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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024122507
(43)【公開日】2024-09-09
(54)【発明の名称】発光装置、蓋体の製造方法
(51)【国際特許分類】
H01S 5/02208 20210101AFI20240902BHJP
H01S 5/02257 20210101ALI20240902BHJP
F21S 2/00 20160101ALI20240902BHJP
F21V 17/00 20060101ALI20240902BHJP
F21Y 115/10 20160101ALN20240902BHJP
F21Y 115/30 20160101ALN20240902BHJP
【ＦＩ】
H01S5/02208
H01S5/02257
F21S2/00 100
F21V17/00 150
F21V17/00 500
F21Y115:10 300
F21Y115:30
【審査請求】未請求
【請求項の数】13
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023030076
(22)【出願日】2023-02-28
(71)【出願人】
【識別番号】000226057
【氏名又は名称】日亜化学工業株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100107766
【弁理士】
【氏名又は名称】伊東 忠重
(74)【代理人】
【識別番号】100070150
【弁理士】
【氏名又は名称】伊東 忠彦
(72)【発明者】
【氏名】北島 忠征
(72)【発明者】
【氏名】▲高▼鶴 一真
【テーマコード（参考）】
3K011
5F173
【Ｆターム（参考）】
3K011AA01
3K011HA01
3K011JA01
3K011LA05
5F173MA10
5F173MC01
5F173MC12
5F173MD05
5F173MD07
5F173ME02
5F173ME22
5F173ME33
5F173MF03
5F173MF40
(57)【要約】
【課題】発光素子から出射される光の方向において、発光装置を小型化する。
【解決手段】本発光装置は、基部と、前記基部の上面に配置され、光を側方に出射する発光素子と、前記基部と接合し、前記発光素子の周囲を囲う側部及び上方を覆う上部を有する蓋体と、を備え、前記蓋体は、前記側方に出射した前記光が入射する入射面を有し、少なくとも一部が前記上部に含まれている波長変換部と、前記光と同じ波長範囲の光を遮光する遮光部と、を有し、前記遮光部は、前記発光素子の光出射点を通り、前記発光素子から出射される光軸上を通る光が進む方向である光軸方向と平行な直線上に位置し、前記遮光部の少なくとも一部は、前記波長変換部よりも前記光軸方向に離れた位置に設けられている。
【選択図】図４
【解決手段】本発光装置は、基部と、前記基部の上面に配置され、光を側方に出射する発光素子と、前記基部と接合し、前記発光素子の周囲を囲う側部及び上方を覆う上部を有する蓋体と、を備え、前記蓋体は、前記側方に出射した前記光が入射する入射面を有し、少なくとも一部が前記上部に含まれている波長変換部と、前記光と同じ波長範囲の光を遮光する遮光部と、を有し、前記遮光部は、前記発光素子の光出射点を通り、前記発光素子から出射される光軸上を通る光が進む方向である光軸方向と平行な直線上に位置し、前記遮光部の少なくとも一部は、前記波長変換部よりも前記光軸方向に離れた位置に設けられている。
【選択図】図４
【特許請求の範囲】
【請求項1】
基部と、
前記基部の上面に配置され、光を側方に出射する発光素子と、
前記基部と接合し、前記発光素子の周囲を囲う側部及び上方を覆う上部を有する蓋体と、を備え、
前記蓋体は、前記側方に出射した前記光が入射する入射面を有し、少なくとも一部が前記上部に含まれている波長変換部と、前記光と同じ波長範囲の光を遮光する遮光部と、を有し、
前記遮光部は、前記発光素子の光出射点を通り、前記発光素子から出射される光軸上を通る光が進む方向である光軸方向と平行な直線上に位置し、
前記遮光部の少なくとも一部は、前記波長変換部よりも前記光軸方向に離れた位置に設けられている、発光装置。
前記基部の上面に配置され、光を側方に出射する発光素子と、
前記基部と接合し、前記発光素子の周囲を囲う側部及び上方を覆う上部を有する蓋体と、を備え、
前記蓋体は、前記側方に出射した前記光が入射する入射面を有し、少なくとも一部が前記上部に含まれている波長変換部と、前記光と同じ波長範囲の光を遮光する遮光部と、を有し、
前記遮光部は、前記発光素子の光出射点を通り、前記発光素子から出射される光軸上を通る光が進む方向である光軸方向と平行な直線上に位置し、
前記遮光部の少なくとも一部は、前記波長変換部よりも前記光軸方向に離れた位置に設けられている、発光装置。
【請求項2】
前記波長変換部は、その側面において前記入射面である入射側面を有し、前記入射側面に入射した光を波長変換した光を上方に出射する上面を備える、請求項１に記載の発光装置。
【請求項3】
前記蓋体の上面は、その少なくとも一部に前記波長変換部の上面を含み、
前記蓋体の内側面は、その少なくとも一部に前記入射側面を含む、請求項２に記載の発光装置。
前記蓋体の内側面は、その少なくとも一部に前記入射側面を含む、請求項２に記載の発光装置。
【請求項4】
前記蓋体の外側面は、その全面が前記遮光部の外側面によって構成される、請求項１に記載の発光装置。
【請求項5】
前記光軸方向において、前記入射側面から前記発光素子の出射端面までの距離は、前記波長変換部の上面の前記出射端面に最も近い点から前記出射端面までの距離よりも長い、請求項２に記載の発光装置。
【請求項6】
前記基部の上面に垂直な方向において、前記波長変換部の高さは、前記基部と前記蓋体とが形成する閉鎖空間の高さよりも高い、請求項１に記載の発光装置。
【請求項7】
前記光軸方向において、前記波長変換部の側に位置する前記側部の内側面から外側面までの幅は、前記波長変換部とは反対側に位置する前記側部の内側面から外側面までの幅よりも広い、請求項１に記載の発光装置。
【請求項8】
前記蓋体の下面は、その少なくとも一部に前記波長変換部の下面を含み、
上面視で、前記波長変換部の下面の形状と前記波長変換部の上面の形状は異なる、請求項２に記載の発光装置。
上面視で、前記波長変換部の下面の形状と前記波長変換部の上面の形状は異なる、請求項２に記載の発光装置。
【請求項9】
上面視で、前記遮光部は、前記発光素子の上面の８０％以上を覆う、請求項１に記載の発光装置。
【請求項10】
前記波長変換部は、上方側では互いに接続し、下方側ではそれぞれが前記入射側面と接続する、第１側面及び第２側面を備え、
前記波長変換部は、前記第１側面及び前記第２側面が前記遮光部に覆われて露出せず、前記入射側面は前記遮光部に覆われずに露出する、請求項２に記載の発光装置。
前記波長変換部は、前記第１側面及び前記第２側面が前記遮光部に覆われて露出せず、前記入射側面は前記遮光部に覆われずに露出する、請求項２に記載の発光装置。
【請求項11】
前記発光素子の出射端面の反対側に位置する前記発光素子の側面は、前記遮光部と対向する、請求項１に記載の発光装置。
【請求項12】
前記波長変換部及び前記遮光部は、セラミックスを主材料に形成される、請求項１に記載の発光装置。
【請求項13】
上面視で、所定間隔で２次元に配置された複数の波長変換部と、各々の前記波長変換部の側面を取り囲む１つの遮光部と、を有するウェハを準備する工程と、
前記ウェハを貫通しないように、各々の前記波長変換部の一部、及び前記遮光部の一部を除去し、前記ウェハの下面側に開口する複数の開口部を形成する工程と、
前記波長変換部及び前記開口部を１つずつ含むように、前記遮光部を切断し、前記ウェハを個片化する工程と、を有する、蓋体の製造方法。
前記ウェハを貫通しないように、各々の前記波長変換部の一部、及び前記遮光部の一部を除去し、前記ウェハの下面側に開口する複数の開口部を形成する工程と、
前記波長変換部及び前記開口部を１つずつ含むように、前記遮光部を切断し、前記ウェハを個片化する工程と、を有する、蓋体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、発光装置、蓋体の製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１には、発光素子であるレーザダイオードを有し、レーザダイオードから出射された光を波長変換体に入射し、波長変換体に入射した光を異なる波長の光に変換して外部に出射する発光装置が開示されている。特許文献１に開示の発光装置では、波長変換体を固定するための凹形状の嵌合部を基板に設け、嵌合部に波長変換体を嵌め込むようにして固定している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１６－１６７４９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
