特開 2024-120584 洗浄装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024120584

(43)【公開日】2024-09-05

(54)【発明の名称】洗浄装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/304 20060101AFI20240829BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20240829BHJP

【ＦＩ】

H01L21/304 648G

H01L21/78 F

H01L21/304 622Q

H01L21/304 643A

H01L21/304 644B

H01L21/304 644C

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023027466

(22)【出願日】2023-02-24

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】山崎 僚也

(72)【発明者】

【氏名】西田 吉輝

(72)【発明者】

【氏名】横尾 晋

【テーマコード（参考）】

5F057

5F063

5F157

【Ｆターム（参考）】

5F057AA21

5F057BB03

5F057BB07

5F057BB09

5F057BB11

5F057BB12

5F057BC06

5F057CA25

5F057DA38

5F057FA37

5F063AA15

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5F063CA06

5F063CA08

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5F063DE33

5F063FF35

5F157AA16

5F157AA98

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5F157AB47

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5F157AB90

5F157BA02

5F157BA07

5F157BB23

5F157BB37

5F157BB45

5F157CD07

5F157CD28

5F157CE25

5F157CE27

5F157CE83

5F157CF42

5F157CF44

5F157CF50

5F157DB02

5F157DB18

5F157DC01

(57)【要約】

【課題】所望する洗浄動作になっているかを容易に確認出来る洗浄装置を提供する事。
【解決手段】被洗浄物２００を洗浄する洗浄装置１は、被洗浄物２００を保持する保持テーブル１０と、保持テーブル１０に保持された被洗浄物２００に洗浄液を供給する洗浄液供給ノズル２１と、洗浄液供給ノズル２１を移動させる洗浄液供給ノズル移動ユニット２５と、洗浄液供給ノズル２１の動作をシミュレーションするシミュレーション部７０と、を備え、シミュレーション部７０は、洗浄液供給ノズル２１の移動開始位置と、移動終了位置と、移動速度と、を含む第１移動データを記憶する第１記憶部７１を有し、第１移動データに基づいて、洗浄液供給ノズル２１の動きをシミュレーションする事を特徴とする。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被洗浄物を洗浄する洗浄装置であって、
被洗浄物を保持する保持テーブルと、
保持テーブルに保持された被洗浄物に洗浄液を供給する洗浄液供給ノズルと、
該洗浄液供給ノズルを移動させる洗浄液供給ノズル移動ユニットと、
該洗浄液供給ノズルの動作をシミュレーションするシミュレーション部と、を備え、
該シミュレーション部は、
該洗浄液供給ノズルの移動開始位置と、移動終了位置と、移動速度と、を含む第１移動データを記憶する第１記憶部を有し、
該第１移動データに基づいて、該洗浄液供給ノズルの動きをシミュレーションする事を特徴とする洗浄装置。

【請求項2】

該シミュレーション部は、シミュレーションの結果を動画で出力することを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。

【請求項3】

該洗浄装置は、シミュレーションの結果を表示するモニタを備える事を特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。

【請求項4】

該洗浄装置は、
被洗浄物または保持テーブルの少なくともいずれかを洗浄する洗浄工具を保持する洗浄工具ノズルと、該洗浄工具ノズルを移動させる洗浄工具ノズル移動ユニットと、をそれぞれ１つ以上備え、
該シミュレーション部は、該洗浄工具ノズルの移動開始位置と、移動終了位置と、移動速度と、を含む第２移動データを記憶する第２記憶部をさらに含み、
該第２移動データに基づいて、該洗浄工具ノズルの動作をシミュレーションする事を特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。

【請求項5】

該保持テーブルは、被洗浄物の外周を保持する外周保持部と、該外周保持部を回転させるモータと、を有し、
該洗浄装置は、該外周保持部で保持されていない被洗浄物の領域の裏面側に接触して洗浄する裏面洗浄パッドと、該裏面洗浄パッドを該被洗浄物に対して接近または離反させる昇降ユニットと、さらに有し、
該シミュレーション部は、該裏面洗浄パッドの移動開始位置と、移動終了位置と、移動速度と、を含む第３移動データを記憶する第３記憶部をさらに含み、
該第３移動データに基づいて、該裏面洗浄パッドの動作をシミュレーションすることを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。

【請求項6】

該シミュレーション部は、該洗浄装置の上面図と、断面図と、斜視図と、の少なくともいずれかによって該動画を生成することを特徴とする請求項２に記載の洗浄装置。

【請求項7】

該洗浄工具ノズルが保持する該洗浄工具は、スポンジと、ブラシと、砥石と、の少なくともいずれかを含む事を特徴とする請求項４に記載の洗浄装置。

【請求項8】

該被洗浄物は、環状フレームの開口に支持部材を介して固定されたウエーハであり、該外周保持部は、該環状フレームを保持する事を特徴とする請求項５に記載の洗浄装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、洗浄装置に関する。

【背景技術】

【0002】

切削、研削、研磨、レーザ加工、プラズマ加工などの加工処理が施された半導体ウエーハの加工面側を洗浄する洗浄装置が提供されている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００６－１２８３５９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

近年半導体デバイスの高品質化する中で、より高度なクリーン度が求められ、複数の洗浄液供給ノズルを有する洗浄装置や、洗浄砥石や洗浄ブラシと洗浄液供給ノズルなど、様々な洗浄手段を有する洗浄装置が提供され、各ユニットを動かす条件設定が煩雑になるため、条件設定の後に所望する洗浄動作になっているかを確認することが困難であると言う問題があった。

【0005】

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、所望する洗浄動作になっているかを容易に確認出来る洗浄装置を提供する事である。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の洗浄装置は、被洗浄物を洗浄する洗浄装置であって、被洗浄物を保持する保持テーブルと、保持テーブルに保持された被洗浄物に洗浄液を供給する洗浄液供給ノズルと、該洗浄液供給ノズルを移動させる洗浄液供給ノズル移動ユニットと、該洗浄液供給ノズルの動作をシミュレーションするシミュレーション部と、を備え、該シミュレーション部は、該洗浄液供給ノズルの移動開始位置と、移動終了位置と、移動速度と、を含む第１移動データを記憶する第１記憶部を有し、該第１移動データに基づいて、該洗浄液供給ノズルの動きをシミュレーションする事を特徴とする。

【0007】

該シミュレーション部は、シミュレーションの結果を動画で出力してもよい。

【0008】

該洗浄装置は、シミュレーションの結果を表示するモニタを備えてもよい。

【0009】

該洗浄装置は、被洗浄物または保持テーブルの少なくともいずれかを洗浄する洗浄工具を保持する洗浄工具ノズルと、該洗浄工具ノズルを移動させる洗浄工具ノズル移動ユニットと、をそれぞれ１つ以上備え、該シミュレーション部は、該洗浄工具ノズルの移動開始位置と、移動終了位置と、移動速度と、を含む第２移動データを記憶する第２記憶部をさらに含み、該第２移動データに基づいて、該洗浄工具ノズルの動作をシミュレーションしてもよい。

【0010】

該保持テーブルは、被洗浄物の外周を保持する外周保持部と、該外周保持部を回転させるモータと、を有し、該洗浄装置は、該外周保持部で保持されていない被洗浄物の領域の裏面側に接触して洗浄する裏面洗浄パッドと、該裏面洗浄パッドを該被洗浄物に対して接近または離反させる昇降ユニットと、さらに有し、該シミュレーション部は、該裏面洗浄パッドの移動開始位置と、移動終了位置と、移動速度と、を含む第３移動データを記憶する第３記憶部をさらに含み、該第３移動データに基づいて、該裏面洗浄パッドの動作をシミュレーションしてもよい。

【0011】

該シミュレーション部は、該洗浄装置の上面図と、断面図と、斜視図と、の少なくともいずれかによって該動画を生成してもよい。

【0012】

該洗浄工具ノズルが保持する該洗浄工具は、スポンジと、ブラシと、砥石と、の少なくともいずれかを含んでもよい。

【0013】

該被洗浄物は、環状フレームの開口に支持部材を介して固定されたウエーハであり、該外周保持部は、該環状フレームを保持してもよい。

【発明の効果】

【0014】

本願発明は、シミュレーション部と、洗浄液供給ノズルの移動開始位置と、移動終了位置と、移動速度と、を含む第１移動データを記憶する第１記憶部とを有するため、シミュレーション部により、第１移動データに基づいて、洗浄液供給ノズルの動きをシミュレーションできるので、所望する洗浄動作になっているかを容易に確認出来る。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】図１は、実施形態１に係る洗浄装置を備える加工装置の構成例を示す斜視図である。

【図2】図２は、図１の洗浄装置の洗浄対象である被洗浄物の一例を示す斜視図である。

【図3】図３は、図１の洗浄装置の詳細を示す斜視図である。

【図4】図４は、図１の洗浄装置の一状態を示す側断面図である。

【図5】図５は、図４の洗浄装置の状態におけるクランプ機構の状態を示す斜視図である。

【図6】図６は、図１の洗浄装置の一状態を示す側断面図である。

【図7】図７は、図６の洗浄装置の状態におけるクランプ機構の状態を示す斜視図である。

【図8】図８は、図１の洗浄装置で使用する第１移動データを示す図である。

【図9】図９は、図１の洗浄装置で使用する第２移動データを示す図である。

【図10】図１０は、図１の洗浄装置で使用する第３移動データを示す図である。

【図11】図１１は、図８の第１移動データに基づいて算出した第１移動算出データを示す図である。

【図12】図１２は、図９の第２移動データに基づいて算出した第２移動算出データを示す図である。

【図13】図１３は、図１０の第３移動データに基づいて算出した第３移動算出データを示す図である。

【図14】図１４は、図１の洗浄装置で出力するシミュレーション画像を示す図である。

【図15】図１５は、図１の洗浄装置で出力するシミュレーション画像を示す図である。

【図16】図１６は、図１の洗浄装置で出力するシミュレーション画像を示す図である。

【図17】図１７は、実施形態２に係る洗浄装置の構成例を示す側断面図である。

【図18】図１８は、実施形態３に係る洗浄装置の構成例を示す側断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

【0017】

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る洗浄装置１を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る洗浄装置１を備える加工装置１００の構成例を示す斜視図である。加工装置１００は、図１に示すように、チャックテーブル１１０と、加工ユニット１２０と、撮像ユニット１３０と、Ｘ軸方向移動ユニット１４１と、Ｙ軸方向移動ユニット１４２と、Ｚ軸方向移動ユニット１４３と、搬送ユニット１５０と、カセット載置台１５５と、制御ユニット１６０と、実施形態１に係る洗浄装置１と、を備える。

