特開 2024-125313 ベースプレートを介した保持力を有するレチクルポッド

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024125313

(43)【公開日】2024-09-18

(54)【発明の名称】ベースプレートを介した保持力を有するレチクルポッド

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20240910BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

【審査請求】有

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

【外国語出願】

(21)【出願番号】P 2024092730

(22)【出願日】2024-06-07

(62)【分割の表示】P 2022538944の分割

【原出願日】2020-12-09

(31)【優先権主張番号】62/953,326

(32)【優先日】2019-12-24

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(71)【出願人】

【識別番号】505307471

【氏名又は名称】インテグリス・インコーポレーテッド

(74)【代理人】

【識別番号】110002077

【氏名又は名称】園田・小林弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】ラシュク， ラス ヴィ．

(57)【要約】      （修正有）

【課題】レチクルを所望の位置で保持するための移動可能なレチクル保持構造部を有するレチクルポッド及びポッド内に接触部分を提供する方法を提供する。
【解決手段】レチクルポッド３００は、カバー３２２及びベースプレート３２０を有する内側部分３２４と、ポッドドーム３０４及びポッドドア３０６を有する外側部分３０２と、を有する。ポッドドアは、ラッチカム３０８及びラッチアーム３１０を有するラッチと、ラッチの動作時に移動するように駆動される１つまたは複数の移動可能なポスト３１４と、を有する。ベースプレートは、移動可能なポストによって接触され得る移動可能なレチクル接触部分３１８を有する。移動可能なポストと移動可能なレチクル接触部分との間の接触が、移動可能なレチクル接触部分を、ベースプレート内で、カバーの方に移動させる。この移動により、レチクル３２８をレチクルポッド内で固定する。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

カバーおよびベースプレートを有する内側部分であって、前記カバーが、前記カバーに接合された１つまたは複数のカバーレチクル接触部分を有し、前記ベースプレートが１つまたは複数の移動可能なレチクル接触部分を有し、前記１つまたは複数の移動可能なレチクル接触部分の各々が、前記ベースプレートの平面に対して垂直である成分を有する方向に移動可能となるように構成される、内側部分と、
ポッドドームおよびポッドドアを有する外側部分であって、前記ポッドドアが、１つまたは複数の移動可能なポスト、および、前記１つまたは複数の移動可能なポストを駆動するように構成された１つまたは複数のラッチを有する、外側部分と
を備え、
前記内側部分が前記外側部分内に位置して前記ポッドドアが前記ポッドドームに固着される場合、前記１つまたは複数の移動可能なポストが前記１つまたは複数のレチクル接触部分に接触し、その結果、前記１つまたは複数の移動可能なレチクル接触部分が前記カバーの方に移動させられる、
レチクルポッド。

【請求項2】

前記１つまたは複数の移動可能なレチクル接触部分の各々が、可撓性部材を介して前記ベースプレート内で保持される、請求項１に記載のレチクルポッド。

【請求項3】

前記可撓性部材が静止状態にあるとき、前記移動可能なレチクル接触部分が、前記レチクルポッド内で保管されることになるレチクルの厚さより大きい前記１つまたは複数のカバーレチクル接触部分のうちの少なくとも１つのカバーレチクル接触部分から一定の距離のところにある、請求項２に記載のレチクルポッド。

【請求項4】

前記１つまたは複数のラッチが、各々、前記ポッドドアとの同一平面内の一方向に移動可能である、請求項１に記載のレチクルポッド。

【請求項5】

前記１つまたは複数のラッチが、各々、前記１つまたは複数の移動可能なポストのうちの１つの移動可能なポストの表面に接触している表面を有する、請求項１に記載のレチクルポッド。

【請求項6】

前記１つまたは複数の移動可能なレチクル接触部分が、各々、前記ベースプレートの平面に対して垂直である方向に移動可能となるように構成される、請求項１に記載のレチクルポッド。

【請求項7】

前記ポッドドームが、前記内側部分が前記外側部分内に位置して前記ポッドドアが前記ポッドドームに固着されているときに、前記カバーに接触する１つまたは複数の突出部を有する、請求項１に記載のレチクルポッド。

【請求項8】

前記カバーレチクル接触部分の各々、および、前記移動可能なレチクル接触部分の各々が、ポリマー材料を含む、請求項１に記載のレチクルポッド。

【請求項9】

前記１つまたは複数の移動可能なレチクル接触部分が、４つの移動可能なレチクル接触部分を含む、請求項１に記載のレチクルポッド。

【請求項10】

前記１つまたは複数の移動可能なレチクル接触部分の各々が、前記カバーが前記ベースプレートに係合するとき、前記１つまたは複数のカバーレチクル接触部分のうちの１つのカバーレチクル接触部分に対向している、請求項１に記載のレチクルポッド。

【請求項11】

前記１つまたは複数の移動可能なレチクル接触部分の各々が、前記カバーが前記ベースプレートに係合するとき、前記１つまたは複数のカバーレチクル接触部分からオフセットされている、請求項１に記載のレチクルポッド。

【請求項12】

ポッド内で接触部分を移動させる方法であって、
ポッドドアをポッドドームに取り付けることにより前記ポッドドア内に位置する１つまたは複数のラッチを始動させることと、
前記１つまたは複数のラッチを介して、前記ポッドドアの平面に対して垂直である成分を有する方向に延伸させるように１つまたは複数の移動可能なポストを駆動することと
を含み、
前記１つまたは複数の移動可能なポストの各々が、前記ポッドドアおよび前記ポッドドームの中に位置するベースプレートの移動可能なレチクル接触部分に接触し、その結果、前記移動可能なレチクル接触部分が、前記ポッドドアおよび前記ポッドドームの中に位置するカバーに向かう方向に移動する、
方法。

【請求項13】

前記１つまたは複数のラッチを始動させることが、前記ポッドドアの平面に平行な１つまたは複数の方向に前記１つまたは複数のラッチを移動させることを含む、請求項１２に記載の方法。

【請求項14】

前記１つまたは複数のラッチを介して、前記移動可能なポストを駆動することが、前記１つまたは複数の移動可能なポストのうちの１つの移動可能なポストに対して、前記１つまたは複数のラッチの各々の上のカム面を接触させることを含む、請求項１２に記載の方法。

【請求項15】

レチクルを前記ポッドのベースプレート上に配置すること、前記ポッドの前記ベースプレートを前記ポッドのカバーに接合すること、ならびに、接合されている前記ベースプレートおよび前記カバーを前記ポッドドーム内の空間内に配置することをさらに含む、請求項１２に記載の方法。

【請求項16】

接合されている前記ベースプレートおよび前記カバーが、前記ポッドドーム内に配置されているときに前記ポッドドームからの１つまたは複数の突出部に接触している、請求項１５に記載の方法。

【請求項17】

少なくとも３つの移動可能なポストが、前記１つまたは複数のラッチを介して、駆動される、請求項１２に記載の方法。

【請求項18】

前記カバーが１つまたは複数のカバーレチクル接触部分を有し、前記カバーレチクル接触部分の各々が、前記移動可能なレチクル接触部分のうちの１つの移動可能なレチクル接触部分に対向している、請求項１２に記載の方法。

【請求項19】

前記カバーが１つまたは複数のカバーレチクル接触部分を有し、前記カバーレチクル接触部分の各々が前記移動可能なレチクル接触部分からオフセットされている、請求項１２に記載の方法。

【請求項20】

カバーおよびベースプレートを有する内側部分であって、前記カバーが、前記カバーに接合された１つまたは複数のカバーレチクル接触部分を有し、前記ベースプレートが、１つまたは複数のアパーチャを有する、内側部分と、
ポッドドームおよびポッドドアを有する外側部分であって、前記ポッドドアが、１つまたは複数の移動可能なポスト、および、前記１つまたは複数の移動可能なポストを駆動するように構成された１つまたは複数のラッチを有する、外側部分と
を備え、
前記内側部分が前記外側部分内に位置して前記ポッドドアが前記ポッドドームに固着されている場合、前記１つまたは複数の移動可能なポストが前記１つまたは複数のアパーチャを通って前記内側部分の中まで延伸する、
レチクルポッド。

【請求項21】

前記アパーチャの各々の中に配設されるシールをさらに備える、請求項２０に記載のレチクルポッド。

【請求項22】

ポッド内に接触部分を提供する方法であって、
カムを使用してポッドドアをポッドドームに取り付けることにより前記ポッドドア内に位置する１つまたは複数のラッチを始動させることと、
前記１つまたは複数のラッチまたは前記カムを介して、前記ポッドドアの平面に対して垂直である成分を有する方向に延伸させるように１つまたは複数の移動可能なポストを駆動することと
を含み、
前記１つまたは複数の移動可能なポストの各々が、前記１つまたは複数のラッチまたは前記カムを介して駆動されるとき、ベースプレートを通って前記ポッドの内側部分の中まで延伸する、
方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

関連出願の相互参照
本出願は、あらゆる目的のために参照によりその全体が本明細書に組み込まれている、２０１９年１２月２４日に出願した米国特許仮出願第６２／９５３，３２６号の利益および優先権を主張するものである。

