特開 2024-119101 液体付与装置、電極製造装置、電気化学素子製造装置、液体付与方法、電極製造方法および電気化学素子製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024119101

(43)【公開日】2024-09-03

(54)【発明の名称】液体付与装置、電極製造装置、電気化学素子製造装置、液体付与方法、電極製造方法および電気化学素子製造方法

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/195 20060101AFI20240827BHJP

   B41J 2/18 20060101ALI20240827BHJP

   B41J 2/175 20060101ALI20240827BHJP

   B41J 2/01 20060101ALI20240827BHJP

【ＦＩ】

B41J2/195

B41J2/18

B41J2/175 301

B41J2/01 401

【審査請求】未請求

【請求項の数】15

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023025746

(22)【出願日】2023-02-22

(71)【出願人】

【識別番号】000006747

【氏名又は名称】株式会社リコー

(74)【代理人】

【識別番号】100098626

【弁理士】

【氏名又は名称】黒田 壽

(72)【発明者】

【氏名】徳山 浩二

【テーマコード（参考）】

2C056

【Ｆターム（参考）】

2C056EA26

2C056EA28

2C056EB16

2C056EB21

2C056EB30

2C056EB34

2C056EB50

2C056EC15

2C056EC19

2C056EC20

2C056EC29

2C056EC40

2C056EC45

2C056EC46

2C056FA13

2C056FA14

2C056FB04

2C056FD13

2C056HA15

2C056KA01

2C056KB16

2C056KB37

(57)【要約】      （修正有）

【課題】貯留部および液体付与手段間における液体組成物の品質低下を低減する。
【解決手段】液体組成物を付与する液体付与手段と、液体付与手段に供給する第一貯留部と、第一貯留部に供給する第二貯留部と、液体付与手段と第一貯留部との間で液体組成物を循環させる第一循環経路と、第一貯留部と第二貯留部との間で液体組成物を循環させる第二循環経路と、第二貯留部から液体組成物を第一貯留部に送液する第一送液手段と、第一貯留部から液体組成物を第二貯留部に送液する第二送液手段と、第一貯留部の貯留量に基づいた信号を出力する貯留量検知手段と、第一循環経路における液体組成物の性状に基づいた信号を出力する性状検知手段とを備え、貯留量検知手段の出力に基づき第一送液手段の送液量を制御し、性状検知手段の出力に基づき第一送液手段と前記第二送液手段の送液量を制御することにより、液体組成物の品質低下を低減する。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

液体組成物を付与する液体付与手段と、
前記液体組成物を貯留し、前記液体付与手段に供給する第一貯留部と、
前記液体組成物を貯留し、前記第一貯留部に供給する第二貯留部と、
前記液体付与手段と、前記第一貯留部との間で前記液体組成物を循環させる第一循環経路と、
前記第一貯留部と第二貯留部との間で前記液体組成物を循環させる第二循環経路と、
前記第二循環経路に設けられ、前記第二貯留部から前記液体組成物を前記第一貯留部に送液する第一送液手段と、
前記第二循環経路に設けられ、前記第一貯留部から前記液体組成物を前記第二貯留部に送液する第二送液手段と、
前記第一貯留部に設けられ、前記第一貯留部の貯留量に基づいた信号を出力する貯留量検知手段と、
前記第一循環経路に設けられ、前記第一循環経路における前記液体組成物の性状に基づいた信号を出力する性状検知手段と、
前記第一送液手段および前記第二送液手段を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記貯留量検知手段の出力に基づき、前記第一送液手段の送液量を制御し、前記性状検知手段の出力に基づき、前記第一送液手段と前記第二送液手段の送液量を制御することを特徴とする液体付与装置。

【請求項2】

前記第二貯留部は、前記液体組成物の性状を均一にする均一化手段を備えることを特徴とする請求項１記載の液体付与装置。

【請求項3】

前記均一化手段は、前記液体組成物の温度を調整する温調機構を含むことを特徴とする請求項２記載の液体付与装置。

【請求項4】

前記液体組成物は沈降性材料を含む液体であり、前記均一化手段は、前記沈降性材料の濃度を均一にする沈降性材料濃度均一化手段を含むことを特徴とする請求項２記載の液体付与装置。

【請求項5】

前記第一貯留部から前記液体付与手段に前記液体組成物を供給する供給経路に設けられる第三送液手段と、
前記液体付与手段から前記第一貯留部に前記液体組成物を回収する回収経路に設けられる第四送液手段と、
前記供給経路に設けられ、前記供給経路を送られる前記液体組成物の圧力に基づいた信号を出力する第一圧力検出手段と、
前記回収経路に設けられ、前記回収経路を送られる前記液体組成物の圧力に基づいた信号を出力する第二圧力検出手段と、
前記第三送液手段および前記第四送液手段を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記第一圧力検出手段の出力に基づき、前記第三送液手段の送液量を制御し、前記第二圧力検出手段の出力に基づき、前記第四送液手段の送液量を制御することを特徴とする請求項１記載の液体付与装置。

【請求項6】

前記貯留量検知手段は、前記第一貯留部に対し、前記第一循環経路の循環方向上流部と下流部とに設けられる、少なくとも２つの流量計を含み、前記２つの流量計の出力に基づき、前記第一貯留部の貯留量を検知することを特徴とする請求項１記載の液体付与装置。

【請求項7】

請求項１に記載の液体付与装置と、
前記液体付与装置の後段に設けられる後処理装置と、
を備えることを特徴とする電極製造装置。

【請求項8】

請求項７に記載の電極製造装置と、前記電極製造装置の後段に設けられる電気化学素子化装置と、を備えることを特徴とする電気化学素子製造装置。

【請求項9】

基体に液体組成物を付与する液体付与手段と、
前記液体組成物を貯留し、前記液体付与手段に供給する第一貯留部と、
前記液体組成物を貯留し、前記第一貯留部に供給する第二貯留部と、
前記液体付与手段と、前記第一貯留部との間で前記液体組成物を循環させる第一循環経路と、
前記第一貯留部と第二貯留部との間で前記液体組成物を循環させる第二循環経路と、
前記第二循環経路に設けられ、前記第二貯留部から前記液体組成物を前記第一貯留部に送液する第一送液手段と、
前記第二循環経路に設けられ、前記第一貯留部から前記液体組成物を前記第二貯留部に送液する第二送液手段と、
前記第一貯留部に設けられ、前記第一貯留部の貯留量に基づいた信号を出力する貯留量検知手段と、
前記第一循環経路に設けられ、前記第一循環経路における前記液体組成物の性状に基づいた信号を出力する性状検知手段と、
前記第一送液手段および前記第二送液手段を制御する制御部と、
を備え、
前記貯留量検知手段の出力に基づき、前記第一送液手段の送液量を制御する第一送液量制御ステップと、
前記性状検知手段の出力に基づき、前記第一送液手段と前記第二送液手段の送液量を制御する第二送液量制御ステップと、
を含むことを特徴とする液体付与方法。