上記のような発光装置は、レーザダイオードから出射されるレーザ光の進行方向と、発光装置から出射される光の進行方向が同じ方向である。このような発光装置では、波長変換体によって変換される光の光量を増やしたい場合は、波長変換体をレーザ光の進行方向に大きくする必要があり、発光装置が大型化する。
【0005】
あるいは、別の観点からは、上記のような発光装置では、波長変換体を嵌め込むための嵌合部を必要とするため、基板が複雑な形状になる。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本開示の一実施形態に係る発光装置は、基部と、前記基部の上面に配置され、光を側方に出射する発光素子と、前記基部と接合し、前記発光素子の周囲を囲う側部及び上方を覆う上部を有する蓋体と、を備え、前記蓋体は、前記側方に出射した前記光が入射する入射面を有し、少なくとも一部が前記上部に含まれている波長変換部と、前記光と同じ波長範囲の光を遮光する遮光部と、を有し、前記遮光部は、前記発光素子の光出射点を通り、前記発光素子から出射される光軸上を通る光が進む方向である光軸方向と平行な直線上に位置し、前記遮光部の少なくとも一部は、前記波長変換部よりも前記光軸方向に離れた位置に設けられている。
【0007】
本開示の一実施形態に係る蓋体の製造方法は、上面視で、所定間隔で２次元に配置された複数の波長変換部と、各々の前記波長変換部の側面を取り囲む１つの遮光部と、を有するウェハを準備する工程と、前記ウェハを貫通しないように、各々の前記波長変換部の一部、及び前記遮光部の一部を除去し、前記ウェハの下面側に開口する複数の開口部を形成する工程と、前記波長変換部、前記開口部を１つずつ含むように、前記遮光部を切断し、前記ウェハを個片化する工程と、を有する。
【発明の効果】
【0008】
本開示の一実施形態によれば、発光素子から出射される光の方向において、発光装置を小型化できる。また、発光装置の小型化を可能とする蓋体の製造方法を提供できる。
【0009】
また、別の観点において、製造の容易な発光装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【図1】第１実施形態に係る発光装置を例示する斜視図である。
【図5】第１実施形態に係る発光装置を例示する上面図である。
【図6】第１実施形態に係る発光装置を例示する下面図である。
【図7】第１実施形態に係る波長変換部を例示する斜視図である。
【図8】第１実施形態に係る蓋体の製造方法を例示する上面図である。
【図9】第１実施形態に係る蓋体の製造方法を例示する断面図（その１）である。
【図10】第１実施形態に係る蓋体の製造方法を例示する断面図（その２）である。
【図11】第１実施形態に係る蓋体の製造方法を例示する断面図（その３）である。
【図12】第１実施形態に係る蓋体の製造方法を例示する断面図（その４）である。
【図13】第１実施形態に係る蓋体の製造方法を例示する断面図（その５）である。
【発明を実施するための形態】
【0011】
以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。なお、以下の説明では、必要に応じて特定の方向や位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、及びそれらの用語を含む別の用語）を用いる。しかし、本明細書で用いる「上」、「下」、等の方向や位置を示す用語は、それぞれの構成、部材の相対的な方向や位置関係を明示するために用いるものであり、例えば使用時における関係と一致していなくてもよい。また、複数の図面に表れる同一符号の部分は同一もしくは同等の部分又は部材を示す。
【0012】
また、本開示において、三角形や四角形等の多角形に関しては、多角形の隅に角丸め、面取り、角取り、丸取り等の加工が施された形状も含めて、多角形と呼ぶものとする。また、隅（辺の端）に限らず、辺の中間部分に加工が施された形状も同様に、多角形と呼ぶものとする。つまり、多角形をベースに残しつつ、部分的な加工が施された形状は、本開示で記載される"多角形"の解釈に含まれるものとする。
【0013】
また、多角形に限らず、台形や円形や凹凸等、特定の形状を表す言葉についても同様である。また、その形状を形成する各辺を扱う場合も同様である。つまり、ある辺において、隅や中間部分に加工が施されていたとしても、"辺"の解釈には加工された部分も含まれる。なお、部分的な加工のない"多角形"や"辺"を、加工された形状と区別する場合は"厳密な"を付して、例えば、"厳密な四角形"等と記載するものとする。
【0014】
さらに、以下に示す実施形態は、本発明の技術思想を具体化するための発光装置等を例示するものであって、本発明を以下に限定するものではない。また、以下に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対的配置等は、特定的な記載がない限り、本発明の範囲をそれのみに限定する趣旨ではなく、例示することを意図したものである。また、一の実施形態において説明する内容は、他の実施形態や変形例にも適用可能である。また、図面が示す部材の大きさや位置関係等は、説明を明確にするため、誇張している場合がある。さらに、図面が過度に複雑になることを避けるために、一部の要素の図示を省略した模式図を用いたり、断面図として切断面のみを示す端面図を用いたりすることがある。
【0015】
＜第１実施形態＞
図１から図７を参照して、第１実施形態に係る発光装置２００について説明する。図１は、第１実施形態に係る発光装置を例示する斜視図である。図２は、図１に示す発光装置から蓋体を取り除いた状態の斜視図である。図３は、図１に示す発光装置から蓋体を取り除いた状態の上面図である。図４は、図１のＩＶ－ＩＶ断面線における発光装置の断面図である。図５は、第１実施形態に係る発光装置を例示する上面図である。なお、図５においては説明の便宜上、破線で発光素子と蓋体の内側面を透過して示している。図６は、第１実施形態に係る発光装置を例示する下面図である。図７は、第１実施形態に係る波長変換部を例示する斜視図である。
図１から図７を参照して、第１実施形態に係る発光装置２００について説明する。図１は、第１実施形態に係る発光装置を例示する斜視図である。図２は、図１に示す発光装置から蓋体を取り除いた状態の斜視図である。図３は、図１に示す発光装置から蓋体を取り除いた状態の上面図である。図４は、図１のＩＶ－ＩＶ断面線における発光装置の断面図である。図５は、第１実施形態に係る発光装置を例示する上面図である。なお、図５においては説明の便宜上、破線で発光素子と蓋体の内側面を透過して示している。図６は、第１実施形態に係る発光装置を例示する下面図である。図７は、第１実施形態に係る波長変換部を例示する斜視図である。
【0016】
発光装置２００は、基部２１１と、発光素子２２０と、蓋体２４０と、を備える。図示される例では、発光装置２００は、さらに上側金属部２３１、下側金属部２３２、保護素子２５０、及び配線２７０を備える。なお、発光装置２００は、これらの構成要素の全てを備えなくてもよい。
【0017】
発光装置２００の各構成要素について説明する。なお、発光装置２００に関して、上側金属部２３１及び下側金属部２３２については、基部２１１と合わせて説明する。
【0018】
図１～図６には、参考のため、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸が示されている。Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸と平行な方向を、それぞれ第１方向Ｘ、第２方向Ｙ、第３方向Ｚとしている。第１方向Ｘ及び第２方向Ｙは基部２１１の上面２１１ａに平行であり、第３方向Ｚは基部２１１の上面２１１ａに垂直である。他の図においても、必要に応じ、同様のＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸を示す場合がある。
【0019】
（基部２１１、上側金属部２３１、下側金属部２３２）
基部２１１は、上面２１１ａ及び下面２１１ｂを有している。上面２１１ａと下面２１１ｂとは、平行であってもよいし、平行でなくてもよい。また、基部２１１は、上面２１１ａ及び下面２１１ｂと接続する１又は複数の側面を有している。１又は複数の側面は、上面２１１ａの外縁と下面２１１ｂの外縁とを接続する。
基部２１１は、上面２１１ａ及び下面２１１ｂを有している。上面２１１ａと下面２１１ｂとは、平行であってもよいし、平行でなくてもよい。また、基部２１１は、上面２１１ａ及び下面２１１ｂと接続する１又は複数の側面を有している。１又は複数の側面は、上面２１１ａの外縁と下面２１１ｂの外縁とを接続する。
【0020】
