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特開2024-118946駆動制御装置、液体吐出装置、液体吐出システム、制御方法および制御プログラム
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024118946
(43)【公開日】2024-09-02
(54)【発明の名称】駆動制御装置、液体吐出装置、液体吐出システム、制御方法および制御プログラム
(51)【国際特許分類】
B05C 11/10 20060101AFI20240826BHJP
B41J 2/015 20060101ALI20240826BHJP
B41J 2/045 20060101ALI20240826BHJP
B05C 11/00 20060101ALI20240826BHJP
B05C 5/00 20060101ALI20240826BHJP
【ＦＩ】
B05C11/10
B41J2/015 101
B41J2/045
B05C11/00
B05C5/00 101
【審査請求】未請求
【請求項の数】16
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023025565
(22)【出願日】2023-02-21
(71)【出願人】
【識別番号】000006747
【氏名又は名称】株式会社リコー
(74)【代理人】
【識別番号】100107766
【弁理士】
【氏名又は名称】伊東 忠重
(74)【代理人】
【識別番号】100070150
【弁理士】
【氏名又は名称】伊東 忠彦
(74)【代理人】
【識別番号】100107515
【弁理士】
【氏名又は名称】廣田 浩一
(72)【発明者】
【氏名】宮澤 秀之
【テーマコード（参考）】
2C057
4F041
4F042
【Ｆターム（参考）】
2C057AF65
2C057AG12
2C057AG44
2C057AL40
2C057BA08
2C057BA14
4F041AA07
4F041AB01
4F041BA01
4F041BA10
4F041BA13
4F041BA17
4F041BA36
4F042AA09
4F042AB00
4F042BA06
4F042BA08
4F042BA12
4F042BA21
4F042CA01
4F042CB03
4F042CB19
4F042DH09
(57)【要約】
【課題】液体吐出ヘッドのメンテナンス頻度を低減させる。
【解決手段】液体を吐出する複数のノズルと、複数のノズルの各々を開閉する複数の弁体と、複数の弁体の各々を駆動する複数のアクチュエータと、を備える液体吐出ヘッドの駆動制御装置であって、駆動制御装置は、ノズルを弁体に閉鎖させる閉鎖電圧をアクチュエータに印加可能であり、ノズルが閉鎖状態から開放状態へ移行する電圧を閾値電圧とした場合に、複数のノズルのうち、閾値電圧の高いノズルに対応する閉鎖電圧が、閾値電圧の高いノズルよりも閾値電圧の低いノズルに対応する閉鎖電圧と比べて高くなるように複数のアクチュエータに印加する閉鎖電圧を制御する。
【選択図】図３
【解決手段】液体を吐出する複数のノズルと、複数のノズルの各々を開閉する複数の弁体と、複数の弁体の各々を駆動する複数のアクチュエータと、を備える液体吐出ヘッドの駆動制御装置であって、駆動制御装置は、ノズルを弁体に閉鎖させる閉鎖電圧をアクチュエータに印加可能であり、ノズルが閉鎖状態から開放状態へ移行する電圧を閾値電圧とした場合に、複数のノズルのうち、閾値電圧の高いノズルに対応する閉鎖電圧が、閾値電圧の高いノズルよりも閾値電圧の低いノズルに対応する閉鎖電圧と比べて高くなるように複数のアクチュエータに印加する閉鎖電圧を制御する。
【選択図】図３
【特許請求の範囲】
【請求項1】
液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルの各々を開閉する複数の弁体と、前記複数の弁体の各々を駆動する複数のアクチュエータと、を備える液体吐出ヘッドの駆動制御装置であって、前記駆動制御装置は、
前記ノズルを前記弁体に閉鎖させる閉鎖電圧を前記アクチュエータに印加可能であり、
前記ノズルが閉鎖状態から開放状態へ移行する電圧を閾値電圧とした場合に、前記複数のノズルのうち、前記閾値電圧の高い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧が、前記閾値電圧の高い前記ノズルよりも前記閾値電圧の低い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧と比べて高くなるように前記アクチュエータに印加する前記閉鎖電圧を制御する、駆動制御装置。
前記ノズルを前記弁体に閉鎖させる閉鎖電圧を前記アクチュエータに印加可能であり、
前記ノズルが閉鎖状態から開放状態へ移行する電圧を閾値電圧とした場合に、前記複数のノズルのうち、前記閾値電圧の高い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧が、前記閾値電圧の高い前記ノズルよりも前記閾値電圧の低い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧と比べて高くなるように前記アクチュエータに印加する前記閉鎖電圧を制御する、駆動制御装置。
【請求項2】
前記駆動制御装置は、前記複数のノズルのうち、前記閾値電圧の高い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧と該閾値電圧との差と、前記閾値電圧の低い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧と該閾値電圧との差との差が、所定の値以下になるように前記アクチュエータに印加する前記閉鎖電圧を制御する、請求項１に記載の駆動制御装置。
【請求項3】
前記駆動制御装置は、前記ノズルを前記弁体に開放させる開放電圧を前記アクチュエータに印加可能であり、前記複数のノズルのうち、前記閾値電圧の高い前記ノズルに対応する前記開放電圧が、前記閾値電圧の高い前記ノズルよりも前記閾値電圧の低い前記ノズルに対応する前記開放電圧と比べて高くなるように前記アクチュエータに印加する前記開放電圧を制御する、請求項１または２に記載の駆動制御装置。
【請求項4】
前記駆動制御装置は、前記ノズルを前記弁体に開放させる開放電圧を前記アクチュエータに印加可能であり、前記複数のノズルのうち、前記閾値電圧の高い前記ノズルに対応する前記開放電圧と該閾値電圧との差と、前記閾値電圧の低い前記ノズルに対応する前記開放電圧と該閾値電圧との差との差が、所定の値以下になるように前記アクチュエータに印加する前記開放電圧を制御する、請求項１または２に記載の駆動制御装置。
【請求項5】
液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルの各々を開閉する複数の弁体と、前記複数の弁体の各々を駆動する複数のアクチュエータと、を備える液体吐出ヘッドの駆動制御装置であって、前記駆動制御装置は、
前記ノズルを前記弁体に閉鎖させる閉鎖電圧を前記アクチュエータに印加可能であり、
前記アクチュエータに印加する電圧の変化に対する前記ノズルの流量の変化が最大を示す電圧を中間電圧とした場合に、前記複数のノズルのうち、前記中間電圧の高い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧が、前記中間電圧の高い前記ノズルよりも前記中間電圧の低い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧と比べて高くなるように前記アクチュエータに印加する前記閉鎖電圧を制御する、駆動制御装置。
前記ノズルを前記弁体に閉鎖させる閉鎖電圧を前記アクチュエータに印加可能であり、
前記アクチュエータに印加する電圧の変化に対する前記ノズルの流量の変化が最大を示す電圧を中間電圧とした場合に、前記複数のノズルのうち、前記中間電圧の高い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧が、前記中間電圧の高い前記ノズルよりも前記中間電圧の低い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧と比べて高くなるように前記アクチュエータに印加する前記閉鎖電圧を制御する、駆動制御装置。
【請求項6】
前記駆動制御装置は、前記複数のノズルのうち、前記中間電圧の高い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧と該中間電圧との差と、前記中間電圧の低い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧と該中間電圧との差との差が、所定の値以下になるように前記アクチュエータに印加する前記閉鎖電圧を制御する、請求項５に記載の駆動制御装置。
【請求項7】
前記駆動制御装置は、前記ノズルを前記弁体に開放させる開放電圧を前記アクチュエータに印加可能であり、前記複数のノズルのうち、前記中間電圧の高い前記ノズルに対応する前記開放電圧が、前記中間電圧の高い前記ノズルよりも前記中間電圧の低い前記ノズルに対応する前記開放電圧と比べて高くなるように前記アクチュエータに印加する前記開放電圧を制御する、請求項５または６に記載の駆動制御装置。
【請求項8】
前記駆動制御装置は、前記ノズルを前記弁体に開放させる開放電圧を前記アクチュエータに印加可能であり、前記複数のノズルのうち、前記中間電圧の高い前記ノズルに対応する前記開放電圧と該中間電圧との差と、前記中間電圧の低い前記ノズルに対応する前記開放電圧と該中間電圧との差との差が所定の値以下になるように前記アクチュエータに印加する前記開放電圧を制御する、請求項５または６に記載の駆動制御装置。
【請求項9】
請求項１または２に記載の駆動制御装置と、
前記液体吐出ヘッドと、
を備える、液体吐出装置。
前記液体吐出ヘッドと、
を備える、液体吐出装置。
【請求項10】
請求項９に記載の液体吐出装置と、
前記ノズルの流量を測定する流量計と、
前記流量と、前記アクチュエータに印加される電圧との関係を解析する流量解析部と、
解析した結果を前記液体吐出装置にフィードバックする通信回路と、
を備える、液体吐出システム。
前記ノズルの流量を測定する流量計と、
前記流量と、前記アクチュエータに印加される電圧との関係を解析する流量解析部と、
解析した結果を前記液体吐出装置にフィードバックする通信回路と、
を備える、液体吐出システム。
【請求項11】
液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルの各々を開閉する複数の弁体と、前記複数の弁体の各々を駆動する複数のアクチュエータと、を備える液体吐出ヘッドと、前記ノズルを前記弁体に閉鎖させる閉鎖電圧を前記アクチュエータに印加可能な駆動制御装置と、を備える液体吐出装置の制御方法であって、前記液体吐出装置が、
前記ノズルが閉鎖状態から開放状態へ移行する電圧を閾値電圧とした場合に、前記複数のノズルのうち、前記閾値電圧の高い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧が、前記閾値電圧の高い前記ノズルよりも前記閾値電圧の低い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧と比べて高くなるように前記アクチュエータに印加する前記閉鎖電圧を制御するステップを実行する、制御方法。
前記ノズルが閉鎖状態から開放状態へ移行する電圧を閾値電圧とした場合に、前記複数のノズルのうち、前記閾値電圧の高い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧が、前記閾値電圧の高い前記ノズルよりも前記閾値電圧の低い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧と比べて高くなるように前記アクチュエータに印加する前記閉鎖電圧を制御するステップを実行する、制御方法。
【請求項12】
液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルの各々を開閉する複数の弁体と、前記複数の弁体の各々を駆動する複数のアクチュエータと、を備える液体吐出ヘッドと、前記ノズルを前記弁体に閉鎖させる閉鎖電圧を前記アクチュエータに印加可能な駆動制御装置と、を備える液体吐出装置の制御方法であって、前記液体吐出装置が、
前記アクチュエータに印加する電圧の変化に対する前記ノズルの流量の変化が最大を示す電圧を中間電圧とした場合に、前記複数のノズルのうち、前記中間電圧の高い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧が、前記中間電圧の高い前記ノズルよりも前記中間電圧の低い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧と比べて高くなるように前記アクチュエータに印加する前記閉鎖電圧を制御するステップを実行する、制御方法。
前記アクチュエータに印加する電圧の変化に対する前記ノズルの流量の変化が最大を示す電圧を中間電圧とした場合に、前記複数のノズルのうち、前記中間電圧の高い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧が、前記中間電圧の高い前記ノズルよりも前記中間電圧の低い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧と比べて高くなるように前記アクチュエータに印加する前記閉鎖電圧を制御するステップを実行する、制御方法。
【請求項13】
液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルの各々を開閉する複数の弁体と、前記複数の弁体の各々を駆動する複数のアクチュエータと、を有する液体吐出ヘッドと、前記アクチュエータに電圧を印可することで前記ノズルを閉鎖状態と開放状態のいずれかとなるように前記液体吐出ヘッドを駆動制御する駆動制御装置と、を備える液体吐出システムの制御方法であって、
前記駆動制御装置に、前記アクチュエータに電圧を印可させ前記ノズルから前記液体を吐出させるステップと、
流量計に、前記ノズルから吐出される前記液体の流量を測定させるステップと、
前記流量と、前記液体吐出ヘッドに印加される電圧との関係を解析するステップと、
解析した結果を通信回路に前記駆動制御装置へフィードバックさせるステップと、
を実行し、
前記解析するステップは、前記流量計の測定結果と前記電圧とに基づいて、前記ノズルを前記閉鎖状態にする閉鎖電圧と前記ノズルを前記開放状態にする開放電圧との少なくとも一方を決定し、
前記フィードバックさせるステップは、決定した前記閉鎖電圧と前記開放電圧との少なくとも一方を前記駆動制御装置にフィードバックする、制御方法。
前記駆動制御装置に、前記アクチュエータに電圧を印可させ前記ノズルから前記液体を吐出させるステップと、
流量計に、前記ノズルから吐出される前記液体の流量を測定させるステップと、
前記流量と、前記液体吐出ヘッドに印加される電圧との関係を解析するステップと、
解析した結果を通信回路に前記駆動制御装置へフィードバックさせるステップと、
を実行し、
前記解析するステップは、前記流量計の測定結果と前記電圧とに基づいて、前記ノズルを前記閉鎖状態にする閉鎖電圧と前記ノズルを前記開放状態にする開放電圧との少なくとも一方を決定し、
前記フィードバックさせるステップは、決定した前記閉鎖電圧と前記開放電圧との少なくとも一方を前記駆動制御装置にフィードバックする、制御方法。
【請求項14】
液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルの各々を開閉する複数の弁体と、前記複数の弁体の各々を駆動する複数のアクチュエータと、を備える液体吐出ヘッドと、前記ノズルを前記弁体に閉鎖させる閉鎖電圧を前記アクチュエータに印加可能な駆動制御装置と、を備える液体吐出装置の制御プログラムであって、
前記ノズルが閉鎖状態から開放状態へ移行する電圧を閾値電圧とした場合に、前記複数のノズルのうち、前記閾値電圧の高い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧が、前記閾値電圧の高い前記ノズルよりも前記閾値電圧の低い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧と比べて高くなるように前記アクチュエータに印加する前記閉鎖電圧を制御するステップをコンピュータに実行させる、制御プログラム。
前記ノズルが閉鎖状態から開放状態へ移行する電圧を閾値電圧とした場合に、前記複数のノズルのうち、前記閾値電圧の高い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧が、前記閾値電圧の高い前記ノズルよりも前記閾値電圧の低い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧と比べて高くなるように前記アクチュエータに印加する前記閉鎖電圧を制御するステップをコンピュータに実行させる、制御プログラム。
【請求項15】
液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルの各々を開閉する複数の弁体と、前記複数の弁体の各々を駆動する複数のアクチュエータと、を備える液体吐出ヘッドと、前記ノズルを前記弁体に閉鎖させる閉鎖電圧を前記アクチュエータに印加可能な駆動制御装置と、を備える液体吐出装置の制御プログラムであって、
前記アクチュエータに印加する電圧の変化に対する前記ノズルの流量の変化が最大を示す電圧を中間電圧とした場合に、前記複数のノズルのうち、前記中間電圧の高い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧が、前記中間電圧の高い前記ノズルよりも前記中間電圧の低い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧と比べて高くなるように前記アクチュエータに印加する前記閉鎖電圧を制御するステップをコンピュータに実行させる、制御プログラム。
前記アクチュエータに印加する電圧の変化に対する前記ノズルの流量の変化が最大を示す電圧を中間電圧とした場合に、前記複数のノズルのうち、前記中間電圧の高い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧が、前記中間電圧の高い前記ノズルよりも前記中間電圧の低い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧と比べて高くなるように前記アクチュエータに印加する前記閉鎖電圧を制御するステップをコンピュータに実行させる、制御プログラム。
【請求項16】
液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルの各々を開閉する複数の弁体と、前記複数の弁体の各々を駆動する複数のアクチュエータと、を有する液体吐出ヘッドと、前記アクチュエータに電圧を印加することで前記ノズルを閉鎖状態と開放状態のいずれかとなるように前記液体吐出ヘッドを駆動制御する駆動制御装置と、を備える液体吐出システムの制御プログラムであって、
前記駆動制御装置に、前記アクチュエータに電圧を印可させ前記ノズルから前記液体を吐出させるステップと、
流量計に、前記ノズルから吐出される前記液体の流量を測定させるステップと、