【0002】

本開示はレチクルポッドを対象とし、より詳細には、レチクルを所望の位置で保持するための移動可能なレチクル保持構造部を有するレチクルポッドを対象とする。

【背景技術】

【0003】

レチクルポッドは、レチクルの保管および移送さらには処理のために使用され、具体的には、フォトリソグラフィデバイスなどの処理ツールへの、および処理ツールからのレチクルの移送のために使用される。レチクルポッドには、例えば、極端紫外線（ＥＵＶ：Ｅｘｔｒｅｍｅ Ｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ）ポッド（ＥＵＶフォトリソグラフィツールと共に使用されるためのもの）が含まれる。レチクルポッドは、レチクルの移動、取り扱い、および処理中に、中に収容されているレチクルに対しての汚染または物理的ダメージを低減および／または防止するように構築される。レチクルポッドは、外側ポッド、および外側ポッド内にある内側ポッドを有することができる。内側ポッドがベースプレートおよびカバーを有することができ、ベースプレートおよびカバーがレチクルを収容する。外側ポッドがポッドドアおよびポッドドームを有し、それにより内側ポッドを収容する。

【発明の概要】

【0004】

本開示は、ベースプレート上に位置しているレチクルを保持するための移動可能な保持構造部を有するレチクルポッドを対象とする。

【0005】

移動可能な保持構造部が、レチクルポッド内でレチクルを固定的に位置決めすること、およびひいては取り扱いまたは搬送中の衝撃を受けにくくすること、を可能にする。レチクルポッドのドア内に位置するラッチを介してこのような構造部を作動させることにより、レチクルが、レチクルポッドを最終的に閉じる前に安全構造部からの干渉なしでポッド内に適切に配置され得、移送、保管、または処理のためにポッドを閉じるときに、固定され得る。レチクルを固定することにより、偶発的衝撃事象（ｓｈｏｃｋ ｉｎｃｉｄｅｎｔ）を含めたレチクルへのダメージ、ならびに、レチクルおよびポッドの内部の接触からの粒子発生などを制限または防止することができる。

【0006】

レチクルポッドの実施形態が、カバーおよびベースプレートを有する内側部分を有する。カバーが、カバーに接合された１つまたは複数のカバーレチクル接触部分（ｃｏｎｔａｃｔ）を有し、ベースプレートが１つまたは複数の移動可能なレチクル接触部分を有し、１つまたは複数の移動可能なレチクル接触部分の各々が、ベースプレートの平面に対して垂直である成分を有する方向に移動可能となるように構成される。レチクルポッドが、ポッドドームおよびポッドドアを備える外側部分を有し、ポッドドアが、１つまたは複数の移動可能なポスト、および、１つまたは複数の移動可能なポストを駆動するように構成された１つまたは複数のラッチを有する。内側部分が外側部分内に位置してポッドドアがポッドドームに固着される場合、１つまたは複数の移動可能なポストが１つまたは複数のレチクル接触部分に接触し、その結果、１つまたは複数の移動可能なレチクル接触部分がカバーの方に移動させられる。

【0007】

実施形態では、１つまたは複数の移動可能なレチクル接触部分の各々が、可撓性部材を介してベースプレート内で保持される。

【0008】

実施形態では、可撓性部材が静止状態にあるとき、移動可能なレチクル接触部分が、レチクルポッド内で保管されることになるレチクルの厚さより大きい１つまたは複数のカバーレチクル接触部分のうちの少なくとも１つのカバーレチクル接触部分から一定の距離のところにある。

【0009】

実施形態では、１つまたは複数のラッチが、各々、ポッドドアとの同一平面内の一方向に移動可能である。

【0010】

実施形態では、１つまたは複数のラッチが、各々、１つまたは複数の移動可能なポストのうちの１つの移動可能なポストの表面に接触している、摺動面、ロッカーアーム、または、カム面を有する。

【0011】

実施形態では、１つまたは複数の移動可能なレチクル接触部分が、各々、ベースプレートの平面に対して垂直である方向に移動可能となるように構成される。

【0012】

実施形態では、ポッドドームが、内側部分が外側部分内に位置してポッドドアがポッドドームに固着されているときに、カバーに接触する１つまたは複数の突出部を有する。

【0013】

実施形態では、カバーレチクル接触部分の各々が、ポリマー材料を含む。

【0014】

実施形態では、移動可能なレチクル接触部分の各々が、ポリマー材料を含む。

【0015】

実施形態では、１つまたは複数の移動可能なレチクル接触部分が、３つ以上の移動可能なレチクル接触部分を有する。

【0016】

実施形態では、１つまたは複数の移動可能なレチクル接触部分が、４つの移動可能なレチクル接触部分を有する。

【0017】

実施形態では、１つまたは複数の移動可能なレチクル接触部分の各々が、カバーおよびベースプレートが互いに接続されているとき、１つまたは複数のカバーレチクル接触部分のうちの１つのカバーレチクル接触部分に対向している。

【0018】

実施形態では、１つまたは複数の移動可能なレチクル接触部分の各々が、カバーおよびベースプレートが互いに接続されているとき、１つまたは複数のカバーレチクル接触部分からオフセットされている。

【0019】

実施形態では、１つまたは複数の移動可能なレチクル接触部分の各々が、レチクルの角部に対応する位置にある。

【0020】

実施形態では、ポッド内で接触部分を移動させる方法が、ポッドドアをポッドドームに取り付けることによりポッドドア内に位置する１つまたは複数のラッチを始動させること、および、１つまたは複数のラッチを介して、ポッドドアの平面に対して垂直である成分を有する方向に延伸させるように１つまたは複数の移動可能なポストを駆動することを含む。１つまたは複数の移動可能なポストの各々が、ポッドドアおよびポッドドームの中に位置するベースプレートの移動可能なレチクル接触部分に接触し、その結果、移動可能なレチクル接触部分が、ベースプレートの平面に対して垂直である成分を有する方向において、ポッドドアおよびポッドドームの中に位置するカバーの方に、移動する。

【0021】

実施形態では、１つまたは複数のラッチを始動させることが、ポッドドアの平面に平行な１つまたは複数の方向に１つまたは複数のラッチを移動させることを含む。

【0022】

実施形態では、１つまたは複数のラッチを介して、移動可能なポストを駆動することが、１つまたは複数の移動可能なポストのうちの１つの移動可能なポストに対して、１つまたは複数のラッチの各々の上のカム面を接触させることを含む。

【0023】

実施形態では、本方法が、レチクルをポッドのベースプレート上に配置すること、ポッドのベースプレートをポッドのカバーに接合すること、ならびに、接合されているベースプレートおよびカバーをポッドドーム内の空間内に配置することをさらに含むことをさらに含む。実施形態では、接合されているベースプレートおよびカバーが、ポッドドーム内に配置されているときにポッドドームからの１つまたは複数の突出部に接触している。

【0024】

実施形態では、少なくとも３つの移動可能なポストが、１つまたは複数のラッチを介して、駆動される。

【0025】

実施形態では、カバーが１つまたは複数のカバーレチクル接触部分を有し、カバーレチクル接触部分の各々が、移動可能なレチクル接触部分のうちの１つの移動可能なレチクル接触部分に対向している。

【0026】

実施形態では、カバーが１つまたは複数のカバーレチクル接触部分を有し、カバーレチクル接触部分の各々が移動可能なレチクル接触部分からオフセットされている。

【0027】

実施形態では、レチクルポッドが、カバーおよびベースプレートを備える内側部分を有する。カバーが、カバーに接合された１つまたは複数のレチクル接触部分を有し、ベースプレートが、１つまたは複数のアパーチャを有する。レチクルポッドが、ポッドドームおよびポッドドアを備える外側部分を有する。ポッドドアが、１つまたは複数の移動可能なポスト、および、１つまたは複数の移動可能なポストを駆動するように構成された１つまたは複数のラッチを有する。内側部分が外側部分内に位置してポッドドアがポッドドームに固着されている場合、１つまたは複数の移動可能なポストが１つまたは複数のアパーチャを通って内側部分の中まで延伸する。

【0028】

実施形態では、１つまたは複数のラッチが、各々、ポッドドアとの同一平面内の一方向に移動可能である。

【0029】

実施形態では、１つまたは複数のラッチが、各々、１つまたは複数の移動可能なポストのうちの１つの移動可能なポストの表面に接触している、摺動面、ロッカーアーム、または、カム面を有する。

【0030】

実施形態では、ポッドドームが、内側部分が外側部分内に位置してポッドドアがポッドドームに固着されているときに、カバーに接触する１つまたは複数の突出部を有する。

【0031】

実施形態では、カバーレチクル接触部分の各々が、ポリマー材料を含む。

【0032】

実施形態では、移動可能なポストの各々が、ポリマー材料を含む。

【0033】

実施形態では、１つまたは複数の移動可能なポストが３つ以上の移動可能なポストを含む。

【0034】

実施形態では、１つまたは複数の移動可能なポストが４つの移動可能なポストを含む。

【0035】

実施形態では、１つまたは複数のアパーチャの各々が、カバーおよびベースプレートが互いに接続されているとき、１つまたは複数のカバーレチクル接触部分のうちの１つのカバーレチクル接触部分に対向している。

【0036】

実施形態では、１つまたは複数のアパーチャの各々が、カバーおよびベースプレートが互いに接続されているとき、１つまたは複数のカバーレチクル接触部分からオフセットされている。

【0037】

実施形態では、１つまたは複数のアパーチャの各々が、レチクルの角部に対応する位置にある。

【0038】

実施形態では、レチクルポッドが、各々のアパーチャ内に配設されたシールをさらに有する。

【0039】

実施形態では、ポッド内に接触部分を提供する方法が、カムを使用してポッドドアをポッドドームに取り付けることによりポッドドア内に位置する１つまたは複数のラッチを始動させること、および、１つまたは複数のラッチまたはカムを介して、ポッドドアの平面に対して垂直である成分を有する方向に延伸するように１つまたは複数の移動可能なポストを駆動すること、を含む。１つまたは複数の移動可能なポストの各々が、１つまたは複数のラッチまたはカムを介して駆動されるとき、ベースプレートを通ってポッドの内側部分の中まで延伸する。