基部２１１は、例えば、直方体又は立方体である。この場合、基部２１１の上面２１１ａ及び下面２１１ｂは何れも矩形であり、基部２１１は４つの矩形の側面を有する。なお、特に正方形を除外するような言及がされていない限り、矩形には正方形も含まれてよいものとする。基部２１１は、直方体又は立方体でなくてもよい。例えば、基部２１１は、上面視で任意の形状を有する板状であってもよい。なお、基部２１１は、板状には限定されず、上面視で円形、楕円形、多角形等の任意の形状であってもよい。
【0021】
基部２１１は、例えば、絶縁性を有する材料を含有する。基部２１１は、例えば、セラミックスを主材料として形成することができる。例えば、セラミックスとして、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、酸化アルミニウム、又は炭化ケイ素を用いることができる。なお、基部２１１を形成する主材料を、導電性を有する材料としてもよい。例えば、アルミニウム、金、銀、銅、タングステン、鉄、ニッケル、コバルト、若しくはそれらの合金等の金属や、ダイヤモンド、銅ダイヤモンド等の複合材料が挙げられる。
【0022】
基部２１１の上面２１１ａには、上側金属部２３１が設けられている。上側金属部２３１を形成する材料は、例えば、銅である。上側金属部２３１を形成する他の材料として、例えば、銅－タングステン等が挙げられる。上側金属部２３１の厚さは、基部２１１の厚さよりも小さい。上側金属部２３１の厚さは、例えば、３０μｍ以上１２０μｍ以下である。このような厚さにすることにより、発光素子２２０の発する熱を上側金属部２３１で十分に放熱することができる。
【0023】
上側金属部２３１は、上面視で、矩形である上面２１１ａの短辺方向において対向する長辺の一辺側に寄って設けられる。より具体的には、上側金属部２３１は、上面２１１ａの２つの長辺のうち、第２方向Ｙの負方向側の長辺に寄って設けられる。図示する例で、上側金属部２３１は、上面視で矩形である。上側金属部２３１は、上面視で矩形でなくてもよい。
【0024】
基部２１１の下面２１１ｂには、１又は複数の下側金属部２３２が設けられてもよい。基部２１１の下面２１１ｂに下側金属部２３２を設ける場合、下側金属部２３２の厚さは、基部２１１の厚さよりも小さい。また、下側金属部２３２の厚さは、上側金属部２３１の厚さに対して０．８倍以上１．２倍以下であることが好ましい。これにより、基部２１１の上面２１１ａ側と下面２１１ｂ側の応力の偏りを低減することができ、基部２１１に反りが生じることを抑制できる。下側金属部２３２の厚さは、例えば２５μｍ以上１５０μｍ以下である。
【0025】
図６に示すように、発光装置２００では、一例として、基部２１１の下面２１１ｂに、第１下側金属部２３２Ａ、第２下側金属部２３２Ｂ、及び第３下側金属部２３２Ｃを含む複数の下側金属部２３２が設けられている。下面視で、第１下側金属部２３２Ａ及び第２下側金属部２３２Ｂは、共に下面２１１ｂの２つ短辺の１辺に寄って配置される。また、第１下側金属部２３２Ａ及び第２下側金属部２３２Ｂは、短辺方向（第２方向Ｙ）において対向するように配置される。
【0026】
図示する例では、第１下側金属部２３２Ａは、下面２１１ｂにおいて、第１方向Ｘの負方向側で、かつ第２方向Ｙの負方向側に配置されている。第２下側金属部２３２Ｂは、下面２１１ｂにおいて、第１方向Ｘの負方向側で、かつ第１下側金属部２３２Ａよりも第２方向Ｙの正方向側に配置されている。図示する例で、第１方向Ｘ及び第２方向Ｙにおいて、第１下側金属部２３２Ａ及び第２下側金属部２３２Ｂは、同じ大きさである。なお、第１下側金属部２３２Ａ及び第２下側金属部２３２Ｂは、互いに異なる大きさであってよい。
【0027】
下面視で、第３下側金属部２３２Ｃは、第１下側金属部２３２Ａ及び第２下側金属部２３２Ｂと、長辺方向（第１方向Ｘ）において対向するように配置される。より具体的には、第３下側金属部２３２Ｃは、下面２１１ｂにおいて、第１方向Ｘの正方向側に配置され、第１方向Ｘにおいて、第１下側金属部２３２Ａ及び第２下側金属部２３２Ｂと対向する。また、下面視で、第３下側金属部２３２Ｃは、第１下側金属部２３２Ａ及び第２下側金属部２３２Ｂと第１方向Ｘにおいて離隔している。
【0028】
下面２１１ｂの長辺方向（第１方向Ｘ）及び短辺方向（第２方向Ｙ）のいずれにおいても、第３下側金属部２３２Ｃは、第１下側金属部２３２Ａ、第２下側金属部２３２Ｂのそれぞれよりも長い。また、下面視で、第３下側金属部２３２Ｃの面積は、第１下側金属部２３２Ａ及び第２下側金属部２３２Ｂの合計の面積よりも大きい。なお、放熱性の向上のため、第３下側金属部２３２Ｃの面積は、基部２１１の下面２１１ｂの面積の１／２よりも大きいことが望ましい。
【0029】
第１下側金属部２３２Ａは、例えば、基部２１１を貫通するビア配線により上側金属部２３１と電気的に接続される。第２下側金属部２３２Ｂは、例えば、基部２１１を貫通するビア配線により後述する金属膜２６２と電気的に接続される。第１下側金属部２３２Ａ及び第２下側金属部２３２Ｂは、例えば、発光素子２２０と外部電源との電気的な接続に利用することができる。なお、第３下側金属部２３２Ｃには、ビア配線は接続されなくてよい。第３下側金属部２３２Ｃは、電気的にフローティングされていてもよい。
【0030】
基部２１１の上面２１１ａには、金属膜２６１が設けられてもよい。図３に示すように、上面視で、金属膜２６１は、上側金属部２３１と離隔して設けられる。金属膜２６１は、第３方向Ｚにおいて、その厚さが上側金属部２３１の厚さの１／３よりも薄いことが好ましい。上面視で、金属膜２６１は、例えば、上側金属部２３１の周囲を囲むように設けられる。金属膜２６１は、上面視で上側金属部２３１と重ならない。金属膜２６１としては、例えば、Ｎｉ／Ａｕ（Ｎｉ、Ａｕの順で積層した金属膜）やＴｉ／Ｐｔ／Ａｕ（Ｔｉ、Ｐｔ、Ａｕの順で積層した金属膜）等が挙げられる。
【0031】
基部２１１の上面２１１ａには、さらに金属膜２６２が設けられてもよい。図３に示すように、金属膜２６２は、上側金属部２３１と対向して設けられる。より詳細には、金属膜２６２は、上側金属部２３１と第２方向Ｙにおいて対向する。金属膜２６２は、上側金属部２３１よりも第２方向Ｙにおいて正方向側に位置する。上面視で、金属膜２６２は矩形であり、例えば第１方向Ｘの長さが第２方向Ｙよりも長い長方形である。上面視で、金属膜２６２の第１方向Ｘにおける長さは、上側金属部２３１の第１方向Ｘにおける長さと略同じである。上面視で、金属膜２６２の第２方向Ｙにおける長さは、上側金属部２３１の第２方向Ｙにおける長さよりも短い。上面視で、金属膜２６２は、上側金属部２３１及び金属膜２６１と重ならない。図示する例で、金属膜２６１は、金属膜２６２の周囲を囲むように設けられている。
【0032】
図３に示すように、金属膜２６１の上面に、後述する蓋体２４０と接合するための金属接着剤２６３が設けられてもよい。上面視で、金属接着剤２６３は、例えば、上側金属部２３１及び金属膜２６２の周囲を囲むように設けられる。第１方向Ｘに関して、金属接着剤２６３における、上側金属部２３１に対して第１方向Ｘの正方向側に配置される部分の幅は、第１方向Ｘの負方向側に配置される部分の幅よりも広い。また、上面視で、金属接着剤２６３の面積は、金属膜２６１の面積よりも小さい。金属接着剤２６３として、例えばＡｕＳｎを用いることができる。なお、図３では、便宜上、金属接着剤２６３をドットパターンで示している。
【0033】
（蓋体２４０）
蓋体２４０は、上面２４０ａ、背面２４０ｂ、下面２４０ｃ、１又は複数の内側面２４０ｄ、１又は複数の外側面２４０ｅを有している。第３方向Ｚにおいて、背面２４０ｂは上面２４０ａよりも負方向側に位置し、下面２４０ｃは背面２４０ｂよりもさらに負方向側に位置する。上面２４０ａと背面２４０ｂと下面２４０ｃは、平行であってもよいし、平行でなくてもよい。１又は複数の内側面２４０ｄは、背面２４０ｂ及び下面２４０ｃと交わる。１又は複数の外側面２４０ｅは、上面２４０ａ及び下面２４０ｃと交わる。
蓋体２４０は、上面２４０ａ、背面２４０ｂ、下面２４０ｃ、１又は複数の内側面２４０ｄ、１又は複数の外側面２４０ｅを有している。第３方向Ｚにおいて、背面２４０ｂは上面２４０ａよりも負方向側に位置し、下面２４０ｃは背面２４０ｂよりもさらに負方向側に位置する。上面２４０ａと背面２４０ｂと下面２４０ｃは、平行であってもよいし、平行でなくてもよい。１又は複数の内側面２４０ｄは、背面２４０ｂ及び下面２４０ｃと交わる。１又は複数の外側面２４０ｅは、上面２４０ａ及び下面２４０ｃと交わる。
【0034】
ここで、蓋体２４０を、側部２４１と上部２４２とに分けて説明する場合が有る。本明細書において、「側部２４１」は、蓋体２４０のうち、背面２４０ｂに重なり背面２４０ｂに平行な平面よりも下面２４０ｃ側に位置する部分を指す。「上部２４２」は、蓋体２４０のうち、背面２４０ｂに重なり背面２４０ｂに平行な平面よりも上面２４０ａ側に位置する部分を指す。図示する例では、背面２４０ｂよりも第３方向Ｚの負方向側に位置する部分を「側部２４１」とする。背面２４０ｂよりも第３方向Ｚの正方向側に位置する部分を「上部２４２」とする。
