特開 2024-129892 三次元座標測定装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024129892

(43)【公開日】2024-09-30

(54)【発明の名称】三次元座標測定装置

(51)【国際特許分類】

   G01B 5/00 20060101AFI20240920BHJP

【ＦＩ】

G01B5/00 L

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023039263

(22)【出願日】2023-03-14

(71)【出願人】

【識別番号】000151494

【氏名又は名称】株式会社東京精密

(74)【代理人】

【識別番号】100083116

【弁理士】

【氏名又は名称】松浦 憲三

(74)【代理人】

【識別番号】100170069

【弁理士】

【氏名又は名称】大原 一樹

(74)【代理人】

【識別番号】100128635

【弁理士】

【氏名又は名称】松村 潔

(74)【代理人】

【識別番号】100140992

【弁理士】

【氏名又は名称】松浦 憲政

(72)【発明者】

【氏名】高梨 陵

【テーマコード（参考）】

2F062

【Ｆターム（参考）】

2F062AA04

2F062CC02

2F062CC03

2F062FF05

2F062MM02

2F062MM09

(57)【要約】

【課題】キャリッジカバーの内部の熱の影響を抑止し、測定精度の向上を図ることができる三次元座標測定装置を提供する。
【解決手段】 三次元座標測定装置は、定盤１０と、定盤１０を跨いで定盤のＹ軸方向に移動自在な門型のＹキャリッジ１４とを備え、Ｙキャリッジ１４を構成する右Ｙキャリッジ１６には、エアパッド群６０とＹ駆動部８０とを覆う右Ｙキャリッジカバー１７が設けられる。第１Ｙキャリッジカバーは、Ｚ軸方向の最も高い位置を画定し、右Ｙキャリッジカバー１７の一部形状を構成するトラス形状１７ＴＲを有し、トラス形状１７ＴＲに近接した位置には排気口１７Ｈが設けられる。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

測定対象物を載置する定盤と、
前記定盤を跨いで前記定盤のＹ軸方向に移動自在な門型のＹキャリッジであって、二つの支柱部材により前記定盤に支持されるＹキャリッジと、
を備え、
前記二つの支柱部材のうち一方の第１支柱部材は、前記Ｙキャリッジの前記Ｙ軸方向への移動を可能にする第１エアパッドと第１駆動部とを有し、
前記第１支柱部材には、前記第１エアパッドと前記第１駆動部とを覆う第１Ｙキャリッジカバーが設けられ、
前記第１Ｙキャリッジカバーは、Ｚ軸方向の最も高い位置を画定し、前記第１Ｙキャリッジカバーの一部形状を構成する第１トラス形状を有し、前記第１トラス形状に近接した位置には第１排気口が設けられる、三次元座標測定装置。

【請求項2】

前記Ｙキャリッジに設けられ、前記二つの支柱部材の上端部に架け渡されてＸ軸方向に沿って延在するＸガイドと、
前記Ｘガイドに沿って前記Ｘ軸方向に移動自在なＸキャリッジと、
を備え、
前記Ｘキャリッジは、前記Ｘ軸方向への移動を可能にする第２エアパッドと第２駆動部とを有し、
前記二つの支柱部材の間には、前記第２エアパッドと前記第２駆動部と前記Ｘガイドとを覆うＸガイドカバーが設けられ、
前記Ｘガイドカバーは、前記Ｚ軸方向の最も高い位置を画定し、前記Ｘガイドカバーの一部形状を構成する第２トラス形状を有し、前記第２トラス形状に近接した位置には第２排気口が設けられる、請求項１に記載の三次元座標測定装置。

【請求項3】

前記Ｘキャリッジに設けられたＺキャリッジと、
前記Ｚキャリッジに沿ってＺ軸方向に移動可能であり、且つ、下端部に測定プローブを支持するＺガイドと、
を備え、
前記Ｚキャリッジは、前記Ｚガイドの前記Ｚ軸方向への移動を可能にする第３エアパッドと第３駆動部とを有し、
前記第３エアパッドと前記第３駆動部と覆うＺキャリッジカバーが設けられ、
前記Ｚキャリッジカバーは、前記Ｚ軸方向の最も高い位置を画定し、Ｚキャリッジカバーの一部形状を構成する第３トラス形状を有し、前記第３トラス形状に近接した位置に第３排気口が設けられる、請求項２に記載の三次元座標測定装置。

【請求項4】

前記第１トラス形状は、前記Ｙ軸方向から見た場合に前記定盤の中央側とは反対側に位置する、請求項１から３のいずれか一項に記載の三次元座標測定装置。

【請求項5】

前記第１Ｙキャリッジカバーの上面部は蛇腹カバーにより構成される、請求項１から３のいずれか一項に記載の三次元座標測定装置。

【請求項6】

前記二つの支柱部材のうち他方の第２支柱部材は、第４エアパッドを有し、
前記第２支柱部材には、前記第４エアパッドを覆う第２Ｙキャリッジカバーが設けられ、
前記第２Ｙキャリッジカバーは、前記Ｚ軸方向の最も高い位置を画定し、第２Ｙキャリッジカバーの一部形状を構成する第４トラス形状を有し、前記第４トラス形状に近接した位置に第４排気口が設けられる、請求項１から３のいずれか一項に記載の三次元座標測定装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は三次元座標測定装置に係り、特にＸ、Ｙ、Ｚ軸の３軸方向に測定プローブを移動させて測定対象物の三次元形状を測定する三次元座標測定装置に関する。

【背景技術】

【0002】

一般的な三次元座標測定装置では、測定対象物を載置する定盤の上部に前後方向（Ｙ軸方向）に移動自在の門型のＹキャリッジが配置される。Ｙキャリッジは、左右方向（Ｘ軸方向）に沿って架け渡された柱状のＸガイドを有し、ＸガイドにはＸキャリッジがＸ軸方向に移動自在に支持される。Ｘキャリッジには、上下方向（Ｚ軸方向）に沿った柱状のＺガイドがＺ軸方向に移動自在に支持され、Ｚガイドの下端には測定プローブが取り付けられる。

【0003】

特許文献１に記載の三次元座標測定装置は、Ｙキャリッジを構成する１つの支柱部材を複数のエアパッド（エアベアリング）を介して定盤に支持し、モータとローラとを備える駆動部によりＹキャリッジをＹ軸方向に移動させている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１７－１３４０２５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、エアパッドは数μｍという非常に小さな浮上量で浮上させて使用する。そのためわずかな埃やごみでも挟み込むと不具合に繋がってしまう。また、生産効率向上のため、精密測定機も環境の良い測定室から、ラインサイドでの測定を要求されるようになってきている。このような状況下、測定精度を維持するため、三次元座標測定装置では、エアパッド及び駆動部をカバーで覆っている。

