特開 2024-127459 加工システム、メンテナンス部品収容庫、及び収容具

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024127459

(43)【公開日】2024-09-20

(54)【発明の名称】加工システム、メンテナンス部品収容庫、及び収容具

(51)【国際特許分類】

   G05B 19/418 20060101AFI20240912BHJP

   G05D 1/43 20240101ALI20240912BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20240912BHJP

【ＦＩ】

G05B19/418 Z

G05D1/02 P

H01L21/68 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023036624

(22)【出願日】2023-03-09

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】上村 拓人

(72)【発明者】

【氏名】大和 愛実

(72)【発明者】

【氏名】大河原 聡

(72)【発明者】

【氏名】田中 万平

(72)【発明者】

【氏名】斎藤 貴也

(72)【発明者】

【氏名】桧山 正晃

【テーマコード（参考）】

3C100

5F131

5H301

【Ｆターム（参考）】

3C100AA48

3C100AA63

3C100BB13

3C100BB21

3C100BB33

3C100EE06

5F131AA02

5F131CA45

5F131DA22

5F131DC02

5F131DD02

5F131DD52

5F131HA37

5H301BB05

5H301CC03

5H301CC06

5H301DD15

5H301KK02

(57)【要約】

【課題】メンテナンス作業の誤りを抑制することができること。
【解決手段】加工システム１は、ワークを加工する加工装置１０と、加工装置１０のメンテナンスで使用する物品を収容した収容具を保管する保管室４２を有したメンテナンス部品収容庫４０と、加工装置１０の屋上とメンテナンス部品収容庫４０の屋上とに渡って敷設された走行路６０と、収容具を収容可能な収容部７２と走行路６０を走行する走行機構７１とを備える無人搬送車７０と、無人搬送車７０に制御信号を送信する無線送信部１０６と制御信号を生成する制御信号生成部１０３とを有した管理用制御装置１００を備える。加工システム１は、制御信号生成部１０３で生成された制御信号に基づいて無人搬送車７０が収容具をメンテナンス部品収容庫４０から加工装置１０へと搬送する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

加工システムであって、
ワークを加工する加工装置と、
該加工装置のメンテナンスで使用する物品を収容した収容具を保管する保管室を有したメンテナンス部品収容庫と、
該加工装置の屋上と該メンテナンス部品収容庫の屋上とに渡って敷設された走行路と、
該収容具を収容可能な収容部と、該走行路を走行するための走行機構と、制御信号を受信する受信機と、を備え、該走行路を走行し該加工装置と該メンテナンス部品収容庫との間で該収容具を搬送する無人搬送車と、
少なくとも該無人搬送車に制御信号を送信する送信部と、該制御信号を生成する制御信号生成部と、を有した管理用制御装置と、を備え、
該制御信号生成部で生成された制御信号に基づいて該無人搬送車がメンテナンスで使用する物品を収容した該収容具を該メンテナンス部品収容庫から該加工装置へと搬送する、加工システム。

【請求項2】

該管理用制御装置は、該加工装置からの通知信号を受信する受信部を備え、
該加工装置のメンテナンス終了後、該管理用制御装置は、該受信部が受信した該加工装置からの通知信号に基づいて該制御信号生成部で制御信号を生成して該無人搬送車にメンテナンスで使用する物品を収容していた該収容具を該加工装置から該メンテナンス部品収容庫へと返送させ、
該加工システムは、該加工装置から該メンテナンス部品収容庫へと返送する該収容具における物品の収容状態を検出する検出ユニットを備える、請求項１に記載の加工システム。

【請求項3】

該加工装置で加工されるワークを収容可能なワーク収容庫を更に備え、
該走行路は、該ワーク収容庫の屋上と該加工装置の屋上と該メンテナンス部品収容庫の屋上とに渡って敷設され、
該無人搬送車は、該管理用制御装置で生成された制御信号に基づいて該ワークを該ワーク収容庫と該加工装置の間で搬送するとともに該収容具を該メンテナンス部品収容庫と該加工装置との間で搬送する、請求項１または請求項２に記載の加工システム。

【請求項4】

該加工装置で加工されるワークを収容可能なワーク収容庫を備え、
該走行路は、該ワーク収容庫の屋上と該加工装置の屋上と該メンテナンス部品収容庫の屋上とに渡って敷設され、
該ワークを収容可能なワーク収容部と、該走行路を走行するための走行機構と、制御信号を受信する受信機と、を備え、該走行路を走行し該加工装置と該ワーク収容庫との間で該ワークを搬送するワーク用無人搬送車を更に備えた、請求項１または請求項２に記載の加工システム。

【請求項5】

請求項１または請求項２に記載の加工システムに用いられるメンテナンス部品収容庫であって、
加工装置のメンテナンスで使用する物品を収容した収容具を保管する保管室と、
該保管室から該無人搬送車へ該収容具を受け渡すとともに該無人搬送車から該保管室に該収容具を受け取る受渡しユニットと、を備えたメンテナンス部品収容庫。

【請求項6】

請求項１または請求項２に記載の加工システムに用いられる収容具であって、
加工装置のメンテナンスで使用する物品を収容する収容部を有した本体を備えた収容具。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、加工システム、メンテナンス部品収容庫、及び収容具に関する。

【背景技術】

【0002】

例えば半導体デバイスの製造工程で使用される切削装置や研削装置等の加工装置では、切削ブレード研削やホイール等の工具が摩耗した場合における工具の交換作業や工具交換後のドレスやプリカット作業、定期的な装置点検、加工するワークのサイズが変わることに伴うテーブル交換等、様々なメンテナンス作業が発生する。

【0003】

そこで、メンテナンス作業の実施が忘れられ作業予定日時に遅れてメンテナンス作業が実施されてしまうことを防止する加工装置（例えば、特許文献１参照）が提案されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開平６－１７７２４４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、メンテナンス作業で使用する物品は、作業者が事前に揃えてメンテナンス作業に当たっている。しかし、特に作業頻度の少ないメンテナンス作業や不慣れな作業者では間違えた物品を準備してしまったり、適切でない物品でメンテナンス作業を行ってしまうおそれがあり、改善が切望されていた。このように、メンテナンス作業の誤りを抑制することが求められている。

【0006】

本発明の目的は、メンテナンス作業の誤りを抑制することができる加工システム、メンテナンス部品収容庫、及び収容具を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工システムは、加工システムであって、ワークを加工する加工装置と、該加工装置のメンテナンスで使用する物品を収容した収容具を保管する保管室を有したメンテナンス部品収容庫と、該加工装置の屋上と該メンテナンス部品収容庫の屋上とに渡って敷設された走行路と、該収容具を収容可能な収容部と、該走行路を走行するための走行機構と、制御信号を受信する受信機と、を備え、該走行路を走行し該加工装置と該メンテナンス部品収容庫との間で該収容具を搬送する無人搬送車と、少なくとも該無人搬送車に制御信号を送信する送信部と、該制御信号を生成する制御信号生成部と、を有した管理用制御装置と、を備え、該制御信号生成部で生成された制御信号に基づいて該無人搬送車がメンテナンスで使用する物品を収容した該収容具を該メンテナンス部品収容庫から該加工装置へと搬送することを特徴とする。

【0008】

前記加工システムにおいて、該管理用制御装置は、該加工装置からの通知信号を受信する受信部を備え、該加工装置のメンテナンス終了後、該管理用制御装置は、該受信部が受信した該加工装置からの通知信号に基づいて該制御信号生成部で制御信号を生成して該無人搬送車にメンテナンスで使用する物品を収容していた該収容具を該加工装置から該メンテナンス部品収容庫へと返送させ、該加工システムは、該加工装置から該メンテナンス部品収容庫へと返送する該収容具における物品の収容状態を検出する検出ユニットを備えても良い。

【0009】

前記加工システムにおいて、該加工装置で加工されるワークを収容可能なワーク収容庫を更に備え、該走行路は、該ワーク収容庫の屋上と該加工装置の屋上と該メンテナンス部品収容庫の屋上とに渡って敷設され、該無人搬送車は、該管理用制御装置で生成された制御信号に基づいて該ワークを該ワーク収容庫と該加工装置の間で搬送するとともに該収容具を該メンテナンス部品収容庫と該加工装置との間で搬送しても良い。

【0010】

前記加工システムにおいて、該加工装置で加工されるワークを収容可能なワーク収容庫を備え、該走行路は、該ワーク収容庫の屋上と該加工装置の屋上と該メンテナンス部品収容庫の屋上とに渡って敷設され、該ワークを収容可能なワーク収容部と、該走行路を走行するための走行機構と、制御信号を受信する受信機と、を備え、該走行路を走行し該加工装置と該ワーク収容庫との間で該ワークを搬送するワーク用無人搬送車を更に備えても良い。