【0040】

実施形態では、１つまたは複数のラッチを始動させることが、ポッドドアの平面に平行な１つまたは複数の方向に１つまたは複数のラッチを移動させることを含む。

【0041】

実施形態では、１つまたは複数のラッチを介して、移動可能なポストを駆動することが、各々の１つまたは複数のラッチ上のカム面を１つまたは複数の移動可能なポストのうちの１つの移動可能なポストに接触させることを含む。

【0042】

実施形態では、本方法が、レチクルをポッドのベースプレート上に配置すること、ポッドのベースプレートをポッドのカバーに接合すること、ならびに、接合されているベースプレートおよびカバーをポッドドーム内の空間内に配置することをさらに含む。

【0043】

実施形態では、接合されているベースプレートおよびカバーが、ポッドドーム内に配置されているときにポッドドームからの１つまたは複数の突出部に接触している。

【0044】

実施形態では、少なくとも３つの移動可能なポストが、１つまたは複数のラッチを介して、駆動される。

【0045】

実施形態では、カバーが１つまたは複数のカバーレチクル接触部分を有し、カバーレチクル接触部分の各々が、移動可能なポストのうちの１つの移動可能なポストに対向している。

【0046】

実施形態では、カバーが１つまたは複数のカバーレチクル接触部分を有し、カバーレチクル接触部分の各々が移動可能なポストからオフセットされている。

【0047】

実施形態では、本方法が、ベースプレートと１つまたは複数の移動可能なポストとの間にシールを形成することをさらに含む。

【0048】

添付図面に関連させて種々の例示の実施形態の以下の記述を考察することにより本開示がより完全に理解され得る。

【図面の簡単な説明】

【0049】

【図1】実施形態によるレチクルポッドを示す部分断面図である。

【図1A】さらに詳細に示すための図１の部分断面図の拡大図である。

【図2】実施形態によるレチクルポッドのベースプレートを示す平面図である。

【図3】実施形態によるレチクルポッドを示す断面図である。

【図4】実施形態による１つまたは複数のレチクル接触部分を移動させる方法を示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0050】

本開示は様々な修正形態または代替の形態を受け入れるが、これらの細部が図に例として示されており、これらの細部を詳細に説明する。しかし、本開示の態様を、説明される特定の例示の実施形態のみに限定することは意図されないことを理解されたい。逆に、本開示の精神および範囲内にあるすべての修正形態、均等物、および代替形態を包含することが意図される。

【0051】

以下の詳細な説明は図面を参照して読まれるべきである。図面では、多様な図面内の同様の要素が等しく参照符号を付される。詳細な説明および必ずしも正確な縮尺ではない図面は例示の実施形態を描いており、本発明の範囲を限定することを意図されない。描かれる例示の実施形態が単に典型例であることを意図される。異なる意味で明確に記載されない限り、任意の例示の実施形態の選択される特徴が追加の実施形態に組み込まれ得る。

【0052】

本明細書および添付の特許請求の範囲で使用される場合の単数形「ａ」、「ａｎ」、および「ｔｈｅ」は、特に明記されない限り、複数形も含む。本明細書および添付の特許請求の範囲で使用される場合の「または」という用語は、特に明記されない限り、一般に、「および／または」を含めたその意味において採用される。

【0053】

「約」という用語は、一般に、記載される値と等価であるとみなされる数の範囲（例えば、同じ機能または結果を有する）を意味する。多くの例において、「約」という用語は、最も近似である有効数字に四捨五入された数も含むことができる。

【0054】

本開示はレチクルポッドを対象とし、より詳細には、レチクルを保持するための移動可能なレチクル保持構造部を有するレチクルポッドを対象とする。

【0055】

図１が、部分断面図を含む、実施形態によるレチクルポッド１００を示し、図１Ａが、さらに詳細に示すために拡大された図１の部分断面図を示す。

【0056】

レチクルポッド１００が、ポッドドーム１０２およびポッドドア１０４を有する外側部分１２２を有する。レチクルポッド１００が、ベースプレート１０６およびカバー１０８を有する内側部分１２４をさらに有する。ベースプレート１０６が移動可能なレチクル接触部分１１０を有する。カバー１０８がカバーレチクル接触部分１１２を有する。レチクルポッド１００の内側部分および外側部分が組み立てられてポッドドア１０４がポッドドーム１０２に接合されるとき、移動可能なレチクル接触部分１１０が移動可能なポスト１１４によって接触される。移動可能なポスト１１４が、ポッドドア１０４のラッチ１１８によって駆動されるとき、作動機構１１６に接触している。

【0057】

ポッドドーム１０２が、レチクルポッド１００の外側部分１２２の一部である。ポッドドーム１０２が、レチクルポッド１００の組み立て時にカバー１０８に接触するように構成された１つまたは複数の構造部を有することができる。ポッドドーム１０２が内部空間を有する。内部空間が、レチクルポッド１００の内側部分１２４を受け入れるようにサイズ決めされた第１の内部空間と、ポッドドア１０４を受け入れるように構成された、ポッドドーム１０２の端部のところにある第２の空間とを有することができる。第２の空間がリップによって画定され得る。第２の空間を囲むポッドドーム１０２の部分が、ラッチ１１８の端部を受けるように構成された１つまたは複数のスロットあるいは他の開口部を有することができる。ポッドドーム１０２がポリマー材料で作られ得る。

【0058】

ポッドドア１０４が、レチクルポッド１００の外側部分１２２の別の一部である。ポッドドア１０４が、レチクルポッド１００の外側部分１２２を形成するためにポッドドーム１０２に組み合わされ得るように構成される。ポッドドア１０４がポッドドーム１０２の空間内に嵌め込まれるようにサイズ決めされ得、その結果、ポッドドア１０４がポッドドーム１０４の端部を閉じる。ポッドドア１０４が、ラッチ１１８および作動機構１１６を有する。ポッドドア１０４がさらに、移動可能なポスト１１４に接続される。ラッチ１１８が配備位置にあるとき、ポッドドア１０４が１つまたは複数のラッチ１１８によりポッドドーム１０２に接合され得る。ラッチ１１８が配備位置にないとき、ポッドドア１０４がポッドドーム１０２から取り外し可能であってよい。

【0059】

ポッドドーム１０２およびポッドドア１０４が一体に接合されるとき、ポッドドーム１０２およびポッドドア１０４が一体に、ベースプレート１０６およびカバー１０８を有するレチクルポッド１００の内側部分１２４を受け入れることができる内部空間を画定する。ポッドドーム１０２およびポッドドア１０４が、レチクルポッド１００の組み立て時にベースプレート１０６またはカバー１０８を定位置で保持するためにベースプレート１０６またはカバー１０８に接触するように構成された、内部空間の中へ突出する構造部を有することができる。

【0060】

ベースプレート１０６が、レチクルポッド１００の内側部分１２４の一部である。レチクルポッド１００の組み立て時、ベースプレート１０６がポッドドア１０４によって支持され得る。ベースプレート１０６が、通常、レチクルポッド１００の内側部分１２４の下側部分を形成する。ベースプレート１０６が、ベースプレート１０６上でレチクルを静止させるのを可能にするように構成され得る。ベースプレート１０６が金属または合金で作られ得る。実施形態では、ベースプレート１０６がアルミニウムを含む。実施形態では、ベースプレート１０６がレチクル接触部分を有することができ、移動可能なレチクル接触部分１１０が延伸させられるとき、レチクル接触部分が移動可能なレチクル接触部分１１０の高さより小さい高さを有する。

【0061】

移動可能なレチクル接触部分１１０がベースプレート１０６に移動可能に接続される。移動可能な接続は、弾性材料を介する接続であってよい。移動可能な接続の非限定の例には、ベースプレート１０６内に形成される金属ばね、別個であるがベースプレート１０６に接続されるばね、移動可能なレチクルに接合されるゴムなどのポリマー、または、任意の他のこのような移動可能な接続が含まれる。移動可能なレチクル接触部分１１０が、ベースプレート１０６の平面に対して垂直である成分を有する方向に移動するように構成される。実施形態では、移動可能なレチクル接触部分が、ベースプレート１０６の平面に対して垂直である方向に移動するように構成される。ベースプレート１０６およびカバー１０８が接合されているとき、移動可能なレチクル接触部分１１０の移動により、移動可能なレチクル接触部分がカバー１０８に向かう方向にまたはカバー１０８から離れる方向に移動する。移動可能なレチクル接触部分１１０が、レチクル材料に適合する材料を含むことができる。適合する材料には、レチクル材料に接触するときに粒子の発生を最小にするかまたは粒子を発生させず、レチクル材料に傷を付けたりまたは他のダメージを与えたりし得ない、材料が含まれる。実施形態では、この適合する材料がポリマー材料である。実施形態では、移動可能なレチクル接触部分１１０の全体が、この適合する材料で作られる。実施形態では、移動可能なレチクル接触部分が、この適合する材料を含む接触部分ポイントを有する。この適合する材料の非限定の例には、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリアリールエーテルケトン（ＰＡＥＫ）、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、および、導電性ポリマーが含まれる。

