特開 2024-127379 湾曲矯正方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024127379

(43)【公開日】2024-09-20

(54)【発明の名称】湾曲矯正方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/304 20060101AFI20240912BHJP

   B24B 41/06 20120101ALN20240912BHJP

【ＦＩ】

H01L21/304 622N

H01L21/304 622J

B24B41/06 L

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023036504

(22)【出願日】2023-03-09

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110003524

【氏名又は名称】弁理士法人愛宕綜合特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】永田 航太

【テーマコード（参考）】

3C034

5F057

【Ｆターム（参考）】

3C034AA08

3C034BB73

3C034BB75

3C034DD10

5F057AA53

5F057BA15

5F057BB03

5F057CA14

5F057CA24

5F057DA11

5F057EC03

5F057EC04

5F057EC13

5F057EC14

5F057FA13

5F057FA28

5F057FA45

5F057GA21

(57)【要約】

【課題】山形に湾曲している板状物を適切に平坦に矯正することができる、板状物の矯正方法を提供する。
【解決手段】湾曲した板状物を平坦化する板状物の湾曲矯正方法であって、外的刺激によって収縮し硬化する液状樹脂を準備する液状樹脂準備工程と、湾曲して山形になった面に液状樹脂を塗布する液状樹脂塗布工程と、塗布した液状樹脂に外的刺激を付与して液状樹脂を収縮させ硬化させる収縮工程と、を含み構成される。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

湾曲した板状物を平坦化する板状物の湾曲矯正方法であって、
外的刺激によって収縮し硬化する液状樹脂を準備する液状樹脂準備工程と、
湾曲して山形になった面に液状樹脂を塗布する液状樹脂塗布工程と、
塗布した液状樹脂に外的刺激を付与して液状樹脂を収縮させ硬化させる収縮工程と、
を含み構成される湾曲矯正方法。

【請求項2】

該液状樹脂塗布工程において、湾曲の度合いと該湾曲を矯正する液状樹脂の厚みとの相関関係を求めたテーブルを予め作成しておき、該テーブルに基づいて液状樹脂の厚みを調整する請求項１に記載の湾曲矯正方法。

【請求項3】

該外的刺激は紫外線である請求項１に記載の湾曲矯正方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、湾曲した板状物を平坦化する板状物の矯正方法に関する。

【背景技術】

【0002】

ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、研削装置によって研削され所望の厚みに形成された後、ダイシング装置、レーザー加工装置によって個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。

【0003】

また、デバイスチップに対応する複数の領域を備えた配線基板に個々のデバイスチップの表面を対面させて配設し、その後デバイスチップの裏面全体に樹脂をモールドしてパッケージ基板を生成する技術が実用化されている（例えば特許文献１を参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００６－０３２４７１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかし、裏面側に樹脂をモールドしてパッケージ基板を生成した場合、樹脂が収縮することで裏面側に引張力が作用して表面側が山形に湾曲する。そして、このようなパッケージ基板の裏面を研削すべく、表面側をチャックテーブルに載置して全体を吸引保持する際に該湾曲が大きい場合は、該パッケージ基板の表面側がチャックテーブルに密着せず、適切に吸引保持できないという問題が生じる。

【0006】

本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、山形に湾曲している板状物を適切に平坦に矯正することができる、板状物の矯正方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、湾曲した板状物を平坦化する板状物の湾曲矯正方法であって、外的刺激によって収縮し硬化する液状樹脂を準備する液状樹脂準備工程と、湾曲して山形になった面に液状樹脂を塗布する液状樹脂塗布工程と、塗布した液状樹脂に外的刺激を付与して液状樹脂を収縮させ硬化させる収縮工程と、を含み構成される湾曲矯正方法が提供される。

【0008】

該液状樹脂塗布工程において、湾曲の度合いと該湾曲を矯正する液状樹脂の厚みとの相関関係を求めたテーブルを予め作成しておき、該テーブルに基づいて液状樹脂の厚みを調整するようにしてもよい。また、該外的刺激は紫外線であってもよい。

