特開 2024-121571 ＳＱＵＩＤセンサロッド及びＳＱＵＩＤセンサ素子の取付方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024121571

(43)【公開日】2024-09-06

(54)【発明の名称】ＳＱＵＩＤセンサロッド及びＳＱＵＩＤセンサ素子の取付方法

(51)【国際特許分類】

   G01R 33/035 20060101AFI20240830BHJP

【ＦＩ】

G01R33/035

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023028734

(22)【出願日】2023-02-27

(71)【出願人】

【識別番号】593165487

【氏名又は名称】学校法人金沢工業大学

(71)【出願人】

【識別番号】301021533

【氏名又は名称】国立研究開発法人産業技術総合研究所

(74)【代理人】

【識別番号】110002516

【氏名又は名称】弁理士法人白坂

(72)【発明者】

【氏名】河合 淳

(72)【発明者】

【氏名】小田 啓邦

【テーマコード（参考）】

2G017

【Ｆターム（参考）】

2G017AA02

2G017AA08

2G017AC06

2G017AD33

(57)【要約】

【課題】ＳＱＵＩＤセンサロッドの先端に設けられるＳＱＵＩＤセンサ素子の端子に対して、ＳＱＵＩＤセンサ素子と測定対象のサンプルとの間の距離が端子とワイヤーを接続するための接続部材により遠ざかることを抑制できるＳＱＵＩＤセンサロッドを提供する。
【解決手段】ＳＱＵＩＤセンサロッドは、端子を有するＳＱＵＩＤセンサ素子と、ＳＱＵＩＤセンサ素子を先端に備える柱状の支持部材と、端子に対してワイヤボンディングにより一端が接続されたワイヤーと、を備える。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

端子を有するＳＱＵＩＤセンサ素子と、
前記ＳＱＵＩＤセンサ素子を先端に備える柱状の支持部材と、
前記端子に対してワイヤボンディングにより一端が接続されているワイヤーと、
を備えるＳＱＵＩＤセンサロッド。

【請求項2】

前記支持部材の前記先端側は、テーパー状に形成されたテーパー部を備え、
前記テーパー部は、前記ワイヤーを添わせ、前記先端側から他端側に向けて延伸する溝部を備える
ことを特徴とする請求項１に記載のＳＱＵＩＤセンサロッド。

【請求項3】

前記ワイヤーは、前記溝部に対して導電性ペーストにより固定されている
ことを特徴とする請求項２に記載のＳＱＵＩＤセンサロッド。

【請求項4】

前記支持部材は、
前記先端側を有し、前記先端側とは他端側に第１接続部を有する第１支持部材と、
前記第１接続部と接続する第２接続部を有する第２支持部材とを備え、
前記第１支持部材は、前記第２支持部材に対して着脱自在に構成されている
ことを特徴とする請求項１に記載のＳＱＵＩＤセンサロッド。

【請求項5】

前記ワイヤーの他端は、前記テーパー部の前記先端側と逆側で前記支持部材に接続される
ことを特徴とする請求項２に記載のＳＱＵＩＤセンサロッド。

【請求項6】

前記ワイヤーの他端は、更に、他のワイヤーに接続される
ことを特徴とする請求項５に記載のＳＱＵＩＤセンサロッド。

【請求項7】

前記他のワイヤーは、金線である
ことを特徴とする請求項６に記載のＳＱＵＩＤセンサロッド。

【請求項8】

前記ワイヤーは、アルミニウム線である
ことを特徴とする請求項７に記載のＳＱＵＩＤセンサロッド。

【請求項9】

前記支持部材は、サファイアロッドである
ことを特徴とする請求項１に記載のＳＱＵＩＤセンサロッド。

【請求項10】

ＳＱＵＩＤセンサロッドに対して、ＳＱＵＩＤセンサ素子の取り付け方法であって、
前記ＳＱＵＩＤセンサロッドの先端に、前記ＳＱＵＩＤセンサ素子を載置する載置ステップと、
前記ＳＱＵＩＤセンサ素子に設けられた端子に対して、ワイヤーをボンディングにより接続する接続ステップと、を含む
ＳＱＵＩＤセンサ素子の取り付け方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、ＳＱＵＩＤ顕微鏡に用いられるＳＱＵＩＤセンサロッド及びＳＱＵＩＤセンサ素子のＳＱＵＩＤセンサロッドに対する取付方法に関する。