【0018】

図２は、図１の洗浄装置１の洗浄対象である被洗浄物２００の一例を示す斜視図である。洗浄装置１の洗浄対象である被洗浄物２００は、加工装置１００の加工対象であり加工装置１００で加工後の被加工物でもあり、図２に示すように、例えば、シリコン、サファイア、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）、ガリウムヒ素、ガラスなどを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウェーハなどのウエーハである。被洗浄物２００は、平坦な表面２０１の互いに交差する複数の分割予定ライン２０２によって区画された領域にチップ状のデバイス２０３が形成されている。被洗浄物２００は、表面２０１の裏側の裏面２０４に粘着テープ等の支持部材２０５が貼着され、支持部材２０５の外縁部に環状フレーム２０６が装着されている。すなわち、被洗浄物２００は、環状フレーム２０６の開口に支持部材２０５を介して固定されている。なお、被洗浄物２００は、支持部材２０５や環状フレーム２０６が装着されていなくてもよい。また、被洗浄物２００は、本発明では、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックス板、又はガラス板等でも良い。

【0019】

被洗浄物２００は、実施形態１では、後述する加工ユニット１２０により分割予定ライン２０２に沿って切削加工が施されて、分割予定ライン２０２に沿って、被洗浄物２００を完全に分割しない深さのハーフカット溝や、被洗浄物２００を完全に分割する深さの分割溝等の溝２０７が形成され、切削加工によって発生した切削屑が表面２０１等に付着しているものであり、この切削屑等を除去するために、洗浄装置１による洗浄が実施される。なお、被洗浄物２００は、本発明ではこれに限定されず、研削加工、研磨加工、レーザ加工、プラズマ加工が施されて、これらの加工によって発生した加工屑が表面２０１等に付着しているものであり、この加工屑等を除去するために、洗浄装置１による洗浄が実施されてもよい。

【0020】

チャックテーブル１１０は、図１に示すように、凹部が形成された円盤状の枠体と、凹部内に嵌め込まれた円盤形状の吸着部と、を備える。チャックテーブル１１０の吸着部は、多数のポーラス孔を備えたポーラスセラミック等から形成され、図示しない真空吸引経路を介して図示しない真空吸引源と接続されている。チャックテーブル１１０の吸着部の上面は、被洗浄物２００が載置されて、真空吸引源から導入される負圧により、載置された被洗浄物２００を吸引保持する保持面１１１である。保持面１１１は、実施形態１では、被洗浄物２００が表面２０１を上方に向けて載置され、載置された被洗浄物２００を裏面２０４側から支持部材２０５を介して吸引保持する。保持面１１１とチャックテーブル１１０の枠体の上面とは、同一平面上に配置されており、水平面であるＸＹ平面に平行に形成されている。チャックテーブル１１０は、Ｘ軸方向移動ユニット１４１により水平方向と平行なＸ軸方向に移動自在に設けられている。チャックテーブル１１０は、不図示の回転駆動源により、鉛直方向に平行でかつＸＹ平面に直交するＺ軸回りに回転自在に設けられている。

【0021】

加工ユニット１２０は、チャックテーブル１１０に保持された被洗浄物２００を加工する。加工ユニット１２０は、図１に示す実施形態１の例では、切削ブレード１２１が回転可能に装着されるスピンドル１２２を備え、切削ブレード１２１でチャックテーブル１１０に保持された被洗浄物２００を切削加工する切削ユニットである。加工装置１００は、図１に示すように、加工ユニット１２０を２組備えた、即ち、２スピンドルのダイサ、いわゆるフェイシングデュアルタイプの加工装置（切削装置）である。

【0022】

このような切削ユニットでは、スピンドル１２２は、水平方向と平行でかつＸ軸方向と直交するＹ軸方向と平行な軸心周りに回転可能に設けられ、スピンドル１２２の先端に装着された切削ブレード１２１をＹ軸方向と平行な軸心周りに回転可能に支持する。このような切削ユニットは、それぞれＹ軸方向移動ユニット１４２及びＺ軸方向移動ユニット１４３により、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に設けられている。

【0023】

このような切削ユニットは、Ｘ軸方向移動ユニット１４１によりチャックテーブル１１０上の被洗浄物２００に対して相対的に加工送り方向であるＸ軸方向に沿って移動し、かつ、スピンドル１２２によりＹ軸方向と平行な軸心周りの回転動作が加えられた切削ブレード１２１で、被洗浄物２００を例えば分割予定ライン２０２に沿って切削する。このような切削ユニットは、このように回転動作が加えられた切削ブレード１２１で、被洗浄物２００を完全に分割しない深さのハーフカット溝を形成しても良いし、被洗浄物２００を完全に分割する深さの分割溝を形成してもよい。

【0024】

加工ユニット１２０は、本発明ではこのような切削ユニットに限定されず、研削砥石が配置された研削ホイールが回転可能に装着されるスピンドルを備え、研削砥石で被洗浄物２００の裏面２０４を研削加工する研削ユニットや、研磨パッドが回転可能に装着されるスピンドルを備え、研磨パッドで被洗浄物２００の裏面２０４を研磨加工する研磨ユニット、被洗浄物２００にレーザビームを照射するレーザビーム照射器を備え、レーザビームで被洗浄物２００をレーザ加工するレーザ加工ユニット、被洗浄物２００にプラズマを照射するプラズマ照射器を備え、プラズマで被洗浄物２００をプラズマ加工するプラズマ加工ユニットであってもよい。

【0025】

撮像ユニット１３０は、チャックテーブル１１０に保持された被洗浄物２００を撮像する撮像素子を備えている。撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子である。撮像ユニット１３０は、チャックテーブル１１０に保持された被洗浄物２００の表面２０１を撮像して、被洗浄物２００と加工ユニット１２０との位置合わせを行なうアライメントを遂行するための画像を得、得た画像を制御ユニット１６０に出力する。また、撮像ユニット１３０は、チャックテーブル１１０に保持された被洗浄物２００の表面２０１を撮像して、被洗浄物２００に対する加工が正常な範囲内で実行されたか否かを自動的に確認するチェックを遂行するための画像を得、得た画像を制御ユニット１６０に出力する。撮像ユニット１３０は、実施形態１では、加工ユニット１２０に隣接して固定されており、加工ユニット１２０と一体的に移動する。

【0026】

Ｘ軸方向移動ユニット１４１、Ｙ軸方向移動ユニット１４２及びＺ軸方向移動ユニット１４３は、それぞれ、チャックテーブル１１０と、加工ユニット１２０及び撮像ユニット１３０と、を相対的にＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動させる。Ｘ軸方向移動ユニット１４１は、実施形態１では、Ｘ軸方向に沿って、チャックテーブル１１０を加工ユニット１２０及び撮像ユニット１３０に対して相対的に移動させる。Ｙ軸方向移動ユニット１４２及びＺ軸方向移動ユニット１４３は、実施形態１では、それぞれＹ軸方向及びＺ軸方向に沿って、加工ユニット１２０及び撮像ユニット１３０をチャックテーブル１１０に対して相対的に移動させる。Ｘ軸方向移動ユニット１４１、Ｙ軸方向移動ユニット１４２及びＺ軸方向移動ユニット１４３は、いずれも、モータと、ボールねじと、ガイドと、を有する公知のボールねじ機構である。

【0027】

搬送ユニット１５０は、実施形態１では、例えば、一対のレール１５１と、不図示の第１搬送アーム及び第２搬送アームと、を備える。第１搬送アームは、カセット載置台１５５に載置されたカセット１５６内と、一対のレール１５１上との間で、被洗浄物２００を搬送する。第２搬送アームは、一対のレール１５１上と、チャックテーブル１１０もしくは実施形態１に係る洗浄装置１の保持テーブル１０上との間で、被洗浄物２００を搬送する。一対のレール１５１は、互いに平行な状態を維持しながら接近または離隔でき、一対のレール１５１間で、環状フレーム２０６を介して被洗浄物２００を保持できる。カセット載置台１５５は、複数の被洗浄物２００を収容するための収容器であるカセット１５６を載置する載置台であり、載置されたカセット１５６をＺ軸方向に昇降させる。

【0028】

搬送ユニット１５０は、本明細書では加工装置１００の構成要素として記載しているが、一対のレール１５１を介して、カセット載置台１５５に載置されたカセット１５６内と、実施形態１に係る洗浄装置１の保持テーブル１０上との間で被洗浄物２００を搬送する部分について、洗浄装置１の構成要素とすることもできる。また、カセット載置台１５５及びカセット載置台１５５に載置されたカセット１５６を、洗浄装置１の構成要素とすることもできる。

【0029】

制御ユニット１６０は、洗浄装置１を除く加工装置１００の部分の各構成要素の動作を制御して、被洗浄物２００に対する加工処理等の各種処理を加工装置１００の当該部分に実施させる。制御ユニット１６０は、実施形態１では、コンピュータシステムを含む。制御ユニット１６０が含むコンピュータシステムは、ＣＰＵ（Central Processing Unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（Read Only Memory）又はＲＡＭ（Random Access Memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有する。制御ユニット１６０の演算処理装置は、制御ユニット１６０の記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、加工装置１００の当該部分を制御するための制御信号を、制御ユニット１６０の入出力インターフェース装置を介して加工装置１００の当該部分の各構成要素に出力する。

【0030】

図３は、図１の洗浄装置１の詳細を示す斜視図である。図４は、図１の洗浄装置１の一状態を示す側断面図である。図５は、図４の洗浄装置１の状態におけるクランプ機構１５の状態を示す斜視図である。図６は、図１の洗浄装置１の一状態を示す側断面図である。図７は、図６の洗浄装置１の状態におけるクランプ機構１５の状態を示す斜視図である。実施形態１に係る洗浄装置１は、図１及び図３にそれぞれ示すように、ケース２と、カバー３と、保持テーブル１０と、洗浄液供給ユニット２０と、洗浄工具ユニット３０と、裏面洗浄ユニット４０と、出力ユニット５０と、制御ユニット６０と、を備える。

【0031】

ケース２は、図４及び図６に示すように、保持テーブル１０の一部である外周保持部１１、及び、裏面洗浄ユニット４０を下方から収容する。ケース２は、底面の中央部分に、開口４が形成されている。カバー３は、ケース２の外周及び外周部の上方を覆う。カバー３は、不図示の昇降機構が接続されており、この昇降機構により、ケース２に対して相対的にＺ軸方向に沿って移動可能に設けられている。カバー３は、上壁面の中央部分に、開口５が形成されている。開口５は、径が、被洗浄物２００に装着された環状フレーム２０６の外径よりも少し大きく形成され、図３に示すように、後述する洗浄液供給ユニット２０の洗浄液供給ノズル２１及び洗浄工具ユニット３０の洗浄工具ノズル３１に対して、後述する保持テーブル１０（保持テーブル１０で保持された被洗浄物２００）の上方を開放する。カバー３は、図４及び図６に示すように、上壁側の開口５より外周の部分に、後述する複数のクランプ機構１５のクランプ部材１５－１の被押圧部１５－５とＺ軸方向に沿って対向する位置に、上壁の下面（内面）から下方に突出して複数の柱状の押圧ピン６が形成されている。複数の押圧ピン６は、Ｚ軸方向に沿った長さが互いに等しい。