前記流量と、前記液体吐出ヘッドに印加される電圧との関係を解析するステップと、
解析した結果を通信回路に前記駆動制御装置へフィードバックさせるステップと、
をコンピュータに実行させ、
前記解析するステップは、前記流量計の測定結果と前記電圧とに基づいて、前記ノズルを前記閉鎖状態にする閉鎖電圧と前記ノズルを前記開放状態にする開放電圧との少なくとも一方を決定し、
前記フィードバックさせるステップは、決定した前記閉鎖電圧と前記開放電圧との少なくとも一方を前記駆動制御装置にフィードバックする、制御プログラム。
前記駆動制御装置に、前記アクチュエータに電圧を印可させ前記ノズルから前記液体を吐出させるステップと、
流量計に、前記ノズルから吐出される前記液体の流量を測定させるステップと、
前記流量と、前記液体吐出ヘッドに印加される電圧との関係を解析するステップと、
解析した結果を通信回路に前記駆動制御装置へフィードバックさせるステップと、
をコンピュータに実行させ、
前記解析するステップは、前記流量計の測定結果と前記電圧とに基づいて、前記ノズルを前記閉鎖状態にする閉鎖電圧と前記ノズルを前記開放状態にする開放電圧との少なくとも一方を決定し、
前記フィードバックさせるステップは、決定した前記閉鎖電圧と前記開放電圧との少なくとも一方を前記駆動制御装置にフィードバックする、制御プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、駆動制御装置、液体吐出装置、液体吐出システム、制御方法および制御プログラムに関する。
【背景技術】
【0002】
従来から、液体を吐出する液体吐出ヘッドの駆動制御装置が知られている。
【0003】
特許文献１には、ニードル弁によりノズルを開閉するバルブ式の液体吐出ヘッドが開示されている。ニードル弁は先端に合成樹脂を備え、ノズルをニードル弁により閉鎖する際に合成樹脂を変形させるようにノズル板に押圧することで漏れなくノズルを閉鎖することができる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、従来の技術においては、部品加工または組み立ての精度等に起因してノズル板に対する弁体の押し込み量がばらつくため、吐出の繰り返しによってチャンネル間で弁体の摩耗量がばらつき、メンテナンス頻度が増加する傾向がある。
【0005】
そこで、本発明は、上記課題に鑑み、液体吐出ヘッドのメンテナンス頻度を低減させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上記課題を解決するため、本発明の一態様によれば、
液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルの各々を開閉する複数の弁体と、前記複数の弁体の各々を駆動する複数のアクチュエータと、を備える液体吐出ヘッドの駆動制御装置であって、前記駆動制御装置は、
前記ノズルを前記弁体に閉鎖させる閉鎖電圧を前記アクチュエータに印加可能であり、前記ノズルが閉鎖状態から開放状態へ移行する電圧を閾値電圧とした場合に、前記複数のノズルのうち、前記閾値電圧の高いノズルに対応する前記閉鎖電圧が、前記閾値電圧の高い前記ノズルよりも前記閾値電圧の低いノズルに対応する前記閉鎖電圧と比べて高くなるように前記アクチュエータに印加する前記閉鎖電圧を制御する、駆動制御装置が提供される。
液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルの各々を開閉する複数の弁体と、前記複数の弁体の各々を駆動する複数のアクチュエータと、を備える液体吐出ヘッドの駆動制御装置であって、前記駆動制御装置は、
前記ノズルを前記弁体に閉鎖させる閉鎖電圧を前記アクチュエータに印加可能であり、前記ノズルが閉鎖状態から開放状態へ移行する電圧を閾値電圧とした場合に、前記複数のノズルのうち、前記閾値電圧の高いノズルに対応する前記閉鎖電圧が、前記閾値電圧の高い前記ノズルよりも前記閾値電圧の低いノズルに対応する前記閉鎖電圧と比べて高くなるように前記アクチュエータに印加する前記閉鎖電圧を制御する、駆動制御装置が提供される。
【発明の効果】
【0007】
本発明の一態様によれば、液体吐出ヘッドのメンテナンス頻度を低減させることができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの斜視図である。
【図2】第１実施形態に係る液体吐出ヘッドのＡ－Ａ断面図である。
【図3】第１実施形態に係る液体吐出モジュールの断面図（ａ）及び拡大図（ｂ）である。
【図4】第１実施形態に係る液体吐出モジュールの動作図（ａ）～（ｆ）である。
【図5】第１実施形態に係る液体吐出モジュールの弁体位置と流量の関係図である。
【図6】第１実施形態に係る液体供給機構の構成図である。
【図7】第１実施形態に係る液体吐出装置の全体構成図である。
【図8】第１実施形態に係る液体吐出装置の制御構成のブロック図である。
【図9A】実施例に係る駆動波形を示す図（ａ）～（ｂ）である。
【図9B】実施例に係る各チャンネルの流量曲線を示す図（ａ）～（ｂ）である。
【図9C】実施例に係る測定電圧に対する流量変化量を示す図（ａ）～（ｂ）である。
【図10A】第１実施形態に係る液体吐出システムの構成図である。
【図10B】第１実施形態に係る液体吐出システムの動作を示すフローチャートである。
【図11】第２実施形態に係る塗布装置の構成図である。
【図12】第２実施形態に係る塗布装置の使用例を示す図（ａ）～（ｂ）である。
【図13】第３実施形態に係る電極製造方法および電極製造装置を示す図（ａ）～（ｂ）である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。各図面において、同一構成要素には同一符号を付与し、重複した説明を適宜省略する。各図面の説明において、上下左右等の方向を示す表現は一例であり、実施形態に係る構成要素の方向を制限するものではない。本発明の実施形態に関する用語の定義については、実施形態の最後に説明する。
【0010】
＜第１実施形態＞
先ず、第１実施形態に係る液体吐出ヘッド１０および液体吐出ユニット６０について説明する。
先ず、第１実施形態に係る液体吐出ヘッド１０および液体吐出ユニット６０について説明する。
【0011】
（液体吐出ヘッドおよび液体吐出ユニットの構成）
図１は第１実施形態に係る液体吐出ヘッド１０の斜視図である。液体吐出ヘッド１０は液体を吐出する。液体としては、例えば、インク、塗料、および表面処理液等が挙げられる。
図１は第１実施形態に係る液体吐出ヘッド１０の斜視図である。液体吐出ヘッド１０は液体を吐出する。液体としては、例えば、インク、塗料、および表面処理液等が挙げられる。
【0012】
液体吐出ヘッド１０はハウジング１１を備える。ハウジング１１は金属または樹脂等により形成される。ハウジング１１の上側には電気信号の通信用のコネクタ２９が設けられる。ハウジング１１の左右両側には、液体を液体吐出ヘッド１０内に供給するための供給ポート１２と、液体を液体吐出ヘッド１０から排出するための回収ポート１３と、が設けられている。
【0013】
図２は第１実施形態に係る液体吐出ヘッド１０のＡ－Ａ断面図である。液体吐出ヘッド１０には複数の弁体１７が設けられる。液体吐出ヘッド１０はコネクタ２９を介して駆動制御装置４０に電気的に接続される。駆動制御装置４０は複数の弁体１７の駆動を制御する。液体吐出ヘッド１０および駆動制御装置４０は、液体吐出ユニット６０を構成する。
【0014】
液体吐出ヘッド１０にはノズル形成部材としてのノズル板１５が設けられている。ノズル板１５はハウジング１１に接合される。ノズル板１５には液体を吐出する複数のノズル１４が設けられる。
【0015】
ハウジング１１には流路１６が設けられる。流路１６は、液体を供給ポート１２からノズル板１５へ流入し、複数のノズル１４が設けられたノズル板１５上を経て、回収ポート１３から流出する。液体は、矢印ａ１、矢印ａ２、及び矢印ａ３により示される方向へ流路１６を流れる。
【0016】
供給ポート１２と回収ポート１３との間には、液体吐出モジュール２０が設けられる。液体吐出モジュール２０は流路１６の液体をノズル１４から吐出する。液体吐出モジュール２０の個数はノズル１４の個数に対応する。なお、ノズル１４および液体吐出モジュール２０の個数は制限されない。ノズル１４および液体吐出モジュール２０の列数は１列ではなく複数列であってもよい。
【0017】
流路１６は複数の液体吐出モジュール２０に共通の流路として構成される。供給ポート１２は、加圧された状態の液体を外部から取り込み、矢印ａ１の方向に液体を送液して流路１６に供給する。流路１６は供給ポート１２からの液体を矢印ａ２の方向へ送液して各液体吐出モジュール２０に供給する。回収ポート１３は液体吐出モジュール２０のノズル１４から吐出されなかった液体を矢印ａ３の方向へ排出する。
【0018】
（液体吐出モジュールの構成）
図３は第１実施形態に係る液体吐出モジュール２０の断面図（ａ）及び拡大図（ｂ）である。液体吐出モジュール２０は、ノズル１４を開閉する弁体１７と、弁体１７を駆動するアクチュエータ１８と、を備える。
図３は第１実施形態に係る液体吐出モジュール２０の断面図（ａ）及び拡大図（ｂ）である。液体吐出モジュール２０は、ノズル１４を開閉する弁体１７と、弁体１７を駆動するアクチュエータ１８と、を備える。
【0019】
弁体１７は、例えば針状に形成されたニードル弁である。弁体１７の径は、封止の観点からノズル１４の径よりも大きいことが好ましい。弁体１７は先端部に弾性部材１７ａを備え、ノズル１４を十分に封止可能であることが好ましい。或いは、弁体１７の全体が弾性部材として構成されてもよい。
【0020】
弾性部材１７ａは、ノズル板１５に押圧された際に圧縮変形可能な樹脂またはゴムである。弾性部材１７ａは、液体に対して耐溶解性を有することが好ましい。ゴムとしては、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム等が挙げられる。樹脂としては、フッ素樹脂、塩素化ポリエーテル、フッ素系エラストマー、ポリエステル系エラストマー、ポリアミド系エラストマー等が挙げられる。中でも、耐薬品性、耐摩耗性、および耐熱性に優れた、フッ素ゴム、ＦＦＫＭ（パーフロロエラストマー）、およびＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）等が好ましい。
【0021】
弾性部材１７ａの弾性率としては、弾性部材１７ａの上下方向の厚さ、弁体１７のノズル板１５に対する垂直度、ノズル板１５の平面度、液体に含まれる顔料またはフィラー等の粒子の大きさ、および封止に必要な変形量等に基づいて適宜選択することができる。例えば、弾性部材１７ａとしては、液体に含まれる粒子と同程度の範囲で弾性変形するような弾性率を有する材質を選択することが好ましい。
【0022】
弾性部材１７ａは、例えば円柱状に形成されて弁体１７の先端面に固定される。或いは、弾性部材１７ａは、弁体１７の先端面から弁体１７の先端部近傍の側周面まで覆うようにコーティングされてもよい。
【0023】
ノズル１４に対する弾性部材１７ａの対向面には液溜まりとなる凹部が設けられてもよい。凹部の開口径をノズル１４の口径よりも大きくすることにより、液体の吐出速度、１回の吐出量、および直進性等の吐出性能を向上させることができる。また、弾性部材１７ａに対向するノズル１４のエッジ部分の摩耗を抑制することができる。
【0024】
弁体１７は軸受２１によって支持される。弁体１７は軸受２１によってノズル１４の位置へ案内される。弁体１７はノズル板１５を押圧して圧縮することでノズル１４を確実に封止することができる。
【0025】
アクチュエータ１８は、例えばジルコニアセラミックス等により形成された圧電素子であるが、発熱抵抗体等の電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、または、振動板と対向電極とにより構成される静電アクチュエータ等であってもよい。
【0026】
アクチュエータ１８は、ハウジング１１の内部に形成された駆動機構収容空間２３ａに収容される。駆動機構収容空間２３ａと流路１６とは２個の封止部材２２によって空間が分離されるが、封止部材２２の個数は限定されない。封止部材２２は駆動機構収容空間２３ａへの液体の流入を阻止する。封止部材２２としては、例えば、Ｏリング、パッキン等のシール材が挙げられる。
【0027】
アクチュエータ１８は、駆動機構収容空間２３ａで保持部材２３によって保持される。保持部材２３は、例えば、ゴム、樹脂、または金属等により形成された板ばねである。保持部材２３は、アクチュエータ１８の先端部を保持する先端部２３ｂと、アクチュエータ１８の後端部を保持する後端部２３ｃと、を備えることが好ましい。
【0028】
アクチュエータ１８は、保持部材２３の先端部２３ｂを介して弁体１７に連結される。またアクチュエータ１８は、保持部材２３の後端部２３ｃを介して規制部材１９に固定される。規制部材１９は、保持部材２３の後端部２３ｃを固定することでアクチュエータ１８の固定点として機能する。
【0029】
保持部材２３は、アクチュエータ１８の作動時にアクチュエータ１８の変形方向とは逆方向に変形する逆ばね機構として作用する。保持部材２３は、アクチュエータ１８の僅かな変形を増幅して弁体１７の移動距離を長くすることが可能である。
【0030】
アクチュエータ１８を作動させて弁体１７を後端方向へ移動させた場合は、弾性部材１７ａにより閉鎖されていたノズル１４が開放状態となり、ノズル１４から液体が吐出される。一方、アクチュエータ１８を作動させて弁体１７を先端方向へ移動させた場合は、弾性部材１７ａがノズル板１５に当接してノズル１４が閉鎖状態となり、ノズル１４から液体が吐出されなくなる。
【0031】
なお、対象物に対して液体を吐出する間は、液体の吐出効率が低下しないように、回収ポート１３からの液体の排出を一時的に行わないようにしてもよい。
【0032】
アクチュエータ１８は、電圧印加により収縮するタイプであってもよいし、または電圧印加により伸張するタイプであってもよい。
【0033】
電圧印加により収縮するアクチュエータ１８を用いる場合、アクチュエータ１８に電圧が印加されていない状態でノズル１４の閉鎖が可能な位置を見つけ、規制部材１９により保持部材２３の固定を行う。
【0034】
駆動制御装置４０によってアクチュエータ１８に電圧が印加されることにより、アクチュエータ１８が収縮して保持部材２３を介して弁体１７を引っ張る。弁体１７がノズル１４から離間してノズル１４を開放することにより、流路１６に加圧供給された液体がノズル１４から吐出される。
【0035】
一方、駆動制御装置４０によってアクチュエータ１８に電圧が印加されていないときは、弁体１７がノズル１４を閉鎖する。ノズル１４が閉鎖された状態では、流路１６に液体が加圧供給されていても、ノズル１４から液体が吐出されることはない。
【0036】
電圧印加により伸張するアクチュエータ１８を用いる場合、アクチュエータ１８に電圧が印加された状態でノズル１４の閉鎖が可能な位置を見つけ、規制部材１９により保持部材２３の固定を行う。
【0037】
駆動制御装置４０によってアクチュエータ１８に印加される電圧を小さくすることにより、アクチュエータ１８が収縮して保持部材２３を介して弁体１７を引っ張る。弁体１７がノズル１４から離間してノズル１４を開放することにより、流路１６に加圧供給された液体がノズル１４から吐出される。
【0038】
一方、駆動制御装置４０によってアクチュエータ１８に電圧が印加されるときは、弁体１７がノズル１４を閉鎖する。ノズル１４が閉鎖された状態では、流路１６に液体が加圧供給されていても、ノズル１４から液体が吐出されることはない。
【0039】
駆動制御装置４０は、アクチュエータ１８に印加される電圧を示す駆動波形を生成する駆動波形発生回路４１と、駆動波形の電圧値または電流値を必要な値まで増幅する増幅回路４２と、を備える。増幅回路４２により増幅された電圧がアクチュエータ１８に印加される。
【0040】
駆動制御装置４０は、電圧の印加によって弁体１７の開閉を制御することで液体吐出ヘッド１０からの液体の吐出を制御する。なお、駆動波形発生回路４１が十分な値の電圧を印加できる場合には増幅回路４２を省略してもよい。
【0041】
駆動波形発生回路４１は、アクチュエータ１８に印加する電圧の時間経過に伴う波形である駆動パルス波形を生成する。駆動波形発生回路４１は、例えばＰＷＭ（パルス幅変調）方式等により駆動パルス波形を生成してアクチュエータ１８に所望の電圧を印加する。
【0042】
駆動波形発生回路４１は、ＰＣ（Personal Computer）等の外部装置または装置内部の記憶装置からの画像データを入力し、画像データに基づいて駆動パルス波形を生成する。駆動波形発生回路４１は、例えば、画像データに含まれる画素の各色の濃度に応じた液滴サイズに対応する駆動パルス波形を生成する。
【0043】
また駆動波形発生回路４１は、ノズル板１５に対する弁体１７の過剰な押し込み、または、チャンネル間の弁体１７の押し込み量のばらつきを抑制するため、後述のようにアクチュエータ１８に印加する閉鎖電圧をチャンネル毎に設定した駆動パルス波形を生成する。
【0044】
また駆動波形発生回路４１は、チャンネル間の吐出量のばらつきを抑制するため、後述のようにアクチュエータ１８に印加する開放電圧をチャンネル毎に設定した駆動パルス波形を生成する。
【0045】
アクチュエータ１８は、駆動波形発生回路４１から出力された駆動波形に応じて圧縮または伸張することでノズル１４を弁体１７に開閉させる。
【0046】
（液体吐出モジュールの動作）
図４は第１実施形態に係る液体吐出モジュール２０の動作図（ａ）～（ｆ）である。アクチュエータ１８の各電極には一対のリード線２４が電気的に接続される。第１リード線２４ａおよび第２リード線２４ｂは駆動制御装置４０に電気的に接続される。
図４は第１実施形態に係る液体吐出モジュール２０の動作図（ａ）～（ｆ）である。アクチュエータ１８の各電極には一対のリード線２４が電気的に接続される。第１リード線２４ａおよび第２リード線２４ｂは駆動制御装置４０に電気的に接続される。
【0047】
図４（ａ）～（ｃ）は電圧印加により圧縮するタイプのアクチュエータ１８を用いた液体吐出モジュール２０の動作を示している。
【0048】
図４（ａ）には、ノズル１４を閉鎖する閉鎖電圧Ｖcとして、例えば０Ｖがアクチュエータ１８に印加されており、アクチュエータ１８が伸張した状態が示されている。弁体１７はノズル板１５に最も大きな圧力で接触してノズル１４を閉鎖している。
【0049】
すなわち、電圧印加により圧縮するタイプのアクチュエータ１８を用いる場合、閉鎖電圧Ｖcとは、弁体１７がノズル板１５を最も大きな圧力で押し込んでノズル１４を閉鎖するようにアクチュエータ１８に印加される最小電圧である。
【0050】
図４（ｂ）には、ノズル１４を閉鎖する閉鎖電圧Ｖcよりより高く、かつ開放電圧Ｖeより低い電圧がアクチュエータ１８に印加され、アクチュエータ１８が圧縮を開始した状態が示されている。弁体１７はノズル板１５に図４（ａ）の状態よりも小さい圧力で接触しているが、依然としてノズル１４を閉鎖している。
【0051】
すなわち、ノズル１４は閉鎖状態から開放状態へ移行する状態である。ノズル１４が閉鎖状態から開放状態へ移行する閾値電圧Ｖthは、例えばノズル１４から吐出される流量に基づいて３０Ｖとして算定することができる。
【0052】
図４（ｃ）には、開放電圧Ｖeである７２Ｖがアクチュエータ１８に印加されており、アクチュエータ１８が完全に圧縮した状態が示されている。弁体１７はノズル板１５から最も離間してノズル１４を閉鎖していない状態であり、加圧供給された液体２５がノズル１４から吐出される。