【請求項10】

請求項９に記載の液体付与方法を含み、
前記基体は電極基体であることを特徴とする電極製造方法。

【請求項11】

前記電極基体は、集電体と、前記集電体上に設けられた活物質層と、を含む請求項１０記載の電極製造方法。

【請求項12】

前記電極基体は、集電体からなる請求項１０記載の電極製造方法。

【請求項13】

前記液体組成物は、絶縁性材料を含むことを特徴とする請求項１０または１１記載の電極製造方法。

【請求項14】

前記液体組成物は、活物質を含むことを特徴とする請求項１０または１２記載の電極製造方法。

【請求項15】

請求項１０に記載の電極製造方法を含むことを特徴とする電気化学素子製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、液体付与装置、電極製造装置、電気化学素子製造装置、液体付与方法、電極製造方法および電気化学素子製造方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、液体を収容するメインタンクと、液体を吐出する液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドに液体を供給するサブタンクと、メインタンクとサブタンクを接続する第１の液体供給路と、サブタンクと液滴吐出ヘッドを接続する第２の液体供給路と、第２の液体供給路に設けられる第１の切り替え弁によって液体をサブタンクからメインタンクへ戻すことが可能なように第２の液体供給路とメインタンクを接続する液体戻り路と、第１の液体供給路に設けられサブタンクへ液送可能な第１のポンプと、液体戻り路に設けられメインタンクへ液送可能な第２のポンプと、を備える液体吐出ユニットが記載されている。

【0003】

特許文献２には、液体吐出ヘッドを介して液体が循環する循環経路を有し、循環経路には、複数の液体吐出ヘッドの供給口側に通じる上流側マニホールドと、複数の液体吐出ヘッドの排出口側に通じる下流側マニホールドと、下流側マニホールド内の液体を排出する排出側流路と、を有し、下流側マニホールド内の気泡を排出する気泡排出経路を、排出側流路とは別に設けた液体循環装置が記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１９－１２３２０７号公報

【特許文献2】特開２０１８－０８９９４９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しなしながら、環境変化等による液体組成物の性状変化により、貯留部での液体組成物の品質を液体付与手段まで保たせることが難しいという課題があった。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、液体組成物を付与する液体付与手段と、前記液体組成物を貯留し、前記液体付与手段に供給する第一貯留部と、前記液体組成物を貯留し、前記第一貯留部に供給する第二貯留部と、前記液体付与手段と、前記第一貯留部との間で前記液体組成物を循環させる第一循環経路と、前記第一貯留部と第二貯留部との間で前記液体組成物を循環させる第二循環経路と、前記第二循環経路に設けられ、前記第二貯留部から前記液体組成物を前記第一貯留部に送液する第一送液手段と、前記第二循環経路に設けられ、前記第一貯留部から前記液体組成物を前記第二貯留部に送液する第二送液手段と、前記第一貯留部に設けられ、前記第一貯留部の貯留量に基づいた信号を出力する貯留量検知手段と、前記第一循環経路に設けられ、前記第一循環経路における前記液体組成物の性状に基づいた信号を出力する性状検知手段と、前記第一送液手段および前記第二送液手段を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記貯留量検知手段の出力に基づき、前記第一送液手段の送液量を制御し、前記性状検知手段の出力に基づき、前記第一送液手段と前記第二送液手段の送液量を制御することを特徴とする。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、貯留部および液体付与手段間における液体組成物の品質低下を低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】実施形態に係る液体付与装置の一例を示す全体構成図。

【図2】図１に例示した液体付与装置の概略平面図。

【図3】液体付与手段の一例を示す外観斜視図。

【図4】循環経路の構成例を示す概念図。

【図5】液温差と加算流量の関係を示す図。

【図6】液体循環系の制御部の機能構成例を示すブロック図。

【図7】循環経路の別の構成例を示す概念図。

【図8】実施形態に係る電極製造装置および電気化学素子製造装置を模式的に示した図。

【図9】電極印刷部の変形例を示す説明図。

【図10】図９の電極印刷部における電極素子の作製工程の一例を示す説明図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、図面を参照しながら発明を実施するための形態を説明する。図面の説明において同一要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。

【0010】

＜液体付与装置の概略＞
図１および図２を用いて液体付与装置の概略を説明する。図１は実施形態に係る液体付与装置の一例を示す全体構成図、図２は、その概略平面図である。

【0011】

例示した液体付与装置は、基体Ｗの表面に液体組成物を付与して機能層を形成することにより、一次電池、二次電池またはキャパシタ等の電気化学素子に含まれる電極を製造する装置である。

【0012】

電極を製造する装置は、例えば、液体組成物として樹脂前駆体としての重合性化合物（モノマー）を含む樹脂層形成用インクまたは無機酸化物粒子を含む無機層形成用インクとしての液体インク、即ち絶縁性材料を含む液体インクを用いて、基体Ｗの一例としての集電体と、集電体上の少なくとも一部に設けられた活物質を含む電極合材層と、を有する電極基体の表面に絶縁層を形成するものである。つまり、電極を製造する装置は、樹脂層または無機層作製用インクを用いて、金属箔の表面、または金属箔上に塗工された合材層の表面の少なくともいずれか一方に対し、絶縁層を形成する。このように形成された絶縁層は、電極または電気化学素子において正極および負極が物理的に接触することを抑制する絶縁機能を有する機能層の一例である。なお、本発明において電極基体とは、電極を製造する装置において液体インクが付与される対象であり、液体インクが付与されることで形成される電極の前駆体のことを表す。すなわち、電極基体Ｗは上述のようなまた、液体組成物は集電体と、集電体上の少なくとも一部に設けられた活物質を含む電極合材層と、を有する構成であってもよく、集電体から成る構成であってもよい。また、液体組成物は活物質を含む電極合材層形成用インクであってもよい。このとき、例えば集電体から成る電極基体上に電極合材層形成用インクを付与することで集電体と、電極合材層と、を有する電極を製造することができる。

