特開 2024-118728 シート剥離装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024118728

(43)【公開日】2024-09-02

(54)【発明の名称】シート剥離装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20240826BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023025168

(22)【出願日】2023-02-21

(71)【出願人】

【識別番号】000151494

【氏名又は名称】株式会社東京精密

(74)【代理人】

【識別番号】100169960

【弁理士】

【氏名又は名称】清水 貴光

(72)【発明者】

【氏名】木▲崎▼ 清貴

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131AA03

5F131AA32

5F131AA33

5F131BA53

5F131CA09

5F131CA46

5F131EC37

5F131EC42

5F131EC44

5F131EC52

5F131EC63

5F131EC76

(57)【要約】

【課題】被着体にダメージを与えることなく且つ剥離テープを保護シートに安定して圧着するシート剥離装置を提供する。
【解決手段】シート剥離装置１は、被着体Ｗに貼付された保護シートＳに剥離テープＴを介して剥離力を付与して、保護シートＳを剥離するシート剥離装置１であって、剥離テープＴを保護シートＳに熱圧着させるスタンプヘッド４６と、スタンプヘッド４６を被着体Ｗに向けて押し出すエアシリンダ４１と、エアシリンダ４１を昇降させるヒートスタンプ送り機構４７と、エアシリンダ４１にエアを供給するとともに、エアの設定圧を制御してエアシリンダ４１がスタンプヘッド４６を押し出す出力を調整可能な電空レギュレータ４４と、を備え、エアシリンダ４１は、被着体Ｗに作用する押圧力が、エアシリンダ４１の出力を超えたときに、スタンプヘッド４６を上方に退避させる。
【選択図】図７

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被着体に貼付された保護シートに剥離テープを介して剥離力を付与して、前記保護シートを剥離するシート剥離装置であって、
前記剥離テープを前記保護シートに熱圧着させるスタンプヘッドと、
前記スタンプヘッドを前記被着体に向けて押し出すエアシリンダと、
前記エアシリンダを昇降させる昇降機構と、
前記エアシリンダにエアを供給するとともに、前記エアの圧力である設定圧を制御して前記エアシリンダが前記スタンプヘッドを押し出す出力を調整可能なレギュレータと、
を備え、
前記エアシリンダは、前記被着体に作用する押圧力が前記出力を超えたときに、前記スタンプヘッドを上方に退避させることを特徴とするシート剥離装置。

【請求項2】

前記レギュレータは、前記昇降機構が前記エアシリンダを降下させているときに前記設定圧を切替可能な電空レギュレータであることを特徴とする請求項１に記載のシート剥離装置。

【請求項3】

前記電空レギュレータは、前記スタンプヘッドが前記剥離テープに接触する際には、前記剥離テープに作用する押圧力の上限に対応する前記出力が得られるように前記設定圧を制御し、前記剥離テープが前記保護シートに圧着される際には、前記被着体に作用する押圧力の上限に対応する前記出力が得られるように前記設定圧を制御することを特徴とする請求項２に記載のシート剥離装置。

【請求項4】

前記レギュレータは、前記昇降機構が前記エアシリンダを降下させているときに前記設定圧を略一定に制御する精密レギュレータであることを特徴とする請求項１に記載のシート剥離装置。

【請求項5】

前記精密レギュレータは、前記剥離テープが前記保護シートに圧着される際に前記被着体に作用する押圧力の上限に対応する前記出力が得られるように前記設定圧を固定して制御することを特徴とする請求項４に記載のシート剥離装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、被着体に貼付された保護シートを剥離するシート剥離装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

半導体製造分野では、シリコンウェハ等の半導体基板（以下、「被着体」という）の裏面を研削して薄くする工程があり、その工程では被着体の表面に粘着フィルム等から成る保護シートを貼り付けて、被着体の表面に形成されたデバイスを保護している。

