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特開2024-11911可動装置、光偏向装置、画像投影装置、移動体およびヘッドマウントディスプレイ
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024011911
(43)【公開日】2024-01-25
(54)【発明の名称】可動装置、光偏向装置、画像投影装置、移動体およびヘッドマウントディスプレイ
(51)【国際特許分類】
G02B 26/10 20060101AFI20240118BHJP
H04N 5/64 20060101ALI20240118BHJP
B60K 35/23 20240101ALI20240118BHJP
G02B 27/02 20060101ALN20240118BHJP
G02B 27/01 20060101ALN20240118BHJP
G02B 26/08 20060101ALN20240118BHJP
【ＦＩ】
G02B26/10 104Z
H04N5/64 511A
H04N5/64 521Z
B60K35/00 A
G02B27/02 Z
G02B27/01
G02B26/08 E
【審査請求】未請求
【請求項の数】8
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022114251
(22)【出願日】2022-07-15
(71)【出願人】
【識別番号】000006747
【氏名又は名称】株式会社リコー
(74)【代理人】
【識別番号】100089118
【弁理士】
【氏名又は名称】酒井 宏明
(72)【発明者】
【氏名】餅田 章利
【テーマコード（参考）】
2H045
2H141
2H199
3D344
【Ｆターム（参考）】
2H045AB06
2H045AB13
2H045AB24
2H045AB25
2H045AB38
2H045AB44
2H045AB81
2H141MA12
2H141MB24
2H141MC09
2H141MD13
2H141MD16
2H141MD20
2H141MD24
2H141MF02
2H141MG04
2H141MZ06
2H141MZ13
2H141MZ15
2H141MZ16
2H141MZ26
2H199CA06
2H199CA12
2H199CA29
2H199CA34
2H199CA42
2H199CA47
2H199CA59
2H199CA69
2H199CA75
2H199DA03
2H199DA12
2H199DA15
2H199DA28
2H199DA30
2H199DA34
2H199DA44
3D344AA21
3D344AA22
3D344AC25
(57)【要約】
【課題】弾性振動の調整処理時間を短縮すること。
【解決手段】本発明にかかる可動装置は、反射部と、反射部にそれぞれの傾きを与える一対の可動部と、一対の可動部に傾きを与える駆動信号を入力する制御部と、を有し、制御部は、一対の可動部にそれぞれ入力する駆動信号の立ち上がり比と駆動信号間の位相差とを変数とする駆動信号を生成する駆動信号生成部と、駆動信号生成部が生成した駆動信号による駆動で検知される可動部の振れ角に対応する信号から高周波成分を抽出する高周波成分抽出部と、駆動信号の変数の値と高周波成分とを紐づけて格納するメモリ部と、メモリ部に格納された高周波成分に基づいて、駆動信号を更新する変数の値の組み合わせを選択する駆動信号選択部と、を有する。
【選択図】図１７
【解決手段】本発明にかかる可動装置は、反射部と、反射部にそれぞれの傾きを与える一対の可動部と、一対の可動部に傾きを与える駆動信号を入力する制御部と、を有し、制御部は、一対の可動部にそれぞれ入力する駆動信号の立ち上がり比と駆動信号間の位相差とを変数とする駆動信号を生成する駆動信号生成部と、駆動信号生成部が生成した駆動信号による駆動で検知される可動部の振れ角に対応する信号から高周波成分を抽出する高周波成分抽出部と、駆動信号の変数の値と高周波成分とを紐づけて格納するメモリ部と、メモリ部に格納された高周波成分に基づいて、駆動信号を更新する変数の値の組み合わせを選択する駆動信号選択部と、を有する。
【選択図】図１７
【特許請求の範囲】
【請求項1】
反射部と、
前記反射部にそれぞれの傾きを与える一対の可動部と、
前記一対の可動部に前記傾きを与える駆動信号を入力する制御部と、
を有し、
前記制御部は、
前記一対の可動部にそれぞれ入力する前記駆動信号の立ち上がり比と駆動信号間の位相差とを変数とする前記駆動信号を生成する駆動信号生成部と、
前記駆動信号生成部が生成した前記駆動信号による駆動で検知される前記可動部の振れ角に対応する信号から高周波成分を抽出する高周波成分抽出部と、
前記駆動信号の前記変数の値と前記高周波成分とを紐づけて格納するメモリ部と、
前記メモリ部に格納された前記高周波成分に基づいて、前記駆動信号を更新する前記変数の値の組み合わせを選択する駆動信号選択部と、
を有する可動装置。
前記反射部にそれぞれの傾きを与える一対の可動部と、
前記一対の可動部に前記傾きを与える駆動信号を入力する制御部と、
を有し、
前記制御部は、
前記一対の可動部にそれぞれ入力する前記駆動信号の立ち上がり比と駆動信号間の位相差とを変数とする前記駆動信号を生成する駆動信号生成部と、
前記駆動信号生成部が生成した前記駆動信号による駆動で検知される前記可動部の振れ角に対応する信号から高周波成分を抽出する高周波成分抽出部と、
前記駆動信号の前記変数の値と前記高周波成分とを紐づけて格納するメモリ部と、
前記メモリ部に格納された前記高周波成分に基づいて、前記駆動信号を更新する前記変数の値の組み合わせを選択する駆動信号選択部と、
を有する可動装置。
【請求項2】
前記駆動信号選択部は、
前記変数の値の組み合わせを基準に、他の組み合わせに変更することにより前記変数の値の複数の組み合わせを設定し、前記複数の組み合わせから前記高周波成分の高周波振幅値が最小となる前記変数の値の組み合わせを選択する
請求項１に記載の可動装置。
前記変数の値の組み合わせを基準に、他の組み合わせに変更することにより前記変数の値の複数の組み合わせを設定し、前記複数の組み合わせから前記高周波成分の高周波振幅値が最小となる前記変数の値の組み合わせを選択する
請求項１に記載の可動装置。
【請求項3】
前記駆動信号選択部は、
前記変数の値の組み合わせの座標を基準に、他の組み合わせの座標に変更することにより前記変数の値の複数の座標を設定し、前記複数の座標の隣接する座標同士を線で結び、内分点同士の線同士が交差する交点を前記変数の組み合わせの値として選択する
請求項１に記載の可動装置。
前記変数の値の組み合わせの座標を基準に、他の組み合わせの座標に変更することにより前記変数の値の複数の座標を設定し、前記複数の座標の隣接する座標同士を線で結び、内分点同士の線同士が交差する交点を前記変数の組み合わせの値として選択する
請求項１に記載の可動装置。
【請求項4】
前記駆動信号選択部は、
前記駆動信号を更新する前記変数の値の組み合わせとして前記メモリ部に格納された前記高周波成分の高周波振幅値が最小となる前記変数の値の組み合わせを選択する
請求項１に記載の可動装置。
前記駆動信号を更新する前記変数の値の組み合わせとして前記メモリ部に格納された前記高周波成分の高周波振幅値が最小となる前記変数の値の組み合わせを選択する
請求項１に記載の可動装置。
【請求項5】
請求項１から請求項４のうち、いずれか一項に記載の可動装置と、
前記可動装置で走査される光を、前記可動部に照射する投光部と、
を有する光偏向装置。
前記可動装置で走査される光を、前記可動部に照射する投光部と、
を有する光偏向装置。
【請求項6】
請求項１から請求項４のうち、いずれか一項に記載の可動装置と、
前記可動装置で走査される光を、前記可動部に照射する投光部と、
前記可動装置による光の走査で画像を投影するスクリーンと、
を有する画像投影装置。
前記可動装置で走査される光を、前記可動部に照射する投光部と、
前記可動装置による光の走査で画像を投影するスクリーンと、
を有する画像投影装置。
【請求項7】
請求項１から請求項４のうち、いずれか一項に記載の可動装置と、
前記可動装置で走査される光を、前記可動部に照射する投光部と、
を有する移動体。
前記可動装置で走査される光を、前記可動部に照射する投光部と、
を有する移動体。
【請求項8】
請求項１から請求項４のうち、いずれか一項に記載の可動装置と、
前記可動装置で走査される光を、前記可動部に照射する投光部と、
前記走査された光による画像を装着者の網膜に結像する結像部と、
を有するヘッドマウントディスプレイ。
前記可動装置で走査される光を、前記可動部に照射する投光部と、
前記走査された光による画像を装着者の網膜に結像する結像部と、
を有するヘッドマウントディスプレイ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、可動装置、光偏向装置、画像投影装置、移動体およびヘッドマウントディスプレイに関する。
【背景技術】
【0002】
