特開 2024-127346 研削砥石のツルーイング方法及びツルーイング装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024127346

(43)【公開日】2024-09-20

(54)【発明の名称】研削砥石のツルーイング方法及びツルーイング装置

(51)【国際特許分類】

   B24B 53/06 20060101AFI20240912BHJP

   B24B 49/14 20060101ALI20240912BHJP

   B24B 49/18 20060101ALI20240912BHJP

   B24B 49/10 20060101ALI20240912BHJP

   B24B 49/12 20060101ALI20240912BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20240912BHJP

【ＦＩ】

B24B53/06 B

B24B49/14

B24B49/18

B24B49/10

B24B49/12

H01L21/304 601B

H01L21/304 622M

H01L21/304 631

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023036452

(22)【出願日】2023-03-09

(71)【出願人】

【識別番号】000151494

【氏名又は名称】株式会社東京精密

(74)【代理人】

【識別番号】110003535

【氏名又は名称】スプリング弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】津留 太良

【テーマコード（参考）】

3C034

3C047

5F057

【Ｆターム（参考）】

3C034AA13

3C034AA19

3C034BB93

3C034CA03

3C034CA04

3C034CA19

3C034CA22

3C034CA24

3C034CA26

3C034CB08

3C034CB11

3C034CB12

3C034CB13

3C034CB18

3C034DD10

3C034DD20

3C047CC10

3C047CC15

5F057AA02

5F057AA03

5F057AA20

5F057BA11

5F057BB02

5F057BB06

5F057BB09

5F057BC09

5F057CA09

5F057DA11

5F057EB27

5F057FA39

5F057GB22

5F057GB24

5F057GB31

5F057GB40

(57)【要約】

【課題】溝形状を有する研削砥石の形状を高精度、高品質に行い、形状（品質）のばらつきを抑えた研削砥石のツルーイング装置及び方法を得る。
【解決手段】ツルア１０を固定するツルア移動台２５と、ツルア１０と研削砥石１６との形状を測定する形状測定部３５と、ツルア１０と研削砥石１６との変位を測定する変位評価部３１と、ツルア１０と研削砥石１６との振動を測定する振動計測部３２と、温度・熱流を計測する加工熱評価部３３と、変位評価部３１、振動計測部３２、加工熱評価部３３の測定結果に基づいて、ツルア１０の切込み量、回転速度、位置を制御する制御部３０と、変位評価部３１、振動計測部３２、加工熱評価部３３の測定結果と、ツルーイング後に測定したツルア１０と研削砥石１６の形状と、を関連付けて記憶した加工条件データベース３７－１と、加工学習モデル３７－２と、を備える。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ウェーハの面取り装置に使用される研削砥石のツルーイング方法であって、
前記研削砥石の目標形状を決定し、
少なくとも加工前に測定されたツルアと前記研削砥石との形状と、前記ツルアと前記研削砥石との加わる力及び変位の関係を示す変位条件と、に基づいて前記研削砥石を前記目標形状となるようにツルーイングすることを特徴とする研削砥石のツルーイング方法。

【請求項2】

前記ツルーイング中は、前記ツルア及び前記研削砥石の変位と、振動と、加工熱とをモニタリングすることを特徴とする請求項１に記載の研削砥石のツルーイング方法。

【請求項3】

前記ツルアの変位条件は軸方向の変位とすることを特徴とする請求項１又は２に記載の研削砥石のツルーイング方法。

【請求項4】

前記研削砥石の変位条件は曲げ、ねじりによる変位とすることを特徴とする請求項３に記載の研削砥石のツルーイング方法。

【請求項5】

前記ツルーイング後は、前記ツルアと前記研削砥石の形状を測定し、前記ツルアと前記研削砥石のそれぞれの前記目標形状と比較して許容範囲の場合は、前記ウェーハを前記研削砥石で研削して良否の判定を行うことを特徴とする請求項１又は２に記載の研削砥石のツルーイング方法。