【0011】

本発明のメンテナンス部品収容庫は、前記加工システムに用いられるメンテナンス部品収容庫であって、加工装置のメンテナンスで使用する物品を収容した収容具を保管する保管室と、該保管室から該無人搬送車へ該収容具を受け渡すとともに該無人搬送車から該保管室に該収容具を受け取る受渡しユニットと、を備えたことを特徴とする。

【0012】

本発明の収容具は、前記加工システムに用いられる収容具であって、加工装置のメンテナンスで使用する物品を収容する収容部を有した本体を備えたことを特徴とする。

【発明の効果】

【0013】

本発明は、メンテナンス作業の誤りを抑制することができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】図１は、実施形態１に係る加工システムを模式的に示す斜視図である。

【図2】図２は、図１に示された加工システムの加工装置の加工対象のワークを模式的に示す斜視図である。

【図3】図３は、図１に示された加工システムの切削装置である加工装置のチャックテーブルを模式的に示す斜視図である。

【図4】図４は、図１に示された加工システムの切削装置である加工装置の切削ユニットを分解して示す斜視図である。

【図5】図５は、図１に示された加工システムのメンテナンス部品収容庫を模式的に示す斜視図である。

【図6】図６は、図５に示されたメンテナンス部品収容庫を模式的に示す側面図である。

【図7】図７は、図５に示されたメンテナンス部品収容庫の保管室を模式的に示す正面図である。

【図8】図８は、図７に示された保管室に保管される収容具の一例を模式的に示す斜視図である。

【図9】図９は、図７に示された保管室に保管される収容具の他の例を模式的に示す斜視図である。

【図10】図１０は、図８に示された収容具を分解して示す斜視図である。

【図11】図１１は、図１に示された加工システムの無人搬送車の構成を模式的に示す斜視図である。

【図12】図１２は、図１１に示された無人搬送車が収容部を加工装置の載置台上に載置した状態を模式的に示す斜視図である。

【図13】図１３は、図１１に示された無人搬送車の構成を後方側から模式的に示す正面図である。

【図14】図１４は、図１２に示された無人搬送車が収容部を加工装置の載置台上に載置した状態を後方側から模式的に示す正面図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

【0016】

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る加工システムを図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る加工システムを模式的に示す斜視図である。図２は、図１に示された加工システムの加工装置の加工対象のワークを模式的に示す斜視図である。図３は、図１に示された加工システムの切削装置である加工装置のチャックテーブルを模式的に示す斜視図である。図４は、図１に示された加工システムの切削装置である加工装置の切削ユニットを分解して示す斜視図である。

【0017】

（加工システム）
実施形態１に係る加工システム１は、図１に示すように、複数の加工装置１０と、メンテナンス部品収容庫４０と、ワーク収容庫５０と、走行路６０と、無人搬送車７０と、管理用制御装置１００とを備える。

【0018】

（加工装置）
次に、加工装置１０を説明する。加工装置１０は、ワーク２００に各種の加工を施す装置であって、例えば、ワーク２００を切削加工する切削装置、ワーク２００をレーザー加工するレーザー加工装置、ワーク２００を研削加工する研削装置などであるが、本発明では、これらに限定されない。

【0019】

実施形態１では、加工装置１０は、図２に示すワーク２００を切削加工（加工に相当）する切削装置である。図１に示す加工装置１０の加工対象のワーク２００は、シリコン、ガリウムヒ素、ＳｉＣ（炭化ケイ素）又はサファイア、などを基板とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハなどのウェーハである。

【0020】

ワーク２００は、表面２０１に格子状に複数の分割予定ライン２０２が形成され、複数の分割予定ライン２０２によって区画された各領域にデバイス２０３が形成されている。デバイス２０３は、ＩＣ（Integrated Circuit）、又はＬＳＩ（Large Scale Integration）等の集積回路、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）、ＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）等のイメージセンサ、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）又はメモリ（半導体記憶装置）である。

【0021】

また、本発明では、ワーク２００は、中央部が薄化され、外周部に厚肉部が形成された所謂ＴＡＩＫＯ（登録商標）ウェーハでも良く、デバイスチップを樹脂で封止したパッケージ基板、セラミックス基板又はガラス基板でも良い。実施形態１において、ワーク２００は、表面２０１の裏側の裏面２０４が外周縁に環状フレーム２０５が装着されたテープ２０６に貼着されて、環状フレーム２０５の開口２０７内にテープ２０６を介して支持される。実施形態１に係るワーク２００は、分割予定ライン２０２に沿って、個々のデバイス２０３に分割される。

【0022】

また、環状フレーム２０５は、識別コード２０８が付されている。実施形態１では、識別コード２０８は、環状フレーム２０５の表面に付されている。実施形態１では識別コード２０８は、ワーク２００同士を識別するための識別情報を少なくとも含んでいる。実施形態１では、識別コード２０８は、周知の２次元コードであるが、１次元コードでも良く、図形、数字、文字又はこれらの組み合わせでも良い。

【0023】

加工装置１０は、ワーク２００を図３に示すチャックテーブル１１で保持し分割予定ライン２０２に沿って図４に示す切削ブレード２１で切削加工して、ワーク２００を個々のデバイス２０３に分割する切削装置である。加工装置１０は、ワーク２００を保持面１２で吸引保持する図３に示すチャックテーブル１１と、スピンドル２３に固定された切削ブレード２１によって、チャックテーブル１１に保持されたワーク２００を分割予定ライン２０２に沿って切削加工し、複数のデバイス２０３に分割する図４に示す切削ユニット２０と、チャックテーブル１１に保持されたワーク２００を撮影する図示しない撮像ユニットと、加工装置１０の各構成要素をそれぞれ制御して、ワーク２００に対する加工動作を加工装置１０に実施させる図１に示す制御ユニット３０と、を備える。

【0024】

また、加工装置１０は、チャックテーブル１１と切削ユニット２０のスピンドル２３とを相対移動させる移動ユニットを備える。移動ユニットは、チャックテーブル１１を水平方向と平行なＸ軸方向に加工送りする加工送りユニットと、切削ユニット２０を水平方向と平行でかつＸ軸方向に直交するＹ軸方向に割り出し送りする割り出し送りユニットと、切削ユニット２０をＸ軸方向とＹ軸方向との双方と直交する鉛直方向に平行なＺ軸方向に切り込み送りする切り込み送りユニットと、チャックテーブル１１をＺ軸方向と平行な軸心回りに回転する回転移動ユニットとを少なくとも備える。

【0025】

チャックテーブル１１は、図３に示すように円盤形状であり、ワーク２００を保持する保持面１２がポーラスセラミック等から形成されている。また、チャックテーブル１１は、加工送りユニットにより切削ユニット２０の下方の加工位置と、切削ユニット２０の下方から離間してワーク２００が搬入出される搬入出位置とに亘ってＸ軸方向に移動自在に設けられ、かつ回転移動ユニットによりＺ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられている。

【0026】

チャックテーブル１１は、図示しない真空吸引源と接続され、真空吸引源により吸引されることで、保持面１２に載置されたワーク２００を吸引、保持する。実施形態１では、チャックテーブル１１は、ワーク２００の裏面２０４側をテープ２１０を介して吸引、保持する。また、チャックテーブル１１の周囲には、図３に示すように、環状フレーム２０５をクランプするクランプ部１３が複数設けられている。

【0027】

また、チャックテーブル１１の隣には、図３に示すように、Ｘ軸移動ユニットによりチャックテーブル１１とともにＸ軸方向に移動するサブチャックテーブル１５が設けられている。即ち、加工装置１０は、サブチャックテーブル１５を備える。サブチャックテーブル１５は、消耗品であるドレスボード３００を保持するものである。

【0028】

サブチャックテーブル１５は、矩形の板状に形成され、上面がチャックテーブル１１の保持面１２と同一の高さとなる位置に配置されている。サブチャックテーブル１５は、上面１６にドレスボード３００が載置される。サブチャックテーブル１５は、上面１６に図示しない真空吸引源と接続された吸引溝１７が複数形成されている。サブチャックテーブル１５は、吸引溝１７が真空吸引源により吸引されることで、上面１６に載置されたドレスボード３００を吸引保持する。

【0029】

ドレスボード３００は、目詰まりしたり目つぶれして切削能力が低下した切削ブレード２１を目立てして、切削ブレード２１の切削能力を回復させるものである。切削ブレード２１を目立てして、切削ブレード２１の切削能力を回復させることを、ドレスするという。