【発明の効果】

【0009】

本発明の湾曲矯正方法は、外的刺激によって収縮し硬化する液状樹脂を準備する液状樹脂準備工程と、湾曲して山形になった面に液状樹脂を塗布する液状樹脂塗布工程と、塗布した液状樹脂に外的刺激を付与して液状樹脂を収縮させ硬化させる収縮工程と、を含み構成されることから、板状物の湾曲が矯正されて平坦化され、該板状物がチャックテーブルに適切に吸引保持されないという問題を解消することができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】湾曲矯正装置の全体斜視図である。

【図2】（ａ）図１に示す湾曲矯正装置によって湾曲が矯正されるウエーハの斜視図、（ｂ）（ａ）に示すウエーハの湾曲を示す断面図である。

【図3】液状樹脂塗布工程において参照するテーブルを示す概念図である。

【図4】液状樹脂塗布工程を実施する際に湾曲矯正装置のチャックテーブルにウエーハを保持する態様を示す斜視図である。

【図5】液状樹脂塗布工程の実施態様を示す概念図である。

【図6】（ａ）収縮工程の実施態様を示す斜視図、（ｂ）収縮工程により平坦化されたウエーハを示す側面図である。

【図7】研削工程の実施態様を示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、本発明に基づいて構成される湾曲矯正方法に係る実施形態について、添付図面を参照しながら、詳細に説明する。

【0012】

図１には、本実施形態の湾曲矯正方法を実施するのに好適な湾曲矯正装置１の全体斜視図が示されている。湾曲矯正装置１は、ハウジング２と、ハウジング２内に配設され板状物を保持する保持手段２０と、保持手段２０に保持される板状物に対して液状樹脂を塗布する液状樹脂塗布手段３０と、液状樹脂塗布手段３０を矢印Ｙで示すＹ軸方向に移動させる搬送手段４０と、液状樹脂塗布手段３０に高圧エアーＷを供給する高圧エアー供給手段５０と、板状物に対して外的刺激として紫外線を照射する紫外線照射手段６０と、液状樹脂塗布手段３０に対して液状樹脂を供給する液状樹脂供給手段７０と、図示を省略する制御手段と、を備えている。なお、図示の湾曲矯正装置１を構成する各手段は、適宜の支持台によって支持されるが、図１では、説明の都合上省略している。

【0013】

ハウジング２は、上方が開放された箱状で形成されている。ハウジング２の底部２ａは傾斜しており、傾斜方向の端部（最も深い部分）に、余剰に供給された液状樹脂やハウジング２内を洗浄する際に発生する洗浄水等を排出するドレン２ｂが配設されている。さらに、ハウジング２の側壁２ｃには、図示を省略する吸引手段が配設された吸引ダクト２ｅが接続される開口部２ｄが形成されている。

【0014】

保持手段２０は、回転軸２２上に形成されるチャックテーブル２１と、回転軸２２を矢印Ｒ１で示す方向に回転させる駆動モータ２３とを備え、ハウジング２の底部２ａの中央に配設されている。チャックテーブル２１の保持面は、通気性を有するポーラス部材によって形成されると共に、図示を省略する吸引源に接続されている。該吸引源を作動して、チャックテーブル２１の保持面に負圧を生成することで、板状物を吸引保持することができる。なお、チャックテーブル２１の直径は、保持する板状部に対して小さい寸法で設定される。

【0015】

液状樹脂塗布手段３０は、搬送アーム３１と、搬送アーム３１によって支持された液状樹脂噴射ノズル３２とを備えている。搬送アーム３１は、後述する搬送手段４０のガイドレール４５上を図示のＹ軸方向にスライドする摺動部３１ａと、液状樹脂噴射ノズル３２の先端部３２ａを支持する水平部３１ｂと、液状樹脂噴射ノズル３２の本体部３２ｂを支持する垂直部３１ｃとを含み構成されている。液状樹脂噴射ノズル３２の上端には、後述する液状樹脂１００が導入される液状樹脂導入部３２ｃが形成されている。