【0013】

図１において、電極製造装置１０００は、供給部１、電極印刷部２、乾燥部３、および巻取部４を備える。

【0014】

供給部１は、ロール状に巻かれた基体（電極基体）Ｗを支持する支持ローラ１ａと、支持ローラ１ａから繰り出された基体Ｗを電極印刷部２へ送る供給ガイドローラ１ｂ，１ｃを備える。

【0015】

電極印刷部２は、供給部１から送られる基体Ｗを搬送する搬送装置２ａと、搬送装置２ａにより搬送される基体Ｗの表面に液体インクを付与する液体付与部２ｂを備える。

【0016】

乾燥部３は、電極印刷部２から送られる基体Ｗ表面の液体インクを乾燥させる乾燥炉３ａと、乾燥炉３ａから送り出される基体Ｗを搬送する排出ガイドローラ３ｂを備える。乾燥炉３ａは、基体Ｗ表面の液体インクを加熱して液体インク中の残溶媒を乾燥させたり、液体インクの硬化を促進したりする機能を有する。

【0017】

巻取部４は、乾燥部３から送られる基体Ｗを搬送する巻取ガイドローラ４ａ，４ｂと、基体Ｗを巻き取る巻取ローラ４ｃを備える。

【0018】

電極印刷部２において、液体付与部２ｂは、基体Ｗの表面に液体インクを付与するヘッド１００を備えたヘッドユニット２ｃを、基体Ｗの搬送方向に沿って複数備える。

【0019】

図２に示されるように、電極印刷部２の外部には、液体インクを貯留するメインタンク５０が設置される。メインタンク５０は、サブタンク３０を介してヘッド１００に接続され、ヘッド１００に液体インクを供給する。なお、メインタンクは電極印刷部２の内部に設けられてもよいが、その内部に少なくともヘッド１００が設けられる液体付与装置の筐体の外部に設けられることが好ましい。このような構成とすることにより、印刷中であっても、気流の変化などによる印刷動作への影響を小さくしつつ、かつ基体Ｗ上への異物の付着を防ぎながらインクの補充が可能となる。

【0020】

メインタンク５０とサブタンク３０とを接続する経路４０は、液体インクの循環が可能な循環経路となっており、メインタンク５０からサブタンク３０に液体インクを補充する補充経路と、サブタンク３０からメインタンク５０に液体インクを戻す還流経路とで構成される。また、サブタンク３０とヘッド１００とを接続する経路２０もまた、液体インクの循環が可能な循環経路となっており、サブタンク３０からヘッド１００に液体インクを供給する供給経路と、ヘッド１００からサブタンク３０に液体インクを戻す回収経路とで構成される。ここで、電極印刷部２は、液体付与装置の一例であり、ヘッド１００は、液体付与手段の一例である。

【0021】

図２において、メインタンク５０は、サブタンク３０と対をなして設けられる構成としているが、必ずしもこれに限るものではない。例えば、図２に例示した４つのヘッドユニット２ｃで同一の液体組成物が用いられる場合は、メインタンク５０を１つにし、１つのメインタンク５０から各ヘッドユニット２ｃへ液体組成物を供給する構成としてもよい。このような構成とすることにより、複数のヘッドユニット２ｃに対して、性状の近い状態のインクを供給することができ、ヘッドユニット２ｃによる液体付与能力を均一化することができる。このようにメインタンク５０の数は、使用される液体組成物の種類数に応じて、適宜共通化してよい。

【0022】

また、乾燥部３は、後処理装置の一例である。なお、電極製造装置１０００は、ヘッド１００から付与される液体インクの成分によっては、電極印刷部２と乾燥部３の間に、紫外線により基体Ｗ表面の液体インク層を硬化させる硬化部を備えた構成としてもよい。この場合の硬化部もまた後処理装置の一例となる。紫外線により硬化する液体インクの一例としては、重合性化合物（モノマー）を含むインクが挙げられる。

【0023】

基体Ｗは、図示されたような長尺物の形態に限るものではなく、予め所定のサイズに裁断された形態であってもよい。また、電極製造装置１０００は、定位置のヘッド１００に対して基体Ｗを移動させ、基体Ｗに液体インクを付与する、いわゆるライン型の装置構成を例示したが、ライン型に限るものではない。ヘッド１００と基体Ｗは、相対的に移動する構成であればよく、例えば、間欠送りされる基体Ｗに対してヘッド１００を基体Ｗの搬送方向と直交する方向へ移動させ、基体Ｗに液体インクを付与する、いわゆるシリアル型の装置構成でもよい。または、基体載置テーブルに保持された基体に対してヘッド１００をＸＹ方向へ移動させ、基体Ｗに液体インクを付与する、いわゆるフラットベッド型の装置構成でもよい。

【0024】

＜液体付与手段の概略＞
図３は液体付与手段の一例を示す外観斜視図である。

【0025】

液体付与手段の一例であるヘッド１００は、ノズル板１０１、流路部材１０２、共通液室部材１０３、カバー１０４、供給ポート１０５、および排出ポート１０６等を備える。ノズル板１０１は、液体インク等の液体組成物を付与する複数のノズルを有する。流路部材１０２は、共通液室部材１０３に供給された液体組成物を、各ノズルへ行き渡らせる。

【0026】

共通液室部材１０３は、供給ポート１０５と排出ポート１０６を備え、供給ポート１０５から液体組成物を取り込むとともに、ノズルから付与（吐出）されなかった液体組成物を、排出ポート１０６から排出する。

【0027】

カバー１０４は、共通液室部材１０３の上部側に設置される圧電アクチュエータ等の駆動機構を収容する。供給ポート１０５は、共通液室部材１０３を介して排出ポート１０６に通じており、これによりヘッド１００は、液体組成物を循環させることが可能な構成となっている。

【0028】

＜循環経路の構成例＞
図４を用いて液体組成物の循環経路の構成について説明する。図４は、循環経路の構成例を示す概念図である。

【0029】

サブタンク３０とヘッド１００は、両者間で液体組成物を循環させる第一循環経路２０によって接続される。サブタンク３０とメインタンク５０は、両者間で液体組成物を循環させる第二循環経路４０によって接続される。サブタンク３０は、第一循環経路２０と第二循環経路４０の中継部を成し、これによりメインタンク５０の液体組成物はヘッド１００へ供給可能となる。ここで、サブタンク３０は第一貯留部の一例であり、メインタンク５０は第二貯留部の一例である。なお、貯留部の容量は特に制限なく、第一循環経路２０と第二循環経路４０の中継部を成すような構成であればよい。

