって、該検出ユニットの撮像カメラで該挟持ユニットまたは該押圧バーの少なくとも一方を撮像した撮像画像に基づいて該ブレーキング装置の異常を検知することを特徴とする。

【0012】

前記ブレーキング装置の異常検知方法において、該撮像カメラが該挟持ユニットまたは該押圧バーを撮像した撮像画像に基づいて該挟持ユニットまたは該押圧バーへの異物付着を検知しても良い。

【0013】

前記ブレーキング装置の異常検知方法において、該撮像カメラが該押圧バーを撮像した撮像画像に基づいて該押圧バーの摩耗を検知しても良い。

【発明の効果】

【0014】

本発明は、分割時のワークの損傷を抑制することができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】図１は、実施形態１に係るブレーキング装置の構成例を模式的に示す斜視図である。

【図2】図２は、実施形態１に係るブレーキング装置の分割対象のワークを備えるワークユニットを模式的に示す斜視図である。

【図3】図３は、図１に示されたブレーキング装置の挟持ユニットの下側挟持ユニットの構成を模式的に示す斜視図である。

【図4】図４は、図１に示されたブレーキング装置の挟持ユニットの上側挟持ユニットの構成を示す一部断面で模式的に示す側面図である。

【図5】図５は、図１に示されたブレーキング装置の押圧バーを一部断面で模式的に示す側面図である。

【図6】図６は、図５に示された矢印ＶＩ方向からみた荷重計測部を一部断面で模式的に示す正面図である。

【図7】図７は、図１に示されたブレーキング装置の正常時画像記憶部が記憶した上側挟持バーの正常時画像の一例を示す図である。

【図8】図８は、図１に示されたブレーキング装置の正常時画像記憶部が記憶した押圧バーの正常時画像の一例を示す図である。

【図9】図９は、図１に示されたブレーキング装置の正常時画像記憶部が記憶した矩形状挟持バーの正常時画像の一例を示す図である。

【図10】図１０は、図１に示されたブレーキング装置のフレーム固定ユニットにフレームを固定した状態を一部断面で模式的に示す側面図である。

【図11】図１１は、図１に示されたブレーキング装置の検出ユニットで分割すべき分割予定ラインを検出する状態を一部断面で模式的に示す側面図である。

【図12】図１２は、図１に示されたブレーキング装置の挟持バー間に分割すべき分割予定ラインの隣のデバイスを挟持した状態を一部断面で模式的に示す側面図である。

【図13】図１３は、図１に示されたブレーキング装置の分割すべき分割予定ラインを分割した状態を一部断面で模式的に示す側面図である。

【図14】図１４は、図１に示されたブレーキング装置の下方撮像カメラが上側挟持バーを撮像する状態を一部断面で模式的に示す側面図である。

【図15】図１５は、図１４に示された下方撮像カメラが撮像して取得した上側挟持バーの撮像画像を示す図である。

【図16】図１６は、図１４に示された下方撮像カメラが撮像して取得した押圧バーの撮像画像を示す図である。

【図17】図１７は、図１に示されたブレーキング装置の上方撮像カメラが矩形状挟持バーを撮像する状態を一部断面で模式的に示す側面図である。

【図18】図１８は、図１７に示された上方撮像カメラが撮像して取得した矩形状挟持バーの撮像画像を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

【0017】

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係るブレーキング装置を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係るブレーキング装置の構成例を模式的に示す斜視図である。図２は、実施形態１に係るブレーキング装置の分割対象のワークを備えるワークユニットを模式的に示す斜視図である。

【0018】

（ワークユニット）
実施形態１に係る図１に示すブレーキング装置１は、図２に示すワークユニット２００のワーク２０１を個々のチップ２１０に分割する装置である。図２に示されたワークユニット２００は、ワーク２０１と、シート２０２と、フレーム２０３とからなる。

【0019】

ワーク２０１は、例えば、ガラス、サファイア、ＳｉＣなどを基板２０４とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハ等のウェーハである。ワーク２０１は、図２に示すように、表面２０５に互いに交差する複数の分割予定ライン２０６が設定されるとともに、分割予定ライン２０６によって区画された領域にデバイス２０７が形成されている。なお、本発明では、ワーク２０１は、基板２０４がガラス、サファイア、ＳｉＣ以外の材質で構成されても良く、デバイス２０７が形成されていなくても良い。

【0020】

デバイス２０７は、例えば、ＩＣ（Integrated Circuit）、又はＬＳＩ（Large Scale Integration）等の集積回路、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）、又はＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）等のイメージセンサ、ＬＥＤ（Light-Emitting Diode）等の光学素子又はメモリ（半導体記憶装置）である。

【0021】

また、ワーク２０１は、分割予定ライン２０６に沿って分割起点２０８が形成されている。実施形態１では、分割起点２０８は、基板２０４の内部に分割予定ライン２０６に沿って形成された改質層であるが、本発明では、改質層の他に表面２０５から凹の加工溝でも良い。なお、改質層は、密度、屈折率、機械的強度やその他の物理的特性が周囲のそれとは異なる状態になった領域のことを意味し、溶融処理領域、クラック領域、絶縁破壊領域、屈折率変化領域、及びこれらの領域が混在した領域等を例示できる。改質層は、基板２０４の他の箇所よりも機械的な強度が低い。

【0022】

シート２０２は、ワーク２０１よりも大径な円板状に形成され、外周にフレーム２０３が貼着され、中央部にワーク２０１が貼着される。実施形態１では、シート２０２は、ワーク２０１の裏面２０９に貼着されている。シート２０２は、非粘着性と可撓性を有する樹脂により構成された基材層と、基材層に積層されかつ粘着性と可撓性を有する樹脂により構成された糊層とを備え、糊層がワーク２０１及びフレーム２０３に貼着される粘着テープ、又は、糊層を備えずに熱可塑性樹脂により構成されかつワーク２０１及びフレーム２０３に熱圧着される基材層のみから構成されるシートである。

【0023】

フレーム２０３は、内径がワーク２０１の外径よりも大径な円環状に形成され、シート２０２の外周が貼着される。フレーム２０３は、非可撓性の硬質な材料により構成され、実施形態１では、磁性を有する金属により構成されている。

【0024】

ワークユニット２００は、ワーク２０１の裏面２０９にシート２０２が貼着され、シート２０２の外周にフレーム２０３が貼着されて、シート２０２によりフレーム２０３の開口内にワーク２０１を支持して構成される。

【0025】

（ブレーキング装置）
次に、図１に示されたブレーキング装置１を説明する。図３は、図１に示されたブレーキング装置の挟持ユニットの下側挟持ユニットの構成を模式的に示す斜視図である。図４は、図１に示されたブレーキング装置の挟持ユニットの上側挟持ユニットの構成を示す一部断面で模式的に示す側面図である。図５は、図１に示されたブレーキング装置の押圧バーを一部断面で模式的に示す側面図である。図６は、図５に示された矢印ＶＩ方向からみた荷重計測部を一部断面で模式的に示す正面図である。