【請求項6】

前記モニタリングした結果と、前記ツルーイング後に測定した前記ツルアと前記研削砥石の形状と、を関連付けて加工条件データベースとして記憶し、前記加工条件データベースから加工学習モデルを構築することを特徴とする請求項２に記載の研削砥石のツルーイング方法。

【請求項7】

ウェーハの面取り装置に使用される研削砥石のツルーイング装置において、
ツルアを固定し、回転軸、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸を可変とするツルア移動台と、
前記ツルアと前記研削砥石との形状を測定する形状測定部と、
前記ツルアと前記研削砥石との変位を測定する変位評価部と、
前記ツルアと前記研削砥石との振動を測定する振動計測部と、
温度・熱流を計測する加工熱評価部と、
前記変位評価部、前記振動計測部、前記加工熱評価部の測定結果に基づいて、前記ツルアの切込み量、回転速度、位置を制御する制御部と、
前記測定結果と、ツルーイング後に測定した前記ツルアと前記研削砥石の形状と、を関連付けて記憶した加工条件データベースと、
前記加工条件データベースから構築された加工学習モデルと、
を備えたことを特徴とする研削砥石のツルーイング装置。

【請求項8】

前記制御部は、少なくとも加工前に前記形状測定部によって測定された前記ツルアと前記研削砥石との形状と、前記ツルアの軸方向の変位と、前記研削砥石の曲げ、ねじりによる変位と、に基づいて前記研削砥石を目標形状となるように前記ツルーイングすることを特徴とする請求項７に記載の研削砥石のツルーイング装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体ウェーハの端面における面取り装置に使用される溝形状を有する研削砥石のツルーイング方法及びツルーイング装置に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、半導体ウェーハ等は多品種少量生産が進められている。ウェーハの面取り加工において使用される溝形状を有する研削砥石は、多品種少量生産、ウェーハの品質向上、歩留まり向上などを目的として、高精度化、品質向上の要求が高まっている。

【0003】

また、炭素（Ｃ）とシリコン（Ｓｉ）との化合物であるＳｉＣ（炭化ケイ素）を始め、バンドギヤツプ（ＵＷＢＧ）が大きく、結晶を構成する原子間の結合が強い壊れにくい材料、例えばＧａＮ（窒化ガリウム）、酸化ガリウム、ＡｌＧａＮ、ダイヤモンドを利用した半導体は、シリコン半導体より小型、低消費電力、高効率のパワー素子、高周波素子、耐放射線性に優れた半導体材料として期待され、実用化が進んでいる。しかし、４Ｈ-ＳｉＣ等のＵＷＢＧ材料は、難加工材であるため研削砥石の溝形状の高精度化、品質向上がより強く求められている。

【0004】

半導体ウェーハの製造工程における面取り加工は、研削砥石をツルアによりツルーイングすること、研削後ウェーハのエッジ形状を測定すること、をウェーハが所望の形状になるまで繰り返すことが必要とされていた。

【0005】

また、半導体ウェーハの外周面取りの仕上げ加工は、円周方向の研削痕の発生を防止するため、ウェーハに対して研削砥石を傾けて面取り部を研削する、いわゆるヘリカル研削を行うことが知られている。ただし、ヘリカル研削は、研削砥石のツルーイングによる形状の形成に関して、微妙な調整が不可欠であり、時間が掛かり、熟練した専任の担当者が必要であった。

【0006】

特許文献１には、ツルアを用いて溝の形成を行うヘリカル研削用のツルーイングにおいて、転写率、加工性を向上すると共に、ツルアによって形成される溝の精度を向上するため、研削砥石に形成する溝の上部あるいは下部をツルアで加工することが記載されている。そして、その後は、ツルアを研削砥石に対して相対的に厚さ方向に下降あるいは上昇させることを繰り返すことが記載されている。

【0007】

また、レーザ光によりツルーイングすることが知られている。特許文献２には、レーザ光によりツルーイングすることが記載され、被成形工具に対して熱影響が少く、高い加工精度を得るため、フェムト秒レーザ等の超短パルスレーザを用いること、ツルーイングは、レーザ光における集光点を中心とした進行方向前後の所定範囲によって行うこと、が記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0008】