【背景技術】

【0002】

ＳＱＵＩＤ顕微鏡においては、ＳＱＵＩＤセンサロッド（サファイアロッド）の先端にＳＱＵＩＤセンサ素子を搭載し、対象のサンプルの磁力を検出する。このＳＱＵＩＤセンサ素子と対象のサンプル間の距離は、相対的に近い方が好ましいとされる。特許文献１には、ＳＱＵＩＤセンサ素子と対象のサンプル間の距離を調整できるＳＱＵＩＤ顕微鏡が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１６－０１４５４１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、ＳＱＵＩＤセンサ素子は検知した磁力を示す信号を伝送する端子を備え、当該信号を伝達するワイヤーと当該端子は、導電性ペーストにより接続される。しかしながら、導電性ペーストによる接続は、導電性ペーストとしての性質上、否応なく盛り上がりが発生する場合がある。そのような場合には、当該盛り上がりにより、ＳＱＵＩＤセンサ素子と、対象のサンプルとの間の距離が相対的に遠くなる可能性が指摘されている。また、導電性ペーストを用いた場合には、ＳＱＵＩＤセンサ素子の端子における接触抵抗が安定しないという問題もある。

【0005】

そこで、本発明は、ＳＱＵＩＤセンサ素子の端子を接続するにあたって、導電性ペーストにより、ＳＱＵＩＤセンサ素子と、対象のサンプルとの間の距離が遠くならないように構成されたＳＱＵＩＤセンサロッドを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一実施態様に係るＳＱＵＩＤセンサロッドは、端子を有するＳＱＵＩＤセンサ素子と、ＳＱＵＩＤセンサ素子を先端に備える柱状の支持部材と、端子に対してワイヤボンディングにより一端が接続されているワイヤーと、を備える。

【0007】

また、上記ＳＱＵＩＤセンサロッドにおいて、支持部材の先端側は、テーパー状に形成されたテーパー部を備え、テーパー部は、ワイヤーを添わせ、先端側から他端側に向けて延伸する溝部を備えることとしてもよい。

【0008】

また、上記ＳＱＵＩＤセンサロッドにおいて、ワイヤーは、溝部に対して導電性ペーストにより固定されていることとしてもよい。

【0009】

また、上記ＳＱＵＩＤセンサロッドにおいて、支持部材は、先端側を有し、先端側とは他端側に第１接続部を有する第１支持部材と、第１接続部と接続する第２接続部を有する第２支持部材とを備え、第１支持部材は、第２支持部材に対して着脱自在に構成されていることとしてもよい。

【0010】

また、上記ＳＱＵＩＤセンサロッドにおいて、ワイヤーの他端は、テーパー部の先端側と逆側で支持部材に接続されることとしてもよい。

【0011】

また、上記ＳＱＵＩＤセンサロッドにおいて、ワイヤーの他端は、更に、他のワイヤーに接続されることとしてもよい。

【0012】

また、上記ＳＱＵＩＤセンサロッドにおいて、他のワイヤーは、金線であることとしてもよい。

【0013】

また、上記ＳＱＵＩＤセンサロッドにおいて、ワイヤーは、アルミニウム線であることとしてもよい。

【0014】

また、上記ＳＱＵＩＤセンサロッドにおいて、支持部材は、サファイアロッドであることとしてもよい。

【0015】

また、本発明の一実施態様に係るＳＱＵＩＤセンサロッドに対して、ＳＱＵＩＤセンサ素子を取り付ける取り付け方法は、ＳＱＵＩＤセンサロッドの先端に、前記ＳＱＵＩＤセンサ素子を載置する載置ステップと、ＳＱＵＩＤセンサ素子に設けられた端子に対して、ワイヤーをボンディングにより接続する接続ステップと、を含む。