【0006】

しかしながら、カバーで覆うことで、カバーの内部に熱が滞留してしまい、三次元座標測定装置の測定精度が悪化する懸念があった。

【0007】

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、カバーの内部の熱の影響を抑止し、測定精度の向上を図ることができる三次元座標測定装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

第１態様に係る三次元座標測定装置は、測定対象物を載置する定盤と、定盤を跨いで定盤のＹ軸方向に移動自在な門型のＹキャリッジであって、二つの支柱部材により定盤に支持されるＹキャリッジと、を備え、二つの支柱部材のうち一方の第１支柱部材は、ＹキャリッジのＹ軸方向への移動を可能にする第１エアパッドと第１駆動部とを有し、第１支柱部材には、第１エアパッドと第１駆動部とを覆う第１Ｙキャリッジカバーが設けられ、第１Ｙキャリッジカバーは、Ｚ軸方向の最も高い位置を画定し、第１Ｙキャリッジカバーの一部形状を構成する第１トラス形状を有し、第１トラス形状に近接した位置には第１排気口が設けられる。

【0009】

第２態様に係る三次元座標測定装置において、Ｙキャリッジに設けられ、二つの支柱部材の上端部に架け渡されてＸ軸方向に沿って延在するＸガイドと、Ｘガイドに沿ってＸ軸方向に移動自在なＸキャリッジと、を備え、Ｘキャリッジは、Ｘ軸方向への移動を可能にする第２エアパッドと第２駆動部とを有し、二つの支柱部材の間には、第２エアパッドと第２駆動部とＸガイドとを覆うＸガイドカバーが設けられ、Ｘガイドカバーは、Ｚ軸方向の最も高い位置を画定し、Ｘガイドカバーの一部形状を構成する第２トラス形状を有し、第２トラス形状に近接した位置には第２排気口が設けられる。

【0010】

第３態様に係る三次元座標測定装置において、Ｘキャリッジに設けられたＺキャリッジと、Ｚキャリッジに沿ってＺ軸方向に移動可能であり、且つ、下端部に測定プローブを支持するＺガイドと、を備え、Ｚキャリッジは、ＺガイドのＺ軸方向への移動を可能にする第３エアパッドと第３駆動部とを有し、第３エアパッドと第３駆動部と覆うＺキャリッジカバーが設けられ、Ｚキャリッジカバーは、Ｚ軸方向の最も高い位置を画定し、Ｚキャリッジカバーの一部形状を構成する第３トラス形状を有し、第３トラス形状に近接した位置に第３排気口が設けられる。

【0011】

第４態様に係る三次元座標測定装置において第１トラス形状は、Ｙ軸方向から見た場合に定盤の中央側とは反対側に位置する。

【0012】

第５態様に係る三次元座標測定装置において、第１Ｙキャリッジカバーの上面部は蛇腹カバーにより構成される。

【0013】

第６態様に係る三次元座標測定装置において、二つの支柱部材のうち他方の第２支柱部材は、第４エアパッドを有し、第２支柱部材には、第４エアパッドを覆う第２Ｙキャリッジカバーが設けられ、第２Ｙキャリッジカバーは、Ｚ軸方向の最も高い位置を画定し、第２Ｙキャリッジカバーの一部形状を構成する第４トラス形状を有し、第４トラス形状に近接した位置に第４排気口が設けられる。

【発明の効果】

【0014】

本発明によれば、カバーの内部の熱の影響を抑止し、測定精度の向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】第１実施形態の三次元座標測定装置の外観を示した斜視図である。

【図2】図１に示した三次元座標測定装置の正面図である。

【図3】定盤の右側部を拡大して示した正面図である。

【図4】定盤の右側部を拡大して示した右側面図である。

【図5】定盤の上面を示した上面図であり、Ｙキャリッジに設けられたエアパッド及び駆動部の定盤に対する配置を示した図である。

【図6】右Ｙキャリッジカバーの拡大図である。

【図7】カバーの内部の状態の示したＹキャリッジの斜視図である。

【図8】図１に示した三次元座標測定装置の左側面図である。

【図9】図１に示した三次元座標測定装置の背面から見た斜視図である。

【図10】第２実施形態の三次元座標測定装置の外観を示した斜視図である。

【図11】図１０の定盤の右側部を拡大して示した正面図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、添付図面に従って本発明に係る三次元座標測定装置の実施形態について説明する。

【0017】

＜第１実施形態＞
図１及び図２は、実施形態に係る三次元座標測定装置１の外観を示した斜視図及び正面図である。なお、以下の説明では、互いに直交するＸ、Ｙ、Ｚ軸の三次元直交座標系を用いて説明する。

【0018】

図１及び図２に示す三次元座標測定装置１は、設置面（床面）に架台１２を介して支持された定盤１０を有する。定盤１０は、一例として花崗岩（granite、御影石）又は大理石（marble、石灰岩、結晶質石灰岩）等の石材により平面視で矩形状に構成され、測定対象物を載置する平坦な上面１０Ｔを有する。上面１０Ｔは、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に平行に、すなわち、Ｚ軸方向に垂直に配置される。なお、定盤１０は、本発明の定盤の一例である。

【0019】

定盤１０の上面１０Ｔ側には、定盤１０を跨いで門型のＹキャリッジ１４が設置される。Ｙキャリッジ１４は、定盤１０を正面側から見たときの定盤１０の右側及び左側の各々にＺ軸方向（上下方向）に沿って延在して立設される右Ｙキャリッジ１６及び左Ｙキャリッジ１８と、右Ｙキャリッジ１６及び左Ｙキャリッジ１８の各々の上端部に架け渡されてＸ軸方向（左右方向）に沿って延在する柱状のＸガイド２０とを有する。Ｘガイド２０は、本発明のＸガイドの一例である。Ｙキャリッジ１４は、本発明のＹキャリッジの一例である。

【0020】

Ｘガイド２０には、Ｚコラム２３の内部に収容されるＸキャリッジ２２が設けられる（図７参照）。Ｘキャリッジ２２は、Ｘガイド２０をガイドとしてＸ軸方向に移動自在に配置される。Ｘキャリッジ２２は、本発明のＸキャリッジの一例である。

