特開 2024-127657 ウェハ保護テープ剥離装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024127657

(43)【公開日】2024-09-20

(54)【発明の名称】ウェハ保護テープ剥離装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20240912BHJP

   B65H 29/54 20060101ALI20240912BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

B65H29/54

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023036998

(22)【出願日】2023-03-09

(71)【出願人】

【識別番号】000151494

【氏名又は名称】株式会社東京精密

(74)【代理人】

【識別番号】100169960

【弁理士】

【氏名又は名称】清水 貴光

(72)【発明者】

【氏名】青木 仁

(72)【発明者】

【氏名】木▲崎▼ 清貴

(72)【発明者】

【氏名】白鳥 宰

(72)【発明者】

【氏名】森田 由希

(72)【発明者】

【氏名】住谷 亮輔

【テーマコード（参考）】

3F053

5F131

【Ｆターム（参考）】

3F053AA20

3F053LA16

3F053LB07

5F131AA02

5F131BA53

5F131CA09

5F131CA62

5F131DA13

5F131DA33

5F131DA42

5F131EA07

5F131EA22

5F131EC34

5F131EC72

5F131EC77

5F131KA72

5F131KB05

5F131KB12

5F131KB32

(57)【要約】

【課題】副資材を用いることなく保護テープをウェハから確実に剥離除去できるウェハ保護テープ剥離装置を提供する。
【解決手段】ウェハＷの表面を覆う保護テープＴを剥離するウェハ保護テープ剥離装置１０であって、保護テープＴの端を受け入れ可能な螺旋状溝（ネジ部２４Ｂ）が外周に形成された回転螺旋状部材２４を備え、ネジ部２４Ｂの山部２４ｂ１に保護テープＴの端を引っ掛けさせた状態で回転螺旋状部材２４を回転させて、保護テープＴの端をウェハＷから離れる方向に送って保護テープＴの一部分ＴａをウェハＷから剥がすテープ剥離手段２１を備える。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ウェハの表面を覆う保護テープを剥離するウェハ保護テープ剥離装置であって、
前記保護テープの端を受け入れ可能な螺旋状溝が外周に形成された回転螺旋状部材を備え、前記螺旋状溝の山部に前記保護テープの端を引っ掛けさせた状態で前記回転螺旋状部材を回転させて、前記保護テープの端を前記ウェハから離れる方向に送って前記保護テープの一部分を前記ウェハから剥がす剥離手段を備える、
ことを特徴とするウェハ保護テープ剥離装置。

【請求項2】

前記回転螺旋状部材の前記螺旋状溝の山部の径が、前記回転螺旋状部材の下部から上部に向かって徐々に大きくなる、ことを特徴とする請求項１に記載のウェハ保護テープ剥離装置。

【請求項3】

前記剥離手段は、
前記ウェハの外周エッジ部の位置と前記ウェハの厚みとを検出する検出センサと、
前記螺旋状溝の山部を、前記ウェハと前記保護テープの間の位置に配置する駆動手段と、
前記検出センサからの信号に基づいて前記駆動手段の駆動を制御する制御部と、
をさらに備える、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のウェハ保護テープ剥離装置。

【請求項4】

前記剥離手段は、
前記回転螺旋状部材により前記ウェハから剥がされた前記保護テープの前記一部分を吸着して前記ウェハの表面から持ち上げる保護テープ吸着剥離手段と、
前記保護テープ吸着剥離手段で前記ウェハの表面から持ち上げられた前記保護テープの前記一部分を挟持し、残りの前記保護テープ全体を剥離する保護テープクリップ手段と、をさらに備える、
ことを特徴とする請求項３に記載のウェハ保護テープ剥離装置。

【請求項5】

前記剥離手段は、前記保護テープクリップ手段で剥離された前記保護テープの表裏面を挟んで配置されて、前記保護テープを前記ウェハの表面から離れる方向に所定の速度で送る１対の回転ニップローラをさらに備える、
ことを特徴とする請求項４に記載のウェハ保護テープ剥離装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ウェハの表面に取り付けられた保護テープを剥離するウェハ保護テープ貼付装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

半導体製造分野では、シリコンウェハ等の半導体ウェハ（以下、「ウェハ」という）の表面に回路パターン形成処理を行った後、ウェハの裏面全体を均一に研削して薄型化するバックグランド処理が施される。そのバックグランド処理を行う前に、回路を保護すべくウェハの表面に保護用として粘着性の保護テープを貼り付けている。また、ウェハを薄型化した後は、ダイシング工程などの各処理を行うべく、保護テープを剥離する。