【特許文献1】特開２０２２－３２５号公報

【特許文献2】特開２０１５－９８０４１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0009】

上記従来技術において、特許文献１に記載のものは、面取り加工を行う研削砥石のツルーイングを行う上でツルアの移動等に熟練した専任の担当者による調整が不可欠であった。また、難加工材であるＳｉＣ等では、加工に時間が掛かり、所望の形状を形成するのが困難であり、研削砥石のツルーイングによる形状（創成）のばらつきが大きかった。

【0010】

また、特許文献２に記載のものは、照射範囲を広くすることが困難であり、一度にツルーイングできる部分が小さく砥石全体に実施することができず、溝形状を有するような砥石全体の形状を高精度化することは、考慮されていなかった。

【0011】

本発明の目的は、上記従来技術の課題を解決し、溝形状を有する研削砥石の形状を高精度、高品質に行い、形状（品質）のばらつきを抑えた研削砥石のツルーイング装置及び方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0012】

上記目的を達成するため、本発明は、ウェーハの面取り装置に使用される研削砥石のツルーイング方法であって、前記研削砥石の目標形状を決定し、少なくとも加工前に測定されたツルアと前記研削砥石との形状と、前記ツルアと前記研削砥石との加わる力及び変位の関係を示す変位条件と、に基づいて前記研削砥石を前記目標形状となるようにツルーイングする。

【0013】

さらに、上記の研削砥石のツルーイング方法において、前記ツルーイング中は、前記ツルア及び前記研削砥石の変位と、振動と、加工熱とをモニタリングすることが好ましい。

【0014】

さらに、上記の研削砥石のツルーイング方法において、前記ツルアの変位条件は軸方向の変位とすることが好ましい。

【0015】

さらに、上記の研削砥石のツルーイング方法において、前記研削砥石の変位条件は曲げ、ねじりによる変位とすることが好ましい。

【0016】

さらに、上記の研削砥石のツルーイング方法において、ツルーイング後は、前記ツルアと前記研削砥石の形状を測定し、前記ツルアと前記研削砥石のそれぞれの前記目標形状と比較して許容範囲の場合は、前記ウェーハを前記研削砥石で研削して良否の判定を行うことが好ましい。

【0017】

さらに、上記の研削砥石のツルーイング方法において、前記モニタリングした結果と、前記ツルーイング後に測定した前記ツルアと前記研削砥石の形状と、を関連付けて加工条件データベースとして記憶し、前記加工条件データベースから加工学習モデルを構築することが好ましい。

【0018】

また、本発明は、ウェーハの面取り装置に使用される研削砥石のツルーイング装置において、ツルアを固定し、回転軸、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸を可変とするツルア移動台と、前記ツルアと前記研削砥石との形状を測定する形状測定部と、前記ツルアと前記研削砥石との変位を測定する変位評価部と、前記ツルアと前記研削砥石との振動を測定する振動計測部と、温度・熱流を計測する加工熱評価部と、前記変位評価部、前記振動計測部、前記加工熱評価部の測定結果に基づいて、前記ツルアの切込み量、回転速度、位置を制御する制御部と、前記測定結果と、ツルーイング後に測定した前記ツルアと前記研削砥石の形状と、を関連付けて記憶した加工条件データベースと、前記加工条件データベースから構築された加工学習モデルと、を備えたものである。

【0019】

さらに、上記の研削砥石のツルーイング装置において、前記制御部は、少なくとも加工前に前記形状測定部によって測定された前記ツルアと前記研削砥石との形状と、前記ツルアの軸方向の変位と、前記研削砥石の曲げ、ねじりによる変位と、に基づいて前記研削砥石を目標形状となるように前記ツルーイングするものである。