【0030】

［第一循環経路］
サブタンク３０とヘッド１００の間に形成される第一循環経路２０は、サブタンク３０からヘッド１００に向けて液体組成物を送液する供給経路２１と、ヘッド１００からサブタンク３０に向けて液体組成物を送液する回収経路２２とを備える。このうち、供給経路２１には、供給ポンプ２０１、液温センサ２２１、および圧力センサ２１１が設置される。供給ポンプ２０１は、サブタンク３０が貯留する液体組成物をヘッド１００（供給ポート１０５）へ供給する。供給ポンプ２０１は、第三送液手段の一例である。

【0031】

液温センサ２２１は、供給経路２１内を流れる液体組成物の性状の一例である温度（液温）を検知する。例えば、液温は、供給経路２１の内壁との摩擦により上昇したり、周囲の環境温度により変動する。こうした液温の変動は、液体組成物の粘度、あるいは、液体組成物がアルミナ粒子や活物質粒子などの沈降性材料を含んでいる場合は、沈降性材料の分散状態に影響を及ぼし、ヘッド１００から付与される液体組成物の品質が不安定になる。ヘッド１００から付与される液体組成物の品質を安定させるため、本実施形態では、液温センサ２２１を設けている。液温センサ２２１の検知結果は、第二循環経路４０に設けたポンプ４０１，４０２の制御に用いられる。液温センサ２２１は、性状検知手段の一例である。

【0032】

圧力センサ２１１は、供給経路２１内の圧力を検知する。以下、供給圧力センサ２１１ともいう。供給圧力センサ２１１の検出結果は、供給ポンプ２０１の流量制御に用いられ、供給ポンプ２０１の流量を制御することで、供給経路２１内の圧力を予め設定された目標値の圧力に維持する。供給圧力センサ２１１は、第一圧力検出手段の一例である。

【0033】

第一循環経路２０のうちの回収経路２２には、回収ポンプ２０２、および圧力センサ２１２が設置される。回収ポンプ２０２は、ヘッド１００（排出ポート１０６）から送り出された液体組成物をサブタンク３０へ回収する。回収ポンプ２０２は、第四送液手段の一例である。

【0034】

圧力センサ２１２は、回収経路２２内の圧力を検知する。以下、回収圧力センサ２１２ともいう。回収圧力センサ２１２の検出結果は、回収ポンプ２０２の流量制御に用いられ、回収ポンプ２０２の流量を制御することで、回収経路２２内の圧力を予め設定された目標値の圧力に維持する。回収圧力センサ２１２は、第二圧力検出手段の一例である。

【0035】

サブタンク３０は、大気開放部３１を備える。大気開放部３１は、サブタンク３０内を常圧の状態にし、循環経路内の圧力変動を防ぐ。

【0036】

上記のように構成された第一循環経路２０では、第一循環経路内の圧力が一定となり、ヘッド１００のノズルに適切なメニスカスを形成することができる。

【0037】

［第二循環経路］
サブタンク３０とメインタンク５０の間に形成される第二循環経路４０は、メインタンク５０からサブタンク３０に向けて液体組成物を送液する補充経路４１と、サブタンク３０からメインタンク５０に向けて液体組成物を送液する還流経路４２とを備える。

【0038】

サブタンク３０は、貯留量検知手段の一例である液面センサ３２を備える。液面センサ３２は、サブタンク３０における液体組成物の貯留量を検知しており、例えば、液体組成物の液面が基準液面３２１の高さにあるかを検知する。

【0039】

第二循環経路４０のうち、補充経路４１には補充ポンプ４０１が設置される。補充ポンプ４０１は、メインタンク５０が貯留する液体組成物をサブタンク３０へ補充する。補充ポンプ４０１は、第一送液手段の一例である。

【0040】

また、第二循環経路４０のうち、還流経路４２には還流ポンプ４０２が設置される。還流ポンプ４０２は、サブタンク３０から液体組成物をメインタンク５０へ送液する。還流ポンプ４０２は、第二送液手段の一例である。

【0041】

補充ポンプ４０１は、サブタンク３０内の液体組成物の液面が基準液面３２１を下回ったことを液面センサ３２が検知すると、メインタンク５０からサブタンク３０に向けて液体組成物を送液する。また、補充ポンプ４０１による送液と同時に、還流ポンプ４０２によるサブタンク３０からメインタンク５０への送液も行われる。

【0042】

例えば、ヘッド１００のノズルから液体組成物が付与されると、当該付与により消費された液量分だけサブタンク３０の液面は下がる。液面が基準液面３２１を下回った場合、補充ポンプ４０１の流量を、予め設定した流量よりも多くし、液面が基準液面３２１に達するまで補充ポンプ４０１は、液体組成物を多い流量でサブタンク３０へ送液する。なお、還流ポンプ４０２は、補充ポンプ４０１が多い流量で送液している期間中も、流量は変わらず、予め設定した流量で液体組成物を送液する。

【0043】

サブタンク３０の液面が基準液面３２１に達したならば、補充ポンプ４０１の流量はもとの流量に戻り、還流ポンプ４０２と同じ流量で送液する。なお、液体組成物がアルミナ粒子や活物質粒子などの沈降性材料を含んでいる場合は、補充ポンプ４０１および還流ポンプ４０２の送液流量は、沈降性材料の濃度が均一になる（沈降性材料を沈降させない）流量に設定されている。

【0044】

サブタンク５０は、大気開放部５１を備える。大気開放部５１は、サブタンク５０内を常圧の状態にし、循環経路内の圧力変動を防ぐ。また、メインタンク５０は、メインタンク５０が貯留する液体組成物の性状を均一にするための均一化手段を備える。

【0045】

均一化手段は、使用する液体組成物の特性等によって適宜選択されてよい。例えば、基体（電極基体）Ｗ上に、予め電極が形成されており、この電極の上に、沈降性材料（例えばアルミナ粒子等の無機粒子や活物質粒子）を含んだ液体組成物（液体インク）を用いて、絶縁膜を形成する電極製造装置に適用した場合を考える。この場合の均一化手段は、沈降性材料の沈降を防ぐための沈降性材料濃度均一化手段５２、および液体組成物の温度を調整する温調機構５３などで構成される。

【0046】

沈降性材料濃度均一化手段５２としては、例えば液体組成物を撹拌する撹拌機構が挙げられる。メインタンク５０内の液体組成物に対し、沈降性材料濃度均一化手段５２に所定の動作を実行させることで、沈降性材料濃度が均一化される。沈降性材料濃度均一化手段５２、および温調機構５３は、均一化手段の一例である。

【0047】

温調機構５３は、目標温度が設定されており、メインタンク５０が貯留する液体組成物の温度（液温）が目標温度となるように制御される。温調機構５３によってメインタンク５０内の液温を目標温度に維持することで、液体組成物の粘度が均一化される。