【0003】

被着体に貼付された保護シートを剥離するシート剥離装置として、特許文献１には、ヒーター上下シリンダ５０９を駆動して、ヒーター工具５０５がウェハＷに貼付された保護シートＦの端部に接着テープＴを熱圧着する装置が開示されている。なお、符号は、特許文献１記載のものである。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開平１１－１６８６２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、特許文献１記載の装置では、接着テープＴを保護シートＦに熱圧着する際に、ヒーター上下シリンダ５０９がヒーター工具５０５をウェハＷに向けて所定量だけ押し込むため、ウェハＷ、保護シートＦ及び接着テープＴの厚みにばらつきがあったりウェハＷを保持するテーブル２０３の表面高さにバラつき等があると、ウェハＷに対するヒーター工具５０５の押し込み具合が安定せず、ウェハＷに過剰な押圧力が作用してウェハＷが破損したり、ウェハＷに十分な押圧力が作用せず保護シートＦへの接着テープＴの圧着が不十分になる虞があった。

【0006】

そこで、被着体にダメージを与えることなく且つ剥離テープを保護シートに安定して圧着するために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記目的を達成するために、本発明に係るシート剥離装置は、被着体に貼付された保護シートに剥離テープを介して剥離力を付与して、前記保護シートを剥離するシート剥離装置であって、前記剥離テープを前記保護シートに熱圧着させるスタンプヘッドと、前記スタンプヘッドを前記被着体に向けて押し出すエアシリンダと、前記エアシリンダを昇降させる昇降機構と、前記エアシリンダにエアを供給するとともに、前記エアの圧力である設定圧を制御して前記エアシリンダが前記スタンプヘッドを押し出す出力を調整可能なレギュレータと、を備え、前記エアシリンダは、前記被着体に作用する押圧力が前記出力を超えたときに、前記スタンプヘッドを上方に退避させる。

【発明の効果】

【0008】

本発明は、被着体にダメージを与えることなく且つ剥離テープを保護シートに安定して圧着することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本発明の一実施形態に係るシート剥離装置を示す斜視図。

【図2】シート剥離装置を示す側面図。

【図3】貼付手段を示す斜視図。

【図4】貼付手段の要部を下方から視た斜視図。

【図5】ヒートスタンプを示す斜視図。

【図6】保護シートを剥離する手順を示す模式図。

【図7】剥離テープを保護シートに圧着させる際のエアシリンダの動作を示す模式図。

【発明を実施するための形態】

【0010】

本発明の実施形態について図面に基づいて説明する。なお、以下では、構成要素の数、数値、量、範囲等に言及する場合、特に明示した場合及び原理的に明らかに特定の数に限定される場合を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも構わない。

【0011】

また、構成要素等の形状、位置関係に言及するときは、特に明示した場合及び原理的に明らかにそうでないと考えられる場合等を除き、実質的にその形状等に近似又は類似するもの等を含む。

【0012】

また、図面は、特徴を分かり易くするために特徴的な部分を拡大する等して誇張する場合があり、構成要素の寸法比率等が実際と同じであるとは限らない。

【0013】

図１は、シート剥離装置１の斜視図である。図２は、シート剥離装置１の側面図である。シート剥離装置１は、被着体Ｗの裏面研削を行うにあたって被着体Ｗの表面を保護するために粘着された保護シート（ＢＧテープ）Ｓを剥離するものである。被着体Ｗは、例えば、シリコンウェハ等の半導体基板であるが、これに限定されるものではない。保護シートＳは、例えば熱硬化樹脂等から成る。

【0014】

被着体Ｗは、保護シートＳを上面側にした状態でダイシングテープＤＴを介してリングフレームＲＦにマウントされたものである。ダイシングテープＤＴは、紫外線硬化テープ等である。