【0030】

ドレスボード３００は、平面形状がサブチャックテーブル１５の上面１６と略同形状の矩形の板状に形成されている。ドレスボード３００は、樹脂やセラミックスのボンド材に、ＷＡ（ホワイトアランダム、アルミナ系）、ＧＣ（グリーンカーボナイト、炭化ケイ素系）などの砥粒が混ぜ込まれて構成されている。

【0031】

切削ユニット２０は、図４に示すように、割り出し送りユニット及び切り込み送りユニットによりＹ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に設けられたスピンドルハウジング２２と、スピンドルハウジング２２に軸心回りに回転自在に設けられかつ図示しないスピンドルモータにより軸心回りに回転されるスピンドル２３と、スピンドル２３の先端に固定されたマウント２４とを含む。また、切削ユニット２０は、ワッシャ２５内及びマウント２４の中央に設けられた貫通孔２４１を通ってスピンドル２３の先端面に設けられたねじ孔２３１と螺合してマウント２４をスピンドル２３の先端に固定する固定ねじ２６と、マウント２４に装着される切削ブレード２１をマウント２４との間で挟んで固定するナット２７とを備える。

【0032】

マウント２４は、スピンドル２３の先端に固定される。マウント２４は、Ｙ軸方向に延在する円筒状のボス部２４２と、ボス部２４２のスピンドルハウジング２２寄りの一端部に設けられた受けフランジ部２４３とを備えている。ボス部２４２は、Ｙ軸方向に延在し、外径が全長に亘って切削ブレード２１の装着穴２１１の内径と略等しく形成されている。なお、ボス部２４２の外径が切削ブレード２１の装着穴２１１の内径と略等しいとは、ボス部２４２の外周面と装着穴２１１の内周面とが少なくとも複数個所で互いに接触することが可能な程度に外径と内径とが等しいことを示している。

【0033】

受けフランジ部２４３は、ボス部２４２のスピンドルハウジング２２寄りの軸方向後端から径方向に沿って外周方向に突出してボス部２４２の外径よりの大径な円環状に形成されている。受けフランジ部２４３は、切削ブレード２１を外縁部のＺ軸方向に沿って平坦な端面２４４で支持する。ボス部２４２と受けフランジ部２４３とは、同軸に配置されている。また、マウント２４は、ボス部２４２の他端部の外周に雄ネジ２４５が形成されている。

【0034】

切削ブレード２１は、略リング形状を有する極薄の切削砥石である。実施形態１において、切削ブレード２１は、中央に装着穴２１１を有する円環状の環状基台２１２と、環状基台２１２の外周縁に配設されるワーク２００を切削する円環状の切り刃２１３を備えた、所謂いわゆるハブブレードである。環状基台２１２の装着穴２１１は、ボス部２４２の一端部を内側に通して、マウント２４に切削ブレード２１を装着するための孔である。切り刃２１３は、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材（結合材）とからなり所定厚みに形成されている。なお、本発明では、切削ブレード２１は、切り刃２１３のみで構成されたワッシャーブレードでもよい。

【0035】

このように構成された切削ブレード２１は、環状基台２１２の装着穴２１１がマウント２４の円筒状のボス部２４２の外周に嵌合される。切削ブレード２１は、ナット２７を円筒状のボス部２４２に形成された雄ネジ２４５に螺合することにより、マウント２４の受けフランジ部２４３とナット２７とによって挟持固定される。

【0036】

なお、切削ユニット２０のスピンドル２３、マウント２４、切削ブレード２１及びナット２７は、互いに同軸となる位置に配置されている。切削ユニット２０のスピンドル２３、マウント２４、切削ブレード２１及びナット２７の軸心は、Ｙ軸方向と平行に設定されている。

【0037】

撮像ユニットは、切削ユニット２０と一体的に移動するように、一方の切削ユニット２０に固定されている。撮像ユニットは、チャックテーブル１１に保持された切削前のワーク２００の分割すべき領域を撮像する撮像素子を備えている。撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子である。撮像ユニットは、チャックテーブル１１に保持されたワーク２００を撮像して、ワーク２００と切削ブレード２１との位置合わせを行なうアライメントを遂行するため等の画像を得、得た画像を制御ユニット３０に出力する。

【0038】

制御ユニット３０は、加工装置１０を構成する上述した各構成要素をそれぞれ制御して、ワーク２００に対する加工動作を加工装置１０に実行させるものである。制御ユニット３０は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インタフェース装置とを有し、コンピュータプログラムを実行可能なコンピュータである。

【0039】

制御ユニット３０の演算処理装置は、ＲＯＭに記憶されているコンピュータプログラムをＲＡＭ上で実行して、加工装置１０を制御するための制御信号を生成する。制御ユニット３０の演算処理装置は、生成した制御信号を入出力インタフェース装置を介して加工装置１０の各構成要素に出力する。

【0040】

また、制御ユニット３０は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される表示ユニット３１と、オペレータが加工条件を登録する際に用いる入力ユニット３２と、オペレータに報知する報知ユニット３３と接続されている。入力ユニット３２は、表示ユニット３１に設けられたタッチパネルにより構成される。報知ユニット３３は、音と光と表示ユニット３１上のメッセージとのうち少なくともいずれかを発して、オペレータに報知する。

【0041】

また、加工装置１０は、無人搬送車７０の収容部７２が載置される載置台３４と、切削加工後のワーク２００を洗浄する洗浄ユニットと、載置台３４上の収容部７２にワーク２００を出し入れするとともにワーク２００を載置台３４上の収容部１４０、チャックテーブル１１、洗浄ユニットとの間で搬送する搬送ユニットとを備える。

【0042】

なお、実施形態１では、加工システム１の複数の加工装置１０は、一直線状（実施形態１では、Ｘ軸方向）に並べられて、配置されている。

【0043】

また、実施形態１では、加工装置１０は、環状フレーム２０５に付された識別コード２０８及び後述する収容具４００の識別コード４０８を読み取る図示しない読み取りユニットを備えている。読み取りユニットは、識別コード４０８から読み取った情報を制御ユニット３０に出力する。

【0044】

（メンテナンス部品収容庫）
次に、メンテナンス部品収容庫４０を説明する。図５は、図１に示された加工システムのメンテナンス部品収容庫を模式的に示す斜視図である。図６は、図５に示されたメンテナンス部品収容庫を模式的に示す側面図である。図７は、図５に示されたメンテナンス部品収容庫の保管室を模式的に示す正面図である。図８は、図７に示された保管室に保管される収容具の一例を模式的に示す斜視図である。図９は、図７に示された保管室に保管される収容具の他の例を模式的に示す斜視図である。図１０は、図８に示された収容具を分解して示す斜視図である。

【0045】

メンテナンス部品収容庫４０は、加工装置１０のメンテナンスで使用する物品４０１を収容した収容具４００を収容して、加工システム１に用いられるものである。メンテナンス部品収容庫４０は、図５及び図６に示すように、外殻を構成する収容庫本体４１（図５のみに示す）と、収容庫本体４１内に収容された保管室４２と、収容庫本体４１に収容された受渡しユニット４３と、制御ユニット４４（図５のみに示す）とを備える。収容庫本体４１は、複数の板状の部材が組み合わされて箱状に形成され、実施形態１では、複数の加工装置１０と一直線状（実施形態１では、Ｘ軸方向）に並べられて、配置されている。

【0046】

また、実施形態１では、収容庫本体４１は、上面に無人搬送車７０の収容部７２を通すことが可能な開口４１１が設けられている。開口４１１は、収容庫本体４１の上面を貫通しており、内側に収容部７２を通して、収容部７２を収容庫本体４１に出し入れ自在としている。

【0047】

保管室４２は、収容具４００を収容して、収容具４００を保管するものである。実施形態１では、保管室４２は、図７に示すように、収容具４００をＺ軸方向に間隔をあけて複数収容する収容容器であり、受渡しユニット４３に対向する開口４２１を通して収容具４００を出し入れ自在とする。実施形態１では、保管室４２は、上面に収容具４００の両端が載置されて、収容具４００を支持する支持棚４２２を内部に複数備えている。

【0048】

保管室４２に収容される収容具４００は、加工装置１０のメンテナンスで使用する物品４０１を収容して、加工システム１に用いられるものである。図８に示された収容具４００（以下、符号４００－１で示す）は、メンテナンスである切削ブレード２１を交換する際に用いられる物品４０１を収容するものである。図８に示された収容具４００－１は、物品４０１として、切削ブレード２１を交換する際に用いられる交換治具と、トルクレンチと、交換用の切削ブレード２１を収容したブレードケースを収容する。