【0035】
側部２４１は、例えば、上面視で矩形の枠状である。上部２４２は、例えば、平板形状である。側部２４１の上端側は上部２４２で塞がれ、側部２４１の下端側は開口している。すなわち、蓋体２４０は、上部２４２とは反対側に開口する凹形状である。蓋体２４０の外形は、例えば、上面視で矩形である。蓋体２４０の外形は上面視で矩形である必要はなく、例えば、矩形以外の多角形または円形などであってもよい。
【0036】
蓋体２４０は、波長変換部２４３を有している。波長変換部２４３は、少なくとも一部が側部２４１に含まれている。また、波長変換部２４３は、少なくとも一部が上部２４２に含まれている。波長変換部２４３は、上面２４３ａと、上面２４３ａの反対面である下面２４３ｂと、複数の側面とを有する。上面視で、下面２４３ｂの形状と上面２４３ａの形状は異なる。
【0037】
図７の例では、波長変換部２４３は、複数の側面として、入射側面２４３ｉ、第１側面２４３ｃ、第２側面２４３ｄ、第３側面２４３ｅ、及び第４側面２４３ｆを備えている。波長変換部２４３において、入射側面２４３ｉは光の入射面であり得る。また、上面２４３ａは、入射側面２４３ｉに入射して、波長変換部２４３により波長変換された光を上方に出射する出射面である得る。
【0038】
第１側面２４３ｃ、第２側面２４３ｄ、第３側面２４３ｅ、及び第４側面２４３ｆは、上面２４３ａの外縁と下面２４３ｂの外縁とに接続する。第３側面２４３ｅは、第１側面２４３ｃ及び第４側面２４３ｆとそれぞれ接続する。第４側面２４３ｆは、第２側面２４３ｄ及び第３側面２４３ｅとそれぞれ接続する。第１側面２４３ｃと第４側面２４３ｆは接続しない。第２側面２４３ｄと第３側面２４３ｅは接続しない。
【0039】
第１側面２４３ｃ及び第２側面２４３ｄは、上方側では互いに接続し、下方側ではそれぞれが入射側面２４３ｉと接続する。第１側面２４３ｃと第２側面２４３ｄは、上面２４３ａと垂直な方向における上面２４３ａと下面２４３ｂとの間の中間点よりも上方側で、互いに接続する。また、中間点よりも下方側で、それぞれ入射側面２４３ｉと接続する。例えばこの中間点は、入射側面２４３ｉの最上点である。入射側面２４３ｉの下方側において、入射側面２４３ｉは下面２４３ｂの外縁に接続する。
【0040】
入射側面２４３ｉは、第１側面２４３ｃと第２側面２４３ｄが接続する辺よりも内側に位置する。言い換えると、入射側面２４３ｉは、第１側面２４３ｃと第２側面２４３ｄが接続する辺よりも、第３側面２４３ｅと第４側面２４３ｆが接続する辺側に位置する。つまり、波長変換部２４３は、入射側面２４３ｉにおいて、第１側面２４３ｃと第２側面２４３ｄが接続する辺に対して内側に窪む形状を有する。
【0041】
図示する例で、波長変換部２４３は、入射側面２４３ｉ、第１側面２４３ｃ、及び第２側面２４３ｄと接続する下面を有する。この下面は、上面２４３ａに垂直な方向において、上面２４３ａと下面２４３ｂとの間に位置する。例えばこの下面は平面であり、上面２４３ａ及び下面２４３ｂに平行であり得る。なお、波長変換部２４３は、この下面を有さなくてもよい。例えば、入射側面２４３ｉの上方側において、第１側面２４３ｃと第２側面２４３ｄの接続する辺に向かって傾斜する傾斜面であってもよい。また、この傾斜面は平面でなくてもよく、曲面形状を有していてもよい。例えば、入射側面２４３ｉの上方側において、第１側面２４３ｃと第２側面２４３ｄの接続する辺からの距離が、入射側面２４３ｉの下方側における距離よりも徐々に小さくなってもよい。
【0042】
上面視で、第１側面２４３ｃと第４側面２４３ｆは、平行であってもよい。また、上面視で、第２側面２４３ｄと第３側面２４３ｅは、平行であってもよい。また、上面視で、第１側面２４３ｃと第２側面２４３ｄ、第１側面２４３ｃと第３側面２４３ｅ、第３側面２４３ｅと第４側面２４３ｆ、第４側面２４３ｆと第２側面２４３ｄは、それぞれ垂直であってもよい。
【0043】
蓋体２４０は、遮光部２４４を有している。遮光部２４４は、波長変換部２４３の入射側面２４３ｉを除く各側面の大部分を被覆するように設けることが好ましい。ここでの「大部分」とは、遮光部２４４が、入射側面２４３ｉを除く他の各側面の面積の８０％以上を被覆することを指すものとする。遮光部２４４は、波長変換部２４３の入射側面２４３ｉから入射する光と同じ波長範囲の光を遮光することができる。遮光部２４４は、入射側面２４３ｉから入射する光と同じ波長範囲の光を９０％以上透過させないことが好ましく、９５％以上透過させないことがより好ましく、９９％以上透過させないことがさらに好ましい。なお、ここでの遮光部２４４は、反射性を有するものであってよい。ここで、「反射性を有する」とは、特定の波長を有する光に対して、例えば８０％以上の反射率を有することを指す。
【0044】
蓋体２４０の側部２４１及び上部２４２において、波長変換部２４３を除く部分の全てが遮光部２４４であってもよい。例えば、波長変換部２４３は、第１側面２４３ｃ及び第２側面２４３ｄが遮光部２４４に覆われて露出しない。同様に、例えば、波長変換部２４３は、第３側面２４３ｅ及び第４側面２４３ｆが遮光部２４４に覆われて露出しない。また、例えば、上面２４３ａは遮光部２４４に覆われずに露出する。同様に、例えば、入射側面２４３ｉは遮光部２４４に覆われずに露出する。図示する例では、下面２４３ｂも同様に遮光部２４４に覆われずに露出する。
【0045】
蓋体２４０の上面２４０ａは、その少なくとも一部に波長変換部２４３の上面２４３ａを含む。上面２４３ａを含む蓋体２４０の上面２４０ａは、１つの平面を構成してもよい。蓋体２４０の下面２４０ｃは、その少なくとも一部に下面２４３ｂを含む。下面２４３ｂを含む蓋体２４０の下面２４０ｃは、１つの平面を構成してもよい。蓋体２４０の内側面２４０ｄは、その少なくとも一部に入射側面２４３ｉを含む。前述の入射側面２４３ｉ、第１側面２４３ｃ、及び第２側面２４３ｄと接続する下面は、蓋体２４０の背面２４０ｂの少なくとも一部に含まれてもよい。なお、この下面が傾斜面である場合、この傾斜面は、蓋体２４０の背面２４０ｂ及び内側面２４０ｄの両方又は一方の少なくとも一部に含まれる。また、蓋体２４０の外側面２４０ｅは、その全面が遮光部２４４の外側面によって構成されてもよい。つまり、蓋体２４０の外側面２４０ｅは、波長変換部２４３が露出する領域を有さないようにできる。
【0046】
波長変換部２４３には光が照射されるため、波長変換部２４３の母材は、光の照射により分解されにくい無機材料を主材料に用いて形成することが好ましい。主材料は、例えば、セラミックスである。波長変換部２４３の主材料がセラミックスである場合、セラミックスとしては、例えば、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化ケイ素、酸化イットリウム、酸化ジルコニウム、又は酸化マグネシウムが挙げられる。セラミックスの主材料は、波長変換部２４３に熱による変形や変色等の変質が生じないように、融点が１３００℃～２５００℃の材料を選択することが好ましい。ここで、特定の部材の「主材料」とは、その構成要素において、質量比または体積比で、最も多くの割合を占める材料である。また、「主材料」には、他の材料が含まれない、つまり、主材料のみでその構成要素を形成することも含み得る。なお、波長変換部２４３はセラミックス以外の材料を主材料として形成されていても良い。
【0047】
波長変換部２４３は、蛍光体を含む。波長変換部２４３は、例えば、蛍光体と、酸化アルミニウム等とを焼結させて形成できる。蛍光体の含有量は、セラミックスの総体積に対して０．０５体積％～５０体積％とすることができる。また、例えば、蛍光体の紛体を焼結させた、実質的に蛍光体のみからなるセラミックスを用いてもよい。また、波長変換部２４３は、蛍光体の単結晶で形成されてもよい。
【0048】
蛍光体としては、セリウムで賦活されたイットリウム・アルミニウム・ガーネット（ＹＡＧ）、セリウムで賦活されたルテチウム・アルミニウム・ガーネット（ＬＡＧ）、ユウロピウムで賦活されたシリケート（（Ｓｒ，Ｂａ）２ＳｉＯ４）、αサイアロン蛍光体、βサイアロン蛍光体等が挙げられる。なかでも、ＹＡＧ蛍光体は、耐熱性が良好である。
【0049】
遮光部２４４は、例えば、セラミックスを主材料として形成された焼結体である。主材料に用いられるセラミックスとしては、例えば、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化ケイ素、酸化イットリウム、酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム等が挙げられる。なお、遮光部２４４は、セラミックスを主材料としなくてもよく、例えば、金属や、セラミックスと金属の複合体や、樹脂等を用いて形成されてもよい。
【0050】
蓋体２４０において、波長変換部２４３と遮光部２４４は一体的に形成することができる。つまり、蓋体２４０において、側部２４１と上部２４２は一体的に形成することができる。なお、波長変換部２４３と遮光部２４４を別々に形成し、これらを接合して蓋体２４０を形成してもよい。波長変換部２４３と遮光部２４４とは、例えば、一体焼結体である。
