特開 2024-126666 フレームユニット及びフレームユニットの保持方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024126666

(43)【公開日】2024-09-20

(54)【発明の名称】フレームユニット及びフレームユニットの保持方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20240912BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023035219

(22)【出願日】2023-03-08

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100075384

【弁理士】

【氏名又は名称】松本 昂

(74)【代理人】

【識別番号】100172281

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 知広

(74)【代理人】

【識別番号】100206553

【弁理士】

【氏名又は名称】笠原 崇廣

(74)【代理人】

【識別番号】100189773

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 英哲

(74)【代理人】

【識別番号】100184055

【弁理士】

【氏名又は名称】岡野 貴之

(74)【代理人】

【識別番号】100185959

【弁理士】

【氏名又は名称】今藤 敏和

(72)【発明者】

【氏名】呉 斌

(72)【発明者】

【氏名】王 宜佳

(72)【発明者】

【氏名】楊 程明

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA12

5F131CA09

5F131CA13

5F131CA32

5F131CA33

5F131CA42

5F131EA07

5F131EB31

5F131EC32

5F131EC44

5F131EC53

5F131EC54

5F131EC75

(57)【要約】

【課題】シートを引き伸ばした状態で保持されるフレームユニットに含まれる板状物の端部がシートから剥離する蓋然性を低減することが可能なフレームユニットを提供する。
【解決手段】フレームユニットは、平面視において長方形状の板状物と、中央に形成されている開口に板状物が位置付けられ、かつ、平面視において開口の中心を基準として４回対称になるように設けられている４つの被挟持部を有するフレームと、板状物が延在する板状物延在方向と、開口の中心から４つの被挟持部の中心にそれぞれ向かう４つの被挟持部方向のそれぞれと、が非平行になるように、中央領域が板状物に固着され、かつ、外周領域がフレームに固着されているシートと、を備える。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

平面視において長方形状の板状物と、
中央に形成されている開口に該板状物が位置付けられ、かつ、平面視において該開口の中心を基準として４回対称になるように設けられている４つの被挟持部を有するフレームと、
該板状物が延在する板状物延在方向と、該開口の該中心から該４つの被挟持部の中心にそれぞれ向かう４つの被挟持部方向のそれぞれと、が非平行になるように、中央領域が該板状物に固着され、かつ、外周領域が該フレームに固着されているシートと、
を備えるフレームユニット。

【請求項2】

該板状物延在方向と、該４つの被挟持部方向のそれぞれと、がなす角が平面視において略４５度又は略１３５度となる請求項１に記載のフレームユニット。

【請求項3】

該フレームは、平面視において該開口の該中心を基準として４回対称になるように設けられている４つの連結部をさらに有し、
該４つの被挟持部がそれぞれ延在する４つの被挟持部延在方向のそれぞれと、該４つの連結部がそれぞれ延在する４つの連結部延在方向のそれぞれと、がなす角が略４５度又は略１３５度となる請求項１又は２に記載のフレームユニット。

【請求項4】

平面視において長方形状の板状物と、中央に形成されている開口に該板状物が位置付けられ、かつ、平面視において該開口の中心を基準として４回対称になるように設けられている４つの被挟持部を有するフレームと、該板状物が延在する板状物延在方向と、該開口の該中心から該４つの被挟持部の中心にそれぞれ向かう４つの被挟持部方向のそれぞれと、が非平行になるように、中央領域が該板状物に固着され、かつ、外周領域が該フレームに固着されているシートと、を備えるフレームユニットを保持するフレームユニットの保持方法であって、
テーブルに該シートの該外周領域を接触させることなく該中央領域を接触させるように、該テーブルに該フレームユニットを搬入する搬入ステップと、
該搬入ステップの後に、該シートを引き伸ばして該テーブルに該シートを押し付けるように、４つのクランプが該４つの被挟持部をそれぞれ挟持することによって、該フレームユニットを保持する保持ステップと、
を備えるフレームユニットの保持方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、平面視において長方形状の板状物と、中央に形成されている開口に板状物が位置付けられているフレームと、中央領域が板状物に固着され、かつ、外周領域がフレームに固着されているシートと、を備えるフレームユニットに関する。