【0053】
すなわち、電圧印加により圧縮するタイプのアクチュエータ１８を用いる場合、開放電圧Ｖeとは、弁体１７がノズル板１５から最も離間してノズル１４を弁体１７に開放させるようにアクチュエータ１８に印加される最大電圧である。
【0054】
一方、図４（ｄ）～（ｆ）は電圧印加により伸張するタイプのアクチュエータ１８を用いた液体吐出モジュール２０の動作を示している。
【0055】
図４（ｄ）には、ノズル１４を閉鎖する閉鎖電圧Ｖcとして、例えば７２Ｖがアクチュエータ１８に印加されており、アクチュエータ１８が伸張した状態が示されている。弾性部材１７ａはノズル板１５に最も大きな圧力で接触してノズル１４を閉鎖している。
【0056】
すなわち、電圧印加により伸張するタイプのアクチュエータ１８を用いる場合、閉鎖電圧Ｖcとは、弁体１７がノズル板１５を最も大きな圧力で押し込んでノズル１４を閉鎖するようにアクチュエータ１８に印加される最大電圧である。
【0057】
図４（ｅ）には、ノズル１４を閉鎖する閉鎖電圧Ｖcよりより低く、かつ開放電圧Ｖeより高い電圧がアクチュエータ１８に印加され、アクチュエータ１８が圧縮を開始した状態が示されている。弾性部材１７ａはノズル板１５に図４（ｄ）の状態よりも小さい圧力で接触しているが、ノズル１４を依然として閉鎖している。
【0058】
すなわち、ノズル１４は閉鎖状態から開放状態へ移行する状態である。ノズル１４が閉鎖状態から開放状態へ移行する閾値電圧Ｖthは、例えばノズル１４から吐出される流量に基づいて５４Ｖとして算定することができる。
【0059】
図４（ｆ）には、開放電圧Ｖeである０Ｖがアクチュエータ１８に印加され、アクチュエータ１８が完全に圧縮した状態が示されている。弁体１７はノズル板１５から離間してノズル１４を閉鎖していない状態であり、加圧供給された液体２５がノズル１４から吐出される。
【0060】
すなわち、電圧印加により伸張するタイプのアクチュエータ１８を用いる場合、開放電圧Ｖeとは、弁体１７がノズル板１５から最も離間してノズル１４を弁体１７に開放させるようにアクチュエータ１８に印加される最小電圧である。
【0061】
図４（ａ）～（ｆ）の各々の状態は、駆動制御装置４０がアクチュエータ１８に対する印加電圧を設定することにより操作可能である。なお、図４（ａ）、図４（ｂ）、図４（ｄ）および図４（ｅ）に示すようにノズル１４が閉鎖した状態を「閉鎖状態」と称する。また、図４（ｃ）および図４（ｆ）に示すようにノズル１４が開放した状態を「開放状態」と称する。
【0062】
液体吐出モジュール２０の組み立て時には、液体２５の封止を確実にするため、弁体１７がノズル板１５に最も大きな圧力で接触している状態から電圧操作をしても、依然として封止状態が維持されるように規制部材１９を用いて弁体１７を位置決めする。
【0063】
また、弁体１７とノズル板１５との間の隙間は、例えば１５μｍを中心値として、±０．１μｍの範囲となるように、開放電圧Ｖeを制御する。斯かる制御を行うことで吐出滴量Ｍｊのばらつきを１％以下に制御することができる。なお、電圧範囲は、所望の吐出滴量Ｍｊの範囲に応じて適宜調整される。
【0064】
ここで、弁体１７の位置とノズル１４から吐出する流量との関係の一例について説明する。図５は第１実施形態に係る液体吐出モジュール２０の弁体位置と流量の関係図である。
【0065】
例えば弁体１７の位置が１μｍずれると、単位時間当たりの流量が大きく変化するため、部品加工または弁体１７の位置決めにおいては、サブミクロンオーダーの非常に高い精度が求められる。
【0066】
しかしながら、実際には部品加工または弁体１７の位置決めにおいて精度を求めるのは非常に困難であり、弁体１７の位置は所望の位置からずれを有するため、弁体１７がノズル板１５に過剰な圧力で接触した状態になってしまう場合がある。弁体１７の位置ずれはチャンネル毎にばらつきを有するため、電圧操作をしても封止状態を維持可能な電圧の幅はチャンネル毎にばらつきを持ってしまう。
【0067】
また、弁体１７は駆動制御装置４０からアクチュエータ１８への電圧信号によりｋＨｚオーダーの動作するため、接触するノズル板１５との間で摩耗を生じる。弁体１７が摩耗によって初期状態から変化すると、封止状態または吐出状態が変化してしまうため、部品交換または弁体１７の位置決め再調整のメンテナンスが必要となる。
【0068】
摩耗の度合いは弁体１７のノズル板１５へ接触圧力が大きいほど大きくなり、組み立て時の弁体１７の位置ばらつきは弁体１７の摩耗量のばらつきにつながる。そしてチャンネル間の摩耗量のばらつきが大きい場合、メンテナンス時期がずれてしまい、メンテナンス頻度が増加してしまう。
【0069】
そこで、駆動波形発生回路４１は、アクチュエータ１８に印加する電圧をチャンネル毎に設定することにより、部品加工または組み立ての精度等に起因する弁体１７の過剰な押し込み、および、チャンネル間の弁体１７の押し込み量のばらつきを抑制する。
【0070】
（液体吐出装置の構成）
次に、液体吐出装置の構成について説明する。図６は第１実施形態に係る液体供給機構３０の構成図である。液体吐出装置１００は、液体供給機構３０を備える。液体供給機構３０は、複数の液体吐出ヘッド１０の各々から吐出する各色の液体２５を収容する密閉容器としてのタンク３１を備える。
次に、液体吐出装置の構成について説明する。図６は第１実施形態に係る液体供給機構３０の構成図である。液体吐出装置１００は、液体供給機構３０を備える。液体供給機構３０は、複数の液体吐出ヘッド１０の各々から吐出する各色の液体２５を収容する密閉容器としてのタンク３１を備える。
【0071】
なお、第１液体吐出ヘッド１０ａ～第４液体吐出ヘッド１０ｄを総称する場合は液体吐出ヘッド１０と称し、第１液体２５ａ～第４液体２５ｄを総称する場合は液体２５と称し、第１タンク３１ａ～第４タンク３１ｄを総称する場合はタンク３１と称する。
【0072】
液体吐出ヘッド１０の供給ポート１２（図１または図２を参照）と、タンク３１とは、それぞれチューブ３２を介して接続される。タンク３１は、エアーレギュレータ３３を備えるパイプ３４を介してコンプレッサ３５に接続される。コンプレッサ３５がタンク３１に加圧空気を供給することにより、液体吐出ヘッド１０の内部の液体２５は加圧状態になり、ノズル１４を弁体１７に開放させればノズル１４から液体２５が吐出する。
【0073】
ここで、コンプレッサ３５、エアーレギュレータ３３を備えるパイプ３４、タンク３１、およびチューブ３２は、液体吐出ヘッド１０に対して液体２５を加圧供給する液体供給機構３０を構成する。
【0074】
【0075】
液体吐出装置１００は、液体が吐出される対象物Ｓに対向して設置される。液体吐出装置１００は、例えば、Ｘ軸レール１０１と、Ｘ軸レール１０１と交差するＹ軸レール１０２と、Ｘ軸レール１０１およびＹ軸レール１０２と交差するＺ軸レール１０３を備える。
【0076】
Ｙ軸レール１０２はＸ軸レール１０１がＹ方向に移動可能となるようにＸ軸レール１０１を保持する。Ｘ軸レール１０１はＺ軸レール１０３がＸ方向に移動可能となるようにＺ軸レール１０３を保持する。Ｚ軸レール１０３はキャリッジ７１がＺ方向に移動可能となるようにキャリッジ７１を保持する。キャリッジ７１は液体吐出ヘッド１０および駆動制御装置４０と共に液体吐出ユニット６０を構成する。
【0077】
液体吐出装置１００には、Ｘ軸レール１０１をＹ軸レール１０２に沿ってＹ方向に駆動するＹ方向駆動アクチュエータ８２が設けられる。また液体吐出装置１００には、Ｚ軸レール１０３をＸ軸レール１０１に沿ってＸ方向に動かすＸ方向駆動アクチュエータ７２が設けられる。さらに液体吐出装置１００には、キャリッジ７１をＺ軸レール１０３に沿ってＺ方向に駆動する第１Ｚ方向駆動アクチュエータ９２と、キャリッジ７１に対してヘッド保持体７０をＺ方向に駆動する第２Ｚ方向駆動アクチュエータ９３と、を備える。
【0078】
キャリッジ７１は液体吐出ヘッド１０を保持するヘッド保持体７０を備える。キャリッジ７１は第１Ｚ方向駆動アクチュエータ９２からの動力によりＺ軸レール１０３に沿ってＺ方向へ移動する。またヘッド保持体７０は第２Ｚ方向駆動アクチュエータ９３からの動力によりキャリッジ７１に対してＺ方向へ移動する。
【0079】
Ｘ方向駆動アクチュエータ７２、Ｙ方向駆動アクチュエータ８２、第１Ｚ方向駆動アクチュエータ９２、および第２Ｚ方向駆動アクチュエータ９３は、例えば電動モータ等の電動アクチュエータである。
【0080】
液体吐出装置１００は、キャリッジ７１をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸の方向に動かしながら、ヘッド保持体７０に設けられた液体吐出ヘッド１０から液体２５を吐出し、対象物Ｓに描画を行う。キャリッジ７１およびヘッド保持体７０のＺ方向への移動は、Ｚ方向と平行である必要はなく、少なくともＺ方向の成分を含んでいれば斜め方向への移動であってもよい。
【0081】
なお、液体が吐出される対象物Ｓの表面形状は平面として示されているが、平面に限定されない。対象物Ｓの表面形状は、車またはトラック等の車体、あるいは航空機の機体等のように曲率半径の大きい面または鉛直面に対して傾斜した面等であってもよい。
【0082】
また、ライン型インクジェットプリンタの場合のように、キャリッジ７１、各軸レールおよび各方向駆動アクチュエータは必ずしも必須の構成要素ではない。
【0083】
（液体吐出装置の制御構成）
次に、液体吐出装置１００の制御構成について説明する。図８は第１実施形態に係る液体吐出装置１００の制御構成のブロック図である。
次に、液体吐出装置１００の制御構成について説明する。図８は第１実施形態に係る液体吐出装置１００の制御構成のブロック図である。
【0084】
液体吐出装置１００は、コントローラ９０１と、ヘッド駆動制御部９０２と、を備えるが、ヘッド駆動制御部９０２のみを備える構成であってもよい。コントローラ９０１は、有線または無線を通じてＰＣ９０３等の外部装置と通信可能である。
【0085】
ＰＣ９０３は、ＲＩＰ部９０３１（Routing Information Protocol）と、レンダリング部９０３２と、を備える。なお、ＲＩＰ部９０３１とレンダリング部９０３２は、ＰＣ９０３に設けられるのではなく、コントローラ９０１のシステム制御部９０１１に設けられてもよい。
【0086】
ＲＩＰ部９０３１は、カラープロファイルまたはユーザの設定に応じて画像処理を行う機能を有する。レンダリング部９０３２は、対象物Ｓに描画する画像データを、スキャン毎（例えばキャリッジ７１が１回のＸ軸方向への移動で描画する単位毎）の画像データに分解する機能を有する。
【0087】
ＰＣ９０３には、入力装置９０３３が接続される。入力装置９０３３としては、キーボード、マウス、およびタッチパネル等が挙げられる。入力装置９０３３は、対象物Ｓに描画する画像データ、座標データの設定、描画モードの選択等のユーザからの入力を受け付ける。
【0088】
コントローラ９０１は、システム制御部９０１１と、画像データ格納部９０１２と、メモリ制御部９０１３と、吐出周期信号生成部９０１４と、キャリッジ制御部９０１５と、を備える。
【0089】
システム制御部９０１１は、ＰＣ９０３から画像データまたは制御指令を受信し、液体吐出装置１００全体の動作を制御する。画像データ格納部９０１２は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、またはＨＤＤ（Hard Disk DriＶe）等の記憶装置を備え、ＰＣ９０３から受信した画像データ等を格納する。
【0090】
メモリ制御部９０１３は、システム制御部９０１１からの制御指令に基づき、画像データ格納部９０１２への画像データ等の書き込み、画像データ格納部９０１２からの画像データ等の読み出しを行う。
【0091】
吐出周期信号生成部９０１４は、エンコーダセンサ１０９の出力信号と、ＰＣ９０３から受信した画像データの解像度を示す情報とに基づき、液体の吐出周期信号を生成する。吐出周期信号には、例えばキャリッジ７１が１回のＸ軸方向への移動で描画する単位毎（スキャン毎）の周期パルスが含まれる。
【0092】
エンコーダセンサ１０９は、例えば、液体吐出装置１００のＸ軸レール１０１に沿って設置されたリニアエンコーダのスリットを光学的に検出して出力信号を発生する。なお、エンコーダセンサ１０９は、少なくともキャリッジ７１のＸ方向の位置を検知できる構成であればよく、リニアエンコーダ方式に限るものではない。例えばエンコーダセンサ１０９は、Ｘ方向駆動アクチュエータ７２の一例であるモータの回転をカウントするロータリーエンコーダ方式であってもよい。
【0093】
キャリッジ制御部９０１５は、エンコーダセンサ１０９の出力信号に基づきキャリッジ７１の位置または速度等を算出して、Ｘ方向駆動アクチュエータ７２の速度を制御する。
【0094】
以上のようにコントローラ９０１は、システム制御部９０１１、画像データ格納部９０１２、メモリ制御部９０１３、吐出周期信号生成部９０１４、およびキャリッジ制御部９０１５等を備える。
【0095】
コントローラ９０１は、プロセッサ等の演算処理装置およびメモリ等の記憶装置を有し、記憶装置内に事前に記録されているプログラムを演算処理装置が実行することで、これら各機能部を実現する。
【0096】
ヘッド駆動制御部９０２は、駆動制御装置４０の一例であり、液体吐出ヘッド１０の駆動を制御する。なお、駆動制御装置４０は、コントローラ９０１およびヘッド駆動制御部９０２を含んで構成されてもよい。
【0097】
ヘッド駆動制御部９０２は、図３で示したように、駆動波形発生回路４１と、増幅回路４２と、を備える。駆動波形発生回路４１は、駆動波形データ格納部９０２１と、駆動波形生成部９０２２と、を備える。増幅回路４２は、電圧増幅部９０２４と、電流増幅部９０２５と、を備える。
【0098】
駆動波形データ格納部９０２１は、例えばフラッシュメモリ等の不揮発性メモリを備え、液体吐出ヘッド１０を駆動するための駆動波形データを格納する。駆動波形データには、アクチュエータ１８に印加される電圧を示すデータが含まれる。
【0099】
アクチュエータ１８に印加される電圧には、弁体１７がノズル板１５を最も大きな圧力で押し込んでノズル１４を閉鎖する閉鎖電圧と、弁体１７がノズル板１５から最も離間してノズル１４を開放するように開放電圧と、が含まれる。
【0100】
駆動波形生成部９０２２は、例えばマイクロコンピュータを主体に構成される。マイクロコンピュータは、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、およびＤ／Ａコンバータ等を備える。マイクロコンピュータは、ＲＯＭ等に記憶されているプログラムをＲＡＭにロードし、プログラムをＣＰＵで実行させることにより、各種制御を実行する。
【0101】
マイクロコンピュータは、例えばＰＷＭ方式等により、アクチュエータ１８に印加される電圧を示す駆動パルス波形を生成する。なお、駆動波形生成部９０２２は、ＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）またはＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等を用いて駆動パルス波形を生成してもよい。
【0102】
駆動波形生成部９０２２は、駆動パルス波形を生成することでアクチュエータ１８に印加する電圧を制御する。ＰＷＭ方式の場合、駆動波形生成部９０２２は、駆動パルスのデューティ比を変更することにより、アクチュエータ１８に印加する電圧を調節する。
【0103】
駆動波形生成部９０２２は、コントローラ９０１からの画像データと、駆動波形データ格納部９０２１から読み出した駆動波形データと、に基づき、吐出周期信号生成部９０１４からの吐出周期信号を契機として駆動パルス波形を生成する。
【0104】
例えば、駆動波形生成部９０２２は、次の吐出周期で液体の吐出を行う画像データを特定し、特定した画像データに含まれる画素毎の各色の濃度に応じた液滴サイズに対応する駆動パルス波形を生成する。
【0105】
また駆動波形生成部９０２２は、ノズル板１５に対する弁体１７の過剰な押し込み、または、チャンネル間の弁体１７の押し込み量のばらつきを抑制するため、アクチュエータ１８に印加する閉鎖電圧Ｖcをチャンネル毎に設定した駆動パルス波形を生成する。
【0106】
また駆動波形生成部９０２２は、チャンネル間の吐出量のばらつきを抑制するため、アクチュエータ１８に印加する開放電圧Ｖeをチャンネル毎に設定した駆動パルス波形を生成する。
【0107】
駆動波形生成部９０２２は、生成した駆動パルス波形を電圧増幅部９０２４に出力する。電圧増幅部９０２４は、例えばオペアンプを主体に構成される。電圧増幅部９０２４は、駆動波形の電圧を増幅して電流増幅部９０２５に出力する。
【0108】
電流増幅部９０２５は、例えばトランジスタ増幅回路を主体に構成される。電流増幅部９０２５は、電圧増幅部９０２４で増幅された駆動波形に基づいて電流を増幅し、アクチュエータ１８に所望の電圧を印加する。
【0109】
以上のようにヘッド駆動制御部９０２は、駆動波形データ格納部９０２１、駆動波形生成部９０２２、電圧増幅部９０２４、および電流増幅部９０２５等を備える。ヘッド駆動制御部９０２で生成された駆動波形により、アクチュエータ１８の駆動がチャンネル毎に制御される。なお、ヘッド駆動制御部９０２は、ＤＣ－ＤＣコンバータ（直流－直流変換器）を主体に構成されてもよい。
【実施例0110】
以下、実施例により本発明の技術をさらに具体的に説明するが、本発明の技術は次の実施例により限定されるものではない。
【0111】
（実施例１－２）
実施例１－２は、閉鎖電圧Ｖcから開放電圧Ｖeへ移行する閾値電圧Ｖthに基づいて閉鎖電圧Ｖcを設定することにより、ノズル板１５への弁体１７の過剰な押し込みを抑制すると共に、チャンネル間の弁体１７の押し込み量のばらつきを抑制する。
実施例１－２は、閉鎖電圧Ｖcから開放電圧Ｖeへ移行する閾値電圧Ｖthに基づいて閉鎖電圧Ｖcを設定することにより、ノズル板１５への弁体１７の過剰な押し込みを抑制すると共に、チャンネル間の弁体１７の押し込み量のばらつきを抑制する。
【0112】
まず、電圧昇圧により弁体１７がノズル１４を開放する実施例１について説明する。
【0113】
実施例１では、アクチュエータ１８として、電圧印加により収縮するタイプの圧電素子を用いた。弁体１７の直径を７００μｍとし、弾性部材１７ａの材料にはＰＴＦＥを用いた。ノズル板１５の厚さは０．５ｍｍであり、ノズル１４の径を１００μｍとした。
【0114】
弁体１７を位置決めした後、液体吐出ヘッド１０の複数のノズル１４のそれぞれに対応するアクチュエータ１８の閾値電圧Ｖthを計測した。閾値電圧Ｖthの計測は、液体２５に替えて圧縮空気を液体吐出ヘッド１０に供給し、圧縮空気の流量を計測することで行った。圧縮空気を用いて計測することで、ノズル１４が閉鎖した状態から開放する状態に推移した状態を感度良く計測することができる。なお、閾値電圧Ｖthの計測は、液体２５を液体吐出ヘッド１０から吐出させ、液体２５の流量を計測することでも計測可能である。
【0115】
閾値電圧Ｖthの計測の条件を以下に説明する。圧力が０．４５ＭＰａの圧縮空気をコンプレッサ３５からタンク３１へ圧送することで圧縮空気を液体吐出ヘッド１０へ供給した。そして駆動制御装置４０にて、各チャンネルの駆動波形として、図９Ａ（ａ）に示す測定電圧Ｖth0が時間に応じてステップ状に上昇する駆動波形を生成した。ここで、測定電圧Ｖth0は、閾値電圧Ｖthの計測のために可変であり、０Ｖから７２Ｖの範囲においてΔＶ＝１Ｖの単位で調整可能な電圧である。図９Ａ（ａ）に示す通り、測定電圧Ｖth0は、測定電圧の最大値である７２Ｖまで、３秒ごとにΔＶ＝１Ｖずつ昇圧する。
