特開 2024-122230 電装冷却装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024122230

(43)【公開日】2024-09-09

(54)【発明の名称】電装冷却装置

(51)【国際特許分類】

   B23Q 11/12 20060101AFI20240902BHJP

   B23Q 11/10 20060101ALI20240902BHJP

   B24B 55/00 20060101ALI20240902BHJP

   B24B 57/02 20060101ALI20240902BHJP

   B24B 55/06 20060101ALI20240902BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20240902BHJP

【ＦＩ】

B23Q11/12 Z

B23Q11/10 E

B24B55/00

B24B57/02

B24B55/06

H01L21/304 631

【審査請求】未請求

【請求項の数】2

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023029667

(22)【出願日】2023-02-28

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110001014

【氏名又は名称】弁理士法人東京アルパ特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】田部 政典

【テーマコード（参考）】

3C011

3C047

5F057

【Ｆターム（参考）】

3C011EE09

3C047FF04

3C047FF15

3C047GG01

3C047HH11

5F057AA39

5F057AA48

5F057AA49

5F057CA13

5F057DA11

5F057FA48

5F057GA05

(57)【要約】

【課題】電装ボックス内に収容された電気制御機器を効果的に冷却してその耐久性を高めることができる電装冷却装置を提供すること。
【解決手段】チャックテーブル（保持テーブル）１１を有する保持ユニット１０と、ウェーハ（被加工物）Ｗに研削水（加工液）を供給する研削水供給部（加工液供給部）２０と、ウェーハＷを加工する研削ユニット（加工ユニット）３０と、研削砥石３５ｂとチャックテーブル１１とを収容する加工室Ｓと、電気制御機器４０，４１を集約した電装ボックス４０とを備えた研削装置（加工装置）１に配設される電装冷却装置５０は、加工室Ｓから排出される研削水の排水（排液）を、電気制御機器４１，４２を経由して流す排水管（排液管）Ｐ３～Ｐ６と、送液ポンプ（送水ポンプ）５４を備え、排液管Ｐ３～Ｐ６を流れる排水と電気制御機器４１，４２との熱交換によって該電気制御機器４１，４２を冷却する。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被加工物を保持する保持テーブルを有する保持ユニットと、
該保持テーブルに保持された被加工物に加工液を供給する加工液供給部と、
該加工液を供給しつつ加工具によって被加工物を加工する加工ユニットと、
該加工具と該保持テーブルとを収容する加工室と、
各駆動部の電気制御機器を集約した電装ボックスと、
を備えた加工装置に配設される電装冷却装置であって、
該加工室から排出される加工液の排液を、該電気制御機器を経由して流す排液管と、
該排液管に排液を送る送液ポンプと、
を備え、該排液管を流れる排液と該電気制御機器との熱交換によって該電気制御機器を冷却する、電装冷却装置。

【請求項2】

該排液を貯める貯液タンクを備え、
該貯液タンクにおける放熱によって温度の下がった該排液を該送液ポンプによって該排液管に送って該電気制御機器を冷却する、請求項１記載の電装冷却装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、被加工物を加工する加工装置に備えられた電装ボックス内に集約された電気制御機器を冷却するための電装冷却装置に関する。

【背景技術】

【0002】

被加工物を加工する加工装置には、加工手段の昇降駆動部や被加工物を保持する保持手段回転駆動部などの各駆動部を制御する電気制御機器を集約した電装ボックスが備えられている。このような電装ボックス内に収容されている電気制御機器は、駆動部を制御するための電気信号の送受信などを行うために発熱するが、電装ボックスの内部は密閉された空間であるため、電気制御機器の発熱によって電装ボックス内の温度が上昇し、その内部に収容されている電気制御機器が高温となり、該電気制御機器の耐久寿命が低下するという問題が発生する。

【0003】

そこで、特許文献１には、例えば、研削装置の研削ホイールや被加工物を保持する保持テーブルなどを覆う加工室カバーの内部の加工室の排気口に一端が接続された排気管を電装ボックス内に配置するとともに、該排気管の他端をファンなどの排気手段に接続し、排気手段によって排気管の空気を吸引することによって、被加工物の加工中に加工室内に発生する加工液のミストを含む空気を排気管に流し、電装ボックス内の空気と排気管を流れる空気との熱交換によって電装ボックス内に電気制御機器を冷却するようにした電装冷却装置が提案されている。