【0015】

シート剥離装置１は、被着体Ｗを載置する搬送テーブル２を備えている。搬送テーブル２の上面側には、吸着面２１が設けられている。

【0016】

吸着面２１は、図示しない真空源又は圧縮空気源に接続されている。真空源が起動すると、吸着面２１に載置された被着体Ｗが吸着面２１に吸着保持される。また、圧縮空気源が起動すると、被着体Ｗと吸着面２１との吸着が解除される。

【0017】

搬送テーブル２は、図示しない移動手段を介して移動方向Ｄ１に移動可能に設けられている。なお、搬送テーブル２の移動速度は任意に変更可能であり、例えば、被着体Ｗを損傷することなく、保護シートＳの剥離に要する時間を短縮するために、保護シートＳの剥離初期では低速にし、保護シートＳの剥離がある程度進行した後には高速にしても構わない。

【0018】

シート剥離装置１は、帯状の剥離テープＴを繰り出し可能な繰出手段３を備えている。繰出手段３は、送りローラー３１と、巻取ローラー３２と、第１～第４のガイドローラー３３～３６と、ナイフエッジ３７と、を備えている。

【0019】

送りローラー３１は、帯状の剥離テープＴを繰り出し可能に支持している。巻取ローラー３２は、剥離テープＴに繰出力を付与して巻き取る。第１～第４のガイドローラー３３～３６及びナイフエッジ３７は、剥離テープＴに張力を作用させるとともに剥離テープＴの軌道を規制するように適当な位置に配置されている。

【0020】

シート剥離装置１は、剥離テープＴを保護シートＳに熱圧着させる貼付手段４を備えている。剥離テープＴは、例えば保護シートＳと同種の熱硬化樹脂等から成る。貼付手段４は、エアシリンダ４１と、ヒートスタンプ４２と、を備えている。

【0021】

図３、図４に示すように、エアシリンダ４１は、フレーム４３上に載置されたシリンダチューブ４１ａと、下端にヒートスタンプ４２が取り付けられてシリンダチューブ４１ａに対して上下に進退移動可能なロッド４１ｂと、を備えている。

【0022】

エアシリンダ４１は、電空レギュレータ４４から供給されるエアによって、ヒートスタンプ４２を押し出すようにロッド４１ｂが進退移動する。電空レギュレータ４４がエアシリンダ４１に供給するエアの圧力（設定圧）は、エアシリンダ４１による所望の出力を得られえるように任意に変更可能である。

【0023】

エアシリンダ４１は、複動型エアシリンダであり、ヒートスタンプ４２を上昇させる方向に作用する一定圧のエアが電空レギュレータ４４から常に供給されるとともに、ヒートスタンプ４２を降下させる方向に作用するエアが必要に応じて設定圧が調整されて電空レギュレータ４４から供給される。なお、エアシリンダ４１は、バネ力と空気圧で駆動する単動型エアシリンダ等であっても構わない。

【0024】

ヒートスタンプ４２は、エアシリンダ４１を介してフレーム４３から吊り下げられるように設けられている。ヒートスタンプ４２は、図４中に破線で示すケーシング４２ａ内に収容されている。ロッド４１ｂが上端まで退入すると、ヒートスタンプ４２全体がケーシング４２ａ内に収容される。また、ロッド４１ｂが下端まで進出すると、ヒートスタンプ４２の下面を含む少なくとも一部がケーシング４２ａ外に露出する。

【0025】

ヒートスタンプ４２内には、棒状のカートリッジヒーター４５が埋設されている。カートリッジヒーター４５は、その長手方向がヒートスタンプ４２の幅方向に一致するように水平に配置されている。カートリッジヒーター４５が起動することにより、ヒートスタンプ４２が昇温される。

【0026】

図４、図５に示すように、ヒートスタンプ４２の下面には、スタンプヘッド４６が立設されている。スタンプヘッド４６が、昇温された状態で剥離テープＴに押し付けられることにより、剥離テープＴと保護シートＳとが熱圧着される。すなわち、ヒートスタンプ４２は、剥離テープＴへの投影面積全体で剥離テープＴに接触するのではなく、スタンプヘッド４６の略矩形状に形成された下面４６ａでのみ剥離テープＴに接触する。