【背景技術】

【0002】

ＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）等のデバイスのチップは、携帯電話及びパーソナルコンピュータ等の各種電子機器において不可欠の構成要素である。このようなチップは、例えば、複数のデバイスが形成されているＣＳＰ（Ｃｈｉｐ Ｓｉｚｅ Ｐａｃｋａｇｅ）基板又はＱＦＮ（Ｑｕａｄ Ｆｌａｔ Ｎｏｎ－ｌｅａｄｅｄ ｐａｃｋａｇｅ）基板等の長方形状の板状物を複数のデバイスの境界に沿って分割することで製造される。

【0003】

また、板状物及びそれから製造される複数のチップの取り扱いを容易にするために、板状物は、その分割に先立って、シートを介してフレームと一体化されることが多い。このように一体化された構造物は、フレームユニットとも呼ばれ、フレームの中央に形成されている開口に板状物が位置付けられるように、シートの中央領域を板状物に固着し、かつ、外周領域をフレームに固着することによって形成される。

【0004】

そして、複数のチップは、例えば、切削装置においてフレームユニットを切削することによって製造される（例えば、特許文献１参照）。具体的には、まず、テーブル上においてシートを介して板状物を保持する。そして、板状物を貫通し、かつ、その底面がシートに位置付けられるような溝を複数のデバイスの境界に沿って形成するようにフレームユニットを切削する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１８－１４８１５１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

切削ブレードによるフレームユニットの切削は、一般的に、その下端がシートに対応する高さに位置付けられた環状の切削ブレードを回転させながら、複数のデバイスの境界に沿ってフレームユニットを保持するテーブルと切削ブレードとを相対的に移動させることによって行われる。

【0007】

ここで、フレームユニットにおいては、板状物を囲むようにフレームが存在する。そのため、この切削は、一般的に、切削ブレードをフレームに接触させないように、フレームを挟持するクランプを利用してフレームを板状物よりも下に位置付けた状態で行われる。

【0008】

この場合、フレームの下への移動に伴って、外周領域がフレームに固着されているシートが引き伸ばされることになる。そして、シートの余剰分、具体的には、フレームのクランプによって挟持される部分（被挟持部）と板状物との間に存在する部分が少ないと、板状物の端部がシートから剥離するおそれがある。

【0009】

この点に鑑み、本発明の目的は、シートを引き伸ばした状態で保持されるフレームユニットに含まれる板状物の端部がシートから剥離する蓋然性を低減することが可能なフレームユニット及びフレームユニットの保持方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明の一側面によれば、平面視において長方形状の板状物と、中央に形成されている開口に該板状物が位置付けられ、かつ、平面視において該開口の中心を基準として４回対称になるように設けられている４つの被挟持部を有するフレームと、該板状物が延在する板状物延在方向と、該開口の該中心から該４つの被挟持部の中心にそれぞれ向かう４つの被挟持部方向のそれぞれと、が非平行になるように、中央領域が該板状物に固着され、かつ、外周領域が該フレームに固着されているシートと、を備えるフレームユニットが提供される。

【0011】

さらに、本発明のフレームユニットにおいては、該板状物延在方向と、該４つの被挟持部方向のそれぞれと、がなす角が平面視において略４５度又は略１３５度となることが好ましい。

【0012】

また、本発明のフレームユニットにおいては、該フレームは、平面視において該開口の該中心を基準として４回対称になるように設けられている４つの連結部をさらに有し、該４つの被挟持部がそれぞれ延在する４つの被挟持部延在方向のそれぞれと、該４つの連結部がそれぞれ延在する４つの連結部延在方向のそれぞれと、がなす角が略４５度又は略１３５度となることが好ましい。