【発明の効果】

【0020】

本発明によれば、研削砥石の目標形状を決定し、少なくとも加工前に測定されたツルアと研削砥石との形状と、ツルアと研削砥石との変位条件と、に基づいて研削砥石を目標形状となるようにツルーイングするので、溝形状を有する研削砥石の形状を高精度、高品質に行い、形状（品質）のばらつきを抑えた研削砥石のツルーイング装置及び方法を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】本発明の一実施形態によるツルア及び研削砥石の力－変位のモデル化を示す図

【図2】一実施形態によるツルーイング装置の全体システム構成を示すブロック図

【図3】ウェーハ端面の面取り加工手順を示す説明図

【図4】ツルーイングする時の加工精度に関する因子の説明図

【図5】研削砥石をツルーイングする時の加工力による変形とその測定を示す説明図

【図6】一実施形態によるツルアと研削砥石の位置合わせの説明図

【図7】一実施形態による位置合わせ部の構成図

【図8】一実施形態によるツルーイング方法のフローチャート

【発明を実施するための形態】

【0022】

図１は、本発明の一実施形態によるツルア１０及び研削砥石１６の力-変位のモデル化を示す図、図２は、一実施形態によるツルーイング装置の全体システム構成を示すブロック図である。図３は、面取り装置におけるウェーハＷの面取り加工の手順を示す図である。

【0023】

面取り加工は、図３に示すように、ツルア１０により研削砥石１６が形状転写あるいは加工（ツルーイング）され、次に研削砥石１６によりウェーハＷの形状が研削加工されることにより行われる。図３において、研削砥石１６は、クイル１８を介して砥石スピンドル１７に装着されて回転する。ツルア１０の端面の上面角θ１、下面角θ２は、目標とするウェーハＷの上面角θ１’、下面角θ２’よりも若干小さな角度（具体的には、２～３ｄｅｇ程度））に調整されることが多い。また、ヘリカル研削を行う場合、研削砥石１６の溝形状（目標形状）は、上下対称でない場合もあり、その場合は、ツルア１０の端面の上面角θ１、下面角θ２もそれにあわせて調整される。

【0024】

一実施形態の特徴は、ツルーイング一連のプロセスを行うツルーイングプログラム３０－１（図８）に、加工前に測定されたツルア１０と研削砥石１６の形状と、モデル化されたツルア１０と研削砥石１６の変位条件を反映することにある。
例えば、ツルーイング条件は、ツルア１０の研削砥石１６への押し当て力の調整条件を含む。ツルア１０が研削砥石１６に押し当てられると、研削砥石１６が変位し、研削砥石１６からの反力によってツルア１０もまた変位する。
ツルーイング条件により加工力が決まるため、ツルア１０の形状は、予定されるツルーイング条件に由来する加工力によるツルア１０、研削砥石１６の変位を予め加味した面取り角度とされることが好ましい。

【0025】

図１（ａ）はツルア１０の変位条件の関係をモデル化する構成、図１（ｂ）は、研削砥石１６の変位条件の関係をモデル化する構成を示している。（ａ）において、ツルア１０の変位条件の測定は、ツルア１０の下側にレーザ変位計２０を設置し、上側からテンションゲージ４０（フォースセンサ、分銅でも良い）で既知の荷重を負荷する。そして、変位δの測定は、レーザ変位計２０で行う。これにより、ツルア１０の変位条件（力－変位の関係）は、軸方向の変位として求められる。

【0026】

図１（ｂ）において、研削砥石１６の変位条件の測定は、研削砥石１６の側面にレーザ変位計２０を設置し、ツルア１０を既知の力で研削砥石１６の溝に押し当て、研削砥石１６の曲げ剛性を測定し、研削砥石１６の曲げ、ねじりによる変位が求められる。

【0027】

これにより、研削砥石１６の変位条件（力－変位の関係）は、研削砥石１６の曲げ、ねじりによる変位として求められる。ツルア１０、研削砥石１６の品質のばらつきは、その他の変位条件として反映する。なお、研削砥石１６は、クイル１８を介して砥石スピンドル１７に装着されて回転する。