【0062】

カバー１０８が、レチクルポッド１００の内側部分１２４の別の一部である。カバー１０８が、ベースプレート１０６およびカバー１０８から内側部分１２４が組み立てられるときに、レチクルポッド１００の内側部分１２４の上側部分を形成することができる。カバー１０８が、例えば整合性を有するかまたは機械的に適合する構造部により、ベースプレート１０６に接合されるように構成される。カバー１０８がベースプレート１０６に接合されているとき、カバー１０８およびベースプレート１０６が、レチクルを受け入れるように構成された内部空間を画定する。カバー１０８が、例えばアルミニウムなどの、金属または合金で作られ得る。カバー１０８が、１つまたは複数のカバーレチクル接触部分１１２を有することができる。実施形態では、レチクルポッドの内側部分１２４がポッドドーム１０２およびポッドドア１０４の中に配置されてポッドドア１０４がポッドドーム１０２に接合されているとき、カバー１０８がポッドドーム１０２によって接触される。

【0063】

カバーレチクル接触部分１１２が、レチクルポッド１００の内側部分１２４のカバー１０８に接合される接触部分である。実施形態では、カバーレチクル接触部分１１２がカバーの内部に固着され、その結果、レチクルポッド１００の内側部分１２４の組み立て時にカバーレチクル接触部分１１２がベースプレート１０６の方を向く。実施形態では、カバーレチクル接触部分１１２が定位置で固着される。カバーレチクル接触部分１１２の固着の非限定の例には、押圧、機械的な固着、または、例えばカバー１０８内に直接に機械加工されるカバー１０８の一体部分が含まれる。実施形態では、カバーレチクル接触部分１１２が移動可能であり、例えば、ベースプレート１０６に接合された移動可能なレチクル接触部分１１０と同様に弾性部材によって保持されている。カバーレチクル接触部分１１２が、ベースプレートおよびカバーの組み立て時にカバーレチクル接触部分の各々が移動可能なレチクル接触部分１１０のうちの１つの移動可能なレチクル接触部分に対向することになるように、位置決めされ得る。実施形態では、カバーレチクル接触部分１１２が、移動可能なレチクル接触部分１１０からオフセットされるように、つまり、カバーレチクル接触部分および移動可能なレチクル接触部分１１０を互いに対向させないように、位置決めされ得る。移動可能なレチクル接触部分１１０およびカバーレチクル接触部分１１２が互いからオフセットされてベースプレートおよびカバーが一体に組み立てられているとき、カバーレチクル接触部分１１２が移動可能なレチクル接触部分１１０の上方に存在しない。実施形態では、レチクルポッド１１０が、少なくとも３つのカバーレチクル接触部分１１２を有する。実施形態では、レチクルポッド１００が、４つのカバーレチクル接触部分１１２を有する。実施形態では、レチクルポッド１００が、８つのカバーレチクル接触部分１１２を有する。カバーレチクル接触部分１１２が、レチクル材料に適合する材料を含む。適合する材料には、レチクル材料に接触するときに粒子の発生を最小にするかまたは粒子を発生させず、レチクル材料に傷を付けたりまたは他のダメージを与えたりし得ない、材料が含まれる。実施形態では、この適合する材料がポリマー材料である。カバーレチクル接触部分１１２が、少なくとも、レチクルポッド１００の組み立て時にレチクルに接触するように構成された接触部分ポイントにおいて、この適合する材料を含むことができる。実施形態では、カバーレチクル接触部分１１２の全体が、レチクルに接触するのに適するポリマー材料で作られる。この適合する材料の非限定の例には、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリアリールエーテルケトン（ＰＡＥＫ）、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、および、導電性ポリマーが含まれる。

【0064】

移動可能なポスト１１４が、レチクルポッド１００が組み立てられてラッチ１１８を介してポッドドア１０４がポッドドーム１０２に固着されたときに、移動可能なレチクル接触部分１１０に接触するように構成された、ポッドドア上に位置する１つまたは複数のポストである。少なくとも、ラッチ１１８を介してポッドドア１０４がポッドドーム１０２に固着されているとき、移動可能なポスト１１４が、ベースプレート１０６の方を向くポッドドア１０４の表面から突出する。ポッドドア１０４がポッドドーム１０２に固着されていないとき、移動可能なポスト１１４が、ポッドドア１０４と面一であってよいか、ポッドドア１０４内に入り込んでいてよいか、またはポッドドア１０４から短い距離で離れていてよい。レチクルポッド１１０の組み立て時、移動可能なポスト１１４が、ベースプレート１０６の方を向くポッドドア１０４の表面に対して垂直な方向の成分を有する方向に移動可能である。実施形態では、レチクルポッド１１０の組み立て時、移動可能なポスト１１４が、ベースプレート１０６の方を向くポッドドア１０４の表面に対して垂直な方向に移動可能である。移動可能なポスト１１４の数が、移動可能なレチクル接触部分１１０の数と等しくてよい。

【0065】

代替的実施形態では、移動可能なポスト１１４が、レチクルポッド１００が組み立てられてラッチ１１８が閉じられているときに、ベースプレートを通って延伸することになるような長さを有することができる。この実施形態では、アパーチャがベースプレート１０６内に形成され、例えば、移動可能なレチクル接触部分１１０のロケーションのところに形成される。アパーチャが開口部であってよく、この開口部において、移動可能なレチクル接触部分１１０がベースプレート１０６内に配設される。この実施形態では、移動可能なポストが、レチクル材料に適合する材料を含むことができる。適合する材料には、レチクル材料に接触するときに粒子の発生を最小にするかまたは粒子を発生させず、レチクル材料に傷を付けたりまたは他のダメージを与えたりし得ない、材料が含まれる。実施形態では、この適合する材料がポリマー材料である。実施形態では、移動可能なポスト１１４がこの適合する材料で作られる。実施形態では、移動可能なポスト１１４が、この適合する材料を含む接触部分ポイントを有する。この適合する材料の非限定の例には、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリアリールエーテルケトン（ＰＡＥＫ）、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、および、導電性ポリマーが含まれる。この実施形態では、ベースプレート１０６内のアパーチャが、移動可能なポスト１１４がアパーチャを通って延伸しているときに、移動可能なポスト１１４の周りにシールを形成するように構成されたシールを有することができる。これらのシールが例えばＯリングであってよい。

【0066】

作動機構１１６が、ラッチ１１８の移動に基づいて移動可能なポストを駆動するように構成された、ポッドドア１０４内に位置する１つまたは複数の構成要素を有する。作動機構１１６が、ラッチ１１８の移動を移動可能なポスト１１４の移動へと変換するための任意の１つまたは複数の機構である。実施形態では、作動機構１１６が、ラッチ１１８上に形成された１つまたは複数の摺動面を有する。実施形態では、作動機構１１６が１つまたは複数のロッカーアームを有する。実施形態では、作動機構１１６がラッチ１１８に接触するように構成された１つまたは複数のカム面を有し、その結果、ラッチ１１８の移動により、作動機構が、移動可能なポスト１１４に対して、摺動するか、揺動するか、またはカム動作する。

【0067】

ラッチ１１８が、ポッドドア１０４をポッドドーム１０２に固定するラッチである。ラッチ１１８が、ポッドドア１０２を固定するために配備位置においてポッドドーム１０４に係合するように構成されたラッチピン１２０を有することができる。実施形態では、ラッチ１１８が、ラッチピン１２０を延伸および後退させるように構成された回転アクチュエータ（図示せず）をさらに有する。実施形態では、回転アクチュエータが、例えば図３に示されて後で考察されるラッチカム３０８などの、カムを有する。実施形態では、回転アクチュエータの動作が、１つまたは複数の移動可能なポスト１１４を駆動する。実施形態では、回転アクチュエータの動作が、各々のラッチピンの少なくとも一部分を持ち上げることができる。後退位置では、ラッチ１１８が全体としてポッドドア１０４内に存在してよい。ラッチ１１８が、作動機構１１６として機能する１つまたは複数の摺動面を有することができる。ラッチ１１８が、ロッカーアームに接触するように構成された１つまたは複数の表面、作動機構１１８のカム面に接触するように構成された１つまたは複数のカムまたはカム面、あるいは、作動機構１１６に接触するための他の適切な構造部などの、作動機構１１６と相互作用するように構成された１つまたは複数の係合構造部を有することができる。ラッチ１１８が配備位置にあるとき、ラッチ１１８の係合構造部が作動機構１１６に接触することができる。実施形態では、ポッドドア１０４が、配備状態と後退状態との間でラッチを移動させるための、ノブ、スイッチ、トグル、または他のこのような適切な制御装置を有する。実施形態では、ラッチ１１８が、ポッドドーム１０２に対してポッドドア１０４が押圧されるときに、配備されるように構成される。

【0068】

図２が、実施形態による、レチクルポッドのベースプレート２００の平面図を示す。ベースプレート２００が、レチクル２０８のための空間２０２、および、移動可能なレチクル接触部分２０４を有する。移動可能なレチクル接触部分２０４の各々が、可撓性部材２０６を介して保持される。レチクル接触部分２０４が、レチクルのための空間２０２内にレチクルが配置されているときにレチクル２０８の角部に対応することになる位置に位置する。

【0069】

レチクルのための空間２０２が、レチクルを配置させることができるところであるベースプレートの部分である。レチクル２０８は、レチクルのための空間２０２内へのレチクル２０８の嵌め込みを示すために例示されている。実施形態では、レチクルのための空間２０２が側壁２１０によって画定され得る。実施形態では、レチクルのための空間２０２が、ベースプレート２００に対してカバーが取り付けられているときにカバーによって囲まれるベースプレートの表面の部分であってよい。レチクルのための空間２０２の形状はレチクル２０８の形状に従うように構成され得、例えば、正方形のレチクルの場合は正方形であってよく、または、円形のレチクルの場合は円形であってよい。レチクルのための空間２０２が、中に配置することになるレチクル２０８よりわずかに大きくなるようにサイズ決めされ得る。