【0026】

図１に示されたブレーキング装置１は、ワーク２０１を分割起点２０８を起点に分割して、ワーク２０１を個々のチップ２１０に分割する装置である。ブレーキング装置１は、図１に示すように、フレーム固定ユニット１０と、図示しないフィルム貼着ユニットと、検出ユニット２０と、挟持ユニット４０と、押圧バー６０と、コントローラである制御ユニット１００と、表示ユニット１１０と、図示しない入力ユニットとを備える。

【0027】

フレーム固定ユニット１０は、ワークユニット２００のフレーム２０３を固定するものである。フレーム固定ユニット１０は、装置本体２上にＸ軸移動ユニット３０により水平方向と平行なＸ軸方向に移動自在に設けられた移動フレーム１１と、移動フレーム１１上に配設されたフレーム固定部材１２とを備える。

【0028】

フレーム固定部材１２は、内外径がフレーム２０３の内外径と同等の円環状に形成され、上面がフレーム２０３がシート２０２の外周を介して載置される保持面１３となっている。保持面１３は、水平方向に沿って平坦である。実施形態１では、フレーム固定部材１２は、保持面１３に図示しない吸引源に接続した吸引孔が開口している。

【0029】

フレーム固定ユニット１０は、吸引孔が吸引源により吸引されることで、保持面１３に載置されたフレーム２０３を保持面１３にシート２０２を介して吸引して固定する。なお、本発明では、フレーム２０３が磁性体により構成されている場合には、フレーム固定ユニット１０は、フレーム固定部材１２内に磁石（永久磁石又は電磁石）を配設しておき、保持面１３に載置されたフレーム２０３を磁力で吸着して固定しても良く、フレーム２０３が非磁性体により構成されている場合には、フレーム固定ユニット１０は、保持面１３との間にフレーム２０３を挟持して、フレーム２０３を固定するクランプ機構を備えても良い。また、フレーム固定ユニット１０は、図示しない回転駆動機構によりＺ軸方向（鉛直方向ともいう）と平行な軸心回りに回転自在である。

【0030】

なお、Ｘ軸移動ユニット３０は、装置本体２上に設置され、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ、ボールねじを軸心回りに回転させることで移動フレーム１１及びフレーム固定部材１２をＸ軸方向に移動させる周知のモータ及び移動フレーム１１をＸ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレール３１を備える。

【0031】

検出ユニット２０は、フレーム固定ユニット１０でフレーム２０３が固定されたワーク２０１の分割予定ライン２０６を検出するものである。検出ユニット２０は、上方撮像カメラ２１と、下方撮像カメラ２２とを備える。上方撮像カメラ２１は、フレーム固定ユニット１０でフレーム２０３が固定されたワークユニット２００のワーク２０１を上方から撮像するものである。

【0032】

上方撮像カメラ２１は、装置本体２からＸ軸移動ユニット３０のガイドレール３１を跨って立設した門型の門型フレーム３に、Ｚ軸方向移動機構２３により鉛直方向と平行なＺ軸方向に移動自在に設けられ、Ｙ軸方向移動機構２４により水平方向と平行でかつＸ軸方向に対して直交するＹ軸方向に移動自在に設けられている。上方撮像カメラ２１は、Ｘ軸移動ユニット３０とＹ軸方向移動機構２４によりフレーム固定ユニット１０にフレーム２０３が固定されたワーク２０１の任意の位置とＺ軸方向に対面することができる。なお、門型フレーム３は、両表面がＺ軸方向と平行な平板状に形成されている。

【0033】

下方撮像カメラ２２は、フレーム固定ユニット１０でフレーム２０３が固定されたワークユニット２００のワーク２０１を下方から撮像するものである。下方撮像カメラ２２は、Ｚ軸方向移動機構２５によりＺ軸方向に移動自在に設けられ、Ｙ軸方向移動機構２６によりＹ軸方向に移動自在に設けられている。下方撮像カメラ２２は、Ｘ軸移動ユニット３０とＹ軸方向移動機構２６によりフレーム固定ユニット１０にフレーム２０３が固定されたワーク２０１の任意の位置とＺ軸方向に対面することができる。

【0034】

撮像カメラ２１，２２は、対物レンズがＺ軸方向に対向するものを撮像するＣＣＤ（Charge Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子等の撮像素子を備えている。撮像カメラ２１，２２は、撮像素子が撮像した画像を取得し、取得した画像を制御ユニット１００に出力する。

【0035】

上方撮像カメラ２１は、ワーク２０１の表面２０５が上方を向いている場合に、フレーム固定ユニット１０で固定されたフレーム２０３の開口に収容されたワーク２０１のＺ軸方向に対面する位置を撮像して、ワーク２０１の分割予定ライン２０６と押圧バー６０等との位置合わせを行うアライメントを遂行するための画像を取得する。

【0036】

下方撮像カメラ２２は、ワーク２０１の表面２０５が下方を向いている場合に、フレーム固定ユニット１０で固定されたフレーム２０３の開口に収容されたワーク２０１のＺ軸方向に対面する位置を撮像して、ワーク２０１の分割予定ライン２０６と押圧バー６０等との位置合わせを行うアライメントを遂行するための画像を取得する。

【0037】

実施形態１において、撮像カメラ２１，２２が取得する画像は、各画素の輝度が複数段階の階調（例えば２５６階調）で規定されたグレースケール画像である。

【0038】

フィルム貼着ユニットは、フレーム固定ユニット１０でフレーム２０３が固定されたワーク２０１とフレーム２０３上に円板状のフィルム２１１（図１０等に示す）を貼着するものである。実施形態１では、フィルム貼着ユニットは、ワーク２０１の表面２０５及びフレーム２０３にフィルム２１１を貼着して、フィルム２１１をフレーム２０３の内縁と外縁との間で切断して、フィルム２１１をワーク２０１よりも大径な円板状に形成する。

【0039】

実施形態１では、フィルム２１１は、シート２０２と同様に、非粘着性と可撓性を有する樹脂により構成された基材層と、基材層に積層されかつ粘着性と可撓性を有する樹脂により構成された糊層とを備え、糊層がワーク２０１及びフレーム２０３に貼着される粘着テープ、又は、糊層を備えずに熱可塑性樹脂により構成されかつワーク２０１及びフレーム２０３に熱圧着される基材層のみから構成されるシートである。