【0049】

図９に示された収容具４００（以下、符号４００－２で示す）は、メンテナンスである端面２４４を修正する際に用いられる物品４０１を収容するものである。図９に示された収容具４００－２は、物品４０１として、端面２４４を修正する際に用いられるダイヤルゲージと、端面修正治具を収容する。なお、本明細書は、収容具４００－１，４００－２を区別して説明する際には、それぞれ符号４００－１，４００－２を用い、区別しない場合には単に符号４００を用いる。

【0050】

実施形態１において、収容具４００は、図１０に示すように、環状フレーム２０５と、トレイ４０２と、本体である仕切り板４０３とを備える。環状フレーム２０５は、テープ２０６により開口２０７内にワーク２００を支持するものと同一の構成である。トレイ４０２は、環状フレーム２０５の内径と外径が等しい扁平でかつ一端側が底板４０４により塞がれた円筒状の円筒部４０５と、円筒部４０５の他端側から外周方向に突出した鍔部４０６とを一体に備えている。

【0051】

仕切り板４０３は、外径が円筒部４０５の内径と等しい円板状に形成され、収容具４００が収容する物品４０１の外径に沿った開口４０７を有している。実施形態１では、仕切り板４０３は、スポンジ等により構成される。開口４０７は、仕切り板４０３を貫通して、内側の加工装置１０のメンテナンスで使用される物品４０１を収容する収容部である。

【0052】

収容具４００は、トレイ４０２の円筒部４０５が環状フレーム２０５内に通されて、鍔部４０６が環状フレーム２０５に重ねられる。収容具４００は、仕切り板４０３がトレイ４０２の円筒部４０５内にはめ込まれて底板４０４上に重ねられ、開口４０７内に物品４０１を収容する。なお、本発明では、収容具４００は、物品４０１として、図８及び図９に示す物品４０１の他に、ドレスボード３００、プリカットボード又はシリコンピース等の加工装置１０のメンテナンスに使用される種々の物品を収容しても良い。

【0053】

また、収容具４００は、識別コード４０８が付されている。実施形態１では、識別コード４０８は、環状フレーム２０５の表面に付されている。実施形態１では。識別コード４０８は、収容具４００同士を識別するための識別情報を少なくとも含んでいる。実施形態１では、識別コード４０８は、周知の２次元コードであるが、１次元コードでも良く、図形、数字、文字又はこれらの組み合わせでも良い。また、実施形態１では、識別コード４０８は、収容具４００同士を識別するための識別情報に加え、収容した物品４０１を用いたメンテナンス作業のマニュアルにアクセスするためのアクセス先の情報であるＵＲＬ（Uniform Resource Locator）を示す情報を含んでいる。

【0054】

受渡しユニット４３は、開口４１１を通して収容庫本体４１内に位置付けられた収容部７２と、保管室４２との間で収容具４００を搬送するものである。実施形態１では、受渡しユニット４３は、例えばＵ字型ハンド４３１を備えるロボットピックであり、Ｕ字型ハンド４３１によって収容具４００を吸着保持して搬送する。受渡しユニット４３は、保管室４２から無人搬送車７０の収容部７２に収容具４００を受け渡すとともに、無人搬送車７０の収容部７２から保管室４２に収容具４００を受け取る。

【0055】

制御ユニット４４は、メンテナンス部品収容庫４０を構成する上述した各構成要素をそれぞれ制御するものである。制御ユニット４４は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インタフェース装置とを有し、コンピュータプログラムを実行可能なコンピュータである。

【0056】

制御ユニット４４の演算処理装置は、ＲＯＭに記憶されているコンピュータプログラムをＲＡＭ上で実行して、メンテナンス部品収容庫４０を制御するための制御信号を生成する。制御ユニット４４の演算処理装置は、生成した制御信号を入出力インタフェース装置を介してメンテナンス部品収容庫４０の各構成要素に出力する。

【0057】

また、制御ユニット４４は、液晶表示装置などにより構成される表示ユニット４５と、入力ユニット４６と、オペレータに報知する報知ユニット４７と接続されている。入力ユニット４６は、表示ユニット４５に設けられたタッチパネルにより構成される。報知ユニット４７は、音と光と表示ユニット４５上のメッセージとのうち少なくともいずれかを発して、オペレータに報知する。

【0058】

また、実施形態１では、受渡しユニット４３は、Ｕ字型ハンド４３１に吸着した収容具４００の識別コード４０８を読み取る読み取りユニット４８（図６に示す）が取り付けられている。読み取りユニット４８は、識別コード４０８から読み取った情報を制御ユニット４４を介して、管理用制御装置１００に出力する。

【0059】

（ワーク収容庫）
ワーク収容庫５０は、加工装置１０で加工される加工対象のワーク２００を収容可能なものである。ワーク収容庫５０は、図１に示すように、外殻を構成する収容庫本体５１と、収容庫本体５１内に収容された図示しないカセットと、収容庫本体５１に収容された図示しない受渡しユニットと、制御ユニット５４とを備える。収容庫本体５１は、複数の板状の部材が組み合わされて箱状に形成され、実施形態１では、複数の加工装置１０及びメンテナンス部品収容庫４０と一直線状（実施形態１では、Ｘ軸方向）に並べられて、配置されている。

【0060】

また、実施形態１では、収容庫本体５１は、上面に無人搬送車７０の収容部７２を通すことが可能な開口５１１が設けられている。開口５１１は、収容庫本体５１の上面を貫通しており、内側に収容部７２を通して、収容部７２を収容庫本体５１に出し入れ自在としている。

【0061】

カセットは、環状フレーム２０５により支持されたワーク２００を収容するものである。実施形態１では、カセットは、収容庫本体５１内に２つ収容され、それぞれが環状フレーム２０５により支持されたワーク２００をＺ軸方向に間隔をあけて複数収容するとともにワーク２００を出し入れ自在な収容容器である。実施形態１では、カセットは、上面に環状フレーム２０５の両端が載置されて、環状フレーム２０５を介してワーク２００を支持する支持棚を内部に複数備えている。なお、実施形態１では、収容庫本体５１内に収容される２つのカセットのうち一方は加工前のワーク２００を収容するものであり、他方は加工後のワーク２００を収容するものである。

【0062】

受渡しユニットは、開口５１１を通して収容庫本体５１内に位置付けられた収容部７２と、カセットとの間でワーク２００を搬送するものである。実施形態１では、受渡しユニットは、例えばＵ字型ハンドを備えるロボットピックであり、Ｕ字型ハンドによってワーク２００を支持した環状フレーム２０５を吸着保持して搬送する。受渡しユニットは、カセットから無人搬送車７０の収容部７２に加工前のワーク２００を受け渡すとともに、無人搬送車７０の収容部７２からカセットに加工後のワーク２００を受け取る。

【0063】

制御ユニット５４は、ワーク収容庫５０を構成する上述した各構成要素をそれぞれ制御するものである。制御ユニット５４は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インタフェース装置とを有し、コンピュータプログラムを実行可能なコンピュータである。

【0064】

制御ユニット５４の演算処理装置は、ＲＯＭに記憶されているコンピュータプログラムをＲＡＭ上で実行して、ワーク収容庫５０を制御するための制御信号を生成する。制御ユニット５４の演算処理装置は、生成した制御信号を入出力インタフェース装置を介してワーク収容庫５０の各構成要素に出力する。

【0065】

また、制御ユニット５４は、液晶表示装置などにより構成される表示ユニット５５と、入力ユニット５６と、オペレータに報知する報知ユニット５７と接続されている。入力ユニット５６は、表示ユニット５５に設けられたタッチパネルにより構成される。報知ユニット５７は、音と光と表示ユニット５５上のメッセージとのうち少なくともいずれかを発して、オペレータに報知する。

【0066】

また、実施形態１では、受渡しユニットは、Ｕ字型ハンドに吸着したワーク２００を支持した環状フレーム２０５の識別コード２０８を読み取る読み取りユニット５８（図１に示す）が取り付けられている。読み取りユニット５８は、識別コード２０８から読み取った情報を制御ユニット５４を介して、管理用制御装置１００に出力する。

【0067】

（走行路）
走行路６０は、図１に示すように、複数の加工装置１０の屋上と、メンテナンス部品収容庫４０の屋上とに亘って敷設されている。また、走行路６０は、ワーク収容庫５０の屋上と、複数の加工装置１０の屋上と、メンテナンス部品収容庫４０の屋上とに亘って敷設されている。走行路６０は、上面に無人搬送車７０を走行させるものである。