【0048】

また、第一循環経路２０に設置した液温センサ２２１の検出温度と、温調機構５３の目標温度との間に液温差ΔＴ（絶対値）が生じた場合は、第二循環経路４０の補充ポンプ４０１および還流ポンプ４０２の流量に対し同じ量だけ流量を加算し、流量を増加させる。この場合の加算流量は、図５に示されるように、液温差ΔＴ（絶対値）に比例して変化させる。例えば、液温差ΔＴがＴ１のときは、流量Ｑ１を加算する。

【0049】

また、第二循環経路４０における流量は、沈降粒子濃度の均一化と、液温の一定化とを両立させる場合、補充ポンプ４０１および還流ポンプ４０２の流量が次式（１）および（２）を満たすように動作させる。
［補充ポンプ４０１の流量］＝［沈降性材料濃度が均一となる流量］＋［基準液面３２１を保つための流量］＋［液温を保つための流量］・・・式（１）
［還流ポンプ４０２の流量］＝［沈降性材料濃度が均一となる流量］＋［温度を保つための流量］・・・式（２）

【0050】

上記のように構成された第二循環経路４０では、沈降性材料濃度および液温が均一になり、液体組成物の品質を一定に保つことができる。

【0051】

第二循環経路４０での流量は、沈降性材料の沈降・堆積を防ぐ面で、第一循環経路２０よりも大きい値で設定される。仮に、第一循環経路２０の流量を、第二循環経路４０の流量と同じ値に設定した場合には、ヘッド１００のノズルにかかる圧力が大きすぎてしまい、ノズルのメニスカスが不適切な状態になる。ノズルのメニスカスが不適切な状態であると、ノズルからの液垂れや、液体組成物を狙いの位置に付与できなくなる等、ヘッド１００における液体組成物の付与性能が悪化する。本実施形態は、上述のように第一循環経路２０と第二循環経路４０とで機能を分離することで、メニスカスの適切化と、液体組成物の品質（性状）の均一化との両立を実現させている。

【0052】

＜制御部の機能構成例＞
次に、図６を用いて液体循環系に係わる制御部の機能構成について説明する。図６は、液体循環系の制御部の機能構成例を示すブロック図である。

【0053】

制御部９００は、第一送液手段の一例である補充ポンプ４０１、第二送液手段の一例である還流ポンプ４０２、第三送液手段の一例である供給ポンプ２０１、第四送液手段の一例である回収ポンプ２０２、および均一化手段の一例である温調機構５３，沈降性材料濃度均一化手段５２の動作を制御する。制御部９００は、貯留量検知手段の一例である液面センサ３２、性状検知手段の一例である液温センサ２２１、第一圧力検出手段の一例である供給圧力センサ２１１、および第二圧力検出手段の一例である回収圧力センサ２１２の出力を受信する。

【0054】

制御部９００は、補充制御部９０１と、還流制御部９０２と、供給制御部９０３と、回収制御部９０４と、均一化制御部９０５と、記憶部９０６と、を備える。なお、制御部９００は、これらの機能を電気回路で実現する他、これらの機能の一部をソフトウェア（ＣＰＵ：Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）によって実現することもできる。また、制御部９００は、複数の回路または複数のソフトウェアによってこれらの機能を実現してもよい。

【0055】

補充制御部９０１は、液面センサ３２の出力に基づき補充ポンプ４０１による液体組成物の送液量を制御する。補充制御部９０１は、補充ポンプ４０１の流量の切り替え等を制御できる。例えば、補充制御部９０１は、サブタンク３０において液面が基準液面３２１を下回ったことを示す情報を液面センサ３２から受信したときは、補充ポンプ４０１の流量を、予め設定した通常の流量よりも多くなるように切り替える。この流量切り替えにより、補充ポンプ４０１は、液面が基準液面３２１に達するまで、液体組成物を通常よりも多い流量でサブタンク３０へ送液する。その後、補充制御部９０１は、液面が基準液面３２１に達したことを示す情報を液面センサ３２から受信したならば、補充ポンプ４０１の流量を、通常の流量（還流ポンプ４０２と同じ流量）に戻す。

【0056】

還流制御部９０２は、液温センサ２２１の出力に基づき、補充ポンプ４０１および還流ポンプ４０２による液体組成物の送液量を制御する。還流制御部９０２は、補充ポンプ４０１および還流ポンプ４０２の流量を制御できる。例えば、還流制御部９０２は、液温センサ２２１によって検出された温度（液温）と、記憶部９０６に予め格納された温調機構５３の目標温度とを比較し、両者間に液温差ΔＴが生じている場合は、補充ポンプ４０１と還流ポンプ４０２の流量に対し、同じ量だけ流量を加算し、流量を増加させる。

【0057】

供給制御部９０３は、供給圧力センサ２１１の出力に基づき、供給ポンプ２０１による液体組成物の送液量を制御し、供給経路２１内の圧力を一定にする。

【0058】

回収制御部９０４は、回収圧力センサ２１２の出力に基づき、回収ポンプ２０２による液体組成物の送液量を制御し、回収経路２２内の圧力を一定にする。

【0059】

均一化制御部９０５は、記憶部９０６に予め格納された目標温度の情報に基づき温調機構５３を制御し、メインタンク５０が貯留する液体組成物の液温を均一にする。また、均一化制御部９０５は、記憶部９０６に予め格納された、沈降性材料の濃度を均一にするための情報（例えば撹拌条件等）に基づき、沈降性材料濃度均一化手段５２を制御し、沈降性材料の濃度を均一にする。

【0060】

記憶部９０６は、制御部９００が有するＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＨＤＤ（Ｈａｒｄ Ｄｉｓｋ Ｄｒｉｖｅ）／ＳＳＤ（Ｓｏｌｉｄ Ｓｔａｔｅ Ｄｒｉｖｅ）等によって構築される。記憶部９０６は、補充ポンプ４０１および還流ポンプ４０２の流量を増加させる際の加算流量のデータ、温調機構５３の目標温度データ、沈降性材料濃度均一化手段５２の駆動条件に関するデータ等、必要なデータを格納する。各データは、電極印刷部２において使用される液体組成物が複数種類ある場合は、液体組成物毎に記憶部９０６に格納される。