従来、可動装置は、固定フレームに弾性支持された可動部上に、光を走査するための反射部を設け、可動部により反射部の傾斜角度を変化させる傾斜動作を繰り返し行うことで、水平、垂直方向への走査を行う。
【0003】
可動部がとる実際の傾斜振れ角は、理想的な傾斜振れ角に対して上下に時間変化する。この時間変化は可動部の傾斜動作に対して重畳される高周波によるもので、この高周波は次のような方法で打ち消しを行っている。
【0004】
例えば、２つの駆動信号により可動部の傾斜動作に対して重畳されるそれぞれの高周波に対し、駆動信号の立ち上がりと立下がりとのシンメトリ比を変え、２つの駆動信号間の位相差を調整するという設定の変更を行うことで高周波を打ち消す。
【0005】
また、特許文献１には、可動部の傾斜振れ角を示す傾斜振れ角情報を検知し、検知した傾斜振れ角の、目標傾斜振れ角に対する変化量が小さくなるように、駆動信号の振幅、位相差を補正する構成が開示されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
しかし、駆動信号に対する設定の変更により高周波を打ち消す場合、設定変更時など可動部で弾性振動が別途発生し、その弾性振動が収まるまで調整処理時間を要するといった問題がある。
【0007】
本発明は、上述の課題に鑑みてなされたものであって、弾性振動の調整処理時間を短縮することが可能な可動装置、光偏向装置、画像投影装置、移動体およびヘッドマウントディスプレイを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる可動装置は、反射部と、前記反射部にそれぞれの傾きを与える一対の可動部と、前記一対の可動部に前記傾きを与える駆動信号を入力する制御部と、を有し、前記制御部は、前記一対の可動部にそれぞれ入力する前記駆動信号の立ち上がり比と駆動信号間の位相差とを変数とする前記駆動信号を生成する駆動信号生成部と、前記駆動信号生成部が生成した前記駆動信号による駆動で検知される前記可動部の振れ角に対応する信号から高周波成分を抽出する高周波成分抽出部と、前記駆動信号の前記変数の値と前記高周波成分とを紐づけて格納するメモリ部と、前記メモリ部に格納された前記高周波成分に基づいて、前記駆動信号を更新する前記変数の値の組み合わせを選択する駆動信号選択部と、を有する。
【発明の効果】
【0009】
本発明によれば、弾性振動の調整処理時間を短縮することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【発明を実施するための形態】
【0011】
以下に添付図面を参照して、可動装置、光偏向装置、画像投影装置、移動体およびヘッドマウントディスプレイの実施の形態を詳細に説明する。
【0012】
（第１の実施の形態）
以下において第１駆動部と第２駆動部が「可動部」に相当する。
以下において第１駆動部と第２駆動部が「可動部」に相当する。
【0013】
（可動装置の構成）
図１および図２は、第１の実施の形態にかかる可動装置の構成の一例を示す図である。図１は、第１駆動部が片持ちタイプである可動装置の平面図である。図２は、図１の可動装置の第２軸に沿った断面図である。また、図３は、第１駆動部が両持ちタイプである可動装置の平面図である。まず図１と図２を参照して可動装置の構成について説明する。
図１および図２は、第１の実施の形態にかかる可動装置の構成の一例を示す図である。図１は、第１駆動部が片持ちタイプである可動装置の平面図である。図２は、図１の可動装置の第２軸に沿った断面図である。また、図３は、第１駆動部が両持ちタイプである可動装置の平面図である。まず図１と図２を参照して可動装置の構成について説明する。
【0014】
可動装置１３は、反射部１０１と、第１駆動部１１０ａ、１１０ｂと、第１支持部１２０と、第２駆動部１３０ａ、１３０ｂと、第２支持部１４０と、電極接続部１５０とを有し、電極接続部１５０を介して制御装置により駆動される。一例として可動装置１３は、ＭＥＭＳ（Micro Electromechanical Systems）である。
【0015】
反射部１０１は、、入射した光を反射する。第１駆動部１１０ａ、１１０ｂは、反射部１０１に接続され、反射部１０１をＹ軸に平行な第１軸周りに駆動する。第１支持部１２０は、反射部１０１および第１駆動部を支持する。
【0016】
第２駆動部１３０ａ、１３０ｂは、第１支持部１２０に接続され、反射部１０１および第１支持部１２０をＸ軸に平行な第２軸周りに駆動する。図１の例において第２駆動部１３０ａと第２駆動部１３０ｂは、それぞれ、折り返すように連結された複数の第２圧電駆動部１３１ａ～１３１ｆ、１３２ａ～１３２ｆから構成されたミアンダ構造を有する。
【0017】
第２支持部１４０は、第２駆動部を支持する。電極接続部１５０は、第１駆動部および第２駆動部に電気的に接続されている。
【0018】
可動装置１３は、例えば、１枚のＳＯＩ（Silicon On Insulator）基板をエッチング処理等により成形し、成形した基板上に反射面１４や第１圧電駆動部１１２ａ、１１２ｂ、第２圧電駆動部１３１ａ～１３１ｆ、第２圧電駆動部１３２ａ～１３２ｆ、電極接続部１５０等を形成することで、各構成部が一体的に形成されている。なお、上記の各構成部の形成は、ＳＯＩ基板の成形後に行ってもよいし、ＳＯＩ基板の成形中に行ってもよい。
【0019】
ＳＯＩ基板は、単結晶シリコン（Ｓｉ）からなる第１のシリコン層の上に酸化シリコン層１６２が設けられ、その酸化シリコン層の上にさらに単結晶シリコンからなる第２のシリコン層が設けられている基板である。以降、第１のシリコン層をシリコン支持層１６１、第２のシリコン層をシリコン活性層１６３とする。
【0020】
シリコン活性層１６３は、Ｘ軸方向またはＹ軸方向に対してＺ軸方向への厚みが小さいため、シリコン活性層１６３で構成された部材は、弾性を有する弾性部としての機能を有する。
【0021】
なお、ＳＯＩ基板は、必ず平面状である必要はなく、曲率等を有していてもよい。また、エッチング処理等により一体的に成形でき、部分的に弾性を持たせることができる基板であれば可動装置１３の形成に用いられる部材はＳＯＩ基板に限られない。
【0022】
反射部１０１は、例えば、円形状の反射部基体１０２と、反射部基体１０２の＋Ｚ側の面上に形成された反射面１４とから構成される。反射部基体１０２は、例えば、シリコン活性層１６３から構成される。反射面１４は、例えば、アルミニウム、金、銀等を含む金属薄膜で構成される。また、反射部１０１は、反射部基体１０２の－Ｚ側の面に反射部補強用のリブが形成されていてもよい。リブは、例えば、シリコン支持層１６１および酸化シリコン層１６２から構成され、可動によって生じる反射面１４の歪みを抑制することができる。
【0023】
第１駆動部１１０ａ、１１０ｂは、反射部基体１０２に一端が接続し、第１軸方向にそれぞれ延びて反射部１０１を可動可能に支持する２つのトーションバー１１１ａ、１１１ｂと、一端がトーションバーに接続され、他端が第１支持部１２０の内周部に接続される第１圧電駆動部１１２ａ、１１２ｂとから構成される。
【0024】
トーションバー１１１ａ、１１１ｂはシリコン活性層１６３から構成される。また、第１圧電駆動部１１２ａ、１１２ｂは、弾性部であるシリコン活性層１６３の＋Ｚ側の面上に下部電極１７１、圧電部１７２、上部電極１７３の順に形成されて構成される。上部電極１７３および下部電極１７１は、例えば金（Ａｕ）または白金（Ｐｔ）等から構成される。圧電部１７２は、例えば、圧電材料であるＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）からなる。
【0025】
第１支持部１２０は、例えば、シリコン支持層１６１、酸化シリコン層１６２、シリコン活性層１６３から構成され、反射部１０１を囲うように形成された矩形形状の支持体である。
【0026】
第２駆動部１３０ａ、１３０ｂは、それぞれ、第２圧電駆動部１３１ａ～１３１ｆ、１３２ａ～１３２ｆから構成されており、第２駆動部１３０ａ、１３０ｂの一端は第１支持部１２０の外周部に接続され、他端は第２支持部１４０の内周部に接続されている。このとき、第２駆動部１３０ａと第１支持部１２０の接続箇所および第２駆動部１３０ｂと第１支持部１２０の接続箇所、さらに第２駆動部１３０ａと第２支持部１４０の接続箇所および第２駆動部１３０ｂと第２支持部１４０の接続箇所は、反射面１４の中心に対して点対称となっている。
【0027】
第２駆動部１３０ａ、１３０ｂは、弾性部であるシリコン活性層１６３の＋Ｚ側の面上に下部電極１７１、圧電部１７２、上部電極１７３の順に形成されて構成される。上部電極１７３および下部電極１７１は、例えば金（Ａｕ）または白金（Ｐｔ）等から構成される。圧電部１７２は、例えば、圧電材料であるＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）からなる。
【0028】
第２支持部１４０は、例えば、シリコン支持層１６１、酸化シリコン層１６２、シリコン活性層１６３から構成され、反射部１０１、第１駆動部１１０ａ、１１０ｂ、第１支持部１２０および第２駆動部１３０ａ、１３０ｂを囲うように形成された矩形の支持体である。