【0013】

本発明の別の側面によれば、平面視において長方形状の板状物と、中央に形成されている開口に該板状物が位置付けられ、かつ、平面視において該開口の中心を基準として４回対称になるように設けられている４つの被挟持部を有するフレームと、該板状物が延在する板状物延在方向と、該開口の該中心から該４つの被挟持部の中心にそれぞれ向かう４つの被挟持部方向のそれぞれと、が非平行になるように、中央領域が該板状物に固着され、かつ、外周領域が該フレームに固着されているシートと、を備えるフレームユニットを保持するフレームユニットの保持方法であって、テーブルに該シートの該外周領域を接触させることなく該中央領域を接触させるように、該テーブルに該フレームユニットを搬入する搬入ステップと、該搬入ステップの後に、該シートを引き伸ばして該テーブルに該シートを押し付けるように、４つのクランプが該４つの被挟持部をそれぞれ挟持することによって、該フレームユニットを保持する保持ステップと、を備えるフレームユニットの保持方法が提供される。

【発明の効果】

【0014】

本発明のフレームユニットにおいては、長方形状の板状物が延在する板状物延在方向と、フレームの開口の中心から４つの被挟持部の中心にそれぞれ向かう４つの被挟持部方向のそれぞれと、が非平行になる。この場合、板状物延在方向と４つの被挟持部方向のいずれかとが同じになる場合と比較して、４つの被挟持部と板状物との間の最短距離が長くなる。

【0015】

すなわち、本発明のフレームユニットにおいては、シートの余剰分、具体的には、４つの被挟持部と板状物との間に存在する部分が多くなる。そのため、シートを引き伸ばした状態で本発明のフレームユニットを保持する場合には、板状物の端部がシートから剥離する蓋然性を低減することが可能である。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】図１は、切削装置の一例を模式的に示す斜視図である。

【図2】図２は、フレームユニットの一例を模式的に示す分解斜視図である。

【図3】図３は、図２に示されるフレームユニットを模式的に示す平面図である。

【図4】図４は、フレームユニットの一例を模式的に示す分解斜視図である。

【図5】図５は、図４に示されるフレームユニットを模式的に示す平面図である。

【図6】図６は、テーブル及び４つのクランプを模式的に示す拡大斜視図である。

【図7】図７は、テーブルにおいてフレームユニットを保持するフレームユニットの保持方法の一例を模式的に示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0017】

添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は、切削装置の一例を模式的に示す斜視図である。なお、図１に示されるＸ軸方向（前後方向）及びＹ軸方向（左右方向）は、水平面上において互いに直交する方向であり、また、Ｚ軸方向（上下方向）は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する方向（鉛直方向）である。

【0018】

図１に示される切削装置２は、各構成要素が搭載される基台４を備える。この基台４の角部には、カセットテーブル６が設置されている。そして、カセットテーブル６の上面には、複数のフレームユニットを収容可能なカセット（不図示）が載せられる。

【0019】

図２は、カセットに収容されるフレームユニットの一例を模式的に示す分解斜視図であり、図３は、図２に示されるフレームユニットを模式的に示す平面図である。なお、図２においては、後述する各方向も併記されている。図２及び図３に示されるフレームユニット１は、板状物３とフレーム５とシート７とを有する。

【0020】

板状物３は、例えば、ＣＳＰ基板又はＱＦＮ基板等のパッケージ基板であり、平面視において長方形状の構造物である。具体的には、板状物３は、所定の方向（板状物延在方向）Ｄ０に沿って延在する薄板であり、板状物延在方向Ｄ０に沿って延在する一対の長側面３ａと、板状物延在方向Ｄ０と直交する方向に沿って延在する一対の短側面３ｂとを有する。

【0021】

フレーム５は、例えば、アルミニウム又はステンレス鋼等の金属材料からなる。また、フレーム５の中央には、板状物３の長側面３ａよりも長い直径を有する円状の開口５ａが形成されている。また、フレーム５は、後述する４つのクランプ１４によってそれぞれ挟持される４つの部分（被挟持部）５ｂを有する。