【0021】

Ｘキャリッジ２２には、Ｚキャリッジ２５が連結されている（図７参照）。Ｚキャリッジ２５には、Ｚ軸に沿って延在する柱状のＺガイド２４が設けられる。Ｚガイド２４は、Ｚキャリッジ２５をガイドとしてＺ軸方向に移動自在に配置される。Ｚガイド２４は、本発明のＺガイドの一例である。Ｚキャリッジ２５は、本発明のＺキャリッジの一例である。

【0022】

Ｚガイド２４は、Ｚコラム２３の内部に収容され、Ｚガイド２４の下端部側がＺコラム２３の下端部側から突出されている。

【0023】

Ｚガイド２４の下端部には、タッチプローブ等の測定プローブ２６が取り付けられる。測定プローブ２６は、例えば、先端球を有する棒状のスタイラス２８を有する。測定プローブ２６は、スタイラス２８の先端（先端球）の測定対象物への接触の有無やスタイラス２８の先端の測定対象物への接触により生じるスタイラス２８の変位量を検出する。

【0024】

以上の如く構成された三次元座標測定装置１は、Ｙキャリッジ１４のＹ軸方向への移動、Ｘキャリッジ２２のＸ軸方向への移動、及びＺガイド２４のＺ軸方向への移動によって測定プローブ２６のスタイラス２８をＸ、Ｙ、Ｚ軸方向に移動させ、定盤１０の上面１０Ｔに載置された測定対象物の表面に沿わせてスタイラス２８の先端（先端球）を移動させる。そして、そのときのＹキャリッジ１４のＹ軸方向の位置（移動量）、Ｘキャリッジ２２のＸ軸方向の位置（移動量）、Ｚガイド２４のＺ軸方向の位置（移動量）、及びスタイラス２８の位置（変位量）を計測することにより、測定対象物の表面の各位置の三次元座標を測定する。なお、三次元座標の測定に関する処理については周知であるので詳細な説明は省略する。

【0025】

＜右Ｙキャリッジカバー＞
次に、右Ｙキャリッジカバー１７の構造について説明する。

【0026】

図３及び図４は、定盤１０の右側部を拡大して示した正面図及び右側面図である。図５は、定盤１０の上面を示した上面図である。図６は、右Ｙキャリッジカバー１７の拡大図である。

【0027】

図３に示すように、定盤１０は、Ｙ軸方向（前後方向）に沿って設けられたＹガイド４２を備えており、右Ｙキャリッジ１６はＹガイド４２をガイドとしてＹ軸方向に移動自在に構成されている。

【0028】

定盤１０は、Ｚ軸方向に垂直な上面１０Ｔ及び下面１０Ｂと、Ｘ軸方向に垂直な右側面１０Ｒとを有している。定盤１０の上面１０Ｔには、右Ｙキャリッジ１６の側（右側面１０Ｒの側）にＹ軸方向に延びる凹状の溝４０が形成されている。Ｙガイド４２は、溝４０と右側面１０Ｒとの間に挟まれた部分であり、Ｙ軸方向に延びて形成されている。

【0029】

なお、定盤１０の右側面１０ＲがＹガイド４２の右側面４２Ｒとして構成され、溝４０の右側面４０ＲがＹガイド４２の左側面４２Ｌとして構成される。右側面４２Ｒ及び左側面４２Ｌは、定盤１０の上面１０Ｔに対して垂直に形成される。また、右側面４２Ｒと左側面４２Ｌとの間の定盤１０の上面１０ＴがＹガイド４２の上面４２Ｔとして構成される。

【0030】

図３及び図４に示すように、支持部５０は、基部５２、右側部５４、左側部５６及び先端部５８を有する。基部５２は、定盤１０の上面１０Ｔに対向し、Ｚ軸方向に直交する方向（水平方向）に沿って配置される。右側部５４は、基部５２の右端からＺ軸方向に沿って下方向に延設されてＹガイド４２の右側面４２Ｒに対向する側に配置される。左側部５６は、基部５２の左端からＺ軸方向に沿って下方向に延設されてＹガイド４２の左側面４２Ｌに対向する側に配置される。先端部５８は、右側部５４の下端部からＸ軸方向に延設されてＹガイド４２の下面４２Ｂに対向する側に配置される。すなわち、右側部５４と左側部５６とは、定盤１０の上面１０Ｔの側からＹガイド４２を左右から挟み込むように対向して配置される。

【0031】

支持部５０を構成する基部５２、右側部５４、左側部５６及び先端部５８の各々には、次に示すように、空気を噴出することで右Ｙキャリッジ１６をＹガイド４２に沿って移動（摺動）可能とする複数の円板状のエアパッド群６０が設けられる。

【0032】

具体的には、図３から図５に示すように、定盤１０の上面１０Ｔと対向する位置に、上面１０Ｔに沿って配置された２つのエアパッド６２Ｆ、６２Ｅが配置される。これらのエアパッド６２Ｆ、６２Ｅは、支持部５０の基部５２においてＹ軸方向に沿った２箇所（Ｙ軸方向に平行な直線上の２箇所）の位置に設けられる。また、エアパッド６２Ｆ、６２Ｅは、定盤１０の上面１０Ｔに対向して下向きに配置される。よって、基部５２は、エアパッド６２Ｆ、６２Ｅを介して定盤１０の上面１０Ｔに摺動自在に配置される。

【0033】

Ｙガイド４２の右側面４２Ｒ（定盤１０の右側面１０Ｒ）と対向する位置に、右側面４２Ｒに沿って配置された２つのエアパッド６４Ｆ、６４Ｅが配置される。これらのエアパッド６４Ｆ、６４Ｅは、支持部５０の右側部５４においてＹ軸方向に沿った２箇所（Ｙ軸方向に平行な直線上の２箇所）の位置に設けられる。また、エアパッド６４Ｆ、６４Ｅは、Ｙガイド４２の右側面４２Ｒに対向して左向きに配置される。よって、右側部５４は、エアパッド６４Ｆ、６４Ｅを介してＹガイド４２の右側面４２Ｒに摺動自在に配置される。

【0034】

Ｙガイド４２の左側面４２Ｌ（溝４０の右側面４０Ｒ）と対向する位置に、左側面４２Ｌに沿って配置された２つのエアパッド６６Ｆ、６６Ｅが配置される。これらのエアパッド６６Ｆ、６６Ｅは、支持部５０の左側部５６においてＹ軸方向に沿った２箇所（Ｙ軸方向に平行な直線上の２箇所）の位置に設けられる。また、エアパッド６６Ｆ、６６Ｅは、Ｙガイド４２の左側面４２Ｌに対向して右向きに配置される。よって、左側部５６は、エアパッド６６Ｆ、６６Ｅを介してＹガイド４２の左側面４２Ｌに摺動自在に配置される。