【0116】
駆動波形としての矩形波の測定電圧Ｖth0を０Ｖから７２Ｖまで昇圧速度１Ｖ／３ｓにて第１チャンネルch1および第２チャンネルch2の各々に印加し、各チャンネルの単位時間当たりの圧縮空気の流量を測定し、図９Ｂ（ａ）に示す流量曲線を取得した。ここで、圧縮空気の流量は供給ポート１２に流量計を配置して計測しても良く、ノズル１４に流量系を取り付けて計測しても良い。
【0117】
図９Ｂ（ａ）は実施例１に係る各チャンネルの測定電圧Ｖth0と流量の関係を示している。閾値電圧Ｖthは、測定電圧Ｖth0を０Ｖから上昇させた際に、流量が増加し始める直前の測定電圧として求めることができる。本実施例では、流量測定の最小単位を１ｍｌ／ｍｉｎとしているので、閾値電圧Ｖthは、流量を０ｍｌに維持できる最大の測定電圧である。なお、流量の最小単位を１ｍｌ／ｍｉｎとし、電圧の最小単位を１Ｖとしたが、最小単位はこれに限定されない。
【0118】
図９Ｂ（ａ）に示す第１チャンネルch1の流量は、測定電圧が０～３０Ｖの範囲で０ｍｌ／ｍｉｎであり、３１Ｖ以上で流量が０ｍｌ／ｍｉｎを超える。従って、第１チャネルch1の閾値電圧Ｖｔｈ１は、３０Ｖである。同様に、第２チャンネルch2の流量は、測定電圧が０～１８Ｖの範囲で０ｍｌ／ｍｉｎであり、１９Ｖ以上で流量が０ｍｌ／ｍｉｎを超える。従って、第２チャネルch2の閾値電圧Ｖｔｈ２は、１８Ｖである。従って、各チャンネルにおけるノズル１４の閉鎖状態から開放状態に移行する閾値電圧Ｖthは、第１チャンネルch1の閾値電圧Ｖth1が３０Ｖであり、第２チャンネルch2の閾値電圧Ｖth2が１８Ｖであった。
【0119】
・閾値電圧Ｖth1＝３０Ｖ
・閾値電圧Ｖth2＝１８Ｖ
・閾値電圧Ｖth2＝１８Ｖ
【0120】
第１チャンネルch1の閾値電圧Ｖth1と第２チャンネルch2の閾値電圧Ｖth2との大小関係はＶth1＞Ｖth2である。そこで、第１チャンネルch1の閉鎖電圧Ｖc1と第２チャンネルch2の閉鎖電圧Ｖc2との大小関係もＶc1＞Ｖc2となるように設定した。具体的には、各チャンネルch1,ch2ともに閉鎖電圧Ｖcを閾値電圧Ｖth－１２Ｖに設定した。
【0121】
すなわち、表１に示すように、閾値電圧Ｖthの高い第１チャンネルch1に対応する閉鎖電圧Ｖc1が、第１チャンネルch1よりも閾値電圧Ｖthの低い第２チャンネルch2に対応する閉鎖電圧Ｖc2と比べて高くなるように、各閉鎖電圧Ｖc1，Ｖc2を設定した。
【0122】
【表1】
【0123】
つまり閾値電圧Ｖthの高い第１チャンネルch1に対応する閉鎖電圧Ｖc1と閾値電圧Ｖth1との差（１２Ｖ）を、閾値電圧Ｖthの低い第２チャンネルch2に対応する閉鎖電圧Ｖc2と閾値電圧Ｖth2との差と略同じに設定した。なお、閉鎖電圧Ｖcと閾値電圧Ｖthの差は略同じであればよく、例えば閾値電圧Ｖthの測定電圧の最小単位以内（所定の値以下とする一例）とすることができる。又は、駆動制御装置４０が設定できる閉鎖電圧Ｖc，開放電圧Ｖeの最小単位以内（所定の値以内とする例）とすることができる。本実施例では、測定電圧、閉鎖電圧Ｖｃおよび開放電圧Ｖｅの最小単位が１Ｖであるため、±０．５Ｖの範囲であれば同一とみなすことができる。
【0124】
すなわち、（Ｖth1－Ｖc1）と（Ｖth2－Ｖc2）との差が、１Ｖ以下であれば、同一とみなすことができる。また、閾値電圧Ｖthに測定誤差がある場合は、各チャンネルの閉鎖電圧Ｖcと閾値電圧Ｖthの差が、Ｖthの測定誤差以内であれば略同一とみなすことができる。すなわち、（Ｖth1－Ｖc1）と（Ｖth2－Ｖc2）との差が、Ｖthの測定誤差以内、例えばＶthの測定値の標準偏差の６倍以内（±３σの範囲）を略同一とすることができる。
【0125】
各チャンネルch1,ch2の閉鎖電圧Ｖcと閾値電圧Ｖthとの差（１２Ｖ）は、概ね同じであればよいが、同じであることが好ましい。各チャンネルch1,ch2の閉鎖電圧Ｖcと閾値電圧Ｖthとの差（１２Ｖ）を同じにすることにより、弁体１７の押し込み量のばらつきを精度良く抑制することが可能である。
【0126】
各チャンネルch1，ch2において、閉鎖電圧Ｖc1、Ｖc2をそれぞれ閾値電圧Vth1以下,Vth2以下とすることでノズル１４を封止できていることを確認した。第１チャンネルch1の閉鎖電圧Ｖc1を１８Ｖに設定し、第２チャンネルch2の閉鎖電圧Ｖc2を６Ｖに設定することでノズル板１５への弁体１７の過剰な押し込みを抑制することができた。
【0127】
また、弁体１７の押し込み量と比例する閉鎖可能な電圧範囲（＝閾値電圧Ｖth－閉鎖電圧Ｖc）を第１チャンネルch1，第２チャンネルch2ともにΔ１２Ｖとすることができた。従って、初期電圧の閉鎖可能な電圧範囲（第１チャンネルch1:Δ３０Ｖ、第２チャンネルch2:Δ１８Ｖ）と比べて弁体１７の押し込み量のばらつきを低減させることができた。
【0128】
つまり弁体１７の耐久性のばらつきを抑制することができるので、メンテナンス頻度を低減させることが可能となった。
【0129】
また、各チャンネルch1，ch2ともに閉鎖電圧Ｖcからの印加電圧が１３Ｖの際に吐出開始（開放状態）となり、チャンネルch1，ch2間の吐出開始のばらつきも抑制することができた。
【0130】
なお、本実施例では、第１チャネルch1と第２チャネルch2の２個のチャネルを調整する例を示したが、調整するチャネル数は３個以上であってもよい。例えば、図１および図２に示す液体吐出ヘッド１０は、８個のチャネルを有するので、８個のチャネルそれぞれについて閾値電圧Ｖthを計測し、閉鎖電圧Ｖcを設定しても良い。
【0131】
また、閾値電圧Ｖthは、圧縮空気を液体吐出ヘッド１０の供給ポート１２に供給することで計測する例を示したが、測定に用いる流体は圧縮空気に限定されない。例えば、液体吐出ヘッド１０が吐出する液体（例えばインクや塗料）を用いて、閾値電圧Ｖthを計測しても良い。
【0132】
次に、電圧降圧により弁体１７がノズル１４を開放する実施例２について説明する。
【0133】
実施例２では、アクチュエータ１８として、電圧印加により伸張するタイプの圧電素子を用いた。弁体１７の直径を７００μｍとし、弾性部材１７ａの材料にはＰＴＦＥを用いた。ノズル板１５の厚さは０．５ｍｍであり、ノズル１４の径を１００μｍとした。
【0134】
弁体１７を位置決めした後、液体吐出ヘッド１０の複数のノズル１４のそれぞれに対応するアクチュエータ１８の閾値電圧Ｖthを計測した。閾値電圧Ｖthの計測は、液体２５に替えて圧縮空気を液体吐出ヘッド１０に供給し、圧縮空気の流量を計測することで行った。圧縮空気を用いて計測することで、ノズル１４が閉鎖した状態から開放する状態に推移した状態を感度良く計測することができる。なお、閾値電圧Ｖthの計測は、液体２５を液体吐出ヘッド１０から吐出させ、液体２５の流量を計測することでも計測可能である。
【0135】
閾値電圧Ｖthの計測の条件を以下に説明する。圧力が０．４５ＭＰａの圧縮空気をコンプレッサ３５からタンク３１へ供給することで圧縮空気を液体吐出ヘッド１０へ供給した。そして駆動制御装置４０にて、各チャンネルch1,ch2の駆動波形として、図９Ａ（ｂ）に示す測定電圧Ｖth0が時間に応じてステップ状に下降する駆動波形を生成した。ここで、測定電圧Ｖth0は、閾値電圧Ｖthの計測のために可変であり、０Ｖから７２Ｖの範囲においてΔＶ＝１Ｖの単位で調整可能な電圧である。図９Ａ（ｂ）に示す通り、測定電圧Ｖth0は、測定電圧の最大値である７２Ｖから最小値の０Ｖまで、３秒ごとにΔＶ＝１Ｖずつ降圧する。
【0136】
駆動波形としての矩形波の測定電圧Ｖth0を７２Ｖから０Ｖまで降圧速度ΔＶ＝１Ｖ／３ｓにて第１チャンネルch1および第２チャンネルch2の各々に印加し、各チャンネルの単位時間当たりの圧縮空気の流量を測定し、図９Ｂ（ｂ）に示す流量曲線を得た。ここで、圧縮空気の流量は供給ポート１２に流量計を配置して計測しても良く、ノズル１４に流量系を取り付けて計測しても良い。
【0137】
図９Ｂ（ｂ）は実施例２に係る各チャンネルの測定電圧Ｖth0と流量の関係を示している。閾値電圧Ｖthは、測定電圧Ｖth0を７２Ｖから下降させた際に、流量が増加し始める直前の測定電圧として求めることができる。本実施例では、流量測定の最小単位を１ｍｌ／ｍｉｎとしているので、閾値電圧Ｖthは、流量を０ｍｌに維持できる最小の測定電圧である。なお、流量の最小単位を１ｍｌ／ｍｉｎとし、電圧の最小単位を１Ｖとしたが、最小単位はこれに限定されない。
【0138】
図９Ｂ（ｂ）に示す第１チャンネルch1の流量は、測定電圧が７２～５４Ｖの範囲で０ｍｌ／ｍｉｎであり、５３Ｖ以下で流量が０ｍｌ／ｍｉｎを超える。従って、第１チャネルch1の閾値電圧Ｖth1は、５４Ｖである。同様に、第２チャンネルch2の流量は、測定電圧が７２～６６Ｖの範囲で０ｍｌ／ｍｉｎであり、６５Ｖ以下で流量が０ｍｌ／ｍｉｎを超える。従って、第２チャネルch2の閾値電圧Ｖth2は、６６Ｖである。従って、各チャンネルにおけるノズル１４の閉鎖状態から開放状態に移行する閾値電圧Ｖthは、第１チャンネルch1の閾値電圧Ｖth1が５４Ｖであり、第２チャンネルch2の閾値電圧Ｖth2が６６Ｖとなった。
【0139】
・閾値電圧Ｖth1＝５４Ｖ
・閾値電圧Ｖth2＝６６Ｖ
・閾値電圧Ｖth2＝６６Ｖ
【0140】
第１チャンネルch1の閾値電圧Ｖth1と第２チャンネルch2の閾値電圧Ｖth2との大小関係はＶth1＜Ｖth2である。そこで、第１チャンネルch1の閉鎖電圧Ｖc1と第２チャンネルch2の閉鎖電圧Ｖc2との大小関係もＶc1＜Ｖc2となるように設定した。具体的には、各チャンネルch1,ch2ともに閉鎖電圧Ｖcを閾値電圧Ｖth＋４Ｖに設定した。
【0141】
すなわち、表２に示すように、閾値電圧Ｖthの高い第２チャンネルch2に対応する閉鎖電圧Ｖc2が、第２チャンネルch2よりも閾値電圧Ｖthの低い第１チャンネルch1に対応する閉鎖電圧Ｖc1と比べて高くなるように、各閉鎖電圧Ｖc1，Ｖc2を設定した。
【0142】
【表2】
【0143】
つまり閾値電圧Ｖthの高い第２チャンネルch2に対応する閉鎖電圧Ｖc2と閾値電圧Ｖth2との差（４Ｖ）を、閾値電圧Ｖthの低い第１チャンネルch1に対応する閉鎖電圧Ｖc1と閾値電圧Ｖth1との差と略同じに設定した。なお、閉鎖電圧Ｖcと閾値電圧Ｖthの差は略同じであればよく、例えば閾値電圧Ｖthの測定電圧の最小単位以内（所定の値以下とする一例）とすることができる。又は、駆動制御装置４０が設定できる閉鎖電圧Ｖｃ，開放電圧Ｖｅの最小単位以内（所定の値以内とする例）とすることができる。本実施例では、測定電圧、閉鎖電圧Ｖｃおよび開放電圧Ｖｅの最小単位が１Ｖであるため、±０．５Ｖの範囲であれば同一とみなすことができる。
【0144】
すなわち、（Ｖth1－Ｖc1）と（Ｖth2－Ｖc2）との差が、１Ｖ以下であれば、同一とみなすことができる。また、閾値電圧Ｖthに測定誤差がある場合は、各チャンネルの閉鎖電圧Ｖcと閾値電圧Ｖthの差が、Ｖthの測定誤差以内であれば略同一とみなすことができる。すなわち、（Ｖth1－Ｖc1）と（Ｖth2－Ｖc2）との差が、Ｖthの測定誤差以内、例えばＶthの測定値の標準偏差の６倍以内（±３σの範囲）を略同一とすることができる。
【0145】
各チャンネルch1,ch2の閉鎖電圧Ｖcと閾値電圧Ｖthとの差（４Ｖ）は、概ね同じであればよいが、同じであることが好ましい。各チャンネルch1,ch2の閉鎖電圧Ｖcと閾値電圧Ｖthとの差（４Ｖ）を同じにすることにより、弁体１７の押し込み量のばらつきを精度良く抑制することが可能である。
【0146】
各チャンネルch1，ch2において、閉鎖電圧Ｖc1，Ｖc2をそれぞれ閾値電圧Vth1以上，Vth2以上とすることでノズル１４を封止できていることを確認した。第１チャンネルch1の閉鎖電圧Ｖc1を５８Ｖに設定し、第２チャンネルch2の閉鎖電圧Ｖc2を７０Ｖに設定することでノズル板１５への弁体１７の過剰な押し込み量を低減することができた。
【0147】
また、弁体１７の押し込み量と比例する閉鎖可能な電圧範囲（＝閾値電圧Ｖth－閉鎖電圧Ｖc）を第１チャンネルch1，第２チャンネルch2ともにΔ４Ｖとすることができた。従って、初期電圧の印加前の閉鎖可能な電圧範囲（第１チャンネルch1:Δ１８Ｖ、第２チャンネルch2:Δ６Ｖ）と比べて弁体１７の押し込み量のばらつきを低減させることができた。
【0148】
つまり弁体１７の耐久性のばらつきを抑制することができるので、メンテナンス頻度を低減させることが可能となった。
【0149】
また、各チャンネルch1，ch2ともに閉鎖電圧からの印加電圧が－５Ｖの際に吐出開始（開放状態）となり、チャンネルch1，ch2間の吐出開始のばらつきも抑制することができた。
【0150】
なお、本実施例では、第１チャネルch1と第２チャネルch2の２個のチャネルを調整する例を示したが、調整するチャネル数は３個以上であってもよい。例えば、図１および図２に示す液体吐出ヘッド１０は、８個のチャネルを有するので、８個のチャネルそれぞれについて閾値電圧Ｖthを計測し、閉鎖電圧Ｖcを設定しても良い。
【0151】
また、閾値電圧Ｖthは、圧縮空気を液体吐出ヘッド１０の供給ポート１２に供給することで計測する例を示したが、測定に用いる流体は圧縮空気に限定されない。例えば、液体吐出ヘッド１０が吐出する液体（例えばインクや塗料）を用いて、閾値電圧Ｖthを計測しても良い。
【0152】
（実施例３－４）
実施例３－４は、閉鎖電圧Ｖcから開放電圧Ｖeへ移行する閾値電圧Ｖthに基づいて開放電圧Ｖeを設定することにより、チャンネル間の吐出量のばらつきを抑制する。
実施例３－４は、閉鎖電圧Ｖcから開放電圧Ｖeへ移行する閾値電圧Ｖthに基づいて開放電圧Ｖeを設定することにより、チャンネル間の吐出量のばらつきを抑制する。
【0153】
まず、電圧昇圧により弁体１７がノズル１４を開放する実施例３について説明する。
【0154】
実施例３は、実施例１と同じ条件である。初期電圧の範囲は、実施例１により閉鎖電圧Ｖcを設定したものとし、第１チャンネルch1の電圧範囲を１８Ｖ－７２Ｖとし、第２チャンネルch2の電圧範囲を６Ｖ－７２Ｖとした。図９Ｂ（ａ）の流量曲線から、各チャンネルch1,ch2における閾値電圧Ｖthは、次の通りとなった。
【0155】
・閾値電圧Ｖth1＝３０Ｖ
・閾値電圧Ｖth2＝１８Ｖ
・閾値電圧Ｖth2＝１８Ｖ
【0156】
第１チャンネルch1の開放電圧Ｖe1と第２チャンネルch2の開放電圧Ｖe2の大小関係を、第１チャンネルch1の閾値電圧Ｖth1と第２チャンネルch2の閾値電圧Ｖth2の大小関係と同じになるように設定した。具体的には、第２チャンネルch2の開放電圧Ｖe2を６０Ｖに設定した。
【0157】
・開放電圧Ｖe1＝７２Ｖ
・開放電圧Ｖe2＝６０Ｖ
・開放電圧Ｖe2＝６０Ｖ
【0158】
すなわち表３に示すように、閾値電圧Ｖthの高い第１チャンネルch1に対応する開放電圧Ｖe1が第１チャンネルch1よりも閾値電圧Ｖthの低い第２チャンネルch2に対応する開放電圧Ｖe2と比べて高くなるように第２チャンネルch2の開放電圧Ｖe2を設定した。
【0159】
【表3】
【0160】
つまり閾値電圧Ｖthの高い第１チャンネルch1に対応する開放電圧Ｖe1と閾値電圧Ｖth1との差（４２Ｖ）を、閾値電圧Ｖthの低い第２チャンネルch2に対応する開放電圧Ｖe2と閾値電圧Ｖth2との差と略同じに設定した。なお、開放電圧Ｖeと閾値電圧Ｖthの差は略同じであればよく、例えば閾値電圧Ｖthの測定電圧の最小単位以内（所定の値以下とする一例）とすることができる。又は、駆動制御装置４０が設定できる閉鎖電圧Ｖｃ，開放電圧Ｖｅの最小単位以内（所定の値以内とする例）とすることができる。本実施形態では、測定電圧，閉鎖電圧Ｖｃおよび開放電圧Ｖｅの最小単位が１Ｖであるため、±０．５Ｖの範囲であれば同一とみなすことができる。
【0161】
すなわち、（Ｖe1－Ｖth1）と（Ｖe2－Ｖth2）との差が、１Ｖ以下であれば、同一とみなすことができる。また、閾値電圧Ｖthに測定誤差がある場合は、各チャンネルの閉鎖電圧Ｖcと閾値電圧Ｖthの差が、Ｖthの測定誤差以内であれば略同一とみなすことができる。すなわち、（Ｖe1－Ｖth1）と（Ｖe2－Ｖth2）との差が、Ｖthの測定誤差以内、例えばＶthの測定値の標準偏差の６倍以内（±３σの範囲）を略同一とすることができる。
【0162】
各チャンネルch1,ch2の開放電圧Ｖeと閾値電圧Ｖthとの差（４２Ｖ）は、概ね同じであればよいが、同じであることが好ましい。各チャンネルch1,ch2の開放電圧Ｖeと閾値電圧Ｖthとの差（４２Ｖ）を同じにすることにより、チャンネルch1,ch2間の吐出量のばらつきを精度良く抑制することが可能である。
【0163】
以上により、各チャンネルch1,ch2の電圧範囲（閉鎖電圧Ｖcと開放電圧Ｖeとの差）をΔ５４Ｖという等しい範囲に揃えることができ、吐出量のばらつきを抑制することができた。
【0164】
次に、電圧降圧により弁体１７がノズル１４を開放する実施例４について説明する。
【0165】
実施例４は、実施例２と同じ条件である。初期電圧の範囲は、実施例２により閉鎖電圧Ｖcを設定したものとし、第１チャンネルch1の電圧範囲を５８Ｖ－０Ｖとし、第２チャンネルch2の電圧範囲を７０Ｖ－０Ｖとした。図９Ｂ（ｂ）の流量曲線から、各チャンネルにおける閾値電圧Ｖthは、次の通りとなった。
【0166】
・閾値電圧Ｖth1＝５４Ｖ
・閾値電圧Ｖth2＝６６Ｖ
・閾値電圧Ｖth2＝６６Ｖ
【0167】
第１チャンネルch1の開放電圧Ｖe1と第２チャンネルch2の開放電圧Ｖe2との大小関係を、第１チャンネルch1の閾値電圧Ｖth1と第２チャンネルch2の閾値電圧Ｖth2の大小関係と同じになるように設定した。具体的には、第２チャンネルch2の開放電圧Ｖeを１２Ｖに設定した。
【0168】
・開放電圧Ｖe1＝０Ｖ
・開放電圧Ｖe2＝１２Ｖ
・開放電圧Ｖe2＝１２Ｖ
【0169】
すなわち表４に示すように、閾値電圧Ｖthの高い第２チャンネルch2に対応する開放電圧Ｖe2が第２チャンネルch2よりも閾値電圧Ｖthの低い第１チャンネルch1に対応する開放電圧Ｖe1と比べて高くなるように第２チャンネルch2の開放電圧Ｖe2を設定した。
【0170】
【表4】
【0171】
つまり閾値電圧Ｖthの高い第２チャンネルch2に対応する開放電圧Ｖe2と閾値電圧Ｖth2との差（５４Ｖ）を、閾値電圧Ｖthの低い第１チャンネルch1に対応する開放電圧Ｖe1と閾値電圧Ｖth1との差と略同じに設定した。なお、開放電圧Ｖeと閾値電圧Ｖthの差は略同じであればよく、例えば閾値電圧Ｖthの測定電圧の最小単位以内（所定の値以下とする一例）とすることができる。又は、駆動制御装置４０が設定できる閉鎖電圧Ｖｃ，開放電圧Ｖｅの最小単位以内（所定の値以内とする例）とすることができる。本実施例では、測定電圧、閉鎖電圧Ｖｃおよび開放電圧Ｖｅの最小単位が１Ｖであるため、±０．５Ｖの範囲であれば同一とみなすことができる。
【0172】
すなわち、（Ｖe1－Ｖth1）と（Ｖe2－Ｖth2）との差が、１Ｖ以下であれば、同一とみなすことができる。また、閾値電圧Ｖthに測定誤差がある場合は、各チャンネルの閉鎖電圧Ｖcと閾値電圧Ｖthの差が、Ｖthの測定誤差以内であれば略同一とみなすことができる。すなわち、（Ｖe1－Ｖth1）と（Ｖe2－Ｖth2）との差が、Ｖthの測定誤差以内、例えばＶthの測定値の標準偏差の６倍以内（±３σの範囲）を略同一とすることができる。
【0173】