【0032】

保持テーブル１０は、外周保持部１１と、回転駆動源であるモータ１２と、を有する。外周保持部１１は、被洗浄物２００の外周を保持する。外周保持部１１は、実施形態１では被洗浄物２００に装着された環状フレーム２０６を保持する。外周保持部１１は、支持機構１３と、複数の支持部材１４と、複数のクランプ機構１５と、を有する。

【0033】

支持機構１３は、概ねケース２内に収容されて設けられている。支持機構１３は、円板状の支持台１６と、複数の支持柱１７と、環状の支持プレート１８と、を有する。支持台１６は、概ねケース２内に収容されて設けられており、下方部が開口４を貫通してケース２の下方に突出してモータ１２と接続され、モータ１２によりケース２に対して相対的にＺ軸回りに回転自在に設けられている。支持台１６は、外径が、被洗浄物２００に装着された環状フレーム２０６の外径よりも少し大きく形成される。

【0034】

複数の支持柱１７は、支持台１６の外周部の上面から立設しており、支持台１６の回転に伴い、支持台１６の中心を回転中心として回転移動する。複数の支持柱１７は、支持台１６の外周部の上面側に、支持台１６の径方向に沿って、例えば等間隔に、少なくとも３個以上設けられる。複数の支持柱１７は、Ｚ軸方向に沿った長さが互いに等しい。支持プレート１８は、複数の支持柱１７の上端部に固定されて設けられており、支持台１６の回転に伴い、支持台１６の中心軸回りに回転する。支持プレート１８は、実施形態１では、中央に形成された開口の径が、被洗浄物２００に装着された環状フレーム２０６に形成された開口の径と同等に形成される。支持機構１３を構成する支持台１６、複数の支持柱１７及び支持プレート１８は、実施形態１では例えば、いずれも、金属、樹脂等で形成される。

【0035】

複数の支持部材１４は、支持機構１３の環状の支持プレート１８の上面から立設しており、カバー３の開口５の下方に位置付けられている。複数の支持部材１４は、支持台１６の回転に伴い、支持台１６の中心を回転中心として回転移動する。複数の支持部材１４は、環状の支持プレート１８の外周部の上面側に、環状の支持プレート１８に形成された開口の外周に沿って、例えば等間隔に、少なくとも３個以上設けられる。複数の支持部材１４は、Ｚ軸方向に沿った長さが互いに等しい。複数の支持部材１４は、上端部で、被洗浄物２００の外周、実施形態１ではすなわち被洗浄物２００に装着された環状フレーム２０６を、下方から支持する。複数の支持部材１４は、実施形態１では例えば、いずれも、金属、樹脂等で形成される。

【0036】

複数のクランプ機構１５は、支持機構１３の環状の支持プレート１８の外周部に連結して設けられており、支持台１６の回転に伴い、支持台１６の中心を回転中心として回転移動する。複数のクランプ機構１５は、環状の支持プレート１８の外周部に、環状の支持プレート１８の径方向に沿って、例えば等間隔に、少なくとも２個以上設けられる。複数のクランプ機構１５は、複数の支持部材１４によって支持された被洗浄物２００の外周、実施形態１ではすなわち被洗浄物２００に装着された環状フレーム２０６を、外周側及び上方側から押さえて固定する。

【0037】

クランプ機構１５は、実施形態１では、詳細には、図５及び図７に示すように、クランプ部材１５－１と、ロック部材１５－２とを有して構成される。クランプ部材１５－１は、軸部１５－３と、クランプ部１５－４と、被押圧部１５－５と、凹部１５－６と、を有する。軸部１５－３は、保持テーブル１０の径方向に対して直交する方向に沿って設けられている。クランプ部材１５－１は、軸部１５－３で環状の支持プレート１８に取り付けられ、軸部１５－３回りに回動可能に設けられている。クランプ部材１５－１において、クランプ部１５－４と被押圧部１５－５とは、軸部１５－３を挟んで互いに反対側に設けられている。クランプ部材１５－１は、クランプ部１５－４を除き、実施形態１では例えば、金属、樹脂等で形成される。クランプ部１５－４は、複数の支持部材１４によって支持された被洗浄物２００の外周（環状フレーム２０６）に接触する部分であるため、弾性や緩衝性等といった柔軟性を有する材料、例えばゴムや樹脂等で形成され、接触する被洗浄物２００の外周（環状フレーム２０６）を傷つける恐れを抑制する。

【0038】

クランプ部材１５－１は、軸部１５－３よりもクランプ部１５－４が形成されている側が、軸部１５－３よりも被押圧部１５－５が形成されている側よりも質量が大きい。このため、クランプ部材１５－１は、外力が作用していない状態において、クランプ部１５－４側が下方に下がり、被押圧部１５－５側が上方に移動することにより、クランプ部１５－４が、複数の支持部材１４によって支持された被洗浄物２００の外周（環状フレーム２０６）を、外周側及び上方側から押さえて固定する固定位置に位置付けられる。クランプ部材１５－１は、カバー３が降下することにより、被押圧部１５－５側が押圧ピン６により押圧されると、図４及び図５に示すように、クランプ部１５－４側が上方に移動し、被押圧部１５－５側が下方に移動することにより、複数の支持部材１４上を被洗浄物２００の搬入及び搬出が可能な状態に開放する開放位置に位置付けられる。クランプ部材１５－１は、図６及び図７に示すように、支持台１６の回転に伴い支持台１６の中心を回転中心として回転移動することにより、被押圧部１５－５側に遠心力が働いて、クランプ部１５－４側に下方に向かう力が作用し、クランプ部１５－４が、複数の支持部材１４によって支持された被洗浄物２００の外周（環状フレーム２０６）に強く押しつけられる。

【0039】

クランプ部材１５－１において、凹部１５－６は、被押圧部１５－５の下方側及び外周側の部分に形成されている。凹部１５－６は、ロック部材１５－２の後述するロック部１５－８の上方側及び内周側の部分が嵌め合わせされる形状に形成されている。

【0040】

ロック部材１５－２は、図５及び図７に示すように、クランプ部材１５－１よりも下方側及び外周側に設けられ、軸部１５－７と、ロック部１５－８と、錘部１５－９と、を有する。軸部１５－７は、クランプ部材１５－１の軸部１５－３よりも下方側及び外周側の位置に、軸部１５－３に沿って平行に、すなわち、保持テーブル１０の径方向に対して直交する方向に沿って設けられている。ロック部材１５－２は、軸部１５－７で環状の支持プレート１８に取り付けられ、軸部１５－７回りに回動可能に設けられている。ロック部材１５－２において、ロック部１５－８と錘部１５－９とは、軸部１５－７を挟んで互いに反対側に設けられている。ロック部材１５－２は、実施形態１では例えば、金属、樹脂等で形成される。

【0041】

ロック部材１５－２は、軸部１５－７よりも錘部１５－９が形成されている側が、軸部１５－７よりもロック部１５－８が形成されている側よりも質量が大きい。このため、ロック部材１５－２は、図４及び図５に示すように、外力が作用していない状態において、錘部１５－９側が下方に移動し、ロック部１５－８側が上方に移動する。ロック部材１５－２は、図６及び図７に示すように、支持台１６の回転に伴い支持台１６の中心を回転中心として回転移動することにより、錘部１５－９側に遠心力が働いて、ロック部１５－８側に内周側に向かう力が作用し、ロック部１５－８の上方側及び内周側の部分が凹部１５－６に嵌め合わせされて、クランプ部材１５－１を、複数の支持部材１４によって支持された被洗浄物２００の外周（環状フレーム２０６）を外周側及び上方側から押さえて固定する位置にロックするロック位置に位置付けられる。

【0042】

複数の支持部材１４によって支持された被洗浄物２００の外周（環状フレーム２０６）の上面側を複数のクランプ機構１５で押さえると、複数の支持部材１４と複数のクランプ機構１５とにより、被洗浄物２００の外周（環状フレーム２０６）を把持、挟持する。このように、外周保持部１１により、被洗浄物２００の外周（環状フレーム２０６）を保持する。

【0043】

モータ１２は、図４及び図６に示すように、ケース２の下方に筐体１９に収容されて設けられており、回転軸の上方が支持機構１３の支持台１６と接続されている。モータ１２は、支持台１６を回転させることにより、支持台１６の回転軸回りに、複数の支持柱１７を回転移動させ、支持プレート１８を回転させ、複数の支持部材１４及び複数のクランプ機構１５を回転移動させる。このように、モータ１２は、外周保持部１１を回転させる。モータ１２は、外周保持部１１を回転させることにより、外周保持部１１で外周（環状フレーム２０６）を保持した被洗浄物２００を回転させる。

【0044】

洗浄装置１は、洗浄前の被洗浄物２００を保持テーブル１０（複数の支持部材１４）上に搬入する際、及び、保持テーブル１０（複数の支持部材１４）上から洗浄後の被洗浄物２００を搬出する際、カバー３を降下させて、押圧ピン６でクランプ部材１５－１の被押圧部１５－５を押圧することにより、図４及び図５に示すように、クランプ部材１５－１を開放位置に位置付ける。洗浄装置１は、洗浄前の被洗浄物２００が複数の支持部材１４上に搬入されると、カバー３を上昇させて、押圧ピン６によるクランプ部材１５－１の被押圧部１５－５の押圧を解消することにより、図６及び図７に示すように、クランプ部材１５－１を固定位置に位置付けて、洗浄前の被洗浄物２００を保持テーブル１０で保持する。洗浄装置１は、保持テーブル１０上で保持した被洗浄物２００の洗浄を開始する際、モータ１２により、図６及び図７に示すように、さらに外周保持部１１を回転させて、ロック部材１５－２をロック位置に位置付けて、保持テーブル１０での被洗浄物２００の保持を強固にする。