【0035】

Ｙガイド４２の下面４２Ｂ（定盤１０の下面１０Ｂ）と対向する位置に、下面４２Ｂに沿って配置された２つのエアパッド６８Ｆ、６８Ｅが配置される。これらのエアパッド６８Ｆ、６８Ｅは、支持部５０の先端部５８においてＹ軸方向に沿った２箇所（Ｙ軸方向に平行な直線上の２箇所）の位置に設けられる。また、エアパッド６８Ｆ、６８Ｅは、Ｙガイド４２の下面４２Ｂに対向して上向きに配置される。よって、先端部５８は、エアパッド６８Ｆ、６８Ｅを介してＹガイド４２の下面４２Ｂに摺動自在に配置される。

【0036】

エアパッド６２Ｆ、６２Ｅ、６４Ｆ、６４Ｅ、６６Ｆ、６６Ｅ、６８Ｆ及び６８Ｅは、本発明の第１エアパッドの一例である。なお、以下では、エアパッド６２Ｆ、６２Ｅ、６４Ｆ、６４Ｅ、６６Ｆ、６６Ｅ、６８Ｆ及び６８Ｅを区別する必要がない場合、エアパッド群６０と称することがある。

【0037】

図３から図５に示すように、支持部５０の右側部５４には、Ｙ駆動部８０が設けられる。Ｙ駆動部８０は、モータ８２と、回転自在のローラ８４と、それらを動力伝達可能に連結する減速機構とが支持部材に組み付けられて一体的に構成される。モータ８２を駆動すると減速機構を介してローラ８４が回転する。Ｙ駆動部８０は、本発明の第１駆動部の一例である。

【0038】

Ｙ駆動部８０は、図５に示すように、ローラ８４の回転軸がＺ軸方向と平行に配置される。ローラ８４は、２つのエアパッド６４Ｆ、６４Ｅの間の略中間位置に配置され、ローラ８４の外周面がＹガイド４２の右側面４２Ｒ（定盤１０の右側面１０Ｒ）に当接される。

【0039】

かかる構成により、エアパッド群６０から空気を噴出し、Ｙ駆動部８０のモータ８２を駆動してローラ８４を回転させることで、右Ｙキャリッジ１６を駆動側とし、左Ｙキャリッジ１８を従動側として、Ｙキャリッジ１４をＹ軸方向に移動させることができる。右Ｙキャリッジ１６は本発明の第１支柱部材の一例である。

【0040】

図１から図５に示すように、右Ｙキャリッジ１６のＺ軸方向の下方には、右Ｙキャリッジ１６のＹ駆動部８０を覆う右Ｙキャリッジカバー１７が配置されている。右Ｙキャリッジカバー１７は、エアパッド群６０に埃やごみが入り込むのを抑制するために設けられている。

【0041】

右Ｙキャリッジカバー１７は、Ｙ駆動部８０のモータ８２の熱で暖められた空気が右Ｙキャリッジカバー１７の内部に滞留しないようにするために、右Ｙキャリッジカバー１７の上面部にトラス形状１７ＴＲを有すると共に、トラス形状１７ＴＲに近接して熱を排気するための排気口１７Ｈを有している。以下、右Ｙキャリッジカバー１７の構造について詳しく説明する。

【0042】

図３、図４及び図６に示すように、右Ｙキャリッジカバー１７は、右Ｙキャリッジ１６のＺ軸方向の下側に配置され、エアパッド群６０とＹ駆動部８０とを覆っている。右Ｙキャリッジカバー１７は、本発明の第１Ｙキャリッジカバーの一例である。

【0043】

図６の拡大図に示すように、右Ｙキャリッジカバー１７は、右側面１７Ｒと、左側面１７Ｌと、前面１７Ｆと、後面１７Ｅ、上面１７Ｔと、下面１７Ｂとを備えている。右Ｙキャリッジカバー１７は、例えば、剛性の有る部材で構成される。

【0044】

右側面１７Ｒと左側面１７Ｌとは対向配置され、前面１７Ｆと後面１７Ｅとは対向配置され、上面１７Ｔと下面１７Ｂとは対向配置されている。左側面１７Ｌは定盤１０の中央側に配置され、右側面１７Ｒは定盤１０の中央側とは反対側（外側）に向けて配置されている。上面１７Ｔには右Ｙキャリッジ１６の下端部が接続される。上面１７Ｔ、右側面１７Ｒ及び左側面１７ＬのＹ軸方向の長さは、右Ｙキャリッジ１６のＹ軸方向の長さより長く、定盤１０の右側面１０Ｒより短い。左側面１７Ｌの一部は、定盤１０の溝４０の内部に入り込んでいる（図３参照）。上面１７Ｔは、右側面１７Ｒ、左側面１７Ｌ、前面１７Ｆ及び後面１７Ｅの上端とそれぞれ連接される。

【0045】

図３に示すように、右側面１７Ｒの上端が、左側面１７Ｌの上端よりＺ軸方向において上側に位置している。右側面１７Ｒの上端及び左側面１７Ｌの上端に連接される上面１７Ｔは、その法線がＺ軸方向に対して定盤１０の中央側に傾いた平坦面で構成される。すなわち上面１７Ｔは、Ｙ軸方向から見て、その右端が左端より高い位置にある傾斜面で構成される。

【0046】

右Ｙキャリッジカバー１７には、Ｙ軸方向から見て、上面１７Ｔと右側面１７Ｒとの接続部分にトラス形状１７ＴＲが形成される。このトラス形状１７ＴＲはＹ軸方向に沿って延びている。トラス形状１７ＴＲは、右Ｙキャリッジカバー１７に含まれる面で構成され、且つ右Ｙキャリッジカバー１７の中で、Ｚ軸方向で最も高い位置で上面１７Ｔの一部を構成し、Ｚ軸方向の上側に向かう三角（角部を有する）形状を画定する。トラス形状１７ＴＲは、本発明の第１トラス形状の一例である。ここで、本例におけるトラス形状とは、２つの面のなす角度が鋭角（９０度未満）である形状で、カバーにおいて、その接続部分となる角部が最も高い位置にある形状である。なお、トラス形状は、Ｚ軸方向において最も高い位置を画定することができれば、２つの面のなす角度は鋭角に限定されず、例えば山型形状のように、２つの面のなす角度が９０度であってもよいし、鈍角（１８０度未満）であってもよい。