【0051】
なお、蓋体２４０は、上面２４０ａに反射防止膜を有してもよい。また、蓋体２４０は、下面２４０ｃに金属膜を有してもよい。また、波長変換部２４３は、入射側面２４３ｉに、反射膜を有してもよい。
【0052】
（発光素子２２０）
発光素子２２０は、例えば、半導体レーザ素子である。発光素子２２０は、半導体レーザ素子に限らず、例えば、発光ダイオード（ＬＥＤ）や有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）などであってもよい。図示する発光装置２００では、発光素子２２０として、半導体レーザ素子が採用されている。
発光素子２２０は、例えば、半導体レーザ素子である。発光素子２２０は、半導体レーザ素子に限らず、例えば、発光ダイオード（ＬＥＤ）や有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）などであってもよい。図示する発光装置２００では、発光素子２２０として、半導体レーザ素子が採用されている。
【0053】
発光素子２２０は、例えば、上面視で長方形の外形を有する。また、長方形の２つの短辺のうちの一辺と交わる側面が、発光素子２２０から放射される光の出射端面２２０ａとなる。また、発光素子２２０の上面及び下面は、出射端面２２０ａよりも面積が大きい。発光素子２２０の上面には、金属膜が設けられてもよい。この金属膜には、例えば他の部材と導通するための配線等が設けられる。なお、発光素子２２０の上面には、金属膜が設けられていなくてもよい。
【0054】
ここで、発光素子２２０が半導体レーザ素子である場合について説明する。発光素子２２０から放射される光（レーザ光）は拡がりを有し、出射端面と平行な面において楕円形状のファーフィールドパターン（以下「ＦＦＰ」という。）を形成する。ここで、ＦＦＰとは、出射端面から離れた位置における出射光の形状や光強度分布を示す。
【0055】
発光素子２２０から出射される楕円形状の光に基づき、楕円形状の長径を通る方向をＦＦＰの速軸方向、楕円形状の短径を通る方向をＦＦＰの遅軸方向とする。発光素子２２０におけるＦＦＰの速軸方向は、発光素子２２０の活性層を含む複数の半導体層が積層される積層方向と一致し得る。
【0056】
また、発光素子２２０のＦＦＰの光強度分布に基づいて、ピーク強度値に対する１／ｅ２以上の強度を有する光を、主要部分の光と呼ぶものとする。また、この光強度分布において１／ｅ２の強度に相当する角度を拡がり角と呼ぶものとする。ＦＦＰの速軸方向における拡がり角は、ＦＦＰの遅軸方向における拡がり角よりも大きい。
【0057】
また、ＦＦＰの楕円形状の中心を通る光、言い換えると、ＦＦＰの光強度分布においてピーク強度の光を、光軸を進む光、あるいは、光軸を通る光、と呼ぶものとする。また、ＦＦＰの楕円形状の中心を進む光の光路を、その光の光軸、と呼ぶものとする。
【0058】
発光素子２２０として、出射される光が可視光である発光素子を用いることができる。可視光を出射する発光素子としては、例えば青色光、緑色光、及び赤色光を出射する発光素子が挙げられる。ここで、青色光、緑色光、及び赤色光を出射する発光素子とは、出射される光の発光ピーク波長がそれぞれ、４０５ｎｍ～４９４ｎｍ、４９５ｎｍ～５７０ｎｍ、及び６０５ｎｍ～７５０ｎｍの範囲にある発光素子を指すものとする。青色光又は緑色光を出射する発光素子２２０としては、窒化物半導体を含む半導体レーザ素子が挙げられる。窒化物半導体としては、例えば、ＧａＮ、ＩｎＧａＮ、又はＡｌＧａＮを用いることができる。また、赤色光を出射する発光素子２２０として、ＩｎＡｌＧａＰ系やＧａＩｎＰ系、ＧａＡｓ系やＡｌＧａＡｓ系の半導体を含む半導体レーザ素子が挙げられる。
【0059】
なお、発光素子２２０から出射される光の発光ピークは、これに限らなくてよい。例えば、発光素子２２０から出射される光は、前述した色以外の可視光であってもよく、可視光以外に、紫外光、赤外光等を出射する発光素子を用いても良い。
【0060】
（保護素子２５０）
保護素子２５０は、半導体レーザ素子等の特定の素子を保護するための構成要素である。例えば保護素子２５０は、半導体レーザ素子等の特定の素子に過剰な電流が流れて破壊されることを防ぐための構成要素である。保護素子２５０としては、例えば、Ｓｉで形成されたツェナーダイオードを使用できる。また保護素子２５０に加えて、サーミスタなどの温度測定素子を配置してもよい。例えば温度測定素子を配置する場合、温度測定素子は、発光素子２２０の出射端面の近くに配置するのがよい。
保護素子２５０は、半導体レーザ素子等の特定の素子を保護するための構成要素である。例えば保護素子２５０は、半導体レーザ素子等の特定の素子に過剰な電流が流れて破壊されることを防ぐための構成要素である。保護素子２５０としては、例えば、Ｓｉで形成されたツェナーダイオードを使用できる。また保護素子２５０に加えて、サーミスタなどの温度測定素子を配置してもよい。例えば温度測定素子を配置する場合、温度測定素子は、発光素子２２０の出射端面の近くに配置するのがよい。
【0061】
（配線２７０）
配線２７０は、両端を接合部とする線状の形状を有する導電体から構成される。言い換えると、配線２７０は、線状部分の両端に、他の構成要素と接合する接合部を有する。配線２７０は、２つの構成要素間の電気的な接続に用いられる。配線２７０としては、例えば、金属のワイヤを用いることができる。金属としては、例えば、金、アルミニウム、銀、銅、タングステンなどが挙げられる。
配線２７０は、両端を接合部とする線状の形状を有する導電体から構成される。言い換えると、配線２７０は、線状部分の両端に、他の構成要素と接合する接合部を有する。配線２７０は、２つの構成要素間の電気的な接続に用いられる。配線２７０としては、例えば、金属のワイヤを用いることができる。金属としては、例えば、金、アルミニウム、銀、銅、タングステンなどが挙げられる。
【0062】
【0063】
まず、図８に示すように、例えば、上面視で、所定間隔で２次元に配置された複数の波長変換部２４３と、各々の波長変換部２４３の側面を取り囲む１つの遮光部２４４とを有するウェハ２４０Ｗを準備する（第１工程）。複数の波長変換部２４３は、例えば、行列状に配置される。ウェハ２４０Ｗにおいて、各々の波長変換部２４３の上面２４３ａ及び下面は、遮光部２４４から露出している。各々の波長変換部２４３の上面２４３ａと遮光部２４４の上面は、連続する１つの平面を形成してもよい。また、各々の波長変換部２４３の下面と遮光部２４４の下面は、連続する１つの平面を形成してもよい。なお、図８では、便宜上、最終的に切断されて各々の蓋体２４０となる予定の領域を破線Ｃで示している。
【0064】
具体的には、まず、複数の波長変換部２４３を準備し、各々の波長変換部２４３を所定間隔で支持体上に仮止めする。各々の波長変換部２４３は、例えば、蛍光体を含むセラミックスである。次に、支持体上に、各々の波長変換部２４３の上面２４３ａ及び側面を取り囲むように、成形体を形成する。成形体は、例えば、セラミックスを主材料とする光反射粉末を含む。成形体は、スリップキャスト法、ドクターブレード法（シート成形法）、乾式成形法などを用いて成形することができる。次に、支持体から取り外した後、波長変換部２４３及び成形体を所定温度で焼成する。このとき、成形体が波長変換部２４３よりも多くの空隙を含むように、成形体の焼結条件を調整することができる。焼成後、波長変換部２４３の上面２４３ａを覆う成形体を研磨等により除去し、波長変換部２４３の上面２４３ａを露出させる。また、必要に応じ、波長変換部２４３及び成形体の下面側を研磨等により平坦化する。これにより、複数の波長変換部２４３と、各々の波長変換部２４３の側面を取り囲む１つの遮光部２４４とを有するウェハ２４０Ｗが得られる。以降は、図８の破線Ｃで囲まれた１つの領域及びその近傍の縦断面図を用いて説明する。
【0065】
次に、図９に示すように、必要に応じて、ウェハ２４０Ｗの上面全体に反射防止膜２４６を成膜してもよい（第２工程）。反射防止膜２４６は、例えば、Ｎｂ２Ｏ５／ＳｉＯ２、Ｔａ２Ｏ５／ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３／ＳｉＯ２、ＺｒＯ２／ＳｉＯ２、ＺｒＯ２／Ａｌ２Ｏ３等の誘電体多層膜を１または複数積層させて形成することができる。反射防止膜２４６は、例えば、スパッタ法により形成できる。反射防止膜２４６を設けることで、波長変換部２４３の上面２４３ａから外部に出射しようとする光が波長変換部２４３の上面２４３ａで内部に反射されることを抑制でき、波長変換部２４３の上面２４３ａから外部に出射される光の出射効率を高めることができる。
【0066】