【0061】

上述のように、本実施形態は、液体組成物を付与するヘッド１００と、液体組成物を貯留し、ヘッド１００に供給するサブタンク３０と、液体組成物を貯留し、サブタンク３０に供給するメインタンク５０と、ヘッド１００と、サブタンク３０との間で液体組成物を循環させる第一循環経路２０と、サブタンク３０とメインタンク５０との間で液体組成物を循環させる第二循環経路４０と、第二循環経路４０に設けられ、メインタンク５０から液体組成物をサブタンク３０に送液する補充ポンプ４０１と、第二循環経路４０に設けられ、サブタンク３０から液体組成物をメインタンク５０に送液する還流ポンプ４０２と、サブタンク３０に設けられ、サブタンク３０の貯留量に基づいた信号を出力する液面センサ３２と、第一循環経路２０に設けられ、第一循環経路２０における液体組成物の温度に基づいた信号を出力する液温センサ２２１と、補充ポンプ４０１および還流ポンプ４０２を制御する制御部９００と、を備え、制御部９００は、液面センサ３２の出力に基づき、補充ポンプ４０１の送液量を制御し、液温センサ２２１の出力に基づき、補充ポンプ４０１と還流ポンプ４０２の送液量を制御する。

【0062】

また、上述のように、メインタンク５０は、液体組成物の性状を均一にする均一化手段を備える。

【0063】

また、上述のように、均一化手段は、液体組成物の温度を調整する温調機構５３を含む。

【0064】

また、上述のように、液体組成物は沈降性材料を含む液体であり、均一化手段は、沈降性材料の濃度を均一にする沈降性材料濃度均一化手段５２を含む。

【0065】

これらにより、液体組成物の液温が一定になるため、液体組成物の粘度が安定するとともに、沈降性材料濃度が均一になるため、沈降性材料の沈降・堆積が防止され、循環経路において液体組成物の品質を保つことができる。

【0066】

また、上述のように、サブタンク３０からヘッド１００に液体組成物を供給する供給経路２１に設けられる供給ポンプ２０１と、ヘッド１００からサブタンク３０に液体組成物を回収する回収経路２２に設けられる回収ポンプ２０２と、供給経路２１に設けられ、供給経路２１を送られる液体組成物の圧力に基づいた信号を出力する供給圧力センサ２１１と、回収経路２２に設けられ、回収経路２２を送られる液体組成物の圧力に基づいた信号を出力する回収圧力センサ２１２と、供給ポンプ２０１および回収ポンプ２０２を制御する制御部９００と、を備え、制御部９００は、供給圧力センサ２１１の出力に基づき、供給ポンプ２０１の送液量を制御し、回収圧力センサ２１２の出力に基づき、回収ポンプ２０２の送液量を制御する。

【0067】

これにより、第一循環経路２０内の圧力が一定となり、ヘッド１００のノズルに適切なメニスカスを形成することができる。

【0068】

＜変形例＞
図７を用いて実施形態の変形例について説明する。図７は、循環経路の別の構成例を示す概念図である。

【0069】

本例は、サブタンク３０における液面の検知方法が、図４に示された構成例と異なる。つまり、本例では、サブタンク３０に設けられていた液面センサ３２の機能を、２つの流量計２３１，２３２によって実現している。一方の流量計２３１は、第一循環経路２０の供給経路２１に設置され、もう一方の流量計２３２は、第一循環経路２０の回収経路２２に設置される。

【0070】

このように、サブタンク３０の上流部と下流部に流量計２３１，２３２を設置し、両者の流量差に基づき、液面が基準液面３２１の高さにあるかを検知するように構成してもよい。この場合の流量計２３１，２３２もまた貯留量検知手段の一例である。

【0071】

上述のように、本実施形態において、貯留量検知手段は、サブタンク３０に対し、第一循環経路２０の循環方向上流部と下流部とに設けられる、少なくとも２つの流量計２３１，２３２を含み、２つの流量計２３１，２３２の出力に基づき、サブタンク３０の貯留量を検知する。

【0072】

この場合にも、液面センサと同様、サブタンク３０における液体組成物の液面高さを検知することができる。また、第一循環経路２０内への液体組成物の過剰補充を防ぐことができる。

【0073】

＜適用例＞
次に、図８を用いて適用例について説明する。図８は、実施形態に係る電極製造装置および電気化学素子製造装置を模式的に示した図である。

【0074】

［電極製造装置］
図８に示されるように、電極製造装置１０００は、上述の電極印刷部２の後段に、後処理装置３を備えて構成される。後処理装置３には、上述の乾燥部３の他に、電極基体Ｗに付与された液体に紫外線を照射して液体を硬化させる硬化部、薄膜電極をプレスする手段としてのプレスロール、薄膜電極を切り分けるスリット刃やレーザなどのカット機構等が含まれる。

【0075】

［電気化学素子製造装置］
また、図８に示されるように、上述の電極製造装置１０００の後段に、更に、電気化学素子化装置２０００を備えることで電気化学素子製造装置３０００としてもよい。電気化学素子化装置２０００には、例えば、上述の電極製造装置１０００で製造された電極を積層または巻回する装置や、パッケージングする装置などが含まれる。

【0076】

＜変形例＞
以下、実施形態の変形例について説明する。

【0077】

＜＜印刷部の変形例＞＞
上述の電極製造装置１０００では、電極印刷部２の構成として、ヘッド１００から付与される液体を直接、基体Ｗに付与する方式としたが、間接的に液体を基体Ｗに付与する方式でもよい。間接的に液体を付与する方式としては、例えば、転写工程を介して液体を基材に付与する方式（転写方式）がある。転写方式の例を、図９を用いて説明する。

【0078】

図９は、電極印刷部の変形例を示す説明図であり、図９（ａ）はドラム状の中間転写体を用いた印刷部、図９（ｂ）は無端ベルト状の中間転写体を用いた印刷部を示している。

【0079】

図９（ａ）に示した印刷部４００´は、中間転写体４００１を介して基材（基体）Ｗ１０に液体を転写することで基材Ｗ１０の表面に機能層を形成するインクジェットプリンタである。

【0080】

印刷部４００´は、インクジェット部４２０、転写ドラム４０００、前処理ユニット４００２、吸収ユニット４００３、加熱ユニット４００４および清掃ユニット４００５を備える。なお、印刷部４００´は液体付与手段の一例である。

【0081】

インクジェット部４２０は、複数のヘッド１０１を保持したヘッドモジュール４２２を備える。ヘッド１０１は、転写ドラムに４０００に支持された中間転写体４００１にインクを吐出し、中間転写体４００１上にインク層を形成する。各ヘッド１０１はラインヘッドであり、使用可能な最大サイズの基材Ｗ１０の記録領域の幅をカバーする範囲にノズルが配列されている。