【0070】

移動可能なレチクル接触部分２０４が、レチクルのための空間２０２内で、ベースプレート２００に沿って分布する。実施形態では、移動可能なレチクル接触部分が、レチクル２０８の角部に対応するレチクルのための空間２０２のエリア２１２内に位置する。レチクル２０８がレチクルのための空間２０２内に配置されると、レチクル２０８が移動可能なレチクル接触部分２０４上で静止することができる。移動可能なレチクル接触部分２０４が、ポリマー材料などの、レチクル２０８に接触してレチクル２０８を定位置で保持するための適切材料で作られ得る。移動可能なレチクル接触部分２０４の材料はレチクル２０８の材料に適合するものであってよく、その結果、移動可能なレチクル接触部分２０４とレチクル２０８との間の接触が粒子を発生させたりあるいはレチクル２０８に対していかなる傷またはダメージも与えたりしない。実施形態では、移動可能なレチクル接触部分が、少なくとも、移動可能なレチクル接触部分がレチクル２０８に接触するように構成されているところであるポイントにおいて、ポリマー材料を含む。ベースプレート２００を有するレチクルポッドを組み立てるとき、レチクル２０８が移動可能なレチクル接触部分２０４上に配置され得る。移動可能なレチクル接触部分２０４が標準位置および保持位置を有することができ、保持位置では、移動可能なレチクル接触部分２０４が、ベースプレート２００を有するレチクルポッドのカバー上のレチクル接触部分などの別の構造部に対してレチクル２０８をクランプするように構成される。ポッドドアがベースプレート２００を有するレチクルポッドのためにポッドドームに固定されない場合、移動可能なレチクル接触部分２０４が標準位置をとることができる。標準位置では、レチクル２０８がレチクルのための空間２０２内に配置されるとき、レチクル２０８が移動可能なレチクル接触部分２０４上で静止することができる。標準位置では、ポッドドアがポッドドームに固定されない場合、レチクル２０８の上側表面とカバー上にあるすべてのレチクル接触部分を含めたカバーのすべての構造部との間の隙間が存在してよい。

【0071】

可撓性部材２０６が、ベースプレート２００に接触させて移動可能なレチクル接触部分２０４を保持する。可撓性部材２０６は、例えば、金属ばね、弾性ポリマー（ｒｅｓｉｌｉｅｎｔ ｐｏｌｙｍｅｒ）材料、または、レチクル接触部分２０４をベースプレート２００に接合する別の適切な接続であってよく、その結果、移動可能なレチクル接触部分２０４がベースプレート２００に対して移動可能となる。図２に示されるように、可撓性部材２０６が、材料を除去して、移動可能なレチクル接触部分の一部をその中に挿入することが可能である溝または孔などの、移動可能なレチクル接触部分２０４のための接続ポイントを提供することにより、画定される金属ばねなどの、ベースプレート２００と一体に形成される金属ばねであってよい。可撓性部材２０６が、ゴムなどの弾性ポリマーを含むことができる。可撓性部材２０６が、移動可能なレチクル接触部分２０４からベースプレート２００上に１つまたは複数の固定ポイントまで延伸する弾性ポリマーのポスト、タブ、またはリングなどの、移動可能なレチクル接触部分２０４と一体に形成された弾性ポリマーを含むことができる。可撓性部材２００が弾性であってよく、その結果、可撓性部材２００が、他の力なしで、標準位置において移動可能なレチクル接触部分を移動させたりまたは保持したりし、移動可能なレチクル接触部分２０４または可撓性部材２０６に対して力が加えられるときに移動可能なレチクル接触部分２０４を保持位置まで移動させるのを可能にする。

【0072】

各々の移動可能なレチクル接触部分２０４または可撓性部材２０６の一方または両方が、図２で見ることができる側の反対のベースプレート２００の側に設けられる表面を有する。各々の移動可能なレチクル接触部分２０４または可撓性部材２０６の一方または両方のこの表面が、ベースプレート２００を有するレチクルポッドのポッドドア上に含まれる移動可能なポストによって接触され得る。移動可能なポストと接触することにより、ベースプレート２００の平面に対して垂直である成分を有する方向に移動可能なレチクル接触部分２０４が移動させられ得、その結果、移動可能なレチクル接触部分２０４が、ベースプレート上に配置されたカバーの方向に移動させられる。移動可能なレチクル接触部分２０４の移動により、カバー上のレチクル接触部分の間でレチクル２０８がクランプされ得るようになる。レチクル２０８がこのようにクランプされることにより、レチクル２０８の位置が固定され得、それにより、ベースプレート２００を有するレチクルポッドが完全に組み立てられてポッドドームがポッドドアに固定されるとき、レチクルの移動を制限または防止する。ポッドドアに対してのポッドドームの固定が、ポッドドア内の１つまたは複数のラッチを介するものであってよい。これらの１つまたは複数のラッチが移動可能なポストを作動させることができ、各々の移動可能なレチクル接触部分２０４または可撓性部材２０６の一方または両方に接触させるように移動可能なポストを駆動することができる。したがって、１つまたは複数のラッチが、標準位置と保持位置との間での移動可能なレチクル接触部分２０４の移動を引き起こすことができる。

【0073】

図３が、実施形態によるレチクルポッドの断面図を示す。レチクルポッド３００が、ポッドドーム３０４およびポッドドア３０６を有する外側部分３０２を有する。ポッドドア３０６が、ラッチカム３０８およびラッチアーム３１０を有する。ラッチアーム３１０が、ラッチカム３０８に接触する接触部分ポイント３１２を有する。ラッチアーム３１０がさらに、移動可能なポスト３１４の端部３１６のところで移動可能なポスト３１４に接触する。移動可能なポスト３１４が移動可能なレチクル接触部分３１８に接触する。移動可能なレチクル接触部分３１８がベースプレート３２０を通って延伸する。ベースプレート３２０およびカバー３２２がレチクルポッド３００の内側部分３２４を形成する。カバー３２２がカバーレチクル接触部分３２６を有する。レチクルポッド３００が組み立てられるとき、カバーレチクル接触部分３２６および移動可能なレチクル接触部分３１８が、レチクルポッド３００の内側部分３２４内でレチクル３２８をクランプするように構成される。

【0074】

ポッドドーム３０４がレチクルポッド３００の外側部分３０２の一部である。ポッドドーム３０４が、レチクルポッド３００の内側部分３２４を受け入れることができる内部空間を部分的に画定する。ポッドドア３０６が、外側部分３０２を形成して、内側部分３２４を受け入れることができる内部空間を完全に画定するために、ポッドドーム３０４と接合状態となるように構成される。ポッドドア３０６が、ラッチアーム３０８および２つ以上のラッチアーム３１０を含むラッチにより、ポッドドーム３０４に接合され得る。

【0075】

ラッチカム３０８が、ラッチカム３０８の回転時にラッチアーム３１０を作動させるように構成されたカムである。ラッチカム３０８がハンドルに接合され得、それにより、使用者がラッチカム３０８の回転を駆動することが可能となる。ラッチカム３０８が、ラッチアーム３１０を移動させるために、ラッチアーム３１０上に形成された接触部分ポイント３１２に係合するように構成された１つまたは複数のカム面３３０を有することができる。実施形態では、カム面３３０が、ラッチアーム３１０を延伸位置まで駆動するときに、接触部分ポイント３１２を有するラッチアーム３１０の端部を上方に駆動する。

【0076】

ラッチアーム３１０は、延伸位置にあるときにポッドドア３０６をポッドドーム３０４に固定するためにポッドドーム３０４と係合するように構成されたアームである。ラッチアーム３１０が、ポッドドーム３０４と係合しない後退位置をとることもできる。ラッチアーム３１０が、ラッチカム３０８の動作により後退位置および延伸位置まで駆動され得る。接触部分ポイント３１２は、ラッチカム３０８と係合するラッチアーム３１０上のポイントである。接触部分ポイント３１２はラッチアーム３１０と一体に形成され得、ラッチアーム３１０からの突出部などと一体に形成され得る。ラッチカム３０８との接触部分ポイント３１２の係合が、延伸位置と後退位置との間で移動させるようにラッチアーム３１０を駆動することができる。ラッチカム３０８との接触部分ポイント３１２の係合がさらに、ラッチアーム３１０を傾斜させることができ、例えば、図３で見ることができるように、ラッチカム３０８によりラッチアーム３１０を延伸位置まで駆動するとき、接触部分ポイント３１２を有するラッチアーム３１０の端部を持ち上げることができる。

【0077】

移動可能なポスト３１４は、レチクルポッド３００が組み立てられて、ラッチカム３０８およびラッチアーム３１０を有するラッチを介してポッドドア３０４がポッドドーム３０６に固着されるとき、移動可能なレチクル接触部分３１８に接触するように構成された、ポッドドア上に位置する１つまたは複数のポストである。移動可能なポスト３１４が、少なくとも、ラッチカム３０８およびラッチアーム３１０を有するラッチを介してポッドドーム３０４に対してポッドドア３０６が固着されているとき、ベースプレート３２０の方を向くポッドドア３０６の表面から突出する。移動可能なポスト３１４が、ポッドドーム３０４に対してポッドドア３０６が固着されていないとき、ポッドドア３０６と面一であってよいか、ポッドドア３０６内に入り込んでいてよいか、またはポッドドア３０６から短い距離で離れていてよい。レチクルポッド３００の組み立て時、移動可能なポスト３１４が、ベースプレート３２０の方を向くポッドドア３０６の表面に対して垂直方向の成分を有する方向に移動可能である。実施形態では、レチクルポッド３００の組み立て時、移動可能なポスト３１４が、ベースプレート３２０の方を向くポッドドア３０６の表面に対して垂直方向に移動可能である。移動可能なポスト３１４の数が、移動可能なレチクル接触部分３１８の数と等しくてよい。実施形態では、この垂直方向が、ポッドドア３０６の平面に対して垂直である。