【0068】

実施形態１では、走行路６０は、搬送路６１と、受け渡し部６２とを備えている。搬送路６１は、複数の加工装置１０の屋上である装置本体１８の上面上と、メンテナンス部品収容庫４０の屋上である収容庫本体４１の上面上と、ワーク収容庫５０の屋上である収容庫本体５１の上面上とに亘って配設され、実施形態１では、Ｘ軸方向に沿って直線状に配設されている。

【0069】

受け渡し部６２は、各加工装置１０と１対１で対応して設けられ、走行路６０の幅方向の端に連なって配設されている。受け渡し部６２は、対応する加工装置１０の載置台３４の上方に配設されて、底面に無人搬送車７０の収容部７２を通すことが可能な開口６３が形成されている。開口６３は、内側に収容部７２を通して収容部７２が載置台３４に載置されることを許容する。

【0070】

また、搬送路６１のメンテナンス部品収容庫４０の開口４１１とワーク収容庫５０の開口５１１とに重なる位置には、それぞれ、無人搬送車７０の収容部７２を通すことが可能な開口６４，６５が設けられている。

【0071】

また、実施形態１は、走行路６０は、外縁に無人搬送車７０が脱落することを規制するガイド壁６６が立設しているとともに、上面に搬送路６１と平行な図示しない縦線が形成され、上面の搬送路６１と受け渡し部６２との交差点に図示しない縦線に直交する図示しない横線が形成されている。これらの縦線及び横線は、無人搬送車７０が自己の位置を検出するための印である。

【0072】

（無人搬送車）
次に、無人搬送車７０を説明する。図１１は、図１に示された加工システムの無人搬送車の構成を模式的に示す斜視図である。図１２は、図１１に示された無人搬送車が収容部を加工装置の載置台上に載置した状態を模式的に示す斜視図である。図１３は、図１１に示された無人搬送車の構成を後方側から模式的に示す正面図である。図１４は、図１２に示された無人搬送車が収容部を加工装置の載置台上に載置した状態を後方側から模式的に示す正面図である。

【0073】

無人搬送車７０は、走行路６０を走行するＡＧＶ(Automated Guided Vehicle：自動搬送車)であり、実施形態１では、加工装置１０とメンテナンス部品収容庫４０との間で収容具４００を搬送するものである。また、実施形態１では、無人搬送車７０は、管理用制御装置１００で生成された制御信号に基づいてワーク２００をワーク収容庫５０と加工装置１０の間で搬送するワーク用無人搬送車でもあるとともに、収容具４００をメンテナンス部品収容庫４０と加工装置１０との間で搬送するものでもある。なお、本発明では、無人搬送車７０は、走行路６０を走行し加工装置１０とワーク収容庫５０との間で、収容具４００とワーク２００とのうちワーク２００のみを搬送するワーク用無人搬送車であっても良い。無人搬送車７０は、走行路６０上を少なくとも１台以上が走行する。なお、図１は、無人搬送車７０を１台のみ示し、他の無人搬送車７０を省略している。

【0074】

無人搬送車７０は、図１１及び図１２に示すように、走行路６０を走行するための走行機構７１と、収容具４００又はワーク２００を収容可能な収容部７２（ワーク収容部に相当）と、昇降ユニット７３と、制御ユニット７５と、受信機７６と、送信機７７とを備える。

【0075】

走行機構７１は、平板状のフレーム７１１と、フレーム７１１の下面の前方側の両側端部に設けられた一対の前輪７１２と、フレーム７１１の下面の後方側の両側端部に設けられた一対の後輪７１３と、駆動ユニット７１４と、フレーム７１１の上方にフレーム７１１から間隔をあけて配置された平板状の第２フレーム７１５とを備えている。前輪７１２は、フレーム７１１の下面に回転自在に支持されかつ互いに同軸に配置された車軸７１６の端部に固定されている。後輪７１３は、Ｚ軸方向と平行な回転軸回りに回転自在に支持されたキャスターであり、フレーム７１１の下面に回転軸回りに回転自在に支持された水平方向と平行な図示しないに車軸に回転自在に支持されている。

【0076】

駆動ユニット７１４は、フレーム７１１の上面の前端部に設けられ、かつ一対の前輪７１２を車軸７１６とともに回転駆動するものである。駆動ユニット７１４は、それぞれ、車軸７１６等を介して前輪７１２に連結された一対のモータ７１７と、モータ７１７に電力を供給する電源であるバッテリ７１８とを備える。モータ７１７は、図示しないプーリ、ベルト、チェーン等の図示しない無端の連結部材とにより車軸７１６に連結された回転軸７１９を備えている。

【0077】

駆動ユニット７１４は、モータ７１７の回転軸７１９を軸心回りに回転することで、前輪７１２を回転する。駆動ユニット７１４は、一対のモータ７１７によって一対の前輪７１２の回転する方向を独立に制御する。駆動ユニット７１４は、一対の前輪７１２を同方向に回転させることにより、無人搬送車７０の走行機構７１を前進又は後退する。また、駆動ユニット７１４は、一対の前輪７１２を互いに逆方向に回転させることにより、Ｚ軸方向と平行な回転軸の周りに無人搬送車７０の走行機構７１を回転させて、無人搬送車７０の走行機構７１の進行する方向を変更する。

【0078】

収容部７２は、フレーム７１１の下面側に設けられ、かつ収容具４００又はワーク２００を内側に収容可能な扁平な箱状に形成されている。実施形態１において、収容部７２は、ワーク２００を内側に収容可能なワーク収容部でもある。収容部７２は、無人搬送車７０の後方側に収容具４００又はワーク２００を出し入れ自在とする開口７２１（図１２に示す）を設けている。収容部７２は、収容した収容具４００又はワーク２００を支持した環状フレーム２０５を保持するガイドレール７２２（図１２に示す）を内側に設けている。また、実施形態１において、収容部７２は、透明な材料により構成されている。

【0079】

昇降ユニット７３は、走行機構７１のフレーム７１１に対して収容部７２を昇降するものである昇降ユニット７３は、図１１に示す前輪７１２と後輪７１３との間に位置付ける格納位置と、図１２に示す前輪７１２及び後輪７１３よりも下方に位置付ける下降位置とに亘って、収容部７２を昇降する。格納位置では、収容部７２の下面が走行路６０上を走行する前輪７１２及び後輪７１３の下端よりも上方に位置付けられる。そのため、無人搬送車７０の走行路６０の走行中に収容部７２が走行路６０と接触することはない。

【0080】

実施形態１では、昇降ユニット７３は、図１１及び図１２に示すように、フレーム７１１の上面に設けられている。また、実施形態１では、昇降ユニット７３は、第２フレーム７１５の下方に配置されて、フレーム７１１，７１５間に配置されている。昇降ユニット７３は、格納位置に位置付けられた収容部７２を下降させて、加工装置１０の載置台３４上、メンテナンス部品収容庫４０の収容庫本体４１内又はワーク収容庫５０の収容庫本体５１内に収容部７２を位置付ける。また、昇降ユニット７３は、加工装置１０の載置台３４上、メンテナンス部品収容庫４０の収容庫本体４１内又はワーク収容庫５０の収容庫本体５１内に位置付けられた収容部７２を上昇させて、収容部７２を格納位置に位置付ける。

【0081】

昇降ユニット７３は、図１３及び図１４に示すように、下端が収容部７２に取り付けられた接続された吊り下げ部材７３１と、吊り下げ部材７３１の巻き取り及び送り出しを行う駆動機構７４とを備える。実施形態１では、吊り下げ部材７３１は、４本設けられている。吊り下げ部材７３１としては、例えば、所定の幅を有するベルトが用いられる。４本の吊り下げ部材７３１の下端は、それぞれ、収容部７２の上面に互いに間隔をあけて取り付けられている。なお、吊り下げ部材７３１としては、本発明では、ベルトの他に、巻き取り及び送り出しが可能なワイヤロープ等を用いても良い。

【0082】

駆動機構７４は、フレーム７１１の上面に固定され、回転軸７４１を有するモータ７４２と、フレーム７１１の上面に回転自在に支持されているとともに互いに平行な第１回転軸７４３及び第２回転軸７４４と、第１回転軸７４３の一端に固定されかつモータ７４２の回転軸７４１とベルト、チェーン等の無端の連結部材７４５が架けられたプーリ７４６と、第１回転軸７４３の他端及び第２回転軸７４４の他端に固定されかつベルト、チェーン等の無端の連結部材が互いに架けられた図示しないプーリーと、第１回転軸７４３の両端部にそれぞれ固定されかつ吊り下げ部材７３１が巻き付けられる円柱状のリール７４７と、第２回転軸７４４の両端部にそれぞれ固定されかつ吊り下げ部材７３１が巻き付けられる円柱状のリール７４８とを備える。