【0027】

貼付手段４は、エアシリンダ４１及びヒートスタンプ４２を昇降させて、ヒートスタンプ４２の高さ位置を調整するヒートスタンプ送り機構４７を備えている。ヒートスタンプ送り機構４７のモータ４７ａが駆動して、上下方向に延伸された図示しないボールネジが回転すると、フレーム４３とボールネジとを連結するスライダ４７ｂが昇降される。

【0028】

図１、図２に戻り、シート剥離装置１は、規制手段としての規制ローラー５を備えている。規制ローラー５の長さは、被着体Ｗの直径より大きく設定される。規制ローラー５は、保護シートＳが剥離し始める位置（剥離開始位置）の略上方に約２～３ｍｍ程度離間して配置されている。規制ローラー５は、剥離テープＴの繰出をスムーズに行えるように、図示しない略水平に取り付けられた支持軸回りに回転自在に設けられている。

【0029】

規制ローラー５の表面（ガイド面５１）には、剥離テープＴが不用意に付着しないよう、例えば、ガイド面５１をフッ素樹脂でコーティングしたり、ガイド面５１にローレット加工を施したりすることが好ましい。これにより、剥離テープＴの繰出をスムーズに行うことができる。

【0030】

なお、規制手段は、上述した形態に限定されるものではなく、例えば、滑りの良い円弧状のガイド面を備えた扇形柱を用いて、剥離テープＴの撓みを押えこむように撓み方向を規制するものであっても構わない。

【0031】

また、ガイド面５１の滑りが良く、剥離テープＴの繰出をスムーズに行えるのであれば、支持軸回りに回転不能に構成し、剥離テープＴをガイド面５１上で摺動させるように構成されても構わない。

【0032】

次に、シート剥離装置１の動作について、図面に基づいて説明する。図６は、保護シートＳを剥離する手順を示す図である。なお、以下で例示する各種圧力及び推力等の数値は、ダイシングテープＤＴ、保護シートＳ及び剥離テープの種類並びに被着体Ｗの厚み等に応じて任意に調整される。

【0033】

まず、厚み約２０μｍ、直径約４００ｍｍの被着体Ｗを搬送テーブル２に吸着させた後に、図６（ａ）に示すように、ヒートスタンプ４２の下方に被着体Ｗの外周部が配置されるように、搬送テーブル２を移動させる。また、ヒートスタンプ送り機構４７のモータ４７ａが正回転すると、ヒートスタンプ４２が初期高さ位置に至るようにスライダ４７ｂが降下する。

【0034】

このとき、図７（ａ）に示すように、エアシリンダ４１には、ヒートスタンプ４２を上昇させる方向に作用する約０．０５Ｍｐａのエアが電空レギュレータ４４から常に供給されているのに対し、ヒートスタンプ４２を降下させる方向に作用するエアは供給されておらず、ヒートスタンプ４２は上方に退避している。

【0035】

次に、図６（ｂ）に示すように、スタンプヘッド４６が、剥離テープＴ、保護シートＳ及び被着体Ｗに押し付けられて、剥離テープＴが保護シートＳに熱圧着される。

【0036】

具体的には、図７（ｂ）に示すように、まず、電空レギュレータ４４からヒートスタンプ４２を降下させる方向に作用するエアがエアシリンダ４１に供給されると、ロッド４１ｂが進出して、エアシリンダ４１がヒートスタンプ４２を下方に押し出す。また、ヒートスタンプ送り機構４７のモータ４７ａが正回転して、ヒートスタンプ４２が、初期高さ位置から降下し始める。ヒートスタンプ送り機構４７によるヒートスタンプ４２の降下量は、吸着面２１に対するヒートスタンプ４２の初期高さ位置及び被着体Ｗの厚み等を考慮して予め設定されたものである。