【0028】

図４は、ツルーイングする時の加工精度に関する因子の説明図である。加工精度に関する因子は、図４に示すように、研削砥石１６の矢印に示すような曲げ、ねじり、振動、ツルア１０の表面形状、砥粒状態、形状転写時に掛かる力ｆ_１とツルア１０の変形及び加工熱と熱膨張率（ＣＴＥ）、ツルア１０と研削砥石１６の位置合わせ等となる。

【0029】

図５は、研削砥石１６をツルーイングする際の加工力によるツルアの変形とその測定を示す説明図である。図５（ａ）は、研削砥石１６の上面をツルーイングするときの、ツルア１０にかかる応力（加工力）と、それに伴う研削砥石１６の変位方向を示し、図５（ｂ）は、研削砥石１６の下面をツルーイングするときの、ツルア１０にかかる応力（加工力）と、それに伴う研削砥石の変位方向を示している。溝の上面をツルーイングするときは、ツルア１０が研削砥石１６の上面に押し付けられ、ツルア１０にはその反力として矢印の向きに応力が加わる。ツルア１０は、その材質等（剛性）に応じて、矢印の方向に変形（変位）することとなる。一方、研削砥石１６の軸は、図５（ａ）に示すように、一点鎖線から破線への方向へと回転軸が傾いたり、水平方向（Ｘ）に逃げる方向に変位する。なお、図面は模式的なもので、説明のために誇張して描かれており、実際の変位は図面で示されるような変位よりも、小さい場合もある。

【0030】

溝の下面をツルーイングするときも同様である。ツルア１０に対しては、矢印のように応力が加わり、変形（変位）する。一方の研削砥石１６の軸は、ツルア１０が押し付けられるために、図５（ｂ）に示すように、その軸が一点鎖線から破線の方向へと傾き、水平方向（Ｘ）に逃げる。研削砥石１６の下方に設置した渦電センサ２１は、上面及び下面のいずれのツルーイング中においても、加工力による研削砥石１６の変位を計測する。
なお、ツルア１０及び研削砥石１６の加工力－変形（変位）の関係は図１で示したように予め変位条件として求めておく。

【0031】

加工精度を向上するためには、力・熱等による変形の加工精度への影響を分析した加工制御モデルの構築、性能に強く影響する因子の特定、自動化するための機械学習が必要となる。特にツルア１０と研削砥石１６の位置合わせは、これらの基準となるものである。ツルーイング、及び、研削のために装置が稼働するときには、研削くずが発生し、かつ、研削箇所にはクーラント等が絶えず供給される、というセンシングには過酷な条件となるため、堅牢な測定の仕組みが重要となる。

【0032】

図６は、ツルア１０と研削砥石１６の位置合わせの説明図、図７は、位置合わせ部の構成図である。レーザ変位計２０は、ツルア１０、研削砥石１６の２次元断面形状を計測する。レーザ変位計２０による計測により、２次元断面形状から、ツルア１０の端面中央部Ｔと研削砥石１６の溝底中央位置Ｍとが導き出される。これらが一致するような、ツルア１０と研削砥石１６との相対的な位置関係を基準位置として設定する。位置合わせは、ツルア１０と研削砥石１６との位置を、この基準位置にあわせるように移動させることで行われる。

【0033】

図７に示すように、ツルア１０と研削砥石１６の位置合わせは、研削砥石１６の中に第１導電体２３－１（又は磁性体）及びツルア１０を固定するチャックテーブル２４の中に第２導電体２３－２（又は磁性体）を埋め込み、渦電センサ２１－１、２１－２により位置を検出して行う。

【0034】

図７において、ツルア１０はチャックテーブル２４に固定されている。第２導電体２３－２（又は磁性体）は、チャックテーブル２４に埋め込まれている。第１導電体２３－１（又は磁性体）は、研削砥石１６の溝底中央部に埋め込まれている。移動ステージ２２は測長機能付きであり、渦電センサ２１－１、２１－２を取り付けている。