【0029】
電極接続部１５０は、例えば、第２支持部１４０の＋Ｚ側の面上に形成され、第１圧電駆動部１１２ａ、１１２ｂ、第２圧電駆動１３１ａ～１３１ｆ、１３２ａ～１３２ｆの各上部電極１７３および各下部電極１７１、および制御装置１１にアルミニウム（Ａｌ）等の電極配線を介して電気的に接続されている。なお、上部電極１７３または下部電極１７１は、それぞれが電極接続部１５０と直接接続されていてもよいし、電極同士を接続する等により間接的に接続されていてもよい。
【0030】
なお、本実施の形態では、圧電部１７２が弾性部であるシリコン活性層１６３の一面である＋Ｚ側の面に形成された場合を一例として説明したが、弾性部の他の面である－Ｚ側の面などに設けても良いし、弾性部の一面および他面の双方に設けても良い。
【0031】
また、反射部１０１を第１軸周りまたは第２軸周りに駆動可能であれば、各構成部の形状は実施の形態の形状に限定されない。例えば、トーションバー１１１ａ、１１１ｂや第１圧電駆動部１１２ａ、１１２ｂが曲率を有した形状を有していてもよい。
【0032】
さらに、第１駆動部１１０ａ、１１０ｂの上部電極１７３の＋Ｚ側の面上、第１支持部１２０の＋Ｚ側の面上、第２駆動部１３０ａ、１３０ｂの上部電極１７３の＋Ｚ側の面上、第２支持部の＋Ｚ側の面上の少なくともいずれかに酸化シリコン膜からなる絶縁層が形成されていてもよい。このとき、絶縁層の上に電極配線を設け、また、上部電極１７３または下部電極１７１と電極配線とが接続される接続スポットのみ、開口部として部分的に絶縁層を除去または絶縁層を形成しないことにより、第１駆動部１１０ａ、１１０ｂ、第２駆動部１３０ａ、１３０ｂおよび電極配線の設計自由度をあげ、さらに電極同士の接触による短絡を抑制することができる。また、酸化シリコン膜は、反射防止材としての機能も有する。
【0033】
［可動装置の制御］
第１駆動部１１０ａ、１１０ｂ、第２駆動部１３０ａ、１３０ｂが有する圧電部１７２は、分極方向に正または負の電圧が印加されると印加電圧の電位に比例した変形、例えば、伸縮が生じ、いわゆる逆圧電効果を発揮する。第１駆動部１１０ａ、１１０ｂ、第２駆動部１３０ａ、１３０ｂは、上記の逆圧電効果を利用して反射部１０１を可動させる。
第１駆動部１１０ａ、１１０ｂ、第２駆動部１３０ａ、１３０ｂが有する圧電部１７２は、分極方向に正または負の電圧が印加されると印加電圧の電位に比例した変形、例えば、伸縮が生じ、いわゆる逆圧電効果を発揮する。第１駆動部１１０ａ、１１０ｂ、第２駆動部１３０ａ、１３０ｂは、上記の逆圧電効果を利用して反射部１０１を可動させる。
【0034】
このとき、反射部１０１の反射面１４がＸＹ平面に対して＋Ｚ方向または－Ｚ方向へ傾いたときのＸＹ平面と反射面１４により成す角度を、振れ角とよぶ。このとき、＋Ｚ方向を正の振れ角、－Ｚ方向を負の振れ角とする。
【0035】
まず、制御装置１１による第１駆動部１１０ａ、１１０ｂの駆動について説明する。制御装置１１は、第１駆動部１１０ａ、１１０ｂに駆動電圧を印加して制御する。第１駆動部１１０ａ、１１０ｂでは、第１圧電駆動部１１２ａ、１１２ｂが有する圧電部１７２に、上部電極１７３および下部電極１７１を介して駆動電圧が並列に印加されると、それぞれの圧電部１７２が変形する。この圧電部１７２の変形による作用により、第１圧電駆動部１１２ａ、１１２ｂが屈曲変形する。その結果、２つのトーションバー１１１ａ、１１１ｂのねじれを介して反射部１０１に第１軸周りの駆動力が作用し、反射部１０１が第１軸周りに可動する。
【0036】
従って、制御装置１１は、第１駆動部１１０ａ、１１０ｂが有する第１圧電駆動部１１２ａ、１１２ｂに所定の正弦波形の駆動電圧を並行して印加することで、反射部１０１を、第１軸周りに所定の正弦波形の駆動電圧の周期で可動させることができる。
【0037】
例えば、正弦波形電圧の周波数がトーションバー１１１ａ、１１１ｂの共振周波数と同程度である約２０ｋＨｚに設定された場合、トーションバー１１１ａ、１１１ｂのねじれによる機械的共振が生じるのを利用して、反射部１０１を約２０ｋＨｚで共振振動させることができる。
【0038】
なお、図１の可動装置１３はトーションバー１１１ａ、１１１ｂから＋Ｘ方向に向かって第一圧電駆動部１１２ａ、１１２ｂが延びる片持ちタイプの可動装置であるが、電圧印加された圧電部により反射部１０１を可動させる構成であれば、これに限られない。例えば、図３に示されるように、トーションバー２１１ａ、２１１ｂから＋Ｘ方向に向かって延びる第一圧電駆動部２１２ａ、２１２ｂおよび－Ｘ方向に向かって延びる第一圧電駆動部２１２ｃ、２１２ｄを有する両端支持の両持ちタイプの可動装置を用いてもよい。また、１軸方向のみに反射部１０１を可動させる他の構成としてもよい。
【0039】
（駆動原理）
次に、制御装置１１による第２駆動部１３０ａ、１３０ｂの駆動原理について、図４～図１３を用いて説明する。ここでは、図１において第２駆動部１３０ａが有する複数の第２圧電駆動部１３１ａ～１３１ｆのうち、最も反射部１０１に距離が近い第２圧電駆動部（１３１ａ）から数えて偶数番目の第２圧電駆動部、すなわち第２圧電駆動部１３１ｂ、１３１ｄ、１３１ｆを圧電駆動部群Ａとする。また、さらに第２駆動部１３０ｂが有する複数の第２圧電駆動部１３２ａ～１３２ｆのうち、最も反射部１０１に距離が近い第２圧電駆動部（１３２ａ）から数えて奇数番目の第２圧電駆動部、すなわち第２圧電駆動部１３２ａ、１３２ｃ、１３２ｅを同様に圧電駆動部群Ａとする。また、第２駆動部１３０ａが有する複数の第２圧電駆動部１３１ａ～１３１ｆのうち、最も反射部１０１に距離が近い第２圧電駆動部（１３１ａ）から数えて奇数番目の第２圧電駆動部、すなわち第２圧電駆動部１３１ａ、１３１ｃ、１３１ｅを圧電駆動部群Ｂとする。また、さらに第２駆動部１３０ｂが有する複数の第２圧電駆動部１３２ａ～１３２ｆのうち、最も反射部１０１に距離が近い第２圧電駆動部（１３２ａ）から数えて偶数番目の第２圧電駆動部、すなわち、１３２ｂ、１３２ｄ、１３２ｆを同様に圧電駆動部群Ｂとする。
次に、制御装置１１による第２駆動部１３０ａ、１３０ｂの駆動原理について、図４～図１３を用いて説明する。ここでは、図１において第２駆動部１３０ａが有する複数の第２圧電駆動部１３１ａ～１３１ｆのうち、最も反射部１０１に距離が近い第２圧電駆動部（１３１ａ）から数えて偶数番目の第２圧電駆動部、すなわち第２圧電駆動部１３１ｂ、１３１ｄ、１３１ｆを圧電駆動部群Ａとする。また、さらに第２駆動部１３０ｂが有する複数の第２圧電駆動部１３２ａ～１３２ｆのうち、最も反射部１０１に距離が近い第２圧電駆動部（１３２ａ）から数えて奇数番目の第２圧電駆動部、すなわち第２圧電駆動部１３２ａ、１３２ｃ、１３２ｅを同様に圧電駆動部群Ａとする。また、第２駆動部１３０ａが有する複数の第２圧電駆動部１３１ａ～１３１ｆのうち、最も反射部１０１に距離が近い第２圧電駆動部（１３１ａ）から数えて奇数番目の第２圧電駆動部、すなわち第２圧電駆動部１３１ａ、１３１ｃ、１３１ｅを圧電駆動部群Ｂとする。また、さらに第２駆動部１３０ｂが有する複数の第２圧電駆動部１３２ａ～１３２ｆのうち、最も反射部１０１に距離が近い第２圧電駆動部（１３２ａ）から数えて偶数番目の第２圧電駆動部、すなわち、１３２ｂ、１３２ｄ、１３２ｆを同様に圧電駆動部群Ｂとする。
【0040】
制御装置１１は、駆動電圧を印加して第２駆動部１３０ａ、１３０ｂを駆動する。一例として第２駆動部１３０ｂを例に説明を行う。第２駆動部１３０ｂにおいて圧電駆動部群Ａと圧電駆動部群Ｂが「一対の可動部」に相当する。これら圧電駆動部群Ａと圧電駆動部群Ｂが反射部１０１に傾きを与えるように動作する。ここでは説明を省略するが第２駆動部１３０ａについても同様である。
【0041】
図４は、可動装置１３の第２駆動部１３０ｂの駆動を模式的に表した模式図である。点線で表されているのは反射部１０１の反射面１４等である。図４（ｉ）に示されるように、第２駆動部１３０ｂの圧電駆動部群Ａおよび圧電駆動部群Ｂに駆動電圧が印加されていない状態では、第２駆動部１３０ｂによる振れ角はゼロである。
【0042】
圧電駆動部群Ａは、駆動電圧が並行に印加されると、図４（ｉｉ）に示すように、圧電駆動部群Ａが同一方向に屈曲変形し、反射部１０１が－Ｚ方向に第２軸周りに可動する。
【0043】
圧電駆動部群Ｂは、駆動電圧が並行に印加されると、図４（ｉｖ）に示すように、圧電駆動部群Ｂが同一方向に屈曲変形し、反射部１０１が＋Ｚ方向に第２軸周りに可動する。
【0044】
図４（ｉｉ）、（ｉｖ）に示されるように、第２駆動部１３０ａまたは１３０ｂでは、圧電駆動部群Ａが有する複数の圧電部１７２または圧電駆動部群Ｂが有する複数の圧電部１７２を同時に屈曲変形させることにより、屈曲変形による可動量を累積させ、反射部１０１（反射面１４）の第２軸周りの振れ角度を大きくすることができる。例えば、図１に示されるように、第２駆動部１３０ａ、１３０ｂが、第１支持部１２０の中心点に対して点対称で第１支持部１２０に接続されている。そのため、圧電駆動部群Ａに駆動電圧を印加すると、第２駆動部１３０ａでは第１支持部１２０と第２駆動部１３０ａの接続部に＋Ｚ方向に動かす駆動力が生じ、第２駆動部１３０ｂでは第１支持部１２０と第２駆動部１３０ｂの接続部に－Ｚ方向に動かす駆動力が生じ、可動量が累積されて反射部１０１（反射面１４）の第２軸周りの振れ角度を大きくすることができる。