【0045】

洗浄液供給ユニット２０は、図３に示すように、洗浄液供給ノズル２１と、洗浄液供給源２２と、洗浄液供給ノズル移動ユニット２５と、を有する。洗浄液供給ノズル２１は、カバー３より上方に設けられ、洗浄液供給源２２及び洗浄液供給ノズル移動ユニット２５は、ケース２より外周側に設けられる。洗浄液供給ノズル２１は、例えば一方向に延びた管状部材であり、当該一方向に所定の長さを有し、基端部２１－１が洗浄液供給源２２及び洗浄液供給ノズル移動ユニット２５とそれぞれ接続されており、先端部２１－２に、保持テーブル１０や保持テーブル１０で保持された被洗浄物２００が位置付けられる下方に向けられた供給口２１－３が形成されている。

【0046】

洗浄液供給ノズル２１は、洗浄液供給ノズル移動ユニット２５により、Ｚ軸方向に沿って昇降移動するとともに、基端部２１－１を中心としてＺ軸方向に沿った軸心回りに回転する。洗浄液供給ノズル２１は、基端部２１－１を中心としてＺ軸方向に沿った軸心回りに回転することにより、先端部２１－２及び先端部２１－２に形成された供給口２１－３が、基端部２１－１を中心としてＺ軸方向に沿った軸心回りに回転移動する。

【0047】

洗浄液供給源２２は、洗浄液供給ノズル２１の基端部２１－１に接続され、基端部２１－１から洗浄液供給ノズル２１に洗浄液２９（図６参照）を供給する。洗浄液供給源２２から洗浄液供給ノズル２１に供給する洗浄液２９は、実施形態１では、例えば、純水、界面活性剤、ナノバブル入りの純水、もしくは、純水とエアとが混合された二流体等である。

【0048】

洗浄液供給ノズル移動ユニット２５は、洗浄液供給ノズル２１の基端部２１－１に接続され、洗浄液供給ノズル２１を、Ｚ軸方向に沿って昇降移動させるとともに、基端部２１－１を中心としてＺ軸方向に沿った軸心回りに回転させる。洗浄液供給ノズル移動ユニット２５は、洗浄液供給ノズル２１を、基端部２１－１を中心としてＺ軸方向に沿って軸心回りに回転させることにより、先端部２１－２及び先端部２１－２に形成された供給口２１－３を、基端部２１－１を中心としてＺ軸方向に沿った軸心回りに回転移動させる。

【0049】

洗浄液供給ユニット２０は、洗浄液供給ノズル２１により、洗浄液供給源２２により基端部２１－１から供給された洗浄液２９を、先端部２１－２に形成された供給口２１－３から、上方から保持テーブル１０や保持テーブル１０で保持された被洗浄物２００に向けて供給することにより、保持テーブル１０や保持テーブル１０で保持された被洗浄物２００を洗浄する。洗浄液供給ユニット２０は、洗浄液供給ノズル移動ユニット２５により、供給口２１－３を回転移動させることにより、洗浄液２９を供給する位置を移動させる。

【0050】

洗浄工具ユニット３０は、図３に示すように、洗浄工具ノズル３１と、洗浄工具３２と、洗浄工具ノズル移動ユニット３５と、を有する。洗浄工具ノズル３１及び洗浄工具３２は、カバー３より上方に設けられ、洗浄工具ノズル移動ユニット３５は、ケース２より外周側に設けられる。洗浄工具ノズル３１は、例えば一方向に延びた棒状部材であり、当該一方向に所定の長さを有し、基端部３１－１が洗浄工具ノズル移動ユニット３５と接続されており、先端部３１－２に、保持テーブル１０や保持テーブル１０で保持された被洗浄物２００が位置付けられる下方に向けて洗浄工具３２を保持する保持部３１－３が設けられている。

【0051】

洗浄工具ノズル３１は、洗浄工具ノズル移動ユニット３５により、Ｚ軸方向に沿って昇降移動するとともに、基端部３１－１を中心としてＺ軸方向に沿った軸心回りに回転する。洗浄工具ノズル３１は、基端部３１－１を中心としてＺ軸方向に沿った軸心回りに回転することにより、先端部３１－２、先端部３１－２に設けられた保持部３１－３、及び、保持部３１－３に保持された洗浄工具３２が、基端部３１－１を中心としてＺ軸方向に沿った軸心回りに回転移動する。

【0052】

洗浄工具３２は、保持テーブル１０や保持テーブル１０で保持された被洗浄物２００に向けて押し当てられて、保持テーブル１０や保持テーブル１０で保持された被洗浄物２００に対して相対的に平面方向に沿って移動することにより、保持テーブル１０や保持テーブル１０で保持された被洗浄物２００を洗浄する。洗浄工具３２は、実施形態１では、弾性や緩衝性等といった柔軟性を有するために、保持テーブル１０や保持テーブル１０で保持された被洗浄物２００を傷つけたり過度の力が加えられたりすることを抑制する部材で構成されており、具体的には、例えば、スポンジと、不織布と、ブラシと、洗浄砥石と、の少なくともいずれかを含む。

【0053】

洗浄工具ノズル移動ユニット３５は、洗浄工具ノズル３１の基端部３１－１に接続され、洗浄工具ノズル３１を、Ｚ軸方向に沿って昇降移動させるとともに、基端部３１－１を中心としてＺ軸方向に沿った軸心回りに回転させる。洗浄工具ノズル移動ユニット３５は、洗浄工具ノズル３１を、基端部３１－１を中心としてＺ軸方向に沿って軸心回りに回転させることにより、先端部３１－２、先端部３１－２に設けられた保持部３１－３、及び、保持部３１－３に保持された洗浄工具３２を、基端部３１－１を中心としてＺ軸方向に沿った軸心回りに回転移動させる。

【0054】

洗浄工具ユニット３０は、洗浄工具ノズル移動ユニット３５により、洗浄工具ノズル３１の保持部３１－３で保持した洗浄工具３２を、上方から保持テーブル１０や保持テーブル１０で保持された被洗浄物２００に向けて押し当てて、回転移動させることにより、保持テーブル１０や保持テーブル１０で保持された被洗浄物２００を洗浄する。

【0055】

裏面洗浄ユニット４０は、図４及び図６に示すように、裏面洗浄パッド４１と、基台４２と、スピンドル４３と、回転駆動源４４と、昇降ユニット４５と、ノズル４６と、支持機構４７と、を有する。裏面洗浄ユニット４０の支持機構４７の支持柱４７－１を除くこれらの各構成要素は、ケース２内に収容された保持テーブル１０の支持機構１３内に収容されて設けられている。

【0056】

支持機構４７は、支持柱４７－１と、円板状の支持台４７－２と、複数の支持柱４７－３と、円板状のカバープレート４７－４と、を有する。支持柱４７－１は、ケース２の下方に設けられたモータ１２を収容する筐体１９の上面から立設しており、支持機構１３の円板状の支持台１６の中央に形成された貫通孔を貫通して、上端が支持台１６の上方に突出しており、上端部で支持台４７－２を下方から支持する。

【0057】

円板状の支持台４７－２、複数の支持柱４７－３及び円板状のカバープレート４７－４は、いずれも、複数の支持部材１４、複数のクランプ機構１５及び複数の支持柱１７の内側に配置されている。支持台４７－２は、支持柱４７－１の上端部に固定されて設けられており、支持台１６の上方に配されている。支持台４７－２は、外径が、支持台１６の外径よりも小さく、すなわち、被洗浄物２００に装着された環状フレーム２０６の外径よりも小さく形成される。支持台４７－２は、モータ１２により下方の保持テーブル１０の支持台１６が回転しても、モータ１２及び支持台１６とは独立しているため、回転しない。

【0058】

複数の支持柱４７－３は、支持台４７－２の外周部の上面から立設している。複数の支持柱４７－３は、支持台４７－２の外周部の上面側に、支持台４７－２の径方向に沿って、例えば等間隔に、少なくとも３個以上設けられる。複数の支持柱４７－３は、Ｚ軸方向に沿った長さが互いに等しい。カバープレート４７－４は、複数の支持柱４７－３の上端部に固定されて設けられている。カバープレート４７－４は、外径が、支持プレート１８に形成された開口よりも少し小さく形成される。カバープレート４７－４は、厚さ方向に貫通する円柱状の開口４７－５が形成されている。開口４７－５は、カバープレート４７－４の外周部から中心に至るように形成される。開口４７－５は、裏面洗浄パッド４１及び基台４２がＺ軸方向に沿って通り抜け可能、かつ、嵌め合わせされる大きさに形成されている。支持機構４７を構成する支持柱４７－１、円板状の支持台４７－２、複数の支持柱４７－３及び円板状のカバープレート４７－４は、実施形態１では例えば、いずれも、金属、樹脂等で形成される。

【0059】

裏面洗浄パッド４１は、直径が被洗浄物２００の半径以上である円板形状の部材である。裏面洗浄パッド４１は、保持テーブル１０で保持された被洗浄物２００の、外周保持部１１で保持されていない領域の裏面２０４側（実施形態１では支持部材２０５）に接触し、押し当てられて、保持テーブル１０で保持された被洗浄物２００に対して相対的に移動することにより、保持テーブル１０で保持された被洗浄物２００の裏面２０４側を洗浄する。裏面洗浄パッド４１は、弾性や緩衝性等といった柔軟性を有するために、保持テーブル１０や保持テーブル１０で保持された被洗浄物２００を傷つけたり過度の力が加えられたりすることを抑制する部材で構成されており、具体的には、例えば、スポンジと、不織布と、ブラシと、の少なくともいずれかを含む。

【0060】

基台４２は、直径が裏面洗浄パッド４１の直径と同等である円板形状の部材であり、上方に向けられた面側に裏面洗浄パッド４１が固定され、下方に向けられた面側がスピンドル４３の上端部に装着されている。基台４２は、実施形態１では例えば、金属、樹脂等で形成される。裏面洗浄パッド４１及び裏面洗浄パッド４１を上方の面で固定する基台４２は、カバープレート４７－４に形成された開口４７－５内に配置されている。

【0061】

スピンドル４３は、基台４２の下方に設けられ、Ｚ軸方向と平行な軸心周りに回転可能に設けられ、スピンドル４３の上方側に向けられた先端に装着された基台４２及び基台４２の上方の面に固定された裏面洗浄パッド４１をＺ軸方向と平行な軸心周りに回転可能に支持する。回転駆動源４４は、スピンドル４３の下方側に向けられた基端側に設けられ、スピンドル４３に回転動作を加える。裏面洗浄パッド４１及び基台４２は、回転駆動源４４によって回転動作が加えられたスピンドル４３により、軸心回りに回転する。昇降ユニット４５は、スピンドル４３の下方側に向けられた基端側に接続されており、スピンドル４３を介して裏面洗浄パッド４１及び基台４２をＺ軸方向に沿って昇降移動させることにより、保持テーブル１０で保持された被洗浄物２００に対して接近または離反させる。回転駆動源４４及び昇降ユニット４５は、ともに、スピンドル４３の下方側に設けられて支持台４７－２上に設置された筐体内に収容されている。