【0047】

また、図６に示すように、右Ｙキャリッジカバー１７には、右側面１７Ｒの上端側で、トラス形状１７ＴＲの近くに複数の排気口１７Ｈが配置されている。これらの複数の排気口１７Ｈは、所定の間隔をあけて、Ｙ軸方向に沿って配置されている。排気口１７Ｈは、本発明の第１排気口の一例である。

【0048】

次に、実施形態の右Ｙキャリッジカバー１７の作用を説明する。図３に示すように、右Ｙキャリッジカバー１７にトラス形状１７ＴＲを配置することで、右Ｙキャリッジカバー１７の内部の空気（エアパッド群６０から噴出される空気）であって、Ｙ駆動部８０により熱せられた空気Ａｒ１を、太矢印に示すように、右側面１７Ｒと上面１７Ｔとの接続部分に設けられるトラス形状１７ＴＲに効率的に導くことができる。

【0049】

さらに、トラス形状１７ＴＲに移動した暖められた空気Ａｒ１は、図３及び図６に示すように、トラス形状１７ＴＲの近くに配置される排気口１７Ｈから排出される。特に、右Ｙキャリッジカバー１７の内圧は、エアパッド群６０から噴出される空気により、右Ｙキャリッジカバー１７の外部圧力に比べて高い。したがって、空気Ａｒ１が右Ｙキャリッジカバー１７の内部から複数の排気口１７Ｈを介して外部に排出される。すなわち、トラス形状１７ＴＲと排気口１７Ｈとにより右Ｙキャリッジカバー１７の内部の熱を効率的に外部に排出できる。

【0050】

図３に示すように、トラス形状１７ＴＲは、Ｙ軸方向から見て、定盤１０の中央側とは反対側に位置すること、すなわち上面１７Ｔと右側面１７Ｒとで構成されることが好ましい。暖められた空気Ａｒ１が定盤１０の中央側となる測定領域から遠ざけられるので、精度の高い測定が可能となる。

【0051】

また、複数の排気口１７Ｈは右側面１７Ｒに配置され、暖められた空気Ａｒ１は定盤１０の中央側とは反対側に排出されることが好ましい。これにより、暖められた空気Ａｒ１が測定領域に排出されないので、精度の高い測定が可能となる。

【0052】

排気口１７Ｈとして楕円トラック形状を例示したが、この形状、大きさに限定されない。また、排気口１７Ｈの数も特に限定されない。なお、排気口１７Ｈを形成する位置は、右Ｙキャリッジカバー１７の内部への埃の侵入を抑制するため、上面１７Ｔではなく右側面１７Ｒに形成することが好ましい。

【0053】

なお、トラス形状１７ＴＲは、必ずしも上面１７Ｔの右端の側に位置しなくてもよい。例えば、上面１７Ｔが平坦面ではなく、２つの傾斜面で構成され、２つの傾斜面が上面１７Ｔの略中央部（前面１７Ｆ及び後面１７Ｅの上端中央部）で接続するトラス形状（いわゆる山型形状）であってもよい。

【0054】

＜Ｘガイドカバー＞
次に、Ｘガイドカバー３０の構造について説明する。

【0055】

図７は、Ｘガイドカバー３０とＺコラム２３の内部の状態を示している。図８は、三次元座標測定装置１の左側面図である。図９は、三次元座標測定装置１の背面から見た斜視図である。

【0056】

図７及び図８に示すように、Ｘガイド２０は、４つの面を有する四角柱状に構成されている。Ｘキャリッジ２２は、四角柱状のＸガイド２０を挿通するＸガイド挿通孔２２Ａを画定するため４つ面を有している。Ｘキャリッジ２２の４つの面とＸガイド２０の４つの面は、それぞれ対向する。Ｘキャリッジ２２とＸガイド２０の各面の間には、それぞれエアパッド３７が配置される。エアパッド３７が空気を噴出することでＸキャリッジ２２をＸガイド２０に沿って移動（摺動）可能となる。エアパッド３７は、本発明の第２エアパッドの一例である。

【0057】

Ｘキャリッジ２２は、Ｘガイド２０と対向する後面の側に、Ｘ駆動部３１を備える。Ｘ駆動部３１はモータ３２とローラ３３とを備えている。Ｘ駆動部３１は、ローラ３３の回転軸がＺ軸方向と平行となるようにＸキャリッジ２２の後面に設置され、且つ、ローラ３３の外周面がＸガイド２０に当接するように設置される。Ｘ駆動部３１は、本発明の第２駆動部の一例である。

【0058】

図１、図７～図９に示すように、Ｘガイドカバー３０が、Ｘガイド２０と、エアパッド３７及びＸ駆動部３１を含むＸキャリッジ２２を覆っている。Ｘガイドカバー３０は、本発明のＸガイドカバーの一例である。

【0059】

Ｘ駆動部３１のモータ３２を駆動してローラ３３を回転させることで、Ｘガイド２０に沿ってＸガイドカバー３０の内部をＸキャリッジ２２が移動する。Ｘキャリッジ２２はＺコラム２３の内部に収容されており、Ｘキャリッジ２２の移動によってＺコラム２３がＸキャリッジ２２と一体となってＸ軸方向に移動する。

【0060】

Ｘガイドカバー３０は、Ｘ駆動部３１のモータ３２の熱で暖められた空気がＸガイドカバー３０の内部に滞留しないようにするために、Ｘガイドカバー３０の上面部にトラス形状３０ＴＲを有すると共に、トラス形状３０ＴＲに近接して熱を排気するための排気口３０Ｈを有している。以下、具体的なＸガイドカバー３０の構造を説明する。

【0061】

図１、図７～図９に示すように、Ｘガイドカバー３０は、前面３０Ｆと後面３０Ｅとを備え、前面３０Ｆと後面３０Ｅとは、右Ｙキャリッジ１６と左Ｙキャリッジ１８との間に配置されるＸガイド２０及びＸキャリッジ２２を覆っている。前面３０Ｆと後面３０ＥとがＸ軸方向に平行で、Ｚ軸方向の上側で接し、前面３０Ｆと後面３０ＥがＸガイドカバー３０の上方側の全体を覆う上面３０Ｔを構成する。