各チャンネルch1,ch2の開放電圧Ｖeと閾値電圧Ｖthとの差（５４Ｖ）は、概ね同じであればよいが、同じであることが好ましい。各チャンネルch1,ch2の開放電圧Ｖeと閾値電圧Ｖthとの差（５４Ｖ）を同じにすることにより、チャンネルch1,ch2間の吐出量のばらつきを精度良く抑制することが可能である。
【0174】
以上により、各チャンネルch1,ch2の電圧範囲（閉鎖電圧Ｖcと開放電圧Ｖeとの差）をΔ５８Ｖという等しい範囲に揃えることができ、吐出量のばらつきを低減することができた。
【0175】
（実施例５－６）
実施例５－６は、測定電圧の電圧変化量に対する流量変化量が最大を示す中間電圧Ｖhalfに基づいて閉鎖電圧Ｖcを設定することにより、チャンネル間の１回の吐出量のばらつきを抑制する。
実施例５－６は、測定電圧の電圧変化量に対する流量変化量が最大を示す中間電圧Ｖhalfに基づいて閉鎖電圧Ｖcを設定することにより、チャンネル間の１回の吐出量のばらつきを抑制する。
【0176】
また、実施例５－６は、ノズル板１５への弁体１７の過剰な押し込みを低減させると共に、チャンネル間の弁体１７の押し込み量のばらつきを抑制する。
【0177】
まず、電圧昇圧により弁体１７がノズル１４を開放する実施例５について説明する。
【0178】
実施例５は、実施例１と同じ条件である。図９Ｂ（ａ）の流量曲線から、各チャンネルの中間電圧Ｖhalfは、次の通りとなった。
【0179】
・中間電圧Ｖhalf1＝４０Ｖ
・中間電圧Ｖhalf2＝２８Ｖ
・中間電圧Ｖhalf2＝２８Ｖ
【0180】
各チャンネルの電圧変化量に対する流量変化量は、図９Ｂ（ａ）の測定電圧に対する流量のグラフにおける傾きを算出することで求めることができる。本実施例では、図９Ｂ（ａ）の測定データから、測定電圧が異なる隣り合う３点の測定点の平均傾きを算出して、隣り合う３点の中央の測定電圧における流量変化量とした。図９Ｃ（ａ）は、実施例５に係る測定電圧に対する流量変化量（絶対値）を算出したグラフである。
【0181】
図９Ｃ（ａ）に示す流量変化量（絶対値）が最大となる測定電圧を、中間電圧Ｖhalfとした。図９Ｂ（ａ）および図９Ｃ（ａ）の第１チャンネルch１では、測定電圧４０Ｖで流量変化量（絶対値）が最大となるため、中間電圧Ｖhalf1は４０Ｖと求めることができる。同様に第２チャンネルch2では、測定電圧２８Ｖで流量変化量（絶対値）が最大となるため、中間電圧Ｖhalf2は２８Ｖと求めることができる。なお、測定電圧に対する流量の傾きの算出方法は、前述の算出方法に限定されない。隣り合う２点間の流量の差から傾きを算出しても良い。もしくは、測定点を任意の関数で近似し、関数の微分の絶対値が最大となる測定電圧を中間電圧Ｖhalfとして求めても良い。
【0182】
第１チャンネルch1の中間電圧Ｖhalf1と第２チャンネルch2の中間電圧Ｖhalf2との大小関係はＶhalf1＞Ｖhalf2である。そこで、第１チャンネルch1の閉鎖電圧Ｖc1と第２チャンネルch2の閉鎖電圧Ｖc2との大小関係もＶc1＞Ｖc2となるように設定した。具体的には、各チャンネルch1,ch2ともに閉鎖電圧Ｖcが中間電圧Ｖhalf－２２Ｖとなるように設定した。
【0183】
すなわち表５に示すように、中間電圧Ｖhalfの高い第１チャンネルch1に対応する閉鎖電圧Ｖc1が、第２チャンネルch2よりも中間電圧Ｖhalfの低い第２チャンネルch2に対応する閉鎖電圧Ｖc2と比べて高くなるように、各閉鎖電圧Ｖc1，Ｖc2を設定した。
【0184】
【表5】
【0185】
つまり中間電圧Ｖhalfの高い第１チャンネルch1に対応する閉鎖電圧Ｖc1と中間電圧Ｖhalf1との差（２２Ｖ）を、中間電圧Ｖhalfの低い第２チャンネルch2に対応する閉鎖電圧Ｖc2と中間電圧Ｖhalf2との差と略同じに設定した。なお、閉鎖電圧Ｖcと中間電圧Ｖhalfの差は略同じであればよく、例えば中間電圧Ｖhalfの測定電圧の最小単位以内（所定の値以下とする一例）とすることができる。又は、駆動制御装置４０が設定できる閉鎖電圧Ｖｃ，開放電圧Ｖｅの最小単位以内（所定の値以内とする例）とすることができる。本実施例では、測定電圧、閉鎖電圧Ｖｃおよび開放電圧Ｖｅの最小単位が１Ｖであるため、±０．５Ｖの範囲であれば同一とみなすことができる。
【0186】
すなわち、（Ｖhalf1－Ｖc1）と（Ｖhalf2－Ｖc2）との差が、１Ｖ以下であれば、同一とみなすことができる。また、閾値電圧Ｖhalfに測定誤差がある場合は、各チャンネルの閉鎖電圧Ｖcと中間電圧Ｖhalfの差が、Ｖhalfの測定誤差以内であれば略同一とみなすことができる。すなわち、（Ｖhalf1－Ｖc1）と（Ｖhalf2－Ｖc2）との差が、Ｖhalfの測定誤差以内、例えばＶhalfの測定値の標準偏差の６倍以内（±３σの範囲）を略同一とすることができる。
【0187】
各チャンネルch1,ch2の閉鎖電圧Ｖcと中間電圧Ｖhalfとの差（２２Ｖ）は、概ね同じであればよいが、同じであることが好ましい。各チャンネルch1,ch2の閉鎖電圧Ｖcと中間電圧Ｖhalfとの差（２２Ｖ）を同じにすることにより、チャンネル間の１回の吐出量のばらつきを精度良く抑制することが可能である。
【0188】
各チャンネルch1，ch2において、中間電圧Ｖhalf1，Ｖhalf2に基づいて決定した閉鎖電圧Ｖc1，Ｖc2を印可することで、ノズル１４を封止できていることを確認した。第１チャンネルch1の閉鎖電圧Ｖc1を１８Ｖに設定し、第２チャンネルch2の閉鎖電圧Ｖc2を６Ｖに設定することでチャンネル間の１回の吐出量のばらつきを抑制することができた。
【0189】
ここで、実施例１，２との違いについて説明する。流量曲線におけるノズル１４の閉鎖状態から開放状態へ移行する閾値電圧Ｖth、または、流量立ち上がりの傾きは弁体１７の形状、傾き、または異物等の影響により若干影響を受ける場合がある。
【0190】
例えば、弁体１７とノズル板１５との平行度が悪い場合、流量曲線の立ち上がりが若干緩やかになる。そして閉鎖状態から開放状態へ移行する閾値電圧Ｖthが同じ場合、流量曲線の立ち上がりの傾きが緩やかなチャンネルは駆動１周期の中での弁体１７の開度の時間積分値が小さくなるため、１回の吐出量が少なくなる。
【0191】
従って、各チャンネルの閉鎖状態と開放状態との境界となる閾値電圧Ｖthを用いて閉鎖電圧Ｖcを制御しようとすると１回の吐出量のばらつきが大きくなる可能性がある。
【0192】
対照的に、実施例５のように電圧変化量に対する流量変化量が最大を示す電圧Ｖhalfに基づいて閉鎖電圧Ｖcを制御すると、チャンネル間の１回の吐出量のばらつきの抑制効果が得られ易い。
【0193】
つまり、チャンネル間の１回の吐出量のばらつきを抑制することが可能となった。また、ノズル板１５への弁体１７の過剰な押し込みの低減により、弁体１７の耐久性を向上させることができると共に、弁体１７の押し込み量のばらつきの低減により、メンテナンス頻度を低減させることが可能となった。
【0194】
次に、電圧降圧により弁体１７がノズル１４を開放する実施例６について説明する。
【0195】
実施例６は、実施例２と同じ条件である。図９（ｂ）の流量曲線から、各チャンネルの中間電圧Ｖhalfは、次の通りとなった。
【0196】
・中間電圧Ｖhalf1＝４３Ｖ
・中間電圧Ｖhalf2＝５５Ｖ
・中間電圧Ｖhalf2＝５５Ｖ
【0197】
各チャンネルの電圧変化量に対する流量変化量は、図９Ｂ（ｂ）の測定電圧に対する流量のグラフにおける傾きを算出することで求めることができる。本実施例では、図９Ｂ（ｂ）の測定データから、測定電圧が異なる隣り合う３点の測定点の平均傾きを算出して、隣り合う３点の中央の測定電圧における流量変化量とした。図９Ｃ（ｂ）は、実施例６に係る測定電圧に対する流量変化量（絶対値）を算出したグラフである。
【0198】
図９Ｃ（ｂ）に示す流量変化量（絶対値）が最大となる測定電圧を、中間電圧Ｖhalfとした。図９Ｂ（ｂ）および図９Ｃ（ｂ）の第１チャンネルch1では、測定電圧４３Ｖで流量変化量（絶対値）が最大となるため、中間電圧Ｖhalf1は４３Ｖと求めることができる。同様に第２チャンネルch2では、測定電圧５５Ｖで流量変化量（絶対値）が最大となるため、中間電圧Ｖhalf2は５５Ｖと求めることができる。なお、測定電圧に対する流量の傾きの算出方法は、前述の算出方法に限定されない。隣り合う２点間の流量の差から傾きを算出しても良い。もしくは、測定点を任意の関数で近似し、関数の微分の絶対値が最大となる測定電圧を中間電圧Ｖhalfとして求めても良い。
【0199】
第１チャンネルch1の中間電圧Ｖhalf1と第２チャンネルch2の中間電圧Ｖhalf2との大小関係はＶhalf1＜Ｖhalf2である。そこで、第１チャンネルch1の閉鎖電圧Ｖc1と第２チャンネルch2の閉鎖電圧Ｖc2との大小関係もＶc1＜Ｖc2となるように設定した。具体的には、各チャンネルch1,ch2ともに閉鎖電圧Ｖcを閾値電圧Ｖhalf＋１２Ｖに設定した。
【0200】
すなわち表６に示すように、中間電圧Ｖhalfの高い第２チャンネルch2に対応する閉鎖電圧Ｖc2が第２チャンネルch2よりも中間電圧Ｖhalfの低い第１チャンネルch1に対応する閉鎖電圧Ｖc1と比べて高くなるように各閉鎖電圧Ｖc1，Ｖc2を設定した。
【0201】
【表6】
【0202】
つまり中間電圧Ｖhalfの高い第２チャンネルch2に対応する閉鎖電圧Ｖc2と中間電圧Ｖhalf2との差（１２Ｖ）を、中間電圧Ｖhalfの低い第１チャンネルch1に対応する閉鎖電圧Ｖc1と中間電圧Ｖhalf1との差と略同じに設定した。なお、閉鎖電圧Ｖcと中間電圧Ｖhalfの差は略同じであればよく、例えば中間電圧Ｖhalfの測定電圧の最小単位以内（所定の値以下とする一例）とすることができる。又は、駆動制御装置４０が設定できる閉鎖電圧Ｖｃ，開放電圧Ｖｅの最小単位以内（所定の値以内とする例）とすることができる。本実施例では、測定電圧，閉鎖電圧Ｖｃおよび開放電圧Ｖｅの最小単位が１Ｖであるため、±０．５Ｖの範囲であれば同一とみなすことができる。
【0203】
すなわち、（Ｖe1－Ｖhalf1）と（Ｖe2－Ｖhalf2）との差が、１Ｖ以下であれば、同一とみなすことができる。また、閾値電圧Ｖhalfに測定誤差がある場合は、各チャンネルの閉鎖電圧Ｖcと中間電圧Ｖhalfの差が、Ｖhalfの測定誤差以内であれば略同一とみなすことができる。すなわち、（Ｖe1－Ｖhalf1）と（Ｖe2－Ｖhalf2）との差が、Ｖhalfの測定誤差以内、例えばＶhalfの測定値の標準偏差の６倍以内（±３σの範囲）を略同一とすることができる。
【0204】
各チャンネルch1,ch2の閉鎖電圧Ｖcと中間電圧Ｖhalfとの差（１２Ｖ）は、概ね同じであればよいが、同じであることが好ましい。各チャンネルch1,ch2の閉鎖電圧Ｖcと中間電圧Ｖhalfとの差（１２Ｖ）を同じにすることにより、チャンネル間の１回の吐出量のばらつきを精度良く抑制することが可能である。
【0205】
各チャンネルch1，ch2において、中間電圧Ｖhalf1，Ｖhalf2に基づいて決定した閉鎖電圧Ｖc1，Ｖc2を印可することで、ノズル１４を封止できていることを確認した。第１チャンネルch1の閉鎖電圧Ｖc1を５５Ｖに設定し、第２チャンネルch2の閉鎖電圧Ｖc2を６７Ｖに設定することでチャンネル間の１回の吐出量のばらつきを抑制することができた。
【0206】
また、電圧変化量に対する流量変化量が最大を示す電圧Ｖhalfに基づいて閉鎖電圧Ｖcを制御することにより、チャンネル間の吐出量のばらつきの抑制効果が得られ易い。これにより、ノズル板１５への弁体１７の過剰な押し込みの低減による弁体１７の耐久性の向上と、弁体１７の押し込み量のばらつきの低減によるメンテナンス頻度の低減と、に加えて、さらにチャンネル間の吐出量のばらつきを抑制することが可能となった。
【0207】
また、ノズル板１５への弁体１７の過剰な押し込みの低減により、弁体１７の耐久性を向上させることができると共に、弁体１７の押し込み量のばらつきの低減により、メンテナンス頻度を低減させることが可能となった。
【0208】
（実施例７－８）
実施例７－８は、電圧変化量に対する流量変化量が最大を示す中間電圧Ｖhalfに基づいて開放電圧Ｖeを設定することにより、チャンネル間の１回の吐出量のばらつきを抑制する。
実施例７－８は、電圧変化量に対する流量変化量が最大を示す中間電圧Ｖhalfに基づいて開放電圧Ｖeを設定することにより、チャンネル間の１回の吐出量のばらつきを抑制する。
【0209】
まず、電圧昇圧により弁体１７がノズル１４を開放する実施例７について説明する。
【0210】
実施例７は、実施例５と同じ条件である。初期電圧の範囲は、実施例５により閉鎖電圧Ｖcを設定したものとし、第１チャンネルch1の電圧範囲を１８Ｖ－７２Ｖとし、第２チャンネルch2の電圧範囲を６Ｖ－７２Ｖとした。図９Ｂ（ａ）の流量曲線および図９Ｃ（ａ）の流量変化量の曲線から、各チャンネルの中間電圧Ｖhalfは、次の通りとなった。
【0211】
・中間電圧Ｖhalf1＝４０Ｖ
・中間電圧Ｖhalf2＝２８Ｖ
・中間電圧Ｖhalf2＝２８Ｖ
【0212】
第１チャンネルch1の開放電圧Ｖe1と第２チャンネルch2の開放電圧Ｖe2の大小関係を、第１チャンネルch1の中間電圧Ｖhalf1と第２チャンネルch2の中間電圧Ｖhalf2の大小関係と同じになるように設定した。具体的には、第２チャンネルch2の開放電圧Ｖe2を６０Ｖに設定した。
【0213】
・開放電圧Ｖe1＝７２Ｖ
・開放電圧Ｖe2＝６０Ｖ
・開放電圧Ｖe2＝６０Ｖ
【0214】
つまり表７に示すように、中間電圧Ｖhalfの高い第１チャンネルch1に対応する開放電圧Ｖe1が第１チャンネルch1よりも中間電圧Ｖhalfの低い第２チャンネルch2に対応する開放電圧Ｖe2と比べて高くなるよう第２チャンネルch2の開放電圧Ｖe2を設定した。
【0215】
【表7】
【0216】
すなわち中間電圧Ｖhalfの高い第１チャンネルch1に対応する開放電圧Ｖe1と中間電圧Ｖhalf1との差（３２Ｖ）を、中間電圧Ｖhalfの低い第２チャンネルch2に対応する開放電圧Ｖe2と中間電圧Ｖhalf2との差と略同じに設定した。なお、閉鎖電圧Ｖeと中間電圧Ｖhalfの差は略同じであればよく、例えば中間電圧Ｖhalfの測定電圧の最小単位以内（所定の値以下とする一例）とすることができる。又は、駆動制御装置４０が設定できる閉鎖電圧Ｖc，開放電圧Ｖeの最小単位以内（所定の値以内とする例）とすることができる。本実施例では、測定電圧、閉鎖電圧Ｖcおよび開放電圧Ｖeの最小単位が１Ｖであるため、±０．５Ｖの範囲であれば同一とみなすことができる。
【0217】
すなわち、（Ｖhalf1－Ｖc1）と（Ｖhalf2－Ｖc2）との差が、１Ｖ以下であれば、同一とみなすことができる。また、閾値電圧Ｖhalfに測定誤差がある場合は、各チャンネルの閉鎖電圧Ｖcと中間電圧Ｖhalfの差が、Ｖhalfの測定誤差以内であれば略同一とみなすことができる。すなわち、（Ｖhalf1－Ｖc1）と（Ｖhalf2－Ｖc2）との差が、Ｖhalfの測定誤差以内、例えばＶhalfの測定値の標準偏差の６倍以内（±３σの範囲）を略同一とすることができる。
【0218】
各チャンネルch1,ch2の開放電圧Ｖeと中間電圧Ｖhalfとの差（３２Ｖ）は、概ね同じであればよいが、同じであることが好ましい。各チャンネルch1,ch2の開放電圧Ｖeと中間電圧Ｖhalfとの差（３２Ｖ）を同じにすることにより、チャンネルch1,ch2間の吐出量のばらつきを精度良く抑制することが可能である。
【0219】
以上により、各チャンネルch1,ch2の電圧範囲（閉鎖電圧Ｖcと開放電圧Ｖeとの差）をΔ５４Ｖという等しい範囲に揃えることができ、吐出量のばらつきを抑制することができた。
【0220】
次に、電圧降圧により弁体１７がノズル１４を開放する実施例８について説明する。
【0221】
実施例８は、実施例６と同じ条件である。初期電圧の範囲は、実施例６により閉鎖電圧Ｖcを設定したものとし、第１チャンネルch1の電圧範囲を５８Ｖ－０Ｖとし、第２チャンネルch2の電圧範囲を７０Ｖ－０Ｖとした。図９Ｂ（ｂ）の流量曲線および図９Ｃ（ｂ）の流量変化量の曲線から、各チャンネルの中間電圧Ｖhalfは、次の通りとなった。
【0222】
・中間電圧Ｖhalf1＝４３Ｖ
・中間電圧Ｖhalf2＝５５Ｖ
・中間電圧Ｖhalf2＝５５Ｖ
【0223】
第１チャンネルch1の開放電圧Ｖe1と第２チャンネルch2の開放電圧Ｖe2との大小関係を、第１チャンネルch1の中間電圧Ｖhalf1と第２チャンネルch2の中間電圧Ｖhalf2の大小関係と同じになるように設定した。具体的には、第２チャンネルch2の開放電圧Ｖe2を１２Ｖに設定した。
【0224】
・開放電圧Ｖe1＝０Ｖ
・開放電圧Ｖe2＝１２Ｖ
・開放電圧Ｖe2＝１２Ｖ
【0225】
つまり表８に示すように、中間電圧Ｖhalfの高い第２チャンネルch2に対応する開放電圧Ｖe2が第２チャンネルch2よりも中間電圧Ｖhalfの低い第１チャンネルch1に対応する開放電圧Ｖe2と比べて高くなるよう第２チャンネルch2の開放電圧Ｖe2を設定した。
【0226】
【表8】
【0227】
つまり中間電圧Ｖhalfの高い第２チャンネルch2に対応する開放電圧Ｖe2と中間電圧Ｖhalf2との差（４３Ｖ）を、中間電圧Ｖhalfの低い第１チャンネルch1に対応する開放電圧Ｖe1と中間電圧Ｖhalf1との差と略同じに設定した。なお、閉鎖電圧Ｖeと中間電圧Ｖhalfの差は略同じであればよく、例えば中間電圧Ｖhalfの測定電圧の最小単位以内（所定の値以下とする一例）とすることができる。又は、駆動制御装置４０が設定できる閉鎖電圧Ｖc，開放電圧Ｖeの最小単位以内（所定の値以内とする例）とすることができる。本実施例では、測定電圧，閉鎖電圧Ｖcおよび開放電圧Ｖeの最小単位が１Ｖであるため、±０．５Ｖの範囲であれば同一とみなすことができる。
【0228】
すなわち、（Ｖe1－Ｖhalf1）と（Ｖe2－Ｖhalf2）との差が、１Ｖ以下であれば、同一とみなすことができる。また、閾値電圧Ｖhalfに測定誤差がある場合は、各チャンネルの閉鎖電圧Ｖeと中間電圧Ｖhalfの差が、Ｖhalfの測定誤差以内であれば略同一とみなすことができる。すなわち、（Ｖhalf1－Ｖc1）と（Ｖhalf2－Ｖc2）との差が、Ｖhalfの測定誤差以内、例えばＶhalfの測定値の標準偏差の６倍以内（±３σの範囲）を略同一とすることができる。
【0229】
各チャンネルch1,ch2の開放電圧Ｖeと中間電圧Ｖhalfとの差（４３Ｖ）は、概ね同じであればよいが、同じであることが好ましい。各チャンネルch1,ch2の開放電圧Ｖeと中間電圧Ｖhalfとの差（４３Ｖ）を同じにすることにより、チャンネルch1,ch2間の吐出量のばらつきを精度良く抑制することが可能である。
【0230】
以上により、各チャンネルch1,ch2の電圧範囲（閉鎖電圧Ｖcと開放電圧Ｖeとの差）をΔ５８Ｖという等しい範囲に揃えることができ、吐出量のばらつきを抑制することができた。
【0231】
（液体吐出システムの構成）
次に、流量解析フィードバックシステムについて説明する。図１０Ａは第１実施形態に係る液体吐出システム２００の構成図である。液体吐出システム２００は、各チャンネルの流量を測定して駆動制御装置４０に解析した結果をフィードバックする流量解析フィードバックシステムである。
次に、流量解析フィードバックシステムについて説明する。図１０Ａは第１実施形態に係る液体吐出システム２００の構成図である。液体吐出システム２００は、各チャンネルの流量を測定して駆動制御装置４０に解析した結果をフィードバックする流量解析フィードバックシステムである。
【0232】