【0078】

移動可能なポスト３１４が、移動可能なレチクル接触部分３１８の反対側にある端部３１６を有する。端部３１６がラッチアーム３１０に接触することができ、その結果、ラッチアーム３１０の少なくとも１つの移動成分が移動可能なポスト３１４に伝達される。実施形態では、移動可能なポスト３１４に伝達されるラッチアーム３１０の移動成分が、ポッドドア３０６の平面に対して垂直である成分である。ｃａｎの接触が、ラッチアーム３１０の位置に基づいて位置を変更するために移動可能なポスト３１４を駆動し、ここでは例えば、ラッチカム３０８が回転させられてラッチアーム３１０を延伸させてさらに接触部分ポイント３１２を有するラッチアームの端部を上昇させるとき、移動可能なポストをベースプレート３２０の方に駆動する。

【0079】

移動可能なレチクル接触部分３１８がベースプレート３２０に移動可能に接続される。移動可能な接続は、弾性材料を介する接続であってよい。移動可能な接続の非限定の例には、ベースプレート３２０内に形成される金属ばね、別個であるがベースプレート３２０に接続されるばね、移動可能なレチクルに接合されるゴムなどのポリマー、または、任意の他のこのような移動可能な接続が含まれる。移動可能なレチクル接触部分３１８が、ベースプレート３２０の平面に対して垂直である成分を有する方向に移動するように構成される。実施形態では、移動可能なレチクル接触部分が、ベースプレート３２０の平面に対して垂直である方向に移動するように構成される。ベースプレート３２０およびカバー３２２が接合されているとき、移動可能なレチクル接触部分３１８の移動により、移動可能なレチクル接触部分がカバー３２２に向かう方向にまたはカバー３２２から離れる方向に移動する。移動可能なレチクル接触部分３１８が、レチクル材料に適合する材料を含むことができる。適合する材料には、レチクル材料に接触するときに粒子の発生を最小にするかまたは粒子を発生させず、レチクル材料に傷を付けたりまたは他のダメージを与えたりし得ない、材料が含まれる。実施形態では、この適合する材料がポリマー材料である。実施形態では、移動可能なレチクル接触部分３１８の全体が、この適合する材料で作られる。実施形態では、移動可能なレチクル接触部分が、この適合する材料を含む接触部分ポイントを有する。この適合する材料の非限定の例には、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリアリールエーテルケトン（ＰＡＥＫ）、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、および、導電性ポリマーが含まれる。

【0080】

ベースプレート３２０が、レチクルポッド３００の内側部分３２４の一部である。レチクルポッド３００の組み立て時、ベースプレート３２０がポッドドア３０６によって支持され得る。ベースプレート３２０が、通常、レチクルポッド３００の内側部分３２４の下側部分を形成する。ベースプレート３２０が、レチクル３２８をベースプレート３２０上で静止させるのを可能にするように、構成され得る。ベースプレート３２０が金属または合金で作られ得る。実施形態では、ベースプレート３２０がアルミニウムを含む。実施形態では、ベースプレート３２０がレチクル接触部分を有することができ、移動可能なレチクル接触部分３１８が延伸させられるとき、レチクル接触部分が移動可能なレチクル接触部分３１８の高さより小さい高さを有する。

【0081】

カバー３２２が、レチクルポッド３００の内側部分３２４の別の一部である。カバー３２２が、ベースプレート３２０およびカバー３２２から内側部分３２４が組み立てられるときに、レチクルポッド３００の内側部分３２４の上側部分を形成することができる。カバー３２２が、例えば整合性を有するかまたは機械的に適合する構造部により、ベースプレート３２０に接合されるように構成される。カバー３２２がベースプレート３２０に接合されるとき、カバー３２２およびベースプレート３２０が、レチクル３２８を受け入れるように構成された内部空間を画定する。カバー３２２が、例えばアルミニウムなどの、金属または合金で作られ得る。カバー３２２が、１つまたは複数のカバーレチクル接触部分３２６を有することができる。実施形態では、レチクルポッド３００の内側部分３２４がポッドドーム３０４およびポッドドア３０６の中に配置されてポッドドア３０６がポッドドーム３０４に接合されているとき、カバー３２２がポッドドーム３０４によって接触される。

【0082】

カバーレチクル接触部分３２６が、レチクルポッド３００の内側部分３２４のカバー３２２に接合される接触部分である。実施形態では、カバーレチクル接触部分３２６がカバーの内部に固着され、その結果、レチクルポッド３００の内側部分３２４の組み立て時にカバーレチクル接触部分３２６がベースプレートの方を向く。実施形態では、カバーレチクル接触部分３２６が定位置で固着される。カバーレチクル接触部分３２６の固着の非限定の例には、押圧、機械的な固着、または、例えばカバー３２２内に直接に機械加工されるカバー３２２の一体部分が含まれる。実施形態では、カバーレチクル接触部分３２６が移動可能であり、例えば、ベースプレート３２０に接合された移動可能なレチクル接触部分３１６と同様に弾性部材によって保持されている。カバーレチクル接触部分３２６が、ベースプレートおよびカバーの組み立て時にカバーレチクル接触部分の各々が移動可能なレチクル接触部分３１８のうちの１つの移動可能なレチクル接触部分に対向することになるように、位置決めされ得る。実施形態では、カバーレチクル接触部分３２６が、移動可能なレチクル接触部分３１８からオフセットされるように、つまり、カバーレチクル接触部分３２６および移動可能なレチクル接触部分３１８を互いに対向させないように、位置決めされ得る。移動可能なレチクル接触部分３１８およびカバーレチクル接触部分３２６が互いからオフセットされてベースプレートおよびカバーが一体に組み立てられているとき、カバーレチクル接触部分３２６が移動可能なレチクル接触部分３１８の上方に存在しない。実施形態では、レチクルポッド３００が、少なくとも３つのカバーレチクル接触部分３２６を有する。実施形態では、レチクルポッド３００が、４つのカバーレチクル接触部分３２６を有する。実施形態では、レチクルポッド３００が、８つのカバーレチクル接触部分３２６を有する。カバーレチクル接触部分３２６が、レチクル材料に適合する材料を含む。適合する材料には、レチクル材料に接触するときに粒子の発生を最小にするかまたは粒子を発生させず、レチクル材料に傷を付けたりまたは他のダメージを与えたりし得ない、材料が含まれる。実施形態では、この適合する材料がポリマー材料である。カバーレチクル接触部分３２６が、少なくとも、レチクルポッド３００の組み立て時にレチクルに接触するように構成された接触部分ポイントにおいて、この適合する材料を含むことができる。実施形態では、カバーレチクル接触部分３２６の全体が、レチクルに接触するのに適するポリマー材料で作られる。この適合する材料の非限定の例には、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリアリールエーテルケトン（ＰＡＥＫ）、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、および、導電性ポリマーが含まれる。

【0083】

ベースプレート３２０およびカバー３２２が一体に接合されてレチクルポッド３００の内側部分３２４を形成する。内側部分３２４の全体がポッドドーム３０４およびポッドドア３０６の中の空間の内部に位置する。

【0084】

レチクル３２８が、例えばフォトリソグラフィマスクなどの、レチクルである。レチクル３２８が、レチクルポッド３００の内側部分３２４の内部空間内に位置することができる。レチクル３２８が内側部分３２４内に位置するとき、内側部分が外側部分３０２内に位置し、ポッドドーム３０４およびポッドドア３０６が、ラッチカム３０８およびラッチアーム３１０を有するラッチにより、互いに固定される。

【0085】

図４が、実施形態による１つまたは複数のレチクル接触部分を移動させる方法のフローチャートを示す。方法４００が、ポッドドア内に位置する１つまたは複数のラッチを始動させることを含み、それにより、ポッドドアをポッドドーム４０２に取り付ける。方法４００が、ポッドドア４０４の平面に対して垂直である成分を有する方向に延伸させるように１つまたは複数の移動可能なポストを駆動することをさらに含む。方法４００が、１つまたは複数の移動可能なポスト４０６を介してベースプレートの１つまたは複数の移動可能なレチクル接触部分を接触させることをさらに含む。

【0086】

４０２で、ポッドドア内に位置する１つまたは複数のラッチが始動され、それにより、ポッドドアをポッドドームに取り付ける。ポッドドアおよびポッドドームがレチクルポッドの外側部分を形成することができる。ポッドドアおよびポッドドームが内部空間を画定することができる。ポッドドアおよびポッドドームが、例えば、上述した、図１に示されるポッドドア１０２およびポッドドア１０４であってよい。４０２でラッチを始動させることにより、ラッチを配備位置まで移動させ、この配備位置において、ラッチがポッドドアをポッドドームに固定する。カバー１０６およびベースプレート１０８またはベースプレート２００などの、カバーおよびベースプレートを有するレチクルポッドの内側部分が、内部空間内に含まれ得る。ポッドドアをポッドドームに取り付けることにより、１つまたは複数のラッチが４０２で自動で始動される。手動によりまたは別のデバイスを介することにより、ノブ、スライダ、または他の構造部を機械的に動作させることにより、１つまたは複数のラッチが始動され得る。４０２で１つまたは複数のラッチが始動されることにより、ラッチが移動することになる。４０２での始動によりラッチが移動させられることにより、ラッチと１つまたは複数のアクチュエータ機構との間での接触あるいは１つまたは複数の移動可能なポストとの直接の接触を引き起こすことができる。