【0003】

ウェハから保護テープを剥離する従来の方法としては、裏面研削後に、保護テープの表面に剥離用の粘着テープ（剥離テープ）等の副資材を貼り付け、剥離テープと保護テープとを一体化して剥離する方法等が用いられている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１２－８９６４７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、特許文献１に記載の従来装置のように、剥離テープ等の副資材を使用した方法では、副資材を使用することにより、コストアップになる。また、消耗品の廃棄物が発生する問題点があった。さらに、ウェハ保護テープの種類によっては、ヒートシールでの熱接着が不完全であると、剥離の際に途中で外れて剥離できない現象が発生する問題点もあった。

【0006】

そこで、副資材を用いることなく保護テープをウェハから確実に剥離して除去できるウェハ保護テープ剥離装置を提供するために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明は上記目的を達成するために提案されたものであり、請求項１に記載の発明は、ウェハの表面を覆う保護テープを剥離するウェハ保護テープ剥離装置であって、前記保護テープの端を受け入れ可能な螺旋状溝が外周に形成された回転螺旋状部材を備え、前記螺旋状溝の山部に前記保護テープの端を引っ掛けさせた状態で前記回転螺旋状部材を回転させて、前記保護テープの端を前記ウェハから離れる方向に送って前記保護テープの一部分を前記ウェハから剥がす剥離手段を備える、ウェハ保護テープ剥離装置を提供する。

【0008】

この構成によれば、保護テープの端を、回転螺旋状部材の螺旋状溝の山部に引っ掛けさせた状態で、その端がウェハから離れる方向に送られるように回転螺旋状部材を回転させると、回転螺旋状部材の螺旋状溝の山部による送りに伴い、保護テープの一部分がウェハのエッジ側から徐々に持ち上げられて剥離する。そして、この剥離をきっかけとして、副資材を用いなくても残りの剥離作業もスムーズに進み、ウェハから保護テープを確実に剥離して除去できる。

【0009】

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の構成において、前記回転螺旋部材の前記螺旋状溝の山部の径が、下部から上部に進むにしたがい徐々に大きくなる、ウェハ保護テープ剥離装置を提供する。

【0010】

この構成によれば、保護テープがウェハから離れる方向にネジ送りされるのに伴い、螺旋状溝の山部の径が大きくなり、その山部が保護テープ側に徐々に突き出してくる。これにより、回転螺旋状部材の回転による螺旋状溝の山部の送りで、保護テープの一部分がウェハのエッジ側から持ち上げられて剥離されても、保護テープのエッジ部分が螺旋状溝の山部から外れることなく、所定の位置まで確実に捲り上げられて剥離される。

【0011】

請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の構成において、前記剥離手段は、前記ウェハの外周エッジ部の位置と前記ウェハの厚みとを検出する検出センサと、前記螺旋状溝の山部を、前記ウェハと前記保護テープの間の位置に配置する駆動手段と、前記検出センサからの信号に基づいて前記駆動手段の駆動を制御する制御部と、をさらに備える、ウェハ保護テープ剥離装置を提供する。

【0012】

この構成によれば、検出センサによりウェハの外周エッジ部の位置と前記ウェハの厚みとを検出し、その後、制御部が検出センサの信号に基づいて駆動手段を駆動して、螺旋状溝の山部がウェハと保護テープとの間の位置に対応するように、回転螺旋状部材を正確に移動させることができる。その後、駆動手段の駆動力で回転螺旋部材を回転させると、ウェハと保護テープとの間に螺旋状溝の山部が侵入されて、螺旋状溝の山部の間に保護テープの端を引っ掛けさせた状態で回転螺旋状部材が回転される。また、これに伴って保護テープの端がウェハのエッジ側から徐々に持ち上げられて剥離のきっかけが作られる。

【0013】

請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の構成において、前記剥離手段は、前記回転螺旋状部材により前記ウェハから剥がされた前記保護テープの前記一部分を吸着して前記ウェハの表面から持ち上げる保護テープ吸着剥離手段と、前記保護テープ吸着剥離手段で前記ウェハの表面から持ち上げられた前記保護テープの前記一部分を挟持し、残りの前記保護テープ全体を剥離する保護テープクリップ手段と、をさらに備える、ウェハ保護テープ剥離装置を提供する。

【0014】

この構成によれば、螺旋状溝の回転による山部の送りによってウェハのエッジ側から徐々に持ち上げられた保護テープの一部分、すなわち保護テープのエッジ周辺部分を、保護テープ吸着剥離手段が吸着保持してウェハの表面から持ち上げて剥離し、さらにその剥離された保護テープの一部分を保護テープクリップ手段で挟持して、残りの保護テープ全体をウェハから剥離して除去できる。