【発明の効果】

【0016】

本発明に係るＳＱＵＩＤセンサロッドにおいては、ＳＱＵＩＤセンサ素子の端子との接続において導電性ペーストを用いず、ワイヤボンディングにより接続するので、導電性ペーストが盛り上がり、その結果、ＳＱＵＩＤセンサ素子と、対象のサンプルとの間の距離が遠ざかることはなく、ＳＱＵＩＤセンサ素子をより対象のサンプルに近い位置に配することができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】ＳＱＵＩＤ顕微鏡の構成例を示す模式図である。

【図2】（ａ）ＳＱＵＩＤセンサロッドの側面図である。（ｂ）ＳＱＵＩＤセンサロッドの断面図である。（ｃ）ＳＱＵＩＤセンサロッドの分解断面図である。

【図3】（ａ）ＳＱＵＩＤセンサ素子を取り付けていない状態のＳＱＵＩＤセンサロッドの先端部である。 （ｂ）ＳＱＵＩＤセンサ素子を取り付けた状態のＳＱＵＩＤセンサロッドの先端部である。

【図4】ＳＱＵＩＤセンサロッドの先端部を先端側から見た図である。

【図5】ＳＱＵＩＤセンサロッドとサンプルとの関係を示す拡大図である。

【図6】ＳＱＵＩＤセンサロッドに対する従来のＳＱＵＩＤセンサ素子の取付例を示す拡大図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

本発明の一実施形態について、図面を参照して説明する。
＜実施の形態＞
＜構成＞
以下、実施の形態に係るＳＱＵＩＤセンサロッドについて、図面を参照しながら、詳細に説明する。

【0019】

図１は、ＳＱＵＩＤセンサロッドを用いるＳＱＵＩＤ顕微鏡の一構成例を示すものである。まずは、ＳＱＵＩＤ顕微鏡１について簡単に説明する。

【0020】

図１に示すように、ＳＱＵＩＤ顕微鏡１は、ＳＱＵＩＤセンサ素子１００と、ＳＱＵＩＤセンサ素子１００を支持するための支持部材１０と、ＳＱＵＩＤセンサ素子１００を冷却するための冷却装置３ａ，３ｂ，４と、ＳＱＵＩＤセンサ素子１００や支持部材１０を真空断熱するための真空容器３ｃ，５とを備える。ＳＱＵＩＤ顕微鏡１は、ＳＱＵＩＤセンサ素子１００に対向する位置の真空容器５の部分に設けた磁気検出部６の近傍の真空容器５外に置かれた試料の磁気をＳＱＵＩＤセンサ素子１００で検出するＳＱＵＩＤ顕微鏡であって、ＳＱＵＩＤセンサ素子１００を真空容器５の外に近づけたり遠ざけたりする方向に支持部材１０が動き得るように弾性的に支持部材１０を保持する弾性保持部材７と、ＳＱＵＩＤセンサ素子１００を挟んで磁気検出部６（サファイア窓と呼称されてもよい）と反対側の真空容器３ｃ外に且つＳＱＵＩＤセンサ素子１００を真空容器５の外に近づけたり遠ざけたりする方向にスピンドル８ａが移動する姿勢で設置したディプスマイクロメータ８と、ディプスマイクロメータ８のスピンドル８ａの移動を弾性保持部材７を介して支持部材１０に伝えるためのシャフト９とを設けた構成をとることとしてよい。ＳＱＵＩＤ顕微鏡１は、ＳＱＵＩＤセンサ素子１００により検出される試料の磁気を検出する。冷却装置は、一般的には、クライオスタットと呼称され、クライオスタット３は、外槽３ｃとその内部に設けられた内槽３ｂと、内槽３ｂに封入された液体ヘリウムにより実現される。ＳＱＵＩＤセンサロッド１０は、銅ロッド１４により保持される。当該銅ロッド１４は、クライオスタット３内の熱伝導用銅線４と接続されて、冷却される。