【0016】

搬送手段４０は、図示のように、ハウジング２のＹ軸方向に沿う開口部に沿って形成されており、駆動ローラ４１と、従動ローラ４２と、駆動ローラ４１を回転駆動するパルスモータ４３と、駆動ローラ４１と従動ローラ４２とに巻き掛けられる搬送ベルト４４と、上記した搬送アーム３１の摺動部３１ａを支持し、搬送ベルト４４に隣接しＹ軸方向に沿う方向に配設されたガイドレール４５とを備えている。搬送ベルト４４と上記した搬送アーム３１の摺動部３１ａとが連結されていることにより、上記した制御手段によってパルスモータ４３を作動して、駆動ローラ４１を回転することで、搬送アーム３１をＹ軸方向の所望の位置に移動することができる。液状樹脂噴射ノズル３２は、ハウジング２におけるＸ軸方向の中央に配設されており、上記した搬送手段４０を作動することで、液状樹脂噴射ノズル３２の先端部３２ａをチャックテーブル２１の中心に位置付けることができる。

【0017】

本実施形態の湾曲矯正装置１においては、液状樹脂噴射ノズル３２に高圧エアーＷを供給する高圧エアー供給手段５０が配設されている。高圧エアー供給手段５０は、高圧エアー源５１と、高圧エアー源５１に接続されるエアー供給路５２と、エアー供給路５２に配設される開閉弁５３とを備えている。高圧エアー供給源５１によって供給される高圧エアーＷの圧力は、例えば０．５ＭＰａである。該高圧エアーＷは、搬送アーム３１の水平部３１ｂに供給され、水平部３１ｂ内において、液状樹脂噴射ノズル３２の先端部３２ａに導入される。液状樹脂噴射ノズル３２に高圧エアーＷが導入されることで、液状樹脂噴射ノズル３２から液状樹脂１００を噴射させることができる。液状樹脂噴射ノズル３２の先端部３２ａに高圧エアーＷが導入される構成については、追って詳細に説明する。

【0018】

本実施形態の搬送アーム３１の水平部３１ｂには、紫外線照射器６０が配設されている。紫外線照射器６０は、下面側のＸ軸方向に並んで紫外線ランプが配設されており、Ｘ軸方向の広い範囲で下面側に向けて紫外線を照射することができる。紫外線照射器６０は、搬送アーム３１の水平部３１ｂに配設されていることから、上記した搬送手段４０を作動してＹ軸方向に移動させることができ、チャックテーブル２１に保持される板状物の上方を通過させて、板状物の上面全体に紫外線を照射することができる。

【0019】

液状樹脂供給手段７０は、液状樹脂１００を貯留する貯留タンク７１と、貯留タンク７１の下部に配設された供給管７２と、供給管７２に配設された開閉バルブ７３とを備えている。液状樹脂供給手段７０は、ハウジング２の一方側（図中奥側）に設置されており、上記した搬送手段４０を作動して液状樹脂噴射ノズル３２をＹ軸方向に移動することにより、液状樹脂噴射ノズル３２の液状樹脂導入部３２ｃを、供給管７２の先端部７２ａに位置付けることができる。これにより、供給管７２を介して液状樹脂１００を液状樹脂噴射ノズル３２に供給することができる。なお、説明の都合上、図示の貯留タンク７１の上方は開放されているが、貯留タンク７１の上は適宜の蓋部材により閉塞されている。

【0020】

本実施形態の液状樹脂１００は、例えば、外的刺激として紫外線を照射することにより硬化する紫外線（ＵＶ）硬化樹脂が採用される。液状樹脂１００として採用されるＵＶ硬化樹脂は、コーティング適性や硬化物性を左右する重合性オリゴマー（主材）と、硬化性や物性をコントロールするための多官能モノマー、反応希釈剤としての単官能モノマー（副材）と、光重合開始剤とを主な成分とする。主材としては、例えば、ウレタンアクリルレート、エポキシアクリルレート、アクリルアクリルレート、ポリエステルアクリルレート、脂環式エポキシ、オキセタン化合物等から選択され、副材としては、多官能アクリルレートモノマー、単管能アクリルレートモノマー、ビニルエーテルモノマー等から選択され、光重合開始剤としては、ベンゾフェノン系、アセトフェノン系、スルホニウム塩系等から適宜選択され混合される。選択する成分の種類や混合する際の分量を調整することで、紫外線を照射して収縮し硬化する際の体積収縮率を調整することが可能である。なお、本発明の液状樹脂１００は、上記したＵＶ硬化樹脂に限定されず、外的刺激として加熱することにより硬化する熱硬化性樹脂であってもよい。