【0004】

また、特許文献２には、ワークが貼着された拡張テープを拡張しつつ冷却する冷却分割手段を備えた冷却分割ボックスと、各駆動部を制御する電気制御機器を集約した電装ボックスを備える加工装置において、冷却分割手段において使用された冷気を電装ボックス内に供給することによって、該電装ボックス内に収容されて電気制御機器を冷却してその温度上昇を抑えるようにした電装冷却装置が提案されている。

【0005】

さらに、特許文献３には、工作機械本体を制御する各種電気機器を収容した制御盤の制御盤ケースの内外に内部冷却水パイプと外部冷却水パイプを密着してそれぞれ配設し、工作機械本体で使用するエアを内部冷却パイプと外部冷却パイプに通すことによって、電気機器を冷却するようにした工作機械の制御盤が提案されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２０００－００５９５５号公報

【特許文献2】特開２０１３－０３８２０３号公報

【特許文献3】特開２０００－００５９５５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかしながら、特許文献１において提案された電装冷却装置においては、加工液のミストを含む空気（加工排気）は、加工熱によって温められているため、この空気（加工排気）と電装ボックス内の空気との熱交換効率が低く、電気制御機器を効果的に冷却することができないという問題がある。

【0008】

また、特許文献２において提案された電装冷却装置は、テープを冷却するための冷却分割手段を備えている加工装置に対してしか適用することができず、その適用範囲が限定されるという問題がある。

【0009】

さらに、特許文献３において提案された工作機械の制御盤においては、特に外部冷却水パイプを流れるエアと制御盤ケース内のエアとの熱交換が制御盤ケースを介して行われるため、熱交換効率が悪く、制御盤ケース内に収容された電気機器を十分冷却することができないという問題がある。

【0010】

本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、その目的は、加工液の排液を有効に利用して電装ボックス内に収容された電気制御機器を効果的に冷却してその耐久性を高めることができる電装冷却装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0011】

上記目的を達成するための本発明は、被加工物を保持する保持テーブルを有する保持ユニットと、該保持テーブルに保持された被加工物に加工液を供給する加工液供給部と、該加工液を供給しつつ加工具によって被加工物を加工する加工ユニットと、該加工具と該保持テーブルとを収容する加工室と、各駆動部の電気制御機器を集約した電装ボックスと、を備えた加工装置に配設される電装冷却装置であって、該加工室から排出される加工液の排液を、該電気制御機器を経由して流す排液管と、該排液管に排液を送る送液ポンプと、を備え、該排液管を流れる排液と該電気制御機器との熱交換によって該電気制御機器を冷却することを特徴とする。

【発明の効果】

【0012】

本発明によれば、加工室から排出される加工液の廃液を送水ポンプによって排液管に送り、この排液管に送られる排液が電装ボックス内の電気制御機器を経由して電装ボックス内を流れるため、電装ボックス内において排液と電気制御機器との熱交換によって電気制御機器が冷却される。つまり、電気制御機器が排液によって冷却されてその温度上昇が抑えられるため、加工室から排出される排液を有効に利用して電気制御機器の耐久性を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】本発明に係る電装冷却装置を備える研削装置の一部を破断して示す斜視図である。

【図2】図１に示す研削装置の側断面図（Ｙ軸方向で切断した断面図をＸ軸方向から見た図）である。

【図3】本発明に係る電動冷却装置の電装ボックスの背面断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。

【0015】

まず、本発明に係る電装冷却装置を備える加工装置の一形態としての研削装置の構成を図１及び図２に基づいて説明する。
[研削装置の構成]

【0016】

図１は本発明に係る電動冷却装置を備える研削装置の一部を破断して示す斜視図、図２は図１に示す研削装置の側断面図（Ｙ軸方向で切断した断面図をＸ軸方向から見た図）である。なお、以下の説明においては、図１に示す矢印方向をそれぞれＸ軸方向（前後方向）、Ｙ軸方向（左右方向）、Ｚ軸方向（上下方向）とする。

【0017】

図１に示す研削装置１は、被加工物である円板状のウェーハＷを研削加工するものであって、次の構成要素を備えている。すなわち、研削装置１は、ウェーハＷを保持する保持テーブル（以下、「チャックテーブル」と称する）１１を備える保持ユニット１０と、チャックテーブル１１に保持されたウェーハＷに加工液（以下、「研削水」と称する）を供給する加工液供給部（以下、「研削水供給部」と称する）２０と、研削水を供給しつつ加工具である後述の研削砥石３５ｂ（図２参照）を加工（研削）する加工ユニット（以下、「研削ユニット」と称する）３０と、研削砥石３５ｂとチャックテーブル１１とを収容する加工室Ｓ（図２参照）と、各駆動部の電気制御機器４１，４２（図２及び図３参照）を集約した電装ボックス４０と、本発明に係る電装冷却装置５０を主要な構成要素として備えている。