【0022】

４つの被挟持部５ｂは、開口５ａの中心を基準として４回対称になるように設けられ、また、各被挟持部５ｂの外縁が直線的に延在する。また、フレーム５は、開口５ａの中心を基準として４回対称になるように設けられ、かつ、それぞれの外縁が円弧状に延在する４つの連結部５ｃを有する。

【0023】

さらに、４つの被挟持部５ｂのうちの一つと、この被挟持部５ｂに隣接する一対の連結部５ｃとの間には、一対のフレーム切り欠き９ａ，９ｂがそれぞれ形成されている。具体的には、フレーム切り欠き９ａは、鋭角状にフレーム５の外縁を切り抜くように形成されている。また、フレーム切り欠き９ｂは、直角状にフレーム５の外縁を切り抜くように形成されている。

【0024】

シート７は、フレーム５の開口５ａの直径よりも長く、かつ、対向する一対の被挟持部５ｂの一方の外縁と他方の外縁との間隔よりも短い直径を有する円板状のフィルムである。そして、シート７は、例えば、可撓性を有する基材と、この基材の一面に設けられた接着層（糊層）とを有する。

【0025】

具体的には、基材は、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリオレフィン（ＰＯ）、ポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）又はポリスチレン（ＰＳ）等からなる。特に、基材としては、安価であり、かつ、引き伸ばしが容易なＰＶＣが好ましい。また、接着層は、紫外線硬化型のシリコーンゴム、アクリル系材料又はエポキシ系材料等からなる。

【0026】

フレームユニット１においては、シート７の中央領域が板状物３に貼着され、かつ、その外周領域がフレーム５に貼着されている（図３参照）。具体的には、シート７は、板状物延在方向Ｄ０と、開口５ａの中心から４つの被挟持部５ｂの中心にそれぞれ向かう４つの方向（被挟持部方向）Ｄ１ａ，Ｄ１ｂ，Ｄ１ｃ，Ｄ１ｄのそれぞれと、が非平行になるように貼着される。

【0027】

なお、シート７は、板状物延在方向Ｄ０と、４つの被挟持部方向Ｄ１ａ，Ｄ１ｂ，Ｄ１ｃ，Ｄ１ｄのうちの２つ（具体的には、被挟持部方向Ｄ１ａ，Ｄ１ｂ）のそれぞれと、がなす角が平面視において略４５°になり、かつ、板状物延在方向Ｄ０と、４つの被挟持部方向Ｄ１ａ，Ｄ１ｂ，Ｄ１ｃ，Ｄ１ｄのうちの残りの２つ（具体的には、被挟持部方向Ｄ１ｃ，Ｄ１ｄ）のそれぞれと、がなす角が平面視において略１３５°になるように、板状物３及びフレーム５に貼着されることが好ましい。

【0028】

この場合、フレーム５の４つの被挟持部５ｂと板状物３との間の最短距離を長くすることができる。すなわち、この場合、シート７の余剰分、具体的には、４つの被挟持部５ｂと板状物３との間に存在する部分を多くすることができる。また、シート７は、粘着層を含まず、基材のみから構成されてもよい。この場合、シート７は、その一面が板状物３の一面及びフレーム５の一面に熱圧着されてもよい。

【0029】

図４は、カセットに収容されるフレームユニットの別の例を模式的に示す分解斜視図であり、図５は、図４に示されるフレームユニットを模式的に示す平面図である。なお、図５においては、後述する各方向も併記されている。図４及び図５に示されるフレームユニット１１は、上述した板状物３とフレーム１３とシート１５とを有する。

【0030】

フレーム１３は、上述したフレーム５と同様の材料からなるものの、その形状が上述したフレーム５と異なる。具体的には、フレーム１３の中央には、八角形状の開口１３ａが形成されている。また、フレーム１３は、後述する４つのクランプ１４によってそれぞれ挟持される４つの部分（被挟持部）１３ｂを有する。