【0062】

ノズル４６は、カバープレート４７－４の中央部の上面側に嵌め込まれて設けられており、先端が開口４７－５に連通している。ノズル４６は、基端側が不図示の洗浄液供給源に接続されており、この洗浄液供給源から供給された洗浄液を先端から開口４７－５を通じて裏面洗浄パッド４１上に供給する。この洗浄液供給源からノズル４６に供給する洗浄液は、実施形態１では、例えば、純水、界面活性剤、ナノバブル入りの純水、もしくは、純水とエアとが混合された二流体等である。

【0063】

裏面洗浄ユニット４０は、ノズル４６により洗浄液が供給された裏面洗浄パッド４１を、昇降ユニット４５により下方から保持テーブル１０で保持された被洗浄物２００の裏面２０４側に向けて押し当てて、回転駆動源４４によって回転動作が加えられたスピンドル４３により回転させる等して保持テーブル１０で保持された被洗浄物２００に対して相対的に平面方向に沿って移動させることにより、保持テーブル１０で保持された被洗浄物２００の裏面２０４側を洗浄する。

【0064】

出力ユニット５０は、実施形態１では、図１に示すように、表示ユニットであるモニタ５１と、報知ユニット５２と、を備える。モニタ５１は、例えば加工装置１００の不図示のカバーに、表示面側を外側に向けて設けられている。モニタ５１は、実施形態１では、洗浄装置１における表示ユニットの機能と、洗浄装置１を除く加工装置１００の部分における表示ユニットの機能と、を実現する。

【0065】

モニタ５１は、洗浄装置１における表示ユニットの機能として、洗浄液供給ユニット２０、洗浄工具ユニット３０及び裏面洗浄ユニット４０による各洗浄処理に関する各種条件の設定の画面や、シミュレーション部７０により、洗浄液供給ユニット２０、洗浄工具ユニット３０及び裏面洗浄ユニット４０の動作をシミュレーションした結果を示す画像や動画、データ、判定結果等を、オペレータに視認可能に表示する。モニタ５１は、洗浄装置１を除く加工装置１００の部分における表示ユニットの機能として、加工ユニット１２０による加工や撮像ユニット１３０による撮像等の洗浄装置１を除く加工装置１００の部分の各種処理に関する各種条件の設定の画面や、取得された画像やデータ、判定結果等をオペレータに視認可能に表示する。

【0066】

モニタ５１は、液晶表示装置等により構成される。モニタ５１は、オペレータが洗浄装置１を含む加工装置１００の上記した各種条件に関する情報や画像等の表示に関する情報等を入力する際に使用する入力ユニット５５が設けられている。モニタ５１に設けられた入力ユニット５５は、モニタ５１に設けられたタッチパネルと、キーボード等とのうち少なくとも一つにより構成される。なお、モニタ５１は洗浄装置１や加工装置１００に固定されておらず、任意の通信機器に備えられ、任意の通信機器が無線または有線により洗浄装置１や加工装置１００と接続されてもよい。

【0067】

報知ユニット５２は、例えば加工装置１００の不図示のカバーの上方に設けられている。報知ユニット５２は、実施形態１では、発光ダイオードなどで構成され、点灯や点滅や光の色彩等により、洗浄装置１や加工装置１００による各種処理中に発生したエラーや、判定結果等をオペレータに認識可能に報知する発光ユニットである。報知ユニット５２は、本発明ではこれに限定されず、例えば、スピーカなどで構成され、音声を発信することにより、発生したエラーや判定結果等をオペレータに認識可能に報知する音声ユニットや、任意の情報機器にメッセージを送信する通信機器等でもよい。

【0068】

出力ユニット５０（モニタ５１及び報知ユニット５２）は、実施形態１では、洗浄装置１と、洗浄装置１を除く加工装置１００の部分とで共通して設けられているが、本発明ではこれに限定されず、それぞれ別々に設けられてもよい。

【0069】

制御ユニット６０は、洗浄装置１の各構成要素の動作を制御して、被洗浄物２００に対する洗浄処理を洗浄装置１に実施させる。制御ユニット６０は、図３に示すように、シミュレーション部７０を備える。シミュレーション部７０は、洗浄液供給ユニット２０、洗浄工具ユニット３０及び裏面洗浄ユニット４０の動作をシミュレーションする。シミュレーション部７０は、具体的には、洗浄液供給ユニット２０の動作として洗浄液供給ノズル２１の動作をシミュレーションし、洗浄工具ユニット３０の動作として洗浄工具ノズル３１の動作をシミュレーションし、裏面洗浄ユニット４０の動作として裏面洗浄パッド４１の動作をシミュレーションする。

【0070】

図８は、図１の洗浄装置１で使用する第１移動データ３０１を示す図である。図９は、図１の洗浄装置１で使用する第２移動データ３０２を示す図である。図１０は、図１の洗浄装置１で使用する第３移動データ３０３を示す図である。図１１は、図８の第１移動データ３０１に基づいて算出した第１移動算出データ３１１を示す図である。図１２は、図９の第２移動データ３０２に基づいて算出した第２移動算出データ３１２を示す図である。図１３は、図１０の第３移動データ３０３に基づいて算出した第３移動算出データ３１３を示す図である。

【0071】

シミュレーション部７０は、図３に示すように、第１記憶部７１と、第２記憶部７２と、第３記憶部７３と、画像記憶部７９と、を有する。第１記憶部７１は、例えば予めオペレータにより入力ユニット５５から入力された情報に基づいて、洗浄液供給ノズル２１の移動開始位置と、移動終了位置と、移動開始から移動終了までの移動速度と、を含む、図８に示すような第１移動データ３０１を記憶する。第２記憶部７２は、例えば予めオペレータにより入力ユニット５５から入力された情報に基づいて、洗浄工具ノズル３１の移動開始位置と、移動終了位置と、移動開始から移動終了までの移動速度と、を含む、図９に示すような第２移動データ３０２を記憶する。第３記憶部７３は、例えば予めオペレータにより入力ユニット５５から入力された情報に基づいて、裏面洗浄パッド４１の移動開始位置と、移動終了位置と、移動開始から移動終了までの移動速度と、を含む、図１０に示すような第３移動データ３０３を記憶する。画像記憶部７９は、洗浄装置１を構成する各部を表した画像、及び、保持テーブル１０の外周保持部１１に保持された被洗浄物２００を表した画像を記憶する。

【0072】

ここで、洗浄液供給ノズル２１の移動開始位置、移動終了位置及び移動速度は、例えば、洗浄液供給ノズル２１の先端部２１－２の所定のポイントの移動開始位置、移動終了位置及び移動速度であり、図８に示す第１移動データ３０１の例では、移動開始位置及び移動終了位置は、例えば洗浄装置１（もしくは加工装置１００）に備え付けられ、保持テーブル１０の中央（複数の支持部材１４の各上端面の中心）を基準（原点）とする装置直交座標系（Ｘ，Ｙ，Ｚ座標）で表され、移動速度は、当該装置直交座標系で表された各座標の時間変化で表される。なお、本発明ではこれに限定されず、洗浄液供給ノズル２１の移動開始位置及び移動終了位置は、洗浄液供給ノズル２１の基端部２１－１を基準とし、基端部２１－１から保持テーブル１０の中央への方向を角度０とした装置円柱座標系（Ｒ，θ１，Ｚ）で表され、移動速度は、当該装置円柱座標系（Ｒ，θ１，Ｚ）で表された各座標の時間変化で表されてもよい。

【0073】

また、洗浄工具ノズル３１の移動開始位置、移動終了位置及び移動速度は、例えば、洗浄工具ノズル３１の先端部３１－２の所定のポイントの移動開始位置、移動終了位置及び移動速度であり、図９に示す第２移動データ３０２の例では、移動開始位置及び移動終了位置は、例えば上記と同様の装置直交座標系（Ｘ，Ｙ，Ｚ座標）で表され、移動速度は、当該装置直交座標系で表された各座標の時間変化で表される。なお、本発明ではこれに限定されず、洗浄工具ノズル３１の移動開始位置及び移動終了位置は、洗浄工具ノズル３１の基端部３１－１を基準とし、基端部３１－１から保持テーブル１０の中央への方向を角度０とした装置円柱座標系（Ｒ，θ２，Ｚ）で表され、移動速度は、当該装置円柱座標系（Ｒ，θ２，Ｚ）で表された各座標の時間変化で表されてもよい。

【0074】

また、裏面洗浄パッド４１の移動開始位置、移動終了位置及び移動速度は、例えば、裏面洗浄パッド４１の所定のポイント（例えば上面の中央）の移動開始位置、移動終了位置及び移動速度であり、図１０に示す第３移動データ３０３の例では、移動開始位置及び移動終了位置は、例えば上記と同様の装置直交座標系（Ｘ，Ｙ，Ｚ座標）で表され、移動速度は、当該装置直交座標系で表された各座標の時間変化で表される。

【0075】

第１移動データ３０１、第２移動データ３０２及び第３移動データ３０３は、洗浄液供給ノズル２１、洗浄工具ノズル３１及び裏面洗浄パッド４１の移動開始タイミングがずれている場合には、それぞれ、移動開始タイミングのずれにかかる時間の情報も含む。第１移動データ３０１、第２移動データ３０２及び第３移動データ３０３は、それぞれ、図８、図９及び図１０に示す例では、洗浄装置１が洗浄動作を開始してから終了するまでの洗浄時間と、洗浄時間における単位時間（例えば、１秒、０．１秒、６０分の１秒、等）毎の移動速度とを含んでいる。また、第１移動データ３０１は、洗浄液供給ノズル２１の形状や大きさの情報、占める空間（体積）の情報と、洗浄液供給ノズル２１の先端部２１－２の供給口２１－３から洗浄液２９を供給する時間の情報（洗浄液供給時間情報）とをさらに含んでいる。また、第２移動データ３０２は、洗浄工具ノズル３１の形状や大きさの情報、占める空間（体積）の情報と、洗浄工具３２毎の形状や大きさの情報、占める空間（体積）の情報をさらに含んでいる。また、第３移動データ３０３は、裏面洗浄パッド４１の形状や大きさの情報、占める空間（体積）の情報をさらに含んでいる。