【0021】

本実施形態の湾曲矯正装置１は、概ね上記したとおりの構成を備えており、この湾曲矯正装置１を使用して実施される湾曲矯正方法について、以下に説明する。

【0022】

本発明の湾曲矯正方法を実施するに際し、まず、外的刺激（本実施形態では紫外線）によって収縮し硬化する液状樹脂１００を準備する液状樹脂準備工程を実施する。より具体的には、図１に基づき説明した液状樹脂供給手段７０の貯留タンク７１に、上記したＵＶ硬化樹脂の主材、副材、光重合開始剤から適宜の材料を選択し、紫外線を照射した場合の体積収縮率を所望の体積収縮率に調整した液状樹脂１００を貯留しておき、液状樹脂噴射ノズル３２の液状樹脂導入部３２ｃを液状樹脂供給手段７０の供給管７２の先端部７２ａに位置付ける。次いで、液状樹脂供給手段７０の開閉バルブ７３を開放して、液状樹脂噴射ノズル３２に、所定量の液状樹脂１００を充填する。なお、本実施形態では、体積収縮率が５％であるＵＶ硬化樹脂Ｇ１と、体積収縮率が１０％であるＵＶ硬化樹脂Ｇ２とを用意しておき、後述する板状物に応じて適宜選択されたものが液状樹脂１００として貯留される。

【0023】

上記した液状樹脂準備工程を実施したならば、矯正対象となる板状物において、湾曲して山形になった面に液状樹脂を塗布する液状樹脂塗布工程を実施する。ここで、本実施形態の湾曲矯正方法を実施する板状物は、例えば図２（ａ）に示すウエーハ１０である。図示のウエーハ１０は、複数のデバイス１２が分割予定ライン１４によって区画され表面１０ａに形成されたシリコンのウエーハであって裏面に樹脂がモールドされたパッケージウエーハである。該ウエーハ１０は、厚みが７００μｍ、直径が２００ｍｍのウエーハである。このウエーハ１０は、図２（ｂ）に示すように、表面１０ａが上方に凸となるように山形に、すなわち外周領域に対し、中央領域がＡｍｍ高くなるように湾曲している。なお、図２では、説明の都合上、湾曲の度合いを強調して記載しており、実際の湾曲の度合いとは一致していない。ここで、液状樹脂塗布工程を実施するに際し、ウエーハ１０の表面１０ａに塗布する液状樹脂１００の厚みを決定する手順について説明する。

【0024】

本実施形態の湾曲矯正方法を実施するに際し、板状物における湾曲の度合いと、該板状物に塗布して該湾曲を矯正する液状樹脂の厚みとの相関関係を予め実験により求め、図３に示すようなテーブルを作成しておく。該テーブルは、縦軸に所定の大きさの板状物の表面側が凸となるように湾曲した場合の反り量（ｍｍ）によって湾曲の度合いを示し、横軸に板状物の表面側にＵＶ硬化樹脂を塗布する際の厚み（μｍ）を示している。該テーブルを作成するに際しては、本実施形態の矯正対象となる上記したウエーハ１０と同一の材質、寸法のウエーハであって、表面が山形となる反り量が１．５ｍｍである２枚のウエーハを選択し、一方のウエーハの表面側に、上記した体積収縮率が５％であるＵＶ硬化樹脂Ｇ１を塗布すると共に外的刺激（紫外線の照射）を付与しながら硬化させて徐々に厚みを増してウエーハの反り量の変化を求め、他方のウエーハの表面側に体積収縮率が１０％であるＵＶ硬化樹脂Ｇ２を塗布すると共に外的刺激を付与しながら硬化させて徐々に厚みを増してウエーハの反り量の変化を求める実験を行った。その結果、図示のような、ウエーハの湾曲の度合いと該湾曲を矯正するＵＶ硬化樹脂Ｇ１の厚みとの相関関係を示すＵＶ硬化樹脂Ｇ１に対応する線Ｇ１と、ウエーハの湾曲の度合いと該湾曲を矯正するＵＶ硬化樹脂Ｇ２の厚みとの相関関係を示すＵＶ硬化樹脂Ｇ２に対応する線Ｇ２と、を示すテーブルを作成した。