【0062】

これらの図に示すように、前面３０Ｆは後端が前端より高い傾斜面で構成され、後面３０Ｅは前端が後端より高い傾斜面で構成されている。Ｘガイドカバー３０には、Ｘ軸方向から見て、前面３０Ｆの後端と後面３０Ｅの前端との接続部分にトラス形状３０ＴＲが形成される。このトラス形状３０ＴＲはＸ軸方向に沿って延びている。トラス形状３０ＴＲは、Ｘガイドカバー３０に含まれる面（前面３０Ｆと後面３０Ｅ）で構成され、且つＸガイドカバー３０の中で、Ｚ軸方向で最も高い位置で上面３０Ｔの一部を構成し、Ｚ軸方向の先端に向かって三角（角部を有する）形状を画定する。トラス形状３０ＴＲは、本発明の第２トラス形状の一例である。

【0063】

また、図９に示すように、Ｘガイドカバー３０の後面３０Ｅの上端側で、トラス形状３０ＴＲの近くに複数の排気口３０Ｈが配置されている。これらの複数の排気口３０Ｈは、所定の間隔をあけて、Ｘ軸方向に沿って配置されている。排気口３０Ｈは、本発明の第２排気口の一例である。

【0064】

以上のように構成されるＸガイドカバー３０によれば、図８及び図９に示すように、Ｘガイドカバー３０にトラス形状３０ＴＲを配置することで、Ｘガイドカバー３０の内部の空気（エアパッド３７から噴出される空気）であって、Ｘ駆動部３１により熱せられた空気Ａｒ２を、太矢印に示すようにトラス形状３０ＴＲに効率的に導くことができる。

【0065】

さらに、図８に示すように、暖められた空気Ａｒ２はトラス形状３０ＴＲに移動し、排気口３０Ｈ（図９参照）から排出される。特に、Ｘガイドカバー３０の内圧は、エアパッド３７から噴出される空気により、Ｘガイドカバー３０の外部圧力に比べて高い。したがって、空気Ａｒ２がＸガイドカバー３０の内部から複数の排気口３０Ｈを介して外部に排出される。すなわち、Ｘガイドカバー３０の内部の熱を効率的に外部に排出できる。

【0066】

なお、前面３０ＦにＺコラム２３を挟んでＸ軸方向に並んで配置される蛇腹カバーを備えていてもよい。この場合、前面３０Ｆの蛇腹カバーは、Ｚコラム２３のＸ軸方向の移動に追従して伸縮する。

【0067】

＜Ｚコラム＞
次に、Ｚコラム２３の構造について説明する。

【0068】

図７及び図８に示すＸキャリッジ２２には、Ｚキャリッジ２５が連結されている。Ｚキャリッジ２５は、図７の拡大図に示すように、四角柱状のＺガイド２４を挿通するためＺガイド挿通孔２５Ａを画定する４つ面を有している。Ｚガイド２４の４つの面に対向するＺキャリッジ２５の４つ面には、それぞれエアパッド３８が配置される。エアパッド３８が空気を噴出することで、Ｚガイド２４がＺキャリッジ２５に沿って移動（摺動）可能となる。エアパッド３８は、本発明の第３エアパッドの一例である。

【0069】

Ｚキャリッジ２５は、Ｚガイド２４と対向する前面の側に、Ｚ駆動部３４を備える。Ｚ駆動部３４はモータ３５とローラ３６とを備えている。Ｚ駆動部３４は、ローラ３６の回転軸がＸ軸方向と平行となるようにＺキャリッジ２５に設置され、且つ、ローラ３６の外周面がＺガイド２４に当接するように設置される。Ｚ駆動部３４は、本発明の第３駆動部の一例である。

【0070】

図１、図７～図９に示すように、Ｚコラム２３は、エアパッド３８及びＺ駆動部３４を備えるＺキャリッジ２５と、Ｚガイド２４とを内部に収容する。そして、Ｚガイド２４の下端部側がＺコラム２３の下端部側から突出されている。Ｚコラム２３は、本発明のＺキャリッジカバーの一例である。

【0071】

Ｚ駆動部３４のモータ３５を駆動してローラ３６を回転させることで、Ｚガイド２４がＺキャリッジ２５に沿ってＺコラム２３の内部を、Ｚ軸方向を上下方向として移動する。

【0072】

Ｚコラム２３は、Ｚ駆動部３４のモータ３５の熱で暖められた空気がＺコラム２３の内部に滞留しないようにするために、実施形態のＺコラム２３の上面部にトラス形状２３ＴＲを有すると共に、トラス形状２３ＴＲに近接して熱を排気するための排気口を有している。以下、具体的なＺコラム２３の構造を説明する。

【0073】

図１、図７～図９に示すように、Ｚコラム２３は、右側面２３Ｒと、左側面２３Ｌと、前面２３Ｆと、後面２３Ｅと、上面２３Ｔと、を備えている。Ｚコラム２３は、例えば、剛性のある部材で構成される。上面２３Ｔは、右側面２３Ｒ、左側面２３Ｌ、前面２３Ｆ及び後面２３Ｅの上端とそれぞれ連接される。

【0074】

これらの図に示されるように、後面２３Ｅの上端が、前面２３Ｆの上端よりＺ軸方向において上側に位置している。後面２３Ｅの上端及び前面２３Ｆの上端に連接される上面２３Ｔは、その法線がＺ軸方向に対して前側に傾いた平坦面で構成される。すなわち上面２３Ｔは、Ｘ軸方向から見て、その後端が前端より高い位置にある傾斜面で構成される。

【0075】

Ｚコラム２３には、Ｘ軸方向から見て、上面２３Ｔと後面２３Ｅとの接続部分にトラス形状２３ＴＲが形成される。このトラス形状２３ＴＲはＸ軸方向に沿って延びている。トラス形状２３ＴＲは、Ｚコラム２３に含まれる面で構成され、且つ右Ｙキャリッジカバー１７の中で、Ｚ軸方向で最も高い位置で上面２３Ｔの一部を構成し、Ｚ軸方向の先端に向かう三角（角部を有する）形状を画定する。トラス形状２３ＴＲは、本発明の第３トラス形状の一例である。

【0076】

また、図９に示すように、Ｚコラム２３の後面２３Ｅの上端側で、トラス形状２３ＴＲの近くに複数の排気口２３Ｈが配置されている。これらの複数の排気口２３Ｈは、所定の間隔をあけて、Ｘ軸方向に沿って配置されている。排気口２３Ｈは、本発明の第３排気口の一例である。

【0077】

以上のように構成されるＺコラム２３によれば、図８及び図９に示すように、Ｚコラム２３にトラス形状２３ＴＲを配置することで、Ｚコラム２３の内部の空気（エアパッド３８から噴出される空気）であって、Ｚ駆動部３４により熱せられた空気Ａｒ３を、太矢印に示すようにトラス形状２３ＴＲに効率的に導くことができる。