【0031】

４つの被挟持部１３ｂは、開口１３ａの中心を基準として４回対称になるように設けられ、また、各被挟持部１３ｂの外縁が直線的に延在する。また、フレーム１３は、開口１３ａの中心を基準として４回対称になるように設けられ、かつ、それぞれの外縁が直線的に延在する４つの連結部１３ｃを有する。

【0032】

そして、４つの被挟持部１３ｂがそれぞれ延在する４つの被挟持部延在方向Ｄ２ａ，Ｄ２ｂ，Ｄ２ｃ，Ｄ２ｄのそれぞれと、４つの連結部１３ｃがそれぞれ延在する４つの連結部延在方向Ｄ３ａ，Ｄ３ｂ，Ｄ３ｃ，Ｄ３ｄのそれぞれと、がなす角は、略４５度又は略１３５度となる。また、対向する一対の連結部１３ｃの一方の内縁と他方の内縁との間隔は、板状物３の長側面３ａよりも長く、かつ、対向する一対の被挟持部１３ｂの一方の内縁と他方の内縁との間隔よりも長い。

【0033】

さらに、４つの被挟持部１３ｂのうちの一つと、この被挟持部１３ｂに隣接する一対の連結部１３ｃとの間には、一対のフレーム切り欠き１７ａ，１７ｂがそれぞれ形成されている。具体的には、フレーム切り欠き１７ａは、鋭角状にフレーム１３の外縁を切り抜くように形成されている。また、フレーム切り欠き１７ｂは、直角状にフレーム１３の外縁を切り抜くように形成されている。

【0034】

シート１５は、平面視において、その外縁がフレーム１３の外縁よりも内側かつ内縁よりも外側に位置するような八角形状のフィルムである。そして、フレームユニット１１においては、シート１５の中央領域が板状物３に貼着され、かつ、その外周領域がフレーム１３に貼着されている。具体的には、シート１５は、板状物延在方向Ｄ０と、開口１３ａの中心から４つの被挟持部１３ｂの中心にそれぞれ向かう４つの方向（被挟持部方向）Ｄ４ａ，Ｄ４ｂ，Ｄ４ｃ，Ｄ４ｄと、が非平行になるように貼着される。

【0035】

なお、シート１５は、板状物延在方向Ｄ０と、４つの被挟持部方向Ｄ４ａ，Ｄ４ｂ，Ｄ４ｃ，Ｄ４ｄのうちの２つ（具体的には、被挟持部方向Ｄ４ａ，Ｄ４ｂ）のそれぞれと、がなす角が平面視において略４５°になり、かつ、板状物延在方向Ｄ０と、４つの被挟持部方向Ｄ４ａ，Ｄ４ｂ，Ｄ４ｃ，Ｄ４ｄのうちの残りの２つ（具体的には、被挟持部方向Ｄ４ｃ，Ｄ４ｄ）のそれぞれと、がなす角が平面視において略１３５°になるように、板状物３及びフレーム１３に貼着されることが好ましい。

【0036】

この場合、フレーム１３の４つの被挟持部１３ｂと板状物３との間の最短距離を長くする、すなわち、シート１５の余剰分、具体的には、４つの被挟持部１３ｂと板状物３との間に存在する部分を多くすることができる。また、シート１５は、粘着層を含まず、基材のみから構成されてもよい。この場合、シート１５は、その一面が板状物３の一面及びフレーム１３の一面に熱圧着されてもよい。

【0037】

図１に示されるように、基台４の上部には、基台４の上面側を覆うカバー８が取り付けられている。このカバー８の内部には、上述したフレームユニット１，１１に含まれる板状物３を切削するための切削ユニット１０が収容されている。また、切削ユニット１０の下方には、テーブル１２が設けられている。さらに、テーブル１２の周囲には、テーブル１２の周方向に沿って概ね等しい角度の間隔で４つのクランプ１４が設けられている。