【0025】

図３に示すテーブルの線Ｇ１及び線Ｇ２から理解されるように、収縮すると共に硬化させたＵＶ硬化樹脂の厚みが徐々に厚くなるに従い、ＵＶ硬化樹脂の体積収縮による矯正効果が発揮されて、各ウエーハの反り量が減少する。そして、ＵＶ硬化樹脂Ｇ１の塗布による湾曲の変化を示す線Ｇ１は、横軸の点Ｐ１（１８０μｍ）において横軸と交差することから、ＵＶ硬化樹脂の厚みが１８０μｍとなった場合に、ウエーハの反り量が０ｍｍとなることが分かる。また、ＵＶ硬化樹脂Ｇ２の塗布による湾曲の変化を示す線Ｇ２は、横軸の点Ｐ２（１３０μｍ）において横軸と交差することから、ＵＶ硬化樹脂の厚みが１３０μｍとなった場合に、反り量が０ｍｍとなることが分かる。図示のテーブルを作成する際の実験では、ＵＶ硬化樹脂Ｇ１、Ｇ２の収縮・硬化によって反り量が０ｍｍとなった状態から、さらにＵＶ硬化樹脂Ｇ１、Ｇ２をそれぞれのウエーハに塗布し、外的刺激を付与することにより硬化させて、各ウエーハの反り量を観察している。ＵＶ硬化樹脂Ｇ１を塗布した一方のウエーハでは、ＵＶ硬化樹脂Ｇ１の厚みが３００μｍとなった際に約－０．６ｍｍの反り量となり、ＵＶ硬化樹脂Ｇ２を塗布した他方のウエーハでは、ＵＶ硬化樹脂Ｇ２の厚みが３００μｍとなった際に約－１．１ｍｍの反り量となり、いずれもウエーハの表面側が谷形となる反り量となったことが確認された。このように作成されたテーブルは、湾曲矯正装置１に配設される図示を省略する制御手段に記憶される。

【0026】

本実施形態の湾曲矯正方法を実施するに際し、予め湾曲矯正の対象となるウエーハ１０の反り量Ａを計測しておく。反り量Ａの計測を実施した結果、例えば、本実施形態のウエーハ１０の反り量Ａが１．５ｍｍであったとする。次いで、液状樹脂１００として、ＵＶ硬化樹脂Ｇ１、Ｇ２のいずれかを選択する。反り量が大きい場合は、硬化した場合の体積収縮率が大きいＵＶ硬化樹脂Ｇ２を選択し、反り量が小さい場合は、体積収縮率が小さいＵＶ硬化樹脂Ｇ１を選択することが好ましい。本実施形態では、上記した反り量Ａ＝１．５ｍｍだったことに基づき、液状樹脂供給手段７０に貯留する液状樹脂１００として、ＵＶ硬化樹脂Ｇ１が予め選択され準備されている。そして、図３に示すテーブルを参照することにより、液状樹脂塗布工程において、上記したウエーハ１０の湾曲を矯正して略平坦とすべくＵＶ硬化樹脂Ｇ１を塗布する際の厚みを１８０μｍと求める。なお、本発明は、ウエーハ１０の反り量Ａが１．５ｍｍであった場合に、液状樹脂１００として、ＵＶ硬化樹脂Ｇ２を選択することを除外しない。液状樹脂１００として、ＵＶ硬化樹脂Ｇ２を選択した場合は、ウエーハ１０の湾曲を矯正して略平坦とすべくＵＶ硬化樹脂Ｇ２を塗布する際の厚みを１３０μｍと求めることができる。