【0045】
また、図４（ｉｉｉ）に示されるように、電圧印加による圧電駆動部群Ａによる反射部１０１の可動量と電圧印加による圧電駆動群Ｂによる反射部１０１の可動量が釣り合っている時は、振れ角はゼロとなる。
【0046】
【0047】
（駆動電圧Ａ、Ｂ）
次に、圧電駆動部群Ａに印加される駆動電圧（以下、駆動電圧Ａとする）、圧電駆動部群Ｂに印加される駆動電圧（以下、駆動電圧Ｂとする）について、図５を用いて説明する。
次に、圧電駆動部群Ａに印加される駆動電圧（以下、駆動電圧Ａとする）、圧電駆動部群Ｂに印加される駆動電圧（以下、駆動電圧Ｂとする）について、図５を用いて説明する。
【0048】
図５（ａ）は、可動装置１３の圧電駆動部群Ａに印加される駆動電圧Ａの波形の一例である。図５（ｂ）は、可動装置１３の圧電駆動部群Ｂに印加される駆動電圧の波形Ｂの一例である。図５（ｃ）は、駆動電圧Ａの波形と駆動電圧Ｂの波形を重ね合わせた図である。
【0049】
図５（ａ）に示されるように、圧電駆動部群Ａに印加される駆動電圧Ａは、例えば、ノコギリ波状の波形の駆動電圧であり、周波数は、例えば６０ＨＺである。また、駆動電圧Ａの波形は、電圧値が極小値から次の極大値まで増加していく立ち上がり期間の時間幅をＴｒＡ、電圧値が極大値から次の極小値まで減少していく立ち下がり期間の時間幅をＴｆＡとしたとき、例えば、ＴｒＡ：ＴｆＡ＝９：１となる比率があらかじめ設定されている。このとき、一周期に対するＴｒＡの比率を駆動電圧Ａのシンメトリという。
【0050】
図５（ｂ）に示されるように、圧電駆動部群Ｂに印加される駆動電圧Ｂは、例えば、ノコギリ波状の波形の駆動電圧であり、周波数は、例えば６０ＨＺである。また、駆動電圧Ｂの波形は、電圧値が極小値から次の極大値まで増加していく立ち上がり期間の時間幅をＴｒＢ、電圧値が極大値から次の極小値まで減少していく立ち下がり期間の時間幅をＴｆＢとしたとき、例えば、ＴｆＢ：ＴｒＢ＝９：１となる比率があらかじめ設定されている。このとき、一周期に対するＴｆＢの比率を駆動電圧Ｂのシンメトリという。また、図５（ｃ）に示されるように、例えば、駆動電圧Ａの波形の周期ＴＡと駆動電圧Ｂの波形の周期ＴＢは、同一となるように設定されている。
【0051】
なお、上記の駆動電圧Ａおよび駆動電圧Ｂのノコギリ波状の波形は、正弦波の重ね合わせによって生成される。
【0052】
また、この例では、駆動電圧Ａ、Ｂとしてノコギリ波状の波形の駆動電圧を用いているが、これに限らず、ノコギリ波状の波形の頂点を丸くした波形の駆動電圧や、ノコギリ波状の波形の直線領域を曲線とした波形の駆動電圧など、可動装置１３のデバイス特性に応じて波形を変えることも可能である。
【0053】
【0054】
図６は、反射面１４の第２軸周りの可動速度が一定（均一）である場合の反射面１４の第２軸周りの振れ角の時間変化を示す図である。図７は、反射面１４の第２軸周りの可動速度が一定（均一）である場合の投影画像を示しており、反射面１４の第１軸、第２軸とも可動速度が一定であり、走査動作が適切であることを示している。なお、本実施の形態では、反射面１４の可動動作範囲に対して、内側を有効画像領域として使用する。
【0055】
図８は、反射面１４の第２軸周りの可動速度が一定（均一）ではない場合の反射面１４の第２軸周りの振れ角の時間変化を示す図である。このように可動速度が均一でない場合は、図９に示されるように投影画像には疎密となる箇所で明暗の差が発生し、明るさムラとなる。従って、反射部１０１の第２軸周りの可動速度に変動が生じた場合は、直線的な光走査が妨げられ、例えば、被走査面に形成される画像に輝度ムラ、歪みなどが発生し、画質の劣化を招くことになる。
【0056】
反射面１４の第２軸周りの振れ角の時間変化、すなわち反射面１４の第２軸周りの可動速度は、図６に示されるように直線的であることが望ましい。つまり、反射部１０１の第２軸周りの可動速度に変動が生じないことが望ましい。この直線性のことをリニアリティと呼び、リニアリティ値が低いほどより直線性がよく、明るさムラが低減する。リニアリティと明るさムラとには相関関係がある。しかしながら、実際には、図８に示されるように、第２駆動部１３０ａ、１３０ｂによる反射部１０１の第２軸周りの可動動作においては、振れ角の可動速度に変動が生じてしまう。
【0057】
この変動は第２支持部１４０と駆動部１３０a、１３０bとを支持する弾性部に生じる弾性振動によって、振れ角に対し、高周波成分が重畳してしまうことが原因の１つであると考えられる。
【0058】
本実施の形態では、弾性部の弾性振動により重畳する高周波成分を抑制し、可動速度が均一となるように駆動電圧を制御する。図１０～図１３を参照して、駆動電圧の制御により反射部１０１の可動速度の均一性が向上する理由について詳細に説明する。
【0059】
図１０は、駆動電圧Ａ、Ｂともに単純なノコギリ波で駆動させた場合の反射面の振れ角の挙動を示す図である。図１０に示されるように、駆動電圧は重畳している高周波成分の影響を受けるため、可動速度が変動し、反射面の可動速度が不均一となってしまう。
【0060】
図１１は、駆動電圧Ａ、Ｂ単独で駆動させた場合の反射面の振れ角の挙動を示す図である。なお、駆動電圧Ａ、Ｂ共に駆動させた時の反射面の振れ角は単独駆動させた時の（反射面の振れ角Ａ）－（反射面の振れ角Ｂ）とおおよそ等しい挙動となる。
【0061】
次に駆動電圧Ｂのシンメトリを変えて単独駆動させた際の反射面の振れ角の挙動について説明する。
【0062】
図１２は、駆動電圧Ｂのシンメトリを変えて単独駆動させた際の反射面の振れ角の挙動を示す図である。図１２に示されるように、駆動電圧Ｂにおける立下り区間（走査区間）の電圧傾斜が緩やかになるほど、高周波の振幅は小さくなる。そこで、駆動電圧Ａは変更せずに、駆動電圧Ａにより発生した高周波の振幅と駆動電圧Ｂにより発生する高周波振幅とが一致するように駆動電圧Ｂのシンメトリを変更する。
【0063】
図１３は、反射面の可動速度を一定に制御する駆動電圧Ａと駆動電圧Ｂの位相関係を示す図である。図１３に示されるように駆動電圧Ａと駆動電圧Ｂとで発生する高周波がちょうど逆位相となるように駆動電圧ＡとＢとの位相差を調整する。
【0064】
（高周波成分を抑制する可動装置の実施例）
図１４は、可動装置の検知部の構成の一例を示す平面図である。図１４に示される可動装置１３は、第２駆動部１３０ａと接触せずに若干の隙間を有し平行に配置される検知部１４０ａと、第２駆動部１３０ｂと接触せずに若干の隙間を有し平行に配置される検知部１４０ｂとを有する。具体的に、検知部１４０ａと１４０ｂは図１４に示されるようにミアンダ構造の内側に配置され、ミアンダ段数に応じた数が配置されている。各検知部１４１ａ～１４１ｆ、１４２ａ～１４２ｆは、各第２圧電駆動部１３１ａ～１３１ｆ、第２圧電駆動部１３２ａ～１３２ｆに対してそれぞれ幅が狭く、長さはほぼ等しく長方形型である。
図１４は、可動装置の検知部の構成の一例を示す平面図である。図１４に示される可動装置１３は、第２駆動部１３０ａと接触せずに若干の隙間を有し平行に配置される検知部１４０ａと、第２駆動部１３０ｂと接触せずに若干の隙間を有し平行に配置される検知部１４０ｂとを有する。具体的に、検知部１４０ａと１４０ｂは図１４に示されるようにミアンダ構造の内側に配置され、ミアンダ段数に応じた数が配置されている。各検知部１４１ａ～１４１ｆ、１４２ａ～１４２ｆは、各第２圧電駆動部１３１ａ～１３１ｆ、第２圧電駆動部１３２ａ～１３２ｆに対してそれぞれ幅が狭く、長さはほぼ等しく長方形型である。
【0065】
検知部１４０ａと１４０ｂの層構成は駆動部１３０ａ、１３０ｂの層構成と同一である。これにより、検知部１４０ａ、１４０ｂから第２軸に対する反射面１４の振れ角の可動動作位置の情報を検知する。
【0066】
検知部１４０ａと１４０ｂからの反射面１４の振れ角の可動動作位置情報を用いることで、実際の反射面１４の振れ角の可動動作に置き換えることができ、検知した位置情報から不均一な可動速度を補正するように駆動電圧の波形を制御することも可能である。
【0067】
図１５および図１６は、対となる駆動信号間の位相差、シンメトリ(一方の駆動信号のシンメトリを固定としたときのもう一方の駆動信号のシンメトリ)、およびリニアリティ値の関係を示した図である。図１６は、図１５に対して線分ＡＢ間におけるリニアリティ値との関係を示している。図１５に示されるように、二次元座標軸における第一軸方向（以下便宜的にＸ軸方向とする）を位相差とし、第二軸方向（以下便宜的にＹ軸方向とする）をシンメトリとした時に、図１６に示されるようにリニアリティは、リニアリティ値が最も小さくなる位相差とシンメトリとの組み合わせに向けて単調減少となる傾向となる。
【0068】
（可動装置の制御システム）