【0040】

また、実施形態１では、フィルム２１１及びシート２０２は、ポリオレフィンやポリエチレンなどの非粘着性の熱可塑性樹脂からなる基材のみで構成された所謂糊なしテープである。フィルム２１１及びシート２０２は、軟化点又は融点を超える温度まで加熱されると、軟化又は溶融して、接着力を発現する。また、フィルム２１１及びシート２０２は、常温において伸縮性を有する。

【0041】

挟持ユニット４０は、ワーク２０１の分割すべき分割予定ライン２０６に隣接した領域のワーク２０１のデバイス２０７をＺ軸方向に沿ってワークユニット２００の上下から挟持するものである。挟持ユニット４０は、図１に示すように、下側挟持ユニット４１と、上側挟持ユニット５０とを備える。

【0042】

下側挟持ユニット４１は、フレーム固定ユニット１０の下方に配置され、フレーム固定ユニット１０に固定されたフレーム２０３の開口に収容されたワーク２０１の分割すべき分割予定ライン２０６の隣接した領域であるデバイス２０７を下方から押圧するものである。下側挟持ユニット４１は、図３に示すように、Ｚ軸移動ユニット３４によりＺ軸方向に昇降自在に設けられたブラケット４２と、ブラケット４２に軸心回りに回転自在に支持された回転体４３と、回転体４３の外周面から突出した互いに長さの異なる複数の矩形状挟持バー４４（下側挟持面に相当）とを備える。

【0043】

回転体４３は、軸心がＹ軸方向と平行に配設され、両端がブラケット４２により回転自在に支持されている。回転体４３は、図示しない回転機構により軸心回りに回転される。複数の矩形状挟持バー４４は、それぞれ厚みが一定のＹ軸方向に直線状の矩形板状に形成され、Ｙ軸方向の長さがそれぞれ異なって様々な長さになるように形成されている。複数の矩形状挟持バー４４のうち最も長い矩形状挟持バー４４の長さは、ワーク２０１の最も長い分割予定ライン２０６の長さと同等であり、最も短い矩形状挟持バー４４の長さは、ワーク２０１の最も短い分割予定ライン２０６の長さと同等である。

【0044】

複数の矩形状挟持バー４４は、回転体４３の回転によって突出する向きが変更される。複数の矩形状挟持バー４４のうち回転体４３のからＺ軸方向に沿って上向きに配置された矩形状挟持バー４４は、Ｚ軸移動ユニット３４により下降されると、上端がフレーム固定ユニット１０により固定されたフレーム２０３の開口に収容されたワーク２０１に貼着したシート２０２よりも下方に位置し、Ｚ軸移動ユニット３４により上昇されると、上端がフレーム固定ユニット１０により固定されたフレーム２０３の開口に収容されたワーク２０１よりも上方に位置する。複数の矩形状挟持バー４４のうち回転体４３のからＺ軸方向に沿って上向きに配置された矩形状挟持バー４４は、Ｚ軸移動ユニット３４により上昇されると、上端でワーク２０１の分割すべき分割予定ライン２０６の隣のデバイス２０７を裏面２０９側から上方に押圧する。

【0045】

即ち、下側挟持ユニット４１は、回転体４３の軸心回りの向きを変更することで、上向きとなる矩形状挟持バー４４の長さを選択でき、その選択した矩形状挟持バー４４でワーク２０１の分割すべき分割予定ライン２０６の隣のデバイス２０７を裏面２０９側から上方に押圧する。

【0046】

なお、Ｚ軸移動ユニット３４は、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ、ボールねじを軸心回りに回転させることでブラケット４２をＺ軸方向に昇降させる周知のモータ及びブラケット４２をＺ軸方向に昇降自在に支持する周知のガイドレール３５を備える。

【0047】

上側挟持ユニット５０は、フレーム固定ユニット１０の上方に配置され、フレーム固定ユニット１０により固定されたフレーム２０３の開口に収容されたワーク２０１の分割すべき分割予定ライン２０６の隣でかつ下側挟持ユニット４１により下方から押圧されたデバイス２０７を、下側挟持ユニット４１との間に挟持するものである。上側挟持ユニット５０は、門型フレーム３にＹ軸移動ユニット３２により水平方向と平行でかつＸ軸方向に対して直交するＹ軸方向に移動される移動テーブル４に昇降ユニット３６よりＺ軸方向に移動される移動基台５に設置されている。

【0048】

なお、移動テーブル４は、両表面が鉛直方向と平行なＺ軸方向と平行な平板状に形成され、門型フレーム３に間隔をあけて平行に重ねられている。Ｙ軸移動ユニット３２は、門型フレーム３上に設置され、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ、ボールねじを軸心回りに回転させることで移動テーブル４をＹ軸方向に移動させる周知のモータ及び移動テーブル４をＹ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレール３３を備える。

【0049】

移動基台５は、両表面がＺ軸方向と平行な平板状に形成され、移動テーブル４上に間隔をあけて重ねられている。移動基台５には、両表面２０５が水平方向と平行な水平部材６が固定されている。

【0050】

昇降ユニット３６は、移動テーブル４に設置され、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ、ボールねじを軸心回りに回転させることで移動基台５をＺ軸方向に昇降させる周知のモータ３７及び移動基台５をＺ軸方向に昇降自在に支持する周知のガイドレール３８を備える。

【0051】

上側挟持ユニット５０は、図４に示すように、シリンダユニット５１と、上側挟持バー５２（上側挟持面に相当）と、スライドユニット５３とを備える。シリンダユニット５１は、水平部材６に固定されたシリンダ５４と、Ｚ軸方向と平行な棒状状に形成され、シリンダ５４から伸縮自在であるとともに、シリンダ５４から伸長すると下端が下降するロッド５５とを備える。

【0052】

上側挟持バー５２は、厚みが一定のＹ軸方向に直線状でかつ両表面がＺ軸方向と平行な矩形板状に形成され、Ｙ軸方向の長さがワーク２０１の最も長い分割予定ライン２０６の長さと同等である。上側挟持バー５２は、上端にシリンダユニット５１のロッド５５の下端が固定されて、移動基台５に間隔をあけて重ねられている。上側挟持バー５２は、回転体４３から上向きの矩形状挟持バー４４とＺ軸方向に対向する。

【0053】

また、スライドユニット５３は、上側挟持バー５２を移動基台５に対して相対的にＺ軸方向にスライド自在に支持している。スライドユニット５３は、移動基台５と上側挟持バー５２とのうちの一方である移動基台５に固定されかつＺ軸方向と平行な直線状のガイドレール５６と、移動基台５と上側挟持バー５２とのうちの他方である上側挟持バー５２に固定されかつガイドレール５６にこのガイドレール５６の長手方向即ちＺ軸方向にスライド自在に支持されたスライダ５７とを備える。