【0027】

なお、湾曲矯正の対象となるウエーハ１０の反り量Ａを計測した結果、例えば、該反り量Ａが１．０ｍｍであった場合は、図３に示すテーブルのＵＶ硬化樹脂Ｇ１による線Ｇ１を、図示の矢印Ｒ２で示す縦軸方向（Ｙ軸方向）に平行移動して、該線Ｇ１が縦軸における反り量１．０ｍｍの位置で交差するように移動する（破線で示す）。そして、その際に該線Ｇ１が横軸で交差する位置の液状樹脂厚みを求める。図示の実施形態では、その横軸の位置は１３５μｍであり、これにより、該反り量Ａが１．０ｍｍだった場合には、ウエーハ１０を平坦化すべく液状樹脂塗布工程において塗布するＵＶ硬化樹脂Ｇ１の厚みは、１３５μｍであると求めることができる。このように、ウエーハ１０の反り量Ａが１．５ｍｍ以外の値である場合には、図３に示すテーブルの線Ｇ１、線Ｇ２を、縦軸方向に平行移動させることで、ウエーハ１０の反り量Ａに応じたＵＶ硬化樹脂Ｇ１、Ｇ２を塗布する際の厚みを求めることができる。

【0028】

上記したように、液状樹脂塗布工程において塗布すべきＵＶ硬化樹脂Ｇ１の厚み（１８０μｍ）を求めたならば、以下に説明する液状樹脂塗布工程を実施する。

【0029】

液状樹脂塗布工程を実施するに際し、まず、図４に示すように、図１に基づき説明した湾曲矯正装置１に配設された保持手段２０のチャックテーブル２１に、ウエーハ１０の表面１０ａを上方に向けて載置し、図示を省略する吸引源を作動して吸引保持する。ウエーハ１０は、上記したように、表面１０ａ側が凸となるように湾曲して山形になっており、保持手段２０のチャックテーブル２１の直径がウエーハ１０に対して十分小さい直径に設定されていることから、チャックテーブル２１によってウエーハ１０を吸引保持することが可能である。

【0030】

チャックテーブル２１によってウエーハ１０を吸引保持したならば、図１に基づき説明した搬送手段４０を作動して、搬送アーム３１をＹ軸方向に移動し、図５に示すように、ＵＶ硬化樹脂Ｇ１が充填された液状樹脂噴射ノズル３２を、ウエーハ１０の中心に位置付ける。次いで、チャックテーブル２１を矢印Ｒ１で示す方向に回転させると共に、上記した高圧エアー供給手段５０を所定時間作動して、高圧エアーＷを、搬送アーム３１の水平部３１ｂに導入する。該水平部３１ｂに導入された高圧エアーＷは、水平部３１ｂの連通路３３及び液状樹脂噴射ノズル３２の先端部３２ａの外周を囲うように形成された環状の導入路３４を介して先端部３２ａの噴射通路３２ｄに導入される。このとき、図示を省略する吸引手段を作動して、吸引ダクト２ｅを介して、ハウジング２内に飛散するＵＶ硬化樹脂Ｇ１の飛沫を外部に排出する。以上により、ウエーハ１０の表面１０ａに所定量のＵＶ硬化樹脂Ｇ１が噴射され、ウエーハ１０の回転によってウエーハ１０の表面１０ａにＵＶ硬化樹脂Ｇ１が均一に広がり、ウエーハ１０の表面１０ａに形成されるＵＶ硬化樹脂Ｇ１の厚みが１８０μｍとなるように塗布されて、液状樹脂塗布工程が完了する。