【0037】

続いて、図７（ｃ）に示すように、ヒートスタンプ４２がさらに降下すると、スタンプヘッド４６が剥離テープＴに接触する。また、図７（ｄ）に示すように、ヒートスタンプ４２がさらに降下すると、スタンプヘッド４６が、剥離テープＴ、保護シートＳ及び被着体Ｗに押し付けられる。そして、ヒートスタンプ４２が、約１８０℃まで加温された状態で剥離テープＴを保護シートＳに所定時間押し付けることにより、剥離テープＴと保護シートＳとが熱圧着される。剥離テープＴと保護シートＳとの溶着範囲は、スタンプヘッド４６の下面４６ａの形状に応じて設定される。

【0038】

エアシリンダ４１には、ヒートスタンプ４２を上昇させる方向に作用する約０．０５Ｍｐａのエア（上昇方向のシリンダ推力：７．４Ｎ）が電空レギュレータ４４から常に供給されているとともに、ヒートスタンプ４２を降下させる方向に作用する約０．０５～０．４５Ｍｐａのエア（降下方向のシリンダ推力：８．８～８８．２Ｎ）が電空レギュレータ４４から供給される。すなわち、エアシリンダ４１の下向きの押圧力は、約０～０．４Ｍｐａに設定され、エアシリンダ４１の下向きの推力は、１．４～８０．８Ｎに設定される。

【0039】

したがって、スタンプヘッド４６の下面４６ａが、例えば縦２５ｍｍ、横１ｍｍの略矩形状に形成されている場合、エアシリンダ４１がヒートスタンプ４２を押し出す圧力は、エアシリンダ４１の下向きの推力をスタンプヘッド４６の表面積で除して算出され、５６～３２３２ｋＰａに設定される。

【0040】

ところで、スタンプヘッド４６が剥離テープＴを保護シートＳに圧着させる位置（圧着位置）の高さは、搬送テーブル２の個体差や吸着面２１の高さバラつき（上面振れ）、又はダイシングテープＤＴ、保護シートＳ及び剥離テープＴの厚み並びに被着体Ｗの厚み等に起因して一定ではなく、従来のようにスタンプヘッド４６を固定の押し込み量だけ押し込んで剥離テープＴを保護シートＳに圧着させる場合、圧着位置の高低によっては、被着体Ｗに過剰な押圧力が作用して被着体Ｗにダメージを与えるため、剥離テープＴと保護シートＳとの圧着不良が生じるおそれがある。

【0041】

しかしながら、本実施形態に係る貼付手段４は、エアシリンダ４１がヒートスタンプ４２を下方に押し出した状態で、ヒートスタンプ送り機構４７がヒートスタンプ４２を降下させて、スタンプヘッド４６が被着体Ｗに押し付けられる。これにより、エアシリンダ４１の出力を上回る押圧力が被着体Ｗに作用する場合であっても、図７（ｅ）に示すように、その押圧力の反力でロッド４１ｂが退入して、エアシリンダ４１はヒートスタンプ４２を上方に退避させる。すなわち、被着体Ｗに作用する押圧力は、スタンプヘッド４６の圧着位置の高さにかかわらず略一定に保たれる。

【0042】

さらに、電空レギュレータ４４が供給するエアの設定圧は、剥離テープＴを保護シートＳに熱圧着させる一連の工程間で異なるエアシリンダ４１の出力を得られるように段階的に切り替え可能である。

【0043】

具体的には、図７（ａ）～（ｃ）に示すように、スタンプヘッド４６が剥離テープＴに接触するまでは、エアシリンダ４１の出力が、スタンプヘッド４６が剥離テープＴに接触する際に剥離テープＴに作用する押圧力（接触時押圧力）の上限に対応して相対的に低く設定される。接触時押圧力の上限に対応するエアシリンダ４１の出力（接触時出力）は、例えば約５６ｋＰａに設定される。