次に、図１０に示すように、必要に応じて、ウェハ２４０Ｗの下面全体に金属膜２４７を成膜してもよい（第３工程）。金属膜２４７には、例えば、Ｔｉ／Ａｇ／Ｔｉ／Ｐｔ／Ａｕ（Ｔｉ、Ａｇ、Ｔｉ、Ｐｔ、Ａｕの順で積層した金属膜）やＴｉ／Ａｌ／Ｔｉ／Ｐｔ／Ａｕ（Ｔｉ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｐｔ、Ａｕの順で積層した金属膜）などを用いることができる。金属膜２４７は、例えば、スパッタ法により形成できる。金属膜２４７は、蓋体２４０を他の部材と接合する際に使用できる。また、蓋体２４０の下面に設けられた金属膜２４７は、波長変換部２４３の下面２４３ｂに達した光を上方に反射させる光反射膜として機能できる。金属膜２４７を構成する金属の中で、ＡｇやＡｌは比較的反射率の高い金属であるため、波長変換部２４３の下面２４３ｂに達した光を上方に反射させて波長変換部２４３の上面２４３ａから外部に出射される光の出射効率を高めることができる。なお、金属膜２４７に代えて、金属以外の材料を用いて形成される光反射膜を採用してもよい。例えば、Ｎｂ２Ｏ５／ＳｉＯ２、ＴｉＯ２／ＳｉＯ２、Ｔａ２Ｏ５／ＳｉＯ２等の誘電体多層膜を１または複数積層させて光反射膜を形成することができる。
【0067】
次に、図１１に示すように、ウェハ２４０Ｗを下面から上面まで貫通しないように、各々の波長変換部２４３の一部、及び遮光部２４４の一部を除去し、ウェハ２４０Ｗの下面側に開口する複数の開口部２４０ｘを形成する（第４工程）。例えば、ウェハ２４０Ｗの下面側から所定の高さまでブラスト加工等を行って金属膜２４７、波長変換部２４３、及び遮光部２４４の一部を除去し、ウェハ２４０Ｗの下面側に開口する開口部２４０ｘを形成する。これにより、開口部２４０ｘ内に、波長変換部２４３の側面の一部が露出して入射側面２４３ｉが形成される。
【0068】
次に、図１２に示すように、波長変換部２４３及び開口部２４０ｘを１つずつ含むように、遮光部２４４を切断し、ウェハ２４０Ｗを個片化する（第５工程）。具体的には、遮光部２４４を図８等に示す破線Ｃの位置で上下方向に切断し、複数の蓋体２４０に個片化する。上面視で第４工程によって形成された開口部２４０ｘの周囲に遮光部２４４が残るように、遮光部２４４は切断される。また、入射側面２４３ｉを除く波長変換部２４３の側面を遮光部２４４が囲うように、遮光部２４４は切断される。切断には、例えば、ブレードやレーザ等を用いることができる。
【0069】
なお、図１１に示す工程の後に、図１３に示すように、開口部２４０ｘ内に露出する波長変換部２４３の入射側面２４３ｉに、反射膜２４８を形成する工程を設けてもよい。反射膜２４８は、開口部２４０ｘ内において、波長変換部２４３の入射側面２４３ｉの上端から遮光部２４４側に延伸してもよい。反射膜２４８は、特定の波長の光を反射し、その他の波長の光を透過する光学膜である。反射膜２４８として、例えば、ＤＢＲ膜が用いられる。ＤＢＲ膜は、例えば、屈折率の異なる膜を１／４波長の厚みで交互に積層することにより、所定の波長を高効率に反射させることができる。ＤＢＲ膜は、例えば、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ａｌからなる群より選択された少なくとも一種の酸化物または窒化物を含んで形成できる。反射膜２４８を設けることで、外部から入射側面２４３ｉに入射する光を波長変換部２４３側に透過し、波長変換部２４３によって波長変換された光を９０％以上反射することができる。
【0070】
このように、発光装置２００の小型化を可能とする蓋体２４０の製造方法を実現できる。すなわち、蓋体２４０では、発光素子２２０からの光を波長変換して外部に出射する波長変換部２４３が蓋体２４０の一部を構成する。これにより、蓋体２４０を用いて発光装置２００を構成したときに、蓋体２４０とは別に、波長変換部２４３や発光素子２２０を覆う部材を新たに用意する必要がない。これより、発光装置２００の小型化が可能となる。また、波長変換部２４３を有する蓋体２４０を用いることにより、発光装置２００の部品点数を低減できるため、製造の容易な発光装置２００を実現できる。
【0071】
（発光装置２００）
次に、発光装置２００について説明する。
次に、発光装置２００について説明する。
【0072】
発光素子２２０は、基部２１１の上面２１１ａに配置される。より具体的には、発光素子２２０は、上側金属部２３１を介して基部２１１の上面２１１ａに配置される。発光素子２２０は、上側金属部２３１の上面２３１ａに接合される。例えば、基部２１１の上面２１１ａから、発光素子２２０の下面までの長さを、１００μｍ以下とすることができる。また、例えば、発光素子２２０は下面に金属膜を有し、この金属膜が、例えば金属接着剤を介して、上側金属部２３１の上面２３１ａに設けられた金属膜に接合される。この接合に用いる金属接着剤としては、例えばＡｕＳｎが挙げられる。発光素子２２０の下面に設けられる金属膜、及び上側金属部２３１の上面２３１ａに設けられる金属膜の厚さは、金属膜２６１の厚さと同程度であり得る。
【0073】
基部２１１の上面２１１ａの垂直方向から見る上面視で、発光素子２２０は、側部２４１によって側方を囲まれる。これ以降、発光装置についての説明については、「上面視」は、特に言及がない限り、基部２１１の上面２１１ａの垂直方向における「上面視」を指す。発光素子２２０は、出射端面２２０ａから光を側方に出射する。図示する例では、発光素子２２０の出射端面２２０ａから出射される光の方向である光軸ＯＡの方向は、第１方向Ｘと平行である。発光素子２２０から出射される光は、例えば青色光である。なお、発光素子２２０から出射される光は、青色光に限定されない。また、図示される例において、発光素子２２０は、半導体レーザ素子である。
【0074】
発光素子２２０は、出射端面２２０ａが、上側金属部２３１の１つの側面２３１ｃと同じ方向を向くように配置される。すなわち、上側金属部２３１は、出射端面２２０ａと同じ方向を向く側面２３１ｃを有する。発光素子２２０の出射端面２２０ａは、第１方向Ｘに垂直である。また、発光素子２２０の出射端面２２０ａは、例えば、蓋体２４０の１つの内側面２４０ｄ又は１つの外側面２４０ｅと平行又は垂直であり得る。発光素子２２０の全体が、上側金属部２３１の上面２３１ａ上に位置することが好ましい。これにより、発光素子２２０の放熱性を高めることができる。
【0075】
保護素子２５０は、発光素子２２０が配置される上側金属部２３１の上面２３１ａに配置される。これにより、発光素子２２０を保護する機能を向上することができる。図示の例では、保護素子２５０は、発光素子２２０に対して第１方向Ｘの負方向側、かつ第２方向Ｙの略同じ位置に配置されている。
【0076】
金属膜２６２の上面には、発光素子２２０と電気的に接続する１又は複数の配線２７０が接合される。また、金属膜２６２の上面には、保護素子２５０と電気的に接続する配線２７０が接合される。つまり、発光装置２００において、複数の配線２７０により、発光素子２２０及び保護素子２５０が、それぞれ基部２１１の金属膜２６２と電気的に接続される。
【0077】
発光素子２２０及び保護素子２５０は、第２方向Ｙにおいて、基部２１１の上面２１１ａの短手方向の中央よりも第２方向Ｙの負方向側にオフセットしている。また、第１方向Ｘにおいて、発光素子２２０は、基部２１１の上面２１１ａの中央及びその近傍に位置する。
【0078】
蓋体２４０の下面２４０ｃは、基部２１１の上面２１１ａの外縁に接合されている。例えば、蓋体２４０の下面２４０ｃに設けられた金属膜と、基部２１１の上面２１１ａに設けられた金属膜２６１とが金属接着剤２６３を介して接合し固定される。このように、蓋体２４０の下面２４０ｃを平面形状である上面２１１ａに接合する。この構成により、基部の上面２１１ａには、蓋体２４０を嵌め込むための段差や凹部等の複雑な嵌合部を設けなくともよい。基部２１１の上面２１１ａにおいて、波長変換部２４３の下面２４３ｂが接合される位置に金属膜２６１を設けてもよい。これにより、発光装置２００において、波長変換部２４３の発する熱に対する放熱性を向上することができる。
【0079】
蓋体２４０は、側部２４１が発光素子２２０の周囲を囲い、上部２４２が発光素子２２０の上方を覆うように基部２１１の上面２１１ａに接合される。これにより、蓋体２４０の側部２４１及び上部２４２と基部２１１に囲まれた閉鎖空間が形成される。この閉鎖空間は、例えば気密にされた状態で形成されてもよい。この閉鎖空間が気密にされることで、発光素子２２０の出射端面２２０ａに有機物等が集塵することを抑制できる。
【0080】
図４及び図５に示すように、波長変換部２４３は、発光素子２２０の側方に配置される。より具体的には、波長変換部２４３は、発光素子２２０から出射され、側方に進行する光が入射する位置に配置される。図示される例では、波長変換部２４３は、発光素子２２０に対して第１方向Ｘの正方向側に位置する。さらに、波長変換部２４３は、発光素子２２０から側方に出射された光の光軸ＯＡ上に位置する。波長変換部２４３の入射側面２４３ｉは、発光素子２２０の出射端面２２０ａと対向するように配置される。つまり、入射側面２４３ｉは、出射端面２２０ａと第１方向Ｘにおいて対向する。