【0018】

ここで、ウェーハＷは、単結晶のシリコン母材で構成されており、図１に示す状態において下方を向いている表面には、複数の不図示のデバイスが形成されており、これらのデバイスは、ウェーハＷの表面に貼着された保護テープＴによって保護ざれている。そして、ウェーハＷは、その表面（図１においては下面）がチャックテーブル１１の保持面に吸引保持され、裏面（図１においては上面）が研削水の供給を受けながら研削ユニット３０の研削砥石３５ｂ（図２参照）によって研削される。

【0019】

次に、研削装置１の主要な構成要素である保持ユニット１０、研削水供給部２０、研削ユニット３０、加工室Ｓ及び電装冷却装置５０の構成についてそれぞれ説明する。

【0020】

（保持ユニット）
保持ユニット１０は、垂直な軸心ＣＬ１（図２参照）を中心として回転可能な円板状のチャックテーブル１１を備えており、このチャックテーブル１１の中央部には、多孔質のセラミックなどで構成された円板状のポーラス部材１１Ａが組み込まれている。そして、ポーラス部材１１Ａは、その上面が円板状のウェーハＷを吸引保持する保持面を構成しており、このポーラス部材１０Ａは、真空ポンプなどの吸引源１２（図２参照）に選択的に接続される。

【0021】

ここで、チャックテーブル１１は、図２に示す回転機構１３によって軸心ＣＬ１を中心として回転駆動される。すなわち、チャックテーブル１１は、図２に示すように、その中心から垂直下方に向かって一体に延びるシャフト１４を備えており、このシャフト１４が回転機構１３を構成するサーボモータ１５によって所定の速度で回転駆動される。なお、回転機構１３には、サーボモータ１５の回転数や回転角度、回転方向などを検出するエンコーダ１６が設けられている。

【0022】

ところで、本実施の形態に係る研削装置１は、図１に示すように、Ｙ軸方向（前後方向）に長い矩形ボックス状のベース１００を備えており、このベース１００に開口するＹ軸方向に長い矩形の開口部１００ａにはチャックテーブル１１が臨んでいる。そして、ベース１００の上面に開口する開口部１００ａのチャックテーブル１１の周囲は、矩形プレート状のカバー１７によって覆われており、開口部１００ａのカバー１７の前後（－Ｙ方向と＋Ｙ方向）の部分は、カバー１７と共に移動して伸縮する蛇腹状の伸縮カバー１８，１９（図２参照）によってそれぞれ覆われている。したがって、チャックテーブル１１がＹ軸上のどの位置にあっても、開口部１００ａは、カバー４と伸縮カバー１８，１９によって常に閉じられており、異物が開口部１００ａからベース１００内に侵入することがない。

【0023】

また、図示しないが、ベース１００の内部には、チャックテーブル１１を図２の左右方向（Ｙ軸方向）に移動させる水平移動機構が収容されている。なお、この水平移動機構は、周知のボールネジ機構によって構成されているため、これについての詳細な説明は省略する。

【0024】

（研削水供給部）
研削水供給部２０は、研削加工中のウェーハＷと研削砥石３５ｂとの接触部（加工部）に研削水を供給するものであって、図２に示すように、研削水供給源２１と、該研削水供給源２１から延びる配管２２と、該配管２２の端部に取り付けられたノズル２３によって構成されている。なお、ノズル２３は、後述の加工室Ｓ内に収容されて研削加工中のウェーハＷと研削砥石３５ｂとの接触部（加工部）に研削水を噴射するものであって、このノズル２３から噴射される研削水によって、研削によって発生した研削屑が除去されるとともに、ウェーハＷと研削砥石３５ｂとの接触部（加工部）に発生する摩擦熱が奪われて該接触部が冷却される。なお、研削水を後述のスピンドルモータ３２などの軸中心を経て研削砥石３５ｂの中心部からウェーハＷの中心に向けて噴射する方式を採用してもよい。ここで、研削水には、純水が好適に用いられる。