【0054】

上側挟持バー５２は、ロッド５５が伸長した状態で、昇降ユニット３６により上昇されることで、下端がフレーム固定ユニット１０により固定されたフレーム２０３の開口に収容されたワーク２０１よりも上方に位置し、昇降ユニット３６により下降されると、下端が回転体４３のからＺ軸方向に沿って上向きに配置された矩形状挟持バー４４により押圧されたワーク２０１の分割すべき分割予定ライン２０６の隣のデバイス２０７を矩形状挟持バー４４との間に挟持する。

【0055】

押圧バー６０は、分割すべき分割予定ライン２０６を挟んで挟持ユニット４０の挟持バー４４，５２のＹ軸方向の反対側で分割すべき分割予定ライン２０６に隣接した領域のワーク２０１のデバイス２０７を押圧し、分割すべき分割予定ライン２０６に沿ってワーク２０１をブレーキング（分割ともいう）するものである。押圧バー６０は、図４に示すように、水平部材６に第２Ｘ軸移動ユニット６１によりＸ軸方向に移動自在に設置された押圧移動基台６２に設置されている。

【0056】

押圧移動基台６２は、両表面がＺ軸方向と平行で、かつ上端側の厚肉部６３と下端側の薄肉部６４とを一体に備えて形成され、上側挟持バー５２上に間隔をあけて重ねられている。実施形態１では、押圧移動基台６２は、厚肉部６３と薄肉部６４の上側挟持バー５２から離れた側の表面が同一平面状に形成され、上側挟持バー５２側に厚肉部６３と薄肉部６４との間の段差が形成されている、また、実施形態１では、押圧移動基台６２は、薄肉部６４を貫通した平面形状が矩形の開口６５が設けられている。

【0057】

第２Ｘ軸移動ユニット６１は、水平部材６に設置され、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ、ボールねじを軸心回りに回転させることで押圧移動基台６２をＸ軸方向に移動させる周知のモータ６６及び押圧移動基台６２をＺ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレール６７を備える。

【0058】

押圧バー６０は、Ｙ軸方向に直線状でかつ両表面がＺ軸方向と平行な矩形板状に形成され、Ｙ軸方向の長さがワーク２０１の最も長い分割予定ライン２０６の長さと同等である。押圧バー６０は、下端部に下方に向かうにしたがって徐々に厚みを薄くする先細部６８が形成されている。実施形態１では、先細部６８は、上側挟持バー５２側の表面がＺ軸方向に沿って平坦に形成され、上側挟持バー５２から離れた側の表面が下方に向かうにしたがって徐々に上側挟持バー５２に近付く方向に水平方向とＺ軸方向との双方に対して傾斜している。

【0059】

また、押圧バー６０は、一対のスライドユニット６９により押圧移動基台６２にＺ軸方向にスライド自在に支持されている。一対のスライドユニット６９は、Ｙ軸方向に間隔をあけて配置されている。スライドユニット６９は、押圧移動基台６２と押圧バー６０とのうちの一方である押圧移動基台６２に固定されかつＺ軸方向と平行な直線状のガイドレール６９１と、押圧移動基台６２と押圧バー６０とのうちの他方である押圧バー６０に固定されかつガイドレール６９１にこのガイドレール６９１の長手方向即ちＺ軸方向にスライド自在に支持されたスライダ６９２とを備える。

【0060】

押圧バー６０は、昇降ユニット３６により上昇されることで、下端がフレーム固定ユニット１０により固定されたフレーム２０３の開口に収容されたワーク２０１よりも上方に位置し、昇降ユニット３６により下降されると、Ｙ軸方向に、分割すべき分割予定ライン２０６を挟持バー４４，５２との間に位置付けるワーク２０１のデバイス２０７を下方に押圧する。実施形態１では、押圧バー６０は、ワーク２０１の上側挟持バー５２とのＹ軸方向の距離がチップ２１０の幅の７５％～８５％程度となる位置を下方に押圧する。なお、本発明では、押圧バー６０は、ワーク２０１の上側挟持バー５２とのＹ軸方向の距離がチップ２１０の幅の６５％～９５％程度となる位置を下方に押圧すれば良い。なお、押圧バー６０が押圧する位置が上側挟持バー５２からのＹ軸方向の距離が近すぎても割れにくく、遠すぎても押圧バー６０がすでに割れた分割予定ライン２０６側に逃げて割れないので、押圧バー６０が、ワーク２０１の上側挟持バー５２とのＹ軸方向の距離がチップ２１０の幅の６５％～９５％程度となる位置、望ましくはチップ２１０の幅の７５％～８５％程度となる位置を下方に押圧するのが望ましい。押圧バー６０は、昇降ユニット３６により下降されると、Ｙ軸方向に、分割すべき分割予定ライン２０６を挟持バー４４，５２との間に位置付けるワーク２０１のデバイス２０７を下方に押圧して、この分割すべき分割予定ライン２０６を分割する。

【0061】

また、押圧バー６０は、図５に示す荷重測定部７０により押圧移動基台６２に固定されている。荷重測定部７０は、一対のスライドユニット６９間に配置されている。荷重測定部７０は、図５及び図６に示すように、押圧バー６０がワーク２０１を押圧する荷重の値（以下、荷重値と記す）を測定する荷重計７１と、保持部材７２と、支持部材７３と、バネ７５と、支持部７４（図６のみに示す）とを備える。

【0062】

荷重計７１は、Ｚ軸方向の押圧バー６０がワーク２０１を押圧する荷重値を測定するものであり、実施形態１では、周知のロードセルであるが、ロードセルに限定されない。荷重計７１は計測結果である荷重値を制御ユニット１００に出力する。荷重計７１は、押圧移動基台６２の開口６５内に配置されている。

【0063】

保持部材７２は、押圧バー６０に一端部が固定され、押圧バー６０から押圧移動基台６２に向かって延在して他端部が押圧移動基台６２の開口６５内に配置されている。保持部材７２は、他端部に荷重計７１の下端を支持している。

【0064】

支持部材７３は、押圧移動基台６２の開口６５内に配置され、上端が開口６５の上側の内面に固定され、下端が荷重計７１の上端を支持している。支持部７４は、押圧移動基台６２の開口６５内に配置され、下端が開口６５の下側の内面に固定され、上端が保持部材７２の下端部を支持している。

【0065】

バネ７５は、開口６５の下側の内面と保持部材７２の他端部との間に配置され、保持部材７２の他端部を介して、押圧移動基台６２に対して相対的に押圧バー６０を上方に付勢している。実施形態１では、バネ７５は、押圧バー６０と保持部材７２と荷重計７１とを合わせた質量に対応した力で、保持部材７２及び押圧バー６０を上方に付勢している。バネ７５が前述した力で付勢することで、押圧バー６０と保持部材７２と荷重計７１とを合わせた質量が相殺されて、荷重計７１は、押圧バー６０と保持部材７２と荷重計７１とを合わせた質量よりも小さい荷重値を測定することができる。このように、ブレーキング装置１は、押圧バー６０がワーク２０１を押圧する荷重値を測定する荷重計７１を備える。