【0015】

請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の構成において、前記剥離手段は、前記保護テープクリップ手段で剥離された前記保護テープの表裏面を挟んで配置されて、前記保護テープを前記ウェハの表面に沿って所定の速度で剥離する１対の回転ニップローラをさらに備える、ウェハ保護テープ剥離装置を提供する。

【0016】

この構成によれば、保護テープの表裏面を１対の回転ニップローラで挟み、その保護テープをウェハの表面に沿って所定の速度で剥離しながら、確実に除去できる。

【発明の効果】

【0017】

本発明によれば、保護テープの端を回転螺旋状部材における前記螺旋状溝の山部に係合させて、その端がウェハから離れる方向に送られるように回転螺旋状部材を回転させると、螺旋状溝の山部による送りに伴い、保護テープの一部分がウェハのエッジ側から徐々に持ち上げられて剥離し、剥離のきっかけを作ることができる。そして、その剥離された部分をきっかけとして、残りの剥離作業も、副資材等を使用することなく、スムーズに、また確実に行うことができるので、コスト低減が可能になる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】本発明の実施の形態に係る一実施例として示すウェハ保護テープ剥離装置における要部構成の斜視図である。

【図2】同上ウェハ保護テープ剥離装置における要部構成の側面図である。

【図3】同上ウェハ保護テープ剥離装置における制御構成の一例を示すブロック図である。

【図4】同上ウェハ保護テープ剥離装置における回転螺旋状部材を説明する図であり、（ａ）は回転螺旋状部材におけるネジ部の形状を説明する斜視図、（ｂ）は回転螺旋状部材におけるネジ部の先端ネジ山がウェハと保護テープとの間に配置された状態を示す拡大図である。

【図5】同上ウェハ保護テープ剥離装置の動作例を示す図であり、（ａ）は検出センサによりウェハの外周エッジ部の位置とウェハの厚みを検出している状態を示す図、（ｂ）は検出センサが検出したウェハの外周エッジ部の位置を基準にして剥離テーブルを所定の位置に移動させた状態を示す図である。

【図6】同上ウェハ保護テープ剥離装置の動作例を示す図であり、（ａ）は回転螺旋状部材におけるネジ部のネジ山をウェハと保護テープとの間に配置させた状態を示す図、（ｂ）は（ａ）のＡ部拡大図、（ｃ）は保護テープのエッジ周辺部分上に保護テープ吸着剥離手段の吸盤を当接配置した状態を示している図である。

【図7】同上ウェハ保護テープ剥離装置の動作例を示す図であり、（ａ）は保護テープ吸着剥離手段が保護テープのエッジ周辺部分を吸着保持して剥離し，剥離のきっかけを作る状態を示す図で、（ｂ）は（ａ）のＢ部拡大図、（ｃ）は保護テープ吸着剥離手段が剥がした保護テープのエッジ周辺部分に保護テープクリップ手段を下降させた状態を示す図である。

【図8】同上ウェハ保護テープ剥離装置の動作例を示す図であり、（ａ）は保護テープ吸着剥離手段で剥離された保護テープのエッジ周辺部分の上下面を保護テープクリップ手段が挟持して剥離を開始した状態を示す図、（ｂ）は（ａ）のＣ部拡大図、（ｃ）は保護テープクリップ手段が保護テープのエッジ周辺部分を掴んで上昇し、保護テープの剥離を本格的に開始した状態を示している図である。

【図9】同上ウェハ保護テープ剥離装置の動作例を示す図であり、（ａ）は保護テープクリップ手段が保護テープのエッジ周辺部分を挟持し、かつ、１対のニップローラが表裏面側から保護テープを挟んで剥離を開始する状態を示す図、（ｂ）は保護テープの剥離途中の状態を示す図である。

【図10】同上ウェハ保護テープ剥離装置の動作例を示す図であり、ウェハ上における保護テープの剥離を終えた状態を示す図である。

【図11】同上ウェハ保護テープ剥離装置の変形例として、ウェハ側にノッチ部を設け、ノッチ部内に回転螺旋状部材におけるネジ部の先端部分を配置して剥離を開始する構造を示すもので、（ａ）は剥離開始前の状態を示す図、（ｂ）は回転螺旋状部材が回転されてネジ部による保護テープの剥離が開始された状態を示す図である。

【図12】回転螺旋状部材の変形例として、回転螺旋状部材のネジ径が上部と下部で同じに形成されている構造を示す図であり、（ａ）はウェハ側に設けたノッチ部内に回転螺旋状部材におけるネジ部の先端部分を配置して剥離を開始する前の状態を示す図、（ｂ）は回転螺旋状部材が回転されてネジ部による保護テープの剥離が開始された状態を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