【0076】

シミュレーション部７０は、図８に示す第１移動データ３０１に基づいて、洗浄装置１が洗浄動作を開始してから終了するまでの間における単位時間（例えば、１秒、０．１秒、６０分の１秒、等）毎の洗浄液供給ノズル２１の位置の情報を算出して、この算出した単位時間毎の洗浄液供給ノズル２１の位置の情報を図１１に示す第１移動算出データ３１１として第１記憶部７１に記憶させる。ここで、単位時間毎の洗浄液供給ノズル２１の位置の情報は、当該単位時間における洗浄液供給ノズル２１の基端部２１－１から先端部２１－２まで及び供給口２１－３によって占められる空間（洗浄液供給ノズル空間、と称する）の全部の情報であり、図１１に示すように、例えば上記と同様の装置直交座標系を用いた座標空間で表される。

【0077】

シミュレーション部７０は、図９に示す第２移動データ３０２に基づいて、洗浄装置１が洗浄動作を開始してから終了するまでの間における単位時間（例えば、１秒、０．１秒、６０分の１秒、等）毎の洗浄工具ノズル３１の位置の情報を算出して、この算出した単位時間毎の洗浄工具ノズル３１の位置の情報を図１２に示す第２移動算出データ３１２として第２記憶部７２に記憶させる。ここで、単位時間毎の洗浄工具ノズル３１の位置の情報は、当該単位時間における洗浄工具ノズル３１の基端部３１－１から先端部３１－２まで及び洗浄工具３２によって占められる空間（洗浄工具ノズル空間、と称する）の全部の情報であり、図１２に示すように、例えば上記と同様の装置直交座標系を用いた座標空間で表される。

【0078】

シミュレーション部７０は、図９に示す第２移動データ３０２に基づいて、洗浄装置１が洗浄動作を開始してから終了するまでの間における単位時間（例えば、１秒、０．１秒、６０分の１秒、等）毎の裏面洗浄パッド４１の位置の情報を算出して、この算出した単位時間毎の裏面洗浄パッド４１の位置の情報を図１３に示す第３移動算出データ３１３として第３記憶部７３に記憶させる。ここで、単位時間毎の裏面洗浄パッド４１の位置の情報は、当該単位時間における裏面洗浄パッド４１によって占められる空間（裏面洗浄パッド空間、と称する）の全部の情報であり、図１３に示すように、例えば上記と同様の装置直交座標系を用いた座標空間で表される。

【0079】

図１４は、図１の洗浄装置１で出力するシミュレーション画像４０１を示す図である。図１５は、図１の洗浄装置１で出力するシミュレーション画像４０２を示す図である。図１６は、図１の洗浄装置１で出力するシミュレーション画像４０３を示す図である。シミュレーション部７０は、画像記憶部７９に予め記憶された画像と、第１記憶部７１、第２記憶部７２及び第３記憶部７３にそれぞれ記憶させた第１移動算出データ３１１、第２移動算出データ３１２及び第３移動算出データ３１３に基づいて、洗浄装置１が洗浄動作を開始してから終了するまでの間における単位時間（例えば、１秒、０．１秒、６０分の１秒、等）毎の洗浄装置１のシミュレーション画像（例えば、図１４、図１５、図１６に示すシミュレーション画像４０１，４０２，４０３）を生成する。

【0080】

具体的には、シミュレーション部７０は、まず、画像記憶部７９に予め記憶された画像に基づいて、洗浄液供給ユニット２０、洗浄工具ユニット３０及び裏面洗浄ユニット４０の動作により位置が変化しない洗浄装置１の各部の画像をあらかじめ決められた位置に固定した基本画像を生成する。シミュレーション部７０は、次に、ある単位時間において、この基本画像において、第１記憶部７１に記憶させた第１移動算出データ３１１の洗浄液供給ノズル空間に相当する領域に、画像記憶部７９に予め記憶された洗浄液供給ノズル２１の画像を重ね、洗浄液供給ノズル２１と共に移動する供給口２１－３の画像等を先に重ねた洗浄液供給ノズル２１の画像に合わせた位置に重ね、第２記憶部７２に記憶させた第２移動算出データ３１２の洗浄工具ノズル空間に相当する領域に、画像記憶部７９に予め記憶された洗浄工具ノズル３１の画像を重ね、洗浄工具ノズル３１と共に移動する洗浄工具３２の画像等を先に重ねた洗浄工具ノズル３１の画像に合わせた位置に重ね、第３記憶部７３に記憶させた第３移動算出データ３１３の裏面洗浄パッド空間に相当する領域に、画像記憶部７９に予め記憶された裏面洗浄パッド４１の画像を重ね、裏面洗浄パッド４１と共に移動する基台４２及びスピンドル４３の画像等を先に重ねた裏面洗浄パッド４１の画像に合わせた位置に重ねることにより、当該単位時間における洗浄装置１のシミュレーション画像を生成する。シミュレーション部７０は、同様にして、全ての単位時間毎に洗浄装置１のシミュレーション画像を生成する。

【0081】

シミュレーション部７０は、単位時間毎に、洗浄装置１の上面図と、断面図もしくは側面図と、斜視図と、の少なくともいずれかのシミュレーション画像を生成する。また、シミュレーション部７０は、これらの同じ単位時間におけるシミュレーション画像を複数選択して配列して当該単位時間における１枚のシミュレーション画像を新たに生成してもよい。シミュレーション部７０は、実施形態１では、洗浄装置１の上面図のシミュレーション画像と、洗浄装置１の保持テーブル１０の中央を通る鉛直面における断面図のシミュレーション画像とを生成し、これらを配列して１枚のシミュレーション画像を新たに生成する。

【0082】

シミュレーション部７０は、このようにして生成したシミュレーション画像を、洗浄装置１が洗浄動作を開始してから終了するまでの順番に単位時間毎に切り替えるように並べて繋ぐことにより、洗浄装置１のシミュレーション動画を生成する。シミュレーション部７０は、このようにして生成したシミュレーション画像やシミュレーション動画を、オペレータに視認可能なように出力ユニット５０のモニタ５１に出力する。

【0083】

シミュレーション画像４０１は、図１４に示すように、洗浄装置１が洗浄動作を開始したタイミングにおけるシミュレーション画像であり、洗浄動作を開始したタイミングにおける洗浄装置１の上面図のシミュレーション画像と、洗浄装置１の断面図のシミュレーション画像とが配列された画像であり、シミュレーション部７０により出力ユニット５０のモニタ５１から出力される。シミュレーション画像４０１は、上面図で、洗浄液供給ノズル２１と洗浄工具ノズル３１とがともに保持テーブル１０で保持された被洗浄物２００上から退避した位置に位置付けられていることをわかりやすく示している。

【0084】

シミュレーション画像４０２は、図１５に示すように、洗浄装置１が洗浄動作を開始してから数秒経過後の、シミュレーション画像４０１よりも数秒後のタイミングにおけるシミュレーション画像であり、洗浄動作を開始してから数秒経過後のタイミングにおける洗浄装置１の上面図のシミュレーション画像と、洗浄装置１の断面図のシミュレーション画像とが配列された画像であり、シミュレーション部７０により出力ユニット５０のモニタ５１から出力される。シミュレーション画像４０２は、断面図で、洗浄液供給ノズル２１と洗浄工具ノズル３１とが互いに異なる高さに位置付けられていることをわかりやすく示している。

【0085】

シミュレーション画像４０３は、図１６に示すように、洗浄装置１が洗浄動作を開始してから数秒以上経過後の、シミュレーション画像４０２よりも数秒後のタイミングにおけるシミュレーション画像であり、当該タイミングにおける洗浄装置１の上面図のシミュレーション画像と、洗浄装置１の断面図のシミュレーション画像とが配列された画像であり、シミュレーション部７０により出力ユニット５０のモニタ５１から出力される。シミュレーション画像４０３は、上面図と断面図との双方で、洗浄液供給ノズル２１の画像の位置と洗浄工具ノズル３１の画像の位置とが互いに重なっていることをわかりやすく示している。すなわち、シミュレーション画像４０３は、上面図と断面図とにより、洗浄液供給ノズル２１と洗浄工具ノズル３１とが衝突する恐れが高いことをわかりやすく示している。シミュレーション画像４０３は、さらに、洗浄液供給ノズル２１の画像の位置と洗浄工具ノズル３１の画像の位置とが重なったことによる警告のメッセージと、当該警告を解消するための一例を示すメッセージ（関連する設定項目）とが合わせて表示されている。

【0086】

シミュレーション部７０は、また、第１記憶部７１、第２記憶部７２及び第３記憶部７３にそれぞれ記憶させた第１移動算出データ３１１、第２移動算出データ３１２及び第３移動算出データ３１３に基づいて、シミュレーションの結果を判定してもよい。例えば、シミュレーション部７０は、実施形態１では、第１移動算出データ３１１の単位時間毎の洗浄液供給ノズル空間と、第２移動算出データ３１２の単位時間毎の洗浄工具ノズル空間とに基づいて、洗浄装置１が洗浄動作を開始してから終了するまでの間における洗浄液供給ノズル２１と洗浄工具ノズル３１との位置関係をシミュレーションする。シミュレーション部７０は、洗浄液供給ノズル２１と洗浄工具ノズル３１との位置関係をシミュレーションして、例えば、洗浄液供給ノズル２１と洗浄工具ノズル３１とが互いに衝突するか否かを判定し、その判定結果をオペレータに視認可能なように出力ユニット５０のモニタ５１や報知ユニット５２に出力する。

【0087】

具体的には、シミュレーション部７０は、第１移動算出データ３１１の洗浄液供給ノズル空間と第２移動算出データ３１２の洗浄工具ノズル空間とが所定の閾値（例えば実空間換算で１ｃｍ）以上離間し続けて一度も所定の閾値以内に接近しない場合、洗浄液供給ノズル２１と洗浄工具ノズル３１とが所定の閾値以内に接近しないため互いに衝突しないとして、良好（ＯＫ）と判定する。シミュレーション部７０は、洗浄液供給ノズル空間と洗浄工具ノズル空間とが所定の閾値以内に接近するものの一度も互いに重ならない場合、洗浄液供給ノズル２１と洗浄工具ノズル３１とが所定の閾値以内に接近するため互いに衝突する恐れがあるとして要注意と判定する。シミュレーション部７０は、洗浄液供給ノズル空間と洗浄工具ノズル空間とが一度でも互いに重なる場合、洗浄液供給ノズル２１と洗浄工具ノズル３１とが互いに衝突する恐れが高いとしてエラー（ＮＧ）と判定する。例えば、シミュレーション部７０は、図１６に示すシミュレーション画像４０３において、洗浄液供給ノズル２１と洗浄工具ノズル３１とが互いに衝突する恐れが高いとして、エラー（ＮＧ）の判定結果としての警告のメッセージを表示する。