【0066】

また、ブレーキング装置１は、分割前後のワーク２０１を有するワークユニット２００を複数枚収容可能なカセットが設置される図示しないカセットステージと、カセットステージに設置されたカセットからワークユニット２００を出し入れするとともに、カセットとフレーム固定ユニット１０との間でワークユニット２００を搬送する図示しない搬送ユニットとを備える。

【0067】

制御ユニット１００は、ブレーキング装置１の上述した各構成要素をそれぞれ制御して、ワーク２０１の各分割予定ライン２０６を分割する分割動作をブレーキング装置１に実施させるものである。制御ユニット１００は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御ユニット１００の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、ブレーキング装置１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介してブレーキング装置１の上述した各ユニットに出力する。また、制御ユニット１００は、荷重計７１で測定された荷重値に基づいて、分割予定ライン２０６の分割結果を判定し、分割結果を分割予定ライン２０６と１対１で紐付けて記憶する。

【0068】

表示ユニット１１０は、制御ユニット１００に接続し、各種の情報を表示する表示画面１１１を備える。入力ユニットは、オペレータがブレーキング装置１の制御ユニット１００に情報などを入力する際に用いられる。入力ユニットは、制御ユニット１００に接続し、入力された情報を制御ユニット１００に向けて出力する。入力ユニットは、表示ユニット１１０の表示画面１１１に重ねられたタッチパネルを備える。

【0069】

また、ブレーキング装置１は、警報発信ユニット１２０を備える。即ち、制御ユニット１００は、少なくとも検出ユニット２０と、押圧バー６０と、警報発信ユニット１２０とを制御する。警報発信ユニット１２０は、表示ユニット１１０と、音を発することが可能なスピーカ１１２と、光を発することが可能な表示灯１１３とを備える。

【0070】

警報発信ユニット１２０は、表示ユニット１１０の表示画面１１１にメッセージを表示すること、スピーカ１１２が音を発すること、表示灯１１３が光を発することのうち少なくともいずれかによりオペレータ警報を報知する。

【0071】

また、制御ユニット１００は、加工制御部１０１と、正常時画像記憶部１０２と、判定部１０３とを有する。加工制御部１０１は、ブレーキング装置１の上述した各構成要素をそれぞれ制御して、ワーク２０１の各分割予定ライン２０６を分割する分割動作をブレーキング装置１に実施させるものである。

【0072】

（正常時画像記憶部）
図７は、図１に示されたブレーキング装置の正常時画像記憶部が記憶した上側挟持バーの正常時画像の一例を示す図である。図８は、図１に示されたブレーキング装置の正常時画像記憶部が記憶した押圧バーの正常時画像の一例を示す図である。図９は、図１に示されたブレーキング装置の正常時画像記憶部が記憶した矩形状挟持バーの正常時画像の一例を示す図である。

【0073】

正常時画像記憶部１０２は、挟持ユニット４０及び押圧バー６０に異常がない状態で、撮像カメラ２１，２２で挟持ユニット４０及び押圧バー６０を撮像して取得された正常時画像３０１，３０２，３０３（図７、図８、図９に示す）を記憶するものである。なお、実施形態１において、挟持ユニット４０及び押圧バー６０に異常とは、上側挟持バー５２、矩形状挟持バー４４及び押圧バー６０が、ワーク２０１の分割に適さない程度に摩耗したこと、ワーク２０１の分割に適さない異物が付着していることをいう。

【0074】

実施形態１において、図７に示された正常時画像３０１は、下方撮像カメラ２２で異常がない状態の上側挟持バー５２をＺ軸方向の下方から撮像し、所定の閾値で２値化処理することで生成された画像である。なお、実施形態１では、図７に示された正常時画像３０１は、下方撮像カメラ２２で上側挟持バー５２を複数（実施形態１では、３つ）に分割して撮像することで生成されている。なお、図７に示す例では、正常時画像３０１は、上側挟持バー５２を薄い網掛けで示し、他を黒地で示している。

【0075】

実施形態１において、図８に示された正常時画像３０２は、下方撮像カメラ２２で異常がない状態の押圧バー６０をＺ軸方向の下方から撮像し、所定の閾値で２値化処理することで生成された画像である。なお、実施形態１では、図８に示された正常時画像３０２は、下方撮像カメラ２２で押圧バー６０を複数（実施形態１では、３つ）に分割して撮像することで生成されている。なお、図８に示す例では、正常時画像３０２は、押圧バー６０を白地で示し、他を黒地で示している。

【0076】

実施形態１において、図９に示された正常時画像３０３は、上方撮像カメラ２１で異常がない状態の矩形状挟持バー４４をＺ軸方向の上方から撮像し、所定の閾値で２値化処理することで生成された画像である。なお、実施形態１では、図９に示された正常時画像３０３は、上方撮像カメラ２１で矩形状挟持バー４４を複数（実施形態１では、３つ）に分割して撮像することで生成されている。また、正常時画像記憶部１０２は、全ての矩形状挟持バー４４の正常時画像３０３を記憶している。なお、図９に示す例では、正常時画像３０３は、矩形状挟持バー４４を薄い網掛けで示し、他を黒地で示している。

【0077】

判定部１０３は、正常時画像記憶部１０２で記憶された正常時画像３０１，３０２，３０３等に基づいて、挟持ユニット４０の上側挟持バー５２及び矩形状挟持バー４４、押圧バー６０の異常有無を検出し、異常を検出した場合に警報発信ユニット１２０から警報を発信するものである。

【0078】

なお、正常時画像記憶部１０２の機能は、前述した記憶装置により実現される。加工制御部１０１及び判定部１０３の機能は、演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施することにより実現される。

【0079】

（分割動作）
次に、前述したブレーキング装置１がワーク２０１を個々のチップ２１０に分割する分割動作を説明する。図１０は、図１に示されたブレーキング装置のフレーム固定ユニットにフレームを固定した状態を一部断面で模式的に示す側面図である。図１１は、図１に示されたブレーキング装置の検出ユニットで分割すべき分割予定ラインを検出する状態を一部断面で模式的に示す側面図である。図１２は、図１に示されたブレーキング装置の挟持バー間に分割すべき分割予定ラインの隣のデバイスを挟持した状態を一部断面で模式的に示す側面図である。図１３は、図１に示されたブレーキング装置の分割すべき分割予定ラインを分割した状態を一部断面で模式的に示す側面図である。

【0080】

実施形態１において、ブレーキング装置１は、先ず、オペレータ等がワークユニット２００を収容したカセットをカセットステージに設置し、入力ユニットを操作して分割条件を入力し、制御ユニット１００が分割要件を受け付けて登録する。実施形態１において、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００がオペレータ等からの分割動作の開始指示を受け付けると、分割動作を開始する。