【0021】

なお、図１には、特許文献１に示すＳＱＵＩＤ顕微鏡と同様のものでありＳＱＵＩＤセンサロッドとサンプルとの間の距離を調整可能に構成されたＳＱＵＩＤ顕微鏡の例を示しているが、ＳＱＵＩＤ顕微鏡１は、当該構成のように、ＳＱＵＩＤセンサロッドと対象のサンプルとの間の距離を調整可能に構成されなくてもよい。

【0022】

支持部材１０は、ＳＱＵＩＤセンサ素子１００を支持する部材であり、ＳＱＵＩＤセンサロッド、サファイアロッドなどと呼称される。本明細書において、以降では、ＳＱＵＩＤセンサロッド１０と記載する。

【0023】

図２（ａ）は、ＳＱＵＩＤセンサロッド１０の側面図である。図２（ｂ）は、図２（ａ）に示すＳＱＵＩＤセンサロッド１０の縦断面図である。図２（ｂ）に示すように、ＳＱＵＩＤセンサロッド１０は、第１ＳＱＵＩＤセンサロッド１１と、第２ＳＱＵＩＤセンサロッド１２と、が連結されて成る。図２（ａ）に示されるようにＳＱＵＩＤセンサロッド１０（第１ＳＱＵＩＤセンサロッド１１）の先端部は、テーパー状（円錐状）に形成され、その頂点に磁気を検出するためのＳＱＵＩＤセンサ素子１００が設けられる。詳細は後述するが、ＳＱＵＩＤセンサ素子１００には複数の端子が備えられ、当該端子には、ＳＱＵＩＤセンサロッドのテーパー状に形成されている部分（テーパー部）に沿って導電性ペーストに埋め込まれているワイヤーがワイヤーボンディングされており、接続部２０ａ～２０ｄに接続される。また、接続部２０ａ～２０ｄには、導電線２１ａ～２１ｄが接続され、ＳＱＵＩＤ信号線１５に接続される。

【0024】

第１ＳＱＵＩＤセンサロッド１１は、図２（ｃ）に示されるように、第２ＳＱＵＩＤセンサロッド１２から分離可能に構成される。図２（ｃ）は、第２ＳＱＵＩＤセンサロッド１２から第１ＳＱＵＩＤセンサロッド１１を分離した状態を示す断面図である。図２（ｂ）、図２（ｃ）に示すように、第１ＳＱＵＩＤセンサロッド１１は、第２ＳＱＵＩＤセンサロッド１２に対して着脱自在に構成される。図２（ｂ）に示す例では、第２ＳＱＵＩＤセンサロッド１２を第１ＳＱＵＩＤセンサロッド１１にねじ止めしている例を示しているが、第１ＳＱＵＩＤセンサロッド１１が第２ＳＱＵＩＤセンサロッド１２に嵌合している際に、第１ＳＱＵＩＤセンサロッド１１が、自然に第２ＳＱＵＩＤセンサロッド１２から外れなければ、どのような態様によって接続できてもよい。例えば、第１ＳＱＵＩＤセンサロッド１１と第２ＳＱＵＩＤセンサロッド１２とを、図２（ｂ）の左右方向に貫通する貫通孔を設け、当該貫通孔に貫通部材を通して、第１ＳＱＵＩＤセンサロッド１１と第２ＳＱＵＩＤセンサロッド１２とを、接続できるように構成してもよい。第２ＳＱＵＩＤセンサロッド１２が、第１ＳＱＵＩＤセンサロッド１１に対して着脱自在に構成されていることで、仮に、第２ＳＱＵＩＤセンサロッド１２の先端に取り付けられているＳＱＵＩＤセンサ素子１００が故障したり、ＳＱＵＩＤセンサ素子１００の端子と、接続線の接続不良が発生したりしたとしても、第１ＳＱＵＩＤセンサロッド１１を第２ＳＱＵＩＤセンサロッド１２から取り外すことで、ＳＱＵＩＤセンサ素子１００の交換、あるいは、ＳＱＵＩＤセンサ素子１００の端子に接続されるワイヤーが断線した場合でも、その再接続を容易にすることができる。