【0035】

渦電センサ２１－１は、第１導電体２３－１（又は磁性体）に対向する位置にＺ方向に可動とされて移動ステージ２２に取り付けられ、研削砥石１６の溝底中央部の位置をＺ１として求める。渦電センサ２１－２は、第２導電体２３－２（又は磁性体）に対向する位置にＺ方向に可動とされて移動ステージ２２に取り付けられ、ツルア１０の端面中央部Ｔの位置をＺ２として求める。ツルア１０の端面中央部Ｔと研削砥石１６の溝底中央位置Ｍの位置合わせは、Ｚ１とＺ２との差が所定値となるようにツルア１０を移動させれば設定した基準位置に一致したことになる。

【0036】

図２のシステム構成において、制御部３０は、加工条件としてツルア１０の切込み量、回転速度、位置等を変位評価部３１、振動計測部３２、加工熱評価部３３の評価に基づいて制御する。変位評価部３１は、力－変位計測部３６での測定値に基づいて加工時のツルア１０及び研削砥石１６の変形（変位）を評価する。

【0037】

変位評価部３１は、図１（ｂ）で示した既知の荷重負荷によるツルア１０と研削砥石１６のモデル化された変位条件に基づいて、加工中のツルア１０と研削砥石１６の変形（無負荷時からの変位）を測定してレイティング（基準に基づき数値化）する。振動計測部３２は、ツルア１０、研削砥石１６の加工中の振動を測定する。

【0038】

振動計測部３２は、図６で示したレーザ変位計２０、渦電センサ２１と共通でもよい。すなわち、これらの測定値から振動を見積もってもよい。
加工熱評価部３３は、温度・熱流計測部３４を構成する熱電対や熱流計により温度・熱流の計測値を用いてツルア１０と研削砥石１６の加工熱を評価する。

【0039】

形状測定部３５は、レーザ変位計２０等で構成され、少なくともツルア１０と研削砥石１６の２次元断面形状を測定する。
研削砥石１６は、砥石スピンドル１７に装着される。ツルア１０は、ツルア移動台２５に載置されたチャックテーブル２４に固定され、回転軸、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸が可変とされる。

【0040】

加工条件データベース３７－１は、ツルア１０及び研削砥石１６の変位と、振動と、加工熱とをモニタリングした結果と、ツルーイング後の形状測定部３５の測定結果とを関連付けて記憶する。記憶した結果は、加工学習モデル３７－２として構築する。その他、制御部３０は、冷却水系による研削熱を制御する。

【0041】

図８は、ツルーイング方法のフローチャートである。このフローには、ツルア１０の形状の最適化手順も含まれる。
まず、ステップＳ３５として、加工前のツルア・砥石の形状測定が実施される。ツルア１０の目標形状は、図１（ａ）で示したように、予め求めたツルア１０の軸方向の変位条件を加味し、図３で示した端面の上面角θ１、下面角θ２面取り角度等としたものとされる。

【0042】

次に、研削砥石１６の目標形状が決定され、データ化される。（ステップＳ１）
ツルーイングプログラム３０－１には、ステップＳ３５で加工前に測定されたツルア１０と研削砥石１６の２次元断面形状、ステップＳ３１としてモデル化された、ツルア１０と研削砥石１６の変位条件（研削砥石１６の曲げ、ねじり等）、及び、上記目標形状が反映される。（ステップＳ２）

【0043】

次に、ステップＳ３として、ツルーイングが実施される。ツルーイングは、ツルーイングプログラム３０－１に従って行われる。ツルーイングでは、１０により研削砥石１６を、目標形状となるように加工する。
なお、ステップＳ３は、図６で示したように、レーザ変位計２０による計測により、ツルア１０の端面中央部Ｔと研削砥石１６の溝底中央位置Ｍが一致する位置を基準位置に設定して行う。