【0081】

実施形態１において、分割動作では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の加工制御部１０１がＺ軸移動ユニット３４を制御して下側挟持ユニット４１を下降させ、上側挟持ユニット５０のシリンダユニット５１を制御してロッド５５を伸長し、昇降ユニット３６を制御して上側挟持ユニット５０及び押圧バー６０を上昇させる。また、実施形態１において、分割動作では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の加工制御部１０１が第２Ｘ軸移動ユニット６１を制御して上側挟持バー５２の下端と押圧バー６０の下端のＸ軸方向の距離を、分割条件に含まれるチップ２１０の幅の７５％～８５％となるように、押圧バー６０のＸ軸方向の位置を調整する。

【0082】

なお、本発明では、上側挟持バー５２の下端と押圧バー６０の下端のＸ軸方向の距離を、チップ２１０の幅の６５％～９５％となるように、押圧バー６０のＸ軸方向の位置を調整すれば良い。また、実施形態１において、分割動作では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の加工制御部１０１が、Ｙ軸方向移動機構２４，２６を制御して、撮像カメラ２１，２２を上側挟持バー５２と矩形状挟持バー４４との間から退避するＹ軸方向の端に位置付ける。

【0083】

また、実施形態１において、分割動作では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の加工制御部１０１がＸ軸移動ユニット３０を制御して、フレーム固定ユニット１０を挟持ユニット４１，５０間から退避させる。実施形態１において、分割動作では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の加工制御部１０１が搬送ユニットを制御して、カセットからワークユニット２００を１枚取り出させてフレーム固定ユニット１０の保持面１３上にワークユニット２００のフレーム２０３を載置させる。

【0084】

実施形態１において、分割動作では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の加工制御部１０１が吸引源を動作させて、フレーム固定ユニット１０の保持面１３にフレーム２０３を吸引して固定する。実施形態１において、分割動作では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の加工制御部１０１がフィルム貼着ユニットを制御して、図１０に示すように、フレーム固定ユニット１０に固定したワークユニット２００のワーク２０１及びフレーム２０３にフィルム２１１を貼着する。

【0085】

実施形態１において、分割動作では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の加工制御部１０１がＸ軸移動ユニット３０、Ｙ軸移動ユニット３２、Ｚ軸方向移動機構２３及びＹ軸方向移動機構２４を制御して、分割条件の分割する順番に基づいて、図１１に示すように、分割すべき分割予定ライン２０６（以下、符号２０６－１で記す）の上方に検出ユニット２０の上方撮像カメラ２１を位置付けて、検出ユニット２０の上方撮像カメラ２１でワーク２０１の分割予定ライン２０６－１を含んだ分割予定ライン２０６－１の周囲を撮像する。実施形態１において、分割動作では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の加工制御部１０１が検出ユニット２０の上方撮像カメラ２１で撮像して得た画像に基づいて、分割予定ライン２０６－１を検出する。

【0086】

なお、実施形態１では、ワークユニット２００のワーク２０１の表面２０５が上方に向いているために、上方撮像カメラ２１でワーク２０１の分割予定ライン２０６－１を含んだ分割予定ライン２０６－１の周囲を撮像したが、本発明では、ワークユニット２００のワーク２０１の表面２０５が下方に向いている場合には、下方撮像カメラ２２でワーク２０１の分割予定ライン２０６－１を含んだ分割予定ライン２０６－１の周囲を撮像する。

【0087】

実施形態１において、分割動作では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の加工制御部１０１が回転機構を制御して、分割予定ライン２０６に対応した長さの矩形状挟持バー４４を回転体４３から上向きに配置し、回転駆動機構を制御して、ワーク２０１の分割予定ライン２０６－１をＹ軸方向と平行に位置付ける。実施形態１において、分割動作では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の加工制御部１０１がＸ軸移動ユニット３０を制御して、分割予定ライン２０６－１に図１中Ｘ軸方向の奥側に隣接するデバイス２０７（領域に相当し、以下、図１２に示す符号２０７－１と記す）の上方に上側挟持バー５２の下端を位置付け、分割予定ライン２０６－１に図１中Ｘ軸方向の奥側に隣接する図１中Ｘ軸方向の奥側のデバイス２０７－１の下方に矩形状挟持バー４４の上端を位置付けるとともに、分割予定ライン２０６－１に図１中Ｘ軸方向の手前側に隣接するデバイス２０７（領域に相当し、以下、図１２に示す符号２０７－２と記す）の上方に押圧バー６０の下端を位置付ける。

【0088】

実施形態１において、分割動作では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の加工制御部１０１がＺ軸移動ユニット３４を制御して、回転体４３及び矩形状挟持バー４４を上昇させてシート２０２を介してワーク２０１の分割予定ライン２０６－１に隣接したデバイス２０７－１をシート２０２を介して上方に押圧させる。すると、ワーク２０１が上昇し、フィルム２１１を介してデバイス２０７－１が上側挟持バー５２の下端に当接する。こうして、実施形態１において、分割動作では、ブレーキング装置１は、図１２に示すように、ワーク２０１の分割予定ライン２０６－１に隣接したデバイス２０７－１を、フィルム２１１及びシート２０２を介して、挟持バー４４，５２間に挟持する。このとき、実施形態１では、押圧バー６０の下端は、ワーク２０１の表面２０５よりも上方に位置している。

【0089】

実施形態１において、分割動作では、ブレーキング装置１は、分割条件に基づいて、制御ユニット１００の加工制御部１０１が昇降ユニット３６を制御して、上側挟持ユニット５０の移動基台５及び押圧バー６０を下降させる。すると、上側挟持バー５２が矩形状挟持バー４４との間にフィルム２１１及びシート２０２を介してワーク２０１の分割予定ライン２０６－１に隣接したデバイス２０７－１を挟持しているので、上側挟持バー５２が下降することなく、シリンダユニット５１のロッド５５が縮小して、スライドユニット５３により移動基台５に対して相対的に上側挟持バー５２が上昇する。

【0090】

また、上側挟持ユニット５０の移動基台５及び押圧バー６０が下降すると、押圧バー６０が下降して、押圧かー６０の下端がワーク２０１の表面２０５の挟持ユニット４１，５０の反対側の分割予定ライン２０６－１に隣接したデバイス２０７－２にフィルム２１１を介して当接するとともに、更に押圧バー６０が下降して、図１３に示すように、押圧バー６０の下端が上側挟持バー５２の下端よりも下方に位置して、挟持バー４４，５２と押圧バー６０との間の分割予定ライン２０６－１を分割する。