【0025】

（研削ユニット）
研削ユニット３０は、ホルダ３１に収容されたスピンドモータ３２と、該スピンドルモータ３２によって鉛直な回転軸心ＣＬ２を中心として回転駆動されるスピンドル３３と、該スピンドル３３の下端に取り付けられた円板状のマウント３４（図２参照）と、該マウント３４の下面に着脱可能に装着された研削ホイール３５（図２参照）とを備えている。ここで、図２に示すように、研削ホイール３５は、円板状の基台３５ａと、該基台３５ａの下面に円環状に取り付けられた複数の研削砥石３５ｂによって構成されている。なお、研削砥石３５ｂは、ウェーハＷを研削するための加工具であって、その下面は、ウェーハＷに接触する研削面を構成している。

【0026】

ところで、研削ユニット３０は、垂直移動機構２によって鉛直方向（Ｚ軸方向）に沿って昇降動可能であって、この垂直移動機構２は、ベース１００の上面の＋Ｙ軸方向端部（後端部）上に垂直に立設された矩形ボックス状のコラム１０１の－Ｙ軸方向端面（前面）に配置されている。この垂直移動機構２は、研削ユニット３０に設けられたホルダ３１の背面に取り付けられた矩形プレート状の昇降板３を、ホルダ３１及び該ホルダ３１に保持されたスピンドル３３と研削ホイール３５と共に左右一対のガイドレール４に沿ってＺ軸方向に昇降動させる機構である。ここで、左右一対のガイドレール４は、コラム１０１の前面に垂直且つ互いに平行に配設されている。

【0027】

また、左右一対のガイドレール４の間には、回転可能なボールネジ５がＺ軸方向（上下方向）に沿って垂直に立設されており、該ボールネジ５の上端は、駆動源である正逆転可能なサーボモータ６に連結されている。ここで、サーボモータ６は、コラム１０１の上面に取り付けられた矩形プレート状のブラケット７を介して縦置き状態で取り付けられている。また、ボールネジ５の下端は、軸受８（図２参照）によってコラム１０１に回転可能に支持されており、このボールネジ５には、昇降板３の背面に後方（＋Ｙ軸方向）に向かって水平に突設されたナット部材９（図２参照）が螺合している。

【0028】

したがって、サーボモータ６を駆動してボールネジ５を正逆転させれば、このボールネジ５に螺合するナット部材９が取り付けられた昇降板３が研削ユニット３０と共にＺ軸に沿って上下動する。

【0029】

（加工室）
図１に示すように、ベース１００上には、チャックテーブル１１を周囲から覆う矩形ボック状の加工室カバー３６が設置されており、この加工室カバー３６の内部に形成された加工室Ｓには、図２に示すように、チャックテーブル１１と、加工ユニット３０の下端部（スピンドル３３とマウント３４及び研削ホイール３５）及びノズル２３が収容されている。なお、加工室カバー３６の天板３６Ａには、加工ユニット３０のスピンドル３３が貫通するための円孔３６ａが形成されている。また、加工室カバー３６の－Ｙ軸方向の前板３６Ｂの一部には、チャックテーブル１１の通過を許容する矩形の開口部３６ｂが形成されている。

【0030】

（電装ボックス）
電装ボックス４０は、ベース１００上の後端部（＋Ｙ軸方向端部）に垂直に立設された矩形のボックスであって、その内部には、図２に示すように、各駆動部、具体的には、スピンドルモータ３２などを駆動制御する２つの電気制御機器４１と、チャックテーブル１１の回転機構１３を構成するサーボモータ１５やエンコーダ１６などを駆動制御する６つの電気制御機器４２が集約して収容されている。

【0031】

（電装冷却装置）
本発明に係る電装冷却装置５０は、加工室Ｓ内において研削加工に供された研削水（以下、「排水」と称する）によって電装ボックス４０内の電気制御機器４１，４２を冷却するものである。

【0032】

この電装冷却装置５０は、研削装置１のベース１００の横に設置された矩形ボックス状の貯水タンク５１と、加工室カバー３６の出口プラグ５２から延びて貯水タンク５１の上部の入口プラグ５３へと接続された第１排水管Ｐ１と、貯水タンク５１上に設置された送水ポンプ５４と、該送水ポンプ５４の吐出プラグ５５から延びて電装ボックス４０の下部の入口プラグ５６へと接続された第２排水管Ｐ２と、図３に示すように、電装ボックス４０内で入口プラグ５６から左側（＋Ｘ軸側）を垂直上方に立ち上がる第３排水管Ｐ３と、電装ボックス５０内で右側（－Ｘ軸側）に配された第４排水管Ｐ４と、一方（上側）の２つの電気制御機器４１の上側を横方向に横切って第３排水管Ｐ３と第４排水管Ｐ４とを接続する水平な第５排水管Ｐ５と、２つの電気制御機器４１とその下方に配置された６つの電気制御機器４２の間を横方向に横切って第３排水管Ｐ３と第４排水管Ｐ４とを接続する水平な第６排水管Ｐ６を含んで構成されている。なお、第４排水管Ｐ４の下端は、出口プラグ５７に接続された第７排水管Ｐ７に接続されており、第７排水管Ｐ７は、不図示の排水処理部に接続されている。また、貯水タンク５１は、排水の流れ方向において送水ポンプ５４の上流側に配置されている。