【0031】

上記した液状樹脂塗布工程を実施したならば、ＵＶ硬化樹脂Ｇ１を収縮させ硬化させる収縮工程を実施する。より具体的には、ＵＶ硬化樹脂Ｇ１に対して外的刺激を付与すべく、上記した紫外線照射器６０の紫外線ランプを点灯すると共に搬送手段４０を作動し、図６（ａ）に示すように、紫外線照射器６０を矢印Ｒ３で示す方向に移動して、ウエーハ１０の表面１０ａ全体に紫外線を照射する。本実施形態では、紫外線照射器６０を矢印Ｒ３で示す方向に移動させた後、さらに逆方向に紫外線照射器６０を移動して往復移動させることにより、ウエーハ１０の表面１０ａに塗布されたＵＶ硬化樹脂Ｇ１に対し、十分に紫外線を照射して、ＵＶ硬化樹脂Ｇ１を収縮させ硬化させる。この際、チャックテーブル２１を低速で回転させてもよい。なお、図６（ａ）では、紫外線照射器６０を支持する搬送アーム３１については、説明の都合上、省略している。

【0032】

上記した収縮工程を実施することにより、ウエーハ１０の表面１０ａには、図６（ｂ）に示すように、収縮すると共に硬化したＵＶ硬化樹脂Ｇ１’の層が形成される。これにより、ウエーハ１０には、上記した湾曲を矯正する作用が働き、図示のようにウエーハ１０が平坦化されて、本実施形態の湾曲矯正方法が完了する。このようにして、ウエーハ１０が平坦化されたならば、図７に示す研削装置８０に搬送して、ウエーハ１０の裏面を研削する研削工程を適切に実施することができる。

【0033】

図７に示すように、研削装置８０は、チャックテーブル８１上に吸引保持されるウエーハ１０の裏面１０ｂを研削して薄化するための研削手段を備えている。研削手段は、図示しない回転駆動機構により回転させられる回転スピンドル８２と、回転スピンドル８２の下端に装着されたホイールマウント８３と、ホイールマウント８３の下面に取り付けられ複数の研削砥石８５が下面側に環状に配設された研削ホイール８４と、を備えている。上記チャックテーブル８１の保持面は、上記したウエーハ１０と略同一の直径で形成されており、通気性を有するポーラス部材により形成されて、図示を省略する吸引手段に接続されている。

【0034】

研削工程を実施するに際し、ウエーハ１０の裏面１０ｂ側を上方に、ＵＶ硬化樹脂Ｇ１’の層を形成した表面１０ａ側を下方に向けて、チャックテーブル８１の保持面に載置し、図示を省略する吸引手段を作動して、チャックテーブル８１上に負圧を生成する。この際、ウエーハ１０には、上記した実施形態に基づく湾曲矯正方法が施されており、当初の湾曲が矯正されて平坦化されている。これにより、ウエーハ１０は、チャックテーブル８１に適切に吸引保持され、吸引保持できないという問題が生じない。そして、チャックテーブル８１を図中矢印Ｒ４で示す方向に、例えば３００ｒｐｍで回転させつつ、回転スピンドル８２を図中矢印Ｒ５で示す方向に、例えば６０００ｒｐｍで回転させる。次いで、研削砥石８５をウエーハ１０の裏面１０ｂに接触させ、研削ホイール８４を、例えば１．０μｍ／秒の研削送り速度で、図中Ｒ６で示す下方に向けて研削送りする。この際、図示しない接触式又は非接触式の測定ゲージによりウエーハ１０の厚みを測定しながら研削を進めることができ、ウエーハ１０の裏面１０ｂを所定量研削する。ウエーハ１０を所定の厚さとしたならば、洗浄、乾燥工程等を経て、ウエーハ１０の裏面１０ｂを研削する研削工程が完了する。

【0035】

上記した実施形態では、図３に示すテーブルを作成する際に、矯正の対象となるウエーハ１０と同一のウエーハを用意して、予め実験を行ってテーブルを作成した。これは、所定のＵＶ硬化樹脂を塗布した後、紫外線を照射して収縮・硬化させた場合の矯正の効果は、矯正の対象となる板状物の材質、厚み、大きさ（直径）等によって異なるものであることによる。よって、矯正の対象となる板状物の材質、厚み、大きさが複数種類ある場合は、各々に対応するテーブルを作成しておくことが好ましい。