【0088】

また、シミュレーション部７０は、実施形態１では、第１移動データ３０１の洗浄液供給時間情報と、第１移動算出データ３１１の単位時間毎の洗浄液供給ノズル空間と、第３移動算出データ３１３の単位時間毎の裏面洗浄パッド空間とに基づいて、洗浄液２９を供給する時間における供給口２１－３と裏面洗浄パッド４１との位置関係をシミュレーションする。シミュレーション部７０は、洗浄液２９を供給する時間における供給口２１－３と裏面洗浄パッド４１との位置関係をシミュレーションして、例えば、保持テーブル１０で保持された被洗浄物２００を裏面洗浄パッド４１により裏面２０４側から支持している領域及びタイミングに供給口２１－３から洗浄液２９を供給するか否かを判定し、その判定結果をオペレータに視認可能なように出力ユニット５０のモニタ５１や報知ユニット５２に出力する。

【0089】

具体的には、シミュレーション部７０は、洗浄液２９を供給する時間において、洗浄液供給ノズル空間から導出される供給口２１－３の位置が裏面洗浄パッド空間の上方から一度も外れておらず、かつ、裏面洗浄パッド空間が保持テーブル１０で保持された被洗浄物２００の裏面２０４から一度も下方に外れていない場合、保持テーブル１０で保持された被洗浄物２００を裏面洗浄パッド４１により裏面２０４側から支持している領域及びタイミングにのみ供給口２１－３から洗浄液２９を供給するとして、良好（ＯＫ）と判定する。シミュレーション部７０は、洗浄液２９を供給する時間において、供給口２１－３の位置が裏面洗浄パッド空間の上方から少なくとも一度外れたか、もしくは、裏面洗浄パッド空間が保持テーブル１０で保持された被洗浄物２００の裏面２０４から少なくとも一度下方に外れた場合、保持テーブル１０で保持された被洗浄物２００を裏面洗浄パッド４１により裏面２０４側から支持している領域及びタイミング以外に供給口２１－３から洗浄液２９を供給することにより、保持テーブル１０で保持された被洗浄物２００が洗浄液２９による液圧により撓んでしまう等の恐れがあるとして、エラー（ＮＧ）と判定する。

【0090】

また、シミュレーション部７０は、実施形態１では、第２移動算出データ３１２の単位時間毎の洗浄工具ノズル空間と、第３移動算出データ３１３の単位時間毎の裏面洗浄パッド空間とに基づいて、洗浄工具３２で被洗浄物２００を洗浄する時間における洗浄工具３２と裏面洗浄パッド４１との位置関係をシミュレーションする。シミュレーション部７０は、洗浄工具３２で被洗浄物２００を洗浄する時間における洗浄工具３２と裏面洗浄パッド４１との位置関係をシミュレーションして、例えば、保持テーブル１０で保持された被洗浄物２００を裏面洗浄パッド４１により裏面２０４側から支持している領域及びタイミングに洗浄工具３２で被洗浄物２００を洗浄するか否かを判定し、その判定結果をオペレータに視認可能なように出力ユニット５０のモニタ５１や報知ユニット５２に出力する。

【0091】

具体的には、シミュレーション部７０は、まず、洗浄工具ノズル空間に基づいて、洗浄工具３２の高さが保持テーブル１０で保持された被洗浄物２００の表面１０１から上方に外れていない時間から、洗浄工具３２で被洗浄物２００を洗浄する時間を導出する。そして、シミュレーション部７０は、洗浄工具３２で被洗浄物２００を洗浄する時間において、洗浄工具ノズル空間から導出される洗浄工具３２の位置が裏面洗浄パッド空間の上方から一度も外れておらず、かつ、裏面洗浄パッド空間が保持テーブル１０で保持された被洗浄物２００の裏面２０４から一度も下方に外れていない場合、保持テーブル１０で保持された被洗浄物２００を裏面洗浄パッド４１により裏面２０４側から支持している領域及びタイミングにのみ洗浄工具３２で被洗浄物２００を洗浄するとして、良好（ＯＫ）と判定する。シミュレーション部７０は、洗浄工具３２で被洗浄物２００を洗浄する時間において、洗浄工具ノズル空間から導出される洗浄工具３２の位置が裏面洗浄パッド空間の上方から少なくとも一度外れたか、もしくは、裏面洗浄パッド空間が保持テーブル１０で保持された被洗浄物２００の裏面２０４から少なくとも一度下方に外れた場合、保持テーブル１０で保持された被洗浄物２００を裏面洗浄パッド４１により裏面２０４側から支持している領域及びタイミング以外に洗浄工具３２で被洗浄物２００を洗浄することにより、保持テーブル１０で保持された被洗浄物２００が洗浄工具３２による押圧により撓んでしまう等の恐れがあるとして、エラー（ＮＧ）と判定する。

【0092】

制御ユニット６０は、実施形態１では、制御ユニット１６０と同様のコンピュータシステムを含む。制御ユニット６０の演算処理装置は、制御ユニット６０の記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、洗浄装置１を制御するための制御信号を、制御ユニット６０の入出力インターフェース装置を介して洗浄装置１の各構成要素に出力する。シミュレーション部７０の機能は、実施形態１では、制御ユニット６０の演算処理装置が記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムを実行することにより実現される。第１記憶部７１、第２記憶部７２、第３記憶部７３及び画像記憶部７９の各機能は、制御ユニット６０の記憶装置により実現される。なお、実施形態１では、洗浄装置１における制御ユニット６０と、洗浄装置１を除く加工装置１００の部分における制御ユニット１６０とがそれぞれ別々に設けられているが、本発明ではこれに限定されず、共通して一体で設けられてもよい。

【0093】

このような洗浄装置１は、カバー３を降下、保持テーブル１０への被洗浄物２００の搬入、及び、カバー３の上昇の後、被洗浄物２００を保持した保持テーブル１０を回転させながら、洗浄液供給ユニット２０、洗浄工具ユニット３０及び裏面洗浄ユニット４０を動作させることにより、保持テーブル１０で保持した被洗浄物２００を洗浄する。洗浄装置１のシミュレーション部７０は、このような洗浄装置１による洗浄処理における、洗浄液供給ユニット２０、洗浄工具ユニット３０及び裏面洗浄ユニット４０の各動作をシミュレーションし、そのシミュレーション結果を、シミュレーション画像やシミュレーション動画、判定結果などにより、出力ユニット５０のモニタ５１や報知ユニット５２に出力する。

【0094】

以上のような構成を有する実施形態１に係る洗浄装置１は、シミュレーション部７０と、洗浄液供給ノズル２１の移動開始位置と、移動終了位置と、移動速度と、を含む第１移動データ３０１を記憶する第１記憶部７１とを有するので、シミュレーション部７０により、第１移動データ３０１に基づいて、洗浄液供給ノズル２１の動きをシミュレーションできる。また、実施形態１に係る洗浄装置１は、さらに、洗浄工具ノズル３１を備えるとともに、洗浄工具ノズル３１の移動開始位置と、移動終了位置と、移動速度と、を含む第２移動データ３０２を記憶する第２記憶部７２を含むので、シミュレーション部７０により、第２移動データ３０２に基づいて、洗浄工具ノズル３１の動作をシミュレーションできる。また、実施形態１に係る洗浄装置１は、さらに、保持テーブル１０が被洗浄物２００の外周を保持する外周保持部１１と外周保持部１１を回転させるモータ１２とを有するとともに、裏面洗浄パッド４１の移動開始位置と、移動終了位置と、移動速度と、を含む第３移動データ３０３を記憶する第３記憶部７３を含むので、シミュレーション部７０により、第３移動データ３０３に基づいて、裏面洗浄パッド４１の動作をシミュレーションできる。このように、実施形態１に係る洗浄装置１は、シミュレーション部７０により、洗浄装置１による洗浄処理において駆動する洗浄液供給ノズル２１、洗浄工具ノズル３１及び裏面洗浄パッド４１の動作をシミュレーションできるので、洗浄装置１による洗浄処理において所望する洗浄動作になっているかを容易に確認出来るという作用効果を奏するものとなる。また、実施形態１に係る洗浄装置１は、洗浄液供給ノズル２１、洗浄工具ノズル３１及び裏面洗浄パッド４１の動作を同時にシミュレーションできるので、洗浄液供給ノズル２１、洗浄工具ノズル３１及び裏面洗浄パッド４１の相対的な位置関係も合わせて容易に確認できる。

【0095】

また、実施形態１に係る洗浄装置１は、シミュレーション部７０が、シミュレーションの結果を動画で出力できるので、オペレータが感覚的にシミュレーションの結果を確認できる。実施形態１に係る洗浄装置１は、さらに、シミュレーションの結果を表示するモニタ５１を備えるので、オペレータが洗浄装置１の前でシミュレーションを実行してその場でその結果を確認することを可能にする。実施形態１に係る洗浄装置１は、さらに、シミュレーション部７０が、洗浄装置１の上面図と、断面図と、斜視図と、の少なくともいずれかによって動画を生成できるので、オペレータがシミュレーションの結果をより視覚的に確認しやすくなる。

【0096】

また、実施形態１に係る洗浄装置１は、洗浄工具ノズル３１が保持する洗浄工具３２が、スポンジと、ブラシと、洗浄用の研磨砥石と、の少なくともいずれかを含み、それらについてシミュレーションするために必要な情報も合わせて含むので、洗浄工具ノズル３１が保持する洗浄工具３２を詳細に設定してシミュレーションを実施できる。

【0097】

また、実施形態１に係る洗浄装置１は、被洗浄物２００が、環状フレーム２０６の開口に支持部材２０５を介して固定されたウエーハであり、外周保持部１１が、環状フレーム２０６を保持するので、環状フレーム２０６を介して被洗浄物２００を保持する場合についても、詳細に設定してシミュレーションを実施できる。

【0098】

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係る洗浄装置１－２を説明する。図１７は、実施形態２に係る洗浄装置１－２の構成例を示す側断面図である。なお、図１７は、実施形態２と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

【0099】

実施形態２に係る洗浄装置１－２は、図１７に示すように、実施形態１に係る洗浄装置１において、洗浄液供給ユニット２０を２箇所（洗浄液供給ノズル２１を２本）設け、洗浄工具ユニット３０及び裏面洗浄ユニット４０を省略するように変更し、これに伴い、保持テーブル１０を保持テーブル１０－２に変更する等したものである。なお、２箇所の洗浄液供給ユニット２０をそれぞれ区別する場合には、それぞれ、洗浄液供給ユニット２０－１，２０－２と記す。