【0044】

また、図７（ｃ）～（ｅ）に示すように、スタンプヘッド４６が剥離テープＴに接触してから剥離テープＴが保護シートＳに熱圧着されるまでの間において、エアシリンダ４１の出力が、剥離テープＴが保護シートＳに圧着される際に被着体Ｗに作用する押圧力（圧着時押圧力）の上限に対応して相対的に高く設定される。圧着時押圧力の上限に対応するエアシリンダ４１の出力（圧着時出力）は、例えば約１６００ｋＰａに設定される。

【0045】

このように、エアシリンダ４１の出力を、剥離テープＴを保護シートＳに熱圧着させる一連の工程の進行具合に応じて段階的に切り替えて設定することにより、各工程に応じて適切な圧力管理ができ、被着体Ｗへのダメージを低減することができる。

【0046】

次に、図６（ｃ）に示すように、電空レギュレータ４４が供給するエアの設定圧を低下させてエアシリンダ４１の出力を解除するとともに、ヒートスタンプ送り機構４７のモータ４７ａが逆回転して、ヒートスタンプ４２を上昇させる。

【0047】

続いて、図６（ｄ）に示すように、剥離開始位置を規制ローラー５に接近させるように（図６（ｄ）の紙面左側に向けて）、搬送テーブル２を移動させる。剥離テープＴは、剥離開始位置より搬送テーブル２の進行方向の前方側に膨らむような側面から視て横向きの略Ｕ字状に撓む。

【0048】

次に、図６（ｅ）に示すように、搬送テーブル２をさらに移動させると、規制ローラー５が剥離テープＴに接触して、規制ローラー５が剥離テープＴの撓みを略垂直方向に、換言すれば、剥離テープＴと保護シートＳとで成す角度が小さくなるように、規制ローラー５が、剥離テープＴの撓みを押え込む。

【0049】

次に、図６（ｆ）に示すように、搬送テーブル２をさらに移動させると、剥離テープＴに作用する張力によって、剥離テープＴの撓みが略垂直方向に押し込まれたまま、保護シートＳを被着体Ｗから剥離する剥離力が保護シートＳに作用する。なお、保護シートＳが剥離し始める際の搬送テーブル２の移動速度は、例えば１ｍｍ／ｓに設定される。

【0050】

搬送テーブル２がさらに移動すると、保護シートＳが被着体Ｗから剥離し始める。具体的には、まず、保護シートＳの外周部が被着体Ｗから剥離する直前では、剥離テープＴが規制ローラー５に接触することで下方に押え込まれるため、剥離テープＴと保護シートＳとで成す角度が小さい状態で撓んでいる。

【0051】

その後、搬送テーブル２が移動すると、保護シートＳが被着体Ｗから剥離される。保護シートＳの剥離は、スタンプヘッド４６が剥離テープＴと保護シートＳとを熱溶着した領域において剥離力が保護シートＳに作用し、搬送テーブル２の移動に伴って、保護シートＳが被着体Ｗから徐々に剥離される。

【0052】

そして、図６（ｆ）に示すように、被着体Ｗの外周部の保護シートＳが完全に剥離した後には、搬送テーブル２をさらに移動させて、保護シートＳ全面を被着体Ｗから剥離させる。

【0053】

このようにして、本実施形態に係るシート剥離装置１は、被着体Ｗに貼付された保護シートＳに剥離テープＴを介して剥離力を付与して、保護シートＳを剥離するシート剥離装置１であって、剥離テープＴを保護シートＳに熱圧着させるスタンプヘッド４６と、スタンプヘッド４６を被着体Ｗに向けて所定の出力で押し出すエアシリンダ４１と、エアシリンダ４１を昇降させるヒートスタンプ送り機構４７と、エアシリンダ４１にエアを供給するとともに、エアの設定圧を制御してスタンプヘッド４６を押し出すエアシリンダ４１の出力を調整可能な電空レギュレータ４４と、を備え、エアシリンダ４１は、被着体Ｗに作用する押圧力がエアシリンダ４１の出力を超えたときに、スタンプヘッド４６を上方に退避させる構成とした。