【0091】

また、分割予定ライン２０６－１が分割される際には、ワーク２０１の基板２０４を構成する材料により構成された分割屑が、分割された分割予定ライン２０６－１内に生じることがある。実施形態１において、分割動作では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の加工制御部１０１が分割条件とおりに移動基台５及び押圧バー６０を下降した後、昇降ユニット３６を制御して、移動基台５及び押圧バー６０を上昇させるとともに、Ｚ軸移動ユニット３４を制御して、回転体４３及び矩形状挟持バー４４を下降させる。

【0092】

また、実施形態１において、分割動作では、制御ユニット１００が、荷重計７１が測定した荷重値に基づいて、分割すべき分割予定ライン２０６－１の分割結果を判定し、判定した分割結果を分割予定ライン２０６－１と紐付けて記憶する。実施形態１において、分割動作では、ブレーキング装置１は、分割条件に基づいて、ワーク２０１の分割予定ライン２０６のうち端の分割予定ライン２０６から順に分割する。実施形態１において、分割動作では、ブレーキング装置１は、ワーク２０１の全ての分割予定ライン２０６を分割して、ワーク２０１を個々のチップ２１０に分割すると、フレーム固定ユニット１０のワークユニット２００のフレーム２０３の固定を解除し、搬送ユニットでフレーム固定ユニット１０上のワークユニット２００をカセットに収容する。実施形態１において、分割動作では、ブレーキング装置１は、カセット内の全てのワークユニット２００のワーク２０１の分割予定ライン２０６を分割して、ワーク２０１を個々のチップ２１０に分割すると、分割動作を終了する。その後、分割されたチップ２１０は、シート２０２からピックアップされる。

【0093】

（ブレーキング装置の異常検知方法）
次に、実施形態１に係るブレーキング装置の異常検知方法を説明する。図１４は、図１に示されたブレーキング装置の下方撮像カメラが上側挟持バーを撮像する状態を一部断面で模式的に示す側面図である。図１５は、図１４に示された下方撮像カメラが撮像して取得した上側挟持バーの撮像画像を示す図である。図１６は、図１４に示された下方撮像カメラが撮像して取得した押圧バーの撮像画像を示す図である。図１７は、図１に示されたブレーキング装置の上方撮像カメラが矩形状挟持バーを撮像する状態を一部断面で模式的に示す側面図である。図１８は、図１７に示された上方撮像カメラが撮像して取得した矩形状挟持バーの撮像画像を示す図である。

【0094】

実施形態１に係るブレーキング装置の異常検知方法（以下、単に、異常検知方法と記す）は、撮像カメラ２１，２２で挟持ユニット４０の上側挟持バー５２、各矩形状挟持バー４４及び押圧バー６０を撮像して、上側挟持バー５２、各矩形状挟持バー４４及び押圧バー６０の異常の有無を検知して、ブレーキング装置１の異常の有無を検知する方法である。異常検知方法は、所定枚数のワークユニット２００のワーク２０１を分割する度等に実施される。

【0095】

実施形態１において、異常検知方法では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の加工制御部１０１がＺ軸移動ユニット３４を制御して下側挟持ユニット４１を下降させ、上側挟持ユニット５０のシリンダユニット５１を制御してロッド５５を伸長し、昇降ユニット３６を制御して上側挟持ユニット５０及び押圧バー６０を上昇させる。実施形態１において、異常検知方法では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の加工制御部１０１がＸ軸移動ユニット３０とＹ軸方向移動機構２６等を制御して、図１４に示すように、下方撮像カメラ２２をＺ軸方向に沿って上側挟持バー５２の下方に位置付けて、上側挟持バー５２を下方撮像カメラ２２で撮像する。

【0096】

実施形態１において、異常検知方法では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の加工制御部１０１が下方撮像カメラ２２が撮像して取得した画像を所定の閾値で２値化処理を施して、図１５に示す２値化画像である撮像画像４０１を生成する。なお、実施形態１では、下方撮像カメラ２２で上側挟持バー５２を複数（実施形態１では、３つ）に分割して撮像して、撮像画像４０１を３枚取得する。なお、図１５に示す例では、撮像画像４０１は、上側挟持バー５２を薄い網掛けで示し、他を黒地で示している。

【0097】

実施形態１において、異常検知方法では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の判定部１０３が図７に示す正常時画像３０１と、下方撮像カメラ２２で挟持ユニット４０の上側挟持バー５２を撮像した図１５に示す撮像画像４０１とを比較することで、挟持ユニット４０の上側挟持バー５２の異常有無を検出する。具体的には、制御ユニット１００の判定部１０３は、正常時画像３０１の上側挟持バー５２の幅と撮像画像４０１の上側挟持バー５２の幅との差を算出し、算出した差が予め記憶された所定値以上である部分があると、異常有と判定し、ないと異常無と判定する。また、制御ユニット１００の判定部１０３は、撮像画像４０１から上側挟持バー５２を検出し、検出した上側挟持バー５２内に所定の閾値未満である部分があるか否かを判定し、あると判定すると異常有と判定し、ないと判定すると異常無と判定する。図１５に示された撮像画像４０１の場合、前述した差が所定値未満であり、上側挟持バー５２内に閾値未満である部分がないので、制御ユニット１００の判定部１０３は、異常無と判定する。

【0098】

実施形態１において、異常検知方法では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の加工制御部１０１がＸ軸移動ユニット３０とＹ軸方向移動機構２６等を制御して、下方撮像カメラ２２をＺ軸方向に沿って押圧バー６０の下方に位置付けて、押圧バー６０を下方撮像カメラ２２で撮像する。

【0099】

実施形態１において、異常検知方法では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の加工制御部１０１が下方撮像カメラ２２が撮像して取得した画像を所定の閾値で２値化処理を施して、図１６に示す２値化画像である撮像画像４０２を生成する。なお、実施形態１では、下方撮像カメラ２２で押圧バー６０を複数（実施形態１では、３つ）に分割して撮像して、撮像画像４０２を３枚取得する。なお、図１６に示す例では、撮像画像４０２は、押圧バー６０を白地で示し、他を黒地で示している。

【0100】

実施形態１において、異常検知方法では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の判定部１０３が図８に示す正常時画像３０２と、下方撮像カメラ２２で挟持ユニット４０の押圧バー６０を撮像した図１６に示す撮像画像４０２とを比較することで、挟持ユニット４０の押圧バー６０の異常有無を検出する。具体的には、制御ユニット１００の判定部１０３は、正常時画像３０２の押圧バー６０の幅と撮像画像４０２の押圧バー６０の幅との差を算出し、算出した差が予め記憶された所定値以上である部分があると、異常有と判定し、ないと異常無と判定する。また、制御ユニット１００の判定部１０３は、撮像画像４０２から押圧バー６０を検出し、検出した押圧バー６０内に所定の閾値未満である部分があるか否かを判定し、あると判定すると異常有と判定し、ないと判定すると異常無と判定する。図１６に示された撮像画像４０２の場合、図１６（Ｂ）において、前述した差が所定値以上である部分６０１があるので、制御ユニット１００の判定部１０３は、異常有と判定する。