【0038】

図６は、テーブル１２及び４つのクランプ１４を示す拡大斜視図である。テーブル１２は、例えば、ステンレス鋼等の金属材料からなる枠体１２ａを有する。この枠体１２ａは、円板状の底壁と、この底壁の外周領域から上方に向かって設けられている環状の側壁とを有し、この底壁及びこの側壁によって凹部が画定されている。そして、この凹部にはセラミックス等からなる円板状のポーラス板１２ｂが固定されている。

【0039】

さらに、枠体１２ａの底壁には、厚さ方向に底壁を貫通する貫通孔が形成されている。すなわち、ポーラス板１２ｂの下面側は、この貫通孔を介して露出している。また、枠体１２ａの下面には、テーブルベース１６との位置合わせに利用される溝が形成されている。そして、この溝にテーブルベース１６の上面に設けられている突起が挿入されるようにテーブル１２をテーブルベース１６に置くことで、テーブル１２がテーブルベース１６に装着される。

【0040】

テーブル１２がテーブルベース１６に装着されると、枠体１２ａの底壁に形成されている貫通孔がテーブルベース１６の内部に形成されている流路と連通する。また、この流路は、エジェクタ等の吸引源（不図示）に接続されている。そのため、テーブル１２がテーブルベース１６に装着された状態で、この吸引源を動作させると、テーブル１２の上面近傍の空間に吸引力が作用する。

【0041】

各クランプ１４は、それぞれの一端がテーブルベース１６に固定され、かつ、概ね水平な方向に沿って延在する一対のレール１８に接続されている。また、各クランプ１４は、平面視において一対のレール１８と概ね直交する方向に沿って延在する平板状の支持部材１４ａを有する。この支持部材１４ａのテーブル１２から遠い側には平面視において長方形状の切り欠きが設けられており、この切り欠きの位置にはアクチュエータ１４ｂが設けられている。

【0042】

そして、各クランプ１４においては、アクチュエータ１４ｂを動作させることによって、平板状の押さえ部材１４ｃを挟持位置から開放位置に移動させ、また、開放位置から挟持位置に移動させることができる。具体的には、このアクチュエータ１４ｂを動作させると、支持部材１４ａが延在する方向に沿った回転軸の周りに押さえ部材１４ｃが旋回する。なお、この回転軸は、支持部材１４ａの上面よりも下かつ下面よりも上に位置するとともに、アクチュエータ１４ｂの中心を通るように設けられている。

【0043】

また、挟持位置は、鉛直方向において支持部材１４ａと重畳する押さえ部材１４ｃの位置である。また、開放位置は、支持部材１４ａよりもテーブル１２の径方向外側の押さえ部材１４ｃの位置である。なお、図６においては、押さえ部材１４ｃが開放位置に位置付けられた状態のクランプ１４が示されている。また、挟持位置に位置付けられた押さえ部材１４ｃの上面は、テーブル１２の上面よりも下に位置する。

【0044】

さらに、各クランプ１４において押さえ部材１４ｃが開放位置に位置付けられた状態においては、対向する一対の押さえ部材１４ｃの間隔が、フレームユニット１，１１において対向する一対の被挟持部５ｂ，１３ｂの一方の外縁と他方の外縁との間隔よりも長くなる。他方、各クランプ１４において押さえ部材１４ｃが挟持位置に位置付けられた状態においては、対向する一対の押さえ部材１４ｃの間隔が、フレームユニット１，１１において対向する一対の被挟持部５ｂ，１３ｂの一方の外縁と他方の外縁との間隔よりも短くなる。

【0045】

図７は、テーブル１２においてフレームユニット１，１１を保持するフレームユニットの保持方法の一例を模式的に示すフローチャートである。この方法においては、まず、テーブル１２にシート７，１５の外周領域を接触させることなく中央領域を接触させるように、テーブル１２にフレームユニット１，１１を搬入する（搬入ステップＳ１）。