【0100】

実施形態２に係る洗浄装置１－２は、実施形態１に係る洗浄装置１において、ケース２及びカバー３に代えて、ケース７－１，７－２が設けられるように変更されている。ケース７－１は、図１７に示すように、保持テーブル１０－２及び洗浄液供給ユニット２０の一部を下方から収容する。ケース７－１は、底面の中央部分に、開口７－３が形成されている。ケース７－２は、ケース７－１の開口７－３を上方から覆うように設けられており、上壁面の中央部分に、開口７－４が形成されている。洗浄液供給ユニット２０の洗浄液供給源２２及び洗浄液供給ノズル移動ユニット２５は、図１７に示す実施形態２の例では、ケース７－１に下方に設けられているが、本発明ではこれに限定されず、ケース７－１の上方に設けられてケース７－１内に収容されていてもよい。

【0101】

保持テーブル１０－２は、実施形態１の保持テーブル１０において、外周保持部１１に代えて、保持部１１－２を有するように変更したものである。保持部１１－２は、実施形態１の外周保持部１１において、それぞれ支持機構１３、複数の支持部材１４及び複数のクランプ機構１５に代えて、支持機構１３－２、支持部材１４－２及びクランプ１４－５を有するように変更したものであり、後述するように、支持部材１４－２及びクランプ機構１５により被洗浄物２００を保持する。

【0102】

支持機構１３－２は、円柱状に形成され、ケース７－１の開口７－３及びケース７－２の開口７－４を貫通して設けられている。支持機構１３－２は、上端側がケース７－１及びケース７－２の上方に突出して支持部材１４－２と接続されており、支持部材１４－２を下方から支持する。支持機構１３－２は、下端側がケース７－１及びケース７－２の下方に突出してモータ１２と接続され、モータ１２によりケース７－１に対して相対的にＺ軸回りに回転自在に設けられている。

【0103】

支持部材１４－２は、凹部が形成された円盤状の枠体と、凹部内に嵌め込まれた円盤形状の吸着部と、を備える、いわゆるスピンナテーブルである。支持部材１４－２の吸着部は、多数のポーラス孔を備えたポーラスセラミック等から形成されたポーラス部を有し、図示しない真空吸引路を介して図示しない真空吸引源と接続されている。支持部材１４－２の吸着部の上面は、被洗浄物２００が載置されて、真空吸引源から導入される負圧により、載置された被洗浄物２００を吸引保持する保持面である。支持部材１４－２の保持面は、被洗浄物２００が表面２０１を上方に向けて載置され、載置された被洗浄物２００を裏面２０４側から支持部材２０５を介して吸引保持する。支持部材１４－２の保持面と枠体の上面とは、同一平面上に配置されており、水平面に平行に形成されている。支持部材１４－２は、下方に支持機構１３－２を介してモータ１２が接続されており、モータ１２により支持機構１３－２とともに水平面に直交しかつ鉛直方向に平行な軸心回りに回転自在に設けられている。

【0104】

クランプ１４－５は、支持部材１４－２の枠体の外周部に、支持部材１４－２の周方向に沿って等間隔に複数（図１７に示す例では２つ）配列されて設けられている。クランプ１４－５は、支持部材１４－２の回転に伴う遠心力により、支持部材１４－２に保持された被洗浄物２００に装着された環状フレーム２０６を保持して固定する。

【0105】

実施形態２に係る洗浄装置１－２は、実施形態１に係る洗浄装置１において、シミュレーション部７０が変更されている。具体的には、実施形態２におけるシミュレーション部７０は、図１７に示すように、第１記憶部７１が第１記憶部７１－１，７１－２の２つに変更され、第２記憶部７２及び第３記憶部７３が省略されたものである。

【0106】

実施形態２では、第１記憶部７１－１，７１－２は、それぞれ、洗浄液供給ユニット２０－１，２０－２についての第１移動データ３０１を記憶する。シミュレーション部７０は、実施形態１において洗浄液供給ユニット２０の洗浄液供給ノズル２１について第１移動データ３０１に基づいて第１移動算出データ３１１を算出したのと同様にして、洗浄液供給ユニット２０－１，２０－２についての第１移動データ３０１に基づいて、洗浄液供給ユニット２０－１，２０－２についての第１移動算出データ３１１を算出する。そして、シミュレーション部７０は、実施形態１と同様にして、洗浄液供給ユニット２０－１，２０－２のそれぞれの画像を含むシミュレーション画像及びシミュレーション動画を生成する。

【0107】

実施形態２では、シミュレーション部７０は、洗浄液供給ユニット２０－１，２０－２についての第１移動算出データ３１１に基づいて、シミュレーションの結果を判定してもよい。例えば、シミュレーション部７０は、実施形態２では、洗浄液供給ユニット２０－１，２０－２についての第１移動算出データ３１１の単位時間毎の洗浄液供給ノズル空間に基づいて、洗浄装置１が洗浄動作を開始してから終了するまでの間における洗浄液供給ユニット２０－１，２０－２についてのそれぞれの洗浄液供給ノズル２１の位置関係をシミュレーションする。シミュレーション部７０は、洗浄液供給ユニット２０－１，２０－２についてのそれぞれの洗浄液供給ノズル２１の位置関係をシミュレーションして、例えば、洗浄液供給ユニット２０－１，２０－２についてのそれぞれの洗浄液供給ノズル２１が互いに衝突するか否かを判定し、その判定結果をオペレータに視認可能なように出力ユニット５０のモニタ５１や報知ユニット５２に出力する。

【0108】

以上のような構成を有する実施形態２に係る洗浄装置１－２は、実施形態１に係る洗浄装置１において、洗浄液供給ユニット２０を２箇所（洗浄液供給ノズル２１を２本）設け、洗浄工具ユニット３０及び裏面洗浄ユニット４０を省略するように変更したものであるので、実施形態１と同様に、シミュレーション部７０により、洗浄液供給ユニット２０－１，２０－２についての第１移動データ３０１に基づいて、洗浄液供給ユニット２０－１，２０－２についてのそれぞれの洗浄液供給ノズル２１の動きをシミュレーションできる。このため、実施形態２に係る洗浄装置１－２は、洗浄工具ユニット３０及び裏面洗浄ユニット４０を備える事によるものを除き、実施形態１と同様の作用効果を奏するものとなる。

【0109】

〔実施形態３〕
本発明の実施形態３に係る洗浄装置１－３を説明する。図１８は、実施形態３に係る洗浄装置１－３の構成例を示す側断面図である。なお、図１８は、実施形態３と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

【0110】

実施形態３に係る洗浄装置１－３は、図１８に示すように、実施形態１に係る洗浄装置１において、洗浄工具ユニット３０を省略するように変更し、これに伴い、保持テーブル１０を保持テーブル１０－３に変更する等したものである。実施形態３に係る洗浄装置１－３は、実施形態１に係る洗浄装置１において、ケース２及びカバー３が省略されて、保持テーブル１０－３の支持機構１３－３がケース２及びカバー３の機能を担う構成となっている。

【0111】

保持テーブル１０－３は、実施形態１の保持テーブル１０において、外周保持部１１に代えて、外周保持部１１－３を有するように変更したものである。外周保持部１１－３は、実施形態１の外周保持部１１において、それぞれ支持機構１３及び複数の支持部材１４に代えて、支持機構１３－３及び支持部材１４－３を有するように変更し、複数のクランプ機構１５を省略するように変更したものであり、後述するように、支持部材１４－３により被洗浄物２００の外周（環状フレーム２０６）を保持する。

【0112】

支持機構１３－３は、上方側が、外径が被洗浄物２００に装着された環状フレーム２０６の外径よりも大きい円板状に形成され、下方側が、外径が上方側よりも細い円筒状に形成され、下方側がモータ１２と接続され、モータ１２により支持機構１３－３の中心を回転中心としてＺ軸回りに回転自在に設けられている。支持部材１４－３は、外径が被洗浄物２００に装着された環状フレーム２０６の外径より少し大きく、内径が被洗浄物２００に装着された環状フレーム２０６の外径より少し小さい円筒状に形成され、支持機構１３－３の上方側の外周部の上面から立設しており、支持機構１３－３の回転に伴い支持機構１３－３の中心を回転中心として回転する。支持部材１４－３は、上端部で、被洗浄物２００の外周（環状フレーム２０６）を下方から支持する。

【0113】

実施形態３に係る洗浄装置１－３は、実施形態１に係る洗浄装置１において、シミュレーション部７０が変更されている。具体的には、実施形態３におけるシミュレーション部７０は、図１８に示すように、第２記憶部７２が省略されたものである。実施形態３におけるシミュレーション部７０は、実施形態１と同様にして、それぞれ第１移動データ３０１及び第３移動データ３０３に基づいて、第１移動算出データ３１１及び第３移動算出データ３１３を算出し、洗浄液供給ユニット２０及び裏面洗浄ユニット４０の画像を含むシミュレーション画像及びシミュレーション動画を生成し、洗浄液供給ノズル２１と裏面洗浄パッド４１との位置関係をシミュレーションする。

【0114】

以上のような構成を有する実施形態３に係る洗浄装置１－３は、実施形態１に係る洗浄装置１において、洗浄工具ユニット３０を省略するように変更したものであるので、実施形態１と同様に、シミュレーション部７０により、第１移動データ３０１及び第３移動データ３０３に基づいて、洗浄液供給ノズル２１及び裏面洗浄パッド４１の動きをシミュレーションできる。このため、実施形態３に係る洗浄装置１－３は、洗浄工具ユニット３０を備える事によるものを除き、実施形態１と同様の作用効果を奏するものとなる。

【0115】

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。本発明では、洗浄液供給ノズル２１、洗浄工具ノズル３１及び裏面洗浄パッド４１のうち少なくとも１つ備える場合、シミュレーション部７０により算出処理や動きのシミュレーション処理を実施できる。また、洗浄液供給ノズル２１、洗浄工具ノズル３１及び裏面洗浄パッド４１のうち少なくとも２つ備える場合、シミュレーション部７０により両者の位置関係のシミュレーション処理を実施できる。

【符号の説明】

【0116】

１，１－２，１－３ 洗浄装置
１０，１０－２，１０－３ 保持テーブル
１１，１１－３ 外周保持部
１２ モータ
２１ 洗浄液供給ノズル
２５ 洗浄液供給ノズル移動ユニット
２９ 洗浄液
３１ 洗浄工具ノズル
３２ 洗浄工具
３５ 洗浄工具ノズル移動ユニット
４１ 裏面洗浄パッド
４５ 昇降ユニット
５１ モニタ
７０ シミュレーション部
７１，７１－１，７１－２ 第１記憶部
７２ 第２記憶部
７３ 第３記憶部
２００ 被洗浄物
２０５ 支持部材
２０６ 環状フレーム
３０１ 第１移動データ
３０２ 第２移動データ
３０３ 第３移動データ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】