【0082】

ヘッド１０１は、その下面に、ノズルが形成されたノズル面を有しており、ノズル面は、微小間隙を介して中間転写体４００１の表面と対向している。本実施形態の場合、中間転写体４００１は円軌道上を循環移動する構成であるため、複数のヘッド１０１は、放射状に配置される。

【0083】

転写ドラム４０００は、圧胴６２１と対向し、転写ニップ部を形成する。前処理ユニット４００２は、ヘッド１０１による液体（インク）の付与前に、例えば、中間転写体４００１上に、インクの粘度を高めるための反応液を付与する。吸収ユニット４００３は、転写前に、中間転写体４００１上のインク層から液体成分を吸収する。

【0084】

加熱ユニット４００４は、転写前に、中間転写体４００１上のインク層を加熱する。インク層を加熱することで、インク層中の樹脂が溶融し、基材Ｗ１０への転写性が向上する。清掃ユニット４００５は、転写後に中間転写体４００１上を清掃し、中間転写体４００１上に残留したインクやごみ等の異物を除去する。

【0085】

圧胴６２１の外周面は、中間転写体４００１に圧接しており、圧胴６２１と中間転写体４００１との転写ニップ部を基材Ｗ１０が通過するときに、中間転写体４００１上のインク層が基材Ｗ１０に転写される。なお、圧胴６２１は、その外周面に基材Ｗ１０の先端部を保持するグリップ機構を少なくとも１つ備えた構成としてもよい。

【0086】

図９（ｂ）に示した印刷部４００´´は、中間転写ベルト４００６を介して基材Ｗ１０に液体組成物を転写することで基材（基体）Ｗ１０の表面に機能層を形成するインクジェットプリンタである。

【0087】

印刷部４００´´は、インクジェット部４２０に設けた複数のヘッド１０１からインク滴を吐出して、中間転写ベルト４００６の外周表面上にインク層を形成する。中間転写ベルト４００６に形成されたインク層は、乾燥ユニット４００７によって乾かされ、インク層は中間転写ベルト４００６上で膜化する。なお、印刷部４００´´は液体付与手段の一例である。

【0088】

中間転写ベルト４００６が転写ローラ６２２と対向する転写ニップ部において、中間転写ベルト４００６上の膜化したインク層は基材Ｗ１０に転写される。転写後の中間転写ベルト４００６の表面は、清掃ローラ４００８によって清掃される。

【0089】

中間転写ベルト４００６は、駆動ローラ４００９ａ、対向ローラ４００９ｂ、複数（本例では４つ）の形状維持ローラ４００９ｃ，４００９ｄ，４００９ｅ，４００９ｆ、および複数（本例では４つ）の支持ローラ４００９ｇに架け渡され、図中矢印方向に移動する。ヘッド１０１に対向して設けられる支持ローラ４００９ｇは、ヘッド１０１からインク滴が吐出される際の中間転写ベルト４００６の引張状態を維持する。

【0090】

なお、図９（ａ）に示された中間転写体４００１、および図９（ｂ）に示された中間転写ベルト４００６に形成されるインク層は単層とは限らず、複数のヘッド１０１毎にインクを異ならせ、１パスで２層以上のインク層を形成する構成としてもよい。

【0091】

その場合、例えば図１０に示された工程（１）～（３）によって電極基体Ｗ１０上に活物質層Ｗ２０（Ｘ２０）と絶縁層Ｘ３０を形成することが可能になる。

【0092】

中間転写方式の場合、最終的に電極基体Ｗ１０にインク層を転写する段階で、インク層の上下が反転する。そのため、工程（１）では、絶縁層用のインクを吐出するヘッド１０１を用いて、中間転写体４００１（中間転写ベルト４００６）に対してインクを付与し、中間転写体４００１（中間転写ベルト４００６）上に絶縁層Ｘ３０を形成する。

【0093】

次に、工程（２）において、中間転写体４００１（中間転写ベルト４００６）に対し活物質層用のインクおよび絶縁層用のインクを付与する。そして、中間転写体４００１（中間転写ベルト４００６）上の絶縁層Ｘ３０の上に更に活物質層Ｗ２０（Ｘ２０）および絶縁層Ｘ３０を形成する。

【0094】

工程（２）における活物質層Ｗ２０（Ｘ２０）および絶縁層Ｘ３０の作製は、活物質層用のインクと絶縁層用のインクを吐出可能な１つのヘッドにより１工程で作製してもよい。また、活物質層用のインクを吐出するヘッドと、絶縁層用のインクを吐出するヘッドを用いて２工程で作製してもよい。

【0095】

中間転写体４００１（中間転写ベルト４００６）上に作製されたインク層は、工程（３）において中間転写体４００１（中間転写ベルト４００６）から電極基体Ｗ１０に転写される。中間転写方式の場合には、上記のような工程により電極基体Ｗ１０への活物質層Ｗ２０（Ｘ２０）および絶縁層Ｘ３０の作製が行われる。

【0096】

以上説明したものは一例であり、本発明は、次の態様毎に特有の効果を奏する。

【0097】

[第１態様]
第１態様は、液体組成物を付与する液体付与手段（例えばヘッド１００）と、前記液体組成物を貯留し、前記液体付与手段に供給する第一貯留部（例えばサブタンク３０）と、前記液体組成物を貯留し、前記第一貯留部に供給する第二貯留部（例えばメインタンク５０）と、前記液体付与手段と、前記第一貯留部との間で液体組成物を循環させる第一循環経路（例えば第一循環経路２０）と、前記第一貯留部と第二貯留部（例えばメインタンク５０）との間で前記液体組成物を循環させる第二循環経路（例えば第二循環経路４０）と、前記第二循環経路に設けられ、前記第二貯留部から前記液体組成物を前記第一貯留部に送液する第一送液手段（例えば補充ポンプ４０１）と、前記第二循環経路に設けられ、前記第一貯留部から前記液体組成物を前記第二貯留部に送液する第二送液手段（例えば還流ポンプ４０２）と、前記第一貯留部に設けられ、前記第一貯留部の貯留量に基づいた信号を出力する貯留量検知手段（例えば液面センサ３２）と、前記第一循環経路に設けられ、前記第一循環経路における前記液体組成物の性状に基づいた信号を出力する性状検知手段（例えば液温センサ２２１）と、前記第一送液手段および前記第二送液手段を制御する制御部（例えば制御部９００）と、を備え、前記制御部は、前記貯留量検知手段の出力に基づき、前記第一送液手段の送液量を制御し、前記性状検知手段の出力に基づき、前記第一送液手段と前記第二送液手段の送液量を制御することを特徴とするものである。