【0087】

４０４で、１つまたは複数の移動可能なポストが、ポッドドアの平面に対して垂直である成分を有する方向に延伸するように駆動される。実施形態では、４０２での１つまたは複数のラッチの始動の結果として、移動可能なポストが駆動される。移動可能なポストがポッドドアに接続され得る。移動可能なポストが、レチクルポッド内に含まれるベースプレート内に含まれるレチクル接触部分に各々対応することになるように、位置決めされ得、ここでは、ベースプレートが、ポッドドアおよびポッドドームによって画定された内部空間内にあるレチクルポッドの内側部分の一部である。移動可能なポストが、１つまたは複数のラッチあるいは１つまたは複数のアクチュエータとのそれらの接触を介して、駆動され得る。移動可能なポストとラッチとの間の接触は、ラッチおよび移動可能なポストの各々にそれぞれ含まれる摺動面で起きてよい。１つまたは複数のアクチュエータが、例えば、ロッカーアーム、カム面、または摺動面を有することができる。実施形態では、移動可能なポストのうちの１つまたは複数の移動可能なポストが、移動可能なポストとラッチ上に含まれる摺動面との間の接触により、駆動される。摺動面がくさび形状を有することができる。摺動面のくさび形状が、ポッドドアの平面に対して垂直である成分を有する方向における移動可能なポストの移動を駆動することができる。ポッドドアの平面に対して垂直である成分を有する方向が、レチクルポッドの組み立て時のレチクルポッドの内側部分のベースプレートに向かう方向であってよい。実施形態では、ロッカーアームがラッチによって作動され、ロッカーアームが１つまたは複数の移動可能なポストを駆動する。実施形態では、各アクチュエータのカム面がラッチに接触し、ここでは、ラッチの移動によりカム動作を引き起こしてそれによりアクチュエータを移動させて、それにより、ポッドドアの平面に対して垂直である成分を有する方向に延伸させるように１つまたは複数の移動可能なポストを駆動する。

【0088】

実施形態では、ベースプレートの１つまたは複数の移動可能なレチクル接触部分が、１つまたは複数の移動可能なポスト４０６を介して、接触される。４０６での接触の結果として、ベースプレート内の１つまたは複数の移動可能なレチクル接触部分が、レチクルポッドの内側部分の一部であるカバーの方に移動させられ得る。４０６で１つまたは複数の移動可能な接触部分が移動可能なポストによって接触されるとき、移動可能なレチクル接触部分が、ベースプレートに接合されたカバーの方に移動させられ得る。移動可能なレチクル接触部分の移動は、レチクルをカバーの間に位置させて、ベースプレートを、移動可能なレチクル接触部分と、ベースプレートに接合されたカバー上のレチクル接触部分との間で、クランプすることになるような、位置までの移動であってよい。このようにクランプは、カバーおよびベースプレートが接合されている間においてレチクルを固定して、この間、組み合わされたレチクルカバーおよびベースプレートがポッドドアおよびポッドドームの中に位置し、さらにこの間、ポッドドアがポッドドームに掛合されている、ことになるようなクランプであってよい。４０２で作動されたラッチを介してポッドドアがポッドドームに固定された状態を維持する間において、レチクル接触部分が移動可能なポストによりこの位置で保持され得る。実施形態では、１つまたは複数の移動可能なレチクル接触部分の移動が、１つまたは複数のレチクル接触部分の各々に対向して、カバー上のレチクル接触部分の方に向かう、移動可能なレチクル接触部分の各々の移動であってよい。実施形態では、１つまたは複数の移動可能なレチクル接触部分の移動がカバーに向かう移動であり、カバー上に含まれるレチクル接触部分がベースプレート上の移動可能なレチクル接触部分からオフセットされ、その結果、カバーおよびベースプレート上の個別のレチクル接触部分が互いに対向しない。

【0089】

実施形態では、ステップ４０６が、ベースプレート４０８内のアパーチャを通して移動可能なポストを延伸させることにより、繰り返され得る。この実施形態では、ベースプレートが、１つまたは複数の移動可能なポストの各々のためのアパーチャを有する。４０４で、１つまたは複数の移動可能なポストが駆動されてポッドドアの平面に対して垂直である成分を有する方向に延伸させられるとき、移動可能なポストがアパーチャを通過するように駆動される。実施形態では、移動可能なポストが、アパーチャを通して移動可能なポストが延伸させられるときにアパーチャのところにシールを形成するように構成されたシーツを通して押され得る。シールが、非限定の例として、Ｏリングであってよい。実施形態では、移動可能なポストが、適合する材料で作られた接触面を有することができる。

【0090】

態様
態様１から１４のうちの任意の態様が態様１５から２２のうちの任意の態様と組み合わされ得ることが理解されよう。態様２３から３４のうちの任意の態様が態様３５から４３のうちの任意の態様と組み合わされ得ることが理解されよう。

【0091】

態様１．カバーおよびベースプレートを有する内側部分であって、カバーが、カバーに接合された１つまたは複数のカバーレチクル接触部分を有し、ベースプレートが１つまたは複数の移動可能なレチクル接触部分を有し、１つまたは複数の移動可能なレチクル接触部分の各々が、ベースプレートの平面に対して垂直である成分を有する方向に移動可能となるように構成される、内側部分と、
ポッドドームおよびポッドドアを有する外側部分であって、ポッドドアが、１つまたは複数の移動可能なポスト、および、１つまたは複数の移動可能なポストを駆動するように構成された１つまたは複数のラッチを有する、外側部分と
を備え、
内側部分が外側部分内に位置してポッドドアがポッドドームに固着される場合、１つまたは複数の移動可能なポストが１つまたは複数のレチクル接触部分に接触し、その結果、１つまたは複数の移動可能なレチクル接触部分がカバーの方に移動させられる、レチクルポッド。

【0092】

態様２．態様１によるレチクルポッドであって、１つまたは複数の移動可能なレチクル接触部分の各々が、可撓性部材を介してベースプレート内で保持される。

【0093】

態様３．態様２よるレチクルポッドであって、可撓性部材が静止状態にあるとき、移動可能なレチクル接触部分が、レチクルポッド内で保管されることになるレチクルの厚さより大きい１つまたは複数のカバーレチクル接触部分のうちの少なくとも１つのカバーレチクル接触部分から一定の距離のところにある。

【0094】

態様４．態様１から３のいずれかの態様によるレチクルポッドであって、１つまたは複数のラッチが、各々、ポッドドアとの同一平面内の一方向に移動可能である。

【0095】

態様５．態様１から４のいずれかの態様によるレチクルポッドであって、１つまたは複数のラッチが、各々、１つまたは複数の移動可能なポストのうちの１つの移動可能なポストの表面に接触している表面を有する。

【0096】

態様６．態様１から５のいずれかの態様によるレチクルポッドであって、１つまたは複数の移動可能なレチクル接触部分が、各々、ベースプレートの平面に対して垂直である方向に移動可能となるように構成される。

【0097】

態様７．態様１から６のいずれかの態様によるレチクルポッドであって、ポッドドームが、内側部分が外側部分内に位置してポッドドアがポッドドームに固着されているときに、カバーに接触する１つまたは複数の突出部を有する。

【0098】

態様８．態様１から７のいずれかの態様によるレチクルポッドであって、カバーレチクル接触部分の各々が、ポリマー材料を含む。

【0099】

態様９．態様１から８のいずれかの態様によるレチクルポッドであって、移動可能なレチクル接触部分の各々が、ポリマー材料を含む。

【0100】

態様１０．態様１から９のいずれかの態様によるレチクルポッドであって、１つまたは複数の移動可能なレチクル接触部分が、３つ以上の移動可能なレチクル接触部分を含む。

【0101】

態様１１．態様１から１０のいずれかの態様によるレチクルポッドであって、１つまたは複数の移動可能なレチクル接触部分が、４つの移動可能なレチクル接触部分を含む。

【0102】

態様１２．態様１から１１のいずれかの態様によるレチクルポッドであって、１つまたは複数の移動可能なレチクル接触部分の各々が、カバーがベースプレートに係合されているとき、１つまたは複数のカバーレチクル接触部分のうちの１つのカバーレチクル接触部分に対向している。

【0103】

態様１３．態様１から１２のいずれかの態様によるレチクルポッドであって、１つまたは複数の移動可能なレチクル接触部分の各々が、カバーがベースプレートに係合されているとき、１つまたは複数のカバーレチクル接触部分からオフセットされている。

【0104】

態様１４．態様１から１３のいずれかの態様によるレチクルポッドであって、１つまたは複数の移動可能なレチクル接触部分の各々が、レチクルの角部に対応する位置にある。

【0105】

態様１５．ポッド内で接触部分を移動させる方法であって、本方法が、
ポッドドアをポッドドームに取り付けることによりポッドドア内に位置する１つまたは複数のラッチを始動させることと、
１つまたは複数のラッチを介して、ポッドドアの平面に対して垂直である成分を有する方向に延伸させるように１つまたは複数の移動可能なポストを駆動することと
を含み、
１つまたは複数の移動可能なポストの各々が、ポッドドアおよびポッドドームの中に位置するベースプレートの移動可能なレチクル接触部分に接触し、その結果、移動可能なレチクル接触部分が、ベースプレートの平面に対して垂直である成分を有する方向において、ポッドドアおよびポッドドームの中に位置するカバーの方に、移動する。