【0025】

図３は、ＳＱＵＩＤセンサロッドの先端部、即ち、第１ＳＱＵＩＤセンサロッド１１の先端部を示す斜視図である。図３（ａ）は、ＳＱＵＩＤセンサ素子を取り付けていない状態のＳＱＵＩＤセンサロッドを示しており、図３（ｂ）は、ＳＱＵＩＤセンサ素子１００を取り付けている状態のＳＱＵＩＤセンサロッドを示している。

【0026】

図３（ａ）に示すように第１ＳＱＵＩＤセンサロッド１１の先端部には、ＳＱＵＩＤセンサ素子１００を載置するためのザグリ部１２ｅが設けられる。ザグリ部１２ｅは、ＳＱＵＩＤセンサロッド１２の先端部を掘削することで形成することとしてよい。ザグリ部１２ｅは、ＳＱＵＩＤセンサ素子１００を載置するに足る大きさ及び深さがあればよい。

【0027】

第１ＳＱＵＩＤセンサロッド１１の先端部は約１．２ｍｍの直径となっており、ＳＱＵＩＤセンサ素子１００は、それよりも小さい。ＳＱＵＩＤセンサ素子１００は、平板状に基板であり、その大きさは、０．７５ｍｍ×０．７５ｍｍとしてよい。したがって、ザグリ部１２ｅは、それよりも大きめの０．８ｍｍ×０．８ｍｍの大きさとしてよいが、この大きさに限定するものではない。

【0028】

また、第１ＳＱＵＩＤセンサロッド１１のテーパー部には、ザグリ部１２ｅから、互いの間隔が同程度になるように掘削された溝部１２ａ～１２ｄが設けられる。当該溝部１２ａ～１２ｄは、図３（ｂ）に示すように導電性ペースト１３ａ～１３ｄにより埋められる。そして、各導電性ペースト１３ａ～１３ｄは、ＳＱＵＩＤセンサ素子１００の各端子に接続されているワイヤーと接続する。より具体的には、各端子に接続されたワイヤーを、各端子に対応するように設けられた各溝部に這わせ、その上から導電性ペーストを流し込む。これにより、ＳＱＵＩＤセンサ素子１００の各端子と、その接続先のＳＱＵＩＤ駆動用電子回路との接続を実現する。

【0029】

なお、テーパー部は、ＳＱＵＩＤセンサ素子１００と、測定対象のサンプルとの間には位置しないので、ここでは、導電性ペーストを用いてもＳＱＵＩＤセンサ素子１００による測定を阻害する要因とはならない。

【0030】

各ワイヤーは、テーパー部と円柱部との境目付近で、他の導電線と接続されてよい。例えば、図２（ａ）に示されるように、導電性ペースト内のワイヤー１４１ａ～１４１ｄ、１４２ａ～１４２ｄは、導電線２１ａ～２１ｄ（２１ｃは図２（ａ）の図面裏側に存在するため図示せず）と接続部２０ａ～２０ｄ（２０ｃは図２（ａ）の図面裏側に存在するため図示せず）を介してはんだ付け等により接続されてよい。導電線２１ａ～２１ｄは、導電性の金属線であればどのようなものであってもよいが、ここでは、直径０．１～０．３ｍｍの金線を用いることとする。図２（ａ）に示す例では、導電線２１ａ～２１ｄは、見やすくするために第２ＳＱＵＩＤセンサロッド１２の表面から離した例を示しているが、各導電線２１ａ～２１ｄは、ＳＱＵＩＤセンサロッド１０の表面に長尺方向に延伸するようにプリントされて形成されてもよい。導電線２１ａ～２１ｄは、図１におけるＳＱＵＩＤ信号線１５と接続され、ＳＱＵＩＤセンサ素子１００により測定された磁気信号が伝達される。