【0083】

駆動機構７４は、モータ７４２により回転軸７４３，７４４を軸心回りに回転し、リール７４７，７４８を軸心回りに回転することで、リール７４７，７４８に吊り下げ部材７３１を巻き取るとともに、リール７４７，７４８から吊り下げ部材７３１を送り出す。

【0084】

昇降ユニット７３は、駆動機構７４がリール７４７，７４８に吊り下げ部材７３１を巻き取ると、収容部７２を図１３に示すように格納位置に位置付ける。昇降ユニット７３は、駆動機構７４がリール７４７，７４８から吊り下げ部材７３１を送り出すと、収容部７２を図１４に示すように下降位置に位置付ける。

【0085】

また、実施形態１において、無人搬送車７０は、フレーム７１１の下面に図１３及び図１４に示すように収容部７２の上面側に接触する複数の弾性部材７３２が設けられている。複数の弾性部材７３２は、それぞれ、概ね同じ高さの柱状に形成され、フレーム７１１の下面から下方に突出するようにフレーム７１１に固定されている。弾性部材７３２は、収容部７２が格納位置に付けられると、収容部７２により押圧されて弾性変形する。

【0086】

弾性部材７３２は、収容部７２により押圧されて弾性変形すると、弾性復元力により収容部７２を下方に向かって押す。弾性部材７３２は、収容部７２が格納位置に位置付けられる際に衝撃を緩和し、収容部７２や収容部７２内の収容具４００又はワーク２００を破損し難くする。また、弾性部材７３２は、無人搬送車７０が走行路６０を走行する際にも、緩衝材となり、フレーム７１１の振動が収容部７２や収容具４００又はワーク２００に伝わり難くする。弾性部材７３２として、例えば、ゴム（ウレタンゴム、シリコーンゴム等）、スポンジ等でなる柱状の部材を用いることができる。

【0087】

無人搬送車７０は、図１１及び図１２に示すように、走行機構７１のフレーム７１１の後端部の下面にカバー７３３が設けられている。カバー７３３は、収容部７２が格納位置に位置付けられた際に、収容部７２の開口７２１を覆う。カバー７３３は、開口７２１を覆うことで、無人搬送車７０の走行中に収容部７２に異物の侵入を防止し、ワーク２００への異物の付着を防止するとともに、収容具４００又はワーク２００が収容部７２内に脱落することを防止する。

【0088】

また、無人搬送車７０は、走行機構７１のフレーム７１１の前端部及び後端部にそれぞれに第１センサ７３４を設け、フレーム７１１の両側端部に一対の第２センサ７３５を設けている。第１センサ７３４と第２センサ７３５とは、それぞれ、無人搬送車７０が走行する走行路６と対向するように装着され、走行路６に設けられた図示しない縦線及び横線を検出する。第１センサ７３４と第２センサ７３５とは、検出結果を制御ユニット７５に出力する。

【0089】

また、無人搬送車７０は、走行機構７１のフレーム７１１の前端部に無人搬送車７０が障害物に衝突したことを検知する衝突センサ７３６を設けている。衝突センサ７３６としては、例えば、押しボタン式のスイッチが用いられる。衝突センサ７３６は、無人搬送車７０の前端部が障害物に衝突すると、無人搬送車７０の衝突を検出し、検出結果を制御ユニット７５に出力する。

【0090】

また、無人搬送車７０は、図１３及び図１４に示すように、加工装置１０からメンテナンス部品収容庫４０へと返送する収容具４００における物品４０１の収容状態を検出する検出ユニット７８を備えている。実施形態１では、検出ユニット７８は、フレーム７１１の下面に配設さて、透明な材料で構成された収容部７２内の収容具４００を撮像するＣＣＤ撮像素子又はＣＭＯＳ撮像素子等の撮像素子を備えた撮像ユニットである。検出ユニット７８は、保管室４２から加工装置１０に搬送される収容部７２内の収容具４００を撮像し、加工装置１０から保管室４２に返送される収容部７２内の収容具４００を撮像して、撮像して取得した画像を制御ユニット７５に出力する。無人搬送車７０は、前述した画像を制御ユニット７５に出力することで、加工装置１０からメンテナンス部品収容庫４０へと返送する収容具４００における物品４０１の収容状態を検出する。

【0091】

制御ユニット７５は、第２フレーム７１５上に固定されている。制御ユニット７５は、無人搬送車７０を構成する上述した各構成要素をそれぞれ制御するものである。制御ユニット７５は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インタフェース装置とを有し、コンピュータプログラムを実行可能なコンピュータである。

【0092】

制御ユニット７５の演算処理装置は、ＲＯＭに記憶されているコンピュータプログラムをＲＡＭ上で実行して、無人搬送車７０を制御するための制御信号を生成する。制御ユニット７５の演算処理装置は、生成した制御信号を入出力インタフェース装置を介して無人搬送車７０の各構成要素に出力する。

【0093】

実施形態１では、制御ユニット７５は、第１センサ７３４及び第２センサ７３５による縦線及び横線の検出結果に基づいて、無人搬送車７０の走行路６０上の位置を算出し、走行路６０上の位置及び管理用制御装置１００からの制御信号に基づいて無人搬送車７０の走行、旋回、停車等を制御する。また、実施形態１では、制御ユニット７５は、算出した走行路６０上の位置を送信機７７を介して管理用制御装置１００に出力する。

【0094】

また、実施形態１では、制御ユニット７５は、衝突センサ７３６が無人搬送車７０の衝突を検出すると、無人搬送車７０の動作を停止する。実施形態１では、制御ユニット７５は、衝突センサ７３６からの無人搬送車７０の衝突、及びモータ７１７，７４２の不具合を検出すると、これらの検出結果を送信機７７を介して管理用制御装置１００に出力する。実施形態１では、制御ユニット７５は、検出ユニット７８が撮像して取得した画像を送信機７７を介して管理用制御装置１００に出力する。

【0095】

受信機７６と送信機７７とは、それぞれ、制御ユニット７５に接続し、第２フレーム７１５上に固定される。受信機７６は、無線により管理用制御装置１００からの信号（制御信号に相当）を受信して、受信した信号を制御ユニット７５に出力する。送信機７７は、制御ユニット７５からの信号（通知信号に相当）を無線により管理用制御装置１００に送信する。受信機７６は、周知の受信機により構成され、送信機７７は、周知の送信機により構成される。

【0096】

管理用制御装置１００は、加工システム１を構成する上述した各構成要素をそれぞれ制御して、複数の加工装置１０の加工動作、無人搬送車７０のワーク２００及び収容具４００の搬送動作を制御するものである。管理用制御装置１００は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インタフェース装置とを有し、コンピュータプログラムを実行可能なコンピュータである。

【0097】

管理用制御装置１００は、記憶部１０２と、制御信号生成部１０３と、通信ネットワーク１０１を介して各加工装置１０の制御ユニット３０、メンテナンス部品収容庫４０の制御ユニット４４及びワーク収容庫５０の制御ユニット５４と接続した通信部１０４（受信部に相当）と、無線受信部１０５と、無線送信部１０６（送信部に相当）とを備える。

【0098】

記憶部１０２は、管理用データ１０７を記憶している。管理用データ１０７は、各加工装置１０の加工条件、メンテナンス部品収容庫４０の保管室４２の各支持棚４２２が支持した収容具４００の識別情報、各加工装置１０のメンテナンスのタイミング、各加工装置１０の各タイミングのメンテナンスに用いられる収容具４００の識別情報、ワーク収容庫５０のカセット内のワーク２００の加工装置１０への搬送順、各収容具４００及びワーク２００の搬送に用いられる無人搬送車７０を示す情報等を含んでいる。

【0099】

制御信号生成部１０３は、管理用データ１０７等に基づいて、ＲＯＭに記憶されているコンピュータプログラムをＲＡＭ上で実行して、加工システム１の各構成要素を制御するための制御信号を生成する。制御信号生成部１０３は、管理用データ１０７等を用いて無人搬送車７０を制御するための信号（制御信号）などを生成するものである。

【0100】

通信部１０４は、通信ネットワーク１０１を介して、前述した制御ユニット３０，４４，５４と双方向に通信可能なものである。また、通信部１０４は、インターネットにも接続している。通信部１０４は、制御信号生成部１０３が生成した制御信号を通信ネットワーク１０１を介して制御ユニット３０，４４，５４に送信する。また、通信部１０４は、通信ネットワーク１０１を介して各加工装置１０の制御ユニット３０、メンテナンス部品収容庫４０の制御ユニット４４及びワーク収容庫５０の制御ユニット５４からの信号（通知信号）を受信する。