解析した結果には、ノズル１４が閉鎖状態から開放状態へ移行する閾値電圧Ｖth、または、電圧変化量に対する流量変化量が最大を示す中間電圧Ｖhalfが含まれる。
【0233】
液体吐出システム２００は、駆動制御装置４０および液体吐出ヘッド１０により構成される液体吐出装置１００に加えて、流量計４３と、流量解析部４４と、通信回路４５と、を備える。
【0234】
流量計４３には、超音波式、コリオリ式、および熱式等の測定方式の流量センサを用いることができる。流量計４３は、各チャンネルch1,ch2のノズル１４から吐出される液体の流量を測定する。流量計４３は、第１流量計４３ａおよび第２流量計４３ｂの総称である。
【0235】
第１流量計４３ａはチャンネルch1（第１ノズル１４ａ）の流量を計測し、第２流量計４３ｂはチャンネルch2（第２ノズル１４ｂ）の流量を計測する。流量計４３は、計測した流量を流量解析部４４に送信する。
【0236】
流量解析部４４は、例えば、液体吐出装置１００と通信可能なコンピュータ、または、コンピュータで読み取り可能なプログラムである。コンピュータとしては、例えば、ＰＣ、タブレット端末、およびクラウドサーバ等の流量解析装置が挙げられる。コンピュータには、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）および入出力回路等が設けられる。
【0237】
流量解析部４４は、流量曲線を解析するプログラムとして構成されてもよい。
【0238】
駆動制御装置４０は、図９Ａ（ａ）または図９Ａ（ｂ）に示す駆動波形を、液体吐出ヘッド１０のそれぞれのノズル１４、例えば第１チャンネルch1と第２チャンネルch2のそれぞれに対応するアクチュエータ１８に印可する。そして、液体吐出ヘッド１０は第１チャンネルch1と第２チャンネルch2のそれぞれのノズル１４から液体を吐出させる。アクチュエータ１８に印可する矩形波の測定電圧は、図９Ａ（ａ）または図９Ａ（ｂ）に示すように０Ｖから７２Ｖの範囲を１Ｖ単位で設定し、０Ｖから７２Ｖを１Ｖあたり３秒で変更する（液体を吐出するステップ）。
【0239】
流量解析部４４は、各チャンネルch1,ch2のノズル１４から吐出される液体の流量を流量計４３から取得すると共に、アクチュエータ１８に印加される測定電圧を液体吐出装置１００から取得する。そして流量解析部４４は、図９Ｂで示した流量曲線を取得し、流量とアクチュエータ１８に印加される電圧との関係、例えば、閾値電圧Ｖthまたは中間電圧Ｖhalfを解析する。流量解析部４４は、前述の実施例で説明したように、解析した閾値電圧Ｖthまたは中間電圧Ｖhalfに基づいて閉鎖電圧Ｖcおよび開放電圧Ｖeの少なくとも一方を決定する。
【0240】
本実施形態の液体吐出システム２００は、流量の解析に液体を用いることとする。本実施形態の液体吐出システム２００の流量の解析は、前述の実施例１～８の圧縮空気を用いた計測と、解析のために用いる流体が液体である点で異なる。本実施形態の液体吐出システム２００は、流量解析に液体を用いることで、流量の解析と液体の吐出（例えば被吐出物への印刷や塗布）とを容易に切り替えることができる。
【0241】
流量解析部４４は、通信回路４５を介して、解析した結果（すなわち、決定した閉鎖電圧Ｖcおよび開放電圧Ｖeの少なくとも一方）を駆動制御装置４０へフィードバックする。通信回路４５には、例えば、有線または無線により通信可能な通信モジュールを用いることができる。
【0242】
なお、流量計４３、流量解析部４４、および通信回路４５の機能は、液体吐出装置１００の中に組み込まれてもよい。すなわち、流体解析フィードバックシステムは、液体吐出システム２００として構成されるのではなく、液体吐出装置１００として構成されてもよい。
【0243】
駆動制御装置４０は、流量解析部４４からフィードバックされた解析結果（例えば閾値電圧Ｖthまたは中間電圧Ｖhalf）に基づいて、実施例１～８において説明したように閉鎖電圧Ｖcまたは開放電圧Ｖeを設定する。
【0244】
図１０Ｂは、第１実施形態に係る液体吐出システムの動作を説明するフローチャートである。図１０Ｂには、実施例１，３で説明した、閾値電圧Ｖthの測定結果に基づいて開放電圧Ｖeおよび閉鎖電圧Ｖcをフィードバックする動作が示されている。
【0245】
流量解析部４４は、測定対象のノズル、例えば第１チャンネルch1を選択する（ステップＳ０１１）。次に、流量解析部４４は、駆動制御装置４０に対し、選択したチャンネルの測定電圧Ｖthを０Ｖに設定する（ステップＳ０２１）。測定電圧Ｖth＝０Ｖは、図９Ａ（ａ）に示す駆動波形の初期電圧に対応する。
【0246】
流量解析部４４は、駆動制御装置４０に対し、測定電圧Ｖthを、選択したチャンネルのアクチュエータ１８に印可するよう指令し、液体吐出ヘッド１０の選択したチャンネルに対応するノズル１４から液体を吐出させる（ステップＳ０３１）。
【0247】
流量解析部４４は、流量計４３に、選択したチャンネルに対応するノズル１４から吐出される液体の流量を計測させ、計測した流量を測定電圧と対応付けて記憶する（ステップＳ０４１）。
【0248】
流量解析部４４は、測定電圧Ｖth0が、図９Ａ（ａ）の駆動波形の上限電圧である７２Ｖ以上かを判断する（ステップＳ０５１）。測定電圧Ｖth0が７２Ｖ未満である場合は（ステップＳ０５１のＮｏ）、流量解析部４４は、駆動制御装置４０に対し、測定電圧Ｖth0を＋１Ｖに設定し（ステップＳ１１１）、ステップＳ０３１からステップＳ０４１を測定電圧Ｖth0で実行する。
【0249】
測定電圧Ｖth0が７２Ｖ以上である場合（ステップＳ０５１のＹｅｓ）、流量解析部４４は、ステップＳ０４１で記憶した流量および測定電圧を、実施例１に記載した解析方法に基づいて解析する。そして流量解析部４４は、選択したチャンネルの閾値電圧Ｖthを算出する（ステップＳ０６１）。
【0250】
流量解析部４４は、実施例１に記載の方法で、選択したチャンネルの閉鎖電圧Ｖcを閾値電圧Ｖth－１２Ｖに設定し記憶する（ステップＳ０７１）。流量解析部４４は、実施例３に記載の方法で、選択したチャンネルの開放電圧Ｖeを閾値電圧Ｖth＋４２Ｖに設定し記憶する（ステップＳ０７１）。
【0251】
流量解析部４４は、測定チャンネルが測定対象チャンネルの最後のチャンネルかを判断する（ステップＳ０８１）。すなわち、流量解析部４４は、計測対象となるチャンネルが残っているかを判断することに対応する。測定対象チャンネルが、最後のチャンネルではない場合（ステップＳ０８１のＮｏ）、流量解析部４４は、次のチャンネルを選択する（ステップＳ１２１）。流量解析部４４は、例えば第２チャンネルch2を選択し、ステップＳ０２１からの処理を選択したチャンネルに対して繰り返し実行する。
【0252】
測定チャンネルが最後のチャンネルの場合（ステップＳ０８１のＹｅｓ）、流量解析部４４は、ステップＳ０７１で設定し記憶した各チャンネルの開放電圧Ｖeと閉鎖電圧Ｖcとを、駆動制御装置４０にフィードバックする（ステップＳ０９１）。そして、流量解析部４４は、流量解析の処理を終了する。
【0253】
駆動制御装置４０は、各チャンネルに実施例１，３に記載の方法で最適に調整された開放電圧Ｖeおよび閉鎖電圧Ｖcを設定することができる。
【0254】
なお、図１０Ｂは、流量解析部４４が実施例１，３に記載の方法で開放電圧Ｖeおよび閉鎖電圧Ｖcを駆動制御装置にフィードバックする例を示したが、開放電圧Ｖeまたは開放電圧Ｖcのいずれか一方のみをフィードバックしても良い。また、実施例５，７に記載の方法で、閾値電圧Ｖthの代わりに中間電圧Ｖhalfを用いて、開放電圧Ｖeまたは閉鎖電圧Ｖcをフィードバックしてもよい。
【0255】
また、図１０Ｂのフローでは、図９Ａ（ａ）の駆動波形を用いる例を示したが、図９Ａ（ｂ）の駆動波形を用いて、実施例２，４，６，８に記載のいずれかの方法を用いて開放電圧Ｖeまたは閉鎖電圧Ｖcをフィードバックするようにしてもよい。
【0256】
以上により、液体吐出ヘッド１０（または液体吐出ユニット６０）を液体吐出装置１００から取り外すことなく、現場で流量曲線の取得による弁体１７の状態の検査が可能となる。また、液体吐出装置１００の駆動前に初期電圧等（例えば閉鎖電圧Ｖcまたは開放電圧Ｖe）の校正が可能となる。
【0257】
さらに流体解析フィードバックシステムを液体吐出装置１００の中に組み込んだ場合、閉鎖電圧Ｖcまたは開放電圧Ｖeの校正を定期的に自動実行することにより、液体吐出ヘッド１０のメンテナンス頻度を従来と比べて格段に低減させることが可能となる。
【0258】
（作用効果）
以上の実施形態によれば、次のような作用効果が得られる。ノズル１４が閉鎖状態から開放状態へ移行する閾値電圧Ｖthに基づいて閉鎖電圧Ｖcを設定することにより、ノズル板１５への弁体１７の過剰な押し込みを抑制し、弁体１７の耐久性を向上させることができる。また、チャンネル間の弁体１７の押し込み量のばらつきが抑制されるため、弁体１７の耐久性のばらつきが低減し、メンテナンス頻度を低減させることができる。
以上の実施形態によれば、次のような作用効果が得られる。ノズル１４が閉鎖状態から開放状態へ移行する閾値電圧Ｖthに基づいて閉鎖電圧Ｖcを設定することにより、ノズル板１５への弁体１７の過剰な押し込みを抑制し、弁体１７の耐久性を向上させることができる。また、チャンネル間の弁体１７の押し込み量のばらつきが抑制されるため、弁体１７の耐久性のばらつきが低減し、メンテナンス頻度を低減させることができる。
【0259】
また、閾値電圧Ｖthに基づいて各チャンネルの開放電圧Ｖeを設定することにより、チャンネル間の吐出量のばらつきを低減させることができる。
【0260】
さらに、電圧変化量に対する流量変化量が最大を示す中間電圧Ｖhalfに基づいて閉鎖電圧Ｖcを設定することにより、チャンネル間の１回の吐出量のばらつきをより精度よく低減させることができる。加えて、ノズル板１５への弁体１７の過剰な押し込みを抑制し、弁体１７の耐久性を向上させることができる。また、チャンネル間の弁体１７の押し込み量のばらつきが抑制されるため、弁体１７の耐久性のばらつきが低減し、メンテナンス頻度を低減させることができる。
【0261】
また、中間電圧Ｖhalfに基づいて各チャンネルの開放電圧Ｖeを設定することにより、チャンネル間の吐出量のばらつきを低減させることができる。
【0262】
＜第２実施形態＞
次に、第１実施形態に係る液体吐出ヘッド１０および駆動制御装置４０を用いた塗布装置１００１について説明する。
次に、第１実施形態に係る液体吐出ヘッド１０および駆動制御装置４０を用いた塗布装置１００１について説明する。
【0263】
（塗装装置の構成）
図１１は、塗布装置１００１の構成の一例を示す図である。図１２（ａ）は、塗布装置１００１の対象物Ｓへの配置の第１例を示す図である。図１２（ｂ）は、塗布装置１００１の対象物Ｓへの配置の第２例を示す図である。
図１１は、塗布装置１００１の構成の一例を示す図である。図１２（ａ）は、塗布装置１００１の対象物Ｓへの配置の第１例を示す図である。図１２（ｂ）は、塗布装置１００１の対象物Ｓへの配置の第２例を示す図である。
【0264】
塗布装置１００１は、液体吐出ヘッド１０と、駆動制御装置４０と、を備える。また、塗布装置１００１は、図示省略するが、液体供給機構３０を備える構成であってもよい。
【0265】
塗布装置１００１は、液体吐出ヘッド１０の近傍に配設された撮影手段としてのカメラ１００４と、液体吐出ヘッド１０およびカメラ１００４をＸ方向およびＹ方向へ移動させるＸ－Ｙテーブル１００３と、を備える。
【0266】
駆動制御装置４０は、所定の制御プログラムに基づいて、Ｘ－Ｙテーブル１００３を動作させると共に、液体吐出ヘッド１０から液体を吐出させる。塗布装置１００１は、液体吐出ヘッド１０により吐出された液体を対象物Ｓに塗布することができる。
【0267】
液体吐出ヘッド１０は、複数のノズルから対象物Ｓの被塗布面に向けて液体を吐出する。ノズルから吐出される液体はＸ－Ｙ平面に対して略直交する方向に吐出される。複数のノズルの各々から吐出される液体の吐出方向は略平行である。ノズルと対象物Ｓの被塗布面との距離は、例えば２０ｃｍ程度である。
【0268】
Ｘ－Ｙテーブル１００３は、直線移動機構を備えて形成されたＸ軸１００５と、Ｘ軸１００５を２つのアームで保持しつつＸ軸１００５をＹ方向へ移動するＹ軸１００６と、有する。Ｘ軸１００５のスライダには、液体吐出ヘッド１０およびカメラ１００４が取り付けられる。
【0269】
Ｙ軸１００６にはシャフト１００７が設けられる。塗布装置１００１はロボットアーム１００８を備え、シャフト１００７をロボットアーム１００８に保持させることで、対象物Ｓに対して液体吐出ヘッド１０を自由に配置できる。
【0270】
【0271】
駆動制御装置４０は、所定のプログラムに基づいて、ロボットアーム１００８の動作を制御するが、他の制御装置がロボットアーム１００８の制御を担当してもよい。
【0272】
カメラ１００４は、液体吐出ヘッド１０の近傍であるＸ軸１００５のスライダに設けられており、Ｘ－Ｙ方向に移動しながら対象物Ｓの被塗布面における所定範囲を一定の微小な間隔により撮影する。カメラ１００４は例えばデジタルカメラである。
【0273】
カメラ１００４においては、被塗布面の所定範囲を分割した複数の細分割画像の撮影が可能なレンズの仕様または解像度等の仕様が適宜選択される。カメラ１００４による被塗布面の複数の細分割画像の撮影は、駆動制御装置４０に予め設けられたプログラムに従って連続的且つ自動的に行われる。
【0274】
塗布装置１００１は、カメラ１００４で撮影した画像を編集するソフトウェアを備え、駆動制御装置４０のコンピュータでソフトウェアを実行する。なお、ソフトウェアによる画像の編集は、他のコンピュータが担当してもよい。駆動制御装置４０は、ソフトウェアで編集された画像に基づいて液体吐出ヘッド１０に印加する電圧を制御する。
【0275】
塗布装置１００１は、ロボットアーム１００８および液体吐出ヘッド１０を有することにより、対象物Ｓとノズルとの間の距離が長い場合等においても、対象物Ｓの所望の位置に高精度に液体を塗布することができる。
【0276】
駆動制御装置４０は、液体吐出ヘッド１０のチャンネル間の吐出量のばらつきを低減することが可能であるため、塗布装置１００１は対象物Ｓに対して液体をムラなく均一に塗布することが可能である。
【0277】
また駆動制御装置４０は、液体吐出ヘッド１０のノズル板への弁体の過剰な押し込みを抑制するため、弁体の耐久性を向上させることができる。また駆動制御装置４０は、チャンネル間の弁体の押し込み量のばらつきを抑制するため、弁体の耐久性のばらつきが抑制され、メンテナンス頻度を低減させることができる。従って、塗布装置１００１のダウンタイムが削減され、対象物Ｓの生産性の向上に寄与することができる。
【0278】
＜第３実施形態＞
次に、第１実施形態に係る液体吐出ヘッド１０を用いた電極製造方法および電極製造装置について説明する。
次に、第１実施形態に係る液体吐出ヘッド１０を用いた電極製造方法および電極製造装置について説明する。
【0279】
（電極の製造方法）
図１３は、第３実施形態に係る電極製造方法および電極製造装置の模式図である。電極製造装置は、液体吐出ヘッド１０を用いて液体組成物を吐出することで電極材料層を有する電極を製造する装置である。
図１３は、第３実施形態に係る電極製造方法および電極製造装置の模式図である。電極製造装置は、液体吐出ヘッド１０を用いて液体組成物を吐出することで電極材料層を有する電極を製造する装置である。
【0280】
＜電極材料層形成手段および電極材料層形成工程＞
吐出手段としての液体吐出ヘッド１０から液体を吐出することにより、対象物上に液体組成物を付与して、液体組成物層を形成することができる。対象物は、電極材料層を形成する対象であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。対象物としては、例えば、電極基体（集電体）、活物質層、または固体電極材料を有する層等が挙げられる。
吐出手段としての液体吐出ヘッド１０から液体を吐出することにより、対象物上に液体組成物を付与して、液体組成物層を形成することができる。対象物は、電極材料層を形成する対象であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。対象物としては、例えば、電極基体（集電体）、活物質層、または固体電極材料を有する層等が挙げられる。
【0281】
吐出手段及び吐出工程は、対象物に対して電極材料層を形成することが可能であれば、液体組成物を直接的に吐出することで電極材料層を形成する構成であってもよく、液体組成物を間接的に吐出することで電極材料層を形成する構成であってもよい。
【0282】
＜他の構成および他の工程＞
電極合材層の製造装置における他の構成としては、本発明の効果を損なわない限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、加熱手段等が挙げられる。電極合材層の製造方法における他の工程としては、本発明の効果を損なわない限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、加熱工程等が挙げられる。
電極合材層の製造装置における他の構成としては、本発明の効果を損なわない限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、加熱手段等が挙げられる。電極合材層の製造方法における他の工程としては、本発明の効果を損なわない限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、加熱工程等が挙げられる。
【0283】
＜加熱手段および加熱工程＞
加熱手段は、吐出手段により吐出された液体組成物を加熱する手段である。加熱工程は、吐出工程で吐出された液体組成物を加熱する工程である。加熱により、液体組成物層を乾燥させることができる。
加熱手段は、吐出手段により吐出された液体組成物を加熱する手段である。加熱工程は、吐出工程で吐出された液体組成物を加熱する工程である。加熱により、液体組成物層を乾燥させることができる。
【0284】
ここで電極の製造方法の一例として、電極基体（集電体）上に活物質を含む電極合材層を形成する電極製造方法を説明する。
【0285】
図１３（ａ）に示すように、電極合材層の製造装置は、吐出工程部１１０ｇと、加熱工程部１３０ｇと、を備える。吐出工程部１１０ｇは、対象物を有する印刷基材４ｇ上に、液体組成物を付与して液体組成物層を形成する。加熱工程部１３０ｇは、液体組成物層を加熱して電極合材層を得る。
【0286】
電極合材層の製造装置は、印刷基材４ｇを搬送する搬送部５を備え、搬送部５は、吐出工程部１１０ｇおよび加熱工程部１３０ｇの順に印刷基材４ｇを予め設定された速度で搬送する。搬送部５としては、例えば、搬送ローラ、搬送コンベヤ等が挙げられる。
【0287】
活物質層等の対象物を有する印刷基材４ｇの製造方法としては、特に制限はなく、公知の方法を適宜選択することができる。
【0288】
吐出工程部１１０ｇは、印刷装置２８１ａと、収容容器２８１ｂと、供給チューブ２８１ｃと、を備える。
【0289】
印刷装置２８１ａは、例えば液体吐出ヘッド１０であり、印刷基材４ｇ上に液体組成物を付与する付与工程を実現する。収容容器２８１ｂは、例えばタンク３１であり、液体組成物を収容する。供給チューブ２８１ｃは、例えばチューブ３２であり、収容容器２８１ｂに貯留された液体組成物を印刷装置２８１ａに供給する。
【0290】
収容容器２８１ｂは液体組成物７を収容し、吐出工程部１１０ｇは、印刷装置２８１ａから液体組成物７を吐出して、印刷基材４ｇ上に液体組成物７を付与して液体組成物層を薄膜状に形成する。
【0291】