本発明は、副資材を用いることなく保護テープをウェハから確実に剥離して除去できるウェハ保護テープ剥離装置を提供するという目的を達成するために、ウェハの表面に取り付けられた保護テープを剥離するウェハ保護テープ剥離装置であって、前記ウェハのエッジ部周辺を覆っている前記保護テープの一部分の端と係合するネジ溝を有し、前記ネジ溝に前記一部分の端を係合させて前記一部分を前記ウェハから離れる方向にネジ送りして前記ウェハから剥がす回転螺旋状部材を設けた剥離手段を備える、構成としたことにより実現した。

【実施例0020】

以下、本発明の実施形態に係る一実施例を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施例において、構成要素の数、数値、量、範囲等に言及する場合、特に明示した場合及び原理的に明らかに特定の数に限定される場合を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも構わない。

【0021】

また、構成要素等の形状、位置関係に言及するときは、特に明示した場合及び原理的に明らかにそうでないと考えられる場合等を除き、実質的にその形状等に近似又は類似するもの等を含む。

【0022】

また、図面は、特徴を分かり易くするために特徴的な部分を拡大する等して誇張する場合があり、構成要素の寸法比率等が実際と同じであるとは限らない。また、断面図では、構成要素の断面構造を分かり易くするために、一部の構成要素のハッチングを省略することがある。

【0023】

また、以下の説明において、上下や左右等の方向を示す表現は、絶対的なものではなく、本発明のウェハ保護テープ剥離装置の各部が描かれている姿勢である場合に適切であるが、その姿勢が変化した場合には姿勢の変化に応じて変更して解釈されるべきものである。また、実施例の説明の全体を通じて同じ要素には同じ符号を付している。

【0024】

図１から図３は本発明に係るウェハ保護テープ剥離装置１０の一実施例を示すものであり、図１はそのウェハ保護テープ剥離装置１０における要部構成を示す斜視図、図２はその側面図、図３はウェハ保護テープ剥離装置１０における制御構成の一例を示すブロック図である。また、図５から図１０は、ウェハ保護テープ剥離装置１０の動作状態を示している図である。なお、図１から図３を用いたウェハ保護テープ剥離装置１０の構成説明では、理解を容易にするのに、必要に応じて図５から図１０の動作状態図を引用して説明する。

【0025】

また、ウェハ保護テープ剥離装置１０の構成説明に入る前に、まず、保護テープＴの役割等について説明する。一般に、表面に回路パターン形成処理を行ったウェハＷは、回路を保護すべくウェハＷの表面に、保護用として粘着性の保護テープＴが貼り付けられる。そして、保護テープＴが貼り付けられた状態で、ウェハＷの裏面全体を均一に研削して薄型化するバックグランド処理が施される。また、バックグランド処理が施されたウェハＷは、ウェハフレーム１１上の所定の位置にウェハＷの裏面が貼り付けられて取り付けられる。

【0026】

ウェハフレーム１１は、内周部に円形状の開口部１１ａを有して略矩形の枠状に形成されている。また、ウェハフレーム１１には、開口部１１ａを塞いで粘着性樹脂テープなどで形成されたウェハシート１２が貼り付けられ、そのウェハシート１２上の所定の位置にウェハＷの裏面が貼り付けられる。これにより、保護テープＴが貼り付けられたウェハＷの表面側が、ウェハフレーム１１上で上を向く。こうしてウェハＷを貼り付けたウェハフレーム１１は、ウェハ保護テープ剥離装置１０の剥離テーブル１３上に配置され、その後、ウェハＷの表面を被っている保護テープＴの剥離が行われる。

【0027】

このようにして、ウェハ保護テープ剥離装置１０の剥離テーブル１３上に、ウェハフレーム１１と共に配置されたウェハＷの表面全体を被って貼り付けられている保護テープＴを、ウェハＷの表面から剥離するのが、本実施例におけるウェハ保護テープ剥離装置１０である。

【0028】

次に、ウェハ保護テープ剥離装置１０の構造を更に詳細に説明する。図１及び図２において、ウェハ保護テープ剥離装置１０は、上述した剥離テーブル１３を有している。剥離テーブル１３上には、ウェハＷが、保護テープＴが貼り付けられている表面を上に向けてウェハフレーム１１と共に取り外し可能に、例えば負圧吸着等でチャックされる。剥離テーブル１３は、チャックしたウェハフレーム１１及びウェハＷと共に前後方向（図２の矢印Ｍ方向）に水平往復移動可能に設けられている。

【0029】

また、剥離テーブル１３の上方には、アーム１０ａに取り付けられた検出センサ１４、テープ剥離ユニット１５、テープ吸着ユニット１６、テープクリップユニット１７、回転ニップローラ１８等が設けられている。これら剥離テーブル１３、テープ剥離ユニット１５、等は、図３に示される制御系の各手段によって駆動が制御される。