図１７は、可動装置１３の制御システムの概略構成の一例を示すブロック図である。図１７に示されるように、可動装置１３は制御装置１１の制御を受けて駆動する。制御装置１１は、駆動信号生成部Ａ２１１－１、駆動信号生成部Ｂ２１１－２、駆動部Ａ２１０－１、駆動部Ｂ２１０－２、高周波成分取出部２１２、メモリ部２１３、設定変更回数カウンタ部２１４－１、設定算出部２１４－２、および高周波成分比較部２１４－３を有する。
図１７は、可動装置１３の制御システムの概略構成の一例を示すブロック図である。図１７に示されるように、可動装置１３は制御装置１１の制御を受けて駆動する。制御装置１１は、駆動信号生成部Ａ２１１－１、駆動信号生成部Ｂ２１１－２、駆動部Ａ２１０－１、駆動部Ｂ２１０－２、高周波成分取出部２１２、メモリ部２１３、設定変更回数カウンタ部２１４－１、設定算出部２１４－２、および高周波成分比較部２１４－３を有する。
【0069】
ここで、「信号生成部」は駆動信号生成部Ａ２１１－１、駆動信号生成部Ｂ２１１－２に相当し、「高周波成分抽出部」は高周波成分取出部２１２に相当し、「メモリ部」はメモリ部２１３に相当し、「駆動信号選択部」は設定変更回数カウンタ部２１４－１、設定算出部２１４－２、および高周波成分比較部２１４－３に相当する。
【0070】
駆動信号生成部Ａ２１１－１は駆動部Ａ２１０－１に駆動情報を出力し、駆動部Ａ２１０－１が駆動情報を基に可動装置１３の圧電駆動部群Ａに対し駆動信号を出力する。
【0071】
また、駆動信号生成部Ｂ２１１－２は駆動部Ｂ２１０－２に駆動情報を出力し、駆動部Ｂ２１０－２が駆動情報を基に可動装置１３の圧電駆動部群Ｂに対し駆動信号を出力する。
【0072】
可動装置１３は入力された駆動信号に従い、駆動する。その時、可動装置１３からは反射面１４の可動動作情報である検知情報が出力され、高周波成分取出部２１２へと入力される。高周波成分取出部２１２では高周波成分の振幅を取り出し、メモリ部２１３へ出力する。このとき設定算出部２１４－２において現時点での設定パラメータである「シンメトリ」と「位相差」との２変数の値と紐づけたデータとして設定変更回数カウンタ部２１４－１からのカウンタ数もメモリ部２１３へ合わせて格納する。
【0073】
設定変更回数カウンタ部２１４－１にて設定変更回数をカウントし、規定回数に到達すると、高周波成分比較部２１４－３に規定回数に到達したことを示す信号を出力する。
【0074】
規定回数に到達したことを示す信号を受けると、高周波成分比較部２１４－３では規定回数分の高周波成分の振幅データをメモリ部２１３から読み出し、その中で高周波成分の振幅が最小となる設定パラメータ（位相差、シンメトリ）を算出する。
【0075】
設定算出部２１４－２では予め決めた順番に従い、設定パラメータ（位相差、シンメトリ）を変更していく。設定変更回数カウンタ部２１４－１からの規定回数に到達したことを示す信号が入力されると、高周波成分比較部２１４－３により算出された高周波成分の振幅が最小となる設定パラメータ（位相差、シンメトリ）を使い、設定パラメータが更新される。このときにメモリ部２１３のデータと設定変更回数カウンタ部２１４－１のカウント数がリセットされる。再び予め決めた順番に従い、更新された設定パラメータ（位相差、シンメトリ）に従い、変更していく。
【0076】
設定算出部２１４－２より算出された設定パラメータ（位相差とシンメトリ）は駆動信号生成部Ｂ２１１－２へ入力される。入力されたシンメトリ、位相差を元に駆動信号生成部Ｂ２１１－２では駆動情報を更新し、駆動部Ｂ２１０－２へと出力し、駆動波形を制御する。
【0077】
ここでは一例として駆動部Ｂ側に対して駆動情報を更新したが、駆動部Ａ側に対する駆動情報の更新でもよく、また駆動部Ａ、Ｂ両方の駆動情報を更新させてもよい。
【0078】
図１８は、対となる駆動信号間の位相差とシンメトリ(一方の駆動信号のシンメトリを固定としたときのもう一方の駆動信号のシンメトリ)との組み合わせの最適設定を探索する処理の一例を示す図である。まず、図１８に示されるようにｐ１の座標（以下、位置と言う）を囲むようにｐ１の位置を基準（中心）として左右で等間隔となり、また上下でも等間隔となるようにｐ２～ｐ９の位相差とシンメトリとの組み合わせ位置を決める。
【0079】
次にｐ１～ｐ９まで位相差とシンメトリとの設定値を順々に変更し、各点でのリニアリティ値を測定する。測定したｐ１～ｐ９でリニアリティが最も小さい値となったｐ（ｍｉｎｉｍｕｍ）、この例ではｐ（４）、の位置を囲むように、ｐ（ｍｉｎｉｍｕｍ）の位置を中心として、最初に等間隔にした左右の半分の間隔、また上下の半分の間隔となるように新たにｐ２’～ｐ９’までの組み合わせを決める。
【0080】
次に、同様にしてｐ１’～ｐ９’まで位相差とシンメトリとの設定値を順々に変更し、各点でのリニアリティ値を測定する。測定したｐ’１～ｐ’９でリニアリティが最も小さい値となったｐ（ｍｉｎｉｍｕｍ）’を中心として、左右のさらに半分の間隔、また上下のさらに半分の間隔となるように新たに位相差とシンメトリの組み合わせ位置を決める。この処理を繰り返すことで最適設定を導き出すことができる。この例ではｐ１～ｐ９の９点を挙げたが、複数点であれば９点でなくてもよい。
【0081】
図１９は、制御装置１１が駆動信号のシンメトリと駆動信号間の位相差の設定変更を行う処理の一例を示すフロー図である。以下においてＭＥＭＳは可動装置に相当する。
【0082】
まず、制御装置１１は初期設定を行う（Ｓ１）。一例として、ｐ１～ｐ９の９点とする場合、制御装置１１はｓｔｅｐ数を９（ｐ１～ｐ９）に設定し、探索数を２回に設定し、高周波振幅閾値を投影画像に明るさムラとして認識されないリニアリティ値で設定し、そして開始設定となる位相差とシンメトリを設定する。
【0083】
続いて、制御装置１１はｓｔｅｐにおけるｐＸ（ｐ１～ｐ９）の位相差とシンメトリ設定を準備（更新）する（Ｓ２）。
【0084】
続いて、制御装置１１はｓｔｅｐカウンタをリセットし、さらにメモリ部２１３の格納データをリセットする（Ｓ３）。一例では、ｓｔｅｐカウンタは１、２、３・・・とカウンタが進み、９になると１に戻る。
【0085】
続いて、制御装置１１は現ｓｔｅｐ数（ｐ１～９）によってＭＥＭＳの駆動設定（位相差、シンメトリ）を選択する（Ｓ４）。
【0086】
続いて、制御装置１１はＳ４での設定に従いＭＥＭＳを駆動する（Ｓ５）。
【0087】
続いて、制御装置１１はＭＥＭＳミラーよりミラー振れ角をトレースした検知信号に重畳する高周波振幅を取得する（Ｓ６）。
【0088】
続いて、制御装置１１はＳ６で取得した高周波振幅とｓｔｅｐ回数と紐づけてメモリ部２１３へ格納する（Ｓ７）。
【0089】
続いて、制御装置１１はｓｔｅｐ更新回数がｓｔｅｐ数に到達したかを判定する（Ｓ８）。
【0090】
続いて、制御装置１１はｓｔｅｐ更新回数がｓｔｅｐ数に到達していないので、ｓｔｅｐ更新回数を＋１にインクリメントし、Ｓ４へ遷移する（Ｓ９）。
【0091】
続いて、制御装置１１は、ｓｔｅｐ更新回数がｓｔｅｐ数に到達したため、メモリへ格納した高周波振幅が最小となるＭＥＭＳ駆動設定（位相差、シンメトリ）を最適設定とする（Ｓ１０）。
【0092】
続いて、制御装置１１はＳ１０で求めた高周波振幅最小がＳ１で設定した高周波振幅よりも小さいか判定する（Ｓ１１）。制御装置１１は、設定した高周波振幅閾値よりも小さければ、明るさムラとして認識されないことになるので、最適設定を最終設定として処理を終了する。
【0093】
続いて、制御装置１１は、高周波振幅が閾値よりも大きいので、探索回数とＳ１で設定した探索数とを比較する（Ｓ１２）。制御装置１１は、設定した探索数に到達していれば、最適設定を最終設定として処理を終了する。
【0094】
続いて、制御装置１１は、探索回数が設定した探索数に到達していないので、探索回数を＋１にインクリメントし、Ｓ２へ遷移する（Ｓ１３）。
【0095】
以上のように、第１の実施の形態にかかる可動装置１３は、第２支持部１４０と駆動部１３０a、１３０bとを支持する弾性部に生じる弾性振動の高周波成分を抑制し、可動速度が均一となるように駆動電圧を制御する。これにより、設定変更に伴い発生する弾性振動の調整処理時間を短縮することが可能になる。
【0096】
（第２の実施の形態）
図２０は、第２の実施の形態にかかる可動装置の制御システムの概略構成を示すブロック図である。図２０に示される制御装置１１は、駆動信号生成部Ａ２１１－１、駆動信号生成部Ｂ２１１－２、駆動部Ａ２１０－１、駆動部Ｂ２１０－２、高周波成分取出部２１２、メモリ部２１３、設定変更回数カウンタ部２１４－１、設定算出部２１４－２、内分点算出部２５１および最適設定算出部２５２を有する。第１の実施の形態の実施例と同様に、各駆動信号生成部（駆動信号生成部Ａ２１１－１、駆動信号生成部Ｂ２１１－２）から各駆動部（駆動部Ａ２１０－１、駆動部Ｂ２１０－２）へ駆動情報を入力し、駆動情報に基づき各駆動部（駆動部Ａ２１０－１、駆動部Ｂ２１０－２）から可動装置１３に駆動信号が出力される。可動装置１３は入力された駆動信号に従い、駆動する。可動装置１３からは反射面の可動動作情報である検知情報が出力され、高周波成分取出部２１２へと入力される。高周波成分取出部２１２は高周波成分の振幅を取り出してメモリ部２１３へ出力する。