【0031】

図４は、ＳＱＵＩＤセンサロッド１０を、先端側から見た場合の正面図であって、ＳＱＵＩＤセンサ素子１００が取り付けられている状態を示している。図４に示すように、ＳＱＵＩＤセンサ素子１００には、４つの端子１０１ａ～１０１ｄが設けられている。従来においては、当該端子は直接導電性ペーストでサファイアロッド上の端子に接続されていた。これに対して、本実施例に係るＳＱＵＩＤセンサロッド１０においては、４つの端子１０１ａ～１０１ｄそれぞれに対して、ワイヤー１４１ａ～１４１ｄ、１４２ａ～１４２ｄをワイヤーボンディング１５１ａ～１５１ｄ、１５２ａ～１５２ｄにより接続する。

【0032】

具体的には、図４に示されるように、端子１０１ａに対しては、ワイヤー１４１ａがワイヤーボンディング１５１ａにより接続され、ワイヤー１４２ａがワイヤーボンディング１５２ａにより接続されている。なお、ここでは、端子に対して２本のワイヤーをワイヤーボンディングした例を示しているが、ＳＱＵＩＤセンサ素子１００の端子に接続するワイヤーの本数は２本に限定するものではなく、１本でもよいし、３本以上であってもよい。そして、ワイヤー１４１ａ、１４２ａは、溝部１２ａにおいて、溝部１２ａを埋める導電性ペースト１３ａと接続する。同様に、端子１０１ｂに対しては、ワイヤー１４１ｂがワイヤーボンディング１５１ｂにより接続され、ワイヤー１４２ｂがワイヤーボンディング１５２ｂにより接続されている。そして、ワイヤー１４１ｂ、１４２ｂは、溝部１２ｂにおいて、溝部１２ｂを埋める導電性ペースト１３ｂと接続する。また、端子１０１ｃに対しては、ワイヤー１４１ｃがワイヤーボンディング１５１ｃにより接続され、ワイヤー１４２ｃがワイヤーボンディング１５２ｃにより接続されている。そして、ワイヤー１４１ｃ、１４２ｃは、溝部１２ｃにおいて、溝部１２ｃを埋める導電性ペースト１３ｃと接続する。端子１０１ｄに対しては、ワイヤー１４１ｄがワイヤーボンディング１５１ｄにより接続され、ワイヤー１４２ｄがワイヤーボンディング１５２ｄにより接続されている。そして、ワイヤー１４１ｄ、１４２ｄは、溝部１２ｄにおいて、溝部１２ｄを埋める導電性ペースト１３ｄと接続する。

【0033】

各ワイヤー１４１ａ～１４１ｄ、１４２ａ～１４２ｄは、それぞれ、直径０．０２５ｍｍ程度のアルミニウム線であってよいが、各ワイヤーは、導電性があり、所定の細さを担保できるのであれば、他の素材、他の直径のものであってもよい。なお、ワイヤーボンディングの大きさ（高さは）ワイヤーの細さに依存するため、ワイヤーはある程度細いことが望ましい。直径０．０２５ｍｍのアルミニウム線の場合、ワイヤーボンディングとしての高さも０．０２５ｍｍ程度にとどまる。一方で、ワイヤーボンディングではなく導電性ペーストを利用する場合には、その高さはすくなくとも０．１ｍｍにはなる。

【0034】

図５は、ＳＱＵＩＤセンサロッド１０（第１ＳＱＵＩＤセンサロッド１１）の側面から見た側面拡大図である。

【0035】

図５に示されるように、第１ＳＱＵＩＤセンサロッド１１の先端にＳＱＵＩＤセンサ素子１００が設けられる。図４を用いて説明したように、ＳＱＵＩＤセンサ素子１００は、第１ＳＱＵＩＤセンサロッド１１の先端部のザグリ部１２ｅに載置される。

【0036】

図５に示されるように、ＳＱＵＩＤセンサ素子１００は、磁気を測定する対象となる試料Ｘに対して窓を介して正対して、試料Ｘの磁気を測定する。このとき、ＳＱＵＩＤセンサ素子１００と、試料Ｘとの間の距離をｄとした場合に、距離ｄは相対的に短い方が好ましい。従来の導電性ペーストを用いてＳＱＵＩＤセンサロッドの先端にＳＱＵＩＤセンサ素子を取り付ける構成の場合、この距離ｄは、短くとも、０．２ｍｍ程度が限度であった。本実施形態に係るＳＱＵＩＤセンサロッドであれば、この距離ｄを０．２ｍｍよりも短縮し得る。具体的には、一例として、発明者らは、本実施形態に係るＳＱＵＩＤセンサロッドを作製し、当該距離ｄを０．２ｍｍから０．１８７ｍｍへの短縮に成功している。計測する試料の磁気信号は、距離の３乗のオーダーで変化するため、この距離の改善により、試料の磁気信号の測定の精度を大きく向上させることができる。