【0033】

［ウェーハの研削方法］
次に、以上のように構成された研削装置１とこれに設けられた本発明に係る電装冷却装置５０の作用について説明する。

【0034】

研削装置１においてウェーハＷを研削するには、チャックテーブル１１の保持面の該チャックテーブル１１の回転軸心ＣＬ１とウェーハＷの中心とを重ならせた位置でウェーハＷが保持面に吸引保持される。すなわち、ウェーハＷが上述のようにチャックテーブル１１の保持面の回転軸心ＣＬ１とウェーハＷの中心とを一致させる所定位置に保護テープＴ（図１参照）を下にして載置されると、チャックテーブル１１のポーラス部材１１Ａが図２に示す吸引源１２に接続される。すると、ポーラス部材１１Ａが吸引源１２によって真空引きされて該ポーラス部材１１Ａに負圧が発生するため、この負圧に引かれてウェーハＷがチャックテーブル１１の保持面に吸引保持される。

【0035】

上述のように、ウェーハＷがチャックテーブル１１の保持面に吸引保持されると、該ウェーハＷの上面（裏面）が研削ユニット３０によって所定の厚みになるまで研削される。すなわち、不図示の水平移動機構が駆動されてチャックテーブル１１が＋Ｙ軸方向（後方）に移動し、該チャックテーブル１１の保持面に吸引保持されているウェーハＷが研削ユニット３０の研削ホイール３５の下方に位置決めされる。

【0036】

上記状態から、チャックテーブル１１が回転機構１３によって回転軸心ＣＬ１を中心として所定の速度で回転駆動されるとともに、研削ユニット３０のスピンドルモータ３２が起動されて研削ホイール３５が垂直な回転軸心ＣＬ２を中心として所定の速度でチャックテーブル１１と同方向に回転駆動される。

【0037】

上述のようにチャックテーブル１１と研削ホイール３５が所定の速度で同方向に回転している状態から、垂直移動機構２によって研削ユニット３０を鉛直下方（－Ｚ軸方向）に研削砥石３５ｂの研削面（下面）がチャックテーブル１１の保持面に吸引保持されたウェーハＷの上面に接触する位置まで移動させる。すると、チャックテーブル１１の回転によって、該チャックテーブル１１に保持されたウェーハＷの上面（裏面）が研削砥石３５ｂによって研削されるが、このウェーハＷの研削加工においては、研削水供給部２０からの研削水がノズル２３からウェーハＷと研削砥石３５ｂとの接触部（加工部）に向けて噴射される。すなわち、研削水供給部２０の研削水供給源２１からの研削水は、配管２２を通って加工室Ｓ内に配置されたノズル２３へと至り、該ノズル２３からウェーハＷと研削砥石３５ｂとの接触部（加工部）に向けて噴射されて該接触部の洗浄と冷却に供される。

【0038】

ところで、ウェーハＷの研削加工中にノズル２３からウェーハＷと研削砥石３５ｂとの接触部（加工部）に向けて噴射されて該接触部の洗浄と冷却に供された研削水は、図２に示すように、ウェーハＷと研削ホイール３５（研削砥石３５ｂ）の回転に伴う遠心力によって加工室Ｓにおいて周囲に飛散するが、この研削水は、以下に説明するように、本発明に係る電装冷却装置５０において、電装ボックス４０内に収容された複数の電気制御機器４１，４２の冷却に供される。

【0039】

すなわち、電装冷却装置５において、送水ポンプ５４が駆動されると、貯水タンク５１内が負圧となるため、加工室Ｓにおいて周囲に飛散して該加工室Ｓの底部に滞留する研削水（以下、「排水」と称する）は、第１排水管Ｐ１を通って貯水タンク５１内へと流れ、該貯水タンク５１内に貯留される。この貯水タンク５１においては、その退部に貯留された排水は、貯水タンク５１の表面から大気中への放熱によって冷却され、この冷却された排水は、送水ポンプによって昇圧されて第２排水管Ｐ２を通って電装ボックス４０内に配置された第３排水管Ｐ３へと送られる。なお、貯水タンク５１の放熱性を高めるために該貯水タンク５１の表面に放熱フィンを設けてもよい。また、貯水タンク５１は、その放熱性を高めるために熱伝導率の高い金属（例えば、銅やアルミニウムなど）で構成することが望ましい。