【0030】

図３に示される制御系では、ウェハ保護テープ剥離装置１０の全体を決められた手順で制御する制御部１９を有している。制御部１９は、例えばＣＰＵ、メモリ等により構成され、予め組み込まれたソフトウエアによる手順にしたがってウェハ保護テープ剥離装置１０全体の動作を制御する。制御部１９には、検出センサ１４、駆動手段２０、テープ吸着剥離手段２１、テープクリップ手段２２、ニップローラ駆動制御手段２３等が接続されている。これら制御部１９、検出センサ１４、駆動手段２０、テープ吸着剥離手段２１、テープクリップ手段２２、ニップローラ駆動制御手段２３、テープ吸着ユニット１６、テープクリップユニット１７、回転ニップローラ１８、剥離テーブル１３、テープ剥離ユニット１５、テープ吸着ユニット１６、テープクリップユニット１７、回転ニップローラ１８等で剥離手段３０が構成されている。

【0031】

検出センサ１４は、ウェハフレーム１１と共に剥離テーブル１３上に配置されているウェハＷの外周エッジ部の位置Ｐ１と、そのウェハＷの厚みＳ２を検出するセンサである。検出センサ１４で検出された信号は、制御部１９に送られる。

【0032】

テープ剥離ユニット１５は、回転螺旋状部材２４を有している。回転螺旋状部材２４は、図４に示すように、下方先端部分に螺旋状溝、すなわち螺旋状をした溝２４Ａを設けてなるネジ部２４Ｂを有している。ネジ部２４Ｂは、山部２４ｂ１の外径が回転螺旋状部材２４の下部から上部に進むにしたがって徐々に大きくなる、先細状をしたネジとして作られており、また最下端部分（最先端部分）２４Ｃは平面状に形成され、さらに螺旋状溝の山部２４ｂ１は鋭利な刃状を有する鍔として形成されている。

【0033】

テープ剥離ユニット１５は、駆動手段２０の制御により、回転螺旋状部材２４における最下端部分２４Ｃの山部２４ｂ１が、ウェハＷの外周エッジ部の位置Ｐ１と対応する位置まで回転螺旋状部材２４を下降させる。また、その下降させた位置Ｐ１で回転螺旋状部材２４を回転させ、山部２４ｂ１をウェハＷの外周エッジ部と保護テープＴの外周端との間に侵入させて、保護テープＴの外周端の一部分Ｔａを歯面２４ｂ２上に載せて捲り上げ、その一部分Ｔａの捲り上げで少なくとも保護テープＴをウェハＷの表面から剥がすきっかけを作るように制御する。

【0034】

テープ吸着ユニット１６は、後述する図７に示すように、先端部分（下端部分）に吸盤１６ａを有する。吸盤１６ａはテープ吸着剥離手段２１の動作により、ウェハＷ上の外周エッジ部分に隣接している保護テープＴの一部分Ｔａと当接して、保護テープＴの一部分Ｔａに対して吸着結合する位置と、一部分Ｔａと吸着結合された位置から少し上方に移動して、保護テープＴの一部分ＴａをウェハＷの表面から剥離可能な剥離位置と、保護テープＴの一部分Ｔａの剥離を終えて休止する初期位置とに移動可能になっている。なお、吸盤１６ａによる吸着結合は、負圧吸着等を使用する。

【0035】

テープクリップユニット１７は、後述する図８に示すように、先端部分（下端部分）に、クリップ１７Ａを有する。クリップ１７Ａは、開口部を保護テープＴの外周エッジ部の一部分Ｔａ側に向けて、上下方向に開閉する上下１対のクリップ爪１７Ａａを有する。上下１対のクリップ爪１７Ａａは、テープクリップ手段２２の動作により、テープ吸着ユニット１６の吸盤１６ａで剥がしたウェハＷ上の外周エッジ部に隣接する保護テープＴの一部分Ｔａを挟持拘束して上方に所定の位置まで移動し、ウェハＷ上の保護テープＴの剥離を行う。

【0036】

回転ニップローラ１８は、１対のローラ、すなわちローラ１８ａとローラ１８ｂで構成されている。ローラ１８ａとローラ１８ｂの中、一方のローラ１８ａは剥離される保護テープＴの裏面側に配置され、他方のローラ１８ｂは剥離される保護テープＴの表面側に配置される。ローラ１８ａとローラ１８ｂは、それぞれニップローラ駆動制御手段２３により駆動が制御され、ローラ１８ａは、ローラ１８ｂと大きく離れた図７及び図８に示す休止位置と、ローラ１８ａと当接した図９及び図１０に示すテープ送り位置と、に水平方向に往復移動可能である。また、ローラ１８ａとローラ１８ｂは、間に保護テープＴを挟んで、ニップローラ駆動制御手段２３の駆動により、保護テープＴを剥離方向（ウェハＷと離れる方向）に回転する。すなわち、図９の（ｂ）において、図中矢印で示すようにローラ１８ａは反時計回り方向に回転し、ローラ１８ｂは時計回り方向に送る回転をする。