図２０は、第２の実施の形態にかかる可動装置の制御システムの概略構成を示すブロック図である。図２０に示される制御装置１１は、駆動信号生成部Ａ２１１－１、駆動信号生成部Ｂ２１１－２、駆動部Ａ２１０－１、駆動部Ｂ２１０－２、高周波成分取出部２１２、メモリ部２１３、設定変更回数カウンタ部２１４－１、設定算出部２１４－２、内分点算出部２５１および最適設定算出部２５２を有する。第１の実施の形態の実施例と同様に、各駆動信号生成部（駆動信号生成部Ａ２１１－１、駆動信号生成部Ｂ２１１－２）から各駆動部（駆動部Ａ２１０－１、駆動部Ｂ２１０－２）へ駆動情報を入力し、駆動情報に基づき各駆動部（駆動部Ａ２１０－１、駆動部Ｂ２１０－２）から可動装置１３に駆動信号が出力される。可動装置１３は入力された駆動信号に従い、駆動する。可動装置１３からは反射面の可動動作情報である検知情報が出力され、高周波成分取出部２１２へと入力される。高周波成分取出部２１２は高周波成分の振幅を取り出してメモリ部２１３へ出力する。
【0097】
ここで、「駆動信号選択部」は設定変更回数カウンタ部２１４－１、設定算出部２１４－２、内分点算出部２５１および最適設定算出部２５２に相当する。
【0098】
第２の実施の形態では、高周波成分の振幅をメモリ部２１３へ格納する際に、設定算出部２１４－２において現時点での設定パラメータ（シンメトリ、位相差）と紐づけたデータとして設定変更回数カウンタ部２１４－１からのカウンタ数もメモリ部２１３へ合わせて格納する。
【0099】
設定変更回数カウンタ部２１４－１は、設定変更回数をカウントし、規定回数に到達すると、内分点算出部２５１に規定回数に到達したことを示す信号を出力する。
【0100】
規定回数に到達したことを示す信号を受けると、内分点算出部２５１は規定回数分の高周波成分の振幅データをメモリ部か５０２ら読み出し、設定パラメータ位置におけるリニアリティ値と隣接する設定パラメータ位置におけるリニアリティ値から内分点を算出する。
【0101】
算出された内分点は最適設定算出部２５２へ入力され、内分点同士を線で結んだ交点を最適設定パラメータとする。この最適設定パラメータを使い、設定算出部２１４－２が設定パラメータを更新する。このときにメモリ部２１３のデータと設定変更回数カウンタ部２１４－１のカウント数をリセットする。更新された設定パラメータ（位相差とシンメトリ）を駆動信号生成部Ｂ２１１－２へ出力する。入力されたシンメトリ、位相差を元に駆動信号生成部Ｂ２１１－２では駆動情報を更新し、駆動部Ｂ２１０－２へと出力し、駆動波形を制御する。
【0102】
ここでは一例として駆動部Ｂ側に対して駆動情報を更新したが、駆動部Ａ側に対する駆動情報の更新でもよく、また駆動部Ａ、Ｂ両方の駆動情報を更新させてもよい。
【0103】
図２１は、対となる駆動信号間の位相差とシンメトリ(一方の駆動信号のシンメトリを固定としたときのもう一方の駆動信号のシンメトリ)との組み合わせの最適設定を探索する処理の一例を示す図である。まず、図２１に示されるように四角形ｐ１～ｐ４の位相差とシンメトリとの組み合わせ位置を決める。次にｐ１～ｐ４まで位相差とシンメトリとの設定値を順々に変更し、各点でのリニアリティ値（ｌ１～ｌ４）を測定する。
【0104】
次に、測定したｐ１～ｐ４のリニアリティ値において隣接する位置同士（ｐ１とｐ２、ｐ２とｐ３、ｐ３とｐ４、ｐ４とｐ１）から内分点を求める。
【0105】
ｐ（ｎ）におけるリニアリティ値をｌ（ｎ）とすると、ｐ１とｐ２との内分点ｎ１２＝ｐ１＋ｌ１／（ｌ１＋ｌ２）となる。このようにして各内分点を求めると、以下で表させる。
【0106】
ｎ２３＝ｐ２＋ｌ２／（ｌ２＋ｌ３）
【0107】
ｎ３４＝ｐ４＋ｌ４／（ｌ４＋ｌ３）
【0108】
ｎ４１＝ｐ１＋ｌ１／（ｌ１＋ｌ４）
【0109】
ここで対面の内分点同士を線で結び、内分点同士の線同士が交差する点を最適位置として決める。これにより、４点でのリニアリティ測定することで最適位置を推定することができる。このため、順々にリニアリティを比較して最適位置を探索していく方法と比べて探索時間を短縮することができる。さらに、最適位置を中心として再度４点を更新し、処理を繰り返すことでより確度の高い最適設定を導きだすことができる。
【0110】
なお、４点は一例であり、４点に限らず複数点であればよい。
【0111】
また、ここでは長方形側を例に挙げたが、これに限定されない。例えば図２２のような形状でもよい。
【0112】
図２２は、ひし型形状の場合の最適設定の探索処理の一例を示す図である。このひし形形状のように位相差とシンメトリを同時に変更させても同様の処理を行うことができる。
【0113】
図２３は、制御装置１１が駆動信号のシンメトリと駆動信号間の位相差の設定変更を行う処理の一例を示すフロー図である。まず、制御装置１１は初期設定を行う（Ｓ２１）。一例として、制御装置１１はｓｔｅｐ数を４（ｐ１～ｐ４）に設定し、探索数を１回に設定し、高周波振幅閾値を投影画像に明るさムラとして認識されないリニアリティ値で設定し、そして開始設定となる位相差とシンメトリを設定する。
【0114】
続いて、制御装置１１はｓｔｅｐにおけるｐＸ（ｐ１～ｐ４）の位相差とシンメトリ設定を準備（更新）する（Ｓ２２）。
【0115】
続いて、制御装置１１はｓｔｅｐカウンタをリセットする（Ｓ２３）。一例ではｓｔｅｐカウンタは１～４でカウンタが進み、４になると１に戻る。
【0116】
続いて、制御装置１１は現ｓｔｅｐ数（ｐ１～４）によってＭＥＭＳ駆動設定（位相差、シンメトリ）を選択する（Ｓ２４）。
【0117】
続いて、制御装置１１はＳ２４での設定に従いＭＥＭＳ駆動する（Ｓ２５）。
【0118】
続いて、制御装置１１はＭＥＭＳミラーよりミラー振れ角をトレースした検知信号に重畳する高周波振幅を取得する（Ｓ２６）。
【0119】
続いて、制御装置１１はＳ２６で取得した高周波振幅とｓｔｅｐ回数と紐づけてメモリへ格納する（Ｓ２７）。
【0120】
続いて、制御装置１１はｓｔｅｐ更新回数がｓｔｅｐ数に到達したかを判定する（Ｓ２８）。
【0121】
続いて、制御装置１１はｓｔｅｐ更新回数がｓｔｅｐ数に到達していないので、ｓｔｅｐ更新回数を＋１にインクリメントし、Ｓ２４へ遷移する（Ｓ２９）。
【0122】
続いて、制御装置１１はｓｔｅｐ更新回数がｓｔｅｐ数に到達したため、隣接するｓｔｅｐにおける高周波振幅値の比率から内分点を算出し、算出した内分点において対面する内分点と線（内分線）を結び、内分線同士の交点をＭＥＭＳ駆動設定（位相差、シンメトリ）の最適設定とする（Ｓ３０）。
【0123】
続いて、制御装置１１はＳ３０で求めたＭＥＭＳ駆動設定を用いてＭＥＭＳを駆動する（Ｓ３１）。
【0124】
続いて、制御装置１１はＭＥＭＳミラーよりミラー振れ角をトレースした検知信号に重畳する高周波振幅を取得する（Ｓ３２）。
【0125】
続いて、制御装置１１はＳ３２で求めた最適設定における高周波振幅がＳ１で設定した高周波振幅よりも小さいか判定する（Ｓ３３）。この判定により、設定した高周波振幅閾値よりも小さければ、明るさムラとして認識されないことになるので、最適設定を最終設定として処理を終了する。
【0126】
続いて、制御装置１１は高周波振幅が閾値よりも大きいので、探索回数とＳ１で設定した探索数とを比較する（Ｓ３４）。設定した探索数に到達していれば、最適設定を最終設定として処理を終了する。
【0127】
続いて、制御装置１１は探索回数が設定した探索数に到達していないので、探索回数を＋１にインクリメントし、Ｓ２２へ遷移する（Ｓ３５）。
【0128】
図２４は、可動装置の電源ＯＮから電源ＯＦＦまでの全体フローの一例を示す図である。まず、制御装置１１は電源投入後、初期設定を行う（Ｓ４１）。制御装置１１は初期設定でＭＥＭＳ駆動周波数設定と、予め決められたレーザ光量設定とを行う。
【0129】
続いて、制御装置１１はリニアリティ調整を行う（Ｓ４２）。
【0130】
続いて、制御装置１１は明るさムラが認識されないＭＥＭＳ駆動設定を使って、レーザ点灯を開始する（Ｓ４３）。
【0131】
続いて、制御装置１１は投影処理を終了されるためにまずはレーザ消灯を行う（Ｓ４４）。
【0132】
続いて、制御装置１１はＭＥＭＳ駆動を停止させ、ＭＥＭＳミラーを停止し、電源ＯＦＦする（Ｓ４５）。
【0133】
（第３の実施の形態）
［光偏向装置］
第３の実施の形態にかかる光偏向装置について図２５～図２８を参照しながら詳細に説明する。なお、第３の実施の形態にかかる光偏向装置において、第１の実施の形態または第２の実施の形態にかかる可動装置１３の制御システムが適用される。
［光偏向装置］
第３の実施の形態にかかる光偏向装置について図２５～図２８を参照しながら詳細に説明する。なお、第３の実施の形態にかかる光偏向装置において、第１の実施の形態または第２の実施の形態にかかる可動装置１３の制御システムが適用される。
【0134】