【0098】

[第２態様]
第２態様は、第１態様において、前記第二貯留部は、前記液体組成物の性状を均一にする均一化手段を備えることを特徴とするものである。

【0099】

[第３態様]
第３態様は、第２態様において、前記均一化手段は、前記液体組成物の温度を調整する温調機構（例えば温調機構５３）を含むことを特徴とするものである。

【0100】

[第４態様]
第４態様は、第２態様において、前記液体組成物は沈降性材料を含む液体であり、前記均一化手段は、前記沈降性材料の濃度を均一にする沈降性材料濃度均一化手段（例えば沈降性粒子濃度均一化手段５２）を含むことを特徴とするものである。

【0101】

[第５態様]
第５態様は、第１態様乃至第４態様のいずれかにおいて、前記第一貯留部から前記液体付与手段に前記液体組成物を供給する供給経路（例えば供給経路２１）に設けられる第三送液手段（例えば供給ポンプ２０１）と、前記液体付与手段から前記第一貯留部に前記液体組成物を回収する回収経路（例えば回収経路２２）に設けられる第四送液手段（例えば回収ポンプ２０２）と、前記供給経路に設けられ、前記供給経路を送られる前記液体組成物の圧力に基づいた信号を出力する第一圧力検出手段（例えば供給圧力センサ２１１）と、前記回収経路に設けられ、前記回収経路を送られる前記液体組成物の圧力に基づいた信号を出力する第二圧力検出手段（例えば回収圧力センサ２１２）と、前記第三送液手段および前記第四送液手段を制御する制御部（例えば制御部９００）と、を備え、前記制御部は、前記第一圧力検出手段の出力に基づき、前記第三送液手段の送液量を制御し、前記第二圧力検出手段の出力に基づき、前記第四送液手段の送液量を制御することを特徴とするものである。

【0102】

[第６態様]
第６態様は、第１態様乃至第５態様のいずれかにおいて、前記貯留量検知手段は、前記第一貯留部に対し、前記第一循環経路の循環方向上流部と下流部とに設けられる、少なくとも２つの流量計（例えば流量計２３１，２３２）を含み、前記２つの流量計の出力に基づき、前記第一貯留部の貯留量を検知することを特徴とするものである。

【0103】

[第７態様]
第７態様は、第１態様乃至第６態様のいずれかの液体付与装置（例えば電極印刷部２）と、前記液体付与装置の後段に設けられる後処理装置（例えば後処理装置３）と、を備えることを特徴とする電極製造装置（例えば電極製造装置１０００）である。

【0104】

[第８態様]
第８態様は、第７態様の電極製造装置と、前記電極製造装置の後段に設けられる電気化学素子化装置（例えば電気化学素子化装置２０００）と、を備えることを特徴とする電気化学素子製造装置（例えば電気化学素子製造装置３０００）である。

【0105】

[第９態様]
第９態様は、基体（例えば基体Ｗ）に液体組成物を付与する液体付与手段（例えばヘッド１００）と、前記液体組成物を貯留し、前記液体付与手段に供給する第一貯留部（例えばサブタンク３０）と、前記液体組成物を貯留し、前記第一貯留部に供給する第二貯留部（例えばメインタンク５０）と、前記液体付与手段と、前記第一貯留部との間で液体組成物を循環させる第一循環経路（例えば第一循環経路２０）と、前記第一貯留部と第二貯留部（例えばメインタンク５０）との間で前記液体組成物を循環させる第二循環経路（例えば第二循環経路４０）と、前記第二循環経路に設けられ、前記第二貯留部から前記液体組成物を前記第一貯留部に送液する第一送液手段（例えば補充ポンプ４０１）と、前記第二循環経路に設けられ、前記第一貯留部から前記液体組成物を前記第二貯留部に送液する第二送液手段（例えば還流ポンプ４０２）と、前記第一貯留部に設けられ、前記第一貯留部の貯留量に基づいた信号を出力する貯留量検知手段（例えば液面センサ３２）と、前記第一循環経路に設けられ、前記第一循環経路における前記液体組成物の性状に基づいた信号を出力する性状検知手段（例えば液温センサ２２１）と、前記第一送液手段および前記第二送液手段を制御する制御部（例えば制御部９００）と、を備え、前記貯留量検知手段の出力に基づき、前記第一送液手段の送液量を制御する第一送液量制御ステップと、前記性状検知手段の出力に基づき、前記第一送液手段と前記第二送液手段の送液量を制御する第二送液量制御ステップと、を含むことを特徴とする液体付与方法である。

【0106】

[第１０態様]
第１０態様は、第９態様の液体付与方法を含み、前記基体は電極基体（例えば電極基体Ｗ）であることを特徴とする電極製造方法である。

【0107】

[第１１態様]
第１１態様は、第１０態様において、前記電極基体は、集電体と、前記集電体上に設けられた活物質層と、を含むことを特徴とするものである。

【0108】

[第１２態様]
第１２態様は、第１０態様において、前記電極基体は、集電体からなることを特徴とするものである。

【0109】

[第１３態様]
第１３態様は、第１０態様または第１１態様において、前記液体組成物は、絶縁性材料を含むことを特徴とするものである。

【0110】

[第１４態様]
第１４態様は、第１０態様または第１２態様において、前記液体組成物は、活物質を含むことを特徴とするものである。

【0111】

[第１５態様]
第１５態様は、第１０態様の電極製造方法を含むことを特徴とする電気化学素子製造方法である。

【符号の説明】

【0112】

１ 供給部
２ 電極印刷部
３ 乾燥部
４ 巻取部
１００ ヘッド
２０ 第一循環経路
２１ 供給経路
２２ 回収経路
２０１ 供給ポンプ
２０２ 回収ポンプ
２１１ 供給圧力センサ
２１２ 回収圧力センサ
２２１ 液温センサ
２３１，２３２ 流量計
３０ サブタンク
３１ 大気開放部
３２ 液面センサ
３２１ 基準液面
４０ 第二循環経路
４１ 補充経路
４２ 還流経路
４０１ 補充ポンプ
４０２ 還流ポンプ
５０ メインタンク
５１ 大気開放部
５２ 沈降性材料濃度均一化手段
５３ 温調機構
９００ 制御部
９０１ 補充制御部
９０２ 還流制御部
９０３ 供給制御部
９０４ 回収制御部
９０５ 均一化制御部
９０６ 記憶部
１０００ 電極製造装置
２０００ 電気化学素子化装置
３０００ 電気化学素子製造装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】