【0037】

図５から図１０は、ウェハ保護テープ剥離装置１０の動作を示す図である。次に、図１から図３に示したウェハ保護テープ剥離装置１０の動作を、図５から図１０を加えて説明する。

【0038】

まず、表面に保護テープＴを貼り付けたウェハＷが、ウェハフレーム１１に取り付けられて、ウェハ保護テープ剥離装置１０の剥離テーブル１３上に配置され、さらにウェハＷがウェハフレーム１１と共に剥離テーブル１３上にチャックされる。すると、図５（ａ）に示すように、アーム１０ａが剥離テーブル１３の上方に移動する。次いで、検出センサ１４によりウェハＷの外周エッジ部の位置Ｐ１とウェハＷの厚みＳ２が検出され、それぞれのデータが制御部１９に送られる。

【0039】

制御部１９では、検出センサ１４からのデータに基づいて駆動手段２０を制御する。そして、ウェハＷの外周エッジ部の位置Ｐ１のデータを基に、図５（ｂ）に示すように、回転螺旋状部材２４の山部２４ｂ１が外周エッジ部の位置Ｐ１と対応する位置にアーム１０ａを移動させる。次いで、制御部１９は、ウェハＷの厚みＳ２のデータを基に、図６（ａ）及び（ｂ）に示すように、回転螺旋状部材２４のネジ部２４Ｂにおける最下端部分２４Ｃ、すなわち螺旋状溝の山部２４ｂ１がウェハＷのエッジの位置Ｐ１と対応する位置まで回転螺旋状部材２４を下降させる。

【0040】

続いて、駆動手段２０を介して回転螺旋状部材２４を一方向（本実施例では時計回り方向）に回転させる。回転螺旋状部材２４が回転されると、回転螺旋状部材２４におけるネジ部２４Ｂの山部２４ｂ１の径は下部から上部に進むにしたがって徐々に大きくなる形状にして作られているので、回転するとウェハＷと保護テープＴとの間に回転螺旋状部材２４の山部２４ｂ１が食い込んで行くとともに、歯面２４ｂ２の傾斜により保護テープＴの外周エッジの一部分Ｔａを山部２４ｂ１に引っ掛けさせた状態で、ウェハＷから離れる方向に送ってウェハＷから徐々に持ち上げ、剥離のきっかけとなる箇所を作成する。すなわち、保護テープＴの外周エッジ部の一部分ＴａがウェハＷの外周エッジ部から剥がされる。

【0041】

次いで、保護テープＴを剥がすきっかけとなる外周エッジ部における一部分Ｔａの剥がしが終わったら、制御部１９は、駆動手段２０を介して回転螺旋状部材２４を上昇させ、回転螺旋状部材２４をウェハＷ及び保護テープＴから離す。

【0042】

続いて制御部１９では、検出センサ１４からのデータに基づいてテープ吸着剥離手段２１を制御する。そして、テープ吸着剥離手段２１の駆動により、テープ吸着ユニット１６の吸盤１６ａを、保護テープＴの外周エッジ部における一部分Ｔａと対応する上方位置に配置し、次いで図７（ａ）に示すように、吸盤１６ａが保護テープＴの一部分Ｔａと当接吸着状態になるまでテープ吸着ユニット１６を降下させる。そして、吸盤１６ａが一部分Ｔａを吸引保持したら、図７（ｂ）に示すようにテープ吸着ユニット１６を僅かに上方に戻す。すると、回転螺旋状部材２４によりウェハＷ上から一度剥がされている保護テープＴの外周エッジ部の一部分Ｔａが、吸盤１６ａによりウェハＷの表面から簡単に剥がされて持ち上げられ、図７（ｂ）に示すようにウェハＷと保護テープＴの一部分Ｔａとの間に隙間２５が形成される。

【0043】

また、テープ吸着ユニット１６の上方への戻し動作と同時に、制御部１９がテープクリップ手段２２を制御する。そして、テープクリップ手段２２が、テープクリップユニット１７の上下１対のクリップ爪１７Ａａを開かせ、また開いたクリップ爪１７Ａａを保護テープＴの一部分Ｔａ側に向けた状態で、クリップ１７Ａを下降させる。そして、さらにクリップ爪１７Ａａを保護テープＴ側に移動させて、図８（ａ）及び（ｂ）に示すように、上下１対のクリップ爪１７Ａａの間に保護テープＴの一部分Ｔａを挟んで閉じる。これにより、保護テープＴの一部分Ｔａが上下１対のクリップ爪１７Ａａの間に挟まれる。