図２５は、光偏向装置の一例の構成を示す概略図である。図２５に示されるように、光偏向装置１０は、制御装置１１と、光源装置１２と、反射面１４を有する可動装置１３とを有する。光偏向装置１０は、制御装置１１の制御に従って光源装置１２から照射された光を反射面１４により偏向することで被走査面１５を光走査する。
【0135】
制御装置１１は、例えばＣＰＵ(Central Processing Unit)およびＦＰＧＡ（Field-Programmable Gate Array）等を備えた電子回路ユニットである。可動装置１３は、例えば反射面１４を有し、反射面１４を可動可能なＭＥＭＳデバイスである。光源装置１２は、例えばレーザを照射するレーザ装置である。なお、被走査面１５は、例えばスクリーンである。
【0136】
制御装置１１は、取得した光走査情報に基づいて光源装置１２および可動装置１３の制御命令を生成し、制御命令に基づいて光源装置１２および可動装置１３に駆動信号を出力する。
【0137】
光源装置１２は、入力された駆動信号に基づいて光源の照射を行う。可動装置１３は、入力された駆動信号に基づいて反射面１４を１軸方向または２軸方向の少なくともいずれかに可動させる。
【0138】
これにより、例えば、光走査情報の一例である画像情報に基づいた制御装置１１の制御によって、可動装置１３の反射面１４を所定の範囲で２軸方向に往復可動させ、反射面１４に入射する光源装置１２からの照射光をある１軸周りに偏向して光走査することにより、被走査面１５に任意の画像を投影することができる。
【0139】
次に、光偏向装置１０一例のハードウェア構成について図２６を用いて説明する。
図２６は、光偏向装置１０の一例のハードウェア構成図である。図２６に示されるように、光偏向装置１０は、制御装置１１、光源装置１２および可動装置１３を備え、それぞれが電気的に接続されている。このうち、制御装置１１は、ＣＰＵ３０１、ＲＡＭ３０２(Random Access Memory)、ＲＯＭ３０３（Read Only Memory）、ＦＰＧＡ３０４、外部Ｉ／Ｆ３０５、光源装置ドライバ３０６、可動装置ドライバ３０７を備えている。
図２６は、光偏向装置１０の一例のハードウェア構成図である。図２６に示されるように、光偏向装置１０は、制御装置１１、光源装置１２および可動装置１３を備え、それぞれが電気的に接続されている。このうち、制御装置１１は、ＣＰＵ３０１、ＲＡＭ３０２(Random Access Memory)、ＲＯＭ３０３（Read Only Memory）、ＦＰＧＡ３０４、外部Ｉ／Ｆ３０５、光源装置ドライバ３０６、可動装置ドライバ３０７を備えている。
【0140】
ＣＰＵ３０１は、ＲＯＭ３０３等の記憶装置からプログラムやデータをＲＡＭ３０２上に読み出し、処理を実行して、制御装置１１の全体の制御や機能を実現する中央演算装置である。
【0141】
ＲＡＭ３０２は、プログラムやデータを一時保持する揮発性の記憶装置である。
【0142】
ＲＯＭ３０３は、電源を切ってもプログラムやデータを保持することができる不揮発性の記憶装置であり、ＣＰＵ３０１が光偏向装置１０の各機能を制御するために実行する処理用プログラムやデータを記憶している。
【0143】
ＦＰＧＡ３０４は、ＣＰＵ３０１の処理に従って、光源装置ドライバ３０６および可動装置ドライバ３０７に適した制御信号を出力する回路である。
【0144】
外部Ｉ／Ｆ３０５は、例えば外部装置やネットワーク等とのインタフェースである。外部装置には、例えば、ＰＣ（Personal Computer）等の上位装置、ＵＳＢメモリ、ＳＤカード、ＣＤ、ＤＶＤ、ＨＤＤ、ＳＳＤ等の記憶装置が含まれる。また、ネットワークは、例えば車両のＣＡＮ（Controller Area Network）やＬＡＮ（Local Area Network）、インターネット等である。外部Ｉ／Ｆ３０５は、外部装置との接続または通信を可能にする構成であればよく、外部装置ごとに外部Ｉ／Ｆ３０５が用意されてもよい。
【0145】
光源装置トライバは、入力された制御信号に従って光源装置１２に駆動電圧等の駆動信
号を出力する電気回路である。
号を出力する電気回路である。
【0146】
可動装置ドライバ３０７は、入力された制御信号に従って可動装置１３に駆動電圧等の駆動信号を出力する電気回路である。
【0147】
制御装置１１において、ＣＰＵ３０１は、外部Ｉ／Ｆ３０５を介して外部装置やネットワークから光走査情報を取得する。なお、ＣＰＵ３０１が光走査情報を取得することができる構成であればよく、制御装置１１内のＲＯＭ３０３やＦＰＧＡ３０４に光走査情報を格納する構成としてもよいし、制御装置１１内に新たにＳＳＤ等の記憶装置を設けて、その記憶装置に光走査情報を格納する構成としてもよい。
【0148】
ここで、光走査情報とは、被走査面１５にどのように光走査させるかを示した情報であり、例えば、光走査により画像を表示する場合は、光走査情報は画像データである。
【0149】
次に、光偏向装置１０の制御装置１１の機能構成について図２７を用いて説明する。
図２７は、光偏向装置の制御装置の一例の機能ブロック図である。これらの機能は、ＣＰＵ３０１によるプログラムの実行、ハードウェア、またはその両方により実現される。
図２７は、光偏向装置の制御装置の一例の機能ブロック図である。これらの機能は、ＣＰＵ３０１によるプログラムの実行、ハードウェア、またはその両方により実現される。
【0150】
図２７に示されるように、制御装置１１は、機能部として制御部３５１と駆動信号出力部３５２とを有する。
【0151】
制御部３５１は、例えばＣＰＵ３０１、ＦＰＧＡ３０４等により実現され、外部装置から光走査情報を取得し、光走査情報を制御信号に変換して駆動信号出力部３５２に出力する。例えば、制御部３５１は、外部装置等から画像データを光走査情報として取得し、所定の処理により画像データから制御信号を生成して駆動信号出力部３５２に出力する。また、制御部３５１は、第１の実施の形態または第２の実施の形態の構成も有する。例えば第１の実施の形態に示される駆動信号生成部Ａ２１１－１、駆動信号生成部Ｂ２１１－２、高周波成分取出部２１２、メモリ部２１３、設定変更回数カウンタ部２１４－１、設定算出部２１４－２、および高周波成分比較部２１４－３を有する。
【0152】
駆動信号出力部３５２は、光源装置ドライバ３０６、可動装置ドライバ３０７等により実現され、入力された制御信号に基づいて光源装置１２または可動装置１３に駆動信号を出力する。可動装置ドライバ３０７は、駆動部Ａ２１０－１および駆動部Ｂ２１０－２に相当する。
【0153】
駆動信号は、光源装置１２または可動装置１３の駆動を制御するための信号である。例えば、光源装置１２においては、光源の照射タイミングおよび照射強度を制御する駆動電圧である。また、例えば、可動装置１３においては、可動装置１３の有する反射面１４を可動させるタイミングおよび可動範囲を制御する駆動電圧である。
【0154】
【0155】
まず制御部３５１は、外部装置等から光走査情報を取得する（Ｓ５１）。
【0156】
続いて制御部３５１は、取得した光走査情報から制御信号を生成し、制御信号を駆動信号出力部３５２に出力する（Ｓ５２）。
【0157】
続いて駆動信号出力部３５２は、入力された制御信号に基づいて駆動信号を光源装置１２および可動装置１３に出力する（Ｓ５３）。
【0158】
続いて、光源装置１２が入力された駆動信号に基づいて光照射を行い、可動装置１３が入力された駆動信号に基づいて反射面１４の可動を行う（Ｓ５４）。このような光源装置１２および可動装置１３の駆動により、任意の方向に光が偏向され、光走査される。
【0159】
なお、上記光偏向装置１０では、１つの制御装置１１が光源装置１２および可動装置１３を制御する装置および機能を有しているが、光源装置用の制御装置および可動装置用の制御装置と、別体に設けてもよい。
【0160】
また、上記光偏向装置１０では、一つの制御装置１１に光源装置１２および可動装置１３の制御部３５１の機能および駆動信号出力部３５２の機能を設けているが、これらの機能は別体として存在していてもよく、例えば制御部３５１を有した制御装置１１とは別に駆動信号出力部３５２を有した駆動信号出力装置を設ける構成としてもよい。なお、上記光偏向装置１０のうち、反射面１４を有した可動装置１３と制御装置１１により、光偏向を行う光偏向システムを構成してもよい。
【0161】
（第４の実施の形態）
［画像投影装置］
次に、画像投影装置について、図２９および図３０を用いて詳細に説明する。画像投影装置は、光走査により画像を投影する装置であり、例えばヘッドアップディスプレイ装置である。第４の実施の形態にかかる画像投影装置において、第１の実施の形態または第２の実施の形態にかかる可動装置１３の制御システムが適用される。
［画像投影装置］
次に、画像投影装置について、図２９および図３０を用いて詳細に説明する。画像投影装置は、光走査により画像を投影する装置であり、例えばヘッドアップディスプレイ装置である。第４の実施の形態にかかる画像投影装置において、第１の実施の形態または第２の実施の形態にかかる可動装置１３の制御システムが適用される。
【0162】
【0163】