【0046】

これにより、シート７，１５を介して板状物３が上を向いた状態になるとともに、フレーム５，１３の自重によってシート７，１５が僅かに下方に引き伸ばされる。なお、この搬入ステップＳ１に先立って、各クランプ１４においては、押さえ部材１４ｃが開放位置に位置付けられる。そのため、搬入ステップＳ１においては、フレーム５，１３と押さえ部材１４ｃとが接触することはない。

【0047】

次いで、シート７，１５を引き伸ばしてテーブル１２にシート７，１５を押し付けるように、４つのクランプ１４が４つの被挟持部５ｂ，１３ｂをそれぞれ挟持することによって、フレームユニット１，１１を保持する（保持ステップＳ２）。具体的には、この保持ステップＳ２においては、各クランプ１４において、アクチュエータ１４ｂを動作させて押さえ部材１４ｃを開放位置から挟持位置に移動させる。

【0048】

これにより、４つの被挟持部５ｂ，１３ｂのそれぞれが支持部材１４ａと押さえ部材１４ｃとによって挟持されて、シート７，１５がさらに下方に引き伸ばされる。なお、保持ステップＳ２は、フレーム５，１３を支持部材１４ａに接近させるような外力をフレーム５，１３に付与した状態で行われてもよい。

【0049】

ここで、フレームユニット１，１１においては、長方形状の板状物３が延在する板状物延在方向Ｄ０と、フレーム５，１３の開口５ａ，１３ａの中心から４つの被挟持部５ｂ，１３ｂの中心にそれぞれ向かう４つの被挟持部方向Ｄ１ａ，Ｄ１ｂ，Ｄ１ｃ，Ｄ１ｄ，Ｄ４ａ，Ｄ４ｂ，Ｄ４ｃ，Ｄ４ｄのそれぞれと、が非平行になる。この場合、板状物延在方向Ｄ０と４つの被挟持部方向Ｄ１ａ，Ｄ１ｂ，Ｄ１ｃ，Ｄ１ｄ，Ｄ４ａ，Ｄ４ｂ，Ｄ４ｃ，Ｄ４ｄのいずれかとが同じになる場合と比較して、４つの被挟持部５ｂ，１３ｂと板状物３との間の最短距離が長くなる。

【0050】

すなわち、フレームユニット１，１１においては、シートの余剰分、具体的には、４つの被挟持部５ｂ，１３ｂと板状物３との間に存在する部分が多くなる。そのため、シート７，１５を引き伸ばした状態でフレームユニット１，１１を保持する場合には、板状物３の端部がシート７，１５から剥離する蓋然性を低減することが可能である。

【0051】

なお、上述した内容は本発明の一態様であって、本発明は上述した内容に限定されない。例えば、本発明のフレームユニットの保持方法においては、保持ステップＳ２の後に、テーブルベース１６の内部に形成されている流路と連通する吸引源を動作させてテーブル１２の上面近傍の空間に吸引力を作用させる吸引ステップが実施されてもよい。

【0052】

その他、上述した実施形態にかかる構造及び方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

【符号の説明】

【0053】

１ ：フレームユニット
２ ：切削装置
３ ：板状物（３ａ：長側面、３ｂ：短側面）
４ ：基台
５ ：フレーム（５ａ：開口、５ｂ：被挟持部、５ｃ：連結部）
６ ：カセットテーブル
７ ：シート
８ ：カバー
９ａ，９ｂ：フレーム切り欠き
１０：切削ユニット
１１：フレームユニット
１２：テーブル（１２ａ：枠体、１２ｂ：ポーラス板）
１３：フレーム（１３ａ：開口、１３ｂ：被挟持部、１３ｃ：連結部）
１４：クランプ（１４ａ：支持部材、１４ｂ：アクチュエータ、１４ｃ：押さえ部材）
１５：シート
１６：テーブルベース
１７ａ，１７ｂ：フレーム切り欠き
１８：レール

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】