【0044】

上下１対のクリップ爪１７Ａａの間に保護テープＴの一部分Ｔａを挟んだら、吸盤１６ａによる保護テープＴにおける一部分Ｔａの吸着を解き、その後、図８の（ｃ）に示すようにテープ吸着ユニット１６が保護テープＴの一部分Ｔａから離れて上方に移動する。また、同時にテープクリップユニット１７のクリップ１７Ａが、保護テープＴの一部分Ｔａを挟んで拘束したまま上昇し、図８の（ｃ）に示すように、クリップ１７Ａとローラ１８ｂとの間で保護テープＴを斜めに引っ張った状態を形成する。

【0045】

続いて、図９（ａ）に示すように、ローラ１８ａが、保護テープＴを挟んでローラ１８ｂと当接する位置まで移動する。また、保護テープＴを挟んでローラ１８ａとローラ１８ｂとが当接したら、図９（ｂ）に示すように、ローラ１８ａを反時計回り方向に回転させると共に、ローラ１８ｂを時計回り方向に回転させながら、剥離テーブル１３及びアーム１０ａをそれぞれ相反する水平方向に移動させる。これにより、保護テープＴは、ローラ１８ａとローラ１８ｂに挟まれてガイドされながら、上方に送り出されると共にウェハＷの上面から徐々に剥がされて行く。

【0046】

また、保護テープＴが最後まで剥がされ、ローラ１８ａとローラ１８ｂとの間から全てが送り出されると、図１０に示すように、ウェハＷの上面から引き剥がされた保護テープＴは、上下１対のクリップ爪１７Ａａで１端側が掴まれたまま、クリップ１７Ａで吊された状態になる。その後、所定の廃棄位置まで運ばれ、廃棄位置でクリップ爪１７Ａａの拘束が解かれると、剥離済みの保護テープＴが所定の場所に、所定の状態で廃棄される。そして、保護テープＴが剥離されたウェハＷとウェハフレーム１１が剥離テーブル１３上から取り除かれると、全ての部材が初期位置に復帰する。また、新たな保護テープＴが貼り付けられてウェハシート１２に取り付けられたウェハＷが、ウェハフレーム１１と共に運ばれて来て剥離テーブル１３上にセットされる。これにより、また同じ動作が再び繰り返される。

【0047】

したがって、本実施例によるウェハ保護テープ剥離装置１０によれば、回転螺旋状部材２４の山部２４ｂ１をウェハＷと保護テープＴとの間に配置させた状態で、回転螺旋状部材２４を、保護テープＴの一部分ＴａがウェハＷから離れる方向に送られるように回転螺旋状部材２４を回転させると、回転螺旋状部材２４の回転によるネジ送りにより、保護テープＴの一部分ＴａがウェハＷの外周エッジ部の位置Ｐ１側から徐々に持ち上げられて剥離のきっかけが作られる。そして、一部分Ｔａの剥離をきっかけとして、残りの剥離作業を、副資材を用いることなくスムーズに行うことができるので、ウェハＷから保護テープを確実に剥離して除去できる。

【0048】

なお、上記実施例の構造では、保護テープＴにおける外周エッジ部の端である一部分Ｔａを、ウェハＷの外周エッジ部側から持ち上げて剥離のきっかけを作る初期段階において、回転螺旋状部材２４における最下端部分２４Ｃの山部２４ｂ１を外周エッジ部の位置Ｐ１と対応する位置まで下降させ、その下降させた位置で回転螺旋状部材２４を回転させて回転螺旋状部材２４における螺旋状溝の山部２４ｂ１を保護テープＴとウェハＷの上面との間に食い込ませて保護テープＴにおける外周エッジ部の端である一部分Ｔａを剥離させる場合について説明した。しかし、回転螺旋状部材２４における最下端部分２４Ｃの山部２４ｂ１を外周エッジ部の位置Ｐ１と対応する位置まで下降させた後に、その位置において回転螺旋状部材２４を回転させ、保護テープＴの端、すなわち保護テープＴの一部分Ｔａを螺旋状溝の山部２４ｂ１に引っ掛けるのではなく、例えば図１１に示すように、保護テープＴにおける外周エッジ部の下側に、回転螺旋状部材２４の最下端部分２４Ｃの侵入を許すノッチ２６を設け、ネジ部２４Ｂの途中に設けた山部２４ｂ１に保護テープＴの端を引っ掛けさせる構造にしてもよい。