【0101】

無線受信部１０５は、無線により無人搬送車７０の送信機７７からの信号（通知信号に相当）を受信する。無線受信部１０５は、周知の受信機により構成される。

【0102】

無線送信部１０６は、無線により無人搬送車７０の受信機７６に制御信号生成部１０３が生成した信号（制御信号）を送信するものである。無線送信部１０６は、周知の送信機により構成される。

【0103】

制御信号生成部１０３及び通信部１０４の機能は、演算処理装置がＲＯＭに記憶されているコンピュータプログラムをＲＡＭ上で実行することで実現される。また、記憶部１０２の機能は、前述した記憶装置により実現される。

【0104】

（加工動作）
次に、前述した構成の加工システム１の加工動作を説明する。加工システム１は、加工前のワーク２００を収容したカセットと、加工後のワーク２００を収容するカセットがワーク収容庫５０の収容庫本体５１に設置され、メンテナンス部品収容庫４０の保管室４２の支持棚４２２に管理用データ１０７に応じた収容具４００を支持して、保管室４２内に収容具４００を収容する。加工システム１は、管理用制御装置１００の記憶部１０２に管理用データ１０７を受け付けて登録し、加工開始指示を受け付けると、加工動作を開始する。

【0105】

加工動作では、加工システム１は、管理用制御装置１００の制御信号生成部１０３が、管理用データ１０７通りの無人搬送車７０を走行路６０の搬送路６１の開口６５上に位置付ける。このとき、平面視において、収容部７２の開口７２１をワーク収容庫５０の受渡しユニットに対向させる。加工動作では、加工システム１は、管理用制御装置１００の制御信号生成部１０３が開口６５上の無人搬送車７０の収容部７２を下降させて、受渡しユニットにカセットから管理用データ１０７通りのワーク２００を取り出させて、走行路６０の搬送路６１の開口６５上の無人搬送車７０の収容部７２内に収容させる。

【0106】

このとき、ワーク収容庫５０は、読み取りユニット５８によりカセットから取り出したワーク２００を支持した環状フレーム２０５の識別コードを読み取り、その無人搬送車７０にどのワーク２００を受け渡したかを示す通知信号を管理用制御装置１００に出力する。管理用制御装置１００は、管理用データ１０７通りのワーク２００が無人搬送車７０に受け渡されたか否かを判定し、管理用データ１０７通りのワーク２００が無人搬送車７０に受け渡されていないと判定すると、加工動作を一旦停止して、報知ユニット５７を動作させるとともに表示ユニット５５にその旨を表示する。管理用制御装置１００は、管理用データ１０７通りのワーク２００が無人搬送車７０に受け渡されたと判定すると、加工動作を継続する。

【0107】

加工動作では、加工システム１は、管理用データ１０７通りのワーク２００を収容した無人搬送車７０の収容部７２を上昇させて、格納位置に位置づける。加工動作では、加工システム１は、収容部７２に加工前のワーク２００を収容した無人搬送車７０を管理用データ１０７通りの加工装置１０の載置台３４上の受け渡し部６２の開口６３上に位置付ける。このとき、平面視において、収容部７２の開口７２１を加工装置１０の搬送ユニットに対向させる。加工動作では、加工システム１は、管理用データ１０７通りの加工装置１０の載置台３４上の受け渡し部６２の開口６３上に位置した無人搬送車７０の収容部７２を下降させて、加工装置１０の載置台３４上に載置する。

【0108】

加工動作では、加工システム１は、加工装置１０が収容部７２から加工前のワーク２００を取り出してワーク２００を切削加工し、切削加工後のワーク２００を洗浄した後、受け渡し部６２の開口６３の上方に位置付けられた無人搬送車７０の収容部７２内に加工後のワーク２００を収容する。加工動作では、加工システム１は、受け渡し部６２の開口６３の上方に位置付けられた無人搬送車７０の収容部７２を上昇させて、格納位置に位置づける。加工動作では、加工システム１は、収容部７２に加工後のワーク２００を収容した無人搬送車７０を走行路６０の搬送路６１の開口６５上に位置付ける。このとき、平面視において、収容部７２の開口７２１をワーク収容庫５０の受渡しユニットに対向させる。加工動作では、加工システム１は、開口６５上の無人搬送車７０の収容部７２を下降させて、受渡しユニットに収容部７２から加工後のワーク２００を取り出させて、ワーク収容庫５０内のカセットに収容させる。

【0109】

このとき、ワーク収容庫５０は、読み取りユニット５８により収容部７２から取り出したワーク２００を支持した環状フレーム２０５の識別コードを読み取り、どのワーク２００が加工後に返送されてきたかを示す通知信号を管理用制御装置１００に出力する。管理用制御装置１００は、管理用データ１０７を参照して、加工動作のうちどのワーク２００まで加工されたかを把握する。こうして、加工システム１は、ワーク収容庫５０のカセット内のワーク２００を管理用データ１０７通りの順番で加工する。加工システム１は、カセット内の全てのワーク２００が加工済みになると、管理用制御装置１００がワーク収容庫５０の表示ユニット５５に全てのワーク２００が加工済みであることを表示するとともに、報知ユニット５７を動作させてオペレータに報知する。

【0110】

また、加工動作において、加工システム１は、管理用制御装置１００が管理用データ１０７に基づいて複数の加工装置１０のうちいずれかがメンテナンスを行うタイミングであると判定すると、管理用制御装置１００の制御信号生成部１０３が、管理用データ１０７通りの無人搬送車７０を走行路６０の搬送路６１の開口６４上に位置付ける。このとき、平面視において、収容部７２の開口７２１をメンテナンス部品収容庫４０の受渡しユニット４３に対向させる。加工動作では、加工システム１は、管理用制御装置１００の制御信号生成部１０３が開口６４上の無人搬送車７０の収容部７２を下降させて、メンテナンス部品収容庫４０の受渡しユニット４３に保管室４２から管理用データ１０７通りの収容具４００を取り出させて、走行路６０の搬送路６１の開口６４上の無人搬送車７０の収容部７２内に収容させる。

【0111】

このとき、メンテナンス部品収容庫４０は、読み取りユニット４８により保管室４２から取り出した収容具４００の環状フレーム２０５の識別コード４０８を読み取り、その無人搬送車７０にどの収容具４００を受け渡したかを示す通知信号を管理用制御装置１００に出力する。管理用制御装置１００は、管理用データ１０７通りの収容具４００が無人搬送車７０に受け渡されたか否かを判定し、管理用データ１０７通りの収容具４００が無人搬送車７０に受け渡されていないと判定すると、加工動作を一旦停止して、報知ユニット４７を動作させるとともに表示ユニット４５にその旨を表示する。管理用制御装置１００は、管理用データ１０７通りの収容具４００が無人搬送車７０に受け渡されたと判定すると、加工動作を継続する。

【0112】

加工動作では、加工システム１は、管理用データ１０７通りの収容具４００を収容した無人搬送車７０の収容部７２を上昇させて、格納位置に位置づける。加工動作では、加工システム１は、収容部７２に収容具４００を収容した無人搬送車７０を管理用データ１０７通りの加工装置１０の載置台３４上の受け渡し部６２の開口６３上に位置付ける。このとき、平面視において、収容部７２の開口７２１を加工装置１０の搬送ユニットに対向させる。

【0113】

加工動作では、加工システム１は、管理用データ１０７通りの加工装置１０の載置台３４上の受け渡し部６２の開口６３上に位置した無人搬送車７０が収容部７２を下降させて、加工装置１０の載置台３４上に載置する。加工動作では、加工システム１は、無人搬送車７０の収容具４００を収容した収容部７２を加工装置１０の載置台３４上に載置するまでの間に、検出ユニット７８が収容部７２内の収容具４００を撮像し、撮像して得た画像を制御ユニット７５を介して管理用制御装置１００に出力する。

【0114】

加工動作では、加工システム１は、加工装置１０が収容部７２から収容具４００を取り出して、オペレータ等により管理用データ１０７通りのメンテナンスが施される。実施形態１において、加工システム１は、加工装置１０にメンテナンスが施される際には、加工装置１０の読み取りユニットで収容具４００の環状フレーム２０５の識別コード４０８を読み取って、識別コード４０８が含むＵＲＬに加工装置１０の制御ユニット３０が管理用制御装置１００を介して接続して、加工装置１０が表示ユニット３１にメンテナンス作業のマニュアルを表示しても良い。