なお、収容容器２８１ｂは、電極合材層の製造装置と一体化した構成であってもよいが、電極合材層の製造装置から取り外し可能な構成であってもよい。また収容容器２８１ｂは、電極合材層の製造装置と一体化した容器、または、電極合材層の製造装置から取り外し可能な容器に液体組成物７を添加する容器であってもよい。
【0292】
収容容器２８１ｂまたは供給チューブ２８１ｃは、液体組成物７を安定して貯蔵および供給できるものであれば任意に選択可能である。
【0293】
加熱工程部１３０ｇは、加熱装置３ａを有し、液体組成物層に残存する溶媒を、加熱装置３ａにより加熱して乾燥させて除去する溶媒除去工程を含む。これにより電極合材層を形成することができる。加熱工程部１３０ｇは、溶媒除去工程を減圧下で実施してもよい。
【0294】
加熱装置３ａとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、基板加熱、ＩＲヒータ、および温風ヒータ等が挙げられ、これらを組み合わせてもよい。また、加熱温度または時間に関しては、液体組成物７に含まれる溶媒の沸点または形成膜厚に応じて適宜選択可能である。
【0295】
図１３（ｂ）に示すように、液体吐出装置１００は、電極合材層の製造方法を実現する電極製造装置の一例である。液体吐出装置１００は、ポンプ３１０と、２個のバルブ３１１，３１２と、を制御することにより、液体組成物が液体吐出ヘッド１０、内部タンク３０７、および送液チューブ３０８を循環する。
【0296】
また液体吐出装置１００には、外部タンク３１３が設けられる。内部タンク３０７内の液体組成物が減少した際に、ポンプ３１０と、３個のバルブ３１１，３１２，３１４と、を制御することにより、外部タンク３１３から内部タンク３０７へ液体組成物が供給される。電極合材層の製造装置を用いると、対象物の狙ったところに液体組成物を吐出することができる。
【0297】
電極合材層は、例えば、電気化学素子の構成の一部として、好適に用いることができる。電気化学素子における電極合材層以外の構成としては、特に制限はなく、公知のものを適宜選択することができ、例えば、正極、負極、およびセパレータなどが挙げられる。
【0298】
液体吐出装置１００は、液体吐出ヘッドとしての印刷装置２８１ａのチャンネル間の吐出量のばらつきを低減することが可能であるため、印刷装置２８１ａは対象物としての印刷基材４ｇ上に液体組成物層をムラなく均一に付与することが可能である。
【0299】
また液体吐出装置１００は、印刷装置２８１ａのノズル板への弁体の過剰な押し込みを抑制するため、弁体の耐久性を向上させることができる。また液体吐出装置１００は、チャンネル間の弁体の押し込み量のばらつきを抑制するため、弁体の耐久性のばらつきが抑制され、メンテナンス頻度を低減させることができる。従って、電極製造装置としての液体吐出装置１００のダウンタイムが削減され、対象物Ｓの生産性の向上に寄与することができる。
【0300】
以上、好ましい実施の形態について詳説したが、上述した実施の形態に制限されることはなく、特許請求の範囲に記載された範囲を逸脱することなく、上述した実施の形態に種々の変形および置換を加えることができる。
【0301】
以下、本書における用語の定義について説明する。
【0302】
「液体吐出ヘッド」とは、ノズルから液体を吐出または噴射する機能部品である。吐出される「液体」は、液体吐出ヘッドから吐出可能な粘度または表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱もしくは冷却により粘度が３０ｍＰａ・ｓ以下となるものであることが好ましい。
【0303】
例えば「液体」には、水または有機溶媒等の溶媒、染料または顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、および界面活性剤等の機能性付与材料等、を含む溶液、懸濁液、またはエマルジョン等が含まれる。また、例えば「液体」には、ＤＮＡ、アミノ酸またはタンパク質またはカルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料等、を含む溶液、懸濁液、またはエマルジョン等が含まれる。
【0304】
上記「液体」は、例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子または発光素子等の構成要素および電子回路レジストパターンの形成用液、または３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。液体を吐出するエネルギー発生源には、積層型圧電素子または薄膜型圧電素子等の圧電アクチュエータ以外にも、発熱抵抗体等の電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極とにより構成される静電アクチュエータ等が含まれる。
【0305】
「液体吐出ユニット」とは、液体吐出ヘッドに機能部品または機構が一体化されたものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体である。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、および主走査移動機構の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたもの等が含まれる。
【0306】
ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品または機構が、締結、接着、または係合等で互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品または機構とが互いに着脱可能に構成されていてもよい。
【0307】
例えば、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとヘッドタンクとが一体化されているものがある。また、チューブ等で互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。
【0308】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジとが一体化されているものがある。
【0309】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構とが一体化されているものがある。また、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構とが一体化されているものがある。
【0310】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構とが一体化されているものがある。
【0311】
また、液体吐出ユニットとして、ヘッドタンクもしくは流路部品が取り付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと液体供給機構が一体化されているものがある。このチューブを介して、液体貯留源の液体が液体吐出ヘッドに供給される。
【0312】
主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、液体供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。
【0313】
「液体吐出装置」は、液体吐出ヘッドまたは液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて、液体を吐出させる装置である。液体吐出装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を気中または液中に向けて吐出する装置も含まれる。
【0314】
「液体吐出装置」には、液体が付着可能なものの、給送、搬送または排紙に係わる手段、その他、前処理装置または後処理装置等も含まれる。
【0315】
例えば、「液体吐出装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、または、立体造形物（三次元造形物）を造形するために粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）等が挙げられる。
【0316】
また「液体吐出装置」は、吐出された液体によって文字または図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば「液体吐出装置」には、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、または三次元像を造形するものも含まれる。
【0317】
上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が吐出される対象物のことを意味し、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するもの等を意味する。具体例として、「液体が付着可能なもの」には、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、または布等の被記録媒体、電子基板、圧電素子等の電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、または検査用セル等の媒体が含まれる。特に限定しない限り、「液体が付着可能なもの」には、液体が付着するすべてのものが含まれる。
【0318】
上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、またはセラミックス等、液体が一時的でも付着可能であればよい。
【0319】
また「液体吐出装置」は、液体吐出ヘッドと、液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定されるものではない。具体例として、「液体吐出装置」には、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、または、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置等が含まれる。
【0320】
また「液体吐出装置」としては他にも、用紙の表面を改質する等の目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置等が挙げられる。また「液体吐出装置」には、原材料を溶液中に分散した組成液をノズルから噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置等が含まれる。
【0321】
また実施形態で説明した各種機能部は一つまたは複数の処理回路によって実現することが可能である。「処理回路」には、ソフトウェアで各機能を実行するように構成されたプロセッサが含まれる。また「処理回路」には、各機能を実行するように設計されたＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）またはＤＳＰ（Digital Signal Processor）等デバイスが含まれる。また「処理回路」には、ＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）および従来の回路モジュール等のデバイスが含まれる。
【0322】
また上述した実施形態の説明で用いた序数、数量等の数字は、全て本発明を具体的に説明するために例示するものであり、本発明は例示された数字に制限されない。また、構成要素間の接続関係は、本発明を具体的に説明するために例示するものであり、本発明の機能を実現する接続関係はこれに限定されない。
【0323】
本発明の態様は、例えば以下の通りである。
＜１＞ 液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルの各々を開閉する複数の弁体と、前記複数の弁体の各々を駆動する複数のアクチュエータと、を備える液体吐出ヘッドの駆動制御装置であって、前記駆動制御装置は、
前記ノズルを前記弁体に閉鎖させる閉鎖電圧を前記アクチュエータに印加可能であり、
前記ノズルが閉鎖状態から開放状態へ移行する電圧を閾値電圧とした場合に、前記複数のノズルのうち、前記閾値電圧の高い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧が、前記閾値電圧の高い前記ノズルよりも前記閾値電圧の低い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧と比べて高くなるように前記アクチュエータに印加する前記閉鎖電圧を制御する、駆動制御装置。
＜２＞ 前記駆動制御装置は、前記複数のノズルのうち、前記閾値電圧の高い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧と該閾値電圧との差と、前記閾値電圧の低い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧と該閾値電圧との差との差が、所定の値以下になるように前記アクチュエータに印加する前記閉鎖電圧を制御する、前記＜１＞に記載の駆動制御装置。
＜３＞ 前記駆動制御装置は、前記ノズルを前記弁体に開放させる開放電圧を前記アクチュエータに印加可能であり、前記複数のノズルのうち、前記閾値電圧の高い前記ノズルに対応する前記開放電圧が、前記閾値電圧の高い前記ノズルよりも前記閾値電圧の低い前記ノズルに対応する前記開放電圧と比べて高くなるように前記アクチュエータに印加する前記開放電圧を制御する、前記＜１＞または＜２＞に記載の駆動制御装置。
＜４＞ 前記駆動制御装置は、前記ノズルを前記弁体に開放させる開放電圧を前記アクチュエータに印加可能であり、前記複数のノズルのうち、前記閾値電圧の高い前記ノズルに対応する前記開放電圧と該閾値電圧との差と、前記閾値電圧の低い前記ノズルに対応する前記開放電圧と該閾値電圧との差との差が、所定の値以下になるように前記アクチュエータに印加する前記開放電圧を制御する、前記＜１＞から＜３＞のいずれか一つに記載の駆動制御装置。
＜５＞ 液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルの各々を開閉する複数の弁体と、前記複数の弁体の各々を駆動する複数のアクチュエータと、を備える液体吐出ヘッドの駆動制御装置であって、前記駆動制御装置は、
前記ノズルを前記弁体に閉鎖させる閉鎖電圧を前記アクチュエータに印加可能であり、
前記アクチュエータに印加する電圧の変化に対する前記ノズルの流量の変化が最大を示す電圧を中間電圧とした場合に、前記複数のノズルのうち、前記中間電圧の高い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧が、前記中間電圧の高い前記ノズルよりも前記中間電圧の低い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧と比べて高くなるように前記アクチュエータに印加する前記閉鎖電圧を制御する、駆動制御装置。
＜６＞ 前記駆動制御装置は、前記複数のノズルのうち、前記中間電圧の高い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧と該中間電圧との差と、前記中間電圧の低い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧と該中間電圧との差との差が、所定の値以下になるように前記複数のアクチュエータに印加する前記閉鎖電圧を制御する、前記＜５＞に記載の駆動制御装置。
＜７＞ 前記駆動制御装置は、前記ノズルを前記弁体に開放させる開放電圧を前記アクチュエータに印加可能であり、前記複数のノズルのうち、前記中間電圧の高い前記ノズルに対応する前記開放電圧が、前記中間電圧の高い前記ノズルよりも前記中間電圧の低い前記ノズルに対応する前記開放電圧と比べて高くなるように前記アクチュエータに印加する前記開放電圧を制御する、前記＜５＞または＜６＞に記載の駆動制御装置。
＜８＞ 前記駆動制御装置は、前記ノズルを前記弁体に開放させる開放電圧を前記アクチュエータに印加可能であり、前記複数のノズルのうち、前記中間電圧の高い前記ノズルに対応する前記開放電圧と該中間電圧との差と、前記中間電圧の低い前記ノズルに対応する前記開放電圧と該中間電圧との差との差が所定の値以下になるように前記アクチュエータに印加する前記開放電圧を制御する、前記＜５＞から＜７＞のいずれか一つに記載の駆動制御装置。
＜９＞ 前記＜１＞から＜８＞のいずれか一項に記載の駆動制御装置と、
前記液体吐出ヘッドと、
を備える、液体吐出装置。
＜１０＞ 前記＜９＞に記載の液体吐出装置と、
前記ノズルの流量を測定する流量計と、
前記流量と、前記アクチュエータに印加される電圧との関係を解析する流量解析部と、
解析した結果を前記液体吐出装置にフィードバックする通信回路と、
を備える、液体吐出システム。
＜１１＞ 液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルの各々を開閉する複数の弁体と、前記複数の弁体の各々を駆動する複数のアクチュエータと、を備える液体吐出ヘッドと、前記ノズルを前記弁体に閉鎖させる閉鎖電圧を前記アクチュエータに印加可能な駆動制御装置と、を備える液体吐出装置の制御方法であって、前記液体吐出装置が、
前記ノズルが閉鎖状態から開放状態へ移行する電圧を閾値電圧とした場合に、前記複数のノズルのうち、前記閾値電圧の高い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧が、前記閾値電圧の高い前記ノズルよりも前記閾値電圧の低い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧と比べて高くなるように前記複数のアクチュエータに印加する前記閉鎖電圧を制御するステップを実行する、制御方法。
＜１２＞ 液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルの各々を開閉する複数の弁体と、前記複数の弁体の各々を駆動する複数のアクチュエータと、を備える液体吐出ヘッドと、前記ノズルを前記弁体に閉鎖させる閉鎖電圧を前記アクチュエータに印加可能な駆動制御装置と、を備える液体吐出装置の制御方法であって、前記液体吐出装置が、
前記アクチュエータに印加する電圧の変化に対する前記ノズルの流量の変化が最大を示す電圧を中間電圧とした場合に、前記複数のノズルのうち、前記中間電圧の高い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧が、前記中間電圧の高い前記ノズルよりも前記中間電圧の低い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧と比べて高くなるように前記アクチュエータに印加する前記閉鎖電圧を制御するステップを実行する、制御方法。
＜１３＞ 液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルの各々を開閉する複数の弁体と、前記複数の弁体の各々を駆動する複数のアクチュエータと、を有する液体吐出ヘッドと、前記アクチュエータに電圧を印加することで前記ノズルを閉鎖状態と開放状態のいずれかとなるように前記液体吐出ヘッドを駆動制御する駆動制御装置と、を備える液体吐出システムの制御方法であって、
前記駆動制御装置に、前記アクチュエータに電圧を印可させ前記ノズルから前記液体を吐出させるステップと、