【0049】

さらに詳述すると、図１１に示す保護テープＴが取り付けられたウェハＷは、保護テープＴの外周エッジ部の端である一部分ＴａをウェハＷにおける上面の外周エッジ部から外側に延出させた状態で保護テープＴを取り付け、保護テープＴにおける外周エッジ部の一部分Ｔａの裏面とウェハシート１２との間に、隙間となるノッチ２６を設けた構造としている。このように、保護テープＴの一部分Ｔａの裏面とウェハシート１２との間に隙間となるノッチ２６を設けた構造とした場合では、次のようにして保護テープＴの一部分Ｔａを剥がすことができる。すなわち、図１１では、回転螺旋状部材２４における最下端部分２４Ｃの山部２４ｂ１を、ウェハＷにおける外周エッジ部の位置Ｐ１と対応する位置に合わせずに、まず図１１（ａ）に示すようにエッジの位置Ｐ１よりも下側に、回転螺旋状部材２４における最下端部分２４Ｃの山部２４ｂ１を、保護テープＴの外周エッジ部の端、すなわち一部分Ｔａを超えるまで移動させる。そして、保護テープＴの外周エッジ部の一部分Ｔａが上下の歯面２４ｂ２との間に挟まれて、山部２４ｂ１に引っ掛けられた状態で位置するようにし、一部分Ｔａを上下の歯面２４ｂ２の間に引っ掛け係合させる。その状態で回転螺旋状部材２４を回転させると、図１１（ｂ）に示すように回転螺旋状部材２４の山部２４ｂ１による送りにより、保護テープＴにおける外周エッジ部の一部分ＴａをウェハＷの表面から離れる方向に順に持ち上げて、簡単に一部分ＴａをウェハＷの表面から剥がすことができる。

【0050】

また、この保護テープＴの外周エッジ部の一部分ＴａをウェハＷの上面から外側に延出させた状態で保護テープＴを取り付け、一部分Ｔａの裏面とウェハシート１２との間に隙間となるノッチ２６を設けた構造とした場合では、図１１に示すように回転螺旋状部材２４の山部２４ｂ１の径が下部から上部に進むにしたがい徐々に大きくなるように形成しなくても、例えば図１２に示すように山部２４ｂ１の径を下部から上部まで同じにした回転螺旋状部材２４を使用することができる。図１２に示す回転螺旋状部材２４は、図１１に示す回転螺旋状部材２４よりもコストを下げることが可能になる。また、ネジ部２４Ｂの山部２４ｂ１の径を下部から上部まで同じにした回転螺旋状部材２４を使用した場合でも、図１２（ａ）に示すようにエッジの位置Ｐ１よりも下側に、保護テープＴの外周エッジ部の端、すなわち一部分Ｔａを超えるまで移動させ、保護テープＴにおける外周エッジ部の一部分Ｔａが上下の歯面２４ｂ２との間に挟まれて山部２４ｂ１に引っ掛けられた状態となるようにし、一部分Ｔａを上下の歯面２４ｂ２との間に引っ掛け係合させる。そして、その状態で回転螺旋状部材２４を回転させると、図１２（ｂ）に示すように回転螺旋状部材２４の歯面２４ｂ２による送りで、保護テープＴにおける外周エッジ部の端である一部分ＴａをウェハＷの表面から順に持ち上げて、一部分Ｔａを簡単に剥がすことができる。

【0051】

なお、本発明は、本発明の精神を逸脱しない限り種々の改変を成すことができ、そして、本発明が該改変されたものに及ぶことは当然である。

【符号の説明】

【0052】

１０ ：ウェハ保護テープ剥離装置
１０ａ ：アーム
１１ ：ウェハフレーム
１１ａ ：開口部
１２ ：ウェハシート
１３ ：剥離テーブル
１４ ：検出センサ
１５ ：テープ剥離ユニット
１６ ：テープ吸着ユニット
１６ａ ：吸盤
１７ ：テープクリップユニット
１７Ａ ：クリップ
１７Ａａ：クリップ爪
１８ ：回転ニップローラ
１８ａ、１８ｂ：ローラ
１９ ：制御部
２０ ：駆動手段
２１ ：テープ吸着剥離手段
２２ ：テープクリップ手段
２３ ：ニップローラ駆動制御手段
２４ ：回転螺旋状部材
２４Ａ ：溝
２４Ｂ ：ネジ部（螺旋状溝）
２４Ｃ ：最下端部分
２４ｂ１：山部
２４ｂ２：歯面
２５ ：隙間
２６ ：ノッチ
Ｍ ：矢印
Ｓ２ ：厚み
Ｔ ：保護テープ
Ｔａ ：一部分
Ｗ ：ウェハ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】