【0115】

加工装置１０にメンテナンスが施された後、加工システム１は、加工装置１０の制御ユニット３０が管理用制御装置１００の通信部１０４にメンテナンスが終了したことを示す信号（通知信号）を送信する。すると、加工システム１は、管理用制御装置１００が収容具４００をメンテナンス部品収容庫４０に返送する制御信号を生成して、メンテナンスが終了したことを示す信号（通知信号）を送信した加工装置１０の制御ユニット３０に生成した制御信号を送信する。

【0116】

すると、加工システム１は、受け渡し部６２の開口６３の上方に位置付けられた無人搬送車７０の収容部７２に収容具４００を収容し、収容具４００を収容した収容部７２を上昇させて、格納位置に位置づける。加工動作では、加工システム１は、収容部７２に収容具４００を収容した無人搬送車７０を走行路６０の搬送路６１の開口６４上に位置付ける。このとき、平面視において、収容部７２の開口７２１をメンテナンス部品収容庫４０の受渡しユニットに対向させる。加工動作では、加工システム１は、開口６４上の無人搬送車７０の収容部７２を下降させて、メンテナンス部品収容庫４０の受渡しユニット４３に収容部７２から収容具４００を取り出させて、メンテナンス部品収容庫４０内の保管室４２に収容させる。

【0117】

こうして、実施形態１に係る加工システム１は、制御信号生成部１０３で生成された信号（制御信号）に基づいて無人搬送車７０がメンテナンスで使用する物品４０１を収容した収容具４００をメンテナンス部品収容庫４０から加工装置１０へと搬送する。また、実施形態１に係る加工システム１は、加工装置１０のメンテナンス終了後、管理用制御装置１００が、通信部１０４が受信した加工装置１０からの信号（通知信号）に基づいて制御信号生成部１０３で制御信号を生成して、無人搬送車７０にメンテナンスで使用する物品４０１を収容していた収容具４００を加工装置１０からメンテナンス部品収容庫４０へと返送させる。

【0118】

加工動作では、加工システム１は、メンテナンス部品収容庫４０の受渡しユニット４３が無人搬送車７０の収容部７２から収容具４００を取り出すまでの間に、検出ユニット７８が収容部７２内の収容具４００を撮像し、撮像して得た画像を制御ユニット７５を介して管理用制御装置１００に出力する。管理用制御装置１００は、メンテナンス前に保管室４２から取り出された収容具４００の画像と、返送されてきた収容具４００の画像とにパターンマッチングを施して、これらの収容具４００が同一であるか否かを判定する。実施形態１では、管理用制御装置１００は、画像が同一であると判定すると、同一の収容具４００に全ての物品４０１が収容されていると判定して加工動作を継続する。実施形態１では、管理用制御装置１００は、画像が同一ではないと判定すると、同一の収容具４００ではなく又は返送されてきた収容具４００のいずれかの開口４０７に物品４０１が収容されていないと判定して、加工動作を一旦停止して、報知ユニット４７を動作させてオペレータに報知するとともに表示ユニット４５にその旨を表示する。

【0119】

また、加工動作では、無人搬送車７０が第１センサ７３４及び第２センサ７３５で走行路６０の縦線及び横線を読み取って制御ユニット７５が無人搬送車７０の走行路６０上の位置を検出し、検出した位置を管理用制御装置１００に送信する。また、加工動作では、無人搬送車７０が衝突センサ７３６に障害物が衝突したことを検出すると、無人搬送車７０の走行を停止し、無人搬送車７０の制御ユニット７５が衝突センサ７３６に障害物が衝突した検出結果を管理用制御装置１００に送信する。また、加工動作では、無人搬送車７０の制御ユニット７５がモータ７１７，７４２の不具合を検出すると、検出結果を管理用制御装置１００に送信する。

【0120】

また、実施形態１では、加工システム１は、管理用データ１０７に基づいてメンテナンスのタイミングにメンテナンス部品収容庫４０の保管室４２から収容具４００を加工装置１０に搬送する。しかしながら、本発明では、加工システム１は、各加工装置１０からのメンテナンスを行う旨の通知信号を管理用制御装置１００が受信した後、メンテナンス部品収容庫４０の保管室４２から通知信号が示すメンテナンスに使用される物品４０１を収容した収容具４００を加工装置１０に搬送しても良い。

【0121】

以上説明した実施形態１に係る加工システム１は、メンテナンスで使用する物品４０１を収容した収容具４００を保管するメンテナンス部品収容庫４０の屋上と加工装置１０の屋上とに敷設された走行路６０と、管理用制御装置の制御信号生成部１０３からの信号に基づいてメンテナンスに使用する物品４０１を収容した収容具４００をメンテナンス部品収容庫４０から加工装置１０へと搬送する無人搬送車７０とを備える。このために、加工システム１は、メンテナンス時に、誤った物品４０１を加工装置１０に搬送してしまうことを抑制でき、適切でない物品４０１でメンテナンス作業を行うおそれを低減できる。

【0122】

その結果、実施形態１に係る加工システム１は、メンテナンス作業の誤りを抑制することができるという効果を奏する。

【0123】

また、実施形態１に係る加工システム１は、無人搬送車７０が収容具４００の物品４０１の収容状態を検出する検出ユニット７８を備えている。このため、加工システム１は、加工装置１０内にメンテナンスで使用した物品４０１を置き忘れてしまう等の誤りを抑制することができる。

【0124】

また、実施形態１に係る加工システム１は、無人搬送車７０がワーク２００又は収容具４００を収容部７２に収容して、加工装置１０との間で搬送する。このために、加工システム１は、収容具４００を搬送するために専用の無人搬送車７０を設ける必要が生じない。

【0125】

また、加工システム１は、無人搬送車７０が収容具４００のみを搬送しても良い。この場合、ワーク２００を収容する収容部７２に収容することが困難な物品４０１を収容した収容具４００も加工装置１０との間で搬送することができる。

【0126】

また、実施形態１に係る加工システム１のメンテナンス部品収容庫４０が収容具４００を保管する保管室４２と、保管室４２と無人搬送車７０の収容部７２との間で収容具４００を受け渡す受渡しユニット４３とを備えているので、メンテナンス時に、誤った物品４０１を加工装置１０に搬送してしまうことを抑制でき、適切でない物品４０１でメンテナンス作業を行うおそれを低減できる。

【0127】

その結果、実施形態１に係るメンテナンス部品収容庫４０は、メンテナンス作業の誤りを抑制することができるという効果を奏する。

【0128】

また、実施形態１に係る収容具４００は、物品４０１の外形に沿った開口４０７を仕切り板４０３に設けているので、誤った物品４０１を収容することを抑制できる。その結果、実施形態１に係る収容具４００は、メンテナンス作業の誤りを抑制することができるという効果を奏する。

【0129】

また、実施形態１に係る収容具４００は、環状フレーム２０５を備えているので、ワーク２００と同様に物品４０１を加工装置１０に搬送することができる。

【0130】

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、本発明は、メンテナンス部品収容庫４０が、ドレスボード３００や切削ブレード２１等の消耗品を収容具４００を使わずに収容する消耗品収容部を設け、保管室４２には空の収容具４００を収容しておき、専用の搬送ユニットが消耗品収容部から保管室４２の収容具４００に消耗品を載せて、無人搬送車７０へと渡すようにしてもよい。

【0131】

また、本発明では、無人搬送車７０が検出ユニット７８の代わりに例えば吊り下げ部材７３１を巻き取るリール７４７，７４８を回転するモータ７４２の電流値（トルク値）を測定する測定手段を設け、測定手段の測定結果に基づいて返送する収容具４００が物品４０１を収容しているか否かを判断（即ち、収容具４００を収容した収容部７２の重さが所定重さか否かで判断）しても良い。また、本発明では、無人搬送車７０が検出ユニット７８の代わりに収容具４００の開口４０７に接触式在荷センサを設けてもよい（接触式在荷センサが押下されたか否かで物品４０１を収容しているか否かを判断する）。

【符号の説明】

【0132】

１ 加工システム
１０ 加工装置
４０ メンテナンス部品収容庫
４２ 保管室
４３ 受渡しユニット
５０ ワーク収容庫
６０ 走行路
７０ 無人搬送車（ワーク用無人搬送車）
７１ 走行機構
７２ 収容部
７６ 受信機
７８ 検出ユニット
１０３ 制御信号生成部
１０４ 通信部（受信部）
１０６ 無線送信部（送信部）
２００ ワーク
４００，４００－１，４００－２ 収容具
４０１ 物品
４０３ 仕切り板（本体）
４０７ 開口（収容部）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】