特開2024-120111反射型マスクブランク、反射型マスク、反射型マスクの製造方法

発明の名称　反射型マスクブランク、反射型マスク、反射型マスクの製造方法

出願人　旭硝子株式会社　（識別番号 44）

　　　　特許公開件数ランキング 119 位（266件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 66 位（346件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2024-120111

公報発行日　2024年9月3

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2024-120111

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