【0044】

ツルーイング中は、変位評価部３１、振動計測部３２、加工熱評価部３３、温度・熱流計測部３４等で加工条件のモニタリングを行う。（ステップＳ４）
また、ツルーイング後は、形状測定部３５のレーザ変位計２０でツルア１０と研削砥石１６の形状を測定し（ステップＳ５）、良否判定する。ツルア１０と研削砥石１６のそれぞれの目標形状を比較してこれらが許容範囲の場合は、次に、ウェーハＷをその研削砥石１６で研削し、エッジの設計値（目標値）に対する良否の判定を行う。（ステップＳ６）

【0045】

ツルーイングされたツルア１０と、研削砥石１６とが目標形状及び形状転写された研削砥石１６で研削されたウェーハＷがエッジの設計値（目標値）の許容範囲に無い場合は、ステップＳ３５、ステップＳ１の工程に戻す。加工条件と加工後の２次元断面形状は、関連付けて加工条件データベース３７－１としてデータベース化し、加工学習モデル３７－２を構築する。（ステップＳ３７）

【0046】

また、加工条件データベース３７－１は、ツルーイング中の加工条件として変位評価部３１、振動計測部３２、加工熱評価部３３、温度・熱流計測部３４等でモニタリングした結果と関連付けてデータベース化される。加工学習モデル３７－２は、データベース化された加工条件データベース３７－１から構築される。ステップＳ３において、ツルーイングプログラム３０－１は、加工学習モデル３７－２を参照する。

【0047】

ステップＳ５及びステップＳ６における良否判定は、予め加工条件データベース３７－１に蓄積された結果を利用しても良い。また、ステップＳ５での加工後の研削砥石１６の良否判定は、加工条件データベース３７－１に蓄積された結果を利用することが好ましい。

【0048】

加工学習モデル３７－２は、加工条件データベース３７－１に蓄積された結果であるデータに対してコンピューターが評価・判断した結果を出力する機械学習モデルである。ツルーイングプログラム３０－１は、必要に応じて加工学習モデル３７－２へ問い合わせを入力し、評価・判断した結果を得る。

【0049】

以上、一実施形態は、ツルーイング中に変位評価部３１、振動計測部３２、加工熱評価部３３、温度・熱流計測部３４等でモニタリングする。そして、加工条件データベース３７－１と加工学習モデル３７－２を利用し、ツルーイングプログラム３０－１により実施するので、溝形状を高精度化、高品質化し、形状のばらつきを抑えることができる。

【0050】

図３の説明は、ツルア１０の形状転写として説明したが、より高精度化を図るためには、研削砥石１６に形成する溝の上部あるいは下部をツルア１０で加工し、その後は、ツルア１０を研削砥石１６に対して相対的に厚さ方向に下降あるいは上昇させるように片側ずつ削ることでも良い。

【0051】

また、ツルーイング中は、変位評価部３１、振動計測部３２、加工熱評価部３３、温度・熱流計測部３４等でモニタリングする。そして、加工条件データベース３７－１と加工学習モデル３７－２を構築して利用することは、ウェーハＷが難加工材である４Ｈ-ＳｉＣ、他のポリタイプ（３Ｃ－ＳｉＣ、６Ｈ－ＳｉＣ、１５Ｒ－ＳｉＣ等）、ＧａＮ（窒化ガリウム）、酸化ガリウム、ＡｌＧａＮを利用したいずれかのものにも適用が可能である。そして、一実施形態は、ウェーハＷが難加工材であっても高品質化、特に後工程等にとって好適な（高精度な形状形成、均一な表面状態（うねり・粗さ）とすることができる。

【符号の説明】

【0052】

１０…ツルア
１６…研削砥石
１７…砥石スピンドル
１８…クイル
２０…レーザ変位計
２１…渦電センサ
２２…移動ステージ
２３－１…第１導電体
２３－２…第２導電体
２４…チャックテーブル
２５…ツルア移動台
３０…制御部
３０－１…ツルーイングプログラム
３１…変位評価部
３２…振動計測部
３３…加工熱評価部
３４…温度・熱流計測部
３５…形状測定部
３６…変位計測部
３７－１…加工条件データベース
３７－２…加工学習モデル
４０…テンションゲージ
Ｗ…ウェーハ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】