【0106】

態様１６．態様１５による方法であって、１つまたは複数のラッチを始動させることが、ポッドドアの平面に平行な１つまたは複数の方向に１つまたは複数のラッチを移動させることを含む。

【0107】

態様１７．態様１５から１６のいずれかの態様による方法であって、１つまたは複数のラッチを介して、移動可能なポストを駆動することが、１つまたは複数の移動可能なポストのうちの１つの移動可能なポストに対して、１つまたは複数のラッチの各々の上のカム面を接触させることを含む。

【0108】

態様１８．態様１５から１７のいずれかの態様による方法であって、レチクルをポッドのベースプレート上に配置すること、ポッドのベースプレートをポッドのカバーに接合すること、ならびに、接合されているベースプレートおよびカバーをポッドドーム内の空間内に配置することをさらに含む。

【0109】

態様１９．態様１８による方法であって、接合されているベースプレートおよびカバーが、ポッドドーム内に配置されているときにポッドドームからの１つまたは複数の突出部に接触している。

【0110】

態様２０．態様１５から１９のいずれかの態様による方法であって、少なくとも３つの移動可能なポストが、１つまたは複数のラッチを介して、駆動される。

【0111】

態様２１．態様１５から２０のいずれかの態様による方法であって、カバーが１つまたは複数のカバーレチクル接触部分を有し、カバーレチクル接触部分の各々が、移動可能なレチクル接触部分のうちの１つの移動可能なレチクル接触部分に対向している。

【0112】

態様２２．態様１５から２１のいずれかの態様による方法であって、カバーが１つまたは複数のカバーレチクル接触部分を有し、カバーレチクル接触部分の各々が移動可能なレチクル接触部分からオフセットされている。

【0113】

態様２３．カバーおよびベースプレートを有する内側部分であって、カバーが、カバーに接合された１つまたは複数のレチクル接触部分を有し、ベースプレートが、１つまたは複数のアパーチャを有する、内側部分と、
ポッドドームおよびポッドドアを有する外側部分であって、ポッドドアが、１つまたは複数の移動可能なポスト、および、１つまたは複数の移動可能なポストを駆動するように構成された１つまたは複数のラッチを有する、外側部分と
を備え、
内側部分が外側部分内に位置してポッドドアがポッドドームに固着されている場合、１つまたは複数の移動可能なポストが１つまたは複数のアパーチャを通って内側部分の中まで延伸する、レチクルポッド。

【0114】

態様２４．態様２３によるレチクルポッドであって、１つまたは複数のラッチが、各々、ポッドドアとの同一平面内の一方向に移動可能である。

【0115】

態様２５．態様２３から２４のいずれかの態様によるレチクルポッドであって、１つまたは複数のラッチが、各々、１つまたは複数の移動可能なポストのうちの１つの移動可能なポストの表面に接触している、摺動面、ロッカーアーム、または、カム面を有する。

【0116】

態様２６．態様２３から２５のいずれかの態様によるレチクルポッドであって、ポッドドームが、内側部分が外側部分内に位置してポッドドアがポッドドームに固着されているときに、カバーに接触する１つまたは複数の突出部を有する。

【0117】

態様２７．態様２３から２６のいずれかの態様によるレチクルポッドであって、カバーレチクル接触部分の各々が、ポリマー材料を含む。

【0118】

態様２８．態様２３から２７のいずれかの態様によるレチクルポッドであって、移動可能なポストの各々が、ポリマー材料を含む。

【0119】

態様２９．態様２３から２８のいずれかの態様によるレチクルポッドであって、１つまたは複数の移動可能なポストが３つ以上の移動可能なポストを含む。

【0120】

態様３０．態様２３から２９のいずれかの態様によるレチクルポッドであって、１つまたは複数の移動可能なポストが４つの移動可能なポストを含む。

【0121】

態様３１．態様２３から３０のいずれかの態様によるレチクルポッドであって、１つまたは複数のアパーチャの各々が、カバーおよびベースプレートが互いに接続されているとき、１つまたは複数のカバーレチクル接触部分のうちの１つのカバーレチクル接触部分に対向している。

【0122】

態様３２．態様２３から３１のいずれかの態様によるレチクルポッドであって、１つまたは複数のアパーチャの各々が、カバーおよびベースプレートが互いに接続されているとき、１つまたは複数のカバーレチクル接触部分からオフセットされている。

【0123】

態様３３．態様２３から３２のいずれかの態様によるレチクルポッドであって、１つまたは複数のアパーチャの各々が、レチクルの角部に対応する位置にある。

【0124】

態様３４．態様２３から３３のいずれかの態様によるレチクルポッドであって、各々のアパーチャ内に配設されたシールをさらに有する。

【0125】

態様３５．ポッド内に接触部分を提供する方法であって、本方法が、
カムを使用してポッドドアをポッドドームに取り付けることによりポッドドア内に位置する１つまたは複数のラッチを始動させることと、
１つまたは複数のラッチまたはカムを介して、ポッドドアの平面に対して垂直である成分を有する方向に延伸させるように１つまたは複数の移動可能なポストを駆動することと
を含み、
１つまたは複数の移動可能なポストの各々が、１つまたは複数のラッチまたはカムを介して駆動されるとき、ベースプレートを通ってポッドの内側部分の中まで延伸する。

【0126】

態様３６．態様３５による方法であって、１つまたは複数のラッチを始動させることが、ポッドドアの平面に平行な１つまたは複数の方向に１つまたは複数のラッチを移動させることを含む。

【0127】

態様３７．態様３５から３６のいずれかの態様による方法であって、１つまたは複数のラッチを介して、移動可能なポストを駆動することが、各々の１つまたは複数のラッチ上のカム面を１つまたは複数の移動可能なポストのうちの１つの移動可能なポストに接触させることを含む。

【0128】

態様３８．態様３５から３７のいずれかの態様による方法であって、レチクルをポッドのベースプレート上に配置すること、ポッドのベースプレートをポッドのカバーに接合すること、ならびに、接合されているベースプレートおよびカバーをポッドドーム内の空間内に配置することをさらに含む。

【0129】

態様３９．態様３８よる方法であって、接合されているベースプレートおよびカバーが、ポッドドーム内に配置されているときにポッドドームからの１つまたは複数の突出部に接触している。

【0130】

態様４０．態様３５から３９のいずれかの態様による方法であって、少なくとも３つの移動可能なポストが、１つまたは複数のラッチを介して、駆動される。

【0131】

態様４１．態様３５から４０のいずれかの態様による方法であって、カバーが１つまたは複数のカバーレチクル接触部分を有し、カバーレチクル接触部分の各々が、移動可能なポストのうちの１つの移動可能なポストに対向している。

【0132】

態様４２．態様３５から４０のいずれかの態様による方法であって、カバーが１つまたは複数のカバーレチクル接触部分を有し、カバーレチクル接触部分の各々が移動可能なポストからオフセットされている。

【0133】

態様４３．態様３５から４２のいずれかの態様による方法であって、ベースプレートと１つまたは複数の移動可能なポストとの間にシールを形成することをさらに含む。

【0134】

本明細書で開示される実施例は、あらゆる点において、例示的であるとみなされ、限定的であるとみなされない。本発明の範囲は、上記の記述ではなく、添付の特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲の意味および等価の範囲内にあるすべての変更形態が本発明の範囲に包含されることを意図される。

【図1】

【図1A】

【図2】

【図3】

【図4】

【手続補正書】

【提出日】2024-06-24

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

カバーおよびベースプレートを含む内側部分であって、前記カバーが、前記カバーに接合された１つまたは複数のカバーレチクル接触部分を含み、前記ベースプレートが１つまたは複数のアパーチャを含む、内側部分と、
ポッドドームおよびポッドドアを含む外側部分であって、前記ポッドドアが、１つまたは複数の移動可能なポスト、および前記１つまたは複数の移動可能なポストを駆動するように構成された１つまたは複数のラッチを含む、外側部分と
を備える、レチクルポッドであって、
前記内側部分が前記外側部分内に位置して前記ポッドドアが前記ポッドドームに固着されているときに、前記１つまたは複数の移動可能なポストが前記１つまたは複数のアパーチャを通って前記内側部分の中まで延伸する、
レチクルポッド。

【請求項2】

前記アパーチャの各々の中に配置されたシールをさらに備える、請求項１に記載のレチクルポッド。

【請求項3】

ポッド内に接触部分を提供する方法であって、
カムを使用してポッドドアをポッドドームに取り付けることにより前記ポッドドア内に位置する１つまたは複数のラッチを始動させることと、
前記１つまたは複数のラッチまたは前記カムを介して、前記ポッドドアの平面に対して垂直な成分を有する方向に延伸させるように１つまたは複数の移動可能なポストを駆動することと
を含み、
前記１つまたは複数の移動可能なポストの各々が、前記１つまたは複数のラッチまたは前記カムを介して駆動されるとき、ベースプレートを通って前記ポッドの内側部分の中まで延伸する、
方法。

【請求項4】

レチクルを前記ポッドのベースプレート上に配置することと、
前記ポッドの前記ベースプレートを前記ポッドのカバーに接合することと、
接合された前記ベースプレートおよび前記カバーを前記ポッドドーム内の空間内に配置することと、をさらに含む、請求項３に記載の方法。

【請求項5】

前記ベースプレートと前記１つまたは複数の移動可能なポストとの間にシールを形成することをさらに含む、請求項３に記載の方法。

【外国語明細書】