【0101】

実施形態１において、異常検知方法では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の判定部１０３が異常有と判定した場合、即ち異常を検出した場合、警報発信ユニット１２０を動作させて警報発信ユニット１２０から異常有を示す警報を発信する。

【0102】

また、実施形態１において、異常検知方法では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の判定部１０３が異常有と判定した場合、即ち異常を検出した場合、図１６（Ｂ）に示すように、前述した差が所定値以上である部分６０１がある場合には、押圧バー６０が摩耗したと検知する。即ち、実施形態１において、異常検知方法では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の判定部１０３が異常有と判定し、撮像画像４０２の押圧バー６０の幅が正常時画像３０２の押圧バー６０の幅よりも所定値以上大きい部分６０１があると、押圧バー６０の摩耗を検知する。なお、実施形態１において、異常検知方法では、押圧バー６０と同様に、上側挟持バー５２の摩耗及び矩形状挟持バー４４の摩耗を検知する。こうして、ブレーキング装置１は、下方撮像カメラ２２が押圧バー６０を撮像した撮像画像４０２に基づいて、押圧バー６０の摩耗を検知する。

【0103】

実施形態１において、異常検知方法では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の加工制御部１０１がＸ軸移動ユニット３０とＹ軸方向移動機構２４等を制御して、図１７に示すように、上方撮像カメラ２１をＺ軸方向に沿って上側挟持バー５２の下方に位置付けて、各矩形状挟持バー４４を上方撮像カメラ２１で撮像する。

【0104】

実施形態１において、異常検知方法では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の加工制御部１０１が上方撮像カメラ２１が撮像して取得した画像を所定の閾値で２値化処理を施して、図１８に示す２値化画像である撮像画像４０３を生成する。なお、実施形態１では、上方撮像カメラ２１で矩形状挟持バー４４を複数（実施形態１では、３つ）に分割して撮像して、撮像画像４０３を３枚取得する。なお、図１８に示す例では、撮像画像４０３は、矩形状挟持バー４４を薄い網掛けで示し、他を黒地で示している。

【0105】

実施形態１において、異常検知方法では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の判定部１０３が図９に示す正常時画像３０３と、上方撮像カメラ２１で挟持ユニット４０の各矩形状挟持バー４４を撮像した図１８に示す撮像画像４０３とを比較することで、挟持ユニット４０の各矩形状挟持バー４４の異常有無を検出する。具体的には、制御ユニット１００の判定部１０３は、正常時画像３０３の矩形状挟持バー４４の幅と撮像画像４０３の矩形状挟持バー４４の幅との差を算出し、算出した差が予め記憶された所定値以上である部分があると、異常有と判定し、ないと異常無と判定する。また、制御ユニット１００の判定部１０３は、撮像画像４０３から矩形状挟持バー４４を検出し、検出した矩形状挟持バー４４内に所定の閾値未満である部分があるか否かを判定し、あると判定すると異常有と判定し、ないと判定すると異常無と判定する。図１８に示された撮像画像４０３の場合、図１８（Ｂ）において、検出した矩形状挟持バー４４内に所定の閾値未満である部分４４１があるので、制御ユニット１００の判定部１０３は、異常有と判定する。

【0106】

実施形態１において、異常検知方法では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の判定部１０３が異常有と判定した場合、即ち異常を検出した場合、警報発信ユニット１２０を動作させて警報発信ユニット１２０から異常有を示す警報を発信する。

【0107】

また、実施形態１において、異常検知方法では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の判定部１０３が異常有と判定した場合、即ち異常を検出した場合、図１８（Ｂ）に示すように、撮像画像４０３の矩形状挟持バー４４内に所定の閾値未満である部分４４１があると、矩形状挟持バー４４に異物が付着したと検知する。即ち、実施形態１において、異常検知方法では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の判定部１０３が異常有と判定し、撮像画像４０３の矩形状挟持バー４４内に所定の閾値未満である部分４４１があると、挟持ユニット４０の矩形状挟持バー４４への異物付着を検知する。

【0108】

なお、実施形態１において、異常検知方法では、矩形状挟持バー４４と同様に、上側挟持バー５２への異物付着及び押圧バー６０への異物付着を検知する。こうして、ブレーキング装置１は、撮像カメラ２１，２２が挟持ユニットの上側挟持バー５２、各矩形状挟持バー４４、及び押圧バー６０を撮像した撮像画像４０１，４０２，４０３に基づいて、挟持ユニットの上側挟持バー５２、各矩形状挟持バー４４、及び押圧バー６０への異物付着を検知する。

【0109】

また、本発明では、判定部１０３が、挟持ユニット４０の上側挟持バー５２、各矩形状挟持バー４４及び押圧バー６０の異常有無の検知方法は、実施形態１に記載されたものに限らず、種々変更しても良い。

【0110】

以上説明した実施形態１に係るブレーキング装置１及び異常検知方法は、撮像カメラ２１，２２が撮像した撮像画像４０１，４０２，４０３に基づいて、挟持ユニット４０の上側挟持バー５２、各矩形状挟持バー４４及び押圧バー６０の異常有無を検知するので、挟持バー４４，５２に異物が付着した状態や押圧バー６０が摩耗した状態で、ワーク２０１を分割することを抑制できる。

【0111】

その結果、実施形態１に係るブレーキング装置１及び異常検知方法は、ワーク２０１を分割する際に、ワーク２０１の破損を抑制することができるという効果を奏する。

【0112】

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、本発明では、ブレーキング装置１は、上側挟持バー５２と矩形状挟持バー４４と押圧バー６０の少なくとも一つの異常を検知すれば良い。

【符号の説明】

【0113】

１ ブレーキング装置
１０ フレーム固定ユニット
２０ 検出ユニット
２１ 上方撮像カメラ（撮像カメラ）
２２ 下方撮像カメラ（撮像カメラ）
４０ 挟持ユニット
４４ 矩形状挟持バー（下側挟持面）
５２ 上側挟持バー（上側挟持面）
６０ 押圧バー
１００ 制御ユニット（コントローラ）
１０２ 正常時画像記憶部
１２０ 警報発信ユニット
２００ ワークユニット
２０１ ワーク
２０２ シート
２０３ フレーム
２０６ 分割予定ライン
２０６－１ 分割すべき分割予定ライン
２０７ デバイス
２０７－１ デバイス（領域）
２０７－２ デバイス（領域）
２０８ 分割起点
３０１，３０２，３０３ 正常時画像
４０１，４０２，４０３ 撮像画像

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】