【0054】

この構成によれば、被着体Ｗに作用する押圧力が、スタンプヘッド４６の圧着位置の高さにかかわらず略一定に保たれるため、被着体Ｗにダメージを与えることなく且つ剥離テープＴを保護シートＳに安定して圧着することができる。

【0055】

また、本実施形態に係るシート剥離装置１は、電空レギュレータ４４が、ヒートスタンプ送り機構４７がエアシリンダ４１を降下させているときにエアの設定圧を切替可能に構成されている構成とした。

【0056】

この構成によれば、エアシリンダ４１の出力を、剥離テープＴを保護シートＳに熱圧着させる一連の工程において必要に応じて段階的に切り替え可能なことにより、各工程に応じて適切な圧力管理ができるため、被着体Ｗへのダメージを低減することができる。

【0057】

また、本実施形態に係るシート剥離装置１は、電空レギュレータ４４が、スタンプヘッド４６が剥離テープＴに接触する際には、剥離テープＴに作用する押圧力の上限に対応する接触時出力が得られるようにエアの設定圧を制御し、剥離テープＴが保護シートＳに圧着される際には、被着体Ｗに作用する押圧力の上限に対応する圧着時出力が得られるようにエアの設定圧を制御する構成とした。

【0058】

この構成によれば、エアシリンダ４１の出力を、スタンプヘッド４６が剥離テープＴに相対的に低圧で接触する工程とスタンプヘッド４６が相対的に高圧で被着体Ｗに押し付けられる剥離テープＴを保護シートＳに熱圧着させる工程とで段階的に切り替えることにより、各工程に応じて適切な圧力管理ができるため、被着体Ｗへのダメージをさらに低減することができる。

【0059】

なお、上述した実施形態では、電空レギュレータ４４を用いて、剥離テープＴへの接触時と剥離テープＴと保護シートＳとの圧着時とでエアシリンダ４１の出力を段階的に切り替える場合について説明したが、電空レギュレータ４４に代えて、ヒートスタンプ送り機構４７がエアシリンダ４１を降下させているときに、エアの設定圧を略一定に制御する精密レギュレータ等を用いても構わない。このような精密レギュレータを用いる場合には、エアシリンダ４１が圧着時出力を得られるように、エアシリンダ４１に供給するエアの設定圧を固定して制御するように構成しても構わない。

【0060】

また、本発明は、本発明の精神を逸脱しない限り、上記以外にも種々の改変を為すことができ、そして、本発明が該改変されたものに及ぶことは当然である。

【符号の説明】

【0061】

１ ：シート剥離装置
２ ：搬送テーブル
２１ ：吸着面
３ ：繰出手段
３１ ：送りローラー
３２ ：巻取ローラー
３３ ：第１のガイドローラー
３４ ：第２のガイドローラー
３５ ：第３のガイドローラー
３６ ：第４のガイドローラー
３７ ：ナイフエッジ
４ ：貼付手段
４１ ：エアシリンダ
４１ａ：シリンダチューブ
４１ｂ：ロッド
４２ ：ヒートスタンプ
４３ ：フレーム
４４ ：電空レギュレータ
４５ ：カートリッジヒーター
４６ ：スタンプヘッド
４６ａ：下面
４７ ：ヒートスタンプ送り機構（昇降機構）
４７ａ：モータ
４７ｂ：スライダ
５ ：規制ローラー
５１ ：ガイド面
Ｄ１ ：移動方向
ＤＴ ：ダイシングテープ
Ｆ ：保護シート
ＲＦ ：リングフレーム
Ｓ ：保護シート
Ｔ ：剥離テープ
Ｗ ：被着体

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】