【0078】

さらに、図８に示すように、暖められた空気Ａｒ３はトラス形状２３ＴＲに移動し、排気口２３Ｈから排出される。特に、Ｚコラム２３の内圧は、エアパッド３８から噴出される空気により、Ｚコラム２３の外部圧力に比べて高い。したがって、空気Ａｒ３がＺコラム２３の内部から複数の排気口２３Ｈを介して外部に排出される。すなわち、Ｚコラム２３の内部の熱を効率的に外部に排出できる。

【0079】

なお、トラス形状２３ＴＲの位置は、上面２３Ｔの一部を構成する限り、特に限定されない。例えば、トラス形状２３ＴＲは上面２３Ｔと前面２３Ｆで構成されてもよい。

【0080】

＜左Ｙキャリッジカバー＞
次に、左Ｙキャリッジカバー１９の構造について説明する。

【0081】

図７に示すように、左Ｙキャリッジ１８の下端で定盤１０の上面１０Ｔにエアパッド７０が配置されている。図１及び図９に示すように、左Ｙキャリッジ１８の下端には、左Ｙキャリッジカバー１９が設けられている。左Ｙキャリッジカバー１９は、エアパッド７０等に埃が入り込むのを防止するために、エアパッド７０を覆うように配置されている。左Ｙキャリッジ１８は、本発明の第２支柱部材の一例である。左Ｙキャリッジカバー１９は、本発明の第２Ｙキャリッジカバーの一例である。エアパッド７０は、本発明の第４エアパッドの一例である。

【0082】

左Ｙキャリッジカバー１９は、右側面１９Ｒと、左側面１９Ｌと、前面１９Ｆと、後面１９Ｅ、上面１９Ｔとを備えている。上面１９Ｔは、右側面１９Ｒ、左側面１９Ｌ、前面１９Ｆ及び後面１９Ｅの上端とそれぞれ連接される。

【0083】

左側面１９Ｌの上端が、右側面１９Ｒの上端よりＺ軸方向において上側に位置している。左側面１９Ｌ及び右側面１９Ｒに連接する上面１９Ｔの法線がＺ軸方向及びＸ軸方向に対して定盤１０の中央側に傾いた平坦面で構成される。

【0084】

左Ｙキャリッジカバー１９には、Ｙ軸方向から見て、上面１９Ｔと左側面１９Ｌとによりトラス形状１９ＴＲが形成される。このトラス形状１９ＴＲはＹ軸方向に沿って延びている。トラス形状１９ＴＲは、左Ｙキャリッジカバー１９に含まれる面で構成され、且つ左Ｙキャリッジカバー１９の中で、Ｚ軸方向で最も高い位置で上面１９Ｔの一部を構成し、Ｚ軸方向の先端に向かう三角（角部を有する）形状を画定する。トラス形状１９ＴＲは、本発明の第４トラス形状の一例である。

【0085】

また、左側面１９Ｌの上端でトラス形状１９ＴＲの近くに複数の排気口１９Ｈが配置されている。これらの複数の排気口１９Ｈは、所定の間隔をあけて、Ｙ軸方向に沿って配置されている。排気口１９Ｈは、本発明の第４排気口の一例である。

【0086】

以上のように構成される左Ｙキャリッジカバー１９によれば、図９に示すように、エアパッド７０から噴出される空気はトラス形状１９ＴＲに移動する。左Ｙキャリッジカバー１９の内圧は、エアパッド７０から噴出される空気により、左Ｙキャリッジカバー１９の外部圧力に比べて高い。左Ｙキャリッジカバー１９の空気は複数の排気口１９Ｈを介して外部に効率的に排出される。

【0087】

＜第２実施形態＞
次に、第２実施形態の三次元座標測定装置について説明する。なお、上述した第１実施形態と共通する部分には同一の符号を付して、その説明を省略する。

【0088】

図１０は、第２実施形態の三次元座標測定装置の外観を示した斜視図である。図１１は、図１０の定盤の右側部を拡大して示した正面図である。

【0089】

図１０に示す第２実施形態の三次元座標測定装置１００は、第１実施形態の三次元座標測定装置１の右Ｙキャリッジカバー１７及び左Ｙキャリッジカバー１９とは異なる形状を有している。以下、第２実施形態の三次元座標測定装置１００の右Ｙキャリッジカバー２１７及び左Ｙキャリッジカバー２１９について説明する。

【0090】

＜右Ｙキャリッジカバー＞
図１０及び図１１に示すように、右Ｙキャリッジカバー２１７は、右側面２１７Ｒと、左側面２１７Ｌと、前面２１７Ｆと、後面２１７Ｅ、上面２１７Ｔと、下面２１７Ｂとを備えている。

【0091】

右Ｙキャリッジカバー２１７における上面２１７Ｔ、右側面２１７Ｒ及び左側面２１７ＬのＹ軸方向の長さは、右Ｙキャリッジ１６のＹ軸方向の長さより長く、定盤１０の右側面１０Ｒの長さにほぼ等しく、第１実施形態の右Ｙキャリッジカバー１７とは異なる。

【0092】

右Ｙキャリッジカバー２１７の上面２１７Ｔの一部には、右Ｙキャリッジ１６を挟んでＹ軸方向に亘って蛇腹カバー２１７ＢＬが配置されている。前側の蛇腹カバー２１７ＢＬは、一端が前面２１７Ｆの側で固定され、他端が右Ｙキャリッジ１６に固定される。また、後側の蛇腹カバー２１７ＢＬは、一端が右Ｙキャリッジ１６に固定され、他端が後面２１７Ｅの側で固定される。蛇腹カバー２１７ＢＬは、右Ｙキャリッジ１６の移動に追従して伸縮する。蛇腹カバー２１７ＢＬは、本発明の蛇腹カバーの一例である。

【0093】

図１１に示すように、右Ｙキャリッジカバー２１７の上面２１７Ｔは一部に蛇腹カバー２１７ＢＬを含み、Ｙ軸方向から見て、全体として、その右端が左端より高い位置にある傾斜面で構成される。蛇腹カバー２１７ＢＬを含む上面２１７Ｔと右側面２１７Ｒとにより、トラス形状２１７ＴＲが構成される。トラス形状２１７ＴＲは、本発明の第１トラス形状の一例である。