【0081】
下面視で、波長変換部２４３の第１側面２４３ｃと下面２４３ｂとが交わる辺の延長線と第２側面２４３ｄと下面２４３ｂとが交わる辺の延長線とは、入射側面２４３ｉよりも第１方向Ｘの負方向側において交わる。言い換えると、２つの延長線は、入射側面２４３ｉよりも発光素子２２０側で交わる。また、下面視で、波長変換部２４３の第３側面２４３ｅと第４側面２４３ｆとは、入射側面２４３ｉに対して第１方向Ｘの正方向側、つまり発光素子２２０とは反対側で交わる。
【0082】
発光素子２２０の出射端面２２０ａから出射され側方に進行する光は、波長変換部２４３の入射側面２４３ｉに入射し、波長変換部２４３で波長変換される。そして、波長変換された光は上面２４３ａから上方に出射される。このように、図示の例では、上面２４３ａが波長変換部２４３の出射面である。本実施形態の波長変換部２４３は、入射側面２４３ｉの延長仮想面と出射面である上面２４３ａの延長仮想面が交わる。図示する例では、入射側面２４３ｉの延長仮想面と上面２４３ａの延長仮想面とは垂直に交わる。これにより、入射側面２４３ｉに入射する光の進行方向と上面２４３ａから出射する光の進行方向を異ならせることができる。波長変換部２４３で波長変換される光の光量を増やす場合においても、出射端面２２０ａから出射される光の進行方向である第１方向Ｘにおける波長変換部２４３の大型化を抑制できる。入射側面２４３ｉの少なくとも一部は、光軸ＯＡよりも下方に位置する。これにより、発光素子２２０から出射された光のうち、光軸ＯＡよりも下方に進む光を、入射側面２４３ｉから効率よく波長変換部２４３に取り込むことができる。
【0083】
図５に示すように、遮光部２４４は、発光素子２２０の光出射点Ｐ１を通り、発光素子２２０から出射される光軸ＯＡ上を通る光が進む方向である光軸方向と平行な直線上に位置する。遮光部２４４の少なくとも一部は、波長変換部２４３よりも光軸ＯＡ方向に離れた位置に設けられる。言い換えると、遮光部２４４の少なくとも一部は、光軸ＯＡ上において波長変換部２４３よりも発光素子２２０の反対側に位置する。
【0084】
遮光部２４４について、図５及び図７を参照してさらに説明する。波長変換部２４３は、入射側面２４３ｉを除く波長変換部２４３の側面が遮光部２４４により被覆されている。これにより、発光素子２２０から波長変換部２４３に入射した光が、波長変換部２４３の他の側面と遮光部２４４との界面に達すると、遮光部２４４に遮光される。そのため、発光素子２２０から波長変換部２４３に入射する光が蓋体２４０の外側面２４０ｅから外部に出射されるおそれを低減できる。また、遮光部２４４が反射性を有する場合、発光素子２２０から波長変換部２４３に入射た光は、遮光部２４４との界面において反射される。これにより、波長変換部２４３の上面２４３ａから外部に出射される光の出射効率を高めることができる。
【0085】
図５にドットパターンで示す部分に例示するように、遮光部２４４は、少なくとも波長変換部２４３の側面を被覆する部分に設けられる。より詳細には、遮光部２４４は、蓋体２４０の側部２４１及び上部２４２にまたがって設けられる。例えば、蓋体２４０は、波長変換部２４３と遮光部２４４の他に、異なる構成を有していてもよい。
【0086】
なお、図示する例において、上面視で、遮光部２４４は発光素子２２０を覆うように設けられている。上面視で、遮光部２４４は、発光素子２２０の上面の８０％以上を覆うことが好ましい。これにより、発光素子２２０から出射した光のうち、波長変換部２４３に入射しない光が外部に出射されるおそれを低減できる。さらに、光軸ＯＡ方向において、波長変換部２４３とは反対側に位置する側部２４１を遮光部２４４としている。この場合、発光素子２２０の出射端面２２０ａの反対側に位置する発光素子２２０の側面は、遮光部２４４と対向する。蓋体２４０において、側部２４１及び上部２４２の波長変換部２４３を除く全部分が遮光部２４４であってもよい。
【0087】
図４及び図５の例において、発光素子２２０の出射端面２２０ａから出射され、波長変換部２４３の入射側面２４３ｉに入射するまでの間には、出射された光の光軸ＯＡの方向は変換されない。図示される例において、発光素子２２０と波長変換部２４３との間には、他の部材が介在しない。これにより、光軸ＯＡの方向において、発光装置２００の小型化を実現することができる。なお、発光素子２２０と波長変換部２４３との間には、コリメートレンズ等の他の部材を配置してもよい。
【0088】
図４及び図５に示すように、光軸ＯＡ方向において、波長変換部２４３の側に位置する側部２４１の内側面から外側面までの幅Ｗ１は、波長変換部２４３とは反対側に位置する側部２４１の内側面から外側面までの幅Ｗ２よりも広い。幅Ｗ２は例えば幅Ｗ１の２倍以上１０倍以下である。幅Ｗ１の例として、１００μｍ以上５００μｍ以下が挙げられる。幅Ｗ２の例として、３００μｍ以上１０００μｍ以下が挙げられる。
【0089】
図１４は、図４に示す発光装置について、発光素子及び波長変換部とその近傍を拡大した拡大断面図である。図１４に示すように、波長変換部２４３は、入射側面２４３ｉにおいて内側に窪む形状を有する。つまり、上面視において、上面２４３ａの発光素子２２０の出射端面２２０ａに最も近い点は、下面２４３ｂの出射端面２２０ａに最も近い点よりも、光軸ＯＡ方向において出射端面２２０ａ側に位置する。さらに、図示する例では、光軸ＯＡ方向において、波長変換部２４３の入射側面２４３ｉから発光素子２２０の出射端面２２０ａまでの距離Ｌ１は、上面２４３ａの光軸ＯＡ方向において最も負方向側（第１方向Ｘの負方向側）に位置する点から出射端面２２０ａまでの距離Ｌ２よりも長い。
【0090】
距離Ｌ１は、例えば５０μｍ以上３００μｍ以下である。距離Ｌ２は、例えば±２００μｍ以下である。距離Ｌ１と距離Ｌ２との差は、例えば５０μｍ以上５００μｍ以下である。このように、波長変換部２４３において、出射面となる上面２４３ａ側では波長変換部２４３の光軸ＯＡ方向の大きさを大きくできる。また、発光素子２２０が配置される空間である入射側面２４３ｉ側では、波長変換部２４３の光軸ＯＡ方向の大きさを小さくできる。
【0091】
なお、距離Ｌ２が負の値である場合とは、光軸ＯＡ方向において上面２４３ａの最も負方向側に位置する点が、出射端面２２０ａよりも負方向側に位置する場合である。この時、上面２４３ａと発光素子２２０の出射端面は、上面視で重なる。このように、入射側面２４３ｉは、第３方向Ｚにおいて波長変換部２４３の全長には設けられない。これにより、入射側面２４３ｉの面積を小さくすることができる。例えば、入射側面２４３ｉから入射した光が波長変換されて再び入射側面２４３ｉから出射する光を低減することができる。また、上面２４３ａの少なくとも一部が入射側面２４３ｉよりも光軸ＯＡ方向の負方向側に位置することで、上面２４３ａの面積を大きくすることができる。これは、蓋体２４０の出射面の面積を大きくすることに寄与する。
【0092】
基部２１１の上面２１１ａに垂直な方向（すなわち、第３方向Ｚ）において、波長変換部２４３の高さＨ１は、例えば、蓋体２４０の高さと同じである。基部２１１の上面２１１ａに垂直な方向において、波長変換部２４３の高さＨ１は、基部２１１と蓋体２４０とが形成する閉鎖空間の高さＨ２よりも高いことが好ましい。蓋体２４０において、高さＨ１を高さＨ２の１．１倍以上２倍以下とすることができる。高さＨ１は、例えば３００μｍ以上７００μｍ以下である。高さＨ２は、例えば２００μｍ以上５００μｍ以下である。つまり、波長変換部２４３は、蓋体２４０の閉鎖空間を形成する構成の少なくとも一部である。これにより、波長変換部２４３の上方に透明な板材等を別途配置して閉鎖空間を形成する必要がない。これは、発光装置２００を第３方向Ｚにおける小型化に寄与する。
【0093】
以上のように、発光装置２００では、基部２１１の上面２１１ａに配置された上側金属部２３１に発光素子２２０を配置し、凹形状の蓋体２４０で覆う。そして、発光素子２２０からの光を波長変換して外部に出射する波長変換部２４３が蓋体２４０の一部を構成する。このような構成により、波長変換部２４３の外周側に発光素子２２０の周囲を囲う枠状の部材を新たに設ける必要がないため、光軸ＯＡ方向において、発光装置２００を小型化できる。また、波長変換部２４３の上方に発光素子２２０を覆う部材を新たに設ける必要がないため、第３方向Ｚにおいて、発光装置２００を小型化できる。
【0094】
発光装置２００の第１方向Ｘにおける長さは、例えば２５００μｍ以上４０００μｍ以下である。第２方向Ｙにおける長さは、例えば１８００μｍ以上２５００μｍ以下である。第３方向Ｚにおける長さは、例えば５００μｍ以上１５００μｍ以下である。このように、本明細書に開示の発光装置２００は、小型化に適した発光装置である。
【0095】
このように、光軸ＯＡ方向における大型化を抑制した発光装置２００を得ることができる。また、遮光部２４４及び波長変換部２４３を有する蓋体２４０によって、発光素子２２０の配置される閉鎖空間を形成することで、波長変換部をはめ込む嵌合部を新たに形成する必要がない。