【0037】

図６は、ＳＱＵＩＤセンサ素子１００をＳＱＵＩＤセンサロッドに接続する際に、導電性ペーストを用いる従来の接着例を示す拡大側面図である。より具体的には、図６は、ＳＱＵＩＤセンサロッド６０の先端部分の側面図であり、そのテーパー部に設けられているワイヤー６０ｂと、ＳＱＵＩＤセンサ素子６００の一端子を導電性ペースト６３ｂにより接続し、ワイヤー６０ｄとＳＱＵＩＤセンサ素子６００の他の一端子を導電性ペースト６３ｄにより接続した例を示している。なお、ワイヤー６０ａとＳＱＵＩＤセンサ素子６００の他の一端子を接続する導電性ペーストについては、図面の見やすさを考慮して、図６には示していない。図６に示されるように、導電性ペーストによりＳＱＵＩＤセンサ素子６００をＳＱＵＩＤセンサロッドの先端に接着した場合には、接続の仕方によっては、図示するように導電性ペーストがＳＱＵＩＤセンサ素子６００上に盛り上がる形で形成されることがある。ＳＱＵＩＤセンサ素子６００は、測定対象との間の距離が短い方がよいことは図５を用いて説明した通りであり、その距離ｄのオーダーとしては０．２ｍｍ以下になることが望ましいとされる以上、図６に示すような導電性ペーストの盛り上がりも決して無視できないものになる。

【0038】

図６と図５を比較すればわかるように、ボンディングによる接続（図５参照）の方が、導電性ペーストによる接続（図６参照）に比して、盛り上がりが少なく、その分だけ、ＳＱＵＩＤセンサ素子１００を、測定対処のサンプルに近づけた配置とすることができ、本実施形態に示した接続形態（図５参照）の方が、従来よりも精度の高い測定をすることができる。
＜まとめ＞

【0039】

本実施形態においては、ＳＱＵＩＤセンサロッド１０は、その先端部にＳＱＵＩＤセンサ素子１００を取り付ける場合には、ＳＱＵＩＤセンサ素子１００の各端子１０１ａ～１０１ｄに対しては、ワイヤーボンディング１５１ａ～１５１ｄ、１５２ａ～１５２ｄにより接続された構成となる。ワイヤーボンディングの場合、その高さは、ワイヤーの細さ程度（０．０２５ｍｍ程度）にとどまらせることができ、旧来の導電性ペーストに比してＳＱＵＩＤセンサ素子１００の高さが高くなるのを抑制することができる。その結果、旧来のＳＱＵＩＤセンサロッドよりも、ＳＱＵＩＤセンサ素子１００を測定対象の試料により近づけて測定を可能とするＳＱＵＩＤセンサロッド１０を提供することができる。

【符号の説明】

【0040】

１ ＳＱＵＩＤ顕微鏡
１０ ＳＱＵＩＤセンサロッド（支持部材）
１１ 第１ＳＱＵＩＤセンサロッド（第１支持部材）
１２ 第２ＳＱＵＩＤセンサロッド（第２支持部材）
１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ 溝部
１２ｅ ザグリ部
１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄ 導電性ペースト
１００ ＳＱＵＩＤセンサ素子
１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃ、１０１ｄ 端子
１４１ａ、１４１ｂ、１４１ｃ、１４１ｄ、１４２ａ、１４２ｂ、１４２ｃ、１４２ｄ ワイヤー
１５１ａ、１５１ｂ、１５１ｃ、１５１ｄ、１５２ａ、１５２ｂ、１５２ｃ、１５２ｄ ワイヤーボンディング

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】