【0094】

また、複数の排気口２１７Ｈが、右側面２１７Ｒの上端側で、トラス形状２１７ＴＲの近くに配置される。排気口２１７Ｈは、本発明の第１排気口の一例である。

【0095】

第２実施形態の右Ｙキャリッジカバー２１７によれば、第１実施形態と同様に、Ｙ駆動部８０で暖められた空気Ａｒ１は太矢印に示すようにトラス形状２１７ＴＲに移動し、右Ｙキャリッジカバー２１７の内圧が高いので、複数の排気口２１７Ｈから空気Ａｒ１が排出される。すなわち、右Ｙキャリッジカバー２１７の内部の熱を効率的に外部に排出できる。

【0096】

また、図１１に示すように、蛇腹カバー２１７ＢＬは、Ｙ軸方向から見て、右端が左端より高い位置にある傾斜面で構成されている。したがって、蛇腹カバー２１７ＢＬの上にゴミ等が溜まり難くできる。その結果、細矢印に示すように、蛇腹カバー２１７ＢＬの上のゴミ等は右Ｙキャリッジカバー２１７の内部に侵入し難くなる。

【0097】

＜左Ｙキャリッジカバー＞
次に、左Ｙキャリッジカバー２１９の構造について説明する。図１０に示すように、左Ｙキャリッジカバー２１９は、右側面２１９Ｒと、左側面２１９Ｌと、前面２１９Ｆと、後面２１９Ｅ、上面２１９Ｔとを備えている。

【0098】

左Ｙキャリッジカバー２１９における上面２１９Ｔ、右側面２１９Ｒ及び左側面２１９ＬのＹ軸方向の長さは、右Ｙキャリッジ１６のＹ軸方向の長さより長く、定盤１０の左側面の長さにほぼ等しく、第１実施形態の左Ｙキャリッジカバー１９とは異なる。

【0099】

左Ｙキャリッジカバー２１９の上面２１９Ｔの一部には、左Ｙキャリッジ１８を挟んでＹ軸方向に亘って蛇腹カバー２１９ＢＬが配置されている。蛇腹カバー２１９ＢＬは、左Ｙキャリッジ１８の移動に追従して伸縮する。

【0100】

図１０に示すように、左Ｙキャリッジカバー２１９の上面２１９Ｔは一部に蛇腹カバー２１９ＢＬを含み、Ｙ軸方向から見て、全体として、その左端が右端より高い位置にある傾斜面で構成される。蛇腹カバー２１９ＢＬを含む上面２１９Ｔと左側面２１９Ｌとにより、トラス形状２１９ＴＲが構成される。トラス形状２１９ＴＲは、本発明の第４トラス形状の一例である。

【0101】

また、複数の排気口２１９Ｈが、左側面２１９Ｌの上端側で、トラス形状２１９ＴＲの近くに配置される。排気口２１９Ｈは、本発明の第４排気口の一例である。

【0102】

第２実施形態の左Ｙキャリッジカバー２１９によれば、第１実施形態と同様に、エアパッド７０から噴出された空気は、トラス形状２１９ＴＲに移動し、複数の排気口２１９Ｈから排出される。すなわち、左Ｙキャリッジカバー２１９の内部の熱を効率的に外部に排出できる。

【0103】

以上、本発明に係る三次元座標測定装置の一例について説明したが、本発明の技術は実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、いくつかの改良又は変形を行ってもよい。

【符号の説明】

【0104】

１…三次元座標測定装置、１０…定盤、１０Ｂ…下面、１０Ｌ…左側面、１０Ｒ…右側面、１０Ｔ…上面、１２…架台、１４…Ｙキャリッジ、１６…右Ｙキャリッジ、１７…右Ｙキャリッジカバー、１７Ｂ…下面、１７Ｅ…後面、１７Ｆ…前面、１７Ｈ…排気口、１７Ｌ…左側面、１７Ｒ…右側面、１７Ｔ…上面、１７ＴＲ…トラス形状、１８…左Ｙキャリッジ、１９…左Ｙキャリッジカバー、１９Ｅ…後面、１９Ｆ…前面、１９Ｈ…排気口、１９Ｌ…左側面、１９Ｒ…右側面、１９Ｔ…上面、１９ＴＲ…トラス形状、２０…Ｘガイド、２２…Ｘキャリッジ、２２Ａ…Ｘガイド挿通孔、２３…Ｚコラム、２３Ｅ…後面、２３Ｆ…前面、２３Ｈ…排気口、２３Ｌ…左側面、２３Ｒ…右側面、２３Ｔ…上面、２３ＴＲ…トラス形状、２４…Ｚガイド、２５…Ｚキャリッジ、２５Ａ…Ｚガイド挿通孔、２６…測定プローブ、２８…スタイラス、３０…Ｘガイドカバー、３０Ｅ…後面、３０Ｆ…前面、３０Ｈ…排気口、３０Ｔ…上面、３０ＴＲ…トラス形状、３１…Ｘ駆動部、３２…モータ、３３…ローラ、３４…Ｚ駆動部、３５…モータ、３６…ローラ、３７…エアパッド、３８…エアパッド、４０…溝、４０Ｒ…右側面、４２…Ｙガイド、４２Ｂ…下面、４２Ｌ…左側面、４２Ｒ…右側面、４２Ｔ…上面、５０…支持部、５２…基部、５４…右側部、５６…左側部、５８…先端部、６０…エアパッド群、６２Ｅ…エアパッド、６２Ｆ…エアパッド、６４Ｅ…エアパッド、６４Ｆ…エアパッド、６６Ｅ…エアパッド、６６Ｆ…エアパッド、６８Ｅ…エアパッド、６８Ｆ…エアパッド、７０…エアパッド、８０…Ｙ駆動部、８２…モータ、８４…ローラ、１００…三次元座標測定装置、２１７…右Ｙキャリッジカバー、２１７Ｂ…下面、２１７ＢＬ…蛇腹カバー、２１７Ｅ…後面、２１７Ｆ…前面、２１７Ｈ…排気口、２１７Ｌ…左側面、２１７Ｒ…右側面、２１７Ｔ…上面、２１７ＴＲ…トラス形状、２１９…左Ｙキャリッジカバー、２１９ＢＬ…蛇腹カバー、２１９Ｅ…後面、２１９Ｆ…前面、２１９Ｈ…排気口、２１９Ｌ…左側面、２１９Ｒ…右側面、２１９Ｔ…上面、２１９ＴＲ…トラス形状、Ａｒ１…空気、Ａｒ２…空気、Ａｒ３…空気

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】