図２９に示されるように、ヘッドアップディスプレイ装置５００は、例えば、車両４００のウインドシールド（フロントガラス４０１等）の付近に設置される。ヘッドアップディスプレイ装置５００から発せられる投射光Ｌがフロントガラス４０１で反射され、観察者である運転者４０２に向かう。これにより、運転者４０２は、ヘッドアップディスプレイ装置５００によって投影された画像等を虚像として視認することができる。なお、ウインドシールドの内壁面にコンバイナを設置し、コンバイナによって反射する投射光によって運転者４０２に虚像を視認させる構成にしてもよい。
【0164】
図３０に示されるように、ヘッドアップディスプレイ装置５００は、赤色、緑色、青色のレーザ光源５０１Ｒ、５０１Ｇ、５０１Ｂからレーザ光が出射される。出射されたレーザ光は、各レーザ光源に対して設けられるコリメータレンズ５０２、５０３、５０４と、２つのダイクロイックミラー５０５、５０６と、光量調整部５０７と、から構成される入射光学系を経た後、反射面１４を有する可動装置１３にて偏向される。そして、偏向されたレーザ光は、自由曲面ミラー５０９と、中間スクリーン５１０と、投射ミラー５１１とから構成される投射光学系を経て、スクリーンに投影される。なお、上記ヘッドアップディスプレイ装置５００では、レーザ光源５０１Ｒ、５０１Ｇ、５０１Ｂ、コリメータレンズ５０２、５０３、５０４、ダイクロイックミラー５０５、５０６は、光源ユニット５３０として光学ハウジングによってユニット化されている。
【0165】
上記ヘッドアップディスプレイ装置５００は、中間スクリーン５１０に表示される中間像を車両４００のフロントガラス４０１に投射することで、その中間像を運転者４０２に虚像として視認させる。
【0166】
レーザ光源５０１Ｒ、５０１Ｇ、５０１Ｂから発せられる各色レーザ光は、それぞれ、コリメータレンズ５０２、５０３、５０４で略平行光とされ、２つのダイクロイックミラー５０５、５０６により合成される。合成されたレーザ光は、光量調整部５０７で光量が調整された後、反射面１４を有する可動装置１３によって二次元走査される。可動装置１３で二次元走査された投射光Ｌは、自由曲面ミラー５０９で反射されて歪みを補正された後、中間スクリーン５１０に集光され、中間像を表示する。中間スクリーン５１０は、マイクロレンズが二次元配置されたマイクロレンズアレイで構成されており、中間スクリーン５１０に入射してくる投射光Ｌをマイクロレンズ単位で拡大する。
【0167】
可動装置１３は、反射面１４を２軸方向に往復可動させ、反射面１４に入射する投射光Ｌを二次元走査する。この可動装置１３の駆動制御は、レーザ光源５０１Ｒ、５０１Ｇ、５０１Ｂの発光タイミングに同期して行われる。
【0168】
以上、画像投影装置の一例としてのヘッドアップディスプレイ装置５００の説明をしたが、画像投影装置は、反射面１４を有した可動装置１３により光走査を行うことで画像を投影する装置であればよい。例えば、机等に置かれ、表示スクリーン上に画像を投影するプロジェクタや、観測者の頭部等に装着される装着部材に搭載され、装着部材が有する反射透過スクリーンに投影、または眼球をスクリーンとして画像を投影するヘッドマウントディスプレイ装置等にも、同様に適用することができる。
【0169】
また、画像投影装置は、車両や装着部材だけでなく、例えば、航空機、船舶、移動式ロボット等の移動体、あるいは、その場から移動せずにマニピュレータ等の駆動対象を操作する作業ロボットなどの非移動体に搭載されてもよい。
【0170】
（第５の実施の形態）
［ヘッドマウントディスプレイ］
次に、画像投影装置の他の一つの例であるヘッドマウントディスプレイについて図３１～図３２を用いて説明する。ここでヘッドマウントディスプレイは、人間の頭部に装着可能な頭部装着型ディスプレイで、例えば、眼鏡に類する形状とすることができる。ヘッドマウントディスプレイを、以降ではＨＭＤと省略して示す。第５の実施の形態にかかるヘッドマウントディスプレイにおいて、第１の実施の形態または第２の実施の形態にかかる可動装置１３の制御システムが適用される。
［ヘッドマウントディスプレイ］
次に、画像投影装置の他の一つの例であるヘッドマウントディスプレイについて図３１～図３２を用いて説明する。ここでヘッドマウントディスプレイは、人間の頭部に装着可能な頭部装着型ディスプレイで、例えば、眼鏡に類する形状とすることができる。ヘッドマウントディスプレイを、以降ではＨＭＤと省略して示す。第５の実施の形態にかかるヘッドマウントディスプレイにおいて、第１の実施の形態または第２の実施の形態にかかる可動装置１３の制御システムが適用される。
【0171】
図３１は、ＨＭＤ６０の外観を例示する斜視図である。図３１において、ＨＭＤ６０は、左右に１組ずつ略対称に設けられたフロント６０ａ、およびテンプル６０ｂにより構成されている。フロント６０ａは、例えば、導光板６１により構成することができ、光学系や制御装置等は、テンプル６０ｂに内蔵することができる。
【0172】
【0173】
ＨＭＤ６０は、制御装置１１と、光源ユニット５３０と、光量調整部５０７と、反射面１４を有する可動装置１３と、導光板６１と、ハーフミラー６２とを有する。
【0174】
光源ユニット５３０は、上述したレーザ光源５０１Ｒ、５０１Ｇ、および５０１Ｂと、コリメータレンズ５０２、５０３、および５０４と、ダイクロイックミラー５０５、および５０６とを、光学ハウジングによってユニット化したものである。光源ユニット５３０において、レーザ光源５０１Ｒ、５０１Ｇ、および５０１Ｂからの三色のレーザ光は、ダイクロイックミラー５０５および５０６で合成される。光源ユニット５３０からは、合成された平行光が発せられる。
【0175】
光源ユニット５３０からの光は、光量調整部５０７により光量調整された後、可動装置１３に入射する。可動装置１３は、制御装置１１からの信号に基づき、反射面１４をＸＹ方向に可動し、光源ユニット５３０からの光を二次元走査する。この可動装置１３の駆動制御は、レーザ光源５０１Ｒ、５０１Ｇ、５０１Ｂの発光タイミングに同期して行われ、走査光によりカラー画像が形成される。
【0176】
可動装置１３による走査光は、導光板６１に入射する。導光板６１は、走査光を内壁面で反射させながらハーフミラー６２に導光する。導光板６１は、走査光の波長に対して透過性を有する樹脂等により形成されている。
【0177】
ハーフミラー６２は、導光板６１からの光をＨＭＤ６０の背面側に反射し、ＨＭＤ６０の装着者６３の眼の方向に出射する。ハーフミラー６２は、例えば、自由曲面形状を有している。走査光による画像は、ハーフミラー６２での反射により、装着者６３の網膜に結像する。或いは、ハーフミラー６２での反射と眼球における水晶体のレンズ効果とにより、装着者６３の網膜に結像する。またハーフミラー６２での反射により、画像は空間歪が補正される。装着者６３は、ＸＹ方向に走査される光で形成される画像を、観察することができる。
【0178】
ハーフミラー６２を使用したため、装着者６３には、外界からの光による像と走査光による画像が重畳して観察される。ハーフミラー６２に代えてミラーを設けることで、外界からの光をなくし、走査光による画像のみを観察できる構成としてもよい。
【0179】
最後に、上述の各実施の形態は、一例として提示したものであり、本発明の範囲を限定することは意図していない。この新規な各実施の形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことも可能である。また、各実施の形態および各実施の形態の変形は、発明の範囲や要旨に含まれると共に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【0180】
１１ 制御装置
１３ 可動装置
２１０－１ 駆動部Ａ
２１０－２ 駆動部Ｂ
２１１－１ 駆動信号生成部Ａ
２１１－２ 駆動信号生成部Ｂ
２１２ 高周波成分取出部
２１３ メモリ部
２１４－１ 設定変更回数カウンタ部
２１４－２ 設定算出部
２１４－３ 高周波成分比較部
１０１ 反射部
１１０ａ、１１０ｂ 第１駆動部
１２０ 第１支持部
１３０ａ、１３０ｂ 第２駆動部
１４０ 第２支持部
１４０ａ、１４０ｂ、１４１ａ～１４１ｆ、１４２ａ～１４２ｆ 検知部
１５０ 電極接続部
Ａ 圧電駆動部群
Ｂ 圧電駆動部群
１３ 可動装置
２１０－１ 駆動部Ａ
２１０－２ 駆動部Ｂ
２１１－１ 駆動信号生成部Ａ
２１１－２ 駆動信号生成部Ｂ
２１２ 高周波成分取出部
２１３ メモリ部
２１４－１ 設定変更回数カウンタ部
２１４－２ 設定算出部
２１４－３ 高周波成分比較部
１０１ 反射部
１１０ａ、１１０ｂ 第１駆動部
１２０ 第１支持部
１３０ａ、１３０ｂ 第２駆動部
１４０ 第２支持部
１４０ａ、１４０ｂ、１４１ａ～１４１ｆ、１４２ａ～１４２ｆ 検知部
１５０ 電極接続部
Ａ 圧電駆動部群
Ｂ 圧電駆動部群
【先行技術文献】
【特許文献】
【0181】
【特許文献1】特許第６３３２７３６号公報
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】
【図28】
【図29】
【図30】
【図31】
【図32】