流量計に、前記ノズルから吐出される前記液体の流量を測定させるステップと、
前記流量と、前記液体吐出ヘッドに印加される電圧との関係を解析するステップと、
解析した結果を通信回路に前記駆動制御装置へフィードバックさせるステップと、
を実行し、
前記解析するステップは、前記流量計の測定結果と前記電圧とに基づいて、前記ノズルを前記閉鎖状態にする閉鎖電圧と前記ノズルを前記開放状態にする開放電圧との少なくとも一方を決定し、
前記フィードバックさせるステップは、決定した前記閉鎖電圧と前記開放電圧との少なくとも一方を前記駆動制御装置にフィードバックする、制御方法。
＜１４＞ 液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルの各々を開閉する複数の弁体と、前記複数の弁体の各々を駆動する複数のアクチュエータと、を備える液体吐出ヘッドと、前記ノズルを前記弁体に閉鎖させる閉鎖電圧を前記アクチュエータに印加可能な駆動制御装置と、を備える液体吐出装置の制御プログラムであって、
前記ノズルが閉鎖状態から開放状態へ移行する電圧を閾値電圧とした場合に、前記複数のノズルのうち、前記閾値電圧の高い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧が、前記閾値電圧の高い前記ノズルよりも前記閾値電圧の低い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧と比べて高くなるように前記アクチュエータの前記閉鎖電圧を制御するステップをコンピュータに実行させる、制御プログラム。
＜１５＞ 液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルの各々を開閉する複数の弁体と、前記複数の弁体の各々を駆動する複数のアクチュエータと、を備える液体吐出ヘッドと、前記ノズルを前記弁体に閉鎖させる閉鎖電圧を前記アクチュエータに印加可能な駆動制御装置と、を備える液体吐出装置の制御プログラムであって、
前記アクチュエータに印加する電圧の変化に対する前記ノズルの流量の変化が最大を示す電圧を中間電圧とした場合に、前記複数のノズルのうち、前記中間電圧の高い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧が、前記中間電圧の高い前記ノズルよりも前記中間電圧の低い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧と比べて高くなるように前記アクチュエータの前記閉鎖電圧を制御するステップをコンピュータに実行させる、制御プログラム。
＜１６＞ 液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルの各々を開閉する複数の弁体と、前記複数の弁体の各々を駆動する複数のアクチュエータと、を有する液体吐出ヘッドと、前記アクチュエータに電圧を印加することで前記ノズルを閉鎖状態と開放状態のいずれかとなるように前記液体吐出ヘッドを駆動制御する駆動制御装置と、を備える液体吐出システムの制御プログラムであって、
前記駆動制御装置に、前記アクチュエータに電圧を印可させ前記ノズルから前記液体を吐出させるステップと、
流量計に、前記ノズルから吐出される前記液体の流量を流量計に測定させるステップと、
前記流量と、前記液体吐出ヘッドに印加される電圧との関係を解析するステップと、
解析した結果を通信回路に前記駆動制御装置へフィードバックさせるステップと、
をコンピュータに実行させ、
前記解析するステップは、前記流量計の測定結果と前記電圧とに基づいて、前記ノズルを前記閉鎖状態にする閉鎖電圧と前記ノズルを前記開放状態にする開放電圧との少なくとも一方を決定し、
前記フィードバックさせるステップは、決定した前記閉鎖電圧と前記開放電圧との少なくとも一方を前記駆動制御装置にフィードバックする、制御プログラム。
＜１＞ 液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルの各々を開閉する複数の弁体と、前記複数の弁体の各々を駆動する複数のアクチュエータと、を備える液体吐出ヘッドの駆動制御装置であって、前記駆動制御装置は、
前記ノズルを前記弁体に閉鎖させる閉鎖電圧を前記アクチュエータに印加可能であり、
前記ノズルが閉鎖状態から開放状態へ移行する電圧を閾値電圧とした場合に、前記複数のノズルのうち、前記閾値電圧の高い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧が、前記閾値電圧の高い前記ノズルよりも前記閾値電圧の低い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧と比べて高くなるように前記アクチュエータに印加する前記閉鎖電圧を制御する、駆動制御装置。
＜２＞ 前記駆動制御装置は、前記複数のノズルのうち、前記閾値電圧の高い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧と該閾値電圧との差と、前記閾値電圧の低い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧と該閾値電圧との差との差が、所定の値以下になるように前記アクチュエータに印加する前記閉鎖電圧を制御する、前記＜１＞に記載の駆動制御装置。
＜３＞ 前記駆動制御装置は、前記ノズルを前記弁体に開放させる開放電圧を前記アクチュエータに印加可能であり、前記複数のノズルのうち、前記閾値電圧の高い前記ノズルに対応する前記開放電圧が、前記閾値電圧の高い前記ノズルよりも前記閾値電圧の低い前記ノズルに対応する前記開放電圧と比べて高くなるように前記アクチュエータに印加する前記開放電圧を制御する、前記＜１＞または＜２＞に記載の駆動制御装置。
＜４＞ 前記駆動制御装置は、前記ノズルを前記弁体に開放させる開放電圧を前記アクチュエータに印加可能であり、前記複数のノズルのうち、前記閾値電圧の高い前記ノズルに対応する前記開放電圧と該閾値電圧との差と、前記閾値電圧の低い前記ノズルに対応する前記開放電圧と該閾値電圧との差との差が、所定の値以下になるように前記アクチュエータに印加する前記開放電圧を制御する、前記＜１＞から＜３＞のいずれか一つに記載の駆動制御装置。
＜５＞ 液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルの各々を開閉する複数の弁体と、前記複数の弁体の各々を駆動する複数のアクチュエータと、を備える液体吐出ヘッドの駆動制御装置であって、前記駆動制御装置は、
前記ノズルを前記弁体に閉鎖させる閉鎖電圧を前記アクチュエータに印加可能であり、
前記アクチュエータに印加する電圧の変化に対する前記ノズルの流量の変化が最大を示す電圧を中間電圧とした場合に、前記複数のノズルのうち、前記中間電圧の高い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧が、前記中間電圧の高い前記ノズルよりも前記中間電圧の低い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧と比べて高くなるように前記アクチュエータに印加する前記閉鎖電圧を制御する、駆動制御装置。
＜６＞ 前記駆動制御装置は、前記複数のノズルのうち、前記中間電圧の高い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧と該中間電圧との差と、前記中間電圧の低い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧と該中間電圧との差との差が、所定の値以下になるように前記複数のアクチュエータに印加する前記閉鎖電圧を制御する、前記＜５＞に記載の駆動制御装置。
＜７＞ 前記駆動制御装置は、前記ノズルを前記弁体に開放させる開放電圧を前記アクチュエータに印加可能であり、前記複数のノズルのうち、前記中間電圧の高い前記ノズルに対応する前記開放電圧が、前記中間電圧の高い前記ノズルよりも前記中間電圧の低い前記ノズルに対応する前記開放電圧と比べて高くなるように前記アクチュエータに印加する前記開放電圧を制御する、前記＜５＞または＜６＞に記載の駆動制御装置。
＜８＞ 前記駆動制御装置は、前記ノズルを前記弁体に開放させる開放電圧を前記アクチュエータに印加可能であり、前記複数のノズルのうち、前記中間電圧の高い前記ノズルに対応する前記開放電圧と該中間電圧との差と、前記中間電圧の低い前記ノズルに対応する前記開放電圧と該中間電圧との差との差が所定の値以下になるように前記アクチュエータに印加する前記開放電圧を制御する、前記＜５＞から＜７＞のいずれか一つに記載の駆動制御装置。
＜９＞ 前記＜１＞から＜８＞のいずれか一項に記載の駆動制御装置と、
前記液体吐出ヘッドと、
を備える、液体吐出装置。
＜１０＞ 前記＜９＞に記載の液体吐出装置と、
前記ノズルの流量を測定する流量計と、
前記流量と、前記アクチュエータに印加される電圧との関係を解析する流量解析部と、
解析した結果を前記液体吐出装置にフィードバックする通信回路と、
を備える、液体吐出システム。
＜１１＞ 液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルの各々を開閉する複数の弁体と、前記複数の弁体の各々を駆動する複数のアクチュエータと、を備える液体吐出ヘッドと、前記ノズルを前記弁体に閉鎖させる閉鎖電圧を前記アクチュエータに印加可能な駆動制御装置と、を備える液体吐出装置の制御方法であって、前記液体吐出装置が、
前記ノズルが閉鎖状態から開放状態へ移行する電圧を閾値電圧とした場合に、前記複数のノズルのうち、前記閾値電圧の高い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧が、前記閾値電圧の高い前記ノズルよりも前記閾値電圧の低い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧と比べて高くなるように前記複数のアクチュエータに印加する前記閉鎖電圧を制御するステップを実行する、制御方法。
＜１２＞ 液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルの各々を開閉する複数の弁体と、前記複数の弁体の各々を駆動する複数のアクチュエータと、を備える液体吐出ヘッドと、前記ノズルを前記弁体に閉鎖させる閉鎖電圧を前記アクチュエータに印加可能な駆動制御装置と、を備える液体吐出装置の制御方法であって、前記液体吐出装置が、
前記アクチュエータに印加する電圧の変化に対する前記ノズルの流量の変化が最大を示す電圧を中間電圧とした場合に、前記複数のノズルのうち、前記中間電圧の高い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧が、前記中間電圧の高い前記ノズルよりも前記中間電圧の低い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧と比べて高くなるように前記アクチュエータに印加する前記閉鎖電圧を制御するステップを実行する、制御方法。
＜１３＞ 液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルの各々を開閉する複数の弁体と、前記複数の弁体の各々を駆動する複数のアクチュエータと、を有する液体吐出ヘッドと、前記アクチュエータに電圧を印加することで前記ノズルを閉鎖状態と開放状態のいずれかとなるように前記液体吐出ヘッドを駆動制御する駆動制御装置と、を備える液体吐出システムの制御方法であって、
前記駆動制御装置に、前記アクチュエータに電圧を印可させ前記ノズルから前記液体を吐出させるステップと、
流量計に、前記ノズルから吐出される前記液体の流量を測定させるステップと、
前記流量と、前記液体吐出ヘッドに印加される電圧との関係を解析するステップと、
解析した結果を通信回路に前記駆動制御装置へフィードバックさせるステップと、
を実行し、
前記解析するステップは、前記流量計の測定結果と前記電圧とに基づいて、前記ノズルを前記閉鎖状態にする閉鎖電圧と前記ノズルを前記開放状態にする開放電圧との少なくとも一方を決定し、
前記フィードバックさせるステップは、決定した前記閉鎖電圧と前記開放電圧との少なくとも一方を前記駆動制御装置にフィードバックする、制御方法。
＜１４＞ 液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルの各々を開閉する複数の弁体と、前記複数の弁体の各々を駆動する複数のアクチュエータと、を備える液体吐出ヘッドと、前記ノズルを前記弁体に閉鎖させる閉鎖電圧を前記アクチュエータに印加可能な駆動制御装置と、を備える液体吐出装置の制御プログラムであって、
前記ノズルが閉鎖状態から開放状態へ移行する電圧を閾値電圧とした場合に、前記複数のノズルのうち、前記閾値電圧の高い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧が、前記閾値電圧の高い前記ノズルよりも前記閾値電圧の低い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧と比べて高くなるように前記アクチュエータの前記閉鎖電圧を制御するステップをコンピュータに実行させる、制御プログラム。
＜１５＞ 液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルの各々を開閉する複数の弁体と、前記複数の弁体の各々を駆動する複数のアクチュエータと、を備える液体吐出ヘッドと、前記ノズルを前記弁体に閉鎖させる閉鎖電圧を前記アクチュエータに印加可能な駆動制御装置と、を備える液体吐出装置の制御プログラムであって、
前記アクチュエータに印加する電圧の変化に対する前記ノズルの流量の変化が最大を示す電圧を中間電圧とした場合に、前記複数のノズルのうち、前記中間電圧の高い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧が、前記中間電圧の高い前記ノズルよりも前記中間電圧の低い前記ノズルに対応する前記閉鎖電圧と比べて高くなるように前記アクチュエータの前記閉鎖電圧を制御するステップをコンピュータに実行させる、制御プログラム。
＜１６＞ 液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルの各々を開閉する複数の弁体と、前記複数の弁体の各々を駆動する複数のアクチュエータと、を有する液体吐出ヘッドと、前記アクチュエータに電圧を印加することで前記ノズルを閉鎖状態と開放状態のいずれかとなるように前記液体吐出ヘッドを駆動制御する駆動制御装置と、を備える液体吐出システムの制御プログラムであって、
前記駆動制御装置に、前記アクチュエータに電圧を印可させ前記ノズルから前記液体を吐出させるステップと、
流量計に、前記ノズルから吐出される前記液体の流量を流量計に測定させるステップと、
前記流量と、前記液体吐出ヘッドに印加される電圧との関係を解析するステップと、
解析した結果を通信回路に前記駆動制御装置へフィードバックさせるステップと、
をコンピュータに実行させ、
前記解析するステップは、前記流量計の測定結果と前記電圧とに基づいて、前記ノズルを前記閉鎖状態にする閉鎖電圧と前記ノズルを前記開放状態にする開放電圧との少なくとも一方を決定し、
前記フィードバックさせるステップは、決定した前記閉鎖電圧と前記開放電圧との少なくとも一方を前記駆動制御装置にフィードバックする、制御プログラム。
【符号の説明】
【0324】
１０ 液体吐出ヘッド
１１ ハウジング
１２ 供給ポート
１３ 回収ポート
１４ ノズル
１５ ノズル板
１６ 流路
１７ 弁体
１７ａ 弾性部材
１８ アクチュエータ
１９ 規制部材
２０ 液体吐出モジュール
２１ 軸受
２２ 封止部材
２３ 保持部材
２４ リード線
２５ 液体
２９ コネクタ
３０ 液体供給機構
３１ タンク
３２ チューブ
３３ エアーレギュレータ
３４ パイプ
３５ コンプレッサ
４０ 駆動制御装置
４１ 駆動波形発生回路
４２ 増幅回路
４３ 流量計
４４ 流量解析部
４５ 通信回路
６０ 液体吐出ユニット
７０ ヘッド保持体
７１ キャリッジ
７２ Ｘ方向駆動アクチュエータ
８２ Ｙ方向駆動アクチュエータ
９２ 第１Ｚ方向駆動アクチュエータ
９３ 第２Ｚ方向駆動アクチュエータ
１００ 液体吐出装置
１０１ Ｘ軸レール
１０２ Ｙ軸レール
１０３ Ｚ軸レール
１０９ エンコーダセンサ
９０１ コントローラ
９０１１ システム制御部
９０１２ 画像データ格納部
９０１３ メモリ制御部
９０１４ 吐出周期信号生成部
９０１５ キャリッジ制御部
９０２ ヘッド駆動制御部
９０２１ 駆動波形データ格納部
９０２２ 駆動波形生成部
９０２４ 電圧増幅部
９０２５ 電流増幅部
９０３ ＰＣ
９０３１ ＲＩＰ部
９０３２ レンダリング部
９０３３ 入力装置
１００１ 塗布装置
１００３ Ｘ－Ｙテーブル
１００４ カメラ
１００５ Ｘ軸
１００６ Ｙ軸
１００７ シャフト
１００８ ロボットアーム
１１０ｇ 吐出工程部
１３０ｇ 加熱工程部
３ａ 加熱装置
４ｇ 印刷基材
５ 搬送部
７ 液体組成物
２８１ａ 印刷装置
２８１ｂ 収容容器
２８１ｃ 供給チューブ
３０７ 内部タンク
３０８ 送液チューブ
３１０ ポンプ
３１１、３１２、３１４ バルブ
３１３ 外部タンク
Ｓ 対象物
１１ ハウジング
１２ 供給ポート
１３ 回収ポート
１４ ノズル
１５ ノズル板
１６ 流路
１７ 弁体
１７ａ 弾性部材
１８ アクチュエータ
１９ 規制部材
２０ 液体吐出モジュール
２１ 軸受
２２ 封止部材
２３ 保持部材
２４ リード線
２５ 液体
２９ コネクタ
３０ 液体供給機構
３１ タンク
３２ チューブ
３３ エアーレギュレータ
３４ パイプ
３５ コンプレッサ
４０ 駆動制御装置
４１ 駆動波形発生回路
４２ 増幅回路
４３ 流量計
４４ 流量解析部
４５ 通信回路
６０ 液体吐出ユニット
７０ ヘッド保持体
７１ キャリッジ
７２ Ｘ方向駆動アクチュエータ
８２ Ｙ方向駆動アクチュエータ
９２ 第１Ｚ方向駆動アクチュエータ
９３ 第２Ｚ方向駆動アクチュエータ
１００ 液体吐出装置
１０１ Ｘ軸レール
１０２ Ｙ軸レール
１０３ Ｚ軸レール
１０９ エンコーダセンサ
９０１ コントローラ
９０１１ システム制御部
９０１２ 画像データ格納部
９０１３ メモリ制御部
９０１４ 吐出周期信号生成部
９０１５ キャリッジ制御部
９０２ ヘッド駆動制御部
９０２１ 駆動波形データ格納部
９０２２ 駆動波形生成部
９０２４ 電圧増幅部
９０２５ 電流増幅部
９０３ ＰＣ
９０３１ ＲＩＰ部
９０３２ レンダリング部
９０３３ 入力装置
１００１ 塗布装置
１００３ Ｘ－Ｙテーブル
１００４ カメラ
１００５ Ｘ軸
１００６ Ｙ軸
１００７ シャフト
１００８ ロボットアーム
１１０ｇ 吐出工程部
１３０ｇ 加熱工程部
３ａ 加熱装置
４ｇ 印刷基材
５ 搬送部
７ 液体組成物
２８１ａ 印刷装置
２８１ｂ 収容容器
２８１ｃ 供給チューブ
３０７ 内部タンク
３０８ 送液チューブ
３１０ ポンプ
３１１、３１２、３１４ バルブ
３１３ 外部タンク
Ｓ 対象物
【先行技術文献】
【特許文献】
【0325】
【特許文献1】特開２０２２－０６４４８２号公報
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9A】
【図9B】
【図9C】
【図10A】
【図10B】
【図11】
【図12】
【図13】