【0096】
発光装置２００は、例えば、車載ヘッドライトに利用できる。また、発光装置２００は、これに限らず、照明、プロジェクター、ヘッドマウントディスプレイ、その他ディスプレイのバックライト等の光源に利用できる。
【0097】
以上、好ましい実施形態等について詳説したが、前述した実施形態等に制限されることはなく、特許請求の範囲に記載された範囲を逸脱することなく、前述した実施形態等に種々の変形及び置換を加えることができる。
【0098】
以上の実施形態に加えて、さらに以下の付記を開示する。
（付記１）
基部と、
前記基部の上面に配置され、光を側方に出射する発光素子と、
前記基部と接合し、前記発光素子の周囲を囲う側部及び上方を覆う上部を有する蓋体と、を備え、
前記蓋体は、前記側方に出射した前記光が入射する入射面を有し、少なくとも一部が前記上部に含まれている波長変換部と、前記光と同じ波長範囲の光を遮光する遮光部と、を有し、
前記遮光部は、前記発光素子の光出射点を通り、前記発光素子から出射される光軸上を通る光が進む方向である光軸方向と平行な直線上に位置し、
前記遮光部の少なくとも一部は、前記波長変換部よりも前記光軸方向に離れた位置に設けられている、発光装置。
（付記２）
前記波長変換部は、その側面において前記入射面である入射側面を有し、前記入射側面に入射した光を波長変換した光を上方に出射する上面を備える、付記１に記載の発光装置。
（付記３）
前記蓋体の上面は、その少なくとも一部に前記波長変換部の上面を含み、
前記蓋体の内側面は、その少なくとも一部に前記入射側面を含む、付記２に記載の発光装置。
（付記４）
前記蓋体の外側面は、その全面が前記遮光部の外側面によって構成される、付記１から３のいずれか１に記載の発光装置。
（付記５）
前記光軸方向において、前記入射側面から前記発光素子の出射端面までの距離は、前記波長変換部の上面の前記出射端面に最も近い点から前記出射端面までの距離よりも長い、付記２に記載の発光装置。
（付記６）
前記基部の上面に垂直な方向において、前記波長変換部の高さは、前記基部と前記蓋体とが形成する閉鎖空間の高さよりも高い、付記１から５のいずれか１に記載の発光装置。
（付記７）
前記光軸方向において、前記波長変換部の側に位置する前記側部の内側面から外側面までの幅は、前記波長変換部とは反対側に位置する前記側部の内側面から外側面までの幅よりも広い、付記１から６のいずれか１に記載の発光装置。
（付記８）
前記蓋体の下面は、その少なくとも一部に前記波長変換部の下面を含み、
上面視で、前記波長変換部の下面の形状と前記波長変換部の上面の形状は異なる、付記２に記載の発光装置。
（付記９）
上面視で、前記遮光部は、前記発光素子の上面の８０％以上を覆う、付記１から８のいずれか１に記載の発光装置。
（付記１０）
前記波長変換部は、上方側では互いに接続し、下方側ではそれぞれが前記入射側面と接続する、第１側面及び第２側面を備え、
前記波長変換部は、前記第１側面及び前記第２側面が前記遮光部に覆われて露出せず、前記入射側面は前記遮光部に覆われずに露出する、付記２、５、又は８に記載の発光装置。
（付記１１）
前記発光素子の出射端面の反対側に位置する前記発光素子の側面は、前記遮光部と対向する、付記１から１０のいずれか１に記載の発光装置。
（付記１２）
前記波長変換部及び前記遮光部は、セラミックスを主材料に形成される、付記１から１１のいずれか１に記載の発光装置。
（付記１３）
上面視で、所定間隔で２次元に配置された複数の波長変換部と、各々の前記波長変換部の側面を取り囲む１つの遮光部と、を有するウェハを準備する工程と、
前記ウェハを貫通しないように、各々の前記波長変換部の一部、及び前記遮光部の一部を除去し、前記ウェハの下面側に開口する複数の開口部を形成する工程と、
前記波長変換部及び前記開口部を１つずつ含むように、前記遮光部を切断し、前記ウェハを個片化する工程と、を有する、蓋体の製造方法。
（付記１）
基部と、
前記基部の上面に配置され、光を側方に出射する発光素子と、
前記基部と接合し、前記発光素子の周囲を囲う側部及び上方を覆う上部を有する蓋体と、を備え、
前記蓋体は、前記側方に出射した前記光が入射する入射面を有し、少なくとも一部が前記上部に含まれている波長変換部と、前記光と同じ波長範囲の光を遮光する遮光部と、を有し、
前記遮光部は、前記発光素子の光出射点を通り、前記発光素子から出射される光軸上を通る光が進む方向である光軸方向と平行な直線上に位置し、
前記遮光部の少なくとも一部は、前記波長変換部よりも前記光軸方向に離れた位置に設けられている、発光装置。
（付記２）
前記波長変換部は、その側面において前記入射面である入射側面を有し、前記入射側面に入射した光を波長変換した光を上方に出射する上面を備える、付記１に記載の発光装置。
（付記３）
前記蓋体の上面は、その少なくとも一部に前記波長変換部の上面を含み、
前記蓋体の内側面は、その少なくとも一部に前記入射側面を含む、付記２に記載の発光装置。
（付記４）
前記蓋体の外側面は、その全面が前記遮光部の外側面によって構成される、付記１から３のいずれか１に記載の発光装置。
（付記５）
前記光軸方向において、前記入射側面から前記発光素子の出射端面までの距離は、前記波長変換部の上面の前記出射端面に最も近い点から前記出射端面までの距離よりも長い、付記２に記載の発光装置。
（付記６）
前記基部の上面に垂直な方向において、前記波長変換部の高さは、前記基部と前記蓋体とが形成する閉鎖空間の高さよりも高い、付記１から５のいずれか１に記載の発光装置。
（付記７）
前記光軸方向において、前記波長変換部の側に位置する前記側部の内側面から外側面までの幅は、前記波長変換部とは反対側に位置する前記側部の内側面から外側面までの幅よりも広い、付記１から６のいずれか１に記載の発光装置。
（付記８）
前記蓋体の下面は、その少なくとも一部に前記波長変換部の下面を含み、
上面視で、前記波長変換部の下面の形状と前記波長変換部の上面の形状は異なる、付記２に記載の発光装置。
（付記９）
上面視で、前記遮光部は、前記発光素子の上面の８０％以上を覆う、付記１から８のいずれか１に記載の発光装置。
（付記１０）
前記波長変換部は、上方側では互いに接続し、下方側ではそれぞれが前記入射側面と接続する、第１側面及び第２側面を備え、
前記波長変換部は、前記第１側面及び前記第２側面が前記遮光部に覆われて露出せず、前記入射側面は前記遮光部に覆われずに露出する、付記２、５、又は８に記載の発光装置。
（付記１１）
前記発光素子の出射端面の反対側に位置する前記発光素子の側面は、前記遮光部と対向する、付記１から１０のいずれか１に記載の発光装置。
（付記１２）
前記波長変換部及び前記遮光部は、セラミックスを主材料に形成される、付記１から１１のいずれか１に記載の発光装置。
（付記１３）
上面視で、所定間隔で２次元に配置された複数の波長変換部と、各々の前記波長変換部の側面を取り囲む１つの遮光部と、を有するウェハを準備する工程と、
前記ウェハを貫通しないように、各々の前記波長変換部の一部、及び前記遮光部の一部を除去し、前記ウェハの下面側に開口する複数の開口部を形成する工程と、
前記波長変換部及び前記開口部を１つずつ含むように、前記遮光部を切断し、前記ウェハを個片化する工程と、を有する、蓋体の製造方法。
【符号の説明】
【0099】
２００ 発光装置
２１１ 基部
２１１ａ 上面
２１１ｂ 下面
２２０ 発光素子
２２０ａ 出射端面
２３１ 上側金属部
２３１ａ 上面
２３１ｃ 側面
２３２ 下側金属部
２３２Ａ 第１下側金属部
２３２Ｂ 第２下側金属部
２３２Ｃ 第３下側金属部
２４０ 蓋体
２４０ａ 上面
２４０ｂ 背面
２４０ｃ 下面
２４０ｄ 内側面
２４０ｅ 外側面
２４０Ｗ ウェハ
２４０ｘ 開口部
２４１ 側部
２４２ 上部
２４３ 波長変換部
２４３ａ 上面
２４３ｂ 下面
２４３ｃ 第１側面
２４３ｄ 第２側面
２４３ｅ 第３側面
２４３ｆ 第４側面
２４３ｉ 入射側面
２４４ 遮光部
２４６ 反射防止膜
２４７ 金属膜
２４８ 反射膜
２５０ 保護素子
２６１、２６２ 金属膜
２６３ 金属接着剤
２７０ 配線
２１１ 基部
２１１ａ 上面
２１１ｂ 下面
２２０ 発光素子
２２０ａ 出射端面
２３１ 上側金属部
２３１ａ 上面
２３１ｃ 側面
２３２ 下側金属部
２３２Ａ 第１下側金属部
２３２Ｂ 第２下側金属部
２３２Ｃ 第３下側金属部
２４０ 蓋体
２４０ａ 上面
２４０ｂ 背面
２４０ｃ 下面
２４０ｄ 内側面
２４０ｅ 外側面
２４０Ｗ ウェハ
２４０ｘ 開口部
２４１ 側部
２４２ 上部
２４３ 波長変換部
２４３ａ 上面
２４３ｂ 下面
２４３ｃ 第１側面
２４３ｄ 第２側面
２４３ｅ 第３側面
２４３ｆ 第４側面
２４３ｉ 入射側面
２４４ 遮光部
２４６ 反射防止膜
２４７ 金属膜
２４８ 反射膜
２５０ 保護素子
２６１、２６２ 金属膜
２６３ 金属接着剤
２７０ 配線
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】