【0040】

上述のように、電装ボックス４０において、第３排水管Ｐ３へと送られた排水は、図３に矢印にて流れ方向を示すように、第３排水管Ｐ３を上方に向かって流れ、その一部が第５排水管Ｐ５を通って第４排水管Ｐ４へと流れ、他の一部が第６排水管Ｐ６を通って第４排水管Ｐ４へと流れる。そして、第４排水管Ｐ４へと流れ込んだ排水は、該第４排水管Ｐ
４を下方に向かって流れた後、その流れ方向が水平に曲げられて出口プラグ５７へと向かい、該出口プラグ５７に接続された第７排水管Ｐ７から電装ボックス４０外へと排出され、不図示の排水処理部に向かって流れる。

【0041】

以上のように、ウェーハＷの研削加工中にノズル２３からウェーハＷと研削砥石３５ｂとの接触部（加工部）に向けて噴射されて該接触部の洗浄と冷却に供された研削水は、排水として貯水タンク５１に貯留されて放熱によって冷却された後、送水ポンプ５４によって電装ボックス４０内へと導入され、電装ボックス４０内においては、電気制御機器４１，４２の周囲を流れてこれらの電気制御機器４１，４２を冷却するため、複数の電気制御機器４１，４２の温度上昇が低く抑えられる。このため、複数の電気制御機器４１，４２の過熱による耐久寿命の低下が防がれ、これらの電気制御機器４１，４２の耐久性が高められる。

【0042】

なお、本実施形態では、電装ボックス４０から第７排水管Ｐ７へと排出される排水を不図示の排水処理部へと送る（放水する）ようにしたが、この排水に含まれる研削屑を除去した後、この排水を研削水供給源２１へと戻して再利用するようにしてもよい。

【0043】

また、以上の実施の形態では、研削装置に備えられた電装冷却装置に対して本発明を適用した形態について説明したが、本発明は、加工液を使用する切削装置、バイト切削装置または、研磨装置などの任意の加工装置に備えられた電装冷却装置に対しても同様に適用可能である。

【0044】

その他、本発明は、以上説明した実施の形態に適用が限定されるものではなく、特許請求の範囲及び明細書と図面に記載された技術的思想の範囲内で種々の変形が可能であることは勿論である。

【符号の説明】

【0045】

１：研削装置（加工装置）、２：垂直移動機構、３：昇降板、４：ガイドレール、
５：ボールネジ、６：サーボモータ、７：ブラケット、８：軸受、９：ナット部材、
１０：保持ユニット、１１：チャックテーブル（保持テーブル）、
１１Ａ：ポーラス部材、１２：吸引源、１３：回転機構、１４：シャフト、
１５：サーボモータ、１６：エンコーダ、１７：カバー、１８，１９：伸縮カバー、
２０：研削水供給部（加工液供給部）、２１：研削水供給源、２２：配管、
２３：ノズル、３０：研削ユニット（加工ユニット）、３１：ホルダ、
３２：スピンドルモータ、３３：スピンドル、３４：研削ホイール、３５ａ：基台、
３５ｂ：研削砥石（加工具）、３６：加工室カバー、３６Ａ：天板、３６ａ：円孔、
３６Ｂ：前板、３６ｂ：開口部、４０：電装ボックス、４１，４２：電気制御機器、
５０：電装冷却装置、５１：貯水タンク（貯液タンク）、５２：出口プラグ、
５３：入口プラグ、５４：送水ポンプ（送液ポンプ）、５５：吐出プラグ、
５６：入口プラグ、５７：出口プラグ、１００：ベース、１００ａ：ベースの開口部、
１０１：コラム、
ＣＬ１：チャックテーブルの回転軸心、ＣＬ２：スピンドルの回転軸心、
Ｐ１：第１排水管、Ｐ２：第２排水管、Ｐ３：第３排水管、Ｐ４：第４排水管、
Ｐ５：第５排水管、Ｐ６：第６排水管、Ｐ７：第３排水管、Ｓ：加工室、
Ｔ：保護テープ、Ｗ：ウェーハ（被加工物）

【図1】

【図2】

【図3】