【0036】

本発明は、上記した実施形態に限定されない。上記した実施形態では、図３に示したように、湾曲の度合いと該湾曲を矯正する液状樹脂の厚みとの相関関係を求めたテーブルを作成しておき、該テーブルに基づいて液状樹脂の厚みを調整するようにしていた。この際、上記したテーブルでは、実験値に基づいて作成した上記の相関を示す線Ｇ１、Ｇ２をそのまま採用し利用していたが、例えば、実験により求めた線Ｇ１と線Ｇ２に近似する近似直線を生成してテーブルとし、該近似直線を縦軸方向に平行移動することで、塗布する液状樹脂の厚みを求め、塗布する際の厚みを調整するものであってもよい。このような近似曲線を使用した場合は、ウエーハ１０の湾曲を矯正する際の精度が劣る可能性があるが、ウエーハ１０の湾曲を矯正する場合、ウエーハ１０の湾曲を矯正した結果、次の工程（例えば研削工程）において、チャックテーブルによって適切に吸引保持できる程度に湾曲が矯正されればよいことから、必ずしも厳密に平坦化する必要はない。

【0037】

また、上記した実施形態では、図３に示すようなテーブルに基づいて、湾曲の度合いに基づき液状樹脂の厚みを調整するようにしたが、本発明はこれに限定されない。例えば、体積収縮率が異なる複数の液状樹脂を用意しておき、液状樹脂塗布工程において、湾曲を矯正しようとする板状物に塗布する液状樹脂の量を一定とし、湾曲の度合いに応じて、塗布する液状樹脂を体積収縮率に基づき選択するようにしてもよい。例えば、矯正すべき湾曲の度合いが大きい場合（例えば反り量が１．５ｍｍの場合）は、体積収縮率が１０％のＵＶ硬化樹脂Ｇ２を塗布し、湾曲の度合いが小さい場合（例えば反り量が０．５ｍｍの場合）は、体積収縮率が５％のＵＶ硬化樹脂Ｇ１を塗布し、湾曲の度合いが中程度の場合（例えば反り量が１．０ｍｍの場合）は、ＵＶ硬化樹脂Ｇ１とＵＶ硬化樹脂Ｇ２とを混合して、体積収縮率が７．５％となるように調整したＵＶ硬化樹脂を生成して塗布するようにしてもよい。

【0038】

また、本発明に適用される液状樹脂は、上記したＵＶ硬化樹脂に限定されず、外的刺激として熱を加えることにより収縮して硬化する熱硬化性樹脂であってもよい。その場合は、図１に基づき説明した湾曲矯正装置１の紫外線照射器６０に替えて、加熱又は赤外線ヒータを配設し、湾曲したウエーハ１０の表面１０ａに液状樹脂として熱硬化性樹脂を塗布した後、該加熱ヒータによって加熱して、熱硬化性樹脂を収縮させ硬化させればよい。

【符号の説明】

【0039】

１：湾曲矯正装置
２：ハウジング
２ａ：底部
２ｂ：ドレン
２ｃ：側壁
２ｄ：開口部
２ｅ：吸引ダクト
１０：ウエーハ（板状物）
１０ａ：表面
１０ｂ：裏面
１２：デバイス
１４：分割予定ライン
２０：保持手段
２１：チャックテーブル
２２：回転軸
２３：駆動モータ
３０：液状樹脂塗布手段
３１：搬送アーム
３１ａ：摺動部
３１ｂ：水平部
３１ｃ：垂直部
３２：液状樹脂噴射ノズル
３２ａ：先端部
３２ｂ：本体部
３２ｃ：液状樹脂導入部
４０：搬送手段
４１：駆動ローラ
４２：従動ローラ
４３：パルスモータ
４４：搬送ベルト
４５：ガイドレール
５０：高圧エアー供給手段
５１：高圧エアー源
５２：エアー供給路
５３：開閉弁
６０：紫外線照射器
７０：液状樹脂供給手段
７１：貯留タンク
７２：供給管
７２ａ：先端部
７３：開閉バルブ
８０：研削装置
８１：チャックテーブル
８４：研削ホイール
８５：研削砥石
１００：液状樹脂

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】